DE102019104988A1

DE102019104988A1 - Supply device, method and processing arrangement

Info

Publication number: DE102019104988A1
Application number: DE102019104988.1A
Authority: DE
Inventors: Uwe Wehner; Andreas Guderat; Andreas Müller; Michael Hofmann; Christof Schuster
Original assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Current assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority date: 2019-02-27
Filing date: 2019-02-27
Publication date: 2020-08-27
Also published as: CN111621749A; CN111621749B

Abstract

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Versorgungsvorrichtung (350) aufweisen: zwei Tiegelträger (304, 1304) zum Transportieren jeweils eines Verdampfungstiegels; ein Gestell, welches einen Abstellbereich (312, 314) und eine Verlagerungsstruktur (306) aufweist, wobei die Verlagerungsstruktur (306) zum Verlagern der zwei Tiegelträger (304, 1304) auf dem Gestell eingerichtet ist derart, dass die zwei Tiegelträger (304, 1304) gleichzeitig in einer Abstellposition in dem Abstellbereich (312, 314) angeordnet sein und abwechselnd in eine Betriebsposition innerhalb einer Vakuumkammer (802) gebracht werden können; eine Kühlfluid-Versorgung (602), welche eingerichtet ist, die zwei Tiegelträger (304, 1304) gleichzeitig mit Kühlfluid zu versorgen, wenn von der Abstellposition in die Betriebsposition verlagert wird.

According to various embodiments, a supply device (350) can have: two crucible carriers (304, 1304) for each transporting an evaporation crucible; a frame which has a storage area (312, 314) and a displacement structure (306), the displacement structure (306) being set up for displacing the two crucible carriers (304, 1304) on the frame in such a way that the two crucible carriers (304, 1304 ) simultaneously be arranged in a parking position in the parking area (312, 314) and alternately brought into an operating position within a vacuum chamber (802); a cooling fluid supply (602) which is set up to supply the two crucible carriers (304, 1304) with cooling fluid at the same time when the movement is moved from the parking position to the operating position.

Description

Die Erfindung betrifft eine Versorgungsvorrichtung, ein Verfahren und eine Prozessieranordnung.The invention relates to a supply device, a method and a processing arrangement.

Hochleistung-Elektronenstrahlen (z.B. mit mehreren Kilowatt Leistung) werden herkömmlicherweise in Vakuum-Prozess-Anlagen eingesetzt, um Substrate oder Werkstücke zu erwärmen, Materialien zu schmelzen oder um Beschichtungsmaterialien zur Verdampfung zu bringen.High-performance electron beams (e.g. with several kilowatts of power) are conventionally used in vacuum processing systems to heat substrates or workpieces, to melt materials or to make coating materials evaporate.

Beispielsweise kann ein Material (z.B. Kupfer) mittels eines Elektronenstrahls derart beheizt werden, dass es sich zunächst verflüssigt und anschließend gezielt verdampft. Der entstehende Dampf setzt sich schließlich als Beschichtung auf einem Substrat ab. Die Bevorratung des Materials erfolgt in einem Tiegel. Nach dem Verbrauchen des Materials muss der Tiegel zyklisch entsprechend nachgefüllt werden.For example, a material (e.g. copper) can be heated using an electron beam in such a way that it first liquefies and then evaporates in a targeted manner. The resulting vapor is deposited as a coating on a substrate. The material is stored in a crucible. After the material has been used up, the crucible must be refilled accordingly.

Herkömmlicherweise erfolgt die Verdampfung des auf dem Substrat abzuscheidenden Schichtmaterials (auch als Verdampfungsgut oder Beschichtungsmaterial bezeichnet) aus einem Tiegel (auch als Verdampfungstiegel bezeichnet), in dem das Verdampfungsgut mittels eines Elektronenstrahls erhitzt wird. Dieser Tiegel kann ein sogenannter „kalter“ (auch als gekühlter bezeichnet) oder „heißer“ Tiegel sein. Dabei wird unter einem heißen Tiegel ein ungekühlter Tiegel aus einem Material (auch als Tiegelmaterial bezeichnet) verstanden, das eine gegenüber dem Verdampfungsgut (z.B. Kupfer) eine relativ schlechte Wärmeleitung aufweist. Der heiße Tiegel kann beispielsweise aus einem hochtemperaturstabilen Tiegelmaterial gemacht sein, wie beispielsweise ein Oxid oder ein Borid. In einigen Fällen, nämlich in denen das Verdampfungsgut mit Graphit keine chemischen Verbindungen eingeht bzw. nur schwer und in geringem Maße chemische Verbindungen eingeht, kommt auch Graphit als Tiegelmaterial in Frage.The layer material to be deposited on the substrate (also referred to as evaporation material or coating material) is conventionally evaporated from a crucible (also referred to as an evaporation crucible) in which the evaporation material is heated by means of an electron beam. This crucible can be a so-called “cold” (also referred to as a cooled) or “hot” crucible. A hot crucible is understood to mean an uncooled crucible made of a material (also referred to as crucible material) that has a relatively poor thermal conductivity compared to the evaporation material (e.g. copper). The hot crucible can, for example, be made of a crucible material that is stable at high temperatures, such as an oxide or a boride. In some cases, namely in which the evaporation material does not form chemical bonds with graphite or only forms chemical bonds with difficulty and to a small extent, graphite can also be used as the crucible material.

Ein kalter Tiegel (auch als gekühlter Tiegel bezeichnet) kann beispielsweise ein wassergekühlter Kupfer-Tiegel sein, z.B. wegen der guten Wärmeleitfähigkeit des Kupfers und der kostengünstigen Nutzung des Wassers als Kühlmedium.A cold crucible (also referred to as a chilled crucible) can for example be a water-cooled copper crucible, e.g. because of the good thermal conductivity of copper and the inexpensive use of water as a cooling medium.

Herkömmlicherweise wird der Verbrauch an Verdampfungsgut kompensiert, indem zusätzliches Verdampfungsgut in den Tiegel hineingebracht wird (auch als Nachfüllen bezeichnet). Das Nachfüllen des Tiegels mit dem Verdampfungsgut kann beispielsweise unter Vakuum erfolgen, indem ein stangenförmiges Verdampfungsgut von unten dem Tiegel zugeführt wird. Bei einem hohen Verbrauch des Verdampfungsguts ist das Nachfüllen unter Vakuum allerdings ungebräuchlich, da auch die Menge des unter Vakuum vorgehaltenen Verdampfungsguts begrenzt ist. Daher wird in diesem Fall herkömmlicherweise der Tiegel aus dem Vakuum herausgebracht und an Atmosphäre nachgefüllt.Conventionally, the consumption of material to be evaporated is compensated by adding additional material to be evaporated into the crucible (also referred to as refilling). The crucible can be refilled with the material to be evaporated, for example, in a vacuum, in that a rod-shaped material to be evaporated is fed into the crucible from below. If there is a high consumption of the material to be evaporated, however, refilling under vacuum is not common, since the amount of material to be evaporated under vacuum is also limited. Therefore, in this case, the crucible is conventionally taken out of the vacuum and refilled in the atmosphere.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wurde erkannt, dass das Nachfüllen des Verdampfungsguts anschaulich viel Zeit in Anspruch nimmt, da der Tiegel innerhalb der Prozessieranlage abkühlt und erst danach aus dieser herausgebracht werden kann. Dadurch kann der Durchsatz der Prozessieranlage verringert, Kosten erhöht, und einen höherer Personal und Arbeitsaufwand erfordert werden. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen werden eine Versorgungsvorrichtung, ein Verfahren und eine Prozessieranordnung bereitgestellt, welche anschaulich die Dauer der Unterbrechung, welche das Nachfüllen des Tiegels mit dem Verdampfungsgut erfordern kann, verringert.According to various embodiments, it was recognized that refilling the material to be evaporated clearly takes a lot of time, since the crucible cools down within the processing system and can only be removed from it afterwards. As a result, the throughput of the processing system can be reduced, costs can be increased, and a higher level of personnel and labor required. According to various embodiments, a supply device, a method and a processing arrangement are provided which clearly reduce the duration of the interruption which the refilling of the crucible with the material to be evaporated may require.

Anschaulich wird gemäß verschiedenen Ausführungsformen bereitgestellt, dass der nachzufüllende Tiegel gegen einen bereits nachgefüllten Tiegel ausgetauscht wird, wobei beispielsweise das Abkühlen des nachzufüllenden Tiegels außerhalb der Vakuumkammer erfolgen kann. Das Abkühlen des nachzufüllenden Tiegels außerhalb der Vakuumkammer kann erreicht werden, indem diesem gassepariert von der Atmosphäre ununterbrochen mittels eines Kühlfluides thermische Energie entzogen wird. Somit kann anschaulich eine möglichst kurze Unterbrechung erreicht werden, so dass die Prozessieranlage nur kurz außer Betrieb ist. Beispielsweise kann Nachfüllen des Tiegels mit dem Verdampfungsgut derart bereitgestellt sein oder werden, dass alle sicherheitsrelevanten Anforderungen eingehalten werden können sowie keine Schäden an der Ausrüstung entstehen oder das Bedampfungsmaterial unbrauchbar wird. Beispielsweise kann ein kontinuierliches Betreiben der Prozessieranordnung ermöglicht sein oder werden.According to various embodiments, it is clearly provided that the crucible to be refilled is exchanged for an already refilled crucible, wherein, for example, the crucible to be refilled can be cooled outside the vacuum chamber. The crucible to be refilled can be cooled outside the vacuum chamber by continuously withdrawing thermal energy from it, separated from the atmosphere by gas, by means of a cooling fluid. As a result, the shortest possible interruption can be clearly achieved, so that the processing system is only out of operation for a short time. For example, the crucible can be refilled with the material to be evaporated in such a way that all safety-relevant requirements can be met and no damage occurs to the equipment or the material to be evaporated becomes unusable. For example, continuous operation of the processing arrangement can be or become possible.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Versorgungsvorrichtung aufweisen: zwei Tiegelträger zum Transportieren jeweils eines Verdampfungstiegels, ein Gestell, welches einen Abstellbereich und eine Verlagerungsstruktur aufweist, wobei die Verlagerungsstruktur zum Verlagern der zwei Tiegelträger auf dem Gestell eingerichtet ist derart, dass die zwei Tiegelträger gleichzeitig in einer Abstellposition in dem Abstellbereich angeordnet sein und abwechselnd in eine Betriebsposition innerhalb einer Vakuumkammer gebracht werden können, eine Kühlfluid-Versorgung, welche eingerichtet ist, die zwei Tiegelträger gleichzeitig mit Kühlfluid zu versorgen, wenn von der Abstellposition in die Betriebsposition verlagert wird.According to various embodiments, a supply device can have: two crucible carriers for transporting an evaporation crucible each, a frame which has a storage area and a displacement structure, the displacement structure being set up for moving the two crucible carriers on the frame such that the two crucible carriers are simultaneously in a storage position be arranged in the storage area and can be alternately brought into an operating position within a vacuum chamber, a cooling fluid supply, which is set up to supply the two crucible carriers with cooling fluid at the same time when it is moved from the storage position to the operating position.

Es zeigen

1 eine Tiegelanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
2 eine Vakuumanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
3A, 3B, 4A, 4B, 5, 6A und 6B jeweils eine Versorgungsvorrichtung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in verschiedenen Ansichten;
10 eine Prozessieranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht;
7A, 7B, 8A, 8B, 9A, 9B und 11 jeweils eine Versorgungsvorrichtung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht; und
12 ein Verfahren zum Betreiben einer Versorgungsvorrichtung in einem schematischen Ablaufdiagramm.

Show it

1 a crucible arrangement according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view;
2 a vacuum arrangement according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view;
3A , 3B , 4A , 4B , 5 , 6A and 6B each a supply device according to different embodiments in different views;
10 a processing arrangement according to various embodiments in a schematic top view;
7A , 7B , 8A , 8B , 9A , 9B and 11 each a supply device according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view; and
12 a method for operating a supply device in a schematic flow diagram.

In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben“, „unten“, „vorne“, „hinten“, „vorderes“, „hinteres“, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.In the following detailed description, reference is made to the accompanying drawings, which form a part hereof, and in which there is shown, for purposes of illustration, specific embodiments in which the invention may be practiced. In this regard, directional terminology such as "top", "bottom", "front", "back", "front", "back", etc. is used with reference to the orientation of the character (s) being described. Because components of embodiments can be positioned in a number of different orientations, the directional terminology is used for purposes of illustration and is in no way limiting. It goes without saying that other embodiments can be used and structural or logical changes can be made without departing from the scope of protection of the present invention. It goes without saying that the features of the various exemplary embodiments described herein can be combined with one another, unless specifically stated otherwise. Therefore, the following detailed description is not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is defined by the appended claims.

Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe „verbunden“, „angeschlossen“ sowie „gekoppelt“ verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung (z.B. ohmsch und/oder elektrisch leitfähig, z.B. einer elektrisch leitfähigen Verbindung), eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.In the context of this description, the terms “connected”, “connected” and “coupled” are used to describe both a direct and an indirect connection (e.g. ohmic and / or electrically conductive, e.g. an electrically conductive connection), a direct or indirect connection as well as a direct or indirect coupling. In the figures, identical or similar elements are provided with identical reference symbols, as far as this is appropriate.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Begriff „gekoppelt“ oder „Kopplung“ im Sinne einer (z.B. mechanischen, hydrostatischen, thermischen und/oder elektrischen), z.B. direkten oder indirekten, Verbindung und/oder Wechselwirkung verstanden werden. Mehrere Elemente können beispielsweise entlang einer Wechselwirkungskette miteinander gekoppelt sein, entlang welcher die Wechselwirkung (z.B. ein Signal) übertragen werden kann. Beispielsweise können zwei miteinander gekoppelte Elemente eine Wechselwirkung miteinander austauschen, z.B. eine mechanische, hydrostatische, thermische und/oder elektrische Wechselwirkung. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann „gekuppelt“ im Sinne einer mechanischen (z.B. körperlichen bzw. physikalischen) Kopplung verstanden werden, z.B. mittels eines direkten körperlichen Kontakts. Eine Kupplung kann eingerichtet sein, eine mechanische Wechselwirkung (z.B. Kraft, Drehmoment, etc.) zu übertragen.According to various embodiments, the term "coupled" or "coupling" can be used in the sense of a (e.g. mechanical, hydrostatic, thermal and / or electrical), e.g. direct or indirect, connection and / or interaction are understood. Several elements can, for example, be coupled to one another along an interaction chain, along which the interaction (e.g. a signal) can be transmitted. For example, two elements coupled together can exchange an interaction with one another, e.g. a mechanical, hydrostatic, thermal and / or electrical interaction. According to various embodiments, "coupled" can be understood in the sense of a mechanical (e.g. physical) coupling, e.g. by means of direct physical contact. A clutch can be set up to transmit a mechanical interaction (e.g. force, torque, etc.).

Das Steuern kann verstanden werden als eine beabsichtigte Beeinflussung eines Systems. Dabei kann der Zustand des Systems gemäß einer Vorgabe verändert werden. Regeln kann als Steuern verstanden werden, wobei zusätzlich einer Zustandsänderung des Systems durch Störungen entgegengewirkt wird. Anschaulich kann die Steuerung eine nach vorn gerichtete Steuerstrecke aufweisen und somit anschaulich eine Ablaufsteuerung implementieren, welche eine Eingangsgröße in eine Ausgangsgröße umsetzt. Die Steuerstrecke kann aber auch Teil eines Regelkreises sein, so dass eine Regelung implementiert wird. Die Regelung weist im Gegensatz zu der reinen Vorwärts-Steuerung eine fortlaufende Einflussnahme der Ausgangsgröße auf die Eingangsgröße auf, welche durch den Regelkreis bewirkt wird (Rückführung). Mit anderen Worten kann alternativ oder zusätzlich zu der Steuerung eine Regelung verwendet werden bzw. alternativ oder zusätzlich zu dem Steuern ein Regeln erfolgen. Bei einer Regelung wird ein Ist-Wert der Regelgröße (z. B. basierend auf einem Messwert ermittelt) mit einem Führungswert (einem Sollwert oder einer Vorgabe oder einem Vorgabewert) verglichen und entsprechend kann die Regelgröße mittels einer Stellgröße (unter Verwendung eines Stellglieds) derart beeinflusst werden, dass sich möglichst eine geringe Abweichung des jeweiligen Ist-Werts der Regelgröße vom Führungswert ergibt.Controlling can be understood as an intended influencing of a system. The state of the system can be changed according to a specification. Regulation can be understood as controlling, whereby a change in the state of the system due to disruptions is also counteracted. The controller can clearly have a forward-facing control path and thus clearly implement a sequence control which converts an input variable into an output variable. The control path can, however, also be part of a control loop, so that regulation is implemented. In contrast to the pure forward control, the control has a continuous influence of the output variable on the input variable, which is effected by the control loop (feedback). In other words, a regulation can be used as an alternative or in addition to the control or regulation can take place as an alternative or in addition to the control. In the case of regulation, an actual value of the controlled variable (e.g. determined based on a measured value) is compared with a reference value (a setpoint or a specification or a preset value) and the controlled variable can accordingly be adjusted using a manipulated variable (using an actuator) can be influenced so that there is as little deviation as possible of the respective actual value of the controlled variable from the reference value.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verdampfungstiegel (auch als Schmelztiegel oder vereinfacht als Tiegel bezeichnet) in einer permanent wassergekühlten und hermetisch abschließbaren Einhausung (auch als Tiegelgehäuse bezeichnet) angeordnet sein oder werden. Die Einhausung kann optional eine automatisch öffnende und schließende Abdeckung aufweisen. Nach Beendigung des Verdampfungsvorganges und vor dem Belüften der Vakuumkammer kann die Einhausung geschlossen und das Innere mit einer Schutzgasatmosphäre beaufschlagt werden.According to various embodiments, an evaporation crucible (also referred to as melting crucible or simply referred to as crucible) can be arranged in a permanently water-cooled and hermetically sealable housing (also referred to as crucible housing). The housing can optionally have an automatically opening and closing cover. After the end of the evaporation process and before When the vacuum chamber is ventilated, the housing can be closed and the interior can be exposed to a protective gas atmosphere.

Beispielsweise kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Kupfer verdampft werden. Dazu kann es notwendig sein, das Kupfer in dem Verdampfungstiegel auf eine Temperatur von ungefähr 1400°C oder mehr zu erwärmen. Der Verdampfungstiegel kann beispielsweise Graphit aufweisen oder daraus gebildet sein.For example, copper can be evaporated according to various embodiments. To do this, it may be necessary to heat the copper in the evaporation crucible to a temperature of approximately 1400 ° C. or more. The evaporation crucible can for example comprise graphite or be formed from it.

Solange der Vorgang des Erwärmens des Kupfers (oder eines anderen Verdampfungsguts) unter Vakuum abläuft, besteht kaum oder keine Notwendigkeit, den Graphittiegel bzw. das Kupfer vor oxidativen Einflüssen zu schützen. Optional kann der Verdampfungstiegel allseitig mit Strahlungsschilden eingehaust sein, um die Wärmeabstrahlung in die Vakuumkammer bzw. auf dort eingebaute Komponenten zu hemmen. Während des Verdampfungsprozesses kann eine große Menge Kupferdampf, die auf dem zu beschichtenden Substrat und beispielsweise auch auf der gesamten Umgebung kondensieren kann.As long as the process of heating the copper (or another material to be evaporated) takes place under vacuum, there is little or no need to protect the graphite crucible or the copper from oxidative influences. Optionally, the evaporation crucible can be encased on all sides with radiation shields in order to inhibit the radiation of heat into the vacuum chamber or onto components installed there. During the evaporation process, a large amount of copper vapor can be generated, which can condense on the substrate to be coated and, for example, on the entire environment.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Verdampfungsgut auch ein anderes Material als Kupfer aufweisen. Allgemeiner gesprochen kann das Verdampfungsgut beispielsweise Kupfer (Cu), Silber (Ag), Zinn (Sn), Indium (In) und/oder Gold (Au) aufweisen oder daraus gebildet sein. Beispielsweise kann ein solches Verdampfungsgut andere edle metallische Verbindungen und Legierungen von beispielsweise Kupfer (Cu), Silber (Ag), Zinn (Sn), Indium (In) und/oder Gold (Au) aufweisen oder daraus gebildet sein. Prinzipiell können aber auch andere Typen von Verdampfungsgut verdampft werden, z.B. Metalle.According to various embodiments, the material to be evaporated can also have a material other than copper. More generally speaking, the material to be evaporated can, for example, comprise or be formed from copper (Cu), silver (Ag), tin (Sn), indium (In) and / or gold (Au). For example, such a material to be evaporated can have or be formed from other noble metallic compounds and alloys of, for example, copper (Cu), silver (Ag), tin (Sn), indium (In) and / or gold (Au). In principle, however, other types of material to be evaporated can also be evaporated, e.g. Metals.

Aufgrund der anschaulich langen Abkühlzeiten des Verdampfungstiegels nach Beendigung des Verdampfens können zwei Verdampfungstiegel mit entsprechender Einhausung verwendet werden. Jeder Verdampfungstiegel der zwei Verdampfungstiegel kann jeweils an einem separaten Kammertürflansch installiert sein oder werden. Der sich jeweils nicht im Einsatz befindliche Verdampfungstiegel kann während des Arbeitens mit dem anderen Verdampfungstiegel entsprechend gewartet und wieder neu mit Verdampfungsmaterial befüllt (beispielsweise nachgefüllt) werden. Der befüllte Verdampfungstiegel kann nach Beendigung des Verdampfungszyklus gegen den anderen Tiegel ausgetauscht werden. Auf diese Weise kann ein oder mehr als ein Tauschvorgang von zwei oder mehr als zwei Tiegeln gegeneinander erfolgen. Der eine oder mehr als eine Tauschvorgang kann beispielsweise jeweils wechselseitig erfolgen. Die zwei Verdampfungstiegel bzw. deren Einhausungen können permanent mit einer Medienversorgung verbunden sein oder werden.Due to the clearly long cooling times of the evaporation crucible after the end of evaporation, two evaporation crucibles with a corresponding housing can be used. Each evaporation crucible of the two evaporation crucibles can be installed on a separate chamber door flange. The evaporation crucible that is not in use can be serviced accordingly while working with the other evaporation crucible and refilled (for example, refilled) with evaporation material. The filled evaporation crucible can be exchanged for the other crucible after the end of the evaporation cycle. In this way, one or more than one exchange process of two or more than two crucibles for one another can take place. The one or more than one exchange process can, for example, take place alternately. The two evaporation crucibles or their housings can be or will be permanently connected to a media supply.

Die Medienversorgung kann beispielsweise zumindest eine Kühlfluid-Versorgung aufweisen, welche z.B. eine Versorgung mit Kühlwasser und/oder Schutzgas bereitstellt. Die Medienverbindungen (z.B. Kühlwasser und/oder Schutzgas) können permanent mit jedem Verdampfungstiegel der zwei Verdampfungstiegel verbunden sein oder werden und somit in Betrieb bleiben, z.B. während des Tauschvorganges.The media supply can for example have at least one cooling fluid supply, which e.g. provides a supply of cooling water and / or protective gas. The media connections (e.g. cooling water and / or protective gas) can be or become permanently connected to each evaporation crucible of the two evaporation crucibles and thus remain in operation, e.g. during the exchange process.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können hohe Sicherheitsanforderungen erfüllt werden. Eine Kontamination bzw. Beschädigung von Verdampfungstiegel und Verdampfungsmaterial kann gehemmt werden dadurch, dass wegen des jeweiligen Austauschens von zwei Verdampfungstiegeln gegeneinander eine entsprechende Abkühlzeit eingehalten werden kann.According to various embodiments, high security requirements can be met. Contamination or damage to the evaporation crucible and evaporation material can be inhibited by the fact that a corresponding cooling time can be observed due to the respective exchange of two evaporation crucibles with respect to one another.

Die gemäß verschiedenen Ausführungsformen bereitgestellte Versorgungsanordnung lässt sich im Allgemeinen auch mit anderen Typen von Tiegeln und/oder Typen von Verdampfungsgut verwenden, beispielsweise ein Oxid-Verdampfungsgut, ein Graphit-Verdampfungsgut, oder ein Verdampfungsgut einer anderen chemischen Verbindung.The supply arrangement provided according to various embodiments can generally also be used with other types of crucibles and / or types of evaporation material, for example an oxide evaporation material, a graphite evaporation material, or an evaporation material of another chemical compound.

Im Rahmen dieser Beschreibung kann ein Metall (auch als metallischer Werkstoff bezeichnet) zumindest ein metallisches Element (d.h. ein oder mehrere metallische Elemente) aufweisen (oder daraus gebildet sein), z.B. zumindest ein Element aus der Folgenden Gruppe von Elementen: Kupfer (Cu), Eisen (Fe), Titan (Ti), Nickel (Ni), Silber (Ag), Chrom (Cr), Platin (Pt), Gold (Au), Magnesium (Mg), Aluminium (Al), Zirkonium (Zr), Tantal (Ta), Molybdän (Mo), Wolfram (W), Vanadium (V), Barium (Ba), Indium (In), Calcium (Ca), Hafnium (Hf), Samarium (Sm), Silber (Ag), und/oder Lithium (Li). Ferner kann ein Metall eine metallische Verbindung (z.B. eine intermetallische Verbindung oder eine Legierung) aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. eine Verbindung aus zumindest zwei metallischen Elementen (z.B. aus der Gruppe von Elementen), wie z.B. Bronze oder Messing, oder z.B. eine Verbindung aus zumindest einem metallischen Element (z.B. aus der Gruppe von Elementen) und mindestens einem nichtmetallischen Element (z.B. Kohlenstoff), wie z.B. Stahl.In the context of this description, a metal (also referred to as a metallic material) can comprise (or be formed from) at least one metallic element (i.e. one or more metallic elements), e.g. at least one element from the following group of elements: copper (Cu), iron (Fe), titanium (Ti), nickel (Ni), silver (Ag), chromium (Cr), platinum (Pt), gold (Au), Magnesium (Mg), aluminum (Al), zirconium (Zr), tantalum (Ta), molybdenum (Mo), tungsten (W), vanadium (V), barium (Ba), indium (In), calcium (Ca), Hafnium (Hf), samarium (Sm), silver (Ag), and / or lithium (Li). Furthermore, a metal may comprise or be formed from a metallic compound (e.g. an intermetallic compound or an alloy), e.g. a combination of at least two metallic elements (e.g. from the group of elements), e.g. Bronze or brass, or e.g. a compound of at least one metallic element (e.g. from the group of elements) and at least one non-metallic element (e.g. carbon), e.g. Steel.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Substrat zumindest eines von Folgendem aufweisen oder daraus gebildet sein: eine Keramik, ein Glas, einen Halbleiter (z.B. einen amorphen, polykristallinen oder einkristallinen Halbleiter, z.B. Silizium), ein Metall (z.B. Aluminium, Kupfer, Eisen, Stahl, Platin, Gold, etc.), ein Polymer (z.B. Kunststoff) und/oder eine Mischung verschiedener Materialien, wie z.B. ein Verbundwerkstoff (z.B. Kohlenstofffaser-verstärkter-Kohlenstoff, oder Kohlenstofffaser-verstärkter-Kunststoff). Das Substrat kann als Platte oder als Band (z.B. eine Folie) bereitgestellt sein oder werden. Beispielsweise kann das Substrat eine Kunststofffolie, eine Halbleiterfolie, eine Metallfolie und/oder eine Glasfolie aufweisen oder daraus gebildet sein, und optional beschichtet sein oder werden. Alternativ oder zusätzlich kann das Substrat beispielsweise Fasern aufweisen, z.B. Glasfasern, Kohlenstofffasern, Metallfasern und/oder Kunststofffasern, z.B. in Form eines Gewebes, eines Netzes, eines Gewirks, Gestricks oder als Filz bzw. Flies.According to various embodiments, the substrate can have or be formed from at least one of the following: a ceramic, a glass, a semiconductor (e.g. an amorphous, polycrystalline or monocrystalline semiconductor, e.g. silicon), a metal (e.g. aluminum, copper, iron, steel, Platinum, gold, etc.), a polymer (e.g. plastic) and / or a mixture of different materials, such as a composite material (e.g. carbon fiber reinforced-carbon, or carbon-fiber-reinforced-plastic). The substrate can be provided as a plate or as a tape (for example a film). For example, the substrate can have or be formed from a plastic film, a semiconductor film, a metal film and / or a glass film, and optionally be or will be coated. Alternatively or additionally, the substrate can for example have fibers, for example glass fibers, carbon fibers, metal fibers and / or plastic fibers, for example in the form of a woven fabric, a net, a knitted fabric, a knitted fabric or as a felt or fleece.

1 veranschaulicht eine Tiegelanordnung 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht. 1 Figure 3 illustrates a crucible arrangement 100 according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view.

Die Tiegelanordnung 100 kann ein, z.B. mehrteiliges, Gehäuse 102 aufweisen. Das Gehäuse 102 kann beispielsweise überdruckstabil eingerichtet sein und/oder gasdurchlässig, beispielsweise auch, wenn es zusammengefügt und/oder geschlossen ist. Das mehrteilige Gehäuse 102 erleichtert den Zugriff zum Gehäuseinnenraum 102i.The crucible arrangement 100 can be a multi-part housing 102 exhibit. The case 102 can, for example, be designed to be overpressure stable and / or gas-permeable, for example also when it is joined and / or closed. The multi-part housing 102 facilitates access to the interior of the housing 102i .

Das mehrteilige Gehäuse 102 kann eine Gehäusewanne 102w (auch als Tiegelträgerwanne 102w bezeichnet) und einen davon separaten (z.B. abnehmbaren) Gehäusedeckel 102d (auch als Abdeckbrille bezeichnet) aufweisen. Der Gehäusedeckel 102d kann beispielsweise rahmenförmig eingerichtet sein und/oder von einer Öffnung 102o (auch als Dampfaustrittsöffnung 102o bezeichnet) durchdrungen sein. Der Gehäusedeckel 102d kann mit seinem Rand auf der Gehäusewanne 102w aufliegen. Die Gehäusewanne 102w kann in Richtung des Gehäusedeckels 102d offen sein und den Gehäuseinnenraum 102i bereitstellen. Die Dampfaustrittsöffnung 102o kann den Gehäuseinnenraum 102i teilweise freilegen.The multi-part housing 102 can have a housing tray 102w (also as crucible carrier tray 102w labeled) and a separate (e.g. removable) housing cover 102d (also referred to as masking glasses). The housing cover 102d can for example be set up in the shape of a frame and / or from an opening 102o (also as a steam outlet opening 102o marked) be penetrated. The housing cover 102d can with its edge on the housing tray 102w rest. The housing tray 102w can in the direction of the housing cover 102d be open and the housing interior 102i provide. The steam outlet opening 102o can the interior of the housing 102i partially expose.

Die Tiegelanordnung 100 kann ferner einen Tiegel 104 aufweisen. Der Tiegel 104 kann zumindest einen (d.h. einen oder mehr als einen) Behälter 104b (auch als Verdampfungsgut-Behälter bezeichnet) aufweisen oder daraus gebildet sein.The crucible arrangement 100 can also use a crucible 104 exhibit. The crucible 104 can have at least one (ie one or more than one) container 104b (also referred to as a container for evaporation material) or be formed therefrom.

Der Tiegel 104, z.B. jeder Verdampfungsgut-Behälter 104b, kann eine Vertiefung 104t (auch als Tiegelhafen bezeichnet) aufweisen, in welcher das Verdampfungsgut 106 angeordnet ist. Das Verdampfungsgut 106 kann im Allgemeinen ein Material sein, welches unter Hitzeeinwirkung aufgeschmolzen werden kann und/oder in die Gasphase übergeht. Dazu kann der Verdampfungsgut-Behälter 104b beispielsweise nach unten hin fluiddicht eingerichtet sein, so dass das verflüssigte Verdampfungsmaterial nicht aus diesem heraus austritt. Beispielsweise kann die Vertiefung 104t unterhalb der Dampfaustrittsöffnung 102o angeordnet sein.The crucible 104 , e.g. any container to be evaporated 104b , can be a deepening 104t (also referred to as crucible port), in which the evaporation material 106 is arranged. The evaporation 106 can generally be a material which can be melted under the action of heat and / or changes into the gas phase. The evaporation container 104b for example, be set up fluid-tight towards the bottom, so that the liquefied evaporation material does not escape from this. For example, the recess 104t below the steam outlet opening 102o be arranged.

Das Überführen des Verdampfungsguts in die Dampfphase kann auch als thermisches Verdampfen bezeichnet sein oder werden. Das thermische Verdampfen kann sowohl den Übergang aus der flüssigen Phase in die Gasphase, wie auch den unmittelbaren Übergang aus der festen Phase in die Gasphase (auch als Sublimation bezeichnet) aufweisen.The transfer of the material to be evaporated into the vapor phase can also be referred to as thermal evaporation. The thermal evaporation can have both the transition from the liquid phase to the gas phase, as well as the direct transition from the solid phase to the gas phase (also referred to as sublimation).

Der Tiegel 104 kann zumindest teilweise (das heißt einige oder alle Bestandteile des Tiegels) aus einem hochtemperaturfesten Material gefertigt sein, d.h. dieses aufweisen oder daraus gebildet sein. Beispielsweise kann der zumindest eine Verdampfungsgut-Behälter 104b das hochtemperaturfeste Material aufweisen oder daraus gebildet sein.The crucible 104 can at least partially (that is to say some or all of the components of the crucible) be made of a high-temperature-resistant material, that is to say include or be formed from it. For example, the at least one container to be evaporated 104b have the high temperature resistant material or be formed from it.

Als hochtemperaturfestes Material kann ein Material verstanden werden, welches unter Vakuum (zum Beispiel unter Sauerstoffausschluss) eine Zersetzungstemperatur (zum Beispiel Schmelztemperatur und/oder Sublimationstemperatur) aufweist, die größer ist als ungefähr 2500°C, zum Beispiel größer als ungefähr 2750°C, zum Beispiel größer als ungefähr 3000°C. Das hochtemperaturfeste Material kann beispielsweise Kohlenstoff, zum Beispiel in einer Kohlenstoffmodifikation, wie etwa Graphit, oder in einer Karbid-Verbindung, aufweisen oder daraus gebildet sein. Optional kann das hochtemperaturfeste Material Fasern aufweisen. Beispielsweise kann das hochtemperaturfeste Material ein Faserverbundmaterial aufweisen oder daraus gebildet sein, wobei das Faserverbundmaterial beispielsweise den Kohlenstoff aufweisen kann.A material that is resistant to high temperatures can be understood to be a material which under vacuum (for example with exclusion of oxygen) has a decomposition temperature (for example melting temperature and / or sublimation temperature) that is greater than approximately 2500 ° C, for example greater than approximately 2750 ° C, for example Example greater than about 3000 ° C. The high-temperature-resistant material can, for example, have carbon, for example in a carbon modification such as graphite, or in a carbide compound, or be formed therefrom. Optionally, the high temperature resistant material can have fibers. For example, the high-temperature-resistant material can have a fiber composite material or be formed therefrom, wherein the fiber composite material can comprise carbon, for example.

Beispielsweise kann das hochtemperaturfeste Material kohlenstofffaserverstärkten Kohlenstoff (CFC) aufweisen oder daraus gebildet sein. Kohlenstofffaserverstärkter Kohlenstoff kann beispielsweise eine preisgünstige Fertigung ermöglichen. Beispielsweise kann der kohlenstofffaserverstärkte Kohlenstoff kostengünstig bearbeitet werden und/oder eine vergleichsweise hohe Biegefestigkeit aufweisen.For example, the high-temperature-resistant material can comprise carbon fiber reinforced carbon (CFC) or be formed from it. Carbon fiber reinforced carbon can, for example, enable inexpensive manufacture. For example, the carbon fiber-reinforced carbon can be processed inexpensively and / or have a comparatively high flexural strength.

Alternativ können auch andere Tiegeltypen verwendet werden, z.B. ein wassergekühlter Kupfer-Tiegel und/oder ein Tiegel ohne Gehäuse 102.Alternatively, other types of crucible can also be used, for example a water-cooled copper crucible and / or a crucible without a housing 102 .

Die Tiegelanordnung 100 kann weiterhin eine Tiegelhaltestruktur 108 aufweisen, welche den Tiegel 104 innerhalb des Gehäuses 102 hält.The crucible arrangement 100 can still have a crucible holding structure 108 have which the crucible 104 inside the case 102 holds.

Optional kann das Gehäuse 102 eine Strahlungsschild-Anordnung 102s aufweisen. Die Strahlungsschild-Anordnung 102s kann beispielsweise einen Wärmeübergang von dem Tiegel 104 durch das Gehäuse 102 hindurch hemmen. Die Tiegelanordnung 100 kann optional eine Gasversorgungsstruktur 110 aufweisen. Die Gasversorgungsstruktur 110 kann eine oder mehr als eine Gasaustrittsöffnung (z.B. in Form eines Gasverteilers) aufweisen, welche beispielsweise zu dem Tiegel 104 hin gerichtet ist.Optionally, the housing 102 a radiation shield arrangement 102s exhibit. The radiation shield arrangement 102s can, for example, a heat transfer from the crucible 104 through the housing 102 inhibit through. The Crucible arrangement 100 can optionally have a gas supply structure 110 exhibit. The gas supply structure 110 can have one or more than one gas outlet opening (for example in the form of a gas distributor), which for example lead to the crucible 104 is directed towards.

Die Tiegelanordnung 100 kann optional einen Deckelverschluss 112 aufweisen. Der Deckelverschluss 112 kann eingerichtet sein, die Dampfaustrittsöffnung 102o zu verschließen oder zumindest abzudecken, wenn nicht verdampft werden soll.The crucible arrangement 100 can optionally have a lid lock 112 exhibit. The lid closure 112 can be set up, the steam outlet opening 102o to close or at least to cover, if not to be vaporized.

Die mittels eines Elektronenstrahls (nicht dargestellt) in das Verdampfungsgut 106 eingebrachte Leistung kann das Verdampfungsgut 106 erwärmen und schließlich in die Dampfphase überführen (auch als Verdampfen des Verdampfungsguts 106 bezeichnet). Das verdampfte Verdampfungsgut 106 kann aus der Dampfaustrittsöffnung 102o auftreten und sich an einem Substrat (nicht dargestellt) anlagern (das heißt eine Schicht darauf bilden).By means of an electron beam (not shown) into the evaporation material 106 The product to be evaporated can generate power 106 heat and finally convert it to the vapor phase (also as evaporation of the material to be evaporated 106 designated). The evaporated material to be evaporated 106 can from the steam outlet opening 102o occur and attach to a substrate (not shown) (i.e. form a layer thereon).

Optional kann das Gehäuse 102, zum Beispiel die Gehäusewanne 102w und/oder der Gehäusedeckel 102d, wassergekühlt sein oder werden. Alternativ oder zusätzlich kann der Tiegel 104 wassergekühlt sein oder werden.Optionally, the housing 102 , for example the housing tray 102w and / or the housing cover 102d , be or become water-cooled. Alternatively or additionally, the crucible 104 be or become water-cooled.

Optional kann der Deckelverschluss 112 wassergekühlt sein oder werden.Optionally, the lid closure 112 be or become water-cooled.

Beispielsweise können die Gehäusewanne 102w und/oder der Gehäusedeckel 102d eine Kühlstruktur 1104 aufweisen. Die Kühlstruktur 1104 kann beispielsweise eine oder mehr als eine Fluidleitung aufweisen, z.B. mittels einer Hohlraums einer doppelwandigen Gehäusewanne 102w und/oder eines doppelwandigen Gehäusedeckels 102d bereitgestellt.For example, the housing tray 102w and / or the housing cover 102d a cooling structure 1104 exhibit. The cooling structure 1104 can for example have one or more than one fluid line, for example by means of a cavity in a double-walled housing trough 102w and / or a double-walled housing cover 102d provided.

2 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 200 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, z.B. die Tiegelanordnung 100 und/oder den Verdampfungstiegel 104 aufweisend. 2 illustrates a vacuum arrangement 200 according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view, for example the crucible arrangement 100 and / or the evaporation crucible 104 having.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumanordnung 200 Folgendes aufweisen: eine Vakuumkammer 224 (auch als Vakuumprozesskammer oder Bedampfungskammer bezeichnet), in welcher ein Bedampfungsbereich 224r angeordnet ist, wobei der Bedampfungsbereich 224r beispielsweise im Betrieb der Vakuumanordnung 200 ein Vakuum aufweisen kann. Die Vakuumkammer 224 kann ferner zumindest einen (d.h. genau ein oder mehr als einen) Auftreffbereich 224a, 224b aufweisen.According to various embodiments, a vacuum arrangement 200 Include: a vacuum chamber 224 (also referred to as a vacuum process chamber or vapor deposition chamber), in which a vapor deposition area 224r is arranged, wherein the steaming area 224r for example in the operation of the vacuum arrangement 200 may have a vacuum. The vacuum chamber 224 can furthermore at least one (ie exactly one or more than one) impact area 224a , 224b exhibit.

Die Vakuumanordnung 200 kann ferner zumindest eine (d.h. genau eine oder mehr als eine) Elektronenstrahlkanone 122 aufweisen, welche beispielsweise eine Elektronenstrahlquelle 112q und ein Ablenksystem 142a zum Ablenken eines Elektronenstrahls 23 in den zumindest einen Auftreffbereich 224a, 224b aufweist. Die Elektronenstrahlquelle 112q kann eine Elektronenquelle (z.B. eine Kathode, z.B. Glühkathode) und eine Strahlformeinheit (z.B. eine Anode) aufweisen.
Der Elektronenstrahl 23 kann beispielsweise gemäß einer (z.B. derselben) Ablenksequenz (auch als Elektronenstrahl-Ablenksequenz bezeichnet) abgelenkt werden, z.B. mehrmals hintereinander gemäß derselben Ablenksequenz. Eine Ablenksequenz kann anschaulich eine Abfolge von Soll-Auftreffpunkten und/oder eine Soll-Trajektorie (auch als Soll-Ablenktrajektorie bezeichnet) auf welche der Elektronenstrahl 23 gerichtet wird (d.h. welcher mittels des Elektronenstrahls 23 abgefahren werden soll), repräsentieren. Die oder jede Ablenksequenz kann eine in sich geschlossene Trajektorie 155 bzw. eine Abfolge von Soll-Auftreffpunkten 155 entlang der in sich geschlossenen Trajektorie 155 definieren, welche bestrahlt werden soll (die sogenannte Auftrefffigur 155). Allgemeiner wird die Auftrefffigur 155 von der Ablenkfigur (auch als Ablenkmuster bezeichnet) beschrieben, welche beispielsweise auf den Ablenkwinkel (α_X(t), α_y(t)) bezogen sein kann, um welche der Elektronenstrahl 23 aus seiner Ruheposition abgelenkt wird.The vacuum arrangement 200 can furthermore at least one (ie exactly one or more than one) electron beam gun 122 have, for example, an electron beam source 112q and a deflection system 142a for deflecting an electron beam 23 in the at least one impact area 224a , 224b having. The electron beam source 112q can have an electron source (eg a cathode, eg hot cathode) and a beam shaping unit (eg an anode).
The electron beam 23 can for example be deflected according to a (for example the same) deflection sequence (also referred to as an electron beam deflection sequence), for example several times in succession according to the same deflection sequence. A deflection sequence can clearly be a sequence of desired points of impact and / or a desired trajectory (also referred to as a desired deflection trajectory) on which the electron beam 23 is directed (ie which by means of the electron beam 23 should be traveled), represent. The or each deflection sequence can be a self-contained trajectory 155 or a sequence of target points of impact 155 along the self-contained trajectory 155 define which one is to be irradiated (the so-called impact figure 155 ). The impact figure becomes more general 155 described by the deflection figure (also referred to as deflection pattern), which can be related, for example, to the deflection angle (α _X (t), α _y (t)) by which the electron beam 23 is distracted from its rest position.

Der oder jeder Tiegel 104 kann beispielsweise in einem Gehäuse 102 angeordnet sein oder werden, welches in der Vakuumkammer 224 angeordnet ist.The or each crucible 104 can for example in a housing 102 be or will be arranged, which in the vacuum chamber 224 is arranged.

In dem Bedampfungsbereich 224r kann das zu beschichtende Werkstück 202 angeordnet und/oder transportiert sein oder werden, z.B. während das Verdampfen des Verdampfungsguts erfolgt. Beispielsweise kann das Substrat 202 ein plattenförmiges oder bandförmiges Substrat 202 aufweisen oder daraus gebildet sein.In the steaming area 224r can the workpiece to be coated 202 arranged and / or transported, for example while the evaporation of the material to be evaporated is taking place. For example, the substrate 202 a plate-shaped or tape-shaped substrate 202 have or be formed from it.

Das Substrat 202 kann ortsfest in dem Beschichtungsbereich 224r angeordnet sein oder werden. Alternativ kann das Substrat 202 entlang eines Transportpfads 111p in dem Beschichtungsbereich 224r transportiert werden, z.B. mittels einer Transportvorrichtung. Die Transportvorrichtung kann beispielsweise mehrere Transportrollen 282 aufweisen, welche das Substrat berühren.The substrate 202 can be stationary in the coating area 224r be or will be arranged. Alternatively, the substrate 202 along a transport path 111p in the coating area 224r be transported, for example by means of a transport device. The transport device can, for example, have several transport rollers 282 have which touch the substrate.

Der Abstand der Elektronenstrahlquelle 112q zu dem Verdampfungsgut und/oder dem Gehäuse 102 kann beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 0,3 m bis ungefähr 5 m liegen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 1 m bis ungefähr 2 m. Alternativ oder zusätzlich kann das Targetmaterial in einem Vakuum angeordnet sein oder werden, z.B. während es bestrahlt und/oder verdampft wird. Die Elektronenstrahlquelle 112q kann den Elektronenstrahl mit einer Leistung von mehreren kW (Kilowatt) bereitstellen, z.B. mit einer Strahlleistung in einem Bereich von ungefähr 1 kW bis ungefähr 1 MW.The distance from the electron beam source 112q to the evaporation material and / or the housing 102 can for example be in a range from about 0.3 m to about 5 m, for example in a range from about 1 m to about 2 m. Alternatively or in addition, the target material can be or will be arranged in a vacuum, for example while it is being irradiated and / or evaporated. The electron beam source 112q can use the electron beam with a power of several kW (kilowatts) provide, for example with a beam power in a range of approximately 1 kW to approximately 1 MW.

Die eine oder mehr als eine Elektronenstrahlkanone 122 kann mittels einer Energieversorgung 120 elektrisch versorgt werden. Beispielsweise kann die Energieversorgung 120 eine Beschleunigungsspannung und/oder einen Kathodenstrom der Elektronenstrahlkanone 122 bereitstellen. Die Beschleunigungsspannung kann mittels eines Transformators der Energieversorgung 120 bereitgestellt sein oder werden.The one or more than one electron beam gun 122 can by means of a power supply 120 be supplied electrically. For example, the power supply 120 an acceleration voltage and / or a cathode current of the electron beam gun 122 provide. The acceleration voltage can be supplied by means of a transformer 120 be or will be provided.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Kammergehäuse 224, z.B. die oder jede darin bereitgestellte Vakuumkammer 224, derart eingerichtet sein, dass darin ein Druck in einem Bereich von ungefähr 10 mbar bis ungefähr 1 mbar (mit anderen Worten Grobvakuum) bereitgestellt werden kann oder weniger, z.B. ein Druck in einem Bereich von ungefähr 1 mbar bis ungefähr 10^-3 mbar (mit anderen Worten Feinvakuum) oder weniger, z.B. ein Druck in einem Bereich von ungefähr 10^-3 mbar bis ungefähr 10^-7 mbar (mit anderen Worten Hochvakuum) oder weniger, z.B. ein Druck von kleiner als Hochvakuum, z.B. kleiner als ungefähr 10^-7 mbar. Dazu kann das Kammergehäuse 224 derart stabil eingerichtet sein, dass diese dem Einwirken des Luftdrucks im abgepumpten Zustand standhält.According to various embodiments, a chamber housing 224 e.g., the or each vacuum chamber provided therein 224 , be set up in such a way that a pressure in a range from approximately 10 mbar to approximately 1 mbar (in other words, low vacuum) or less can be provided therein, e.g. a pressure in a range from approximately 1 mbar to approximately 10 ^-3 mbar (with other words fine vacuum) or less, for example a pressure in a range from approximately 10 ^-3 mbar to approximately 10 ^-7 mbar (in other words high vacuum) or less, for example a pressure less than high vacuum, e.g. less than approximately 10 ^-7 mbar . The chamber housing 224 be set up so stable that it withstands the action of the air pressure in the pumped-out state.

Das Kammergehäuse 224, z.B. die oder jede darin bereitgestellte Vakuumkammer 224, kann mit einer Versorgungsvorrichtung gekuppelt sein, wie nachfolgend genauer beschrieben wird.The chamber housing 224 e.g., the or each vacuum chamber provided therein 224 , can be coupled to a supply device, as described in more detail below.

3A veranschaulicht eine Versorgungsvorrichtung 300 (z.B. die nachfolgende Versorgungsvorrichtung 350) gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht und 3B die Versorgungsvorrichtung 300 in einer schematischen Draufsicht 300b. 3A illustrates a supply device 300 (e.g. the subsequent supply device 350 ) according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view and 3B the supply device 300 in a schematic plan view 300b .

Die Versorgungsvorrichtung 300 kann ein Gestell 302 aufweisen, welches mehrere Abstellbereiche, z.B. einen ersten Abstellbereich 312 und einen zweiten Abstellbereich 314, aufweisen kann. Ferner kann die Versorgungsvorrichtung 300 einen oder mehr als einen Tiegelträger 304 aufweisen zum Transportieren jeweils eines Verdampfungstiegels.The supply device 300 can be a frame 302 have, which has several parking areas, for example a first parking area 312 and a second storage area 314 may have. Furthermore, the supply device 300 one or more than one crucible carrier 304 each have an evaporation crucible for transporting.

Ist der Tiegelträger 304 in dem ersten Abstellbereich 312 angeordnet, kann dieser in eine erste Abstellposition gebracht sein oder werden. Ist der Tiegelträger 304 in dem zweiten Abstellbereich 314 angeordnet, kann dieser in eine zweite Abstellposition 314p gebracht sein oder werden. In analoger Weise kann auch mehr als ein Tiegelträger 304 verlagert werden.Is the crucible carrier 304 in the first parking area 312 arranged, it can be brought into a first parking position. Is the crucible carrier 304 in the second parking area 314 arranged, this can be in a second parking position 314p be or will be brought. In an analogous manner, more than one crucible carrier can also be used 304 be relocated.

Das Gestell 302 kann eine Verlagerungsstruktur 306 aufweisen, welche derart eingerichtet ist, dass der Tiegelträger 304 zwischen der ersten Abstellposition 312p und der zweiten Abstellposition 314p verlagert 301 werden kann (auch als erstes Verlagern 301 bezeichnet).The frame 302 can be a relocation structure 306 have which is set up such that the crucible carrier 304 between the first parking position 312p and the second parking position 314p can be relocated 301 (also called first relocation 301 designated).

Die Verlagerungsstruktur 306 und der oder jeder Tiegelträger 304 können derart zueinander eingerichtet sein, dass der Tiegelträger 304 relativ zu dem Gestell 302 beweglich gelagert ist. Beispielsweise können diese ein oder mehr als ein Lagerelement aufweisen, welche ineinandergreifend ein Lager bereitstellen.The relocation structure 306 and the or each crucible carrier 304 can be set up with respect to one another in such a way that the crucible carrier 304 relative to the frame 302 is movably mounted. For example, these can have one or more than one bearing element, which interlockingly provide a bearing.

Die Verlagerungsstruktur 306 und der oder jeder Tiegelträger 304 können beispielsweise derart zueinander eingerichtet sein, dass der Tiegelträger 304 auf der Verlagerungsstruktur 306 aufliegend verlagert werden kann und/oder dass die Verlagerungsstruktur 306 das Verlagern 301 des Tiegelträgers 304 führt, z.B. entlang eines Verlagerungspfades 301.The relocation structure 306 and the or each crucible carrier 304 can for example be set up with respect to one another in such a way that the crucible carrier 304 on the relocation structure 306 can be relocated lying on top and / or that the relocation structure 306 relocating 301 of the crucible carrier 304 leads, for example, along a dislocation path 301 .

Beispielsweise kann der Verlagerungspfad 301 linear und/oder parallel zu einer horizontalen Richtung 101, 301 sein. Dies erleichtert die Konstruktion.For example, the displacement path 301 linear and / or parallel to a horizontal direction 101, 301 be. This makes the construction easier.

Beispielsweise kann die Verlagerungsstruktur 306 ein Führungssystem aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. eine oder mehr als eine Führungsschiene oder ein oder mehr als ein anderes Führungselement (z.B. eine Profilschienenführung). Alternativ oder zusätzlich können die Verlagerungsstruktur 306 und/oder der Tiegelträger 304 einen oder mehr als einen Wälzkörper (z.B. Rad und/oder Rolle) und/oder einen oder mehr als einen Gleitkörper aufweisen.For example, the relocation structure 306 have a guide system or be formed from it, for example one or more than one guide rail or one or more than one other guide element (for example a profile rail guide). Alternatively or additionally, the relocation structure 306 and / or the crucible support 304 have one or more than one rolling element (eg wheel and / or roller) and / or one or more than one sliding element.

Beispielsweise kann der oder jeder Tiegelträger 304 ein Fahrgestell mit mehreren Wälzkörpern aufweisen.For example, the or each crucible carrier 304 have a chassis with several rolling elements.

Es können auch andere Lagerelemente zum Lagern des Tiegelträgers 304 auf der Verlagerungsstruktur 306 verwendet werden.Other bearing elements can also be used to support the crucible carrier 304 on the relocation structure 306 be used.

Optional können die Verlagerungsstruktur 306 und/oder der Tiegelträger 304 einen Antrieb aufweisen, welcher das Verlagern antreiben kann. Der Antrieb kann beispielsweise ein elektrischer Antrieb (z.B. ein Elektromotor) sein.Optionally, the relocation structure 306 and / or the crucible support 304 have a drive which can drive the displacement. The drive can for example be an electric drive (for example an electric motor).

Ferner kann die Verlagerungsstruktur 306 eingerichtet sein, den Tiegelträger 304 in eine Betriebsposition 316p neben dem Gestell zu verlagern 303 (auch als zweites Verlagern 303 bezeichnet), beispielsweise aus der ersten Abstellposition 312p und/oder der zweiten Abstellposition 314p heraus. Die Betriebsposition 316p kann beispielsweise in einer Vakuumkammer 224 angeordnet sein. Dazu kann die Verlagerungsstruktur 306 einen zusätzlichen Verlagerungspfad 303 zu der Betriebsposition 316p hin bereitstellen.Furthermore, the relocation structure 306 be set up, the crucible carrier 304 in an operating position 316p next to the frame to be displaced 303 (also referred to as a second displacement 303), for example from the first parking position 312p and / or the second parking position 314p out. The operating position 316p can for example in a Vacuum chamber 224 be arranged. The relocation structure can do this 306 an additional displacement path 303 to the operating position 316p to provide.

Der zusätzliche Verlagerungspfad 303 kann beispielsweise linear und/oder parallel zu einer horizontalen Richtung 101, 301 sein. Dies erleichtert die Konstruktion.The additional displacement path 303 can for example be linear and / or parallel to a horizontal direction 101, 301 be. This makes the construction easier.

Der zusätzliche Verlagerungspfad 303 kann beispielsweise quer zu dem Verlagerungspfad 301 sein.The additional displacement path 303 can, for example, transverse to the displacement path 301 be.

4A veranschaulicht eine Versorgungsvorrichtung 400 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht und 4B die Versorgungsvorrichtung 300 in einer schematischen Draufsicht 400a. 4A illustrates a supply device 400 according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view and 4B the supply device 300 in a schematic plan view 400a .

Die Versorgungsvorrichtung 400 kann eingerichtet sein, wie die Versorgungsvorrichtung 300 mit dem Unterschied, dass der Verlagerungspfad 301 gekrümmt ist (z.B. kreisbogenförmig). Optional kann der Verlagerungspfad 301 parallel zu einer horizontalen Richtung 101, 301 sein.The supply device 400 can be set up like the supply device 300 with the difference that the displacement path 301 is curved (e.g. circular arc shape). Optionally, the displacement path 301 parallel to a horizontal direction 101, 301 be.

Dazu kann die Verlagerungsstruktur 306 beispielsweise drehbar gelagert sein oder werden, z.B. mittels eines Drehlagers 402.The relocation structure can do this 306 for example be or are rotatably mounted, for example by means of a pivot bearing 402 .

5 veranschaulicht eine Versorgungsvorrichtung 500 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht. 5 illustrates a supply device 500 according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view.

Die Versorgungsvorrichtung 500 kann eingerichtet sein, wie die Versorgungsvorrichtung 300 oder 400 mit dem Unterschied, dass der Verlagerungspfad 301 parallel zu einer vertikalen Richtung 105 ist (oder zumindest eine vertikale Richtungskomponente aufweist). Dies ermöglicht eine platzsparende Konstruktion.The supply device 500 can be set up like the supply device 300 or 400 with the difference that the displacement path 301 parallel to a vertical direction 105 is (or at least has a vertical component of direction). This enables a space-saving construction.

Dazu kann die Verlagerungsstruktur 306 beispielsweise eine Hubvorrichtung aufweisen, welche den Tiegelträger 304 entlang des Verlagerungspfads 301 verlagert.The relocation structure can do this 306 for example have a lifting device, which the crucible carrier 304 along the dislocation path 301 relocated.

Die Versorgungsvorrichtung 300 bis 500 kann auch anders eingerichtet sein, je nach benötigter Konfiguration und vorherrschenden Randbedingungen. Beispielsweise kann die Verlagerungsstruktur 306 einen Drehteller und eine Hubvorrichtung aufweisen, um Abstellpositionen auf mehreren Ebenen bereitzustellen. Alternativ oder zusätzlich können der Drehteller und/oder die Hubvorrichtung jeweils mehr als zwei Abstellpositionen bereitstellen.The supply device 300 to 500 can also be set up differently, depending on the required configuration and the prevailing boundary conditions. For example, the relocation structure 306 have a turntable and a lifting device to provide parking positions on several levels. Alternatively or in addition, the turntable and / or the lifting device can each provide more than two parking positions.

6A veranschaulicht eine Versorgungsvorrichtung 600 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, z.B. eine der Versorgungsvorrichtungen 300 bis 500. 6A illustrates a supply device 600 according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view, for example one of the supply devices 300 to 500 .

Die Versorgungsvorrichtung 600 kann eine Medienversorgung 602 aufweisen, welche eingerichtet ist, das Versorgen mit einem oder mehr als einem Medium bereitzustellen. Das eine oder mehr als eine Medium kann beispielsweise einer der folgenden Medientypen aufweisen: ein Kühlfluid (z.B. Kühlgas und/oder Kühlflüssigkeit), eine Signalleitung, und/oder eine Leistungsversorgung.The supply device 600 can be a media supply 602 which is set up to provide the supply with one or more than one medium. The one or more than one medium can, for example, have one of the following media types: a cooling fluid (for example cooling gas and / or cooling liquid), a signal line, and / or a power supply.

Im Folgenden wird zum einfacheren Verständnis auf eine Kühlfluid-Versorgung Bezug genommen. Beispielsweise kann die Medienversorgung 602 zumindest eine Kühlfluid-Versorgung 602 aufweisen oder daraus gebildet sein.In the following, reference is made to a cooling fluid supply for easier understanding. For example, the media supply 602 at least one cooling fluid supply 602 have or be formed from it.

Die Kühlfluid-Versorgung 602 kann beispielsweise eine Kühlfluidquelle und/oder ein Kühlfluidreservoir aufweisen. Optional kann die Kühlfluid-Versorgung 602 eine Umwälzvorrichtung aufweisen zum Umwälzen des Kühlfluides. Damit kann beispielsweise ein oder mehr als ein Kühlkreislauf bereitgestellt sein oder werden. Optional kann die Kühlfluid-Versorgung 602 eine Wärmesenke aufweisen, z.B. einen Wärmetauscher, oder zumindest mit dieser gekoppelt sein.The cooling fluid supply 602 can for example have a cooling fluid source and / or a cooling fluid reservoir. Optionally, the cooling fluid supply 602 have a circulating device for circulating the cooling fluid. In this way, for example, one or more than one cooling circuit can be or will be provided. Optionally, the cooling fluid supply 602 have a heat sink, for example a heat exchanger, or at least be coupled to it.

Die Medienversorgung 602 kann eine Versorgungsschnittstelle 602t und eine mit der Versorgungsschnittstelle 602t gekoppelte Verbindungsstruktur 602v aufweisen.The media supply 602 can be a supply interface 602t and one with the utility interface 602t coupled connection structure 602v exhibit.

Die Verbindungsstruktur 602v kann eine oder mehr als eine Kühlfluidleitung aufweisen, z.B. eine oder mehr als eine Gasleitung und/oder einen oder mehr als eine Flüssigkeitsleitung.The connection structure 602v can have one or more than one cooling fluid line, for example one or more than one gas line and / or one or more than one liquid line.

Zum Versorgen mit einem oder mehr als einem zusätzlichen Medientyp, kann die Verbindungsstruktur 602v optional eine oder mehr als eine entsprechende Medium-Leitung aufweisen. Die Verbindungsstruktur 602v kann beispielsweise eine oder mehr als eine Leistungsversorgung-Leitung aufweisen zum Versorgen eines Antriebs des Tiegelträgers 304. Die Verbindungsstruktur 602v kann optional eine oder mehr als eine Signal-Leitung aufweisen zum Ansteuern eines Sensors des Tiegelträgers 304 oder des Verdampfungstiegels, wie später noch genauer beschrieben wird.To supply one or more than one additional media type, the connection structure 602v optionally have one or more than one corresponding medium line. The connection structure 602v can for example have one or more than one power supply line for supplying a drive of the crucible carrier 304 . The connection structure 602v can optionally have one or more than one signal line for controlling a sensor of the crucible carrier 304 or the evaporation crucible, as will be described in more detail later.

Die Verbindungsstruktur 602v kann derart, z.B. flexibel oder lang, eingerichtet sein, dass diese in jeder Abstellposition 312p, 314p und in der Betriebsposition 316p mit dem Tiegelträger 304 verbunden sein und/oder bleiben kann, z.B. unterbrechungsfrei während des Verlagerns zwischen diesen.The connection structure 602v can be set up in such a way, for example flexible or long, that this can be in any parking position 312p , 314p and in the operating position 316p with the crucible carrier 304 connected can be and / or remain, for example without interruption while moving between them.

6B die Versorgungsvorrichtung 600 in einer Konfiguration 600b mit zwei Tiegelträgern 304, 1304 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht. 6B the supply device 600 in one configuration 600b with two crucible carriers 304 , 1304 according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view.

Die Versorgungsvorrichtung 600b kann einen ersten Tiegelträger 304 aufweisen, der in der ersten Abstellposition 312p oder der zweiten Abstellposition 314p ist. Die Versorgungsvorrichtung 600b kann einen zweiten Tiegelträger 1304 aufweisen, der in der Betriebsposition 316p ist.The supply device 600b can be a first crucible carrier 304 have that in the first parking position 312p or the second parking position 314p is. The supply device 600b can use a second crucible carrier 1304 that is in the operating position 316p is.

Die Verbindungsstruktur 602v kann derart, z.B. flexibel oder lang, eingerichtet sein, dass diese mit dem ersten Tiegelträger 304 verbunden ist, wenn dieser in der ersten Abstellposition 312p oder der zweiten Abstellposition 314p ist oder zwischen diesen verlagert wird, z.B. unterbrechungsfrei. Die Verbindungsstruktur 602v kann dem ersten Tiegelträger 304 einen ersten Kühlfluid-Kreislauf bereitstellen.The connection structure 602v can be set up in such a way, for example flexible or long, that it is connected to the first crucible carrier 304 is connected when this is in the first parking position 312p or the second parking position 314p or is relocated between them, e.g. without interruption. The connection structure 602v can the first crucible carrier 304 provide a first cooling fluid circuit.

Die Verbindungsstruktur 602v kann derart, z.B. flexibel oder lang, eingerichtet sein, dass diese mit dem zweiten Tiegelträger 1304 verbunden ist, wenn dieser in der Betriebsposition 316p oder der zweiten Abstellposition 314p ist oder zwischen diesen verlagert wird, z.B. unterbrechungsfrei. Die Verbindungsstruktur 602v kann dem zweiten Tiegelträger 1304 einen zweiten Kühlfluid-Kreislauf bereitstellen.The connection structure 602v can be set up in such a way, for example flexible or long, that it is connected to the second crucible carrier 1304 connected when this is in the operating position 316p or the second parking position 314p or is relocated between them, e.g. without interruption. The connection structure 602v can the second crucible carrier 1304 provide a second cooling fluid circuit.

7A veranschaulicht eine Versorgungsvorrichtung 700 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, z.B. eine der Versorgungsvorrichtungen 300 bis 600, und 7B die Versorgungsvorrichtung 700 beim Transferieren 700b. Die Versorgungsvorrichtung 700 kann einen Tiegelträger 304, 1304 aufweisen, der in einer Abstellposition ist, z.B. der ersten/zweiten Abstellposition 312p oder 314p. 7A illustrates a supply device 700 according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view, for example one of the supply devices 300 to 600 , and 7B the supply device 700 when transferring 700b . The supply device 700 can be a crucible carrier 304 , 1304 have, which is in a parking position, for example the first / second parking position 312p or 314p .

Der Tiegelträger 304, 1304 kann ein Fahrwerk 702 aufweisen, mittels welchen mehrere Wälzkörper 702w drehbar gelagert sind. Mittels des Fahrwerks 702 kann beispielsweise der Verdampfungstiegel getragen sein oder werden, z.B. auf der Verlagerungsstruktur 306 aufliegend. Das Fahrwerk 702 kann beispielsweise einen Fahrwagen 702 bereitstellen oder Teil dessen sein.The crucible carrier 304 , 1304 can a landing gear 702 have, by means of which several rolling elements 702w are rotatably mounted. By means of the chassis 702 For example, the evaporation crucible can be carried, for example on the displacement structure 306 lying on top. The landing gear 702 can for example be a trolley 702 provide or be part of it.

Das Fahrwerk 702 kann das Verlagern in eine Betriebsposition 316p oder aus dieser heraus erleichtern und/oder den zusätzlichen Verlagerungspfad 303 bereitstellen.The landing gear 702 can move to an operating position 316p or facilitate from this and / or provide the additional displacement path 303.

Alternativ oder zusätzlich kann die Verlagerungsstruktur 306 ein oder mehr als ein Fahrgestell 704 aufweisen. Das oder jedes Fahrgestell 704 kann eine Auflagefläche 704a aufweisen, auf welcher der Tiegelträger 304, 1304 aufliegen kann. Die Auflagefläche 704a kann ein oder mehr als ein Führungselement (z.B. Führungsprofil) aufweisen, welches den zusätzlichen Verlagerungspfad 303 bereitstellt. Das oder jedes Fahrgestell 704 kann das Fahrwerk aufweisen, mittels welchem mehrere Wälzkörper 704w drehbar gelagert sind.Alternatively or additionally, the relocation structure 306 one or more than one chassis 704 exhibit. That or each chassis 704 can have a support surface 704a have on which the crucible support 304 , 1304 can rest. The supporting surface 704a can have one or more than one guide element (for example guide profile) which provides the additional displacement path 303. That or each chassis 704 can have the chassis, by means of which several rolling elements 704w are rotatably mounted.

Optional kann die Verlagerungsstruktur 306 ein oder mehr als ein Führungselement 706 (z.B. Führungsprofil) aufweisen, auf welchem das Fahrgestell 704 aufliegen kann. Das eine oder mehr als eine Führungselement 706 kann den Verlagerungspfad 303 bereitstellen.Optionally, the relocation structure 306 one or more than one guide element 706 (e.g. guide profile) on which the chassis 704 can rest. The one or more than one guide element 706 may provide the displacement path 303.

Das Fahrgestell 704 kann das Verlagern in eine Abstellposition 314p, 312p oder aus dieser heraus erleichtern und/oder den Verlagerungspfad 301 bereitstellen.The chassis 704 can move to a parking position 314p , 312p or out of this and / or facilitate the shift path 301 provide.

Die Versorgungsvorrichtung (vgl. 7B) kann einen Tiegelträger 304, 1304 aufweisen, der in eine Betriebsposition oder aus dieser heraus gebracht 700b wird (auch als Transferieren 700b bezeichnet), z.B. die Betriebsposition 116p.The supply device (cf. 7B) can be a crucible carrier 304 , 1304 have, which is brought into or out of an operating position 700b (also called transferring 700b labeled), e.g. the operating position 116p .

Das Transferieren 700b kann aufweisen, den Tiegelträger 304, 1304 zwischen dem Gestell 302 und der Vakuumkammer 802 zu transferieren. Dazu kann die Vakuumkammer 802 eine Auflagefläche 802f, z.B. mittels eines oder mehr als eines Führungselements bereitgestellt, aufweisen, welches mit der Auflagefläche 704a der Verlagerungsstruktur 306 fluchtet und/oder in Fluchtung gebracht wird.Transferring 700b may have the crucible carrier 304 , 1304 between the frame 302 and the vacuum chamber 802 to transfer. The vacuum chamber 802 a support surface 802f , for example provided by means of one or more than one guide element, which with the support surface 704a the relocation structure 306 aligns and / or is brought into alignment.

8A veranschaulicht eine Versorgungsvorrichtung 800 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, z.B. eine der Versorgungsvorrichtungen 300 bis 700, und 8B die Versorgungsvorrichtung 800 beim Transferieren 800b. 8A illustrates a supply device 800 according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view, for example one of the supply devices 300 to 700 , and 8B the supply device 800 when transferring 800b .

Die Versorgungsvorrichtung 800 kann einen Tiegelträger 304, 1304 aufweisen, der in einer Abstellposition ist, z.B. der Abstellposition 312p oder 314p.The supply device 800 can be a crucible carrier 304 , 1304 have, which is in a parking position, for example the parking position 312p or 314p .

Der Tiegelträger 304, 1304 kann eine Kammertür 802t aufweisen, mittels welcher eine dazu passende Kammeröffnung in der Vakuumkammer 802 vakuumdicht verschlossen sein oder werden kann, wenn die Versorgungsvorrichtung 800 in der Betriebsposition 116p ist. Die Kammertür 802t kann über das Fahrwerk 702 überstehen (z.B. entlang der vertikalen Richtung und/oder entlang der horizontalen Richtung). Beispielsweise kann die Kammertür 802t die Kammeröffnung überlappen, durch welche das Fahrwerk 702 hindurch passt. Auf der der Kammeröffnung zugewandten Seite kann die Kammertür 802t eine Dichtfläche aufweisen, mittels welcher die Vakuumkammer vakuumdicht verschlossen wird. Die Dichtfläche kann beispielsweise eine Nut aufweisen, in welcher ein Dichtring eingelegt ist.The crucible carrier 304 , 1304 can be a chamber door 802t have, by means of which a matching chamber opening in the vacuum chamber 802 be or can be vacuum-tight if the supply device 800 in the operating position 116p is. The chamber door 802t can about the landing gear 702 survive (e.g. along the vertical direction and / or along the horizontal direction). For example, the chamber door 802t overlap the chamber opening through which the landing gear 702 fits through. On the side facing the chamber opening, the chamber door 802t have a sealing surface by means of which the vacuum chamber is closed vacuum-tight. The sealing surface can, for example, have a groove in which a sealing ring is inserted.

Um den aus dem Überstand der Kammertür 802t resultierenden Höhenunterschied zu kompensieren, kann die Verlagerungsstruktur 306 eine Hubvorrichtung 814 aufweisen, mittels welcher die Auflagefläche 704a entlang der vertikalen Richtung verlagert werden kann. Beim Verlagern des Tiegelträgers 304, 1304 in die Betriebsposition oder aus dieser heraus, kann mittels der Hubvorrichtung 814 die Auflagefläche 704a in eine Position gebracht werden, in welcher diese mit der Auflagefläche 802f der Vakuumkammer fluchtet.To the one from the overhang of the chamber door 802t The relocation structure can compensate for the resulting difference in height 306 a lifting device 814 have, by means of which the support surface 704a can be shifted along the vertical direction. When moving the crucible carrier 304 , 1304 into the operating position or out of this, can by means of the lifting device 814 the support surface 704a be brought into a position in which this with the support surface 802f the vacuum chamber is aligned.

9A veranschaulicht eine Versorgungsvorrichtung 900 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, z.B. eine der Versorgungsvorrichtungen 300 bis 800, und 9B die Versorgungsvorrichtung 900 beim Transferieren 900b. 9A illustrates a supply device 900 according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view, for example one of the supply devices 300 to 800 , and 9B the supply device 900 when transferring 900b .

Die Verbindungsstruktur 602v kann einen Verbindungsknoten 902 aufweisen, welcher an der Verlagerungsstruktur 306, z.B. deren Fahrgestell 704, befestigt oder zumindest ortsfest dazu eingerichtet ist. Die Verbindungsstruktur 602v kann ferner einen (z.B. flexiblen) ersten Verbindungsstrukturabschnitt 612a (z.B. eine Kette oder Ähnliches) aufweisen, welcher die Versorgungsschnittstelle 602t mit dem Verbindungsknoten 902 koppelt. Die Verbindungsstruktur 602v kann ferner einen (z.B. flexiblen) zweiten Verbindungsstrukturabschnitt 612b (z.B. eine Kette oder Ähnliches) aufweisen, welcher den Tiegelträger 304, 1304 (z.B. dessen Kammertür 802t) mit dem Verbindungsknoten 902 koppelt.The connection structure 602v can be a connection node 902 have which at the relocation structure 306 , e.g. their chassis 704 , attached or at least set up in a stationary manner. The connection structure 602v can further include a (eg flexible) first connection structure section 612a (for example a chain or the like) which the supply interface 602t with the connection node 902 couples. The connection structure 602v can further include a (eg flexible) second connection structure section 612b (For example a chain or the like), which the crucible carrier 304 , 1304 (e.g. its chamber door 802t) with the connection node 902 couples.

Mittels des ersten Verbindungsstrukturabschnitts 612a kann beispielsweise dem ersten Verlagern 301 des Tiegelträgers 304, 1304 in eine Abstellposition 312p, 314p oder aus dieser heraus nachgefolgt werden. Mittels des zweiten Verbindungsstrukturabschnitts 612b kann beispielsweise dem zweiten Verlagern 303 des Tiegelträgers 304, 1304 in die Betriebsposition 316p oder aus dieser heraus nachgefolgt werden. Dies vergrößert den Bewegungsspielraum des Tiegelträgers 304, 1304.By means of the first connection structure section 612a can for example the first relocation 301 of the crucible carrier 304 , 1304 in a parking position 312p , 314p or can be followed out of this. By means of the second connection structure section 612b can for example the second shifting 303 of the crucible carrier 304 , 1304 in the operating position 316p or can be followed out of this. This increases the freedom of movement of the crucible carrier 304 , 1304 .

10 veranschaulicht eine Prozessieranordnung 1000 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht. 10 illustrates a processing arrangement 1000 according to various embodiments in a schematic top view.

Die Prozessieranordnung 1000 kann die Vakuumanordnung 200 und eine Versorgungsvorrichtung 350 aufweisen, z.B. eine der Versorgungsvorrichtungen 300 bis 900.The processing arrangement 1000 can the vacuum assembly 200 and a supply device 350 have, for example one of the supply devices 300 to 900 .

Die Prozessieranordnung 1000 kann die Vakuumkammer 802 aufweisen, in welcher der Beschichtungsraum 224r angeordnet ist. Die Vakuumkammer 224 kann eine oder mehr als eine Vakuumpumpe 804 (z.B. Vorvakuumpumpe und/oder Hochvakuumpumpe) aufweisen zum Bereitstellen eines Vakuums im Inneren der Vakuumkammer 224 und/oder in dem Beschichtungsraum 224r.The processing arrangement 1000 can the vacuum chamber 802 have in which the coating room 224r is arranged. The vacuum chamber 224 can be one or more than one vacuum pump 804 (eg backing pump and / or high vacuum pump) to provide a vacuum inside the vacuum chamber 224 and / or in the coating room 224r .

Die Prozessieranordnung 300a kann ferner mehrere Elektronenstrahlkanonen 122 aufweisen, welche zum Bestrahlen eines Verdampfungsguts in dem Auftreffbereich 224a eingerichtet sind.The processing arrangement 300a can also have multiple electron guns 122 have which for irradiating a material to be evaporated in the area of incidence 224a are set up.

Die Versorgungsschnittstelle 602t (auch als Medien-Einspeisepunkt bezeichnet) kann ortsfest gegenüber der Vakuumkammer 802 und/oder dem Gestell 302 eingerichtet sein.The supply interface 602t (also referred to as media feed point) can be stationary opposite the vacuum chamber 802 and / or the frame 302 be set up.

In der oder jeder Abstellposition 312p, 314p können der erste Tiegelträger 304 und/oder zweite Tiegelträger 1304 einen Abstand 1001a von der Vakuumkammer 802 aufweisen. Der Abstand 1001a kann beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 0,5 m bis ungefähr 1 m sein. Der Abstand 1001a kann beispielsweise eine unregelmäßige Außenkontur der Vakuumkammer 802 berücksichtigen.In the or each parking position 312p , 314p can be the first crucible carrier 304 and / or second crucible carriers 1304 a distance 1001a from the vacuum chamber 802 exhibit. The distance 1001a can be, for example, in a range from approximately 0.5 m to approximately 1 m. The distance 1001a can, for example, be an irregular outer contour of the vacuum chamber 802 consider.

Die Verlagerungsstruktur 306 kann optional eine Transferposition 318p bereitstellen. Das zweite Verlagern 303 kann beispielsweise zwischen der Transferposition 318p und der Betriebsposition 316p erfolgen. Das erste Verlagern 301 kann beispielsweise zwischen der Transferposition 318p und der einen oder mehr als einen Abstellposition 312p, 314p erfolgen.
Das erste Verlagern 301 kann beispielsweise den Verdampfungstiegel 104 um eine Strecke 1001d in einem Bereich von ungefähr 1 m bis ungefähr 10 m verlagern, z.B. in einem Bereich von ungefähr 4,5 m bis ungefähr 4,8 m.The relocation structure 306 can optionally have a transfer position 318p provide. The second shifting 303 can for example be between the transfer position 318p and the operating position 316p respectively. The first move 301 can for example between the transfer position 318p and one or more parking positions 312p , 314p respectively.
The first move 301 can for example use the evaporation crucible 104 shift a distance 1001d in a range from about 1 m to about 10 m, for example in a range from about 4.5 m to about 4.8 m.

11 veranschaulicht die Versorgungsvorrichtung 350 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht. 11 illustrates the supply device 350 according to various embodiments in a schematic side view or cross-sectional view.

Die Versorgungsvorrichtung 350 kann den Tiegelträger 304, 1304 aufweisen und eine mittels des Tiegelträgers 304, 1304 getragene Tiegelanordnung 100.The supply device 350 can the crucible carrier 304 , 1304 have and one by means of the crucible support 304 , 1304 carried crucible assembly 100 .

Der Verbindungsknoten 902 kann eine Vakuumdurchführung-Struktur aufweisen, welche beispielsweise durch die Kammertür 802t hindurch erstreckt ist. Die Vakuumdurchführung-Struktur kann eine oder mehr als eine Vakuumdurchführung aufweisen, von denen jede Vakuumdurchführung einem von der Medienversorgung 602 bereitgestelltem Medientyp zugeordnet ist. Beispielsweise kann die Vakuumdurchführung-Struktur eine oder mehr als eine Kühlfluid-Vakuumdurchführung, eine oder mehr als eine Signal-Vakuumdurchführung, und/oder eine oder mehr als eine Leistung-Vakuumdurchführung aufweisen oder daraus gebildet sein.The connection node 902 can have a vacuum feedthrough structure, which, for example, through the chamber door 802t extends therethrough. The vacuum feedthrough structure can have one or more than one vacuum feedthrough have, of which each vacuum feedthrough is one from the media supply 602 assigned to the media type provided. For example, the vacuum feedthrough structure can have or be formed from one or more than one cooling fluid vacuum feedthrough, one or more than one signal vacuum feedthrough, and / or one or more than one power vacuum feedthrough.

Jede Vakuumdurchführung der Vakuumdurchführung-Struktur kann auf der Außenseite (dem Verdampfungstiegel abgewandt) der Kammertür 208t einen entsprechenden Medientyp-Anschluss (z.B. Kühlfluidanschluss, elektrisch Anschluss, usw.) aufweisen, an welchen der zweite Verbindungsstrukturabschnitt 612b angekoppelt sein oder werden kann.Each vacuum feedthrough of the vacuum feedthrough structure can be on the outside (facing away from the evaporation crucible) of the chamber door 208t have a corresponding media type connection (for example cooling fluid connection, electrical connection, etc.) to which the second connection structure section 612b be or can be coupled.

Beispielsweise kann mittels des Verbindungsknotens 902 (z.B. der Vakuumdurchführung-Struktur) die Gasversorgungsstruktur 110 mit der Versorgungsschnittstelle 602t gasleitend gekoppelt sein. Alternativ oder zusätzlich kann mittels des Verbindungsknotens 902 (z.B. der Vakuumdurchführung-Struktur) die Kühlstruktur 1104 mit der Versorgungsschnittstelle 602t flüssigkeitsleitend gekoppelt sein.For example, by means of the connection node 902 (e.g. the vacuum feed-through structure) the gas supply structure 110 with the supply interface 602t be coupled gas-conducting. Alternatively or additionally, the connection node 902 (e.g. the vacuum feedthrough structure) the cooling structure 1104 with the supply interface 602t be coupled in a fluid-conducting manner.

Optional kann mittels des Verbindungsknotens 902 (z.B. der Vakuumdurchführung-Struktur) eine Sensoranordnung 1106 (z.B. zumindest einen Drucksensor und/oder Temperatursensor aufweisend) mit der Versorgungsschnittstelle 602t signalleitend gekoppelt sein. Optional kann mittels des Verbindungsknotens 902 (z.B. der Vakuumdurchführung-Struktur) eine Antriebsvorrichtung 1102 (z.B. zumindest einen elektrischen Motor aufweisend) des Fahrwerks 702 mit der Versorgungsschnittstelle 602t elektrisch gekoppelt sein. Die Antriebsvorrichtung 1102 kann beispielsweise das Verlagern relativ zu dem Fahrgestell 704 der Verlagerungsstruktur 306 bereitstellen.Optionally, using the connection node 902 (e.g. the vacuum feedthrough structure) a sensor arrangement 1106 (For example having at least one pressure sensor and / or temperature sensor) with the supply interface 602t be coupled to conduct the signal. Optionally, using the connection node 902 (e.g. the vacuum feedthrough structure) a drive device 1102 (eg having at least one electric motor) of the chassis 702 with the supply interface 602t be electrically coupled. The drive device 1102 can for example relocate relative to the chassis 704 the relocation structure 306 provide.

Die Medienversorgung 602 (z.B. deren Kühlfluid-Versorgung) kann eingerichtet sein, mehrere Tiegelträger 304, 1304 gleichzeitig mit Kühlfluid, z.B. der Kühlflüssigkeit und/oder dem Kühlgas, zu versorgen. Die Medienversorgung 602 (z.B. deren Signal-Versorgung) kann optional eingerichtet sein, mehrere Tiegelträger 304, 1304 gleichzeitig mit dem Signal, z.B. einem Steuersignal, zu versorgen. Die Medienversorgung 602 (z.B. deren Leistung-Versorgung) kann optional eingerichtet sein, mehrere Tiegelträger 304, 1304 gleichzeitig mit elektrischer Leistung, z.B. einem Leistungsstrom, zu versorgen.The media supply 602 (eg their cooling fluid supply) can be set up with several crucible carriers 304 , 1304 at the same time to be supplied with cooling fluid, for example the cooling liquid and / or the cooling gas. The media supply 602 (eg their signal supply) can optionally be set up, several crucible carriers 304 , 1304 to be supplied simultaneously with the signal, e.g. a control signal. The media supply 602 (eg their power supply) can optionally be set up, several crucible carriers 304 , 1304 to be supplied simultaneously with electrical power, e.g. a power current.

Die mehreren Tiegelträger 304, 1304 können zwei, drei, vier, fünf, sechs, sieben, acht, neun, zehn, oder mehr als zehn Tiegelträger 304, 1304 aufweisen.The several crucible carriers 304 , 1304 can be two, three, four, five, six, seven, eight, nine, ten, or more than ten crucible carriers 304 , 1304 exhibit.

Das gleichzeitige Versorgen der mehreren Tiegelträger 304, 1304 kann erfolgen, wenn diese in unterschiedlichen Positionen angeordnet sind, von denen zumindest eine Position die Betriebsposition ist, optional eine Position die Transferposition ist und die restlichen Position Abstellpositionen sind.The simultaneous supply of several crucible carriers 304 , 1304 can take place when these are arranged in different positions, of which at least one position is the operating position, optionally one position is the transfer position and the remaining positions are storage positions.

Das gleichzeitige Versorgen der mehreren Tiegelträger 304, 1304 kann erfolgen, wenn ein oder mehr als ein Tiegelträger 304, 1304 der mehrere Tiegelträger 304, 1304 in seiner Position verändert wird, z.B. verlagert wird zwischen der Betriebsposition und der Transferposition, zwischen der Betriebsposition und der Abstellpositionen und/oder zwischen der Transferposition und der Abstellpositionen.The simultaneous supply of several crucible carriers 304 , 1304 can be done if one or more than one crucible carrier 304 , 1304 the multiple crucible carriers 304 , 1304 is changed in its position, for example it is shifted between the operating position and the transfer position, between the operating position and the parking positions and / or between the transfer position and the parking positions.

Damit kann anschaulich bereitgestellt sein oder werden, dass ein Verdampfungstiegel 104, welcher mittels des Tiegelträgers 304, 1304, kontinuierlich mit zumindest dem Kühlfluid versorgt werden kann. Dies kann es ermöglichen, den Verdampfungstiegel 104 in noch warmem Zustand aus der Vakuumkammer 802 herauszubringen, und außerhalb der Vakuumkammer 802 abzukühlen.In this way, an evaporation crucible can be clearly provided 104 , which by means of the crucible carrier 304 , 1304 , can be continuously supplied with at least the cooling fluid. This can enable the evaporation crucible 104 while still warm from the vacuum chamber 802 bring out, and outside the vacuum chamber 802 to cool off.

Mittels des Kühlgases kann anschaulich der Verdampfungstiegel 104 in ein Gaspolster eingehüllt sein oder werden, so dass dieser mittels des Gaspolsters von seiner Umgebung (zum Beispiel Luft) separiert ist. Das Kühlgas kann dazu beispielsweise ein Inertgas aufweisen, wie beispielsweise Argon, Stickstoff oder ein anderes reaktionsträges Gas. Beispielsweise kann das Kühlgas frei von Sauerstoff sein.The evaporation crucible can be clearly illustrated by means of the cooling gas 104 be or are encased in a gas cushion so that it is separated from its surroundings (for example air) by means of the gas cushion. For this purpose, the cooling gas can for example comprise an inert gas, such as argon, nitrogen or another inert gas. For example, the cooling gas can be free of oxygen.

Das Gaspolster kann beispielsweise in dem Gehäuseinnenraum 102i bereitgestellt sein oder werden. Dies ermöglicht es weniger Gas zu verbrauchen, da das Gehäuse 102 den Abfluss von Gas aus dem Gaspolster hemmt. Das Gaspolster kann auch auf andere Weise bereitgestellt sein oder werden.The gas cushion can, for example, in the housing interior 102i be or will be provided. This makes it possible to consume less gas than the case 102 inhibits the outflow of gas from the gas cushion. The gas cushion can also be provided in other ways.

Mit anderen Worten kann um den Tiegel 104 herum ein Gaspolster gebildet werden, welches innerhalb des Vakuums angeordnet ist. Das Gaspolster kann mittels des Gehäuses von dem Vakuum gassepariert sein oder werden. Alternativ kann das Gaspolster auf andere Weise von dem Vakuum, in dem der Tiegel angeordnet ist, gassepariert sein oder werden.In other words, around the crucible 104 around a gas cushion are formed, which is arranged within the vacuum. The gas cushion can be or be gas-separated from the vacuum by means of the housing. Alternatively, the gas cushion can be gas-separated from the vacuum in which the crucible is arranged in some other way.

12 veranschaulicht ein Verfahren 1200 zum Betreiben einer Versorgungsvorrichtung in einem schematischen Ablaufdiagram, z.B. eine der Versorgungsvorrichtungen 350, 300 bis 900. 12 illustrates a procedure 1200 for operating a supply device in a schematic flow diagram, for example one of the supply devices 350 , 300 to 900 .

Das Verfahren 1200 kann aufweisen: in 1201, Erwärmen eines in einem ersten Verdampfungstiegel angeordneten Verdampfungsguts innerhalb einer Vakuumkammer auf eine Temperatur, bei der das Verdampfungsgut in eine Gasphase überführt wird, in 1203, Verlagern des ersten Verdampfungstiegels aus der Vakuumkammer heraus und eines zweiten Verdampfungstiegels in die Vakuumkammer hinein, bevor das Verdampfungsgut auf weniger als die Hälfte der Temperatur abgekühlt ist, und, in 1205, Kühlen des ersten Verdampfungstiegels mittels eines (z.B. strömenden) Kühlfluides und/oder Kühlfluidkreislaufes während des Verlagerns und/oder außerhalb der Vakuumkammer (z.B. während ein Verdampfen von Verdampfungsgut aus dem zweiten Verdampfungstiegel erfolgt).The procedure 1200 may have: in 1201, heating a material to be evaporated which is arranged in a first evaporation crucible within a vacuum chamber to a temperature at which the Evaporation material is converted into a gas phase, in 1203, moving the first evaporation crucible out of the vacuum chamber and a second evaporation crucible into the vacuum chamber before the evaporation material has cooled to less than half the temperature, and, in 1205, cooling the first evaporation crucible by means of a (eg flowing) cooling fluid and / or cooling fluid circuit during the displacement and / or outside the vacuum chamber (eg while evaporation of material to be evaporated from the second evaporation crucible takes place).

Das Erwärmen kann mittels eines oder mehr als eines Elektronenstrahls erfolgen.The heating can be done by means of one or more than one electron beam.

Das Erwärmen 1201 kann aufweisen, das Verdampfungsgut oder Teile des Verdampfungsguts auf eine Temperatur von größer als 1500°C (z.B. größer als ungefähr 2000°C, zum Beispiel größer als ungefähr 2500°C, zum Beispiel größer als ungefähr 3000°C) zu erwärmen.The warming 1201 may comprise heating the material to be evaporated or parts of the material to be evaporated to a temperature of greater than 1500 ° C. (eg greater than approximately 2000 ° C., for example greater than approximately 2500 ° C., for example greater than approximately 3000 ° C.).

Das Erwärmen 1201 kann optional aufweisen: thermisches Verdampfen des in dem ersten Verdampfungstiegel und/oder dem zweiten Verdampfungstiegel angeordneten Verdampfungsguts mittels des einen oder mehr als des einen Elektronenstrahls; optionales Beschichten eines Substrats mit dem Verdampfungsgut; wobei beispielsweise das thermische Verdampfen in einem Hochvakuum erfolgt.The warming 1201 can optionally have: thermal evaporation of the material to be evaporated arranged in the first evaporation crucible and / or the second evaporation crucible by means of one or more than one electron beam; optional coating of a substrate with the evaporation material; where, for example, the thermal evaporation takes place in a high vacuum.

Das Verfahren 1200 kann aufweisen: in 1203, Einhüllen des ersten Verdampfungstiegels in ein Gaspolster, welches den ersten Verdampfungstiegel von dem Vakuum, das den ersten Verdampfungstiegel umgibt, separiert. Das Gaspolster kann mittels des Kühlgases gebildet werden und/oder den ersten Verdampfungstiegel umströmen.The procedure 1200 may include: in 1203, wrapping the first evaporation crucible in a gas cushion that separates the first evaporation crucible from the vacuum surrounding the first evaporation crucible. The gas cushion can be formed by means of the cooling gas and / or flow around the first evaporation crucible.

Das Verfahren 1200 kann optional aufweisen: in 1203, Verlagern des in das Gaspolster eingehüllten ersten Verdampfungstiegels aus dem Vakuum bzw. der Vakuumkammer heraus.The procedure 1200 can optionally have: in 1203, displacing the first evaporation crucible, which is enveloped in the gas cushion, out of the vacuum or the vacuum chamber.

Das Verfahren 1200 kann optional aufweisen: Beschichten eines Substrats mit dem verdampften Verdampfungsgut.The procedure 1200 can optionally have: coating a substrate with the evaporated material to be evaporated.

Das Verfahren 1200 kann optional gemäß einem Verdampfungszyklus erfolgen, welcher in einer ersten Phase (auch als Beschichtungsphase bezeichnet) das thermische Verdampfen und Beschichten aufweist, und welcher in einer zweiten Phase (auch als Wartungsphase bezeichnet) aufweist, das Verdampfungsgut (und beispielsweise den Tiegel) in ein (beispielsweise zumindest leicht strömendes) Gaspolster (mit einem Druck von größer als Hochvakuum) einzuhüllen und mittels des Gaspolsters außerhalb der Vakuumkammer abzukühlen. Der erste Verdampfungstiegel und der zweite Verdampfungstiegel können gemäß dem Verdampfungszyklus prozessiert werden, z.B. im Gegentakt.The procedure 1200 can optionally take place according to an evaporation cycle, which has thermal evaporation and coating in a first phase (also referred to as the coating phase) and which has the evaporation material (and for example the crucible) in a ( for example at least lightly flowing) gas cushion (with a pressure greater than high vacuum) to be enveloped and to be cooled by means of the gas cushion outside the vacuum chamber. The first evaporation crucible and the second evaporation crucible can be processed according to the evaporation cycle, for example in push-pull.

Im Folgenden werden verschiedene Beispiele beschrieben, die sich auf das vorangehend Beschriebene und in den Figuren Dargestellte beziehen.Various examples are described below which relate to what has been described above and shown in the figures.

Beispiel 1 ist eine Versorgungsvorrichtung, aufweisend: zwei oder mehr Tiegelträger zum Transportieren jeweils eines Verdampfungstiegels; ein Gestell, welches zumindest einen Abstellbereich und eine Verlagerungsstruktur aufweist, wobei die Verlagerungsstruktur zum Verlagern der zwei oder mehr Tiegelträger (z.B. eines ersten Tiegelträgers und eines zweiten Tiegelträgers) auf dem Gestell eingerichtet ist derart, dass die zwei oder mehr Tiegelträger gleichzeitig in einer Abstellposition in dem zumindest einen Abstellbereich gebracht (z.B. angeordnet) sein und (z.B. aus der Abstellposition) abwechselnd in eine Betriebsposition innerhalb einer Vakuumkammer und/oder neben dem Gestell gebracht werden können; eine Kühlfluid-Versorgung, welche eingerichtet ist, die zwei oder mehr Tiegelträger gleichzeitig mit Kühlfluid zu versorgen, wenn von der Abstellposition in die Betriebsposition verlagert wird. Um die zwei Tiegelträger in die jeweilige Abstellposition zu bringen, können diese beispielsweise gleichzeitig und/oder nacheinander verlagert werden, z.B. aus der und/oder in die Betriebsposition.Example 1 is a supply device comprising: two or more crucible carriers for each transporting an evaporation crucible; a frame which has at least one storage area and a relocation structure, the relocation structure for relocating the two or more crucible carriers (e.g. a first crucible carrier and a second crucible carrier) is set up on the frame such that the two or more crucible carriers are simultaneously in a storage position can be brought (eg arranged) to the at least one storage area and can be brought (eg from the storage position) alternately into an operating position within a vacuum chamber and / or next to the frame; a cooling fluid supply, which is set up to supply the two or more crucible carriers with cooling fluid at the same time when it is moved from the parking position to the operating position. In order to bring the two crucible supports into the respective storage position, they can be displaced simultaneously and / or one after the other, e.g. out of and / or into the operating position.

Beispiel 2 ist die Versorgungsvorrichtung gemäß Beispiel 1, wobei die Kühlfluid-Versorgung ferner eingerichtet ist, die zwei oder mehr Tiegelträger gleichzeitig mit Kühlfluid zu versorgen, wenn jeder Tiegelträger der zwei oder mehr Tiegelträger in der Abstellposition ist, wobei die Kühlfluid-Versorgung beispielsweise eingerichtet ist, den ersten Tiegelträger mit einem ersten Kühlfluid und gleichzeitig dazu den zweiten Tiegelträger mit einem zweiten Kühlfluid zu versorgen, wenn der erste und/oder der zweite Tiegelträger der zwei oder mehr Tiegelträger in der Abstellposition sind.Example 2 is the supply device according to Example 1, wherein the cooling fluid supply is also set up to supply the two or more crucible carriers with cooling fluid at the same time when each crucible carrier of the two or more crucible carriers is in the storage position, the cooling fluid supply being set up for example to supply the first crucible carrier with a first cooling fluid and at the same time to supply the second crucible carrier with a second cooling fluid when the first and / or the second crucible carrier of the two or more crucible carriers are in the storage position.

Beispiel 3 ist die Versorgungsvorrichtung gemäß Beispiel 1 oder 2, wobei die Kühlfluid-Versorgung eingerichtet ist, mindestens zwei separate Kühlkreisläufe mittels des Kühlfluides (z.B. dem ersten Tiegelträger einen ersten Kühlkreislauf und dem zweiten Tiegelträger einen zweiten Kühlkreislauf) bereitzustellen.Example 3 is the supply device according to Example 1 or 2, wherein the cooling fluid supply is set up to provide at least two separate cooling circuits by means of the cooling fluid (e.g. a first cooling circuit for the first crucible carrier and a second cooling circuit for the second crucible carrier).

Beispiel 4 ist die Versorgungsvorrichtung gemäß einem der Beispiele 1 bis 3, wobei zumindest ein (z.B. jeder) Tiegelträger der zwei oder mehr Tiegelträger eine Kammertür mit einer umlaufenden Dichtfläche aufweist; wobei beispielsweise der erste Tiegelträger eine erste Kammertür mit einer umlaufenden ersten Dichtfläche aufweist; und/oder wobei beispielsweise der zweite Tiegelträger eine zweite Kammertür mit einer umlaufenden zweiten Dichtfläche aufweist.Example 4 is the supply device according to one of Examples 1 to 3, wherein at least one (eg each) crucible carrier of the two or more crucible carriers has a chamber door with a circumferential sealing surface; wherein, for example, the first crucible carrier has a first chamber door with a circumferential first sealing surface; and / or wherein, for example, the second crucible carrier is a second Has chamber door with a circumferential second sealing surface.

Beispiel 5 ist die Versorgungsvorrichtung gemäß Beispiel 4, wobei jede Kammertür der zwei oder mehr Tiegelträger einen Kühlfluidanschluss zum Anschließen der Kühlfluid-Versorgung aufweist; wobei beispielsweise die erste Kammertür einen ersten Kühlfluidanschluss zum Anschließen der Kühlfluid-Versorgung aufweist; und/oder wobei beispielsweise die zweite Kammertür einen zweiten Kühlfluidanschluss zum Anschließen der Kühlfluid-Versorgung aufweist.Example 5 is the supply device according to Example 4, each chamber door of the two or more crucible carriers having a cooling fluid connection for connecting the cooling fluid supply; wherein, for example, the first chamber door has a first cooling fluid connection for connecting the cooling fluid supply; and / or wherein, for example, the second chamber door has a second cooling fluid connection for connecting the cooling fluid supply.

Beispiel 6 ist die Versorgungsvorrichtung gemäß einem der Beispiele 1 bis 5, zumindest ein oder jeder Tiegelträger der zwei oder mehr Tiegelträger ferner aufweisend: ein Tiegelgehäuse, welches einen Hohlraum bereitstellt zum Aufnehmen eines Verdampfungstiegels.Example 6 is the supply device according to one of Examples 1 to 5, further comprising at least one or each crucible carrier of the two or more crucible carriers: a crucible housing which provides a cavity for receiving an evaporation crucible.

Beispiel 7 ist die Versorgungsvorrichtung gemäß Beispiel 6, wobei das Tiegelgehäuse eine Gasversorgungsstruktur aufweist, welche in dem Tiegelgehäuse angeordnet ist, und welches eingerichtet ist, mit der Kühlfluid-Versorgung gekoppelt zu werden.Example 7 is the supply device according to Example 6, wherein the crucible housing has a gas supply structure which is arranged in the crucible housing and which is set up to be coupled to the cooling fluid supply.

Beispiel 8 ist die Versorgungsvorrichtung gemäß Beispiel 7, wobei der Kühlfluidanschluss auf einer der Dichtfläche gegenüberliegenden Seite der Kammertür angeordnet ist; wobei beispielsweise der erste Kühlfluidanschluss auf einer der ersten Dichtfläche gegenüberliegenden Seite der ersten Kammertür angeordnet ist; und/oder wobei beispielsweise der zweite Kühlfluidanschluss auf einer der zweiten Dichtfläche gegenüberliegenden Seite der zweiten Kammertür angeordnet ist.Example 8 is the supply device according to Example 7, the cooling fluid connection being arranged on a side of the chamber door opposite the sealing surface; wherein, for example, the first cooling fluid connection is arranged on a side of the first chamber door opposite the first sealing surface; and / or wherein, for example, the second cooling fluid connection is arranged on a side of the second chamber door opposite the second sealing surface.

Beispiel 9 ist die Versorgungsvorrichtung 350 gemäß einem der Beispiele 1 bis 8, wobei zumindest ein (z.B. jeder) Tiegelträger der zwei oder mehr Tiegelträger ein Fahrwerk aufweist; wobei beispielsweise der erste Tiegelträger ein erstes Fahrwerk aufweist; und/oder wobei beispielsweise der zweite Tiegelträger ein dazu verschiedenes zweites Fahrwerk aufweist.Example 9 is the supply device 350 according to one of Examples 1 to 8, wherein at least one (for example each) crucible carrier of the two or more crucible carriers has a chassis; wherein, for example, the first crucible carrier has a first chassis; and / or wherein, for example, the second crucible carrier has a different second chassis.

Beispiel 10 ist die Versorgungsvorrichtung gemäß einem der Beispiele 1 bis 9, wobei die Verlagerungsstruktur mehrere Verlagerungspfade aufweist, entlang welcher das Verlagern zwischen der Abstellposition der Betriebsposition erfolgen kann.Example 10 is the supply device according to one of Examples 1 to 9, the displacement structure having a plurality of displacement paths along which the displacement can take place between the parking position and the operating position.

Beispiel 11 ist die Versorgungsvorrichtung gemäß Beispiel 10, wobei die Verlagerungsstruktur ferner ein Führungssystem (z.B. ein Schienensystem) aufweist, welche die mehreren Verlagerungspfade bereitstellt.Example 11 is the supply device according to Example 10, wherein the displacement structure further comprises a guidance system (e.g. a rail system) which provides the plurality of displacement paths.

Beispiel 12 ist die Versorgungsvorrichtung gemäß einem der Beispiele 1 bis 11, wobei die Verlagerungsstruktur eine Hubvorrichtung aufweist zum Verstellen einer vertikalen Lage, in der das Verlagern zwischen der Abstellposition der Betriebsposition erfolgt.Example 12 is the supply device according to one of Examples 1 to 11, the displacement structure having a lifting device for adjusting a vertical position in which the displacement takes place between the parking position and the operating position.

Beispiel 13 ist die Versorgungsvorrichtung gemäß einem der Beispiele 1 bis 12, wobei die Kühlfluid-Versorgung eingerichtet ist, die zwei oder mehr Tiegelträger gleichzeitig mit einem zusätzlichen Kühlfluid zu versorgen, welches sich von dem Kühlfluid unterscheidet (z.B. in einem Aggregatszustand).Example 13 is the supply device according to one of Examples 1 to 12, wherein the cooling fluid supply is set up to supply the two or more crucible carriers simultaneously with an additional cooling fluid which differs from the cooling fluid (e.g. in an aggregate state).

Beispiel 14 ist die Versorgungsvorrichtung gemäß einem der Beispiele 1 bis 13, wobei die Verlagerungsstruktur ferner aufweist: zumindest ein (d.h. ein oder mehr als ein) Fahrgestell zum Transportieren jedes Tiegelträgers der zwei oder mehr Tiegelträger; beispielsweise ein erstes Fahrgestell zum Transportieren des ersten Tiegelträgers in den ersten Aufnahmebereich hinein und/oder aus diesem heraus und beispielsweise ein zweites Fahrgestell zum Transportieren des zweiten Tiegelträgers in den zweiten Aufnahmebereich hinein und/oder aus diesem heraus.Example 14 is the supply device according to any one of Examples 1 to 13, wherein the transferring structure further comprises: at least one (i.e. one or more than one) carriage for transporting each crucible carrier of the two or more crucible carriers; for example a first chassis for transporting the first crucible carrier into and / or out of the first receiving area and for example a second chassis for transporting the second crucible carrier into and / or out of the second receiving area.

Beispiel 15 ist die Versorgungsvorrichtung gemäß Beispiel 14, wobei das zumindest eine Fahrgestell eine Hubvorrichtung aufweist zum Verstellen einer Transporthöhe.Example 15 is the supply device according to Example 14, the at least one chassis having a lifting device for adjusting a transport height.

Beispiel 16 ist die Versorgungsvorrichtung gemäß Anspruch 9 oder 15, wobei das zumindest eine Fahrgestell (z.B. das erste Fahrgestell und/oder das zweite Fahrgestell) eine Antriebsvorrichtung aufweist zum Antreiben des Transportierens.Example 16 is the supply device according to claim 9 or 15, wherein the at least one chassis (e.g. the first chassis and / or the second chassis) has a drive device for driving the transporting.

Beispiel 17 ist die Versorgungsvorrichtung gemäß einem der Beispiele 1 bis 16, wobei der zumindest eine Abstellbereich mehrere (z.B. voneinander in einem Abstand angeordnete) Abstellbereiche aufweist, wobei die Verlagerungsstruktur derart eingerichtet ist, dass die zwei oder mehr Tiegelträger in ihrer Abstellposition zwischen den mehreren Abstellbereichen gegeneinander ausgetauscht werden können.Example 17 is the supply device according to one of Examples 1 to 16, the at least one storage area having several storage areas (e.g. spaced apart from one another), the displacement structure being set up such that the two or more crucible carriers are in their storage position between the several storage areas can be exchanged for each other.

Beispiel 18 ist die Versorgungsvorrichtung gemäß einem der Beispiele 1 bis 17, wobei zumindest ein (ein oder mehr als ein) Tiegelträger der zwei oder mehr Tiegelträger einen Drucksensor aufweist, welcher mit der Kühlfluid-Versorgung gekoppelt ist; wobei die Kühlfluid-Versorgung eingerichtet ist, das Versorgen mit dem Kühlfluid und/oder dem zusätzlichen Kühlfluid mittels des Drucksensors zu steuern und/oder zu regeln.Example 18 is the supply device according to one of Examples 1 to 17, wherein at least one (one or more than one) crucible carrier of the two or more crucible carriers has a pressure sensor which is coupled to the cooling fluid supply; wherein the cooling fluid supply is set up to control and / or regulate the supply of the cooling fluid and / or the additional cooling fluid by means of the pressure sensor.

Beispiel 19 ist die Versorgungsvorrichtung gemäß einem der Beispiele 1 bis 18, wobei die Kühlfluid-Versorgung eine Versorgungsschnittstelle und eine mit der Versorgungsschnittstelle gekoppelte Kühlfluidleitung aufweist, wobei beispielsweise die Versorgungsschnittstelle ortsfest gegenüber dem zumindest einen Abstellbereich eingerichtet ist; und wobei beispielsweise die Kühlfluidleitung eingerichtet ist, wahlweise der Abstellposition und der Betriebsposition ein Kühlfluid zuzuführen.Example 19 is the supply device according to one of Examples 1 to 18, the cooling fluid supply having a supply interface and a cooling fluid line coupled to the supply interface, the supply interface, for example, being set up to be stationary opposite the at least one storage area; and wherein, for example, the cooling fluid line is set up to optionally supply a cooling fluid to the parking position and the operating position.

Beispiel 20 ist die Versorgungsvorrichtung, z.B. die Versorgungsvorrichtung gemäß einem der Beispiele 1 bis 19, aufweisend: ein Gestell, welches eine Verlagerungsstruktur und zumindest einen Abstellbereich aufweist, wobei der zumindest eine Abstellbereich mehrere Abstellpositionen bereitstellt; wobei die Verlagerungsstruktur eingerichtet ist derart, dass ein Verdampfungstiegel auf dem Gestell zwischen jeder Abstellposition der mehreren Abstellpositionen und einer Betriebsposition innerhalb einer Vakuumkammer verlagert werden kann; eine Kühlfluid-Versorgung, welche eine Versorgungsschnittstelle und eine mit der Versorgungsschnittstelle gekoppelte Kühlfluidleitung aufweist, wobei die Versorgungsschnittstelle ortsfest gegenüber dem zumindest einen Abstellbereich eingerichtet ist; und wobei die Kühlfluidleitung eingerichtet ist, wahlweise jeder Abstellposition der mehreren Abstellpositionen und der Betriebsposition ein Kühlfluid zuzuführen.Example 20 is the supply device, e.g. The supply device according to one of Examples 1 to 19, comprising: a frame which has a displacement structure and at least one storage area, the at least one storage area providing a plurality of storage positions; wherein the displacement structure is set up in such a way that an evaporation crucible on the frame can be displaced between each parking position of the plurality of parking positions and an operating position within a vacuum chamber; a cooling fluid supply which has a supply interface and a cooling fluid line coupled to the supply interface, the supply interface being set up in a stationary manner opposite the at least one parking area; and wherein the cooling fluid line is configured to selectively supply a cooling fluid to each parking position of the plurality of parking positions and the operating position.

Beispiel 21 ist eine Prozessieranordnung, aufweisend: eine Versorgungsvorrichtung gemäß einem der Beispiele 1 bis 20, die Vakuumkammer, wobei die Vakuumkammer eine Kammeröffnung aufweist, in welche die Verlagerungsstruktur (z.B. deren Transportpfad) einmündet.Example 21 is a processing arrangement comprising: a supply device according to one of Examples 1 to 20, the vacuum chamber, wherein the vacuum chamber has a chamber opening into which the displacement structure (e.g. its transport path) opens.

Beispiel 22 ist ein Verfahren, z.B. zum Betreiben einer Versorgungsvorrichtung gemäß einem der Beispiele 1 bis 21, aufweisend: Erwärmen eines in einem ersten Verdampfungstiegel angeordneten Verdampfungsguts innerhalb einer Vakuumkammer auf eine Temperatur, bei der das Verdampfungsgut in eine Gasphase überführt wird; Verlagern des ersten Verdampfungstiegels aus der Vakuumkammer (z.B. auf einem Tiegelträger) heraus und eines zweiten Verdampfungstiegels in die Vakuumkammer hinein, bevor das Verdampfungsgut auf weniger als die Hälfte der Temperatur abgekühlt ist; Kühlen des ersten Verdampfungstiegels mittels eines Kühlfluides während des Verlagerns, wobei beispielsweise das Kühlfluid dem Tiegelträger zugeführt wird. Ist der Verdampfungstiegel beispielsweise ein Graphittiegel, kann dieser indirekt mit dem Kühlfluid gekühlt werden, so dass dieser keiner zu großen thermisch induzierten Verspannung ausgesetzt wird. Die Kühlung erfolgt beispielsweise indirekt, indem der Verdampfungstiegel Wärme/Wärmestrahlung an das ihn umgebende Schutzgas abgibt, welches in dem Tiegelgehäuse angeordnet ist, wobei das Tiegelgehäuse von dem Kühlfluid durchflossen wird. Optional erfolgt die Abgabe der Wärmestrahlung auch an andere Bauteile in der Umgebung des Verdampfungstiegels. Ist der Verdampfungstiegel beispielsweise ein Kupfertiegel, kann dieser direkt mit dem Kühlfluid gekühlt werden, z.B. indem der Kupfertiegel von dem Kühlfluid durchflossen wird. Damit kann die Temperatur Verdampfungstiegels möglichst klein gehalten werden, z.B. unterhalb der Schmelztemperatur von Kupfer.Example 22 is a method, e.g. for operating a supply device according to one of Examples 1 to 21, comprising: heating a material to be evaporated, which is arranged in a first evaporation crucible, within a vacuum chamber to a temperature at which the material to be evaporated is converted into a gas phase; Relocating the first evaporation crucible out of the vacuum chamber (e.g. on a crucible support) and a second evaporation crucible into the vacuum chamber before the evaporation material has cooled to less than half the temperature; Cooling of the first evaporation crucible by means of a cooling fluid during the displacement, for example the cooling fluid being fed to the crucible carrier. If the evaporation crucible is a graphite crucible, for example, it can be cooled indirectly with the cooling fluid so that it is not exposed to excessive thermally induced stress. The cooling takes place indirectly, for example, in that the evaporation crucible emits heat / thermal radiation to the protective gas surrounding it, which is arranged in the crucible housing, with the cooling fluid flowing through the crucible housing. Optionally, the heat radiation is also given off to other components in the vicinity of the evaporation crucible. For example, if the evaporation crucible is a copper crucible, it can be cooled directly with the cooling fluid, e.g. in that the cooling fluid flows through the copper crucible. This means that the temperature of the evaporation crucible can be kept as low as possible, e.g. below the melting temperature of copper.

Claims

Supply device (350), comprising: Two crucible carriers (304, 1304) for transporting one evaporation crucible each; • a frame (302) which has at least one storage area (312, 314) and a displacement structure (306), the displacement structure (306) being set up for displacing the two crucible carriers (304, 1304) on the frame (302) in such a way that the two crucible carriers (304, 1304) can be arranged simultaneously in a storage position in the at least one storage area (312, 314) and can be alternately brought into an operating position within a vacuum chamber (802); • a cooling fluid supply (602) which is set up to supply the two crucible carriers (304, 1304) with cooling fluid at the same time when a shift is made from the parking position to the operating position.

Supply device (350) according to Claim 1 , wherein the cooling fluid supply (602) is further configured to supply the two crucible carriers (304, 1304) with cooling fluid at the same time when each crucible carrier (304, 1304) of the two crucible carriers (304, 1304) is in the storage position.

Supply device (350) according to Claim 1 or 2 , wherein the cooling fluid supply (602) is set up to provide at least two separate cooling circuits by means of the cooling fluid.

Supply device (350) according to one of the Claims 1 to 3 , at least one crucible carrier (304, 1304) of the two crucible carriers (304, 1304) having a chamber door with a circumferential sealing surface.

Supply device (350) according to one of the Claims 1 to 4th , wherein at least one crucible carrier (304, 1304) of the two crucible carriers (304, 1304) has a chassis.

Supply device (350) according to one of the Claims 1 to 5 wherein the displacement structure (306) provides a plurality of displacement paths along which the displacement between the parking position and the operating position can take place.

Supply device (350) according to Claim 6 , wherein the displacement structure (306) further a Having guidance system, which provides the multiple relocation paths.

Supply device (350) according to one of the Claims 1 to 7th , wherein the displacement structure (306) has a lifting device for adjusting a vertical position in which the displacement takes place between the parking position and the operating position.

Supply device (350) according to one of the Claims 1 to 8th wherein the displacement structure (306) further comprises: at least one carriage for transporting each crucible carrier of the two crucible carriers (304, 1304).

Supply device (350) according to one of the Claims 1 to 9 , wherein the at least one storage area (312, 314) has a plurality of storage areas (312, 314), the displacement structure (306) being set up such that the two crucible carriers (304, 1304) in their storage position between the plurality of storage areas (312, 314 ) can be exchanged for each other.

Processing arrangement, comprising: a supply device (350) according to one of the Claims 1 to 10 • the vacuum chamber (802), the vacuum chamber (802) having a chamber opening into which the displacement structure (306) opens.

Process, comprising: • heating (1201) a material to be evaporated, arranged in a first evaporation crucible, within a vacuum chamber (802) to a temperature at which the material to be evaporated is converted into a gas phase; Moving (1203) the first evaporation crucible out of the vacuum chamber (802) and a second evaporation crucible into the vacuum chamber (802) before the evaporation material has cooled to less than half the temperature; • Cooling (1205) the first evaporation crucible by means of a cooling fluid during the displacement.