DE102015203396A1 - Method and device for determining the topography of a surface - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) mit einer ersten Bilderfassungseinrichtung (11) mit einem ersten Erfassungsbereich (21) und einer zweiten Bilderfassungseinrichtung (12) mit einem zweiten Erfassungsbereich (22), wobei der erste Erfassungsbereich (21) und der zweite Erfassungsbereich (22) zumindest teilweise überlappen, und die Vorrichtung weiterhin zumindest eine Lichtquelle (31, 32, 33) aufweist, welche dazu eingerichtet ist, Licht aus unterschiedlichen Einfallsrichtungen in zumindest einen Erfassungsbereich (21, 22) zu emittieren. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Bestimmung der Topografie einer Oberfläche (50) eines Prüflings (5).The invention relates to a device (1) having a first image capture device (11) with a first capture region (21) and a second image capture device (12) with a second capture region (22), the first capture region (21) and the second capture region (22 ) at least partially overlap, and the device further comprises at least one light source (31, 32, 33) which is adapted to emit light from different directions of incidence in at least one detection area (21, 22). Furthermore, the invention relates to a method for determining the topography of a surface (50) of a test piece (5).
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bestimmung der Topographie einer Oberfläche. Solche Verfahren können dazu eingesetzt werden, dreidimensionale Strukturen von Oberflächen zu erfassen, beispielsweise zur Charakterisierung der räumlichen Struktur eines Bauteils oder zur Erkennung von Abweichungen von einer gewünschten Soll-Form. The invention relates to an apparatus and a method for determining the topography of a surface. Such methods can be used to detect three-dimensional structures of surfaces, for example to characterize the spatial structure of a component or to detect deviations from a desired target shape.
Aus der Praxis sind Verfahren und Vorrichtungen der eingangs genannten Art bekannt. Beispielsweise kann die Topographie der Oberfläche eines Prüflings mittels Deflektometrie, durch Projektionsverfahren, durch photometrische Stereoaufnahmen, durch Aufnahmeserien mit unterschiedlicher Fokuslage oder ähnliche Verfahren erfasst werden. Aus den erfassten Rohdaten kann ein mathematisches Modell bzw. eine Funktion ermittelt werden, welche die Oberfläche beschreibt. Dabei weisen die unterschiedlichen Verfahren jeweils spezifische Vor- und Nachteile auf, so dass für spezifische Prüfaufgaben das jeweils am besten geeignete Verfahren ausgewählt werden muss. From practice methods and devices of the type mentioned are known. For example, the topography of the surface of a test object can be detected by means of deflectometry, by projection methods, by photometric stereo recordings, by recording series with a different focus position or similar methods. From the acquired raw data, a mathematical model or a function can be determined which describes the surface. In this case, the different methods each have specific advantages and disadvantages, so that for specific test tasks the most suitable method must be selected.
Ausgehend vom Stand der Technik liegt der Erfindung somit die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung der Topographie einer Oberfläche anzugeben, welches universell anwendbar ist und/oder welches eine größere Genauigkeit bereitstellen kann. Weiterhin besteht die Aufgabe der Erfindung darin, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung der Topographie einer Oberfläche bereitzustellen, welches auch bei nicht-stetigen Oberflächen zuverlässige Ergebnisse liefern kann. Starting from the prior art, the invention is therefore based on the object of specifying a method and a device for determining the topography of a surface, which is universally applicable and / or which can provide greater accuracy. Furthermore, the object of the invention is to provide a method and a device for determining the topography of a surface, which can provide reliable results even with non-continuous surfaces.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Vorrichtung gemäß Anspruch 1 und ein Verfahren gemäß Anspruch 5 gelöst. The object is achieved by a device according to claim 1 and a method according to
Erfindungsgemäß wird eine Vorrichtung mit einer ersten Bilderfassungseinrichtung und einer zweiten Bilderfassungseinrichtung vorgeschlagen. Die Bilderfassungseinrichtungen können beispielsweise Digitalkameras sein oder solche enthalten, welche mittels einer Linse den zu untersuchenden Prüfling oder einen Teil des Prüflings auf einen Bildwandler abbilden. Dementsprechend weist jede Bilderfassungseinrichtung einen von der Brennweite des Objektives und der Größe des Bildwandlers abhängigen Erfassungsbereich auf. Der Bildwandler kann beispielsweise einen CCD-Chip enthalten, so dass am Ausgang der Bilderfassungseinrichtung ein das Bild des Prüflings repräsentierender analoger oder digitaler Datenstrom bereitgestellt wird. According to the invention, a device with a first image capture device and a second image capture device is proposed. The image capturing devices may be, for example, digital cameras or contain those which image the test specimen to be examined or a part of the specimen onto an image converter by means of a lens. Accordingly, each image capture device has a detection range dependent on the focal length of the objective and the size of the image converter. By way of example, the image converter can include a CCD chip, so that an analog or digital data stream representing the image of the device under test is provided at the output of the image acquisition device.
Der erste Erfassungsbereich der ersten Bilderfassungseinrichtung und der zweite Erfassungsbereich der zweiten Bilderfassungseinrichtung überlappen zumindest teilweise. In einigen Ausführungsformen der Erfindung können die beiden Erfassungsbereiche der beiden Bilderfassungseinrichtungen vollständig überlappen, so dass der Prüfling sowohl von der ersten Bilderfassungseinrichtung als auch von der zweiten Bilderfassungseinrichtung aufgezeichnet wird. Beide Bilderfassungseinrichtungen können in einer gemeinsamen Ebene transversal verschoben angeordnet sein. The first detection area of the first image detection device and the second detection area of the second image detection device overlap at least partially. In some embodiments of the invention, the two detection areas of the two image capture devices may completely overlap so that the DUT is recorded by both the first image capture device and the second image capture device. Both image capture devices can be arranged transversely displaced in a common plane.
Abhängig von der Größe des Prüflings und der geforderten Genauigkeit kann der Prüfling bzw. dessen Oberfläche vollständig von den beiden Bilderfassungseinrichtungen erfasst werden. In anderen Ausführungsformen der Erfindung erfassen die Bilderfassungseinrichtungen nur eine Teilfläche des Prüflings, so dass entweder nur eine Teilfläche mit dem erfindungsgemäßen Verfahren untersucht wird oder aber durch relatives Verschieben der Vorrichtung und des Prüflings die gesamte Oberfläche in mehreren Teilschritten untersucht werden kann. Depending on the size of the test specimen and the required accuracy, the specimen or its surface can be completely detected by the two image capturing devices. In other embodiments of the invention, the image capture devices detect only a partial area of the test object, so that either only a partial area is examined by the method according to the invention or by relative displacement of the device and the test object, the entire surface can be examined in several sub-steps.
Weiterhin weist die Vorrichtung zumindest eine Lichtquelle auf. Die Lichtquelle ist dazu eingerichtet, Licht aus unterschiedlichen Einfallsrichtungen in zumindest einem Erfassungsbereich zu emittieren. In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann die Lichtquelle dazu eingerichtet sein, Licht unterschiedlicher Wellenlängen bzw. unterschiedlicher Farben zu emittieren. Hierzu kann die Lichtquelle beispielsweise eine Mehrzahl von Leuchtdioden enthalten, welche getrennt voneinander schaltbar sind. In anderen Ausführungsformen der Erfindung kann die Vorrichtung eine breitbandige Lichtquelle enthalten, beispielsweise eine Halogenlampe oder eine Gasentladungslampe. Durch Filter kann Licht einer gewünschten Wellenlänge gefiltert werden und Licht anderer Wellenlängen unterdrückt werden. Furthermore, the device has at least one light source. The light source is adapted to emit light from different directions of incidence in at least one detection area. In some embodiments of the invention, the light source may be configured to emit light of different wavelengths or different colors. For this purpose, the light source may contain, for example, a plurality of light-emitting diodes which can be switched separately from one another. In other embodiments of the invention, the device may include a broadband light source, such as a halogen lamp or a gas discharge lamp. Filters allow light of a desired wavelength to be filtered and light of other wavelengths to be suppressed.
Die Lichtquelle kann in einigen Ausführungsformen drehbar bzw. schwenkbar sein, um die zu untersuchende Oberfläche des Prüflings aus unterschiedlichen Einfallsrichtungen zu beleuchten. In anderen Ausführungsformen der Erfindung kann die Lichtquelle durch Blenden teilweise verdeckt werden oder der Strahlengang kann durch Linsen bzw. Spiegel umgelenkt werden, um eine Beleuchtung des Prüflings aus unterschiedlichen Einfallsrichtungen zu realisieren. The light source may be rotatable in some embodiments to illuminate the surface of the device under test from different directions of incidence. In other embodiments of the invention, the light source can be partially obscured by apertures or the beam path can be deflected by lenses or mirrors to realize illumination of the specimen from different directions of incidence.
In wiederum einer anderen Ausführungsform der Erfindung können mehrere Lichtquellen vorhanden sein, welche jeweils getrennt schaltbar sind und welche aus unterschiedlichen Einfallsrichtungen auf den Prüfling treffen. Auf diese Weise kann durch ein einfaches Ein- bzw. Ausschalten einzelner Lichtquellen eine Beleuchtung aus unterschiedlichen Einfallsrichtungen realisiert werden. In yet another embodiment of the invention, a plurality of light sources may be present, which are each separately switchable and which meet from different directions of incidence on the specimen. In this way, lighting can be realized from different directions of incidence by simply switching on or off individual light sources.
Bei Betrieb der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann jede Bilderfassungseinrichtung Bilder ihres jeweiligen Erfassungsbereiches aufnehmen, welche mit gerichteter Beleuchtung aus verschiedenen Richtungen erzeugt werden. Dies führt dazu, dass einzelne Teilflächen der Oberfläche, welche relativ zu der durch die Blickrichtung der Bilderfassungseinrichtungen definierten Achse geneigt sind, in den verschiedenen Aufnahmen unterschiedlich hell erscheinen. Somit kann durch Modellierung der beobachteten Intensität in Abhängigkeit des Ortes ein Feld von Normalenvektoren für unterschiedliche Teilflächen im Erfassungsbereich der jeweiligen Bilderfassungseinrichtungen berechnet werden. Zur Erhöhung der Genauigkeit kann in einigen Ausführungsformen der Erfindung in einem zusätzlichen Verfahrensschritt das Reflexionsverhalten der Oberfläche des Prüflings bestimmt werden. In anderen Ausführungsformen der Erfindung weist der Prüfling ein diffuses Reflexionsverhalten auf, beispielsweise durch vorheriges Sandstrahlen oder Schleifen. During operation of the device according to the invention, each image capture device can take pictures of their respective coverage area, which are generated with directed illumination from different directions. As a result, individual partial surfaces of the surface, which are inclined relative to the axis defined by the viewing direction of the image acquisition devices, appear differently bright in the different images. Thus, by modeling the observed intensity as a function of location, a field of normal vectors for different subareas in the coverage area of the respective image capture devices can be calculated. To increase the accuracy, in some embodiments of the invention, the reflection behavior of the surface of the test object can be determined in an additional method step. In other embodiments of the invention, the device under test has a diffuse reflection behavior, for example by prior sandblasting or grinding.
Da die erste Bilderfassungseinrichtung und die zweite Bilderfassungseinrichtung beabstandet zueinander angeordnet sind, weisen identische Merkmale auf der zu untersuchenden Oberfläche in beiden Aufnahmen eine Disparität auf, welche durch den Parallaxenfehler der beiden Bilderfassungseinrichtungen bedingt ist. Aus dieser Disparität kann eine Höheninformation gewonnen werden, d.h. zu einer vorgebbaren Teilfläche bzw. einem vorgebbaren Punkt im Überlappungsbereich der Bilderfassungseinrichtungen kann ein Höhenwert berechnet werden, so dass sich eine 2,5-dimensionale Darstellung bzw. eine Punktwolke errechnen lässt. Since the first image acquisition device and the second image acquisition device are arranged at a distance from one another, identical features on the surface to be examined have a disparity in both images due to the parallax error of the two image acquisition devices. From this disparity, height information can be obtained, i. A height value can be calculated for a predeterminable partial area or a predefinable point in the overlapping area of the image acquisition devices, so that a 2.5-dimensional representation or a point cloud can be calculated.
Aus den in den vorherigen Verfahrensschritten bestimmten Höheninformationen und den lokalen Normalenvektoren lässt sich die Oberflächentopographie des Prüflings vollständig rekonstruieren. Dies gelingt mit dem erfindungsgemäßen Verfahren insbesondere auch dann, wenn die Oberfläche nur abschnittsweise stetig ist und Stufen, Sprünge oder Hinterschneidungen aufweist. Konventionelle photometrische Stereoaufnahmen können solche nicht-stetigen Oberflächen nicht rekonstruieren, da ausschließlich die lokalen Normalenvektoren bekannt sind, nicht jedoch deren absolute Höheninformation. From the height information determined in the previous process steps and the local normal vectors, the surface topography of the test object can be completely reconstructed. This is achieved with the method according to the invention in particular even if the surface is only partially continuous and has steps, jumps or undercuts. Conventional photometric stereo recordings can not reconstruct such non-continuous surfaces since only the local normal vectors are known, but not their absolute height information.
Damit ermöglicht das erfindungsgemäße Verfahren einer Stereoaufnahme mit unterschiedlicher Beleuchtungsrichtung erstmalig die Rekonstruktion einer Oberfläche eines Prüflings mit hoher Genauigkeit auch dann, wenn diese Oberfläche nur abschnittsweise stetig ist. Thus, the inventive method of stereo recording with different illumination direction allows the first time the reconstruction of a surface of a specimen with high accuracy, even if this surface is only partially continuous.
Weiterhin kann das erfindungsgemäße Verfahren und die dazu verwendete Vorrichtung in einigen Ausführungsformen folgende Vorteile aufweisen, welche sich jeweils einzeln oder zusammen zeigen können:
Erfindungsgemäß wird erstmals die Kombination der lokalen Genauigkeit vom photometrischen Stereo mit der globalen Genauigkeit von Stereoaufnahmen mit mehreren Kameras. Mittels photometrischem Stereo können sehr geringe Höhenänderungen bestimmt werden, beispielsweise Kratzer oder sonstige Oberflächenbeschädigungen. Diese Höhendaten weisen aber über größere Flächen gesehen Abweichungen zur Originalfläche auf, d.h. die absolute Normierung ist fehlerhaft. Bei Stereoverfahren unter Verwendung mehrerer Aufnahmepositionen ist dies genau anders herum, d.h. die Fläche kann über größere Flächeninhalte rekonstruiert werden, wobei jedoch kleine Details nicht sichtbar sind. Furthermore, in some embodiments, the method according to the invention and the device used therefor may have the following advantages, which may each be shown individually or together:
According to the invention, for the first time, the combination of local accuracy from photometric stereo with the global accuracy of stereo recordings with multiple cameras. By means of photometric stereo very small height changes can be determined, such as scratches or other surface damage. However, these height data show deviations from the original surface over larger areas, ie the absolute normalization is faulty. In stereo, using multiple shooting positions, this is the other way around, ie, the surface can be reconstructed over larger surface areas, but small details are not visible.
Weiterhin können mittels Stereoverfahren Oberflächen von homogenen bzw. untexturierten Objekten nicht ermittelt werden. Das erfindungsgemäße Verfahren kann jedoch durch die verschiedenen Beleuchtungsrichtungen diesen Mangel ausgleichen. Durch die wechselnden Beleuchtungsrichtungen werden zumindest einige Oberflächenpunkte bzw. Teilflächen unterschiedlich beleuchtet, wodurch korrespondierende Punkte identifizierbar werden und die für ein Stereo-Verfahren erforderlichen Korrespondenzen hergestellt werden können. Daraus können die Disparitäten ermittelt werden, um die Oberfläche rekonstruieren. Furthermore, surfaces of homogeneous or untextured objects can not be determined by means of stereo methods. However, the method according to the invention can compensate for this deficiency by the different directions of illumination. Due to the changing illumination directions, at least some surface points or subareas are illuminated differently, whereby corresponding points can be identified and the correspondences required for a stereo method can be produced. From this, the disparities can be determined to reconstruct the surface.
In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann die Reflektanz zumindest einer Teilfläche bestimmt werden, wobei mit dem gemessenen Wert der Reflektanz eine Materialklassifikation durchgeführt wird. Da verschiedene Materialien unterschiedlich reflektieren, können durch die verschiedenen Beleuchtungsparameter Reflektanzeigenschaften für einzelne Teilflächen geschätzt werden, die wiederum zur Materialklassifikation herangezogen werden können. Hierdurch können beispielsweise Beschichtungen, Druckfarben oder ähnliche Oberflächenmodifikationen bestimmt werden. Die Zuordnung einer Reflektanz zu einem Material oder einer Materialklasse kann in einigen Ausführungsformen der Erfindung in einer Zuordnungstabelle gespeichert und bei der Auswertung der Aufnahmen dort ausgelesen werden. In some embodiments of the invention, the reflectance of at least one subarea may be determined, wherein a material classification is performed with the measured value of the reflectance. Since different materials reflect differently, the different lighting parameters can be used to estimate reflectance properties for individual partial areas, which in turn can be used for material classification. As a result, for example, coatings, printing inks or similar surface modifications can be determined. The assignment of a reflectance to a material or a material class can be stored in an allocation table in some embodiments of the invention and read there in the evaluation of recordings.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung, bzw. das erfindungsgemäße Verfahren kann beispielsweise in der Qualitätssicherung eingesetzt werden. Hierzu kann eine Auswerteeinrichtung eine Sollform des Prüflings bzw. eine gewünschte Oberflächenbeschaffenheit sowie maximal zulässige Toleranzwerte hierzu speichern und diese Soll-Form mit der gemessenen Ist-Form vergleichen. Auf diese Weise kann unbeeinflusst von subjektiven Eindrücken und mit hoher Geschwindigkeit entschieden werden, ob das Werkstück innerhalb der Toleranz liegt oder verworfen werden muss. Beispiele für solche Werkstücke mit abschnittsweise stetiger Oberfläche sind Retroreflektoren mit Corner-Cube-Strukturen oder spanabhebende Werkzeuge mit geometrisch definierten Schneiden. The device according to the invention or the method according to the invention can be used for example in quality assurance. For this purpose, an evaluation device can store a desired shape of the test object or a desired surface condition as well as maximum permissible tolerance values for this purpose and compare this desired shape with the measured actual shape. In this way, it is possible to decide whether the workpiece is within the tolerance or must be discarded, without being influenced by subjective impressions and at high speed. Examples of such workpieces with sections of continuous surface are retroreflectors with corner cube structures or cutting tools with geometrically defined cutting edges.
In einigen Ausführungsformen der Erfindung weist die erfindungsgemäße Vorrichtung drei Lichtquellen auf, welche jeweils getrennt schaltbar und welche dazu eingerichtet sind, Licht aus unterschiedlichen Einfallsrichtungen in die Erfassungsbereiche der beiden Bilderfassungseinrichtungen zu emittieren. In anderen Ausführungsformen der Erfindung können fünf Lichtquellen vorhanden sein, wobei sich vier Lichtquellen gleichmäßig um eine zentrale Lichtquelle gruppieren, so dass die Beleuchtung sowohl koplanar zu den Erfassungsbereichen der Bilderfassungseinrichtungen erfolgen kann als auch mit unterschiedlichen Azimutwinkeln bei konstanter Elevation. In some embodiments of the invention, the device according to the invention has three light sources which are each separately switchable and which are adapted to emit light from different directions of incidence into the detection areas of the two image capture devices. In other embodiments of the invention, there may be five light sources, with four light sources evenly grouped around a central light source so that illumination may be both coplanar with the detection areas of the image capture devices and with different azimuth angles at constant elevation.
In wiederum einer anderen Ausführungsform der Erfindung können neun Lichtquellen vorhanden sein, so dass sowohl der Azimut als auch die Elevation durch Schalten der jeweiligen Lichtquellen variiert werden kann. Hierdurch kann die erfindungsgemäße Vorrichtung bzw. das Verfahren universeller einsetzbar sein. In yet another embodiment of the invention, nine light sources may be present so that both azimuth and elevation can be varied by switching the respective light sources. As a result, the device or the method according to the invention can be used more universally.
In wiederum einer anderen Ausführungsform der Erfindung kann zumindest eine Lichtquellen verschwenkbar oder neigbar sein sein, so dass Azimut und/oder Elevation stufenlos einstellbar sind. In yet another embodiment of the invention, at least one light source may be pivotable or tiltable, so that azimuth and / or elevation are infinitely adjustable.
In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann eine Auswerteeinrichtung vorhanden sein, welche dazu eingerichtet ist, aus zumindest drei Aufnahmen der ersten Bilderfassungseinrichtung und zumindest drei Aufnahmen der zweiten Bilderfassungseinrichtung, welche bei unterschiedlichen Einfallsrichtungen des Lichtes erzeugt wurden, für zumindest ein Flächenelement der Oberfläche des Prüflings eine Höheninformation und einen Normalenvektor zu ermitteln. Somit ist sowohl die Höhenlage als auch die Neigung des jeweiligen Flächenelements bekannt. In some embodiments of the invention, an evaluation device may be present which is set up to provide at least three images of the first image capture device and at least three images of the second image capture device that were generated in different directions of incidence of the light for at least one surface element of the surface of the test object height information and to determine a normal vector. Thus, both the altitude and the inclination of the respective surface element is known.
Die Auswerteeinrichtung kann in einigen Ausführungsformen der Erfindung einen Mikroprozessor oder einen Mikrocontroller enthalten. In diesem Fall kann eine Software vorhanden sein, welche zumindest einige Verfahrensschritte des erfindungsgemäßen Verfahrens ausführt, wenn diese auf dem Mikroprozessor ausgeführt wird. The evaluation device may include a microprocessor or a microcontroller in some embodiments of the invention. In this case, a software may be present which performs at least some method steps of the method according to the invention, if this is carried out on the microprocessor.
In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann zumindest eine Teilfläche der Oberfläche durch Integration der Normalenvektoren und zumindest einer aus einer Disparität ermittelten Höheninformation bestimmt werden. Dies erlaubt eine nahezu vollständige Rekonstruktion der Topographie der Oberfläche mit nur geringen Fehlern. Im Falle von nicht-stetigen Oberflächen kann die Oberfläche auf diese Weise in zusammenhängende, stetige Teilflächen segmentiert werden. In some embodiments of the invention, at least a partial area of the surface may be determined by integration of the normal vectors and at least one height information determined from a disparity. This allows a nearly complete reconstruction of the topography of the surface with only minor errors. In the case of non-continuous surfaces, the surface can be segmented in this way into coherent, continuous partial surfaces.
In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann das Verfahren dazu in der Lage sein, simultan eine Höhenschätzung und eine Normalenschätzung durchzuführen, ohne dass beides separat berechnet werden muss. In some embodiments of the invention, the method may be capable of simultaneously performing an altitude estimation and a normal estimation without having to separately calculate both.
In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann die Oberfläche mittels eines Finite-Element-Ansatzes in einem Gittermodell dargestellt werden. In diesem Fall kann die Finite-Element-Methode dazu angewendet werden, die Bilddaten auszuwerten. Das hierfür verwendete Netz definiert gleichzeitig die Stützstellen des Gitternetzmodells bzw. der Punktwolke der Oberflächenrekonstruktion des Prüflings. In some embodiments of the invention, the surface may be represented by a finite element approach in a grid model. In this case, the finite element method can be used to evaluate the image data. The network used for this defines at the same time the interpolation points of the grid model or the point cloud of the surface reconstruction of the test object.
Nachfolgend soll die Erfindung anhand von Figuren ohne Beschränkung des allgemeinen Erfindungsgedankens näher erläutert werden. Dabei zeigt The invention will be explained in more detail with reference to figures without limiting the general inventive concept. It shows
Wie in
Weiterhin weist die Vorrichtung gemäß
Wie aus
Weiterhin befindet sich in der Vorrichtung
Der Prüfling
In einigen Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Bestimmung der Topographie der Oberfläche
Die Aufnahmen der Bilderfassungseinrichtungen
Anhand der
Sofern die Oberfläche
Weist die Oberfläche
Das Ergebnis einer solchen Modellierung ist beispielhaft in
Wie
Anhand
Aufgrund des Parallaxenfehlers bei seitlicher Betrachtung des Oberflächenmerkmals
Sofern dieses Verfahren für eine Mehrzahl identifizierbarer Oberflächenmerkmale auf der Oberfläche
Schließlich können die in
Die anhand der
Selbstverständlich ist die Erfindung nicht auf die in den Figuren dargestellte Ausführungsform beschränkt. Die vorstehende Beschreibung ist daher nicht als beschränkend, sondern als erläuternd anzusehen. Die nachfolgenden Ansprüche sind so zu verstehen, dass ein genanntes Merkmal in zumindest einer Ausführungsform der Erfindung vorhanden ist. Dies schließt die Anwesenheit weiterer Merkmale nicht aus. Sofern die Ansprüche und die vorstehende Beschreibung „erste“ und „zweite“ Ausführungsformen definieren, so dient diese Bezeichnung der Unterscheidung zweier gleichartiger Ausführungsformen, ohne eine Rangfolge festzulegen. Merkmale aus unterschiedlichen Ausführungsformen der Erfindung können jederzeit kombiniert werden, um so weitere Ausführungsformen der Erfindung zu erhalten. Of course, the invention is not limited to the embodiment shown in the figures. The above description is therefore not to be considered as limiting, but as illustrative. The following claims are to be understood as meaning that a named feature is present in at least one embodiment of the invention. This does not exclude the presence of further features. As long as the claims and the above description define "first" and "second" embodiments, this designation serves to distinguish two similar embodiments without prioritizing them. Features of different embodiments of the invention may be combined at any time so as to obtain further embodiments of the invention.
Claims (11)
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