DE102019208340A1 - TREATMENT DEVICE FOR TREATING A WORKPIECE - Google Patents

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Abstract

Eine Behandlungsvorrichtung beinhaltend einen Einspanntisch, eine Tischbasis, einen Servomotor, der die Tischbasis dreht, und eine Bestimmungseinheit, die die Art des Einspanntischs, der an der Tischbasis befestigt ist, beinhaltet, ist bereitgestellt. Der Bestimmungsabschnitt beinhaltet einen Drehmomentaufnahmeabschnitt, bei dem ein Drehmoment, das durch den Servomotor angelegt wird, wenn die Tischbasis gedreht wird, aufgenommen wird auf der Basis der Art des Einspanntischs und einen Bestimmungsabschnitt, der das Drehmoment, das durch den Servomotor angelegt wird, mit dem Drehmomentaufnahmeabschnitt vergleicht, um dadurch die Art des Einspanntischs zu bestimmen.

Figure DE102019208340A1_0000
A treatment device including a chuck table, a table base, a servo motor that rotates the table base, and a determination unit that includes the kind of the chuck table attached to the table base is provided. The determination section includes a torque receiving section in which a torque applied by the servo motor when the table base is rotated is received based on the type of the chuck table and a determination section that uses the torque applied by the servo motor Torque receiving section compared to thereby determine the type of chuck table.
Figure DE102019208340A1_0000

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNGBACKGROUND OF THE INVENTION

Technisches GebietTechnical field

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Behandlungsvorrichtung, die dazu geeignet ist, eine Behandlung wie eine Bearbeitung oder eine Reinigung eines Werkstücks durchzuführen.The present invention relates to a treatment apparatus capable of performing a treatment such as machining or cleaning a workpiece.

Beschreibung des Stands der TechnikDescription of the prior art

In Schritten zum Ausbilden von Bauelementchips, die Halbleiterbauelemente oder optische Bauelemente beinhalten, aus einem Werkstück wie einem Siliziumsubstrat und einem Saphirsubstrat werden verschiedene Behandlungsvorrichtungen verwendet. Zum Beispiel werden solche Behandlungsvorrichtung wie eine Schneidvorrichtung zum Schneiden eines Werkstücks, das mit verschiedenen Bauelementen an einer Bauelementbasis ausgebildet ist, eine Laserbehandlungsvorrichtung zum Durchführen einer Laserbehandlung des Werkstücks, eine Schleifvorrichtung zum Schleifen des Werkstücks, um das Werkstück auf eine vorbestimmte Dicke dünn auszugestalten, und eine Reinigungsvorrichtung zum Reinigen des bearbeiteten Werkstücks verwendet. Folglich wird in der Behandlungsvorrichtung eine Behandlung wie eine Bearbeitung oder ein Reinigen des Werkstücks durchgeführt. Diese Behandlungsvorrichtungen beinhalten einen Einspanntisch zum Halten des Werkstücks und eine Behandlungseinheit zum Durchführen einer vorbestimmten Behandlung des Werkstücks. Der Einspanntisch beinhaltet ein poröses Element an einer oberen Oberfläche und ist mit einer Saugquelle bereitgestellt, die mit dem porösen Element verbunden ist. Wenn ein Werkstück an dem Einspanntisch befestigt wird, werden der Einspanntisch und die Saugquelle betätigt, ein negativer Druck wirkt auf das Werkstück, wodurch das Werkstück unter einem Saugen an dem Einspanntisch gehalten wird. Die Behandlungsvorrichtung behandelt das Werkstück, das durch den Einspanntisch gehalten ist durch die Behandlungseinheit.Various processing devices are used in steps of forming device chips including semiconductor devices or optical devices from a workpiece such as a silicon substrate and a sapphire substrate. For example, such a treatment apparatus as a cutting apparatus for cutting a workpiece formed with various components on a component base, a laser treatment apparatus for performing laser treatment of the workpiece, a grinding apparatus for grinding the workpiece to thin the workpiece to a predetermined thickness, and a cleaning device used to clean the machined workpiece. Consequently, a treatment such as machining or cleaning the workpiece is performed in the treatment device. These treatment devices include a chuck table for holding the workpiece and a processing unit for performing a predetermined treatment of the workpiece. The chuck table includes a porous member on an upper surface and provided with a suction source connected to the porous member. When a workpiece is fixed to the chuck table, the chuck table and the suction source are operated, a negative pressure acts on the workpiece, thereby holding the workpiece under suction on the chuck table. The treatment device treats the workpiece held by the chuck table by the treatment unit.

In diesen Behandlungsvorrichtungen ist der Einspanntisch austauschbar und zum saugenden Halten des Werkstücks mit verschiedenen Größen durch den Einspanntisch wird ein Einspanntisch, der mit einer Halteoberfläche entsprechend der Größe, Form und dergleichen des Werkstücks bereitgestellt ist, befestigt. Falls ein Einspanntisch entsprechend dem Werkstück nicht an der Behandlungsvorrichtung befestigt ist, wird nicht nur das Werkstück nicht korrekt gehalten und eine geeignete Behandlung wird nicht durchgeführt, sondern auch eine unerwartete Belastung oder dergleichen kann an dem Werkstück, das behandelt werden soll, auftreten, was in einem Zerstören des Werkstücks resultiert. Zusätzlich ist ein Einspanntisch bekannt, der dazu geeignet ist, Werkstücke mit mehreren Größen zu halten, ohne den Einspanntisch zu tauschen (siehe zum Beispiel die japanische Offenlegungsschrift Nr. Hei 7-153721 ). Wenn dieser Einspanntisch verwendet wird, kann eine Operation des Auswechselns des Einspanntischs ausgelassen werden. In dem Fall des Verwendens dieses Einspanntischs sind jedoch die Behandlungskosten des Werkstücks erhöht, da der Einspanntisch selbst und ein Saugmechanismus, der mit dem Einspanntisch verbunden ist, eine schwierige Konfiguration aufweisen.In these treatment apparatuses, the chuck table is exchangeable, and for holding the workpiece of various sizes by the chuck table by suction, a chuck table provided with a holding surface corresponding to the size, shape and the like of the workpiece is fastened. If a chuck table corresponding to the workpiece is not attached to the treatment apparatus, not only the work piece is not properly held and an appropriate treatment is not performed, but also an unexpected load or the like may occur on the work piece to be treated, which is described in US Pat results in a destruction of the workpiece. In addition, a chuck table is known which is capable of holding workpieces of several sizes without changing the chuck table (see, for example, US Pat Japanese Patent Laid-Open Publication No. Hei 7-153721 ). When this chuck table is used, an operation of exchanging the chuck table can be omitted. However, in the case of using this chuck table, since the chuck table itself and a suction mechanism connected to the chuck table have a difficult configuration, the treatment cost of the work is increased.

DARSTELLUNG DER ERFINDUNGPRESENTATION OF THE INVENTION

Im Allgemeinen wird ein geeigneter Einspanntisch entsprechend der Art, Größe und der gleichen des Werkstücks durch den Bediener der Behandlungsvorrichtung oder dergleichen ausgewählt. Jedoch existieren Fälle, in denen der Bediener der Behandlungsvorrichtung oder dergleichen einen Fehler beim Auswählen des Einspanntischs macht und ein ungeeigneter Einspanntisch wird an der Behandlungsvorrichtung befestigt. Um zu verhindern, dass ein Fehler beim Befestigen des Einspanntischs auftritt können zusätzliche Arbeitskräfte zur Kontrolle eingestellt werden oder die Behandlungsvorrichtung kann mit einem großen Bestätigungsmechanismus ausgestattet sein, jedoch führt ein solcher Ansatz zu einer Erhöhung der Behandlungskosten des Werkstücks.In general, a suitable chuck table is selected according to the type, size, and the same of the workpiece by the operator of the processing apparatus or the like. However, there are cases where the operator of the treatment apparatus or the like makes a mistake in selecting the chuck table, and an improper chuck table is attached to the treatment apparatus. In order to prevent an error in attaching the chuck table, additional manpower may be set for control, or the treatment device may be equipped with a large confirming mechanism, however, such an approach leads to an increase in the cost of treatment of the workpiece.

Entsprechend ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung eine Behandlungsvorrichtung bereitzustellen, die dazu geeignet ist, die Art des Einspanntischs, der daran befestigt ist, zu bestimmen.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a treatment device capable of determining the type of chuck table attached thereto.

In Übereinstimmung mit einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Behandlungsvorrichtung bereitgestellt, die einen Einspanntisch beinhaltet, der eine Halteoberfläche aufweist, die ein Werkstück daran befestigt und das Werkstück hält, eine Tischbasis, an welcher der Einspanntisch lösbar fixiert ist, einen Servomotor, der den Einspanntisch um eine Drehachse entlang einer Richtung senkrecht zu der Halteoberfläche des Einspanntischs, der an der Tischbasis befestigt ist, dreht, eine Behandlungseinheit, welche das Werkstück, das durch den Einspanntisch gehalten ist, behandelt, und eine Bestimmungseinheit, die die Art des Einspanntischs, der an der Tischbasis befestigt ist, bestimmt. Die Bestimmungseinheit beinhaltet: einen Drehmomentaufnahmeabschnitt, in dem ein Drehmoment, das durch den Servomotor beim Drehen der Tischbasis angelegt wird, auf der Basis der Art des Einspanntischs, der an der Tischbasis befestigt ist, aufgenommen wird; einen Bestimmungsabschnitt, der ein Drehmoment misst, das durch den Servomotor ausgegeben wird, wenn die Tischbasis mit dem Einspanntisch daran befestigt gedreht wird, und das gemessene Drehmoment mit jedem der Drehmomente, die in dem Drehmomentaufnahmeabschnitt aufgenommen sind, vergleicht, um dadurch die Art des Einspanntischs zu bestimmen; und einen Meldungsabschnitt, der das Ergebnis der ausgeführten Bestimmung durch den Bestimmungsabschnitt meldet.According to one aspect of the present invention, there is provided a processing apparatus including a chuck table having a holding surface that secures a workpiece thereto and holds the workpiece, a table base to which the chuck table is releasably fixed, a servomotor that controls the chuck table rotates about an axis of rotation along a direction perpendicular to the holding surface of the chuck table fixed to the table base, a processing unit treating the workpiece held by the chuck table, and a determining unit indicating the kind of the chuck table the table base is fixed, certainly. The determining unit includes: a torque receiving portion in which a torque applied by the servomotor when rotating the table base is accommodated on the basis of the kind of the chuck table fixed to the table base; a determination section that measures a torque output by the servomotor when the table base with the chuck table is rotated thereon and the measured one Comparing torque with each of the torques received in the torque receiving portion to thereby determine the type of chuck table; and a notification section that notifies the result of the executed determination by the determination section.

Vorzugsweise ist das durch den Bestimmungsabschnitt gemessene Drehmoment eins oder beides eines Drehmoments während einer Beschleunigung, bis die Tischbasis eine vorbestimmte Drehgeschwindigkeit erreicht, und eines Drehmoments während eines Abbremsens, bis die Tischbasis anhält, von der vorbestimmten Drehgeschwindigkeit.Preferably, the torque measured by the determination section is one or both of a torque during acceleration until the table base reaches a predetermined rotating speed and a torque during braking until the table base stops from the predetermined rotating speed.

Zusätzlich ist die Behandlungseinheit vorzugsweise eine Reinigungseinheit, die das Werkstück reinigt.In addition, the treatment unit is preferably a cleaning unit that cleans the workpiece.

Die Behandlungsvorrichtung entsprechend einem Aspekt der vorliegenden Erfindung beinhaltet die Tischbasis, an welcher der Einspanntisch lösbar fixiert ist, und den Servomotor, der die Tischbasis dreht. Der Einspanntisch ist lösbar an der Tischbasis fixiert. Wenn der Einspanntisch, der an der Tischbasis befestigt ist, gedreht wird, wird die Tischbasis durch den Servomotor gedreht.The treatment apparatus according to one aspect of the present invention includes the table base to which the chuck table is detachably fixed, and the servomotor that rotates the table base. The clamping table is releasably fixed to the table base. When the chuck table attached to the table base is rotated, the table base is rotated by the servo motor.

Die Behandlungsvorrichtung beinhaltet die Bestimmungsabschnitte, welche die Art des Einspanntischs, der an der Tischbasis befestigt ist, bestimmen. Die Bestimmungseinheit beinhaltet den Drehmomentaufnahmeabschnitt, in dem das Drehmoment, das von dem Servomotor angelegt wird, auf der Basis der Art des Einspanntischs, der an der Tischbasis befestigt ist, aufgenommen ist. Zusätzlich beinhaltet die Bestimmungseinheit ferner den Bestimmungsabschnitt, der das Drehmoment, das durch den Servomotor angelegt wird, misst, wenn die Tischbasis mit dem Einspanntisch daran befestigt gedreht wird, und ordnet das gemessene Drehmoment jedem der Drehmomente, die in dem Drehmomentaufnahmeabschnitt aufgenommen sind, zu. Der Bestimmungsabschnitt bestimmt die Art des Einspanntischs, der mit den Drehmomenten, die in dem Drehmomentaufnahmeabschnitt aufgenommen sind, das mit dem gemessenen Drehmoment zusammenfällt, in Beziehung steht, als die Art des Einspanntischs, die an der Tischbasis befestigt ist. Da die Behandlungsvorrichtung die Art des Einspanntischs bestimmen kann, der befestigt ist, kann es auch einen Alarm oder dergleichen in dem Fall ausgeben, in dem die Art des Einspanntischs, die bestimmt wurde, für das zu behandelnde Werkstück ungeeignet ist.The treatment apparatus includes the determining portions which determine the kind of the chuck table attached to the table base. The determining unit includes the torque receiving portion in which the torque applied by the servo motor is accommodated on the basis of the kind of the chuck table fixed to the table base. In addition, the determination unit further includes the determination section that measures the torque applied by the servomotor when the table base with the chuck table is rotated thereto, and assigns the measured torque to each of the torques received in the torque receiving section. The determining section determines the kind of the chuck table that is related to the torques received in the torque receiving portion that coincides with the measured torque, as the kind of the chuck table attached to the table base. Since the treatment apparatus can determine the kind of the chuck table which is fixed, it can also issue an alarm or the like in the case where the kind of the chuck table that has been determined is unsuitable for the work piece to be treated.

Darum entsprechen einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Behandlungsvorrichtung bereitgestellt, welche die Art des Einspanntischs bestimmen kann, der daran befestigt ist.Therefore, in accordance with one aspect of the present invention, there is provided a treatment device that can determine the type of chuck table attached thereto.

Das obige und andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Weise des Realisierens dieser wird klarer und die Erfindung selbst am besten durch ein Studieren der folgenden Beschreibung und der angehängten Ansprüche mit Bezug zu den angehängten Figuren, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen, verstanden.The above and other objects, features and advantages of the present invention and the manner of practicing the same will become clearer and the invention itself best understood by studying the following description and appended claims with reference to the appended drawings, which show a preferred embodiment of the invention , Roger that.

Figurenlistelist of figures

  • 1 ist eine perspektivische Ansicht, die schematisch ein Beispiel einer Behandlungsvorrichtung darstellt; 1 Fig. 12 is a perspective view schematically illustrating an example of a treatment apparatus;
  • 2 ist eine perspektivische Ansicht, die schematisch eine Reinigungseinheit als ein Beispiel einer Behandlungseinheit darstellt; 2 Fig. 13 is a perspective view schematically illustrating a cleaning unit as an example of a treatment unit;
  • 3 ist eine Schnittansicht, die schematisch einen Einspanntisch darstellt; 3 Fig. 10 is a sectional view schematically illustrating a chuck table;
  • 3B ist eine Schnittansicht, die schematisch einen anderen Einspanntisch darstellt; 3B Fig. 11 is a sectional view schematically illustrating another chuck table;
  • 4 stellt einen Graphen, der schematisch die Beziehung zwischen der Drehgeschwindigkeit eines Servomotors und einer Zeit darstellt, und einen Graphen dar, der schematisch die Beziehung zwischen Drehmoment des Servomotors mit der Zeit darstellt. 4 FIG. 12 is a graph schematically showing the relationship between the rotational speed of a servo motor and a time, and a graph schematically showing the relationship between the torque of the servo motor with time.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMDETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT

Eine Ausführungsform einer Behandlungsvorrichtung entsprechend einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird mit Bezug zu den angehängten Figuren beschrieben. Die Behandlungsvorrichtung entsprechend der vorliegenden Ausführungsform ist eine Behandlungsvorrichtung, die in den Schritten zum Ausbilden von Bauelementchips, die jeweils ein Halbleiterbauelement wie eine integrierte Schaltung (IC) oder ein optisches Bauelement wie eine lichtemittierende Diode (LED) beinhalten, aus einem Werkstück wie einem Siliziumsubstrat oder Saphirsubstrat verwendet werden können. Die Behandlungsvorrichtung ist zum Beispiel eine Schneidvorrichtung zum Schneiden des Werkstücks auf der Basis von jedem Bauelement, eine Laserbehandlungsvorrichtung zum Laserbearbeiten, einer Schleifvorrichtung zum Schleifen des Werkstücks, um das Werkstück auf eine vorbestimmte Dicke dünn auszugestalten, oder dergleichen. Ein weiteres Beispiel der Behandlungsvorrichtung ist eine Reinigungsvorrichtung zum Reinigen des bearbeiteten Werkstücks. Anders ausgedrückt wird in der Behandlungsvorrichtung eine Behandlung wie ein Bearbeiten oder Reinigen an dem Werkstück durchgeführt.An embodiment of a treatment device according to an aspect of the present invention will be described with reference to the attached figures. The treatment device according to the present embodiment is a treatment device which, in the steps for forming component chips, each comprising a semiconductor component such as an integrated circuit (IC) or an optical component such as a light-emitting diode (LED), consists of a workpiece such as a silicon substrate or Sapphire substrate can be used. The treatment device is, for example, a cutting device for cutting the workpiece based on each component, a laser treatment device for laser processing, a grinding device for grinding the workpiece to thin the workpiece to a predetermined thickness, or the like. Another example of the treatment device is a cleaning device for cleaning the machined workpiece. In other words, a treatment such as machining or cleaning is carried out on the workpiece in the treatment device.

1 ist eine perspektivische Ansicht, die schematisch eine Behandlungsvorrichtung entsprechend der vorliegenden Ausführungsform darstellt. Eine Behandlungsvorrichtung 2, die in 1 dargestellt ist, ist eine Schneidvorrichtung zum Schneiden eines Werkstücks. In der Behandlungsvorrichtung 2 wird auch ein Reinigen des Werkstücks, das geschnitten wurde, durchgeführt. Die vorliegende Ausführungsform wird im Folgenden beschrieben, wobei ein Fall als Beispiel genommen wird, in dem die Behandlungsvorrichtung 2 eine Schneidvorrichtung ist. Die Behandlungsvorrichtung 2 beinhaltet eine Basis 4 zum Tragen einer jeden der Komponenten der Vorrichtung. Eine Kassettenträgerbasis 6, die nach oben und unten bewegt werden kann, ist an einer oberen Oberfläche eines Vorsprungsteils 4a an einer vorderen Seite der Basis 4 bereitgestellt. Eine Kassette 8 zum Aufnehmen mehrere Werkstücke 1 ist an einer oberen Oberfläche der Kassettenträgerbasis 6 befestigt. Beachte, dass in 1 nur der Umriss der Kassette 8 zum einfachen Erklären dargestellt ist. 1 Fig. 3 is a perspective view schematically showing a treatment device according to the present embodiment. A treatment device 2 , in the 1 is a cutting device for cutting a workpiece. In the treatment device 2 the workpiece that has been cut is also cleaned. The present embodiment will be described below, taking a case in which the treatment device as an example 2 is a cutter. The treatment device 2 includes a base 4 for carrying each of the components of the device. A cassette base 6 that can be moved up and down is on an upper surface of a protrusion part 4a on a front side of the base 4 provided. A cassette 8th for holding several workpieces 1 is on an upper surface of the cartridge support base 6 attached. Note that in 1 just the outline of the cassette 8th is shown for easy explanation.

Das Werkstück 1 ist zum Beispiel ein scheibenförmiger Wafer. Teilungslinien (Straßen) , die in einem Gittermuster angeordnet sind, sind an der Seite einer vorderen Oberfläche des Wafers gesetzt und die vordere Oberfläche ist in mehrere Bereiche aufgeteilt. Ein Bauelement wie ein IC und eine LED ist in jedem der aufgeteilten Bereiche ausgebildet und wenn das Werkstück 1 entlang der Teilungslinien geteilt ist, werden einzelne Bauelementchips ausgebildet. Beachte, dass das Werkstück 1 kein scheibenförmiger Wafer sein muss, der aus einem Halbleitermaterial wie Silizium ausgebildet ist, und das Material, die Form, der Aufbau und dergleichen des Werkstücks 1 nicht beschränkt sind. Zum Beispiel kann ein rechteckiges Substrat, das aus einem solchen Material wie einer Keramik, Kunststoff und Metall ausgebildet ist, auch als das Werkstück 1 verwendet werden. Die Art, die Anzahl, die Anordnung und dergleichen der Bauelemente sind auch nicht beschränkt. Ein Band 3, das einen größeren Durchmesser als das Werkstück 1 aufweist, ist an der hinteren Oberflächenseite des Werkstücks 1 angebracht und ein ringförmiger Rahmen 5, der aus einem Metall oder dergleichen ausgebildet ist, ist an einem äußeren umfänglichen Abschnitt des Bands 3 angebracht. Das Werkstück 1 ist in der Kassette 8 in dem Zustand aufgenommen, in dem es mit dem Band 3 und dem ringförmigen Rahmen 5 zusammengefügt ist und wird in die Bearbeitungsvorrichtung 2 eingebrachten und durch diese bearbeitet.The workpiece 1 is, for example, a disk-shaped wafer. Dividing lines (streets) arranged in a grid pattern are set on the side of a front surface of the wafer, and the front surface is divided into plural areas. A device such as an IC and an LED is formed in each of the divided regions and when the workpiece 1 is divided along the dividing lines, individual component chips are formed. Note that the workpiece 1 does not have to be a disk-shaped wafer formed of a semiconductor material such as silicon and the material, shape, structure and the like of the workpiece 1 are not limited. For example, a rectangular substrate formed of such a material as a ceramic, plastic, and metal may also be referred to as the workpiece 1 be used. The type, the number, the arrangement and the like of the components are also not limited. A band 3 that has a larger diameter than the workpiece 1 is on the rear surface side of the workpiece 1 attached and an annular frame 5 formed of a metal or the like is at an outer peripheral portion of the band 3 appropriate. The workpiece 1 is in the cassette 8th recorded in the state in which it is with the tape 3 and the annular frame 5 is joined together and is in the processing device 2 introduced and edited by them.

Die Behandlungsvorrichtung 2 beinhaltet ein kastenförmiges Gehäuse 4d an der Basis 4 und die Hauptkomponenten sind in dem Inneren des Gehäuses 4b aufgenommen. In 1 ist nur der Umriss des Gehäuses 4b in abwechselnd lang und doppelt kurz gestrichelten Linien dargestellt, um eine Erklärung zu vereinfachen. Das Gehäuse 4b ist in der Nähe der Kassettenträgerbasis 6 mit einer Einfuhr-/Ausführöffnung (nicht dargestellt) bereitgestellt und eine Rahmeneinheit, die das Werkstück 1 aufweist, wird in und aus dem Inneren des Gehäuses 4d durch die Einfuhr-/Ausführöffnung getragen. Die Behandlungsvorrichtung 2 beinhaltet einen Trägermechanismus (nicht dargestellt), der die Rahmeneinheit herausnimmt, die in der Kassette 8 aufgenommen ist, die an der Kassettenträgerbasis 6 befestigt ist, und platziert die Rahmeneinheit an einem Einspanntisch 12, der später beschrieben wird.The treatment device 2 includes a box-shaped housing 4d at the base 4 and the main components are in the interior of the housing 4b added. In 1 is just the outline of the case 4b in alternately long and double short dashed lines to simplify an explanation. The housing 4b is near the cassette carrier base 6 provided with an import / export opening (not shown) and a frame unit which holds the workpiece 1 has, in and out of the interior of the housing 4d carried by the import / export opening. The treatment device 2 includes a support mechanism (not shown) that removes the frame unit contained in the cassette 8th recorded on the cassette carrier base 6 is attached, and places the frame unit on a chuck table 12 which will be described later.

Die obere Oberfläche der Basis 4 ist in der Nähe der Kassettenträgerbasis 6 mit einer rechteckigen Öffnung 4b ausgebildet, die in einer X-Achsenrichtung (vorne hinten Richtung, Bearbeitungszufuhrrichtung) lang ist. Ein X-Achsen beweglicher Tisch 10 ist in der Öffnung 4b bereitgestellt. Der Einspanntisch 12, der das Werkstück 1 hält, ist an der oberen Seite des X-Achsen beweglichen Tischs 10 bereitgestellt. Ein poröses Element ist an einer Oberfläche des Einspanntischs 12 angeordnet und eine obere Oberfläche des porösen Elements bildet eine Halteoberfläche zum Halten des Werkstücks 1. Der Einspanntisch 12 ist an einem äußeren umfänglichen Abschnitt davon mit Klemmen 12b zum Einklemmen des ringförmigen Rahmens 5, der in der Rahmeneinheit enthalten ist, die an der Halteoberfläche 12a befestigt ist, bereitgestellt. Das poröse Element ist mit einer Saugquelle (nicht dargestellt) durch einen Saugdurchgang (nicht dargestellt), der in dem Inneren des Einspanntischs 12 und einer Tischbasis (nicht dargestellt) ausgebildet ist, verbunden. Wenn das Werkstück 1 an der Halteoberfläche 12a durch das Band 3 befestigt ist und die Saugquelle betätigt wird, um einen negativen Druck dazu zu bringen, an dem Werkstück 1 durch den Saugdurchgang und das poröse Element zu wirken, wird das Werkstück 1 unter einem Saugen an dem Einspanntisch 12 gehalten. Der Einspanntisch 12 ist an der Tischbasis fixiert und die Tischbasis ist mit einem Servomotor (nicht dargestellt) verbunden. Wenn der Servomotor betätigt wird, wird die Tischbasis gedreht und der Einspanntisch 12, der in der Tischbasis fixiert ist, wird um eine Achse senkrecht zu der Halteoberfläche 12a gedreht.The upper surface of the base 4 is near the cassette carrier base 6 with a rectangular opening 4b formed in an X-axis direction (front rear direction, machining feed direction) is long. An X-axis movable table 10 is in the opening 4b provided. The chuck table 12 that the workpiece 1 is at the top of the X-axis moving table 10 provided. A porous element is on a surface of the chuck table 12 and an upper surface of the porous member forms a holding surface for holding the workpiece 1 , The chuck table 12 is at an outer peripheral portion thereof with clamps 12b for clamping the annular frame 5 which is contained in the frame unit, which at the holding surface 12a is attached, provided. The porous member is provided with a suction source (not shown) through a suction passage (not shown) formed in the interior of the chuck table 12 and a table base (not shown) is connected. If the workpiece 1 at the holding surface 12a through the band 3 is fixed and the suction source is actuated to bring a negative pressure to the workpiece 1 through the suction passage and the porous member, the workpiece becomes 1 sucking on the chuck table 12 held. The chuck table 12 is fixed to the table base and the table base is connected to a servomotor (not shown). When the servomotor is actuated, the table base is rotated and the chuck table 12 , which is fixed in the table base, becomes about an axis perpendicular to the holding surface 12a turned.

An einer lateralen Seite der Öffnung 4b in der oberen Oberfläche der Basis 4 ist ein Trägerabschnitt 14 bereitgestellt, der mit einem Armabschnitt bereitgestellt ist, der zu der oberen Seite der Öffnung 4b entlang einer X-Achsenrichtung senkrecht zu der X-Achsenrichtung hervorsteht. Ein Paar Y-Achsenführungsschienen 16 parallel zu der Y-Achsenrichtung sind an einer vorderen Seite des Armabschnitts des Trägerabschnitts 14 angeordnet. Eine Y-Achsenbewegungsplatte 18 ist gleitend an den Y-Achsenführungsschienen 16 befestigt. Die Y-Achsenbewegungsplatte 18 ist an der hinteren Oberflächenseite (Oberflächenrückseite) davon mit einem Mutterabschnitt (nicht dargestellt) bereitgestellt und eine Y-Achsenkugelrollspindel 20 parallel zu den Y-Achsenführungsschienen 16 ist in Schraubeingriff mit dem Mutterabschnitt. Ein Y-Achsenpulsmotor (nicht dargestellt) ist mit einem Endabschnitt der Y-Achsenkugelrollspindel 20 verbunden. Wenn die Y-Achsenkugelrollspindel 20 durch den Y-Achsenpulsmotor gedreht wird, wird die Y-Achsenbewegungsplatte 18 in der Y-Achsenrichtung entlang der Y-Achsenführungsschienen 16 bewegt.On a lateral side of the opening 4b in the top surface of the base 4 is a beam section 14 provided that is provided with an arm portion that faces the upper side of the opening 4b protrudes along an X-axis direction perpendicular to the X-axis direction. A pair of Y-axis guide rails 16 parallel to the Y-axis direction are on a front side of the arm portion of the support portion 14 arranged. A y-axis motion plate 18 is sliding on the Y-axis guide rails 16 attached. The Y-axis motion plate 18 is provided on the rear surface side (surface rear side) thereof with a nut portion (not shown) and a Y-axis ball screw 20 parallel to the Y-axis guide rails 16 is in screw engagement with the Nut portion. A Y-axis pulse motor (not shown) is with an end portion of the Y-axis ball screw 20 connected. If the Y-axis ball screw 20 is rotated by the Y-axis pulse motor, the Y-axis moving plate 18 in the Y-axis direction along the Y-axis guide rails 16 emotional.

Ein Paar Z-Achsenführungsschienen 22 parallel zu einer Z-Achsenrichtung, die senkrecht zu der X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung ist, sind an einer vorderen Oberfläche der Y-Achsenbewegungsplatte 18 bereitgestellt. Eine Z-Achsenbewegungsplatte 24 ist gleitend an den Z-Achsenführungsschienen 22 befestigt. Die Z-Achsenbewegungsplatte 24 ist an einer hinteren Oberflächenseite (Oberflächenrückseite) davon mit einem Mutterabschnitt (nicht dargestellt) bereitgestellt und eine Z-Achsenkugelrollspindel 26 parallel zu den Z-Achsenführungsschienen 22 ist in Schraubeingriff mit dem Mutterabschnitt. Ein Z-Achsenpulsmotor 28 ist mit einem Endabschnitt der Z-Achsenkugelrollspindel 86 verbunden. Wenn die Z-Achsenkugelrollspindel 26 durch den Z-Achsenpulsmotor 28 gedreht wird, wird die Z-Achsenbewegungsplatte 24 in der Z-Achsenrichtung entlang der Z-Achsenführungsschienen 22 bewegt.A pair of Z-axis guide rails 22 parallel to a Z-axis direction that is perpendicular to the X-axis direction and the Y-axis direction are on a front surface of the Y-axis moving plate 18 provided. A Z-axis motion plate 24 is sliding on the Z-axis guide rails 22 attached. The Z-axis motion plate 24 is provided on a rear surface side (surface rear side) thereof with a nut portion (not shown) and a Z-axis ball screw 26 parallel to the Z-axis guide rails 22 is in screw engagement with the nut section. A Z-axis pulse motor 28 is with an end portion of the Z-axis ball screw 86 connected. If the Z-axis ball screw 26 through the Z-axis pulse motor 28 is rotated, the Z-axis moving plate 24 in the Z-axis direction along the Z-axis guide rails 22 emotional.

Eine Behandlungseinheit ist an einem unteren Abschnitt der Z-Achsenbewegungsplatte 24 bereitgestellt. Die Behandlungseinheit, die in der Behandlungsvorrichtung 2 enthalten ist, die eine Schneidvorrichtung ist, ist zum Beispiel eine Schneideinheit 30 zum Schneiden des Werkstücks 1. Die Schneideinheit 30 beinhaltet eine kreisförmige Ringschneidklinge 34, die an einer Endseite einer Spindel, die als eine Welle dient, befestigt ist. Zusätzlich ist eine Kameraeinheit (Bildaufnahmeeinheit) 32 zum Aufnehmen des Werkstücks 1 und dergleichen an einer Position benachbart zu der Schneideinheit 30 bereitgestellt. Wenn das Werkstück 1, das durch den Einspanntisch 12 gehalten ist, durch die Kameraeinheit 32 aufgenommen wurde, können die Teilungslinien (Straßen) die an der vorderen Oberfläche des Werkstücks 1 gesetzt sind, detektiert werden.A treatment unit is at a lower portion of the Z-axis movement plate 24 provided. The treatment unit used in the treatment device 2 which is a cutting device is, for example, a cutting unit 30 for cutting the workpiece 1 , The cutting unit 30 includes a circular ring cutting blade 34 which is fixed to one end side of a spindle serving as a shaft. In addition, a camera unit (image acquisition unit) 32 for picking up the workpiece 1 and the like at a position adjacent to the cutting unit 30 provided. If the workpiece 1 that by the chuck table 12 is held by the camera unit 32 The dividing lines (streets) can be attached to the front surface of the workpiece 1 are set to be detected.

Wenn die Y-Achsenbewegungsplatte 18 in der Y-Achsenrichtung bewegt wird, werden die Schneideinheit 30 und die Kameraeinheit 32 in Indexzufuhr in der Y-Achsenrichtung versetzt. Zusätzlich wenn die Z-Achsenbewegungsplatte 24 in der Z-Achsenrichtung bewegt wird, wird die Schneideinheit 30 und die Kameraeinheit 32 nach oben oder unten bewegt. Zu dem Zeitpunkt des Schneidens des Werkstücks 1 detektiert die Behandlungsvorrichtung 2 die Position der Teilungslinie, die an der vorderen Oberfläche des Werkstücks 1 gesetzt ist, unter Verwendung der Kameraeinheit 32 und dreht den Einspanntisch 12, um die Erstreckungsrichtung der Teilungslinie mit einer Bearbeitungszufuhrrichtung (X-Achsenrichtung) auszurichten. Dann wird die ringförmige Schneidklinge 34, der in der Schneideinheit 30 montiert ist, gedreht, die Schneideinheit 30 wird auf eine vorbestimmte Höhe abgesenkt, der Einspanntisch 12 in Bearbeitungszufuhr versetzt und die Schneidklinge 34 wird dadurch dazu gebracht, in das Werkstück 1 zu schneiden.When the Y-axis moving plate 18 is moved in the Y-axis direction, the cutting unit 30 and the camera unit 32 offset in index feed in the Y-axis direction. In addition, if the Z axis movement plate 24 is moved in the Z-axis direction, the cutting unit 30 and the camera unit 32 moved up or down. At the time of cutting the workpiece 1 detects the treatment device 2 the position of the dividing line, which is on the front surface of the workpiece 1 is set using the camera unit 32 and turn the chuck table 12 for aligning the extending direction of the dividing line with a machining feeding direction (X-axis direction). Then the annular cutting blade 34 in the cutting unit 30 is mounted, turned, the cutting unit 30 is lowered to a predetermined height, the chuck table 12 put into machining feed and the cutting blade 34 is thereby brought into the workpiece 1 to cut.

An einer Position an der gegenüberliegenden Seite der Öffnung 4b von der Kassettenträgerbasis 6 ist eine kreisförmige Öffnung 4c ausgebildet. In der Öffnung 4c ist eine Reinigungseinheit 36 für eine Behandlung wie ein Reinigen des Werkstücks 1, das geschnitten wurde. Folglich beinhaltet die Behandlungsvorrichtung 2 die Reinigungseinheit 36 zusätzlich zu der Schneideinheit 30 als eine Behandlungseinheit. Die Reinigungseinheit 36, die der Öffnung 4c bereitgestellt ist, wird detailliert mit Bezug zu 2 dargestellt. 2 eine perspektivische Ansicht, die schematisch die Reinigungseinheit 36 als eine Behandlungseinheit darstellt.At a position on the opposite side of the opening 4b from the cassette base 6 is a circular opening 4c educated. In the opening 4c is a cleaning unit 36 for a treatment like cleaning the workpiece 1 that was cut. Consequently, the treatment device includes 2 the cleaning unit 36 in addition to the cutting unit 30 as a treatment unit. The cleaning unit 36 that of the opening 4c is provided in detail with reference to 2 shown. 2 a perspective view schematically the cleaning unit 36 as a treatment unit.

Ein Einspanntisch 38 zum Halten des Werkstücks 1 ist in der Öffnung 4c bereitgestellt. Ein poröses Element ist an einer oberen Oberfläche des Einspanntischs 38 angeordnet und eine obere Oberfläche des porösen Elements bildet eine Halteoberfläche 38a zum Halten des Werkstücks 1 daran aus. Das poröse Element ist mit einer Saugquelle (nicht dargestellt) durch einen Saugdurchgang (nicht dargestellt), der in dem Einspanntisch 38 ausgebildet ist, verbunden. Wenn die Rahmeneinheit, die das Werkstück 1 beinhaltet, an der Halteoberfläche 38a befestigt ist und die Saugquelle betätigt wird, um einen negativen Druck dazu zu bringen, an dem Werkstück 1 zu wirken, wird das Werkstück 1 an dem Einspanntisch 38 unter einem Saugen gehalten. Der Einspanntisch 38 ist an einem äußeren umfänglichen Abschnitt davon mit Klemmen 38b zum Klemmen des ringförmigen Rahmens 5, der in der Rahmeneinheit beinhaltet ist, die an der Halteoberfläche 38a befestigt ist, bereitgestellt. Die Klemme 38b ist mit einem Gewicht an einem unteren Endabschnitt davon bereitgestellt und ist mit einem oberen Endabschnitt davon mit einem Greifabschnitt bereitgestellt, der in Kontakt mit dem ringförmigen Rahmen 5 kommt. Wenn der Einspanntisch 38 mit einer hohen Geschwindigkeit um eine Achse senkrecht zu der Halteoberfläche 38a gedreht wird, werden die Gewichte zu der äußeren umfänglichen Seite durch Zentrifugalkräfte bewegt und Greifabschnitte werden zu der inneren umfänglichen Seite geschwenkt, um den ringförmigen Rahmen 5 zu greifen.A chuck table 38 for holding the workpiece 1 is in the opening 4c provided. A porous member is on an upper surface of the chuck table 38 arranged and an upper surface of the porous element forms a holding surface 38a for holding the workpiece 1 out of it. The porous member is connected to a suction source (not shown) through a suction passage (not shown) that is in the chuck table 38 is formed, connected. If the frame unit that the workpiece 1 includes, on the holding surface 38a is attached and the suction source is actuated to cause a negative pressure on the workpiece 1 the workpiece becomes effective 1 at the chuck table 38 kept under suction. The chuck table 38 is on an outer peripheral portion thereof with clamps 38b for clamping the ring-shaped frame 5 , which is included in the frame unit, on the holding surface 38a is attached, provided. the clamp 38b is provided with a weight at a lower end portion thereof and is provided with an upper end portion thereof with a gripping portion that is in contact with the annular frame 5 comes. If the chuck table 38 at a high speed around an axis perpendicular to the holding surface 38a is rotated, the weights are moved to the outer circumferential side by centrifugal forces, and gripping portions are pivoted to the inner circumferential side around the annular frame 5 to grab.

3A ist eine Schnittansicht, die schematisch den Einspanntisch 38 darstellt. Wie in 3A dargestellt, ist der Einspanntisch 38 an der Tischbasis 48a befestigt. Die Tischbasis 48a ist drehbar an einem oberen Ende der Welle 48 des Servomotors 48c getragen. Der Einspanntisch 38 ist an seinem äußeren umfänglichen Abschnitt mit Einfuhrlöchern für Fixierschrauben 38c bereitgestellt, die in Gewindebohrungen 48b befestigt sind, die an einer oberen Oberfläche der Tischbasis 48a bereitgestellt sind, wenn der Einspanntisch 38 an der Tischbasis 48a befestigt ist. Zusätzlich ist die obere Oberfläche der Tischbasis 48a mit Gewindelöchern 48b an Positionen entsprechend den Einführlöchern in einem Einspanntisch 54 einer anderen Größe (siehe 3B) bereitgestellt. In die Gewindelöcher 48b sind Befestigungsschrauben 54c geschraubt, wenn der Einspanntisch 54 an der Tischbasis 48a befestigt ist. Wenn der Servomotor 48c betätigt wird, um die Drehwelle 48 zu drehen, kann der Einspanntisch 38 um eine Achse entlang einer Richtung senkrecht zu der Halteoberfläche 38a gedreht werden. Ein Motorantrieb 52 zum Steuern der Drehung des Servomotors 48c ist mit dem Servomotor 48c verbunden. Der Motorantrieb 52 kann den Servomotor 48c in einer solchen Weise steuern, dass der Servomotor 48c mit einer vorbestimmten Geschwindigkeit gedreht wird und das Drehmoment kann zum Beispiel aus einer elektrischen Leistung, die durch den Servomotor 48c in diesem Fall aufgenommen wird, detektiert werden. 3A is a sectional view schematically illustrating the chuck table 38 represents. As in 3A shown is the chuck table 38 at the table base 48a attached. The table base 48a is rotatable at an upper end of the shaft 48 of the servomotor 48c carried. The chuck table 38 is at his outer circumferential section with fixing holes for fixing screws 38c provided in threaded holes 48b attached to an upper surface of the table base 48a are provided when the chuck table 38 at the table base 48a is attached. In addition, the upper surface of the table base 48a with threaded holes 48b at positions corresponding to the insertion holes in a chuck table 54 another size (see 3B) provided. Into the threaded holes 48b are fixing screws 54c screwed when the chuck table 54 at the table base 48a is attached. When the servomotor 48c is pressed to the rotary shaft 48 To turn, can the chuck table 38 about an axis along a direction perpendicular to the holding surface 38a be rotated. A motor drive 52 for controlling the rotation of the servomotor 48c is with the servomotor 48c connected. The motor drive 52 can the servomotor 48c in such a way that control the servomotor 48c is rotated at a predetermined speed and the torque can, for example, from an electric power generated by the servomotor 48c in this case is detected.

Wie in 2 dargestellt, beinhaltet die Reinigungseinheit 36 eine Reinigungsdüse 40 zum Ausstoßen einer Reinigungsflüssigkeit von oberhalb des Werkstücks 1, das an dem Einspanntisch 38 gehalten ist. Ferner beinhaltet die Reinigungseinheit 36 eine Trocknungsdüse 42 zum Entfernen einer Reinigungsflüssigkeit, die an dem Werkstück 1 anhaftet, und Trocknen des Werkstücks 1 nach dem Reinigen des Werkstücks 1. Die Reinigungsdüse 40 und die Trocknungsdüse 42 sind mit einem oberen Ende eines Schaftabschnitts verbunden, der sich entlang der Z-Achsenrichtung an der äußeren umfänglichen Seite des Einspanntischs 38 erstreckt, und durch Drehen des Wellenabschnitts können diese über den Einspanntisch 38 bewegt werden.As in 2 shown includes the cleaning unit 36 a cleaning nozzle 40 for ejecting a cleaning liquid from above the workpiece 1 that on the chuck table 38 is held. The cleaning unit also includes 36 a drying nozzle 42 to remove a cleaning fluid on the workpiece 1 adheres and the workpiece dries 1 after cleaning the workpiece 1 , The cleaning nozzle 40 and the drying nozzle 42 are connected to an upper end of a shaft portion that extends along the Z-axis direction on the outer circumferential side of the chuck table 38 extends, and by rotating the shaft section, these can over the chuck table 38 be moved.

Zu dem Zeitpunkt der Reinigungsbehandlung des geschliffenen Werkstücks 1 durch die Aufbringungseinheit 36 wird zuerst die Rahmeneinheit an dem Einspanntisch 38 befestigt und die Rahmeneinheit wird unter einem Saugen durch den Einspanntisch 38 gehalten. Als nächstes wird der Servomotor 48c betätigt, um den Einspanntisch 38 zu drehen. Dann, während eine Reinigungsflüssigkeit wie reines Wasser nach unten von der Reinigungsdüse 40 ausgestoßen wird, wird eine Ausstoßöffnung der Reinigungsdüse 40 über dem Werkstück 1 hin und her bewegt, um die Oberfläche des Werkstücks 1 durch die Reinigungsflüssigkeit zu reinigen. Danach, während ein Gas wie trockene Luft nach unten von der Trocknungsdüse 42 ausgestoßen wird, wird eine Ausstoßöffnung der Trocknungsdüse 42 über dem Werkstück 1 hin und her bewegt, um die Flüssigkeit, die an der Rahmeneinheit, die das Werkstück 1 beinhaltet, anhaftet, wegzublasen. Die Rahmeneinheit, welche das Werkstück 1 beinhaltet, die so gereinigt wird, wird von dem Einspanntisch 38 in die Kassette 8 durch die vorgenannte Trägereinheit getragen.At the time of the cleaning treatment of the ground workpiece 1 through the application unit 36 first the frame unit on the chuck table 38 attached and the frame unit is sucked through the chuck table 38 held. Next is the servo motor 48c actuated to the chuck table 38 to turn. Then while a cleaning liquid like pure water is coming down from the cleaning nozzle 40 is ejected, an ejection opening of the cleaning nozzle 40 over the workpiece 1 moved back and forth to the surface of the workpiece 1 to be cleaned by the cleaning liquid. After that, while a gas like dry air down from the drying nozzle 42 is ejected, an ejection opening of the drying nozzle 42 over the workpiece 1 moved back and forth to the liquid on the frame unit holding the workpiece 1 involves, clinging to blowing away. The frame unit, which is the workpiece 1 includes that is cleaned by the chuck table 38 into the cassette 8th carried by the aforementioned carrier unit.

Wie in 1 dargestellt, ist ein berührungsempfindlicher Anzeigemonitor 44 an einer Seitenoberfläche des Gehäuses 4d der Behandlungsvorrichtung 2 bereitgestellt. Der Gegenstand der Behandlung, die durch die Behandlungsvorrichtung 2 durchgeführt wird, der Zustand des Fortschritts der Behandlung oder dergleichen werden an dem Anzeigemonitor 44 angezeigt. Zusätzlich, wenn eine seltene Situation in der Behandlungsvorrichtung 2 generiert wird, wird ein Alarm an dem Anzeigemonitor 44 angezeigt. Ferner kann der Bediener der Behandlungsvorrichtung 2 oder eine andere Person verschiedene Instruktionen in die Behandlungsvorrichtung 2 unter Verwendung des Anzeigemonitors 44 eingeben. Eine Alarmleuchte 46 ist an einer oberen Oberfläche des Gehäuses 4d in der Behandlungsvorrichtung 2 bereitgestellt. Die Alarmleuchte 46 beinhaltet zum Beispiel eine grüne Lampe und eine rote Lampe. In dem Fall, in dem die Behandlungsvorrichtung 2 keine Ausnahmesituation aufweist und geeignet betätigt wird, schaltet die Alarmleuchte 46 die grüne Leuchte ein. Wenn eine nicht normale Situation in der Behandlungsvorrichtung 2 auftritt, wird die rote Lampe eingeschaltet, um den Bediener der Behandlungsvorrichtung 2 oder eine andere Person zu warnen. Beachte, dass der Anzeigemonitor 44 und die Alarmleuchte 46 auch als ein Berichtabschnitt dienen, der durch eine Bestimmungseinheit 50, die später beschrieben wird, verwendet wird.As in 1 shown is a touch-sensitive display monitor 44 on one side surface of the housing 4d the treatment device 2 provided. The subject of treatment by the treatment device 2 is performed, the state of progress of the treatment or the like is displayed on the display monitor 44 displayed. In addition, if a rare situation in the treatment device 2 an alarm is generated on the display monitor 44 displayed. Furthermore, the operator of the treatment device 2 or another person has various instructions in the treatment device 2 using the display monitor 44 enter. An alarm lamp 46 is on an upper surface of the case 4d in the treatment device 2 provided. The alarm lamp 46 includes, for example, a green lamp and a red lamp. In the case where the treatment device 2 has no exceptional situation and is operated appropriately, the alarm light switches 46 the green light on. If an abnormal situation in the treatment device 2 occurs, the red lamp is turned on to the operator of the treatment device 2 or to warn another person. Note that the display monitor 44 and the alarm light 46 also serve as a reporting section by a determination unit 50 which will be described later is used.

Die Einspanntische 12 und 38, die an der Behandlungsvorrichtung 2 befestigt werden können, sind austauschbar und ein geeigneter wird durch den Bediener, den Vorgesetzten oder dergleichen der Behandlungsvorrichtung 2 entsprechend der Größe, Form und dergleichen des Werkstücks 1 ausgewählt und an der Behandlungsvorrichtung 2 befestigt. In 1 ist ein Einspanntisch 12c dargestellt, der austauschbar mit dem Einspanntisch 12 ist und sich von dem Einspanntisch 12 in der Größe der Halteoberfläche 12a unterscheidet. Zusätzlich in 1 ist der Einspanntisch 54, der mit dem Einspanntisch 38 austauschbar ist und sich von dem Einspanntisch 38 in der Größe der Halteoberfläche 38a unterscheidet, dargestellt. 3A ist eine Schnittansicht, die schematisch den Einspanntisch 38 darstellt, der in der Öffnung 4c der Basis 4 fixiert ist, und 3B ist eine Schnittansicht, die schematisch den anderen Einspanntisch 54 darstellt. Zum Beispiel ist der Einspanntisch 38 ein Einspanntisch zum Halten eines scheibenförmigen Werkstücks 1, das einen Durchmesser von 300 mm aufweist und der Einspanntisch 54 ist ein Einspanntisch zum Halten eines scheibenförmigen Werkstücks 1, das einen Durchmesser von 8 Zoll aufweist. Wie in 3A und 3B dargestellt, ist der ausgewählte Einspanntisch 38 oder 54 an der Tischbasis 48a befestigt.The clamping tables 12 and 38 attached to the treatment device 2 can be fastened, are interchangeable and a suitable one by the operator, the supervisor or the like of the treatment device 2 according to the size, shape and the like of the workpiece 1 selected and at the treatment device 2 attached. In 1 is a chuck table 12c shown, which is interchangeable with the chuck table 12 is and away from the chuck table 12 in the size of the holding surface 12a different. Additionally in 1 is the chuck table 54 that with the chuck table 38 is interchangeable and away from the chuck table 38 in the size of the holding surface 38a differentiates, shown. 3A is a sectional view schematically illustrating the chuck table 38 that is in the opening 4c the base 4 is fixed, and 3B is a sectional view schematically the other chuck table 54 represents. For example, the chuck table 38 a chuck table for holding a disk-shaped workpiece 1 , which has a diameter of 300 mm and the clamping table 54 is a chuck table for holding a disc-shaped workpiece 1 which has a diameter of 8 inches. As in 3A and 3B shown, is the selected chuck table 38 or 54 at the table base 48a attached.

In dem Fall, in dem der Bediener oder der Vorgesetzte der Behandlungsvorrichtung 2 einen Fehler beim Auswählen des Einspanntischs macht und ein ungeeigneter Einspanntisch an der Behandlungsvorrichtung 2 montiert wird, wird das Werkstück 1 nicht geeignet gehalten. Falls das Werkstück 1 nicht geeignet gehalten ist, kann nicht nur eine vorbestimmte Behandlung an dem Werkstück 1 nicht durchgeführt werden sondern eine unerwartete Erschütterung oder dergleichen können auf das Werkstück 1 durch eine Behandlung einwirken, was in einer Beschädigung des Werkstücks 1 resultiert. Jedoch, falls Mitarbeiter zum Bestätigen hinzugeholt werden oder die Behandlungsvorrichtung 2 im großen Maßstab mit Bestätigungsmechanismen versehen wird, um ein falsches Befestigen des Einspanntischs zu verhindern, würden die Behandlungskosten des Werkstücks durch die Behandlungsvorrichtung 2 erhöht werden.In the case where the operator or the supervisor of the treatment device 2 makes a mistake when selecting the chuck table and an unsuitable chuck table on the treatment device 2 is assembled, the workpiece 1 not considered suitable. If the workpiece 1 is not considered suitable, not only a predetermined treatment on the workpiece 1 not carried out but an unexpected vibration or the like can hit the workpiece 1 act through a treatment, resulting in damage to the workpiece 1 results. However, if employees are brought in for confirmation or the treatment device 2 is provided on a large scale with confirmation mechanisms to prevent incorrect mounting of the chuck table, the treatment cost of the workpiece would be by the treatment device 2 increase.

Darum ist in der Behandlungsvorrichtung 2 in der vorliegenden Ausführungsform eine Bestimmungseinheit zum Bestimmen der Art des Einspanntischs, der an der Tischbasis 48a befestigt ist, bereitgestellt. Das Gewicht und die Form des Einspanntischs unterscheiden sich auf der Basis der Art des Einspanntischs. Darum, wenn der Motortreiber 52 gesteuert wird, um den Einspanntisch mit einer vorbestimmten Geschwindigkeit zu drehen, unterscheidet sich ein durch den Motortreiber 52 angelegtes Drehmoment in Abhängigkeit von der Art des Einspanntischs. Zum Beispiel werden Drehmomente, die durch den Motortreiber 52 angelegt werden, vorher auf Basis der Art des Einspanntischs aufgenommen. Dann durch Zuordnen der Drehmomente, die durch den Motortreiber 52 angelegt werden, wenn der Einspanntisch als ein Ziel, das bestimmt werden soll, gedreht wird, mit jedem der aufgenommenen Drehmomente, ist es möglich, die Art des Einspanntischs zu bestimmen. Der Bestimmungsabschnitt, der in der Behandlungsvorrichtung 2 enthalten ist, wird unter Zuhilfenahme von 3A und 3B als Beispiele beschrieben. 3A und 3B stellen jeweils ein Beispiel der Konfiguration der Bestimmungseinheit 50, die mit dem Motortreiber 52 verbunden ist, dar, welche die Drehung des Servomotors 48c steuert. Die Bestimmungseinheit 50 beinhaltet zum Beispiel einen Drehmomentaufnahmeabschnitt 50a, einen Bestimmungsabschnitt 50b und einen Berichtabschnitt, der das Ergebnis der Bestimmung berichtet, die durch den Bestimmungsabschnitt 50b durchgeführt wurde.That is why in the treatment device 2 in the present embodiment, a determining unit for determining the kind of the chuck table attached to the table base 48a is attached, provided. The weight and shape of the chuck differ based on the type of chuck table. Therefore, if the motor driver 52 is controlled to rotate the chuck table at a predetermined speed, a different by the motor driver 52 applied torque depending on the type of chuck table. For example, torques generated by the motor driver 52 previously created based on the type of chuck table. Then by assigning the torques generated by the motor driver 52 when the chuck table is rotated as a target to be determined with each of the picked-up torques, it is possible to determine the kind of the chuck table. The determining section used in the treatment device 2 is included with the help of 3A and 3B described as examples. 3A and 3B each represent an example of the configuration of the determination unit 50 that with the motor driver 52 is connected, representing the rotation of the servomotor 48c controls. The determination unit 50 For example, includes a torque receiving portion 50a , a determination section 50b and a report section that reports the result of the determination made by the determining section 50b was carried out.

In dem Drehmomentbestimmungsabschnitt 50a wird das Drehmoment, das durch den Servomotor 48c angelegt wird, wenn die Tischbasis 48b gedreht wird, auf Basis der Art des Einspanntischs, der an der Tischbasis 48a befestigt ist, aufgenommen. Zum Beispiel werden verschiedene Arten von Einspanntischen jeweils an der Tischbasis 48a befestigt und in jedem Fall wird die Tischbasis 48a auf mit einer vorbestimmten Beschleunigung beschleunigt, bis eine vorbestimmte Drehgeschwindigkeit erreicht wird, wird danach mit der vorbestimmten Drehgeschwindigkeit gedreht und dann mit einer vorbestimmten Beschleunigung abgebremst, bis sie anhält. In diesem Fall wird das Drehmoment, das durch den Servomotor 48c angelegt wird, durch den Motortreiber 52 detektiert und durch den Drehmomentaufnahmeabschnitt 50a aufgenommen.In the torque determination section 50a is the torque generated by the servomotor 48c is created when the table base 48b is rotated, based on the type of chuck table at the table base 48a is attached, added. For example, different types of chuck tables are each at the table base 48a attached and in any case, the table base 48a is accelerated at a predetermined acceleration until a predetermined rotational speed is reached, is thereafter rotated at the predetermined rotational speed and then decelerated at a predetermined acceleration until it stops. In this case, the torque generated by the servomotor 48c is created by the motor driver 52 detected and by the torque receiving portion 50a added.

4 stellt einen Graphen 52a, der die Beziehung der Drehgeschwindigkeit der Tischbasis 48a und der Zeit darstellt, und Graphen 56a und 56b dar, welche die Beziehung zwischen den Drehmomenten, die durch den Servomotor 48c angelegt werden, und der Zeit als Beispiele der Drehmomente, die durch den Drehmomentaufnahmeabschnitt 50a aufgenommen werden, dar. Zum Beispiel ist der Graph 56a ein Graph, der die Beziehung zwischen dem Drehmoment, das durch den Servomotor 48c angelegt wird, und der Zeit in dem Fall, in dem Tischbasis 48a mit dem Einspanntisch 38, der daran befestigt ist, beschleunigt, gedreht und abgebremst wird, wie in Graph 52a dargestellt. Zusätzlich ist der Graph 56b ein Graph, der die Beziehung zwischen dem Drehmoment, das durch den Servomotor 48c angelegt wird, und der Zeit darstellt, in dem Fall, in dem die Tischbasis 48a mit dem Einspanntisch 54 daran befestigt beschleunigt, gedreht und abgebremst in der gleichen Weise wie oben wird. 4 represents a graph 52a that determines the relationship of the rotation speed of the table base 48a and time, and graphs 56a and 56b representing the relationship between the torques generated by the servomotor 48c and time as examples of the torques generated by the torque receiving section 50a For example, the graph is 56a a graph showing the relationship between the torque generated by the servomotor 48c and the time in the case, in the table base 48a with the chuck table 38 which is attached to it, accelerated, rotated and decelerated, as in graph 52a shown. In addition, the graph 56b a graph showing the relationship between the torque generated by the servomotor 48c is created, and time represents, in the case where the table base 48a with the chuck table 54 attached to it accelerates, turns and brakes in the same way as above.

Die Bestimmung, die durch den Bestimmungsabschnitt 50b durchgeführt wurde, der in der Bestimmungseinheit 50 enthalten ist, wird beschrieben. Der Bestimmungsabschnitt 50b steuert den Motortreiber 52 in einer solchen Weise, dass er eine vorbestimmte Drehgeschwindigkeit der Tischbasis 48a dreht, an welcher der Einspanntisch als ein Objekt, das bestimmt werden soll, befestigt ist. Das Drehmoment, das durch den Servomotor 48c in diesem Fall angelegt wird, wird gemessen und das Drehmoment, das so gemessen wird, wird mit jedem der Drehmomente, die in dem Drehmomentaufnahmeabschnitt 50a aufgenommen sind, verglichen. Zum Beispiel wird das Drehmoment, das während einer Beschleunigungsphase 52b, bis die Tischbasis 48a eine vorbestimmte Drehgeschwindigkeit erreicht, beobachtet wird, oder das Drehmoment, das während einer Bremsphase 52c bis die Tischbasis 48a von einer vorbestimmten Drehgeschwindigkeit angehalten ist, beobachtet wird, mit jedem der Drehmomente, die in dem Drehmomentaufnahmeabschnitt 50a aufgenommen sind, verglichen. Dann aus den aufgenommenen Drehmomenten in dem Drehmomentaufnahmeabschnitt 50b wird das Drehmoment, das mit dem aufgenommenen Drehmoment zusammenfällt, extrahiert. Die Art des Einspanntischs als das Objekt, das bestimmt werden soll, wird als der Einspanntisch derart bestimmt, der an der Tischbasis 48a befestigt ist, wenn das extrahierte Drehmoment beobachtet wurde.The determination made by the determining section 50b performed in the destination unit 50 is included is described. The determination section 50b controls the motor driver 52 in such a way that it has a predetermined rotational speed of the table base 48a rotates, at which the chuck table is attached as an object to be determined. The torque generated by the servomotor 48c is applied in this case is measured and the torque thus measured, with each of the torques in the torque receiving portion 50a are compared. For example, the torque that is during an acceleration phase 52b until the table base 48a reaches a predetermined rotational speed is observed, or the torque, during a braking phase 52c until the table base 48a is stopped from a predetermined rotational speed is observed with each of the torques in the torque receiving portion 50a are compared. Then from the absorbed torques in the torque receiving portion 50b is the torque that coincides with the absorbed torque, extracted. The kind of the chuck table as the object to be determined is determined to be the chuck table at the table base 48a is fixed when the extracted torque has been observed.

Beachte, dass von dem Standpunkt der Effizienz der Behandlung in der Behandlungsvorrichtung 2 eine Verbesserung des Servomotors 48c dahingehend durchgeführt wurde, dass eine Reibung, die durch die Drehung des Servomotors 48c generiert wird, reduziert ist. Darum wird das Drehmoment, das beobachtet wird, wenn der Servomotor 48c mit einer vorbestimmten Drehgeschwindigkeit gedreht wird, extrem klein und nicht geeignet als ein Drehmoment, das für eine Zuordnung verwendet wird. Andererseits sind die Drehmomente, die während der Beschleunigungsphase 52b und der Bremsphase 52c der Tischbasis 48a beobachtet werden, relativ groß, wobei das Signal zu Rauschverhältnis (S/N) gut ist, warum diese als Drehmomente, die zum Zeitpunkt der Zuordnung verwendet werden, bevorzugt sind. Insbesondere in dem Fall, in dem das Drehmoment, das während der Beschleunigungsphase 52b durch den Bestimmungsabschnitt 50b durch den Motortreiber 52 beobachtet wird, und das Drehmoment, das während der Bremsphase 52c beobachtet wird, beide gemessen werden und der Unterschied zwischen diesen Drehmomenten bewertet wird, ist das S/N-Verhältnis besonders gut und die Genauigkeit der Zuordnung extrem hoch. Zum Beispiel wie in 4 dargestellt ist ein Unterschied 58a zwischen den Drehmomenten in dem Graphen 56a und ein Unterschied 58b zwischen Drehmomenten in dem Graphen 56b zueinander extrem unterschiedlich. Darum tritt eine Fehlbestimmung zum Zeitpunkt des Bestimmens der Art des Einspanntischs selten auf.Note that from the standpoint of treatment efficiency in the treatment device 2 an improvement in the servo motor 48c was carried out in that a friction caused by the rotation of the servo motor 48c is generated, is reduced. This is why the torque that is observed when the servo motor 48c is rotated at a predetermined rotational speed, extremely small and unsuitable as a torque used for assignment. On the other hand, the torques are during the acceleration phase 52b and the braking phase 52c the table base 48a are observed, relatively large, the signal to noise ratio (S / N) being good, why these are preferred as the torques used at the time of the assignment. Especially in the case where the torque generated during the acceleration phase 52b through the determination section 50b by the motor driver 52 is observed and the torque during the braking phase 52c is observed, both are measured and the difference between these torques is assessed, the S / N ratio is particularly good and the accuracy of the assignment is extremely high. For example like in 4 a difference is shown 58a between the torques in the graph 56a and a difference 58b between torques in the graph 56b extremely different from each other. Therefore, an erroneous determination rarely occurs at the time of determining the type of the chuck table.

Eine Information über die Art des Einspanntischs, der durch den Bestimmungsabschnitt 50b bestimmt wird, wird zum Beispiel zu dem Anzeigemonitor 44 gesendet, der an dem Gehäuse 4d der Behandlungsvorrichtung 2 befestigt ist, um an dem Anzeigemonitor 44 angezeigt zu werden. Zum Beispiel kann der Bediener der Behandlungsvorrichtung 2 oder eine andere Person die Art des Einspanntischs, der an der Tischbasis 48a befestigt ist, durch Überprüfen des Anzeigemonitors 44 bestätigen. Anders ausgedrückt kann der Anzeigemonitor 44 als ein Berichtsabschnitt dienen, der die Bestimmungseinheit 50 ausbildet. Alternativ wird die Information zu einer Steuerungseinheit (nicht dargestellt) gesendet, welche jede der Komponente der Behandlungsvorrichtung 2 steuert. Der Inhalt der Behandlung, die durchgeführt werden soll, durch die Behandlungsvorrichtung 2 wird vorläufig gespeichert; zum Beispiel wird eine Information wie die Größe des Werkstücks 1 gespeichert. Dann kann die Steuerungseinheit bestimmen, ob die Art des Einspanntischs, die an der Tischbasis für 48a befestigt ist, ein Einspanntisch ist, der geeignet zum Halten des Werkstücks 1 ist. Zum Beispiel in dem Fall, in dem bestimmt wird, dass ein nicht geeigneter Einspanntisch an der Behandlungsvorrichtung 2 befestigt ist, kann die rote Lampe der Alarmleuchte 46, die an dem Gehäuse 4d angeordnet ist, eingeschaltet werden, um den Bediener der Behandlungsvorrichtung 2 oder einer anderen Person zu warnen. Anders ausgedrückt kann die Alarmleuchte 46 als ein Berichtsabschnitt dienten, der die Bestimmungseinheit 50 ausbildet.Information about the type of the chuck table by the determination section 50b is determined, for example, becomes the display monitor 44 sent to the housing 4d the treatment device 2 is attached to the display monitor 44 to be displayed. For example, the operator of the treatment device 2 or another person the type of chuck table that is on the table base 48a is attached by checking the display monitor 44 to confirm. In other words, the display monitor can 44 serve as a reporting section that the destination unit 50 formed. Alternatively, the information is sent to a control unit (not shown), which is each of the components of the treatment device 2 controls. The content of the treatment to be performed by the treatment device 2 is temporarily saved; for example, information such as the size of the workpiece 1 saved. Then the control unit can determine whether the type of chuck table that is on the table base for 48a is fixed, a clamping table, which is suitable for holding the workpiece 1 is. For example, in the case where it is determined that an unsuitable chuck table on the treatment device 2 is attached, the red lamp of the alarm light 46 that on the housing 4d is arranged to be turned on to the operator of the treatment device 2 or to warn another person. In other words, the alarm lamp 46 served as a reporting section that the destination unit 50 formed.

Wie oben beschrieben beinhaltet die Behandlungsvorrichtung 2 entsprechend der vorliegenden Ausführungsform den Bestimmungsabschnitt 50 und ist darum dazu geeignet, automatisch die Art des Einspanntischs, der befestigt ist, zu bestimmen. Darum in dem Fall, in dem eine falsche Art des Einspanntischs befestigt ist, kann ein Alarm an den Bediener der Behandlungsvorrichtung 2 oder eine andere Person ausgegeben werden, bevor eine Behandlung des Werkstücks 1 durch die Behandlungsvorrichtung 2 durchgeführt wird. Aus diesem Grund wird die Behandlung des Werkstücks 1 nicht in einem Zustand durchgeführt, in dem die falsche Art des Einspanntischs an der Tischbasis 48a befestigt ist. Zum Bestimmen der Art des Einspanntischs reicht es aus, die Bestimmungseinheit 50 mit dem Motortreiber 52, der den Servomotor 48c steuert, zu verbinden, und andere mechanische Konfigurationen sind nicht notwendig. Darum kann die Bestimmung der Art des Einspanntischs günstig durchgeführt werden.As described above, the treatment device includes 2 according to the present embodiment, the determination section 50 and therefore is capable of automatically determining the type of chuck table that is mounted. Therefore, in the case where a wrong kind of chuck table is attached, an alarm may be sent to the operator of the treatment device 2 or another person will be issued before a treatment of the workpiece 1 through the treatment device 2 is carried out. For this reason, the treatment of the workpiece 1 not performed in a condition in which the wrong type of chuck table at the table base 48a is attached. To determine the type of chuck table, it suffices to determine the determining unit 50 with the motor driver 52 that's the servomotor 48c controls, connect, and other mechanical configurations are not necessary. Therefore, the determination of the kind of the chuck table can be made favorably.

Beachte, dass die vorliegende Erfindung nicht auf die Beschreibung der obigen Ausführungsformen beschränkt ist und mit verschiedenen Modifikationen ausgeführt werden kann. Zum Beispiel während ein Fall, in dem die Behandlungseinheit die Reinigungseinheit 36 ist und die Bestimmungseinheit 50 die Art des Einspanntischs 38 bestimmt, hauptsächlich in der obigen Ausführungsform beschrieben wurde, ist ein Aspekt der vorliegenden Erfindung nicht darauf beschränkt. Zum Beispiel kann die Bestimmungseinheit mit einem Servomotor zum Drehen eines Einspanntischs 12, der unter der Schneideinheit 30 liegt, verbunden sein und kann die Art des Einspanntischs 12 bestimmen. Zusätzlich während ein Fall, in dem die Behandlungsvorrichtung 2 eine Schneidvorrichtung ist, hauptsächlich in der obigen Ausführungsform beschrieben wurde, ist ein Aspekt der vorliegenden Erfindung nicht darauf beschränkt. Zum Beispiel kann die Behandlungsvorrichtung 2 eine Schleifvorrichtung zum Schleifen eines Werkstücks, eine Laserbearbeitungsvorrichtung zum Durchführen einer Laserbearbeitung oder dergleichen sein. Ein Aspekt der vorliegenden Erfindung ist bei einer Vorrichtung anwendbar, bei der ein Einspanntisch befestigt wird, der einen Drehmechanismus zum Drehen des Einspanntischs beinhaltet.Note that the present invention is not limited to the description of the above embodiments and can be carried out with various modifications. For example, during a case where the treatment unit is the cleaning unit 36 is and the destination unit 50 the type of chuck table 38 has been described mainly in the above embodiment, one aspect of the present invention is not limited thereto. For example, the determination unit may include a servo motor for rotating a chuck table 12 that under the cutting unit 30 lies, be connected and can be the type of chuck table 12 determine. Additionally, during a case in which the treatment device 2 a cutting apparatus described mainly in the above embodiment, one aspect of the present invention is not limited thereto. For example, the treatment device 2 a grinding apparatus for grinding a workpiece, a laser processing apparatus for performing laser processing, or the like. One aspect of the present invention is applicable to a device in which a chuck table is mounted, which includes a rotation mechanism for rotating the chuck table.

Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird durch die angehängten Ansprüche definiert und alle Änderungen und Modifikation, die in den Umfang der Ansprüche fallen, werden dadurch durch die Erfindung umfasst. The present invention is not limited to the details of the preferred embodiment described above. The scope of the invention is defined by the appended claims, and all changes and modifications which fall within the scope of the claims are thereby covered by the invention.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturPatent literature cited

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Claims (3)

Behandlungsvorrichtung, umfassend: einen Einspanntisch, der eine Halteoberfläche aufweist, die ein Werkstück daran befestigt und das Werkstück hält; eine Tischbasis, an welcher der Einspanntisch lösbar fixiert ist; einen Servomotor, der die Tischbasis um eine Drehachse entlang einer Richtung senkrecht zu der Halteoberfläche des Einspanntischs, der an der Tischbasis befestigt ist, dreht; eine Behandlungseinheit, welche das Werkstück, das durch den Einspanntisch gehalten ist, behandelt; und einen Bestimmungsabschnitt, welche die Art des Einspanntischs, der an der Tischbasis befestigt ist, bestimmt, wobei der Bestimmungsabschnitt beinhaltet einen Drehmomentaufnahmeabschnitt, in dem ein Drehmoment, das durch den Servomotor beim Drehen der Tischbasis angelegt wird, auf Basis der Art des Einspanntischs, der an der Tischbasis befestigt ist, aufgenommen ist, einen Bestimmungsabschnitt, der ein Drehmoment, das durch den Servomotor beim Drehen der Tischbasis mit dem Einspanntisch daran befestigt angelegt wird, misst und das gemessene Drehmoment mit jedem der Drehmomente, die in dem Drehmomentaufnahmeabschnitt aufgenommen sind, vergleicht, um dadurch die Art des Einspanntischs zu bestimmen, und einen Berichtabschnitt, der ein Ergebnis der Bestimmung, die durch den Bestimmungsabschnitt durchgeführt wird, berichtet.Treatment device comprising: a chuck table having a holding surface that fixes a workpiece thereon and holds the workpiece; a table base on which the chuck table is detachably fixed; a servo motor that rotates the table base about an axis of rotation along a direction perpendicular to the holding surface of the chuck table attached to the table base; a treatment unit that treats the workpiece held by the chuck table; and a determination section that determines the type of the chuck table attached to the table base, the determination section including a torque receiving section in which a torque applied by the servo motor when rotating the table base is received based on the type of the chuck table attached to the table base, a determination section that measures a torque applied by the servo motor when the table base is rotated with the chuck table attached thereto, and compares the measured torque with each of the torques received in the torque receiving section to thereby determine the type of the chuck table , and a report section that reports a result of the determination made by the determination section. Die Behandlungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Drehmoment, das durch den Bestimmungsabschnitt gemessen wird, eins oder beides eines Drehmoments während einer Beschleunigung, bis der Einspanntisch eine vorbestimmte Drehgeschwindigkeit erreicht, und eines Drehmoments während einer Bremsung, bis Einspanntisch von der vorbestimmten Drehgeschwindigkeit angehalten ist, ist.The treatment device after Claim 1 wherein the torque measured by the determination section is one or both of a torque during acceleration until the chuck table reaches a predetermined rotating speed and a torque during braking until the chuck table is stopped from the predetermined rotating speed. Behandlungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Behandlungseinheit eine Reinigungseinheit, die das Werkstück reinigt, ist.Treatment device after Claim 1 or 2 , wherein the treatment unit is a cleaning unit that cleans the workpiece.
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