DE102015105293A1 - Apparatus for elemental analysis on imaging devices - Google Patents
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Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung sowie ein Verfahren zur qualitativen und quantitativen Elementanalyse insbesondere kleiner Materialbereiche einer Probe (11) mittels Röntgenfluoreszenz an lichtoptisch vergrößernden Abbildungsvorrichtungen, wie zum Beispiel einem Lichtmikroskop, wobei mittels der lichtoptisch vergrößernden Abbildungsvorrichtung ein Probenort in der Probe (11) auswählbar ist, und von diesem Probenort mittels Röntgenfluoreszenz die chemische Zusammensetzung bestimmbar ist, wobei zur Anregung des Probenorts primäre Röntgenstrahlung Rö1 mit Hilfe eines pyroelektrischen, piezoelektrischen und/oder ferroelektrischen Effekts erzeugbar ist. The present invention relates to a device and a method for qualitative and quantitative elemental analysis of particular small material areas of a sample (11) by means of X-ray fluorescence at light optical magnifying imaging devices, such as a light microscope, wherein by means of the light-optical magnifying imaging device, a sample location in the sample (11) selectable and the chemical composition can be determined from this sample location by means of X-ray fluorescence, it being possible to generate primary X-ray radiation R 1 by means of a pyroelectric, piezoelectric and / or ferroelectric effect in order to excite the sample location.
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung für die qualitative und quantitative Elementtanalyse an lichtoptischen Abbildungsvorrichtungen wie zum Beispiel Mikroskopen, insbesondere Lichtmikroskopen. Die qualitative und quantitative Elementanalyse erfolgt vorzugsweise mittels Röntgenfluoreszenz.The invention relates to a device for the qualitative and quantitative elemental analysis of light-optical imaging devices such as microscopes, in particular light microscopes. The qualitative and quantitative elemental analysis is preferably carried out by X-ray fluorescence.
Für die Elementanalyse von Festkörpern sind verschiedene Verfahren bekannt. Beispielsweise die Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA), die Elektronenstrahlmikroanalyse (ESMA) und die optische Atomemissionsspektroskopie (AES). For the elemental analysis of solids, various methods are known. For example, the X-ray fluorescence analysis (RFA), the electron beam microanalysis (ESMA) and the optical atomic emission spectroscopy (AES).
Die Röntgenfluoreszenzanalyse basiert auf der Erzeugung von primärer Röntgenstrahlung mit einer Röntgenröhre oder einem radioaktiven Isotop. Durch Wechselwirkung der primären Röntgenstrahlung mit der Materialprobe entsteht Röntgenstrahlung die als Fluoreszenzstrahlung bezeichnet wird. Diese Fluoreszenzstrahlung wird wellenlängen- oder energiedispersiv spektroskopiert. Als Ergebnis wird die Elementzusammensetzung erhalten. Ein wesentlicher Nachteil der bekannten RFA-Verfahren und Vorrichtungen ist die geringe laterale Auflösung, d.h. die Abmessung des kleinsten noch zu charakterisierenden Probenbereichs. Somit ist keine chemische Zuordnung zur Mikrostruktur möglich.The X-ray fluorescence analysis is based on the generation of primary X-ray radiation with an X-ray tube or a radioactive isotope. The interaction of the primary X-ray radiation with the material sample produces X-radiation, which is called fluorescence radiation. This fluorescence radiation is spectroscopy wavelength or energy dispersive. As a result, the elemental composition is obtained. A major disadvantage of the known RFA methods and devices is the low lateral resolution, i. the dimension of the smallest sample area still to be characterized. Thus, no chemical assignment to the microstructure is possible.
Die optische Atomemissionsspektroskopie basiert auf der Lichtemission, beispielsweise angeregt durch einen Funken und der Spektroskopie des von der Probe emittierten Lichts. Der Durchmesser des Messortes liegt im Bereich von einigen Millimetern. Lokale Analysen mit einer Zuordnung der Elementzusammensetzung zu Bestandteilen der Mikrostruktur sind daher nicht möglich. Zudem wird bei diesem Verfahren die Probenoberfläche nachhaltig verändert und ist somit zerstörend. Dieses Verfahren hat die wesentlichen Nachteile, dass durch den relativ großen Analysebereich keine Zuordnung zur Mikrostruktur möglich ist, und dass die Probe an der analysierten Stelle verändert wird.The optical atomic emission spectroscopy is based on the light emission, for example excited by a spark and the spectroscopy of the light emitted by the sample. The diameter of the measuring location is in the range of a few millimeters. Local analyzes with an assignment of the elemental composition to components of the microstructure are therefore not possible. In addition, the sample surface is permanently changed in this process and is thus destructive. This method has the significant drawbacks that the relatively large analysis range does not allow assignment to the microstructure and that the sample is changed at the point of analysis.
Die ESMA wird häufig im Rasterelektronenmikroskop (REM) durchgeführt und beruht auf der Wechselwirkung eines Elektronenstrahls mit der zu untersuchenden Probe. Die dabei emittierte Röntgenstrahlung wird wellenlängen- und/oder energiedispersiv spektroskopiert und anhand des Spektrums die qualitative und quantitative Elementzusammensetzung des Messortes erhalten. Der Vorteil zu den beiden vorab genannten Systemen liegt vor allem in der Möglichkeit der lokalen Analyse der Probe und somit einer ortsaufgelösten mikroskopischen Zuordnung des Analyseergebnisses. Die laterale Auflösung beträgt rund 1 µm. Ein Nachteil dieses Systems ist die Notwendigkeit eines Vakuums oder sehr geringen Drucks in der Probenkammer. Dies erschwert oder verhindert Analysen von feuchten Proben. The ESMA is often performed in the scanning electron microscope (SEM) and is based on the interaction of an electron beam with the sample to be examined. The emitted X-radiation is wavelength and / or energy-dispersive spectroscopy and obtained on the basis of the spectrum, the qualitative and quantitative elemental composition of the site. The advantage of the two aforementioned systems lies above all in the possibility of local analysis of the sample and thus a spatially resolved microscopic assignment of the analysis result. The lateral resolution is around 1 μm. A disadvantage of this system is the need for a vacuum or very low pressure in the sample chamber. This complicates or prevents analysis of wet samples.
Mit den vorstehend genannten Methoden lassen sich entweder Informationen über die Elementzusammensetzung einer Probe oder vergrößerte Abbildungen der Oberfläche einer Probe erhalten. In der Regel werden jedoch beide Informationen erwünscht. With the above methods, either information about the elemental composition of a sample or enlarged images of the surface of a sample can be obtained. In general, however, both information is desired.
Beispielsweise gehören Lichtmikroskope zu den weitverbreiten Geräten in wissenschaftlichen und technischen Einrichtungen. Dazu gehören Hochschulen, Universitäten, private Forschungsinstitute, Laboratorien, Abteilungen für Entwicklung oder Qualitätssicherung in Unternehmen jeder Größe, Prüfinstitutionen oder auch kriminaltechnische Einrichtungen. In vielen der genannten Bereiche ist nicht allein das stark vergrößerte optische Erscheinungsbild einer Oberfläche oder einer Probe von Interesse, beispielsweise um die Mikrostruktur zu bewerten, sondern auch die chemische Zusammensetzung des Untersuchungsobjekts. Für letzteres werden in der Regel andere Verfahren benötigt. Ein Beispiel dafür ist das Rasterelektronenmikroskop. Derartige Geräte sind jedoch durch ihren Anschaffungspreis und Anforderungen an Platz, Bedienpersonal und Kosten für Verbrauchsmaterial und Wartung meist nicht in allen der oben genannten Einrichtungen vorhanden. Ein REM kann ein Lichtmikroskop nicht ersetzten, da ein spezifischer Kontrast notwendig ist, z.B. die Farbe von Mikrostrukturbestandteilen. Der Nutzer eines Lichtmikroskops ist demnach gezwungen die Analyse nicht nur an einem anderen Gerät durchzuführen, sondern er muss häufig eine Dienstleistung Dritter in Anspruch nehmen. Daraus ergibt sich der Bedarf Elementanalysen direkt in Verbindung mit optisch vergrößernden Vorrichtungen, zum Beispiel am Lichtmikroskop selbst, durchführen zu können.For example, light microscopes are widely used in scientific and technical facilities. These include colleges, universities, private research institutes, laboratories, departments for development or quality assurance in companies of all sizes, testing institutes or forensic institutions. In many of the areas mentioned, not only the greatly enlarged visual appearance of a surface or a sample is of interest, for example in order to evaluate the microstructure, but also the chemical composition of the examination subject. For the latter, other methods are usually needed. An example of this is the scanning electron microscope. Such devices are, however, usually not available in all of the above facilities by their purchase price and requirements for space, operators and costs for consumables and maintenance. An SEM can not replace a light microscope because of a specific contrast, such as the color of microstructure components. The user of a light microscope is therefore forced to perform the analysis not only on another device, but he must often use a third-party service. This results in the need to be able to carry out elemental analyzes directly in conjunction with optically magnifying devices, for example on the light microscope itself.
Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung für die qualitative und quantitative Elementanalyse an lichtoptisch vergrößernden Abbildungsvorrichtungen zur Verfügung zu stellen, welche die zuvor genannten Nachteile überwindet und eine Zuordnung der Elementzusammensetzung zu Bestandteilen der Mikrostruktur ermöglicht. It is an object of the present invention to provide a device for the qualitative and quantitative elemental analysis of light-optical magnifying imaging devices, which overcomes the aforementioned disadvantages and allows an assignment of the elemental composition to components of the microstructure.
Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Vorrichtung gemäß Anspruch 1, wobei weitere vorteilhafte Ausführungsformen aus den Unteransprüchen hervorgehen. Weiter betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur quantitativen und qualitativen Elementanalyse unter Verwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtung.This object is achieved by a device according to
Nachstehend wird die Vorrichtung zur qualitativen und quantitativen Elementanalyse verkürzt auch als „Vorrichtung zur Elementanalyse“ und die lichtoptisch vergrößernde Abbildungsvorrichtung als „LOAV“ bezeichnet.Hereinafter, the apparatus for qualitative and quantitative elemental analysis is also abbreviated to "elemental analysis apparatus" and the light-optical magnifying imaging apparatus is referred to as "LOAV".
Beispiele für erfindungsgemäß einsetzbare lichtoptisch vergrößernde Abbildungsvorrichtungen sind Mikroskope, insbesondere Lichtmikroskope, aber auch digitale Bildaufzeichnungsgeräte, die mit einer Vorrichtung zur lichtoptischen Vergrößerung ausgerüstet sind, wie zum Beispiel eine Kamera mit einem entsprechenden Objektiv, Smartphone oder Tablet mit Lupen- beziehungsweise Mikroskopvorsatz etc.Examples of light-optically magnifying imaging devices which can be used according to the invention are microscopes, in particular light microscopes, but also digital image recording devices which are equipped with a device for light-optical magnification, such as a camera with a corresponding objective, smartphone or tablet with magnifying glass or microscope attachment, etc.
Vorgeschlagen wird eine Vorrichtung zur qualitativen und quantitativen Elementanalyse kleiner Materialbereiche einer Probe mittels Röntgenfluoreszenz an lichtoptisch vergrößernden Abbildungsvorrichtungen, wobei ein Probenort in der Probe mittels LOAV auswählbar ist, wobei mit der LOAV die Mikrostruktur des ausgewählten Probeorts darstellbar ist, und von diesem Probenort mittels Röntgenfluoreszenz die chemische Zusammensetzung bestimmbar ist. Zudem ist vorgesehen, dass zur Anregung der Probe bzw. des Materialbereichs primäre Röntgenstrahlung mit Hilfe eines pyroelektrischen, piezoelektrischen Effekts und/oder unter Nutzung der ferroelektrischen Eigenschaften eines solchen Materials erzeugbar ist.A device is proposed for qualitative and quantitative elemental analysis of small material areas of a sample by means of X-ray fluorescence on light-optical magnifying imaging devices, wherein a sample location in the sample is selectable by LOAV, with the LOAV the microstructure of the selected probing location can be represented, and from this sample location by means of X-ray fluorescence chemical composition is determinable. In addition, it is provided that primary X-ray radiation can be generated by means of a pyroelectric, piezoelectric effect and / or by utilizing the ferroelectric properties of such a material in order to excite the sample or the material region.
Diese Effekte beschreiben die Eigenschaft von Materialien, die bei äußerer Einwirkung eine Änderung der elektrischen Polarisation und in Folge davon das Auftreten einer Ladung beziehungsweise Spannung zeigen. Die äußere Einwirkung kann eine Temperaturveränderung (pyroelektrischer Effekt), eine Verformung (piezoelektrischer Effekt) oder das Anlegen eines äußeren elektrischen Feldes (ferroelektrischer Effekt) sein.These effects describe the properties of materials that exhibit a change in the electrical polarization and, as a consequence, the occurrence of a charge or voltage when exposed to external forces. The external action may be a temperature change (pyroelectric effect), a deformation (piezoelectric effect) or the application of an external electric field (ferroelectric effect).
Im Sinne der vorliegenden Erfindung wird daher das pyroelektrische, piezoelektrische und/oder ferroelektrische Material zusammenfassend auch als „polarisierbares Material“ bezeichnet.For the purposes of the present invention, therefore, the pyroelectric, piezoelectric and / or ferroelectric material is collectively referred to as "polarizable material".
Die Verwendung von Materialien mit pyroelektrischen, piezoelektrischen oder ferroelektrischen Eigenschaften ermöglicht die Herstellung sehr kleiner Röntgenquellen, vorzugsweise in der Größe eines 10 €-Cent-Stücks und somit die Integration in ein Gehäuse, das klein gehalten werden kann und in oder an eine lichtoptisch vergrößernde Abbildungsvorrichtung integriert werden kann. The use of materials having pyroelectric, piezoelectric or ferroelectric properties enables the production of very small X-ray sources, preferably of the size of a 10-centimeter piece and thus integration into a housing that can be kept small and in or on a light-optical magnifying imaging device can be integrated.
Es lassen sich Energien im Bereich von zum Beispiel 30 keV erhalten, wodurch durch Anregung von Röntgenfluoreszenz in einem Probenmaterial die Analyse weiter Ordnungszahlbereiche und somit aller technisch relevanter Materialien ermöglicht wird. It is possible to obtain energies in the range of, for example, 30 keV, which makes it possible to analyze further atomic number ranges and thus all technically relevant materials by exciting X-ray fluorescence in a sample material.
Erfindungsgemäß ist es erstmals möglich an einer bzw. mittels einer lichtoptisch vergrößernden Abbildungsvorrichtung beispielsweise Fehlstellen und/oder Materialinhomogenitäten auf ihre chemische Zusammensetzung hin zu untersuchen. Durch diese Art der Methodenkopplung kann in vielen Fällen an Ort und Stelle von ausgewählten kleinen Bereichen der Mikrostruktur in der Größenordnung von wenigen Quadratmikrometern zugleich die chemische Elementzusammensetzung ermittelt werden. Damit kann an einer lichtoptisch abgebildeten Probe direkt eine chemische Analyse durchgeführt werden. Es ist nicht mehr erforderlich, die Probe zu einer anderen Vorrichtung zu transportieren, an der dann die chemische Analyse erfolgt. Dadurch ergibt sich für den Anwender eine Zeit- und Kostenersparnis.According to the invention, it is possible for the first time to examine defects or / and material inhomogeneities for their chemical composition, for example, by means of a light-optical magnifying imaging device. In many cases, this type of method coupling enables the chemical element composition to be determined at the same time on the spot of selected small areas of the microstructure on the order of a few square micrometres. In this way, a chemical analysis can be carried out directly on a sample which is optically imaged. It is no longer necessary to transport the sample to another device for chemical analysis. This results in time and cost savings for the user.
Da die erfindungsgemäß eingesetzten Röntgenquellen lediglich eine geringe Versorgungsenergie benötigen, die beispielsweise mittels Batterien bereitgestellt werden kann, ist ein transportabler Einsatz der Vorrichtung möglich. Since the X-ray sources used according to the invention require only a low supply energy, which can be provided, for example, by means of batteries, a portable use of the device is possible.
Ebenfalls vorteilhaft ist, dass es sich bei der erfindungsgemäß eingesetzten Röntgenquelle nicht um einen permanenten Strahler handelt, z.B. radioaktive Isotope, wie sie in anderen Geräten zur RFA eingesetzt werden. It is also advantageous that the X-ray source used according to the invention is not a permanent radiator, e.g. Radioactive isotopes, as used in other devices for RFA.
Vorteilhafterweise ist die Vorrichtung geeignet, um Röntgenfluoreszenzstrahlung energiedispersiv zu spektroskopieren und qualitativ und quantitativ auszuwerten. Advantageously, the device is suitable for energy dispersive X-ray fluorescence spectroscopy and evaluate qualitatively and quantitatively.
Die energiedispersive Spektroskopie (EDX) ermöglicht das gleichzeitige Erfassen hoher Signalmengen und damit die Auswertung in kurzen Zeiträumen. Weiterhin lassen es die Abmaße moderner Halbleiterdetektoren zu, dass sie sich problemlos in eine Vorrichtung nach einer der erfindungsgemäß vorgeschlagenen Varianten integrieren lassen. Energiedispersive Halbleiterdetektoren ermöglichen mit entsprechender Software zu Datenauswertung in der Regel qualitative Analysen der Ordnungszahlen 5–92 und quantitative Analysen der Ordnungszahlen 11–92. Damit lassen sich alle technisch relevanten Elemente erfassen.Energy-dispersive spectroscopy (EDX) allows the simultaneous detection of high signal quantities and thus the evaluation in short periods of time. Furthermore, the dimensions of modern semiconductor detectors allow them to be easily integrated into a device according to one of the variants proposed according to the invention. Energy-dispersive semiconductor detectors, with appropriate software for data analysis, generally allow qualitative analyzes of atomic numbers 5-92 and quantitative analyzes of atomic numbers 11-92. This allows all technically relevant elements to be recorded.
Vorteilhafterweise weist die Vorrichtung eine Fokussiereinheit auf, wie eine Kapillare oder Blende, zur Anpassung des Querschnitts der anregenden primären Röntgenstrahlung, so dass eine Analyse von Messorten < 100 µm im Durchmesser, vorzugsweise < 20 µm im Durchmesser, möglich ist. Advantageously, the device has a focusing unit, such as a capillary or aperture, for adapting the cross section of the exciting primary X-ray radiation, so that an analysis of measuring locations <100 μm in diameter, preferably <20 μm in diameter, is possible.
Die Verringerung des Anregungsquerschnitts auf/in der Probe erlaubt eine ortsaufgelöste chemische Analyse. Dabei sind beispielsweise Inhomogenitäten wie Fremdkörper oder -stoffe oder andere Fehlstellen in einem Material, auch Ausscheidungen in metallischen Gefügen, von Interesse. Somit ist es möglich, Mikrostrukturbestandteile kleiner als 50 µm im Durchmesser zu charakterisieren. The reduction of the excitation cross section on / in the sample allows a spatially resolved chemical analysis. For example, inhomogeneities such as foreign bodies or substances or other defects in a material, including precipitates in metallic structures, are of interest. Thus, it is possible to characterize microstructure constituents smaller than 50 μm in diameter.
Nachstehend wird die vorliegende Erfindung an einem konkreten Beispiel, das eine Kombination der Vorrichtung zur Elementanalyse mit einem Lichtmikroskop als Beispiel für eine LOAV ist, näher erläutert. Es versteht sich jedoch, dass die in diesem Zusammenhang angeführten Ausgestaltungen nicht auf diese Kombination beschränkt sind, sondern auch in analoger Weise auf Kombinationen mit anderen lichtoptisch vergrößernden Abbildungsvorrichtungen anwendbar sind. Hereinafter, the present invention will be explained in more detail by way of a concrete example which is a combination of the elemental analysis device with a light microscope as an example of a LOAV. It is understood, however, that the embodiments mentioned in this context are not limited to this combination, but are also applicable in an analogous manner to combinations with other light-optical magnifying imaging devices.
In einer Ausführungsform der beispielhaften Kombination können eine Röntgenquelle und ein Röntgendetektor an einem Objektiv eines Lichtmikroskops angeordnet sein. Vorzugsweise ist vorgesehen, dass der Objektivträger als Objektivrevolver ausgestaltet ist. In one embodiment of the exemplary combination, an X-ray source and an X-ray detector may be arranged on an objective of a light microscope. It is preferably provided that the lens carrier is designed as an objective turret.
Damit wird kaum zusätzlicher Bauraum benötigt, um ein Spektroskop in ein Lichtmikroskop zu integrieren und Analysen zur chemischen Zusammensetzung in Kombination mit der optischen Mikrostrukturuntersuchung durchzuführen.Thus, hardly any additional space is required to integrate a spectroscope into a light microscope and perform analyzes of the chemical composition in combination with the optical microstructure examination.
Zudem können mit einem Objektivrevolver verschiedene Objektive mit unterschiedlicher Vergrößerung genutzt werden, ohne die Position der Probe zu verändern.In addition, lenses with different magnifications can be used with a nosepiece without changing the position of the specimen.
Eine weitere Ausführungsform sieht vor, dass die Röntgenquelle (RQ) und der Röntgendetektor (RD) als eine Röntgeneinheit ausgebildet sind. Die Röntgeneinheit mit RQ und RD kann derart gegen einen Objektivträger des Mikroskops oder ein Objektiv an diesem austauschbar sein und mit Komponenten zur Aufnahme einer Probe und der Probe selbst so zusammenwirken, dass der ausgewählte Probenort erhalten bleibt. Dadurch können ausgewählte Probenbereiche oder Inhomogenitäten ortsaufgelöst auf ihre Elementzusammensetzung hin untersucht werden.A further embodiment provides that the X-ray source (RQ) and the X-ray detector (RD) are designed as an X-ray unit. The X-ray unit with RQ and RD can thus be exchangeable for a lens carrier of the microscope or a lens at the same and cooperate with components for receiving a sample and the sample itself so that the selected sample location is retained. As a result, selected sample areas or inhomogeneities can be investigated spatially resolved for their elemental composition.
Die Röntgenquelle und der Röntgendetektor können gemeinsam durch eine kraft- und/oder formschlüssige Verbindung an dem Objektiv eines Mikroskops angeordnet sein, so dass die zusätzlichen Komponenten den Einsatz des Lichtmikroskopes nicht beeinträchtigen und parallel die optische und chemische Materialcharakterisierung möglich ist.The X-ray source and the X-ray detector can be arranged together by a non-positive and / or positive connection to the lens of a microscope, so that the additional components do not affect the use of the light microscope and in parallel the optical and chemical material characterization is possible.
Dabei können sich optische und spektroskopische Komponenten an unterschiedlichen Positionen an dem Objektivrevolver befinden. Beispielsweise kann eine Probenoberfläche zunächst mikroskopisch betrachtet werden. Nachfolgend kann dann durch Schwenken, Schieben und/oder Verfahren des Objektivrevolvers das Spektroskop an die Stelle der optischen Komponente, beispielsweise einem Objektiv, positioniert werden. Von Vorteil dabei ist, dass der betrachtete Probenbereich im Zentrum der spektroskopischen Achse bleiben kann. Somit kann ein optisch ausgewählter Probenbereich ortsaufgelöst auf seine chemische Zusammensetzung hin untersucht werden.In this case, optical and spectroscopic components can be located at different positions on the objective nosepiece. For example, a sample surface can first be viewed microscopically. Subsequently, by pivoting, pushing and / or moving the objective turret, the spectroscope can then be positioned at the location of the optical component, for example a lens. From The advantage here is that the considered sample area can remain in the center of the spectroscopic axis. Thus, an optically selected sample area can be investigated spatially resolved for its chemical composition.
In einer weiteren Ausgestaltung kann am Mikroskop ein verschiebbarer Halter zur Aufnahme der Röntgeneinheit senkrecht zur optischen Achse des Mikroskops angeordnet sein. Dadurch ist ein Wechsel zwischen unterschiedlichen Objektiven möglich.In a further embodiment, a displaceable holder for receiving the X-ray unit can be arranged perpendicular to the optical axis of the microscope on the microscope. This allows a change between different lenses.
Dabei können sich dann optische und spektroskopische Komponenten an unterschiedlichen Positionen an diesem Halter befinden. So kann eine Probenoberfläche mikroskopisch betrachtet werden und nachfolgend kann durch Verschieben und/oder Verfahren des Halters das Spektroskop an die Stelle der optischen Komponente positioniert werden. Auch bei dieser Ausführungsform bleibt der betrachtete Probenbereich im Zentrum der spektroskopischen Achse. In this case, then optical and spectroscopic components can be located at different positions on this holder. Thus, a sample surface can be viewed microscopically and subsequently, by moving and / or moving the holder, the spectroscope can be positioned in place of the optical component. Also in this embodiment, the considered sample area remains in the center of the spectroscopic axis.
Das Objektiv kann relativ zur Röntgeneinheit derart angeordnet sein, dass durch eine Ortsänderung der Probe der mittels einer Lichtmikroskopoptik auswählbare Messort auf der Probe erhalten bleibt und die Probe der Röntgeneinheit zuführbar und positionierbar ist. Die Ortsänderung der Probe erfolgt vorzugsweise mittels eines Probentisches.The objective can be arranged relative to the X-ray unit such that the location of the sample which can be selected by means of a light microscope optics is maintained on the sample by a change in the location of the specimen and the specimen can be fed and positioned to the X-ray unit. The change of location of the sample is preferably carried out by means of a sample table.
In diesem Fall wird durch eine Kalibrierung des Probentisches sichergestellt, dass der Verfahrweg des Tisches den exakten Abstand des Fokuspunktes der optischen Komponente (z. B. Objektiv) zum Fokuspunkt der Primärstrahlung beschreibt. So kann die chemische Zusammensetzung eines vorab ausgewählten Probenbereichs ortsaufgelöst ermittelt werden.In this case, a calibration of the sample table ensures that the travel path of the table describes the exact distance of the focal point of the optical component (eg objective) to the focal point of the primary radiation. Thus, the chemical composition of a preselected sample area can be determined spatially resolved.
In einer Ausführungsform der Erfindung kann die Vorrichtung derart ausgestaltet sein, dass das Objektiv und die Röntgeneinheit derart zusammenwirken, dass Röntgenstrahlung durch eine Öffnung im Objektiv oder seitlich am Objektiv vorbei auf eine Probe trifft. Dabei ist ein Austausch der Komponenten nicht notwendig und die Bestimmung der Elementzusammensetzung kann gleichzeitig mit der optischen Probencharakterisierung erfolgen.In one embodiment of the invention, the device can be designed such that the objective and the X-ray unit interact in such a way that X-ray radiation strikes a sample through an opening in the objective or laterally past the objective. In this case, an exchange of the components is not necessary and the determination of the elemental composition can take place simultaneously with the optical sample characterization.
Vorteilhafterweise ist nach einer anderen Ausführungsform der Röntgendetektor am Objektiv befestigt, so dass die Röntgenstrahlung durch Röntgenleiter, beispielsweise einer Kapillare, neben dem Objektiv auf die Probe leitbar ist. Advantageously, according to another embodiment of the X-ray detector is attached to the lens, so that the X-ray radiation by X-ray, for example, a capillary, next to the lens on the sample can be conducted.
Die Vorrichtung kann eine Positioniervorrichtung umfassen, wobei mittels einer Abstandsmessung, beispielsweise durch Laserstrahlen oder Lichtinterferenz, die Ausrichtung des Fokuspunktes der Primärstrahlung auf den ausgewählten Messort der Oberfläche einer Probe erfolgt. Die Positionierungsvorrichtung stellt sicher, dass sich der ausgewählte Probenbereich präzise im Fokuspunkt der Primärstrahlung befindet. So wird sichergestellt, dass die laterale Auflösung möglichst hoch ist und ausschließlich der ausgewählte Probenbereich analysiert wird.The device may comprise a positioning device, wherein by means of a distance measurement, for example by laser beams or light interference, the alignment of the focal point of the primary radiation is carried out on the selected measuring location of the surface of a sample. The positioning device ensures that the selected sample area is precisely in the focal point of the primary radiation. This ensures that the lateral resolution is as high as possible and that only the selected sample area is analyzed.
Die erfindungsgemäß eingesetzte Röntgenquelle dient als Strahlenquelle für die Erzeugung von primärer Röntgenstrahlung. Sie basiert auf der Polarisierung von Materialien durch eine äußere Einwirkung. Die durch die Änderung der Polarisation erzeugte Ladung beziehungsweise Spannung wird zur Erzeugung und Beschleunigung von Elektronen genutzt. Die Elektronen treffen auf ein Target und regen dieses zur Emission der primären Röntgenstrahlung an.The X-ray source used according to the invention serves as a radiation source for the generation of primary X-radiation. It is based on the polarization of materials by an external action. The charge or voltage generated by the change in polarization is used to generate and accelerate electrons. The electrons hit a target and stimulate it to emit the primary x-ray radiation.
Die äußere Einwirkung, die die Polarisation bewirkt, ist bei pyroelektrischen Materialien eine Temperaturänderung. Ebenso kann die primäre Röntgenstrahlung unter Nutzung des piezoelektrischen Effektes, z.B. durch mechanisch oder akustisch induzierte Spannungen in einem piezoelektrischen Material, oder durch ein externes elektrisches Feld unter Nutzung der ferroelektrischen Eigenschaften eines solchen Materials und in Verbindung mit einem geeigneten Target erzeugt werden.The external effect that causes the polarization is a temperature change in pyroelectric materials. Likewise, the primary x-ray radiation may be generated using the piezoelectric effect, e.g. by mechanically or acoustically induced stresses in a piezoelectric material, or by an external electric field utilizing the ferroelectric properties of such material and in conjunction with a suitable target.
Als pyroelektrisches, piezoelektrisches oder ferroelektrisches Material (polarisierbares Material) kommen geeignete, einen entsprechenden Effekt zeigende Materialien in Betracht. Typischerweise handelt es sich hierbei um Kristalle und Keramiken, aber auch Kunststoffmaterialien sind bekannt. Viele piezoelektrische Materialien verhalten sich zugleich pyroelektrisch und/oder auch ferroelektrisch. Ein Beispiel für ein Material, das alle drei Eigenschaften zeigt, ist Bariumtitanat (BaTiO3). Beispiele für sowohl pyroelektrische wie auch piezoelektrische Materialien sind Lithiumtantalat (LiTaO3) und Lithiumniobat (LiNbO3). Beispiele für weitere geeignete piezoelektrische Materialien sind Quarz, Blei-Zirkonat-Titanat (PZT), aber auch bestimmte Kunststoffe wie Polyvinylidenfluorid (PVDF), das sich, ähnlich wie piezoelektrische Kristalle oder Keramiken, polarisieren lässt und dann piezoelektrisch ist.Suitable pyroelectric, piezoelectric or ferroelectric material (polarizable material) are suitable materials exhibiting a corresponding effect. Typically, these are crystals and ceramics, but also plastic materials are known. Many piezoelectric materials behave at the same time pyroelectric and / or ferroelectric. An example of a material showing all three properties is barium titanate (BaTiO 3 ). Examples of both pyroelectric and piezoelectric materials are lithium tantalate (LiTaO 3 ) and lithium niobate (LiNbO 3 ). Examples of other suitable piezoelectric materials are quartz, lead zirconate titanate (PZT), but also certain plastics such as polyvinylidene fluoride (PVDF) which, like piezoelectric crystals or ceramics, can be polarized and then piezoelectric.
Für eine pyroelektrisch betriebene Röntgenquelle wird das pyroelektrische Material einer Temperaturänderung unterworfen, zum Beispiel um 130 bis 150 °C. Hierzu kann das Material mit einer geeigneten Heizvorrichtung verbunden und erwärmt werden, zum Beispiel einer SMD (surface mounted device) Widerstandsheizung. For a pyroelectrically operated X-ray source, the pyroelectric material is subjected to a temperature change, for example, about 130 to 150 ° C. For this purpose, the material can be connected to a suitable heating device and heated, for example, an SMD (surface mounted device) resistance heating.
Die Temperaturänderung bewirkt die Änderung der Polarisation.The temperature change causes the change of the polarization.
Als piezoelektrisch betriebene Röntgenquelle kann ein piezoelektrischer Transformator eingesetzt werden. Piezoelektrische Transformatoren und deren Funktionsweise sind an sich bekannt.As a piezoelectrically operated X-ray source, a piezoelectric transformer can be used. Piezoelectric transformers and their operation are known per se.
Kernstück eines piezoelektrischen Transformators (PT) ist ein piezoelektrisches Material, das einen ersten Bereich (Primärbereich) mit einer ersten Polarisation und einen zweiten Bereich (Sekundärbereich) mit einer zweiten Polarisation aufweist. Durch Anlegen einer Niedervolt-Wechselspannung (Uin), die eine Frequenz aufweist, die einer Resonanzfrequenz des piezoelektrischen Materials entspricht, an den Primärbereich werden mechanische (akustische) Schwingungen erzeugt, die auf den Sekundärbereich übertragen werden und dort aufgrund der Resonanz eine Hochspannung (Uout) induzieren.At the heart of a piezoelectric transformer (PT) is a piezoelectric material having a first region (primary region) with a first polarization and a second region (secondary region) with a second polarization. By applying a low-voltage AC voltage (U in ) having a frequency corresponding to a resonant frequency of the piezoelectric material to the primary region, mechanical (acoustic) vibrations are generated which are transmitted to the secondary region where a high voltage (U out ).
Gemäß einer Ausgestaltung kann ein piezoelektrischer Transformator eingesetzt werden, bei dem Primärbereich und Sekundärbereich galvanisch voneinander getrennt sind. Hierfür kann eine Isolationsschicht zwischen dem Primär- und dem Sekundärbereich vorgesehen sein. Beispiele für geeignete Isolationsmaterialien sind insbesondere Keramiken.According to one embodiment, a piezoelectric transformer can be used in which the primary region and the secondary region are galvanically separated from one another. For this purpose, an insulation layer between the primary and the secondary region may be provided. Examples of suitable insulating materials are in particular ceramics.
Ein Beispiel für einen geeigneten PT ist ein sogenannter Rosentyp-Transformator, mit dem sich hohe Spannungsverstärkungen realisieren lassen. Rosentyp-Transformatoren haben eine Balkenform, wobei die Polarisation des Primärbereichs transversal und die Polarisation des Sekundärbereichs longitudinal ausgerichtet ist. Die durch Anlegen einer Niedervoltspannung an den Primärbereich induzierte Spannung in dem Sekundärbereich ist damit an dem Ende des Sekundärbereichs am höchsten, das dem Primärbereich gegenüberliegt.An example of a suitable PT is a so-called rose-type transformer, with which high voltage gains can be realized. Rose type transformers have a beam shape with the primary region polarized transversely and the secondary region polarized longitudinally. The voltage induced in the secondary region by applying a low voltage to the primary region is thus highest at the end of the secondary region opposite the primary region.
Die durch die Änderung der Polarisation des polarisierbaren Materials induzierte Ladung beziehungsweise Spannung bewirkt ein elektrisches Feld, das zur Generierung eines Plasmas genutzt werden kann. Mit den Elektronen des Plasmas lässt sich ein geeignetes Target zur Emission von primärer Röntgenstrahlung anregen.The charge or voltage induced by the change in the polarization of the polarizable material causes an electric field that can be used to generate a plasma. With the electrons of the plasma, a suitable target for the emission of primary X-radiation can be excited.
Die erfindungsgemäß eingesetzte Röntgenquelle umfasst damit das polarisierbare Material, Mittel zur Änderung der Polarisation des polarisierbaren Materials und ein Target. Vorzugsweise sind zumindest das polarisierbare Material und das Target in einem vakuumdichten Gehäuse untergebracht. In dem vakuumdichten Gehäuse ist das polarisierbare Material in Kontakt mit einem Arbeitsgas zur Ausbildung des Plasmas. Der Druck des Arbeitsgases ist ausreichend niedrig, um eine Wechselwirkung der Elektronen mit dem Target zu ermöglichen. Ein geeigneter Druckbereich für das Arbeitsgas liegt zum Beispiel bei 10–5 bis 2 × 10–3 mbar. Das Gehäuse weist vorzugsweise Mittel zur Zuführung und Ableitung des Arbeitsgases und Einstellung des Gasdrucks auf. The X-ray source used according to the invention thus comprises the polarizable material, means for changing the polarization of the polarizable material and a target. Preferably, at least the polarizable material and the target are housed in a vacuum-tight housing. In the vacuum-tight housing, the polarizable material is in contact with a working gas to form the plasma. The pressure of the working gas is sufficiently low to allow interaction of the electrons with the target. A suitable pressure range for the working gas is, for example, 10 -5 to 2 × 10 -3 mbar. The housing preferably has means for supplying and discharging the working gas and adjusting the gas pressure.
Das Arbeitsgas kann die Restluft sein, die nach Einstellung des Drucks verbleibt. Als Arbeitsgas für die Gasentladung kommen zum Beispiel auch ein Edelgas wie Argon, Stickstoff, Methan, Luft oder Mischungen davon in Frage. Ein Beispiel für eine geeignete Mischung ist Argon mit Methan. The working gas may be the residual air that remains after adjusting the pressure. As a working gas for the gas discharge, for example, a noble gas such as argon, nitrogen, methane, air or mixtures thereof come into question. An example of a suitable mixture is argon with methane.
Um die primäre Röntgenstrahlung zu erhalten, werden die erzeugten Elektronen auf ein metallisches Target gerichtet, das durch Wechselwirkung mit den Elektronen die primäre Röntgenstrahlung abstrahlt. Die primäre Röntgenstrahlung tritt durch ein für Röntgenstrahlung durchlässiges Fenster aus dem Gehäuse mit der Röntgenquelle heraus und wird auf die Probe gelenkt. In order to obtain the primary X-radiation, the generated electrons are directed onto a metallic target, which radiates the primary X-radiation by interaction with the electrons. The primary X-radiation exits the X-ray source housing through an X-ray transmissive window and is directed to the sample.
Beispiele für geeignete Metalle für das Target sind Blei, Molybdän, Gold, Tantal, etc.. Bei Bedarf kann das Target auch als Anode ausgestaltet sein, und zum Beispiel mit dem politiven Pol eines PT verbunden sein.Examples of suitable metals for the target are lead, molybdenum, gold, tantalum, etc. If desired, the target can also be designed as an anode, for example connected to the political pole of a PT.
Der Einsatz einer piezoelektrischen Röntgenquelle ist insbesondere dann von Vorteil, wenn die thermische Belastung der Probe und der optischen und elektronischen Bauteile der erfindungsgemäßen Vorrichtung möglichst gering gehalten werden sollen.The use of a piezoelectric X-ray source is particularly advantageous if the thermal load of the sample and the optical and electronic components of the device according to the invention should be kept as low as possible.
Zum Beispiel werden pyroelektrische Materialien im Betrieb auf eine Temperatur von ca. 100 °C aufgeheizt. Dies kann insbesondere dann zu einer unerwünschten thermischen Belastung führen, wenn das pyroelektrische Material in der Nähe der Probe angeordnet ist, um zum Einen eine ausreichende Röntgenintensität am Messort zu erreichen und zum Anderen in Hinblick auf die gewünschte Miniaturisierung der Anlage. Ein weiterer Vorteil einer piezoelektrischen Röntgenquelle gegenüber einer pyroelektrischen Quelle ist, dass die langen Messzyklen vermieden werden können, die aufgrund der erforderlichen Temperaturwechsel des pyroelektrischen Materials entstehen. For example, pyroelectric materials are heated in operation to a temperature of about 100 ° C. This can lead to an undesirable thermal load, in particular, if the pyroelectric material is arranged in the vicinity of the sample, in order to achieve sufficient X-ray intensity at the measuring location, and also with regard to the desired miniaturization of the system. Another advantage of a piezoelectric X-ray source over a pyroelectric source is that it can avoid the long measurement cycles that arise due to the required temperature changes of the pyroelectric material.
Die Besonderheit der erfindungsgemäßen Vorrichtung besteht darin, dass es möglich ist, durch die Nutzung der polarisierbaren Materialien vergleichsweise kleine Strahlenquellen herzustellen, welche jedoch keine permanenten Strahler sind. Dadurch wird es möglich sehr kleine Spektroskope herzustellen, die erstmals zur Elementanalyse insbesondere an Lichtmikroskopen oder anderen LOAV genutzt werden können. The peculiarity of the device according to the invention is that it is possible by the use of polarizable materials to produce comparatively small radiation sources, which however are not permanent emitters. This makes it possible to produce very small spectroscopes, which can be used for the first time for elemental analysis, especially on light microscopes or other LOAV.
Ein Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung im Vergleich zu bekannten Vorrichtungen ergibt sich aus der kleinen und kompakten Bauweise sowie einfachen Bedienbarkeit mit geringem Kalibrieraufwand. Zudem ist der geforderte Platz- und Energiebedarf für dieses Prüfgerät sowie für die Peripheriegeräte deutlich geringer als bei herkömmlichen Prüfgeräten. Da die zu untersuchenden Proben unter Umgebungsbedingungen/Atmosphäre, d.h. bei normalem Luftdruck, geprüft werden können und kein Vakuum wie z.B. im Rasterelektronenmikroskop notwendig ist, können ebenso feuchte und porige Proben analysiert werden. Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Elementanalyse kann zum Beispiel mit Hilfe von Adapterlösungen in eine lichtoptische Abbildungsvorrichtung wie zum Beispiel ein Lichtmikroskop integriert werden. An advantage of the device according to the invention in comparison with known devices results from the small and compact design and ease of use with low Kalibrieraufwand. In addition, the required space and energy requirements for this tester and for the peripheral devices is significantly lower than with conventional test equipment. Since the samples to be tested are under ambient conditions / atmosphere, i. at normal air pressure, can be tested and no vacuum such. In the scanning electron microscope is necessary, also wet and porous samples can be analyzed. The device for elemental analysis according to the invention can for example be integrated with the aid of adapter solutions in a light-optical imaging device such as a light microscope.
Da die Nutzung der Vorrichtung zur Elementanalyse mittels Batteriebetrieb möglich ist, kann das Spektroskop ebenfalls transportabel verwendet werden. Durch eine Kombination der Vorrichtung zur Elementanalyse mit einer LOAV, zum Beispiel einem Mikroskop, können integrale und lokale Elementanalysen durchgeführt werden.Since the use of the device for elemental analysis by means of battery operation is possible, the spectroscope can also be used for transport. By combining the elemental analysis device with a LOAV, for example a microscope, integral and local elemental analyzes can be performed.
Die Vorrichtung zur qualitativen und quantitativen Elementanalyse an einer lichtoptisch vergrößernden Abbildungsvorrichtung kann beispielsweise folgende Bestandteile umfassen:
- – Gehäuse mit einer pyroelektrisch, piezoelektrisch oder ferroelektrisch betreibenen Röntgenquelle zur Erzeugung von primärer Röntgenstrahlung Rö1 zum Bestrahlen einer Probe
- – einen energiedispersiven Detektor
- – eine Vorrichtung zur Befestigung an der LOAV
- – eine Messeinheit zur Prozessüberwachung und Verarbeitung von Messdaten,
- – eine Rechen- und Steuereinheit zur Auswertung der Messdaten und Eingabe von Steuerbefehlen, wobei die Auswertung aller Messsignale mittels entsprechender Software erfolgt,
- – eine Datenspeichereinheit zur Speicherung der Prozessparameter, Messsignale und Analyseergebnisse, und
- – ein Anzeigegerät zur Ausgabe der Messdaten bzw. Spektren, Eingabe von Steuerbefehlen und Ausgabe von Analyseergebnisse, wobei
- – der Detektor mit der Signalverstärker- und Verarbeitungseinheit, der Messeinheit und Rechen- und Steuereinheit derart zusammenwirkt, dass die in der Probe enthaltenen chemischen Elemente analysierbar sind.
- - Housing with a pyroelectric, piezoelectric or ferroelectric operated X-ray source for generating primary X-rays Rö 1 for irradiating a sample
- - an energy dispersive detector
- - a device for attachment to the LOAV
- A measuring unit for process monitoring and processing of measured data,
- A computing and control unit for evaluating the measurement data and inputting control commands, wherein the evaluation of all measurement signals takes place by means of appropriate software,
- A data storage unit for storing the process parameters, measurement signals and analysis results, and
- - A display device for outputting the measured data or spectra, input of control commands and output of analysis results, wherein
- - The detector cooperates with the signal amplifier and processing unit, the measuring unit and computing and control unit such that the chemical elements contained in the sample are analyzable.
Eine Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass das Gehäuse mit Röntgenquelle zusätzlich umfasst:
- – eine Einrichtung zur Abstandsmessung zwischen der Röntgenquelle oder Gehäuseunterkante und einer Probenoberfläche und
- – eine Fokussiereinheit zur Verringerung des Querschnitts der primären Röntgenstrahlung Rö1 und / oder charakteristischen Röntgenstrahlung Rö2 zur ortsaufgelösten Messung.
- A device for distance measurement between the X-ray source or housing lower edge and a sample surface and
- A focussing unit for reducing the cross section of the primary X-ray radiation R 1 and / or characteristic X-ray radiation R 2 for spatially resolved measurement.
Die Fokussiereinheit kann beispielsweise eine Glasfaserkapillaroptik oder eine Blende sein.The focussing unit can be, for example, a fiberglass capillary optic or a diaphragm.
Mit der Fokussiereinheit ist es ebenso möglich, ortsaufgelöste Elementanalysen durchzuführen. Der energiedispersive Detektor und/oder die Einrichtung zur Abstandsmessung und/oder die Fokussiereinheit können außerhalb oder innerhalb des Gehäuses angeordnet sein und stehen mit diesem in Verbindung.With the focusing unit, it is also possible to perform spatially resolved elemental analysis. The energy-dispersive detector and / or the device for distance measurement and / or the focusing unit can be arranged outside or inside the housing and communicate with it.
Nach einer Ausgestaltung der Erfindung weist die Vorrichtung zusätzlich eine Energieversorgungseinrichtung auf. Dadurch wird die transportable Anwendung der Vorrichtung möglich. Es können demnach zerstörungsfreie Untersuchungen zur chemischen Zusammensetzung im Feldeinsatz durchgeführt werden. According to one embodiment of the invention, the device additionally has a power supply device. This makes the portable application of the device possible. Accordingly, non-destructive chemical composition studies can be carried out in the field.
In einer weiteren Ausgestaltung weist die Vorrichtung zusätzlich eine Schnittstelle zur Datenweitergabe auf. So können im Laboreinsatz vorhandene Geräte (Laptop, PC etc.) oder im Feldeinsatz transportable Geräte (Laptop, Tablet PC, Smartphone oder ähnliches) genutzt werden. Dabei können die Geräte zur Eingabe von Steuerbefehlen und / oder zur Ausgabe von Messwerten, Spektren und Analyseergebnissen genutzt werden. In a further embodiment, the device additionally has an interface for data transfer. Thus, in the laboratory use existing devices (laptop, PC, etc.) or in field use portable devices (laptop, tablet PC, smartphone or the like) can be used. The devices can be used to enter control commands and / or to output measured values, spectra and analysis results.
Vorteilhafterweise umfasst die Vorrichtung eine Controllerbox, in der zumindest
- – die Signalverstärker- und Verarbeitungseinheit,
- – die Messeinheit,
- – die Rechen- und Steuereinheit,
- – die Energieversorgungseinrichtung und
- – die Datenspeichereinheit
- The signal amplifier and processing unit,
- - the measuring unit,
- - the computing and control unit,
- - the power supply device and
- - the data storage unit
Die Controllerbox dient zur Steuerung des Messsystems an sich, sowie der Verarbeitung, Weitergabe und Auswertung von Messsignalen, der Datenleitung und Energieversorgung und als Schnittstelle zur Datenausgabe.The controller box is used to control the measuring system itself, as well as the processing, transfer and evaluation of measuring signals, the data line and power supply and as an interface for data output.
Hierzu können in der Controllerbox zusätzliche Schnittstellen zur Datenweitergabe angeordnet sein.For this purpose, additional interfaces for data transfer can be arranged in the controller box.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann durch die Adaptereinrichtung mit einer beliebigen LOAV wie beispielsweise einer Kamera oder einem Mikroskop, gekoppelt werden. Durch die Adaptereinrichtung kann zum Beispiel eine spezielle Anpassung auf die jeweiligen Gewindearten von herkömmlichen Mikroskopen, speziell Lichtmikroskopen, erfolgen.The device according to the invention can be coupled by the adapter device to any LOAV, such as a camera or a microscope. By means of the adapter device, for example, a special adaptation to the respective thread types of conventional microscopes, especially light microscopes, can take place.
Eine Abstandsmessung kann beispielsweise in Ausführung von lichtoptischen Messmethoden mit visueller Auswertung ausgeführt werden.A distance measurement can be carried out, for example, in the execution of light-optical measurement methods with visual evaluation.
Mit der Vorrichtung zur Elementanalyse kann die chemische Zusammensetzung der unterschiedlichsten Materialien geprüft werden. Diese können sein:
- – Bauteile, und/oder archäologische, mineralogische und/oder geologische Proben,
- – Werkstoffe
- – feuchte und / oder porige und / oder ölige Materialien.
- - components, and / or archaeological, mineralogical and / or geological samples,
- - Materials
- - Moist and / or porous and / or oily materials.
Verfahrensgemäß kann zur qualitativen und quantitativen Elementanalyse kleiner Materialbereiche einer Probe mittels Röntgenfluoreszenz an LOAV ein Probenort in der Probe mittels der LOAV ausgewählt werden und von diesem Probenort mittels Röntgenfluoreszenz die chemische Zusammensetzung bestimmt werden. According to the method, a sample location in the sample can be selected by means of the LOAV for the qualitative and quantitative elemental analysis of small material areas of a sample by means of X-ray fluorescence at LOAV and the chemical composition can be determined from this sample location by means of X-ray fluorescence.
Verfahrensgemäß erfolgt die Anregung der Probe oder des Materialbereichs durch primäre Röntgenstrahlung, die mit Hilfe eines pyroelektrischen, piezoelektrischen und/oder ferroelektrischen Effekts erzeugt wird. According to the method, the excitation of the sample or of the material region is effected by primary X-radiation, which is generated by means of a pyroelectric, piezoelectric and / or ferroelectric effect.
Vorzugsweise wird Röntgenstrahlung energiedispersiv spektroskopiert und qualitativ und/oder quantitativ ausgewertet. Für die Durchführung des Verfahrens wird vorzugsweise eine Vorrichtung zur Elementanalyse an LOAV eingesetzt, wie sie gleichfalls Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist.Preferably, X-ray radiation is energy-dispersively spectroscopically and evaluated qualitatively and / or quantitatively. For the implementation of the method, a device for elemental analysis of LOAV is preferably used, as it is also the subject of the present invention.
Das Verfahren zur qualitativen und/oder quantitativen Elementanalyse an LOAV kann zumindest folgende Verfahrensschritte beinhalten:
- – Erzeugung einer Röntgenstrahlung Rö1 mittels einer pyroelektrischen, piezoelektrischen und/oder ferroelektrischen Röntgenquelle und Bestrahlen einer Probe,
- – Detektierung einer von der Probe emittierten charakteristischen Röntgenstrahlung Rö2 vorzugsweise mittels eines energiedispersiven Detektors,
- – Wandlung, Verstärkung, Weiterleitung und Verarbeitung der durch die Röntgenstrahlung Rö2 im Detektor erzeugten Messsignale mittels einer Signalverstärker- und Verarbeitungseinheit,
- – Ermittlung von Messdaten mittels entsprechender Messsensorik zur Prozessüberwachung mittels einer Messeinheit,
- – Auswertung der Messdaten und Eingabe von Steuerbefehlen mittels einer Rechen- und Steuereinheit, und Auswertung aller Messsignale mittels entsprechender Software,
- – Speicherung der Messdaten/Spektren, und Analyseergebnisse mittels einer Datenspeichereinheit und
- – Ausgabe der Messdaten, Spektren und Analyseergebnisse mittels eines Anzeigegeräts, wobei
- – der Detektor mit der Signalverstärker- und Verarbeitungseinheit, der Messeinheit und Rechen- und Steuereinheit derart zusammenwirkt, dass die in der Probe enthaltenen chemischen Elemente analysierbar werden.
- Generation of an X-ray radiation R 1 by means of a pyroelectric, piezoelectric and / or ferroelectric X-ray source and irradiation of a sample,
- Detecting a characteristic X-radiation Ro 2 emitted by the sample, preferably by means of an energy-dispersive detector,
- Conversion, amplification, transmission and processing of the measurement signals generated by the X-ray radiation R 2 in the detector by means of a signal amplifier and processing unit,
- Determination of measured data by means of corresponding measuring sensors for process monitoring by means of a measuring unit,
- - Evaluation of the measured data and input of control commands by means of a computing and control unit, and evaluation of all measured signals by means of appropriate software,
- Storage of the measured data / spectra and analysis results by means of a data storage unit and
- - Output of measurement data, spectra and analysis results by means of a display device, wherein
- - The detector cooperates with the signal amplifier and processing unit, the measuring unit and computing and control unit such that the chemical elements contained in the sample are analyzable.
Der Vorteil gegenüber anderen Verfahren besteht darin, dass erstmals die Bestimmung der chemischen Zusammensetzung einer Probe direkt an einer beliebigen LOAV ermöglicht wird. Ist die LOAV zum Beispiel ein Mikroskop wie ein Lichtmikroskop, kann die beschriebene Vorrichtung beispielsweise in einer Objektivwechselvorrichtung angeordnet werden.The advantage over other methods is that for the first time it is possible to determine the chemical composition of a sample directly at any LOAV. For example, if the LOAV is a microscope such as a light microscope, the described device can be arranged in a lens changing device.
Die Flexibilität, Kompaktheit und die analytischen Vorteile der Vorrichtung zur Elementanalyse bilden gegenüber bereits bekannten Systemen wesentliche Alleinstellungsmerkmale. Durch ein derartiges Spektroskop kann auf dem Gebiet der korrelativen Mikroskopie und der transportablen Analytik ein wichtiger technischer Fortschritt erreicht werden.The flexibility, compactness and analytical advantages of the device for elemental analysis form significant unique features over already known systems. By means of such a spectroscope, important technical progress can be achieved in the field of correlative microscopy and transportable analytics.
Die Vorrichtung zeichnet sich durch einen geringen Energiebedarf aus und kann über Energiespeichermedien, wie beispielsweise Akkumulatoren oder Batterien, oder transportable Energiequellen, wie z.B. Solarmodule, gespeist werden. The device is characterized by low energy consumption and can be supplied via energy storage media, such as accumulators or batteries, or transportable energy sources, e.g. Solar modules to be fed.
Die Vorrichtung kann für transportable bzw. mobile Anwendungen, d.h. Messungen im Feld, aber auch für stationäre Anwendungen, beispielsweise Messungen am Mikroskop, speziell am Lichtmikroskop genutzt werden.The device may be used for portable or mobile applications, i. Measurements in the field, but also for stationary applications, such as measurements on the microscope, are used especially at the light microscope.
Beispielhaft werden Ausführungsformen der Erfindung in den nachfolgenden Figuren dargestellt und näher beschrieben, wobei die Erfindung jedoch nicht hierauf beschränkt ist. By way of example, embodiments of the invention will be illustrated and described in more detail in the following figures, but the invention is not limited thereto.
Es zeigen:Show it:
Die Funktionsweise der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird unter Verweis auf
Gezeigt ist in
Das Gehäuse
Der PT kann typischerweise mit einer elektrischen Spannung im Bereich von 2 V bis 20 V angeregt werden. Damit kann eine elektrische Spannung in einer Größenordnung von 20 kV bis 100 kV erzeugt werden. Typische Resonanzfrequenzen liegen in einem Bereich von 2 Hz bis 10 kHz. The PT can typically be excited with an electrical voltage in the range of 2V to 20V. Thus, an electrical voltage in the order of 20 kV to 100 kV can be generated. Typical resonance frequencies are in a range of 2 Hz to 10 kHz.
Der PT ist auf bekannte Art und Weise mit elektrischen Leitungen zur Spannungsanlegung versehen, die hier nicht gezeigt sind. Durch Anlegen der Anregungsspannung an den Primärbereich des PT werden mechanische (akustische) Schwingungen erzeugt, die auf den Sekundärbereich übertragen werden und dort eine Hochspannung induzieren. Die induzierte Hochspannung beziehungsweise das damit einhergehende elektrische Feld bewirkt die Entladung des Arbeitsgases. Die Elektronen des gebildeten Plasmas werden zur Erzeugung der primären Röntgenstrahlung genutzt. The PT is provided in a known manner with electrical lines for voltage application, which are not shown here. By applying the excitation voltage to the primary region of the PT, mechanical (acoustic) vibrations are generated, which are transmitted to the secondary region and induce a high voltage there. The induced high voltage or the associated electric field causes the discharge of the working gas. The electrons of the plasma formed are used to generate the primary X-radiation.
In analoger Weise können die Elektronen, die für die Bildung der primären Röntgenstrahlung eingesetzt werden, mit Hilfe einer pyroelektrischen und/oder ferroelektrisch betriebenen Röntgenquelle
Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur qualitativen und quantitativen Elementanalyse an LOAV und ihre Funktionsweise wird in
Die in
- – eine pyroelektrische, piezoelektrische und/oder ferroelektrischen Röntgenquelle
2 zur Erzeugung einer Röntgenstrahlung Rö1 zum Bestrahlen einerProbe 11 , wobei die Röntgenquelle2 (mit einem in der Figur nicht gezeigten Target) in einem Gehäuse1‘ angeordnet ist, - – einen energiedispersiven Detektor
3 , der an oder in dem Gehäuse1‘ zur Detektierung einer von derProbe 11 emittierten Röntgenstrahlung Rö2 angeordnet ist, wobei das Gehäuse1‘ eine Einrichtung 12 , in Form eines Adapters, zur Adaption des Gehäuses1‘ an ein nicht inder 2 gezeigtes Mikroskop aufweist, - – eine Signalverstärker-
und Verarbeitungseinheit 4 zur Wandlung, Verstärkung, Weiterleitung und Verarbeitung desim Detektor 3 durch die charakteristische Röntgenstrahlung Rö2 erzeugten Messsignals, - –
eine Messeinheit 5 zur Prozessüberwachung und Verarbeitung von Messdaten, - – eine Rechen- und Steuereinheit
6 zur Auswertung der Messdaten und Eingabe von Steuerbefehlen, - –
eine Datenspeichereinheit 8 zur Speicherung der Prozessparameter, Messsignale und Analyseergebnisse und - –
ein Anzeigegerät 10 zur Ausgabe der Messdaten, Eingabe von Steuerbefehlen und Ausgabe von Analyseergebnisse, wobei - –
der Detektor 3 mit der Signalverstärker-und Verarbeitungseinheit 4 ,der Messeinheit 5 und Rechen- und Steuereinheit6 derart zusammenwirkt, dass die inder Probe 11 enthaltenen chemischen Elemente analysierbar sind.
- - A pyroelectric, piezoelectric and / or
ferroelectric X-ray source 2 for generating an X-radiation Rö 1 for irradiating asample 11 , wherein the X-ray source2 (with a target, not shown in the figure) in a housing1' is arranged - - an
energy dispersive detector 3 , on or in the case1' for detecting one of thesample 11 emitted X-radiation Rö 2 is arranged, wherein the housing1' Aninstitution 12 , in the form of an adapter, for adapting the housing1' to a not in the2 has shown microscope, - A signal amplifier and
processing unit 4 for conversion, amplification, transmission and processing of thedetector 3 measurement signal generated by the characteristic X-ray radiation R 2 , - - a
measurement unit 5 for process monitoring and processing of measurement data, - - a computing and control unit
6 for evaluation of the measured data and input of control commands, - - a data storage unit
8th for storing the process parameters, measurement signals and analysis results and - - a
display device 10 to output the measured data, input of control commands and output of analysis results, where - - the
detector 3 with the signal amplifier andprocessing unit 4 , themeasurement unit 5 and computing and control unit6 interacts in such a way that in thesample 11 contained chemical elements are analyzable.
Die Vorrichtung
Hierbei stellen in allen Figuren die gestrichelten Linien jeweils einen Daten- und Informationsfluss dar. Die Linien mit Punkten kennzeichnen den jeweiligen Energiefluss von der Energieversorgungseinrichtung
Die Vorrichtung
In der
Demgemäß kann eine Abstandsmessung zwischen der Röntgenquelle
In
- – Erzeugung einer Röntgenstrahlung Rö1 mittels einer pyroelektrischen, piezoelektrischen und/oder ferroelektrischen Röntgenquelle
2 und Bestrahlen einerProbe 11 mit einer Probenoberfläche11‘ , - – Detektierung einer von der
Probe 11 emittierten charakteristischen Röntgenstrahlung Rö2 mittels eines energiedispersiven Detektors3 , - – Wandlung, Verstärkung, Weiterleitung und Verarbeitung der durch die Rö2 im Detektor
3 erzeugten Messsignale mittels einer Signalverstärker-und Verarbeitungseinheit 4 , - – Ermittlung von Messdaten zur Prozessüberwachung mittels einer Messeinheit
5 , - – Auswertung der Messdaten und Eingabe von Steuerbefehlen mittels einer Rechen- und Steuereinheit
6 , und Auswertung aller Messsignale, - – Speicherung der Messdaten und/oder Spektren und Analyseergebnisse mittels einer Datenspeichereinheit
8 , und - – Ausgabe der Messdaten, Spektren und Analyseergebnisse mittels eines Anzeigegeräts
10 , wobei - – der Detektor mit der Signalverstärker-
und Verarbeitungseinheit 4 ,der Messeinheit 5 und Rechen- und Steuereinheit6 derart zusammenwirkt, dass die in der Probe enthaltenen chemischen Elemente analysierbar werden.
- - Generation of an X-ray radiation Rö 1 by means of a pyroelectric, piezoelectric and / or
ferroelectric X-ray source 2 and irradiating asample 11 with a sample surface11 ' . - - Detecting one of the
sample 11 emitted characteristic X-ray Rö 2 by means of an energy-dispersive detector 3 . - - Conversion, amplification, transmission and processing by the Rö 2 in the
detector 3 generated measuring signals by means of a signal amplifier andprocessing unit 4 . - - Determination of measurement data for process monitoring by means of a measuring
unit 5 . - - Evaluation of the measured data and input of control commands by means of a computing and control unit
6 , and evaluation of all measurement signals, - - Storage of the measured data and / or spectra and analysis results by means of a data storage unit
8th , and - - Output of measured data, spectra and analysis results by means of a
display device 10 , in which - - The detector with the signal amplifier and
processing unit 4 , themeasurement unit 5 and computing and control unit6 cooperates in such a way that the chemical elements contained in the sample become analyzable.
Der Weg des jeweiligen Daten- und Informationsflusses ist hierbei mit I1 bis I6 gekennzeichnet. Beispielsweise kennzeichnet das Symbol I1 den Weg des Daten- und Informationsflusses von der Rechen- und Steuereinheit
In der
In der Tabelle 1 sind die Vorteile der Vorrichtung als Produktvorteile aufgeführt und der hieraus resultierende Kundennutzen dargelegt. Tabelle 1:
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
- 11
- Vorrichtung (ohne Mikroskop) Device (without microscope)
- 1‘1'
- Gehäuse casing
- 1a1a
- Gehäuseunterkante Housing bottom
- 1‘‘1''
- Controllerbox Controllerbox
- 2 2
- Röntgenquelle X-ray source
- 33
- Detektor detector
- 44
- Signalverstärkungs- und Verarbeitungseinheit Signal amplification and processing unit
- 55
- Messeinheit measuring unit
- 66
- Rechen- und Steuereinheit Computing and control unit
- 77
- Energieversorgungseinheit Power supply unit
- 88th
- Datenspeichereinheit Data storage unit
- 99
- Schnittstelle interface
- 1010
- Anzeigegerät display
- 1111
- Probe sample
- 1212
- Adapter adapter
- 1313
- Einrichtung zur Abstandsmessung Device for distance measurement
- 1414
- Fokussiereinheit focusing
- 1515
- Target target
- 1616
- Röntgenstrahl-durchlässiges Fenster X-ray permeable window
- 1717
- LOAV LOAV
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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Zitierte PatentliteraturCited patent literature
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6965663B2 (en) * | 2002-03-27 | 2005-11-15 | Horiba, Ltd. | X-ray analysis apparatus and method |
EP0781992B1 (en) * | 1995-12-21 | 2006-06-07 | Horiba, Ltd. | Fluorescence X-ray analyzer |
DE69535038T2 (en) * | 1995-12-21 | 2006-12-28 | Horiba Ltd. | X-ray fluorescence analyzer |
JP2007292476A (en) * | 2006-04-21 | 2007-11-08 | Shimadzu Corp | Combined device of optical microscope and x-ray analyzer |
DE102010034666A1 (en) | 2009-08-28 | 2011-03-03 | Sii Nano Technology Inc. | X-ray analysis device and X-ray analysis method |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0781992B1 (en) * | 1995-12-21 | 2006-06-07 | Horiba, Ltd. | Fluorescence X-ray analyzer |
DE69535038T2 (en) * | 1995-12-21 | 2006-12-28 | Horiba Ltd. | X-ray fluorescence analyzer |
US6965663B2 (en) * | 2002-03-27 | 2005-11-15 | Horiba, Ltd. | X-ray analysis apparatus and method |
JP2007292476A (en) * | 2006-04-21 | 2007-11-08 | Shimadzu Corp | Combined device of optical microscope and x-ray analyzer |
DE102010034666A1 (en) | 2009-08-28 | 2011-03-03 | Sii Nano Technology Inc. | X-ray analysis device and X-ray analysis method |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11175488B2 (en) | 2016-02-18 | 2021-11-16 | Oculyze Gmbh | Mobile microscope assembly |
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