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ALLGEMEINER STAND DER TECHNIK
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1. Technisches Gebiet
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Die vorliegende Offenbarung einer Erfindung betrifft ein Rolle-zu-Rolle- Vakuumaufdampfungssystem. Insbesondere betrifft die vorliegende Offenbarung einer Erfindung ein Rolle-zu-Rolle-Vakuumaufdampfungssystem, das für ein flexibles Substrat verwendet wird, wobei eine Licht emittierende Schicht eines flexiblen OLED-Lichtes oder eines flexiblen OLED-Displays gebildet wird.
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2. Beschreibung verwandter Technik
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Eine organische Leuchtdiode (OLED) ist ein organisches Material, das ein Licht von selbst unter Verwendung eines Licht emittierenden elektrischen Feldes emittiert, wobei das Licht emittiert wird, wenn ein Strom auf einer organischen Leuchtstoffverbindung fließt. Die OLED weist einen relativ breiten Betrachtungswinkel und eine relativ rasche Reaktion auf und wird daher für ein Display anstatt einer konventionellen Flüssigkristallanzeige (LCD) weithin verwendet.
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Außerdem wird die OLED auch in einer Beleuchtungsvorrichtung und daher einer flexiblen OLED-Beleuchtungsvorrichtung verwendet, wobei die OLED auf ein flexibles Substrat aufgedampft wird, das kürzlich entwickelt wurde.
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Beispielsweise offenbart in Bezug auf die flexible OLED-Beleuchtungsvorrichtung die
koreanische Patentanmeldung Nr. 2008-0130878 ein Verfahren zum Herstellen eines halbleitenden Elementes unter Verwendung des flexiblen Substrates und einer flexiblen Maske. Und in dem Verfahren ist die flexible Maske an dem flexiblen Substrat befestigt und eine vorbestimmte Struktur wird kontinuierlich gebildet.
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Außerdem offenbart die
koreanische Patentanmeldung Nr. 2013-0065329 eine Unterseiten-Rolle-zu-Rolle-Verdampfungsvorrichtung, bei der das flexible Substrat kontinuierlich bereitgestellt wird und der Aufdampfungsprozess beim Befestigen der flexiblen Maske an dem flexiblen Substrat erfolgt.
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Dementsprechend wird bei dem Aufdampfungsprozess auf dem flexiblen Substrat unter Verwendung des Rolle-zu-Rolle-Druckprozesses die Maske auf dem flexiblen Substrat befestigt und dann wird die Maske von dem flexiblen Substrat nach dem Aufdampfungsprozess abgelöst.
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Jedoch können die Maske und das Substrat miteinander beim Befestigen der Maske auf dem Substrat oder Ablösen der Maske von dem Substrat fehlausgerichtet sein und die Struktur auf dem Substrat kann beim Ablösen der Maske vom Substrat beschädigt werden. Die Maske sollte während des Aufdampfungsprozesses stabil auf dem Substrat befestigt sein und daher können zusätzliche Befestigungs- oder Ablöseprozesse zum Erhöhen der Zuverlässigkeit des Prozesses erforderlich und der Prozess komplizierter sein.
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KURZDARSTELLUNG
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Die vorliegende Erfindung wurde entwickelt, um die vorgenannten Probleme der verwandten Technik zu lösen. Die vorliegende Erfindung stellt ein Rolle-zu-Rolle-Vakuumaufdampfungssystem bereit, das für ein flexibles Substrat verwendet wird, um den Prozess wirksamer auszuführen, ohne das flexible Substrat an der Maske zu befestigen, und die Zuverlässigkeit des Prozesses und die Produktivität zu erhöhen.
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Gemäß einer beispielhaften Ausführungsform umfasst ein Rolle-zu-Rolle-Vakuumaufdampfungssystem eine Bereitstellungsrolle, die ein Substrat kontinuierlich bereitstellt, mehrere Struktureinheiten, die eine Struktur auf dem Substrat bilden, und eine Aufnahmerolle, die kontinuierlich das Substrat, auf dem die Struktur gebildet wird, aufnimmt. Jede der Struktureinheiten umfasst eine Ausrichtungseinheit, eine Strukturmaske, eine Erfassungseinheit, einen Tisch und eine Aufdampfungseinheit. Die Ausrichtungseinheit erfasst eine auf dem Substrat gebildete Ausrichtmarkierung, um das Substrat auszurichten. Die Strukturmaske ist von dem Substrat durch einen vorbestimmten Abstand beabstandet. Die Erfassungseinheit erfasst einen Spalt zwischen dem Substrat und der Strukturmaske. Der Tisch, auf der die Strukturmaske befestigt ist, steuert eine Position der Strukturmaske basierend auf Informationen von der Ausrichtungseinheit und der Erfassungseinheit. Die Aufdampfungseinheit dampft eine vorbestimmte Struktur auf dem Substrat unter Verwendung der Strukturmaske auf.
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Bei einer beispielhaften Ausführungsform kann das Substrat ein flexibles Substrat sein und die Aufdampfungseinheit kann eine organische Leuchtdiode (OLED) direkt auf das Substrat aufdampfen.
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Bei einer beispielhaften Ausführungsform können die Struktureinheiten entlang einer horizontalen Richtung angeordnet sein und das Substrat kann kontinuierlich entlang der horizontalen Richtung bereitgestellt sein.
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Bei einer beispielhaften Ausführungsform kann jede der Struktureinheiten in einem vorbestimmten Winkel mit den Struktureinheiten angrenzend aneinander angeordnet sein und Richtungen des kontinuierlichen Bereitstellens des Substrates können durch eine Rolle zwischen den aneinander angrenzenden Struktureinheiten geändert werden.
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Bei einer beispielhaften Ausführungsform kann jede der Strukturmasken der Struktureinheiten eine unterschiedliche Maskenstruktur umfassen.
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Bei einer beispielhaften Ausführungsform kann die Übertragung des Substrats vorübergehend gestoppt werden, wenn die Struktur durch jede der Struktureinheiten aufgedampft wird.
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Bei einer beispielhaften Ausführungsform können die Ausrichtungs- und die Erfassungseinheit über dem Substrat angeordnet sein, und die Strukturmaske, der Tisch und die Aufdampfungseinheit, können unter dem Substrat angeordnet sein.
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Bei einer beispielhaften Ausführungsform kann der Tisch Positionen des Substrates entlang einer ersten Richtung, in der das Substrat übertragen wird, und einer zweiten Richtung, die im Wesentlichen zur ersten Richtung senkrecht ist, und Erfassungsinformationen über einen Rotationswinkel des Substrates in einer Draufsicht von der Ausrichtungseinheit empfangen. Der Tisch kann eine Position des Substrates entlang einer dritten Richtung, die im Wesentlichen zu den ersten und zweiten Richtungen senkrecht ist, und Erfassungsinformationen eines Rotationswinkels des Substrates in Bezug auf die ersten und zweiten Richtungen empfangen.
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Bei einer beispielhaften Ausführungsform kann der Tisch ein Hexapod-Tisch sein.
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Gemäß den beispielhaften Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ist eine Strukturmaske von einem Substrat beabstandet und bildet eine Struktur auf dem Substrat und daher ist der Prozess verglichen mit einem konventionellen Prozess, bei dem die Strukturmaske an dem Substrat befestigt ist, effizienter, produktiver und genauer.
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Zugunsten einer genaueren Strukturaufdampfung sollten die Strukturmaske und das Substrat enger beieinander sein und die Strukturmaske und das Substrat sollten genauer ausgerichtet sein. Bei der vorliegenden beispielhaften Ausführungsform kann eine Ausrichtung zwischen der Strukturmaske und dem Substrat durch eine Ausrichtungseinheit und eine Erfassungseinheit gemessen werden, und die Strukturmaske und das Substrat können unter Verwendung eines Tisches genauer ausgerichtet werden.
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Hier werden alle 6 Achsen einschließlich der XYZ-Achsen und der αβγ-Rotationsachsen unter Verwendung der Ausrichtungseinheit und der Erfassungseinheit ausgerichtet und daher können die Strukturmaske und das Substrat genauer ausgerichtet werden.
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Außerdem umfasst jede von mehreren Struktureinheiten eine von unterschiedlichen Strukturmasken und Strukturen können überlappt und auf dem Substrat aufgedampft werden und daher kann die Struktur komplizierter und effizienter gebildet werden.
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Hier können die Struktureinheiten horizontal oder mit vorbestimmten Winkeln zueinander gebildet werden und daher kann ein Raum effizienter verwendet werden.
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Außerdem kann das Substrat basierend auf den aufgedampften Strukturen kontinuierlich bewegt und darauf aufgedampft werden oder das Substrat kann während des Aufdampfungsprozesses bei jeder Struktureinheit stoppen, und daher kann der Rolle-zu-Rolle-Vakuumaufdampfungsprozess basierend auf verschiedenen Arten von Prozessen anpassbar erfolgen.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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Die vorstehenden Merkmale und Vorteile und andere werden offensichtlicher durch Beschreiben von Ausführungsbeispielen davon unter Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen:
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1 ist ein Prinzipschaltbild, das ein Rolle-zu-Rolle-Vakuumaufdampfungssystem gemäß einer beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung veranschaulicht;
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2A ist ein Prinzipschaltbild, das eine Ausrichtung von einem Substrat unter Verwendung einer Ausrichtungseinheit von 1 veranschaulicht und 2B ist ein Prinzipschaltbild, das eine Ausrichtung von dem Substrat unter Verwendung einer Erfassungseinheit von 1 veranschaulicht;
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3 ist eine Seitenansicht, die eine Struktur veranschaulicht, die auf einem flexiblen Substrat unter Verwendung des Rolle-zu-Rolle-Vakuumaufdampfungssystems von 1 gebildet ist; und
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4 ist ein Prinzipschaltbild, das ein Rolle-zu-Rolle-Vakuumaufdampfungssystem gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung veranschaulicht.
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AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG
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Im Folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung im Detail unter Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen erklärt.
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1 ist ein Prinzipschaltbild, das ein Rolle-zu-Rolle-Vakuumaufdampfungssystem gemäß einer beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung veranschaulicht. 2A ist ein Prinzipschaltbild, das eine Ausrichtung von einem Substrat unter Verwendung einer Ausrichtungseinheit von 1 veranschaulicht und 2B ist ein Prinzipschaltbild, das eine Ausrichtung von dem Substrat unter Verwendung einer Erfassungseinheit von 1 veranschaulicht.
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Unter Bezugnahme auf 1 umfasst das Rolle-zu-Rolle-Aufdampfungssystem 100 gemäß der vorliegenden beispielhaften Ausführungsform eine Kammer 101, eine Bereitstellungsrolle 102 und eine Aufnahmerolle 105 und mehrere Struktureinheiten 120 und 130. Die Bereitstellungs- und Aufnahmerollen 102 und 105 sind innerhalb der Kammer 101 vorgesehen. Die Struktureinheiten 120 und 130 sind zwischen den Bereitstellungs- und Aufnahmerollen 102 und 105 angeordnet und führen den Aufdampfungsprozess an dem Substrat 110 aus.
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Das Substrat 110 ist ein flexibles Substrat und wird von der Bereitstellungsrolle 102 bereitgestellt, auf die das Substrat 110 gewickelt ist. Das Substrat 110 wird auf der Aufnahmerolle 102 aufgenommen, auf die das Substrat 110 gewickelt wird.
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Außerdem werden eine Übertragungsgeschwindigkeit und eine Übertragungsrichtung des Substrates 110 durch eine erste Rolle 103, eine zweite Rolle 104 und mehrere Rollen gesteuert. In der vorliegenden beispielhaften Ausführungsform wird das Substrat 110 entlang einer ersten Richtung X übertragen und daher sind die Struktureinheiten 120 und 130 in einer Linie entlang der ersten Richtung X angeordnet.
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Die Struktureinheiten 120 und 130 können mehrere sein und eine Anzahl und ein Raum der Struktureinheiten können basierend auf Strukturen, die auf dem Substrat 110 gebildet werden, verschiedenartig geändert werden. Außerdem ist jede der Struktureinheiten 120 und 130 kontinuierlich angeordnet und alle von den Struktureinheiten 120 und 130 gleichen einander abgesehen von einer Position von jeder der Positionseinheiten und daher wird eine erste Struktureinheit 120 im Detail erklärt und jede repetitive Erklärung bezüglich den Struktureinheiten ausgelassen.
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Die erste Struktureinheit 120 umfasst eine erste Ausrichtungseinheit 121, eine erste Erfassungseinheit 122, ein erster Tisch 123, eine erste Strukturmaske 124 und eine erste Aufdampfungseinheit 125.
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Unter Bezugnahme auf 1 und 2A erfasst die erste Ausrichtungseinheit 121 eine Ausrichtmarkierung 111, die auf dem Substrat 110 gebildet ist, und richtet das Substrat 110 aus.
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Beispielsweise ist die erste Ausrichtungseinheit 121 über dem Substrat 110 angeordnet und erfasst die Ausrichtmarkierung 111, die auf dem Substrat 110 gebildet ist.
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Hier können mehre der Ausrichtmarkierungen 111 kontinuierlich an beiden Endseiten des Substrates 110 gebildet sein und die erste Ausrichtungseinheit 121 erfasst die mehreren Ausrichtmarkierungen 111.
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Beispielsweise kann die erste Ausrichtungseinheit 121 eine Kamera sein, welche die Ausrichtmarkierung 111 erfasst.
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Dementsprechend erfasst die erste Ausrichtungseinheit 121 die mehreren Ausrichtmarkierungen und daher eine Position des Substrates 110 entlang der ersten Richtung X, in der das Substrat 110 übertragen wird, eine Position des Substrates 110 entlang der zweiten Richtung Y im Wesentlichen senkrecht zur ersten Richtung X und eine Rotation des Substrates 110 in Bezug auf eine dritte Richtung Z, die im Wesentlichen zu den ersten und zweiten Richtungen X und Y senkrecht ist.
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Außerdem werden Informationen bezüglich der Position und der Rotation des Substrates 110, die von der ersten Ausrichtungseinheit 121 erfasst werden, an den ersten Tisch 123 bereitgestellt und die Position des ersten Tisches 123 wird gesteuert.
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Unter Bezugnahme auf 1 und 2B ist die erste Erfassungseinheit 122 über dem Substrat 110 angeordnet und erfasst einen Spalt h1 und h2 zwischen dem Substrat 110 und der ersten Strukturmaske 124.
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Bei der vorliegenden beispielhaften Ausführungsform ist das Substrat 110 nicht an der Strukturmaske 124 und 134 befestigt oder stellt damit keinen Kontakt her und der Aufdampfungsprozess wird ausgeführt. Daher sind die Prozesse, um die Strukturmaske an dem Substrat zu befestigen oder die Strukturmaske in Kontakt mit dem Substrat zu bringen, unnötig, sodass der Prozess und die Produktivität effizienter sein können.
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Das Substrat 110 und die Strukturmaske 124 und 134 sollten jedoch eng beieinander angeordnet sein, um die Genauigkeit oder Präzision der Struktur zu erhöhen, die auf dem Substrat aufgedampft wird, und der Spalt zwischen dem Substrat und der Strukturmaske sollte ständig aufrechterhalten werden.
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Die erste Erfassungseinheit 122 erfasst die Position zwischen dem Substrat 110 und der ersten Strukturmaske 124.
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Beispielsweise umfasst die Erfassungseinheit 122 ein Paar von Sensoren. Das Paar von Sensoren ist entsprechend an beiden Enden der ersten Strukturmaske 124 angeordnet und erfasst entsprechend die Spalten h1 und h2. Der Spalt h1 ist ein Spalt zwischen dem Substrat 110 und einem hinteren Ende der ersten Strukturmaske 124 und der Spalt h2 ist ein Spalt zwischen dem Substrat 110 und einem vorderen Ende der ersten Strukturmaske 124.
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Dementsprechend werden die Spalten h1 und h2, die Position des Substrates 110 entlang der dritten Richtung Z, die Rotation des Substrates 110 in Bezug auf die erste Richtung X und die Rotation des Substrates 110 in Bezug auf die zweite Richtung Y erfasst.
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Außerdem werden die Informationen von der ersten Erfassungseinheit 122 an den ersten Tisch 123 bereitgestellt und die Position der ersten Strukturmaske 124 kann durch den ersten Tisch 123 gesteuert werden.
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Der erste Tisch 123 ist unter dem Substrat 110 angeordnet und die erste Strukturmaske 124 ist auf dem ersten Tisch 123 befestigt.
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Außerdem empfängt wie vorstehend beschrieben der erste Tisch 123 die Informationen von der ersten Ausrichtungseinheit 121 und der ersten Erfassungseinheit 122 und steuert die Position und die Richtung der ersten Strukturmaske 124.
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Obwohl nicht in der Figur dargestellt, steuert beispielsweise ein Controller des ersten Tisches 123 die Position des ersten Tisches 123, um die erste Strukturmaske 124 mit dem Substrat 110 basierend auf den Informationen der Position des Substrates 110 entlang der ersten und zweiten Richtungen X und Y und der Rotation des Substrates 110 in Bezug auf die dritte Richtung Z von der ersten Ausrichtungseinheit 121 und basierend auf den Informationen der Position des Substrates 110 entlang der dritten Richtung Z und der Rotationen des Substrates 110 in Bezug auf die ersten und zweiten Richtungen X und Y von der ersten Erfassungseinheit 122 auszurichten.
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Dementsprechend kann der erste Tisch 123 ein Hexapod-Tisch sein, bei dem 6 Achsenbewegungen einschließlich der Positionen entlang den ersten bis dritten Richtungen und der Rotationen in Bezug auf die ersten bis dritten Richtungen gesteuert werden.
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Alternativ kann der erste Tisch 123 ein komplexer integrierter Tisch sein, in den ein Tisch, der durch die Informationen von der ersten Ausrichtungseinheit 121 gesteuert wird, und ein Tisch, der durch die Informationen von der ersten Erfassungseinheit 122 gesteuert wird, integriert sind.
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Die erste Strukturmaske 124 ist auf dem ersten Tisch 123 befestigt und bei Aufrechterhaltung des Spaltes mit dem Substrat 110 um einen vorbestimmten Abstand unter dem Substrat 110 angeordnet.
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Die erste Strukturmaske 124 umfasst eine Maskenstruktur und eine vorbestimmte Struktur wird auf dem Substrat 110 über die erste Strukturmaske 124 aufgedampft.
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Mehrere Maskenstrukturen können erforderlich sein, um die Strukturen auf dem Substrat 110 zu bilden, und daher können in der vorliegenden beispielhaften Ausführungsform die ersten, zweiten, ... Strukturmasken entsprechend die unterschiedlichen Maskenstrukturen umfassen.
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Daher passiert das Substrat 110 jede der Struktureinheiten 120 und 130 und auf das Substrat 110 wird verschiedenartig durch die unterschiedlichen Maskenstrukturen, die auf jeder der Strukturmasken 124 und 134 gebildet sind, aufgedampft, sodass die endgültige Struktur auf dem Substrat 110 gebildet werden kann.
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Die erste Aufdampfungsstruktur 125 ist unter der ersten Strukturmaske 124 angeordnet und stellt Aufdampfungsmaterial zur ersten Strukturmaske 124 bereit. Hier kann die erste Aufdampfungsstruktur 125 ein OLED-Material bereitstellen und daher kann das OLED-Material, das die erste Strukturmaske 124 passiert, auf das Substrat 110 aufgedampft werden.
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Dementsprechend wird das Aufdampfungsmaterial auf dem Substrat 110 mit einer vorbestimmten Struktur durch die erste Struktureinheit 120 aufgedampft und dann wird das Substrat 110 zur zweiten Struktureinheit 120 übertragen und ein weiterer Aufdampfungsprozess wird an dem Substrat 110 ausgeführt.
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Daher wird das Substrat 110 kontinuierlich übertragen und die Strukturen werden kontinuierlich auf dem Substrat 110 über die ersten, zweiten, ... Struktureinheiten 120 und 130 gebildet.
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Alternativ kann das Substrat 110 vorübergehend in der Übertragung gestoppt werden, wenn die Strukturen auf dem Substrat über die ersten und zweiten Struktureinheiten 120 und 130 gebildet werden, und dann übertragen werden. Dementsprechend kann das Substrat 110 wiederholt gestoppt und übertragen werden und die Strukturen werden auf dem Substrat 110 gebildet.
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3 ist eine Seitenansicht, die eine Struktur veranschaulicht, die auf einem flexiblen Substrat unter Verwendung des Rolle-zu-Rolle-Vakuumaufdampfungssystems von 1 gebildet ist.
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Unter Bezugnahme auf 3 wird eine erste Struktur 113 (Rot) unter Verwendung der ersten Struktureinheit 120 gebildet, eine zweite Struktur 114 (Grün) wird unter Verwendung der zweiten Struktureinheit 130 gebildet und so weiter.
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Obwohl nicht in der Figur dargestellt, können die Strukturen, die entlang einer vertikalen Richtung überlappt sind, weiter auf dem Substrat 110 unter Verwendung der ersten, zweiten, ... Struktureinheiten 120 und 130 gebildet werden.
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4 ist ein Prinzipschaltbild, das ein Rolle-zu-Rolle-Vakuumaufdampfungssystem gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung veranschaulicht.
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Das Rolle-zu-Rolle-Vakuumaufdampfungssystem 200 gemäß der vorliegenden beispielhaften Ausführungsform ist im Wesentlichen das Gleiche wie das Rolle-zu-Rolle-Vakuumaufdampfungssystem 100 gemäß der vorhergehenden beispielhaften Ausführungsform unter Bezugnahme auf die 1 bis 3, und daher wird jede repetitive Erklärung ausgelassen.
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Unter Bezugnahme auf 4 umfasst das Rolle-zu-Rolle-Vakuumaufdampfungssystem 200 gemäß der vorliegenden beispielhaften Ausführungsform eine Kammer 201, eine Bereitstellungsrolle 202, eine Aufnahmerolle und mehrere Struktureinheiten 220 und 230.
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Die Bereitstellungs- und Aufnahmerollen sind innerhalb der Kammer 201 vorgesehen. Die Struktureinheiten 220 und 230 sind zwischen den Bereitstellungs- und Aufnahmerollen angeordnet und führen die Aufdampfung auf dem Substrat 210 aus.
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Bei der vorliegenden beispielhaften Ausführungsform führt jede der Struktureinheiten 220 und 230 den Aufdampfungsprozess im Wesentlichen gleich wie die Struktureinheiten des Rolle-zu-Rolle-Vakuumaufdampfungssystems 100 gemäß der vorhergehenden beispielhaften Ausführungsform aus und die Anordnung und Funktion der Struktureinheiten sind auch im Wesentlichen gleich wie diejenigen des Rolle-zu-Rolle-Vakuumaufdampfungssystems 100 gemäß der vorhergehenden beispielhaften Ausführungsform, und daher wird jede repetitive Erklärung ausgelassen.
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In der vorliegenden beispielhaften Ausführungsform wird eine Richtung des Substrates 210 durch eine zweite Rolle 204 geändert, nachdem die Struktur auf dem Substrat 210 unter Verwendung der ersten Struktureinheit 220 gebildet wurde. Beispielsweise wird das Substrat 210 um einen Winkel A wie veranschaulicht in 4 gedreht und dann wird die Struktur auf dem Substrat 210 unter Verwendung der zweiten Struktureinheit 230 gebildet. Obwohl nicht in der Figur dargestellt, können nach dem Ändern der Richtungen des Substrates 210 bei jedem Strukturierungsprozess zusätzliche Strukturen kontinuierlich auf dem Substrat 210 gebildet werden.
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Hier kann der Winkel A, der ein sich ändernder Winkel der Richtung des Substrates 210 ist, bei jedem Strukturierungsprozess aufrechterhalten werden, aber alternativ kann der Winkel A bei jedem Strukturierungsprozess geändert werden. Wenn beispielsweise der Winkel A bei jedem Strukturierungsprozess geändert wird, kann die Kammer 201 eine komplette Kreisform aufweisen.
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Dementsprechend wird das Substrat 210 mit einer Änderung der Richtung übertragen und daher kann der Raum für das Rolle-zu-Rolle-Vakuumaufdampfungssystem mannigfaltig konzipiert werden. Daher kann das Rolle-zu-Rolle-Vakuumaufdampfungssystem in dem vorgegebenen Raum optimal angeordnet und der Raum effizienter verwendet werden.
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Gemäß den beispielhaften Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ist eine Strukturmaske von einem Substrat beabstandet und bildet eine Struktur auf dem Substrat und daher ist der Prozess verglichen mit einem konventionellen Prozess, bei dem die Strukturmaske an dem Substrat befestigt ist, effizienter, produktiver und genauer.
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Zugunsten einer genaueren Strukturaufdampfung sollten die Strukturmaske und das Substrat enger beieinander sein und die Strukturmaske und das Substrat sollten genauer ausgerichtet sein. Bei der vorliegenden beispielhaften Ausführungsform kann eine Ausrichtung zwischen der Strukturmaske und dem Substrat durch eine Ausrichtungseinheit und eine Erfassungseinheit gemessen werden, und die Strukturmaske und das Substrat können unter Verwendung eines Tisches genauer ausgerichtet werden.
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Hier werden alle 6 Achsen einschließlich der XYZ-Achsen und der αβγ-Rotationsachsen unter Verwendung der Ausrichtungseinheit und der Erfassungseinheit ausgerichtet und daher können die Strukturmaske und das Substrat genauer ausgerichtet werden.
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Außerdem umfasst jede von mehreren Struktureinheiten eine von unterschiedlichen Strukturmasken und Strukturen können überlappt und auf dem Substrat aufgedampft werden und daher kann die Struktur komplizierter und effizienter gebildet werden.
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Hier können die Struktureinheiten horizontal oder mit vorbestimmten Winkeln zueinander gebildet werden und daher kann ein Raum effizienter verwendet werden.
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Außerdem kann das Substrat basierend auf den aufgedampften Strukturen kontinuierlich bewegt und aufgedampft werden oder das Substrat kann während des Aufdampfungsprozesses bei jeder Struktureinheit stoppen, und daher kann der Rolle-zu-Rolle-Vakuumaufdampfungsprozess basierend auf verschiedenen Arten von Prozessen anpassbar erfolgen.
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Das Vorstehende veranschaulicht die vorliegenden Lehren und ist nicht als eingrenzend auszulegen. Obwohl einige Ausführungsbeispiele beschrieben wurden, wird der Fachmann ohne weiteres von dem Vorstehenden erkennen, dass viele Modifikationen in den Ausführungsbeispielen möglich sind, ohne erheblich von den neuen Lehren und Vorteilen der vorliegenden Offenbarung einer Erfindung abzuweichen. Dementsprechend sollen alle diese Modifikationen im Umfang der vorliegenden Lehren eingeschlossen sein. In den Ansprüchen sind Means-plus-function-Ansprüche dazu beabsichtigt, die hier beschriebenen Strukturen als die zitierte Funktion ausführend abzudecken und nicht nur strukturelle Äquivalente, sondern auch funktionell äquivalente Strukturen.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- KR 2008-0130878 [0004]
- KR 2013-0065329 [0005]