DE102019206653B4

DE102019206653B4 - Transportverfahren und Transportsystem

Info

Publication number: DE102019206653B4
Application number: DE102019206653.4A
Authority: DE
Inventors: Stephan Schauz; Kurt Stoll
Original assignee: Festo SE and Co KG
Current assignee: Festo SE and Co KG
Priority date: 2019-05-08
Filing date: 2019-05-08
Publication date: 2021-08-12
Anticipated expiration: 2039-05-09
Also published as: DE102019206653A1

Abstract

Transportverfahren, umfassend die Schritte:- Durchführen (S1) einer Transportbewegung eines Transportobjekts (1) entlang einer ersten Transportstrecke (5) von einer Transportposition hin zu einer Zielposition an einer Zielstation (4), wobei das Transportobjekt (1) während der Transportbewegung mit einem Supraleiterlager (6) gelagert wird,- Bereitstellen (S2) eines ersten Fluidlagers (12) an der Zielstation (4), und- unter Verwendung des Supraleiterlagers (6), Durchführen (S3) einer Fixierbewegung des Transportobjekts (1) relativ zum ersten Fluidlager (12) von der Zielposition in eine Fixierposition, in der das Transportobjekt (1) von dem ersten Fluidlager (12) gelagert wird.

Description

Die Erfindung betrifft ein Transportverfahren, umfassend den Schritt: Durchführen einer Transportbewegung eines Transportobjekts, insbesondere eines Werkstückträgers und/oder eines Werkstücks, entlang einer ersten Transportstrecke von einer Transportposition hin zu einer Zielposition an einer Zielstation, wobei das Transportobjekt während der Transportbewegung mit einem Supraleiterlager insbesondere schwebend gelagert wird.
Die DE 10 2018 202 543 A1 betrifft eine Trageinrichtung, mit einer Magnetanordnung, die aus mehreren längs eines Bewegungswegs aufgereihten Magnetmitteln gebildet ist, die jeweils für eine Bereitstellung eines magnetischen Flusses an einer Oberfläche der Magnetanordnung ausgebildet sind, um durch eine kontaktlose magnetische Wechselwirkung mit einem Tragmittel jeweils einen Tragabstand zwischen dem Tragmittel und der Oberfläche zu bestimmen. Wenigstens eines der Magnetmittel umfasst eine linearbeweglich an einem Führungsmittel gelagerte Permanentmagnetanordnung, die dazu ausgebildet ist, in einer Funktionsstellung an der Oberfläche einen ersten, für die Einhaltung des Tragabstands erforderlichen magnetischen Fluss bereitzustellen und in einer Ruhestellung an der Oberfläche einen zweiten magnetischen Fluss bereitzustellen, der geringer als der erste magnetische Fluss ist, wobei die Permanentmagnetanordnung zusammen mit dem Führungsmittel eine Verriegelungseinrichtung für eine zeitweilige Verriegelung der Permanentmagnetanordnung in der Funktionsstellung und/oder in der Ruhestellung bildet.
Die WO 2016/ 184 517 A1 beschreibt eine Fördereinrichtung zur kontaktlosen Förderung von Transportgütern, mit einem Transportmittel, das für eine Zuordnung zu einem Transportgut ausgebildet ist und mit einer Führungsanordnung, die zur kontaktlosen Führung des Transportmittels längs einer Transportstrecke ausbildet ist, wobei das Transportmittel wenigstens eine Magneteinrichtung, insbesondere einen Permanentmagneten, umfasst und wobei die Führungsanordnung wenigstens einen Supraleiter umfasst, wobei der Führungsanordnung wenigstens eine Kühleinrichtung zugeordnet ist, die für eine Kühlung des Supraleiters zur Bereitstellung von supraleitenden Eigenschaften für eine kontaktlose Beabstandung des Transportmittels ausgebildet ist. Der Supraleiter weist in zwei senkrecht zueinander ausgerichteten Raumrichtungen jeweils eine Erstreckung auf, die größer als eine Erstreckung des Transportmittels in den jeweiligen Raumrichtungen ist, um eine frei wählbare Gestaltung der Transportstrecke zu ermöglichen.
Die DE 10 2012 002 266 A1 beschreibt eine Linearführung, bei welcher ein Läufer durch Lorentzkräfte reibungsfrei schwebend auf seinem Stator geführt wird. Permanentmagnetreihen, die in Polarisationsrichtung ähnlich eines Halbach-Arrays im Stator eingebracht sind, erzeugen über Eisenrückschlüsse einen magnetischen Induktionsverlauf im Luftspalt so, dass läuferseitige stromdurchflossene Tragspulen vertikale Tragkräfte und in deren Wickelfenster eingebrachte Führspulen seitliche Führkräfte erfahren. Geeignete Verschaltung und Ansteuerung der Spulen unter Berücksichtigung von fünf unabhängigen Sensorsignalen, die die räumliche Lage des Läufers in 3 rotatorischen und 2 linearen Freiheitsgraden messen, ermöglichen einen aktiv geregelten Schwebezustand des Läufers. Permanentmagnete im Wickelfenster der Führspulen kompensieren zusätzlich die Gewichtskraft des Läufers.
Eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Transportverfahren bereitzustellen, mit dem ein effizienter Transport des Transportobjekts möglich ist und mit dem an der Zielstation eine örtliche genau definierte Lagerung erzielt werden kann.
Die Aufgabe wird gelöst durch das Transportverfahren gemäß Anspruch 1. Das Transportverfahren umfasst die zusätzlichen Schritte: Bereitstellen eines ersten Fluidlagers an der Zielstation, und, unter Verwendung des Supraleiterlagers, Durchführen einer Fixierbewegung des Transportobjekts relativ zum ersten Fluidlager von der Zielposition in eine Fixierposition, in der das Transportobjekt von dem ersten Fluidlager gelagert wird.
An der Zielstation erfolgt also eine Lagerung des Transportobjekts mit einem ersten Fluidlager, insbesondere einem Luftlager. Mit einem Fluidlager lässt sich im Vergleich zu einem Supraleiterlager eine Lagerung des Transportobjekts mit einer höheren Steifigkeit erzielen. Dadurch kann an der Zielstation eine örtlich genau definierte Lagerung des Transportobjekts gewährleistet werden, die insbesondere bei einer Positionierung und/oder Bearbeitung des Transportobjekts an der Zielstation von Vorteil ist.
Durch die Verwendung des Supraleiterlagers während des Transports des Transportobjekt bis in den Wirkbereich des Fluidlagers - also während der Durchführung der Transportbewegung und der Fixierbewegung - kann ein effizienter Betrieb erzielt werden. Das Supraleiterlager verbraucht im Gegensatz zum Fluidlager zweckmäßigerweise keinen Fluid. Ferner stellt das Supraleiterlager geringere Anforderungen an die Oberflächenrauheit. Das Supraleiterlager kann daher in effizienter Weise auch bei größeren Streckenlängen und Unebenheiten eingesetzt werden.
Das Transportverfahren wird zweckmäßigerweise für eine Anwendung eingesetzt, die einen schwebenden Transport mit einer zusätzlich örtlich genau definierten schwebenden Lagerung (zum Beispiel zur örtlichen Bearbeitung) benötigt. Bei dem Transportverfahren werden die beiden Schwebetechnologien - Supraleiterlagerung und fluidische Lagerung - kombiniert. Über die Supraleiterlagerung wird der Transport zwischen den gewünschten Örtlichkeiten - insbesondere hin zur Zielstation - gewährleistet. Durch das Fluidlager wird die örtliche, präzise Positionierung und Federsteifigkeit erreicht.
Durch das beschriebene Transportverfahren kann also in effizienter Weise eine kontaktlose Zuführung und Positionierung des Transportobjekts auf eine definierte, schwebende Position - die Fixierposition - auf dem ersten Fluidlager erzielt werden. Durch die Bereitstellung beider Lager - des Supraleiterlagers und des ersten Fluidlagers - ist insbesondere eine bedarfsgerechte Kombination von verschiedenen Federfunktionen für eine Lagerung oder einen Transport des Transportobjekts möglich.
Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung wird das Transportobjekt bei der Fixierbewegung hin zu dem ersten Fluidlager abgesenkt, insbesondere in den Wirkbereich des ersten Fluidlagers. Die Absenkung des Transportobjekts erfolgt insbesondere dadurch, dass das Supraleiterlager, das das Transportobjekt lagert, abgesenkt wird.
In der Fixierposition wird das Transportobjekt zweckmäßigerweise von dem ersten Fluidlager und dem Supraleiterlager gleichzeitig gelagert.
Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung lagern das Supraleiterlager und das erste Fluidlager das Transportobjekt in der Fixierposition in entgegengesetzte Richtungen, so dass das Transportobjekt in der Fixierposition von dem ersten Supraleiterlager und dem Fluidlager eingespannt wird. Durch diese Einspannung kann das Transportobjekt in der Fixierposition fixiert werden. Die Einspannung wird insbesondere durch die Fixierbewegung hergestellt. Zweckmäßigerweise erfolgt im Rahmen der Fixierbewegung eine Richtungsänderung der Raumrichtung, in die das Supraleiterlager wirkt, wodurch die Einspannung des Transportobjekts erzielt wird. Es erfolgt also insbesondere ein kontaktloses, vorzugsweise feldbasiertes Spannen des Transportobjekts auf dem Fluidlager.
Mit der Formulierung, dass ein Lager das Transportobjekt in eine bestimmte Raumrichtung lagert, ist insbesondere gemeint, dass das Lager eine Kraft auf das Transportobjekt in diese Raumrichtung ausübt.
Vorteilhafte Weiterbildungen sind Gegenstand der Unteransprüche.
Die Erfindung betrifft ferner ein Transportsystem gemäß Anspruch 12. Das Transportsystem ist ausgebildet, das beschriebene Transportverfahren durchzuführen. Vorzugsweise ist das Transportsystem in Entsprechung zu einer beschriebenen Weiterbildung des Transportverfahrens ausgestaltet.
Weitere exemplarische Details sowie beispielhafte Ausführungsformen werden nachstehend unter Bezugnahme auf die Figuren erläutert. Dabei zeigt

1 eine schematische Darstellung eines Transportsystems gemäß einer ersten Ausführungsform, wobei sich ein Transportobjekt in einer Transportposition auf einer Transportstrecke befindet,
2 eine schematische Darstellung des Transportsystems gemäß der ersten Ausführungsform, wobei sich das Transportobjekt in einer Zielposition an einer Zielstation befindet,
3 eine schematische Darstellung des Transportsystems gemäß der ersten Ausführungsform, wobei sich das Transportobjekt in einer Fixierposition an der Zielstation befindet,
4 eine schematische Darstellung eines Transportsystems gemäß einer zweiten Ausführungsform, wobei sich das Transportobjekt in einer Zielposition an einer Zielstation befindet,
5 eine schematische Darstellung des Transportsystems gemäß der zweiten Ausführungsform, wobei sich das Transportobjekt in einer Fixierposition an der Zielstation befindet,
6 ein Flussdiagramm eines Transportverfahrens.

Bei der nachfolgenden Erläuterung wird auf die Raumrichtungen „x-Richtung“, „y-Richtung“ und „z-Richtung“ Bezug genommen. Die x-Richtung, y-Richtung und z-Richtung sind orthogonal zueinander ausgerichtet. Die x-Richtung und die z-Richtung sind in den Zeichnungen eingezeichnet; die y-Richtung verläuft normal zur Zeichnungsebene. Die x-Richtung und die y-Richtung können auch als Horizontalrichtungen bezeichnet werden und die z-Richtung als Vertikalrichtung. Vorzugsweise verläuft die z-Richtung antiparallel zur Gravitationsrichtung.
Die 1 zeigt ein Transportsystem 10 gemäß einer ersten Ausführungsform.
Das Transportsystem 10 umfasst ein Transportobjekt 1. Exemplarisch umfasst das Transportobjekt 10 einen Werkstückträger 2 und/oder ein Werkstück 3.
Das Transportsystem 10 umfasst ferner eine Zielstation 4 und eine erste Transportstrecke 5, entlang der das Transportobjekt 1 zur Zielstation 4 transportiert werden kann. Das Transportsystem 10 ist ausgebildet, eine Transportbewegung des Transportobjekts 1 entlang der Transportstrecke 5 ausgehend von einer Transportposition hin zu einer Zielposition an der Zielstation 4 durchzuführen. In der 1 ist das Transportobjekt 1 in der Transportposition gezeigt und in der 2 ist das Transportobjekt 1 in der Zielposition gezeigt.
Das Transportsystem 10 umfasst ferner ein Supraleiterlager 6. Das Transportobjekt 1 wird während der Transportbewegung von dem Supraleiterlager 6 gelagert. Insbesondere wird das Transportobjekt während der Transportbewegung schwebend von dem Supraleiterlager 6 gelagert.
Das Transportsystem 10 umfasst ferner ein erstes Fluidlager 12, das an der Zielstation 4 angeordnet ist. Das erste Fluidlager 12 ist insbesondere ein Luftlager.
Das Transportsystem 10 ist ausgebildet, eine Fixierbewegung des Transportobjekts 1 relativ zum ersten Fluidlager 12 von der Zielposition in eine Fixierposition durchzuführen. Die Fixierbewegung findet unter Verwendung des Supraleiterlagers 6 statt. In der Fixierposition wird das Transportobjekt 1 von dem ersten Fluidlager 12 gelagert. In der 3 ist das Transportobjekt 1 in der Fixierposition gezeigt.
Nachstehend sollen weitere exemplarische Details erläutert werden.
Das Supraleiterlager 6 umfasst eine erste Lagerkomponente 7 und eine zweite Lagerkomponente 8. Die erste Lagerkomponente 7 ist dem Transportobjekt 1 zugehörig und wird exemplarisch durch das Transportobjekt 1, beispielsweise durch den Werkstückträger 2, gebildet. Die erste Lagerkomponente 7 umfasst zweckmäßigerweise einen Magneten 17, insbesondere einen Permanentmagneten. Die zweite Lagerkomponente 8 weist zweckmäßigerweise einen Supraleiter 18 auf.
Die erste Lagerkomponente 7 ist aufgrund einer kontaktlos kraftübertragenden Kopplung zwischen dem Supraleiter 18 und dem Magneten 17 gegenüber der zweiten Lagerkomponente 8 gelagert, insbesondere schwebend gelagert. Bei der kontaktlos kraftübertragenden Kopplung handelt es sich beispielsweise um den Flux-Pinning-Effekt, der insbesondere auch als Flußverankerungseffekt bekannt ist.
Zur Nutzung des Flux-Pinning-Effekts wird in den Supraleiter 18 ein Magnetfeldlinienverlauf eines den Supraleiter 18 durchdringenden Magnetfelds eingeprägt bzw. eingespeichert. Die Einspeicherung des Magnetfeldlinienverlaufs erfolgt dadurch, dass der Supraleiter 18 dem Magnetfeld ausgesetzt wird und dann auf oder unter seine Sprungtemperatur gekühlt wird. Der mit dem Supraleiter 18 gekoppelte Magnet 17 - und damit das Transportobjekt 1 - nimmt dann relativ zu dem Supraleiter 18 diejenige Vorzugsposition ein, bei der der Magnetfeldlinienverlauf des Magneten 17 mit dem eingeprägten Magnetfeldlinienverlauf übereinstimmt bzw. dieselbe Ausrichtung wie der eingeprägte Magnetfeldlinienverlauf aufweist. Solange der Supraleiter 18 auf oder unter seine Sprungtemperatur gehalten wird, ist der gekoppelte Magnet 17 bestrebt, die Übereinstimmung zwischen ihrem Magnetfeldlinienverlauf und dem Verlauf des eingeprägten Magnetfeldlinienverlauf bzw. der Flussschläuche des Supraleiters beizubehalten. Der Supraleiter 18 umfasst insbesondere einen Supraleiter zweiter Art, zum Beispiel einen keramischen Hochtemperatursupraleiter. Beispielsweise umfasst der Supraleiter YBaCuO (Yttrium-Barium-Kupferoxid) und/oder BiSrCaCuO (Bismut-Strontium-Kalzium-Kupferoxid).
Zweckmäßigerweise ist die Kopplung zwischen dem Magneten 17 und dem Supraleiter 18 derart, dass einer Relativbewegung zwischen dem Magneten 17 und dem Supraleiter 18 eine sich aus der Kopplung ergebende Kraft entgegenwirkt. Die sich aus der Kopplung ergebende Kraft wirkt insbesondere einer Relativbewegung zwischen dem Transportobjekt 1 und der zweiten Lagerkomponente 8 entgegen. Das Supraleiterlager 6, das durch den Magneten 17 und den Supraleiter 18 gebildet wird, ist ein insbesondere ein Festlager.
Exemplarisch hält das Supraleiterlager 6 das Transportobjekt 1 in einem schwebenden Zustand, insbesondere über der zweiten Lagerkomponente 8. Ferner sorgt das Supraleiterlager 6 dafür, dass sich das Transportobjekt 1 bei einer Bewegung der zweiten Lagerkomponente 8 mit der zweiten Lagerkomponente 8 mitbewegt, zweckmäßigerweise in x-Richtung und z-Richtung, vorzugsweise in sämtliche Raumrichtungen.
Optional umfasst das Transportsystem 10 eine Trennwand, insbesondere eine Abdeckung 14, die zwischen dem Transportobjekt 1, insbesondere der ersten Lagerkomponente 7, und der zweiten Lagerkomponente 8 verläuft. Exemplarisch stellt die Abdeckung 14 eine Abdichtung und/oder Isolation zwischen einem ersten Raum, in dem sich das Transportobjekt 1 befindet, und einem zweiten Raum, in dem sich die zweite Lagerkomponente 8 befindet, bereit. Exemplarisch erstreckt sich die Abdeckung 14 entlang der ersten Transportstrecke 5 und/oder der zweiten Transportstrecke 15, insbesondere in x-Richtung. Die Abdeckung 14 erstreckt sich insbesondere horizontal und liegt vorzugsweise in einer x-y-Ebene.
Das Transportobjekt 1 ist zweckmäßigerweise in z-Richtung oberhalb der Abdeckung 14 angeordnet und die zweite Lagekomponente 8 ist zweckmäßigerweise in z-Richtung unterhalb der Abdeckung 14 angeordnet. Das Transportobjekt 1, insbesondere die erste Lagekomponente 7, wird durch das Supraleiterlager 6 schwebend gegenüber der zweiten Lagekomponente 8 gelagert. Zweckmäßigerweise schwebt das Transportobjekt 1 aufgrund der Lagerung durch das Supraleiterlager 6 in z-Richtung über der Abdeckung 14. Zwischen der Unterseite des Transportobjekts 1 und der Abdeckung 14 ist zweckmäßigerweise ein Schwebespalt vorhanden.
Das Transportsystem 10 ist insbesondere ausgebildet, dadurch die Transportbewegung des Transportobjekts 1 entlang der ersten Transportstrecke 5 durchzuführen, dass die zweite Lagerkomponente 8 parallel zur Transportstrecke 5 bewegt wird und das Transportobjekt 1 aufgrund der Lagerung durch das Supraleiterlager 6 mit der zweiten Lagerkomponente 8 mitgeführt wird. Das Transportobjekt 1 kann auf diese Weise in die Zielposition an der Zielstation 4 transportiert werden, insbesondere in einem Zustand, in dem das Transportobjekt 1 über der zweiten Lagerkomponente 8 und/oder der Abdeckung 14 schwebt.
Die erste Transportstrecke 5 verläuft insbesondere in einer horizontalen Richtung, exemplarisch in x-Richtung. Die erste Transportstrecke 5 kann einen geraden Verlauf oder einen kurvigen Verlauf aufweisen. Ferner kann die Transportstrecke 5 eine oder mehrere Richtungsänderungen aufweisen.
Vorzugsweise wird das Transportobjekt 1 entlang der ersten Transportstrecke 5 nur von dem Supraleiterlager 6 abgestützt. Zweckmäßigerweise wird das Transportobjekt 1 auf der ersten Transportstrecke 5 vor Erreichen der Zielposition, insbesondere vor Erreichen der Fixierposition, nicht von einem Fluidlager, insbesondere nicht von einem Luftlager, abgestützt. Vorzugsweise ist entlang der ersten Transportstrecke 5 kein Fluidlager, insbesondere kein Luftlager, zur Abstützung des Transportobjekts 1 vorhanden.
Optional umfasst das Transportsystem 10 ferner eine zweite Transportstrecke 15. Die zweite Transportstrecke 15 verläuft zweckmäßigerweise weg von der Zielstation 4. Beispielsweise verläuft die zweite Transportstrecke 15 hin zu einer weiteren (in den Figuren nicht gezeigten) Zielstation. Das Transportsystem 10 ist zweckmäßigerweise ausgebildet, das Transportobjekt 1 entlang der zweiten Transportstrecke 15 zu transportieren, insbesondere dadurch, dass das Transportobjekt 1 durch das Supraleiterlager 6 relativ zur zweiten Lagerkomponente schwebend gelagert wird und die zweite Lagerkomponente 8 in Richtung der zweiten Transportstrecke 15 bewegt wird. Durch das Supraleiterlager 6 wird das Transportobjekt mit der zweiten Lagerkomponente 8 mitgeführt und so entlang der zweiten Transportstrecke 15 transportiert.
Exemplarisch verfügt die zweite Lagerkomponente 8 über einen Kryostat 9, in dem der Supraleiter 18 untergebracht ist. Der Kryostat 9 ist ausgebildet, den Supraleiter 18 auf oder unter seine materialspezifische Sprungtemperatur zu kühlen. Bei dem Supraleiter 18 handelt es sich insbesondere um unbestromtes Supraleitermaterial. Der Supraleiter 18 dient, wie vorstehend erläutert, zur Bereitstellung des Flux-Pinning-Effekts. Der Supraleiter 18 ist insbesondere kein bestromter Supraleiter. Der Supraleiter 18 ist insbesondere nicht als supraleitende Spule ausgeführt.
Die zweite Lagerkomponente 8 umfasst exemplarisch ein Antriebselement 11 eines (in den Figuren nicht gezeigten) Antriebssystems. Mit dem Antriebssystem lässt sich die zweite Lagerkomponente 8 parallel zur ersten Transportstrecke 5 bewegen, um so das Transportobjekt 1 entlang der ersten Transportstrecke 5 hin zu der Zielstation 4 zu transportieren. Insbesondere lässt sich die zweite Lagerkomponente 8 entlang einer parallel zur ersten Transportstrecke 5 verlaufenden ersten Antriebsstrecke 34 und/oder entlang einer parallel zur zweiten Transportstrecke 15 verlaufenden zweiten Antriebsstrecke 35 bewegen. Zweckmäßigerweise ist das Antriebssystem ein mechanisches Antriebssystem, so dass der Antrieb der zweiten Lagerkomponente 8 parallel zur ersten Transportstrecke 5 und/oder zweiten Transportstrecke 15 vorzugsweise mechanisch erfolgt.
Die Zielstation 4 ist insbesondere als Bearbeitungsstation zur Bearbeitung des Transportobjekts 1, insbesondere des Werkstücks 3, ausgebildet. Zweckmäßigerweise umfasst die Zielstation 4 ein Werkzeug, mit dem das Transportobjekt 1, insbesondere das Werkstück 3 bearbeitet wird, wenn sich das Transportobjekt 1 in der Fixierposition befindet.
An der Zielstation 4 ist das erste Fluidlager 12 angeordnet. Das erste Fluidlager 12 ist insbesondere ein Luftlager. Das erste Fluidlager 12 erstreckt sich exemplarisch in einem x-y-Bereich und liegt insbesondere in einer x-y-Ebene. Das erste Fluidlager 12 umfasst vorzugsweise eine Mehrzahl von Fluidöffnungen, aus denen Fluid, insbesondere Luft, ausströmt, mit dem das Transportobjekt 1 abgestützt wird. Die Fluidöffnungen des ersten Fluidlagers 12 sind insbesondere in einer x-y-Ebene verteilt angeordnet.
Das erste Fluidlager 12 ist exemplarisch zwischen dem Transportobjekt 1 und der zweiten Lagerkomponente 8 angeordnet. Exemplarisch stellt das Fluidlager 12 eine Fortsetzung der Abdeckung 14 dar und/oder befindet sich auf der gleichen Höhe wie die Abdeckung 14. Alternativ zu der gezeigten Ausgestaltung kann sich die Abdeckung 14 auch bis in den Bereich der Zielstation 4 erstrecken und das erste Fluidlager 12 kann dann auf der dem Transportobjekt 1 zugehörigen Seite der Abdeckung 14 angeordnet sein, insbesondere in z-Richtung über der Abdeckung 14.
Das erste Fluidlager 12 stellt exemplarisch einen Schwebespalt - also eine Distanz zwischen der Unterseite des Transportobjekts 1 und der Oberseite des ersten Fluidlagers 12 - von größer 0 und/oder kleiner als 15 µm, insbesondere kleiner als 10 µm, bereit. Dieser Schwebespalt wird insbesondere in der Fixierposition des Transportobjekts 1 bereitgestellt.
Das Supraleiterlager 6 stellt exemplarisch einen Schwebespalt von größer 0,5 cm und/oder kleiner als 1,5 cm bereit. Dieser Schwebespalt wird insbesondere in der Transportposition und/oder der Zielposition des Transportobjekts 1 bereitgestellt.
Der von dem Supraleiterlager 6 (in der Zielposition des Transportobjekts 1) bereitgestellte Schwebespalt ist größer als der von dem ersten Fluidlager 12 (in der Fixierposition) bereitgestellte Schwebespalt, zweckmäßigerweise wenigstens um den Faktor 100, 500 oder 1000, insbesondere in z-Richtung.
Zweckmäßigerweise stellt das erste Fluidlager 12 (in der Fixierposition) eine Lagerung des Transportobjekts 1 mit einer Steifigkeit von größer als 50 N/µm und/oder kleiner als 250 µm bereit. Diese Steifigkeit wird insbesondere in der Fixierposition bereitgestellt.
Das Supraleiterlager 6 stellt insbesondere eine Steifigkeit im Bereich von N/mm bereit. Diese Steifigkeit wird insbesondere in der Transportposition und/oder der Zielposition bereitgestellt.
Die von dem ersten Fluidlager 12 (in der Fixierposition) bereitgestellte Steifigkeit ist größer als die von dem Supraleiterlager 6 (in der Zielposition) bereitgestellte Steifigkeit, insbesondere um wenigstens den Faktor 5, 10 oder 100.
Das Transportsystem 10 umfasst zweckmäßigerweise ferner eine (in den Figuren nicht gezeigte) Steuereinheit, mit der insbesondere die Transportbewegung und/oder die Fixierbewegung des Transportobjekts 1 gesteuert wird. Zweckmäßigerweise wird mit der Steuereinheit ferner die Bereitstellung, insbesondere eine Aktivierung, und/oder eine Deaktivierung des ersten Fluidlagers 12 gesteuert.
Zweckmäßigerweise ist die Steuereinheit ausgebildet, die Bewegung der zweiten Lagerkomponente 8, beispielsweise durch das erwähnte Antriebssystem, zu steuern. Zweckmäßigerweise steuert die Steuereinheit das Antriebssystem so an, dass die zweite Lagerkomponente 8 parallel zur ersten Transportstrecke bewegt wird, exemplarisch in x-Richtung, so dass das Transportobjekt 1 entlang der Transportstrecke 5 hin zu der Zielstation 4 bewegt wird. Zweckmäßigerweise steuert die Steuereinheit das Antriebsystem ferner so an, dass die zweite Lagerkomponente 8 abgesenkt wird, exemplarisch in z-Richtung, so dass das Transportobjekt 1 auf das erste Fluidlager 12 abgesenkt wird und von dem ersten Fluidlager 12 gelagert wird.
Zweckmäßigerweise ist die Steuereinheit ferner ausgebildet, die Aktivierung und/oder Deaktivierung des ersten Fluidlagers 12 zu steuern, insbesondere auf Basis der Position des Transportobjekts 1.
Im Folgenden soll auf den Betrieb des Transportsystems 10 eingegangen werden. Das Transportsystem 10 wird zweckmäßigerweise gemäß dem in der 6 gezeigten Verfahren betrieben.
Das Transportobjekt 1 befindet sich zunächst in der Transportposition auf der Transportstrecke 5. Dieser Zustand ist in der 1 gezeigt. Das Transportobjekt 1 ist in der Transportposition zweckmäßigerweise von der Zielstation 4 entfernt angeordnet. Das Transportobjekt 1 wird durch das Supraleiterlager 6 schwebend im Raum gehalten. Das Supraleiterlager 6 lagert das Transportobjekt 1 in eine erste Raumrichtung 21, die exemplarisch in z-Richtung und/oder antiparallel zur Gravitation verläuft. Vorzugsweise stützt das Supraleiterlager 6 das Transportobjekt gegenüber der Gravitation ab. Zweckmäßigerweise wird das Transportobjekt 1 nur von dem Supraleiterlager 6 gelagert. Das Transportobjekt 1 befindet sich exemplarisch freischwebend im Raum.
In diesem Zustand wird zweckmäßigerweise der Schritt S1 des in 6 gezeigten Verfahrens durchgeführt. Insbesondere wird als Schritt S1 die Transportbewegung von der Transportposition in die Zielposition durchgeführt. Exemplarisch wird zur Durchführung der Transportbewegung die zweite Lagerkomponente 2 parallel zur ersten Transportstrecke 5 bewegt. Durch das Supraleiterlager 6 wird das Transportobjekt 1 schwebend im Raum gehalten und mit der zweiten Lagerkomponente 2 mitbewegt, so dass das Transportobjekt 1 entlang der ersten Transportstrecke 5 bewegt wird. Zweckmäßigerweise wird die gesamte Transportbewegung auf diese Weise - nämlich durch Bewegung der zweiten Lagerkomponente 8, erzielt.
Das über das Supraleiterlager 6 gelagerte Transportobjekt 1 wird bei der Transportbewegung zweckmäßigerweise mit einem Abstand von mehreren mm über eine Oberfläche, insbesondere die Oberseite der Abdeckung 14, bewegt.
Das erste Fluidlager 12 ist während der Transportbewegung zweckmäßigerweise deaktiviert, so dass es insbesondere keine Energie und/oder keinen Fluid verbraucht.
Das erste Transportobjekt 1 erreicht schließlich die Zielposition an der Zielstation 4. Dieser Zustand ist in der 2 gezeigt. In der Zielposition schwebt das Transportobjekt 1 in z-Richtung über der zweiten Lagerkomponente 2 und über dem ersten Fluidlager 12. Das Supraleiterlager 6 lagert das Transportobjekt 1 in die erste Raumrichtung 21. Vorzugsweise stützt das Supraleiterlager 6 das Transportobjekt gegenüber der Gravitation ab. Zweckmäßigerweise wird das Transportobjekt 1 nur von dem Supraleiterlager 6 gelagert. Das Transportobjekt 1 befindet sich exemplarisch freischwebend im Raum.
In diesem Zustand wird vorzugsweise der Schritt S2 durchgeführt. Im Schritt S2 wird das Fluidlager 12 bereitgestellt. Zweckmäßigerweise aktiviert das Transportsystem 10 das Fluidlager 12, wenn sich das Transportobjekt 1 in der Zielposition befindet. Beispielsweise erkennt das Transportsystem mittels einer Sensoreinrichtung, dass das Transportobjekt 1 und/oder die zweite Lagerkomponente die Zielstation 4 erreicht hat und aktiviert in Ansprechen auf diese Erkennung das Fluidlager 12.
Zweckmäßigerweise ist in der Zielposition der Bereich, insbesondere der z-Bereich, in dem das Fluidlager 12 wirkt, kleiner als der durch das Supraleiterlager 6 bereitgestellte Schwebespalt zwischen dem Fluidlager 12 und der Unterseite des Transportobjekts 1. Zweckmäßigerweise erfährt das Transportobjekt 1 in der Zielposition keine Lagerung durch das aktivierte Fluidlager 12.
Zweckmäßigerweise wird ausgehend von der Zielposition der Schritt S3 durchgeführt, bei dem die Fixierbewegung des Transportobjekts 1 relativ zum ersten Fluidlager 12 durchgeführt wird. Exemplarisch wird das Transportobjekt 1 durch die Fixierbewegung in den Wirkbereich des ersten Fluidlagers 12 gebracht, so dass das Transportobjekt 1 von dem ersten Fluidlager 12 gelagert wird. Die Fixierbewegung erfolgt exemplarisch dadurch, dass das Transportobjekt 1 in Bewegung versetzt wird.
Die Fixierbewegung erfolgt exemplarisch in eine erste Bewegungsrichtung 41 mit einer ersten Bewegungsrichtungskomponente 51. Die erste Bewegungsrichtung 41 und/oder die erste Bewegungsrichtungskomponente 51 zeigen exemplarisch in die negative z-Richtung. Das Transportobjekt 1 wird durch die Fixierbewegung insbesondere in negative z-Richtung nach unten abgesenkt.
Die erste Bewegungsrichtung 41 ist zweckmäßigerweise von der Richtung der Transportbewegung verschieden. Exemplarisch ist die erste Bewegungsrichtung 41 orthogonal zur Richtung der Transportbewegung.
Die Fixierbewegung erfolgt unter Verwendung des Supraleiterlagers 6. Exemplarisch erfolgt die Fixierbewegung dadurch, dass die zweite Lagerkomponente 8 bewegt wird und dass durch das Supraleiterlager 6 das Transportobjekt 1 mit der Bewegung der zweiten Lagerkomponente 8 mitgeführt wird und so die Fixierbewegung ausführt. Exemplarisch wird die zweite Lagerkomponente 8 zur Bereitstellung der Fixierbewegung abgesenkt, insbesondere in negative z-Richtung bewegt.
Insbesondere wird die zweite Lagerkomponente 8 zur Bereitstellung der Fixierbewegung in die erste Bewegungsrichtung 41 mit der ersten Bewegungsrichtungskomponente 51 bewegt.
Das Transportobjekt 1 wird in die erste Bewegungsrichtung 41 bewegt und erreicht den Wirkbereich des Fluidlagers 12. Das Transportobjekt 1 wird im Wirkbereich des Fluidlagers 12 vom Fluidlager 12 in eine dritte Raumrichtung 23 abgestützt. Die dritte Raumrichtung 23 verläuft exemplarisch in positive z-Richtung. Über die Abstützung in die dritte Raumrichtung 23 wird das Transportobjekt 1 exemplarisch gegenüber der Gravitation abgestützt. Die dritte Raumrichtung 23 ist exemplarisch entgegengesetzt zur ersten Bewegungsrichtungskomponente 51 ausgerichtet, in die die zweite Lagerkomponente 8 und/oder das Transportobjekt 1 bewegt wird.
In dem Zustand, in dem das Transportobjekt 1 den Wirkbereich des Fluidlagers 12 erreicht, wird das Transportobjekt 1 von dem Supraleiterlager 6 und dem Fluidlager 12 gleichzeitig gelagert. Zweckmäßigerweise stützen das Supraleiterlager 6 und das Fluidlager 12 in diesem Zustand das Transportobjekt jeweils in die gleiche Raumrichtung ab. Zweckmäßigerweise sind die erste Raumrichtung 21, in die das Supraleiterlager das Transportobjekt 1 abstützt, und die dritte Raumrichtung 23, in die das Fluidlager 12 das Transportobjekt 1 abstützt, identisch und zeigen zweckmäßigerweise beide in die positive z-Richtung.
Exemplarisch ist das Transportsystem 10 ausgebildet, die Fixierbewegung zwischen dem Transportobjekt 1 und dem Fluidlager 12 fortzusetzen, beispielsweise durch fortgesetztes Absenken der zweiten Lagerkomponente 8.
Je weiter die zweite Lagerkomponente 8 in die erste Bewegungsrichtung 41 bewegt wird, insbesondere abgesenkt wird, desto größer wird der Anteil der Gewichtskraft des Transportobjekts 1, das von dem Fluidlager 12 getragen wird.
Zweckmäßigerweise wird die zweite Lagerkomponente 8 weiter in die erste Bewegungsrichtung 41 bewegt, so dass die zweite Lagerkomponente 8 einen immer kleineren Anteil der Gewichtskraft des Transportobjekts 1 erfährt, bis die zweite Lagerkomponente 8 schließlich keine Gewichtskraft des Transportobjekts 1 mehr erfährt. Zweckmäßigerweise wird in diesem Zustand die gesamte Gewichtskraft des Tranksportobjekts 1 von dem Fluidlager 12 abgestützt.
Zweckmäßigerweise wird die Fixierbewegung des Transportobjekts 1 relativ zum ersten Fluidlager 12 fortgesetzt, insbesondere durch fortgesetzte Bewegung der zweiten Lagerkomponente in die erste Bewegungsrichtung 41. Die Raumrichtung, in die das Supraleiterlager 6 das Transportobjekt 1 lagert, ändert sich nun von der ersten Raumrichtung 21 in eine zweite Raumrichtung 22. Die zweite Raumrichtung 22 zeigt in eine andere Richtung als die erste Raumrichtung 21.
Zweckmäßigerweise wechselt die von dem Supraleiterlager 6 bereitgestellte Kopplung beim Durchführen der Fixierbewegung - insbesondere beim Absenken des Transportobjekts 1 - von einem Tragfeld zu einem Zugfeld. Nachdem das erste Fluidlager 12 die Traglast von dem Supraleiterlager 6 übernommen hat, und das Supraleiterlager 6 in diesem Zustand kraftfrei ist, wird die Fixierbewegung fortgesetzt und insbesondere das Supraleiterlager 6 weiter abgesenkt. Das Transportobjekt 1 wird durch die Fixierbewegung auf das erste Luftlager 12 gezogen und somit mit einer zusätzlichen Haltekraft gesichert.
Das Transportobjekt 1 befindet sich nun zweckmäßigerweise in der Fixierposition.
Zweckmäßigerweise weist in der Fixierposition die zweite Raumrichtung 22 eine erste Richtungskomponente 61 auf, die entgegengesetzt zur ersten Raumrichtung 21 und/oder entgegengesetzt zur dritten Raumrichtung 23 ist. Exemplarisch ist die zweite Raumrichtung 22 entgegengesetzt zur ersten Raumrichtung 21 und/oder zur dritten Raumrichtung 23. Exemplarisch zeigt die zweite Raumrichtung 22 und/oder die erste Richtungskomponente 61 in die negative z-Richtung. Insbesondere zeigt die zweite Raumrichtung 22 und/oder die erste Richtungskomponente 61 in die Gravitationsrichtung.
Exemplarisch wird das Transportobjekt 1 von dem Supraleiterlager 6 vor der Fixierbewegung entgegengesetzt zur Gravitationsrichtung gelagert - d.h. das Supraleiterlager 6 übt vor der Fixierbewegung eine Kraft entgegengesetzt zur Gravitationsrichtung auf das Transportobjekt 1 aus. Nach der Fixierbewegung wird das Transportobjekt 1 von dem Supraleiterlager 6 zweckmäßigerweise in Gravitationsrichtung gelagert - d.h. das Supraleiterlager 6 übt nach der Fixierbewegung eine Kraft in Gravitationsrichtung auf das Transportobjekt 1 aus.
Insbesondere drückt das Supraleiterlager 6 das Transportobjekt 1 vor der Fixierbewegung nach oben. Ferner zieht das Supraleiterlager 6 das Transportobjekt 1 nach der Fixierbewegung nach unten.
Das Transportobjekt 1 wird in der Fixierposition von dem ersten Fluidlager 12 und dem Supraleiterlager 6 zweckmäßigerweise gleichzeitig gelagert. Insbesondere lagern das erste Fluidlager 12 und das Supraleiterlager 6 das Transportobjekt 1 in der Fixierposition in entgegengesetzte Richtungen, so dass das Transportobjekt 1 in der Fixierposition von dem ersten Supraleiterlager 6 und dem Fluidlager 12 eingespannt wird. Durch die Einspannung wird das Transportobjekt 1 insbesondere vertikal fixiert.
Das Transportobjekt 1 wird nun in Richtung nach oben und nach unten jeweils von einem Lager abgestützt und ist dadurch besonders gut fixiert. In der Fixierposition kann das Transportobjekt 1 präzise positioniert und/oder bearbeitet werden. Insbesondere wird ein sehr genauer, reproduzierbarer Abstand zur Oberfläche des Luftlagers 12 erzielt.
Zweckmäßigerweise ist das Transportsystem 10 ausgebildet, in der Fixierposition des Transportobjekts 1 eine Positionierung, insbesondere eine Feinpositionierung, und/oder eine Bearbeitung des Transportobjekts 1 durchzuführen, insbesondere mit einem an der Zielstation 4 vorhandenen Werkzeug. Dies erfolgt insbesondere im Rahmen eines Schritts S4.
Optional wird nach dem Schritt S4 ein Schritt S5 ausgeführt, insbesondere nach der Positionierung und/oder Bearbeitung des Transportobjekts 1 in der Fixierposition.
Bei dem optionalen Schritt S5 wird zweckmäßigerweise eine Freigabebewegung des Transportobjekts 1 relativ zum ersten Fluidlager 12 durchgeführt. Das Transportobjekt 1 wird zweckmäßigerweise bei der Freigabebewegung aus dem Wirkbereich des ersten Fluidlagers 12 herausbewegt. Zweckmäßigerweise wird die Freigabebewegung dadurch bewirkt, dass die zweite Lagerkomponente 8 relativ zum ersten Fluidlager 12 bewegt wird und das Transportobjekt 1 aufgrund des Supraleiterlagers 6 mit der zweiten Lagerkomponente 8 mitgeführt wird.
Zweckmäßigerweise wird das Transportobjekt 1 durch die Freigabebewegung in eine zweite Transportposition versetzt, in der das Transportobjekt 1 insbesondere von dem Supraleiterlager 6 schwebend gelagert wird. Das Transportobjekt wird in der zweiten Transportposition vorzugsweise ausschließlich von dem Supraleiterlager 6 gelagert. Die zweite Transportposition ist exemplarisch identisch zur Zielposition.
Zweckmäßigerweise ist das Transportsystem 10 ausgebildet, das erste Fluidlager 12 zu deaktivieren, insbesondere dann, wenn sich das Transportobjekt 1 nicht mehr in dem Wirkbereich des ersten Fluidlagers 12 und/oder in der zweiten Transportposition befindet.
Ausgehend von der zweiten Transportposition erfolgt zweckmäßigerweise eine zweite Transportbewegung entlang der zweiten Transportstrecke 15, insbesondere durch Bewegen der zweiten Lagerkomponente 8 entlang der zweiten Antriebsstrecke 35. Die zweite Transportbewegung wird im Rahmen eines optionalen Schritts S6 durchgeführt.
Im Folgenden soll unter Bezugnahme auf die 4 und 5 ein Transportsystem 20 gemäß einer zweiten Ausführungsform erläutert werden. Die 4 zeigt das Transportobjekt 1 in der Zielposition - also vor Durchführung der Fixierbewegung - und die 5 zeigt das Transportobjekt 1 in der Fixierposition - also nach Durchführung der Fixierbewegung.
Das Transportsystem 20 entspricht zweckmäßigerweise dem vorstehend erläuterten Transportsystem 10, so dass die in Bezug auf das Transportsystem 10 diskutierten Merkmale zweckmäßigerweise auch bei dem Transportsystem 20 vorhanden sind.
Das Transportsystem 20 umfasst zweckmäßigerweise ferner ein zweites Fluidlager 19. Das zweite Fluidlager 19 ist insbesondere an der Zielstation 4 angeordnet. Das zweite Fluidlager 19 ist insbesondere ein Luftlager. Zweckmäßigerweise wird das zweite Fluidlager 19 aktiviert, wenn sich das Transportobjekt 1 in der Zielposition befindet und/oder deaktiviert, wenn sich das Transportobjekt 1 in der zweiten Transportposition befindet.
Exemplarisch ist das zweite Fluidlager 19 an einem seitlichen Randbereich des erste Fluidlagers 12 angeordnet. Das zweite Fluidlager 19 erstreckt sich exemplarisch in z-Richtung über die Abdeckung 14 und/oder das erste Fluidlager 12. Das zweite Fluidlager 19 umfasst zweckmäßigerweise eine Mehrzahl von (in den Figuren nicht gezeigten) Fluidauslässen, die insbesondere an einer senkrecht zur x-Richtung ausgerichteten Seite des zweiten Fluidlagers 19 angeordnet sind.
Zweckmäßigerweise ist das Transportsystem 20 ausgebildet, die Fixierbewegung derart durchzuführen, dass das Transportobjekt 1 in der Fixierposition von dem ersten Fluidlager 12 und dem zweiten Fluidlager 19 gelagert wird, wobei das erste Fluidlager 12 und das zweite Fluidlager 19 das Transportobjekt 1 in verschiedene Richtungen lagern.
Das zweite Fluidlager 19 stellt insbesondere eine Lagerung des Transportobjekts 1 in eine horizontale Richtung - also eine x-Richtung, y-Richtung und/oder xy-Richtung - bereit, insbesondere dann, vorzugsweise nur dann, wenn sich das Transportobjekt 1 in der Fixierposition befindet.
In dem gezeigten Beispiel ist das zweite Fluidlager 19 als ein in x-Richtung lagerndes Lager ausgebildet. Alternativ oder zusätzliche dazu kann das zweite Fluidlager 19 das Transportobjekt 1 auch in y-Richtung oder in eine xy-Richtung lagern.
Vorzugsweise wird das Transportobjekt 1 in der Fixierposition von dem zweiten Fluidlager 19 und dem Supraleiterlager 6 eingespannt, insbesondere in horizontaler Richtung. Insbesondere lagert das zweite Fluidlager 19 das Transportobjekt 1 in der Fixierposition in einer vierten Raumrichtung 24. Die vierte Raumrichtung 24 zeigt exemplarisch in die positive x-Richtung.
Das Supraleiterlager 6 lagert das Transportobjekt 1 in der Fixierposition exemplarisch in der zweiten Raumrichtung 22 mit einer ersten Richtungskomponente 61 und einer zweiten Richtungskomponente 62. Die zweite Raumrichtung 22 zeigt exemplarisch in eine negative xz-Richtung. Die erste Richtungskomponente 61 zeigt in eine negative z-Richtung und die zweite Richtungskomponente 62 zeigt in eine negative x-Richtung. Die zweite Richtungskomponente 62 ist exemplarisch entgegengesetzt zur vierten Raumrichtung 24. Durch die Lagerung in die beiden entgegengesetzten Richtungen wird eine Einspannung, insbesondere eine Fixierung, des Transportobjekts 1 erzielt, insbesondere horizontal.
Das erste Luftlager 12 lagert das Transportobjekt 1 exemplarisch in der dritten Raumrichtung 23. Die dritte Raumrichtung 23 zeigt exemplarisch in eine positive z-Richtung. Die dritte Raumrichtung ist exemplarisch entgegengesetzt zur ersten Richtungskomponente 61 der zweiten Raumrichtung 22.
Die bei der zweiten Ausführungsform durchgeführte Transportbewegung entspricht der Transportbewegung der ersten Ausführungsform. Zweckmäßigerweise schwebt das Transportobjekt 1 bei der Transportbewegung über das sich in z-Richtung nach oben erstreckende zweite Fluidlager 12.
Die Fixierbewegung erfolgt bei der zweiten Ausführungsform zweckmäßigerweise in eine Bewegungsrichtung 41 mit einer vertikalen und einer horizontalen Bewegungsrichtungskomponente, exemplarisch mit der ersten Bewegungsrichtungskomponente 51 und der zweiten Bewegungsrichtungskomponente 52. Die erste Bewegungsrichtungskomponente 51 ist exemplarisch entgegengesetzt zur dritten Raumrichtung 23 ausgerichtet und die zweite Bewegungsrichtungskomponente 52 ist exemplarisch entgegengesetzt zur vierten Raumrichtung 24 ausgerichtet.
Zweckmäßigerweise wird die Fixierbewegung dadurch durchgeführt, dass die zweite Lagerkomponente 8 in die Bewegungsrichtung 41 bewegt wird und das Transportobjekt 1 aufgrund des Supraleiterlagers 6 mit der zweiten Lagerkomponente 8 mitgeführt wird.
Durch das zusätzliche, seitlich angeordnete zweite Fluidlager 19 kann insbesondere eine schwebende Verspannung des Transportobjekts 1 in zusätzlichen Raum- und/oder Drehrichtungen erzielt werden.
Gemäß einer (in den Figuren nicht gezeigten) dritten Ausführungsform ist an der Zielstation zusätzlich zum ersten und zweiten Fluidlager ein drittes Fluidlager vorhanden, das in der Fixierposition eine Lagerung in y-Richtung bereitstellt. Die Fixierbewegung erfolgt zweckmäßigerweise in eine negative xyz-Richtung. Die vorstehenden erläuterten Merkmale der ersten und/oder zweiten Ausführungsform sind zweckmäßigerweise bei der dritten Ausführungsform vorhanden.

Claims

Transportverfahren, umfassend die Schritte: - Durchführen (S1) einer Transportbewegung eines Transportobjekts (1) entlang einer ersten Transportstrecke (5) von einer Transportposition hin zu einer Zielposition an einer Zielstation (4), wobei das Transportobjekt (1) während der Transportbewegung mit einem Supraleiterlager (6) gelagert wird, - Bereitstellen (S2) eines ersten Fluidlagers (12) an der Zielstation (4), und - unter Verwendung des Supraleiterlagers (6), Durchführen (S3) einer Fixierbewegung des Transportobjekts (1) relativ zum ersten Fluidlager (12) von der Zielposition in eine Fixierposition, in der das Transportobjekt (1) von dem ersten Fluidlager (12) gelagert wird.
Transportverfahren nach Anspruch 1, wobei das Transportobjekt (1) bei der Fixierbewegung hin zu dem ersten Fluidlager (12) abgesenkt wird.
Transportverfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Transportobjekt (1) in der Fixierposition von dem ersten Fluidlager (12) und dem Supraleiterlager (6) gleichzeitig gelagert wird.
Transportverfahren nach Anspruch 3, wobei das erste Fluidlager (12) und das Supraleiterlager (6) das Transportobjekt (1) in der Fixierposition in entgegengesetzte Richtungen lagern, so dass das Transportobjekt (1) in der Fixierposition von dem ersten Supraleiterlager (6) und dem Fluidlager (12) eingespannt wird.
Transportverfahren nach einem voranstehenden Anspruch, wobei das Supraleiterlager (6) eine dem Transportobjekt (1) zugehörige erste Lagerkomponente (7) und eine zweite Lagerkomponente (8) umfasst, wobei die erste Lagerkomponente (7) und die zweite Lagerkomponente (8) einen Magneten (17) und einen Supraleiter (18) umfassen und die erste Lagerkomponente (7) aufgrund einer kontaktlos kraftübertragenden Kopplung zwischen dem Supraleiter (18) und dem Magneten (17) gegenüber der zweiten Lagerkomponente (8) gelagert ist.
Transportverfahren nach Anspruch 5, wobei die Fixierbewegung dadurch durchgeführt wird, dass die zweite Lagerkomponente (8) relativ zum Fluidlager (12) bewegt wird und die erste Lagerkomponente (7) aufgrund der kontaktlos kraftübertragenden Kopplung mit der zweiten Lagerkomponente (8) mitgeführt wird.
Transportverfahren nach Anspruch 5 oder 6, wobei die Transportbewegung dadurch durchgeführt wird, dass die zweite Lagerkomponente (8) parallel zur ersten Transportstrecke (5) bewegt wird und die erste Lagerkomponente (7) aufgrund der kontaktlos kraftübertragenden Kopplung mit der zweiten Lagerkomponente (8) mitgeführt wird.
Transportverfahren nach einem voranstehenden Anspruch, wobei das Supraleiterlager (6) das Transportobjekt (1) vor der Fixierbewegung in einer ersten Raumrichtung (21) lagert und nach der Fixierbewegung in einer von der ersten Raumrichtung (21) verschiedenen zweiten Raumrichtung (22) lagert.
Transportverfahren nach Anspruch 8, wobei die zweite Raumrichtung (22) eine erste Richtungskomponente (61) aufweist, die zur ersten Raumrichtung (21) entgegengesetzt ist.
Transportverfahren nach Anspruch 9, wobei die erste Richtungskomponente (61) die Gravitationsrichtung ist.
Transportverfahren nach einem voranstehenden Anspruch, wobei an der Zielstation (4) ferner ein zweites Fluidlager (19) bereitgestellt wird, und die Fixierbewegung derart durchgeführt wird, dass das Transportobjekt (1) in der Fixierposition von dem ersten Fluidlager (12) und dem zweiten Fluidlager (19) gelagert wird, wobei das erste Fluidlager (12) und das zweite Fluidlager (19) das Transportobjekt (1) in verschiedene Richtungen lagern.
Transportsystem (10, 20), das ausgebildet ist, ein Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche auszuführen.