DE102017100820A1 - sensor - Google Patents

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DE102017100820A1
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Inventor
Jan Ihle
Thomas Stendel
Gerald Kloiber
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TDK Electronics AG
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Epcos AG
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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Sensor (1), der einen keramischen Träger (3), an dem ein Sensorelement (2) befestigt ist und der eine Metallisierung (5) aufweist, die elektrisch mit dem Sensorelement (2) kontaktiert ist, und eine Zuleitung (8) aufweist, die an der Metallisierung (5) befestigt ist und die dazu ausgestaltet ist, das Sensorelement (2) über die Metallisierung (5) elektrisch zu kontaktieren, wobei die Zuleitung (8) an einer weiteren Position mechanisch an dem keramischen Träger (3) fixiert ist.The present invention relates to a sensor (1) comprising a ceramic support (3) to which a sensor element (2) is fixed and which has a metallization (5) electrically contacted with the sensor element (2) and a lead (8) fixed to the metallization (5) and configured to electrically contact the sensor element (2) via the metallization (5), the lead (8) being mechanically fixed to the ceramic support at a further position (3) is fixed.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Sensor, insbesondere einen Temperatursensor.The present invention relates to a sensor, in particular a temperature sensor.

Die ständig steigenden Anforderungen an Temperatursensoren hinsichtlich der Langzeitbeständigkeit in aggressiven Medien und hohen Einsatztemperaturen erfordern zukünftig besonders zuverlässige Temperatursensoren. Gleichzeitig sollten solche neuartigen Sensoren durch eine kostengünstige Fertigung herstellbar sein.The ever-increasing demands on temperature sensors with regard to the long-term stability in aggressive media and high operating temperatures require in the future particularly reliable temperature sensors. At the same time such novel sensors should be produced by a cost-effective production.

Vorzugsweise sollte ein Temperatursensor mit einem kostengünstigen Elektrodensystemen gepaart mit einer stabilen elektrischen Kontaktierung der Zuleitung angegeben werden. Der Sensoren sollte auch für den Einsatz bei hohen Anwendungstemperaturen und in besonders aggressiven Medien bzw. Gasen geeignet sein. Beim Verbau der Sensoren im System als auch in der Anwendung sollte eine ausreichend mechanisch stabile Anbindung der Zuleitung an das Sensorelement gewährleistet sein.Preferably, a temperature sensor should be specified with a cost-effective electrode systems paired with a stable electrical contacting of the supply line. The sensors should also be suitable for use at high application temperatures and in particularly aggressive media or gases. When installing the sensors in the system as well as in the application, a sufficiently mechanically stable connection of the supply line to the sensor element should be ensured.

Für eine ausreichende mechanische Stabilität und zum Schutz gegen äußere Einflüsse und zur Vermeidung von Korrosion durch aggressive Medien kann ein Sensorelement mit einem Überzug aus einem Polymer oder einem Glas versehen werden.For sufficient mechanical stability and protection against external influences and to avoid corrosion by aggressive media, a sensor element may be provided with a coating of a polymer or a glass.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen verbesserten Sensor anzugeben.The object of the present invention is to specify an improved sensor.

Die Aufgabe wird durch den Sensor gemäß Anspruch 1 gelöst.The object is achieved by the sensor according to claim 1.

Es wird ein Sensor vorgeschlagen, der einen keramischen Träger, ein Sensorelement und eine Zuleitung aufweist. Das Sensorelement ist an dem keramischen Träger befestigt. Der Träger weist eine Metallisierung auf, die elektrisch mit dem Sensorelement kontaktiert ist. Die Zuleitung ist an der Metallisierung befestigt und dazu ausgestaltet, das Sensorelement über die Metallisierung elektrisch zu kontaktieren, wobei die Zuleitung an einer weiteren Position mechanisch an dem keramischen Träger fixiert ist.A sensor is proposed which has a ceramic carrier, a sensor element and a feed line. The sensor element is attached to the ceramic carrier. The carrier has a metallization that is electrically contacted with the sensor element. The lead is attached to the metallization and configured to electrically contact the sensor element via the metallization, wherein the lead is mechanically fixed to the ceramic support at a further position.

Die Zuleitung kann dabei an einer Verbindungsfläche mit der Metallisierung befestigt sein. Eine Richtung, die parallel zu der Flächennormalen der Verbindungsfläche ist, kann als radiale Richtung bezeichnet werden. Eine Richtung, die senkrecht zu der Flächennormalen der Verbindungsfläche ist, kann als axiale Richtung bezeichnet werden. Dabei kann die axiale Richtung entlang einer longitudinalen Achse des keramischen Trägers verlaufen. Die axiale Richtung kann parallel zu der Metallisierung des Trägers sein.The supply line can be attached to a connection surface with the metallization. A direction parallel to the surface normal of the joint surface may be referred to as a radial direction. A direction perpendicular to the surface normal of the joint surface may be referred to as an axial direction. In this case, the axial direction can extend along a longitudinal axis of the ceramic carrier. The axial direction may be parallel to the metallization of the carrier.

Die Zuleitung kann an der Metallisierung beispielsweise durch eine Lötverbindung, eine Schweißverbindung, eine Klebeverbindung oder eine Sinterverbindung befestigt sein. All diese Verbindungen zeichnen sich durch eine hohe Belastbarkeit gegen Kräfte aus, die in die axiale Richtung wirken. Die Verbindungen können jedoch gegen Kräfte, die in die radiale Richtung wirken, eine geringere Belastbarkeit aufweisen. Beispielsweise kann die Belastbarkeit gegen Kräfte in die radiale Richtung um einen Faktor 5 bis 10 kleiner sein als die Belastbarkeit gegen Kräfte in die axiale Richtung.The lead may be attached to the metallization by, for example, a solder joint, a welded joint, an adhesive bond or a sintered bond. All these compounds are characterized by a high load capacity against forces acting in the axial direction. However, the connections may have a lower load capacity against forces acting in the radial direction. For example, the load capacity against forces in the radial direction may be smaller by a factor of 5 to 10 than the load capacity in the axial direction.

Durch die mechanische Befestigung der Zuleitung an dem Träger an einer weiteren Position kann nunmehr die Verbindung der Zuleitung mit der Metallisierung entlastet werden. Wirkt beispielsweise eine Kraft in radiale Richtung auf die Zuleitung, so kann die Zuleitung durch die Befestigung an der weiteren Position in ihrer Position relativ zu dem Träger gehalten werden, ohne dass es zu einer wesentlichen mechanischen Belastung der Befestigung der Zuleitung an der Metallisierung kommt. Die hier angegebene Ausgestaltung des Sensors kann es somit ermöglichen, die Verbindung der Zuleitung an der Metallisierung gegen hohe radiale Belastungen zu entlasten und so die elektrische Kontaktierung des Sensorelements zu schützen.Due to the mechanical attachment of the supply line to the carrier at a further position, the connection of the supply line to the metallization can now be relieved. For example, acts a force in the radial direction of the supply line, the supply line can be held by the attachment to the other position in position relative to the carrier, without causing a significant mechanical stress on the attachment of the lead to the metallization. The embodiment of the sensor specified here can thus make it possible to relieve the connection of the supply line to the metallization against high radial loads and thus to protect the electrical contacting of the sensor element.

Bei dem Sensor handelt es sich vorzugsweise um einen Temperatursensor, d.h. einen Sensor, der dazu ausgestaltet ist, eine Temperatur zu messen. Sensoren zur Messung von Temperaturen werden für die Überwachung und Regelung in unterschiedlichsten Anwendungen eingesetzt.The sensor is preferably a temperature sensor, i. a sensor configured to measure a temperature. Sensors for measuring temperatures are used for monitoring and control in a wide variety of applications.

Das Sensorelement kann beispielsweise einen NTC-Thermistor (NTC = Negative Temperature Coefficient), ein Silizium-Temperatursensor, der einen positiven Temperaturkoeffizienten aufweist, ein Platin-Temperatursensor (PRTD = platinum resistance temperature detector) oder ein Thermoelement sein. Vorzugsweise ist das Sensorelement ein NTC-Thermistor. Diese zeichnen sich durch geringe Herstellkosten aus. Ein weiterer Vorteil von NTC-Thermistoren gegenüber Thermoelementen und metallischen Widerstandselementen, wie z.B. Pt-Elementen, besteht in der ausgeprägten negativen Widerstands-TemperaturCharakteristik.The sensor element may be, for example, an NTC thermistor (NTC = Negative Temperature Coefficient), a silicon temperature sensor having a positive temperature coefficient, a platinum resistance temperature detector (PRTD) or a thermocouple. Preferably, the sensor element is an NTC thermistor. These are characterized by low production costs. A further advantage of NTC thermistors over thermocouples and metallic resistive elements, e.g. Pt elements, consists in the pronounced negative resistance temperature characteristic.

Bei der Metallisierung kann es sich beispielsweise um eine Silbermetallisierung oder eine Goldmetallisierung handeln. Dazu können beispielsweise Silber- oder Goldpasten über einen Siebdruckprozess mit anschließendem Einbrand auf den Träger aufgebracht werden. Die Silbermetallisierung kann dabei vorwiegend für Lötverbindungen mit Anschlussdrähten verwendet werden. Die Goldmetallisierung kann für metallische Sinterpastenkontaktierung verwendet werden. Die Goldmetallisierungen kann für das Sintern von Kontaktpasten mit Anschlussdrähten eingesetzt werden. Die Einsatztemperatur von Lötverbindungen ist jedoch durch die Schmelztemperatur der Lote begrenzt. Hochbleihaltige Lote haben eine Schmelztemperatur von ca. 300°C und die meisten bleifreien Lote schmelzen bereits bei Temperaturen unter 230°C. Lötverbindungen sind bei häufigen Temperaturwechselbelastungen nicht ausreichend zuverlässig. Für höhere Einsatztemperaturen von 250°C bis 300°C oder höher ist die Kontaktierung mittels einer Sinterpaste möglich. Zusätzlich sind im Herstellprozess wesentlich höhere Temperaturen notwendig, da aufgrund der Einsatztemperatur eine Glasumhüllung statt einer Polymerumhüllung erforderlich ist. Diese Art der so hergestellten Sensorelemente ist jedoch mit hohen Kosten verbunden, da die Elektrode als auch die Kontaktierungspaste aus Gold bestehen. Zusätzlich sind Prozesskosten aufgrund der Pastenaufbringung und -trocknung sowie dem anschließenden Einbrand der Paste sehr hoch.The metallization may be, for example, silver metallization or gold metallization. For example, silver or gold pastes can be applied to the support via a screen printing process followed by firing. The silver metallization can be used predominantly for solder joints with connecting wires. The gold metallization can be used for metallic sintered paste bonding. The gold metallizations Can be used for sintering contact pastes with connecting wires. The operating temperature of solder joints is limited by the melting temperature of the solders. High-lead solders have a melting temperature of approx. 300 ° C and most lead-free solders melt even at temperatures below 230 ° C. Solder joints are not sufficiently reliable during frequent thermal cycling. For higher operating temperatures of 250 ° C to 300 ° C or higher, contacting with a sintering paste is possible. In addition, much higher temperatures are necessary in the manufacturing process, since a glass envelope instead of a polymer sheath is required due to the operating temperature. However, this type of sensor elements produced in this way is associated with high costs, since the electrode as well as the contacting paste consist of gold. In addition, process costs are very high due to the paste application and drying and the subsequent penetration of the paste.

Bei der Zuleitung kann es sich um jedes Element handeln, das zur elektrischen Kontaktierung des keramischen Trägers geeignet ist. Beispielsweise kann die Zuleitung ein Draht, ein Bändchen, eine Litzenleitung oder ein Metallgewebe sein.The feed line can be any element which is suitable for making electrical contact with the ceramic carrier. For example, the feed line may be a wire, a ribbon, a stranded wire or a metal mesh.

Der keramische Träger kann an der weiteren Position frei von der Metallisierung sein. Der keramische Träger kann einen Grundkörper aufweisen, auf dem die Metallisierung aufgebracht ist. Die Zuleitung kann an der weiteren Position unmittelbar an dem Grundkörper des keramischen Trägers befestigt sein. Dadurch, dass die Zuleitung an der weiteren Position an dem Träger so befestigt ist, dass sie an der weiteren Position nicht auf der Metallisierung liegt, kann eine mechanische Beanspruchung der Verbindung der Zuleitung mit der Metallisierung reduziert werden.The ceramic carrier may be free of metallization at the further position. The ceramic carrier may have a base body on which the metallization is applied. The supply line may be attached to the further position directly on the main body of the ceramic carrier. The fact that the supply line is attached to the further position on the support so that it is not located on the metallization at the further position, a mechanical stress on the connection of the supply line with the metallization can be reduced.

Die Zuleitung kann ein erstes Ende und ein zweites Ende aufweisen, wobei das erste Ende der Zuleitung an der Metallisierung befestigt ist und ein Abschnitt der Zuleitung, der an der weiteren Position mechanisch an dem Träger fixiert ist, zwischen dem ersten Ende und dem zweiten Ende liegt. Eine auf das zweite Ende der Zuleitung wirkende Kraft kann somit zunächst von der Befestigung des Abschnitts an dem Träger absorbiert werden, bevor die Kraft auf das erste Ende wirkt, das an der Metallisierung befestigt ist.The lead may have a first end and a second end, the first end of the lead attached to the metallization, and a portion of the lead mechanically fixed to the support at the further position between the first end and the second end , Thus, a force acting on the second end of the lead can first be absorbed by the attachment of the portion to the support before the force acts on the first end attached to the metallization.

Die mechanische Fixierung der Zuleitung an dem keramischen Träger kann derart gestaltet sein, dass das die mechanische Fixierung die Befestigung der Zuleitung an der Metallisierung gegen eine Kraft, die auf die Zuleitung in eine Richtung senkrecht zu einer Oberfläche der Metallisierung von dem keramischen Träger weg wirkt, entlastet. Dementsprechend kann die Belastbarkeit des Sensors gegen Kräfte, die in die radiale Richtung auf die Zuleitung wirken, erhöht werden.The mechanical fixation of the lead to the ceramic support may be such that the mechanical fixation is the attachment of the lead to the metallization against a force acting on the lead in a direction perpendicular to a surface of the metallization away from the ceramic support. relieved. Accordingly, the load capacity of the sensor against forces acting in the radial direction on the supply line can be increased.

Die Zuleitung kann durch einen keramischen Zement, der mit dem keramischen Träger und der Zuleitung verbunden ist, an der einen weiteren Position relativ zu dem keramischen Träger mechanisch fixiert sein. Die Zuleitung kann durch einen Kleber, der mit dem keramischen Träger und der Zuleitung verbunden ist, an der einen weiteren Position relativ zu dem keramischen Träger mechanisch fixiert sein.The lead may be mechanically fixed by a ceramic cement bonded to the ceramic support and the lead at the one further position relative to the ceramic support. The lead may be mechanically fixed by an adhesive bonded to the ceramic support and the lead at the one further position relative to the ceramic support.

Der keramische Zement bzw. der Kleber können kraftschlüssig mit dem keramischen Träger und der Zuleitung verbunden sein. Durch die kraftschlüssige Verbindung kann eine elektrische Verbindungsstelle zwischen der Zuleitung und der Metallisierung auch vor einer Torsion der Zuleitung oder einem axialen Zug an der Zuleitung geschützt werden.The ceramic cement or the adhesive may be non-positively connected to the ceramic carrier and the supply line. Due to the non-positive connection, an electrical connection point between the supply line and the metallization can also be protected against a torsion of the supply line or an axial pull on the supply line.

Der keramische Zement bzw. der Kleber können kraftschlüssig mit dem keramischen Träger verbunden sein und die Zuleitung formschlüssig umgeben. Durch das vorschlüssige Umgeben der Zuleitung kann eine Bewegung der Zuleitung die radiale Richtung relativ zu dem Träger verhindert werden. Die formschlüssige Verbindung kann Bewegungen der Zuleitung in radiale Richtung in einem gewissen Umfang erlauben. Beispielsweise könnte die Zuleitung sich in die radiale Richtung ausdehnen oder zusammenziehen. Bei dieser Ausführungsform kann eine mechanische Belastung an der elektrischen Verbindungsstelle der Zuleitung mit der Metallisierung durch unterschiedliche thermische Ausdehnungskoeffizienten des keramischen Trägers und der Zuleitung vermieden werden.The ceramic cement or the adhesive can be frictionally connected to the ceramic support and surround the supply line in a form-fitting manner. By precedently surrounding the supply line, a movement of the supply line, the radial direction can be prevented relative to the carrier. The positive connection can allow movements of the supply line in the radial direction to a certain extent. For example, the lead could expand or contract in the radial direction. In this embodiment, a mechanical stress at the electrical connection point of the feed line with the metallization can be avoided by different thermal expansion coefficients of the ceramic carrier and the feed line.

Der keramische Zement bzw. der Kleber können punktuell auf dem keramischen Träger und der Zuleitung angeordnet sein. Dabei können der keramische Zement bzw. der Kleber jeweils den Träger und die Zuleitung bedecken. Auf diese Weise kann eine Befestigung der Zuleitung an der weiteren Position mit einem minimalen Materialeinsatz ermöglicht werden.The ceramic cement or the adhesive can be arranged selectively on the ceramic support and the supply line. In this case, the ceramic cement or the adhesive cover each of the carrier and the supply line. In this way, an attachment of the supply line to the further position can be made possible with a minimum use of material.

Alternativ kann der keramische Zement bzw. der Kleber eine um den keramischen Träger umlaufende Spur bilden. Durch die Spur kann die Fläche, an der der keramische Zement bzw. der Kleber haftet, vergrößert werden. Ferner kann der keramische Zement bzw. der Kleber eine hohe Festigkeit aufweisen, so dass die Spur den Sensor mechanisch stabilisieren kann.Alternatively, the ceramic cement or adhesive can form a track running around the ceramic carrier. Through the track, the surface on which adheres the ceramic cement or the adhesive can be increased. Further, the ceramic cement or the adhesive may have a high strength, so that the track can mechanically stabilize the sensor.

Alternativ oder ergänzend kann die Zuleitung durch einen auf den keramischen Träger aufgeschobenen Körper, der den keramischen Träger und die Zuleitung umschließt, an der einen weiteren Position relativ zu dem keramischen Träger mechanisch fixiert sein. Der Körper kann dazu ausgestaltet sein, eine Bewegung der Zuleitung in die radiale Richtung relativ zu dem Träger zu verhindern. Der Körper kann die Zuleitung dazu beispielsweise formschlüssig umschließen. Bewegungen der Zuleitung in axiale Richtung könnten durch den Körper nicht eingeschränkt sein, so dass es nicht zu mechanischen Belastungen durch unterschiedliche thermische Ausdehnungskoeffizienten kommt.Alternatively or additionally, the supply line can be mechanically fixed at a further position relative to the ceramic carrier by a body which is slid onto the ceramic carrier and encloses the ceramic carrier and the supply line be. The body may be configured to prevent movement of the lead in the radial direction relative to the carrier. The body can enclose the supply line, for example, positively. Movements of the supply line in the axial direction could not be restricted by the body, so that it does not come to mechanical loads due to different thermal expansion coefficients.

Der Körper kann aus einem keramischen Material bestehen. Der Körper kann aus dem gleichen Material bestehen wie ein Grundkörper des keramischen Trägers. Dementsprechend können der Körper und der Träger die gleichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweisen. Bei Temperaturänderungen kann somit verhindert werden, dass mechanische Spannungen durch den Körper verursacht werden.The body may be made of a ceramic material. The body may be made of the same material as a body of the ceramic carrier. Accordingly, the body and the carrier may have the same thermal expansion coefficients. With temperature changes can thus be prevented that mechanical stresses are caused by the body.

Der Körper kann eine durchgehende Öffnung aufweist, durch die die Zuleitung verläuft. Auch der keramische Träger kann sich durch die durchgehende Öffnung des Körpers erstrecken. Dementsprechend kann die Öffnung einen Durchmesser aufweisen, der ausreicht, um den Träger und die Zuleitung aufzunehmen.The body may have a through opening through which the supply line passes. Also, the ceramic carrier may extend through the through opening of the body. Accordingly, the opening may have a diameter sufficient to receive the carrier and the lead.

Alternativ kann der Körper ein Sackloch aufweisen, das einen Anschlag definiert, an dem der keramische Träger anliegt. Alternatively, the body may have a blind hole defining a stop against which the ceramic carrier abuts.

Eine einseitig geschlossene Öffnung kann als Sackloch bezeichnete werden.An unilaterally closed opening can be referred to as a blind hole.

Die Zuleitung kann eine Verformung aufweisen, die mit der mechanischen Fixierung der Zuleitung an dem keramischen Träger zusammenwirkt und dadurch eine Bewegung der Zuleitung relativ zu dem keramischen Träger in eine axiale Richtung, die senkrecht zu der Flächennormale der Metallisierung ist, verhindert.The lead may have a deformation which cooperates with the mechanical fixing of the lead to the ceramic support and thereby prevents movement of the lead relative to the ceramic support in an axial direction which is perpendicular to the surface normal of the metallization.

Die Zuleitung kann an der Metallisierung durch eine Lötverbindung, eine Schweißverbindung, eine Klebeverbindung oder eine Sinterverbindung mechanisch befestigt sein.The lead may be mechanically attached to the metallization by a solder joint, a welded joint, an adhesive joint or a sintered joint.

Bei dem Sensor kann es sich um einen Temperatursensor handeln, wobei das Sensorelement ein NTC-Thermistor ist.The sensor may be a temperature sensor, wherein the sensor element is an NTC thermistor.

Im Folgenden wird die Erfindung anhand der Figuren beschrieben.

  • 1 zeigt einen Sensor.
  • 2 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel eines Sensors, bei dem eine Zuleitung zusätzlich an einem keramischen Träger fixiert ist im Querschnitt.
  • 3 zeigt die Oberseite des in 2 gezeigten Sensors.
  • 4 zeigt eine Seitenansicht des in 2 gezeigten Sensors.
  • 5 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel eines Sensors im Querschnitt.
  • 6 zeigt einen Körper in einem Querschnitt.
  • 7 zeigt den in 5 gezeigten Sensor in einer perspektivischen Ansicht von oben.
  • 8 zeigt eine Seitenansicht des in 5 gezeigten Sensors.
  • 9 zeigt eine alternative Variante des zweiten Ausführungsbeispiels.
The invention will be described below with reference to the figures.
  • 1 shows a sensor.
  • 2 shows a first embodiment of a sensor in which a supply line is additionally fixed to a ceramic support in cross section.
  • 3 shows the top of the in 2 shown sensor.
  • 4 shows a side view of the in 2 shown sensor.
  • 5 shows a second embodiment of a sensor in cross section.
  • 6 shows a body in a cross section.
  • 7 shows the in 5 shown sensor in a perspective view from above.
  • 8th shows a side view of the in 5 shown sensor.
  • 9 shows an alternative variant of the second embodiment.

1 zeigt einen Sensor 1. Bei dem Sensor handelt es sich um einen Temperatursensor. Der Sensor 1 weist ein Sensorelement 2 und einen keramischen Träger 3 auf. Das Sensorelement 2 ist an dem keramischen Träger 3 befestigt. 1 shows a sensor 1 , The sensor is a temperature sensor. The sensor 1 has a sensor element 2 and a ceramic carrier 3 on. The sensor element 2 is on the ceramic carrier 3 attached.

Das Sensorelement 2 ist ein NTC-Thermistor. Das Sensorelement 2 ist für Einsatztemperaturen bis 650° C geeignet. Der keramische Träger 3 weist einen Grundkörper 4 aus Aluminiumoxydkeramik auf. Zwei gegenüberliegende Außenflächen des Grundkörpers 4 weisen jeweils eine Metallisierung 5 auf. Das Sensorelement 2 ist mit dem Träger 3 über kurze Drahtbrücken 6 verbunden, die jeweils durch eine Schweißverbindung mit einer der Metallisierungen 5 kontaktiert sind.The sensor element 2 is an NTC thermistor. The sensor element 2 is suitable for use temperatures up to 650 ° C. The ceramic carrier 3 has a basic body 4 made of aluminum oxide ceramics. Two opposite outer surfaces of the body 4 each have a metallization 5 on. The sensor element 2 is with the carrier 3 over short wire bridges 6 connected, each by a welded joint with one of the metallizations 5 are contacted.

Ferner weist der Sensor 1 eine Glasumhüllung 7 auf. Die Glasumhüllung 7 umgibt das Sensorelement 2 und die Drahtbrücken 6 vollständig. Dementsprechend sind das Sensorelement 2 und die Verbindung des Sensorelementes 2 zum Träger 3 durch die Glasumhüllung 7 geschützt. Ferner umschließt die Glasumhüllung 7 das Ende des keramischen Trägers 3, an dem das Sensorelement 2 befestigt ist.Furthermore, the sensor has 1 a glass serving 7 on. The glass serving 7 surrounds the sensor element 2 and the wire bridges 6 Completely. Accordingly, the sensor element 2 and the connection of the sensor element 2 to the carrier 3 through the glass cladding 7 protected. Furthermore encloses the glass envelope 7 the end of the ceramic carrier 3 at which the sensor element 2 is attached.

Das Ende des Trägers 3, das von dem Sensorelement 2 weg weist, wird auch als rückseitiges Ende bezeichnet. An dem rückseitigen Ende des Trägers 3 kann eine Zuleitung 8 befestigt werden. Insbesondere kann eine Zuleitung 8 mit der auf der Oberseite des keramischen Trägers 3 angeordneten Metallisierung 5 und eine weitere Zuleitung 8 mit der auf der Unterseite des keramischen Trägers angeordneten Metallisierung 5 verbunden werden.The end of the carrier 3 that of the sensor element 2 points away is also referred to as the back end. At the back end of the carrier 3 can be a supply line 8th be attached. In particular, a supply line 8th with the on top of the ceramic carrier 3 arranged metallization 5 and another supply line 8th with the arranged on the underside of the ceramic support metallization 5 get connected.

Im Folgenden wird meist nur die auf der Oberseite des keramischen Trägers 3 angeordneten Metallisierung 5 und die zugehörige Zuleitung 8 betrachtet. Die in diesem Zusammenhang offenbarten Merkmale treffen in gleicher Weise auch auf die auf der Unterseite des keramischen Trägers 3 angeordneten Metallisierung 5 und die zugehörige weitere Zuleitung 8 zu.In the following, usually only the one on top of the ceramic support 3 arranged metallization 5 and the associated supply line 8th considered. The features disclosed in this connection also apply in the same way to those on the underside of the ceramic carrier 3 disposed metallization 5 and the associated additional supply line 8th to.

Die Zuleitungen 8 sind dazu ausgestaltet, das Sensorelement 2 über die Metallisierungen 5 elektrisch zu kontaktieren. Bei den Zuleitungen 8 kann es sich beispielsweise um Bändchen, Litzenleitungen, ein Metallgewebe oder Draht handeln. Es kann sich beispielsweise um einen Silberdraht handeln.The supply lines 8th are designed to the sensor element 2 about the metallizations 5 to contact electrically. With the supply lines 8th For example, they may be ribbon, stranded wire, metal mesh or wire. For example, it can be a silver wire.

Die Zuleitungen 8 werden an jeweils einer der Metallisierungen 5 mechanisch befestigt. Die Zuleitungen 8 können beispielsweise mittels Thermodenschweißen an den Metallisierungen 5 befestigt sein. Alternativ können die Zuleitungen 8 durch eine andere Schweißverbindung, eine Lötverbindung, eine Klebeverbindung oder eine Sinterverbindung an den Metallisierungen 5 befestigt sein.The supply lines 8th are each at one of the metallizations 5 mechanically fastened. The supply lines 8th For example, by means of thermode welding on the metallizations 5 be attached. Alternatively, the supply lines 8th by another weld joint, a solder joint, an adhesive bond or a sintered bond to the metallizations 5 be attached.

Die Befestigung der Zuleitung 8 an der Metallisierung 5 zeichnet sich durch eine hohe Zugfestigkeit gegen Belastungen in axiale Richtung A aus. Die axiale Richtung A verläuft dabei entlang einer longitudinalen Achse des keramischen Trägers 3. Die axiale Richtung A steht senkrecht zu der Flächennormalen der Metallisierung 8. Hingegen weist die Befestigung der Zuleitung 5 an der Metallisierung 8 gegen eine Beanspruchung in eine radiale Richtung R eine um einen Faktor zwischen 5 und 10 geringere Belastbarkeit auf als gegen eine axiale Beanspruchung. Als Beanspruchung in radiale Richtung R wird hierbei die Beanspruchung durch eine Kraft bezeichnet, die zumindest eine Komponente in Richtung der Flächennormale der Metallisierung 5 aufweist. Die radiale Richtung R steht senkrecht auf der Oberfläche des keramischen Trägers 3.The fastening of the supply line 8th at the metallization 5 is characterized by a high tensile strength against loads in the axial direction A out. The axial direction A runs along a longitudinal axis of the ceramic carrier 3 , The axial direction A is perpendicular to the surface normal of the metallization 8th , On the other hand, has the attachment of the supply line 5 at the metallization 8th against a stress in a radial direction R by a factor of between 5 and 10 lower load capacity than against axial load. As stress in the radial direction R In this case, the stress is designated by a force which is at least one component in the direction of the surface normal of the metallization 5 having. The radial direction R is perpendicular to the surface of the ceramic carrier 3 ,

Um die geringere Belastbarkeit der mechanischen Befestigung der Zuleitung 8 an der Metallisierung 5 gegen radiale Kräfte im Vergleich zur Belastbarkeit gegen axiale Kräfte auszugleichen, ist die Zuleitung 8 ferner an einer Position des keramischen Trägers 3, die frei von der Metallisierung 5 ist, mechanisch an dem keramischen Träger 3 fixiert.To the lower load capacity of the mechanical attachment of the supply line 8th at the metallization 5 to compensate for radial forces compared to the load capacity against axial forces, is the supply line 8th further at a position of the ceramic carrier 3 that are free from the metallization 5 is mechanically attached to the ceramic carrier 3 fixed.

2 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel eines Sensors 1, bei dem die Zuleitung 8 zusätzlich an dem keramischen Träger 3 fixiert ist. 2 zeigt den Sensor 1 gemäß dem Ausführungsbeispiel im Querschnitt. 3 zeigt die Oberseite des Sensors 1 gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel. 4 zeigt eine Seitenansicht des Sensors 1 gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel. 2 shows a first embodiment of a sensor 1 in which the supply line 8th additionally fixed to the ceramic carrier 3. 2 shows the sensor 1 according to the embodiment in cross section. 3 shows the top of the sensor 1 according to the first embodiment. 4 shows a side view of the sensor 1 according to the first embodiment.

Die Zuleitung 8 ist an einer Verbindungsfläche 13 an der Metallisierung 5 befestigt. An der Verbindungsfläche 13 sind die Zuleitung 8 und die Metallisierung 5 sowohl mechanisch miteinander befestigt als auch elektrisch miteinander kontaktiert. Die Verbindungsfläche 13 ist flach. Die Flächennormale der Verbindungsfläche 13 zeigt dabei in die radiale Richtung R. Die axiale Richtung A steht senkrecht auf der Verbindungsfläche 13.The supply line 8th is at a connection surface 13 at the metallization 5 attached. At the interface 13 are the supply line 8th and the metallization 5 both mechanically fastened together and electrically contacted each other. The interface 13 is flat. The surface normal of the connection surface 13 shows it in the radial direction R , The axial direction A is perpendicular to the interface 13 ,

Der Sensor 1 weist einen keramischen Zement 9 auf, der mit dem Träger 3 und der Zuleitung 8 verbunden ist. Der keramische Zement 9 verklebt einen Abschnitt der Zuleitung 8, der zwischen einem ersten Ende der Zuleitung 8, das an der Metallisierung 5 befestigt ist, und einem zweiten Ende der Zuleitung 8, das von dem Sensorelement 2 weg weist, angeordnet ist, mit dem Grundkörper 4 des Trägers 3. Dadurch wird eine Bewegung der Zuleitung 8 in die radiale Richtung R relativ zu dem Grundkörper 4 erschwert. Dementsprechend sorgt der keramische Zement 9 dafür, dass die Verbindung zwischen der Zuleitung 8 und der Metallisierung 5 besser gegen Belastungen durch eine in die radiale Richtung R wirkende Kraft geschützt ist.The sensor 1 has a ceramic cement 9 on that with the carrier 3 and the supply line 8th connected is. The ceramic cement 9 glued a section of the supply line 8th that is between a first end of the supply line 8th that at the metallization 5 is attached, and a second end of the supply line 8th that of the sensor element 2 points away, is arranged with the main body 4 of the carrier 3 , This will cause a movement of the supply line 8th in the radial direction R relative to the main body 4 difficult. Accordingly, the ceramic cement provides 9 for making the connection between the supply line 8th and the metallization 5 better against stress from one in the radial direction R acting force is protected.

Der keramische Zement 9 ist kraftschlüssig mit dem Träger 3 verbunden. Der keramische Zement 9 kann mit der Zuleitung 8 entweder ebenfalls eine kraftschlüssige Verbindung eingehen oder mit der Zuleitung 8 formschlüssig verbunden sein. Bei einer formschlüssigen Verbindung könnte der keramische Zement 9 die Zuleitung 8 nur umschließen.The ceramic cement 9 is non-positive with the carrier 3 connected. The ceramic cement 9 can with the supply line 8th either also make a positive connection or with the supply line 8th be positively connected. In a positive connection of the ceramic cement 9, the supply line 8th just enclose.

In beiden Fällen könnte der keramische Zement 9 für eine Entlastung der mechanischen Verbindung zwischen der Zuleitung 8 und der Metallisierung 5 gegen radiale Kräfte sorgen. Ist der keramische Zement 9 auch mit der Zuleitung 8 kraftschlüssig verbunden, so kann der keramische Zement 9 die elektrisch Verbindungsstelle der Zuleitung 8 mit der Metallisierung 5 auch vor einer Torsion oder einem axialen Zug an der Zuleitung 8 schützen. Sind der keramische Zement 9 und die Zuleitung 8 lediglich formschlüssig miteinander verbunden, so ergibt sich der Vorteil, dass mechanische Belastungen an der elektrischen Verbindungsstelle durch unterschiedliche thermische Ausdehnungskoeffizienten des Trägers 3 und der Zuleitung 8 vermieden werden können.In both cases, the ceramic cement could 9 for a relief of the mechanical connection between the supply line 8 and the metallization 5 provide against radial forces. Is the ceramic cement 9 also with the supply line 8th positively connected, so can the ceramic cement 9 the electrical connection point of the supply line 8th with the metallization 5 even before a twist or an axial pull on the supply line 8th protect. Are the ceramic cement 9 and the supply line 8th only positively connected with each other, so there is the advantage that mechanical stresses at the electrical connection point by different thermal expansion coefficients of the carrier 3 and the supply line 8th can be avoided.

In dem hier gezeigten Ausführungsbeispiel ist der keramische Zement jeweils punktuell auf dem keramischen Träger und der Zuleitung angeordnet. Dabei ist ein erster Klebepunkt auf einer Oberseite des Trägers 3 angeordnet und ein zweiter Klebepunkt auf einer Unterseite des Trägers 3 angeordnet, der die weitere Zuleitung 8 mit der auf der Unterseite des Trägers 3 angeordneten Metallisierung 5 verbindet.In the embodiment shown here, the ceramic cement is arranged in each case at points on the ceramic support and the supply line. In this case, a first sticking point is on an upper side of the carrier 3 arranged and a second glue dot on a bottom of the carrier 3 arranged, which the further supply line 8th with the on the bottom of the carrier 3 arranged metallization 5 combines.

In einem alternativen Ausführungsbeispiel kann der keramische Zement 9 eine um den keramischen Träger 3 umlaufende Spur bilden. Die Spur umschließt insbesondere die longitudinale Achse des keramischen Trägers 3. Dabei sind auch die Zuleitungen 8 von der Spur des keramischen Zements 9 bedeckt. Die Ausgestaltung des keramischen Zements 9 als umlaufende Spur bietet verschiedene Vorteile. Zum einen wird die Oberfläche, auf der der keramische Zement 9 haftend aufgebracht ist, gegenüber einer punktuellen Aufbringung erheblich vergrößert. Dadurch wird die Haftung des keramischen Zements 9 insgesamt verbessert. Die Festigkeit des keramischen Zements 9 ist höher als seine Anhaftung an der Oberfläche des Trägers 3. Daher trägt die umlaufende Spur des keramischen Zements 9 zu einer verbesserten mechanischen Stabilität des Sensors 1 bei. Die umlaufende Spur des keramischen Zements 9 kann durch ein Rotieren des Sensors 1 erzeugt werden, wobei der keramische Zement 9 aufgespritzt wird.In an alternative embodiment, the ceramic cement 9 one around the ceramic carrier 3 to form an encircling track. In particular, the track encloses the longitudinal axis of the ceramic carrier 3 , Here are also the supply lines 8th from the trail of the ceramic cement 9 covered. The embodiment of the ceramic cement 9 as a revolving track offers several advantages. First, the surface on which the ceramic cement 9 is applied adhesively, compared to a punctual application significantly increased. This will increase the adhesion of the ceramic cement 9 improved overall. The strength of the ceramic cement 9 is higher than its adhesion to the surface of the carrier 3 , Therefore, the circumferential track of the ceramic cement contributes 9 to an improved mechanical stability of the sensor 1 at. The revolving trace of the ceramic cement 9 can be done by rotating the sensor 1 be produced, the ceramic cement 9 is sprayed on.

Der keramische Zement 9 überdeckt die Zuleitungen 8 und benetzt den keramischen Träger 3 in ausreichender Weise, um eine gute Haftung zu ermöglichen. Der keramische Zement 9 kann bei einer Temperatur von ca. 200° C ausgehärtet werden. Danach kann die Zuleitung 8 auch in radialer Richtung R in gleicher Weise wie in axialer Richtung A belastet werden.The ceramic cement 9 covers the supply lines 8th and wets the ceramic carrier 3 sufficient to allow good adhesion. The ceramic cement 9 can be cured at a temperature of about 200 ° C. After that, the supply line 8th also in the radial direction R in the same way as in the axial direction A be charged.

Statt des keramischen Zements 9 kann alternativ ein Kleber verwendet werden. Es kann beispielsweise ein Keramikkleber verwendet werden. Der Kleber kann punktuell oder als umlaufende Spur aufgebracht werden.Instead of the ceramic cement 9 Alternatively, an adhesive may be used. For example, a ceramic adhesive may be used. The adhesive can be applied selectively or as a circulating track.

5 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel des Sensors 1 in einem Querschnitt. Hier wird die Zuleitung 8 an den Träger 3 mit Hilfe eines Körpers 10 befestigt. Der Körper 10 kann ein keramisches Material aufweisen oder aus dem keramischen Material bestehen. Der Körper 10 ermöglicht ebenfalls eine Entlastung der Verbindung der Zuleitung 8 mit der Metallisierung 5 gegen radiale Belastungen. 5 shows a second embodiment of the sensor 1 in a cross section. Here is the supply line 8th to the carrier 3 with the help of a body 10 attached. The body 10 may comprise a ceramic material or consist of the ceramic material. The body 10 also allows a discharge of the connection of the supply line 8th with the metallization 5 against radial loads.

Der Körper 10 ist auf den Träger 3 und die Zuleitung 8 aufgeschoben. Der Körper 10 weist eine Öffnung 11 auf, die durch den Körper 10 hindurch geht.The body 10 is on the carrier 3 and the supply line 8th postponed. The body 10 has an opening 11 on that by the body 10 goes through it.

6 zeigt den Körper 10 in einem Querschnitt. Sowohl die Zuleitung 8 als auch der Träger 3 erstrecken sich durch die Öffnung 11 des Körpers 10 hindurch. Das Querschnittsprofil der Öffnung 11 ist an den keramischen Träger 3 und die Zuleitung 8 angepasst. Die Öffnung 11 in dem Körper 10 ist dabei derart geformt, dass der Körper 10 eine Bewegung der Zuleitung 8 in die radiale Richtung R relativ zu dem Träger 3 verhindert. Der Körper 10 lässt axiale Bewegungen der Zuleitung 8 relativ zu dem Träger 3 zu. Dementsprechend kommt es durch unterschiedliche thermische Ausdehnungskoeffizienten des Trägers 3 und der Zuleitung 8 nicht zu einer mechanischen Belastung der mechanischen Verbindung zwischen der Zuleitung 8 und der Metallisierung 5. 6 shows the body 10 in a cross section. Both the supply line 8th as well as the carrier 3 extend through the opening 11 of the body 10 therethrough. The cross-sectional profile of the opening 11 is attached to the ceramic carrier 3 and the supply line 8th customized. The opening 11 in the body 10 is shaped so that the body 10 a movement of the supply line 8th in the radial direction R relative to the carrier 3 prevented. The body 10 allows axial movements of the supply line 8th relative to the carrier 3 to. Accordingly, it comes by different thermal expansion coefficients of the carrier 3 and the supply line 8th not to a mechanical load on the mechanical connection between the lead 8 and the metallization 5 ,

7 zeigt den in 5 gezeigten Sensor 1 in einer perspektivischen Ansicht von oben. 8 zeigt eine Seitenansicht des Sensors 1. 7 shows the in 5 shown sensor 1 in a perspective view from above. 8th shows a side view of the sensor 1 ,

9 zeigt eine alternative Variante des zweiten Ausführungsbeispiels. Hierbei weist der Körper 10 eine erste Öffnung 11 auf, die sich durch den Körper 10 hindurch erstreckt. Der Durchmesser der ersten Öffnung 11 ist so gewählt, dass die Zuleitung 8 durch die erste Öffnung 11 des Körpers 10 durch diesen hindurch verlaufen kann. Ferner weist der Körper 10 ein Sackloch 12 auf, das eine nicht durchgehende Öffnung ausbildet. Der Körper 10 ist auf den Träger 3 aufgeschoben, wobei ein Ende des Grundkörpers 4 in dem Sackloch 12 angeordnet ist. Das Sackloch 12 bildet einen Anschlag, an dem der Träger 3 anschlägt, wodurch seine Position relativ zu dem Körper 10 vorgegeben ist. 9 shows an alternative variant of the second embodiment. Here, the body points 10 a first opening 11 up, moving through the body 10 extends through. The diameter of the first opening 11 is chosen so that the supply line 8th through the first opening 11 of the body 10 can pass through it. Further, the body points 10 a blind hole 12 on, which forms a non-continuous opening. The body 10 is on the carrier 3 deferred, with one end of the main body 4 in the blind hole 12 is arranged. The blind hole 12 forms a stop on which the wearer 3 strikes, reducing its position relative to the body 10 is predetermined.

Die Fixierung der Zuleitung 8 an dem Träger 3 durch einen Körper 10, der auf die Zuleitung 8 und den Träger 3 aufgeschoben wird, kann mit einer Fixierung durch den keramischen Zement 9 oder einen Kleber kombiniert werden. Durch eine Kombination dieser Ausführungsbeispiele kann eine noch bessere Belastbarkeit gegen radial wirkende Kräfte erreicht werden.The fixation of the supply line 8th on the carrier 3 through a body 10 who is on the supply line 8th and the carrier 3 can be postponed, with a fixation by the ceramic cement 9 or a glue combined. By a combination of these embodiments, an even better resilience against radially acting forces can be achieved.

Ferner kann die Zuleitung 8 Verformungen aufweisen, die die Zuleitung 8 axial an dem Körper 10 oder an dem keramischen Zement 9 fixiert. Beispielsweise kann die Zuleitung 8 durch einen Draht gebildet werden. Dieser Draht kann im Wesentlichen einen linearen Verlauf aufweisen. Die Verformungen können Knicke oder Kurven in dem Draht ausbilden, die derart angeordnet sind, dass sie an Körper 10 bzw. an dem keramischen Zement 9 anliegen und so axiale Bewegungen der Zuleitung relativ zu dem Körpers 10 bzw. zu dem keramischen Zement 9 verhindern.Furthermore, the supply line 8th Have deformations that the supply line 8th axially on the body 10 or on the ceramic cement 9 fixed. For example, the supply line 8th be formed by a wire. This wire may have a substantially linear course. The deformations may form kinks or curves in the wire which are arranged to contact bodies 10 or on the ceramic cement 9 abut and so axial movements of the supply line relative to the body 10 or to the ceramic cement 9 prevent.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
Sensorsensor
22
Sensorelementsensor element
33
keramischer Trägerceramic carrier
44
Grundkörperbody
55
Metallisierungmetallization
66
Drahtbrückejumper
77
Glasumhüllungglass envelope
88th
Zuleitungsupply
99
keramischer Zementceramic cement
1010
Körperbody
1111
Öffnungopening
1212
Sacklochblind
1313
Verbindungsflächeinterface
AA
axiale Richtungaxial direction
RR
radiale Richtungradial direction

Claims (15)

Sensor (1), aufweisend einen keramischen Träger (3), an dem ein Sensorelement (2) befestigt ist und der eine Metallisierung (5) aufweist, die elektrisch mit dem Sensorelement (2) kontaktiert ist, und eine Zuleitung (8), die an der Metallisierung (5) befestigt ist und die dazu ausgestaltet ist, das Sensorelement (2) über die Metallisierung (5) elektrisch zu kontaktieren, wobei die Zuleitung (8) an einer weiteren Position mechanisch an dem keramischen Träger (3) fixiert ist.Sensor (1), comprising a ceramic carrier (3) to which a sensor element (2) is fixed and which has a metallization (5) which is electrically contacted with the sensor element (2), and a lead (8) attached to the metallization (5) and configured to electrically contact the sensor element (2) via the metallization (5), wherein the supply line (8) is mechanically fixed to the ceramic support (3) at a further position. Sensor (1) gemäß dem vorherigen Anspruch, wobei der keramische Träger (3) an der weiteren Position frei von der Metallisierung (5) ist.Sensor (1) according to the preceding claim, wherein the ceramic support (3) is free of the metallization (5) at the further position. Sensor (1) gemäß einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Zuleitung (8) ein erstes Ende und ein zweites Ende aufweist, wobei das erste Ende der Zuleitung (8) an der Metallisierung (5) befestigt ist, wobei ein Abschnitt der Zuleitung (8), der an der weiteren Position mechanisch an dem keramischen Träger (3) fixiert ist, zwischen dem ersten Ende und dem zweiten Ende liegt.Sensor (1) according to one of the preceding claims, wherein the supply line (8) has a first end and a second end, the first end of the feed line (8) being fastened to the metallization (5), wherein a portion of the lead (8) mechanically fixed to the ceramic support (3) at the further position lies between the first end and the second end. Sensor (1) gemäß einem der vorherigen Ansprüche, wobei die mechanische Fixierung der Zuleitung (8) an dem keramischen Träger (3) derart gestaltet ist, dass das die mechanische Fixierung die Befestigung der Zuleitung (8) an der Metallisierung (5) gegen eine Kraft, die auf die Zuleitung (8) in eine Richtung (R) senkrecht zu einer Oberfläche der Metallisierung (5) von dem keramischen Träger (3) weg wirkt, entlastet.Sensor (1) according to one of the preceding claims, wherein the mechanical fixation of the supply line (8) on the ceramic support (3) is designed such that the mechanical fixing the attachment of the supply line (8) to the metallization (5) against a Force acting on the lead (8) in a direction (R) perpendicular to a surface of the metallization (5) away from the ceramic support (3) relieves. Sensor (1) gemäß einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Zuleitung (8) durch einen keramischen Zement (9) oder einen Kleber, der mit dem keramischen Träger (3) und der Zuleitung (8) verbunden ist, an der zumindest einen weiteren Position relativ zu dem keramischen Träger (3) mechanisch fixiert ist.Sensor (1) according to one of the preceding claims, wherein the feed line (8) by a ceramic cement (9) or an adhesive, which is connected to the ceramic support (3) and the supply line (8), at the at least one further position is mechanically fixed relative to the ceramic support (3). Sensor (1) gemäß dem vorherigen Anspruch, wobei der keramische Zement (9) bzw. der Kleber kraftschlüssig mit dem keramischen Träger (3) verbunden ist und die Zuleitung (8) formschlüssig umgibt.Sensor (1) according to the preceding claim, wherein the ceramic cement (9) or the adhesive is non-positively connected to the ceramic carrier (3) and surrounds the feed line (8) in a form-fitting manner. Sensor (1) gemäß einem der Ansprüche 5 oder 6, wobei der keramische Zement (9) bzw. der Kleber punktuell auf dem keramischen Träger (3) und der Zuleitung (8) angeordnet ist.Sensor (1) according to one of Claims 5 or 6 , wherein the ceramic cement (9) or the adhesive is arranged selectively on the ceramic support (3) and the supply line (8). Sensor (1) gemäß einem der Ansprüche 5 oder 6, wobei der keramische Zement (9) bzw. der Kleber eine um den keramischen Träger (3) umlaufende Spur bildet.Sensor (1) according to one of Claims 5 or 6 , wherein the ceramic cement (9) or the adhesive forms a track surrounding the ceramic carrier (3). Sensor (1) gemäß einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Zuleitung (8) durch einen auf den keramischen Träger (3) aufgeschobenen Körper (10), der den keramischen Träger (3) und die Zuleitung (8) umschließt, an der einen weiteren Position relativ zu dem keramischen Träger (3) mechanisch fixiert ist.Sensor (1) according to one of the preceding claims, wherein the feed line (8) by a on the ceramic support (3) pushed body (10) which encloses the ceramic support (3) and the supply line (8), at the one further Position is mechanically fixed relative to the ceramic support (3). Sensor (1) gemäß dem vorherigen Anspruch, wobei der Körper (10) eine durchgehende Öffnung (11) aufweist, durch die die Zuleitung (8) verläuft.Sensor (1) according to the preceding claim, wherein the body (10) has a through opening (11) through which the supply line (8) extends. Sensor (1) gemäß dem vorherigen Anspruch, wobei der keramische Träger (3) sich durch die durchgehende Öffnung des Körpers (10) erstreckt.A sensor (1) according to the preceding claim, wherein the ceramic carrier (3) extends through the through opening of the body (10). Sensor (1) gemäß dem Anspruch 10, wobei der Körper (10) ein Sackloch (12) aufweist, das einen Anschlag definiert, an dem der keramische Träger (3) anliegt.Sensor (1) according to the Claim 10 wherein the body (10) has a blind hole (12) defining a stop against which the ceramic support (3) abuts. Sensor (1) gemäß einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Zuleitung (8) eine Verformung aufweist, die mit der mechanischen Fixierung der Zuleitung (8) an dem keramischen Träger (3) zusammenwirkt und dadurch eine Bewegung der Zuleitung (8) relativ zu dem keramischen Träger (3) in eine axiale Richtung (A), die senkrecht zu der Flächennormale der Metallisierung (5) ist, verhindert.Sensor (1) according to one of the preceding claims, wherein the feed line (8) has a deformation which cooperates with the mechanical fixing of the feed line (8) to the ceramic carrier (3) and thereby movement of the feed line (8) relative to the ceramic support (3) in an axial direction (A), which is perpendicular to the surface normal of the metallization (5) prevented. Sensor (1) gemäß einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Zuleitung (8) an der Metallisierung (5) durch eine Lötverbindung, eine Schweißverbindung, eine Klebeverbindung oder eine Sinterverbindung mechanisch befestigt ist.Sensor (1) according to one of the preceding claims, wherein the feed line (8) is mechanically fastened to the metallization (5) by means of a solder connection, a welded connection, an adhesive connection or a sintered connection. Sensor (1) gemäß einem der vorherigen Ansprüche, wobei es bei dem Sensor (1) um einen Temperatursensor handelt und wobei das Sensorelement (2) ein NTC-Thermistor ist.Sensor (1) according to one of the preceding claims, wherein the sensor (1) is a temperature sensor and wherein the sensor element (2) is an NTC thermistor.
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