DE102017103946A1

DE102017103946A1 - Gas cleaning for an inert gas housing

Info

Publication number: DE102017103946A1
Application number: DE102017103946.5A
Authority: DE
Inventors: Thomas Bultmann; Gerhard Spreitzer; Hermann Josef Weissacher; Christian Rübekohl
Original assignee: M Braun Inertgas Systeme GmbH
Current assignee: M Braun Inertgas Systeme GmbH
Priority date: 2017-02-24
Filing date: 2017-02-24
Publication date: 2018-08-30
Also published as: CN108778465A; WO2018153502A1; CN108778465B

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Gasreinigung für ein Inertgasgehäuse mit einem Grundmodul (10) und zumindest einem Erweiterungsmodul (60), wobei sowohl im Grundmodul (10) als auch im Erweiterungsmodul (60) jeweils zumindest ein Reaktor (15.1, 15.2) zur Reinigung eines vom Inertgas-Gehäuse kommenden Gasstroms angeordnet ist, und wobei der wenigstens eine Reaktor (15.1,15.2) des Grundmoduls (10) mit dem zumindest einen Reaktor (15.1,15.2) des Erweiterungsmoduls (60) über Gaszuleitungen (11) und Gasableitungen (19) zueinander parallel und/oder in Reihe geschaltet sind.Eine solche Gasreinigung ist auf einfache Weise an eine bauliche Veränderung des Inertgasgehäuses anpassbar.The invention relates to a gas purification for an inert gas housing with a base module (10) and at least one expansion module (60), wherein both in the base module (10) and in the expansion module (60) each have at least one reactor (15.1, 15.2) for cleaning one of the inert gas The at least one reactor (15.1,15.2) of the basic module (10) with the at least one reactor (15.1,15.2) of the expansion module (60) via gas supply lines (11) and gas discharges (19) parallel to each other and / or are connected in series. Such a gas cleaning is easily adaptable to a structural change of the inert gas housing.

Description

Inertgasgehäuse dienen in industriellen Fertigungsprozessen zur Herstellung hochwertiger Produkte in geschützter Atmosphäre. Solche Inertgasgehäuse umschließen einen Aufnahmeraum, unter Berücksichtigung zulässiger Leckagen, gasdicht. In den Aufnahmeraum kann das gewünschte Inertgas, beispielsweise Stickstoff oder Argon, eingeleitet werden. Nachdem der Arbeitsraum komplett mit dem Inertgas befüllt ist und entsprechend Umgebungsluft aus diesem evakuiert wurde, steht er zu Fertigungszwecken bereit. Während des Produktionsprozesses entstehen Verunreinigungen des Inertgases. Beispielsweise können aufgrund chemischer Reaktionen H2O bzw. Sauerstoff entstehen. Bei bestimmten Fertigungsprozessen werden auch Lösungsmittel in den Aufnahmeraum eingebracht. Weiterhin ist es denkbar, dass Staubpartikel entstehen. Damit diese Stoffe das Ergebnis des Fertigungsprozesses nicht negativ beeinflussen, müssen sie aus dem Inertgas herausgereinigt werden. Hierzu wird eine Gasreinigung zur Verfügung gestellt. Die Gasreinigung ist meist außerhalb des Aufnahmeraums angeordnet und steht über eine Gasableitung und eine Gaszuleitung mit dem Aufnahmeraum in Verbindung. Über die Gasableitung wird Gas aus dem Aufnahmeraum heraustransportiert und in die Gasreinigung hineinbewegt. In den Reaktoren der Gasreinigung werden dann die unerwünschten Stoffe herausgereinigt. Das gereinigte Inertgas wird dann wieder über die Gaszuleitung in den Aufnahmeraum hineintransportiert.Inert gas housings are used in industrial manufacturing processes for the production of high quality products in a protected atmosphere. Such inert gas encloses a receiving space, taking into account permissible leaks, gas-tight. The desired inert gas, for example nitrogen or argon, can be introduced into the receiving space. After the working space is completely filled with the inert gas and according to ambient air was evacuated from this, he is ready for manufacturing purposes. During the production process impurities of the inert gas arise. For example, due to chemical reactions, H2O or oxygen can form. In certain manufacturing processes, solvents are also introduced into the receiving space. Furthermore, it is conceivable that dust particles arise. To ensure that these substances do not adversely affect the outcome of the manufacturing process, they must be removed from the inert gas. For this purpose, a gas cleaning is provided. The gas cleaning is usually arranged outside the receiving space and is connected via a gas discharge and a gas supply line with the receiving space in connection. Via the gas discharge gas is transported out of the receiving space and moved into the gas cleaning. In the gas purification reactors, the unwanted substances are then removed. The purified inert gas is then transported back into the receiving space via the gas supply line.

Solche Systeme sind bekannt. Die Gasreinigung ist ausreichend groß dimensioniert, dass eine zuverlässige Reinigung des Inertgas-Volumens, welches im Aufnahmeraum gehalten ist, gesäubert werden kann. Nun kann es vorkommen, dass die Produktionsanlage eine räumliche Erweiterung des Aufnahmeraums erfordert. In diesem Fall muss auch die Gasreinigung in ihrer Kapazität angepasst werden. Entsprechend wird die bestehende Gasreinigung demontiert und eine neue, entsprechend größer dimensionierte Gasreinigung installiert.Such systems are known. The gas cleaning is sufficiently large that a reliable cleaning of the inert gas volume, which is held in the receiving space, can be cleaned. Now it may happen that the production plant requires a spatial extension of the receiving space. In this case, the gas purification must be adjusted in their capacity. Accordingly, the existing gas cleaning is dismantled and installed a new, correspondingly larger-sized gas cleaning.

Bei dieser Vorgehensweise entstehen erhebliche Kosten für die Umrüstung der Gasreinigung.This procedure results in considerable costs for the conversion of the gas cleaning.

Es ist Aufgabe der Erfindung, eine Gasreinigung bereitzustellen, die kostengünstig und auf einfache Weise an eine Erweiterung des Inertgasgehäuses angepasst werden kann.It is an object of the invention to provide a gas cleaning, which can be inexpensively and easily adapted to an extension of the inert gas housing.

Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. Dementsprechend wird eine Gasreinigung für ein Inertgasgehäuse mit einem Grundmodul und zumindest einem Erweiterungsmodul vorgeschlagen, wobei sowohl im Grundmodul als auch im Erweiterungsmodul jeweils zumindest ein Reaktor zur Reinigung eines vom Inertgasgehäuse kommenden Gasstroms angeordnet ist, und wobei der wenigstens eine Reaktor des Grundmoduls mit dem zumindest einen Reaktor des Erweiterungsmoduls über Gaszuleitungen und Gasableitungen zueinander parallel oder in Reihe geschaltet sind.This object is achieved with the features of claim 1. Accordingly, a gas cleaning for an inert gas housing with a base module and at least one expansion module is proposed, wherein in each case at least one reactor for purifying a gas stream coming from the inert gas is arranged both in the base module and in the expansion module, and wherein the at least one reactor of the basic module with the at least one Reactor of the expansion module via gas supply lines and gas discharge lines are connected in parallel or in series.

Erfindungsgemäß wird mithin ein Bausatz zur Verfügung gestellt. Dabei bildet das Grundmodul eine Basiseinheit, die mit einer bestimmten Reinigungskapazität ausgestattet ist. Wenn diese Reinigungskapazität für die anstehende Reinigungsaufgabe nicht ausreicht, so können mit dem Grundmodul ein oder mehrere Erweiterungsmodule kombiniert werden. Beispielsweise lassen sich erfindungsgemäß dabei die Reaktoren des Grundmoduls und des oder der Erweiterungsmodule parallel schalten. Auf diese Weise wird die gesamte zur Verfügung stehende Reinigungskapazität erhöht. Zusätzlich oder alternativ kann auch eine Anpassung an die anstehende oder geänderte Reinigungsaufgabe vorgenommen werden. Wenn beispielsweise in einer bestehenden Anlage zunächst Lösungsmittel frei gearbeitet wurde und dann ein lösungsmittelgebundener Fertigungsprozess installiert wird, so lässt sich die erfindungsgemäße Gasreinigung auch hier auf einfache Weise anpassen. In diesem Fall wird eine serielle Durchströmung der Reaktoren im Grundmodul und einem Erweiterungsmodul oder zwischen den Erweiterungsmodulen vorgenommen. Dabei wird zunächst das Lösungsmittel in einem 1. Reaktor ausgereinigt. Anschließend können beispielsweise Wasser und Sauerstoff in einem 2. Reaktor herausgereinigt werden.According to the invention, therefore, a kit is provided. The basic module forms a base unit, which is equipped with a specific cleaning capacity. If this cleaning capacity is not sufficient for the upcoming cleaning task, one or more expansion modules can be combined with the basic module. For example, according to the invention, the reactors of the basic module and of the expansion module or modules can be connected in parallel. In this way, the total available cleaning capacity is increased. Additionally or alternatively, an adaptation to the pending or modified cleaning task can be made. If, for example, solvent was first worked freely in an existing plant and then a solvent-bound production process is installed, the gas purification according to the invention can also be adapted here in a simple manner. In this case, a serial flow through the reactors in the base module and an expansion module or between the expansion modules is made. First, the solvent is purified in a 1st reactor. Subsequently, for example, water and oxygen can be cleaned out in a second reactor.

Die Verbindung der Gaszuleitungen und -Ableitungen des Grundmoduls und des oder der Erweiterungsmodule erfolgt vorzugsweise über lösbare Kupplungen, beispielsweise über schraubbare Flanschverbindungen. Auf diese Weise lässt sich eine schnelle Umrüstung der Anlage vornehmen, ohne dass dabei aufwändige Brenn- und Schweißaufgaben erforderlich sind.The connection of the gas supply lines and leads of the basic module and the expansion module or modules is preferably via detachable couplings, for example via screw-flange connections. In this way, a quick retrofitting of the system can be made without consuming burning and welding tasks are required.

Das Grundmodul und das oder die Erweiterungsmodule sind vorzugsweise als separat handhabbare Gehäuseeinheiten ausgebildet. Auf diese Weise gelingt die Installation der Anlage auf einfache Weise. Insbesondere können sowohl das Grundmodul, als auch die Erweiterungsmodule vorgefertigte Einheiten bilden, die direkt an den gewünschten Aufstellort gebracht werden können. Dort müssen lediglich noch die Rohrverbindungen zwischen den einzelnen Modulen und gegebenenfalls die elektrische Verbindung hergestellt werden.The basic module and the expansion module (s) are preferably designed as housing units which can be handled separately. In this way, the installation of the system succeeds in a simple manner. In particular, both the basic module and the expansion modules can form prefabricated units that can be brought directly to the desired installation location. There, only the pipe connections between the individual modules and optionally the electrical connection must be made.

Insbesondere kann es hierzu, gemäß einer Variante der Erfindung, vorgesehen sein, dass die Gaszuleitungen und die Gasableitungen des Grundmoduls und des oder der Erweiterungsmodule Anschlüsse aufweisen, mittels denen die Gaszuleitungen und/oder die Gasableitungen des Grundmoduls und des Erweiterungsmoduls koppelbar sind, und/oder die Gaszuleitungen und/oder die Gasableitungen der Erweiterungsmodule koppelbar sind.In particular, according to a variant of the invention, it may be provided for this purpose that the gas supply lines and the gas outlets of the basic module and of the expansion module or modules have connections by means of which the Gas supply lines and / or the gas discharges of the basic module and the expansion module can be coupled, and / or the gas supply lines and / or the gas discharges of the extension modules can be coupled.

Wenn vorgesehen ist, dass das Grundmodul und/oder das oder die Erweiterungsmodule ein Rahmengestell aufweist, das aus Vertikalprofilen und Horizontalprofilen zusammengesetzt ist, und wobei zumindest ein Teil der Seiten des Rahmengestells mittels Verkleidungsteilen verschlossen oder verschließbar sind, dann wird eine kostengünstige und einfach aufgebaute Konstruktionen für das Grundmodul bzw. die Erweiterungsmodule geboten. Bei abgenommen Verkleidungsteilen ist das Rahmengestell zu Wartungs- oder Installationszwecken gut zugänglich. An den Vertikal- und Horizontalprofilen können die einzelnen Komponenten der Anlagen zuverlässig befestigt werden.If it is provided that the base module and / or the expansion module or modules has a frame composed of vertical profiles and horizontal profiles, and wherein at least a part of the sides of the frame are closed or closable by means of trim parts, then a cost and simply constructed constructions offered for the basic module or expansion modules. When the trim parts have been removed, the frame is easily accessible for maintenance or installation purposes. The individual components of the systems can be reliably fastened to the vertical and horizontal profiles.

Eine mögliche Erfindungsvariante ist dergestalt, dass das Grundmodul eine Anreihseite bildet, an der das Erweiterungsmodul mit einer Anreihseite anbaubar ist, und/oder dass das Erweiterungsmodul an gegenüberliegenden Seiten Anreihseiten bildet, zur Anreihung weiterer Erweiterungsmodule. Auf diese Weise können die einzelnen Module platzsparend in einer Reihe aneinander gestellt werden. Über die Anreihseiten können elektrische und/oder Fluid transportieren Verbindungsleitungen geschützt und auf kurzem Weg zwischen den Modulen geführt werden.A possible variant of the invention is such that the basic module forms a baying side, on which the expansion module can be attached with a baying side, and / or that the expansion module forms baying sides on opposite sides, for further expansion modules. In this way, the individual modules can be placed together to save space in a row. Electrical and / or fluid transporting connection lines can be protected via the attachment sides and routed between the modules over a short distance.

Um die Parallelschaltungen der Reaktoren des Grundmoduls und/oder des oder der Erweiterungsmodule auf einfache Weise mit geringem Verrohrungsaufwand verwirklichen zu können, sieht eine Variante der Erfindung vor, dass von der Gaszuleitung des Grundmoduls und/oder zumindest eines Erweiterungsmoduls eine Zweigleitung abführt, die mittelbar oder unmittelbar zum Reaktor führt. Wenn hierbei zusätzlich vorgesehen ist, dass zwischen der Zweigleitung und dem Reaktor ein Filter angeordnet ist, dann können Partikel aus dem Volumenstrom, welcher vom Inertgasgehäuse kommt, entfernt werden.In order to be able to realize the parallel connections of the reactors of the basic module and / or of the extension module or modules in a simple manner with little piping expenditure, a variant of the invention provides that a branch line discharges from the gas supply line of the basic module and / or at least one expansion module indirectly or indirectly leads directly to the reactor. If it is additionally provided in this case that a filter is arranged between the branch line and the reactor, then particles can be removed from the volume flow which comes from the inert gas housing.

Für eine verbesserte Betriebssicherheit und einfache Steuerung der Anlage kann es vorgesehen sein, dass zumindest das Grundmodul und/oder ein Erweiterungsmodul eine Messeinheit aufweist, welche einen Sauerstoffsensor, einen Volumenstromsensor und/oder einen Feuchtigkeitssensor aufweist, zur Messung des Gasstroms in Strömungsrichtung vor dem Reaktor. Besonders bevorzugt wird das Meßsignal der Messeinheit einer zentralen Steuerung zugeleitet, die dieses auswertet. Abhängig vom Auswertergebnis können dann gezielt von der Steuerung gezielt einzelne Komponenten des Grundmoduls und der Erweiterungsmodule angesteuert werden. Es ist dann in diesem Fall nicht zwingend notwendig, dass jedem Grundmodul und jedem Erweiterungsmodul eine Messeinheit zugeordnet ist. Vielmehr macht man sich die Erkenntnis zu Nutze, dass bereits eine repräsentative Aussage getroffen werden kann, wenn beispielsweise nur im Grundmodul oder nur in einem Erweiterungsmodul eine Messeinheit angeordnet ist. Selbstverständlich können bei größeren Anlagenkonfigurationen auch nicht alle, aber mehrere Erweiterungsmodule eine Messeinheit aufweisen.For improved operational safety and simple control of the system, it can be provided that at least the base module and / or an expansion module has a measuring unit which has an oxygen sensor, a volumetric flow sensor and / or a moisture sensor for measuring the gas flow upstream of the reactor. Particularly preferably, the measuring signal of the measuring unit is fed to a central control, which evaluates this. Depending on the evaluation result, specific individual components of the basic module and the expansion modules can then be selectively controlled by the controller. In this case, it is not absolutely necessary for each basic module and each expansion module to be assigned a measuring unit. Rather, one makes use of the knowledge that a representative statement can already be made if, for example, a measuring unit is arranged only in the basic module or only in an expansion module. Of course, not all, but several extension modules may have a measuring unit in larger system configurations.

Um einen möglichst unterbrechungsfreien Anlagenbetrieb garantieren zu können, kann es vorgesehen sein, dass das Grundmodul und/oder zumindest ein Erweiterungsmodul zwei Reaktoren aufweist, und dass mittels einer Stelleinheit wahlweise einer der beiden Reaktoren in strömungsleitende Verbindung mit der Gaszuleitung und der Gasableitung schaltbar ist. Damit können die Reaktoren wechselweise gefahren werden. Wenn ein Reaktor im Reinigungsbetrieb steht, kann der andere Reaktor regeneriert oder getauscht werden.In order to be able to guarantee interruption-free system operation, provision may be made for the basic module and / or at least one expansion module to have two reactors, and for one of the two reactors to be selectively switchable into flow-conducting connection with the gas supply line and the gas discharge line by means of an actuating unit. Thus, the reactors can be driven alternately. When one reactor is in the purification mode, the other reactor can be regenerated or replaced.

Eine mögliche Erfindungsvariante sieht vor, dass dem Grundmodul und/oder wenigstens einem Erweiterungsmodul ein Gebläse zugeordnet ist, zur Förderung des Gasstroms durch den Reaktor. Dementsprechend kann beispielsweise die Anlagenkonstruktion so sein, dass dem Grundmodul und jedem Erweiterungsmodul ein Gebläse zugeordnet ist. Dies führt zu einer hohen Betriebssicherheit. Denkbar ist es auch, dass nicht allen Modulen ein Gebläse zugeordnet ist, sondern dass sich zwei oder mehrere Module ein Gebläse teilen, wobei dann dieses Gebläse entweder dem Grundmodul oder dem Erweiterungsmodul zugeordnet ist.A possible variant of the invention provides that a fan is assigned to the basic module and / or at least one expansion module for conveying the gas flow through the reactor. Accordingly, for example, the plant construction may be such that a fan is associated with the base module and each expansion module. This leads to a high level of operational safety. It is also conceivable that not all modules a fan is assigned, but that two or more modules share a fan, in which case this fan is assigned to either the basic module or the expansion module.

Eine mögliche Ausgestaltungsvariante der Erfindung kann dadurch gekennzeichnet sein, dass der oder die Reaktoren im Grundmodul und oder in wenigstens einem Erweiterungsmodul ausgebildet ist, zum zumindest teilweisen Entfernen von Sauerstoff und/oder Wasser aus dem Gasstrom oder zum zumindest teilweisen Entfernen von Lösungsmittel aus dem Gasstrom. Es hat sich gezeigt, dass es für die Übersichtlichkeit der Anlage vorteilhaft ist, wenn ein Modul mit Reaktoren zur Sauerstoff- und H2O-Reinigung ausgeführt ist. Ein weiteres Modul, beispielsweise das Grundmodul oder das Erweiterungsmodul, kann mit einem oder mehreren Reaktoren zum Entfernen von Lösungsmittel ausgestattet sein. Damit entsteht ein Bausatz, bei dem die nach anstehender Reinigungsaufgabe ein oder mehrere „Lösungsmittel-Reinigungsmodule“ berücksichtigt werden müssen oder ob alleine „H2O/O2- Reinigungsmodule“ Verwendung finden können.A possible embodiment variant of the invention may be characterized in that the reactor (s) is / are formed in the base module and / or in at least one expansion module for at least partial removal of oxygen and / or water from the gas stream or for at least partial removal of solvent from the gas stream. It has been shown that it is advantageous for the clarity of the system when a module is designed with reactors for oxygen and H2O cleaning. Another module, such as the base module or the expansion module, may be equipped with one or more solvent removal reactors. The result is a kit in which after cleaning task one or more "solvent cleaning modules" must be considered or whether alone "H2O / O2 cleaning modules" can be used.

Wenn vorgesehen ist, dass das Grundmodul und zumindest ein Erweiterungsmodul jeweils eine Abgasleitung aufweist, die an den Reaktor angeschlossen ist und über die die im Reaktor abgereinigten Stoffe (zum Beispiel O₂, H₂O, Lösungsmittel) aus dem Reaktor abgeführt werden, und dass die Abgasleitungen des Grundmoduls und des oder der Erweiterungsmodule über Schnittstellen aneinandergeschlossen sind, zur gesammelten Abfuhr der Stoffe, dann ist eine weiter vereinfachte Anlagenkonstruktion erreichbar. Insbesondere kann es hierbei auch vorgesehen sein, dass die Abgasleitungen dann über die oben erwähnten Anreihseiten zwischen den Modulen geführt sind.If it is provided that the basic module and at least one expansion module respectively has an exhaust pipe, which is connected to the reactor and via which the substances purified in the reactor (for example, O ₂ , H ₂ O, solvent) are discharged from the reactor, and that the exhaust pipes of the basic module and the expansion module or connected via interfaces are to collect the collected material, then a further simplified system construction can be achieved. In particular, it can also be provided that the exhaust pipes are then guided over the above-mentioned Anreihseiten between the modules.

Eine mögliche Erfindungsvariante kann dergestalt sein, dass im Grundmodul oder einem Erweiterungsmodul eine Pumpe angeordnet ist, mittels dem die Reaktoren des Grundmoduls und des zumindest einen mittelbar oder unmittelbar angeschlossenen Erweiterungsmoduls evakuierbar sind. Dann muss nicht jedem Modul eine Pumpe zugeordnet werden, was ebenfalls den Anlagenaufwand reduziert.A possible variant of the invention may be such that a pump is arranged in the basic module or an expansion module, by means of which the reactors of the basic module and of the at least one indirectly or directly connected expansion module can be evacuated. Then you do not have to assign a pump to each module, which also reduces the investment costs.

Eine einfache und zentrale Steuerung der erfindungsgemäßen Gasreinigung gelingt auf einfache Weise dadurch, dass dem Grundmodul eine Steuerungseinheit zugeordnet ist, die eine zentrale Recheneinheit aufweist, wobei von der Steuerungseinheit Signalleitungen, insbesondere ein Signal-Bus zu elektrischen Einheiten des Grundmoduls und des oder der Erweiterungsmodule geführt sind. Dabei kann die Steuerungseinheit beispielsweise in Form eines Gehäuses an dem Grundmodul angebaut sein.A simple and central control of the gas cleaning according to the invention is achieved in a simple manner by assigning a control unit to the basic module, which has a central processing unit, wherein the control unit carries signal lines, in particular a signal bus, to electrical units of the basic module and of the expansion module or modules are. In this case, the control unit can be mounted, for example in the form of a housing on the base module.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand von in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:

1 in perspektivischer Seitenansicht ein Grundmodul einer Gasreinigung,
2 eine Gasreinigung mit einem Grundmodul und einem daran angeschlossenen Erweiterungsmodul,
3 die Darstellung gemäß 1, jedoch mit vom Grundmodul abgenommenen Verkleidungsteilen,
4 das Grundmodul gemäß den 1 und 3 in Ansicht von oben,
5 eine weitere Ausgestaltung einer Gasreinigung mit einem Grundmodul und fünf angeschlossenen Erweiterungsmodulen,
6 die Gasreinigung gemäß 5, wobei jedoch die Verkleidungsteile des Grundmoduls und der Erweiterungsmodule abgenommen sind,
7 ein Flussbild für die Gasreinigung gemäß 5 und 6 und
8 ein weiteres Flussbild für eine erfindungsgemäße Gasreinigung.

The invention will be explained in more detail below with reference to exemplary embodiments illustrated in the drawings. Show it:

1 in perspective side view a basic module of a gas purification,
2 a gas cleaning with a basic module and a connected extension module,
3 the representation according to 1 , but with trim parts removed from the base module,
4 the basic module according to the 1 and 3 in top view,
5 Another embodiment of a gas cleaning with a basic module and five connected expansion modules,
6 the gas cleaning according to 5 but with the trim parts of the base module and the expansion modules removed,
7 a flow chart for gas purification according to 5 and 6 and
8th another flow diagram for a gas cleaning according to the invention.

1 zeigt ein Grundmodul 10 einer Gasreinigung. Dieses Grundmodul 10 weist ein Rahmengestell 20 auf. Das Rahmengestell 20 ist aus vier Vertikalprofilen 21 und 8 Horizontalprofilen zusammengesetzt. Die Horizontalprofile bilden dabei Tiefenstreben 22 und Breitenstrebe 23. Im unteren Eckbereich des Rahmengestells 20 sind Verstellfüße 24 angebracht. Die vertikalen Seiten des Rahmengestells 20 können mit Seitenwänden 26 verkleidet werden. Die obere Seite des Rahmengestells ist mit einer Deckwand 25 verschließbar. Sowohl die Deckwand 25 als auch die Seitenwände 26 können zu Wartungszwecken oder zu Montagezwecken abgebaut werden. Dies ist in 3 veranschaulicht. An eine Seite des Grundmoduls 10 kann eine Steuerungseinheit 30 angebaut werden. Die Steuerungseinheit 30 weist ein Gehäuse 31 auf. Dieses kann beispielsweise mit einer oder mehreren Türen 32 ausgestattet sein, um den Innenraum des Gehäuses 31 zugänglich zu machen. In der Steuerungseinheit 30 ist unter anderem eine zentrale Recheneinheit untergebracht. 1 shows a basic module 10 a gas cleaning. This basic module 10 has a frame 20 on. The frame 20 is made of four vertical profiles 21 and 8 horizontal profiles assembled. The horizontal profiles form depth struts 22 and latitudinal strut 23 , In the lower corner of the frame 20 are adjustable feet 24 appropriate. The vertical sides of the frame 20 can with side walls 26 be disguised. The upper side of the frame is with a top wall 25 closable. Both the top wall 25 as well as the side walls 26 can be removed for maintenance or assembly purposes. This is in 3 illustrated. To one side of the basic module 10 can be a control unit 30 be grown. The control unit 30 has a housing 31 on. This can, for example, with one or more doors 32 be equipped to make the interior of the housing 31 accessible. In the control unit 30 Among other things, a central processing unit is housed.

2 zeigt das Grundmodul 10 gemäß 1. An das Grundmodul 10 ist ein Erweiterungsmodul 60 angebaut. Das Erweiterungsmodul 60 kann ebenso wie das Grundmodul 10 ein Rahmengestell 20 aufweisen. Wie die Zeichnung zeigt, weist das Grundmodul 10 eine Anreihseite auf. Das Erweiterungsmodul 60 ist auf gegenüberliegenden Seiten mit jeweils einer Anreihseite ausgestattet. Das Grundmodul 10 und das Erweiterungsmodul 60 sind im Bereich ihrer Anreihseiten aneinandergereiht. Vorzugsweise sind die Rahmengestelle 20 im Bereich der Anreihseiten bezüglich ihrer dortigen Vertikalprofile 21, sowie der Tiefenstreben 22 identisch ausgebildet. Auf diese Weise ergibt sich eine einheitliche Schnittstelle, die bedarfsweise auch einfach abgedichtet werden kann. Besonders bevorzugt sind gleiche Rahmengestelle 20 und identische Seitenwände 26 bzw. Deckwände 25 verwendet. 2 shows the basic module 10 according to 1 , To the basic module 10 is an extension module 60 grown. The expansion module 60 can as well as the basic module 10 a frame 20 exhibit. As the drawing shows, the basic module points 10 an Anreihseite on. The expansion module 60 is equipped on opposite sides with one bay side each. The basic module 10 and the expansion module 60 are strung together in the area of their Anreihseiten. Preferably, the frame racks 20 in the area of the Anreihseiten with respect to their local vertical profiles 21 , as well as the depth struts 22 identically formed. This results in a uniform interface, which can also be easily sealed if necessary. Particularly preferred are the same frame racks 20 and identical sidewalls 26 or cover walls 25 used.

Im Ausführungsbeispiel gemäß 2 ist mit dem Grundmodul 10 nur ein Erweiterungsmodul 60 verbaut. Dieses Erweiterungsmodul 60 bildet damit gleichzeitig das Abschlussmodul 70.In the embodiment according to 2 is with the basic module 10 only one expansion module 60 installed. This expansion module 60 at the same time forms the final module 70 ,

In den 3 und 4 ist das Grundmodul 10 näher detailliert, wobei zur besseren Übersichtlichkeit die Seitenwände 26 und die Deckwand 25 abgenommen sind. Wie die Darstellung zeigt, weist das Grundmodul 10 eine Gaszuleitung 11 und eine Gasableitung 19 auf. Diese beiden Leitungen können im Deckenbereich des Grundmoduls 10 geführt sein. Die Gaszuleitung 11 weist im Bereich der Anreihseite einen Anschluss 11.1 auf. Dieser Anschluss 11.1 liegt innerhalb des von den beiden Vertikalprofilen 21 und den Tiefenstreben 22 umschlossenen Bereichs des Rahmengestells 20. Von der Gaszuleitung 11 zweigt eine Zweigleitung 11.2 ab. Die Zweigleitung 11.2 führt zu einem Filter 12, der als Partikelfilter ausgebildet ist. Der Filter 12 ist in 3 aus Gründen der besseren Übersichtlichkeit nicht gezeigt, jedoch in 4 deutlich erkennbar. Der Filter 12 geht in eine Rohrstrecke über, die als Messeinheit 13 ausgebildet ist. Dementsprechend weist die Messeinheit 13 einen Sauerstoffsensor 13.1 auf. Denkbar ist auch die Verwendung von zwei oder mehreren Sauerstoffsensoren 13.1. Insbesondere kann beispielsweise ein Sauerstoffsensor 13.1 verwendet sein, der einen ppm-Messbereich aufweist. Denkbar ist auch die Verwendung eines Sauerstoffsensors 13.1, der einen Prozent-Messbereich aufweist. Besonders vorteilhaft ist die Verwendung eines Sauerstoffsensors 13.1, der im ppm-Bereich misst und eines weiteren Sauerstoffsensors 13.1 mit einem Prozent-Messbereich. Hier kann dann der jeweils passende Sensor, abhängig von dem Betriebszustand der Gasreinigung, Verwendung finden. Im Inertgas-Umwälzbetrieb wird regelmäßig der ppm-Sauerstoffsensor 13.1 überprüft. Wenn beispielsweise zu Wartungszwecken eine Spülung des Inertgasgehäuses mit Atemluft vorgenommen wird, so wird der Sauerstoffsensor 13.1 mit einem Prozent-Messbereich zu Überwachungszwecken herangezogen. Weiterhin kann ein Volumenstromsensor 13.2 und/oder ein Feuchtesensor 13.3 vorgesehen sein. An die Messeinheit 13 ist ein Verteiler 14 angeschlossen. Der Verteiler 14 schafft eine räumliche Verbindung zwischen der Rohrstrecke der Messeinheit 13 und zwei Reaktoren 15.1,15.2. Den Reaktoren 15.1, 15. 2 ist jeweils ein Ventil im Anschluss an den Verteiler 14 zugeordnet. Dieses Ventil kann wahlweise geöffnet oder geschlossen werden. Dementsprechend kann wahlweise einer der beiden Reaktoren 15.1,15.2 in räumlicher Verbindung mit der Gaszuleitung 11 gebracht werden. Von den beiden Reaktoren 15.1,15.2 geht eine Gebläsezufuhr 16 ab. Diese ist zu einem Gebläse 17 geführt. Im Anschluss an das Gebläse 17 ist ein Kühler 17.1 vorgesehen. An den Kühler 17.1 ist eine Kühlmittelzufuhr 17.2 und eine Kühlmittelabfuhr 17.3 angeschlossen. Im Anschluss an das Gebläse 17 ist eine Gebläseableitung 17.4 vorgesehen, die in eine Anschlussleitung 18 mündet. In die Anschlussleitungen 18 ist ein Filter 18.1 integriert, der ebenfalls als Partikelfilter ausgebildet ist. Von dem Filter 18.1 geht eine Verbindungsleitung 18.2 ab, die zu der Gasableitung 19 geführt ist. Die Gasableitung 19 weist ebenso wie die Gaszuleitung 11 einen Anschluss 19.1 auf, der im Bereich der Anreihseite des Rahmengestells 20 gehalten ist.In the 3 and 4 is the basic module 10 in more detail, with the sidewalls for clarity 26 and the top wall 25 are removed. As the illustration shows, the basic module points 10 a gas supply line 11 and a gas discharge 19 on. These two cables can be used in the ceiling area of the basic module 10 be guided. The gas supply 11 has a connection in the area of the baying side 11.1 on. This connection 11.1 lies within of the two vertical profiles 21 and the depth struts 22 enclosed area of the frame 20 , From the gas supply 11 branches a branch line 11.2 from. The branch line 11.2 leads to a filter 12 , which is designed as a particle filter. The filter 12 is in 3 not shown for reasons of clarity, however 4 clearly. The filter 12 goes into a pipe section, which serves as a measuring unit 13 is trained. Accordingly, the measuring unit 13 an oxygen sensor 13.1 on. It is also conceivable to use two or more oxygen sensors 13.1 , In particular, for example, an oxygen sensor 13.1 be used, which has a ppm measuring range. Also conceivable is the use of an oxygen sensor 13.1 which has a percent measurement range. Particularly advantageous is the use of an oxygen sensor 13.1 which measures in the ppm range and another oxygen sensor 13.1 with one percent measuring range. Here then the respectively suitable sensor, depending on the operating state of the gas cleaning, can be used. In inert gas recirculation mode, the ppm oxygen sensor 13.1 is regularly checked. If, for example, a purge of the inert gas housing with breathing air is carried out for maintenance purposes, then the oxygen sensor 13.1 used with a percentage measuring range for monitoring purposes. Furthermore, a volumetric flow sensor 13.2 and / or a humidity sensor 13.3 be provided. To the measuring unit 13 is a distributor 14 connected. The distributor 14 creates a spatial connection between the pipe section of the measuring unit 13 and two reactors 15.1 15.2. The reactors 15.1 , 15. 2 is in each case a valve following the distributor 14 assigned. This valve can be opened or closed as desired. Accordingly, either one of the two reactors 15.1 , 15.2 in spatial connection with the gas supply line 11 to be brought. From the two reactors 15.1 , 15.2 is a fan feed 16 from. This is a fan 17 guided. Following the blower 17 is a cooler 17.1 intended. To the radiator 17.1 is a coolant supply 17.2 and a coolant discharge 17.3 connected. Following the blower 17 is a blower discharge 17.4 provided in a connecting cable 18 empties. In the connecting cables 18 is a filter 18.1 integrated, which is also designed as a particle filter. From the filter 18.1 goes a connection line 18.2 that leads to the gas discharge 19 is guided. The gas discharge 19 has as well as the gas supply line 11 a connection 19.1 on, in the area of the Anreihseite the frame 20 is held.

Die Steuerung des Grundmoduls 10 erfolgt über die Steuerungseinheit 30. Dementsprechend sind von der Steuerungseinheit 30 Signalleitungen, beispielsweise ein Signal-Bus aus der Steuerungseinheit 30 zum Grundmodul 10 geleitet. Weiterhin kann es vorgesehen sein, dass die Spannungsversorgung des Grundmoduls 10 unmittelbar über die Steuerungseinheit 30 vorgenommen wird. Denkbar ist es auch, dass eine eigene Spannungsversorgung im Grundmodul 10 integriert ist. Diese Spannungsversorgung wird dann vorzugsweise von einer Spannungsversorgung der Steuerungseinheit 30 gespeist. Auf diese Weise muss keine separate Leitung zu dem Grundmodul 10 für die Spannungsversorgung außerhalb des Grundmoduls 10 gelegt werden. Vielmehr kann diese von der Steuerungseinheit 30 direkt in den von dem Rahmengestell 20 umschlossenen Bereich geführt werden.The control of the basic module 10 via the control unit 30 , Accordingly, from the control unit 30 Signal lines, such as a signal bus from the control unit 30 to the basic module 10 directed. Furthermore, it can be provided that the power supply of the basic module 10 directly via the control unit 30 is made. It is also conceivable that a separate power supply in the base module 10 is integrated. This power supply is then preferably from a power supply of the control unit 30 fed. In this way, no separate line to the base module 10 for the voltage supply outside the basic module 10 be placed. Rather, this can be done by the control unit 30 directly into the frame 20 enclosed area.

Figur 3 lässt weiter erkennen, dass eine Pumpe 80 im Grundmodul 10 integriert ist. Diese Pumpe 80 dient zum Evakuieren der Reaktoren 15.1, 15.2, wie dies später näher erläutert wird. Weiterhin kann die Pumpe 80 auch zur Druckregelung des Inertgasgehäuses eingesetzt werdenfigure 3 lets further realize that a pump 80 in the basic module 10 is integrated. This pump 80 serves to evacuate the reactors 15.1 . 15.2 , as will be explained later. Furthermore, the pump 80 also be used for pressure control of the inert gas housing

Die Erweiterungsmodule 60 können in weiten Bereichen ähnlich aufgebaut sein, wie das Grundmodul 10. Dies ist in den Figuren 5 und 6 näher veranschaulicht. Nachstehend soll daher nur auf die Unterschiede zwischen dem Grundmodul 10 und den Erweiterungsmodulen 60 eingegangen werden Die Erweiterungsmodule 60 weisen ebenfalls eine Gaszuleitung 11 und eine Gasableitung 19 auf. Die Gaszuleitung 11 und die Gasableitung 19 weisen an den gegenüberliegenden Anreihseiten des Erweiterungsmoduls 60 Anschlüsse 11.1, 19.1 auf. Über die Anschlüsse 11.1, 19.1 kann auf beiden Seiten des Erweiterungsmoduls 60 eine Rohrleitungsverbindung entweder zu der Gaszuleitung 11 des Grundmoduls 10 oder zu der Gaszuleitung 11 eines weiteren angereihten Erweiterungsmoduls 60 hergestellt werden.The expansion modules 60 can be structured in a similar way to the basic module 10 , This is in the figures 5 and 6 illustrated in more detail. The following is therefore only on the differences between the basic module 10 and the expansion modules 60 to be received The expansion modules 60 also have a gas supply line 11 and a gas discharge 19 on. The gas supply 11 and the gas discharge 19 point to the opposite bay sides of the expansion module 60 connections 11.1 . 19.1 on. About the connections 11.1 . 19.1 can on both sides of the expansion module 60 a pipeline connection either to the gas supply line 11 of the basic module 10 or to the gas supply line 11 another bayed extension module 60 getting produced.

Ebenso wie beim Grundmodul 10 geht die Gaszuleitung 11 über eine Zweigleitung 11.2 in einen Filter 12 über. Es ist wieder ein Rohrführungsbereich vorgesehen, der eine Messeinheit 13 aufweisen kann. Ebenso sind zwei Reaktoren 15.1, 15.2 über einen Verteiler 14 angeschlossen. Es ist auch eine Gebläsezufuhr 16 und ein Gebläse 17 mit Kühler 17.1 vorgesehen. Schließlich ist auch im Anschluss an das Gebläse 17 eine Anschlussleitung 18 und ein Filter 18.1 vorgesehen, wobei vom Filter 18.1 eine Verbindungsleitung 18.2 zur Gasableitung 19 geführt.As with the basic module 10 goes the gas supply 11 via a branch 11.2 into a filter 12 above. It is again provided a pipe guide area, which is a measuring unit 13 can have. Likewise, there are two reactors 15.1 . 15.2 via a distributor 14 connected. It's also a fan feed 16 and a fan 17 with cooler 17.1 intended. Finally, also following the blower 17 a connection cable 18 and a filter 18.1 provided, whereby from the filter 18.1 a connection line 18.2 for gas discharge 19 guided.

Da der Aufbau des Grundmoduls 10 und des Erweiterungsmoduls 60 in der vorstehend beschriebenen Weise gleich aufgebaut sein können, kann über die Vereinheitlichung der Bauteile ein geringer Teileaufwand verwirklicht werden. Because the structure of the basic module 10 and the expansion module 60 can be constructed the same way in the manner described above, a low parts cost can be realized on the standardization of the components.

Vorzugsweise weist jedes Erweiterungsmodul 60 eine elektrische Unterverteilung auf, die an die Steuerungseinheit 30 angeschlossen ist, damit die Steuerungssignale auch den Erweiterungsmodulen 60, vorzugsweise über den Signal-Bus zuleitbar sind. Auch die Spannungsversorgung kann wie beim Grundmodul 10 zentral von der Steuerungseinheit 30 kommend geführt sein.Preferably, each expansion module has 60 an electrical sub-distribution to the control unit 30 connected with it the control signals also the expansion modules 60 , preferably via the signal bus can be fed. The power supply can also be like the basic module 10 centrally from the control unit 30 to be guided.

In dem in 6 gezeigten Ausführungsbeispiel sind an das Grundmodul 10 fünf Erweiterungsmodule 60 angereiht, wobei das letzte Erweiterungsmodul 60 als Abschlussmodul 70 ausgebildet ist. Lediglich das Grundmodul 10 weist die Pumpe 80 zum Evakuieren der Reaktoren 15.1, 15. 2 auf. Mit der Pumpe 80 können auch die Reaktoren 15.1,15.2 der Erweiterungsmodule 60 evakuiert werden. Hierzu ist eine entsprechende Verrohrung vorgesehen. Diese ist zu allen Reaktoren 15.1, 15.2 nicht nur des Grundmoduls 10 sondern auch der Erweiterungsmodule 60 und des Abschlussmoduls 70 geführt.In the in 6 shown embodiment are to the basic module 10 five expansion modules 60 lined up, with the last expansion module 60 as a final module 70 is trained. Only the basic module 10 has the pump 80 for evacuating the reactors 15.1 . 15 , 2 on. With the pump 80 can also use the reactors 15.1 , 15.2 of the expansion modules 60 be evacuated. For this purpose, a corresponding piping is provided. This is to all reactors 15.1 . 15.2 not just the basic module 10 but also the expansion modules 60 and the final module 70 guided.

Wie die Darstellung gemäß 6 zeigt, kann an die Anreihseite des Grundmoduls 10 ein Erweiterungsmodul 60 angebaut werden. Dabei werden dann die Gaszuleitung 11 und die Gasableitung 19 im Bereich der Anreihseiten mittels der Anschlüsse 11.1,19.1 fluiddicht aneinandergekoppelt. An der dem Grundmodul 10 gegenüberliegenden Seite des Erweiterungsmoduls 60 kann ein weiteres Erweiterungsmodule 60 angebaut werden. Auch hier werden wieder die Gaszuleitung 11 und die Gasableitung 19 im Bereich der Anreihseite aneinandergeschlossen. In gleicher Weise können weitere Erweiterungsmodule 60 und schließlich auch das letzte in der Reihe stehende Erweiterungsmodul 60, welches dann ein Abschlussmodul 70 bildet angekoppelt werden.As the presentation according to 6 shows, to the Anreihseite of the basic module 10, an expansion module 60 be grown. In this case, then the gas supply 11 and the gas discharge 19 in the area of the Anreihseiten by means of the connections 11.1 , 19.1 fluid-tightly coupled to each other. At the basic module 10 opposite side of the expansion module 60 can be another expansion module 60 be grown. Again, the gas supply 11 and the gas discharge 19 in the area of the Anreihseite together. In the same way, further expansion modules 60 and finally the last in-line expansion module 60 , which is a final module 70 forms to be docked.

Die Anschlüsse 11.1 und 19.1 an der freien Seite des Abschlussmoduls 70 werden in geeigneter Weise an das Inertgasgehäuse angeschlossen, sodass eine gasleitende Verbindung zwischen dem Arbeitsraum des Inertgasgehäuses und den Gaszuleitungen 11 bzw. den Gasableitungen 19 entsteht.The connections 11.1 and 19.1 on the free side of the graduation module 70 be suitably connected to the inert gas, so that a gas-conducting connection between the working space of the inert gas and the gas supply lines 11 or the gas discharges 19 arises.

Aus dem vorstehenden ergibt sich, dass an das Grundmodul 10 wahlweise ein Erweiterungsmodul 60 oder mehrere Erweiterungsmodule 60 angebaut werden können, je nachdem welche Anlagenkapazität gefordert wird.From the above it follows that to the basic module 10 optionally an expansion module 60 or more expansion modules 60 can be grown, depending on which plant capacity is required.

In 7 ist ein Flussbild für die Gasreinigung gemäß 6 gezeigt. Unter Bezugnahme auf diese Figur wird nachstehend die Funktion näher erläutert.In 7 is a flow chart for gas purification according to 6 shown. With reference to this figure, the function will be explained below.

Durch den Anschluss 11.1 des Abschlussmoduls 70 gelangt das Arbeitsgas aus dem Inertgasgehäuse in die Gaszuleitung 11 des Abschlussmoduls 70. Von dort strömt das Arbeitsgas in alle Gaszuleitungen 11 der Erweiterungsmodule 60 und des Grundmoduls 10. Dann strömt das Arbeitsgas über die Zweigleitungen 11.2, die Filter 12 und den Verteiler 14 in den jeweils angeschalteten Reaktor 15.1, 15.2. Die Förderung des Arbeitsgases wird durch die Gebläse 17 bewirkt. Diese saugen das Arbeitsgas durch die Gebläsezufuhr 16 an. In den Reaktoren 15.1, 15.2 des Grundmoduls 10 und der Erweiterungsmodule 60, die zueinander parallel geschalteten sind, erfolgt die Reinigung des Arbeitsgases. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel wird in den Reaktoren 15.1, 15.2 Sauerstoff und Wasser aus dem Arbeitsgas herausgetrennt. Das gereinigte Arbeitsgas wird dann über die Gebläse 17 komprimiert und den Kühlern 17.1 zugeführt. Hier erfolgt eine Abfuhr von Wärme aus dem Arbeitsgas, bedingt durch dessen Komprimierung in den Gebläsen 17. Das gereinigte und gekühlte Arbeitsgas strömt dann über die Anschlussleitungen 18 zu den Filtern 18.1. Von dort gelangt es über die Verbindungsleitungen 18.2 in die Gasableitungen 19. In den Gasableitungen 19 wird das Arbeitsgas wieder gesammelt und vom Abschlussmodul 70 über dessen Anschluss 19.1 in das Inertgasgehäuse zurückgeführt. Auf diese Weise ist der Kreislauf geschlossen.Through the connection 11.1 of the final module 70 the working gas from the inert gas housing enters the gas supply line 11 of the final module 70 , From there, the working gas flows into all gas supply lines 11 the extension modules 60 and the basic module 10 , Then the working gas flows over the branches 11.2 , the filters 12 and the distributor 14 in the respective connected reactor 15.1 . 15.2 , The promotion of the working gas is by the blower 17 causes. These suck the working gas through the blower supply 16 at. In the reactors 15.1 . 15.2 of the basic module 10 and the expansion modules 60 , which are connected in parallel to each other, the cleaning of the working gas. In the present embodiment is in the reactors 15.1 . 15.2 Oxygen and water separated from the working gas. The purified working gas is then blown over 17 compressed and the coolers 17.1 fed. Here, there is a removal of heat from the working gas, due to its compression in the blower 17. The purified and cooled working gas then flows through the connecting lines 18 to the filters 18.1 , From there it passes over the connecting lines 18.2 into the gas discharges 19 , In the gas discharges 19 the working gas is collected again and from the final module 70 via its connection 19.1 returned to the inert gas housing. In this way the cycle is closed.

Bei der Reinigung des Arbeitsgases in den Reaktoren 15.1, 15.2 fallen die herausgereinigten Stoffe (Sauerstoff und Wasser) an. Die gasförmigen Stoffe werden über Abgasleitungen 50 abgeführt. Wie 6 erkennen lässt, weist das Grundmodul 10 und alle Erweiterungsmodule 60 sowie das Abschlussmodul 70 jeweils eine Abgasleitung 50 auf. Die Abgasleitungen 50 weisen im Bereich der Anreihseiten des Grundmoduls 10 und der Erweiterungsmodule 60 jeweils Schnittstellen 50.1 auf. Über diese Schnittstellen 50.1 können die Abgasleitungen 50 an den Anreihseiten miteinander gekoppelt werden. Auf diese Weise lassen sich die gasförmigen Stoffe durch die in Reihe geschalteten Abgasleitungen 50 zum Abschlussmodul 70 transportiert. Das Abschlussmodul 70 weist einen Anschluss 52.1 der Abgasleitung 50 an seiner freien Seite auf. Hier kann die Abgasleitung 50 an eine zentrale Hausabluft angeschlossen werden. Die abgereinigten Stoffe können so in die Umgebung abgegeben werden.When cleaning the working gas in the reactors 15.1 . 15.2 the cleaned up substances (oxygen and water) accumulate. The gaseous substances are via exhaust pipes 50 dissipated. As 6 lets recognize, has the basic module 10 and all expansion modules 60 as well as the final module 70 one exhaust pipe each 50 on. The exhaust pipes 50 have in the range of the Anreihseiten of the basic module 10 and the expansion modules 60 each interfaces 50.1 on. About these interfaces 50.1 can the exhaust pipes 50 be coupled together at the Anreihseiten. In this way, the gaseous substances through the series-connected exhaust pipes 50 to the final module 70 transported. The final module 70 has a connection 52.1 of the exhaust pipe 50 on his free side. Here is the exhaust pipe 50 be connected to a central domestic exhaust. The cleaned substances can be released into the environment.

Die in den Reaktoren 15.1, 15.2 abgetrennten flüssigen Stoffe (Wasser) werden über Kondensatableitungen 51 aus den Reaktoren 15.1, 15.2 herausgeführt. Dabei weist jedes Erweiterungsmodul 60, das Abschlussmodul 70 und das Grundmodul 10 jeweils eine Kondensatableitung 51 auf. Ähnlich wie die Abgasleitungen 50 sind auch die Kondensatableitungen 51 im Bereich der Anreihseiten aneinandergekoppelt. Auf diese Weise kann eine gesammelte Abfuhr des Kondensats vorgenommen werden. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind die Kondensatableitungen zu einer Kondensat-Sammelleitung 51.1 geführt. Diese ist im Bereich unter dem Boden des Rahmengestells 20 des Grundmoduls 10, des Abschlussmoduls 70 und der Erweiterungsmodule 60 geführt, wie dies in 3 symbolisiert dargestellt ist. Unterhalb des Grundmoduls 10 kann eine Kondensat-Sammelwanne vorgesehen sein. Hier wird das Kondensat einheitlich gesammelt und kann entsorgt werden.The in the reactors 15.1 . 15.2 separated liquid substances (water) are via condensate drains 51 from the reactors 15.1 . 15.2 led out. In this case, each expansion module has 60 , the final module 70 and the basic module 10 one condensate drain each 51 on. Similar to the exhaust pipes 50 are also the condensate drains 51 in the area of the Anreihseiten coupled together. In this way, a collected discharge of the condensate can be made. In the present embodiment, the condensate drains to a condensate manifold 51.1 guided. This is in the area under the floor of the frame 20 of the basic module 10 , the graduation module 70 and the expansion modules 60 led, like this in 3 symbolized is shown. Below the basic module 10 can a Be provided condensate collection tray. Here, the condensate is collected uniformly and can be disposed of.

In 7 ist weiter veranschaulicht, dass die Reaktoren 15.1, 15.2 des Grundmoduls und der Erweiterungsmodule 60 sowie des Abschlussmoduls 70 über eine Sammelleitung 81 mit der Pumpe 80 verbunden sind. Wenn während des Betriebs die angeschalteten Reaktoren 15.1, 15.2 erschöpft sind, so wird der Strömungsweg zu diesen erschöpften Reaktoren 15.1, 15.2 gesperrt und der andere Reaktor 15.1, 15.2 in strömungsleitende Verbindung zu den Gaszuleitungen 11 geschaltet. Damit kann der unterbrechungsfreie Betrieb aufrechterhalten werden. Es ist dann auch möglich, den erschöpften Reaktor 15.1, 15.2 zu regenerieren. Hierzu kann dann der Regenerationsbetrieb für diese Reaktoren 15.1,15.2 gestartet werden. Figur 7 lässt weiter erkennen, dass zu diesem Zweck ein Regenerations-Gasanschluss 80.1 am Grundmodul 10 vorgesehen ist. Dieser Regenerations-Gasanschluss 80.1 ist von dem Grundmodul 10 über eine geeignete Verrohrung, welche ebenfalls über die Anreihseiten geführt sein kann seriell den einzelnen Reaktoren 15.1,15.2 zuführbar. In 7 is further illustrated that the reactors 15.1 . 15.2 of the basic module and the extension modules 60 and the final module 70 via a manifold 81 with the pump 80 are connected. If during operation the reactors switched on 15.1 . 15.2 are exhausted, so the flow path to these exhausted reactors 15.1 . 15.2 locked and the other reactor 15.1 , 15.2 in flow-conducting connection to the gas supply lines 11 connected. Thus, the uninterrupted operation can be maintained. It is then possible, the exhausted reactor 15.1 . 15.2 to regenerate. For this purpose, then the regeneration operation for these reactors 15.1 , 15.2 are started. figure 7 further suggests that for this purpose a regeneration gas connection 80.1 at the basic module 10 is provided. This regeneration gas connection 80.1 is from the basic module 10 via a suitable piping, which may also be guided over the Anreihseiten serially the individual reactors 15.1 , 15.2 can be fed.

Wenn die Reaktoren 15.1,15.2 regeneriert wurden, dann werden diese regenerierten Reaktoren 15.1, 15.2 zunächst über geeignete Leitungsverbindungen an die Sammelleitung 81 des Grundmoduls 10 in Reihe angeschaltet. Die Pumpe 80 saugt dann die in den erschöpften Reaktoren 15.1, 15.2 verbliebenen Reste des Arbeitsgases heraus.If the reactors 15.1 , 15.2 were regenerated, then these regenerated reactors 15.1 . 15.2 initially via suitable line connections to the manifold 81 of the basic module 10 connected in series. The pump 80 then sucks those in the exhausted reactors 15.1 . 15.2 remaining residues of the working gas out.

In gleicher Weise ist auch ein Arbeitsgas-Anschluss 80.2 vorgesehen. Über diesen kann Arbeitsgas zu den Gasableitungen 19 des Grundmoduls 10 und der Erweiterungsmodule 60 bzw. des Abschlussmoduls 70 seriell über eine geeignete, in 7 symbolisierte Verrohrung zugeführt werden. Von hier gelangt das Arbeitsgas dann in das Inertgasgehäuse. Auf diese Weise kann eine initiale Befüllung des Inertgasgehäuses mit Arbeitsgas vorgenommen werden. Wenn das Inertgasgehäuse ausreichend mit Arbeitsgas gefüllt ist, so wird der Arbeitsgas-Anschluss 80.2 gesperrt. Danach wird dann die Gasreinigung im Umwälzbetrieb gefahren, wie dies oben erläutert wurde.In the same way is also a working gas connection 80.2 intended. About this can working gas to the gas discharges 19 of the basic module 10 and the expansion modules 60 or the final module 70 serial over a suitable, in 7 symbolized piping can be supplied. From here, the working gas then enters the inert gas housing. In this way, an initial filling of the inert gas housing can be made with working gas. If the inert gas is sufficiently filled with working gas, so the working gas connection 80.2 blocked. Thereafter, the gas cleaning is then run in the circulation, as explained above.

Schließlich ist am Grundmodul 10 auch ein Kontrollgas-Anschluss 80.3 vorgesehen. Über diesen kann ein Steuergas zum Grundmodul 10 und über eine geeignete Verrohrung seriell zu den Erweiterungsmodul 60 und dem Abschlussmodul 70 geführt werden. Die Verrohrung kann dabei ebenfalls über die Anreihseiten erfolgen. Mit dem Steuergas können Pneumatik-Einheiten in dem Grundmodul 10, den Erweiterungsmodulen 60 und/oder dem Abschlussmodul 70 versorgt werden.Finally, at the basic module 10 also a control gas connection 80.3 intended. About this can a control gas to the basic module 10 and via a suitable piping serial to the expansion module 60 and the final module 70 be guided. The piping can also be done via the Anreihseiten. With the control gas can be pneumatic units in the basic module 10 , the expansion modules 60 and / or the final module 70 be supplied.

In 8 ist eine weitere Ausgestaltungsvariante einer Gasreinigung gezeigt. Wie diese Darstellung veranschaulicht, sind an ein Grundmodul 10 zwei Erweiterungsmodule 60 und ein Abschlussmodul 70 angeschlossen. Die Aneinanderreihung erfolgt dabei analog zu der Anreihung, wie sie in Bezug auf 6 beschrieben wurde. Zur Vermeidung von Wiederholungen wird daher auf die obigen Ausführungen verwiesen und lediglich auf die Unterschiede eingegangen.In 8th is shown a further embodiment variant of a gas purification. As this illustration illustrates are to a basic module 10 two expansion modules 60 and a degree module 70 connected. The juxtaposition takes place analogous to the baying, as in relation to 6 has been described. To avoid repetition, reference is therefore made to the above statements and only the differences are discussed.

Wie 8 erkennen lässt, ist die Gaszuleitungen 11 des Grundmoduls 10 mit der Gasableitung 11 des angereihten Erweiterungsmoduls 60 verbunden. In gleicher Weise ist die Gaszuleitung 19 des zweiten Erweiterungsmoduls 60 an die Gasableitung 11 des Abschlussmoduls 70 angeschlossen. Die Gaszuleitung 11 des ersten Erweiterungsmoduls 60 ist an die Gaszuleitung 11 des Abschlussmoduls 70 angeschlossen.As 8th indicates is the gas supply lines 11 of the basic module 10 with the gas discharge 11 of the connected extension module 60 connected. In the same way is the gas supply 19 of the second expansion module 60 to the gas discharge 11 of the final module 70 connected. The gas supply 11 of the first expansion module 60 is to the gas supply 11 of the final module 70 connected.

Die Reaktoren 15.1,15.2 des Grundmoduls 10 und des ersten Erweiterungsmoduls 60 und des Abschlußmoduls 70 sind zur Abscheidung von Lösungsmittel aus dem von dem Inertgasgehäuse kommenden Arbeitsgases ausgebildet. Dementsprechend wird in dem wahlweise angeschlossenen Reaktor 15.1, 15.2 des ersten Erweiterungsmoduls 60 bzw. des Abschlußmoduls 70 Lösungsmittel heraus gereinigt. Anschließend wird das von Lösungsmittel befreite Arbeitsgas dem zweiten Erweiterungsmodul 60 und dem Grundmodul 10 zugefördert. In diesem zweiten Erweiterungsmodul 60 und dem Grundmodul 10 sind die Reaktoren 15.1,15.2 dazu ausgebildet Sauerstoff und Wasser aus dem Arbeitsgas herauszureinigen. Im Anschluss an das zweite Erweiterungsmodul 60 und das Grundmodul 10 wird das gereinigte Arbeitsgas dann schließlich dem Inertgasgehäuse zugefördert.The reactors 15.1 , 15.2 of the basic module 10 and the first expansion module 60 and the termination module 70 are formed for the separation of solvent from the coming of the inert gas working gas. Accordingly, in the optionally connected reactor 15.1 . 15.2 of the first expansion module 60 or the final module 70 Solvent cleaned out. Subsequently, the solvent-free working gas is the second expansion module 60 and the basic module 10 conveyed. In this second extension module 60 and the basic module 10 are the reactors 15.1 , 15.2 designed to purify oxygen and water from the working gas. Following the second extension module 60 and the basic module 10 The purified working gas is then finally fed to the inert gas housing.

Aus den vorstehenden Erläuterungen wird deutlich, dass im Rahmen der Erfindung eine Gasreinigung für ein Inertgasgehäuse vorgeschlagen wird, mit einem Grundmodul 10 und zumindest einem Erweiterungsmodul 60, wobei sowohl im Grundmodul 10 als auch im Erweiterungsmodul 60 jeweils zumindest ein Reaktor 15.1, 15.2 zur Reinigung eines vom Inertgas-Gehäuse kommenden Gasstroms angeordnet ist. Dabei ist der wenigstens eine Reaktor 15.1, 15.2 des Grundmoduls 10 mit dem zumindest einen Reaktor 15.1,15.2 des Erweiterungsmoduls 60 über Gaszuleitungen 11 und Gasableitungen 19 zueinander parallel und/oder in Reihe geschaltet sind. Erfolgt eine Parallelschaltung, so wird eine Erhöhung der Kapazität erreicht. Erfolgt eine Schaltung in Serie, so können unterschiedliche Stoffe in den aneinandergereihten Modulen herausgefiltert werden. Wie vorstehend beschrieben, können beispielsweise in einem oder mehreren Modulen Lösungsmittel und in anderen, in Serie geschalteten Modulen Sauerstoff und/oder Wasser abgereinigt werden. Selbstverständlich ist auch eine Kombination einer Parallelschaltung und einer Seriellschaltung möglich, wie dies beispielsweise 8 veranschaulicht. Auf diese Weise werden eine Kapazitätserhöhung und gleichzeitig die getrennte Reinigung erreicht.From the above explanations it is clear that within the scope of the invention a gas cleaning for an inert gas housing is proposed, with a basic module 10 and at least one expansion module 60 , where both in the basic module 10 as well as in the expansion module 60 in each case at least one reactor 15.1, 15.2 is arranged for purifying a gas stream coming from the inert gas housing. In this case, the at least one reactor 15.1 . 15.2 the basic module 10 with the at least one reactor 15.1 , 15.2 of the expansion module 60 via gas supply lines 11 and gas discharges 19 parallel to each other and / or connected in series. If a parallel connection, an increase in capacity is achieved. If a circuit is used in series, different substances in the series modules can be filtered out. As described above, for example, in one or more modules, solvents and in other series-connected modules, oxygen and / or water can be purified. Of course, a combination of a parallel connection and a serial connection is possible, as for example 8th illustrated. In this way, an increase in capacity and at the same time the separate cleaning can be achieved.

Die Erfindung ist nicht alleine auf die Ausführungsbeispiele beschränkt. Vielmehr wird aus den vorstehenden Erläuterungen klar, dass mit dem Grundmodul 10 eine beliebige Anzahl von Erweiterungsmodulen 60 kombiniert werden können.The invention is not limited to the embodiments alone. Rather, it is clear from the above explanations that with the basic module 10 any number of expansion modules 60 can be combined.

Claims

Gas cleaning for an inert gas housing with a basic module (10) and at least one expansion module (60), wherein in each case at least one reactor (15.1, 15.2) is arranged both in the basic module (10) and in the expansion module (60) for cleaning a gas flow coming from the inert gas housing, and wherein the at least one reactor (15.1, 15.2) of the basic module (10) with the at least one reactor (15.1, 15.2) of the expansion module (60) via gas supply lines (11) and gas discharges (19) are connected in parallel and / or in series ,

Gas cleaning after Claim 1 , characterized in that the basic module (10) and the expansion module or modules (60) are designed as housing units which can be handled separately.

Gas cleaning after Claim 1 or 2 , characterized in that the gas supply lines (11) and the gas discharge lines (19) of the basic module (10) and of the expansion module (60) terminals (11.1, 19.1), by means of which the gas supply lines (11) and / or the gas discharges ( 19) of the basic module (10) and the expansion module (60) can be coupled, and / or the gas supply lines (11) and / or the gas discharges (19) of the expansion modules (60) can be coupled.

Gas cleaning after one of the Claims 1 to 3 characterized in that the base module (10) and / or the expansion module (s) (60) comprises a frame (20) composed of vertical profiles (21) and horizontal profiles, and wherein at least a part of the sides of the frame (20) closed or closable by means of trim parts.

Gas cleaning after one of the Claims 1 to 4 , characterized in that the base module (10) forms an Anreihseite on which the expansion module (60) is attachable with a Anreihseite, and / or that the expansion module (60) on opposite sides Anreihseiten forms, for further extension modules (60).

Gas cleaning after one of the Claims 1 to 5 , characterized in that from the gas supply line (11) of the basic module (10) and / or at least one expansion module (60) discharges a branch line (11.2) which leads directly or indirectly to the reactor (15.1, 15.2).

Gas cleaning after Claim 6 , characterized in that between the branch line (11.2) and the reactor (15.1, 15.2), a filter (12) is arranged.

Gas cleaning after one of the Claims 1 to 7 , characterized in that at least the basic module (10) and / or an expansion module (60) has a measuring unit (13) which has an oxygen sensor (13.1), a volumetric flow sensor (13.2) and / or a moisture sensor (13.3) and / or a solvent sensor for measuring the gas flow upstream of the reactor (15.1, 15.2).

Gas cleaning after one of the Claims 1 to 8th , characterized in that the basic module (10) and / or at least one expansion module (60) has two reactors (15.1, 15.2), and that by means of an actuating unit selectively one of the two reactors (15.1, 15.2) in flow-conducting connection with the gas supply ( 11) and the gas discharge line (19) is switchable.

Gas cleaning after one of the Claims 1 to 9 , characterized in that the basic module (10) and / or at least one expansion module (60) is associated with a fan (17) for conveying the gas flow through the reactor (15.1, 15.2).

Gas cleaning after one of the Claims 1 to 10 , characterized in that the one or more reactors (15.1, 15.2) in the base module (10) and / or in at least one expansion module (60) is formed for at least partially removing oxygen and / or water from the gas stream or for at least partial removal of Solvent from the gas stream.

Gas cleaning after Claim 11 , characterized in that in the base module (10) or an expansion module (60) a reactor (15.1, 15.2) for partially removing solvent from the gas stream is arranged, that the purified gas stream of the gas supply line (11) of an expansion module (60) or the basic module (10) is fed, and that the gas stream in the expansion module (60) or the base module (10) is supplied to a reactor (15.1, 15.2), which is designed for the at least partial removal of oxygen and / or water.

Gas cleaning after one of the Claims 11 or 12 , characterized in that in an expansion module (60) a reactor (15.1, 15.2) is arranged for the partial removal of solvent from the gas stream, that the purified gas stream of the gas supply line (11) of a further expansion module (60) is fed, and that the Gas stream in the further expansion module (60) is fed to a reactor (15.1, 15.2), which is designed for at least partial removal of oxygen and / or water.

Gas cleaning after one of the Claims 1 to 13 , characterized in that the basic module (10) and at least one expansion module (60) each have an exhaust pipe (50) which is connected to the reactor (15.1, 15.2) and via which in the reactor (15.1, 15.2) cleaned substances ( For example, O ₂ , H ₂ O, solvent) are discharged from the reactor (15.1, 15. 2), and that the exhaust pipes (50) of the base module (10) and the expansion module (s) (60) via interfaces (50.1) are connected to the collected removal of the substances.

Gas cleaning after one of the Claims 1 to 14 , characterized in that in the basic module (10) or an expansion module (60) a pump (80) is arranged, by means of which the reactors (15.1, 15.2) of the basic module (10) and the at least one indirectly or directly connected expansion module (60) are evacuated.

Gas cleaning after one of the Claims 1 to 15 , characterized in that the basic module (10) is associated with a control unit (30) having a central processing unit, wherein from the control unit (30) signal lines, in particular a signal bus to electrical units of the basic module and the expansion modules or (60 ) are guided.