DE102015210045A1

DE102015210045A1 - Method for producing a heat sink and heat sink for a lithography system

Info

Publication number: DE102015210045A1
Application number: DE102015210045.6A
Authority: DE
Inventors: Boaz Pnini-Mittler; Simon Haas; Wolfgang Balbach
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2015-06-01
Filing date: 2015-06-01
Publication date: 2016-06-23

Abstract

Es wird ein Verfahren zum Herstellen eines Kühlkörpers (700) für eine Lithographieanlage (300) mit den folgenden Schritten offenbart: a) Anordnen eines Rohrs (400) zum Leiten eines Kühlfluids zumindest teilweise in einer Form (500), b) Umgeben eines innerhalb der Form (500) angeordneten Teils (606) des Rohrs (400) mit Füllmaterial (604), und c) Verfestigen des Füllmaterials (604) zum Bilden des Kühlkörpers (700).A method for manufacturing a heat sink (700) for a lithography system (300) is disclosed, comprising the following steps: a) arranging a tube (400) for conducting a cooling fluid at least partially in a mold (500), b) surrounding one within the one Mold (500) disposed portion (606) of the pipe (400) with filler material (604), and c) solidifying the filler material (604) to form the heat sink (700).

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Kühlkörpers für eine Lithographieanlage, einen Kühlkörper für eine Lithographieanlage und eine Lithographieanlage mit einem solchen Kühlkörper.The present invention relates to a method for producing a heat sink for a lithography system, to a heat sink for a lithography system and to a lithography system having such a heat sink.

Die Mikrolithographie wird zur Herstellung mikrostrukturierter Bauelemente, wie beispielsweise integrierter Schaltkreise, angewendet. Der Mikrolithographieprozess wird mit einer Lithographieanlage durchgeführt, welche ein Beleuchtungssystem und ein Projektionssystem aufweist. Das Bild einer mittels des Beleuchtungssystems beleuchteten Maske (Retikel) wird hierbei mittels des Projektionssystems auf ein mit einer lichtempfindlichen Schicht (Photoresist) beschichtetes und in der Bildebene des Projektionssystems angeordnetes Substrat (z. B. ein Siliziumwafer) projiziert, um die Maskenstruktur auf die lichtempfindliche Beschichtung des Substrats zu übertragen.Microlithography is used to fabricate microstructured devices such as integrated circuits. The microlithography process is performed with a lithography system having an illumination system and a projection system. The image of a mask (reticle) illuminated by means of the illumination system is projected by the projection system onto a substrate (eg a silicon wafer) coated with a photosensitive layer (photoresist) and arranged in the image plane of the projection system in order to project the mask structure onto the photosensitive layer Transfer coating of the substrate.

Getrieben durch das Streben nach immer kleineren Strukturen bei der Herstellung integrierter Schaltungen werden derzeit EUV-Lithographieanlagen entwickelt, welche Licht mit einer Wellenlänge im Bereich von 0,1 nm bis 30 nm, insbesondere 13,5 nm verwenden. Bei solchen EUV-Lithographieanlagen müssen wegen der hohen Absorption der meisten Materialien von Licht dieser Wellenlänge reflektierende Optiken, das heißt Spiegel, anstelle von – wie bisher – brechenden Optiken, das heißt Linsen, eingesetzt werden.Driven by the quest for ever smaller structures in the manufacture of integrated circuits, EUV lithography systems are currently being developed which use light with a wavelength in the range of 0.1 nm to 30 nm, in particular 13.5 nm. In such EUV lithography equipment, because of the high absorption of most materials of light of this wavelength, reflective optics, that is, mirrors, must be used instead of - as before - refractive optics, that is, lenses.

Die Spiegel reflektieren nicht die gesamte Strahlung, sondern nur einen Teil derselben. Dies führt zu einer Erwärmung der Spiegel. Eine geeignete Kühlung für die Spiegel der EUV-Lithographieanlage ist daher essentiell. Eine solche Kühlung kann einen Kühlkörper aufweisen.The mirrors do not reflect all the radiation but only part of it. This leads to a heating of the mirror. A suitable cooling for the mirrors of the EUV lithography system is therefore essential. Such cooling may include a heat sink.

1 zeigt einen solchen Kühlkörper 100. Der Kühlkörper 100 weist eine erste Bohrung 102 und eine zweite Bohrung 104 auf, die beide durch den gesamten Kühlkörper 100 verlaufen. Die beiden Bohrungen 102, 104 schneiden sich an einem Kreuzungspunkt 106. Der Kreuzungspunkt 106 unterteilt die erste Bohrung 102 in einen vorderen Teil 108 und in einen hinteren Teil 110. Ebenso unterteilt der Kreuzungspunkt 106 die zweite Bohrung 104 in einen vorderen Teil 112 und in einen hinteren Teil 114. 1 shows such a heat sink 100 , The heat sink 100 has a first hole 102 and a second hole 104 on, both through the entire heat sink 100 run. The two holes 102 . 104 intersect at a crossing point 106 , The crossing point 106 divides the first hole 102 in a front part 108 and in a back part 110 , Likewise subdivided the crossing point 106 the second hole 104 in a front part 112 and in a back part 114 ,

2 zeigt eine Schnittansicht des Kühlkörpers 100 aus 1. Dabei wird der Schnitt durch den Kühlkörper 100 durch eine Ebene definiert, die durch die beiden in 1 gezeigten Schnittlinien IIa und IIb aufgespannt wird. Wie in 2 dargestellt, ist der hintere Teil 110 der ersten Bohrung 102 mit einem ersten Verschlusselement 200 verschlossen. Ebenso ist der hintere Teil 114 der zweiten Bohrung 104 mit einem zweiten Verschlusselement 202 verschlossen. Auf diese Weise wird ein Kühlkanal 204 ausgebildet. Durch den Kühlkanal 204 kann ein Kühlfluid fließen. 2 shows a sectional view of the heat sink 100 out 1 , This is the section through the heat sink 100 defined by a plane passing through the two in 1 shown section lines IIa and IIb is clamped. As in 2 pictured is the back part 110 the first hole 102 with a first closure element 200 locked. Likewise, the back part 114 the second hole 104 with a second closure element 202 locked. In this way, a cooling channel 204 educated. Through the cooling channel 204 a cooling fluid can flow.

Bei der Verwendung von Kühlwasser als Kühlfluid kann der Kühlkörper 100 aus Aluminium (Al) gebildet sein. Die Verwendung von Kupfer (Cu) ist wegen der Korrosion bei der Verwendung von Kühlwasser nicht oder nur eingeschränkt möglich.When using cooling water as a cooling fluid, the heat sink 100 be formed of aluminum (Al). The use of copper (Cu) is not or only partially possible because of the corrosion when using cooling water.

An dem Kreuzungspunkt 106 der beiden Bohrungen 102, 104 kommt es zu Vibrationen, die durch die Strömung des Kühlfluids verursacht werden (Engl.: flow induced vibration, FIV). Die Vibrationen kommen dadurch zustande, dass das Kühlfluid an dem Kreuzungspunkt 106 um die Ecke 206 fließen muss. Wird der Kühlkörper 100 über eine Wärmebrücke, beispielsweise ein Festkörpergelenk, mit einem zu kühlenden Spiegel verbunden, dann übertragen sich die Vibrationen auch auf den Spiegel. Damit können die Vibrationen des Kühlkörpers die optischen Eigenschaften der Lithographieanlage stören.At the crossroads 106 the two holes 102 . 104 it comes to vibrations caused by the flow of the cooling fluid (English: flow induced vibration, FIV). The vibrations are due to the fact that the cooling fluid at the crossing point 106 around the corner 206 must flow. Will the heat sink 100 connected via a thermal bridge, such as a solid state joint, with a mirror to be cooled, then the vibrations are transmitted to the mirror. Thus, the vibrations of the heat sink can interfere with the optical properties of the lithographic system.

Vor diesem Hintergrund besteht eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, ein Verfahren zum Herstellen eines verbesserten Kühlkörpers, also eines nicht vibrierenden Kühlkörpers, für eine Lithographieanlage bereitzustellen. Es ist eine weitere Aufgabe einen verbesserten Kühlköper für eine Lithographieanlage sowie eine Lithographieanlage mit einem verbesserten Kühlkörper bereitzustellen.Against this background, an object of the present invention is to provide a method for producing an improved heat sink, that is to say a non-vibrating heat sink, for a lithography system. It is a further object to provide an improved heat sink for a lithography system and a lithography system with an improved heat sink.

Demgemäß wird ein Verfahren zum Herstellen eines Kühlkörpers für eine Lithographieanlage mit den folgenden Schritten bereitgestellt: a) Anordnen eines Rohrs zum Leiten eines Kühlfluids zumindest teilweise in einer Form, b) Umgeben eines innerhalb der Form angeordneten Teils des Rohrs mit Füllmaterial, und c) Verfestigen des Füllmaterials zum Bilden des Kühlkörpers.Accordingly, there is provided a method of manufacturing a heat sink for a lithography apparatus, comprising the steps of: a) disposing a tube for conducting a cooling fluid at least partially in a mold, b) surrounding a portion of the tube within the mold with filling material, and c) solidifying the filling material for forming the heat sink.

Das Rohr wird zumindest teilweise in einer Form angeordnet. Eine solche Anordnung des Rohrs kann beispielsweise durch Biegen des Rohrs erfolgen. Ein auf diese Weise erzeugtes Rohr enthält daher keine Ecken und Kanten bzw. weist einen kontinuierlichen Verlauf auf. Vorteilhafterweise kommt es somit nicht zu störenden Strömungsturbulenzen des Kühlfluids.The tube is at least partially arranged in a mold. Such an arrangement of the tube can be done for example by bending the tube. A tube produced in this way therefore contains no corners and edges or has a continuous course. Advantageously, there is thus no disruptive flow turbulence of the cooling fluid.

Dadurch, dass ein innerhalb der Form angeordneter Teil des Rohrs mit Füllmaterial umgeben wird, kommt das Füllmaterial im Betrieb des Kühlkörpers bzw. der Lithographieanlage nicht direkt mit dem Kühlfluid in Kontakt. Vorteilhafterweise kann für das Füllmaterial ein Material verwendet werden, bei dem es bei direktem Kontakt zwischen Füllmaterial und Kühlfluid zur Korrosion des Füllmaterials kommen würde. Beispielsweise kann das Füllmaterial Kupfer (Cu) und das Kühlfluid Wasser aufweisen.Characterized in that a disposed within the mold part of the tube is surrounded with filling material, the filler material does not come in the operation of the heat sink or the lithographic system directly with the cooling fluid in contact. Advantageously, a material can be used for the filling material, which leads to corrosion of the filling material in the case of direct contact between filling material and cooling fluid would. For example, the filler may comprise copper (Cu) and the cooling fluid water.

Dadurch, dass das Füllmaterial verfestigt wird, kann der Kühlkörper ausgebildet werden. Vorteilhafterweise ist das verfestigte Füllmaterial wärmeleitend mit dem Rohr verbunden.Characterized in that the filler material is solidified, the heat sink can be formed. Advantageously, the solidified filler material is thermally conductively connected to the tube.

Unter „Kühlfluid“ ist ein gasförmiges und/oder flüssiges Fluid zu verstehen, welches geeignet ist durch das Rohr des Kühlkörpers zu strömen, um den Kühlkörper zu kühlen. Beispielsweise kann als Kühlfluid Wasser vorgesehen sein.By "cooling fluid" is meant a gaseous and / or liquid fluid which is suitable to flow through the tube of the heat sink to cool the heat sink. For example, water may be provided as the cooling fluid.

Mit „zumindest teilweise“ ist gemeint, dass das Rohr entweder komplett in der Form angeordnet ist, oder dass nur ein Teil des Rohrs in der Form angeordnet ist.By "at least partially" is meant that the tube is either completely arranged in the mold, or that only a part of the tube is arranged in the mold.

Unter „umgeben eines innerhalb der Form angeordneten Teils des Rohrs mit Füllmaterial“ ist zu verstehen, dass das Füllmaterial um das Rohr herum angeordnet wird, so dass das Füllmaterial und das Rohr miteinander in Kontakt kommen.By "surrounding a part of the tube with filling material arranged inside the mold" is meant that the filling material is arranged around the tube so that the filling material and the tube come into contact with each other.

Mit „Verfestigen des Füllmaterials“ ist gemeint, dass geschmolzenes Füllmaterial durch Abkühlen vom flüssigen in den Festen Zustand wechselt, oder dass ein Granulat oder Pulver durch einen Sinterprozess verfestigt wird.By "solidifying the filler", it is meant that molten filler changes from a liquid to a solid state by cooling, or a granule or powder is solidified by a sintering process.

Gemäß einer Ausführungsform des Verfahrens wird das Rohr vor, während und/oder nach Schritt a) gebogen. Das Rohr kann gebogen werden, bevor es in der Form angeordnet wird. Weiter kann das Rohr gebogen werden, während es in der Form angeordnet wird. Außerdem kann das Rohr gebogen werden, nachdem es in der Form angeordnet wurde. Vorteilhafterweise kann durch das Biegen des Rohrs die gewünschte Form des Rohrs hergestellt werden. According to one embodiment of the method, the tube is bent before, during and / or after step a). The tube can be bent before it is placed in the mold. Further, the tube can be bent while being placed in the mold. In addition, the tube can be bent after it has been placed in the mold. Advantageously, by bending the tube, the desired shape of the tube can be produced.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens weist das Rohr eine Längsachse auf, entlang derer sich das Rohr erstreckt, und wird derart gebogen, dass die Längsachse in einer Ebene liegt. Das Rohr kann demnach in einer Ebene angeordnet werden. Damit, dass das Rohr sich entlang einer Längsachse erstreckt, ist gemeint, dass das Rohr einen entlang der Längsachse gleichbleibenden Querschnitt aufweist. Der Querschnitt kann bspw. rund, oval oder eckig sein.According to a further embodiment of the method, the tube has a longitudinal axis along which the tube extends, and is bent such that the longitudinal axis lies in a plane. The tube can therefore be arranged in a plane. In that the tube extends along a longitudinal axis, it is meant that the tube has a constant cross-section along the longitudinal axis. The cross section may be, for example, round, oval or angular.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens weist das Rohr eine Längsachse auf, entlang derer sich das Rohr erstreckt, und wird derart gebogen, dass ein erster Abschnitt der Längsachse in einer ersten Ebene liegt und ein zweiter Abschnitt der Längsachse in einer zweiten Ebene liegt, wobei die erste Ebene und die zweite Ebene in einem von Null verschiedenen Winkel zueinander angeordnet sind. Das Rohr kann demnach in einem dreidimensionalen Raum angeordnet werden. Die vorstehenden Erläuterungen hinsichtlich der Längsachse und des Querschnitts des Rohrs gelten entsprechend.According to another embodiment of the method, the tube has a longitudinal axis along which the tube extends, and is bent such that a first portion of the longitudinal axis lies in a first plane and a second portion of the longitudinal axis lies in a second plane first level and the second level are arranged at a non-zero angle to each other. The tube can therefore be arranged in a three-dimensional space. The above explanations regarding the longitudinal axis and the cross section of the tube apply accordingly.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens ragt ein erstes Ende des Rohrs an einer ersten Öffnung der Form aus der Form und ragt ein zweites Ende des Rohrs an einer zweiten Öffnung der Form aus der Form. Vorteilhafterweise können an dem ersten Ende des Rohrs und an dem zweiten Ende des Rohrs jeweils ein Anschluss an den Kühlkreislauf vorgesehen sein. According to another embodiment of the method, a first end of the tube protrudes from the mold at a first opening of the mold and projects a second end of the tube from the mold at a second opening of the mold. Advantageously, a connection to the cooling circuit can be provided in each case at the first end of the tube and at the second end of the tube.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens wird das Füllmaterial als Granulat oder Pulver in die Form eingefüllt, in der Form geschmolzen und danach durch Abkühlen in Schritt c) verfestigt. Der Schmelzvorgang des Füllmaterials wird bei dieser Ausführungsform erst in der Form durchgeführt. Dadurch vermeidet man die Probleme, dass geschmolzenes Material zu früh abkühlt, bevor es in die Form gefüllt wird.According to a further embodiment of the method, the filling material is introduced as granules or powder into the mold, melted in the mold and then solidified by cooling in step c). The melting process of the filling material is first carried out in the form in this embodiment. This avoids the problems of cooling molten material too soon before it is filled into the mold.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens wird das Füllmaterial in geschmolzenem Zustand in die Form eingefüllt und danach durch Abkühlen in Schritt c) verfestigt. Der Schmelzvorgang des Füllmaterials wird bei dieser Ausführungsform durchgeführt, bevor das Füllmaterial in die Form eingefüllt wird. Vorteilhafterweise füllt das Füllmaterial die Form in geschmolzenem Zustand ohne Lufteinschlüsse aus. Dies wirkt sich positiv auf die spätere Wärmeleitfähigkeit des Kühlkörpers aus.According to a further embodiment of the method, the filler material is introduced in a molten state into the mold and then solidified by cooling in step c). The melting operation of the filling material is performed in this embodiment before the filling material is filled in the mold. Advantageously, the filling material fills the mold in a molten state without air inclusions. This has a positive effect on the subsequent thermal conductivity of the heat sink.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens wird das Füllmaterial als Granulat oder Pulver in die Form eingefüllt und danach durch Sintern in Schritt c) verfestigt. Vorteilhafterweise kann dadurch auf einen kompletten Schmelzvorgang des Füllmaterials verzichtet werden.According to a further embodiment of the method, the filling material is filled into the mold as granules or powder and then solidified by sintering in step c). Advantageously, this makes it possible to dispense with a complete melting process of the filling material.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens wird der innerhalb der Form angeordnete Teil des Rohrs komplett mit dem Füllmaterial bedeckt. Dadurch, dass nicht nur ein Teilbereich des innerhalb der Form angeordneten Teils des Rohrs bedeckt ist, sondern der komplette Bereich des innerhalb der Form angeordneten Teils des Rohrs, kann eine gute Wärmeübertragung zwischen dem Rohr und dem Füllmaterial erreicht werden. According to a further embodiment of the method, the part of the tube arranged inside the mold is completely covered with the filling material. Characterized in that not only a portion of the disposed within the mold portion of the tube is covered, but the entire region of the disposed within the mold part of the tube, a good heat transfer between the tube and the filler material can be achieved.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens weist die Form Rundungen und/oder Ecken auf. Insbesondere ist die Form zylinderförmig oder quaderförmig. Prinzipiell kann die Form eine beliebige Gestalt aufweisen. Ferner kann die Form einen offenen Hohlraum vorsehen, in welchem der Teil des Rohrs angeordnet wird. According to a further embodiment of the method, the shape has curves and / or corners. In particular, the shape is cylindrical or cuboid. In principle, the shape may have any shape. Further, the mold may provide an open cavity in which the part of the tube is placed.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens ist die Form durch Ausfräsen aus einem einstückigen Bauteil hergestellt. Vorteilhafterweise besteht die Form dann ebenfalls aus einem einstückigen Bauteil.According to a further embodiment of the method, the mold is produced by milling from a one-piece component. Advantageously, the mold then also consists of a one-piece component.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens ist die Form aus einzelnen Wänden zusammengesetzt. Die einzelnen Wände können zusammengeschweißt werden, um die Form zu bilden.According to a further embodiment of the method, the mold is composed of individual walls. The individual walls can be welded together to form the mold.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens ist das Rohr teilweise oder vollständig aus einem korrosionsbeständigen Material gefertigt. Insbesondere ist das Rohr aus Edelstahl gefertigt. Vorteilhafterweise kann dadurch Wasser als Kühlfluid verwendet werden.According to a further embodiment of the method, the tube is partially or completely made of a corrosion-resistant material. In particular, the tube is made of stainless steel. Advantageously, water can thereby be used as the cooling fluid.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens ist die Form teilweise oder vollständig aus Stahl, insbesondere Edelstahl, gefertigt. Stahl, insbesondere Edelstahl, ist ein Material, welches sich gut verarbeiten lässt. Beispielsweise kann der Stahl, bzw. der Edelstahl, später abgefräst werden. Außerdem ist der Stahl, insbesondere der Edelstahl, hitzebeständig. Dadurch kann das Füllmaterial in der Form geschmolzen werden oder in geschmolzenem Zustand in die Form eingefüllt werden.According to a further embodiment of the method, the mold is partially or completely made of steel, in particular stainless steel. Steel, especially stainless steel, is a material that works well. For example, the steel, or the stainless steel, can be milled later. In addition, the steel, especially the stainless steel, heat resistant. Thereby, the filling material can be melted in the mold or filled into the mold in a molten state.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens weist das Füllmaterial Metall, insbesondere Kupfer (Cu) und/oder Aluminium (Al), auf. Vorteilhafterweise werden Metalle mit einer guten Wärmeleitfähigkeit, wie beispielsweise Kupfer (Cu) und Aluminium (Al), bevorzugt für das Füllmaterial verwendet.According to a further embodiment of the method, the filler metal, in particular copper (Cu) and / or aluminum (Al), on. Advantageously, metals having good thermal conductivity, such as copper (Cu) and aluminum (Al), are preferably used for the filler.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens weisen das Rohr, das Füllmaterial und die Form denselben Wärmeausdehnungskoeffizienten auf. „Denselben“ Wärmeausdehnungskoeffizienten bedeutet, dass die Wärmeausdehnungskoeffizienten des Rohrs, des Füllmaterials und der Form um nicht mehr als 10%, bevorzugt nicht mehr als 5%, voneinander abweichen.According to a further embodiment of the method, the tube, the filling material and the mold have the same thermal expansion coefficient. "The same" coefficient of thermal expansion means that the coefficients of thermal expansion of the tube, the filling material and the mold do not differ by more than 10%, preferably not more than 5%.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens wird die Form nach Schritt c) abgefräst. Dadurch wird ein Kühlkörper hergestellt, der das Rohr und einen Körper aufweist, der aus verfestigtem Füllmaterial gebildet ist. Vorteilhafterweise kann der Körper aus verfestigtem Füllmaterial dann direkt in Kontakt mit einem zu kühlenden optischen Element gebracht werden. Dies ist von Vorteil, da das Füllmaterial ein Material, wie beispielsweise Kupfer (Cu), aufweisen kann, welches eine hohe Wärmeleitfähigkeit besitzt.According to a further embodiment of the method, the mold is milled off after step c). Thereby, a heat sink is manufactured, which has the tube and a body, which is formed of solidified filler material. Advantageously, the body of solidified filler material can then be brought directly into contact with an optical element to be cooled. This is advantageous because the filler material may comprise a material such as copper (Cu), which has a high thermal conductivity.

Alternativ wird die Form nicht abgefräst. In diesem Fall wird ein Kühlkörper hergestellt, der das Rohr, die Form und einen Körper aufweist, der aus verfestigtem Füllmaterial gebildet ist. Da die Form an der Stelle offen ist, an der das Füllmaterial eingefüllt wurde, kann der Kühlkörper entweder mit der Form oder mit dem Körper aus verfestigtem Füllmaterial direkt in Kontakt mit einem zu kühlenden optischen Element gebracht werden.Alternatively, the mold is not milled off. In this case, a heat sink is made having the tube, the mold, and a body formed of solidified filler material. Since the mold is open at the point where the filler material has been filled, the heat sink can be brought into contact with either an optical element to be cooled, either with the mold or with the body of solidified filler material.

Weiter wird ein Kühlkörper für eine Lithographieanlage vorgeschlagen, mit einem Rohr zum Leiten eines Kühlfluids, und einem Körper, der um das Rohr angeordnet ist, und wärmeleitend mit dem Rohr verbunden ist, wobei der Körper aus verfestigtem Füllmaterial gebildet ist.Further, a heat sink for a lithography system is proposed, comprising a tube for conducting a cooling fluid, and a body which is arranged around the tube, and is thermally conductively connected to the tube, wherein the body is formed of solidified filling material.

Weiter wird eine Lithographieanlage, insbesondere EUV- oder DUV-Lithographieanlage, mit einem nach einem der vorstehend beschriebenen Verfahren hergestellten Kühlkörper oder mit einem Kühlkörper, wie vorstehend beschrieben, vorgeschlagen. Dabei steht EUV für „extreme ultraviolet“ und bezeichnet eine Wellenlänge des Arbeitslichts zwischen 0,1 und 30 nm. DUV steht für „deep ultraviolet“ und bezeichnet eine Wellenlänge des Arbeitslichts zwischen 30 und 250 nm.Furthermore, a lithography system, in particular EUV or DUV lithography system, with a heat sink produced by one of the methods described above or with a heat sink, as described above, proposed. EUV stands for "extreme ultraviolet" and refers to a working light wavelength between 0.1 and 30 nm. DUV stands for "deep ultraviolet" and denotes a working light wavelength between 30 and 250 nm.

Gemäß einer Ausführungsform der Lithographieanlage ist der Kühlkörper mit einem optischen Element oder mit einem Teil eines optischen Elements über eine Wärmebrücke verbunden. Auf diese Weise kann die Wärme des optischen Elements oder des Teils des optischen Elements geeignet auf den Kühlkörper abgeführt werden. Die Wärmebrücke kann zwecks des Wärmetransports von Konvektion, Wärmestrahlung und/oder Wärmeleitung (Engl.: Conduction) Gebrauch machen. Bspw. kann die Wärmebrücke in Form eines Gases oder Festkörpers, insbesondere Festkörpergelenks, ausgebildet sein.According to one embodiment of the lithographic system, the heat sink is connected to an optical element or to a part of an optical element via a thermal bridge. In this way, the heat of the optical element or the part of the optical element can be suitably dissipated to the heat sink. The thermal bridge can make use of convection, heat radiation and / or heat conduction for the purpose of heat transport. For example. the thermal bridge can be in the form of a gas or solid, in particular a solid state joint.

Gemäß einer Ausführungsform der Lithographieanlage ist das optische Element ein Spiegel oder eine Linse.According to one embodiment of the lithographic system, the optical element is a mirror or a lens.

Gemäß einer Ausführungsform der Lithographieanlage ist der Teil des optischen Elements eine Facette eines Facettenspiegels. Dabei kann die Facette über eine Wärmebrücke mit dem Kühlkörper verbunden sein.According to one embodiment of the lithographic system, the part of the optical element is a facet of a facet mirror. The facet can be connected to the heat sink via a thermal bridge.

Gemäß einer Ausführungsform der Lithographieanlage weist die Wärmebrücke ein Festkörpergelenk auf. Mit einem Festkörpergelenk kann beispielsweise ein Spiegel oder eine Facette eines Facettenspiegels beweglich gehalten werden.According to one embodiment of the lithographic system, the thermal bridge has a solid-state joint. With a solid-state joint, for example, a mirror or a facet of a facet mirror can be kept movable.

Die für das vorgeschlagene Verfahren beschriebenen Ausführungsformen und Merkmale gelten für den vorgeschlagenen Kühlkörper und die Lithographieanlage entsprechend.The embodiments and features described for the proposed method apply correspondingly to the proposed heat sink and the lithographic system.

Weitere mögliche Implementierungen der Erfindung umfassen auch nicht explizit genannte Kombinationen von zuvor oder im Folgenden bezüglich der Ausführungsbeispiele beschriebenen Merkmale oder Ausführungsformen. Dabei wird der Fachmann auch Einzelaspekte als Verbesserungen oder Ergänzungen zu der jeweiligen Grundform der Erfindung hinzufügen. Further possible implementations of the invention also include not explicitly mentioned combinations of features or embodiments described above or below with regard to the exemplary embodiments. The skilled person will also add individual aspects as improvements or additions to the respective basic form of the invention.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Aspekte der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche sowie der im Folgenden beschriebenen Ausführungsbeispiele der Erfindung. Im Weiteren wird die Erfindung anhand von bevorzugten Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigelegten Figuren näher erläutert.Further advantageous embodiments and aspects of the invention are the subject of the dependent claims and the embodiments of the invention described below. Furthermore, the invention will be explained in more detail by means of preferred embodiments with reference to the attached figures.

1 zeigt eine perspektivische Ansicht eines konventionellen Kühlkörpers; 1 shows a perspective view of a conventional heat sink;

2 zeigt einen Schnitt durch den konventionellen Kühlkörper der 1; 2 shows a section through the conventional heat sink of 1 ;

3A zeigt eine schematische Ansicht einer EUV-Lithographieanlage; 3A shows a schematic view of an EUV lithography system;

3B zeigt eine schematische Ansicht einer DUV-Lithographieanlage; 3B shows a schematic view of a DUV lithography system;

4 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Rohrs für einen Kühlkörper; 4 shows a perspective view of a tube for a heat sink;

5 zeigt eine perspektivische Ansicht einer Form für einen Kühlkörper; 5 shows a perspective view of a mold for a heat sink;

6 zeigt eine perspektivische Ansicht des Rohrs aus 4 in der Form aus 5; 6 shows a perspective view of the tube 4 in the form 5 ;

7 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Ausführungsbeispiels eines Kühlkörpers; 7 shows a perspective view of an embodiment of a heat sink;

8 zeigt ein Ablaufdiagramm für ein Verfahren zum Herstellen des Kühlkörpers aus 7; 8th shows a flowchart for a method of manufacturing the heat sink 7 ;

9 zeigt einen Spiegel mit dem Kühlkörper aus 7; 9 shows a mirror with the heat sink 7 ;

10 zeigt eine Facette eines Spiegels mit dem Kühlkörper aus 7; und 10 shows a facet of a mirror with the heat sink 7 ; and

11 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Kühlkörpers. 11 shows a further embodiment of a heat sink.

Falls nichts anderes angegeben ist, bezeichnen gleiche Bezugszeichen in den Figuren gleiche oder funktionsgleiche Elemente. Ferner sollte beachtet werden, dass die Darstellungen in den Figuren nicht notwendigerweise maßstabsgerecht sind.Unless otherwise indicated, like reference numerals in the figures denote like or functionally identical elements. It should also be noted that the illustrations in the figures are not necessarily to scale.

3A zeigt eine schematische Ansicht einer EUV-Lithographieanlage 300A, welche ein Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 302 und ein Projektionssystem 304 umfasst. Dabei steht EUV für „extremes Ultraviolett“ (Engl.: extreme ultraviolet, EUV) und bezeichnet eine Wellenlänge des Arbeitslichts zwischen 0,1 und 30 nm. Das Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 302 und das Projektionssystem 304 sind jeweils in einem Vakuum-Gehäuse vorgesehen, wobei jedes Vakuum-Gehäuse mit Hilfe einer nicht näher dargestellten Evakuierungsvorrichtung evakuiert wird. Die Vakuum-Gehäuse sind von einem nicht näher dargestellten Maschinenraum umgeben, in welchem die Antriebsvorrichtungen zum mechanischen Verfahren bzw. Einstellen der optischen Elemente vorgesehen sind. Ferner können auch elektrische Steuerungen und dergleichen in diesem Maschinenraum vorgesehen sein. 3A shows a schematic view of an EUV lithography system 300A which is a beam shaping and illumination system 302 and a projection system 304 includes. EUV stands for "extreme ultraviolet" (Engl.: Extreme ultraviolet, EUV) and refers to a working light wavelength between 0.1 and 30 nm. The beam shaping and illumination system 302 and the projection system 304 are each provided in a vacuum housing, wherein each vacuum housing is evacuated by means of an evacuation device, not shown. The vacuum housings are surrounded by a machine room, not shown, in which the drive devices are provided for the mechanical method or adjustment of the optical elements. Furthermore, electrical controls and the like may be provided in this engine room.

Die EUV-Lithographieanlage 300A weist eine EUV-Lichtquelle 306A auf. Als EUV-Lichtquelle 306A kann beispielsweise eine Plasmaquelle oder ein Synchrotron vorgesehen sein, welche Strahlung 308A im EUV-Bereich (extrem ultravioletten Bereich), also z.B. im Wellenlängenbereich von 0,1 nm bis 30 nm aussenden. Im Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 302 wird die EUV-Strahlung 308A gebündelt und die gewünschte Betriebswellenlänge aus der EUV-Strahlung 308A herausgefiltert. Die von der EUV-Lichtquelle 306A erzeugte EUV-Strahlung 308A weist eine relativ niedrige Transmissivität durch Luft auf, weshalb die Strahlführungsräume im Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 302 und im Projektionssystem 304 evakuiert sind. The EUV lithography system 300A has an EUV light source 306A on. As an EUV light source 306A For example, a plasma source or a synchrotron can be provided, which radiation 308A in the EUV range (extreme ultraviolet range), ie in the wavelength range from 0.1 nm to 30 nm, for example. In the beam-forming and lighting system 302 becomes the EUV radiation 308A bundled and the desired operating wavelength from the EUV radiation 308A filtered out. The from the EUV light source 306A generated EUV radiation 308A has a relatively low transmissivity by air, which is why the beam guiding spaces in the beam-forming and lighting system 302 and in the projection system 304 are evacuated.

Das in 3A dargestellte Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 302 weist fünf Spiegel 310, 312, 314, 316, 318 auf. Nach dem Durchgang durch das Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 302 wird die EUV-Strahlung 308A auf die Photomaske (Engl.: reticle) 320 geleitet. Die Photomaske 320 ist ebenfalls als reflektives optisches Element ausgebildet und kann außerhalb der Systeme 302, 304 angeordnet sein. Weiter kann die EUV-Strahlung 308A mittels eines Spiegels 336 auf die Photomaske gelenkt werden. Die Photomaske 320 weist eine Struktur auf, welche mittels des Projektionssystems 304 verkleinert auf einen Wafer 322 oder dergleichen abgebildet wird. This in 3A illustrated beam shaping and illumination system 302 has five mirrors 310 . 312 . 314 . 316 . 318 on. After passing through the beam shaping and lighting system 302 becomes the EUV radiation 308A on the photomask (English: reticle) 320 directed. The photomask 320 is also designed as a reflective optical element and can be outside the systems 302 . 304 be arranged. Next, the EUV radiation 308A by means of a mirror 336 be directed to the photomask. The photomask 320 has a structure which, by means of the projection system 304 reduced to a wafer 322 or the like is mapped.

Das Projektionssystem 304 weist sechs Spiegel M1–M6 zur Abbildung der Photomaske 320 auf den Wafer 322 auf. Dabei können einzelne Spiegel M1–M6 des Projektionssystems 304 symmetrisch zur optischen Achse 324 des Projektionssystems 304 angeordnet sein. Es sollte beachtet werden, dass die Anzahl der Spiegel der EUV-Lithographieanlage 300A nicht auf die dargestellte Anzahl beschränkt ist. Es können auch mehr oder weniger Spiegel vorgesehen sein. Des Weiteren sind die Spiegel i.d.R. an ihrer Vorderseite zur Strahlformung gekrümmt. The projection system 304 has six mirrors M1-M6 for imaging the photomask 320 on the wafer 322 on. In this case, individual mirrors M1-M6 of the projection system 304 symmetrical to the optical axis 324 of the projection system 304 be arranged. It should be noted that the number of mirrors of the EUV lithography system 300A is not limited to the number shown. There may also be more or less mirrors be provided. Furthermore, the mirrors are usually curved at the front for beam shaping.

3B zeigt eine schematische Ansicht einer DUV-Lithographieanlage 300B, welche ein Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 302 und ein Projektionssystem 304 umfasst. Dabei steht DUV für „tiefes Ultraviolett“ (Engl.: deep ultraviolet, DUV) und bezeichnet eine Wellenlänge des Arbeitslichts zwischen 30 und 250 nm. Das Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 302 und das Projektionssystem 304 sind von einem nicht näher dargestellten Maschinenraum umgeben, in welchem die Antriebsvorrichtungen zum mechanischen Verfahren bzw. Einstellen der optischen Elemente vorgesehen sind. Die DUV-Lithographieanlage 300B weist ferner eine Steuereinrichtung 326 zum Steuern verschiedener Komponenten der DUV-Lithographieanlage 300B auf. Dabei ist die Steuereinrichtung 326 mit dem Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 302, einer DUV-Lichtquelle 306B, einer Halterung 328 der Photomaske 320 (Engl.: reticle stage) und einer Halterung 330 des Wafers 322 (Engl.: wafer stage) verbunden. 3B shows a schematic view of a DUV lithography system 300B which is a beam shaping and illumination system 302 and a projection system 304 includes. DUV stands for "deep ultraviolet" (English: deep ultraviolet, DUV) and refers to a wavelength of working light between 30 and 250 nm. The beam shaping and illumination system 302 and the projection system 304 are surrounded by a machine room, not shown, in which the drive devices are provided for the mechanical method or adjustment of the optical elements. The DUV lithography system 300B also has a control device 326 for controlling various components of the DUV lithography system 300B on. In this case, the control device 326 with the beam shaping and illumination system 302 , a DUV light source 306B , a holder 328 the photomask 320 (English: reticle stage) and a holder 330 of the wafer 322 (Engl .: wafer stage) connected.

Die DUV-Lithographieanlage 300B weist eine DUV-Lichtquelle 306B auf. Als DUV-Lichtquelle 306B kann beispielsweise ein ArF-Excimerlaser vorgesehen sein, welcher Strahlung 308B im DUV-Bereich bei 193 nm emittiert. The DUV lithography system 300B has a DUV light source 306B on. As a DUV light source 306B For example, an ArF excimer laser can be provided, which radiation 308B emitted in the DUV range at 193 nm.

Das in 3B dargestellte Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 302 leitet die DUV-Strahlung 308B auf eine Photomaske 320. Die Photomaske 320 ist als transmissives optisches Element ausgebildet und kann außerhalb der Systeme 302, 304 angeordnet sein. Die Photomaske 320 weist eine Struktur auf, welche mittels des Projektionssystems 304 verkleinert auf einen Wafer 322 oder dergleichen abgebildet wird.This in 3B illustrated beam shaping and illumination system 302 directs the DUV radiation 308B on a photomask 320 , The photomask 320 is designed as a transmissive optical element and can be outside the systems 302 . 304 be arranged. The photomask 320 has a structure which, by means of the projection system 304 reduced to a wafer 322 or the like is mapped.

Das Projektionssystem 304 weist mehrere Linsen 332 und/oder Spiegel 334 zur Abbildung der Photomaske 320 auf den Wafer 322 auf. Dabei können einzelne Linsen 332 und/oder Spiegel 334 des Projektionssystems 304 symmetrisch zur optischen Achse 324 des Projektionssystems 304 angeordnet sein. Es sollte beachtet werden, dass die Anzahl der Linsen und Spiegel der DUV-Lithographieanlage 300B nicht auf die dargestellte Anzahl beschränkt ist. Es können auch mehr oder weniger Linsen und/oder Spiegel vorgesehen sein. Insbesondere weist das Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 302 der DUV-Lithographieanlage 300B mehrere Linsen und/oder Spiegel auf. Des Weiteren sind die Spiegel i.d.R. an ihrer Vorderseite zur Strahlformung gekrümmt.The projection system 304 has several lenses 332 and / or mirrors 334 for imaging the photomask 320 on the wafer 322 on. This can be individual lenses 332 and / or mirrors 334 of the projection system 304 symmetrical to the optical axis 324 of the projection system 304 be arranged. It should be noted that the number of lenses and mirrors of the DUV lithography system 300B is not limited to the number shown. There may also be more or fewer lenses and / or mirrors. In particular, the beamforming and illumination system 302 the DUV lithography system 300B several lenses and / or mirrors. Furthermore, the mirrors are usually curved at the front for beam shaping.

4 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Rohrs 400 für einen Kühlkörper 700 (siehe 7) bspw. zum Kühlen eines optischen Elements einer Lithographieanlage 300. Lediglich beispielhaft sei an dieser Stelle der Spiegel M6 der EUV-Lithographieanlage 300A als zu kühlendes optisches Element genannt. 4 shows a perspective view of a pipe 400 for a heat sink 700 (please refer 7 ), for example, for cooling an optical element of a lithography system 300 , For example, at this point, the mirror M6 of the EUV lithography system 300A called as optical element to be cooled.

Das Rohr 400 umfasst ein erstes Ende 402 und ein zweites Ende 404. Weiter weist das Rohr 400 korrosionsbeständiges Material auf. Insbesondere kann das Rohr 400 aus Edelstahl gebildet werden.The pipe 400 includes a first end 402 and a second end 404 , Next points the tube 400 corrosion resistant material. In particular, the tube 400 be made of stainless steel.

5 zeigt eine perspektivische Ansicht einer Form 500 für einen Kühlkörper 700. Die Form 500 umfasst Seitenwände 502, 504, 506, 508 sowie eine Bodenwand 510, welche bspw. einen Quader mit einer oberen Einfüllöffnung 516 definieren. Die unterschiedlichen Seitenwände 502, 504 umfassen eine erste Öffnung 512 bzw. eine zweite Öffnung 514. 5 shows a perspective view of a mold 500 for a heat sink 700 , Form 500 includes side walls 502 . 504 . 506 . 508 as well as a bottom wall 510 which, for example, a cuboid with an upper filling opening 516 define. The different side walls 502 . 504 include a first opening 512 or a second opening 514 ,

Die Form 500 kann aus einzelnen Wänden 502, 504, 506, 508, 510 zusammengesetzt sein. Die einzelnen Wände 502, 504, 506, 508, 510 können zusammengeschweißt werden, um die Form zu bilden. Alternativ können die Wände 502, 504, 506, 508, 510 auch verschraubt werden. In einer weiteren Alternative wird die Form 500 durch Ausfräsen aus einem einstückigen Bauteil hergestellt.Form 500 can be from single walls 502 . 504 . 506 . 508 . 510 be composed. The individual walls 502 . 504 . 506 . 508 . 510 can be welded together to form the mold. Alternatively, the walls can 502 . 504 . 506 . 508 . 510 also be bolted. In another alternative, the shape 500 made by milling from a one-piece component.

Die Form kann Ecken 518 aufweisen. Alternativ oder zusätzlich kann die Form Rundungen aufweisen. Insbesondere kann die Form 500 quaderförmig oder zylinderförmig ausgebildet sein. Weiter kann die Form 500 aus Stahl hergestellt werden. Insbesondere kann die Form 500 auch aus Edelstahl hergestellt werden. Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist die Form 500 aus Sand hergestellt.The shape can be corners 518 exhibit. Alternatively or additionally, the shape may have curves. In particular, the shape 500 be formed cuboid or cylindrical. Next, the shape 500 be made of steel. In particular, the shape 500 also be made of stainless steel. According to another embodiment, the mold 500 made of sand.

6 zeigt eine perspektivische Ansicht des Rohrs 400 aus 4 in der Form 500 aus 5. Dabei ist das Rohr 400 derart in der Form 500 angeordnet, dass ein erstes Ende 402 des Rohrs 400 an der ersten Öffnung 512 aus der Form 500 ragt und ein zweites Ende 404 des Rohrs 400 an der zweiten Öffnung 514 aus der Form 500 ragt. An dem ersten Ende 402 und an dem zweiten Ende 404 kann das Rohr 400 an einen Kühlkreislauf angeschlossen werden. 6 shows a perspective view of the tube 400 out 4 in the shape 500 out 5 , Here is the tube 400 so in the form 500 arranged that a first end 402 of the pipe 400 at the first opening 512 out of form 500 sticks out and a second end 404 of the pipe 400 at the second opening 514 out of form 500 protrudes. At the first end 402 and at the second end 404 can the pipe 400 be connected to a cooling circuit.

Das Rohr 400 kann, bevor es in der Form 500 angeordnet wird, während es in der Form 500 angeordnet wird und nachdem es in der Form 500 angeordnet wurde, gebogen werden. Dabei wird das Rohr 400 derart gebogen, dass sich keine Ecken oder Kanten innerhalb des Rohrs 400 bilden, die den Fluss eines Kühlfluids behindern könnten. D.h. das Rohr 400 weist einen kontinuierlichen Verlauf auf. Damit können Vibrationen des Rohrs 400, und damit des Kühlkörpers 700, vermieden werden.The pipe 400 can, before it is in shape 500 is arranged while in the form 500 is arranged and after it is in shape 500 was arranged to be bent. This is the tube 400 bent so that no corners or edges within the tube 400 form, which could hinder the flow of a cooling fluid. That is the tube 400 has a continuous course. This can cause vibration of the pipe 400 , and thus the heat sink 700 , be avoided.

Das Rohr 400 kann in zwei oder drei Dimensionen gebogen werden. Die gestrichelte Linie in 6 symbolisiert die Längsachse 600 des Rohrs 400. Das Rohr 400 ist bezüglich der Längsachse 600 symmetrisch aufgebaut. Wird das Rohr 400 in zwei Dimension gebogen, dann liegt die Längsachse 600 des Rohrs 400 in einer Ebene. Wird das Rohr 400 dagegen in drei Dimensionen gebogen, dann liegt ein erster Abschnitt der Längsachse 600 des Rohrs 400 in einer ersten Ebene und ein zweiter Abschnitt der Längsachse 600 des Rohrs 400 in einer zweiten Ebene, wobei die erste Ebene und die zweite Ebene in einem von Null verschiedenen Winkel (bspw. 90 Grad) zueinander angeordnet sind.The pipe 400 can be bent in two or three dimensions. The dashed line in 6 symbolizes the longitudinal axis 600 of the pipe 400 , The pipe 400 is with respect to the longitudinal axis 600 symmetrically constructed. Will the pipe 400 bent in two dimensions, then lies the longitudinal axis 600 of the pipe 400 in a plane. Will the pipe 400 bent in three dimensions, then lies a first section of the longitudinal axis 600 of the pipe 400 in a first plane and a second portion of the longitudinal axis 600 of the pipe 400 in a second plane, wherein the first plane and the second plane are arranged at a non-zero angle (eg 90 degrees) to each other.

Wie in 6 zu sehen, wird mit einer Einfüllvorrichtung 602 Füllmaterial 604 in die Form 500 eingefüllt. Dabei kann das Füllmaterial 604 als Granulat oder Pulver in die Form 500 eingefüllt werden. Danach kann das Füllmaterial 604 in der Form 500 geschmolzen werden. Dadurch verteilt es sich gleichmäßig und ohne Lufteinschlüsse um den innerhalb der Form 500 angeordneten Teil 606 des Rohrs 400 herum. Anschließend wird das Füllmaterial 604 durch Abkühlen verfestigt. Das Rohr 400 und das Füllmaterial 604 sind dann wärmeleitend verbunden. As in 6 to see is with a filling device 602 filling material 604 into the mold 500 filled. In this case, the filler 604 as granules or powder in the mold 500 be filled. After that, the filling material 604 in the shape 500 be melted. As a result, it is distributed evenly and without air pockets around the inside of the mold 500 arranged part 606 of the pipe 400 around. Subsequently, the filling material 604 solidified by cooling. The pipe 400 and the filler 604 are then connected thermally conductive.

Alternativ wird das als Granulat oder Pulver in die Form 500 eingefüllte Füllmaterial 604 nicht geschmolzen. Das Füllmaterial 604 verteilt sich auch als Granulat oder Pulver in der Form 500 und um den innerhalb der Form 500 angeordneten Teil 606 des Rohrs 400 herum. Nach dem Verteilen des Füllmaterials 604 durchläuft das Füllmaterial einen Sinterprozess. Dadurch wird das Füllmaterial 604 verfestigt und fest und wärmeleitend mit dem Rohr 400 verbunden.Alternatively, as granules or powder in the mold 500 filled filling material 604 not melted. The filling material 604 is also distributed as granules or powder in the mold 500 and around the inside of the form 500 arranged part 606 of the pipe 400 around. After distributing the filling material 604 the filler passes through a sintering process. This will make the filler 604 solidified and firm and thermally conductive with the pipe 400 connected.

In einer weiteren Alternative wird das Füllmaterial 604 in geschmolzenem Zustand in die Form 500 eingefüllt. Dadurch wird es sich gleichmäßig und ohne Lufteinschlüsse um den innerhalb der Form 500 angeordneten Teil 606 des Rohrs 400 herum verteilen. Anschließend wird das Füllmaterial 604 durch Abkühlen verfestigt. Das Rohr 400 und das Füllmaterial 604 sind dann wärmeleitend verbunden.In another alternative, the filler material 604 in the molten state into the mold 500 filled. This will make it even and without air pockets around the inside of the mold 500 arranged part 606 of the pipe 400 distribute around. Subsequently, the filling material 604 solidified by cooling. The pipe 400 and the filler 604 are then connected thermally conductive.

Sofern genügend Füllmaterial 604 in die Form eingefüllt wird, ist der innerhalb der Form 500 angeordneten Teil 606 des Rohrs 400 komplett mit Füllmaterial 604 bedeckt. Alternativ kann auch weniger Füllmaterial 604 vorgesehen werden, so dass der innerhalb der Form 500 angeordneten Teil 606 des Rohrs 400 nicht komplett mit Füllmaterial 604 bedeckt ist.If enough filling material 604 is filled in the mold, that is inside the mold 500 arranged part 606 of the pipe 400 complete with filling material 604 covered. Alternatively, less filler material 604 be provided so that within the mold 500 arranged part 606 of the pipe 400 not complete with filler 604 is covered.

Das Füllmaterial 604 kann Metall aufweisen. Insbesondere kann das Füllmaterial 604 teilweise oder vollständig aus Kupfer (Cu) und/oder Aluminium (Al) und/oder Legierungen dieser bestehen.The filling material 604 can have metal. In particular, the filling material 604 partially or completely made of copper (Cu) and / or aluminum (Al) and / or alloys thereof.

7 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Ausführungsbeispiels eines Kühlkörpers 700 für eine Lithographieanlage 300. Der Kühlkörper 700 umfasst das in den 4 und 6 dargestellte Rohr 400, die in den 5 und 6 dargestellte Form 500 und einen Körper 702, der um das Rohr 400 angeordnet ist, und wärmeleitend mit dem Rohr 400 verbunden ist, wobei der Körper 702 aus verfestigtem Füllmaterial 604 gebildet ist. Da die Form 500 an der Einfüllöffnung 516 offen ist, an der das Füllmaterial 604 eingefüllt wurde, kann der Kühlkörper 700 entweder mit der Form 500 oder mit dem Körper 702 aus verfestigtem Füllmaterial 604 direkt in Kontakt mit einem zu kühlenden optischen Element gebracht werden. 7 shows a perspective view of an embodiment of a heat sink 700 for a lithography system 300 , The heat sink 700 includes that in the 4 and 6 illustrated tube 400 that in the 5 and 6 illustrated form 500 and a body 702 who is around the pipe 400 is arranged, and thermally conductive with the tube 400 is connected, the body 702 made of solidified filler 604 is formed. Because the shape 500 at the filling opening 516 open is where the filler material 604 was filled, the heat sink can 700 either with the form 500 or with the body 702 made of solidified filler 604 be brought directly into contact with an optical element to be cooled.

Alternativ wird die Form 500 abgefräst. Dadurch wird ein Kühlkörper 700 hergestellt, der das Rohr 400 und einen Körper 702 aufweist, der aus verfestigtem Füllmaterial 604 gebildet ist. Damit kann der Körper 702 aus verfestigtem Füllmaterial 604 direkt in Kontakt mit einem zu kühlenden optischen Element gebracht werden. Dies ist von Vorteil, da das Füllmaterial 604 ein Material, wie beispielsweise Kupfer (Cu), aufweisen kann, welches eine hohe Wärmeleitfähigkeit besitzt. Alternatively, the shape 500 milled. This will be a heat sink 700 made the pipe 400 and a body 702 comprising solidified filler material 604 is formed. This is what the body can do 702 made of solidified filler 604 be brought directly into contact with an optical element to be cooled. This is an advantage as the filler material 604 a material such as copper (Cu) may have, which has a high thermal conductivity.

Das Rohr 400, das Füllmaterial 604 und die Form 500 können den gleichen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen.The pipe 400 , the filler 604 and the shape 500 can have the same thermal expansion coefficient.

8 zeigt ein Ablaufdiagramm für ein Verfahren zum Herstellen des Kühlkörpers 700 aus 7 mit den folgenden Schritten. In einem ersten Schritt S1 wird ein Rohr 400 zum Leiten eines Kühlfluids zumindest teilweise in einer Form 500 angeordnet. In einem zweiten Schritt S2 wird ein innerhalb der Form 500 angeordneter Teil 606 des Rohrs 400 mit Füllmaterial 604 umgeben. In einem dritten Schritt S3 wird das Füllmaterial 604 zum Bilden des Kühlkörpers 700 verfestigt. 8th shows a flowchart for a method of manufacturing the heat sink 700 out 7 with the following steps. In a first step S1 becomes a pipe 400 for conducting a cooling fluid at least partially in a mold 500 arranged. In a second step S2, a within the form 500 arranged part 606 of the pipe 400 with filling material 604 surround. In a third step S3, the filling material 604 for forming the heat sink 700 solidified.

Weiter kann in einem optionalen vierten Schritt S4 die Form 500 abgefräst werden.Further, in an optional fourth step S4, the shape 500 be milled.

Die Anwendung des Kühlkörpers 700, der durch das in 8 beschriebene Verfahren zur Herstellung eines Kühlkörpers 700 hergestellt wurde, sowie des in 7 beschriebenen Kühlkörpers 700 wird nachfolgend beispielhaft für den Spiegel M6 der EUV-Lithographieanlage 300A beschrieben. Der Kühlkörper 700 kann jedoch bei allen optischen Elementen der EUV-Lithographieanlage 300A oder der DUV-Lithographieanlage 300B eingesetzt werden. Der Kühlkörper 700 kann also auch für andere Bauteile einer Lithographieanlage 300 als Spiegel vorgesehen werden. Dies betrifft insbesondere Linsen 332, die Photomaske 320 oder den Wafer 322.The application of the heat sink 700 that by the in 8th described method for producing a heat sink 700 was produced, as well as the in 7 described heatsink 700 is exemplified below for the mirror M6 of the EUV lithography system 300A described. The heat sink 700 However, it can be used with all optical elements of the EUV lithography system 300A or the DUV lithography system 300B be used. The heat sink 700 can therefore also for other components of a lithography system 300 be provided as a mirror. This applies especially to lenses 332 , the photomask 320 or the wafer 322 ,

9 zeigt den Spiegel M6 der Lithographieanlage 300A aus 3A mit dem Kühlkörper 700 aus 7 oder mit dem Kühlkörper 700, der durch das in 8 beschriebene Verfahren hergestellt wurde. Dabei ist der Spiegel M6 über eine Wärmebrücke 900 mit dem Kühlkörper 700 verbunden. Die Wärmebrücke 900 kann ein Festkörpergelenk 902 aufweisen. Der Spiegel M6, die Wärmebrücke 900 und der Kühlkörper 700 sind in einem Gehäuse 904 angeordnet. Innerhalb des Gehäuses 904 kann eine Vakuum-Umgebung (sog. Mini-Environment) für den Spiegel M6 realisiert werden. 9 shows the mirror M6 of the lithography system 300A out 3A with the heat sink 700 out 7 or with the heat sink 700 that by the in 8th described method was prepared. The mirror M6 is over a thermal bridge 900 with the heat sink 700 connected. The thermal bridge 900 can be a solid-state joint 902 exhibit. The mirror M6, the thermal bridge 900 and the heat sink 700 are in a housing 904 arranged. Inside the case 904 A vacuum environment (so-called mini environment) for the mirror M6 can be realized.

Ein oder mehrere Spiegel M1–M6 einer Lithographieanlage 300 können als Facettenspiegel 906 ausgebildet sein. Beispielsweise kann der Spiegel M6 ein Facettenspiegel 906 sein. 10 zeigt eine Facette 1000 des Facettenspiegels 906 mit dem Kühlkörper 700 aus 7 oder mit dem Kühlkörper 700, der durch das in 8 beschriebene Verfahren zur Herstellung eines Kühlkörpers 700 hergestellt wurde. Dabei ist die Facette 1000, also ein Teil 1002 des Facettenspiegels 906, über eine Wärmebrücke 900 mit dem Kühlkörper 700 verbunden. Die Wärmebrücke 900 kann ein Festkörpergelenk 902 aufweisen.One or more mirrors M1-M6 of a lithography system 300 can as a facet mirror 906 be educated. For example, the mirror M6 may be a facet mirror 906 be. 10 shows a facet 1000 of the facet mirror 906 with the heat sink 700 out 7 or with the heat sink 700 that by the in 8th described method for producing a heat sink 700 was produced. Here is the facet 1000 So a part 1002 of the facet mirror 906 , over a thermal bridge 900 with the heat sink 700 connected. The thermal bridge 900 can be a solid-state joint 902 exhibit.

11 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Kühlkörpers 700. Der Körper 702 des Kühlkörpers 700 ist als Hohlzylinder, mit oder ohne Boden, ausgebildet. In der Wand 1100 des Körpers 702 ist das Rohr 400 des Kühlkörpers 700 angeordnet. Dabei kann das Rohr 400 innerhalb der Wand 1100 in zwei oder drei Dimensionen gebogen sein. An einem oberen Ende 1102 des Körpers 702 ragen ein erstes Ende 402 des Rohrs 400 und ein zweites Ende 404 des Rohrs 400 aus dem Körper 702. Alternativ kann das Rohr 400 auch an anderen Stellen aus dem Körper 702 ragen. Der Körper 702 samt dem Rohr 400 ist aus verfestigtem Füllmaterial 604 gemäß dem vorstehenden Verfahren gebildet. 11 shows a further embodiment of a heat sink 700 , The body 702 of the heat sink 700 is designed as a hollow cylinder, with or without bottom. In the wall 1100 of the body 702 is the pipe 400 of the heat sink 700 arranged. The tube can 400 inside the wall 1100 be bent in two or three dimensions. At an upper end 1102 of the body 702 protrude a first end 402 of the pipe 400 and a second end 404 of the pipe 400 out of the body 702 , Alternatively, the tube 400 also in other places from the body 702 protrude. The body 702 including the tube 400 is made of solidified filler material 604 formed according to the above method.

Obwohl die Erfindung anhand verschiedener Ausführungsbeispiele beschrieben wurde, ist sie darauf keineswegs beschränkt, sondern vielfältig modifizierbar.Although the invention has been described with reference to various embodiments, it is by no means limited thereto, but variously modifiable.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

100100: Kühlkörper heatsink
102102: erste Bohrung first hole
104104: zweite Bohrung second hole
106106: Kreuzungspunkt intersection
108108: vorderer Teil der ersten Bohrung front part of the first hole
110110: hinterer Teil der ersten Bohrung back part of the first hole
112112: vorderer Teil der zweiten Bohrung front part of the second hole
114114: hinterer Teil der zweiten Bohrung rear part of the second hole
200200: erstes Verschlusselement first closure element
202202: zweites Verschlusselement second closure element
204204: Kühlkanal cooling channel
206206: Ecke corner
300300: Lithographieanlage lithography system
300A300A: EUV-Lithographieanlage EUV lithography system
300B300B: DUV-Lithographieanlage DUV lithography system
302302: Strahlformungs- und Beleuchtungssystem Beam shaping and lighting system
304304: Projektionssystem projection system
306A306A: EUV-Lichtquelle EUV-light source
306B306B: DUV-Lichtquelle DUV light source
308A308A: EUV-Strahlung EUV radiation
308B308B: DUV-Strahlung DUV radiation
310310: Spiegel mirror
312312: Spiegel mirror
314314: Spiegel mirror
316316: Spiegel mirror
318318: Spiegel mirror
320320: Photomaske photomask
322322: Wafer wafer
324324: optische Achse des Projektionssystems optical axis of the projection system
326326: Steuereinrichtung control device
328328: Halterung der Photomaske Holder of the photomask
330330: Halterung des Wafers Holder of the wafer
332332: Linse lens
334334: Spiegel mirror
336336: Spiegel mirror
400400: Rohr pipe
402402: erstes Ende des Rohrs first end of the pipe
404404: zweites Ende des Rohrs second end of the pipe
500500: Form shape
502502: erste Wand first wall
504504: zweite Wand second wall
506506: dritte Wand third wall
508508: vierte Wand fourth wall
510510: untere Wand bottom wall
512512: erste Öffnung first opening
514514: zweite Öffnung second opening
516516: Einfüllöffnung fill opening
518518: Ecke corner
600600: Längsachse des Rohrs Longitudinal axis of the tube
602602: Einfüllvorrichtung filling device
604604: Füllmaterial filling material
606606: innerhalb der Form angeordneter Teil des Rohrs disposed within the mold part of the tube
700700: Kühlkörper heatsink
702702: Körper body
900900: Wärmebrücke thermal bridge
902902: Festkörpergelenk Solid joint
904904: Gehäuse casing
906906: Facettenspiegel facet mirror
10001000: Facette facet
10021002: Teil eines Facettenspiegels Part of a facet mirror
11001100: Wand des Körpers Wall of the body
11021102: oberes Ende des Körpers upper end of the body
M1–M6M1-M6: Spiegel des Projektionssystems Mirror of the projection system
S1–S4S1-S4: Schritte des Verfahrens Steps of the procedure

Claims

Method for producing a heat sink ( 700 ) for a lithography plant ( 300 ), comprising the steps of: a) arranging a tube ( 400 ) for conducting a cooling fluid at least partially in a mold ( 500 ) b) surrounding one within the form ( 500 ) arranged part ( 606 ) of the pipe ( 400 ) with filling material ( 604 ), and c) solidifying the filler material ( 604 ) for forming the heat sink ( 700 ).

Method according to claim 1, wherein the pipe ( 400 ) is bent before, during and / or after step a).

Method according to claim 1 or 2, wherein the tube ( 400 ) a longitudinal axis ( 600 ), along which the pipe ( 400 ), wherein the tube ( 400 ) is bent such that the longitudinal axis ( 600 ) lies in one plane.

Method according to claim 1 or 2, wherein the tube ( 400 ) a longitudinal axis ( 600 ), along which the pipe ( 400 ), wherein the tube ( 400 ) is bent such that a first portion of the longitudinal axis ( 600 ) lies in a first plane and a second section of the longitudinal axis ( 600 ) lies in a second plane, wherein the first plane and the second plane are arranged at a non-zero angle to each other.

Method according to one of claims 1 to 4, wherein a first end ( 402 ) of the pipe ( 400 ) at a first opening ( 512 ) the form ( 500 ) out of form ( 500 ) and a second end ( 404 ) of the pipe ( 400 ) at a second opening ( 514 ) the form ( 500 ) out of form ( 500 protrudes.

Method according to one of claims 1 to 5, wherein the filling material ( 604 ) as granules or powder in the mold ( 500 ), in the form ( 500 ) and then solidified by cooling in step c).

Method according to one of claims 1 to 5, wherein the filling material ( 604 ) in the molten state into the mold ( 500 ) and then solidified by cooling in step c).

Method according to one of claims 1 to 5, wherein the filling material ( 604 ) as granules or powder in the mold ( 500 ) and then solidified by sintering in step c).

Method according to one of claims 1 to 8, wherein the within the form ( 500 ) arranged part ( 606 ) of the pipe ( 400 ) complete with the filling material ( 604 ) is covered.

Method according to one of claims 1 to 9, wherein the mold ( 500 ) Curves and / or corners ( 518 ) and / or an open cavity ( 516 ), in which the part ( 606 ) of the pipe ( 400 ) is arranged.

Method according to one of claims 1 to 10, wherein the mold ( 500 ) is made by milling from a one-piece component.

Method according to one of claims 1 to 10, wherein the mold ( 500 ) from individual walls ( 502 . 504 . 506 . 508 . 510 ) is composed.

Method according to one of claims 1 to 12, wherein the tube ( 400 ) is made partially or completely from a corrosion-resistant material, in particular stainless steel.

Method according to one of claims 1 to 13, wherein the mold ( 500 ) is made partially or completely of steel, in particular stainless steel.

Method according to one of claims 1 to 14, wherein the filling material ( 604 ) Metal, in particular copper (Cu) and / or aluminum (Al).

Method according to one of claims 1 to 15, wherein the tube ( 400 ), the filling material ( 604 ) and the form ( 500 ) have the same thermal expansion coefficient.

Method according to one of claims 1 to 16, wherein the mold ( 500 ) is milled off after step c).

Heat sink ( 700 ) for a lithography plant ( 300 ), with a pipe ( 400 ) for conducting a cooling fluid, and a body ( 702 ) around the pipe ( 400 ) is arranged, and heat-conducting with the tube ( 400 ), the body ( 702 ) of solidified filler material ( 604 ) is formed.

Lithography plant ( 300 ) with a heat sink produced by one of the processes 1 to 17 ( 700 ) or with a heat sink ( 700 ) according to claim 18.

Lithography plant ( 300 ) according to claim 19, wherein the heat sink ( 700 ) with an optical element (M6, 332 ) or with a part ( 1002 ) of an optical element (M6, 332 ) via a thermal bridge ( 900 ) connected is.

Lithography plant ( 300 ) according to claim 20, wherein the optical element comprises a mirror (M6, 906 ) or a lens ( 332 ).

Lithography plant ( 300 ) according to claim 20 or 21, wherein the part ( 1002 ) of the optical element (M6) a facet ( 1000 ) of a facet mirror ( 906 ).

Lithography plant ( 300 ) according to any one of claims 20 to 22, wherein the thermal bridge ( 900 ) a solid-state joint ( 902 ) having.