DE102016124026A1 - Pressure sensor for determining a differential pressure - Google Patents
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Abstract
Ein Drucksensor (1, 101) zur Ermittlung eines Differenzdrucks zwischen einem Mediumsdruck und einem Referenzdruck umfassendein Sensorgehäuse (2, 102) mit einem Druckmittlerkörper (3, 103)eine mediumsseitig auf dem Druckmittlerkörper (3, 103) angeordnete Trennmembran (6, 106)eine Druckmesszelle (9, 109), sowieeinen Kanal (8, 108) zur Übertragung eines Druckes von der Trennmembran (6, 106) auf die Druckmesszelle (9, 109) mittels einerim Kanal (8, 108) befindlichen Überleitungsflüssigkeit (10, 110), wobei der Kanal (8, 108) im Bereich eines Zentrums der Trennmembran (6, 106) im Druckmittlerkörper (3, 103) eine trennmembranseitige Öffnung (67, 171) aufweist und dass der Kanal (8, 108) eine druckmesszellenseitige Öffnung (69, 173) aufweist, welche exzentrisch im Sensorgehäuse (2, 102) angeordnet ist.A pressure sensor (1, 101) for determining a differential pressure between a medium pressure and a reference pressure comprising a sensor housing (2, 102) with a diaphragm seal body (3, 103) a separation membrane (6, 106) arranged on the fluid diaphragm body (3, 103) on the medium side Pressure measuring cell (9, 109), anda channel (8, 108) for transmitting a pressure from the separation membrane (6, 106) to the pressure measuring cell (9, 109) by means of a transfer fluid (10, 110) located in the channel (8, 108), wherein the channel (8, 108) in the area of a center of the separation membrane (6, 106) in the diaphragm housing (3, 103) has a separation membrane-side opening (67, 171) and in that the channel (8, 108) has a pressure measuring cell-side opening (69, 173), which is arranged eccentrically in the sensor housing (2, 102).
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drucksensor zur Ermittlung eines Differenzdruckes nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The present invention relates to a pressure sensor for determining a differential pressure according to the preamble of
Die
Ausgehend vom vorgenannten Stand der Technik ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine alternative Bauweise für einen Drucksensor anzubieten, welche einen besonders vorteilhaften Schutz des Relativdrucksensors gegenüber Feuchtigkeit ermöglicht.Based on the aforementioned prior art, it is an object of the present invention to provide an alternative construction for a pressure sensor, which allows a particularly advantageous protection of the relative pressure sensor to moisture.
Die vorliegende Erfindung löst die Aufgabe durch einen Drucksensor zur Ermittlung eines Differenzdruckes mit den Merkmalen des Anspruchs 1.The present invention solves the problem by a pressure sensor for determining a differential pressure with the features of
Ein erfindungsgemäßer Drucksensor ermöglicht die Ermittlung eines Differenzdrucks zwischen einem Mediumsdruck und einem Referenzdruck. Er umfasst
- I ein Sensorgehäuse mit einem Druckmittlerkörper
- II eine mediumsseitig auf dem Druckmittlerkörper angeordnete Trennmembran
- III eine Druckmesszelle, sowie
- IV einen Kanal zur Übertragung eines Druckes von der Trennmembran auf die Druckmesszelle mittels einer im Kanal befindlichen Überleitungsflüssigkeit,
- I a sensor housing with a diaphragm seal body
- II a medium side arranged on the diaphragm seal body separating membrane
- III a pressure measuring cell, as well
- IV a channel for transmitting a pressure from the separation membrane to the pressure measuring cell by means of a transfer liquid located in the channel,
Im Sensorgehäuse ist ein erster Gehäusehohlraum ausgebildet. Innerhalb des Gehäusehohlraumes ist angeordnet, welches einen zweiten Gehäusehohlraum zumindest bereichsweise begrenzt. In diesem zweiten Gehäusehohlraum ist die Druckmesszelle angeordnet.In the sensor housing, a first housing cavity is formed. Within the housing cavity is arranged, which limits a second housing cavity at least partially. In this second housing cavity, the pressure measuring cell is arranged.
Selbst wenn es zum Eindringen von Feuchtigkeit, z.B. Luftfeuchte, in den ersten Gehäusehohlraum kommt, so schützt das Innengehäuse die Druckmesszelle zuverlässig vor Feuchtigkeit.Even if it is to penetrate moisture, e.g. Humidity, comes into the first housing cavity, so protects the inner housing the pressure measuring cell reliably from moisture.
Zusätzlich zur Druckmesszelle sind im Innengehäuse zudem eine Keramikfassung und eine Sensorelektronik angeordnet, welche mit der Druckmesszelle verbunden sind.In addition to the pressure measuring cell, a ceramic socket and a sensor electronics are also arranged in the inner housing, which are connected to the pressure measuring cell.
Besonders vorteilhaft ist dieser Schutz sofern man als Druckmesszellen eine Druckmesszelle auf Basis eines Siliziummaterials, insbesondere einen MEMS-Chip, nutzt, da dessen Messperformance besonders negativ durch Luftfeuchte beeinflusst wird.This protection is particularly advantageous if a pressure measuring cell based on a silicon material, in particular a MEMS chip, is used as the pressure measuring cells, since its measuring performance is influenced particularly negatively by atmospheric moisture.
Vorteilhafte Ausgestaltungen eines erfindungsgemäßen Drucksensors sind Gegenstand der Unteransprüche.Advantageous embodiments of a pressure sensor according to the invention are the subject of the dependent claims.
Das Innengehäuse kann vorteilhaft eine Druckdurchführung aufweisen, zur Durchleitung der Überleitungsflüssigkeit, welche mit einem Referenzdruck beaufschlagt ist, durch das Innengehäuse zur Druckmesszelle hin.The inner housing may advantageously have a pressure feedthrough, for the passage of the transfer fluid, which is acted upon by a reference pressure, through the inner housing to the pressure measuring cell out.
Zusätzlich zur Druckdurchführung können zwischen der Druckdurchführung und der Druckmesszelle weitere Überleitungselemente, z.B. Silikonschläuche oder ein Kanalabschnitt in einer Keramikfassung, zur Leitung der Überleitungsflüssigkeit vorgesehen sein. Diese bilden einen gemeinsamen Kanal aus, mit welchen ein Referenzdruck eines Referenzmediums mittels der Überleitungsflüssigkeit aufgenommen und zur Druckmesszelle weitergeleitet werden kann. Die Druckdurchführung ist dabei Teil des vorgenannten Kanals.In addition to the pressure feedthrough, further transfer elements, e.g. Silicone hoses or a channel portion in a ceramic socket, be provided for the conduction of the transfer fluid. These form a common channel, with which a reference pressure of a reference medium can be recorded by means of the transfer fluid and forwarded to the pressure measuring cell. The pressure feedthrough is part of the aforementioned channel.
Die Druckdurchführung kann röhrchenförmig ausgebildet sein und stoffschlüssig mit dem Innengehäuse verbunden sein. Röhrchen- oder rohrförmig sind dabei in Rahmen der vorliegenden Erfindung als gleiche Begriffe anzusehen. Die stoffschlüssige Verbindung kann auch dergestalt sein, dass die Durchleitung integral aus dem Material des Innengehäuses ausgebildet sein kann. Die stoffschlüssige Verbindung kann auch dergestalt sein, dass die Durchleitung gemeinsam mit dem Innengehäuse eine monolithische Gehäuseeinheit bildet.The pressure feedthrough can be tube-shaped and can be materially connected to the inner housing. Tubular or tubular are to be regarded as the same terms in the context of the present invention. The cohesive connection can also be such that the passage can be integrally formed from the material of the inner housing. The cohesive connection can also be such that the passage together with the inner housing forms a monolithic housing unit.
Das Innengehäuse kann vorzugsweise aus Metall, insbesondere aus Edelstahl, gebildet sein.The inner housing may preferably be formed of metal, in particular of stainless steel.
Das Innengehäuse kann eine Signaldurchführung aufweisen, zur Durchführung einer Signalleitung zur Übertragung eines Messsignals und/oder einer Stromversorgungsleitung. Damit sind die Energieversorgung der Druckmesszelle und/oder die Kommunikation der Druckmesszelle mit Elektronikbauteilen außerhalb des Innengehäuses gewährleistet.The inner housing may have a signal feedthrough, for carrying out a signal line for transmitting a measuring signal and / or a power supply line. Thus, the power supply of the pressure measuring cell and / or the communication of the pressure measuring cell with electronic components outside of the inner housing are guaranteed.
Die Signaldurchführung kann metallische Kontakte, insbesondere Kontaktstifte, aufweisen, welche stoffschlüssig im Innengehäuse angeordnet, insbesondere vergossen, sind.The signal feedthrough can have metallic contacts, in particular contact pins, which are arranged in a materially bonded manner in the inner housing, in particular encapsulated.
Eine vollständige Begrenzung des zweiten Gehäusehohlraumes kann vorteilhaft durch das Innengehäuse und den Druckmittlerkörper erreicht werden. Diese können eine bauliche Einheit bilden. Druckmittlerkörper und Innengehäuse können miteinander stoffschlüssig verbunden, vorzugsweise verschweißt, sein.A complete limitation of the second housing cavity can advantageously be achieved by the inner housing and the diaphragm seal body become. These can form a structural unit. The diaphragm seal body and the inner housing can be connected to one another in a material-bonded manner, preferably welded.
Der Druckmittlerkörper kann mittels eines ringförmigen Anschlusselements bzw. eines Anschlussrings mit dem Sensorgehäuse verbunden sein. Das Anschlusselement kann randseitig mit dem Sensorgehäuse verschweißt und einen zentralen Einführkanal aufweisen, durch welchen eine bauliche Einheit aus Innengehäuse und Druckmittlerkörper eingeführt ist. Die Fertigung von einzelnen Baueinheiten hat fertigungstechnische Vorteile.The diaphragm seal body can be connected to the sensor housing by means of an annular connection element or a connection ring. The connecting element can be welded to the edge of the sensor housing and have a central insertion channel, through which a structural unit of inner housing and diaphragm seal body is inserted. The production of individual units has manufacturing advantages.
Das Innengehäuse kann vorteilhaft zylindrisch ausgebildet sein und eine Längsachse aufweisen, welche auf der Längsachse des Sensorgehäuses angeordnet ist. Somit ist das Innengehäuse konzentrisch zum Sensorgehäuse angeordnet.The inner housing may advantageously be cylindrical and have a longitudinal axis which is arranged on the longitudinal axis of the sensor housing. Thus, the inner housing is arranged concentrically to the sensor housing.
Der Kanal kann im Bereich eines Zentrums der Trennmembran im Druckmittlerkörper eine trennmembranseitige Öffnung aufweisen und eine druckmesszellenseitige Öffnung aufweisen, welche exzentrisch im Sensorgehäuse angeordnet ist. Dadurch kann eine optimale Anordnung der Druckmesszelle und damit verbundener Bauteile, insbesondere der Keramikfassung und der Sensorelektronik innerhalb des Innengehäuses erfolgen.The channel may have in the region of a center of the separation membrane in the diaphragm seal body a separation membrane-side opening and having a pressure measuring cell-side opening, which is arranged eccentrically in the sensor housing. This allows an optimal arrangement of the pressure measuring cell and associated components, in particular the ceramic socket and the sensor electronics within the inner housing.
Durch die dezentrale Ableitung des Druckes innerhalb des Kanals kann insbesondere eine Einheit aus Druckmesszelle und gekoppelter Sensorelektronik platzsparender in einem Sensorgehäuse angeordnet werden. Durch den optimierten Bauraum kann insbesondere eine Miniaturisierung des gesamten Drucksensors ermöglicht werden.Due to the decentralized discharge of the pressure within the channel, in particular a unit of pressure measuring cell and coupled sensor electronics can be arranged in a space-saving manner in a sensor housing. Due to the optimized space especially a miniaturization of the entire pressure sensor can be made possible.
Nachfolgend werden weitere vorteilhafte Ausgestaltungen erläutert.Hereinafter, further advantageous embodiments will be explained.
Die trennmembranseitige Öffnung kann einem ersten trennmembranseitige Kanalsegment im Druckmittlerkörper zugeordnet sein, welches Kanalsegment eine Kanalachse A aufweist und die druckmesszellenseitige Öffnung kann einem zweiten druckmesszellenseitigen Kanalsegment mit einer Kanalachse B zugeordnet sein, wobei die Kanalachse B nicht auf der Kanalachse A angeordnet ist. Dadurch wird der Anschluss der Druckmesszelle ggf. in Einheit mit einer Keramikeinfassung vereinfacht. Besonders bevorzugt kann die Kanalachse B parallel zur Kanalachse A angeordnet sein.The separating diaphragm-side opening may be assigned to a first separating-membrane-side channel segment in the pressure-medium body, which channel segment has a channel axis A and the pressure-measuring cell-side opening may be assigned to a second pressure measuring cell-side channel segment with a channel axis B, wherein the channel axis B is not arranged on the channel axis A. As a result, the connection of the pressure measuring cell is possibly simplified in unit with a ceramic enclosure. Particularly preferably, the channel axis B can be arranged parallel to the channel axis A.
Die Druckmesszelle kann innerhalb des Sensorgehäuses exzentrisch in vorteilhafter platzsparender Weise angeordnet sein.The pressure measuring cell can be arranged eccentrically in an advantageous space-saving manner within the sensor housing.
Die Druckmesszelle kann insbesondere auf Basis eines Siliziumwafers ausgebildet sein.The pressure measuring cell can be designed in particular based on a silicon wafer.
Eine besondere Platzersparnis beim Aufbau des Drucksensors ergibt der vorgenannte Aufbau sofern der Drucksensor eine seitlich zur Druckmesszelle angeordnete Sensorelektronik aufweist.A particular space savings in the construction of the pressure sensor results in the aforementioned construction if the pressure sensor has a side of the pressure measuring cell arranged sensor electronics.
Das Sensorgehäuse kann zudem vorteilhaft eine Sensorgehäuseachse A aufweisen, auf welcher die Kanalachse A angeordnet ist. Ein solches Sensorgehäuse ist einfach fertigbar.The sensor housing may also advantageously have a sensor housing axis A, on which the channel axis A is arranged. Such a sensor housing is easily manufacturable.
Die Sensorelektronik kann vorteilhaft in platzsparender Weise näher zur Sensorgehäuseachse A angeordnet sein als die Druckmesszelle.The sensor electronics can advantageously be arranged in a space-saving manner closer to the sensor housing axis A than the pressure measuring cell.
Vorteilhaft kann die Druckmesszelle durch eine Keramikfassung eingefasst sein, welche ebenfalls platzsparend dezentral im Sensorgehäuse angeordnet ist.Advantageously, the pressure measuring cell can be enclosed by a ceramic socket, which is also arranged in a space-saving decentralized manner in the sensor housing.
Eine Einheit aus Druckmesszelle, Keramikfassung und Sensorelektronik kann innerhalb des Sensorgehäuses in einem Innengehäuse zum Schutz vor Feuchtigkeit angeordnet sein. Wenngleich das Innengehäuse Bauraum beansprucht, wird dieses durch die dezentrale Druckführung und den damit eingesparten Bauraum wieder ausgeglichen. Insgesamt ist daher ein miniaturisierter Drucksensor auch für Hochdruckanwendungen realisierbar.A unit of pressure measuring cell, ceramic socket and sensor electronics can be arranged inside the sensor housing in an inner housing for protection against moisture. Although the inner housing takes up space, this is compensated by the decentralized pressure guide and thus saved space. Overall, therefore, a miniaturized pressure sensor can also be realized for high-pressure applications.
Der Druckmittlerkörper kann sowohl das erste Kanalsegment, zumindest teilweise das zweite Kanalsegment und ein drittes Kanalsegment aufweisen, welches das erste und das zweite Kanalsegment verbindet. Fertigungstechnisch muss somit nur der Druckmittlerkörper bearbeitet werden. Eine Umgestaltung weiterer Bauteile ist nicht nötig.The diaphragm seal body can have both the first channel segment, at least partially the second channel segment and a third channel segment, which connects the first and the second channel segment. Manufacturing technology therefore only the diaphragm seal body must be processed. A redesign of other components is not necessary.
Zur druckdichten und zugleich einfach-fertigbaren Anordnung können die Kanalsegmente als Sacklochbohrungen ausgebildet sein.For pressure-tight and at the same time easily manufacturable arrangement, the channel segments may be formed as blind holes.
Als mediumsseitige Trennmembran ist im Rahmen der vorliegenden Erfindung vorzugsweise eine mediumsberührende Trennmembran, welche in Kontakt mit dem Messmedium steht, zu verstehen.In the context of the present invention, the medium-side separating membrane is preferably a medium-contacting separating membrane which is in contact with the measuring medium.
Zur Vermeidung des Austritts an Überleitungsflüssigkeit kann das dritte Kanalsegment durch ein Verschlusselement begrenzt sein, welches im Druckmittlerkörper angeordnet ist.In order to avoid leakage to the transfer fluid, the third channel segment may be delimited by a closure element, which is arranged in the diaphragm seal body.
Ein optionaler dritter Gehäusehohlraum innerhalb des Sensorgehäuses kann als ein Elektronikbauraum ausgebildet sein. Zumindest die Strom- und/oder Signalleitung erstreckt sich dabei bis in alle drei Gehäusehohlräume und verbindet Sensorelektronik mit im Elektronikbauraum angeordneten Elektronikbauteilen.An optional third housing cavity within the sensor housing may be configured as an electronics assembly space. At least the power and / or signal line extends into all three housing cavities and connects Sensor electronics with electronic components arranged in the electronics installation space.
Die Erfindung wird nun anhand eines in der nachfolgenden Figur dargestellten Ausführungsbeispiels erläutert. Es zeigt:
-
1 : einen Längsschnitt durch einen schematisch dargestellten ersten erfindungsgemäßen Drucksensors; und -
2 einen Längsschnitt durch einen schematisch dargestellten zweiten erfindungsgemäßen Drucksensor.
-
1 a longitudinal section through a schematically illustrated first pressure sensor according to the invention; and -
2 a longitudinal section through a schematically illustrated second pressure sensor according to the invention.
Ausgehend von der Druckkammer
Vorzugsweise handelt es bei der Übertragungsflüssigkeit um ein Öl, insbesondere um ein niederviskoses Öl, beispielweise mit einer kinetischen Viskosität von 20 mm/s.The transfer liquid is preferably an oil, in particular a low-viscosity oil, for example having a kinetic viscosity of 20 mm / s.
Die Druckmesszelle
Die Druckmesszelle
Die Druckmesszelle
Der mit Übertragungsmedium gefüllte erste Kanal
Der Druckmittlerkörper
Die stirnseitig am Druckmittlerkörper
Die Trennmembran
Das Gehäuse weist eine Gehäuseachse
Der erste Kanal
Der erste Kanal
Die Kanalachse
Zur Realisierung dieser dezentralen Anordnung ist in
Somit ist bei der in
Entsprechend weist das erste Kanalsegment die trennmembranseitige Öffnung
Das zweite Kanalsegment kann mit dem Druckmittlerkörper
Diese druckmesszellenseitige Öffnung ist dezentral im Sensorgehäuse angeordnet und wobei das Zentrum des Sensorgehäuses im Rahmen der vorliegenden Erfindung durch eine Achse definiert wird, welche durch das Zentrum der Trennmembran und parallel zur Gehäuseachse, insbesondere auf der Gehäuseachse, verläuft.This pressure measuring cell-side opening is arranged decentrally in the sensor housing and wherein the center of the sensor housing is defined in the present invention by an axis which extends through the center of the separation membrane and parallel to the housing axis, in particular on the housing axis.
Die Druckmesszelle
Die Keramikfassung
Das mehrteilige Sensorgehäuse
Die Gehäusehülse
Ein zweiter Gehäusehohlraum
Die Einheit aus Druckmesszelle
In der Wandung der Gehäusekappe kann eine nicht näher dargestellte Signaldurchführung angeordnet sein. Diese kann beispielsweise elektrisch leitende, insbesondere metallische Signalstifte umfassen, welche in einer elektrisch-isolierenden Vergussmasse eingefasst sind. Diese Signalstifte erstrecken sich durch die Vergussmasse, so dass sie außerhalb des Sensorgehäuses mit einer externen Signalverbindungsleitung kontaktierbar sind.In the wall of the housing cap, a signal passage not shown can be arranged. This may comprise, for example, electrically conductive, in particular metallic signal pins, which are enclosed in an electrically insulating potting compound. These signal pins extend through the potting compound, so that they can be contacted outside of the sensor housing with an external signal connection line.
Innerhalb des zweiten Gehäusehohlraums ist eine Signalleitung
Der erste Kanal
Der zweite Kanal
Die Gehäusehülse
Die Gehäusekappe
Bei Ex-d-tauglichen Geräten kann der erste Kanal zwischen Druckmesszelle und Druckkammer beispielsweise zusätzlich eine Flammendurchschlagsperre
Wie aus
Die Schräglochbohrung zur Schaffung des zweiten Kanalsegments sowie die beiden anderen Kanalsegmente sind als Sacklochbohrungen ausgebildet und erstrecken sich nicht durch den gesamten Druckmittlerkörper sondern nur bis in eine vorbestimmte Tiefe.The oblique hole for creating the second channel segment and the two other channel segments are formed as blind holes and do not extend through the entire diaphragm seal body but only to a predetermined depth.
Die Gehäusegröße des Drucksensors
Die Sensorelektronik
Der zweiten Gehäusehohlraum
Der in
Dabei erlaubt das Innengehäuse
Der Drucksensor eignet sich besonders vorteilhaft für den Einsatz in biotechnologischen Anlagen. In derartigen Anlagen wird oftmals eine aggressive Reinigung zur Entkeimung und Desinfizierung benötigt. Der Drucksensor kann diesen Reinigungsprozessen standhalten.The pressure sensor is particularly advantageous for use in biotechnological plants. Such systems often require aggressive cleaning for sterilization and disinfection. The pressure sensor can withstand these cleaning processes.
Die Gehäusekappe 114 definiert einen ersten Gehäusehohlraum
Zwischen dem Sensorgehäuse
Der Spalt
An dem Innengehäuse
Der Einsatz
Vorzugsweise kann die Öffnung der Bohrung
Im Inneren des Einsatzes
Die Druckmesszelle ist hervorragend gegen Druck-Überlast gesichert. Zudem steht der Drucksensor auch kleinen Prozessanschlüssen zur Verfügung.The pressure cell is perfectly protected against pressure overload. In addition, the pressure sensor is also available for small process connections.
Der vorbeschriebene Sensoreinsatz
Diese Sensorhülse
Der Druckmittlerkörper
Auch in
Die Trennmembran
Der Kanal
Ein drittes Kanalsegment
Der Kanal weist zudem, vorzugsweise ebenfalls im Druckmittlerkörper
Das Innengehäuse
Das ringförmige Anschlusselement 140 weist einen Einführkanal 141 auf, durch welches die bauliche Einheit aus Druckmittlerkörper
Dies hat den besonderen Vorteil, dass die bauliche Einheit gesondert vorproduziert und anschließend in das restliche Sensorgehäuse eingesetzt werden kann.This has the particular advantage that the structural unit can be separately pre-produced and then inserted into the remaining sensor housing.
Weitere Bauteile des Drucksensors
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
- 1.1.
- Drucksensorpressure sensor
- 2.Second
- Mehrteiliges SensorgehäuseMulti-part sensor housing
- 3.Third
- Erster DruckmittlerkörperFirst diaphragm seal body
- 4.4th
- Stirnseitefront
- 5.5th
- Trennmembranseparating membrane
- 6.6th
- Randedge
- 7.7th
- Druckkammerpressure chamber
- 8.8th.
- Erster KanalFirst channel
- 9.9th
- DruckmesszellePressure measuring cell
- 10.10th
- Übertragungsflüssigkeittransmission fluid
- 11.11th
- Keramikfassung Ceramiclampholder
- 13.13th
- Sensorelektroniksensor electronics
- 14.14th
- Gehäusehülsehousing sleeve
- 15.15th
- Gehäusekappehousing cap
- 16.16th
- Erster GehäusehohlraumFirst housing cavity
- 17.17th
- Zweiter GehäusehohlraumSecond housing cavity
- 18.18th
- Trennwand partition wall
- 24.24th
- Signalleitungsignal line
- 25.25th
- Zweiter KanalSecond channel
- 26.26th
- Erstes Verbindungselement First connection element
- 59.59th
- Kanalsegment der KeramikfassungChannel segment of the ceramic socket
- 60.60th
- erstes Kanalsegment des Druckmittlerkörpersfirst channel segment of the diaphragm seal body
- 6161
- drittes Kanalsegment des Druckmittlerkörpersthird channel segment of the diaphragm seal body
- 6262
- zweites Kanalsegment des Druckmittlerkörperssecond channel segment of the diaphragm seal body
- 6363
- Innengehäuseinner housing
- 6464
- Steckverbindungconnector
- 6565
- Signal und/oder StromdurchführungSignal and / or current feedthrough
- 6666
- zweites Verbindungselementsecond connecting element
- 6767
- trennmembranseitige Öffnungseparating membrane-side opening
- 6868
- Verschlusselementclosure element
- 6969
- Zuführöffnungfeed
- 7070
- Hohlraumcavity
- 7171
- Druckdurchführung Printing operation
- 7272
- trennmembranseitige Öffnungseparating membrane-side opening
- 7373
- druckmesszellenseitige Öffnungpressure cell side opening
- 7474
- FlammendurchschlagsperreFlame barrier
- 7575
- Gehäusehohlraumhousing cavity
- 7676
- Querschnittsverbreiterung Sectional widening
- 101101
- Drucksensorpressure sensor
- 102102
- Sensorgehäusesensor housing
- 103103
- DruckmittlerkörperDiaphragm seal
- 104104
- Stirnseitefront
- 105105
- Trennmembranseparating membrane
- 106106
- Druckraumpressure chamber
- 108108
- Kanalchannel
- 109109
- DruckmesszellePressure measuring cell
- 111111
- KeramikfassungCeramiclampholder
- 115115
- Gehäusekappehousing cap
- 115115
- Gehäusehohlraumhousing cavity
- 117117
- Einsatzcommitment
- 124124
- Strom- und/oder SignalleitungPower and / or signal line
- 126126
- Verbindungselement connecting member
- 145145
- Sensoreinsatzsensor application
- 146146
- zylindrischer Abschnittcylindrical section
- 147147
- Bodenground
- 148148
- Spaltgap
- 149149
- Dichtungenseals
- 150150
- Bohrungdrilling
- 151151
- Anschlag attack
- 160160
- erstes Kanalsegment des Druckmittlerkörpersfirst channel segment of the diaphragm seal body
- 161161
- drittes Kanalsegment des Druckmittlerkörpersthird channel segment of the diaphragm seal body
- 162162
- zweites Kanalsegment des Druckmittlerkörperssecond channel segment of the diaphragm seal body
- 163163
- Innengehäuseinner housing
- 165 165
- Signal und/oder StromdurchführungSignal and / or current feedthrough
- 168168
- Verschlusselementclosure element
- 169169
- Zuführöffnungfeed
- 171171
- Druckdurchführung Printing operation
- 172172
- trennmembranseitige Öffnungseparating membrane-side opening
- 173173
- druckmesszellenseitige Öffnungpressure cell side opening
- 175175
- Gehäusehohlraum housing cavity
- AA
- Gehäuseachsehousing axis
- A'A '
- Kanalachsechannel axis
- BB
- Kanalachsechannel axis
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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Zitierte PatentliteraturCited patent literature
- DE 10316033 [0002]DE 10316033 [0002]
- WO 2015/197344 A1 [0040]WO 2015/197344 A1 [0040]
Zitierte Nicht-PatentliteraturCited non-patent literature
- DIN EN 10088-3 [0046]DIN EN 10088-3 [0046]
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Publications (1)
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