DE102014209172A1 - Apparatus for focusing a viscous medium, jet system and production equipment dispensed from a dispensing opening of a dispenser of a jet apparatus - Google Patents

Apparatus for focusing a viscous medium, jet system and production equipment dispensed from a dispensing opening of a dispenser of a jet apparatus Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Fokussieren eines aus einer Ausgabeöffnung einer Ausgabevorrichtung einer Jet-Vorrichtung ausgegebenen viskosen Mediums, gekennzeichnet durch Mittel zur Erzeugung eines Gasstroms und eine Düsenvorrichtung mit mindestens einem Gasauslass und einer Öffnung für das viskose Medium.The invention relates to a device for focusing a viscous medium dispensed from a dispensing opening of a dispensing device of a jet device, characterized by means for generating a gas flow and a nozzle device having at least one gas outlet and a viscous medium opening.

Description

Stand der TechnikState of the art

Die Erfindung geht aus von einer Vorrichtung zum Fokussieren eines aus einer Ausgabeöffnung einer Ausgabevorrichtung einer Jet-Vorrichtung ausgegebenen viskosen Mediums, einem Jet-System und einer Produktionsanlage nach Gattung des unabhängigen Anspruchs. The invention is based on a device for focusing a viscous medium, a jet system and a production plant according to the preamble of the independent claim dispensed from an output opening of an output device of a jet device.

Zum berührungslosen Dosieren von Tropfen eines viskosen Mediums, beispielsweise eines Klebstoffs oder eines Lots, auf ein Substrat ist das Jetten bekannt. Eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Jetten von Tropfen sind beispielsweise aus der WO1999/064167 A1 bekannt. Hierin befindet sich das viskose Medium in einer Ausgabekammer und wird durch eine schnelle Reduktion des Volumens dieser Ausgabekammer aus einem Ausgabeventil gejettet. For the contactless dosing of drops of a viscous medium, for example an adhesive or a solder, onto a substrate, jetting is known. An apparatus and method for jetting drops are known in the art, for example WO1999 / 064167 A1 known. Herein, the viscous medium is in an output chamber and is jetted from a dispensing valve by a rapid reduction in the volume of that dispensing chamber.

Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention

Vorteile der Erfindung Advantages of the invention

Die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Fokussieren eines aus einer Ausgabeöffnung einer Ausgabevorrichtung einer Jet-Vorrichtung ausgegebenen viskosen Mediums bietet den Vorteil, dass mittels der Vorrichtung die Form und/oder die Richtung des viskosen Mediums beeinflusst werden können. The device according to the invention for focusing a viscous medium dispensed from a dispensing opening of a dispensing device of a jet device offers the advantage that the shape and / or the direction of the viscous medium can be influenced by means of the device.

Hierdurch kann beispielsweise beeinflusst werden, welche Form das viskose Medium nach einem Auftreffen auf einem Substrat aufweist.In this way, for example, it can be influenced which shape the viscous medium has after striking a substrate.

Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist, dass sogenannte Satelliten, die als unerwünschte Nebentropfen zusätzlich zu einem Haupttropfen des viskosen Mediums nach der Ausgabe des viskosen Mediums vorliegen können, mittels der Vorrichtung durch einen auf das viskose Medium gerichteten Gasstrom in den Haupttropfen gelenkt werden können und somit verhindert wird, dass die Nebentropfen bzw. Satelliten an unerwünschten Stellen auf dem Substrat auftreffen. Another advantage of the device according to the invention is that so-called satellites, which may be present as undesirable side drops in addition to a main drop of the viscous medium after the dispensing of the viscous medium, can be directed into the main drop by means of the device through a gas flow directed to the viscous medium, and thus preventing the side drops or satellites from striking undesired locations on the substrate.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung dient zu einem Fokussieren des viskosen Mediums mittels des Gasstroms. Unter Fokussieren soll dabei verstanden werden, dass ein Durchmesser des viskosen Mediums in zumindest einer Richtung beim Auftreffen auf dem Substrat verringert ist gegenüber dem Durchmesser ohne Fokussierung. Somit wird durch die erfindungsgemäße Vorrichtung vorteilhaft ermöglicht, beim Jetten besonders kleine Strukturen zu erzielen. Es können Abmessungen der Strukturen von bis zu 50 µm erreicht werden.The device according to the invention serves to focus the viscous medium by means of the gas flow. Focusing is to be understood here as meaning that a diameter of the viscous medium in at least one direction when hitting the substrate is reduced compared to the diameter without focusing. Thus, it is advantageously made possible by the device according to the invention to achieve particularly small structures in jetting. It can be achieved dimensions of structures of up to 50 microns.

Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist, dass durch die Düsenvorrichtung ein besonders kompakter Aufbau der Vorrichtung erzielt werden kann. In die Düsenvorrichtung sind dabei durch mindestens einen in der Düsenvorrichtung befindlichen Gasauslass und eine in der Düsenvorrichtung befindliche Öffnung für das viskose Medium gleich mehrere Funktionen integriert. Another advantage of the device according to the invention is that a particularly compact design of the device can be achieved by the nozzle device. Several functions are simultaneously integrated into the nozzle device by at least one gas outlet located in the nozzle device and an opening for the viscous medium located in the nozzle device.

Durch den mindestens einen Gasauslass der Düsenvorrichtung, den der Gasstrom vor einem Auftreffen auf das viskose Medium passiert, können die Richtung und die Form des Gasstroms besonders gezielt eingestellt werden. Es werden keine separaten Mittel benötigt, um den Gasstrom zu manipulieren. Soll die erfindungsgemäße Vorrichtung für wechselnde Anwendungen mit unterschiedlichen Anforderungen an den auf das viskose Medium gerichteten Gasstrom eingesetzt werden, kann hierfür lediglich ein Wechsel der Düsenvorrichtung ausreichen. Es ist kein Wechsel der gesamten Vorrichtung zum Fokussieren des ausgegebenen viskosen Mediums nötig.Through the at least one gas outlet of the nozzle device, which the gas stream passes before impinging on the viscous medium, the direction and the shape of the gas stream can be adjusted in a particularly targeted manner. No separate means are needed to manipulate the gas flow. If the device according to the invention is to be used for changing applications with different requirements for the gas stream directed onto the viscous medium, only a replacement of the nozzle device can be sufficient for this purpose. There is no need to change the entire apparatus for focusing the dispensed viscous medium.

Dass die Düsenvorrichtung eine Öffnung für das viskose Medium aufweist, führt dazu, dass die Düsenvorrichtung zentrosymmetrisch um den Pfad, den das viskose Medium entweder in der Ausgabevorrichtung oder zwischen der Ausgabevorrichtung und dem Substrat zurücklegt, angeordnet werden kann. Hierdurch kann die Düsenvorrichtung unmittelbar an oder in der Nähe der Ausgabeöffnung der Jet-Vorrichtung angebracht werden kann, ohne dass die Düsenvorrichtung dem viskosen Medium im Weg ist. Es wird auf einfache Art eine besonders exakte Positionierung des Gasauslasses und somit auch eine besonders exakte Justierung des Gasstroms in Bezug auf das viskose Medium ermöglicht.The fact that the nozzle device has a viscous medium opening causes the nozzle device to be arranged centrosymmetrically about the path the viscous medium travels either in the dispenser or between the dispenser and the substrate. Thereby, the nozzle device can be directly attached to or near the discharge port of the jet device without the nozzle device being in the way of the viscous medium. It is possible in a simple way a particularly accurate positioning of the gas outlet and thus also a particularly accurate adjustment of the gas flow with respect to the viscous medium.

Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist, dass diese es ermöglicht, den Abstand zwischen der Ausgabeöffnung der Ausgabevorrichtung und dem Substrat zu erhöhen, beispielsweise auf 5 mm oder größer, ohne dabei an Zielgenauigkeit zu verlieren. Hierdurch wird es möglich, durch Jetten auch kleine Strukturen des viskosen Mediums auf Substraten aufzubringen, die eine Oberflächenunebenheit von größer 3 mm aufweisen. Eine derart große Oberflächenunebenheit weisen üblicherweise dreidimensionale Schaltungsträger wie Molded Interconnected Devices, Drucksensoren, elektrische Schaltungen und flexible elektrische Schaltungen auf. Another advantage of the device according to the invention is that it makes it possible to increase the distance between the dispensing opening of the dispenser and the substrate, for example to 5 mm or larger, without losing sight of accuracy. This makes it possible to apply by Jetten also small structures of the viscous medium on substrates having a surface unevenness of greater than 3 mm. Such a large surface unevenness usually have three-dimensional circuit carriers, such as Molded Interconnected Devices, pressure sensors, electrical circuits and flexible electrical circuits.

Durch den besonders kompakten Aufbau der erfindungsgemäßen Vorrichtung eignet sich diese besonders gut für eine Verwendung in einer platzkritischen Anwendung, beispielsweise in einer Produktionsanlage. Auch wird hierdurch eine besonders einfache Nachrüstbarkeit in einen vorhandenen Aufbau zum Jetten eines viskosen Mediums gewährleistet. Due to the particularly compact design of the device according to the invention, this is particularly well suited for use in a space-critical application, for example in a production plant. This also ensures a particularly easy retrofitting into an existing structure for jetting a viscous medium.

Diese Vorteile werden erreicht durch die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Fokussieren eines aus einer Ausgabeöffnung einer Ausgabevorrichtung einer Jet-Vorrichtung ausgegebenen viskosen Mediums, wobei Mittel zur Erzeugung eines Gasstroms und eine Düsenvorrichtung mit mindestens einem Gasauslass und einer Öffnung für das viskose Medium vorgesehen sind. These advantages are achieved by the device according to the invention for focusing a viscous medium dispensed from a dispensing opening of a dispenser of a jet device, means for generating a gas flow and a nozzle device having at least one gas outlet and a viscous medium opening.

Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im Hauptanspruch angegebenen Vorrichtung zum Fokussieren eines aus einer Ausgabeöffnung einer Ausgabevorrichtung einer Jet-Vorrichtung ausgegebenen viskosen Mediums möglich. The measures listed in the dependent claims advantageous refinements and improvements of the main claim device for focusing a dispensed from an output port of an output device of a jet device viscous medium are possible.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Öffnung für das viskose Medium zur Aufnahme der Ausgabevorrichtung ausgestaltet ist. Hierunter ist zu verstehen, dass die Ausgabevorrichtung in die Öffnung für das viskose Medium eingeführt wird. In diesem Fall kann beispielsweise die Düsenvorrichtung unmittelbar an der Ausgabevorrichtung gelagert werden, wodurch der mindestens eine Gasauslass der Düsenvorrichtung automatisch in radialer Richtung in Bezug auf die Öffnung für das viskose Medium ausgerichtet ist. In diesem Fall ist es besonders bevorzugt, wenn die Öffnung für das viskose Medium eine Geometrie aufweist, die für eine formschlüssige Verbindung mit der Mantelfläche der Ausgabevorrichtung ausgelegt ist.It is particularly advantageous if the opening for the viscous medium for receiving the dispensing device is configured. By this is meant that the dispenser is inserted into the opening for the viscous medium. In this case, for example, the nozzle device can be stored directly on the dispenser, whereby the at least one gas outlet of the nozzle device is automatically aligned in the radial direction with respect to the opening for the viscous medium. In this case, it is particularly preferred if the opening for the viscous medium has a geometry which is designed for a positive connection with the lateral surface of the dispensing device.

Wenn die Öffnung für das viskose Medium zur Aufnahme der Ausgabevorrichtung ausgestaltet ist, ist es ferner besonders vorteilhaft, wenn die Düsenvorrichtung derart ausgestaltet ist, dass die Öffnung für das viskose Medium der Düsenvorrichtung in einer Ebene mit der Ausgabeöffnung der Ausgabevorrichtung abschließt. In diesem Fall ist vorteilhafterweise auch die Ausrichtung der Düsenvorrichtung in axialer Richtung in Bezug auf die Öffnung für das viskose Medium vorgegeben. If the opening for the viscous medium for receiving the dispensing device is designed, it is also particularly advantageous if the nozzle device is configured such that the opening for the viscous medium of the nozzle device terminates in a plane with the dispensing opening of the dispenser. In this case, advantageously, the orientation of the nozzle device in the axial direction with respect to the opening for the viscous medium is predetermined.

Bei einer formschlüssigen Verbindung zwischen der Öffnung für das viskose Medium und der Mantelfläche der Ausgabevorrichtung kann in diesem Fall ein Eindringen des viskosen Mediums in den Bereich zwischen der Düsenvorrichtung und der Ausgabevorrichtung vermieden werden, da kein Spalt zwischen der Düsenvorrichtung und der Ausgabevorrichtung vorliegt.In a positive connection between the opening for the viscous medium and the lateral surface of the dispenser in this case, penetration of the viscous medium into the region between the nozzle device and the dispenser can be avoided because there is no gap between the nozzle device and the dispenser.

In einer vorteilhaften Weiterbildung der erfindungsgemäßen Vorrichtung weist die Vorrichtung Mittel zur Befestigung der Vorrichtung an der Ausgabevorrichtung der Jet-Vorrichtung auf. Hierdurch wird verhindert, dass es zu einer Relativbewegung zwischen der Düsenvorrichtung und der Ausgabevorrichtung kommen kann. Somit ist der erzeugte Gasstrom stets exakt zu dem Pfad, den das viskose Medium zwischen der Ausgabevorrichtung und dem Substrat zurücklegt, ausgerichtet. In an advantageous development of the device according to the invention, the device has means for fastening the device to the dispensing device of the jet device. This prevents that there may be a relative movement between the nozzle device and the output device. Thus, the generated gas stream is always exactly aligned with the path the viscous medium travels between the dispenser and the substrate.

Weiterhin wird durch die Befestigung der Vorrichtung an der Ausgabevorrichtung ein besonders kompakter Aufbau ermöglicht, da keine separaten, in der Umgebung der Vorrichtung angebrachten Befestigungsmittel nötig sind. Furthermore, a particularly compact construction is made possible by the attachment of the device to the dispenser, since no separate, mounted in the vicinity of the device fasteners are needed.

Ferner ist es vorteilhaft, wenn die Mittel zur Befestigung an der Ausgabevorrichtung der Jet-Vorrichtung für eine statische Befestigung der Vorrichtung an der Ausgabevorrichtung ausgelegt sind. Hierdurch wird eine besonders stabile Verbindung erzielt.Furthermore, it is advantageous if the means for attachment to the dispenser of the jet device are designed for static attachment of the device to the dispenser. As a result, a particularly stable connection is achieved.

Alternativ ist es aber auch vorteilhaft, wenn die Mittel zur Befestigung an der Ausgabevorrichtung der Jet-Vorrichtung eine Rotation der Düsenvorrichtung um die Ausgabevorrichtung beziehungsweise um die Öffnung für das viskose Medium erlauben. Durch eine Rotation der Düsenvorrichtung um die Ausgabevorrichtung wird auch der aus dem mindestens einen Gasauslass austretende Gasstrom in eine Rotation um das viskose Medium versetzt. Hierdurch kann bei entsprechend schneller Rotation des Gasstroms erreicht werden, dass mit nur einem Gasstrom durch das Rotieren um das viskose Medium beispielsweise Satelliten, die in allen Richtungen um das viskose Medium entstehen können, in den Haupttropfen des viskosen Mediums gelenkt werden können. Alternatively, it is also advantageous if the means for attachment to the dispenser of the jet device allow rotation of the nozzle device around the dispenser or around the opening for the viscous medium. By rotating the nozzle device around the dispensing device, the gas stream emerging from the at least one gas outlet is also set in rotation about the viscous medium. As a result, with a correspondingly fast rotation of the gas stream, it can be achieved that with only one gas stream rotating around the viscous medium, for example satellites which can form around the viscous medium in all directions can be directed into the main drops of the viscous medium.

Dadurch, dass bei einem Rotieren des Gasstroms um das viskose Medium mit nur einem Gasstrom das viskose Medium zwischen der Ausgabevorrichtung und dem Substrat aus allen radialen Richtungen beeinflusst werden kann, kann erreicht werden, dass das Gas bei gleicher Flussrate des zugeführten Gases verglichen mit Anordnungen mit mehreren Gasströmen auf eine besonders hohe Geschwindigkeit gebracht wird. Dementsprechend ist ein weiterer Vorteil dieser Anordnung, dass es in diesem Fall nicht nötig ist, den Gasstrom in mehrere Teilgasströme aufzuteilen, die dann eine entsprechend geringere Strömungsgeschwindigkeit aufweisen würden. By virtue of the fact that, when the gas flow around the viscous medium is rotated with only one gas flow, the viscous medium between the output device and the substrate can be influenced from all radial directions, the gas can be achieved with the same flow rate of the supplied gas as compared with arrangements with several gas streams is brought to a particularly high speed. Accordingly, a further advantage of this arrangement is that in this case it is not necessary to divide the gas stream into a plurality of partial gas streams, which would then have a correspondingly lower flow velocity.

Die Düsenvorrichtung derart an der Ausgabevorrichtung zu lagern, dass eine Rotation um die Öffnung für das viskose Medium ermöglicht wird, stellt eine konstruktiv besonders einfache Möglichkeit für die Rotation des Gasstroms um das viskose Medium dar.The nozzle device to store on the dispenser so that a rotation around the opening for the viscous medium is made possible, represents a structurally particularly simple way for the rotation of the gas stream to the viscous medium.

In einer vorteilhaften Weiterbildung der erfindungsgemäßen Vorrichtung weist die Düsenvorrichtung mehrere Gasauslässe zur Aufteilung des Gasstroms in mehrere Teilgasströme auf. Hierdurch wird eine besonders exakte Manipulation der Form und der Richtung des viskosen Mediums möglich. Ferner werden hierdurch besonders einfach auch von einer runden Form des viskosen Mediums nach dem Auftreffen auf dem Substrat abweichende Formen einstellbar, wie beispielsweise eine ovale oder linienartige Form.In an advantageous development of the device according to the invention, the nozzle device has a plurality of gas outlets for dividing the gas flow into a plurality of partial gas flows. As a result, a particularly accurate manipulation of the shape and the direction of the viscous medium is possible. Furthermore, as a result of this, molds that are different from a round shape of the viscous medium after impinging on the substrate can be adjusted in a particularly simple manner, such as, for example, an oval or line-like shape.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn die erfindungsgemäße Vorrichtung einen ringförmig um die Öffnung für das viskose Medium angeordneten Gasauslass umfasst. Hierdurch wird auf konstruktiv besonders einfache Art ein das viskose Medium auf seinem Pfad zwischen der Ausgabevorrichtung und dem Substrat isotrop fokussierender Gasstrom erzeugt. Somit wird es möglich, mittels der erfindungsgemäßen Vorrichtung besonders gleichmäßig kreisförmige Tropfen auf dem Substrat bereitzustellen.It is particularly advantageous if the device according to the invention comprises a gas outlet arranged annularly around the opening for the viscous medium. In this way, in a structurally particularly simple manner, a gas stream which is isotropically focusing the viscous medium on its path between the output device and the substrate is produced. Thus, it becomes possible to provide particularly uniformly circular drops on the substrate by means of the device according to the invention.

In einer vorteilhaften Weiterbildung der erfindungsgemäßen Vorrichtung weist mindestens einer der Gasauslässe eine konische Form auf. Hierdurch wird der Durchmesser des Gasstromes verringert und die Strömungsgeschwindigkeit erhöht. In an advantageous development of the device according to the invention, at least one of the gas outlets has a conical shape. As a result, the diameter of the gas stream is reduced and the flow rate is increased.

Ferner ist es vorteilhaft, wenn mindestens ein Gasauslass eine Neigung zur Normalen zur Düsenvorrichtungsebene aufweist. Hierdurch kann ein zur Jet-Achse, also der Verbindungslinie zwischen der Ausgabeöffnung der Jet-Vorrichtung und dem Auftreffort des viskosen Mediums auf dem Substrat, geneigter Gasstrom erzeugt werden. Es ist aber auch möglich, mindestens einen Gasauslass mit einer Neigung zu versehen, die nicht ausschließlich in Richtung der Jet-Achse verläuft. Durch die Neigung ist es möglich, einen Gasstroms zu erzeugen, der bei einer Lagerung der Düsenvorrichtung, die eine Rotation um die Öffnung für das viskose Medium erlaubt, die Düsenvorrichtung in Rotation versetzen. In diesem Fall dient der Gasstrom als Antriebsmittel für die Rotation der Düsenvorrichtung. Furthermore, it is advantageous if at least one gas outlet has an inclination to the normal to the nozzle device plane. In this way, an inclined gas flow to the jet axis, ie the connecting line between the discharge opening of the jet device and the point of impact of the viscous medium on the substrate, can be generated. But it is also possible to provide at least one gas outlet with a slope that does not extend exclusively in the direction of the jet axis. Due to the inclination, it is possible to generate a gas flow which, upon storage of the nozzle device allowing rotation about the viscous medium opening, causes the nozzle device to rotate. In this case, the gas flow serves as a drive means for the rotation of the nozzle device.

Ein Jet-System, worunter eine Kombination aus einer Jet-Vorrichtung und einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zu verstehen ist, und eine Produktionsanlage mit einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zeigen ebenfalls die oben aufgeführten Vorzüge der erfindungsgemäßen Vorrichtung.A jet system, which is to be understood as meaning a combination of a jet device and a device according to the invention, and a production system with a device according to the invention also show the advantages of the device according to the invention listed above.

Ausführungsbeispielembodiment

Zeichnungendrawings

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und nachfolgend näher erläutert. Es zeigen: Embodiments of the invention are illustrated in the drawings and explained in more detail below. Show it:

1 eine Ansicht eines Querschnitts einer Ausgabevorrichtung für ein viskoses Medium einer Jet-Vorrichtung mit einer Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens, 1 a view of a cross section of a dispensing device for a viscous medium of a jet device with an apparatus for performing the method according to the invention,

2 Querschnitte von Düsenvorrichtungen mit verschiedenen Geometrien. 2 Cross sections of nozzle devices with different geometries.

Beschreibung des AusführungsbeispielsDescription of the embodiment

In 1 ist ein Ausschnitt aus einer Jet-Vorrichtung 1 dargestellt. Die Jet-Vorrichtung 1 weist eine Ausgabevorrichtung 2 zur Ausgabe des viskosen Mediums beispielsweise in Form eines Jet-Ventils, einer Jet-Nadel oder einer Jet-Düse auf. Insbesondere kann es sich dabei um ein Stößel-Ventil, ein Resonanzdruck-Ventil oder ein Aerosoljet-Ventil handeln. In 1 is a section of a jet device 1 shown. The jet device 1 has an output device 2 for dispensing the viscous medium, for example in the form of a jet valve, a jet needle or a jet nozzle. In particular, it may be a plunger valve, a resonance pressure valve or an aerosol jet valve.

Die Erfindung wird im Folgenden ohne Beschränkung der Allgemeinheit anhand eines Jet-Ventils als Ausgabevorrichtung 2 beschrieben. In the following, the invention will be described without loss of generality with reference to a jet valve as output device 2 described.

Das viskose Medium wird aus einer Ausgabeöffnung 3 der Ausgabevorrichtung 2 ausgegeben. Typische Durchmesser der Ausgabeöffnung 3 der Ausgabevorrichtung 2 liegen im Bereich zwischen 50 und 4000 µm.The viscous medium is discharged from a dispensing opening 3 the output device 2 output. Typical diameter of the dispensing opening 3 the output device 2 lie in the range between 50 and 4000 microns.

Bei dem viskosen Medium kann es sich beispielsweise um einen Fixierklebstoff oder um einen Leitklebstoff handeln. Als Leitklebstoff finden beispielsweise Silber-Leitklebstoffe wie zum Beispiel die kommerziell erhältlichen Heraeus PC3001 oder Henkel Ablebond 84-1 LMI SR4 Anwendung.The viscous medium may be, for example, a fixing adhesive or a conductive adhesive. For example, silver conductive adhesives such as, for example, the commercially available Heraeus PC3001 or Henkel Ablebond 84-1 LMI SR4 are used as conductive adhesives.

Das viskose Medium wird in Form von Tropfen aus der Ausgabeöffnung 3 des Jet-Ventils ausgegeben und trifft nach einer Flugphase auf einem Substrat 4 auf. The viscous medium is in the form of drops from the dispensing opening 3 of the jet valve and hits after a flight phase on a substrate 4 on.

Je nach Gestalt der Ausgabeöffnung 3 und abhängig davon, ob das Substrat 4 statisch verbleibt oder bewegt wird, sind verschiedene Geometrien des viskosen Mediums am Auftreffort auf dem Substrat 4 einstellbar. Beispielsweise ist es denkbar, Ausgabevorrichtungen 2 mit einer oder mehreren Ausgabeöffnungen 3 zu verwenden. Depending on the shape of the discharge opening 3 and depending on if the substrate 4 Static remains or is moved, are different geometries of the viscous medium at the impact on the substrate 4 adjustable. For example, it is conceivable output devices 2 with one or more dispensing openings 3 to use.

Weiterhin ist in 1 eine erfindungsgemäße Vorrichtung 5 zum Fokussieren des aus der Ausgabeöffnung 3 der Jet-Vorrichtung 1 ausgegebenen viskosen Mediums an dem Jet-Ventil angebracht. Bevorzugt erfolgt dabei, wie in 1 dargestellt, die Befestigung der Vorrichtung 5 an dem Jet-Ventil über eine Schraubklemmverbindung 6.Furthermore, in 1 a device according to the invention 5 for focusing the out of the discharge opening 3 the jet device 1 issued viscous medium attached to the jet valve. Preference is given here, as in 1 illustrated, the attachment of the device 5 at the jet valve via a Schraubklemmverbindung 6 ,

Es sind jedoch auch Aufbauten denkbar, bei denen die Vorrichtung 5 zum Fokussieren des viskosen Mediums nicht fest an dem Jet-Ventil angebracht ist. Beispielsweise ist es denkbar, eine Befestigung, bevorzugt mittels Kugellagern, der erfindungsmäßen Vorrichtung 5 an der Ausgabevorrichtung 2 vorzusehen, die eine Rotation der Düsenvorrichtung 7 der erfindungsgemäßen Vorrichtung 5 um die Öffnung für das viskose Medium erlaubt. Dies kann beispielsweise dadurch realisiert werden, dass an der erfindungsgemäßen Vorrichtung 5 Kugellager angebracht sind, die von einem Flansch aufgenommen werden, der wiederum an der Ausgabevorrichtung 2 befestigt werden kann. However, structures are also conceivable in which the device 5 for focusing the viscous medium is not firmly attached to the jet valve. For example, it is conceivable, an attachment, preferably by means of ball bearings, the inventive device 5 at the output device 2 provide a rotation of the nozzle device 7 the device according to the invention 5 allowed around the opening for the viscous medium. This can be realized, for example, that at the device according to the invention 5 Ball bearings are mounted, which are received by a flange, in turn, on the output device 2 can be attached.

Ferner ist aus 1 ersichtlich, dass die Vorrichtung 5 zum Fokussieren des viskosen Mediums eine Düsenvorrichtung 7 umfasst. Diese weist eine Öffnung 8 für das viskose Medium auf. Vorzugsweise ist, wie in 1 dargestellt, die Öffnung 8 für das viskose Medium zur Aufnahme der Ausgabevorrichtung 2 ausgestaltet, das heißt, dass die Ausgabevorrichtung 2 in die Öffnung 8 für das viskose Medium eingeführt ist.Furthermore, it is off 1 seen that the device 5 for focusing the viscous medium, a nozzle device 7 includes. This has an opening 8th for the viscous medium. Preferably, as in 1 represented, the opening 8th for the viscous medium for receiving the dispenser 2 designed, that is, the output device 2 in the opening 8th introduced for the viscous medium.

Weiterhin ist bevorzugt, wie 1 zu entnehmen, die Öffnung 8 für das viskose Medium der Düsenvorrichtung 7 an die Kontur der Ausgabevorrichtung 2 angepasst, so dass sich eine formschlüssige Verbindung ergibt. Weiterhin ist die Öffnung 8 für das viskose Medium der Düsenvorrichtung 7 derart dimensioniert, dass die Düsenvorrichtung 7 in einer Ebene mit der Ausgabeöffnung 3 der Ausgabevorrichtung 2 abschließt.Furthermore, it is preferred how 1 to take out the opening 8th for the viscous medium of the nozzle device 7 to the contour of the dispenser 2 adapted, so that there is a positive connection. Furthermore, the opening 8th for the viscous medium of the nozzle device 7 dimensioned such that the nozzle device 7 in a plane with the discharge opening 3 the output device 2 concludes.

In diesem Ausführungsbeispiel weist die Düsenvorrichtung 7 zwei durchgängige Gasauslässe 9 auf. Die Gasauslässe 9 dienen der Gaszufuhr in Richtung des ausgegebenen viskosen Mediums. In this embodiment, the nozzle device 7 two continuous gas outlets 9 on. The gas outlets 9 serve the gas supply in the direction of the dispensed viscous medium.

Das Gas kann unmittelbar durch die Gasauslässe 9 geführt werden oder mittels in die Gasauslässe 9 eingeführter Fokussierdüsen 10. Letzteres ist in dem in 1 gezeigten Ausführungsbeispiel der Fall. An der dem Substrat 4 abgewandten Seite werden die Fokussierdüsen 10 an die Gasversorgung angeschlossen. Alternativ kann die Gasversorgung auch direkt an dem Gasauslass 9 angebracht werden. Beispielsweise durch ein konisches Zulaufen der Gasauslässe 9 oder der Fokussierdüsen 10 kann der Gasstrom 11 noch zusätzlich beschleunigt werden. The gas can go directly through the gas outlets 9 be guided or by means of the gas outlets 9 introduced focusing nozzles 10 , The latter is in the in 1 shown embodiment of the case. At the the substrate 4 the opposite side are the focusing nozzles 10 connected to the gas supply. Alternatively, the gas supply can also be directly to the gas outlet 9 be attached. For example, by a conical inlet of the gas outlets 9 or the focusing nozzles 10 can the gas flow 11 be additionally accelerated.

Als Mittel zur Erzeugung des Gasstrom 11 kann das Gas beispielsweise über ein Hausnetz oder beispielsweise über eine Gasflasche zur Verfügung gestellt werden und beispielsweise über ein Schlauchsystem an den Gasauslass 9 oder die Fokussierdüse 10 geleitet werden. Dies ist in 1 nicht dargestellt. Als Gase eignen sich beispielsweise Inertgase wie z. B. Stickstoff oder alternativ beispielsweise Luft. As a means of generating the gas stream 11 For example, the gas can be made available via a domestic network or, for example, via a gas cylinder and, for example, via a hose system to the gas outlet 9 or the focusing nozzle 10 be directed. This is in 1 not shown. Suitable gases are, for example inert gases such. As nitrogen or alternatively, for example, air.

Aus der Ausgabeöffnung 3 der Ausgabevorrichtung 2 der Jet-Vorrichtung 1 wird das viskose Medium ausgegeben. Dies geschieht in Form eines Haupttropfens, von dem sich unerwünschterweise Nebentropfen abspalten können. Der Haupttropfen und die Nebentropfen fliegen von der Ausgabeöffnung 3 der Jet-Vorrichtung 1 in Richtung eines Zielorts auf dem Substrat 4.From the delivery opening 3 the output device 2 the jet device 1 the viscous medium is dispensed. This is done in the form of a main drop, from which undesirable secondary drops can split off. The main drop and the side drops fly from the delivery port 3 the jet device 1 towards a destination on the substrate 4 ,

Mittels der Vorrichtung 5 zum Fokussieren des ausgegebenen Mediums wird ein Gasstrom 11 bzw. in dem in 1 dargestellten Ausführungsbeispiel werden zwei Teilgasströme 12, 13 erzeugt, die in Richtung der Jet-Achse 14, also der Verbindungslinie zwischen der Ausgabeöffnung 3 der Jet-Vorrichtung 1 und dem Auftreffort des viskosen Mediums auf dem Substrat 4, gerichtet sind. By means of the device 5 for focusing the output medium, a gas flow 11 or in the in 1 illustrated embodiment, two partial gas streams 12 . 13 generated in the direction of the jet axis 14 , ie the connecting line between the dispensing opening 3 the jet device 1 and the impact of the viscous medium on the substrate 4 , are directed.

Dies wird erreicht, indem die Gasdurchlässe in der Düsenvorrichtung 7 bzw. die Fokussierdüsen 10, die durch die Düsenvorrichtung 7 führen, in einem Winkel zur Jet-Achse 14 geneigt sind. Dieser Winkel ist bevorzugt kleiner als 45° und bevorzugt größer als 3°. Durch die Gasdurchlässe 9 bzw. die Öffnung der Fokussierdüsen 10 wird bevorzugt ein laminarer Gasstrom 11 erzeugt. This is achieved by the gas passages in the nozzle device 7 or the focusing nozzles 10 passing through the nozzle device 7 lead, at an angle to the jet axis 14 are inclined. This angle is preferably less than 45 ° and preferably greater than 3 °. Through the gas passages 9 or the opening of the focusing nozzles 10 is preferably a laminar gas stream 11 generated.

Ebenfalls ist es in einem zu dem in 1 gezeigten Ausführungsbeispiel alternativen Ausführungsbeispiel denkbar, die Gasauslässe 9 mit einer Neigung zu versehen, die nicht ausschließlich in Richtung der Jet-Achse 14 verläuft. Durch die Neigung ist es dann möglich, einen Gasstroms 11 zu erzeugen, der bei einer Lagerung der Düsenvorrichtung 7, die eine Rotation um die Öffnung 8 für das viskose Medium erlaubt, die Düsenvorrichtung 7 in Rotation versetzen. In diesem Fall dient der Gasstrom 11 als Antriebsmittel für die Rotation der Düsenvorrichtung 7. It is also in one of the in 1 embodiment shown alternative embodiment conceivable, the gas outlets 9 with an inclination that is not exclusive to the jet axis 14 runs. Due to the inclination, it is then possible to use a gas stream 11 to produce when storing the nozzle device 7 making a rotation around the opening 8th allowed for the viscous medium, the nozzle device 7 set in rotation. In this case, the gas stream is used 11 as drive means for the rotation of the nozzle device 7 ,

Während des Fluges des viskosen Mediums bzw. des Haupttropfens trifft der Gasstrom 11 bzw. in diesem Fall treffen die zwei Teilgasströme 12, 13 auf das viskose Medium. Hierdurch werden die Nebentropfen in den Haupttropfen gelenkt. During the flight of the viscous medium or the main drop of the gas flow hits 11 or in this case meet the two partial gas streams 12 . 13 on the viscous medium. As a result, the secondary drops are directed into the main drops.

Weiterhin wird der Haupttropfen durch den Gasstrom 11 zusammengedrückt, also fokussiert, so dass dieser mit einem geringeren Durchmesser an seinem Zielort auf dem Substrat 4 auftrifft, als dies der Fall gewesen wäre, wenn kein Gasstrom 11 auf ihn gerichtet worden wäre. Furthermore, the main drop is through the gas flow 11 compressed, so focused, so that this with a smaller diameter at its destination on the substrate 4 incident than would have been the case if no gas flow 11 would have been directed at him.

Dabei ist es nicht nur denkbar, dass die Fokussierung des Haupttropfens aus allen Richtungen gleichmäßig erfolgt, um eine runde Form des Tropfens nach dem Auftreffen auf dem Substrat 4 zu erzielen. Die Fokussierung kann beispielsweise durch die Anordnung der Gasauslässe 9 auch aus unterschiedlichen Richtungen unterschiedlich stark erfolgen, so dass sich eine von einer runden Form abweichende Geometrie des Tropfens auf dem Substrat 4 einstellt. It is not only conceivable that the focusing of the main drop is uniform from all directions to a round shape of the drop after hitting the substrate 4 to achieve. The focusing can be done, for example, by the arrangement of the gas outlets 9 also take different degrees from different directions, so that a deviating from a round shape geometry of the drop on the substrate 4 established.

Mittels der in 1 gezeigten Anordnung wird der Tropfen beispielsweise in eine Form gebracht, die senkrecht zur Papierebene länglich ausgebildet ist. Eine auf die Papierebene gerichtete Fokussierung erfolgt hier nicht. Wenn, wie in diesem Ausführungsbeispiel der Fall, die Fokussierung des Tropfens nicht aus allen Richtungen gleichermaßen erfolgt, kann der Tropfen bei Auftreffen auf dem Substrat 4 somit in den Richtungen, in denen keine Fokussierung erfolgt, sogar einen größeren Durchmesser aufweisen, als dies der Fall gewesen wäre, wenn kein Gasstrom 11 auf ihn gerichtet worden wäre. By means of in 1 As shown, the drop is placed, for example, in a shape that is elongated perpendicular to the plane of the paper. A focusing directed at the paper level does not take place here. If, as in this embodiment, the focus of the drop is not alike from all directions, the drop may strike the substrate 4 Thus, in the directions in which no focusing takes place, even have a larger diameter than would have been the case if no gas flow 11 would have been directed at him.

Typische Förderraten für den Gasstrom 11 betragen zwischen 20 und 200 cm3/min des für den Gasstrom 11 verwendeten Gases bzw. Luft. Typical flow rates for the gas stream 11 be between 20 and 200 cm 3 / min of the gas flow 11 used gas or air.

Die in 1 dargestellte Düsenvorrichtung 7 kann in unterschiedlichen Geometrien ausgestaltet sein. Beispielsweise kann diese zwei, drei oder vier Gasauslässe 9 aufweisen. Beispiele für Geometrien der Düsenvorrichtung 7 sind in 2 dargestellt. In the 1 illustrated nozzle device 7 can be configured in different geometries. For example, these may be two, three or four gas outlets 9 exhibit. Examples of geometries of the nozzle device 7 are in 2 shown.

2a zeigt einen Querschnitt der Düsenvorrichtung 7, wie sie in dem in 1 dargestellten Aufbau verwendet wird. Mittig befindet sich die Öffnung 8 für das viskose Medium. Die beiden weiteren Öffnungen sind die beiden Gasauslässe 9. 2a shows a cross section of the nozzle device 7 as they are in the in 1 shown construction is used. In the middle is the opening 8th for the viscous medium. The other two openings are the two gas outlets 9 ,

2b zeigt einen Querschnitt einer Düsenvorrichtung 7 mit einer mittig angeordneter Öffnung 8 für das viskose Medium und drei Gasauslässen 9. 2 B shows a cross section of a nozzle device 7 with a centrally located opening 8th for the viscous medium and three gas outlets 9 ,

2c zeigt einen Querschnitt einer Düsenvorrichtung 7 mit einer mittig angeordneter Öffnung 8 für das viskose Medium und vier Gasauslässen 9. 2c shows a cross section of a nozzle device 7 with a centrally located opening 8th for the viscous medium and four gas outlets 9 ,

2d zeigt einen Querschnitt einer Düsenvorrichtung 7 mit einer mittig angeordneter Öffnung 8 für das viskose Medium und einem Gasauslass 9, der ringförmig um die Öffnung 8 für das viskose Medium angeordnet ist. Durch einen derart geformten Gasauslass 9 wird das viskose Medium besonders gleichmäßig aus allen Richtungen fokussiert; es ergibt sich nach dem Auftreffen des Tropfens auf dem Substrat 4 eine runde Geometrie des Tropfens. 2d shows a cross section of a nozzle device 7 with a centrally located opening 8th for the viscous medium and a gas outlet 9 , which is ring-shaped around the opening 8th is arranged for the viscous medium. By such a shaped gas outlet 9 The viscous medium is particularly evenly focused from all directions; it results after the impact of the droplet on the substrate 4 a round geometry of the drop.

Um bei der in 2d gezeigten Düsenvorrichtung 7 einen Zusammenhalt der Bereiche der Düsenvorrichtung 7 außerhalb und innerhalb der ringförmigen Öffnung des Gasauslassen 9 zu gewährleisten, sind diese durch zwei Stege miteinander verbunden. To be at the in 2d shown nozzle device 7 a cohesion of the areas of the nozzle device 7 outside and inside the annular opening of the gas outlet 9 To ensure these are interconnected by two webs.

Die Stege weisen dabei eine möglichst geringe Breite auf, um den Gasstrom 11 bei dem Durchtritt durch den Gasauslass 9 nicht zu behindern. Die Stege befinden sich in einer anderen Ebene als der in 2d gezeigten Querschnittsebene, so dass die Stege in 2d nicht dargestellt sind.The webs have the smallest possible width to the gas flow 11 when passing through the gas outlet 9 not to hinder. The webs are in a different plane than the one in 2d shown cross-sectional plane, so that the webs in 2d are not shown.

Als Materialien für die Herstellung der Düsenvorrichtung 7 kommen beispielsweise Metalle oder Kunststoffe in Frage. Typische Dicken der Düsenvorrichtung 7 sind 1000 bis 3000 µm, es sind jedoch auch größere oder geringere Dicken möglich. Die Bohrungen bzw. die Gasauslässe 9 in den Düsen haben dabei Durchmesser zwischen 10 und 1000 µm, bevorzugt zwischen 50 und 500 µm. As materials for the production of the nozzle device 7 For example, metals or plastics come into question. Typical thicknesses of the nozzle device 7 are 1000 to 3000 microns, but there are also larger or smaller thicknesses possible. The holes or the gas outlets 9 in the nozzles have diameter between 10 and 1000 microns, preferably between 50 and 500 microns.

Der Abstand zwischen der Ausgabeöffnung 3 der Ausgabevorrichtung 2 und dem Substrat 4 liegt üblicherweise im Bereich weniger Millimeter, beispielsweise zwischen 0,5 und 3 mm. Mittels der erfindungsgemäßen Vorrichtung 5 ist es möglich, den Abstand zwischen der Ausgabeöffnung 3 der Ausgabevorrichtung 2 und dem Substrat 4 noch weiter zu erhöhen, beispielsweise auf 5 mm oder größer, ohne dabei an Zielgenauigkeit zu verlieren. The distance between the discharge opening 3 the output device 2 and the substrate 4 is usually in the range of a few millimeters, for example between 0.5 and 3 mm. By means of the device according to the invention 5 is it possible to adjust the distance between the discharge opening 3 the output device 2 and the substrate 4 to increase even further, for example, to 5 mm or larger, without losing sight of accuracy.

Hierdurch wird es dank der erfindungsgemäßen Vorrichtung 5 möglich, durch Jetten auch kleine Strukturen des viskosen Mediums auf Substraten 4 aufzubringen, die eine Oberflächenunebenheit von größer 3 mm aufweisen. Eine derart große Oberflächenunebenheit weisen üblicherweise dreidimensionale Schaltungsträger wie Molded Interconnected Devices, Drucksensoren, elektrische Schaltungen und flexible elektrische Schaltungen auf.This makes it thanks to the device according to the invention 5 possible, by Jetten also small structures of the viscous medium on substrates 4 to apply, which have a surface unevenness of greater than 3 mm. Such a large surface unevenness usually have three-dimensional circuit carriers, such as Molded Interconnected Devices, pressure sensors, electrical circuits and flexible electrical circuits.

Mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es möglich, das viskose Medium am Zielort auf dem Substrat 4 auf einen Durchmesser von nur 50 µm zu fokussieren. Bei Verwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtung 5 zusammen mit einer Jet-Vorrichtung 1 können beispielsweise Leiterbahnen, zum Beispiel als Ersatz von Drahtbonds, und Kontaktierungen von passiven und aktiven Bauelementen mit kleinen Anschlussgeometrien gejettet werden.By means of the method according to the invention, it is possible to remove the viscous medium at the target location on the substrate 4 to focus on a diameter of only 50 microns. When using the device according to the invention 5 together with a jet device 1 For example, conductor tracks, for example as replacement of wire bonds, and contacts of passive and active components with small connection geometries can be jetted.

In dem in 1 dargestellten Ausführungsbeispiel liegt die Ausgabeöffnung 3 des Jet-Ventils nicht im Gasstrom 11. Es sind jedoch auch Ausführungsbeispiele denkbar, in denen die Ausgabeöffnung 3 der Ausgabevorrichtung 2 der Jet-Vorrichtung 1 von dem Gasstrom 11 erfasst wird. Hierdurch kann erreicht werden, dass keine Rückstände des viskosen Mediums an der Ausgabeöffnung 3 verbleiben. Der Gasstrom 11 dient in diesem Fall somit einer Reinigung der Ausgabeöffnung 3. In the in 1 illustrated embodiment is the output port 3 of the jet valve not in the gas stream 11 , However, embodiments are also conceivable in which the dispensing opening 3 the output device 2 the jet device 1 from the gas stream 11 is detected. This can be achieved that no residues of the viscous medium at the discharge opening 3 remain. The gas flow 11 serves in this case thus a cleaning of the discharge opening 3 ,

Weiterhin kann bei dieser Ausführungsform der Gasstrom 11 dazu dienen, das Abreißverhalten des viskosen Mediums an der Ausgabeöffnung 3 zu optimieren, so dass es beispielsweise nicht zu einer Satellitenbildung kommt. Furthermore, in this embodiment, the gas flow 11 serve the tear-off behavior of the viscous medium at the discharge opening 3 to optimize so that it does not come to a satellite formation, for example.

Je nach Art der Anwendung, dem verwendeten viskosen Medium und dem gewünschten Durchmesser des viskosen Mediums nach dem Auftreffen auf dem Zielort kann beispielsweise der Winkel, in dem Gasstrom 11 auf das viskose Medium gerichtet wird, verändert werden oder auch die Anzahl der Teilgasströme 12, 13 oder beispielsweise die Strömungsgeschwindigkeit angepasst werden. Depending on the type of application, the viscous medium used and the desired diameter of the viscous medium after impacting on the destination, for example, the angle, in the gas stream 11 is directed to the viscous medium, be changed or even the number of Partial gas streams 12 . 13 or, for example, the flow rate can be adjusted.

Dabei kann zum Beispiel der Volumenstrom des Gasstroms 100 cm3/min betragen, die Düsenvorrichtung zwei diametral angeordnete Gasauslässe mit einem Öffnungsdurchmesser von 100 µm aufweisen und der Gasstrom im Winkel von 30° zur Jet-Achse geneigt sein. Hierdurch wird für die oben genannten, typischerweise verwendeten Leitklebstoffe ein Dosierabstand zwischen 5 und 8 mm für ein prozesssicheres Aufbringen des Leitklebstoffes auf das Substrat erreicht.In this case, for example, the volume flow of the gas stream can be 100 cm 3 / min, the nozzle device having two diametrically arranged gas outlets with an opening diameter of 100 microns and the gas flow at an angle of 30 ° to the jet axis inclined. As a result, a metering distance of between 5 and 8 mm is achieved for a process-reliable application of the conductive adhesive to the substrate for the above-mentioned, typically used conductive adhesives.

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • WO 1999/064167 A1 [0002] WO 1999/064167 A1 [0002]

Claims (12)

Vorrichtung (5) zum Fokussieren eines aus einer Ausgabeöffnung (3) einer Ausgabevorrichtung (2) einer Jet-Vorrichtung (1) ausgegebenen viskosen Mediums, gekennzeichnet durch Mittel zur Erzeugung eines Gasstroms (11) und eine Düsenvorrichtung (7) mit mindestens einem Gasauslass (9) und einer Öffnung (8) für das viskose Medium. Contraption ( 5 ) for focusing one out of a dispensing opening ( 3 ) an output device ( 2 ) of a jet device ( 1 ) issued viscous medium, characterized by means for generating a gas stream ( 11 ) and a nozzle device ( 7 ) with at least one gas outlet ( 9 ) and an opening ( 8th ) for the viscous medium. Vorrichtung (5) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnung (8) für das viskose Medium zur Aufnahme der Ausgabevorrichtung (2) ausgestaltet ist.Contraption ( 5 ) according to claim 1, characterized in that the opening ( 8th ) for the viscous medium for receiving the dispenser ( 2 ) is configured. Vorrichtung (5) nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Düsenvorrichtung (7) derart ausgestaltet ist, dass die Öffnung (8) für das viskose Medium der Düsenvorrichtung (7) in einer Ebene mit der Ausgabeöffnung (3) der Ausgabevorrichtung (2) abschließt.Contraption ( 5 ) according to claim 2, characterized in that the nozzle device ( 7 ) is configured such that the opening ( 8th ) for the viscous medium of the nozzle device ( 7 ) in a plane with the discharge opening ( 3 ) of the dispenser ( 2 ) completes. Vorrichtung (5) nach einem der vorhergehende Ansprüche, gekennzeichnet durch Mittel (6) zur Befestigung an der Ausgabevorrichtung (2) der Jet-Vorrichtung.Contraption ( 5 ) according to one of the preceding claims, characterized by means ( 6 ) for attachment to the dispenser ( 2 ) of the jet device. Vorrichtung (5) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel (6) zur Befestigung an der Ausgabevorrichtung (2) der Jet-Vorrichtung (1) für eine statische Befestigung der Vorrichtung (5) an der Ausgabevorrichtung (2) ausgelegt sind.Contraption ( 5 ) according to claim 4, characterized in that the means ( 6 ) for attachment to the dispenser ( 2 ) of the jet device ( 1 ) for a static attachment of the device ( 5 ) on the dispenser ( 2 ) are designed. Vorrichtung (5) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel (6) zur Befestigung an der Ausgabevorrichtung (2) der Jet-Vorrichtung (1) eine Rotation der Düsenvorrichtung (7) um die Ausgabevorrichtung (2) erlauben.Contraption ( 5 ) according to claim 4, characterized in that the means ( 6 ) for attachment to the dispenser ( 2 ) of the jet device ( 1 ) a rotation of the nozzle device ( 7 ) around the dispenser ( 2 ) allow. Vorrichtung (5) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch mehrere in der Düsenvorrichtung (7) befindliche Gasauslässe (9) zur Aufteilung des Gasstroms (11) in mehrere Teilgasströme (12, 13). Contraption ( 5 ) according to one of the preceding claims, characterized by a plurality in the nozzle device ( 7 ) located gas outlets ( 9 ) for the distribution of the gas stream ( 11 ) into several partial gas streams ( 12 . 13 ). Vorrichtung (5) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch einen ringförmig um die Öffnung (8) für das viskose Medium angeordneten Gasauslass (9).Contraption ( 5 ) according to one of the preceding claims, characterized by a ring around the opening ( 8th ) arranged for the viscous medium gas outlet ( 9 ). Vorrichtung (5) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine konische Form mindestens eines Gasauslasses (9).Contraption ( 5 ) according to one of the preceding claims, characterized by a conical shape of at least one gas outlet ( 9 ). Vorrichtung (5) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Gasauslass (9) eine Neigung zur Normalen zur Düsenvorrichtungsebene aufweist. Contraption ( 5 ) according to one of the preceding claims, characterized in that at least one gas outlet ( 9 ) has an inclination to the normal to the nozzle device level. Jet-System mit einer Vorrichtung (5) nach einem der Ansprüche 1 bis 10.Jet system with a device ( 5 ) according to one of claims 1 to 10. Produktionsanlage mit einer Vorrichtung (5) nach einem der Ansprüche 1 bis 11.Production plant with a device ( 5 ) according to one of claims 1 to 11.
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