DE102019003597A1 - Process and system for plasma polishing - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Plasmapolieren einer elektrisch leitfähigen Oberfläche eines Werkstückes, wobei sich das Werkstück während des Plasmapolierens wenigstens zeitweise in einem Elektrolyten befindet, welcher in einem Elektrolytbehälter enthalten ist. Außerdem betrifft die Erfindung eine Anlage zum Plasmapolieren einer elektrisch leitfähigen Oberfläche eines Werkstückes, wobei die Anlage einen Elektrolytbehälter zur Aufnahme eines Elektrolyten aufweist. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Anlage der eingangs genannten Art dahingehend zu verbessern, dass die Effizienz des Plasmapolierens gesteigert wird, also beispielsweise bei niedrigerer Temperatur und somit geringerem Energieeinsatz bereits das Plasmapolieren durchgeführt werden kann. Außerdem soll ermöglicht werden, Werkstücke bearbeiten zu können, welche eine verwinkelte, kleinteilige Geometrie aufweisen und bisher einer Bearbeitung durch Plasmapolieren nicht zugänglich waren. Die Aufgabe wird gelöst, indem während des Plasmapolierens Ultraschall auf das Werkstück einwirkt bzw. indem die Anlage einen Ultraschallerzeuger aufweist, welcher während eines Plasmapolierverfahrens in dem Elektrolyten positionierbar ausgebildet ist.The invention relates to a method for plasma polishing an electrically conductive surface of a workpiece, the workpiece being at least temporarily in an electrolyte which is contained in an electrolyte container during the plasma polishing. The invention also relates to a system for plasma polishing an electrically conductive surface of a workpiece, the system having an electrolyte container for holding an electrolyte. The invention is based on the object of improving a method and a system of the type mentioned at the beginning in such a way that the efficiency of the plasma polishing is increased, that is to say, for example, the plasma polishing can already be carried out at a lower temperature and thus less energy consumption. In addition, it should be made possible to process workpieces which have an angled, small-scale geometry and which were previously inaccessible to processing by plasma polishing. The object is achieved in that ultrasound acts on the workpiece during plasma polishing or in that the system has an ultrasound generator which can be positioned in the electrolyte during a plasma polishing process.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Plasmapolieren einer elektrisch leitfähigen Oberfläche eines Werkstückes, wobei sich das Werkstück während des Plasmapolierens wenigstens zeitweise in einem Elektrolyten befindet, welcher in einem Elektrolytbehälter enthalten ist. Außerdem betrifft die Erfindung eine Anlage zum Plasmapolieren einer elektrisch leitfähigen Oberfläche eines Werkstückes, wobei die Anlage einen Elektrolytbehälter zur Aufnahme eines Elektrolyten aufweist.The invention relates to a method for plasma polishing an electrically conductive surface of a workpiece, the workpiece being at least temporarily in an electrolyte which is contained in an electrolyte container during the plasma polishing. The invention also relates to a system for plasma polishing an electrically conductive surface of a workpiece, the system having an electrolyte container for holding an electrolyte.

Ein Verfahren und eine Anlage der eingangs genannten Art sind beispielsweise aus der DE 10 2006 016 368 B4 bekannt. Die dort gezeigte Anlage weist eine Aufnahmeeinrichtung für das Werkstück auf, sodass das Werkstück in einen Elektrolytbehälter getaucht werden kann, in welchem sich ein Elektrolyt befindet. Das Werkstück ist dann für das Plasmapolieren mit einem anodischen elektrischen Potenzial beaufschlagbar, während der Elektrolyt mit einem kathodischen elektrischen Potenzial beaufschlagbar ist. Beispielsweise kann der Elektrolytbehälter als Kathode wirken oder es kann eine separate Kathode in den Elektrolytbehälter eingebracht werden. Demnach ist es möglich, die Stromstärke beim Plasmapolieren in Abhängigkeit einer Eintauchgeschwindigkeit des Werkstückes in den Elektrolyten zu steuern.A method and a system of the type mentioned are for example from DE 10 2006 016 368 B4 known. The system shown there has a receiving device for the workpiece, so that the workpiece can be immersed in an electrolyte container in which there is an electrolyte. The workpiece can then have an anodic electrical potential applied to it for plasma polishing, while a cathodic electrical potential can be applied to the electrolyte. For example, the electrolyte container can act as a cathode or a separate cathode can be introduced into the electrolyte container. Accordingly, it is possible to control the current intensity during plasma polishing as a function of the speed at which the workpiece is immersed in the electrolyte.

Nach der DE 10 2006 016 368 B4 ist bekannt, das Verfahren des Plasmapolierens bei Temperaturen von 70 bis 95 °C durchzuführen, wobei die Elektrolytlösung einen pH-Wert von 5,0 bis 7,0 aufweist. Bei anderen zu polierenden Metallen oder Legierungen kann der pH-Wert in einem Bereich von 2,0 bis 11,0 eingestellt werden. Um das Plasma in der Elektrolytlösung zu zünden, wird üblicherweise eine elektrische Gleichspannung von 170 bis 450 V zwischen der Anode und der Kathode angelegt. Dadurch wird an dem anodisch beaufschlagtem Werkstück ein Gasfilm an der Oberfläche des Werkstückes erzeugt, welcher durch die Spannung partiell ionisiert werden kann und somit die Bildung des Plasmas hervorruft. Hierfür werden üblicherweise Polierströme von 0,1 bis 1,5 A/cm2 eingestellt. Es ist weiterhin bekannt, je nach Material des Werkstückes die Zusammensetzung des Elektrolyten zu variieren. After DE 10 2006 016 368 B4 it is known to carry out the plasma polishing process at temperatures of 70 to 95 ° C., the electrolyte solution having a pH of 5.0 to 7.0. For other metals or alloys to be polished, the pH value can be adjusted in a range from 2.0 to 11.0. To ignite the plasma in the electrolyte solution, an electrical direct voltage of 170 to 450 V is usually applied between the anode and the cathode. As a result, a gas film is generated on the surface of the workpiece on the anodically charged workpiece, which gas film can be partially ionized by the voltage and thus causes the formation of the plasma. For this purpose, polishing currents of 0.1 to 1.5 A / cm 2 are usually set. It is also known to vary the composition of the electrolyte depending on the material of the workpiece.

Gemäß der DE 102 07 632 A1 dient eine wässrige Lösung von Ammoniumchlorid und Ammoniumfluorid als Elektrolyt für einen Plasmapolierprozess von Titan, wobei Ammoniumchlorid zu etwa 1,5 bis 3 Masse-% und Ammoniumfluorid zu etwa 1,25 bis 2,75 Masse-%, jeweils bezogen auf den Elektrolyten, eingesetzt werden. Nach der EP 1 972 322 A2 ist beispielsweise wiederum bekannt, für das Plasmapolieren von Kobalt-Chrom-Legierungen als Elektrolyten wässrige Lösungen von Ammoniumsulfat oder Ammoniumhydrogensulfat in Anwesenheit von Schwefelsäure zu verwenden.According to the DE 102 07 632 A1 An aqueous solution of ammonium chloride and ammonium fluoride is used as the electrolyte for a plasma polishing process of titanium, with ammonium chloride used at around 1.5 to 3% by mass and ammonium fluoride at around 1.25 to 2.75% by mass, each based on the electrolyte will. After EP 1 972 322 A2 For example, it is again known to use aqueous solutions of ammonium sulfate or ammonium hydrogen sulfate in the presence of sulfuric acid as electrolytes for plasma polishing of cobalt-chromium alloys.

Beim Plasmapolieren bzw. plasmaelektrolytischen Polieren handelt es sich einerseits um eine plasmachemische Reaktion, andererseits auch um einen Anodenprozess mit einer Auflösung der Anode. Es gehen während des Plasmapolierens also Metallionen von der metallischen Anode in den Elektrolyten über, d.h. während des Plasmapolierens ist ein Anstieg einer elektrischen Leitfähigkeit des Elektrolyten zu beobachten. Beim Anlegen einer hohen Gleichspannung, beispielsweise von etwa 170 bis 450 V, kann es in einer Elektrolysezelle zu einer Gasbildung an der Anode kommen. Aufgrund der hohen Spannung wird das Gas teilweise ionisiert, weswegen man von einem Plasma sprechen kann. Idealerweise bildet sich ein geschlossener Plasmamantel um die Anode, sodass der ionisierte Gasfilm das gesamte Werkstück umschließt und dieses von dem Elektrolyten abtrennt. Der Gasfilm selbst ist nicht leitend für elektrischen Strom, es finden jedoch zeitweise elektrische Entladungen statt. Diese Entladungen nutzen jeweils einen Weg geringen Widerstands, wodurch die Entladungen vor allem geometrische Erhebungen auf der zu bearbeitenden Oberfläche des Werkstückes treffen. Diese Erhebungen werden durch die Entladungen verdampft und somit führt das Plasmapolieren zu einer Einebnung der zu bearbeitenden Oberfläche. Daher verringert sich durch Plasmapolieren eine Oberflächenrauheit der Oberfläche und das Verfahren kann zum Entgraten und Polieren eingesetzt werden.Plasma polishing or plasma electrolytic polishing is, on the one hand, a plasma-chemical reaction and, on the other hand, an anode process with dissolution of the anode. During plasma polishing, metal ions are transferred from the metallic anode into the electrolyte, i.e. An increase in the electrical conductivity of the electrolyte can be observed during plasma polishing. When applying a high DC voltage, for example from about 170 to 450 V, gas can form at the anode in an electrolysis cell. Due to the high voltage, the gas is partially ionized, which is why one can speak of a plasma. Ideally, a closed plasma jacket is formed around the anode so that the ionized gas film surrounds the entire workpiece and separates it from the electrolyte. The gas film itself is not conductive for electrical current, but electrical discharges take place at times. These discharges each use a path of low resistance, as a result of which the discharges mainly hit geometric elevations on the surface of the workpiece to be machined. These elevations are vaporized by the discharges and thus plasma polishing leads to a leveling of the surface to be processed. Therefore, plasma polishing reduces a surface roughness of the surface and the method can be used for deburring and polishing.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Anlage der eingangs genannten Art dahingehend zu verbessern, dass die Effizienz des Plasmapolierens gesteigert wird, also beispielsweise bei niedrigerer Temperatur und somit geringerem Energieeinsatz bereits das Plasmapolieren durchgeführt werden kann. Außerdem soll ermöglicht werden, Werkstücke bearbeiten zu können, welche eine verwinkelte, kleinteilige Geometrie aufweisen und bisher einer Bearbeitung durch Plasmapolieren nicht zugänglich waren.The invention is based on the object of improving a method and a system of the type mentioned at the beginning in such a way that the efficiency of the plasma polishing is increased, that is to say, for example, the plasma polishing can already be carried out at a lower temperature and thus less energy consumption. In addition, it should be made possible to process workpieces which have an angled, small-scale geometry and which were previously inaccessible to processing by plasma polishing.

Diese Aufgabe ist mit einem Verfahren der genannten Art durch die im Kennzeichen des Patentanspruchs 1 genannten Merkmale sowie eine Anlage der genannten Art durch die im Kennzeichen des Patentanspruchs 6 genannten Merkmale gelöst.This object is achieved with a method of the type mentioned by the features mentioned in the characterizing part of claim 1 and a system of the type mentioned by the features mentioned in the characterizing part of claim 6.

Nach der Erfindung ist also vorgesehen, dass während des Plasmapolierens Ultraschall auf das Werkstück einwirkt. Hierfür weist die Anlage einen Ultraschallerzeuger auf, welcher während eines Plasmapolierverfahrens in dem Elektrolyten positionierbar ausgebildet ist. Ultraschall wird durch Schwingungen in Materie - z.B. Gas oder Flüssigkeit - erzeugt, welche Frequenzen im Bereich von etwa 16 · 103 bis 1010 Hz aufweisen.According to the invention it is provided that ultrasound acts on the workpiece during plasma polishing. For this purpose, the system has an ultrasound generator which can be positioned in the electrolyte during a plasma polishing process. Ultrasound is generated by vibrations in matter - e.g. gas or liquid, which have frequencies in the range of about 16 · 10 3 to 10 10 Hz.

Mit anderen Worten zeichnet sich die erfindungsgemäße Lösung dadurch aus, dass während des Plasmapolierens, also während eine Gleichspannung von 170 bis 450 V mit einem Polierstrom von 0,1 bis 1,5 A/cm2 auf die Oberfläche des Werkstückes in der Elektrolytlösung einwirken, zusätzlich noch Ultraschall auf die zu bearbeitende Oberfläche einwirkt. Hierdurch kann eine Effizienz der Bearbeitung der Oberfläche drastisch gesteigert werden. Einerseits können somit Oberflächen von Werkstücken bearbeitet werden, die bisherigen Versuchen der Bearbeitung mittels Plasmapolieren nicht zugänglich waren. Fräst man beispielsweise einen rechteckigen Graben mit einer Breite in einem Bereich von 0,4 bis 1 mm in eine zu bearbeitende Oberfläche eines Werkstückes, so werden beim Plasmapolieren lediglich Bereiche der Oberfläche bearbeitet, d.h. geglättet, welche nicht gefräst wurden. Im Graben hingegen verbleibt eine Oberflächenrauheit wie vor dem Plasmapolieren. Wird dahingegen während des Plasmapolierens unterstützend Ultraschall eingesetzt, so kann auch die Oberfläche im Graben, d.h. sogar in einer Geometrie kleiner als 1 mm, bearbeitet werden, wodurch die Oberflächenrauheit im Graben nach dem Plasmapolieren ebenso abgenommen hat wie auf der restlichen Oberfläche des Werkstückes.In other words, the solution according to the invention is characterized in that during plasma polishing, i.e. during a direct voltage of 170 to 450 V with a polishing current of 0.1 to 1.5 A / cm 2 , the surface of the workpiece acts in the electrolyte solution, ultrasound also acts on the surface to be processed. As a result, the efficiency of the processing of the surface can be increased drastically. On the one hand, surfaces of workpieces can be processed that were previously inaccessible to attempts at processing using plasma polishing. If, for example, a rectangular trench with a width in a range of 0.4 to 1 mm is milled in a surface of a workpiece to be machined, only areas of the surface that have not been milled are machined, ie smoothed, during plasma polishing. In the trench, however, a surface roughness remains as before plasma polishing. If, on the other hand, ultrasound is used during plasma polishing, the surface in the trench can also be machined, i.e. even with a geometry smaller than 1 mm, whereby the surface roughness in the trench has decreased after plasma polishing as well as on the remaining surface of the workpiece.

Andererseits ermöglicht die Nutzung von Ultraschall beim Plasmapolieren von klassisch dimensionierten Werkstücken eine schnellere Bearbeitung im Vergleich zum Plasmapolieren ohne Ultraschall, außerdem können auch niedrigere Temperaturen verwendet werden als beim Plasmapolieren ohne Ultraschall. Beispielhaft konnte bei identischen Bedingungen, also gleicher Temperatur und gleicher Prozessdauer, durch die zusätzliche Verwendung von Ultraschall ein erhöhter Materialabtrag und eine weitere Erniedrigung der Oberflächenrauheit im Vergleich zu einem Plasmapolierverfahren ohne Ultraschall festgestellt werden.On the other hand, the use of ultrasound for plasma polishing of classically dimensioned workpieces enables faster processing compared to plasma polishing without ultrasound, and lower temperatures can also be used than for plasma polishing without ultrasound. For example, under identical conditions, i.e. the same temperature and the same process duration, the additional use of ultrasound resulted in increased material removal and a further reduction in surface roughness compared to a plasma polishing process without ultrasound.

Andere vorteilhafte Weiterbildungen ergeben sich aus den abhängigen Patentansprüchen.Other advantageous developments emerge from the dependent claims.

Gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung wird ein externer Ultraschallerzeuger zusätzlich in den Elektrolyten eingetaucht. Der Ultraschallerzeuger ist also als ein externer Ultraschallerzeuger, eine sogenannte Sonotrode, ausgebildet. Dies ist insofern vorteilhaft, dass unabhängig von den zu bearbeitenden Werkstücken stets eine gleichbleibende Konfiguration des Ultraschallerzeugers im Elektrolytbehälter vorliegt. Dadurch kann einem Kunden eine konstant konfigurierte Plasmapolieranlage angeboten werden. Eine solche Sonotrode kann derart ausgebildet sein, dass der Ultraschall gerichtet aus ihr austritt, also nur in bestimmten geometrischen Richtungen. Hierfür ist es wichtig, die Sonotrode und das Werkstück geometrisch korrekt aufeinander auszurichten, sodass der Ultraschall während des Plasmapolierens auf die Oberfläche des Werkstückes trifft.According to a first embodiment of the invention, an external ultrasonic generator is additionally immersed in the electrolyte. The ultrasonic generator is thus designed as an external ultrasonic generator, a so-called sonotrode. This is advantageous insofar as the configuration of the ultrasonic generator in the electrolyte container always remains the same regardless of the workpieces to be machined. This means that a customer can be offered a constantly configured plasma polishing system. Such a sonotrode can be designed in such a way that the ultrasound emerges from it in a directed manner, that is to say only in certain geometric directions. For this it is important to align the sonotrode and the workpiece in a geometrically correct manner so that the ultrasound hits the surface of the workpiece during plasma polishing.

Dies ermöglicht eine weitere Fortbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens, wonach auf einen ersten Bereich der Oberfläche des Werkstückes gerichteter Ultraschall während des Plasmapolierens einwirkt, während auf einen zweiten Bereich der Oberfläche des Werkstückes während des Plasmapolierens kein Ultraschall einwirkt. Da der Ultraschall bewirkt, dass mehr Material von der Oberfläche beim Plasmapolieren abgetragen wird, wird die Oberfläche des Werkstückes nach dem Plasmapolieren im ersten Bereich eine Vertiefung gegenüber des zweiten Bereiches aufweisen.This enables a further development of the method according to the invention, according to which ultrasound directed onto a first area of the surface of the workpiece acts during plasma polishing, while no ultrasound acts on a second area of the surface of the workpiece during plasma polishing. Since the ultrasound causes more material to be removed from the surface during plasma polishing, the surface of the workpiece after plasma polishing will have a depression in the first area opposite the second area.

Andererseits kann die Sonotrode aber auch so ausgebildet sein, dass der Ultraschall aus ihr ungerichtet austritt, also der Ultraschall sich im Elektrolyten gleichmäßig ausbreitet.On the other hand, the sonotrode can also be designed in such a way that the ultrasound emerges from it in an undirected manner, that is to say the ultrasound spreads evenly in the electrolyte.

In einer alternativen, zweiten Ausführungsform wirkt das Werkstück selbst im Elektrolyten als Ultraschallerzeuger. Das Werkstück ist somit also als der Ultraschallerzeuger ausgebildet. Hierfür kann das Werkstück mechanisch mit einem Ultraschallschwinger gekoppelt sein, beispielsweise über die Aufnahmeeinrichtung. Weiterhin ist es möglich, dass der Elektrolytbehälter als Ultraschallerzeuger wirkt, beispielsweise kann ein Ultraschallplattenschwinger mit einem Boden des Elektrolytbehälters gekoppelt sein. Ein solcher Ultraschallplattenschwinger weist üblicherweise PZT-Schwingelemente auf. Somit kann in diesen beiden Varianten ungerichteter Ultraschall im gesamten Volumen des Elektrolyten erzeugt werden. Diese Ausgestaltungen sind insbesondere finanziell vorteilhaft, wenn man selbst die Plasmapolieranlage betreibt und zusätzliche Ultraschallerzeuger aus Ersparnisgründen vermeiden möchte. Außerdem erspart man sich so ein Ausrichten eines externen Ultraschallerzeugers auf das Werkstück.In an alternative, second embodiment, the workpiece itself acts as an ultrasonic generator in the electrolyte. The workpiece is thus designed as the ultrasonic generator. For this purpose, the workpiece can be mechanically coupled to an ultrasonic oscillator, for example via the receiving device. It is also possible for the electrolyte container to act as an ultrasound generator, for example an ultrasonic plate oscillator can be coupled to a bottom of the electrolyte container. Such an ultrasonic plate oscillator usually has PZT oscillating elements. Thus, in these two variants, undirected ultrasound can be generated in the entire volume of the electrolyte. These configurations are particularly financially advantageous if you operate the plasma polishing system yourself and want to avoid additional ultrasonic generators for reasons of economy. It also saves you having to align an external ultrasonic generator with the workpiece.

Als weitere Fortbildung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass der Elektrolyt während des Plasmapolierens die Oberfläche des Werkstückes anströmt. Hierfür kann eine Düse auf die Oberfläche gerichtet werden, aus welcher Elektrolyt gerichtet ausströmt. In einer weiteren Fortbildung der Erfindung, kann eine Sonotrode zentrisch in der Düse angeordnet sein, sodass ein Elektrolytstrahl von der Düse auf die Oberfläche trifft, wobei sich insbesondere in dem Elektrolytstrahl der Ultraschall ausbreitet. Ganz besonders bevorzugt sendet die Sonotrode in diesem Fall gerichteten Ultraschall aus, dessen Ausbreitungsrichtung mit einer Richtung des Elektrolytstahls übereinstimmt.As a further development of the invention it can be provided that the electrolyte flows against the surface of the workpiece during plasma polishing. For this purpose, a nozzle can be aimed at the surface, from which electrolyte flows out in a directed manner. In a further development of the invention, a sonotrode can be arranged centrally in the nozzle, so that an electrolyte jet from the nozzle hits the surface, with the ultrasound in particular propagating in the electrolyte jet. In this case, the sonotrode very particularly preferably emits directed ultrasound whose direction of propagation coincides with a direction of the electrolyte steel.

Als vorteilhaft hat sich außerdem herausgestellt, den Druck im Elektrolytbehälter niedriger als Atmosphärendruck einzustellen. Somit kann eine Temperatur, bei der der flüssige Elektrolyt verdampft, also in die Gasphase übergeht, erniedrigt werden. Damit kann der Plasmapolierprozess bei niedrigeren Temperaturen stattfinden als bei Atmosphärendruck, da sich bereits bei geringeren Temperaturen eine Gasphase um die anodisch gepolte Oberfläche des zu bearbeitenden Werkstückes bildet, welche anschließend ionisiert werden kann, also das Plasma bildet. Somit muss weniger Energie für ein Aufwärmen des Elektrolyten aufgewendet werden und die Druckerniedrigung führt zu einer Energieersparnis.It has also been found to be advantageous to set the pressure in the electrolyte container lower than atmospheric pressure. Thus, a temperature at which the liquid electrolyte evaporates, that is to say changes into the gas phase, can be lowered. The plasma polishing process can thus take place at lower temperatures than at atmospheric pressure, since a gas phase forms around the anodically polarized surface of the workpiece to be processed, which can then be ionized, i.e. forms the plasma. This means that less energy has to be used to warm up the electrolyte and the lowering of the pressure leads to energy savings.

In einer besonders bevorzugten Weiterbildung der Erfindung befördert eine Fördereinrichtung mehrere Aufnahmeeinrichtungen zur Aufnahme des Werkstückes linear hintereinander durch den Elektrolyten. Hierfür weist die Anlage eine Fördereinrichtung auf, wobei die Fördereinrichtung mehrere Aufnahmeeinrichtungen zur Halterung des Werkstückes derart aufweisend ausgebildet ist, dass die Aufnahmeeinrichtungen linear hintereinander von der Fördereinrichtung durch den Elektrolyten beförderbar sind. Somit können mehrere Werkstück nacheinander in der Anlage plasmapoliert werden, die Anlage kann also kontinuierlich betrieben werden. Dies ist ein deutlicher Vorteil gegenüber der Anlage aus der DE 10 2006 016 368 B4 , welche gleichzeitig mehrere Werkstücke in einem Magazin aufnehmen kann und in einem Batch-Verfahren diese mehreren Werkstücke gleichzeitig in das Elektrolytbad taucht und plasmapoliert.In a particularly preferred development of the invention, a conveying device conveys several receiving devices for receiving the workpiece linearly one behind the other through the electrolyte. For this purpose, the system has a conveying device, the conveying device being designed to have a plurality of receiving devices for holding the workpiece in such a way that the receiving devices can be conveyed linearly one behind the other by the conveying device through the electrolyte. This means that several workpieces can be plasma-polished one after the other in the system, so the system can be operated continuously. This is a clear advantage over the system from the DE 10 2006 016 368 B4 which can hold several workpieces in a magazine at the same time and immerses these several workpieces simultaneously in the electrolyte bath and plasma polishes them in a batch process.

Eine weitere vorteilhafte Maßnahme, um die Effizienz des Verfahrens zu steigern, ist das Vorwärmen des/der Werkstücke/s. Beispielsweise können die Werkstücke von der Fördereinrichtung zunächst durch einen Vorwärmofen und anschließend durch den Elektrolyten gefördert werden.Another advantageous measure to increase the efficiency of the method is to preheat the work piece (s). For example, the workpieces can be conveyed by the conveying device first through a preheating furnace and then through the electrolyte.

Bei dem erfindungsgemäßen kontinuierlichen Verfahren mithilfe der Fördereinrichtung ist es sinnvoll, wenn die Fördereinrichtung über einen geometrisch begrenzten elektrischen Kontakt verfügt, der es ermöglicht, diejenigen Aufnahmeeinrichtungen elektrisch zu kontaktieren, welche sich im Elektrolyten befinden. Somit wird ermöglicht, diejenigen Werkstücke anodisch zu kontaktieren, welche von Elektrolyt umgeben sind, und jene Werkstücke, welche sich außerhalb des Elektrolyten befinden, nicht elektrisch zu kontaktieren.In the case of the continuous method according to the invention with the aid of the conveying device, it makes sense if the conveying device has a geometrically limited electrical contact that enables electrical contact to be made with those receiving devices which are located in the electrolyte. It is thus possible to make anodic contact with those workpieces which are surrounded by electrolyte and not to make electrical contact with those workpieces which are located outside the electrolyte.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturPatent literature cited

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  • DE 10207632 A1 [0004]DE 10207632 A1 [0004]
  • EP 1972322 A2 [0004]EP 1972322 A2 [0004]

Claims (10)

Verfahren zum Plasmapolieren einer elektrisch leitfähigen Oberfläche eines Werkstückes, wobei sich das Werkstück während des Plasmapolierens wenigstens zeitweise in einem Elektrolyten befindet, welcher in einem Elektrolytbehälter enthalten ist, dadurch gekennzeichnet, dass während des Plasmapolierens Ultraschall auf das Werkstück einwirkt.Method for plasma polishing an electrically conductive surface of a workpiece, the workpiece being at least temporarily in an electrolyte during plasma polishing, which is contained in an electrolyte container, characterized in that ultrasound acts on the workpiece during plasma polishing. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein externer Ultraschallerzeuger zusätzlich in den Elektrolyten eingetaucht wird.Procedure according to Claim 1 , characterized in that an external ultrasonic generator is also immersed in the electrolyte. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Werkstück selbst im Elektrolyten als Ultraschallerzeuger wirkt.Procedure according to Claim 1 , characterized in that the workpiece itself acts as an ultrasonic generator in the electrolyte. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Druck im Elektrolytbehälter niedriger als Atmosphärendruck eingestellt wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the pressure in the electrolyte container is set lower than atmospheric pressure. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Fördereinrichtung mehrere Aufnahmeeinrichtungen zur Aufnahme des Werkstückes linear hintereinander durch den Elektrolyten befördert.Method according to one of the preceding claims, characterized in that a conveying device conveys several receiving devices for receiving the workpiece linearly one behind the other through the electrolyte. Anlage zum Plasmapolieren einer elektrisch leitfähigen Oberfläche eines Werkstückes, wobei die Anlage einen Elektrolytbehälter zur Aufnahme eines Elektrolyten aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Anlage einen Ultraschallerzeuger aufweist, welcher während eines Plasmapolierverfahrens in dem Elektrolyten positionierbar ausgebildet ist.System for plasma polishing an electrically conductive surface of a workpiece, the system having an electrolyte container for holding an electrolyte, characterized in that the system has an ultrasound generator which can be positioned in the electrolyte during a plasma polishing process. Anlage nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Ultraschallerzeuger als ein externer Ultraschallerzeuger ausgebildet ist.Plant after Claim 6 , characterized in that the ultrasonic generator is designed as an external ultrasonic generator. Anlage nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Werkstück als der Ultraschallerzeuger ausgebildet ist.Plant after Claim 6 , characterized in that the workpiece is designed as the ultrasonic generator. Anlage nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Druck im Elektrolytbehälter niedriger als Atmosphärendruck einstellbar ist.Plant according to one of the Claims 6 to 8th , characterized in that the pressure in the electrolyte container can be set to be lower than atmospheric pressure. Anlage nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Anlage eine Fördereinrichtung aufweist, wobei die Fördereinrichtung mehrere Aufnahmeeinrichtungen zur Halterung des Werkstückes derart aufweisend ausgebildet ist, dass die Aufnahmeeinrichtungen linear hintereinander von der Fördereinrichtung durch den Elektrolyten beförderbar sind.Plant according to one of the Claims 6 to 9 , characterized in that the system has a conveying device, the conveying device being designed to have multiple receiving devices for holding the workpiece in such a way that the receiving devices can be conveyed linearly one behind the other by the conveying device through the electrolyte.
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