DE102015114135A1 - Photovoltaic device and method for producing a photovoltaic device - Google Patents

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine photovoltaische Vorrichtung (1) und ein Verfahren zur Herstellung einer photovoltaischen Vorrichtung (1). Die photovoltaische Vorrichtung (1) weist ein Substrat (17) mit einer großen Hauptfläche (H) auf, auf der zumindest zwei entlang einer Grenze in Reihe verschaltete Solarzellen (3a, 3b, 3c) benachbart zueinander angeordnet sind, wobei die beiden Solarzellen (3a, 3b, 3c) jeweils eine Rückkontaktschicht (25a, 25b, 25c), eine transparente leitfähige Schicht (19a, 19b, 19c) und eine optisch aktive Schicht (15, 15a, 15b, 15c, 21, 21a, 21b, 21c, 23, 23a, 23b, 23c) aufweisen, wobei die Reihenverschaltung eine Kontaktierung (11b, 11c) der Rückkontaktschicht (25a, 25b) einer ersten Solarzelle (3a, 3b) der beiden Solarzellen (3a, 3b, 3c) mit der transparenten leitfähigen Schicht (19b, 19c), einer zweiten Solarzelle (3b, 3c) der beiden Solarzellen (3a, 3b, 3c) aufweist, wobei die Kontaktierung (11b, 11c) parallel zu der großen Hauptfläche (H) des Substrats (17) als zweidimensionales Raster einzelner Kontakte (11a, 11b, 11c) ausgebildet ist.The present invention relates to a photovoltaic device (1) and a method for producing a photovoltaic device (1). The photovoltaic device (1) has a substrate (17) with a large main area (H) on which at least two solar cells (3a, 3b, 3c) connected in series along a boundary are arranged adjacent to one another, the two solar cells (3a , 3b, 3c) each have a back contact layer (25a, 25b, 25c), a transparent conductive layer (19a, 19b, 19c) and an optically active layer (15, 15a, 15b, 15c, 21, 21a, 21b, 21c, 23rd , 23a, 23b, 23c), the series connection comprising a contacting (11b, 11c) of the back contact layer (25a, 25b) of a first solar cell (3a, 3b) of the two solar cells (3a, 3b, 3c) with the transparent conductive layer (FIG. 19b, 19c), a second solar cell (3b, 3c) of the two solar cells (3a, 3b, 3c), wherein the contacting (11b, 11c) parallel to the large major surface (H) of the substrate (17) as a two-dimensional grid of individual Contacts (11a, 11b, 11c) is formed.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine photovoltaische Vorrichtung nach dem Oberbegriff von Anspruch 1 und Verfahren zur Herstellung einer photovoltaischen Vorrichtung nach dem Oberbegriff von Anspruch 7.The present invention relates to a photovoltaic device according to the preamble of claim 1 and to a method of manufacturing a photovoltaic device according to the preamble of claim 7.

Solche photovoltaischen Vorrichtungen bestehen üblicherweise aus einer Vielzahl von Solarzellen jeweils mit zumindest einer optisch aktiven Schicht, die mit einander verschaltet sind. Dabei wird die Kontaktschicht auf der Lichteintrittsseite vorzugsweise als transparente leitende Schicht (TCO) ausgebildet, die allerdings dennoch eine vergleichsweise schlechte Leitfähigkeit besitzt, um eine möglichst hohe Lichttransmission zu ermöglichen. Häufig wird daher eine Reihenverschaltung gewählt, um widerstandsbedingte Leistungsverluste klein zu halten. Dadurch wird der Strom einseitig in die jeweilige Solarzelle eingebracht.Such photovoltaic devices usually consist of a plurality of solar cells each having at least one optically active layer, which are interconnected with each other. In this case, the contact layer on the light entry side is preferably formed as a transparent conductive layer (TCO), which, however, still has a comparatively poor conductivity in order to allow the highest possible light transmission. Frequently, therefore, a series connection is chosen to keep resistance-related power losses small. As a result, the current is introduced on one side into the respective solar cell.

Eine solche Reihenverschaltung kann durch eine Prozessführung mit drei unterschiedlichen Strukturierungschritten P1, P2, P3, beispielsweise in Form von LASER-Strukturierungslinien, erzielt werden. Im Rahmen eines sogenannten Superstrataufbaues der Solarzelle wird dabei beispielsweise in dem ersten Strukturierungsschritt (P1) die TCO-Schicht, die als Frontkontaktschicht wirkt, durchtrennt. In dem zweiten Strukturierungsschritt (P2) wird zwischen Frontkontakt- und Rückkontaktschicht eine Öffnung und anschließende Verbindung hergestellt und in dem dritten Strukturierungsschritt (P3) wird die Rückkontaktschicht durchtrennt, so dass die monolithisch ausgebildeten Schichten eine erste und eine zweite benachbart angeordnete Solarzelle innerhalb einer photovoltaischen Vorrichtung (Solarmodul) bilden, wobei der Frontkontakt der einen Solarzelle mit dem Rückkontakt der benachbarten Solarzelle verbunden sind, der Rückkontakt der einen jedoch elektrisch isoliert von dem Frontkontakt der anderen Solarzelle ausgebildet ist.Such a series connection can be achieved by a process control with three different structuring steps P1, P2, P3, for example in the form of LASER structuring lines. In the context of a so-called superstrate construction of the solar cell, the TCO layer, which acts as a front contact layer, is severed, for example, in the first structuring step (P1). In the second patterning step (P2), an opening and subsequent connection is made between the front contact and back contact layers, and in the third structuring step (P3), the back contact layer is severed such that the monolithically formed layers comprise first and second adjacent solar cells within a photovoltaic device Form (solar module), wherein the front contact of a solar cell to the back contact of the adjacent solar cell are connected, the back contact of the one, however, is formed electrically isolated from the front contact of the other solar cell.

Mit diesem Konzept sind allerdings Nachteile verbunden. Zum einen hat die unsymmetrische Stromeinbringung einen negativen Einfluss auf die Verlustleitung (P = R × l2). Zum anderen steht die Fläche zwischen den P1- und P3-Strukturierungslinien nicht der Ladungsträgergeneration zur Verfügung. Außerdem führt die Reihenverschaltung der Einzelzellen zu unerwünscht hohen Arbeitsspannungen, die durch komplexe parallele Schaltungen kompensiert werden müssen, wobei diese Verschaltungen aufgrund passiver Kontaktierungszellen weitere Wirkungsgradverluste bewirken.However, there are disadvantages with this concept. On the one hand, the asymmetrical current injection has a negative influence on the leakage line (P = R × l 2 ). On the other hand, the area between the P1 and P3 structuring lines is not available to the charge carrier generation. In addition, the series connection of the individual cells leads to undesirably high operating voltages, which must be compensated by complex parallel circuits, which interconnections cause further efficiency losses due to passive contacting cells.

Zur Verbesserung wurde in der WO 2014/152556 A1 für den Superstrataufbau vorgeschlagen, statt der drei Strukturierungsschritte P1, P2, P3 nur zwei Strukturierungsschritte vorzunehmen, wobei zur Isolierung benachbarter Solarzellen ein Isolierungsschritt vorgenommen wird, mit dem die Rückkontaktschicht, die optisch aktive Schicht und die TCO-Schicht durchtrennt werden. Außerdem wird ein Kontaktierungsschritt vorgenommen, bei dem die Rückkontaktschicht und die optisch aktive Schicht durchtrennt und die TCO-Schicht mit der Rückkontaktschicht einer benachbarten Solarzelle verbunden wird. Dabei werden diese Kontakte in die Mitte der jeweiligen Solarzelle gelegt. Dadurch kann die Totfläche vermindert werden, da nun keine Fläche zwischen P1 und P3 vorliegt. Außerdem werden die negativen Einflüsse einer asymmetrischen Stromeinbringung vermieden, da die Stromeinbringung nun symmetrisch erfolgt, wodurch sich der Serienwiderstand verringert, da der Strom nun nur noch den halben Weg durch jede Solarzelle zurücklegen muss.To improve was in the WO 2014/152556 A1 proposed for the Superstrataufbau, instead of the three structuring steps P1, P2, P3 make only two structuring steps, wherein an insulating step is carried out for the isolation of adjacent solar cells, with which the back contact layer, the optically active layer and the TCO layer are severed. In addition, a contacting step is carried out in which the back contact layer and the optically active layer are severed and the TCO layer is connected to the back contact layer of an adjacent solar cell. These contacts are placed in the middle of the respective solar cell. As a result, the dead area can be reduced because there is no area between P1 and P3. In addition, the negative effects of asymmetric current injection are avoided, since the current injection now takes place symmetrically, which reduces the series resistance, since the current now only has to travel halfway through each solar cell.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, den Wirkungsgrad photovoltaischer Einrichtungen weiter zu erhöhen. Insbesondere soll dazu die Totfläche verringert werden.The object of the present invention is to further increase the efficiency of photovoltaic devices. In particular, the dead area should be reduced.

Diese Aufgabe wird gelöst mit der erfindungsgemäßen photovoltaischen Vorrichtung nach Anspruch 1 und dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung einer photovoltaischen Vorrichtung nach Anspruch 7. Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den abhängigen Unteransprüchen und der Beschreibung angegeben.This object is achieved with the photovoltaic device according to the invention according to claim 1 and the inventive method for producing a photovoltaic device according to claim 7. Advantageous developments are specified in the dependent subclaims and the description.

Die Erfinder haben erkannt, dass sich die gestellte Aufgabe in überraschender Weise dadurch besonders einfach lösen lässt, wenn keine linienförmige Kontaktierung zwischen zwei benachbarten Solarzellen erfolgt, wie dies bisher, insbesondere auch bei der WO 2014/152556 A1 gelehrt wird, sondern eine flächige Kontaktierung vorgenommen wird, wobei ein zweidimensionales Raster einzelner Kontakte die flächige Kontaktierung bildet.The inventors have recognized that the stated object can be solved in a surprising manner particularly simple if there is no linear contact between two adjacent solar cells, as previously, especially in the WO 2014/152556 A1 is taught, but a two-dimensional contact is made, with a two-dimensional grid of individual contacts forms the surface contact.

Damit können zum einen die Abstände zwischen zwei benachbarten Solarzellen wesentlich vergrößert werden, so dass die durch die Solarzellentrennung bedingten Totflächen verringert werden können. Während bisher die Solarzellenbreite, also der Abstand zwischen zwei Isolierungen zwischen benachbarten Solarzellen 5 mm bis 15 mm betrug, kann er jetzt beispielsweise 30 mm betragen. Zum anderen werden die Serienwiderstände weiter verringert, da der Stromweg durch die jeweilige Zelle noch weiter herabgesetzt wird.Thus, on the one hand, the distances between two adjacent solar cells can be substantially increased so that the dead areas caused by the solar cell separation can be reduced. While previously the solar cell width, so the distance between two insulation between adjacent solar cells was 5 mm to 15 mm, it can now be for example 30 mm. On the other hand, the series resistances are further reduced because the current path through the respective cell is further reduced.

Die erfindungsgemäße photovoltaische Vorrichtung mit einem Substrat mit einer großen Hauptfläche, auf der zumindest zwei entlang einer Grenze in Reihe verschaltete Solarzellen benachbart zueinander angeordnet sind, wobei die beiden Solarzellen jeweils eine Rückkontaktschicht, eine transparente leitfähige Schicht und eine optisch aktive Schicht aufweisen, wobei die Reihenverschaltung eine Kontaktierung der Rückkontaktschicht einer ersten Solarzelle der beiden Solarzellen mit der transparenten leitfähigen Schicht einer zweiten Solarzelle der beiden Solarzellen aufweist, zeichnet sich also dadurch aus, dass die Kontaktierung parallel zu der großen Hauptfläche des Substrats als zweidimensionales Raster einzelner Kontakte ausgebildet ist.The photovoltaic device according to the invention with a substrate having a large main surface, on which at least two solar cells connected in series along a boundary are arranged adjacent to one another, wherein the two solar cells each have a back contact layer, a transparent one conductive layer and an optically active layer, wherein the series connection has a contacting of the back contact layer of a first solar cell of the two solar cells with the transparent conductive layer of a second solar cell of the two solar cells, thus characterized by the fact that the contact parallel to the large main surface of the Substrate is designed as a two-dimensional grid of individual contacts.

In einer vorteilhaften Weiterbildung ist das Raster regelmäßig ausgebildet, bevorzugt mit einem lateralen Abstand zwischen zwei benachbarten Kontakten von 1 bis 20 mm, vorzugsweise 3 bis 10 mm, insbesondere 4 bis 7 mm. Dadurch wird der Serienwiderstand deutlich verringert. Es sind zwar auch Raster von weniger als 1 mm möglich, jedoch wird hierzu ein Lithographieverfahren erforderlich, was vergleichsweise teuer ist, weshalb diese Ausgestaltung nicht bevorzugt wird.In an advantageous development, the grid is formed regularly, preferably with a lateral distance between two adjacent contacts of 1 to 20 mm, preferably 3 to 10 mm, in particular 4 to 7 mm. This significantly reduces the series resistance. Although rasters of less than 1 mm are possible, but this lithography process is required, which is relatively expensive, which is why this embodiment is not preferred.

In einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung sind die einzelnen Kontakte im Querschnitt punktförmig, bevorzugt mit einer Querschnittsbreite von höchstens 500 um, vorzugsweise höchstens 300 μm, insbesondere höchstens 200 μm ausgebildet. Dadurch können die Totflächen deutlich verringert werden. Bevorzugt sind vor allem Kontakt mit möglichst geringer Dimension im Bereich 1 μm bis 100 μm, vorzugsweise 50 μm bis 10 μm, insbesondere von 15 μm.In a further advantageous development, the individual contacts are punctiform in cross section, preferably with a cross-sectional width of at most 500 μm, preferably at most 300 μm, in particular at most 200 μm. As a result, the dead areas can be significantly reduced. Preference is given in particular to contact with the smallest possible dimension in the range 1 μm to 100 μm, preferably 50 μm to 10 μm, in particular 15 μm.

Die Form der Kontakte ist vorzugsweise quadratisch, kreisförmig, rechteckig oder elliptisch.The shape of the contacts is preferably square, circular, rectangular or elliptical.

In einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung beträgt die Breite der Solarzellen senkrecht zu der Grenze zwischen den Solarzellen mindestens 3 mm, bevorzugt mindestens 15 mm, insbesondere mindestens 39 mm. Dabei sind Breiten von bis zu 100 mm, bevorzugt von bis zu 600 mm, insbesondere von bis zu 1000 mm und darüber hinaus möglich.In a further advantageous development, the width of the solar cells perpendicular to the boundary between the solar cells is at least 3 mm, preferably at least 15 mm, in particular at least 39 mm. In this case, widths of up to 100 mm, preferably of up to 600 mm, in particular of up to 1000 mm and beyond are possible.

In einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung steht die Kontaktierung der Frontkontaktschicht der zweiten Solarzelle mit der Rückkontaktschicht der ersten Solarzelle in leitender Verbindung. Von der Rückkontaktschicht der zweiten Solarzelle, die über eine Isolierungsschicht isoliert ist, bildet die Frontkontaktschicht bevorzugt mit der transparenten leitfähigen Schicht vertikal verlaufende einzelne Kontakte aus. Dadurch kann die Kontaktierung besonders einfach und prozesssicher vorgenommen werden.In a further advantageous development, the contacting of the front contact layer of the second solar cell with the back contact layer of the first solar cell is in a conductive connection. From the back contact layer of the second solar cell, which is insulated via an insulation layer, the front contact layer preferably forms individual contacts extending vertically with the transparent conductive layer. As a result, the contacting can be made particularly simple and reliable.

In diesem Zusammenhang ist es vorteilhaft, wenn sich die Isolierungsschicht zwischen Frontkontaktschicht und optisch aktiver Schicht erstreckt, da dann Kurzschlüsse wirksam verhindert werden können. Dies ist vor allem für den Superstrataufbau vorteilhaft, beim Substrataufbau kann dagegen hierauf verzichtet werden.In this connection, it is advantageous if the insulation layer extends between the front contact layer and the optically active layer, since then short circuits can be effectively prevented. This is advantageous above all for the superstrate construction, but the substrate construction can be dispensed with.

Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung einer photovoltaische Vorrichtung mit einem Substrat mit einer großen Hauptfläche, auf der zumindest zwei entlang einer Grenze in Reihe verschalteten Solarzellen benachbart zueinander angeordnet sind, wobei die beiden Solarzellen jeweils eine Rückkontaktschicht, eine transparente leitfähige Schicht und eine optisch aktive Schicht aufweisen, wobei die Reihenverschaltung eine Kontaktierung der Rückkontaktschicht einer ersten Solarzelle der beiden Solarzellen mit der transparenten leitfähigen Schicht einer zweiten Solarzelle der beiden Solarzellen aufweist, zeichnet sich dadurch aus, dass die Kontaktierung parallel zu der großen Hauptfläche des Substrats als zweidimensionales Raster einzelner Kontakte ausgebildet wird.The method according to the invention for producing a photovoltaic device having a substrate with a large main area, on which at least two solar cells connected in series along a boundary are arranged adjacent to one another, the two solar cells each having a back contact layer, a transparent conductive layer and an optically active layer wherein the series connection has a contacting of the back contact layer of a first solar cell of the two solar cells with the transparent conductive layer of a second solar cell of the two solar cells, characterized in that the contact is formed parallel to the large main surface of the substrate as a two-dimensional grid of individual contacts.

In einer vorteilhaften Weiterbildung ist vorgesehen, dass die Rückkontaktschicht einheitlich für alle Solarzellen aufgebracht und anschließend im Bereich der herzustellenden einzelnen Kontakte entfernt wird, wobei die Entfernung bevorzugt mittels LASER-Bestrahlung erfolgt. Dadurch ist die Kontaktierung besonders einfach möglich.In an advantageous development, it is provided that the back contact layer is uniformly applied to all solar cells and then removed in the region of the individual contacts to be produced, the removal preferably taking place by means of LASER irradiation. As a result, the contact is particularly easy.

In einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung ist vorgesehen, dass eine Entfernung der Rückkontaktschicht und der optisch aktiven Schicht bis zur transparenten leitenden Schicht erfolgt, wobei keine senkrechte Strukturierung, sondern eine gegenüber der senkrechten geneigte Strukturierung vorgenommen wird. Dann kann die aufzubringende Isolierungsschicht zur Kontaktierung der transparenten leitenden Schicht mittels eines flächigen Belichtungsprozesses durch die transparente leitende Schicht sehr einfach und kostengünstig wieder geöffnet werden, ohne dass eine exakte Ausrichtung erforderlich wäre und ohne dass die Kantenisolierung verloren ginge. Die Neigung der gebildeten Strukturierungskante beträgt vorzugsweise entweder 0,1° bis 30°, bevorzugt 3° bis 20°, insbesondere 12° bis 19° gegenüber der Normalen der Hauptfläche, weil sich dann die Kantenisolierung leicht wieder schließen kann, indem beispielsweise ein verwendeter Lack Schwerkraft bedingt nachläuft, oder bei Winkeln von 70° bis 89°, bevorzugt 75° bis 85°, insbesondere 78° bis 82°, beim flächigen Belichten die Kantenisolation nicht beschädigt werden kann.In a further advantageous development it is provided that a removal of the back contact layer and the optically active layer takes place up to the transparent conductive layer, wherein no vertical structuring, but a relation to the vertical inclined structuring is made. Then, the insulating layer to be applied for contacting the transparent conductive layer by means of a planar exposure process through the transparent conductive layer can be reopened very simply and inexpensively, without exact alignment being required and without the edge insulation being lost. The inclination of the structuring edge formed is preferably either 0.1 ° to 30 °, preferably 3 ° to 20 °, in particular 12 ° to 19 ° relative to the normal of the main surface, because then the edge insulation can easily close again, for example, by using a lacquer Gravity conditionally trailing, or at angles of 70 ° to 89 °, preferably 75 ° to 85 °, in particular 78 ° to 82 °, the surface insulation can not be damaged during planar exposure.

In einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung ist vorgesehen, dass an der Grenze zwischen zwei Solarzellen eine Durchtrennung einer substratnahen leitenden Schicht und eine Durchtrennung einer substratfernen leitenden Schicht vorgenommen wird, wobei die Durchtrennung bevorzugt als P1- und P3- oder als P1-, P2- und P3-Strukturierungsschritte oder als einheitlich durchgehender Isolierungsschritt vorgenommen wird und insbesondere als LASER-Strukturierung erfolgt.In a further advantageous embodiment, it is provided that at the boundary between two solar cells, a transection of a conductive layer near the substrate and a separation of a substrate-distant conductive layer is made, the separation preferably as P1 and P3 or P1, P2 and P3 Structuring steps or as a uniform, continuous isolation step is made and in particular as LASER structuring.

In einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung ist vorgesehen, dass die erfindungsgemäße photovoltaische Vorrichtung hergestellt wird.In a further advantageous embodiment it is provided that the photovoltaic device according to the invention is produced.

In einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung ist vorgesehen, dass auf dem Substrat die transparente leitende Schicht, darüber die optisch aktive Schicht, darüber die Rückkontaktschicht, darüber eine Isolierungsschicht und darüber eine Frontkontaktschicht angeordnet werden, wobei die Grenze zwischen zwei benachbarten Solarzellen durch eine Durchtrennung der transparenten leitenden Schicht und der Rückkontaktschicht gebildet wird, wobei nach Aufbringung der Rückkontaktschicht mit einem Strukturierungsschritt die Rückkontaktschicht und die optisch aktive Schicht jeweils lokal zur Bildung jeweils eines Kontaktes entfernt werden, nach Aufbringung der Isolierungsschicht diese lokal an den Stellen der jeweiligen Kontakte wieder entfernt wird und zwischen den Kontakten und der Grenze zwischen zwei Solarzellen die Isolierungsschicht durch Bildung eines dritten Strukturierungsgrabens entfernt wird, nach Aufbringung der Frontkontaktschicht diese in einem Strukturierungsschritt entlang der Grenze so strukturiert wird, dass die Frontkontaktschicht in Richtung zur Grenze eine direkte leitende Verbindung mit der Rückkontaktschicht aufweist und in Richtung zu den Kontakten keine direkte leitende Verbindung zu der Rückkontaktschicht besteht, wobei bevorzugt vorgesehen ist, dass vor Aufbringung der Rückkontaktschicht die optisch aktive Schicht und die transparente leitende Schicht in einem Strukturierungsschritt entlang der Grenze zwischen zwei Solarzellen entfernt werden und der gebildete erste Strukturierungsgraben mit einem Isolationsmaterial verfüllt wird und nach Aufbringung der Rückkontaktschicht die Rückkontaktschicht in einem Strukturierungsschritt entlang der Grenze zwischen zwei Solarzellen entfernt wird und der gebildete zweite Strukturierungsgraben mit dem Material der Isolierungsschicht verfüllt wird. Auch hier könnten alternativ allerdings auch eine P1-, P2-, P3-Strukturierung oder einer Strukturierung mit einheitlich durchgehendem Isolierungsschritt vorgenommen werden. Dadurch kann die Erfindung im Superstrataufbau verwirklicht werden.In a further advantageous development it is provided that the transparent conductive layer, above the optically active layer, above the back contact layer, above an insulating layer and above a front contact layer are arranged on the substrate, wherein the boundary between two adjacent solar cells by a transection of the transparent conductive Layer and the back contact layer is formed, wherein after application of the back contact layer with a patterning step, the back contact layer and the optically active layer are each locally removed to form a respective contact, after application of the insulation layer these locally at the locations of the respective contacts is removed again and between the Contacts and the boundary between two solar cells, the insulating layer is removed by forming a third structuring trench, after application of the front contact layer in a structuring step along de The boundary is so structured that the front contact layer has a direct conductive connection with the back contact layer towards the boundary and there is no direct conductive connection to the back contact layer in the direction of the contacts, wherein it is preferably provided that the optically active layer is applied before the back contact layer is applied and the transparent conductive layer are removed in a patterning step along the boundary between two solar cells and the formed first structuring trench is filled with an insulating material and after the back contact layer has been applied, the back contact layer is removed in a structuring step along the boundary between two solar cells and the second structuring trench formed with the material of the insulation layer is filled. However, here as well, a P1, P2, P3 structuring or a structuring with a uniformly continuous isolation step could alternatively be carried out. As a result, the invention can be realized in superstrate construction.

In einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung ist vorgesehen, dass auf dem Substrat eine Frontkontaktschicht, darüber eine Isolierungsschicht, darüber die Rückkontaktschicht und darüber die optisch aktive Schicht angeordnet werden, wobei die Grenze zwischen zwei benachbarten Solarzellen durch eine Durchtrennung der Frontkontaktschicht und der transparenten leitenden Schicht gebildet wird, wobei nach Aufbringung der Frontkontaktschicht diese entlang der Grenze zwischen zwei Solarzellen entfernt wird, um einen erste Strukturierungsgraben zu bilden, der mit Material der Isolierungsschicht verfüllt wird, nach Aufbringung der Isolierungsschicht diese entlang der Grenze zwischen zwei Solarzellen entfernt wird, um einen zweiten Strukturierungsgraben zu bilden, wobei der zweite Strukturierungsgraben benachbart zum ersten Strukturierungsgraben angeordnet und mit Material der Rückkontaktschicht verfüllt wird, nach Aufbringung der Rückkontaktschicht mit einem Strukturierungsschritt die Rückkontaktschicht jeweils lokal zur Bildung jeweils eines Kontaktes entfernt wird, vor Aufbringung der transparenten leitfähigen Schicht die optisch aktive Schicht und die Isolierungsschicht lokal an den Stellen der jeweiligen Kontakte wieder entfernt werden, nach Aufbringung der transparenten leitfähigen Schicht diese in einem Strukturierungsschritt zwischen zwei Solarzellen entfernt wird, um einen dritten Strukturierungsgraben zu bilden, der bevorzugt mit einem Isolationsmaterial verfüllt wird. Auch hier könnten alternativ allerdings auch eine P1-, P2-, P3-Strukturierung oder einer Strukturierung mit einheitlich durchgehendem Isolierungsschritt vorgenommen werden. Dadurch kann die Erfindung im Substrataufbau verwirklicht werden.In a further advantageous development it is provided that a front contact layer, above an insulating layer, above the back contact layer and above the optically active layer are arranged on the substrate, wherein the boundary between two adjacent solar cells is formed by a transection of the front contact layer and the transparent conductive layer wherein, after application of the front contact layer, this is removed along the boundary between two solar cells to form a first pattern trench which is filled with material of the insulating layer, after the insulation layer is removed along the boundary between two solar cells, to form a second pattern trench forming the second pattern trench adjacent to the first pattern trench and filling with material of the back contact layer, after applying the back contact layer with a patterning step, the R ckkontaktschicht is locally removed to form each contact, before application of the transparent conductive layer, the optically active layer and the insulating layer are removed locally at the locations of the respective contacts, after application of the transparent conductive layer, this is removed in a structuring step between two solar cells to form a third structuring trench, which is preferably filled with an insulating material. However, here as well, a P1, P2, P3 structuring or a structuring with a uniformly continuous isolation step could alternatively be carried out. As a result, the invention can be realized in the substrate structure.

Die Kennzeichen und weitere Vorteile der Erfindung werden im Rahmen der folgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels im Zusammenhang mit den Figuren deutlich werden. Dabei zeigen rein schematisch:The characteristics and further advantages of the invention will become apparent in the context of the following description of a preferred embodiment in conjunction with the figures. Here are purely schematic:

1a und 1b die erfindungsgemäße photovoltaische Vorrichtung nach einer ersten bevorzugten Ausgestaltung in einer Draufsicht von oben und in einer Ausschnittsdarstellung hierzu, 1a and 1b the photovoltaic device according to the invention according to a first preferred embodiment in a plan view from above and in a sectional view of this,

2 die erfindungsgemäße photovoltaische Vorrichtung nach 1 in einer teilweisen Schnittansicht, 2 the photovoltaic device according to the invention 1 in a partial sectional view,

3a bis 3e die Abfolge der Schritte zur Herstellung der erfindungsgemäßen photovoltaische Vorrichtung nach 1, 3a to 3e the sequence of steps for the preparation of the photovoltaic device according to the invention according to 1 .

4 den Schritt nach 3d in einer alternativen Ausführung, 4 the step after 3d in an alternative embodiment,

5a und 5b teilweise Schnittansichten zu alternativen Isolierungen zwischen einzelnen Solarzellen, 5a and 5b partial sectional views of alternative insulation between individual solar cells,

6a bis 6d eine alternative Abfolge von Schritten zur Herstellung der erfindungsgemäßen photovoltaischen Vorrichtung nach einer zweiten bevorzugten Ausgestaltung, 6a to 6d an alternative sequence of steps for the production of the photovoltaic device according to the invention according to a second preferred embodiment,

7 die erfindungsgemäße photovoltaische Vorrichtung nach einer dritten bevorzugten Ausgestaltung in einer teilweisen Schnittansicht und 7 the photovoltaic device according to the invention according to a third preferred embodiment in a partial sectional view and

8 die erfindungsgemäße photovoltaische Vorrichtung nach einer dritten bevorzugten Ausgestaltung in einer teilweisen Schnittansicht. 8th the photovoltaic device according to the invention according to a third preferred embodiment in a partial sectional view.

In 1a und 1b ist die erfindungsgemäße photovoltaische Vorrichtung 1 gemäß einer ersten bevorzugten Ausgestaltung von oben rein schematisch gezeigt. 2 zeigt eine teilweise Schnittansicht entsprechend 1b.In 1a and 1b is the photovoltaic device according to the invention 1 according to a first preferred embodiment of the above shown purely schematically. 2 shows a partial sectional view corresponding 1b ,

Es ist zu erkennen, dass die Vorrichtung 1 zahlreiche Solarzellen 3 im Superstrataufbau, also zur Sonnenlichteinleitung durch das Substrat, umfasst, die Streifenförmig nebeneinander angeordnet sind, wobei diese in Reihe miteinander verschaltet sind. Genauer gesagt handelt es sich um 30 Solarzellen 3, die jeweils eine Länge l von 585 mm und eine Breite b von 39,5 mm aufweisen. Mittels der Anschlussdose 5, die mit der ersten Solarzelle 3' und der letzten Solarzelle 3'' verbunden ist, kann der erzeugte Strom abgegriffen werden, wobei eine Stromstärke von 6,2 A bei einer Spannung von 25 V erreicht wird. Es ist zu erkennen, dass im Vergleich zu bisherigen Lösungen keine komplexe Parallelverschaltung erforderlich ist.It can be seen that the device 1 numerous solar cells 3 in Superstrataufbau, so for the introduction of sunlight through the substrate, comprises, which are arranged strip-shaped side by side, wherein these are connected in series with each other. More precisely, it is 30 solar cells 3 , each having a length l of 585 mm and a width b of 39.5 mm. By means of the junction box 5 that with the first solar cell 3 ' and the last solar cell 3 '' is connected, the generated current can be tapped, with a current of 6.2 A at a voltage of 25 V is reached. It can be seen that in comparison to previous solutions no complex parallel connection is required.

In 1b ist für drei frei ausgewählte Solarzellen 3a, 3b, 3c, die direkt nebeneinander unter Zwischenschaltung jeweiliger Isolierungen 7a, 7b angeordnet sind, die Kontaktierung der Solarzellen 3a, 3b, 3c untereinander rein schematisch dargestellt. Es ist zu erkennen, dass jede Solarzelle 3a, 3b, 3c ein zweidimensionales Raster regelmäßig über die Hauptfläche H der jeweiligen Solarzelle 3a, 3b, 3c verteilt angeordnete erste, mit „+” dargestellte Kontakte 11a, 11b, 11c aufweist und einen zweiten Kontakt 13a, 13b, 13c, der hier nur zum besseren Verständnis als eine Vielzahl von „–” dargestellt ist, tatsächlich jedoch als Kontaktierungslinie ausgebildet ist. Dabei sind die ersten Kontakte 11a, 11b, 11c einer weiter links angeordneten Solarzelle 3a, 3b, 3c jeweils mit den zweiten Kontakten 13a, 13b, 13c einer jeweils dazu rechts benachbart angeordneten Solarzelle 3a, 3b, 3c über die jeweilige Isolierung 7a, 7b hinweg elektrisch leitend verbunden, während die ersten Kontakte 11a, 11b, 11c von den zweiten Kontakten 13a, 13b, 13c derselben Solarzelle 3a, 3b, 3c isoliert sind, so dass der Stromfluss durch die Solarzelle 3a, 3b, 3c über die optisch aktive Schicht 15a, 15b, 15c erfolgen muss.In 1b is for three freely selected solar cells 3a . 3b . 3c , which are directly next to each other with the interposition of respective insulation 7a . 7b are arranged, the contacting of the solar cells 3a . 3b . 3c shown purely schematically among each other. It can be seen that every solar cell 3a . 3b . 3c a two-dimensional grid regularly over the main surface H of each solar cell 3a . 3b . 3c distributed arranged first, with "+" shown contacts 11a . 11b . 11c and a second contact 13a . 13b . 13c , which is shown here for convenience only as a plurality of "-", but is actually formed as a contact line. Here are the first contacts 11a . 11b . 11c a further left solar cell 3a . 3b . 3c each with the second contacts 13a . 13b . 13c a respective right next to the arranged solar cell 3a . 3b . 3c about the respective insulation 7a . 7b electrically connected, while the first contacts 11a . 11b . 11c from the second contacts 13a . 13b . 13c the same solar cell 3a . 3b . 3c are isolated, so that the current flow through the solar cell 3a . 3b . 3c over the optically active layer 15a . 15b . 15c must be done.

Der weitere Schichtaufbau der Solarzellen 3a, 3b, 3c ist entsprechend 2 der Folgende, wobei der Einfachheit halber nicht alle ersten Kontakte 11a, 11b, 11c gezeigt sind: auf einem transparenten Substrat 17a, 17b, 17c, beispielsweise einem Glassubstrat, ist eine transparente leitfähige Schicht (TCO) 19a, 19b, 19c, beispielsweise Zinnoxid, auf der eine Kadmiumsulfid-Schicht 21a, 21b, 21c und darauf eine Kadmiumtellurid-Schicht 23a, 23b, 23c angeordnet sind, darauf befinden sich eine Rückkontaktschicht 25a, 25b, 25c, eine Isolierungsschicht 27a, 27b, 27c und eine Frontkontaktschicht 29a, 29b, 29c.The further layer structure of the solar cells 3a . 3b . 3c is appropriate 2 the following, for the sake of simplicity, not all first contacts 11a . 11b . 11c are shown: on a transparent substrate 17a . 17b . 17c For example, a glass substrate, a transparent conductive layer (TCO) 19a . 19b . 19c For example, tin oxide on which a cadmium sulfide layer 21a . 21b . 21c and then a cadmium telluride layer 23a . 23b . 23c are arranged on it there is a back contact layer 25a . 25b . 25c , an insulation layer 27a . 27b . 27c and a front contact layer 29a . 29b . 29c ,

Die Kadmiumsulfid-Schicht 21a, 21b, 21c und die Kadmiumtellurid-Schicht 23a, 23b, 23c bilden die optisch aktive Schicht 15a, 15b, 15c, die allerdings auch aus nur einer Schicht oder auch aus mehr als zwei Schichten bestehen kann. Weiterhin können in dem gezeigten Schichtaufbau auch ein oder mehrere Bufferschichten, beispielsweise zur Passivierung von Defekten, vorgesehen werden. Beispielsweise könnte die transparente leitfähige Schicht 19a, 19b, 19c aus mehreren Lagen bestehen, insbesondere aus zwei Unterschichten, der eigentlichen transparenten leitfähigen Schicht und einer Bufferschicht. Außerdem könnte auch der Rückkontakt 25a, 25b, 25c aus mehreren Lagen aufgebaut sein, insbesondere aus zwei Unterschichten, dem eigentlichen Rückkontakt und einer Bufferschicht.The cadmium sulfide layer 21a . 21b . 21c and the cadmium telluride layer 23a . 23b . 23c form the optically active layer 15a . 15b . 15c , which can consist however of only one layer or also of more than two layers. Furthermore, one or more buffer layers, for example for the passivation of defects, can also be provided in the layer structure shown. For example, the transparent conductive layer 19a . 19b . 19c consist of several layers, in particular of two sub-layers, the actual transparent conductive layer and a buffer layer. In addition, the back contact could also 25a . 25b . 25c be constructed of several layers, in particular of two sub-layers, the actual back contact and a buffer layer.

Die einzelnen Schichten der Solarzellen liegen jeweils als einheitlich monolithisch abgeschiedenen Schichten 19, 21, 23, 25, 27, 29 vor, die teilweise von den Kontaktierungs-Strukturierungen 31 sowie den P1- 33 und den P3-Strukturierungen 35 unterbrochen sind. Die jeweilig benachbart angeordneten P1- 33 und P3-Strukturierungen 35 bilden dabei die Isolierungen 7a, 7b zwischen den Solarzellen 3a, 3b, 3c und die Kontaktierungs-Strukturierungen 31 bilden die rasterförmig angeordneten ersten Kontakte 11a, 11b, 11c. Die zweiten Kontakte 13a, 13b bestehen jeweils als elektrisch leitende Verbindungen zwischen den Rückkontaktschichten 25a, 25b der jeweils links angeordneten Solarzelle 3a, 3b mit den Frontkontaktschichten 29b, 29c der jeweiligen rechts davon angeordneten Solarzellen 3b, 3c.The individual layers of the solar cells each lie as uniformly monolithically deposited layers 19 . 21 . 23 . 25 . 27 . 29 in part, from the contacting structuring 31 as well as the P1- 33 and the P3 structuring 35 are interrupted. The respective adjacent P1- 33 and P3 structuring 35 form the insulation 7a . 7b between the solar cells 3a . 3b . 3c and the contacting structuring 31 form the grid-shaped arranged first contacts 11a . 11b . 11c , The second contacts 13a . 13b each consist of electrically conductive connections between the back contact layers 25a . 25b the leftmost solar cell 3a . 3b with the front contact layers 29b . 29c the respective solar cells arranged to the right thereof 3b . 3c ,

In den 3a bis 3a ist die Abfolge der Schritte zur Herstellung der erfindungsgemäßen photovoltaische Vorrichtung 1 gezeigt, wobei der Einfachheit halber nur der Bereich einer ersten Kontaktierung 11 mit einer benachbart angeordneten zweiten Kontaktierung gezeigt 13 wird.In the 3a to 3a is the sequence of steps for the production of the photovoltaic device according to the invention 1 shown, for the sake of simplicity, only the region of a first contact 11 shown with a second contact arranged adjacent 13 becomes.

Es ist zu erkennen, dass die einzelnen Schichten 19, 21, 23 nacheinander auf dem Glassubstrat monolithisch abgeschieden werden. Anschließend wird durch LASER-Bestrahlung ein erster Strukturierungsgraben 31 erzeugt, der sich linienförmig parallel zur Länge l erstreckt, und mit einem geeigneten elektrischen Isolierungsmaterial 33, beispielsweise ein geeigneter Lack, verfüllt wird, wodurch die P1-Strukturierung erzeugt wird. Der Strukturierungsgraben 31 ist dabei bewusst etwas in das Glassubstrat 17 hineingeführt, um eine optimale Isolierung zu erzielen.It can be seen that the individual layers 19 . 21 . 23 successively deposited monolithically on the glass substrate. Subsequently, a first patterning trench is formed by LASER irradiation 31 generated, which extends in a line parallel to the length l, and with a suitable electrical insulation material 33 , For example, a suitable paint, is filled, whereby the P1 structuring is generated. The structuring trench 31 is aware of something in the glass substrate 17 inserted in order to achieve optimum insulation.

Nach Aufbringung der Rückkontaktschicht 25 wird mittels LASER-Bestrahlung ein zweiter Strukturierungsgraben 35 erzeugt, der sich linienförmig parallel zur Länge I erstreckt, und zwar für eine ebenfalls optimale elektrische Isolierung etwas in die Kadmiumtellurid-Schicht 23 hinein.After application of the back contact layer 25 becomes a second one by means of LASER irradiation structuring ditch 35 which extends in a line parallel to the length I, for some optimal electrical insulation something in the cadmium telluride layer 23 into it.

In 3b ist zu erkennen, dass mittels LASER-Bestrahlung lokale Strukturierungen in Form quadratischer lochartiger Vertiefungen 37 erzeugt wurden, die sich als ein zweidimensionales Raster parallel und senkrecht zur Länge l erstrecken, wobei der Abstand der Vertiefungen ca. 5 mm und die Breite der Vertiefungen 37 beim Übergang zur TCO-Schicht 19 ca. 50 μm betragen. Diese Vertiefungen 37 (der Übersichtlichkeit halber ist in 3b bis 3e nur eine Vertiefung 37 gezeigt) durchdringen im Gegensatz zum zweiten Strukturierungsgraben 35 allerdings nicht die TCO-Schicht 19. Außerdem verlaufen die Kanten 39a, 39b der Vertiefungen 37 nicht parallel zur Oberflächennormalen der großen Hauptfläche H, sondern mit einer Neigung α von 0,1° bis 30°, bevorzugt 3° bis 20°, insbesondere 12° bis 19° oder 70° bis 89°, bevorzugt 75° bis 85°, insbesondere 78° bis 82°.In 3b It can be seen that by LASER irradiation local structures in the form of square hole-like depressions 37 5 mm wide and perpendicular to the length l, the spacing of the depressions being approximately 5 mm and the width of the depressions 37 at the transition to the TCO layer 19 be about 50 microns. These depressions 37 (for the sake of clarity, is in 3b to 3e only one depression 37 shown) penetrate in contrast to the second structuring trench 35 but not the TCO layer 19 , In addition, the edges run 39a . 39b the wells 37 not parallel to the surface normal of the large main surface H but with an inclination α of 0.1 ° to 30 °, preferably 3 ° to 20 °, in particular 12 ° to 19 ° or 70 ° to 89 °, preferably 75 ° to 85 °, in particular 78 ° to 82 °.

Entsprechend 3c wird eine elektrische Isolierungsschicht 27 in Form eines Dielektrikums aufgebracht, die den zweiten Strukturierungsgraben 35 verfüllt und dadurch die P3-Strukturierung gebildet. Und es wird die Oberfläche des Grundes 47 der Vertiefungen 37 bedeckt.Corresponding 3c becomes an electrical insulation layer 27 applied in the form of a dielectric, which forms the second structuring trench 35 filled and thereby formed the P3 structuring. And it becomes the surface of the ground 47 the wells 37 covered.

Wie in 3d zu erkennen ist, wird die aufgebrachte Isolierungsschicht 27 von beiden Seiten belichtet 41, 43, nämlich einmal mittels einer Maske (nicht gezeigt) von oben, um die Isolierungsschicht 27 zwischen der P1-, P3-Strukturierung und den links davon direkt benachbart angeordneten Vertiefungen 37 linienförmig parallel zur Länge l im Rahmen eines dritten Strukturierungsgrabens 45 entfernt. Außerdem wird durch Belichtung von unten 43 die Isolierungsschicht am Grund 47 der Vertiefungen 37 lokal entfernt. Durch die Neigung α der Kanten 39a, 39b der Vertiefungen 37 erfolgt die Belichtung nur am Grund 47, so dass die Kanten 39a, 39b der Vertiefungen 37 weiterhin von der Isolierungsschicht 27 bedeckt bleiben. Gegebenenfalls kann für die Isolierungsschicht 27 ein Lack verwendet werden, der etwas nachläuft, so dass auch die an den Grund 47 angrenzenden Bereiche der Kanten 39a, 39b der Vertiefungen 37 sicher mit der Isolierungsschicht 27 bedeckt bleiben. Durch die Neigung α ist daher keine exakt ausgerichtete Belichtung mittels einer angepassten Maske erforderlich, sondern es reicht eine großflächige Belichtung 43 von unten, was die Herstellung wesentlich vereinfacht und verbilligt. Nach entsprechender Entwicklung liegt dann eine ausgehärtete Isolierungsschicht 27 vor.As in 3d can be seen, the applied insulation layer 27 exposed from both sides 41 . 43 once by means of a mask (not shown) from above, around the insulation layer 27 between the P1, P3 structuring and the wells located directly to the left thereof 37 parallel to the length l in the context of a third structuring trench 45 away. In addition, by exposure from below 43 the insulation layer at the bottom 47 the wells 37 locally removed. By the inclination α of the edges 39a . 39b the wells 37 the exposure takes place only at the bottom 47 so the edges 39a . 39b the wells 37 continue from the insulation layer 27 stay covered. Optionally, for the insulation layer 27 a varnish can be used, which runs after something, so that also to the reason 47 adjacent areas of the edges 39a . 39b the wells 37 safe with the insulation layer 27 stay covered. Due to the inclination α, therefore, no exactly aligned exposure by means of a matched mask is required, but a large-area exposure is sufficient 43 from the bottom, which makes the production much easier and cheaper. After appropriate development is then a cured insulation layer 27 in front.

Abschließend wird entsprechend 3e die Frontkontaktschicht 29 aufgebracht, wobei eine Maske (nicht gezeigt) verwendet wird, um in dem Bereich 49 keine Kontaktierung der Rückkontaktschicht 25 herzustellen. Zugleich bildet sich die zweite Kontaktierung 13 aus, die die Rückkontaktschicht 25a der linken Solarzelle 3n mit der Frontkontaktschicht 29b der rechten benachbart angeordneten Solarzelle 3n + 1 elektrisch leitend verbindet. Am Grund 47 der Vertiefungen 37 kontaktiert die Frontkontaktschicht 29a die TCO-Schicht 19a der linken Solarzelle 3n in Form eines ersten Kontaktes 11.In conclusion, it will be accordingly 3e the front contact layer 29 applied using a mask (not shown) to be in the area 49 no contacting of the back contact layer 25 manufacture. At the same time, the second contact forms 13 out, which is the back contact layer 25a the left solar cell 3n with the front contact layer 29b the right next arranged solar cell 3n + 1 electrically conductive connects. At the bottom 47 the wells 37 contacts the front contact layer 29a the TCO layer 19a the left solar cell 3n in the form of a first contact 11 ,

Als Substrate 17 kommen beispielsweise Floatglas, Kalknatronglas, Polymere und andere geeignete Materialien in Betracht. Als transparente leitfähige Schicht 19 eigenen sich Zinnoxid, Zinkoxid, Kadmiumstannat, deren dotierte Varianten, Kombinationen dieser Materialen und andere geeignete Materialien. Als optisch aktive Schicht 15 kommen ein oder mehrere n-typ und/oder ein oder mehrere p-typ Halbleiter in Betracht, die einen p-n-Übergang (oder alternativ einen p-i-n-Übergang) ausbilden. Im vorliegenden Fall wird n-typ Kadmiumsulfid 21 und p-typ Kadmiumtellurid 23 bevorzugt. Die Rückkontaktschicht 25 kann genauso wie die Frontkontaktschicht 29 eines der Materialien Aluminium, Chrom, Gold, Kupfer, Molybdän, Nickel, Palladium, Silber, Titan, Wolfram oder Kombinationen davon oder andere geeignete Materialien aufweisen. Die vorgenannten Schichten 15, 19, 21, 23, 25, 29 werden vorzugsweise durch ein Sputterverfahren abgeschieden, aber auch andere geeignete Verfahren sind möglich. Als Isolierungsschicht 27 kommen aushärtbare Lacke und andere geeignete Materialien in Frage, die beispielsweise mit einem Tintenstrahldruckverfahren, aber auch mittels Sputtern oder einem Rollercoater aufgebracht werden können.As substrates 17 For example, float glass, soda lime glass, polymers and other suitable materials may be considered. As a transparent conductive layer 19 are tin oxide, zinc oxide, cadmium stannate, their doped variants, combinations of these materials and other suitable materials. As an optically active layer 15 For example, one or more n-type and / or one or more p-type semiconductors forming a pn junction (or alternatively a pin junction) are contemplated. In the present case, n-type cadmium sulfide 21 and p-type cadmium telluride 23 prefers. The back contact layer 25 can be just like the front contact layer 29 one of the materials comprises aluminum, chromium, gold, copper, molybdenum, nickel, palladium, silver, titanium, tungsten or combinations thereof or other suitable materials. The aforementioned layers 15 . 19 . 21 . 23 . 25 . 29 are preferably deposited by a sputtering process, but other suitable methods are possible. As insulation layer 27 hardenable paints and other suitable materials in question, which can be applied for example by an ink jet printing process, but also by sputtering or a roller coater can be applied.

Dadurch besteht zum einen eine Reihenverschaltung der Solarzellen 3n, 3n + 1 über die mittels der P1-, P3-Strukturierungen ausgebildeten Isolierung 7 hinweg. Zum anderen wird der Strom durch die Vorrichtung 1 über das zweidimensionale Raster an ersten Kontakte 11 geleitet, so dass nur sehr geringe Widerstandsbedingte Verluste auftreten und zugleich die Totflächen minimiert sind.As a result, there is a series connection of the solar cells 3n . 3n + 1 via the insulation formed by means of the P1, P3 structures 7 time. On the other hand, the current through the device 1 over the two-dimensional grid of first contacts 11 conducted, so that only very small resistance losses occur and at the same time the dead areas are minimized.

Genauer gesagt weisen die Solarzellen 3 eine Breite b von 39,5 mm gegenüber einer bei konventionellen Vorrichtungen verwendeten Breite von 5 mm auf. Auch die Vorrichtung der WO 2014/152556 A1 weist eine Breite von 5 mm auf. Damit auf der Gesamtbreite der Vorrichtung 1 von 1185 mm 30 Solarzellen 3 vor, während bei herkömmlichen Vorrichtungen jeweils 237 Solarzellen vorliegen. Daraus folgt, dass bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 nur 29 Isolierungen 7 bestehen, bei herkömmlichen Vorrichtungen dagegen 236 Isolierungen. Die Breite der P1-, P2- und P3-Strukturierungen beträgt üblicherweise jeweils ca. 50 μm, wobei die jeweiligen Strukturierungsgräben jeweils ca. 25 μm beabstandet werden müssen. Auch die Isolierungsstrukturierung der WO 2014/152556 A1 weist eine solche Breite auf. Damit ist die Totfläche für eine Isolierung mit Isolierungsstrukturierung 50 μm breit, bei einer P1-, P3-Strukturierung ca. 50 μm + 25 μm + 50 μm = 125 μm breit und bei einer P1-, P2-, P3-Strukturierung ca. 50 μm + 25 μm + 50 μm + 25 μm + 50 μm = 200 μm breit. Die gesamte Totflächenbreite beträgt somit bei einer herkömmlichen Vorrichtung mit P1-, P2-, P3-Strukturierung ca. 200 μm × 236 = 47.200 μm, bei einer herkömmlichen Vorrichtung mit Isolierungsstrukturierung ca. 50 μm × 236 = 11.800 μm und bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 mit P1-, P2-, P3-Strukturierung ca. 200 μm × 29 = 5.800 μm, mit P1-, P3-Strukturierung ca. 125 μm × 29 = 3.625 μm und bei einer Isolierungsstrukturierung ca. 50 μm × 29 = 1.450 μm. Die Totfläche kann somit durch die erfindungsgemäße Ausbildung um zumindest ca. 50% und bis zu ca. 87% gesenkt werden. Damit ist ein Wirkungsgradgewinn von zumindest ca. 0,1% abs, maximal ca. 0,8% abs gegenüber Vorrichtungen mit P1-, P2-, P3-Strukturierung verbunden. Der Wirkungsgradgewinn gegenüber Vorrichtungen mit Isolierungsstrukturierung beträgt zumindest ca. 0,1% abs und im Maximum ca. 1,4% abs.More specifically, the solar cells 3 a width b of 39.5 mm compared to a width of 5 mm used in conventional devices. Also the device of WO 2014/152556 A1 has a width of 5 mm. So on the overall width of the device 1 of 1185 mm 30 solar cells 3 while conventional devices each have 237 solar cells. It follows that in the device according to the invention 1 only 29 insulations 7 In contrast, conventional devices have 236 isolations. The width of the P1, P2 and P3 structuring is usually about 50 μm in each case, the respective structuring trenches each being approx. 25 microns must be spaced. Also the isolation structuring of WO 2014/152556 A1 has such a width. Thus, the dead area for insulation with insulation structuring is 50 μm wide, in a P1, P3 structuring about 50 μm + 25 μm + 50 μm = 125 μm wide and in a P1, P2, P3 structuring about 50 μm + 25 μm + 50 μm + 25 μm + 50 μm = 200 μm wide. The total dead area width is thus approximately 200 .mu.m.times.236 = 47,200 .mu.m in a conventional device with P1, P2, P3 structuring, and approximately 50 .mu.m.times.236 = 11,800 .mu.m in the case of a conventional device with insulation structuring and in the device according to the invention 1 with P1, P2, P3 structuring about 200 μm × 29 = 5,800 μm, with P1, P3 structuring about 125 μm × 29 = 3,625 μm and with an insulation structuring about 50 μm × 29 = 1,450 μm. The dead area can thus be reduced by the inventive design by at least about 50% and up to about 87%. This is an efficiency gain of at least about 0.1% abs, a maximum of about 0.8% abs compared to devices with P1, P2, P3 structuring connected. The gain in efficiency over devices with insulation structuring is at least about 0.1% abs and at the maximum about 1.4% abs.

Weiterhin liegen die ersten Kontakte 11 als quadratische Punkte von ca. 50 μm bis 150 μm Seitenlänge vor, wobei der Abstand der Kontakte untereinander und zu den Isolierungen 7 jeweils ca. 5 mm beträgt. Damit ist gegenüber herkömmlichen Vorrichtungen mit P1-, P2-, P3-Strukturierung ein Wirkungsgradgewinn von zumindest ca. 0,2% abs, maximal ca. 1,0% abs gegenüber Vorrichtungen mit P1-, P2-, P3-Strukturierung verbunden.Continue to lie the first contacts 11 as square points of about 50 .mu.m to 150 .mu.m in side length, wherein the distance of the contacts with each other and to the insulation 7 each about 5 mm. This is compared to conventional devices with P1, P2, P3 structuring an efficiency gain of at least about 0.2% abs, a maximum of about 1.0% abs compared to devices with P1, P2, P3 structuring connected.

Insgesamt kann damit gegenüber herkömmlichen Vorrichtungen mit P1-, P2-, P3-Strukturierung der Wirkungsgrad um bis zu 2,0% abs erhöht werden, d. h. um zwei bis sechs Leistungsklassen 2,5 W. Aber auch gegenüber der herkömmlichen Lösung mit Isolierungsstrukturierung kann der Wirkungsgrad um bis zu 1,0% abs erhöht werden, d. h. um drei Leistungsklassen 2,5 W.Overall, the efficiency can be increased by up to 2.0% abs compared to conventional devices with P1, P2, P3 structuring, ie. H. by two to six power classes 2.5 W. But also compared to the conventional solution with insulation structuring, the efficiency can be increased by up to 1.0% abs, d. H. by three power classes 2.5 W.

In 4 ist eine Alternative zum Herstellungsschritt nach 3d gezeigt. Dabei erfolgt keine flächige Belichtung 43 von unten, sondern die Belichtung 51 erfolgt durch eine Maske (nicht gezeigt) bzw. als LASER-Punktbelichtung von oben. Dadurch kann die Bedeckung der an den Grund 47 angrenzenden Bereiche der Kanten 39a, 39b der Vertiefungen 37 mit der Isolierungsschicht 27 ebenfalls sichergestellt werden. Allerdings ist dafür ein höherer Ausrichtungsaufwand erforderlich.In 4 is an alternative to the manufacturing step after 3d shown. There is no areal exposure 43 from below, but the exposure 51 takes place through a mask (not shown) or as LASER point exposure from above. This can cause the covering of the ground 47 adjacent areas of the edges 39a . 39b the wells 37 with the insulation layer 27 also be ensured. However, this requires a higher alignment effort.

In den 5a und 5b sind alternative Ausgestaltungen der Isolierung 7', 7'' zwischen zwei Solarzellen 3n, 3n + 1 gezeigt. Es ist zu erkennen, dass die Isolierung 7' in 5a als klassische P1-, P2-, P3-Strukturierung ausgebildet ist, während die Isolierung 7'' als Isolierungsstrukturierung entsprechend WO 2014/152556 A1 hergestellt wurde.In the 5a and 5b are alternative embodiments of the insulation 7 ' . 7 '' between two solar cells 3n . 3n + 1 shown. It can be seen that the insulation 7 ' in 5a is designed as classic P1, P2, P3 structuring, while the isolation 7 '' as isolation structuring accordingly WO 2014/152556 A1 was produced.

In den 6a bis 6d ist eine alternative Abfolge von Schritten zur Herstellung der erfindungsgemäßen photovoltaischen Vorrichtung 100 nach einer zweiten bevorzugten Ausgestaltung näher dargestellt.In the 6a to 6d FIG. 10 is an alternative sequence of steps for manufacturing the photovoltaic device according to the invention. FIG 100 shown in more detail according to a second preferred embodiment.

Es ist zu erkennen, dass hier die Anfangsschritte identisch sind (vgl. 6a und 3b). Nach Einbringung des zweiten Strukturierungsgrabens 35 und der Vertiefungen 37 erfolgt allerdings ein Zwischenschritt (vgl. 6b), bei dem die Rückkontaktschicht 25 im Bereich 101 wieder lokal entfernt wird. Alternativ könnte die Aufbringung der Rückkontaktschicht 25 auch gleich unter Zuhilfenahme einer entsprechenden Maske erfolgen, so dass die Bereiche 101 ausgespart bleiben. Nach anschließender Aufbringung der Isolierungsschicht 103 (vgl. 6c) und der Frontkontaktschicht 105 (vgl. 6d) unter selektiver Aussparung des Bereichs 107 entsprechend den Ausführungen zu 3c bis 3e liegt hier eine größere horizontale Beabstandung zwischen Rückkontaktschicht 25 und Frontkontaktschicht 105 vor, die noch wirksamer vor Kurzschlüssen schützt.It can be seen that the initial steps are identical here (cf. 6a and 3b ). After introduction of the second structuring trench 35 and the wells 37 However, an intermediate step takes place (cf. 6b ), in which the back contact layer 25 in the area 101 is removed again locally. Alternatively, the application of the back contact layer could 25 also be done with the help of an appropriate mask, so that the areas 101 to be left out. After subsequent application of the insulation layer 103 (see. 6c ) and the front contact layer 105 (see. 6d ) under selective recess of the area 107 according to the comments on 3c to 3e here is a larger horizontal spacing between back contact layer 25 and front contact layer 105 protects against short-circuits even more effectively.

In 7 ist die erfindungsgemäße photovoltaische Vorrichtung 150 nach einer dritten bevorzugten Ausgestaltung in einer teilweisen Schnittansicht dargestellt.In 7 is the photovoltaic device according to the invention 150 represented according to a third preferred embodiment in a partial sectional view.

Es ist zu erkennen, dass die Vorrichtung 150 zahlreiche Solarzellen im Substrataufbau, also zur Sonnenlichteinleitung entgegengesetzt vom Substrat, umfasst, die streifenförmig nebeneinander angeordnet sind, wobei diese in Reihe miteinander verschaltet sind. Der Anschaulichkeit halber sind im Vergleich zu den 1 bis 2 nur zwei Solarzellen 151n, 151n + 1 gezeigt und auch nur ein erster Kontakt 153.It can be seen that the device 150 Numerous solar cells in the substrate structure, ie for the introduction of sunlight opposite from the substrate, comprises, which are arranged in strips next to each other, wherein these are connected in series with each other. For the sake of clarity, compared to the 1 to 2 only two solar cells 151n . 151n + 1 shown and only a first contact 153 ,

Diese Vorrichtung 150 wurde dadurch hergestellt, dass auf einem Glassubstrat 155 eine Frontkontaktschicht 157 abgeschieden und anschließend eine P1-Strukturierung vorgenommen wurde. Dann wurde als Isolierungsschicht 159 ein Dielektrikum in Form eines Lackes aufgebracht, belichtet und entwickelt, so dass die P1-Strukturierung verfüllt und die P2-Strukturierung gebildet wurden. Anschließend wurde die Rückkontaktschicht 161 aufgebracht und mittels einer LASER-Strukturierung lokal im Bereich 162 entfernt. Danach wurden die optisch aktive Schicht 163 und eine Bufferschicht 165 aufgebracht und die Bufferschicht 165, die optisch aktive Schicht 163, die Rückkontaktschicht 161 und die Isolierungsschicht 159 wurden mit einer weiteren LASER-Strukturierung mit einem geringeren Durchmesser als die vorherige LASER-Strukturierung bis zur Frontkontaktschicht 157 entfernt, um Vertiefungen 167 auszubilden, wobei die Rückkontaktschicht von den Vertiefungen 167 durch die optisch aktive Schicht 163 getrennt ist. Durch Aufbringung der TCO-Schicht 169 wird die Frontkontaktschicht 157 kontaktiert. Schließlich werden die TCO-Schicht 169, die Bufferschicht 165, die optisch aktive Schicht 163, die Rückkontaktschicht 161 und ein Teil der Isolierungsschicht 159 in einem P3-Strukturierungsschritt durchtrennt und der sich ausbildende Strukturierungsgraben 171 wird gegebenenfalls mit einem elektrischen Isolator verfüllt (nicht gezeigt).This device 150 was made by placing on a glass substrate 155 a front contact layer 157 deposited and then a P1 structuring was made. Then it was used as insulation layer 159 applied a dielectric in the form of a paint, exposed and developed, so that the P1 structuring filled and the P2 structuring were formed. Subsequently, the back contact layer 161 applied and locally by means of a LASER structuring in the area 162 away. Thereafter, the optically active layer 163 and a buffer layer 165 applied and the buffer layer 165 , the optically active layer 163 , the back contact layer 161 and the insulation layer 159 were further enhanced with a LASER patterning with a smaller diameter than the previous LASER structuring Front contact layer 157 removed to pits 167 form, wherein the back contact layer of the wells 167 through the optically active layer 163 is disconnected. By applying the TCO layer 169 becomes the front contact layer 157 contacted. Finally, the TCO layer 169 , the buffer layer 165 , the optically active layer 163 , the back contact layer 161 and a part of the insulation layer 159 in a P3 structuring step and the structuring trench that forms 171 is optionally filled with an electrical insulator (not shown).

Die in 8 in einer teilweisen Schnittansicht gezeigte erfindungsgemäße photovoltaische Vorrichtung 200 nach einer dritten bevorzugten Ausgestaltung unterscheidet sich von der Vorrichtung 150 nach 7 dadurch, dass die LASER-Strukturierung zur Erzeugung des Bereichs 162 in 7 entfallen ist, stattdessen nach dem LASER-Strukturierungsschritt zur Erzeugung der Vertiefungen 167 und vor Aufbringung der TCO-Schicht 201 eine weitere Isolierungsschicht 203 aufgebracht und so belichtet und ausgehärtet wird, dass diese Isolierungsschicht im Wesentlichen nur vertikal an den Kanten 205a, 205b der Vertiefungen 167 vorliegt, den Grund 207 der Vertiefungen 167 jedoch teilweise nicht bedeckt, so dass dort die TCO-Schicht 201 die Frontkontaktschicht 157 kontaktieren kann. Die Rückkontaktschicht 209 und die optisch aktive Schicht 211 grenzen dabei direkt an die weitere Isolierungsschicht 203 an.In the 8th in a partial sectional view of the invention shown photovoltaic device 200 according to a third preferred embodiment is different from the device 150 to 7 in that the LASER structuring for generating the area 162 in 7 instead after the LASER patterning step to create the pits 167 and before application of the TCO layer 201 another insulation layer 203 applied and so exposed and cured that this insulating layer substantially only vertically at the edges 205a . 205b the wells 167 is present, the reason 207 the wells 167 However, partially uncovered, so there is the TCO layer 201 the front contact layer 157 can contact. The back contact layer 209 and the optically active layer 211 border directly to the further insulation layer 203 at.

Aus der vorstehenden Darstellung ist deutlich geworden, dass mit der vorliegenden Erfindung der Wirkungsgrad photovoltaischer Vorrichtungen 1, 100, 150, 200 deutlich verbessert werden kann. Es liegen keine toten Kontaktierungszellen vor und außer den beiden Anschlüssen für die Anschlussdose 5 zu den Kontaktzellen 3', 3'' sind keine zusätzlichen Kontaktbänder und Silberleitkleber erforderlich. Für die beschriebene Fläche der Vorrichtung 1 von 585 mm × 1185 mm können nun Leistungen von 6,2 A × 25 V erzielt werden. Aufgrund der wesentlich geringeren Anzahl an Solarzellen 3 und damit Isolierungen 7 kann der Durchsatz wesentlich erhöht werden, weil die Zahl der Strukturierungsschritte deutlich verringert wird.From the foregoing, it has become clear that with the present invention, the efficiency of photovoltaic devices 1 . 100 . 150 . 200 can be significantly improved. There are no dead contacting cells and except for the two connections for the junction box 5 to the contact cells 3 ' . 3 '' No additional contact strips and silver conductive adhesive are required. For the described surface of the device 1 of 585 mm × 1185 mm, power of 6.2 A × 25 V can now be achieved. Due to the significantly lower number of solar cells 3 and thus isolations 7 The throughput can be significantly increased because the number of structuring steps is significantly reduced.

Fehlstellen in den Vorrichtungen 1, 100, 150, 200 können nachträglich einfach beseitigt werden, beispielsweise durch Ausschneiden, Auslasern oder Ausbrennen, wobei unterstützend bildgebende Verfahren, wie Elektrolumineszenz, Thermographie oder Photolumineszenz eingesetzt werden könne, um diese Fehlstellen zu lokalisieren.Defects in the devices 1 . 100 . 150 . 200 can be subsequently easily removed, for example by cutting, laser scanning or burnout, with supportive imaging techniques, such as electroluminescence, thermography or photoluminescence can be used to locate these defects.

Soweit nichts anders angegeben ist, können sämtliche Merkmale der vorliegenden Erfindung frei miteinander kombiniert werden. Auch die in der Figurenbeschreibung beschriebenen Merkmale können, soweit nichts anderes angegeben ist, als Merkmale der Erfindung frei mit den übrigen Merkmalen kombiniert werden. Dabei können gegenständliche Merkmale auch als Verfahrensmerkmale Verwendung finden und Verfahrensmerkmale als gegenständliche Merkmale.Unless otherwise indicated, all features of the present invention may be freely combined with each other. The features described in the description of the figures can, unless stated otherwise, be freely combined with the other features as features of the invention. Objective features can also be used as process features and process features as representational features.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
photovoltaische Vorrichtung nach erster bevorzugter AusgestaltungPhotovoltaic device according to the first preferred embodiment
33
Solarzellen im SuperstrataufbauSolar cells in superstrat construction
3a, 3b, 3c3a, 3b, 3c
Solarzellensolar cells
3'3 '
erste Solarzellefirst solar cell
3''3 ''
letzte Solarzellelast solar cell
3n, 3n + 1, 3n + 23n, 3n + 1, 3n + 2
benachbart angeordnete Solarzellenadjacently arranged solar cells
55
Anschlussdosejunction box
7a, 7b7a, 7b
Isolierungen zwischen benachbarten Solarzellen 3a, 3b, 3c Insulations between adjacent solar cells 3a . 3b . 3c
11, 11a, 11b, 11c11, 11a, 11b, 11c
erste Kontakte, „+”first contacts, "+"
13, 13a, 13b, 13c13, 13a, 13b, 13c
zweite Kontakte, „–”second contacts, "-"
15, 15a, 15b, 15c15, 15a, 15b, 15c
optisch aktive Schichtoptically active layer
17, 17a, 17b, 17c17, 17a, 17b, 17c
optisch transparentes Substrat, Glassubstratoptically transparent substrate, glass substrate
19, 19a, 19b, 19c19, 19a, 19b, 19c
transparente leitfähige Schicht (TCO), Zinnoxidtransparent conductive layer (TCO), tin oxide
21, 21a, 21b, 21c21, 21a, 21b, 21c
Kadmiumsulfid-SchichtCadmium sulfide layer
23, 23a, 23b, 23c23, 23a, 23b, 23c
Kadmiumtellurid-SchichtCadmium telluride layer
25, 25a, 25b, 25c25, 25a, 25b, 25c
RückkontaktschichtBack contact layer
27, 27a, 27b, 27c27, 27a, 27b, 27c
Isolierungsschichtinsulation layer
29, 29a, 29b, 29c29, 29a, 29b, 29c
FrontkontaktschichtFront contact layer
3131
Kontaktierungs-StrukturierungenContact-structuring
3333
P1-StrukturierungenP1-structuring
3535
P3-Strukturierungen 35a, 35b P3-structuring 35a . 35b
3737
lokale Strukturierungen in Form quadratischer lochartiger Vertiefungenlocal structuring in the form of square hole-like depressions
39a, 39b39a, 39b
Kanten der Vertiefungen 37 Edges of the recesses 37
41, 4341, 43
Belichtungexposure
4545
dritter Strukturierungsgrabenthird structuring trench
4747
Grund der Vertiefungen 37 Reason of the depressions 37
4949
Bereich der FrontkontaktschichtArea of the front contact layer
5151
Belichtungexposure
7', 7''7 ', 7' '
Isolierung zwischen zwei Solarzellen 3n, 3n + 1 Isolation between two solar cells 3n . 3n + 1
100 100
photovoltaische Vorrichtung nach zweiter bevorzugter AusgestaltungPhotovoltaic device according to the second preferred embodiment
101101
Bereich der Rückkontaktschicht 25 Area of the back contact layer 25
103103
Isolierungsschichtinsulation layer
105105
FrontkontaktschichtFront contact layer
107107
BereichArea
150150
photovoltaische Vorrichtung nach dritter bevorzugter AusgestaltungPhotovoltaic device according to the third preferred embodiment
151n, 151n + 1151n, 151n + 1
benachbarte Solarzellen im Substrataufbauadjacent solar cells in the substrate structure
153153
erster Kontaktfirst contact
155155
Glassubstratglass substrate
157157
FrontaktaktschichtFrontaktaktschicht
159159
Isolierungsschichtinsulation layer
161161
RückkontaktschichtBack contact layer
162162
Bereich der Rückkontaktschicht 161 Area of the back contact layer 161
163163
optisch aktive Schichtoptically active layer
165165
Bufferschichtbuffer layer
167167
Vertiefungenwells
169169
TCO-SchichtTCO layer
171171
Strukturierungsgrabenstructuring ditch
200200
photovoltaische Vorrichtung nach dritter bevorzugter AusgestaltungPhotovoltaic device according to the third preferred embodiment
201201
TCO-Schicht eine weitereTCO layer another
203203
Isolierungsschichtinsulation layer
205a, 205b205a, 205b
Kanten der Vertiefungen 167 Edges of the recesses 167
207207
Grund der Vertiefungen 167 Reason of the depressions 167
209209
RückkontaktschichtBack contact layer
211211
optisch aktive Schichtoptically active layer
ll
Länge der Solarzellen 3 Length of the solar cells 3
bb
Breite der Solarzellen 3 Width of the solar cells 3
αα
Neigung der Kanten 39a, 39b Inclination of the edges 39a . 39b
HH
Hauptfläche des Substrates 17 Main surface of the substrate 17
NN
Normale der Hauptfläche HNormal of the main surface H

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • WO 2014/152556 A1 [0005, 0008, 0048, 0048, 0052] WO 2014/152556 A1 [0005, 0008, 0048, 0048, 0052]

Claims (13)

Photovoltaische Vorrichtung (1) mit einem Substrat (17) mit einer großen Hauptfläche (H), auf der zumindest zwei entlang einer Grenze in Reihe verschaltete Solarzellen (3a, 3b, 3c) benachbart zueinander angeordnet sind, wobei die beiden Solarzellen (3a, 3b, 3c) jeweils eine Rückkontaktschicht (25a, 25b, 25c), eine transparente leitfähige Schicht (19a, 19b, 19c) und eine optisch aktive Schicht (15, 15a, 15b, 15c, 21, 21a, 21b, 21c, 23, 23a, 23b, 23c) aufweisen, wobei die Reihenverschaltung eine Kontaktierung (11b, 11c) der Rückkontaktschicht (25a, 25b) einer ersten Solarzelle (3a, 3b) der beiden Solarzellen (3a, 3b, 3c) mit der transparenten leitfähigen Schicht (19b, 19c) einer zweiten Solarzelle (3b, 3c) der beiden Solarzellen (3a, 3b, 3c) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktierung (11b, 11c) parallel zu der großen Hauptfläche (H) des Substrats (17) als zweidimensionales Raster einzelner Kontakte (11a, 11b, 11c) ausgebildet ist.Photovoltaic device ( 1 ) with a substrate ( 17 ) having a large main area (H) on which at least two solar cells connected in series along a boundary ( 3a . 3b . 3c ) are arranged adjacent to each other, wherein the two solar cells ( 3a . 3b . 3c ) each have a back contact layer ( 25a . 25b . 25c ), a transparent conductive layer ( 19a . 19b . 19c ) and an optically active layer ( 15 . 15a . 15b . 15c . 21 . 21a . 21b . 21c . 23 . 23a . 23b . 23c ), wherein the series connection is a contacting ( 11b . 11c ) of the back contact layer ( 25a . 25b ) of a first solar cell ( 3a . 3b ) of the two solar cells ( 3a . 3b . 3c ) with the transparent conductive layer ( 19b . 19c ) a second solar cell ( 3b . 3c ) of the two solar cells ( 3a . 3b . 3c ), characterized in that the contacting ( 11b . 11c ) parallel to the major major surface (H) of the substrate ( 17 ) as a two-dimensional grid of individual contacts ( 11a . 11b . 11c ) is trained. Photovoltaische Vorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Raster regelmäßig ausgebildet ist, bevorzugt mit einem lateralen Abstand zwischen zwei benachbarten Kontakten (11a, 11b, 11c) von 1 bis 20 mm, vorzugsweise 3 bis 10 mm, insbesondere 4 bis 7 mm.Photovoltaic device ( 1 ) according to claim 1, characterized in that the grid is formed regularly, preferably with a lateral distance between two adjacent contacts ( 11a . 11b . 11c ) of 1 to 20 mm, preferably 3 to 10 mm, in particular 4 to 7 mm. Photovoltaische Vorrichtung (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Kontakte (11a, 11b, 11c) im Querschnitt punktförmig, bevorzugt mit einer Querschnittsbreite von höchstens 500 μm, vorzugsweise höchstens 300 μm, insbesondere höchstens 200 μm ausgebildet sind.Photovoltaic device ( 1 ) according to claim 1 or 2, characterized in that the individual contacts ( 11a . 11b . 11c ) are punctiform in cross-section, preferably formed with a cross-sectional width of at most 500 microns, preferably at most 300 microns, in particular at most 200 microns. Photovoltaische Vorrichtung (1) nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Breite (b) der Solarzellen (3a, 3b, 3c) senkrecht zu der Grenze zwischen den Solarzellen (3a, 3b, 3c) mindestens 3 mm, bevorzugt mindestens 15 mm, insbesondere mindestens 39 mm beträgt.Photovoltaic device ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the width (b) of the solar cells ( 3a . 3b . 3c ) perpendicular to the boundary between the solar cells ( 3a . 3b . 3c ) is at least 3 mm, preferably at least 15 mm, in particular at least 39 mm. Photovoltaische Vorrichtung (1) nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktierung (11a, 11b, 11c) eine Frontkontaktschicht (29b, 29c) der zweiten Solarzelle (3b, 3c) aufweist, die mit der Rückkontaktschicht (25a, 25b) der ersten Solarzelle (3a, 3b) in leitender Verbindung steht und von der Rückkontaktschicht (25b, 25c) der zweiten Solarzelle (3b, 3c) über eine Isolierungsschicht (27b, 27c) isoliert ist, wobei die Frontkontaktschicht (29b, 29c) bevorzugt mit der transparenten leitfähigen Schicht (19b, 19c) vertikal verlaufende einzelne Kontakte (11b, 11c) ausbildet.Photovoltaic device ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the contacting ( 11a . 11b . 11c ) a front contact layer ( 29b . 29c ) of the second solar cell ( 3b . 3c ) which is in contact with the back contact layer ( 25a . 25b ) of the first solar cell ( 3a . 3b ) is in conductive connection and from the back contact layer ( 25b . 25c ) of the second solar cell ( 3b . 3c ) via an insulating layer ( 27b . 27c ), wherein the front contact layer ( 29b . 29c ) preferably with the transparent conductive layer ( 19b . 19c ) vertically extending individual contacts ( 11b . 11c ) trains. Photovoltaische Vorrichtung (1) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Isolierungsschicht (27b, 27c) zwischen Frontkontaktschicht (29b, 29c) und optisch aktiver Schicht (15b, 15c) erstreckt.Photovoltaic device ( 1 ) according to claim 5, characterized in that the insulating layer ( 27b . 27c ) between front contact layer ( 29b . 29c ) and optically active layer ( 15b . 15c ). Verfahren zur Herstellung einer photovoltaische Vorrichtung (1) mit einem Substrat (17) mit einer großen Hauptfläche (H), auf der zumindest zwei entlang einer Grenze in Reihe verschalteten Solarzellen (3a, 3b, 3c) benachbart zueinander angeordnet sind, wobei die beiden Solarzellen (3a, 3b, 3c) jeweils eine Rückkontaktschicht (25a, 25b, 25c), eine transparente leitfähige Schicht (19a, 19b, 19c) und eine optisch aktive Schicht (15, 15a, 15b, 15c, 21, 21a, 21b, 21c, 23, 23a, 23b, 23c) aufweisen, wobei die Reihenverschaltung eine Kontaktierung (11b, 11c) der Rückkontaktschicht (25a, 25b) einer ersten Solarzelle (3a, 3b) der beiden Solarzellen (3a, 3b, 3c) mit der transparenten leitfähigen Schicht (19b, 19c) einer zweiten Solarzelle (3b, 3c) der beiden Solarzellen (3a, 3b, 3c) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktierung (11b, 11c) parallel zu der großen Hauptfläche (H) des Substrats (17) als zweidimensionales Raster einzelner Kontakte (11a, 11b, 11c) ausgebildet wird.Method for producing a photovoltaic device ( 1 ) with a substrate ( 17 ) having a large main area (H) on which at least two solar cells connected in series along a boundary ( 3a . 3b . 3c ) are arranged adjacent to each other, wherein the two solar cells ( 3a . 3b . 3c ) each have a back contact layer ( 25a . 25b . 25c ), a transparent conductive layer ( 19a . 19b . 19c ) and an optically active layer ( 15 . 15a . 15b . 15c . 21 . 21a . 21b . 21c . 23 . 23a . 23b . 23c ), wherein the series connection is a contacting ( 11b . 11c ) of the back contact layer ( 25a . 25b ) of a first solar cell ( 3a . 3b ) of the two solar cells ( 3a . 3b . 3c ) with the transparent conductive layer ( 19b . 19c ) a second solar cell ( 3b . 3c ) of the two solar cells ( 3a . 3b . 3c ), characterized in that the contacting ( 11b . 11c ) parallel to the major major surface (H) of the substrate ( 17 ) as a two-dimensional grid of individual contacts ( 11a . 11b . 11c ) is formed. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Rückkontaktschicht (25a, 25b, 25c) einheitlich für alle Solarzellen (3a, 3b, 3c) aufgebracht und anschließend im Bereich der herzustellenden einzelnen Kontakte (11a, 11b, 11c) entfernt wird, wobei die Entfernung bevorzugt mittels LASER-Bestrahlung erfolgt.Method according to claim 7, characterized in that the back contact layer ( 25a . 25b . 25c ) uniform for all solar cells ( 3a . 3b . 3c ) and then in the region of the individual contacts ( 11a . 11b . 11c ), the removal preferably being by LASER irradiation. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass eine Entfernung der Rückkontaktschicht (25a, 25b) und der optisch aktiven Schicht (15a, 15b, 21a, 21b, 23a, 23b) bis zur transparenten leitenden Schicht (19a, 19b) erfolgt, wobei eine gegenüber der Senkrechten geneigte Strukturierung vorgenommen wird, wobei die Neigung (α) der gebildeten Strukturierungskante (39a, 39b) vorzugsweise entweder 0,1° bis 30°, bevorzugt 3° bis 20°, insbesondere 12° bis 19° oder 70° bis 89°, bevorzugt 75° bis 85°, insbesondere 78° bis 82° gegenüber der Normale (N) der Hauptfläche (H) beträgt.A method according to claim 7 or 8, characterized in that a removal of the back contact layer ( 25a . 25b ) and the optically active layer ( 15a . 15b . 21a . 21b . 23a . 23b ) to the transparent conductive layer ( 19a . 19b ) is carried out, wherein an inclined relative to the vertical structuring is made, wherein the inclination (α) of the structuring edge formed ( 39a . 39b ) preferably either 0.1 ° to 30 °, preferably 3 ° to 20 °, in particular 12 ° to 19 ° or 70 ° to 89 °, preferably 75 ° to 85 °, in particular 78 ° to 82 ° relative to the normal (N) the major surface (H) is. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass an der Grenze (7a, 7b, 7c) zwischen zwei Solarzellen (3a, 3b, 3c) eine Durchtrennung einer substratnahen leitenden Schicht (19a, 19b, 19c) und eine Durchtrennung einer substratfernen leitenden Schicht (25a, 25b, 25c) vorgenommen wird, wobei die Durchtrennung bevorzugt als P1- (31) und P3- (35), insbesondere als P1-, P2- und P3-LASER-Strukturierungsschritte vorgenommen wird.Method according to one of claims 7 to 9, characterized in that at the border ( 7a . 7b . 7c ) between two solar cells ( 3a . 3b . 3c ) a transection of a substrate-near conductive layer ( 19a . 19b . 19c ) and a transection of a substrate-remote conductive layer ( 25a . 25b . 25c ), wherein the separation is preferably as P1- ( 31 ) and P3- ( 35 ), in particular as P1, P2 and P3 LASER structuring steps. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die photovoltaische Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 6 hergestellt wird. Method according to one of claims 7 to 10, characterized in that the photovoltaic device ( 1 ) is produced according to one of claims 1 to 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem Substrat (17) die transparente leitende Schicht (19), darüber die optisch aktive Schicht (15, 21, 23), darüber die Rückkontaktschicht (25), darüber eine Isolierungsschicht (27) und darüber eine Frontkontaktschicht (29) angeordnet werden, wobei die Grenze (7a, 7b, 7c) zwischen zwei benachbarten Solarzellen (3a, 3b, 3c) durch eine Durchtrennung der transparenten leitenden Schicht (19) und der Rückkontaktschicht (25) gebildet wird, wobei nach Aufbringung der Rückkontaktschicht (25) mit einem Strukturierungsschritt die Rückkontaktschicht (25) und die optisch aktive Schicht (15, 21, 23) jeweils lokal (37) zur Bildung jeweils eines Kontaktes (11a, 11b, 11c) entfernt werden, nach Aufbringung der Isolierungsschicht (27) diese lokal (47) an den Stellen der jeweiligen Kontakte (11a, 11b, 11c) wieder entfernt wird und zwischen den Kontakten (11a, 11b, 11c) und der Grenze (7a, 7b, 7c) zwischen zwei Solarzellen (3a, 3b, 3c) die Isolierungsschicht (27a, 27b, 27c) durch Bildung eines dritten Strukturierungsgrabens (45) entfernt wird, nach Aufbringung der Frontkontaktschicht (29) diese in einem Strukturierungsschritt (49) entlang der Grenze (7a, 7b, 7c) so strukturiert wird, dass die Frontkontaktschicht (29a, 29b, 29c) in Richtung zur Grenze (7a, 7b, 7c) eine direkte leitende Verbindung mit der Rückkontaktschicht (25a, 25b, 25c) aufweist und in Richtung zu den Kontakten (11a, 11b, 11c) keine direkte leitende Verbindung zu der Rückkontaktschicht (25a, 25b, 25c) besteht, wobei bevorzugt vorgesehen ist, dass vor Aufbringung der Rückkontaktschicht (25) die optisch aktive Schicht (15, 21, 23) und die transparente leitende Schicht (19) in einem Strukturierungsschritt (31) entlang der Grenze (7a, 7b, 7c) zwischen zwei Solarzellen (3a, 3b, 3c) entfernt werden und der gebildete erste Strukturierungsgraben (31) mit einem Isolationsmaterial (33) verfüllt wird und nach Aufbringung der Rückkontaktschicht (25) die Rückkontaktschicht (25) in einem Strukturierungsschritt (35) entlang der Grenze (7a, 7b, 7c) zwischen zwei Solarzellen (3a, 3b, 3c) entfernt wird und der gebildete zweite Strukturierungsgraben (35) mit dem Material der Isolierungsschicht (27) verfüllt wird.Method according to one of claims 7 to 11, characterized in that on the substrate ( 17 ) the transparent conductive layer ( 19 above) the optically active layer ( 15 . 21 . 23 ), above the back contact layer ( 25 ), above an insulation layer ( 27 ) and above a front contact layer ( 29 ), the limit ( 7a . 7b . 7c ) between two adjacent solar cells ( 3a . 3b . 3c ) by a transection of the transparent conductive layer ( 19 ) and the back contact layer ( 25 ) is formed, wherein after application of the back contact layer ( 25 ) with a structuring step the back contact layer ( 25 ) and the optically active layer ( 15 . 21 . 23 ) each locally ( 37 ) to form one contact each ( 11a . 11b . 11c ) after application of the insulating layer ( 27 ) these locally ( 47 ) at the locations of the respective contacts ( 11a . 11b . 11c ) is removed again and between the contacts ( 11a . 11b . 11c ) and the border ( 7a . 7b . 7c ) between two solar cells ( 3a . 3b . 3c ) the insulation layer ( 27a . 27b . 27c ) by forming a third structuring trench ( 45 ) is removed, after application of the front contact layer ( 29 ) in a structuring step ( 49 ) along the border ( 7a . 7b . 7c ) is structured so that the front contact layer ( 29a . 29b . 29c ) towards the border ( 7a . 7b . 7c ) a direct conductive connection with the back contact layer ( 25a . 25b . 25c ) and in the direction of the contacts ( 11a . 11b . 11c ) no direct conductive connection to the back contact layer ( 25a . 25b . 25c ), wherein it is preferably provided that, before application of the back contact layer ( 25 ) the optically active layer ( 15 . 21 . 23 ) and the transparent conductive layer ( 19 ) in a structuring step ( 31 ) along the border ( 7a . 7b . 7c ) between two solar cells ( 3a . 3b . 3c ) and the formed first structuring trench ( 31 ) with an insulating material ( 33 ) and after application of the back contact layer ( 25 ) the back contact layer ( 25 ) in a structuring step ( 35 ) along the border ( 7a . 7b . 7c ) between two solar cells ( 3a . 3b . 3c ) and the formed second structuring trench ( 35 ) with the material of the insulating layer ( 27 ) is filled. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem Substrat (155) eine Frontkontaktschicht (157), darüber eine Isolierungsschicht (159), darüber die Rückkontaktschicht (161; 209) und darüber die optisch aktive Schicht (163; 211) angeordnet werden, wobei die Grenze zwischen zwei benachbarten Solarzellen durch eine Durchtrennung der Frontkontaktschicht (157) und der transparenten leitenden Schicht (169; 201) gebildet wird, wobei nach Aufbringung der Frontkontaktschicht (157) diese entlang der Grenze zwischen zwei Solarzellen entfernt wird, um einen erste Strukturierungsgraben (P1) zu bilden, der mit Material der Isolierungsschicht (159) verfüllt wird, nach Aufbringung der Isolierungsschicht (159) diese entlang der Grenze zwischen zwei Solarzellen entfernt wird, um einen zweiten Strukturierungsgraben (P2) zu bilden, wobei der zweite Strukturierungsgraben (P2) benachbart zum ersten Strukturierungsgraben (P1) angeordnet und mit Material der Rückkontaktschicht (161; 209) verfüllt wird, nach Aufbringung der Rückkontaktschicht (161; 209) mit einem Strukturierungsschritt die Rückkontaktschicht (161; 209) jeweils lokal (162) zur Bildung jeweils eines Kontaktes (153) entfernt wird, vor Aufbringung der transparenten leitfähigen Schicht (169; 201) die optisch aktive Schicht (163; 211) und die Isolierungsschicht (159, 203) lokal (167) an den Stellen der jeweiligen Kontakte (153) wieder entfernt werden, nach Aufbringung der transparenten leitfähigen Schicht (169; 201) diese in einem Strukturierungsschritt (171) zwischen zwei Solarzellen entfernt wird, um einen dritten Strukturierungsgraben (P3) zu bilden, der bevorzugt mit einem Isolationsmaterial verfüllt wird.Method according to one of claims 7 to 11, characterized in that on the substrate ( 155 ) a front contact layer ( 157 ), above an insulation layer ( 159 ), above the back contact layer ( 161 ; 209 ) and above the optically active layer ( 163 ; 211 ), wherein the boundary between two adjacent solar cells is separated by a transection of the front contact layer (FIG. 157 ) and the transparent conductive layer ( 169 ; 201 ) is formed, wherein after application of the front contact layer ( 157 ) is removed along the boundary between two solar cells to form a first structuring trench (P1) which is coated with material of the insulating layer (P1). 159 ) after application of the insulating layer ( 159 ) is removed along the boundary between two solar cells to form a second structuring trench (P2), wherein the second structuring trench (P2) is arranged adjacent to the first structuring trench (P1) and coated with material of the back contact layer (P2). 161 ; 209 ) is filled, after application of the back contact layer ( 161 ; 209 ) with a structuring step the back contact layer ( 161 ; 209 ) each locally ( 162 ) to form one contact each ( 153 ) is removed prior to application of the transparent conductive layer ( 169 ; 201 ) the optically active layer ( 163 ; 211 ) and the isolation layer ( 159 . 203 ) local ( 167 ) at the locations of the respective contacts ( 153 ) are removed after application of the transparent conductive layer ( 169 ; 201 ) in a structuring step ( 171 ) is removed between two solar cells to form a third structuring trench (P3), which is preferably filled with an insulating material.
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