DE102018211108A1 - Verfahren zum Modifizieren und anschließendem Ausbilden einer Oberflächenbeschichtung auf einem metallischen Bauteil - Google Patents

Verfahren zum Modifizieren und anschließendem Ausbilden einer Oberflächenbeschichtung auf einem metallischen Bauteil Download PDF

Info

Publication number
DE102018211108A1
DE102018211108A1 DE102018211108.1A DE102018211108A DE102018211108A1 DE 102018211108 A1 DE102018211108 A1 DE 102018211108A1 DE 102018211108 A DE102018211108 A DE 102018211108A DE 102018211108 A1 DE102018211108 A1 DE 102018211108A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
component
coating
layer
laser
nitrogen
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE102018211108.1A
Other languages
English (en)
Other versions
DE102018211108B4 (de
Inventor
Axel Zwick
Teja Roch
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Original Assignee
Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV filed Critical Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority to DE102018211108.1A priority Critical patent/DE102018211108B4/de
Publication of DE102018211108A1 publication Critical patent/DE102018211108A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102018211108B4 publication Critical patent/DE102018211108B4/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/08Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases only one element being applied
    • C23C8/24Nitriding
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/0006Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring taking account of the properties of the material involved
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/082Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/082Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
    • B23K26/0821Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head using multifaceted mirrors, e.g. polygonal mirror
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/083Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction
    • B23K26/0838Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction by using an endless conveyor belt
    • B23K26/0846Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction by using an endless conveyor belt for moving elongated workpieces longitudinally, e.g. wire or strip material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/352Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring for surface treatment
    • B23K26/354Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring for surface treatment by melting
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/352Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring for surface treatment
    • B23K26/355Texturing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material
    • B23K26/362Laser etching
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material
    • B23K26/40Removing material taking account of the properties of the material involved
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02Pretreatment of the material to be coated
    • C23C14/021Cleaning or etching treatments
    • C23C14/022Cleaning or etching treatments by means of bombardment with energetic particles or radiation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/02Pretreatment of the material to be coated
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/80After-treatment
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2101/00Articles made by soldering, welding or cutting
    • B23K2101/16Bands or sheets of indefinite length
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2101/00Articles made by soldering, welding or cutting
    • B23K2101/18Sheet panels
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2103/00Materials to be soldered, welded or cut
    • B23K2103/02Iron or ferrous alloys
    • B23K2103/04Steel or steel alloys
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2103/00Materials to be soldered, welded or cut
    • B23K2103/08Non-ferrous metals or alloys
    • B23K2103/10Aluminium or alloys thereof
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2103/00Materials to be soldered, welded or cut
    • B23K2103/08Non-ferrous metals or alloys
    • B23K2103/12Copper or alloys thereof
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2103/00Materials to be soldered, welded or cut
    • B23K2103/08Non-ferrous metals or alloys
    • B23K2103/14Titanium or alloys thereof

Abstract

Bei dem Verfahren zum Modifizieren und anschließendem Ausbilden einer Oberflächenbeschichtung auf einem metallischen Bauteil wird/werden vor der Ausbildung einer Oberflächenbeschichtung in einem vorgeschalteten Schritt die jeweilige Oberfläche des Bauteils (1) mit mindestens einem über die jeweilige Oberfläche auslenkbaren Brennfleck mindestens eines Laserstrahls zumindest nahezu vollflächig beaufschlagt und dabei Anhaftungen und/oder einer Oxidschicht von der Oberfläche entfernt.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Modifizieren und anschließendem Ausbilden einer Oberflächenbeschichtung auf einem metallischen Bauteil, bevorzugt einem Bauteil, das mit einem Stahlwerkstoff gebildet ist. Besonders vorteilhaft kann ein Stahlbauteil mit hohem Anteil an enthaltendem Chrom damit modifiziert und anschließend beschichtet werden.
  • Bauteile, insbesondere metallische Bauteile durchlaufen aktuell lange Reinigungs- und Vorbehandlungszyklen, um für eine anschließende Beschichtung (z.B. mittels PVD) präpariert zu werden. Typischerweise geschieht eine solche Reinigung nasschemisch, gefolgt von einer Trocknung und anschließender Funktionalisierung der Oberfläche z.B. durch Plasmaprozesse. Derartige Prozesszeiten liegen aktuell bei bis zu 2 Std.
  • Durch die nasschemische Reinigung werden insbesondere Oberflächenkontaminationen (z.B. Öle) entfernt. Hierzu werden üblicherweise Ultraschallbecken befüllt mit unterschiedlichen Reinigungslösungen und hochreinem Wasser verwendet. Die Minimalkonfiguration einer solchen Reinigungsstrecke zur Probenvorbereitung besteht beispielsweise aus 3 Ultraschallbecken (1x alkalischer oder basischer Reiniger, 1x Spülung mit deionisiertem Wasser, 1x Spülung mit hochreinem deionisiertem Wasser). In Abhängigkeit vom verwendeten zu reinigenden Bauteilmaterial wird hierbei alkalischer oder basischer Reiniger eingesetzt und das entsprechende Becken kann beheizt werden. Die verwendeten Flüssigkeiten müssen nach der Verwendung entsorgt oder bei deionisiertem Wasser gefiltert und regeneriert werden. Anschließend erfolgt eine Trocknung.
  • Vor der PVD-Beschichtung wird mittels Plasmaprozessen (auch Feinreinigung genannt) die Bauteiloberfläche, typischerweise in einer Vakuumkammer, fein gereinigt. Ein solcher Plasmaprozess kann z.B. durch Anlegen einer hohen Spannung an das Bauteil und den parallelen „Beschuss“ von ionisierten Teilchen z.B. Chrom-Atomen erfolgen. In Abhängigkeit von der jeweiligen Teilchenbeschleunigung kommt es auf dem Bauteil zu einem Materialabtrag (Sputtern; Feinreinigung). Eine derartige Funktionalisierung kann auch über ein verwendetes Reaktivgas (z.B. Stickstoff) erfolgen. Damit können Oxide entfernt werden und die Oberfläche wird aktiviert, so dass bessere Schichthaftungen erreicht werden können. Insbesondere die Plasmaprozesse nehmen hierbei erhebliche Zeiten von bis zu 1,5 Std. in Anspruch.
  • Bei einer solchen Plasmafeinreinigung erwärmt sich das Bauteil, was für Hartstoffschichten, z.B. in Form von diamantartigen Kohlenstoffschichten, zusätzlich nachteilig ist, da das Bauteil vor der Beschichtung abgekühlt sein muss.
  • Soll durch die Plasmabehandlung zusätzlich eine Nitrierung der Oberfläche erfolgen, die insbesondere für Brennstoffzellen vorteilhaft sein kann, so kommt es aufgrund der notwendigen Diffusion der Stickstoffatome zu Nitrierzeiten von mindestens 15 Minuten - 20 Minuten bei Nitriertiefen von wenigen 100 nm.
  • Es ist daher Aufgabe der Erfindung, Möglichkeiten für eine Ausbildung von Beschichtungen auf Bauteiloberflächen aus Stahl, insbesondere chromhaltigem Stahl, anzugeben, bei der die Effektivität der Oberflächenvorbehandlung vor Ausbildung der Beschichtung erhöht werden kann. Es kann auch eine Übertragung auf Bauteiloberflächen, die aus vorwiegend Titan, Kupfer oder Aluminium bestehen, möglich sein.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einem Verfahren, das die Merkmale des Anspruchs 1 aufweist, gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung können mit in untergeordneten Ansprüchen bezeichneten Merkmalen realisiert werden.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zum Modifizieren und anschließendem Ausbilden einer Oberflächenbeschichtung auf einem metallischen Bauteil wird vor der Ausbildung einer Oberflächenbeschichtung in einem vorgeschalteten Schritt die jeweilige zu nutzende Oberfläche des Bauteils mit mindestens einem über die jeweilige Oberfläche auslenkbaren Brennfleck mindestens eines Laserstrahls zumindest nahezu vollflächig beaufschlagt und dabei werden/wird Anhaftungen und/oder einer Oxidschicht von der Oberfläche entfernt.
  • Unter zumindest nahezu vollflächig kann man verstehen, dass mindestens 80 % der jeweiligen zu nutzende Oberfläche des Bauteils mit einem Laserstrahlbrennfleck direkt bestrahlt werden. Es kann ein Hatch-Abstand von 1 mm bzw. bei interferierenden Strahlen von 0,5 µm - 20 µm eingehalten werden. Unter der zu nutzenden Oberfläche versteht man z.B. bei Bipolarplatten von Brennstoffzellen, die Oberfläche die in Kontakt zur Membraneinheit (oder Gasdiffusioneinheit) steht.
  • Bei dem vorgeschalteten Schritt kann an der jeweiligen Oberfläche durch einen Werkstoffabtrag oder ein Umschmelzen auch eine ein oder mehrdimensionale Oberflächenstruktur ausgebildet werden.
  • Bei dem vorgeschalteten Schritt kann ein Laserstrahl in mindestens zwei Teilstrahlen aufgeteilt und die Teilstrahlen können dann so auf die Bauteiloberfläche gerichtet werden, dass sie im Bereich der Bauteiloberfläche miteinander interferieren.
  • Die Ausbildung der Oberflächenbeschichtung kann mit einem Vakuumbeschichtungsverfahren, insbesondere einem PVD-Verfahren durchgeführt werden.
  • Eine Oberflächenbeschichtung kann mit diamantähnlichem Kohlenstoff oder mit Chrom oder mit einer auf einer Chromschicht ausgebildeten Schicht, die mit diamantähnlichem Kohlenstoff gebildet ist, ausgebildet werden. Eine derartige Beschichtung ist insbesondere für die Beschichtung von Werkzeugen, Walzen, Zylindern oder anderen tribologisch belasteten Bauteilen geeignet.
  • Eine Oberflächenbeschichtung für insbesondere elektrochemische Anwendungen kann mit graphitischem Kohlenstoff oder mit Chrom oder mit einer auf einer Chromschicht ausgebildeten Schicht, die mit graphitischem Kohlenstoff gebildet ist, ausgebildet werden. Insbesondere die letztgenannte Oberflächenbeschichtung ist für die Herstellung von Batterieelektroden, elektrischer Kontakte oder Bipolarplatten für elektrochemische Zellen vorteilhaft.
  • Alternativ kann die Schicht oder das Schichtsystem zwischen dem Kohlenstoff und dem Substrat auch durch eine Titan-, Titannitrit-, Chromnititschicht oder einer Kombination der vorgenannten Schichten gebildet werden.
  • Die Lösung des Problems besteht in der Verwendung von Laserstrahlung zur Oberflächenvorbehandlung bzw. Oberflächenfunktionalisierung als mögliche Formen für eine Modifizierung. Bei der Verwendung mindestens einer Laserstrahlungsquelle kann, zumindest bei relativ fettfreien (z.B. Edelstahl direkt aus der Kontiglühe) Halbzeugen auf eine nasschemische Vorbehandlung vollkommen verzichtet werden. Weiterhin besteht die Möglichkeit, dass eine Laseroberflächenbehandlung die Feinreinigung der Oberfläche, bei gleichzeitig kürzeren Prozesszeiten ersetzt. Der Laserprozess kann grundsätzlich sowohl als cw-Prozess als auch gepulster Prozess ausgeführt sein. Zusätzlich können über Prozessgase vorteilhafte Oberflächeneigenschaften eingestellt werden (z.B. Stickstoff(/Wasserstoff) → Nitrierung). Ein zusätzlicher Nebeneffekt ist, dass optimierte Oberflächenstrukturen durch den Laserprozess eingebracht werden können (z.B. cw-Laser: Umschmelzen der Oberfläche und einbringen von Makro-/Mikrostrukturen; gepulster Laser: Texturieren der Oberfläche und einbringen von Mikrostrukturen). Die Oberfläche kann dabei ein oder mehrdimensional strukturiert werden, wobei die eingebrachten Strukturen auch weniger dimensional sein können.
  • Die Oberfläche kann durch das Umschmelzen auch einer Kornfeinung bzw. einer Homogenisierung der oberflächennahen Randschicht unterzogen werden. Vorteilhaft an einer solchen ist eine Erhöhung des Korrosionswiderstandes der Oberfläche.
  • Besonders vorteilhaft ist der Prozess in Kombination mit einer nachgeschalteten Atmosphärenplasmabehandlung, z.B. durch einen Plasmafaden (lineare Plasmaquelle). Dazu kann eine Plasmaquelle eingesetzt werden, bei der ein Plasma mit einem elektrischen Lichtbogen, der zwischen einer Kathode, die in einem Abstand zu einer Anode angeordnet ist, ausgebildet wird. Dazu wird ein Plasmagas in den Einflussbereich des elektrischen Lichtbogens und kein reaktives Gas zugeführt. Eine solche Plasmaquelle ist prinzipiell in DE 10 2006 042 328 A1 dort aber zur Ausbildung dünner Schichten beschrieben.
  • Der Laserreinigungsprozess im vorgelagerten Schritt kann bevorzugt in einer Stickstoff und/oder Wasserstoff enthaltenden und sauerstofffreien Atmosphäre so durchgeführt werden, dass nicht nur die Oberfläche gereinigt wird, sondern eine auf der Oberfläche eines Bauteils vorhandene Chromoxidschicht mit Wasserstoff reduziert wird.
  • Mit in der Atmosphäre enthaltenem Stickstoff kann eine Nitrierung im oberflächennahen Bereich der jeweiligen Bauteiloberfläche erreicht werden.
  • Dies kann sowohl mit oder ohne Oberflächenaufschmelzung erfolgen. Es sollte jedoch darauf geachtet werden, dass die Einwirkzeiten der Laserstrahlung so gering sind, dass sich keine großen Anteile von Chromnitriden bilden können. Bei einer Bildung derartiger Nitride kann es zu einer Reduzierung der Korrosionsbeständigkeit bei gleichzeitiger Erhöhung der Oberflächenhärte kommen. Dies kann für tribologische Applikationen auf Werkzeugstählen vorteilhaft sein, da die kritische Last für das System Werkzeugoberfläche, Adhäsionsschicht Kohlenstoffschicht erhöht werden kann.
  • Bei der nachgeschalteten Plasmabehandlung kann angeregter atomarer Stickstoff auf die Oberfläche zugeführt werden. Die Oberflächentemperatur des Bauteils nach der Laserbehandlung in einer längeren Zone sollte hierbei durch die Plasmaeinwirkung und der Laserstrahlungseinwirkung im Bereich 400 °C - 550 °C gehalten werden. Die maximale Temperatur von 550 °C sollte nicht überschritten werden. Hierdurch kann sichergestellt werden, dass sich keine größeren Mengen Chromnitride bilden, der Stickstoff sich jedoch in einer oberflächennahen Zone der Bauteiloberfläche anreichert.
  • Im Falle einer Anwendung bei Rolle zu Rolle Prozessen kann damit entweder eine Anlage bei höheren Bandgeschwindigkeiten betrieben werden und/oder die Länge einer Bandbeschichtungsanlage kann wesentlich verkürzt werden.
  • Ein solcher Laserprozess kann aufgrund der mittlerweile hohen verfügbaren Laserleistungen im gepulsten als auch CW-Bereich mit hohen Flächengeschwindigkeiten (z.B. cw bis zu 3 m2/min oder ns gepulsten Lasern 0,3 m2/min) durchgeführt werden. Hierbei können ein oder mehrere Laserstrahlen parallel oder überlappend betrieben werden.
  • Mit der Erfindung kann eine Verkürzung der Prozesszeiten bei einem Reinigen und ggf. gleichzeitigen Nitrieren, eine Reduzierung von Investitionskosten bei Einsatz von Bandanlagen, ein Ausbilden vorteilhafter Oberflächentexturen und eine Reduzierung des Einsatzes von Reinigungsmitteln erreicht werden.
  • Es können beispielsweise metallische Bipolarplatten für elektrochemische Zellen und dabei in Kombination eine anschließende Kohlenstoffbeschichtung von Edelstahl oder Titan in einer Bandanlage durchgeführt werden.
  • Es kann auch eine Vorreinigung von metallischem Bandmaterial oder bei Industriebauteilen wie Werkzeugen eine Vorbereitung zur Ausbildung von Hartstoffbeschichtungen mit verbesserter Haftung durchgeführt werden.
  • Nachfolgend soll die Erfindung beispielhaft näher erläutert werden.
  • Dabei zeigen:
    • 1 ein Beispiel einer Anlage zur Modifizierung und Ausbildung einer Oberflächenbeschichtung eines bandförmigen Bauteils;
    • 2 in schematischer Darstellung ein Beispiel eines Modifizierungsmoduls zur Durchführung des vorgelagerten Schrittes;
    • 3 schematische Schnittdarstellungen eines sukzessive an der Oberfläche modifizierten und beschichteten Bauteils;
    • 4 Schnittdarstellungen eines erfindungsgemäß an der Oberfläche modifizierten Bauteils;
    • 5 eine Aufsicht auf eine Bipolarplatte für eine elektrochemische Zelle als ein Beispiel eines erfindungsgemäß hergestellten Bauteils und
    • 6 ein Beispiel bei dem ein Laserstrahl zur Durchführung des vorgeschalteten Schrittes in zwei Teilstrahlen aufgeteilt und die Teilstrahlen interferierend auf eine Bauteiloberfläche gerichtet werden.
  • Vorteilhaft ist die Anwendung der Erfindung für die Bandbeschichtung von rost- und säurebeständigen Stählen für Brennstoffzellen. Hierfür kann eine Anwendung wie folgt aussehen:
  • Falls eine Vorreinigung in einem Bandvorreinigungsmodul 2 vor dem Laserprozess im vorgelagerten Schritt notwendig ist, z.B. bei sehr stark öligen Bauteiloberflächen, kann eine Vorreinigung beispielsweise über Eis- oder Schneestrahlen vorteilhaft sein. Alternativ ist auch eine nasschemisch Reinigung denkbar.
  • Nach diesem Prozess wird das hier bandförmige Bauteil 1 durch eine Schleuse 3.1 in den Modifizierungsmodul 3 in dem die Laserbearbeitung während des vorgelagerten Schritts durchgeführt wird, bei einem Betrieb von Rolle zu Rolle eingebracht. Diese Kammer des Modifizierungsmoduls zeichnet sich dadurch aus, dass Sie unter Stickstoff- bzw. Stickstoff/Wasserstoffatmosphäre oder Argon gehalten wird, so dass nach der Laserbehandlung eine erneute Oxidation der Oberfläche vermieden wird. Hierbei kann es vorteilhaft sein, im Bereich der Laserbearbeitung eine Absaugung anzubringen und die Gaszufuhr im Bereich des Laserfensters 6 (als Schutzgas) zu realisieren. Alternativ kann die Gaszufuhr und Absaugung im Bereich der Laserbearbeitung, d.h. in Bandnähe realisiert werden oder auch ausschließlich durch die nachfolgende Atmosphären-Plasmabehandlung erfolgen. Dadurch wird eine Strömung von abgetragenem Material in die Absaugung begünstigt.
  • Die auf der Bandoberfläche vorliegende Oxidschicht muss hierbei nicht unbedingt vollständig abgetragen werden, sie kann auch durch die Wasserstoffzugabe während des vorgelagerten Schrittes reduziert werden.
  • In Vorschubbewegungsrichtung des bandförmigen Bauteils 1 nach dem Modifizierungsmodul 3 kann ein in 1 nicht gezeigtes Plasmabehandlungsmodul für eine Atmosphärenplasmaentladung, wie sie im allgemeinen Teil der Beschreibung erläutert worden ist, angeordnet sein. Im Plasmabehandlungsmodul kann der Stickstoff in atomaren Stickstoff umgewandelt und ggf. zu einem gewissen Prozentsatz ionisiert werden. Die Plasmaquelle wird dabei so angeordnet, dass eine Bandtemperatur von 400-550°C über eine längere Strecke nach der Laserreinigung im vorgelagerten Schritt erhalten bleibt.
  • Durch den vorhandenen atomaren, zum Teil angeregten Stickstoff im Modifizierungsmodul 3 kann eine Erhöhung der Stickstoffkonzentration an der behandelten Oberfläche des Bauteils 1 erreicht werden. Durch die kurze Einwirkungszeit des Laserstrahlbrennflecks und den Temperaturen im Bereich 400 °C - 550 °C kann eine Bildung von größeren Mengen Chromnitriden vermieden werden. Das Chrom steht weiterhin für den Korrosionsschutz im Verletzungsfall der nachfolgenden Oberflächenbeschichtung zur Verfügung. Weiterhin wird die auf der Bauteiloberfläche vorhandene Oxidschicht entfernt oder umgewandelt und das Bauteil 1 oder Bandmaterial für eine anschließende Beschichtung konditioniert. Der Kammerdruck und der Brechungsindex der Kammeratmosphäre weichen typischerweise vom Umgebungsdruck und Brechungsindex der Umgebung ab.
  • Ein Laserbearbeitungssystem, das hierfür geeignet ist, kann grundsätzlich in, vorteilhafterweise aber an der Bearbeitungskammer 3.3 des Modifizierungsmoduls 3 angebracht sein. Die Einkopplung des Laserstrahles 5 in die Bearbeitungskammer erfolgt typischerweise über ein Glasfenster 6. Insbesondere bei Bandmaterial ist die Laserstrahlführung mittels eines Scanners mit mindestens einem verschwenkbaren, für einen Laserstrahl 5 reflektierendes Element 7 vorteilhaft.
  • Wie aus 2 hervorgeht kann der Laserstrahl 5 über eine optische Faser 8 einen Kollimator 9 auf zwei jeweils um eine Achse verschwenkbare reflektierende Elemente 7, mit deren gezielter Verschwenkung die Auslenkbewegung des Laserstrahlbrennflecks über die zu modifizierende Bauteiloberfläche realisiert werden kann, ausgelenkt werden. Der ausgelenkte Laserstrahl 5 wird über eine F-theta-Optik 10 auf einen fest stehenden Umlenkspiegel 7.1 und von dort auf die Bauteiloberfläche gerichtet.
  • Entsprechend 6 kann auch ein Laserstrahl 5 eines vorzugsweise gepulsten Lasers mittels eines Strahlteilers 25 in zwei Teilstrahlen 5.1 und 5.2 vorzugsweise gleicher Intensität aufgespalten werden und auf ein rotierendes Vieleck 7.2 mit reflektierenden rotierenden Oberflächen, mit dessen gezielter Rotation um eine Rotationsachse die Auslenkbewegung der Teilstrahlen5.1 und 5.2 über die zu modifizierende Bauteiloberfläche realisiert werden kann, ausgelenkt werden. Anstelle eines rotierenden Vielecks 7.2 kann man auch ein um mindestens eine Achse verschwenkbares die Teilstrahlen 5.1 und 5.2 auslenkendes Element, auf dessen reflektierende Oberflächen die Teilstrahlen 5.1 und 5.2 auftreffen, zu ihrer Auslenkungsbewegung und für die Vorschubbewegung ihrer Brennflecken einsetzen.
  • Ein Strahlteiler kann unterschiedliche optische Elemente, wie z.B. Spiegel, teildurchlässige Spiegel, Prismen, diffraktive optische Elemente beinhalten. Die ausgelenkten Teilstrahlen 5.1 und 5.2 werden über eine F-theta-Optik 10, die auch in Form einer zylindrischen F-theta-Linse ausgeführt sein kann, auf einen fest stehenden Umlenkspiegel 7.1 und von dort auf die Bauteiloberfläche gelenkt werden und sich dort zu mindestens 80 % überlagern. Vorzugsweise befindet sich das Bauteil in einem solchen Abstand zu den Elementen 7.1 und 10, so dass der oder die Laserstrahlen nur in einer Raumrichtung ihre Fokusposition auf oder nahe an der Bauteiloberfläche haben und es dadurch zur Ausprägung eines elliptischen, länglichen, rechteckigen oder linienförmigen Brennflecks auf dem Bauteil kommt. Im Fokusbereich kommt es in Abhängigkeit vom Winkel zwischen den Laserstrahlen, zur Ausprägung von Interferenzeffekten. Die eingebrachten Modifikationen können hierbei eine Interferenzperiode zwischen 0,5 µm - 20 µm aufweisen. Die Interferenzstrukturierung ist besonders vorteilhaft hinsichtlich der hohen erreichbaren Prozessgeschwindigkeiten.
  • Ein oder mehrere verschwenkbare Element 7 können grundsätzlich auch zusammen mit, in Form von oder anstelle eines rotierenden Vielecks 7.2 aus reflektierenden Elementen 7.1 ausgeführt sein.
  • Der fest stehende Umlenkspiegel 7.1 in den 2 und 3 kann in allen Ausführungen auch als fokussierendes optisches Element ausgeformt sein und den Laserstrahl in einer Raumdimension fokussieren und so zur Ausprägung von elliptischen, länglichen, rechteckigen oder linienförmigen Teilstrahlen 5.1 und 5.2 oder eines einzelnen Laserstrahles 5 beitragen. Dies kann grundsätzlich auch durch Verwendung einer zylindrischen F-theta-Optik oder einer zusätzlichen zylindrisch fokussierenden Linse im Strahlengang erreicht werden. Die Orientierung eines solchen asymmetrischen Laserstrahles ist vorteilhafterweise so gewählt, dass die längste Diagonale des Brennflecks, bzw. der linienförmige Brennflecks parallel zur Vorschubbewegungsrichtung des Bandes liegt.
  • In den beiden unteren Darstellungen sind mögliche Vorschubbewegungen des ausgelenkten Laserstrahlbrennflecks auf der Bauteiloberfläche erkennbar. Der Laserstrahlbrennfleck oder die sich überlagernden Teilstrahlen 5.1 und 5.2 können senkrecht zur Vorschubbewegungsrichtung des Bauteils 1 aber auch in Form von „Achten“ bewegt werden, so dass es zu einer möglichst vollflächigen Funktionalisierung des Bandes kommt.
  • Bei dem vorgelagerten Schritt zur Durchführung der Modifizierung können folgende Parameter eingesetzt werden: Beispiel cw-Laser (z.B. Faserlaser):
    Wellenlänge des Lasers: 1064 nm
    Laserleistung: 1 kW
    Strahlqualität: single-mode
    Strahlauslenkung: Scanner
    Strukturierter Werkstoff: 1.4404
    Überlappung der Funktionalisierung: 25 %
    Spotgeometrie: oval (linienförmig) parallel zum
    Bandlauf
    Prozessgas: N2
    Umgebungsdruck in der Modifizierungskammer > 1 bar
    Beispiel gepulster Laser (Festkörperlaser):
    Wellenlänge des Lasers: 1064 nm
    Strahlqualität: M2 < 2
    Pulsenergie: 8 mJ
    Pulslänge: 4 ns
    Pulswiederholrate: 150 kHz
    Durchschnittsleistung: 80 W
    Optik: Interferenzoptik + Scanner
    Spotgeometrie: oval (linienförmig) parallel zum
    Bandlauf
    Periode der Struktur: 10,0 µm
    Umgebungsdruck: > 1 bar
  • Sowie Parameter, wie sie auch bei einem cw-Betrieb genutzt werden können.
  • Nach der Bearbeitung des bandförmigen Bauteils 1 wird dieses über eine weitere Schleuse 3.2 in eine erste Beschichtungskammer eines ersten Beschichtungsmoduls 11 überführt. Zwischen dieser Beschichtungskammer (Druck 10-2 - 10-6 mbar) und der Modifizierungskammer 3.3 (z.B. Druck 1,5×103) herrscht ein Druckunterschied. Innerhalb dieser Beschichtungskammer wird eine metallische Beschichtung (Chrom oder Titan) aufgebracht. Anschließend wird eine Kohlenstoffschicht aus diamantähnlichem oder graphitischem Kohlenstoff, mittels Lichtbogenverdampfung, in einem zweiten Beschichtungsmodul 12 auf das Metallband als Bauteil 1 aufgebracht. Eine diamantähnliche oder graphitische Kohlenstoffschicht kann bevorzugt mit dem an sich bekannten Laser-Arc-Verfahren ausgebildet werden. Andere Lichtbogenverfahren gepulst, cw oder einer Mischung aus beidem (cw überlagert mit einem gepulsten Bogen) sind jedoch ebenfalls anwendbar.
  • Falls es sich zeigt, dass auf die metallische Beschichtung verzichtet werden kann, z.B. wenn die Laservorbehandlung (Nitrierung) im vorgelagerten Schritt bereits einen hinreichenden Korrosionsschutz und/oder Schichthaftung bietet, dann kann die metallische Beschichtung direkt durch eine solche Kohlenstoffbeschichtung ersetzt werden.
  • Die Oberflächenbeschichtung auf der jeweiligen Oberfläche des Bauteils 1 kann mit zwei übereinander ausgebildeten Schichten, die im ersten Beschichtungsmodul 11 und im zweiten Beschichtungsmodul 12 ausgebildet worden sind, gebildet sein.
  • Bei dem in 1 gezeigten Aufbau eines Beispiels einer vollständigen Anlage sind die einzelnen Module 2, 3, 11 und 12 jeweils mit Schleusen 3.1, 3.2, 13 und 14 untereinander und gegenüber der Umgebung abgeschlossen. Das bandförmige Bauteil 1 wird von einer Rolle 15 zu einer weiteren Rolle 16 mit Hilfe von Umlenkrollen 17 durch die Module 2, 3, 11 und 12 transportiert.
  • Die in 3 gezeigten Schnittdarstellungen sollen das Ergebnis der Modifizierung und die ausgebildete Oberflächenbeschichtung erkennbar machen.
  • Dabei ist der Ausgangszustand eines Bauteils 1 aus Edelstahl im Schnitt gezeigt. Auf der Bauteiloberfläche ist eine Oxidschicht 18 und auf der Oberfläche der Oxidschicht 18 eine Kontaminationen aufweisende Schicht 19 vorhanden.
  • Der Zustand nach der Modifizierung mit der Laserstrahlung im vorgelagerten Schritt ist in der oberen rechten Darstellung gezeigt. Die Schichten 18 und 19 sind entfernt und an der Bauteiloberfläche ist ein nitrierter oberflächennaher Bereich 20 des Bauteilwerkstoffs erhalten worden.
  • Die linke untere Darstellung macht den Zustand nach Durchführung einer Beschichtung in einem zweiten Beschichtungsmodul 12 deutlich. Zwischen dem nitrierten oberflächennahen Bereich 20 und einer Schicht 22 aus diamantähnlichem Kohlenstoff ist eine Zwischenschicht 21, die im nitrierten oberflächennahen Bereich mit implantierten Kohlenstoffatomen gebildet. Bei diesem Beispiel ist auf ein erstes Beschichtungsmodul 11 verzichtet worden.
  • Beim rechts unten dargestellten Schnitt wurde zusätzlich ein erstes Beschichtungsmodul 11 eingesetzt, mit dem auf dem nitrierten oberflächennahen Bereich 20 zuerst eine Chromschicht 23, beispielsweise durch Sputtern ausgebildet ist. Auf der Chromschicht 23 wurden dann die Schichten 21 und 22 im zweiten Beschichtungsmodul 12 ausgebildet.
  • In 4 ist in der linken Darstellung erkennbar, wie eine Mikrostruktur bei einem vorgelagerten Schritt an einer Oberfläche eines Bauteils 1 und in der rechten Darstellung die Dimensionierung einer nitrierten Spur in einem oberflächennahen Bereich eines Bauteils 1 erhalten werden können.
  • 5 zeigt eine Bipolarplatte als ein Beispiel eines erfindungsgemäß herstellbaren Bauteils 1. Dabei wurden vier Durchbrechungen je zwei Durchbrechungen 23 für eine Medienzufuhr zwei Durchbrechungen 24 für eine Medienabfuhr aus einer elektrochemischen Zelle ausgebildet.
  • Im Inneren der Fläche der Bipolarplatte sind Vertiefungen 25 zur Ausbildung von Kanälen durch die ein Medium strömen kann, ausgebildet worden. Auf der Oberfläche der Bipolarplatte kann eine Oberflächenbeschichtung mit einem vorgelagerten Schritt für eine Modifizierung und mit mindestens einem Beschichtungsvorgang ausgebildet worden sein, wie er in den beiden unteren Darstellungen von 3 gezeigt ist. Vorteilhaft ist es das Modifizieren und anschließende Ausbilden einer Oberflächenbeschichtung auf Bandmaterial durchzuführen und dieses zu Bipolarhalbschalen umzuformen. Zwei solcher Halbschalen können anschließend zu einer Bipolarplatte für Brennstoffzellen, insbesondere für Polymerelektolytbrennstoffzellen hergestellt werden. Anstelle von Stahlband kann für Brennstoffzellen auch Titanblech verwendet werden.
  • Andere elektrochemische Anwendungen derart modifizierter und beschichteter Metallfolien sind Elektroenergiespeicherzellen, bei denen Elektroden typischerweise aus Kupfer- und Aluminiumträgerfolien aufgebaut werden, die durch eine beschriebene Modifizierung und Beschichtung verbesserte elektrische Oberflächeneigenschaften aufweisen können.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • DE 102006042328 A1 [0019]

Claims (15)

  1. Verfahren zum Modifizieren und anschließendem Ausbilden einer Oberflächenbeschichtung auf einem metallischen Bauteil, bei dem vor der Ausbildung einer Oberflächenbeschichtung in einem vorgeschalteten Schritt die jeweilige Oberfläche des Bauteils (1) mit mindestens einem über die jeweilige Oberfläche auslenkbaren Brennfleck mindestens eines Laserstrahls (5) zumindest nahezu vollflächig beaufschlagt und dabei Anhaftungen und/oder einer Oxidschicht von der Oberfläche entfernt wird/werden.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es in einer Wasserstoff und/oder Stickstoff enthaltenden und sauerstofffreien Atmosphäre durchgeführt wird, wobei durch den enthaltenen Stickstoff eine Nitrierung in einem oberflächennahen Bereich des Bauteilwerkstoffs erreicht wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass es in einer Wasserstoff enthaltenden und sauerstofffreien Atmosphäre durchgeführt wird, wobei durch den enthaltenen Wasserstoff eine Reduzierung vorhandener Oxidschichten in einem oberflächen-nahen Bereich des Bauteilwerkstoffs erreicht wird.
  4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die nitrierende oder reduzierende Wirkung einer Wasserstoff und/oder Stickstoff enthaltenden und sauerstofffreien Atmosphäre durch einen nachgeschalteten Plasmafaden durch den Verbleib in einem Temperaturbereich von 400-550°C erhöht wird.
  5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Wasserstoff und/oder Stickstoff durch einen Plasmafaden in ihre atomare form dissoziiert wird.
  6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass bei dem vorgeschalteten Schritt an der jeweiligen Oberfläche durch einen Werkstoffabtrag oder ein Umschmelzen eine Oberflächenstruktur ausgebildet wird.
  7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass bei dem vorgeschalteten Schritt an der jeweiligen Oberfläche ein Umschmelzen eine Kornfeinung und/oder eine Homogenisierung der Legierungselemente erreicht wird.
  8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausbildung der Oberflächenbeschichtung mit einem Vakuumbeschichtungsverfahren, insbesondere einem PVD-Verfahren durchgeführt wird.
  9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem vorgeschalteten Schritt und vor der Ausbildung der Oberflächenbeschichtung an der jeweiligen Oberfläche eine Plasmabehandlung unter Einhaltung von Umgebungsatmosphärenbedingungen durchgeführt wird.
  10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Oberflächenbeschichtung mit diamantähnlichem Kohlenstoff oder mit Chrom oder mit Titan oder einer auf einer Chromschicht oder Titanschicht ausgebildeten Schicht, die mit diamantähnlichem Kohlenstoff gebildet ist, ausgebildet wird.
  11. Verfahren nach einem der vorherhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der vorgelagerte Schritt und/oder die Plasmabehandlung unter Umgebungsatmosphärenbedingungen so durchgeführt wird, dass der Bauteilwerkstoff auf maximal 550 °C, bevorzugt maximal 450 °C und besonders bevorzugt auf maximal 400 °C erwärmt wird.
  12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Auslenkung des Laserstrahlbrennflecks mit mindestens einem, um mindestens eine Achse verschwenkbaren reflektierenden Element (7.1) und/oder rotierenden reflektierenden Vielecks 7.2 über das ein, zwei oder drei Laserstrahlen auf einen Umlenkspiegel gleichzeitig gerichtet sind, erreicht wird .
  13. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zur Erhöhung der Oberflächenhärte eine diamantähnliche Kohlenstoffschicht auf einer Werkzeugoberfläche aufgebracht wird.
  14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zur Verringerung des elektrischen Widerstands an der Oberfläche des Bauteils (1) eine graphitische Oberflächenschicht auf einem Metallband aufgebracht wird.
  15. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass bei dem vorgeschalteten Schritt ein Laserstrahl (5) in mindestens zwei Teilstrahlen (5.1, 5.2) aufgeteilt und die Teilstrahlen (5.1, 5.2) so auf die Bauteiloberfläche gerichtet werden, dass sie im Bereich der Bauteiloberfläche miteinander interferieren.
DE102018211108.1A 2018-07-05 2018-07-05 Verfahren zum Modifizieren und anschließendem Ausbilden einer Oberflächenbeschichtung auf einem metallischen Bauteil Active DE102018211108B4 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102018211108.1A DE102018211108B4 (de) 2018-07-05 2018-07-05 Verfahren zum Modifizieren und anschließendem Ausbilden einer Oberflächenbeschichtung auf einem metallischen Bauteil

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102018211108.1A DE102018211108B4 (de) 2018-07-05 2018-07-05 Verfahren zum Modifizieren und anschließendem Ausbilden einer Oberflächenbeschichtung auf einem metallischen Bauteil

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102018211108A1 true DE102018211108A1 (de) 2020-01-09
DE102018211108B4 DE102018211108B4 (de) 2023-06-29

Family

ID=68943727

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102018211108.1A Active DE102018211108B4 (de) 2018-07-05 2018-07-05 Verfahren zum Modifizieren und anschließendem Ausbilden einer Oberflächenbeschichtung auf einem metallischen Bauteil

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102018211108B4 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023061960A1 (en) * 2021-10-13 2023-04-20 Tata Steel Ijmuiden B.V. Method to remove an oxide scale from a steel product and improved steel product
DE102022120125A1 (de) 2022-08-10 2024-02-15 Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft Verfahren zum Übertragen von Prozessparametern eines Ein- oder Zweikammertrockners zum Trocknen einer auf einem Substrat aufgebrachten Beschichtung auf einen Kammertrockner mit mindestens drei Trocknungskammern

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4205832A1 (de) * 1992-02-26 1993-09-02 Dresden Ev Inst Festkoerper Verfahren zur fotoakustisch gestuetzten herstellung duenner schichten
US5558789A (en) * 1994-03-02 1996-09-24 University Of Florida Method of applying a laser beam creating micro-scale surface structures prior to deposition of film for increased adhesion
DE19751337A1 (de) * 1997-11-19 1999-05-27 Fraunhofer Ges Forschung Verschleißbeständiger, mechanisch hochbelastbarer und reibungsarmer Randschichtaufbau für Titan oder seine Legierungen sowie Verfahren zu seiner Herstellung
DE102006042328A1 (de) 2006-09-01 2008-03-20 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung und Verfahren zur Ausbildung dünner Schichten auf Substratoberflächen
US20130288073A1 (en) * 2010-12-27 2013-10-31 Posco Plating Method and Zinc Plating Process
US20160298222A1 (en) * 2015-04-10 2016-10-13 United Technologies Corporation Laser assisted oxide removal

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4205832A1 (de) * 1992-02-26 1993-09-02 Dresden Ev Inst Festkoerper Verfahren zur fotoakustisch gestuetzten herstellung duenner schichten
US5558789A (en) * 1994-03-02 1996-09-24 University Of Florida Method of applying a laser beam creating micro-scale surface structures prior to deposition of film for increased adhesion
DE19751337A1 (de) * 1997-11-19 1999-05-27 Fraunhofer Ges Forschung Verschleißbeständiger, mechanisch hochbelastbarer und reibungsarmer Randschichtaufbau für Titan oder seine Legierungen sowie Verfahren zu seiner Herstellung
DE102006042328A1 (de) 2006-09-01 2008-03-20 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung und Verfahren zur Ausbildung dünner Schichten auf Substratoberflächen
US20130288073A1 (en) * 2010-12-27 2013-10-31 Posco Plating Method and Zinc Plating Process
US20160298222A1 (en) * 2015-04-10 2016-10-13 United Technologies Corporation Laser assisted oxide removal

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023061960A1 (en) * 2021-10-13 2023-04-20 Tata Steel Ijmuiden B.V. Method to remove an oxide scale from a steel product and improved steel product
DE102022120125A1 (de) 2022-08-10 2024-02-15 Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft Verfahren zum Übertragen von Prozessparametern eines Ein- oder Zweikammertrockners zum Trocknen einer auf einem Substrat aufgebrachten Beschichtung auf einen Kammertrockner mit mindestens drei Trocknungskammern

Also Published As

Publication number Publication date
DE102018211108B4 (de) 2023-06-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102016105963B4 (de) Beschichteter Brennstoffzellenseparator und Herstellungsverfahren für einen beschichteten Brennstoffzellenseparator
DE2933850C2 (de) Plasma-Ätzvorrichtung
DE102015115298B4 (de) Herstellungsverfahren für einen Separator einer Brennstoffzelle
DE102011121545B4 (de) Verfahren zur Strukturierung und chemischen Modifikation einer Oberfläche eines Werkstücks
DE102009004196A1 (de) Verfahren zum Regenerieren eines Separators für eine Brennstoffzelle, regenerierter Separator für eine Brennstoffzelle und Brennstoffzelle
DE4324325B4 (de) Verfahren zur Herstellung eines Bauelementes, optisches Bauelement, Verwendung desselben und Vakuumbehandlungsanlage zu seiner Herstellung
EP3583645A1 (de) Bipolarplatte für brennstoffzellen sowie ein herstellungsverfahren
DE102018219056A1 (de) Verfahren zur Herstellung von Bipolarplatten für Brennstoffzellen
DE102018211108B4 (de) Verfahren zum Modifizieren und anschließendem Ausbilden einer Oberflächenbeschichtung auf einem metallischen Bauteil
EP2681348B1 (de) Verfahren zum veredeln einer metallischen beschichtung auf einem stahlband
WO2008019721A1 (de) Laseroxidieren von magnesium-, titan- oder aluminiumwerkstoffen
DE102018207133A1 (de) Bipolarplatte für eine Brennstoffzelle
EP3931895B1 (de) Aluminiumfolie für batterieelektroden und verfahren zur herstellung
WO2015124736A2 (de) Verfahren und prozessieranordnung zum bearbeiten einer metalloberfläche eines substrats oder eines metallsubstrats
DE102011055644B4 (de) Verfahren zur Erzeugung einer schwarzen oxidkeramischen Oberflächenschicht auf einem Bauteil aus einer Leichtmetalllegierung
EP2426696B1 (de) Ionenstrahlvorrichtung zur Bearbeitung eines Substrats mittels eines Ionenstrahls
DE102016106679A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines korrosionsgeschützten Stahlprodukts
DE102005021346A1 (de) Schaltbare Schicht und Verfahren zum Umschalten der Schicht
DE102004028197B4 (de) Verfahren zur Vorbehandlung verzinkter Stahlbleche oder Aluminiumbleche zum Schweißen
EP0627496A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung von Metallsubstraten, insbesondere Stahl- oder Aluminiumblechen in Bandform
DE102016203714A1 (de) Optische Anordnung für die Lithographie, insbesondere Projektionsbelichtungsanlage
EP0647498B1 (de) Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstückes unter Einsatz von Laserstrahlung bei Erhöhung des Absorptionsgrades der Werkstückoberfläche
WO2018010987A1 (de) Substrat mit korrosionsschutzsystem
DE102015100885A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung eines beschichteten Substrats
DE4340952A1 (de) Verfahren zur Reinigung von nachmals zu beschichtenden Oberflächen

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R016 Response to examination communication
R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division