DE102017123288B4 - Apparatus and method for testing electronic components - Google Patents
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Abstract
Vorrichtung (100, 200, 300, 400, 500) zum Prüfen elektronischer Bauelemente, die umfasst:
- eine Bestrahlungsglocke (110, 210, 310, 410, 510), die dazu eingerichtet ist, unter Ausschluss eines Abschnitts (21) einer elektronischen Baugruppe (20) über ein elektronisches Bauelement (1) der Baugruppe gestülpt zu werden und dabei eine evakuierbare Bestrahlungskammer (111) auszubilden, wobei die Bestrahlungsglocke an ihrem aufzusetzenden Rand eine komprimierbare Dichtung (112, 212, 312, 412, 512) umfasst;
- eine im Inneren der Bestrahlungsglocke angeordnete Partikelstrahlungsquelle (120, 220, 320, 420, 520) für nukleare Partikel; und
- einen Anschluss (130, 330, 430, 530, 630), der dazu eingerichtet ist, mit einer Vakuumpumpe zum Evakuieren der Bestrahlungskammer (111) verbunden zu werden, wobei die nuklearen Partikel Protonen und/oder alpha-Strahlung umfassen und/oder Spalt-Ionen, die schwerer sind als Helium-Kerne.
Device (100, 200, 300, 400, 500) for testing electronic components, comprising:
- An irradiation bell (110, 210, 310, 410, 510), which is adapted to be inverted, excluding a portion (21) of an electronic assembly (20) via an electronic component (1) of the assembly and thereby an evacuable irradiation chamber (111), wherein the irradiation bell comprises a compressible seal (112, 212, 312, 412, 512) on its edge to be applied;
a particle radiation source (120, 220, 320, 420, 520) for nuclear particles arranged inside the irradiation bell; and
a port (130, 330, 430, 530, 630) adapted to be connected to a vacuum pump for evacuating the irradiation chamber (111), the nuclear particles comprising protons and / or alpha radiation and / or gap Ions heavier than helium nuclei.
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Prüfen elektronischer Bauelemente.The invention relates to a device and a method for testing electronic components.
Elektronische Bauelemente verschiedener Anwendungsbereiche (wie beispielsweise zur Verwendung in einem Raumfahrtprojekt) müssen in der Regel auf ihre Reaktion auf nukleare Partikelstrahlung (Protonen, Schwerionen) hin geprüft werden. Dies ist insbesondere für solche Bauelemente erforderlich, die als kommerzielle oder industrielle Bauelemente nicht für das jeweilige Umfeld speziell ausgelegt wurden. Die Art und Häufigkeit von Fehlern entscheidet dann über den möglichen Einsatz und ggf. nötige Schutzmaßnahmen.Electronic components of various applications (such as for use in a space project) typically need to be tested for their response to nuclear particle radiation (protons, heavy ions). This is particularly necessary for those components that were not designed as commercial or industrial components for the particular environment. The nature and frequency of errors then decide on the possible use and possibly necessary protective measures.
Während Untersuchungen, die auf der Bestrahlung mit Elektronen beruhen, durch ein Rasterelektronenmikroskop erfolgen können, wie es z.B. in der Druckschrift
Für einen einfachen Strahlungstest reichen jedoch oftmals auch niedrigere Energien aus, als sie mit derartigen Beschleunigern realisierbar sind. So kann eine Schaltung mit nuklearen Partikeln mit einem Aufwand bestrahlt werden, der im Vergleich zu in Beschleunigerlaboren durchgeführten Tests erheblich reduziert ist.For a simple radiation test, however, lower energies often suffice than can be achieved with such accelerators. Thus, a circuit with nuclear particles can be irradiated at a cost that is significantly reduced compared to tests carried out in accelerator laboratories.
Eine Strahlungsquelle, die dazu eingerichtet bzw. geeignet ist, nukleare Partikel auszusenden, wird im Folgenden auch als „Partikelstrahlungsquelle“ oder auch kurz lediglich als „Strahlungsquelle“ bezeichnet. Sie kann z.B. 252Californium oder 141Americium umfassen: Das erstgenannte Material 252Californium emittiert durch spontanen Zerfall Schwerionen mit Energien von etwa 75 MeV (Megaelektronenvolt) und 105 MeV. Das zweitgenannte 141Americium emittiert Alpha-Strahlen mit Energien von 5,5 MeV. So kann genug elektrische Ladung erzeugt werden, um einen für den Test relevanten Effekt im elektronischen Bauteil zu verursachen.A radiation source which is or is suitable for emitting nuclear particles is also referred to below as a "particle radiation source" or for short simply as a "radiation source". It may, for example, comprise 252 californium or 141 americium: The former material 252 californium emits spontaneous decomposition heavy ions with energies of about 75 MeV (megaelectronvolt) and 105 MeV. The second 141 Americium emits alpha rays with energies of 5.5 MeV. So enough electrical charge can be generated to cause a relevant effect in the electronic component for the test.
Da die nuklearen Partikel bereits durch Luft so stark abgebremst werden, dass sie die Chipoberfläche - wenn überhaupt - nur mit unzureichender Energie erreichen, werden Tests, die eine Bestrahlung mit schweren nuklearen Partikeln umfassen, üblicherweise in einer Vakuumkammer durchgeführt, die eine Baugruppe mit einer elektronischen Schaltung und die oben genannte Partikelstrahlungsquelle enthält sowie über mehrere Vakuumdurchführungen mit der übrigen Versorgungs- und Messapparatur verbunden ist. Als eine derartige Vorrichtung umfasst beispielsweise das sogenannte „Californium-252 Assessment of Single-event Effects“ (CASE) der ESTEC in Noordwijk (Niederlande) eine große Glasglocke, die auf eine Abdichtungsplatte aufgesetzt und dabei über die von einem Befestigungsarm gehaltene Strahlungsquelle sowie eine Trägerplatte gestülpt wird, auf der die Baugruppe mit der Schaltung angeordnet ist. Mittels abgedichteter elektrischer Durchführungen ist die Schaltung mit einer Stromquelle und einer geeigneten Messvorrichtung verbunden.Since the nuclear particles are already slowed down by air so strongly that they reach the chip surface, if at all, only with insufficient energy, tests involving irradiation with heavy nuclear particles are usually carried out in a vacuum chamber comprising an assembly with an electronic component Circuit and contains the above-mentioned particle radiation source and is connected via a plurality of vacuum feedthroughs with the rest of the supply and measuring apparatus. As such a device, for example, the so-called "Californium-252 Assessment of single-event effects" (CASE) ESTEC Noordwijk (Netherlands) includes a large bell jar, which is mounted on a sealing plate and the radiation source held by a mounting arm and a support plate slipped on which the assembly is arranged with the circuit. By means of sealed electrical feedthroughs, the circuit is connected to a power source and a suitable measuring device.
Zum Testen und Bestrahlen eines weiteren Bauelements (das z.B. außerhalb des Schwenkbereichs der Strahlungsquelle liegen oder zu einer anderen Baugruppe gehören kann) muss im Allgemeinen die Glasglocke abgenommen werden, damit die jeweils zu prüfende Schaltung ausgetauscht oder relativ zur Strahlungsquelle umpositioniert werden kann. Das Vakuum wird dabei zunächst abgelassen und für die Prüfung des anderen Bauelements erneut erzeugt, was aufgrund der Größe der Glasglocke einen Zeit-, Steuerungs- und Energie- und Kostenaufwand bedeutet.In order to test and irradiate another device (which may, for example, be outside the range of rotation of the radiation source or belong to another assembly), it is generally necessary to remove the bell jar so that the particular circuit to be tested can be replaced or repositioned relative to the radiation source. The vacuum is initially discharged and generated again for the test of the other component, which means a time, control and energy and cost due to the size of the bell jar.
Die Druckschrift
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Technik bereitzustellen, mit welcher der Aufwand für die Prüfung elektrischer Bauelemente auf ihre Reaktion auf nukleare Partikelstrahlung hin vereinfacht werden kann.The present invention has for its object to provide a technique with which the cost of testing electrical components can be simplified to their response to nuclear particle radiation out.
Die Aufgabe wird gelöst durch eine Vorrichtung gemäß Anspruch 1 und ein Verfahren nach Anspruch 10. Vorteilhafte Ausführungsformen sind in den Unteransprüchen, der Beschreibung und den Figuren offenbart.The object is achieved by a device according to claim 1 and a method according to
Eine erfindungsgemäße Vorrichtung ist zur Verwendung beim Prüfen eines oder mehrerer elektronischer Bauelemente einer elektronischen Baugruppe vorgesehen. Ein zu prüfendes elektronisches Bauelement kann dabei beispielsweise direkt oder in einem Gehäuse auf einer Leiterplatte der elektronischen Baugruppe befestigt, beispielsweise auf sie aufgesteckt und/oder darauf aufgelötet sein.An apparatus according to the invention is provided for use in testing one or more electronic components of an electronic assembly. An electronic component to be tested can be fixed, for example, directly or in a housing on a printed circuit board of the electronic module, for example, attached to it and / or soldered thereto.
Die Vorrichtung umfasst eine Bestrahlungsglocke, in deren Innerem eine Strahlungsquelle für nukleare Partikel angeordnet ist; als „Inneres“ der Bestrahlungsglocke wird in dieser Schrift der Raum unter der Bestrahlungsglocke verstanden, der also von der Bestrahlungsglocke überkuppelt wird. Die Partikel, die zu emittieren die Partikelstrahlungsquelle eingerichtet ist, können beispielsweise Helium-Kerne (α-Strahlen) und/oder solche Spalt-Ionen umfassen, die schwerer sind als Helium-Kerne. Die Partikelstrahlungsquelle kann zum Beispiel 252Californium oder 141Americium enthalten.The device comprises an irradiation bell, in the interior of which a radiation source for nuclear particles is arranged; as the "inside" of the irradiation bell is understood in this document, the space under the irradiation bell, which thus of the irradiation bell is overcoupled. The particles that are adapted to emit the particle radiation source may include, for example, helium nuclei (α-rays) and / or those cleavage ions that are heavier than helium nuclei. The particle radiation source may contain, for example, 252 californium or 141 americium.
Die Bestrahlungsglocke ist dazu eingerichtet, unter Ausschluss eines Abschnitts der elektronischen Baugruppe (beispielsweise eines Abschnitts der Leiterplatte, auf der das elektronische Bauelement befestigt sein kann) über das jeweils zu prüfende Bauelement gestülpt zu werden; die Partikelstrahlungsquelle ist dabei dann vorzugsweise auf das Bauelement gerichtet. An ihrem (beim Überstülpen) aufzusetzenden Rand umfasst die Bestrahlungsglocke eine komprimierbare Dichtung.The irradiation bell is adapted to be slipped over the respective component to be tested, excluding a portion of the electronic assembly (for example, a portion of the circuit board on which the electronic component may be mounted); The particle radiation source is then preferably directed to the device. The irradiation bell comprises a compressible seal on its edge (which is to be placed over it).
Auf diese Weise ist die Vorrichtung dazu eingerichtet, zusammen mit der elektronischen Baugruppe (z.B. zusammen mit einer zugehörigen Leiterplatte und/oder ggf. einer oder mehreren weiteren Komponente/n wie beispielsweise einem Gehäuseabschnitt des elektronischen Bauelements und/oder einem separaten Adapterelement zum Ausgleich von Unebenheiten auf der Leiterplatte) eine evakuierbare (nach außen abgedichtete) Bestrahlungskammer im Inneren der Bestrahlungsglocke auszubilden, also zu umschließen. Diese enthält das zu prüfende Bauelement, wohingegen der ausgeschlossene Abschnitt der elektronischen Baugruppe, die insbesondere ein weiteres elektronisches Bauelement umfassen kann, außerhalb der Bestrahlungskammer angeordnet ist.In this way, the device is set up, together with the electronic module (eg together with an associated printed circuit board and / or optionally one or more further component (s) such as a housing section of the electronic component and / or a separate adapter element to compensate for unevenness On the circuit board) an evacuable (sealed to the outside) irradiation chamber in the interior of the irradiation bell, so to enclose. This contains the device to be tested, whereas the excluded portion of the electronic assembly, which may in particular comprise a further electronic component, is arranged outside the irradiation chamber.
Die Vorrichtung umfasst weiter einen Anschluss, der dazu eingerichtet bzw. vorgesehen ist, mit einer Vakuumpumpe verbunden zu werden, beispielsweise mittels eines Schlauches. So kann die Bestrahlungskammer dann mit der Vakuumpumpe evakuiert werden. Der Anschluss kann beispielsweise dazu eingerichtet sein, mit einem zur Vakuumpumpe führenden Schlauch verbunden zu werden.The device further comprises a port adapted or intended to be connected to a vacuum pump, for example by means of a hose. Thus, the irradiation chamber can then be evacuated with the vacuum pump. For example, the port may be configured to be connected to a hose leading to the vacuum pump.
In der Bestrahlungskammer kann das zu prüfende elektronische Bauelement bestrahlt werden. Seine Reaktion kann dann beispielsweise mittels einer vorzugsweise an die elektronische Baugruppe (z.B. die Leiterplatte) angeschlossenen Messapparatur (die einen Stromanschluss umfassen kann) gemessen werden.In the irradiation chamber, the electronic component to be tested can be irradiated. Its response may then be measured, for example, by means of a measuring device preferably connected to the electronic assembly (e.g., the printed circuit board) (which may include a power connection).
Ein erfindungsgemäßes Verfahren dient dem Prüfen mindestens eines elektronischen Bauelements einer elektronischen Baugruppe. Dabei wird eine evakuierbare Bestrahlungskammer ausgebildet, indem eine Bestrahlungsglocke unter Ausschluss eines Abschnitts der elektronischen Baugruppe (beispielweise eines Abschnitts einer zugehörigen Leiterplatte) über das elektronische Bauelement gestülpt wird; die Bestrahlungsglocke weist dabei vorzugsweise an ihrem aufzusetzenden bzw. aufgesetzten Rand eine komprimierbare Dichtung auf. Diese kann beim Überstülpen auf mindestens ein Element der Baugruppe aufgesetzt werden, beispielsweise auf eine Leiterplatte, auf der das zu prüfende elektronische Bauelement befestigt sein kann, auf einen Gehäuseabschnitt des elektronischen Bauelements und/oder auf eine oder mehrere weitere (z.B. dem Bauelement benachbarte) Komponente/n wie insbesondere ein Adapterelement zum Ausgleich von Unebenheiten (z.B. auf der Leiterplatte bzw. an einem Gehäuse des elektronischen Bauelements). Die Bestrahlungskammer mit dem darin befindlichen zu prüfenden Bauelement kann so insbesondere durch die Leiterplatte und/oder die weitere(n) Komponente(n) begrenzt sein; der ausgeschlossene Abschnitt der elektronischen Baugruppe ist dabei außerhalb der Bestrahlungskammer angeordnet. Insbesondere kann das Überstülpen so erfolgen, dass mindestens ein weiteres elektronisches Bauelement, das auf der Leiterplatte befestigt (vorzugsweise angelötet) sein kann, außerhalb der Bestrahlungskammer liegt.An inventive method is used to test at least one electronic component of an electronic module. In this case, an evacuable irradiation chamber is formed by an irradiation bell is slipped over the electronic component, excluding a portion of the electronic assembly (for example, a portion of an associated circuit board); The irradiation bell preferably has a compressible seal on its edge to be placed on or placed on. This can be placed on slipping on at least one element of the module, for example, on a circuit board on which the electronic component to be tested can be attached to a housing portion of the electronic component and / or one or more further (eg the component adjacent) component In particular, an adapter element to compensate for unevenness (eg on the circuit board or on a housing of the electronic component). The irradiation chamber with the component to be tested therein can thus be delimited in particular by the printed circuit board and / or the further component (s); the excluded portion of the electronic assembly is located outside the irradiation chamber. In particular, the slipping over can take place such that at least one further electronic component, which may be fastened (preferably soldered) to the printed circuit board, is located outside the irradiation chamber.
Das Verfahren umfasst weiterhin ein Evakuieren der Bestrahlungskammer mittels einer an einen Anschluss der Bestrahlungsglocke angeschlossenen Vakuumpumpe. Danach wird das elektronische Bauelement mit nuklearen Partikeln einer Partikelstrahlungsquelle bestrahlt (vorzugsweise mit Heliumkernen (a-Strahlung) und/oder solchen Spalt-Ionen, die schwerer sind als Helium), und es wird mindestens eine Funktion des bestrahlten elektronischen Bauelements gemessen.The method further comprises evacuating the irradiation chamber by means of a vacuum pump connected to a connection of the irradiation bell. Thereafter, the electronic device is irradiated with nuclear particles of a particle radiation source (preferably with helium nuclei (a-radiation) and / or those gap ions heavier than helium), and at least one function of the irradiated electronic device is measured.
Insbesondere kann ein erfindungsgemäßes Verfahren mit einer erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß einer der in dieser Schrift offenbarten Ausführungsformen durchgeführt werden.In particular, a method according to the invention can be carried out with a device according to the invention in accordance with one of the embodiments disclosed in this document.
Ein Teil der elektronischen Baugruppe, beispielsweise eine/die zugehörige Leiterplatte selbst und/oder ein oder mehrere Komponenten auf der Leiterplatte, dient somit bei einer erfindungsgemäßen Vorrichtung bzw. einem erfindungsgemäßen Verfahren als eine Randfläche der Bestrahlungskammer. Die/eine komprimierbare Dichtung ermöglicht die Evakuierbarkeit der Bestrahlungskammer trotz ggf. auf der Leiterplatte befindlicher Elemente und der sich daraus ergebenden unebenen (nicht glatten) Struktur.A part of the electronic module, for example one or more of the associated printed circuit board itself and / or one or more components on the printed circuit board, thus serves as an edge surface of the irradiation chamber in a device or a method according to the invention. The / a compressible seal allows for the evacuability of the irradiation chamber despite any elements present on the circuit board and the resulting uneven (not smooth) structure.
Eine erfindungsgemäße Vorrichtung und ein erfindungsgemäßes Verfahren ermöglichen eine entsprechend kleine Dimensionierung der Bestrahlungskammer und somit einen nur geringen zeitlichen und energetischen Aufwand beim Erzeugen des Vakuums. Insbesondere ist eine erfindungsgemäße Vorrichtung vorzugsweise als Handgerät ausgebildet.A device according to the invention and a method according to the invention enable a correspondingly small dimensioning of the irradiation chamber and thus only a small expenditure of time and energy when generating the vacuum. In particular, a device according to the invention is preferably designed as a handheld device.
Die Größe der Bestrahlungsglocke ist/wird vorzugsweise passend zur eingesetzten Strahlungsquelle und zur Größe der Testfläche gewählt, so dass insbesondere die Partikelstrahlungsquelle in der Bestrahlungsglocke Platz findet und eine untere Öffnung der Bestrahlungsglocke vorzugsweise größer ist als die Oberfläche des zu untersuchenden elektronischen Bauelements. The size of the irradiation bell is / are preferably chosen to match the radiation source used and the size of the test area, so that in particular the particle radiation source finds place in the irradiation bell and a lower opening of the irradiation bell is preferably larger than the surface of the electronic component to be examined.
Die Bestrahlungsglocke bzw. die Bestrahlungskammer kann beispielsweise ein Innenvolumen haben, das höchstens 125ml oder höchstens 50ml, höchstens 6ml oder sogar höchstens 1ml beträgt und/oder das mindestens 0,5ml, mindestens 1ml oder mindestens 2ml oder mindestens 5ml beträgt. Die Vorrichtung kann somit leicht zwischen verschiedenen zu prüfenden Bauelementen umgesetzt werden und eignet sich zudem für einen einfachen Transport (bei dem die Partikelstrahlungsquelle vorzugsweise separat in einem extra abgeschlossenen, abgeschirmten und für den Transport vorgesehenen Behältnis transportiert wird).The irradiation bell or the irradiation chamber may, for example, have an internal volume which is at most 125 ml or at most 50 ml, at most 6 ml or even at most 1 ml and / or which is at least 0.5 ml, at least 1 ml or at least 2 ml or at least 5 ml. The device can thus be easily implemented between different components to be tested and is also suitable for easy transport (in which the particle radiation source is preferably transported separately in an extra enclosed, shielded and intended for transport container).
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform ist eine äußere Form der Bestrahlungsglocke im Wesentlichen prismenförmig, drehsymmetrisch oder rotationssymmetrisch ausgebildet; eine Höhe eines entsprechenden Prismas bzw. eine Dreh- bzw. Rotationsachse verläuft dabei vorzugsweise in einer vorgesehenen Strahlungsrichtung der Partikelstrahlungsquelle. Insbesondere kann die äußere Form der Bestrahlungsglocke im Wesentlichen als gerades oder schiefes Prisma, kegelstumpfförmig oder kreiszylindrisch ausgebildet sein.According to an advantageous embodiment, an outer shape of the irradiation bell is substantially prism-shaped, rotationally symmetric or rotationally symmetrical; a height of a corresponding prism or a rotation or rotation axis preferably runs in a designated radiation direction of the particle radiation source. In particular, the outer shape of the irradiation bell can essentially be designed as a straight or oblique prism, frustoconical or circular-cylindrical.
Die Dichtung am aufzusetzenden Rand der Bestrahlungsglocke kann beispielsweise als ringförmiger Wulst ausgebildet sein. Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform umrandet sie eine Öffnung, deren Durchmesser (in einem unbelasteten, also nicht durch Druck komprimierten bzw. verformten Zustand der Dichtung
Die Dichtung kann eine innere Begrenzung (also eine Begrenzung zur Öffnung hin) haben, die beispielsweise entlang einer Ellipse (insbesondere einem Kreis) oder einem (vorzugsweise regelmäßigen) Polygon, insbesondere einem Drei- oder Recht-, Sechs- oder Achteck verlaufen kann.The seal may have an inner boundary (ie, a boundary toward the opening), which may run, for example, along an ellipse (in particular a circle) or a (preferably regular) polygon, in particular a three or rectangular, six or octagon.
Gemäß speziellen Ausführungsbeispielen umläuft der aufzusetzende Rand der Bestrahlungsglocke eine Fläche von mindestens 2 cm2 oder mindestens 5 cm2 oder auch 20 cm2.In accordance with specific embodiments, the edge of the irradiation bell to be applied rotates over an area of at least 2 cm 2 or at least 5 cm 2 or even 20 cm 2 .
Die Bestrahlungsglocke kann einteilig oder aus mehreren Elementen wie beispielsweise Schichten (insbesondere Platten und/oder Ringen) zusammengesetzt sein, die beispielsweise miteinander verklebt oder verschraubt sein können. Zwischen einzelnen Elementen können ein oder mehrere Dichtelemente wie beispielsweise ein O-Ring angeordnet sein. Insbesondere kann die komprimierbare Dichtung an eine darüberliegende Schicht der Bestrahlungsglocke angeklebt oder angeschweißt sein. Vorteilhaft ist eine Ausführungsvariante mit auswechselbarer Dichtung, bei der diese form-, kraft- und/oder reibschlüssig mit einem anderen Element (z.B. einer Schicht) der Bestrahlungsglocke verbunden ist. Insbesondere kann ein Rand der Dichtung in eine Nut in einem anderen Element der Bestrahlungsglocke eingesetzt sein.The irradiation bell may be composed of one or more elements such as layers (in particular plates and / or rings), which may be glued or screwed together, for example. Between individual elements, one or more sealing elements such as an O-ring may be arranged. In particular, the compressible seal may be glued or welded to an overlying layer of the irradiation bell. A variant with a replaceable seal, in which it is connected in a positive, force and / or frictional engagement with another element (for example a layer) of the irradiation bell, is advantageous. In particular, one edge of the seal can be inserted into a groove in another element of the irradiation bell.
Aufgrund der Komprimierbarkeit der Dichtung kann die Bestrahlungskammer auch bei Unregelmäßigkeiten an der Oberfläche, auf die sie aufgesetzt wird, sicher abgedichtet werden, so dass ein Vakuum darin erzeugt werden kann. Derartige Unregelmäßigkeiten können beispielsweise aus einer Leiterbahn, einem oder mehreren benachbarten Bauelement/en und/oder einem Übergang zu einer zusätzlichen Komponente wie z.B. einem separaten Adapterelement resultieren; ein solches Adapterelement kann wiederum zum Ausgleich von Unebenheiten auf der Leiterplatte bzw. an einem Gehäuse des jeweiligen elektronischen Bauelements zwischen der Dichtung am Rand der Bestrahlungsglocke und der Leiterplatte angeordnet (und Teil der erfindungsgemäßen Vorrichtung) sein bzw. werden.Due to the compressibility of the seal, the irradiation chamber can be securely sealed even in the event of irregularities on the surface to which it is placed, so that a vacuum can be generated therein. Such irregularities may be, for example, a trace, one or more adjacent devices, and / or a transition to an additional component, such as an optical device. result in a separate adapter element; Such an adapter element may in turn be (or part of the device according to the invention) to compensate for unevenness on the circuit board or on a housing of the respective electronic component between the seal at the edge of the irradiation bell and the circuit board.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die komprimierbare Dichtung elastisch komprimierbar, so dass sie nach einer Verwendung der Vorrichtung bzw. einem Durchführen des Verfahrens, insbesondere nach einem Abnehmen der Bestrahlungsglocke von der Leiterplatte (mindestens im Wesentlichen) wieder ihre ursprüngliche Form annimmt. So kann die Vorrichtung ohne weiteres über ein anderes Bauelement mit einem anderen Umgebungsprofil gestülpt bzw. das Verfahren erneut durchgeführt werden.According to a preferred embodiment, the compressible seal is elastically compressible, so that after use of the device or performing the method, in particular after removal of the irradiation bell from the circuit board (at least substantially) assumes its original shape. Thus, the device can be easily slipped over another component with a different environmental profile or the process can be performed again.
Vorzugsweise umfasst die komprimierbare Dichtung mindestens ein Elastomer. Insbesondere kann die komprimierbare Dichtung ein Weichgummi umfassen. Gemäß einer speziellen Ausführungsform besteht die komprimierbare Dichtung ganz oder teilweise aus einem geschlossenzelligen (bzw. geschlossenporigen) Moosgummi.Preferably, the compressible seal comprises at least one elastomer. In particular, the compressible seal may comprise a soft rubber. According to a special embodiment, the compressible seal consists wholly or partly of a closed cell (or closed-cell) sponge rubber.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform weist die komprimierbare Dichtung in unbelastetem Zustand eine Dicke von mindestens 3mm oder mindestens 5mm auf und/oder von höchstens 10mm oder höchstens 7mm; die Dicke ist dabei in eine vorgesehene Aufsetzrichtung gemessen, insbesondere vorzugsweise senkrecht zu einer Baugruppe (bzw. einer zu dieser gehörenden Leiterplatte), auf die aufzusetzen die Bestrahlungsglocke eingerichtet ist bzw. die das zu prüfende elektronische Bauelement umfasst. According to an advantageous embodiment, the compressible seal in the unloaded state has a thickness of at least 3mm or at least 5mm and / or of at most 10mm or at most 7mm; the thickness is measured in an intended mounting direction, in particular preferably perpendicular to an assembly (or a circuit board associated therewith), to which the irradiation bell is set up or which comprises the electronic component to be tested.
Der Anschluss der Vorrichtung zur Verbindung mit einer Vakuumpumpe kann vorzugsweise ein Röhrchen umfassen, das durch eine Wandung der Bestrahlungsglocke führt. Insbesondere kann ein derartiges Röhrchen durch die Dichtung hindurch verlaufen: Dies ermöglicht eine besonders einfache Herstellung der Vorrichtung.The connection of the device for connection to a vacuum pump may preferably comprise a tube which leads through a wall of the irradiation bell. In particular, such a tube can pass through the seal: this allows a particularly simple production of the device.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsvariante der vorliegenden Erfindung ist die Partikelstrahlungsquelle auf einer Trägerplatine angeordnet, welche im Inneren der Bestrahlungsglocke die Bestrahlungskammer (die im Wesentlichen rotations- oder zumindest drehsymmetrisch ausgebildet sein kann) von einer Evakuierungskammer trennt. Ein Durchlass oder mehrere Durchlässe in der Trägerplatine verbindet/verbinden bei einer derartigen Ausführungsform die Evakuierungskammer und die Bestrahlungskammer miteinander. Der Anschluss zur Verbindung mit der Vakuumpumpe setzt dabei an der Evakuierungskammer an, so dass also die Bestrahlungskammer durch die Evakuierungskammer hindurch evakuiert werden kann bzw. wird.According to an advantageous embodiment variant of the present invention, the particle radiation source is arranged on a carrier board, which separates the irradiation chamber (which can be substantially rotationally or at least rotationally symmetrical) from an evacuation chamber in the interior of the irradiation bell. One or more passages in the carrier board interconnect the evacuation chamber and the irradiation chamber in such an embodiment. The connection for connection to the vacuum pump starts at the evacuation chamber, so that therefore the irradiation chamber can be evacuated through the evacuation chamber.
Diese Ausgestaltung bietet den Vorteil, dass eine Bestrahlung bzw. ein durch diese hervorgerufener nuklearer Partikelstrom unbeeinflusst vom Anschluss an die Vakuumpumpe bzw. vom Saugstrom möglich ist. Zudem wirkt die Trägerplatine als eine Abschirmung, mit der eine Ausbreitung der von der Partikelstrahlungsquelle ausgesandten nuklearen Partikel (vorzugsweise nur) zum elektronischen Bauelement hin gewährleistet werden kann. Rückwärtig abgestrahlte nukleare Partikel werden von der Trägerplatte abgebremst und absorbiert, so dass keine Gefährdung für eine Person besteht, welche die Vorrichtung bedient bzw. das Verfahren durchführt.This refinement has the advantage that irradiation or a nuclear particle flow caused by it is possible without being influenced by the connection to the vacuum pump or by the suction flow. In addition, the carrier board acts as a shield, with the propagation of the nuclear particle emitted by the particle radiation source (preferably only) to the electronic component can be ensured. Back radiated nuclear particles are decelerated and absorbed by the carrier plate, so that there is no danger to a person who operates the device or performs the method.
Alternativ kann der Anschluss an die Vakuumpumpe (z.B. ein Röhrchen wie oben erwähnt) beispielsweise direkt von der Bestrahlungskammer nach außerhalb der Bestrahlungsglocke führen.Alternatively, the connection to the vacuum pump (e.g., a tube as mentioned above) may, for example, lead directly from the irradiation chamber to the outside of the irradiation bell.
Ein erfindungsgemäßes Verfahren kann ein Abheben der Bestrahlungsglocke vom bestrahlten elektronischen Bauelement (das hier dann auch als ein „erstes“ elektronisches Bauelement bezeichnet wird) nach dem Messen der Funktion umfassen sowie ein Überstülpen der Bestrahlungsglocke über ein weiteres elektronisches Bauelement, das insbesondere zu derselben Baugruppe gehören (beispielsweise auf derselben Leiterplatte angeordnet (z.B. befestigt, insbesondere angelötet) sein) kann wie das zuvor gemessene elektronische Bauelement; vorzugsweise erfolgt das Überstülpen über das (erste) elektronische Bauelement unter Ausschluss des weiteren elektronischen Bauelements und/oder erfolgt das Überstülpen über das weitere elektronische Bauelement unter Ausschluss des zuvor gemessenen. Beim Überstülpen über das weitere elektronische Bauelement wird die Dichtung der Bestrahlungsglocke vorzugsweise auf eine Leiterplatte und/oder auf eine oder mehrere weitere (z.B. dem weiteren elektronischen Bauelement benachbarte) Komponente/n der Baugruppe aufgesetzt. Das weitere elektronische Bauelement kann dann analog mittels Evakuieren der Bestrahlungskammer, Bestrahlen mit nuklearen Partikeln und Messen einer Funktion geprüft werden.A method according to the invention can comprise lifting the irradiation bell from the irradiated electronic component (which is also referred to here as a "first" electronic component) after measuring the function, as well as slipping the irradiation bell over another electronic component, which belong in particular to the same assembly (For example, arranged (eg fixed, in particular soldered) on the same circuit board) as the previously measured electronic component; preferably the slipping takes place via the (first) electronic component to the exclusion of the further electronic component and / or the slipping over the further electronic component takes place to the exclusion of the previously measured. When slipping over the further electronic component, the seal of the irradiation bell is preferably placed on a printed circuit board and / or on one or more further (for example, the other electronic component adjacent) component (s) of the assembly. The further electronic component can then be tested analogously by evacuating the irradiation chamber, irradiating with nuclear particles and measuring a function.
Ein in einem erfindungsgemäßen Verfahren oder mit einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zu prüfendes elektronisches Bauelement kann beispielsweise Teil einer Schaltung sein, die zur Verwendung in einem Raumfahrtprojekt, insbesondere in einem im Weltraum vorgesehenen Experimentaufbau vorgesehen ist. Es kann beispielsweise einen Widerstand, eine Diode, einen Transistor und/oder mindestens einen Teil einer integrierten Halbleiterschaltung (eines Chips, insbesondere eines Siliziumchips) mit solchen Bauelementen umfassen.An electronic component to be tested in a method according to the invention or with a device according to the invention can be, for example, part of a circuit which is provided for use in a space project, in particular in an experiment setup provided in space. It can, for example, comprise a resistor, a diode, a transistor and / or at least part of a semiconductor integrated circuit (of a chip, in particular of a silicon chip) with such components.
Das elektronische Bauelement kann mindestens teilweise in ein Gehäuse eingefasst und/oder mit einer Schutzschicht bzw. Versiegelung überzogen sein. Vor dem Überstülpen über das (erste) elektronische Bauelement und/oder über das weitere elektronische Bauelement kann ein Freilegen des elektronischen Bauelements erfolgen, beispielsweise indem das elektronische Bauelement bedeckendes Material (z.B. Kunststoff) entfernt wird. Insbesondere kann dabei eine Schutzschicht bzw. Versiegelung und/oder ein Teil eines Gehäuses (z.B. eine Abdeckung des elektronischen Bauelements) entfernt, z.B. weggeätzt werden. Dadurch kann auch bei relativ niedriger Bestrahlungsenergie eine aussagekräftige Messung (und damit Prüfung) des elektronischen Bauelements erfolgen.The electronic component may be at least partially enclosed in a housing and / or coated with a protective layer or seal. Before slipping over the (first) electronic component and / or via the further electronic component, the electronic component can be exposed, for example by removing the material covering the electronic component (for example plastic). In particular, a protective layer or / and a part of a housing (e.g., a cover of the electronic component) may be removed, e.g. be etched away. As a result, a meaningful measurement (and thus testing) of the electronic component can take place even at relatively low irradiation energy.
Die von der Partikelstrahlungsquelle als Zerfalls- bzw. Spaltionen emittierten nuklearen Partikel sind häufig elektrisch positiv geladen, nicht alle Kernladungen sind dann also durch eine vollständig abgesättigte Elektronenhülle neutralisiert. Diese Ionen lassen sich in einem magnetischen und/oder elektrischen Feld ablenken. Vorteilhaft sind daher Ausführungsvarianten der vorliegenden Erfindung, bei denen ein Partikel- bzw. Ionenstrahl mittels Magneten beeinflusst, beispielsweise abgelenkt und/oder fokussiert bzw. defokussiert werden kann bzw. wird.The nuclear particles emitted by the particle radiation source as decomposition or cleavage ions are often positively charged electrically, so not all nuclear charges are then neutralized by a completely saturated electron shell. These ions can be deflected in a magnetic and / or electric field. Therefore, embodiments of the present invention are advantageous in which a particle or ion beam by means of Magnets influenced, for example, distracted and / or focused or defocused can be or will.
Die Bestrahlungsglocke kann dazu einen oder mehrere radial magnetisierte(n) Dauermagneten umfassen, der/die eine vorgesehene Strömungsbahn für von der Partikelstrahlungsquelle abgestrahlte nukleare Partikel mindestens teilweise umgibt/umgeben. Alternativ oder zusätzlich kann die Bestrahlungsglocke einen oder mehrere axial magnetisierte(n) Dauermagneten umfassen, der/die eine vorgesehene Strömungsbahn für von der Partikelstrahlungsquelle abgestrahlte nukleare Partikel mindestens teilweise umgibt/umgeben. Ein derartiger Dauermagnet kann jeweils beispielsweise als ein Ringmagnet ausgebildet seinThe irradiation bell may for this purpose comprise one or more radially magnetized permanent magnets, which at least partially surround / surround an intended flow path for nuclear particles radiated by the particle radiation source. Alternatively or additionally, the irradiation bell may comprise one or more axially magnetized permanent magnets which at least partially surround / surround an intended flow path for nuclear particles radiated by the particle radiation source. Such a permanent magnet may each be formed, for example, as a ring magnet
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsvariante der vorliegenden Erfindung umfasst die Bestrahlungsglocke mindestens eine elektromagnetische Spule (also eine Spule aus einem elektrischen Leiter), die an eine Stromquelle angeschlossen oder dazu eingerichtet ist, an eine Stromquelle angeschlossen zu werden, um so einen Elektromagneten auszubilden. Die mindestens eine Spule umgibt dabei mindestens teilweise eine vorgesehene Strömungsbahn für von der Partikelstrahlungsquelle abgestrahlte elektrisch geladene nukleare Partikel. Die Vorrichtung kann eine (vorzugsweise dynamisch einstellbare) Stromquelle zum Anschluss an die elektrische Spule umfassen, so dass ein Verändern des Stromes und damit ein Manipulieren des Partikelflusses während der Bestrahlung oder zwischen zwei Bestrahlungen möglich ist; die Vorrichtung ist damit besonders vielseitig einsetzbar. Ein erfindungsgemäßes Verfahren kann entsprechend ein Verändern des an die mindestens eine elektrische Spule angelegten Stroms umfassen; während oder nach dem Verändern kann das Messen der Funktion einer weiteren Funktion des bestrahlten Bauelements erfolgen.According to an advantageous embodiment of the present invention, the irradiation bell comprises at least one electromagnetic coil (that is, a coil of an electrical conductor), which is connected to a power source or adapted to be connected to a power source so as to form an electromagnet. The at least one coil at least partially surrounds an intended flow path for electrically charged nuclear particles radiated by the particle radiation source. The device may comprise a (preferably dynamically adjustable) current source for connection to the electrical coil, so that it is possible to vary the current and thus manipulate the flow of particles during the irradiation or between two irradiations; the device is therefore very versatile. A method according to the invention may accordingly comprise varying the current applied to the at least one electrical coil; during or after altering, the measurement of the function of another function of the irradiated device may be performed.
Die mindestens eine Spule kann in mehrere (beispielsweise zwei oder drei) Teilspulen aufgeteilt sein, die unterschiedliche jeweilige (abstrakte geometrische) Wicklungsachsen aufweisen. Beispielsweise können die Wicklungsachsen sich in einem Punkt schneiden, der vorzugsweise auf einer in vorgesehener Strahlungshauptrichtung der Partikelstrahlungsquelle verlaufenden zentralen Achse der Vorrichtung liegt. Besonders vorteilhaft ist eine Variante, bei der die Wicklungsachsen der Teilspulen gegeneinander (um eine zentrale Achse der Vorrichtung) verdreht angeordnet sind, beispielsweise um 90° (insbesondere bei zwei Teilspulen) oder um 120° (insbesondere bei drei Teilspulen). Dies erlaubt einerseits eine Fokussierung der nuklearen Partikel durch Anlegen eines kontinuierlichen und gleichen Stroms in allen Spulen, andererseits eine seitliche Ablenkung des Partikelstrahls durch Anlegen unterschiedlich starker Ströme in den Teilspulen. Insbesondere kann die Richtung des fokussierten Strahles elektrisch geladener nuklearer Partikel über dem zu bestrahlenden bzw. zu prüfenden elektronischen Bauelement verändert werden.The at least one coil may be divided into a plurality (for example two or three) of partial coils which have different respective (abstract geometric) winding axes. For example, the winding axes can intersect at a point which preferably lies on a central axis of the device extending in the intended main radiation direction of the particle radiation source. Particularly advantageous is a variant in which the winding axes of the sub-coils are arranged rotated against each other (about a central axis of the device), for example by 90 ° (in particular in two sub-coils) or by 120 ° (in particular in three sub-coils). This allows on the one hand focusing of the nuclear particles by applying a continuous and equal current in all coils, on the other hand, a lateral deflection of the particle beam by applying different strong currents in the coil sections. In particular, the direction of the focused beam of electrically charged nuclear particles can be changed over the electronic component to be irradiated or tested.
Ein erfindungsgemäßes Verfahren kann nach dem Messen der Funktion des bestrahlten elektronischen Bauelements ein Ändern eines an die Spule/n angelegten Stroms umfassen. Das Bestrahlen des Bauelements mit der Partikelstrahlungsquelle kann dabei fortgesetzt werden oder unterbrochen und wieder aufgenommen, und es kann jeweils eine (ggf. weiteren) Funktion des Bauelements gemessen werden.A method according to the invention may comprise, after measuring the function of the irradiated electronic component, changing a current applied to the coil (s). The irradiation of the component with the particle radiation source can be continued or interrupted and resumed, and one (possibly further) function of the component can be measured in each case.
Insbesondere kann ein erfindungsgemäßes Verfahren, das mit einer (wie oben erwähnten) Vorrichtung ausgeführt wird, die mehrere Teilspulen mit unterschiedlichen Wicklungsachsen aufweist, zwei Messungen umfassen, wobei in einer der Messungen ein kontinuierlichen und gleicher Strom in allen Spulen angelegt wird und in der anderen der Messungen (vorher oder nachher) unterschiedliche Ströme in den Teilspulen angelegt werden.In particular, a method according to the invention, which is carried out with a device (as mentioned above) having a plurality of coil sections with different winding axes, can comprise two measurements, wherein in one of the measurements a continuous and equal current is applied in all coils and in the other Measurements (before or after) different currents are applied in the sub-coils.
Vorteilhaft ist eine Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, bei der die Bestrahlungsglocke modular lösbar zusammengesetzt bzw. zusammenzusetzen ist, also aus mehreren Einzelteilen besteht, die lösbar miteinander verbunden sind oder werden können. Die Bestrahlungsglocke ist dabei vorzugsweise dazu eingerichtet, wahlweise eine unterschiedliche Anzahl (z.B. wahlweise von 0 bis 2 oder von 1 bis 3) an Dauermagneten und/oder Spulen zu umfassen, die dann eine vorgesehene Strömungsbahn für von der Partikelstrahlungsquelle abgestrahlte nukleare Partikel mindestens teilweise umgeben. Insbesondere können vorzugsweise nach Bedarf kein, ein oder mehrere Dauermagnet/en in der Bestrahlungsglocke und/oder keine, eine oder mehrere Spule/n (z.B. gestapelt und/oder gegeneinander verdreht) eingesetzt werden. So können unterschiedliche magnetische Flussdichten mit der Vorrichtung bewirkt, die Bestrahlungsbedingungen, unter denen die elektronischen Bauelemente jeweils geprüft werden, also variiert werden.Advantageous is an embodiment of a device according to the invention, in which the irradiation bell is assembled or assembled in a modular manner, ie consists of several individual parts which are detachably connected to one another or can be. The irradiation bell is preferably adapted to optionally include a different number (e.g., from 0 to 2 or from 1 to 3) of permanent magnets and / or coils which then at least partially surround an intended flow path for nuclear particles radiated by the particle radiation source. In particular, preferably, none, one or more permanent magnets in the irradiation bell and / or none, one or more coils (e.g., stacked and / or twisted against each other) may be used as needed. Thus, different magnetic flux densities with the device causes the irradiation conditions, under which the electronic components are each tested, so be varied.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung umfasst ein erfindungsgemäßes Verfahren entsprechend ein Ändern der Anzahl der Dauermagneten und/oder Spulen. Anschließend kann die Bestrahlungsglocke mit der geänderten Anzahl an Dauermagneten und/oder Spulen erneut über das zu prüfende elektronische Bauelement oder über ein weiteres zu prüfendes elektronisches Bauelement gestülpt werden, die zugehörige Bestrahlungskammer kann vorzugsweise evakuiert und das jeweilige Bauelement kann mit der Partikelstrahlungsquelle bestrahlt werden. So kann die Funktion oder eine weitere Funktion des elektronischen bzw. des weiteren elektronischen Bauelements gemessen werden.According to a preferred development, a method according to the invention correspondingly comprises a change in the number of permanent magnets and / or coils. Subsequently, the irradiation bell with the changed number of permanent magnets and / or coils can again be placed over the electronic component to be tested or another electronic component to be tested, the associated irradiation chamber can preferably be evacuated and the respective component can be irradiated with the particle radiation source. So can the function or another function be measured of the electronic or the other electronic component.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform umfasst die Vorrichtung zusätzlich zu mindestens einem Dauermagneten und/oder zu mindestens einer elektrischen Spule einen magnetischen Rückschluss aus einem ferromagnetischen Material (z.B. aus Eisen oder einer Eisenlegierung oder einem Ferritmaterial), der mindestens eine Dauermagneten bzw. die mindestens eine Spule vorzugsweise mindestens teilweise umgibt. Insbesondere kann ein solcher magnetischer Rückschluss einen größeren Innendurchmesser haben als der mindestens eine Dauermagnet bzw. die mindestens eine Spule. Dadurch kann ein verzerrtes magnetisches Feld ausgebildet werden, dessen Stärke in einem (vorgesehenen) Bestrahlungsbereich der Partikelstrahlungsquelle besonders groß ist.According to an advantageous embodiment, the device comprises in addition to at least one permanent magnet and / or at least one electrical coil, a magnetic yoke made of a ferromagnetic material (eg, iron or an iron alloy or a ferrite material), the at least one permanent magnet or the at least one coil preferably at least partially surrounds. In particular, such a magnetic return can have a larger inner diameter than the at least one permanent magnet or the at least one coil. As a result, a distorted magnetic field whose intensity is particularly large in a (prescribed) irradiation area of the particle radiation source can be formed.
Ein derartiger magnetischer Rückschluss kann beispielsweise in Form einer Schelle ausgebildet sein, mit der mehrere Schichten bzw. Lagen der Bestrahlungsglocke zusammengehalten werden können. Er kann insbesondere aus einem Federmaterial gebildet sein, so dass ein einfaches Lösen bzw. Montieren möglich ist. Vorzugsweise ist das Federmaterial ferro- oder ferrimagnetisch ohne remanente Magnetisierung, so dass es eine hohe magnetische Permeabilität hat. Insbesondere in einer Ausführungsform, bei der die Bestrahlungsglocke wie oben erwähnt modular lösbar zusammenzusetzen bzw. zusammengesetzt ist, kann ein derartiger magnetischer Rückschluss aus einem (z.B. ferromagnetischen) Federmaterial vorteilhaft als Befestigungselement dienen.Such a magnetic return can be formed, for example, in the form of a clamp, with which a plurality of layers or layers of the irradiation bell can be held together. It may in particular be formed from a spring material, so that a simple loosening or mounting is possible. Preferably, the spring material is ferromagnetic or ferrimagnetic with no remanent magnetization so that it has a high magnetic permeability. In particular, in an embodiment in which the irradiation bell is modularly assembled as mentioned above, such a magnetic return made from a (e.g., ferromagnetic) spring material may advantageously serve as a fastener.
Im Folgenden werden bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand von Zeichnungen näher erläutert. Es versteht sich, dass einzelne Elemente und Komponenten auch anders kombiniert werden können als dargestellt.In the following preferred embodiments of the invention will be explained in more detail with reference to drawings. It is understood that individual elements and components can be combined differently than shown.
Es zeigen schematisch jeweils im Querschnitt:
-
1a : eine exemplarische Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung; -
1b : die Vorrichtung gemäß1a in Verwendung; -
2 : ein anderes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung; -
3 : ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung; -
4 : eine erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß einer alternativen Ausführungsform; und -
5 : eine weitere Ausführungsvariante einer erfindungsgemäßen Vorrichtung.
-
1a an exemplary embodiment of a device according to the invention; -
1b : the device according to1a in use; -
2 : another embodiment of a device according to the invention; -
3 a further embodiment of a device according to the invention; -
4 a device according to the invention according to an alternative embodiment; and -
5 : a further embodiment of a device according to the invention.
In
Die Vorrichtung
Die Partikelstrahlungsquelle
Die Bestrahlungsglocke
In einem unbelasteten (nicht durch Druck komprimierten bzw. verformten) Zustand der Dichtung
Die Partikelstrahlungsquelle
Vorteilhaft sind insbesondere Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung, bei denen
- - für den Außendurchmesser
A gilt A ≤ 6cm gilt, bevorzugter A ≤ 4cm oder sogar A ≤ 3cm; und/oder - - für den Innendurchmesser
D gilt D ≤ 5cm oder D ≤ 3,5cm oder sogar D ≤ 2cm; und/oder - - für den Innendurchmesser
D gilt D ≥1cm oder D ≥ 1,5cm oder sogar D ≥ 2cm; und/oder - - für die Höhe
H gilt H ≤ 5cm, bevorzugter H≤ 3,5cm oder sogar H ≤ 2,5cm; und/oder - - für den Abstand
d1 giltd1 ≤3,5cm, bevorzugterd1 ≤ 2cm oder sogard1 ≤ 1,8cm; und/oder - - für den Abstand
d2 giltd2 ≤2cm, bevorzugterd2 ≤ 1,8cm oder sogard2 ≤ 1,2 cm.
- - for the outside diameter
A A ≤ 6cm applies, more preferably A ≤ 4cm or even A ≤ 3cm; and or - - for the inside diameter
D D ≤ 5cm or D ≤ 3.5cm or even D ≤ 2cm; and or - - for the inside diameter
D D ≥1cm or D ≥ 1.5cm or even D ≥ 2cm; and or - - for the height
H H ≤ 5 cm, more preferably H ≤ 3.5 cm or even H ≤ 2.5 cm; and or - - for the distance
d 1 appliesd 1 ≤3.5cm, more preferabled 1 ≤ 2cm or evend 1 ≤ 1.8cm; and or - - for the distance
d 2 appliesd 2 ≤2cm, more preferabled 2 ≤ 1.8cm or evend 2 ≤ 1.2 cm.
In
Die Partikelstrahlungsquelle
Die Partikelstrahlungsquelle
Das Aufnahmegehäuse
The receiving
In
Die Bestrahlungsglocke
Ein magnetischer Rückschluss
Durch Stapeln von zwei oder mehr Dauermagneten
Bei Anlegen von Strom an die Spule
Die Spule
Alternativ oder zusätzlich zur Spule
Offenbart ist eine Vorrichtung
Offenbart ist ferner ein Verfahren zum Prüfen mindestens eines elektronischen Bauelements
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
- 11
- elektronisches Bauelementelectronic component
- 1010
- Chipchip
- 2020
- Leiterplattecircuit board
- 2121
-
Abschnitt der Leiterplatte
20 Section of thecircuit board 20 - 100, 200, 300, 400, 500100, 200, 300, 400, 500
- Vorrichtung zum Prüfen elektronischer BauelementeDevice for testing electronic components
- 110, 210, 310, 410, 510110, 210, 310, 410, 510
- Bestrahlungsglockeirradiation bell
- 111111
- Bestrahlungskammerirradiation chamber
- 112, 212, 312, 412, 512112, 212, 312, 412, 512
- komprimierbare Dichtungcompressible seal
- 113113
- Trägerplatinecarrier board
- 114114
- Evakuierungskammerevacuation chamber
- 115115
- Durchlasspassage
- 116a, 116b116a, 116b
- Abstandsringspacer ring
- 117117
- Abdeckplattecover
- 119119
- Schraubescrew
- 120, 220, 320, 420, 520120, 220, 320, 420, 520
- Partikelstrahlungsquelle für nukleare PartikelParticle radiation source for nuclear particles
- 130, 330, 430, 530, 630130, 330, 430, 530, 630
- Anschluss zur Verbindung mit einer Vakuumpumpe Connection for connection to a vacuum pump
- 213, 313213, 313
- Aufnahmegehäuse für die PartikelstrahlungsquelleHousing for the particle radiation source
- 215215
- Kuppelrahmencoupling frame
- 219219
- Dichtringseal
- 416416
- Dauermagnetpermanent magnet
- 417, 517a, 517b417, 517a, 517b
- Rückschlussconclusion
- 518518
- Spule Kitchen sink
- AA
- Außendurchmesser der BestrahlungsglockeOuter diameter of the irradiation bell
- BB
- vorgesehene Strömungsbahn für von der Partikelstrahlungsquelle abgestrahlte nukleare Partikelprovided flow path for emitted by the particle radiation source nuclear particles
- DD
- Innendurchmesser der Bestrahlungsglocke an ihrem aufzusetzenden RandInner diameter of the irradiation bell at her aufzusetzenden edge
- HH
- Höhe der BestrahlungsglockeHeight of the radiation bell
- d1 d 1
- Abstand der Partikelstrahlungsquelle von einer Ebene des aufzusetzenden RandesDistance of the particle radiation source from a plane of the aufzusetzenden edge
- d2 d 2
- Abstand der Partikelstrahlungsquelle vom elektronischen BauelementDistance of the particle radiation source from the electronic component
Claims (13)
Priority Applications (2)
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---|---|---|---|
DE102017123288.5A DE102017123288B4 (en) | 2017-10-06 | 2017-10-06 | Apparatus and method for testing electronic components |
CH00993/18A CH714238B1 (en) | 2017-10-06 | 2018-08-15 | Device and method for testing electronic components. |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
DE102017123288.5A DE102017123288B4 (en) | 2017-10-06 | 2017-10-06 | Apparatus and method for testing electronic components |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102017123288A1 DE102017123288A1 (en) | 2019-04-11 |
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ID=65817146
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102017123288.5A Active DE102017123288B4 (en) | 2017-10-06 | 2017-10-06 | Apparatus and method for testing electronic components |
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DE (1) | DE102017123288B4 (en) |
Citations (2)
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DE102011087955A1 (en) * | 2010-12-09 | 2012-06-14 | Honda Motor Co., Ltd. | Scanning electron microscope |
-
2017
- 2017-10-06 DE DE102017123288.5A patent/DE102017123288B4/en active Active
-
2018
- 2018-08-15 CH CH00993/18A patent/CH714238B1/en unknown
Patent Citations (2)
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Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
„subatomic particle", URL: https://www.thefreedictionary.com/Nuclear+particles, abgerufen am 26.02.2019 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102017123288A1 (en) | 2019-04-11 |
CH714238B1 (en) | 2022-01-14 |
CH714238A2 (en) | 2019-04-15 |
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