DE102019121866A1 - SAW resonator cascade - Google Patents

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Abstract

Kaskaden aus SAW-Resonatoren mit unterschiedlichen Aperturen können die Effekte ungewollter Transversalmoden und anderer Störmoden des SAW-Resonators reduzieren. Als Teil eines Filterschaltkreises weisen Kaskaden eines SAW-Resonators das Potential auf, eine Einfügedämpfung, eine Flankensteilheit, eine Gruppenverzögerungswelligkeit, eine Kompression und eine Leistungsbeständigkeit von SAW-Filtern sowie ihre Empfindlichkeit gegenüber Fertigungstoleranzen verbessern.Cascades of SAW resonators with different apertures can reduce the effects of unwanted transverse modes and other interference modes of the SAW resonator. As part of a filter circuit, cascades of a SAW resonator have the potential to improve insertion loss, edge steepness, group delay ripple, compression and performance stability of SAW filters and their sensitivity to manufacturing tolerances.

Description

Die Erfindung betrifft Filterschaltkreise, die kaskadierte SAW-Resonatoren umfassen, die zum Verbessern von Störmoden und anderen Parametern der Filterleistungsfähigkeit modifiziert sind.The invention relates to filter circuits which include cascaded SAW resonators modified to improve spurious modes and other parameters of filter performance.

SAW-Resonatoren werden verwendet, um Filterschaltkreise zu bilden, z. B. indem selbige in einer Abzweigtyp- oder Kreuzgliedtypanordnung verschaltet werden. Ferner können SAW-Resonatoren Teil eines Filterschaltkreises sein, der in einer anderen Technologie als vom Abzweigtyp oder sogar anders als SAW realisiert ist, um als ein einziges Element zu fungieren, das die Selektivität verbessert oder zusätzliche Pole in der Transferkennlinie des Filterschaltkreises bildet.SAW resonators are used to form filter circuits, e.g. B. by the same are interconnected in a junction type or cross member type arrangement. Furthermore, SAW resonators can be part of a filter circuit implemented in a technology other than branch type or even different from SAW in order to act as a single element that improves the selectivity or forms additional poles in the transfer characteristic of the filter circuit.

Zusätzlich zu der gewünschten Haupt-SAW-Mode (typischerweise eine Rayleigh- oder SH-artige Mode) sind einige Störmoden in SAW-Resonatoren vorhanden. Diese Störresonanzen können in z. B. Transversalmoden, unterschiedlich polarisierten Moden, Volumenmoden und anderen ungewollten Moden begründet sein. In gewissen Fällen ist es aufgrund von Gestaltungsbegrenzungen, Fertigungstoleranzen oder anderen konkurrierenden Optimierungszielen, wie großer Bandbreite, guter bandexterner Unterdrückung, großer Flankensteilheit oder niedriger Einfügedämpfung, nicht möglich, alle diese ungewollten Moden vollständig zu unterdrücken. In einem SAW-Filter, das solche Resonatoren umfasst, verschlechtern diese ungewollten Resonanzen die Zielleistungsfähigkeit, beeinflussen z. B. die Durchlassbandebenheit, die Flankensteilheit, die Kompression und Leistungsbeständigkeitsgrenzen oder das bandexterne Verhalten. Das Problem nimmt mit zunehmenden Produktionstoleranzen zu, die bei höheren Frequenzen und daher kleineren Strukturen unvermeidbar sind.In addition to the desired main SAW mode (typically a Rayleigh or SH-like mode), there are some spurious modes in SAW resonators. These interfering resonances can in z. B. transverse modes, differently polarized modes, volume modes and other unwanted modes. In certain cases, due to design limitations, manufacturing tolerances or other competing optimization goals, such as large bandwidth, good out-of-band suppression, large edge steepness or low insertion loss, it is not possible to completely suppress all of these unwanted modes. In a SAW filter comprising such resonators, these unwanted resonances worsen the target performance, affect e.g. B. the passband evenness, the edge steepness, the compression and performance stability limits or the out-of-band behavior. The problem increases with increasing production tolerances, which are unavoidable at higher frequencies and therefore smaller structures.

Es ist daher ein Ziel der vorliegenden Erfindung, einen Filterschaltkreis bereitzustellen, der SAW-Resonatoren mit verbesserter Störmodenunterdrückung bereitstellt.It is therefore an object of the present invention to provide a filter circuit which provides SAW resonators with improved spurious mode rejection.

Dieses und andere Ziele werden durch einen Filterschaltkreis nach dem unabhängigen Anspruch erfüllt. Weitere vorteilhafte Merkmale und Ausführungsformen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.This and other objects are achieved by a filter circuit according to the independent claim. Further advantageous features and embodiments are the subject of the dependent claims.

Ein Filterschaltkreis umfasst einen ersten SAW-Resonator mit einer ersten Apertur und einen zweiten SAW-Resonator mit einer zweiten Apertur. Beide SAW-Resonatoren sind in Reihe oder parallel verbunden. Die erste und zweite Apertur sind auf unterschiedliche Werte eingestellt. Es wird bevorzugt, dass sich die Aperturen wenigstens um 5 % in ihrem Wert unterscheiden.A filter circuit comprises a first SAW resonator with a first aperture and a second SAW resonator with a second aperture. Both SAW resonators are connected in series or in parallel. The first and second apertures are set to different values. It is preferred that the apertures differ in value by at least 5%.

Mit einer solchen Modifikation ist es möglich, die Effekte ungewollter Transversalmoden zu reduzieren, die durch einen einzigen SAW-Resonator produziert werden.With such a modification, it is possible to reduce the effects of unwanted transverse modes produced by a single SAW resonator.

In diesem Zusammenhang und nachfolgend werden zwei Resonatoren, die in Reihe oder parallelgeschaltet sind, als kaskadierte Resonatoren bezeichnet und bilden ein Schaltkreiselement, das als eine Resonatorkaskade bezeichnet wird. Eine solche Kaskade kann einen oder mehrere SAW-Resonatoren in einem beliebigen Filterschaltkreis ersetzen. Falls der erste und zweite Resonator in Reihe kaskadiert sind, können einige Gestaltungsmodifikationen, z. B. Erhöhen des Resonatorfläche, notwendig sein, um die statische Kapazität anzupassen, die im Vergleich zu einem einzigen Resonator in einer Reihenschaltung von Resonatoren reduziert ist.In this context and hereinafter two resonators connected in series or in parallel are referred to as cascaded resonators and form a circuit element which is referred to as a resonator cascade. Such a cascade can replace one or more SAW resonators in any filter circuit. If the first and second resonators are cascaded in series, some design modifications, e.g. B. increasing the resonator area, may be necessary to adjust the static capacitance, which is reduced compared to a single resonator in a series connection of resonators.

Innerhalb eines Filterschaltkreises integriert, können solche Kaskaden die Effekte von Störmoden auf die Filterleistungsfähigkeit reduzieren. Insbesondere können solche Kaskaden eine Einfügedämpfung, eine Flankensteilheit, eine Gruppenverzögerungswelligkeit, eine Kompression und eine Leistungsbeständigkeit von SAW-Filtern sowie ihre Empfindlichkeit gegenüber Fertigungstoleranzen verbessern.Integrated within a filter circuit, such cascades can reduce the effects of spurious modes on filter performance. In particular, such cascades can improve an insertion loss, an edge steepness, a group delay ripple, a compression and a performance stability of SAW filters as well as their sensitivity to manufacturing tolerances.

In SAW-Filtern werden Resonatorkaskaden weithin zum Verbessern der Leistungsbeständigkeit, der Kompression und der Linearität sowie zum Reduzieren der statischen Kapazität und zum Ausgleichen von Impedanzniveaus eingesetzt. Kaskaden können in Reihe und parallel verbundene Resonatoren umfassen. Üblicherweise sind die einzelnen Resonatoren innerhalb einer Kaskade gleich, um eine perfekte Überlagerung ihrer Admittanzen zu ermöglichen.In SAW filters, resonator cascades are widely used to improve power stability, compression, and linearity, as well as to reduce static capacitance and to equalize impedance levels. Cascades can include resonators connected in series and in parallel. The individual resonators within a cascade are usually the same in order to enable their admittances to be perfectly superimposed.

Die vorgeschlagene Kaskade aus zwei oder mehr Resonatoren kann insbesondere vorteilhaft sein, wenn eine volle Unterdrückung transversaler oder Störmoden in einem Filterschaltkreis aufgrund von Fertigungstoleranzen, Gestaltungsbegrenzungen oder anderen konkurrierenden Gestaltungszielen nicht durch einfache Gestaltungsmaßnahmen erreicht werden kann.The proposed cascade of two or more resonators can be particularly advantageous if a full suppression of transverse or interference modes in a filter circuit cannot be achieved by simple design measures due to manufacturing tolerances, design limitations or other competing design goals.

Die grundlegende Idee ist, dass die Resonanzfrequenz mancher Störmoden (insbesondere von Transversalmoden und anderen Moden mit nichtgleichmäßigem Transversalprofil) von der Apertur des Resonators abhängt. Dementsprechend ermöglicht es eine Kaskade aus zwei oder mehr Resonatoren mit unterschiedlichen Aperturen, ungewollte Merkmale in den Admittanzen der Resonatoren über unterschiedliche Frequenzen zu verteilen und auf diese Weise den Effekt der ungewollten Resonanzen auf die Admittanz der gesamten Kaskade zu reduzieren. Durch das Ändern der Apertur eines SAW-Resonators wird die Frequenz jeder höheren Mode um einen speziellen Betrag verschoben. Eine Verschiebung um einen größeren Betrag wird für Störmoden mit einer jeweiligen erhöhten Frequenz erreicht.The basic idea is that the resonance frequency of some interference modes (in particular of transverse modes and other modes with a non-uniform transverse profile) depends on the aperture of the resonator. Accordingly, a cascade of two or more resonators with different apertures makes it possible to distribute unwanted features in the admittances of the resonators over different frequencies and in this way to reduce the effect of the unwanted resonances on the admittance of the entire cascade. By changing the aperture of a SAW Resonator, the frequency of each higher mode is shifted by a specific amount. A shift by a larger amount is achieved for interference modes with a respective increased frequency.

Sowohl der erste als auch der zweite SAW-Resonator sowie ein beliebiger anderer SAW-Resonator mit höherer Nummer in der Kaskade umfasst nur einen IDT, der in einer akustischen Spur zwischen zwei Reflektoren angeordnet ist.Both the first and the second SAW resonator as well as any other SAW resonator with a higher number in the cascade comprises only one IDT , which is arranged in an acoustic track between two reflectors.

Ein Filterschaltkreis kann eine Abzweigtyp- oder Kreuzgliedtypstruktur aus Reaktanzelementen umfassen. Eines oder mehrere dieser Reaktanzelemente können durch eine SAW-Resonator-Kaskade aus zwei oder mehr SAW-Resonatoren mit zwei, drei oder mehr unterschiedlichen Aperturen ersetzt werden. In der Resonatorkaskade können ein erster, zweiter und optional ein beliebiger höherzahliger SAW-Resonator direkt miteinander in Reihe verbunden sein, um zusammen einen einzigen kaskadierten Resonator zu repräsentieren. Manche der in Reihe verbundenen Resonatoren können selbst eine Parallelschaltung aus zwei oder mehr einzelnen Resonatoren repräsentieren. Eine Kaskade resultiert darin, dass zwei oder mehr „Stufen“ vorhanden sind, wobei jede Stufe einen einzigen Resonator oder eine Schaltung aus zwei oder mehr einzelnen Resonatoren, die parallelgeschaltet sind, umfasst. Zudem können ein erster und ein zweiter Resonator oder optional mehr Resonatoren, die unterschiedliche Aperturen aufweisen und parallelgeschaltet sind, eine Kaskade mit nur einer einzigen Stufe bilden und können den bereits erwähnten Vorteil des Verteilens der Resonanzfrequenzen von Störmoden bereitstellen.A filter circuit may comprise a branch type or cross member type structure of reactance elements. One or more of these reactance elements can be replaced by a SAW resonator cascade comprising two or more SAW resonators with two, three or more different apertures. In the resonator cascade, a first, second and optionally any desired higher-numbered SAW resonator can be connected directly to one another in series in order to represent a single cascaded resonator. Some of the resonators connected in series can themselves represent a parallel connection of two or more individual resonators. A cascade results in two or more "stages" being present, each stage comprising a single resonator or a circuit of two or more individual resonators connected in parallel. In addition, a first and a second resonator or optionally more resonators that have different apertures and are connected in parallel can form a cascade with only a single stage and can provide the already mentioned advantage of distributing the resonance frequencies of interference modes.

In der Resonatorkaskade wird ein Unterschied von wenigstens 5% zwischen der höchsten und niedrigsten Apertur der SAW-Resonatoren bevorzugt. Jedoch sind auch größere Unterschiede von 10 %, 20 % oder mehr möglich und können einen weiteren Vorteil bereitstellen.In the resonator cascade, a difference of at least 5% between the highest and lowest aperture of the SAW resonators is preferred. However, larger differences of 10%, 20% or more are possible and can provide a further benefit.

Falls mehr als zwei SAW-Resonatoren in der Kaskade vorhanden sind, können die Aperturen von zwei Resonatoren, die in der Kaskade direkt aufeinander folgen, um einen kleineren Betrag abweichen, falls die Differenz zwischen der höchsten und niedrigsten Apertur hoch genug ist, um die gewünschte Unterdrückung von Störmoden zu erreichen. In jedem Fall ist es bevorzugt, dass die Werte von Aperturen gleichmäßig über den gesamten Bereich von Aperturwerten verteilt sind. Dies schließt die optionale Vorschrift ein, dass jeder Aperturwert in einer Kaskade nur einmal vorhanden ist.If there are more than two SAW resonators in the cascade, the apertures of two resonators directly following one another in the cascade can deviate by a smaller amount if the difference between the highest and lowest aperture is high enough to produce the desired one To achieve suppression of interference modes. In any case, it is preferred that the values of apertures are evenly distributed over the entire range of aperture values. This includes the optional requirement that each aperture value is only present once in a cascade.

Gemäß einem Beispiel sind die Aperturwerte symmetrisch um eine mittlere Apertur verteilt.According to one example, the aperture values are distributed symmetrically around a central aperture.

Der Filterschaltkreis kann als ein Bandpass gestaltet sein. Alternativ dazu kann der Filterschaltkreis ein Tiefpass oder ein Hochpass sein. Ein Kerbfilter ist eine andere mögliche Ausführungsform, da in allen diesen Filterschaltkreisen eine Unterdrückung von Störmoden mit einer Kaskade aus wenigstens zwei SAW-Resonatoren mit jeweils einer unterschiedlichen Apertur möglich ist. Eine bevorzugte Verwendung des Filterschaltkreises ist als ein Tx-Filter.The filter circuit can be designed as a bandpass. Alternatively, the filter circuit can be a low pass or a high pass. A notch filter is another possible embodiment, since in all of these filter circuits it is possible to suppress interference modes with a cascade of at least two SAW resonators, each with a different aperture. A preferred use of the filter circuit is as a Tx filter.

Wie oben erwähnt, treten Störmoden und hohe Produktionstoleranzen aufgrund deren kleinerer IDT-Strukturen und Finger/Finger-Abstände hauptsächlich bei höheren Frequenzen auf. Daher ist eine bevorzugte Anwendung der vorgeschlagenen Kaskade ein Filterschaltkreis, der mit hohen Frequenzen, z. B. in einem Band mit einer Frequenz von etwa 2,3 GHz und mehr arbeitet.As mentioned above, interference modes and high production tolerances mainly occur at higher frequencies due to their smaller IDT structures and finger / finger spacing. Therefore, a preferred application of the proposed cascade is a filter circuit that operates at high frequencies, e.g. B. works in a band with a frequency of about 2.3 GHz and more.

Die vorgeschlagenen kaskadierten SAW-Resonatoren können ein Reaktanzelement eines bekannten Filterschaltkreises, z. B. eines Abzweigtypfilters, ersetzen. Jedoch ist es möglich, eine solche Resonatorkaskade als ein Parallel- oder Reihenelement zu einem beliebigen anderen Filterschaltkreis hinzuzufügen. Falls ein bekannter Filterschaltkreis bereits kaskadierte SAW-Resonatoren umfasst, kann die Implementierung der neuen Kaskade vorgenommen werden, ohne dass irgendeine Gestaltungsanpassung notwendig ist.The proposed cascaded SAW resonators can be a reactance element of a known filter circuit, e.g. B. a branch type filter replace. However, it is possible to add such a resonator cascade as a parallel or series element to any other filter circuit. If a known filter circuit already comprises cascaded SAW resonators, the new cascade can be implemented without any design adaptation being necessary.

Falls ein bekannter Filterschaltkreis einzelne SAW-Resonatoren umfasst, die dazu neigen, Störmoden zu produzieren, muss die Filtertopographie nur im Fall von in Reihe kaskadierten Resonatoren angepasst werden, weil das Ersetzen einzelner SAW-Resonatoren durch eine Reihenresonatorkaskade im Vergleich zu einem einzigen nicht kaskadierten Resonator ein Vielfaches an Chipfläche verbraucht. Falls jedoch die Leistungsfähigkeit des Filterschaltkreises ausreichend verbessert werden kann, indem die neue Kaskade eingeführt wird, wird der vergrößerte Flächenbedarf überkompensiert und muss kein realer Nachteil mehr sein.If a known filter circuit comprises individual SAW resonators which tend to produce spurious modes, the filter topography only needs to be adapted in the case of resonators cascaded in series, because the replacement of individual SAW resonators with a series resonator cascade compared to a single non-cascaded resonator consumes a multiple of the chip area. However, if the performance of the filter circuit can be sufficiently improved by introducing the new cascade, the increased area requirement is overcompensated and need no longer be a real disadvantage.

Falls ein bekannter Filterschaltkreis bereits kaskadierte oder nicht kaskadierte Resonatoren umfasst, wird es bevorzugt, jene Resonatoren oder Resonatorkaskade, die Störmoden bei kritischen Frequenzen, z. B. bei oder nahe einem Bandkante, erzeugen/erzeugt, durch die neue Kaskade zu ersetzen. Zum Beispiel neigt bei einem Abzweigtypfilter der Reihenresonator mit der niedrigsten Frequenz dazu, eine Störmode nahe der oberen Bandkante zu produzieren.If a known filter circuit already comprises cascaded or non-cascaded resonators, it is preferred to use those resonators or resonator cascade which generate interference modes at critical frequencies, e.g. B. at or near a strip edge, generate / generated to replace by the new cascade. For example, in a ladder type filter, the lowest frequency series resonator tends to produce a spurious mode near the upper band edge.

Abgesehen von den abweichenden Aperturen kann die neue Resonatorkaskade wie eine bekannte Kaskade gestaltet werden. Daher wird es bevorzugt, dass die direkte Reihenverbindung aus zwei angrenzenden SAW-Resonatoren bzw. ihrer IDTs durch Kombinieren der zwei angrenzenden Sammelschienen der Resonatoren realisiert wird, um eine gemeinsame Sammelschiene zu bilden, die von den zwei Resonatoren geteilt wird.Apart from the different apertures, the new resonator cascade can be designed like a well-known cascade. Hence it will It is preferred that the direct series connection of two adjacent SAW resonators or their IDTs is realized by combining the two adjacent busbars of the resonators in order to form a common busbar that is shared by the two resonators.

Nachfolgend wird die Erfindung ausführlicher unter Bezugnahme auf spezielle Ausführungsformen und die zugehörigen Figuren erklärt. Die Figuren sind möglicherweise nur schematisch und nicht maßstabsgetreu gezeichnet. Daher können keine relativen oder absoluten Abmessungen aus den Figuren entnommen werden.

  • 1 zeigt einen ersten und einen zweiten SAW-Resonator mit unterschiedlichen Aperturen, die in Reihe geschaltet sind, gemäß einer allgemeinen Ausführungsform,
  • 2 zeigt eine Abzweigtypstruktur aus Resonatoren einschließlich eines ersten und eines zweiten SAW-Resonators gemäß einer Ausführungsform,
  • 3 zeigt eine Kreuzgliedtypstruktur aus Resonatoren einschließlich eines ersten und eines zweiten SAW-Resonators gemäß einer Ausführungsform,
  • 4 zeigt eine Struktur eines Filterschaltkreises einschließlich eines ersten und eines zweiten SAW-Resonators gemäß einer Ausführungsform,
  • 5 zeigt einen hybriden Filterschaltkreis einschließlich eines ersten und eines zweiten SAW-Resonators und eines LC-Filters gemäß einer Ausführungsform,
  • 6 zeigt eine Reihenschaltung aus einem ersten, einem zweiten und einem dritten SAW-Resonator mit unterschiedlichen Aperturen,
  • 7 zeigt eine berechnete Admittanz einer Reihenschaltung aus einem ersten, einem zweiten und einem dritten SAW-Resonator mit unterschiedlichen Aperturen,
  • 8 zeigt einen ersten und einen zweiten SAW-Resonator mit unterschiedlichen Aperturen, die parallelgeschaltet sind, gemäß einer zweiten allgemeinen Ausführungsform.
The invention is explained in more detail below with reference to specific embodiments and the associated figures. The figures may only be drawn schematically and not to scale. Therefore, no relative or absolute dimensions can be taken from the figures.
  • 1 shows a first and a second SAW resonator with different apertures, which are connected in series, according to a general embodiment,
  • 2 12 shows a branch type structure of resonators including first and second SAW resonators according to an embodiment;
  • 3 Fig. 10 shows a cross member type structure of resonators including first and second SAW resonators according to an embodiment;
  • 4th Fig. 10 shows a structure of a filter circuit including first and second SAW resonators according to an embodiment;
  • 5 FIG. 3 shows a hybrid filter circuit including first and second SAW resonators and an LC filter according to an embodiment; FIG.
  • 6th shows a series connection of a first, a second and a third SAW resonator with different apertures,
  • 7th shows a calculated admittance of a series connection of a first, a second and a third SAW resonator with different apertures,
  • 8th shows a first and a second SAW resonator with different apertures, which are connected in parallel, according to a second general embodiment.

1 zeigt eine Kaskade aus einem ersten und einem zweiten SAW-Resonator R1, R2 mit unterschiedlichen Aperturen AP1, AP2, die in Reihe geschaltet sind, gemäß einer ersten allgemeinen Ausführungsform der Erfindung. In dem linken Teil der Figur ist ein Blockdiagramm der zwei Resonatoren gezeigt. Entlang einer Transversalrichtung, die die Richtung normal zu der Propagationsrichtung ist, ist der zweite Resonator R2 hinsichtlich des ersten Resonators R1 vergrößert dargestellt. 1 shows a cascade of a first and a second SAW resonator R1 , R2 with different apertures AP1 , AP2 connected in series according to a first general embodiment of the invention. In the left part of the figure a block diagram of the two resonators is shown. The second resonator is along a transverse direction, which is the direction normal to the direction of propagation R2 with regard to the first resonator R1 shown enlarged.

In dem rechten Teil aus 1 ist eine schematische Fingerstruktur der in Reihe kaskadierten Resonatoren gezeigt. Jeder der zwei Resonatoren umfasst einen IDT (Interdigitalwandler), der zwischen zwei Reflektoren REF in einem akustischen Pfad angeordnet ist.In the right part out 1 a schematic finger structure of the resonators cascaded in series is shown. Each of the two resonators includes one IDT (Interdigital transducer) between two reflectors REF is arranged in an acoustic path.

Eine zweite allgemeine Ausführungsform, die die gleichen Vorteile bereitstellt und eine Kaskade aus einem ersten und einem zweiten Resonator umfasst, die parallelgeschaltet sind, wird später unter Bezugnahme auf 8 erklärt.A second general embodiment that provides the same advantages and includes a cascade of first and second resonators connected in parallel will be discussed later with reference to FIG 8th explained.

2 zeigt einen Filterschaltkreis, der eine Abzweigtypstruktur aus Reaktanzelementen umfasst, die der Einfachheit halber als Resonatoren RS, RP dargestellt sind. Manche der Reaktanzelemente können als Spulen oder Kondensatoren realisiert werden. Wenigstens eines der Reaktanzelemente beinhaltet eine Kaskade aus einem ersten und einem zweiten SAW-Resonator mit unterschiedlichen Aperturen AP gemäß der Ausführungsform aus 1. Diese zwei SAW-Resonatoren bilden einen kaskadierten Resonator. Ein solcher kaskadierter Resonator muss - falls er in Reihe verbundene Resonatoren umfasst - bezüglich der Größe gemäß Gestaltungsregeln eines Abzweigtypfilterschaltkreises angepasst werden, um korrekte statische Kapazitäten der Resonatoren einschließlich des kaskadierten Resonators festzulegen. Falls die kaskadierten Resonatoren R1, R2 gemäß 8 parallelgeschaltet sind, ist keine Anpassung der Gestaltung des Filters notwendig. 2 Fig. 16 shows a filter circuit comprising a branch type structure of reactance elements, which for simplicity are called resonators RS , RP are shown. Some of the reactance elements can be implemented as coils or capacitors. At least one of the reactance elements includes a cascade of a first and a second SAW resonator with different apertures AP according to the embodiment 1 . These two SAW resonators form a cascaded resonator. Such a cascaded resonator - if it comprises resonators connected in series - has to be adapted in terms of size in accordance with the design rules of a branch type filter circuit in order to establish correct static capacitances of the resonators including the cascaded resonator. If the cascaded resonators R1 , R2 according to 8th are connected in parallel, no adaptation of the design of the filter is necessary.

Die Abzweigtypstruktur ist wie üblich gebildet und umfasst eine Anzahl von wenigstens einem Basisabschnitt, der jeweils einen Reihenresonator RS in einem Reihenarm, der zwischen einem ersten und zweiten Anschluss T1, T2 gebildet ist, und einen Parallelzweig, der mit einem darin angeordneten Parallelresonator RP mit Masse verbunden ist, umfasst. Die Anzahl an Basisabschnitten BSLT kann in dem Filterschaltkreis erhöht werden, falls eine höhere Selektion des Filterschaltkreises notwendig ist.The branch type structure is formed as usual and comprises a number of at least one base portion, each of which is a series resonator RS in a series arm, which is formed between a first and a second terminal T1, T2, and a parallel branch with a parallel resonator arranged therein RP connected to ground includes. The number of base sections BS LT can be increased in the filter circuit if a higher selection of the filter circuit is necessary.

Die Anzahl an Resonatoren, die kaskadiert sind, kann beliebig festgelegt werden. Aber jeder der kaskadierten Resonatoren ist gemäß der ersten Ausführungsform gebildet. Daher reicht es aus, jeden kaskadierten Resonator einer bekannten Abzweigtypstruktur aus Resonatoren gemäß dem Stand der Technik durch eine Kaskade aus Resonatoren gemäß der Erfindung zu ersetzen. Die Anzahl an Resonatoren in der Kaskade ist wenigstens zwei, aber kann auf eine höhere Anzahl festgelegt werden. Vorteilhafterweise weist jeder der Resonatoren in der Kaskade eine unterschiedliche Apertur auf.The number of resonators that are cascaded can be set as desired. But each of the cascaded resonators is formed according to the first embodiment. It is therefore sufficient to replace each cascaded resonator of a known branch-type structure of resonators according to the prior art with a cascade of resonators according to the invention. The number of resonators in the cascade is at least two, but a larger number can be set. Each of the resonators in the cascade advantageously has a different aperture.

3 zeigt einen Filterschaltkreis, der eine Kreuzgliedtypstruktur aus Reaktanzelementen umfasst, die üblicherweise durch Reihen- und Parallelresonatoren RS, RP gebildet sind. Auch hier ist wenigstens einer der Resonatoren RS, RP als eine Kaskade aus SAW-Resonatoren gemäß der Erfindung gebildet. Ähnlich der Abzweigtypstruktur umfasst eine Kreuzgliedtypstruktur Basisabschnitte BSLC, die jeweils Reihen- und Parallelresonatoren umfassen. Die Parallelresonatoren, die in Parallelzweigen angeordnet sind, verbinden zwei Reihenleitungen, die parallelgeschaltet sind. Die Parallelzweige kreuzen sich, um eine Art einer verdrehten Leiter zu bilden. 3 Fig. 10 shows a filter circuit comprising a cross-member type structure of reactance elements, usually represented by series and Parallel resonators RS , RP are formed. Again, there is at least one of the resonators RS , RP formed as a cascade of SAW resonators according to the invention. Similar to the branch type structure, a cross link type structure includes base sections BS LC each including series and parallel resonators. The parallel resonators, which are arranged in parallel branches, connect two series lines which are connected in parallel. The parallel branches cross each other to form a kind of twisted ladder.

4 zeigt einen Filterschaltkreis, der ein erstes Filterelement F1 und einen damit in Reihe verbundenen Resonator RS umfasst. Ein Parallelresonator RP ist in einen Parallelarm geschaltet, der mit Masse verbunden ist. 4th shows a filter circuit comprising a first filter element F1 and a resonator connected in series RS includes. A parallel resonator RP is connected in a parallel arm that is connected to ground.

Das erste Filter F1 ist ein Filterschaltkreis, der in einer beliebigen Technik realisiert ist. Das erste Filter kann zum Beispiel ein DMS-Filter, ein LC-Filter, das aus passiven L- und C-Elementen (Induktivitäten und Kapazitäten) gebildet ist, oder ein beliebiger anderer Filterschaltkreis sein.The first filter F1 is a filter circuit which is implemented in any technique. The first filter can be, for example, a DMS filter, an LC filter which is formed from passive L and C elements (inductances and capacitances), or any other desired filter circuit.

Der Parallelresonator RP und/oder der Reihenresonator RS umfassen eine Kaskade aus Resonatoren gemäß der Erfindung. Falls das erste Filter weitere Resonatoren umfasst, können auch diese aus solchen Kaskaden gebildet sein.The parallel resonator RP and / or the series resonator RS comprise a cascade of resonators according to the invention. If the first filter comprises further resonators, these can also be formed from such cascades.

5 zeigt als ein Beispiel ein schematisches hybrides Filter mit einem Reihenimpedanzelement IES, das zum Beispiel als ein Kondensator gebildet ist, und einem Parallelimpedanzelement IEP, das zum Beispiel als eine Induktivität gebildet ist. Ein Basisabschnitt BS einer Abzweigtypstruktur ist damit in Reihe geschaltet und umfasst einen Reihenresonator RS und einem Parallelresonator RP. Der Parallelresonator RP und/oder der Reihenresonator RS umfassen eine Kaskade aus Resonatoren gemäß der Erfindung. Natürlich kann der Filterschaltkreis aus 5 eine größere Anzahl an LC-Einheiten oder Basisabschnitten einer Abzweigtypstruktur umfassen. 5 Figure 11 shows, as an example, a schematic hybrid filter with a series impedance element IES formed as a capacitor, for example, and a parallel impedance element IEP formed as an inductor, for example. A base portion BS of a branch type structure is connected in series therewith and comprises a series resonator RS and a parallel resonator RP . The parallel resonator RP and / or the series resonator RS comprise a cascade of resonators according to the invention. Of course, the filter circuit can be off 5 comprise a larger number of LC units or base portions of a branch type structure.

6 zeigt eine Kaskade aus drei in Reihe verbundenen SAW-Resonatoren R1, R2 und R3 gemäß einer Ausführungsform, bei der jede Apertur AP eines Resonators RS, RP verschieden von den zwei anderen ist. In der Figur nimmt die Apertur von der ersten Apertur AP1, die dem ersten Resonator in der Kaskade zugewiesen ist, zu der zweiten Apertur und der dritten Apertur AP3 zu, sodass AP1 < AP2 < AP3 gilt. Jedoch ist dies eine beispielhafte Anordnung und die Apertur muss in der Kaskade nicht kontinuierlich zunehmen oder abnehmen. Ferner umfassen diese drei Resonatoren Sammelschienen, die gemeinsam besessen und daher von den zwei angrenzenden IDTs von zwei angrenzenden Resonatoren geteilt werden. 6th shows a cascade of three SAW resonators connected in series R1 , R2 and R3 according to an embodiment in which each aperture AP of a resonator RS , RP is different from the other two. In the figure, the aperture decreases from the first aperture AP1 , which is assigned to the first resonator in the cascade, to the second aperture and the third aperture AP3, so that AP1 <AP2 <AP3. However, this is an exemplary arrangement and the aperture does not have to increase or decrease continuously in the cascade. Further, these three resonators include bus bars that are commonly owned and therefore shared by the two adjacent IDTs from two adjacent resonators.

Gleichermaßen kann eine Kaskade gemäß der zweiten allgemeinen Ausführungsform drei Resonatoren umfassen, die parallelgeschaltet sind und jeweils eine unterschiedliche Apertur aufweisen (in der Figur nicht gezeigt).Likewise, a cascade according to the second general embodiment can comprise three resonators which are connected in parallel and each have a different aperture (not shown in the figure).

Nicht gezeigt sind höhere Kaskaden, die mehr als drei Resonatoren mit unterschiedlichen Aperturen umfassen und die ebenfalls mögliche Ausführungsformen sind.Higher cascades which include more than three resonators with different apertures and which are likewise possible embodiments are not shown.

7 zeigt eine berechnete Admittanz für eine Kaskade aus drei Resonatoren mit der gleichen Gestaltung und dem gleichen Rastermaß, aber mit unterschiedlichen Aperturen, im Vergleich zu Admittanzen von jeweiligen einzelnen Resonatoren mit drei unterschiedlichen Aperturen. Das obere Diagramm zeigt den Realteil der Admittanz und das untere Diagramm stellt den jeweiligen Betrag dar. 7th shows a calculated admittance for a cascade of three resonators with the same design and the same pitch, but with different apertures, compared to admittances of respective individual resonators with three different apertures. The upper diagram shows the real part of the admittance and the lower diagram shows the respective amount.

Die drei dünnen Linien 1, 2 und 3 sind Admittanzen von Resonatoren mit unterschiedlichen Aperturen zugewiesen. Linie 2 entspricht einem Resonator mit einer Zielapertur. Linie 1 entspricht einem Resonator mit einer Apertur, die 10 % größer als eine Zielapertur gemäß Linie 2 ist. Linie 3 entspricht einem Resonator mit einer Apertur, die 10 % kleiner als eine Zielapertur gemäß Linie 2 ist. Die fettgedruckte Linie C entspricht der Apertur der Kaskade aus den drei einzelnen Resonatoren. Alle Resonatoren sind auf die gleiche statische Kapazität wie der Resonator mit der Zielapparatur gemäß Linie 2 normiert. Zur besseren Sichtbarkeit sind die Linien 1 und 3 von den Linien 2 und C versetzt dargestellt. Das Gleiche gilt für das untere Diagramm.The three thin lines 1 , 2 and 3 are assigned admittances of resonators with different apertures. line 2 corresponds to a resonator with a target aperture. line 1 corresponds to a resonator with an aperture that is 10% larger than a target aperture according to the line 2 is. line 3 corresponds to a resonator with an aperture that is 10% smaller than a target aperture according to the line 2 is. The bold line C. corresponds to the aperture of the cascade from the three individual resonators. All resonators have the same static capacity as the resonator with the target apparatus according to the line 2 normalized. The lines are for better visibility 1 and 3 from the lines 2 and C. shown offset. The same goes for the diagram below.

Wie am besten in dem oberen Diagramm zu sehen ist, zeigt die Admittanz der drei einzelnen Resonatoren gemäß den Linien 1, 2 und 3 eine Welligkeit mit relativen Maxima, die von unterschiedlichen Störmoden stammen, die zum Beispiel aufgrund von Produktionstoleranzen unvermeidbar sind. Die Frequenzen dieser Störmoden erscheinen oberhalb der Resonanzen der Resonatoren.As can best be seen in the diagram above, the admittance of the three individual resonators shows according to the lines 1 , 2 and 3 a ripple with relative maxima that originate from different interference modes, which are unavoidable due to production tolerances, for example. The frequencies of these interference modes appear above the resonances of the resonators.

Die Linie C entspricht der Apertur der Kaskade aus den drei einzelnen Resonatoren. Es kann aus dem gleichmäßigen Verlauf der Linie C gesehen werden, dass die Störmoden und daher die Welligkeit der Kaskade gemäß der Erfindung erheblich reduziert ist. Dies ist ein Beweis für den positiven Effekt der Erfindung.The line C. corresponds to the aperture of the cascade from the three individual resonators. It can be from the even course of the line C. it can be seen that the disturbance modes and therefore the ripple of the cascade is considerably reduced according to the invention. This is proof of the positive effect of the invention.

8 zeigt einen ersten und einen zweiten SAW-Resonator R1, R2 mit unterschiedlichen Aperturen AP1, AP2, die parallelgeschaltet sind, gemäß einer zweiten allgemeinen Ausführungsform der Erfindung. In dem oberen Teil der Figur ist ein Blockdiagramm der zwei Resonatoren gezeigt, wobei der zweite Resonator hinsichtlich des ersten Resonators entlang einer Transversalrichtung, die die Richtung normal zu der Propagationsrichtung ist, vergrößert dargestellt ist. In dem unteren Teil aus 8 ist eine schematische Fingerstruktur gezeigt. Jeder der zwei Resonatoren umfasst einen IDT (Interdigitalwandler), der zwischen zwei Reflektoren REF in einem akustischen Pfad angeordnet ist. Die zwei Resonatoren R1, R2 verwenden einen gemeinsamen Mittelreflektor, der den zwei Resonatoren gemein ist. Jedoch kann jeder Resonator zwei Reflektoren aufweisen, die nicht von zwei angrenzenden Resonatoren geteilt werden. Zudem müssen zwei parallel kaskadierte Resonatoren nicht direkt aneinander angrenzend angeordnet sein. Das Kaskadieren verwendet nur Vorteile, die aus einem elektrischen Verschalten von zwei Resonatoren mit unterschiedlichen Aperturen resultieren. 8th shows a first and a second SAW resonator R1 , R2 with different apertures AP1 , AP2 which are connected in parallel according to a second general embodiment of the invention. In the upper part of the figure, a block diagram of the two resonators is shown, the second resonator being shown enlarged with respect to the first resonator along a transverse direction, which is the direction normal to the direction of propagation. In the lower part from 8th a schematic finger structure is shown. Each of the two resonators includes one IDT (Interdigital transducer) between two reflectors REF is arranged in an acoustic path. The two resonators R1 , R2 use a common center reflector that is common to the two resonators. However, each resonator can have two reflectors that are not shared by two adjacent resonators. In addition, two resonators cascaded in parallel do not have to be arranged directly adjacent to one another. Cascading only uses advantages that result from the electrical connection of two resonators with different apertures.

Nicht gezeigt sind Ausführungsformen, die in Reihe und parallel kaskadierte Resonatoren umfassen, die eine einzige Kaskade bilden, die einen einzigen Resonator in einem beliebigen Filterschaltkreis ersetzen kann.Embodiments are not shown which comprise resonators cascaded in series and in parallel, which form a single cascade which can replace a single resonator in any filter circuit.

BezugszeichenlisteList of reference symbols

akustische Spuracoustic trace
AbzweigtypstrukturBranch type structure
kaskadierter Resonatorcascaded resonator
gemeinsame Sammelschienecommon busbar
1,2,31,2,3
Admittanz von einzelnen ResonatorenAdmittance of individual resonators
AP1, AP2AP1, AP2
erste und zweite Aperturfirst and second apertures
BSLCBSLC
Basisabschnitt einer KreuzgliedtypstrukturBase portion of a cross link type structure
BSLTBSLT
Basisabschnitt einer AbzweigtypstrukturBase section of a branch type structure
CC.
Admittanz einer Kaskade aus Resonatoren mit unterschiedlichen AperturenAdmittance of a cascade of resonators with different apertures
F1F1
Erstes FilterFirst filter
FCFC
FilterschaltkreisFilter circuit
IDTIDT
IDT/InterdigitalwandlerIDT / interdigital converter
IEIE
ReaktanzelementReactance element
IEPIEP
ParallelreaktanzelementParallel reactance element
IESIES
ReihenreaktanzelementSeries reactance element
R1, R2R1, R2
erster und zweiter Resonatorfirst and second resonator
REFREF
Reflektorreflector
RPRP
ParallelresonatorParallel resonator
RSRS
ReihenresonatorSeries resonator

Claims (10)

Filterschaltkreis, der Folgendes umfasst: - einen ersten SAW-Resonator (R1), der eine erste Apertur (Ap1) aufweist, - einen zweiten SAW-Resonator (R2), der eine zweite Apertur (AP2) aufweist und mit dem ersten SAW-Resonator in Reihe oder parallel verbunden ist, wobei - die erste und zweite Apertur hinsichtlich eines Wertes verschieden sind.Filter circuitry comprising: - A first SAW resonator (R1) which has a first aperture (Ap1), - A second SAW resonator (R2) which has a second aperture (AP2) and is connected in series or in parallel to the first SAW resonator, wherein the first and second apertures are different in terms of value. Filterschaltkreis nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei sich die erste und zweite Apertur hinsichtlich eines Wertes um wenigstens 5 % unterscheiden.A filter circuit according to the preceding claim, wherein the first and second apertures differ in value by at least 5%. Filterschaltkreis nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei jeder SAW-Resonator (R) nur einen IDT umfasst, der in einer akustischen Spur zwischen zwei Reflektoren (REF) angeordnet ist.Filter circuit according to the preceding claim, wherein each SAW resonator (R) comprises only one IDT which is arranged in an acoustic track between two reflectors (REF). Filterschaltkreis nach einem der vorhergehenden Ansprüche, - wobei der Filterschaltkreis eine Abzweigtypstruktur aus Reaktanzelementen (R, IE) umfasst, - wobei der erste und zweite Resonator direkt miteinander verbunden sind, so dass sie gemeinsam einen kaskadierten Resonator repräsentieren, - wobei der kaskadierte Resonator in der Abzweigtypstruktur als ein Reaktanzelement enthalten ist.Filter circuit according to one of the preceding claims, - wherein the filter circuit comprises a branch type structure of reactance elements (R, IE), - wherein the first and second resonator are directly connected to each other so that they together represent a cascaded resonator, - wherein the cascaded resonator is included in the branch type structure as a reactance element. Filterschaltkreis nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der kaskadierte Resonator ein Reihenreaktanzelement der Abzweigtypstruktur ist.A filter circuit according to any preceding claim, wherein the cascaded resonator is a series reactance element of the branch type structure. Filterschaltkreis nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei drei oder mehr SAW-Resonatoren einen kaskadierten Resonator bilden, wobei die SAW-Resonatoren des kaskadierten Resonators wenigstens drei unterschiedliche Aperturen aufweisen.Filter circuit according to one of the preceding claims, wherein three or more SAW resonators form a cascaded resonator, the SAW resonators of the cascaded resonator having at least three different apertures. Filterschaltkreis nach einem der vorhergehenden Ansprüche, der als ein Bandpass oder ein Tiefpass zur Verwendung als ein Tx-Filter gestaltet ist.Filter circuit according to one of the preceding claims, which is designed as a band pass or a low pass for use as a Tx filter. Filterschaltkreis nach dem vorhergehenden Anspruch, der zum Arbeiten in einem Band oberhalb von 2,3 GHz gestaltet ist.Filter circuit according to the preceding claim, which is designed to operate in a band above 2.3 GHz. Filterschaltkreis nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der erste und zweite Resonator einen kaskadierten Resonator bilden, der innerhalb des Filterschaltkreises als ein Parallel- oder ein Reihenelement verschaltet ist.Filter circuit according to one of the preceding claims, wherein the first and second resonators form a cascaded resonator which is connected as a parallel or a series element within the filter circuit. Filterschaltkreis nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Reihenverbindung der IDTs des ersten und zweiten Resonators durch eine gemeinsame Sammelschiene realisiert ist, die von dem ersten und zweiten Resonator oder von zwei beliebigen anderen angrenzenden Resonatoren geteilt wird.Filter circuit according to one of the preceding claims, wherein the series connection of the IDTs of the first and second resonators is realized by a common busbar, which is of the first and second resonator or of two any other adjacent resonators is shared.
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