DE102015208433A1 - RFID-Transponder mit einer integrierten Antennenanordnung - Google Patents

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Abstract

Vorgeschlagen wird ein RFID-Transponder umfassend einen Halbleiter-Chip mit einer auf einem Substrat ausgebildeten Passivierungsschicht, wobei eine Antennenanordnung zumindest teilweise in der Passivierungsschicht ausgebildet ist, wobei die Antennenanordnung einen Dipol zum Empfangen von Abfragesignalen und/oder zum Senden von Antwortsignalen, eine zu dem Dipol parallel geschaltete induktive Koppelschleife zum induktiven Ankoppeln einer außerhalb des Halbleiter-Chips ausgebildeten Booster Antenne, einen Reflektor zum Erhöhen eines Antennengewinns der Antennenanordnung sowie eine Anpassschaltung aufweist, wobei die Anpassschaltung zum Anpassen einer Impedanz der Antennenanordnung an eine Impedanz einer aktiven elektronischen Schaltung des RFID-Transponders zum Auswerten von den Abfragesignalen und/oder zum Erzeugen von den Antwortsignalen auf der Basis von den Abfragesignalen ausgebildet ist und wobei eine Speisung der Anpassschaltung elektrisch mit der aktiven elektronischen Schaltung zur Übertragung von den Abfragesignalen und/oder zur Übertragung von den Antwortsignalen verbunden ist.

Description

  • Zur Identifikation von Objekten werden heutzutage unteranderem UHF-RFID-Systeme eingesetzt, welche beispielsweise in [1] beschrieben sind. Ein solches System besteht aus einem stationären Gerät, dem RFID-Reader, und einem kleinen mobilen Gerät das an die zu identifizierenden Objekte angebracht ist, dem RIFD-Transponder. Dieser besteht üblicherweise aus einem RFID-Chip und einer separaten Antenne.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen verbesserten RFID-Transponder bereitzustellen.
  • Die Aufgabe wird gelöst durch einen RFID-Transponder umfassend einen Halbleiter-Chip mit einer auf einem Substrat ausgebildeten Passivierungsschicht, wobei eine Antennenanordnung zumindest teilweise in der Passivierungsschicht ausgebildet ist, wobei die Antennenanordnung einen Dipol zum Empfangen von Abfragesignalen und/oder zum Senden von Antwortsignalen, eine zu dem Dipol parallel geschaltete induktive Koppelschleife zum induktiven Ankoppeln einer außerhalb des Halbleiter-Chips ausgebildeten Booster Antenne, einen Reflektor zum Erhöhen eines Antennengewinns der Antennenanordnung sowie eine Anpassschaltung aufweist, wobei die Anpassschaltung zum Anpassen einer Impedanz der Antennenanordnung an eine Impedanz einer aktiven elektronischen Schaltung des RFID-Transponders zum Auswerten von den Abfragesignalen und/oder zum Erzeugen von den Antwortsignalen auf der Basis von den Abfragesignalen ausgebildet ist und wobei eine Speisung der Anpassschaltung elektrisch mit der aktiven elektronischen Schaltung zur Übertragung von den Abfragesignalen und/oder zur Übertragung von den Antwortsignalen verbunden ist.
  • Die Erfindung schafft somit einen RFID-Transponder mit einer On-Chip Antenne, der beispielsweise mit einem Standard CMOS-Prozess hergestellt werden kann. Als On-Chip-Antennen werden Antennen bezeichnet die in den Halbleiter-Chip (auch Die genannt) integriert sind. Dadurch kann eine externe Antenne entfallen, so dass der RFID-Transponder im Wesentlichen aus einem einzigen Chip bestehen kann.
  • On-Chip-Antennen können prinzipiell verschieden ausgeführt sein, z. B. als Dipolantenne [2], als invertierte-F Antenne [3], als Yagi-Antenne [3], als Patch [4] oder als Schlitzantenne [5]. Die Erfindung sieht dabei vor, dass die Antennenanordnung einen Dipol zum Empfangen von Abfragesignalen und/oder zum Senden von Antwortsignalen aufweist. Dementsprechend folgt die Antennenanordnung dem Prinzip der Dipolantenne oder dem davon abgeleiteten Prinzip der Yagi-Antenne. Grundsätzlich ist es denkbar, dass eine erste Antennenanordnung zum Senden und eine zweite Antennenanordnung zum Empfangen vorgesehen ist. Bevorzugt jedoch ist die Antennenanordnung zum Senden und zum Empfangen vorgesehen.
  • Es hat sich jedoch gezeigt, dass On-Chip Antennen, welche einen Dipol aufweisen, aufgrund der hohen Leitfähigkeit des Substrates (dotiertes Silizium) einen geringeren Antennengewinn als vergleichbare außerhalb des Chips angeordnete Antennen haben. Um diesen zu erhöhen können verschiedene Verfahren angewendet werden, so schlägt die Erfindung vor, die Abstrahlung in einen bestimmten Bereich zu bündeln. Erfindungsgemäß ist daher vorgesehen, dem Dipol einen Reflektor zur Fokussierung der Abstrahlung zuzuordnen. Über einen Reflektor kann die Abstrahlung der Antenne in eine Raumhälfte gebündelt werden, so dass sich ein höherer Antennengewinn ergibt. Der Reflektor kann länger oder kürzer als der Dipol sein.
  • Weiterhin ist eine Koppelschleife zur induktiven Ankopplung einer externen Booster Antenne vorgesehen, welche es ermöglicht, bei Bedarf durch induktive Kopplung externe Booster Antennen mit einem höheren Antennengewinn an den Chip anzukoppeln. Mittels der induktiven Kopplung können Booster Antennen ohne elektrische Verbindung mit der aktiven elektronischen Schaltung des RFID-Transponders (Sende- oder Empfangsschaltkreis) verbunden werden. Dabei können, je nach Einsatzbedingungen, verschiedene Antennenarten induktiv angekoppelt werden.
  • Weiterhin wird für eine gute Sende- bzw. Empfangsleistung des RFID-Transponders die Impedanz der Antenne mittels der Anpassschaltung an die Impedanz der aktiven elektronischen Schaltung angepasst. Die Anpassung kann über konzentrierte Bauelemente, insbesondere über passive konzentrierte Bauelemente, wie Induktivitäten und Kapazitäten, erfolgen, wobei verschiedene Anpassschaltungen möglich sind.
  • Die erfindungsgemäße Kombination der beschriebenen technischen Merkmale führt zu einem RFID-Transponder, bei dem das Verhältnis von Baugröße einerseits und Sende- bzw. Empfangsleistung andererseits optimiert ist.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung beträgt eine Arbeitsfrequenz des RFID-Transponders wenigstens 15 GHz, bevorzugt wenigstens 18 GHz, besonders bevorzugt wenigstens 21 GHz.
  • Bei herkömmlichen UHF RFID-Transpondern sind die Abmessungen des Halbleiter-Chips klein gegenüber der Antennenanordnung, sodass die Antenne für die Größe des Transponders ausschlaggebend ist. Deren Größe wiederrum hangt maßgeblich von der verwendeten Frequenz ab. Bei höheren Frequenzen wird die Antennenanordnung kleiner, sodass z. B. bei 24 GHz die Antennenanordnung eine Größe erreicht bei der sie direkt auf dem Halbleiter-Chip untergebracht werden kann (On-Chip Antenne). Damit ist ein RFID-Transponder möglich, der im Wesentlichen aus nur einem Chip besteht.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist eine Länge des Dipols kürzer als eine halbe Wellenlänge, welche in einem Vakuum einer Arbeitsfrequenz des RFID-Transponders entspricht. Hierdurch kann dem Umstand Rechnung getragen werden, dass bei einer gegebenen Arbeitsfrequenz die Wellenlänge im Dipol der Antennenanordnung aufgrund der hohen Permittivität des benachbarten Substrats geringer ist, als dies im Vakuum bzw. in der Atmosphäre der Fall ist.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung weist die Anpassschaltung eine T-Anpassstruktur, eine L-Anpassstruktur oder eine Pi-Anpassstruktur auf. Mit den genannten Anpassstrukturen kann auf einfache Weise Impedanz der Antennenanordnung an die Impedanz der aktiven elektronischen Schaltung des RFID-Transponders angepasst werden, so dass eine Leistungsanpassung erzielt ist.
  • Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist die aktive elektronische Schaltung in den Halbleiter-Chip integriert. Auf diese Weise kann das Verhältnis von Baugröße einerseits und Sende- bzw. Empfangsleistung andererseits weiter optimiert werden.
  • Gemäß einer zweckmäßigen Weiterbildung der Erfindung weist die Passivierungsschicht wenigstens eine zum Substrat parallel verlaufende Metallschicht auf, wobei die Antennenanordnung in einer Metallschicht der wenigstens einen Metallschicht ausgebildet ist. Auf diese Weise kann eine besonders kompakte Antennenanordnung realisiert werden.
  • Nach einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung weist die Passivierungsschicht mehrere zum Substrat parallel verlaufende Metallschichten auf, wobei die Antennenanordnung in derjenigen Metallschicht der mehreren Metallschichten ausgebildet ist, welche den größten Abstand zum Substrat aufweist. Hierdurch kann die Sende- und Empfangsleistung weiter erhöht werden, da so der Einfluss des Substrats beim Senden bzw. Empfangen minimiert wird.
  • Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung weist der Dipol auf beiden Seiten wenigstens einen Knick auf. Die beiden Knicke können insbesondere symmetrisch zu einer mittig angeordneten Speisung des Dipols angeordnet sein. Auf diese Weise kann eine kompakte Ausführung der Antennenanordnung realisiert werden.
  • Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung weist der Dipol auf beiden Seiten wenigstens eine Mäanderstruktur auf. Analog können auch hier die beiden Mäanderstrukturen symmetrisch zu einer mittig angeordneten Speisung des Dipols angeordnet sein. Es ergibt sich so eine besonders kompakte Ausführung der Antennenanordnung.
  • Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist eine besagte Booster Antenne so angeordnet, dass sie mit der Koppelschleife induktiv gekoppelt ist. Hierdurch kann die Sende- und Empfangsleistung weiter erhöht werden.
  • Nach einer zweckmäßigen Weiterbildung der Erfindung ist die Booster Antenne eine Panelantenne, welche auch Microstrip-Antenne genannt werden kann.
  • Im Folgenden werden die vorliegende Erfindung und deren Vorteile anhand von Figuren näher beschrieben. Es zeigen:
  • 1 ein erstes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen RFID-Transponders in einer schematischen, geschnittenen Aufsicht;
  • 2 eine schematische, geschnittene Seitenansicht des ersten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen RFID-Transponders;
  • 3 ein zweites Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen RFID-Transponders in einer schematischen, geschnittenen Aufsicht;
  • 4 ein drittes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen RFID-Transponders in einer schematischen, geschnittenen Aufsicht;
  • 5 ein viertes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen RFID-Transponders in einer schematischen, geschnittenen Aufsicht und
  • 6 ein beispielhaftes Strahlungsdiagramm eines erfindungsgemäßen RFID-Transponders.
  • Gleiche oder gleichartige Elemente oder Elemente mit gleicher oder äquivalenter Funktion sind im Folgenden mit gleichen oder gleichartigen Bezugszeichen versehen.
  • In der folgenden Beschreibung werden Ausführungsbeispiele mit einer Vielzahl von Merkmalen der vorliegenden Erfindung näher beschrieben, um ein besseres Verständnis der Erfindung zu vermitteln. Es ist jedoch festzuhalten, dass die vorliegende Erfindung auch unter Auslassung einzelner der beschriebenen Merkmale umgesetzt werden kann. Es sei auch darauf hingewiesen, dass die in verschiedenen Ausführungsbeispielen gezeigten Merkmale auch in anderer Weise kombinierbar sind, sofern dies nicht ausdrücklich ausgeschlossen ist oder zu Widersprüchen führen würde.
  • 1 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen RFID-Transponders 1 in einer schematischen, geschnittenen Aufsicht. Der RFID-Transponder 1 umfasst einen Halbleiter-Chip 2 mit einer auf einem Substrat 10 (siehe 2) ausgebildeten Passivierungsschicht 3, wobei eine Antennenanordnung 4, 5, 6, 7 zumindest teilweise in der Passivierungsschicht 3 ausgebildet ist, wobei die Antennenanordnung 4, 5, 6, 7 einen Dipol 4 zum Empfangen von Abfragesignalen und/oder zum Senden von Antwortsignalen, eine zu dem Dipol 4 parallel geschaltete induktive Koppelschleife 5 zum induktiven Ankoppeln einer außerhalb des Halbleiter-Chips 2 ausgebildeten Booster Antenne 16 (siehe 5), einen Reflektor 6 zum Erhöhen eines Antennengewinns der Antennenanordnung sowie eine Anpassschaltung 7 aufweist, wobei die Anpassschaltung 7 zum Anpassen einer Impedanz der Antennenanordnung 4, 5, 6, 7 an eine Impedanz einer aktiven elektronischen Schaltung 8 des RFID-Transponders 1 zum Auswerten von den Abfragesignalen und/oder zum Erzeugen von den Antwortsignalen auf der Basis von den Abfragesignalen ausgebildet ist und wobei eine Speisung 9 der Anpassschaltung 7 elektrisch mit der aktiven elektronischen Schaltung 8 zur Übertragung von den Abfragesignalen und/oder zur Übertragung von den Antwortsignalen verbunden ist.
  • Die Erfindung schafft somit einen RFID-Transponder mit einer On-Chip Antenne, der beispielsweise mit einem Standard CMOS-Prozess hergestellt werden kann. Als On-Chip-Antennen werden Antennen bezeichnet die in den Halbleiter-Chip (auch Die genannt) integriert sind. Dadurch kann eine externe Antenne entfallen, so dass der RFID-Transponder im Wesentlichen aus einem einzigen Chip bestehen kann.
  • On-Chip-Antennen können prinzipiell verschieden ausgeführt sein, z. B. als Dipolantenne [2], als invertierte-F Antenne [3], als Yagi-Antenne [3], als Patch [4] oder als Schlitzantenne [5]. Die Erfindung sieht dabei vor, dass die Antennenanordnung 4, 5, 6, 7 einen Dipol 4 zum Empfangen von Abfragesignalen und/oder zum Senden von Antwortsignalen aufweist. Dementsprechend folgt die Antennenanordnung 4, 5, 6, 7 dem Prinzip der Dipolantenne oder dem davon abgeleiteten Prinzip der Yagi-Antenne. Grundsätzlich ist es denkbar, dass eine erste Antennenanordnung 4 zum Senden und eine zweite Antennenanordnung 4 zum Empfangen vorgesehen ist. Bevorzugt jedoch ist die Antennenanordnung 4 zum Senden und zum Empfangen vorgesehen.
  • Es hat sich jedoch gezeigt, dass On-Chip Antennen 4, 5, 6, 7, welche einen Dipol 4 aufweisen, aufgrund der hohen Leitfähigkeit des Substrates 10 (dotiertes Silizium) einen geringeren Antennengewinn als vergleichbare außerhalb des Chips angeordnete Antennen 4, 5, 6, 7 haben. Um diesen zu erhöhen können verschiedene Verfahren angewendet werden, so schlägt die Erfindung vor, die Abstrahlung in einen bestimmten Bereich zu bündeln. Erfindungsgemäß ist daher vorgesehen, dem Dipol 4 einen Reflektor 6 zur Fokussierung der Abstrahlung zuzuordnen. Über einen Reflektor 6 kann die Abstrahlung der Antenne 4, 5, 6, 7 in eine Raumhälfte gebündelt werden, so dass sich ein höherer Antennengewinn ergibt. Der Reflektor 6 kann länger oder kürzer als der Dipol 4 sein.
  • Weiterhin ist eine Koppelschleife 5 zur induktiven Ankopplung einer externen Booster Antenne 16 vorgesehen, welche es ermöglicht, bei Bedarf durch induktive Kopplung externe Booster Antennen 16 mit einem höheren Antennengewinn an den Chip 2 anzukoppeln. Mittels der induktiven Kopplung können Booster Antennen 16 ohne elektrische Verbindung mit der aktiven elektronischen Schaltung 8 (Sende- oder Empfangsschaltkreis) des RFID-Transponders 1 verbunden werden. Dabei können, je nach Einsatzbedingungen, verschiedene Antennenarten induktiv angekoppelt werden.
  • Weiterhin wird für eine gute Sende- bzw. Empfangsleistung des RFID-Transponders 1 die Impedanz der Antenne mittels der Anpassschaltung 7 an die Impedanz der aktiven elektronischen Schaltung 8 angepasst. Die Anpassung kann über konzentrierte Bauelemente, insbesondere über passive konzentrierte Bauelemente, wie Induktivitäten und Kapazitäten, erfolgen, wobei verschiedene Anpassschaltungen 7 möglich sind.
  • Die Antennenanordnung 4, 5, 6, 7 besteht aus einem Dipol 4, einer induktiven Koppelschleife 5, einem Reflektor 6 und einer Anpassschaltung 7. Mit dem Dipol 4 findet das Senden/Empfangen statt. Dabei ist die resultierende Wellenlänge (Lambda) aufgrund der hohen Permittivität des Substrats verkürzt gegenüber der Wellenlange im Freiraum, was dadurch berücksichtigt werden kann, dass auch der der Dipol 4 kürzer als Lambda/2 ist. Um die Koppelschleife der induktiven Kopplung nicht Kurzzuschließen weist der Dipol 4 in der Mitte einen Schlitz auf. Hinsichtlich des Dipols 4 können verschiedene Methoden zur Verkürzung verwendet werden (z. B. Loading mit Spulen oder Kapazitäten).
  • Mit der Anpassschaltung 7, hier bestehend aus einer T-Anpassung 7 kann die Impedanz der Antennenanordnung an die Impedanz der aktiven Schaltung 8 des Chips 2 angepasst werden. Anstatt der hier verwendeten Anpassschaltung können auch andere Anpassschaltungen z. B. aus konzentrierten Bauelementen verwendet werden.
  • Die erfindungsgemäße Kombination der beschriebenen technischen Merkmale führt zu einem RFID-Transponder 1, bei dem das Verhältnis von Baugröße einerseits und Sende- bzw. Empfangsleistung andererseits optimiert ist.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung beträgt eine Arbeitsfrequenz des RFID-Transponders 1 wenigstens 15 GHz, bevorzugt wenigstens 18 GHz, besonders bevorzugt wenigstens 21 GHz.
  • Bei herkömmlichen UHF RFID-Transpondern sind die Abmessungen des Halbleiter-Chips klein gegenüber der Antennenanordnung, sodass die Antenne für die Größe des Transponders ausschlaggebend ist. Deren Größe wiederrum hangt maßgeblich von der verwendeten Frequenz ab. Bei höheren Frequenzen wird die Antennenanordnung 4, 5, 6, 7 kleiner, sodass z. B. bei 24 GHz die Antennenanordnung 4, 5, 6, 7 eine Größe erreicht bei der sie direkt auf dem Halbleiter-Chip 2 untergebracht werden kann (On-Chip Antenne). Damit ist ein RFID-Transponder 1 möglich, der im Wesentlichen aus nur einem Chip 2 besteht.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist eine Länge des Dipols 4 kürzer als eine halbe Wellenlänge, welche in einem Vakuum einer Arbeitsfrequenz des RFID-Transponders 1 entspricht. Hierdurch kann dem Umstand Rechnung getragen werden, dass bei einer gegebenen Arbeitsfrequenz die Wellenlänge im Dipol 4 der Antennenanordnung 4, 5, 6, 7 aufgrund der hohen Permittivität des benachbarten Substrats 10 geringer ist, als dies im Vakuum bzw. in der Atmosphäre der Fall ist.
  • Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung weist die Anpassschaltung 7 eine T-Anpassstruktur, eine L-Anpassstruktur oder eine Pi-Anpassstruktur auf. Mit den genannten Anpassstrukturen 7 kann auf einfache Weise Impedanz der Antennenanordnung 4, 5, 6, 7 an die Impedanz der aktiven elektronischen Schaltung 8 des RFID-Transponders 1 angepasst werden, so dass eine Leistungsanpassung erzielt ist.
  • Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist die aktive elektronische Schaltung 8 in den Halbleiter-Chip 2 integriert. Auf diese Weise kann das Verhältnis von Baugröße einerseits und Sende- bzw. Empfangsleistung andererseits weiter optimiert werden.
  • 2 zeigt eine schematische, geschnittene Seitenansicht des ersten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen RFID-Transponders 1. Dieser umfasst eine Anordnung für eine On-Chip Antenne 4, 5, 6, 7. Dabei ist der typische Lagenaufbau eines Chips 2 gezeigt. Über einem Substrat 10, insbesondere ein Siliziumsubstrat 10, befindet sich eine Passivierungsschicht 3 mit verschiedenen Metallschichten, insbesondere aus Kupfer. Die Antennenanordnung 4, 5, 6, 7 kann vorteilhafterweise in der äußersten Metallschicht realisiert werden. Dargestellt in 2 ist der Halbleiter-Chip 2, der ein Substrat 10 sowie eine darüber liegende Passivierungsschicht 3 mit drei Metallschichten 11, 12, 13 aufweist. Die aktive elektronische Schaltung 8 ist beispielhaft in das Substrat 10 eingebettet.
  • Gemäß einer zweckmäßigen Weiterbildung der Erfindung weist die Passivierungsschicht 3 wenigstens eine zum Substrat parallel verlaufende Metallschicht 11, 12, 13 auf, wobei die Antennenanordnung 4, 5, 6, 7 in einer Metallschicht 11 der wenigstens einen Metallschicht 11, 12, 13 ausgebildet ist. Auf diese Weise kann eine besonders kompakte Antennenanordnung realisiert werden.
  • Nach einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung weist die Passivierungsschicht 3 mehrere zum Substrat parallel verlaufende Metallschichten auf, wobei die Antennenanordnung 4, 5, 6, 7 in derjenigen Metallschicht der mehreren Metallschichten ausgebildet ist, welche den größten Abstand zum Substrat aufweist. Hierdurch kann die Sende- und Empfangsleistung weiter erhöht werden, da so der Einfluss des Substrats beim Senden bzw. Empfangen minimiert wird.
  • 3 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen RFID-Transponders 1 in einer schematischen, geschnittenen Aufsicht.
  • Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung weist der Dipol 4 auf beiden Seiten wenigstens einen Knick 14 auf. Die beiden Knicke 14 können insbesondere symmetrisch zu einer mittig angeordneten Speisung des Dipols 4 angeordnet sein. Auf diese Weise kann eine kompakte Ausführung der Antennenanordnung 4, 5, 6, 7 realisiert werden.
  • 4 zeigt ein drittes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen RFID-Transponders 1 in einer schematischen, geschnittenen Aufsicht.
  • Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung weist der Dipol 4 auf beiden Seiten wenigstens eine Mäanderstruktur 15 auf. Analog können auch hier die beiden Mäanderstrukturen 15 symmetrisch zu einer mittig angeordneten Speisung des Dipols 4 angeordnet sein. Es ergibt sich so eine besonders kompakte Ausführung der Antennenanordnung 4, 5, 6, 7.
  • 5 zeigt ein viertes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen RFID-Transponders 1 in einer schematischen, geschnittenen Aufsicht. Mithilfe der induktiven Koppelschleife 5 kann eine externe Booster Antenne 16 angekoppelt werden. Die externe Booster Antenne 16 wird, je nach Ausführung, weniger stark durch das verlustbehaftete Substrat 10 des Chips 2 beeinflusst und kann daher eine höhere Strahlungseffizienz haben. Mit größeren Booster-Antennen 16, zum Beispiel eine Microstrip-Antenne, kann auch eine höhere Direktivität erreicht werden. Dadurch ergibt sich insgesamt ein größerer Antennengewinn.
  • Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist eine besagte Booster Antenne 16 so angeordnet, dass sie mit der Koppelschleife 5 induktiv gekoppelt ist. Hierdurch kann die Sende- und Empfangsleistung weiter erhöht werden.
  • Nach einer zweckmäßigen Weiterbildung der Erfindung ist die Booster Antenne 16 eine Panelantenne, welche auch Microstrip-Antenne genannt werden kann.
  • 6 zeigt ein beispielhaftes Strahlungsdiagramm eines erfindungsgemäßen RFID-Transponders. Die Antenne strahlt aufgrund des Reflektors 6 gerichtet nach vorne in Y-Richtung ab. Der Reflektor 6 ist in einem bestimmten Abstand (abhängend van der Arbeitsfrequenz und dem Material des Chips) hinter dem Dipol 4 angebracht. Dadurch wird die Abstrahlungs-Effizienz und die Direktivität der Antennenanordnung 4, 5, 6, 7 gesteigert und somit auch der Antennengewinn. Oftmals muss der Abstand des Reflektors geringer als der optimale Abstand gewählt werden, da die Größe des Chips oder Strukturen auf dem Chip keinen größeren Abstand zulassen.
  • Bezugszeichenliste
  • 1
    RFID-Transponder
    2
    Halbleiter-Chip
    3
    Passivierungsschicht
    4
    Dipol
    5
    induktive Koppelschleife
    6
    Reflektor
    7
    Anpassschaltung
    8
    aktive elektronische Schaltung
    9
    Speisung
    10
    Substrat
    11
    Metallschicht
    12
    Metallschicht
    13
    Metallschicht
    14
    Knick
    15
    Mäanderstruktur
    16
    Booster Antenne
  • Quellen:
    • [1] K. Finkenzeller, RFID-Handbuch. 5., aktualisierte und erw. Aufl., Hanser 2008
    • [2] F. Toutai, M. Ponts, On-Chip integration of dipole antenna and VCO using standard BiCMOS technology for 10 GHz applications, Proceedings of the 29th European Solid-State Circuits Conference, 2003
    • [3] Y. P. Zhang, M. Sun, L. H. Guo, On-Chip Antennas for 60-GHz Radios in Silicon Technology, IEEE Transactions on Electron Devices, vol. 52, n. 7, pp. 1664–1668, July 2005
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Claims (11)

  1. RFID-Transponder umfassend einen Halbleiter-Chip (2) mit einer auf einem Substrat (10) ausgebildeten Passivierungsschicht (3), wobei eine Antennenanordnung (4, 5, 6, 7) zumindest teilweise in der Passivierungsschicht (3) ausgebildet ist, wobei die Antennenanordnung (4, 5, 6, 7) einen Dipol (4) zum Empfangen von Abfragesignalen und/oder zum Senden von Antwortsignalen, eine zu dem Dipol (4) parallel geschaltete induktive Koppelschleife (5) zum induktiven Ankoppeln einer außerhalb des Halbleiter-Chips (2) ausgebildeten Booster Antenne (16), einen Reflektor (6) zum Erhöhen eines Antennengewinns der Antennenanordnung (4, 5, 6, 7) sowie eine Anpassschaltung (7) aufweist, wobei die Anpassschaltung (7) zum Anpassen einer Impedanz der Antennenanordnung (4, 5, 6, 7) an eine Impedanz einer aktiven elektronischen Schaltung (8) des RFID-Transponders (1) zum Auswerten von den Abfragesignalen und/oder zum Erzeugen von den Antwortsignalen auf der Basis von den Abfragesignalen ausgebildet ist und wobei eine Speisung (9) der Anpassschaltung (7) elektrisch mit der aktiven elektronischen Schaltung (8) zur Übertragung von den Abfragesignalen und/oder zur Übertragung von den Antwortsignalen verbunden ist.
  2. RFID-Transponder nach vorstehendem Anspruch, wobei eine Arbeitsfrequenz des RFID-Transponders (1) wenigstens 15 GHz, bevorzugt wenigstens 18 GHz, besonders bevorzugt wenigstens 21 GHz beträgt.
  3. RFID-Transponder nach Anspruch 1, wobei eine Länge des Dipols (4) kürzer als eine halbe Wellenlänge ist, welche in einem Vakuum einer Arbeitsfrequenz des RFID-Transponders (1) entspricht.
  4. RFID-Transponder nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Anpassschaltung (7) eine T-Anpassstruktur, eine L-Anpassstruktur oder eine Pi-Anpassstruktur aufweist.
  5. RFID-Transponder nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die aktive elektronische Schaltung (8) in den Halbleiter-Chip (2) integriert ist.
  6. RFID-Transponder nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Passivierungsschicht (3) wenigstens eine zum Substrat (10) parallel verlaufende Metallschicht (11, 12, 13) aufweist, wobei die Antennenanordnung (4, 5, 6, 7) in einer Metallschicht (11) der wenigstens einen Metallschicht (11, 12, 13) ausgebildet ist.
  7. RFID-Transponder nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Passivierungsschicht (3) mehrere zum Substrat (10) parallel verlaufende Metallschichten (11, 12, 13) aufweist, wobei die Antennenanordnung (4, 5, 6, 7) in derjenigen Metallschicht (11) der mehreren Metallschichten (11, 12, 13) ausgebildet ist, welche den größten Abstand zum Substrat (10) aufweist.
  8. RFID-Transponder nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der Dipol (4) auf beiden Seiten wenigstens einen Knick (14) aufweist.
  9. RFID-Transponder nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der Dipol (4) auf beiden Seiten wenigstens eine Mäanderstruktur (15) aufweist.
  10. RFID-Transponder nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei eine besagte Booster Antenne (16) so angeordnet ist, dass sie mit der induktiven Koppelschleife (5) induktiv gekoppelt ist.
  11. RFID-Transponder nach vorstehendem Anspruch, wobei die Booster Antenne (16) eine Panelantenne ist.
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