DE102018209485A1 - Verfahren zum Abgleich eines Drehratensensors und einer Auswerteeinheit des Drehratensensors - Google Patents

Abstract

Es wird ein Verfahren zum Abgleich eines Drehratensensors und einer Auswerteeinheit des Drehratensensors vorgeschlagen, wobei der Drehratensensor zur Messung einer Drehrate konfiguriert ist und die Auswerteeinheit zur Ausführung einer Integrationsroutine konfiguriert ist, wobei in einem ersten Schritt eine Resonanzfrequenz eines Massenschwingers des Drehratensensors gemessen wird und in einem zweiten Schritt eine Kenngröße oder ein Satz von Kenngrößen der Auswerteeinheit auf Grundlage der gemessenen Resonanzfrequenz eingestellt wird, wobei die Kenngröße oder der Satz von Kenngrößen einen oder mehrere Parameter der Integrationsroutine festlegt.

Description

• Stand der Technik
• Die Erfindung geht aus von einem Verfahren zum Abgleich eines Drehratensensors und einer Auswerteeinheit des Drehratensensors nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
• Mikromechanische Drehratensensoren sind aus dem Stand der Technik in vielfältigen Ausführungsformen bekannt. Ein gängiges Funktionsprinzip ist dabei die Detektion einer Drehrate um eine bestimmte Achse über die Wirkung der damit verbundenen Corioliskraft. Dazu werden ein oder mehrere Massenschwinger in periodische Bewegung versetzt, so dass aufgrund der Drehung eine zur Bewegungsrichtung senkrecht wirkende Kraft zustande kommt. Die durch die Corioliskraft bewirkte Auslenkung kann über Elektroden detektiert werden und das zugehörige Messignal zur Bestimmung der Drehrate genutzt werden.
• Die Drehrate ω entspricht der zeitlichen Ableitung des Drehwinkels φ. Der Ausrichtungswinkel des Sensors kann daher bei bekanntem Anfangswinkel φ₀ durch zeitliche Integration der gemessenen instantanen Drehraten ermittelt werden. Die Drehratendaten liegen in Form einer Folge von diskreten Messwerten ω(i) vor, wobei zwischen den Messungen von ω(i) und ω(i + 1) das Zeitintervall Δt(i) liegt. Die Integration kann im einfachsten Fall durch eine Summation der folgenden Form durchgeführt werden: $$\phi ={\phi }_0+{\displaystyle \sum _{i=0}^N\omega \left(i\right)\Delta t\left(i\right)}$$

  
• Üblicherweise werden die Messungen in zeitlich konstanten Abständen durchgeführt, so dass sich die Berechnung der Summe in (1) in folgender Weise vereinfacht: $$\phi ={\phi }_0+\Delta t\cdot {\displaystyle \sum _{i=0}^N\omega \left(i\right)}$$

  
• Bei der Entwicklung der Hardware für die Auswertung der Sensorsignale ergibt sich ein prinzipielles Problem aus der Tatsache, dass die Zeitbasis der Drehratensensorik mittels einer Phasenregelschleife direkt von dem Sensor abgeleitet wird. Die Frequenz des Systems und damit das Zeitintervall Δt in (2) ist somit durch die Resonanzfrequenz der mechanischen Sensoranordnung bestimmt und kann daher aufgrund von Fertigungstoleranzen von Sensor zu Sensor variieren. So kann beispielsweise die Resonanzfrequenz auf exakt 10 kHz ausgelegt sein, jedoch prozessbedingt beispielsweise bei 8 kHz oder 12 kHz liegen.
• Um diese Schwankungen zu kompensieren, kann beispielsweise in der zugehörigen Auswerteschaltung, welche die mechanische Anordnung ausliest und die Daten dem Nutzer zur Verfügung stellt, eine Anpassung der Zeitbasis durchgeführt werden. Dazu sind aus dem Stand der Technik verschiedene Signalverarbeitungsverfahren bekannt. So kann beispielsweise die Anpassung dadurch erfolgen, dass die Abtastung des Ausgangssignals mit einer höheren Rate durchgeführt wird und die so erzeugten Daten durch Interpolation und anschließende Filterung und Dezimation auf die gewünschte Zeitbasis umgerechnet werden. Derartige Verfahren sind mit zusätzlicher Hardwarekomplexität und erhöhter elektrischer Leistungsaufnahme verbunden, so dass jede Präzisierung der Zeitbasis zu einer Vergrößerung des Bauteils und zu einem gesteigerten Energieverbrauch führt.
• Offenbarung der Erfindung
• Vor diesem Hintergrund ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur Verfügung zu stellen, bei dem die fertigungsbedingten Schwankungen der Resonanzfrequenz durch eine möglichst einfache Anpassung der Auswerteeinheit kompensiert werden. Weiterhin ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein System aus einem Drehratensensor und einer derart angepassten Auswerteeinheit zur Verfügung zu stellen.
• Das Verfahren gemäß dem Hauptanspruch hat gegenüber dem Stand der Technik den Vorteil, dass die fertigungsbedingten Schwankungen der Resonanzfrequenz in einfacher Weise durch die Festlegung einer oder mehrerer Kenngrößen der Auswerteeinheit ausgeglichen werden. Dazu wird die Resonanzfrequenz in einem ersten Schritt gemessen, während in einem zweiten Schritt der Auswerteeinheit basierend auf der gemessenen Resonanzfrequenz eine individuelle Signatur aufgeprägt wird. Diese Signatur hat die Form einer oder mehrerer Kenngrößen, die beispielsweise in einem Register der Auswerteeinheit gespeichert oder anderweitig dauerhaft fixiert werden. Die Auswerteeinheit kann dann im Sensorbetrieb auf Basis der individuellen Signatur eine Integrationsroutine zur Integration des Messignals ausführen. Eine zentrale Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist die Einstellung von Parametern einer Integrationsroutine für die Bestimmung einer Winkelverschiebung auf Grundlage von gemessenen Drehratendaten. Eine numerische Integration von derartigen diskreten Messwerten erfolgt beispielsweise im einfachsten Fall durch Summation nach Formel (1) bzw. (2) oder durch ähnliche Verfahren, in denen der Zeitschritt Δt in erster Ordnung eingeht. Die numerische Integration kann aber auch komplexere Formen annehmen. Denkbar sind dabei Verfahren höherer Ordnung oder eine Filterung des Messignals, die der eigentlichen Summation vorgeschaltet ist. Dem Fachmann sind hier aus dem Stand der Technik eine Vielzahl von numerischen Verfahren bekannt, die beispielsweise auf eine möglichst einfache algorithmische Struktur oder auf eine hohe Genauigkeit des Ergebnisses abzielen können. Der Zeitschritt Δt ist durch die Zeitbasis des Sensors vorgegeben und geht als Parameter in die Integrationsroutine ein. Der zeitliche Abstand zwischen den einzelnen Messwerten ist aufgrund des Bauprinzips der Sensorik direkt von der Resonanzfrequenz des Massenschwingers abhängig und muss für eine korrekte Ausführung der Integration in der Integrationsroutine berücksichtigt werden.
• Denkbar ist hier beispielsweise eine einfache Skalierung der Schrittweite oder dass bei größeren Schrittweiten ein Verfahren höherer Ordnung benutzt wird, um trotz der größeren zeitlichen Schrittweite eine möglichst hohe Genauigkeit zu erreichen. In dem erfindungsgemäßen Verfahren wird der individuelle Wert der Resonanzfrequenz und damit der Datenrate in Form der Kenngröße oder Kenngrößen berücksichtig, die ihrerseits die Form der Integrationsprozedur beeinflussen. Sowohl die Messung der Resonanzfrequenz als auch die Festlegung der Kenngröße oder Kenngrößen kann dabei in einfacher Weise während des Abgleichprozesses durchgeführt werden. Bei der Massenfertigung von Drehratensensoren wird üblicherweise im Anschluss an die Fertigung ein End-of-Line-Abgleich der hergestellten Sensoren durchgeführt, in den das erfindungsgemäße Verfahren ohne zusätzlichen Aufwand integriert werden kann. Durch die erfindungsgemäße Einstellung der Auswerteeinheit ist vorteilhafterweise beim Betrieb des Sensors keine Datenkonversion notwendig, um eine absolute Zeitbasis zu garantieren. Die Hardwarekomplexität und dementsprechend der Preis der Hardware können auf diese Weise vorteilhaft geringgehalten werden.
• Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind den Unteransprüchen, sowie der Beschreibung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen entnehmbar.
• Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung legt die Kenngröße oder der Satz von Kenngrößen eine zeitliche Schrittweite der Integrationsroutine fest. Dadurch wird in vorteilhaft einfacher Weise die Integrationsroutine an die Resonanzfrequenz und die damit verbundene Rate der Drehratenmessungen angepasst. Gemäß einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Kenngröße oder der Satz von Kenngrößen ein multiplikativer Korrekturwert oder ein Satz multiplikativer Korrekturwerte für die zeitliche Schrittweite. Für Integrationsverfahren, denen eine Summation nach Formel (2) zugrunde liegt, lässt sich die Integrationsroutine in besonders einfacher Weise anpassen. Dazu wird die Schrittweite mit einem Korrekturwert multipliziert, der der Abweichung der Resonanzfrequenz gegenüber dem Referenzwert entspricht. Nach Formel (2) lässt sich diese Korrektur im Falle einer zeitlich konstanten Schrittweite vorteilhafterweise besonders einfach vornehmen, indem die Messwerte zuerst aufsummiert werden und die Summe anschließend mit dem Korrekturfaktor K multipliziert wird: $$\phi ={\phi }_0+K\cdot \Delta t{\displaystyle \sum _{i=0}^N\omega \left(i\right)}$$

  
• Durch den Korrekturfaktor K lässt sich in der Auswerteeinheit eine individuelle Anpassung bereitstellen, die im Prinzip beliebig genau sein kann. Da das Zeitinkrement Δt in Formel (3) in erster Ordnung eingeht, lässt sich durch den Korrekturfaktor vorteilhafterweise eine deutlich präzisere Winkelbestimmung erreichen.
• Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung erfolgt die Messung der Resonanzfrequenz des Massenschwingers durch den Drehratensensor und die Auswerteeinheit. Dazu kann der Drehratensensor beispielswiese durch die Auswerteeinheit so angesteuert werden, dass dem Massenschwinger über den Antrieb verschiedene Schwingungsfrequenzen aufgezwungen werden und die Amplitude oder Phase der dadurch erzeugten Schwingung ausgelesen wird. Auf diese Weise ist es vorteilhafterweise möglich, die Messung der Resonanzfrequenz vollständig als internen Vorgang im Bauteil selbst durchzuführen.
• Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung erfolgt die Messung der Resonanzfrequenz des Massenschwingers durch den Drehratensensor und eine externe Messvorrichtung. Dazu wird die Steuerung des Drehratensensors und/oder das Auslesen der zugehörigen Messsignale durch eine externe Messvorrichtung geleistet. Durch diese externe Vorrichtung wird die Zeitbasis des Sensors im ersten Schritt genau vermessen und im zweiten Schritt der Auswerteeinheit zur Verfügung gestellt. Dadurch ist es vorteilhafterweise möglich, die Funktionen, die ausschließlich für den initialen Abgleich von Drehratensensor und Auswerteeinheit notwendig sind an eine externe Vorrichtung auszulagern und damit den Funktionsumfang der Auswerteeinheit und die dafür notwendige Hardwarekomplexität vorteilhaft zu reduzieren.
• Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird der Satz von Kenngrößen auf Grundlage der Temperaturabhängigkeit der gemessenen Resonanzfrequenz eingestellt. Neben den fertigungsbedingten Schwankungen ist die Variation der Resonanzfrequenz aufgrund thermischer Effekte von zentraler Bedeutung für die unverfälschte Messung der Drehung. Das erfindungsgemäße Verfahren lässt sich in einfacher Weise so anwenden, dass eine Temperaturabhängigkeit der Resonanzfrequenz und der damit verbundenen Zeitbasis ausgeglichen werden kann. Dazu wird die weiter oben beschriebene Anpassung der Integrationsroutine für die jeweils vorherrschende Temperatur durchgeführt. Beispielsweise lässt sich diese Anpassung durch eine zusätzliche Temperaturabhängigkeit des Korrekturfaktors in Formel (3) ausdrücken: $$\phi ={\phi }_0+K\left(T\right)\cdot \Delta t{\displaystyle \sum _{i=0}^N\omega \left(i\right)}$$

  
• Der zugehörige Parametersatz liegen dabei als Satz von Kenngrößen in der Auswerteeinheit vor und erlauben so eine geeignete Anpassung über den gesamten relevanten Temperaturbereich. In Fällen, in denen der Drehratensensor gezielt mit einer Temperaturabhängigkeit versehen wurde, um eine Optimierung bestimmter Parameter zu erreichen, stellt die dadurch entstehende Temperaturdrift der Zeitbasis aufgrund der beschriebenen Korrektur vorteilhafterweise keine Limitierung des Messsystems dar.
• Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird die Resonanzfrequenz im ersten Schritt bei einer Referenztemperatur gemessenen und der Satz von Kenngrößen im zweiten Schritt auf Grundlage dieser Messung eingestellt. Bei dieser Ausführungsform wird die Resonanzfrequenz bei einer einzigen Referenztemperatur gemessen und beispielsweise mit empirischen Formeln auf den relevanten Temperaturbereich ausgeweitet. Die Temperaturabhängigkeit der Resonanzfrequenz ist für die Mehrzahl an gängigen Sensorbauformen gut charakterisiert und liegen dem Fachmann beispielsweise in Form von Näherungsausdrücken vor. Basierend auf dem einzelnen Messpunkt lässt sich daher die Temperaturabhängigkeit angeben, die durch den Satz an Kenngrößen ausgedrückt für die Auswerteeinheit zur Verfügung steht. Dadurch lässt sich vorteilhafterweise die Temperaturabhängigkeit mit einem reduzierten Messaufwand feststellen.
• Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird die Resonanzfrequenz im ersten Schritt bei einer Mehrzahl von Referenztemperaturen gemessen und der Satz von Kenngrößen im zweiten Schritt auf Grundlage dieser Messungen eingestellt. Bei dieser Ausführungsform wird die Resonanzfrequenz für alle relevanten Temperaturen bestimmt und die sich daraus ergebenden Kenngrößen in der Auswerteeinheit eingestellt. Auf diese Weise wird vorteilhafterweise eine genaue Anpassung an die jeweils vorliegende Temperatur ermöglicht.
• Die eingangs formulierte Aufgabe wird weiterhin durch ein System gemäß Anspruch 9 gelöst. In dem erfindungsgemäßen System sind der Drehratensensor und die Auswerteeinheit so aufeinander abgestimmt, dass die tatsächlich beim Drehratensensor vorliegenden Resonanzfrequenz in Form einer Kenngröße oder eines Satzes von Kenngrößen in der Auswerteeinheit berücksichtig wird. Die oben vorgeschlagenen Ausführungsformen für das erfindungsgemäße Verfahren lassen sich direkt auf das erfindungsgemäße System übertragen. So kann die Auswerteeinheit vorzugsweise derart konfiguriert sein, dass die Kenngröße oder der Satz von Kenngrößen eine zeitliche Schrittweite der Integrationsroutine festlegt. Gemäß einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist die Kenngröße oder der Satz von Kenngrößen ein multiplikativer Korrekturwert oder ein Satz multiplikativer Korrekturwerte für die zeitliche Schrittweite.
• Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Systems weist die Auswerteeinheit ein Register zur Speicherung der Kenngröße oder des Satzes von Kenngrößen auf. Die im Register festgelegten Werte können dabei entweder nur lesbar oder vorzugsweise les- und veränderbar sein.
• Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Systems basiert der Satz von Kenngrößen auf einer Temperaturabhängigkeit der Resonanzfrequenz. Die Kenngrößen liegen dabei, beispielsweise als multiplikative Korrekturwerte, als Einstellungen der Auswerteeinheit vor, so dass die Integrationsroutine bei einer gegebenen Temperatur vorteilhafterweise mit einer entsprechend gewählten Kenngröße durchgeführt werden kann und so eine temperaturabhängige Anpassung der Integrationsroutine möglich ist.
• Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Systems weist die Auswerteeinheit eine Schnittstelle auf, über die die Kenngröße oder der Satz von Kenngrößen eingestellt werden kann. Dadurch ist es beispielsweise möglich, die Messung der Resonanzfrequenz durch eine extere Einheit durchzuführen und die Kenngröße oder den Satz von Kenngrößen basierend auf den Messergebnissen in der Auswerteeinheit über die Schnittstelle einzustellen.
• Figurenliste
• 1 zeigt in einer schematischen Darstellung eine beispielhafte Ausführung des erfindungsgemäßen Systems aus einem Drehratensensor und einer Auswerteeinheit.
• Ausführungsformen der Erfindung
• In den verschiedenen Figuren sind gleiche Teile stets mit den gleichen Bezugszeichen versehen und werden daher in der Regel auch jeweils nur einmal benannt bzw. erwähnt.
• In 1 ist schematisch eine beispielhafte Ausführung des erfindungsgemäßen Systems 6 aus einem Drehratensensor 1 und einer Auswerteeinheit 2 dargestellt. Der Drehratensensor 1 detektiert über einen oder mehrere (nicht dargestellte) Massenschwinger die Wirkung der Corioliskraft, die bei einer Drehung des Sensors 1 auf den Massenschwinger wirkt. Der Massenschwinger weist eine Frequenzcharakteristik mit einer Resonanzfrequenz auf, die aufgrund fertigungstechnischer Toleranzen von Sensor zu Sensor leicht unterschiedlich ausfallen kann. Darüber hinaus ist die Resonanzfrequenz von der Umgebungstemperatur abhängig, was zu einer zusätzlichen Abweichung vom idealen (d.h. dem per Entwurf vorgesehenen) Wert führen kann.
• Der Drehratensensor 1 misst in zeitlichen Abständen Δt die am Sensor 1 anliegende Drehrate ω und gibt die entsprechende Folge von Messwerten ω(i) an die Auswerteeinheit 2 weiter. Die Auswerteeinheit 2 kann beispielsweise in Form einer anwendungsspezifischen integrierten Schaltung (application-specific integrated circuit, ASIC) vorliegen. Die Zeitbasis des Sensors 1 ist mittels einer Phasenregelschleife (Phase Locked Loop oder PLL) direkt von dem Sensor 1 abgeleitet, so dass die Zeitintervalle Δt zwischen aufeinanderfolgenden Messungen durch die Resonanzfrequenz des Massenschwingers bestimmt sind. Die Auswerteeinheit führt eine Integrationsroutine aus, mit der die Folge der instantanen Drehraten ω(i) bei bekanntem Startwinkel φ₀ zu einer Gesamtverschiebung des Ausrichtungswinkels aufintegriert wird. Bei konstantem Zeitintervall Δt lässt sich diese numerische Integration durch eine einfache Summation ausführen: $$\phi ={\phi }_0+\Delta t{\displaystyle \sum _{i=0}^N\omega \left(i\right)}$$

  
• Um die Integrationsroutine an die individuelle Zeitbasis des Sensors 1 anzupassen, wird die Integrationsformel durch einen Korrekturfaktor K ergänzt, der die die Abweichung der Schrittweite Δt vom idealen Wert kompensiert und der darüber hinaus die Temperaturabhängigkeit Zeitbasis berücksichtigt: $$\phi ={\phi }_0+K\left(T\right)\cdot \Delta t{\displaystyle \sum _{i=0}^N\omega \left(i\right)}$$

  
• Der Korrekturfaktor K(T) gibt dabei für die jeweilige Temperatur das Verhältnis von realer Schrittweite (d.h. der Schrittweite, die durch die individuelle Resonanzfrequenz des Sensors 1 bestimmt ist) zum idealen Wert wider, was dem Verhältnis von idealer zu realer Resonanzfrequenz entspricht. Zur Bestimmung der Korrekturfaktoren wird beim Abgleich zwischen Sensor 1 und Auswerteeinheit 2 die Resonanzfrequenz bei verschieden Temperaturen vermessen und der so gewonnene Satz von Korrekturfaktoren in einem Register 3 der Auswerteeinheit 2 festgelegt. Die dargestellte Auswerteeinheit 2 weist ferner einen Datenausgang 4 auf, über den die gemessenen und ausgewerteten Daten ausgelesen werden können. Zusätzlich weist die Auswerteeinheit 2 hier eine Schnittstelle 5 auf, über die der Nutzer die Einträge des Registers 3 auslesen und verändern kann.

Claims (12)

1. Verfahren zum Abgleich eines Drehratensensors (1) und einer Auswerteeinheit (2) des Drehratensensors (1), wobei der Drehratensensor (1) zur Messung einer Drehrate konfiguriert ist und die Auswerteeinheit (2) zur Ausführung einer Integrationsroutine konfiguriert ist, dadurch gekennzeichnet, dass in einem ersten Schritt eine Resonanzfrequenz eines Massenschwingers des Drehratensensors (1) gemessen wird und in einem zweiten Schritt eine Kenngröße oder ein Satz von Kenngrößen der Auswerteeinheit (2) auf Grundlage der gemessenen Resonanzfrequenz eingestellt wird, wobei die Kenngröße oder der Satz von Kenngrößen einen oder mehrere Parameter der Integrationsroutine festlegt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Kenngröße oder der Satz von Kenngrößen eine zeitliche Schrittweite der Integrationsroutine festlegt.
3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Kenngröße oder der Satz von Kenngrößen ein multiplikativer Korrekturwert oder ein Satz multiplikativer Korrekturwerte für die zeitliche Schrittweite ist.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Messung der Resonanzfrequenz des Massenschwingers durch den Drehratensensor (1) und die Auswerteeinheit (2) erfolgt.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Messung der Resonanzfrequenz des Massenschwingers durch den Drehratensensor (1) und eine externe Messvorrichtung erfolgt.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Satz von Kenngrößen auf Grundlage der Temperaturabhängigkeit der gemessenen Resonanzfrequenz eingestellt wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6, wobei die Resonanzfrequenz im ersten Schritt bei einer Referenztemperatur gemessenen wird und der Satz von Kenngrößen im zweiten Schritt auf Grundlage dieser Messung eingestellt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7, wobei die Resonanzfrequenz im ersten Schritt bei einer Mehrzahl von Referenztemperaturen gemessenen wird und der Satz von Kenngrößen im zweiten Schritt auf Grundlage dieser Messungen eingestellt wird.
9. System (6) aus einem Drehratensensor (1) und einer Auswerteeinheit (2) des Drehratensensors (1), wobei der Drehratensensor (1) einen Massenschwinger mit einer Resonanzfrequenz aufweist, wobei der Drehratensensor (1) zur Messung einer Drehrate konfiguriert ist, wobei die Auswerteeinheit (2) zur Ausführung einer Integrationsroutine konfiguriert ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteeinheit (2) derart konfiguriert ist, dass eine Integration von gemessenen Drehratendaten auf Grundlage einer Kenngröße oder eines Satzes von Kenngrößen erfolgt, wobei die Kenngröße oder der Satz von Kenngrößen auf der Resonanzfrequenz des Massenschwingers basiert.
10. System gemäß Anspruch 9, wobei die Auswerteeinheit (2) ein Register (3) zur Speicherung der Kenngröße oder des Satzes von Kenngrößen aufweist.
11. System gemäß Anspruch 9 oder 10, wobei der Satz von Kenngrößen auf einer Temperaturabhängigkeit der Resonanzfrequenz basiert.
12. System gemäß Anspruch 9 bis 11, wobei die Auswerteeinheit (2) eine Schnittstelle (5) aufweist, über die die Kenngröße oder der Satz von Kenngrößen eingestellt werden kann.

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