DE102014115415A1

DE102014115415A1 - detecting device

Info

Publication number: DE102014115415A1
Application number: DE102014115415.0A
Authority: DE
Inventors: Frank Schreiber; Patric Mrawek; Roland Seifert
Original assignee: Leica Microsystems CMS GmbH
Current assignee: Leica Microsystems CMS GmbH
Priority date: 2014-10-22
Filing date: 2014-10-22
Publication date: 2016-04-28

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Detektorvorrichtung (1), die dazu ausgebildet ist, Licht zu empfangen und elektrische Signale zu erzeugen, mit einem Detektor (3) und mit einem Gehäuse (4) für den Detektor (3). Die Detektorvorrichtung (1) zeichnet sich dadurch aus, dass der Detektor (3) wenigstens teilweise in dem Gehäuse (4) und relativ zu dem Gehäuse (4) beweglich angeordnet ist.The invention relates to a detector device (1) which is designed to receive light and to generate electrical signals, with a detector (3) and with a housing (4) for the detector (3). The detector device (1) is characterized in that the detector (3) is arranged at least partially in the housing (4) and movable relative to the housing (4).

Description

Die Erfindung betrifft eine Detektorvorrichtung, die dazu ausgebildet ist, Licht zu empfangen und elektrische Signale zu erzeugen, mit einem Detektor und mit einem Gehäuse für den Detektor.The invention relates to a detector device which is adapted to receive light and generate electrical signals, with a detector and with a housing for the detector.

Die Erfindung betrifft außerdem ein Detektorsystem mit einer solchen Detektorvorrichtung, sowie ein Mikroskop mit einer solchen Detektorvorrichtung.The invention also relates to a detector system with such a detector device, and to a microscope with such a detector device.

Eine Detektorvorrichtung der eingangs genannten Art ist beispielsweise aus DE 20 2011 109 809 U1 bekannt. Diese Detektorvorrichtung zeichnet sich dadurch aus, dass innerhalb des Gehäuses ein Kühlbauteil angeordnet ist und dass ein Lichtweg für das zu detektierende Licht festgelegt ist, der durch das Kühlbauteil hindurch verläuft. Darüber hinaus offenbart diese Druckschrift auch, dass das Kühlbauteil als wärmeleitendes, elektrisch isolierendes Zwischenelement ausgebildet sein kann und/oder dass das Kühlbauteil oder ein weiteres Kühlbauteil als aktives Kühlbauteil, insbesondere als Peltierelement oder als Wärmepumpe oder als Heatpipe ausgebildet sein kann.A detector device of the type mentioned is, for example DE 20 2011 109 809 U1 known. This detector device is characterized in that a cooling component is arranged inside the housing and that a light path is defined for the light to be detected, which passes through the cooling component. In addition, this document also discloses that the cooling member may be formed as a heat-conducting, electrically insulating intermediate member and / or that the cooling member or another cooling member may be formed as an active cooling component, in particular as a Peltier element or as a heat pump or a heat pipe.

Aus DE 10 2009 036 066 A1 ist ein optoelektronischer Detektor bekannt, der gekühlt wird und der einen Sensor zur Ermittlung eines momentanen Werts einer der Größen Umgebungsluftfeuchte und Umgebungstaupunkttemperatur umfasst. Mit dem Sensor ist eine Steuereinheit verbunden, die die Kühlvorrichtung in Abhängigkeit des ermittelten Werts steuert. Durch die Berücksichtigung der Umgebungsluftfeuchte beziehungsweise der Taupunkttemperatur bei der Steuerung der Kühlvorrichtung kann Kondensation auf dem Detektor vermieden werden. Eine luftdichte Verkapselung von Detektor und Kühlvorrichtung ist nicht notwendig.Out DE 10 2009 036 066 A1 An optoelectronic detector is known, which is cooled and which comprises a sensor for determining a current value of one of the variables ambient air humidity and ambient dew point temperature. Connected to the sensor is a control unit which controls the cooling device as a function of the determined value. By taking into account the ambient air humidity or the dew point temperature in the control of the cooling device condensation on the detector can be avoided. An airtight encapsulation of detector and cooling device is not necessary.

Es hat sich gezeigt, dass bei den aus dem Stand der Technik bekannten Detektorvorrichtungen gelegentlich Funktionsstörungen auftreten können, obwohl keine der Komponenten der Detektorvorrichtung einen Defekt aufweist. Insbesondere kommt es vor, dass die Detektorvorrichtungen vorrübergehend ein stark reduziertes Signal-/Rauschverhältnis aufweisen.It has been found that in the case of the detector devices known from the prior art occasional malfunctions may occur, although none of the components of the detector device has a defect. In particular, it happens that the detector devices temporarily have a greatly reduced signal / noise ratio.

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Detektorvorrichtung anzugeben, bei der diese Funktionsstörungen nicht auftreten.It is therefore the object of the present invention to provide a detector device in which these malfunctions do not occur.

Die Aufgabe wird durch eine Detektorvorrichtung gelöst, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der Detektor wenigstens teilweise in dem Gehäuse und relativ zu dem Gehäuse beweglich angeordnet ist.The object is achieved by a detector device, which is characterized in that the detector is arranged at least partially movable in the housing and relative to the housing.

In erfindungsgemäßer Weise wurde erkannt, dass die Funktionsstörungen im Wesentlichen auf Dejustierungen einiger Komponenten der Detektionsvorrichtung zurückzuführen sind. Diese wiederum haben, wie ebenfalls in erfindungsgemäßer Weise erkannt wurde, ihre Ursache im temperaturbedingten Ausdehnungsverhalten einiger Komponenten, obwohl die bekannten Detektorvorrichtungen zumeist eine aktive Kühlvorrichtung, insbesondere mit einem Peltierelement, beinhalten.In accordance with the invention, it has been recognized that the malfunctions are essentially due to misalignments of some components of the detection device. These in turn, as has also been recognized in accordance with the invention, their cause in the temperature-induced expansion behavior of some components, although the known detector devices usually include an active cooling device, in particular with a Peltier element.

Es wurde weiter erkannt, dass ein ausreichender Wärmeabtransport aus der Detektorvorrichtung hinaus zu einem detektorvorrichtungsexternen Wärmeaufnahmeteil nur dann gewährleistet ist, wenn das Wärmeabfuhrbauteil der Detektorvorrichtung, durch das die Wärme zu einem detektorvorrichtungsexternen Wärmeaufnahmeteil abgeführt werden soll, in ausreichendem wärmeleitenden Kontakt zu dem Wärmeaufnahmeteil steht. Es wurde darüber hinaus weiter erkannt, dass ein ausreichender wärmeleitender Kontakt nicht lediglich dadurch gewährleistet werden kann, dass ausreichend große Flächen des Wärmeabfuhrbauteils und des Wärmeaufnahmeteils formflüssig aneinander liegen, sondern dass vielmehr darüber hinaus eine Mindestanpresskraft erforderlich ist. Wird diese Mindestanpresskraft nicht erreicht, ist ein ausreichender Wärmeabtransport aus der Detektorvorrichtung nicht mehr gewährleistet. It has further been recognized that sufficient heat removal from the detector device to a detector device-external heat receiving part is ensured only if the heat removal component of the detector device through which the heat is to be dissipated to a detector device external heat receiving part, in sufficient thermally conductive contact with the heat receiving part. It was also further recognized that a sufficient heat-conducting contact can not be guaranteed only by sufficiently large surfaces of the heat dissipation member and the heat receiving member form liquid together, but that moreover a minimum contact force is required. If this minimum contact pressure is not reached, sufficient heat removal from the detector device is no longer guaranteed.

Dies kann insbesondere dazu führen, dass sich einzelne Bauteile der Detektorvorrichtung temperaturbedingt ausdehnen, was zu Dejustierungen führt. Die Dejustierungen haben zumeist negative Auswirkungen auf die optische Strahlführung und auf die elektronischen Bauteile. Hinsichtlich der elektronischen Bauteile äußert sich eine erhöhte Temperatur zumeist in einem reduzierten Signal-zu-Rausch-Verhältnis.This can in particular mean that individual components of the detector device expand due to temperature, which leads to misalignments. The misalignments usually have negative effects on the optical beam guidance and on the electronic components. With regard to the electronic components, an increased temperature usually manifests itself in a reduced signal-to-noise ratio.

Besonders dramatisch und insbesondere unvorhersehbar und unkontrollierbar ist eine Detektorvorrichtung, bei der die Wärmeanbindung nach außen selbst wiederum temperaturbedingten Ausdehnungsschwankungen unterliegt. Insbesondere wenn die Anpresskraft, die eigentlich eine Mindestanpresskraft nicht unterschreiten sollte, von temperaturbedingten Ausdehnungsschwankungen innerhalb der Detektorvorrichtung abhängig ist, kommt es oftmals zu sich selbst verstärkenden Temperatureffekten, die für den Benutzer keine erkennbare Regelmäßigkeit erkennen lassen und deren Ursache dem Benutzer daher verborgen bleibt.Particularly dramatic and in particular unpredictable and uncontrollable is a detector device in which the heat connection to the outside in turn is subject to temperature-related expansion fluctuations. In particular, when the contact pressure, which should not fall below a minimum contact pressure, depends on temperature-induced expansion variations within the detector device, it often leads to self-reinforcing temperature effects that reveal no recognizable regularity for the user and therefore the cause of the user remains hidden.

In erfindungsgemäßer Weise wurde weiter erkannt, dass dieses Problem darauf zurückzuführen ist, dass das Gehäuse der Detektorvorrichtung zumeist an einer von der Wärmeübergabestelle entfernten Befestigungsstelle fest in einem detektorvorrichtungsexternen Gerät, wie beispielsweise einem Mikroskop, befestigt, insbesondere verschraubt, wird. Auf diese Weise wird nachteiliger Weise erreicht, dass die mechanische Ankoppelstelle entfernt von der Wärmeübergabestelle liegt, so dass die Anpresskraft, mit der das Wärmeableitungsbauteil gegen das Wärmeaufnahmebauteil gepresst wird, Schwankungen, insbesondere temperaturbedingten Ausdehnungsschwankungen, der mechanisch dazwischen liegenden Bauteile unterliegt.In accordance with the invention, it has further been recognized that this problem is due to the fact that the housing of the detector device usually at a remote from the heat transfer point fastening firmly in a detector device external device, such as a microscope, attached, in particular screwed, is. In this way, it is disadvantageously achieved that the mechanical coupling point is located away from the heat transfer point, so that the contact force with which the heat dissipation component is pressed against the heat receiving member, fluctuations, in particular temperature-induced expansion variations, the mechanically intervening components subject.

Ein besonderer Erfindungsgedanke liegt daher darin, die Anpresskraft mit der das Wärmeableitungsbauteil gegen das detektorvorrichtungsexterne Wärmeaufnahmebauteil gedrückt wird, von Dejustierungen und insbesondere temperaturbedingten Ausdehnungsschwankungen zu entkoppeln. Dies wird dadurch erreicht, dass der Detektor, der das Wärmeabfuhrbauteil aufweist, innerhalb des Gehäuses beweglich angeordnet ist. Auf diese Weise ist erreicht, dass das Gehäuse beliebig innerhalb eines detektorvorrichtungsexternen Gerätes, insbesondere einem Mikroskop oder einem konfokalen Rastermikroskop, befestigt werden kann, während dennoch gleichzeitig der Detektor mit seinem Wärmeabfuhrbauteil unabhängig davon in ausreichendem wärmeleitenden Kontakt zu einem Wärmeaufnahmebauteil stehen kann.A particular idea of the invention is therefore to decouple the contact force with which the heat dissipation component is pressed against the heat-absorbing component external to the detector, and of misalignments and, in particular, temperature-related expansion fluctuations. This is achieved by virtue of the fact that the detector, which has the heat removal component, is arranged to be movable within the housing. In this way, it is achieved that the housing can be mounted as desired within a device external to the detector, in particular a microscope or a confocal scanning microscope, while at the same time the detector with its heat dissipation component can independently be in sufficient heat-conducting contact with a heat-absorbing component.

Die erfindungsgemäße Detektorvorrichtung hat daher insbesondere den Vorteil, dass der Abtransport von Wärme stets in ausreichendem Maße gewährleistet ist, so dass temperaturbedingte Dejustierungen weitgehend vermieden sind oder zumindest auf ein solches Maß beschränkt sind, dass keine Funktionsstörungen auftreten. Insbesondere ist vorteilhaft vermieden, dass temperaturbedingte Ausdehnungsschwankungen in einem selbstverstärkenden Effekt den Wärmeabtransport aus der Detektorvorrichtung beeinflussen.The detector device according to the invention therefore has the particular advantage that the removal of heat is always ensured to a sufficient extent, so that temperature-related misalignments are largely avoided or at least limited to such an extent that no malfunction occur. In particular, it is advantageously avoided that temperature-induced expansion fluctuations influence the heat removal from the detector device in a self-reinforcing effect.

Bei einer besonders einfach zu realisierenden Ausführungsform wird das Wärmeabfuhrbauteil des Detektors, gegebenenfalls unter Zwischenlegung einer Wärmeleitungsschicht, beispielsweise aus Carbon-Polymerfolie, unmittelbar mit dem Wärmeaufnahmebauteil des detektorvorrichtungsexternen Gerätes verbunden, insbesondere verschraubt. Hierzu kann der Detektor entsprechende Befestigungselemente, wie beispielsweise wenigstens eine Gewindebohrung, aufweisen. Das Gehäuse der Detektorvorrichtung kann ebenfalls wenigstens ein Befestigungsmittel aufweisen, um innerhalb des detektorvorrichtungsexternen Gerätes befestigt zu werden. Da, wie beschrieben, der Detektor innerhalb des Gehäuses beweglich angeordnet ist, hat die Befestigung des Gehäuses keinen Einfluss auf den Wärmetransport von dem Detektor zu einem detektorvorrichtungsexternen Gerät. Allerdings ist die Wärmeübergangsstelle von dem Wärmeabfuhrbauteil zu dem detektorvorrichtungsexternen Wärmeaufnahmebauteil in der Praxis räumlich zumeist nicht derart zugänglich, dass dort eine Befestigung möglich ist. Darüber hinaus kann es vorkommen, dass eine ausschließliche Befestigung der gesamten Detektorvorrichtung über das Wärmeabfuhrbauteil allein aufgrund der Größe der Detektorvorrichtung nicht praktikabel ist. In a particularly easy-to-implement embodiment, the heat removal component of the detector, optionally with the interposition of a heat conduction layer, for example made of carbon-polymer film, directly connected to the heat receiving component of the detector device external device, in particular screwed. For this purpose, the detector may have corresponding fastening elements, such as at least one threaded hole. The housing of the detector device may also include at least one attachment means for attachment within the external detector device. As described, since the detector is movably disposed within the housing, the attachment of the housing has no effect on the heat transfer from the detector to a device external to the detector. However, in practice, the heat transfer point from the heat removal component to the heat-absorbing component external to the detector device is in practice not generally accessible in such a way that attachment is possible there. In addition, it may happen that an exclusive attachment of the entire detector device on the heat dissipation component alone is not practical because of the size of the detector device.

Daher ist das Gehäuse der Detektorvorrichtung dazu ausgebildet und bestimmt, in und/oder an einem detektorvorrichtungsexternen Gerät, insbesondere einem Mikroskop, befestigt zu werden, während der in dem Gehäuse beweglich angeordnete Detektor samt einem Wärmeabfuhrbauteil mittels einer Federvorrichtung gegen ein detektorvorrichtungsexternes Wärmeaufnahmeteil gedrückt wird. Bei einer solchen Ausführung spielt es vorteilhafterweise keine Rolle, wo die Befestigungsstelle oder die Befestigungsstellen zum Befestigen der Detektorvorrichtung relativ zu einem Wärmeabfuhrbauteil angeordnet sind.Therefore, the housing of the detector device is designed and intended to be fixed in and / or on a detector external device, in particular a microscope, while the detector movably arranged in the housing together with a heat dissipation member is pressed by means of a spring device against a detector device external heat receiving part. In such an embodiment, it advantageously does not matter where the attachment point or the attachment points for attaching the detector device are arranged relative to a heat dissipation component.

Ganz allgemein ist der Detektor bei einer besonders vorteilhaften Ausführung gegen die Kraft einer Federvorrichtung in dem Gehäuse beweglich angeordnet. Insbesondere kann die Detektorvorrichtung vorteilhaft eine Federvorrichtung aufweisen, die dazu ausgebildet und bestimmt ist, ein Wärmeabfuhrbauteil des Detektors gegen ein detektorvorrichtungsexternes Wärmeaufnahmeteil zu drücken.Quite generally, the detector is arranged in a particularly advantageous embodiment movable against the force of a spring device in the housing. In particular, the detector device may advantageously comprise a spring device, which is designed and intended to press a heat removal component of the detector against a detector device external heat receiving part.

Eine solche Ausführung hat den ganz besonderen Vorteil, dass die Federvorrichtung einen ausreichenden, wärmeleitenden Kontakt durch Ausübung einer Kraft auf den Detektor gewährleistet, die wenigstens so groß ist, wie die oben erwähnte Mindestanpresskraft. Darüber hinaus besteht der ganz besondere Vorteil, dass die Detektorvorrichtung an ihrem Gehäuse weitgehend beliebig an oder in einem detektorvorrichtungsexternen Gerät, insbesondere einem Mikroskop, befestigt werden kann, während dennoch ein ausreichend großer, wärmeleitender Kontakt zwischen dem Wärmeabfuhrbauteil und dem Wärmeaufnahmeteil gewährleistet ist. Such a design has the very particular advantage that the spring device ensures a sufficient, heat-conducting contact by exerting a force on the detector, which is at least as large as the above-mentioned minimum contact force. In addition, there is the very particular advantage that the detector device can be attached to its housing largely arbitrarily on or in a detector device external device, in particular a microscope, while still a sufficiently large, heat-conducting contact between the heat dissipation component and the heat receiving part is ensured.

Insbesondere kann die Detektorvorrichtung Befestigungselemente, wie Gewindebohrungen, Ösen oder Flansche oder dergleichen, zum Befestigen der Detektorvorrichtung in einem detektorvorrichtungsexternen Gerät aufweisen, die räumlich von der Wärmeübergabestelle zwischen dem Wärmeabfuhrbauteil des Detektors und dem Wärmeaufnahmebauteil des detektorvorrichtungsexternen Geräts entfernt sind. Insbesondere kann sogar vorgesehen sein, dass die Wärmeübergabestelle im Bereich eines Endes des Gehäuses der Detektorvorrichtung angeordnet ist, während die Detektorvorrichtung dazu ausgebildet und bestimmt ist, am gegenüberliegenden Ende des Gehäuses mit dem detektorvorrichtungsexternen Gerät verbunden zu werden. Eine solche Ausführung erlaubt es, eine detektorvorrichtungsexterne Aufnahme für die Detektorvorrichtung als sacklochförmige Ausnehmung auszubilden, an deren Boden ein Wärmeaufnahmebauteil angeordnet ist. In eine solche Aufnahme kann die eine erfindungsgemäße Detektorvorrichtung mit dem Ende, das das Wärmeabfuhrbauteil aufweist, voran eingeschoben – und anschließend an dem gegenüberliegenden Ende befestigt werden.In particular, the detector device may comprise fasteners, such as threaded holes, eyelets or flanges or the like, for mounting the detector device in a device external to the device, which are spatially removed from the heat transfer point between the heat removal component of the detector and the heat receiving component of the device external to the detector. In particular, it may even be provided that the heat transfer point is arranged in the region of one end of the housing of the detector device, while the detector device is designed and intended to be connected to the device external to the detector at the opposite end of the housing. Such an embodiment makes it possible to use a detector external to the detector Form detector device as a blind hole-shaped recess, at the bottom of a heat receiving member is arranged. In such a recording, a detector device according to the invention with the end, which has the heat dissipation component, pushed forward - and then attached to the opposite end.

Bei einer vorteilhaften Ausführung ist es möglich, das, insbesondere in einem detektorvorrichtungsexternen Gerät befestigte, Gehäuse der Detektorvorrichtung zu öffnen und den in dem Gehäuse beweglich angeordneten Detektor zu entnehmen, ohne die übrigen Bauteile der Detektorvorrichtung von dem detektorvorrichtungsexternen Gerät, das beispielsweise als Mikroskop ausgebildet sein kann, zu lösen. Dies hat, beispielsweise im Reparaturfall, den ganz besonderen Vorteil, dass lediglich der Detektor selbst und nicht die gesamte Detektorvorrichtung ausgebaut zu werden braucht. Eine Reparatur oder Umrüstung ist in diesem Fall daher besonders schnell und effektiv durchführbar. In weiter vorteilhafter Weise können nicht zum Detektor gehörende Komponenten der Detektorvorrichtung, wie beispielsweise Elektronikbauteile zur Spannungsversorgung, bei einem Austausch des Detektors in dem Gehäuse verbleiben.In an advantageous embodiment, it is possible to open the housing of the detector device, in particular in a device external to the detector, and to remove the detector movably arranged in the housing, without the remaining components of the detector device being formed by the device external of the detector, for example as a microscope can, to solve. This has, for example in the case of repair, the very special advantage that only the detector itself and not the entire detector device needs to be removed. A repair or conversion is therefore particularly fast and effectively feasible in this case. In a further advantageous manner, components of the detector device not belonging to the detector, such as, for example, electronic components for supplying voltage, may remain in the housing when the detector is replaced.

Insbesondere kann vorteilhaft vorgesehen sein, dass die Federvorrichtung wahlweise in eine Andruckstellung, in der die Federvorrichtung eine Kraft auf den Detektor ausübt, oder in eine Freigabestellung, in der die Federvorrichtung keine Kraft auf den Detektor ausübt, überführbar ist. Beispielsweise kann die Federvorrichtung zur Durchführung von Montagearbeiten oder Reparaturarbeiten in die Freigabestellung überführt werden. Dies beispielsweise, wenn der, vorzugsweise als separates handhabbares Detektormodul ausgeführte, Detektor der Detektorvorrichtung entnommen oder gegen einen anderen oder andersartigen Detektor ausgetauscht werden soll.In particular, it can be advantageously provided that the spring device can be transferred optionally into a pressure position in which the spring device exerts a force on the detector, or into a release position in which the spring device exerts no force on the detector. For example, the spring device for performing assembly work or repair work can be transferred to the release position. This is the case, for example, when the detector, which is preferably designed as a separate, handleable detector module, is to be taken from the detector device or exchanged for another or different type of detector.

Bei einer besonders vorteilhaften Ausführung weist die Federvorrichtung wenigstens einen federelastischen Andruckhebel und/oder eine Spannschraube auf. Insbesondere kann vorgesehen sein, dass die Spannschraube in ein Gewinde in dem Gehäuse der Detektorvorrichtung eingreift. Insbesondere kann die Federvorrichtung eine Spannschraube aufweisen, mit der ein freies Ende eines federelastischen Andruckhebels zum Herbeiführen der Andruckstellung gegen das Gehäuse schwenkbar und an dem Gehäuse festlegbar ist. Der Andruckhebel kann einen Anpressnocken aufweisen, über den in der Andruckstellung eine Kraft auf den beweglich in dem Gehäuse angeordneten Detektor ausgeübt wird. Eine solche Ausführung hat den besonderen Vorteil, dass sehr einfach und ohne großen Montageaufwand ein Umschalten der Federvorrichtung von der Andruckstellung in die Freigabestellung oder von der Freigabestellung in die Andruckstellung ermöglicht ist. In a particularly advantageous embodiment, the spring device has at least one resilient pressure lever and / or a clamping screw. In particular, it can be provided that the clamping screw engages in a thread in the housing of the detector device. In particular, the spring device may comprise a clamping screw with which a free end of a resilient pressure lever for bringing the Andruckstellung against the housing is pivotally mounted and secured to the housing. The pressure lever may have a Anpressnocken over which in the Andruckstellung a force is exerted on the movably arranged in the housing detector. Such a design has the particular advantage that a switching of the spring device from the pressure position into the release position or from the release position into the pressure position is made possible very easily and without great installation effort.

Insbesondere können vorteilhaft auch zwei, insbesondere parallel zueinander angeordnete, federelastische Andruckhebel vorhanden sein. Auf diese Weise kann an unterschiedlichen Stellen gleichzeitig eine Kraft auf den beweglich in dem Gehäuse angeordneten Detektor ausgeübt werden, so dass die Gefahr eines Verkantens des Detektors innerhalb des Gehäuses wirkungsvoll vermieden ist.In particular, two, in particular parallel, spring-elastic pressure levers can advantageously also be present. In this way, at the same time a force can be exerted on the movably arranged in the housing detector at different locations, so that the risk of tilting of the detector within the housing is effectively avoided.

Bei einer besonders vorteilhaften Ausführung weist der federelastische Andruckhebel zwei gelenkig miteinander verbundene Hebelelemente auf. Insbesondere kann hierbei vorgesehen sein, dass eines der Hebelelemente einen Anpressnocken aufweist, der wenigstens in der Andruckstellung an dem Detektor anliegt. Der Anpressnocken kann derart ausgestaltet und angeordnet sein, dass er beim Verschwenken des ihn aufweisenden Hebelelements relativ zu dem anderem Hebelelement keilartig zwischen die Gelenkachse der gelenkigen Verbindung und den Detektor gedrückt wird. Hierzu kann der Anpressnocken eine Gleitfläche aufweisen, die bei dieser Schwenkbewegung auf der Außenfläche, an der der Anpressnocken anliegt, entlang gleitet. Eine solche Ausführung hat den besonderen Vorteil, dass eine Kraft sehr dosiert und gezielt in der gewünschten Richtung auf den Detektor ausgeübt werden kann. Darüber hinaus hat eine solche Ausführung den ganz besonderen Vorteil, dass die Hebelelemente beim Überführen von der Andruckstellung in die Freigabestellung durch den Anpressnocken automatisch gegeneinander verschwenkt werden, und das freie Ende des Andruckhebels angehoben wird. Dies wiederum hat den besonderen Vorteil, dass hierdurch eine Spannschraube, die drehbar in einer Aufnahme für einen Schraubenkopf am freien Ende des Andruckhebels angeordnet ist, automatisch aus der Gewindebohrung herausgehoben wird, sobald die Spannschraube vollständig aus dem Gewinde der Gewindebohrung herausgedreht ist. Hierdurch ist vorteilhaft erreicht, dass der Schraubenkopf der Spannschraube nicht derart angeordnet sein muss, dass er vom Monteur mit den Fingern gegriffen werden kann. Vielmehr kann die Spannschraube auch in bauraumsparender Weise sehr verdeckt eingebaut sein, ohne dass der Monteur gezwungen ist, die gelöste Spannschraube mit einer Schnabelzange oder einer Pinzette umständlich entnehmen zu müssen.In a particularly advantageous embodiment, the resilient pressure lever on two hingedly interconnected lever elements. In particular, it can be provided in this case that one of the lever elements has a contact pressure cam, which rests against the detector at least in the pressure position. The Anpressnocken can be configured and arranged such that it is pressed wedge-like manner between the hinge axis of the articulated connection and the detector during pivoting of the lever member having him relative to the other lever member. For this purpose, the Anpressnocken have a sliding surface which slides in this pivotal movement on the outer surface, against which the Anpressnocken along. Such a design has the particular advantage that a force can be very metered and selectively applied to the detector in the desired direction. In addition, such a design has the very special advantage that the lever elements are automatically pivoted against each other when transferring from the Andruckstellung into the release position by the Anpressnocken, and the free end of the pressure lever is raised. This in turn has the particular advantage that in this way a clamping screw which is rotatably arranged in a receptacle for a screw head at the free end of the pressure lever, is automatically lifted out of the threaded hole as soon as the clamping screw is completely unscrewed from the thread of the threaded hole. This advantageously achieves that the screw head of the clamping screw does not have to be arranged such that it can be gripped by the fitter with his fingers. Rather, the clamping screw can also be installed very concealed in a space-saving manner, without the installer is forced to remove the loosening clamping screw cumbersome with a pair of pliers or tweezers.

Insbesondere bei einer solchen Ausführung ist vorzugsweise vorgesehen, dass das Gelenk in der Andruckstellung an einem Gelenkanschlag anliegend gestreckt ist. Auf diese Weise kann gezielt eine dosierte Kraft auf den Detektor ausgeübt werden, während in der Freigabestellung, wie oben beschrieben, durch die mittels des Anpressnockens verursachte Beugestellung beim Überführen in die Freigabestellung ein einfaches Entnehmen der gelösten Spannschraube ermöglicht wird. In particular, in such an embodiment it is preferably provided that the joint is stretched in the pressure position at a joint stop fitting. In this way, a metered force can be selectively exerted on the detector, while in the release position, as described above, caused by the means of the Anpressnockens Beugestellung when transferring into the release position a simple removal of the dissolved clamping screw is made possible.

Wie weiter unten noch im Detail beschrieben ist, weist der Detektor vorzugsweise mehrere Detektorkomponenten auf. Alternativ oder zusätzlich kann insbesondere vorgesehen sein, dass der Detektor als separat handhabbares Detektormodul ausgebildet ist. Ein solches separat handhabbares Detektormodul hat den ganz besonderen Vorteil, dass es, wie oben beschrieben, im Ganzen dem Gehäuse der Detektorvorrichtung entnommen werden kann; insbesondere auch, wenn das Gehäuse der Detektorvorrichtung in einem detektorvorrichtungsexternen Gerät, insbesondere einem Mikroskop, befestigt ist.As will be described in detail below, the detector preferably has a plurality of detector components. Alternatively or additionally, it can be provided in particular that the detector is designed as a detector module which can be handled separately. Such a separately manageable detector module has the very special advantage that, as described above, it can be removed as a whole from the housing of the detector device; In particular, even if the housing of the detector device in a detector device external device, in particular a microscope, is attached.

Wie bereits erwähnt, kann eine der Detektorkomponenten ein Wärmeabfuhrbauteil sein, das insbesondere dazu ausgebildet und bestimmt ist, mit einem detektorvorrichtungsexternen Wärmeaufnahmeteil in wärmeleitenden Kontakt zu treten. Insbesondere kann der Detektor ein aktives Kühlbauteil, beispielsweise ein Peltierelement, beinhalten. Hierbei kann insbesondere vorgesehen sein, dass die heiße Seite des Kühlbauteils in wärmeleitenden Kontakt zu dem Wärmeabfuhrbauteil steht. Darüber hinaus kann der Detektor insbesondere optische Bauteile zum Führen und Formen des einfallenden Lichts, wie beispielsweise wenigstens eine Linse oder einen Umlenkspiegel aufweisen. Alternativ oder zusätzlich kann der Detektor eine, insbesondere genau eine, Beschleunigungsstufe für Elektronen (Elektronenbeschleunigungsstufe) aufweisen.As already mentioned, one of the detector components may be a heat removal component which is in particular designed and intended to enter into heat-conducting contact with a heat-receiving part external of the detector. In particular, the detector may include an active cooling component, for example a Peltier element. In this case, it can be provided, in particular, that the hot side of the cooling component is in heat-conducting contact with the heat removal component. In addition, the detector may in particular comprise optical components for guiding and shaping the incident light, such as at least one lens or a deflection mirror. Alternatively or additionally, the detector may have one, in particular exactly one, acceleration stage for electrons (electron acceleration stage).

Bei einer besonderen Ausführung beinhaltet die Detektorvorrichtung wenigstens eine Spannungsquelle, die eine Versorgungsspannung von mehr als 100 V für den Detektor bereitstellt. Alternativ oder zusätzlich kann vorgesehen sein, dass der Detektor eine Photokathode aufweist. Insbesondere kann der Detektor eine Lawinendiode aufweisen, die von der Photokathode ausgehende Elektronen empfängt und die mit einer ersten Versorgungsspannung gespeist wird. Die erste Versorgungsspannung kann beispielsweise im Bereich von 400 V bis 500 V liegen. Es kann auch vorgesehen sein, dass der Detektor wenigstens eine, insbesondere genau eine, Elektronenbeschleunigungsstufe aufweist, die mit einer zweiten Versorgungsspannung gespeist wird. Die zweite Versorgungsspannung ist vorzugsweise größer als 5.000 V und kann beispielsweise im Bereich von 7.000 V bis 9.000 V liegen und insbesondere 8.000 V betragen. Bei einer ganz besonders vorteilhaften Ausführung weist der Detektor wenigstens eine, insbesondere genau eine, Elektronenbeschleunigungsstufe auf, die die Photokathode und die Lawinendiode beinhaltet, zwischen denen die zweite Versorgungsspannung oder die Differenz zwischen der ersten Versorgungsspannung und der zweiten Versorgungsspannung anliegt.In a particular embodiment, the detector device includes at least one voltage source providing a supply voltage greater than 100V for the detector. Alternatively or additionally, it may be provided that the detector has a photocathode. In particular, the detector may comprise an avalanche diode which receives electrons emitted by the photocathode and which is supplied with a first supply voltage. The first supply voltage may be, for example, in the range of 400 V to 500 V. It can also be provided that the detector has at least one, in particular exactly one, electron acceleration stage, which is supplied with a second supply voltage. The second supply voltage is preferably greater than 5,000 V and may, for example, be in the range from 7,000 V to 9,000 V and in particular 8,000 V. In a particularly advantageous embodiment, the detector has at least one, in particular exactly one, electron acceleration stage, which contains the photocathode and the avalanche diode, between which the second supply voltage or the difference between the first supply voltage and the second supply voltage is applied.

Vorzugsweise ist der Detektor innerhalb des Gehäuses nicht beliebig beweglich angeordnet. Vielmehr ist es zumeist ausreichend, wenn der Detektor geführt entlang einer, insbesondere linearen bzw. geradlinigen, Verschieberichtung innerhalb des Gehäuses beweglich angeordnet ist. Hierzu kann das Gehäuse wenigstens ein Führungsbauteil für den Detektor beinhalten oder selbst derart ausgebildet sein, dass es selbst als Führung für den eingeschobenen Detektor fungiert.Preferably, the detector is not arranged arbitrarily movable within the housing. Rather, it is usually sufficient if the detector is guided guided along a, in particular linear or rectilinear displacement direction within the housing movable. For this purpose, the housing may include at least one guide component for the detector or itself be designed such that it itself acts as a guide for the inserted detector.

Bei einer vorteilhaften Ausführung weist das Gehäuse eine Wärmeabfuhröffnung auf, durch die Wärme von einem Wärmeabfuhrbauteil des Detektors zu einem detektorvorrichtungsexternen Wärmeaufnahmeteil abführbar ist. Insbesondere kann vorgesehen sein, dass ein Wärmeabfuhrbauteil des Detektors durch die Wärmeabfuhröffnung nach außen ragt und außen mit einem detektorvorrichtungsexternen Wärmeaufnahmeteil in wärmeleitenden Kontakt steht. Alternativ kann die Wärmeabfuhröffnung auch dazu ausgebildet und angeordnet sein, dass ein detektorvorrichtungsexternes Wärmeaufnahmeteil von außen in die Detektorvorrichtung ragen kann, um im Gehäuse der Detektorvorrichtung mit einem Abfuhrbauteil des Detektors in wärmeleitenden Kontakt zu treten. Alternativ kann natürlich auch vorgesehen sein, dass die Kontaktstelle zwischen dem Wärmeabfuhrbauteil und dem detektorvorrichtungsexternen Wärmeaufnahmeteil genau in der Wärmeabfuhröffnung liegt. Diese Ausführungen haben den ganz besonderen Vorteil, dass der Detektor, insbesondere als separat handhabbares Detektormodul, geschützt und insbesondere elektrisch isoliert, in dem Gehäuse der Detektorvorrichtung angeordnet sein kann und dennoch ein zuverlässiger Wärmeleitungskontakt von dem Detektor zu einem detektorvorrichtungsexternen Wärmeaufnahmeteil gewährleistet ist. Dies insbesondere dann, wenn der Detektor, wie oben beschrieben, mittels einer Federvorrichtung mit seinem Wärmeabfuhrbauteil gegen ein detektorvorrichtungsexternes Wärmeaufnahmeteil gedrückt wird.In an advantageous embodiment, the housing has a heat removal opening, through which heat can be dissipated from a heat removal component of the detector to a heat absorption part external to the detector device. In particular, it may be provided that a heat removal component of the detector protrudes through the heat removal opening to the outside and is externally in heat-conducting contact with a heat-receiving part external to the detector. Alternatively, the heat removal opening may also be designed and arranged such that a heat-receiving part external to the detector device can protrude from the outside into the detector device in order to come into heat-conducting contact with a discharge component of the detector in the housing of the detector device. Alternatively, of course, it may also be provided that the contact point between the heat removal component and the heat-receiving part external to the detector device lies exactly in the heat-removal opening. These embodiments have the very special advantage that the detector, in particular as a separately manageable detector module, protected and in particular electrically isolated, can be arranged in the housing of the detector device and yet a reliable heat conduction contact is ensured by the detector to a detector device external heat receiving part. This is especially true when the detector, as described above, is pressed by means of a spring device with its heat dissipation component against a detector device external heat receiving part.

Das Gehäuse der Detektorvorrichtung weist eine Lichteinlassöffnung auf, durch die hindurch eine optische Achse für das einfallende, zu detektierende Licht verläuft. Insbesondere kann vorteilhaft vorgesehen sein, dass die Lichteinlassöffnung länglich ausgebildet ist, um das zu detektierende Licht, falls erforderlich, mit einem Parallelversatz einkoppeln zu können. Dies kann beispielsweise erforderlich sein, wenn der in der Detektorvorrichtung beweglich angeordnete Detektor in eine andere Position überführt wurde. Eine längliche Lichteintrittsöffnung hat darüber hinaus den Vorteil, dass auch räumlich, insbesondere räumlich spektral, aufgespaltenes Licht in die Detektorvorrichtung eingekoppelt werden kann.The housing of the detector device has a light inlet opening through which passes an optical axis for the incident light to be detected. In particular, it can be advantageously provided that the light inlet opening is elongated in order to be able to couple the light to be detected, if necessary, with a parallel offset. This may be necessary, for example, if the detector movably arranged in the detector device has been transferred to another position. An elongated light entry opening has the additional advantage that also spatially, in particular Spatially spectral, split light can be coupled into the detector device.

Bei einer besonders vorteilhaften Ausführung weist die optische Achse eine von der Verschieberichtung verschiedene Ausrichtung auf. Insbesondere können die optische Achse und die Verschieberichtung senkrecht zueinander angeordnet sein. Eine solche Ausführung hat den besonderen Vorteil, einer mechanischen Entkopplung des beweglich in dem Gehäuse angeordneten Detektors von der optischen Achse des einfallenden Lichts.In a particularly advantageous embodiment, the optical axis has a different orientation from the direction of displacement. In particular, the optical axis and the displacement direction can be arranged perpendicular to one another. Such a design has the particular advantage of a mechanical decoupling of the detector movably arranged in the housing from the optical axis of the incident light.

Außer dem Detektor kann die Detektorvorrichtung weitere Detektorvorrichtungskomponenten, wie beispielsweise ein Modul zur Spannungsversorgung oder eine Elektronik zum Aufbereiten oder Auswerten der von dem Detektor erzeugten, elektrischen Primärsignale, beinhalten.In addition to the detector, the detector device may include other detector device components, such as a power supply module or electronics for conditioning or evaluating the primary electrical signals generated by the detector.

Nach einem besonderen, unabhängigen Erfindungsgedanken, der auch losgelöst von der Idee eines beweglich in einem Gehäuse angeordneten Detektors realisiert sein kann, beinhaltet die Detektorvorrichtung eine Platine mit elektronischen Bauteilen, wobei diese in dem Gehäuse ausschließlich durch Klemmung gehalten ist. Hierbei kann beispielsweise vorgesehen sein, dass das Gehäuse einen im Gehäuseinneren umlaufenden Vorsprung und einen Gehäusedeckel mit einem in das Gehäuse ragenden Rand aufweist, wobei die Elektronikplatine zwischen dem Vorsprung und dem Rand klemmend gehalten ist. Die Elektronikplatine kann insbesondere wenigstens eine Masseschicht aufweisen, die leitend an den eingeklemmten Rand geführt ist. Eine solche Ausführung hat den besonderen Vorteil einer besonders guten Masseanbindung der Elektronikplatine. Darüber hinaus wird ein besonders niedriges elektromagnetisches Strahlungsverhalten erreicht. Von ganz besonderem Vorteil ist hierbei, dass die Elektronikplatine keine Bohrungen für Schrauben zu ihrer Befestigung aufzuweisen braucht.According to a particular, independent idea of the invention, which can also be realized detached from the idea of a movably arranged in a housing detector, the detector device includes a circuit board with electronic components, which is held in the housing exclusively by clamping. Here, for example, be provided that the housing has a circumferential inside the housing projection and a housing cover with a projecting into the housing edge, wherein the electronic board is clamped between the projection and the edge. In particular, the electronic circuit board may have at least one ground layer, which is conductively guided to the clamped edge. Such a design has the particular advantage of a particularly good ground connection of the electronic board. In addition, a particularly low electromagnetic radiation behavior is achieved. Of particular advantage here is that the electronics board needs to have no holes for screws to their attachment.

Von besonderem Vorteil ist ein Detektorsystem, das eine erfindungsgemäße Detektorvorrichtung und darüber hinaus ein Detektorankoppelmodul aufweist, das eine Aufnahme für die Detektorvorrichtung bereitstellt. Das Detektorankoppelmodul kann insbesondere ein Wärmeaufnahmeteil aufweisen, das dazu ausgebildet und bestimmt ist, mit einem Wärmeabfuhrbauteil des Detektors der Detektorvorrichtung in wärmeleitenden Kontakt zu treten. Das Detektorankoppelmodul weist vorzugsweise Befestigungsmittel auf, um die Detektorvorrichtung in der Aufnahme fixieren zu können. Insbesondere kann das Detektorankoppelmodul Ösen oder Gewindebohrungen aufweisen, die es erlauben, das Gehäuse der Detektorvorrichtung in der Aufnahme zu befestigen.Of particular advantage is a detector system which has a detector device according to the invention and, in addition, a detector coupling module which provides a receptacle for the detector device. In particular, the detector coupling module may have a heat receiving part, which is designed and intended to come into heat-conducting contact with a heat-dissipating component of the detector of the detector device. The detector coupling module preferably has fastening means in order to be able to fix the detector device in the receptacle. In particular, the detector docking module may have eyelets or tapped holes that allow the housing of the detector device to be secured in the receptacle.

Das Detektorsystem kann vorteilhaft mehrere Aufnahmen, jeweils für eine erfindungsgemäße Detektorvorrichtung, aufweisen. Ein solches Detektorsystem ist insbesondere dazu geeignet, gleichzeitig unterschiedliche Detektionslichtbündel zu detektieren. Die Detektionslichtbündel können insbesondere aus einem Primärdetektionslichtbündel durch räumlich spektrale Aufspaltung entstanden sein.The detector system can advantageously have a plurality of receptacles, each for a detector device according to the invention. Such a detector system is particularly suitable for simultaneously detecting different detection light bundles. In particular, the detection light bundles can be produced from a primary detection light bundle by spatial spectral splitting.

Ein solches Detektorsystem mit mehreren Aufnahmen hat darüber hinaus den besonderen Vorteil, dass sämtliche Detektorvorrichtungen einheitlich gesteuert und/oder geregelt werden können.Such a detector system with a plurality of recordings moreover has the particular advantage that all detector devices can be uniformly controlled and / or regulated.

Nach einem besonderen, unabhängigen Erfindungsgedanken, weist jede der in einem Detektorsystem anordenbaren Detektorvorrichtungen einen Speicher auf, in dem detektorvorrichtungsspezifische Daten, wie beispielsweise wenigstens ein Kennlinienverlauf und/oder wenigstens ein Kühlungsparameter und/oder wenigstens ein Kalibrationswert und/oder eine Empfindlichkeit oder und/oder eine Verstärkung und/oder eine Einsatzmöglichkeit, gespeichert sind. Diese Informationen kann eine Steuerungsvorrichtung des Detektorsystems zum Abstimmen und/oder Einstellen der einzelnen Detektorvorrichtungen, insbesondere anwendungsspezifisch, verwenden. Dieser Erfindungsgedanke ist natürlich auch dann umsetzbar, wenn in einem Gerät, beispielsweise in einem Mikroskop, lediglich eine einzige Detektorvorrichtung verwendet wird.According to a particular, independent inventive concept, each of the detector devices which can be arranged in a detector system has a memory in which detector device-specific data, such as at least one characteristic curve and / or at least one cooling parameter and / or at least one calibration value and / or sensitivity and / or a reinforcement and / or a possible use are stored. This information may use a control device of the detector system for tuning and / or adjusting the individual detector devices, in particular application-specific. Of course, this idea of the invention can also be implemented if only a single detector device is used in a device, for example in a microscope.

Beispielsweise kann vorteilhaft vorgesehen sein, dass die Steuerungsvorrichtung des Detektorsystems von einem Benutzer, beispielsweise dem Benutzer eines Mikroskops, in das das Detektorsystem eingebaut ist, eine Information über eine geplante Anwendung erhält und sämtliche Detektorvorrichtungen unter Verwendung der gespeicherten detektorspezifischen Informationen für die anstehende Anwendung einstellt. Alternativ oder zusätzlich kann auch vorgesehen sein, dass eine Steuerungsvorrichtung des Detektorsystems für alle Steuerungsvorrichtungen einheitlich einen Abschaltwert bezogen auf die Stromstärke der erzeugten elektrischen Signale vorgibt, wobei die Spannungsvorrichtung (oder die Spannungsvorrichtungen) der einzelnen Detektorvorrichtungen sofort abgeschaltet wird (werden), sobald der Abschaltwert erreicht wird.For example, it can be advantageously provided that the control device of the detector system receives information about a planned application from a user, for example the user of a microscope in which the detector system is installed, and sets all detector devices using the stored detector-specific information for the upcoming application. Alternatively or additionally, it can also be provided that a control device of the detector system for all control devices uniformly specifies a switch-off value based on the current intensity of the generated electrical signals, wherein the voltage device (or the voltage devices) of the individual detector devices is immediately switched off as soon as the switch-off value is reached.

Von besonderem Vorteil ist darüber hinaus ein Mikroskop, insbesondere ein Rastermikroskop oder ein konfokales Rastermikroskop, das eine erfindungsgemäße Detektorvorrichtung und/oder ein erfindungsgemäßes Detektorsystem aufweist. Ein solches Mikroskop hat den ganz besonderen Vorteil, dass die aufgenommenen zweidimensionalen oder dreidimensionalen Bilder nicht durch funktionsbedingte Störungen der Detektorvorrichtung, beziehungsweise der Detektorvorrichtung verfälscht sind. Insbesondere ist vorteilhaft vermieden, dass es aufgrund eines schlechten Signal-Rausch-Verhältnisses einer oder mehrerer Detektorvorrichtungen zu Bildartefakten kommt oder die Bildaufnahme gänzlich verhindert ist. Darüber hinaus hat ein solches Mikroskop den besonderen Vorteil, dass sowohl die Detektorvorrichtungen insgesamt, als auch deren Detektoren, insbesondere wenn sie als separat handhabbare Detektormodule ausgebildet sind, einfach und unkompliziert gewartet und gegebenenfalls ausgetauscht werden können.In addition, a microscope, in particular a scanning microscope or a confocal scanning microscope, which has a detector device according to the invention and / or a detector system according to the invention is of particular advantage. Such a microscope has the very special advantage that the recorded two-dimensional or three-dimensional images are not distorted by function-related disturbances of the detector device or of the detector device. In particular, it is advantageously avoided that image artifacts occur due to a poor signal-to-noise ratio of one or more detector devices, or that image acquisition is completely prevented. In addition, such a microscope has the particular advantage that both the detector devices as a whole, as well as their detectors, especially if they are designed as separately manageable detector modules, can be easily and easily maintained and optionally replaced.

In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben, wobei gleiche oder gleich wirkende Elemente zumeist mit denselben Bezugszeichen versehen sind. Dabei zeigen:In the drawing, the subject invention is shown schematically and will be described with reference to the figures below, wherein the same or equivalent elements are usually provided with the same reference numerals. Showing:

1 eine Detailansicht eines ersten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Detektorvorrichtung, 1 a detailed view of a first embodiment of a detector device according to the invention,

2 das erste Ausführungsbeispiel einer Detektorvorrichtung samt einem Detektorankoppelmodul für die Detektorvorrichtung, 2 the first embodiment of a detector device together with a detector coupling module for the detector device,

3 ein zweites Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Detektorvorrichtung, 3 A second embodiment of a detector device according to the invention,

4 eine perspektivische Detailansicht des Detektors und der Federvorrichtung des zweiten Ausführungsbeispiel, 4 a detailed perspective view of the detector and the spring device of the second embodiment,

5 eine Separatdarstellung der Federvorrichtung, 5 a separate representation of the spring device,

6 eine Darstellung der federelastischen Andruckhebel, 6 an illustration of the spring-loaded pressure levers,

7 eine Detailansicht des Detektors des zweiten Ausführungsbeispiels, 7 a detailed view of the detector of the second embodiment,

8 eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels einer Elektronikkomponente für eine erfindungsgemäße Detektorvorrichtung, 8th a schematic representation of an embodiment of an electronic component for a detector device according to the invention,

9 eine Darstellung eines anderen Ausführungsbeispiels einer Elektronikkomponente für eine erfindungsgemäße Detektorvorrichtung, und 9 a representation of another embodiment of an electronic component for a detector device according to the invention, and

10 ein Ausführungsbeispiel eines Mikroskops, das ein erfindungsgemäßes Detektorsystem mit mehreren erfindungsgemäßen Detektorvorrichtungen aufweist. 10 An embodiment of a microscope having a detector system according to the invention with a plurality of detector devices according to the invention.

1 zeigt eine Detailansicht eines ersten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Detektorvorrichtung 1. Die Detektorvorrichtung 1 ist dazu ausgebildet, Licht 2 zu empfangen und elektrische Signale zu erzeugen. Hierzu weist die Detektorvorrichtung einen Detektor 3 auf, der beweglich in einem Gehäuse 4 der Detektorvorrichtung 1 angeordnet ist. Konkret ist der Detektor 3 entlang einer Verschieberichtung 5 geführt in dem Gehäuse 4 angeordnet, die in der Figur durch einen Doppelpfeil illustriert ist. 1 shows a detailed view of a first embodiment of a detector device according to the invention 1 , The detector device 1 is designed to light 2 to receive and generate electrical signals. For this purpose, the detector device has a detector 3 up, moving in a housing 4 the detector device 1 is arranged. The detector is concrete 3 along a direction of displacement 5 guided in the housing 4 arranged, which is illustrated in the figure by a double arrow.

Das einfallende, zu detektierende Licht 2 tritt durch eine Lichteintrittsöffnung 6 des Gehäuses 4 ein und trifft nach Passieren einer ersten Sammellinse 7 auf einen Umlenkspiegel 8. Die optische Achse des einfallenden Lichts 2 ist senkrecht zur Verschieberichtung 5 ausgerichtet.The incident light to be detected 2 passes through a light entrance opening 6 of the housing 4 and meets after passing a first condenser lens 7 on a deflecting mirror 8th , The optical axis of the incident light 2 is perpendicular to the direction of displacement 5 aligned.

Das von dem Umlenkspiegel 8 umgelenkte Licht 2 trifft nach Passieren einer zweiten Sammellinse 9 auf eine Photokathode 10. Die Photokathode 10 liegt auf einem elektrischen Potentialniveau, das mehrere tausend Volt unter dem Potentialniveau des Gehäuses 4 liegt. Insbesondere kann vorgesehen sein, dass das Potentialniveau des Gehäuses 0 V beträgt, während das Potentialniveau der Photokathode 10 niedriger als –1.000 V ist, insbesondere niedriger als –5.000 V, insbesondere niedriger als –7.000 V, insbesondere im Bereich von –7.000 V bis –9.000 V, insbesondere bei –8.000 V liegt.That of the deflecting mirror 8th redirected light 2 meets after passing a second condenser lens 9 on a photocathode 10 , The photocathode 10 is at an electrical potential level that is several thousand volts below the potential level of the housing 4 lies. In particular, it can be provided that the potential level of the housing is 0 V, while the potential level of the photocathode 10 lower than -1,000 V, in particular lower than -5,000 V, in particular lower than -7,000 V, in particular in the range from -7,000 V to -9,000 V, in particular at -8,000 V.

Die Photokathode 10 befindet sich am Beginn einer Beschleunigungsstrecke, an deren Ende eine Avalanche-Photodiode 11 angeordnet ist. Die Avalanche-Photodiode 11 befindet sich auf einem elektrischen Potentialniveau, das über dem Potentialniveau des Gehäuses 4 liegt. Insbesondere liegt das Potentialniveau der Avalanche-Photodiode 11 auf einem Potentialniveau im Bereich von 450 V bis 500 V.The photocathode 10 is located at the beginning of an acceleration section, at the end of an avalanche photodiode 11 is arranged. The avalanche photodiode 11 is at an electrical potential level that is above the potential level of the housing 4 lies. In particular, the potential level of the avalanche photodiode is 11 at a potential level in the range 450 V to 500 V.

Die durch den lichtelektrischen Effekt in der Photokathode erzeugten Elektronen werden aufgrund der großen Potentialdifferenz über die Beschleunigungsstrecke von der Photokathode 10 zu der Avalanche-Diode 11 beschleunigt. Die von der Avalanche-Photodiode 11 erzeugten elektrischen Signale werden über eine nicht eingezeichnete elektrische Leitung abgeführt.The electrons generated by the photoelectric effect in the photocathode become due to the large potential difference over the acceleration distance from the photocathode 10 to the avalanche diode 11 accelerated. The of the avalanche photodiode 11 generated electrical signals are dissipated via a not shown electrical line.

Der Detektor 3 beinhaltet außerdem ein aktives Kühlbauteil, nämlich ein Peltierelement 12, dessen kalte Seite insbesondere mit der Photokathode 10 in wärmeleitenden Kontakt steht, was jedoch der besseren Übersichtlichkeit halber in der Figur nicht eingezeichnet ist. Die heiße Seite des Peltierelements 12 steht in wärmeleitenden Kontakt mit einem Wärmeabfuhrbauteil 13, das in der (in 1 nicht dargestellten) Andruckstellung mit einem detektorvorrichtungsexternen Wärmeaufnahmeteil 14 in wärmeleitenden Kontakt steht.The detector 3 also includes an active cooling component, namely a Peltier element 12 whose cold side in particular with the photocathode 10 is in heat-conducting contact, but this is not shown in the figure for the sake of clarity. The hot side of the Peltier element 12 is in heat conductive contact with a heat removal component 13 in the (in 1 not shown) Andruckstellung with a detector device external heat receiving part 14 is in heat-conducting contact.

Die Detektorvorrichtung 1 weist eine Federvorrichtung 15 mit einem federelastischen Andruckhebel 16 auf. Der federelastische Andruckhebel 16 weist seinerseits zwei gelenkig miteinander verbundene Hebelelemente 17, 18, nämlich eine erstes Hebelelement 17 und ein zweites Hebelelement 18, auf.The detector device 1 has a spring device 15 with a spring-loaded pressure lever 16 on. The elastic pressure lever 16 in turn has two hingedly interconnected lever elements 17 . 18 namely a first lever element 17 and a second lever element 18 , on.

Die Federvorrichtung 15 kann wahlweise in die in 1 dargestellte Freigabestellung oder in eine Andruckstellung, in der das Wärmeabfuhrbauteil 13 gegen das Wärmeaufnahmebauteil 14 gedrückt wird, überführt werden. Die Andruckstellung ist in 2 dargestellt.The spring device 15 can optionally in the in 1 shown release position or in a Andruckstellung in which the heat dissipation component 13 against the heat receiving component 14 is pressed, transferred. The pressure position is in 2 shown.

Der federelastische Andruckhebel 16 weist ein festes Ende 19 auf, das fest mit dem Gehäuse 4 verschraubt ist. Darüber hinaus weist der federelastische Andruckhebel 16 ein freies Ende 20 mit einer Aufnahme für den Schraubenkopf 21 einer Spannschraube 22 auf.The elastic pressure lever 16 has a firm ending 19 on that stuck to the case 4 is screwed. In addition, the resilient pressure lever has 16 a free end 20 with a receptacle for the screw head 21 a clamping screw 22 on.

Wenn die Spannschraube 22 in eine Gewindebohrung 23 des Gehäuses 4 eingeschraubt wird, wird der federelastische Andruckhebel 16 gestreckt, wodurch ein Andrucknocken 24 eine entlang der Verschieberichtung 5 gerichtete Kraft auf den Detektor 3 ausübt und das Wärmeabfuhrbauteil 13 gegen das Wärmeaufnahmebauteil 14 presst. Das Wärmeaufnahmebauteil 14 ist vorzugsweise Bestandteil eines Detektorankoppelmoduls, das eine Aufnahme für die Detektorvorrichtung 1 aufweist.When the clamping screw 22 in a threaded hole 23 of the housing 4 is screwed, the spring-elastic pressure lever 16 stretched, creating a pressure cam 24 one along the direction of displacement 5 directed force on the detector 3 exerts and the heat removal component 13 against the heat receiving component 14 pressed. The heat absorption component 14 is preferably part of a detector docking module, which is a receptacle for the detector device 1 having.

Wenn die Spannschraube 22 gelöst wird, gelangt der federelastische Andruckhebel 16 automatisch in die dargestellte, gebeugte Stellung, in der die Spannschraube 14, sobald sie den letzten Gewindegang der Gewindebohrung 23 verlassen hat, automatisch aus der Gewindebohrung 23 heraus bewegt wird und entnommen werden kann.When the clamping screw 22 is released, enters the resilient pressure lever 16 automatically in the illustrated, bent position in which the clamping screw 14 as soon as the last thread of the threaded hole 23 has left automatically from the threaded hole 23 is moved out and can be removed.

2 zeigt das erste Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Detektorvorrichtung 1, wobei die Federvorrichtung 15 in die Andruckstellung überführt ist, so dass das Wärmeabfuhrbauteil 13 und das Wärmeaufnahmebauteil 14 gegeneinander gedrückt werden. Zwischen dem Wärmeabfuhrbauteil 13 und dem Wärmeaufnahmebauteil 14 kann vorteilhaft eine wärmeleitende Zwischenschicht, beispielsweise aus Carbon-Polymerfolie, eingefügt sein. Der besseren Übersichtlichkeit halber sind die einzelnen Komponenten des Detektors 3 und des Gehäuses 4 in dieser Figur nicht eingezeichnet. 2 shows the first embodiment of the detector device according to the invention 1 wherein the spring device 15 is transferred to the pressure position, so that the heat dissipation component 13 and the heat receiving member 14 pressed against each other. Between the heat removal component 13 and the heat receiving member 14 may advantageously be a heat-conductive intermediate layer, for example made of carbon polymer film inserted. For better clarity, the individual components of the detector 3 and the housing 4 not shown in this figure.

2 zeigt außerdem schematisch ein Detektorankoppelmodul 25, das eine Aufnahme für die Detektorvorrichtung 1 bereitstellt. Darüber hinaus weist das Detektorankoppelmodul 25 das Wärmeaufnahmeteil 14 auf. 2 also schematically shows a detector docking module 25 which is a receptacle for the detector device 1 provides. In addition, the detector docking module 25 the heat receiving part 14 on.

Die Detektorvorrichtung 1 weist neben dem Detektor 3 und der Federvorrichtung 15 ein Spannungsversorgungsmodul 26 auf. Darüber hinaus weist die Detektorvorrichtung 1 eine Elektronikplatine 27 auf, die Elektronikkomponenten 28 trägt.The detector device 1 points next to the detector 3 and the spring device 15 a power supply module 26 on. In addition, the detector device 1 an electronic board 27 on, the electronic components 28 wearing.

Das Gehäuse 4 der Detektorvorrichtung 1 weist einen im Gehäuseinneren umlaufenden Vorsprung 29 auf. Darüber hinaus weist das Gehäuse 4 einen Gehäusedeckel 30 auf, der einen in das Gehäuseinnere ragenden Rand aufweist. Die Elektronikplatine 27 ist zwischen dem Vorsprung 29 und dem Rand klemmend gehalten.The housing 4 the detector device 1 has a circumferential inside the housing projection 29 on. In addition, the housing faces 4 a housing cover 30 on, having a projecting into the housing interior edge. The electronic board 27 is between the projection 29 and the edge clamped.

3 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Detektorvorrichtung 1. Die Detektorvorrichtung 1 weist einen separaten handhabbaren Detektor 3 auf. Wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel weist der Detektor 3 eine erste Sammellinse 7, einen Umlenkspiegel 8 und eine zweite Sammellinse 9 auf. Darüber hinaus weist der Detektor 3 ebenfalls ein Peltierelement 12 und ein Wärmeabfuhrbauteil 13, das durch eine Wärmeabfuhröffnung 32 des Gehäuses 4 der Detektorvorrichtung 1 ragt. Die Detektorvorrichtung 1 beinhaltet ein Spannungsversorgungsmodul 26, das über eine Hochspannungsleitung 33 an den Detektor 3 angekoppelt ist. Hierbei wird ein spezielles Stecksystem für die Spannungsübertragung verwendet, das nach einem unabhängigen Erfindungsgedanken ausgeführt ist und in Bezug auf 7 näher beschrieben ist. 3 shows a second embodiment of a detector device according to the invention 1 , The detector device 1 has a separate handleable detector 3 on. As in the first embodiment, the detector 3 a first condensing lens 7 , a deflecting mirror 8th and a second condenser lens 9 on. In addition, the detector points 3 also a Peltier element 12 and a heat dissipation component 13 passing through a heat dissipation opening 32 of the housing 4 the detector device 1 protrudes. The detector device 1 includes a power supply module 26 that over a high voltage line 33 to the detector 3 is coupled. Here, a special plug-in system is used for the voltage transmission, which is designed according to an independent inventive concept and with respect to 7 is described in more detail.

4 zeigt in einer schematischen, perspektivischen Darstellung das Modul 3. Darüber hinaus zeigt 4 eine Federvorrichtung 15, die einen ersten federelastischen Andruckhebel 16a und einen zweiten federelastischen Andruckhebel 16b beinhaltet. Der erste federelastische Andruckhebel 16a ist in seiner Freigabestellung gezeigt, während der zweite federelastische Hebel 16b in der Andruckstellung dargestellt ist. 4 shows in a schematic, perspective view of the module 3 , In addition, shows 4 a spring device 15 , which has a first spring-loaded pressure lever 16a and a second spring-loaded pressure lever 16b includes. The first spring-loaded pressure lever 16a is shown in its release position, while the second spring-loaded lever 16b is shown in the pressure position.

5 zeigt die federelastischen Andruckhebel 16a und 16b in einer separaten Darstellung, die auch die speziellen Aufnahmen für die Köpfe der Spannschrauben 22 im Detail erkennen lässt. 5 shows the elastic pressure lever 16a and 16b in a separate presentation, which includes the special receptacles for the heads of the clamping screws 22 can be seen in detail.

Der federelastische Andruckhebel 16, jeweils mit dem ersten Hebelelement 17 und dem zweiten Hebelelement 18, sowie mit dem Andrucknocken 24 sind im Detail nochmals in den 6a und 6b dargestellt, wobei 6a die Freigabestellung und 6b die Andruckstellung des Andruckhebels 16 illustriert.The elastic pressure lever 16 , in each case with the first lever element 17 and the second lever member 18 , as well as with the pressure cam 24 are in detail again in the 6a and 6b shown, where 6a the release order and 6b the pressure position of the pressure lever 16 illustrated.

7 zeigt das Modul 3, das über die Hochspannungsleitung 33 und einen daran angebundenen Hochspannungsstecker 34 elektrisch an ein in dieser Figur nicht dargestelltes Spannungsversorgungsmodul 26 angekoppelt werden kann. Das Spannungsversorgungsmodul 26 ist schematisch in 8 dargestellt. In eine Steckeraufnahme des Spannungsversorgungsmoduls 26 wird der Hochspannungsstecker 34 eingesteckt. Der Hochspannungsstecker 34 ist nach einem unabhängigen Erfindungsgedanken ausgebildet und weist ein zylindrisches und vorzugsweise ca. 3 cm langes Steckergehäuse mit einem Durchmesser von vorzugsweise ca. 5 mm auf. An der Spitze des Hochspannungssteckers 34 befindet sich ein, vorzugsweise goldener oder vergoldeter, Federstift 53, der gegen Federkraft (ähnlich wie bei einem Kugelschreiber) in das Steckergehäuse eingedrückt werden kann. Der Federstift 53 ist dazu angeordnet und bestimmt, an einem Kontaktwinkel des Spannungsversorgungsmoduls 26, an dem die Versorgungsspannung anliegt, anzuliegen, wenn der Stecker in die Aufnahme eingesteckt ist. Der Stecker ist gegenüber bekannten Hochspannungssteckern äußerst klein und stellt einen eigenen erfinderischen Aspekt dar. 7 shows the module 3 that over the high voltage line 33 and a high voltage plug connected to it 34 electrically to a not shown in this figure power supply module 26 can be coupled. The power supply module 26 is schematic in 8th shown. In a plug receptacle of the power supply module 26 will the High voltage connectors 34 plugged in. The high voltage plug 34 is designed according to an independent inventive idea and has a cylindrical and preferably about 3 cm long connector housing with a diameter of preferably about 5 mm. At the top of the high voltage plug 34 there is a, preferably gold or gold, spring pin 53 , which can be pressed against spring force (similar to a ballpoint pen) in the connector housing. The spring pin 53 is arranged and determined at a contact angle of the power supply module 26 , at which the supply voltage is applied, to rest when the plug is plugged into the receptacle. The plug is compared to known high voltage plugs extremely small and represents its own inventive aspect.

8 zeigt eine schematische Darstellung eines möglichen Spannungsversorgungsmoduls 26. Das Spannungsversorgungsmodul 26 weist eine Platine 54 auf, die auf der Rückseite zwei Spannungsquellen 55, 56 zum Bereitstellen der zwei Versorgungsspannungen trägt. Auf die Platine 54 ist ein Kontaktwinkel 57 aufgebracht, an dem die Versorgungsspannung von 8.000 Volt abgegriffen werden kann. Im Bereich um den Kontaktwinkel 55 herum befindet sich zur Verhinderung von Überschlägen ein O-Ring 58. Darüber hinaus weist die Platine 54 zwei an den Bereich des Kontaktwinkels 57 angrenzende Schlitze auf, in die zwei Vorsprünge einer auf die Platine 54 aufgesetzten, vorzugsweise gefrästen, Abdeckung 59 eingreifen. Auf diese Weise ist ein Spannungsüberschlag auf andere auf der Platine 54 angeordnete Bauteile vermieden. 8th shows a schematic representation of a possible power supply module 26 , The power supply module 26 has a circuit board 54 on the back two voltage sources 55 . 56 to provide the two supply voltages. On the board 54 is a contact angle 57 applied, on which the supply voltage of 8,000 volts can be tapped. In the area around the contact angle 55 around is to prevent flashovers an O-ring 58 , In addition, the board points 54 two to the range of contact angle 57 adjacent slots on, in the two projections one on the board 54 attached, preferably milled, cover 59 intervention. In this way, there is a flashover on others on the board 54 arranged components avoided.

Die auf die Platine 54 aufgesetzte Abdeckung 59 weist eine zylinderförmige Aufnahme auf, in die der Hochspannungsstecker 34 eingesteckt werden kann.The on the board 54 patch cover 59 has a cylindrical receptacle into which the high voltage connector 34 can be inserted.

9 zeigt ein anders, ähnlich aufgebautes Ausführungsbeispiel eines möglichen Spannungsversorgungsmoduls 26, das insbesondere die aufgesetzte Abdeckung 59 mit der zylinderförmigen Aufnahme für einen Hochspannungsstecker 34, die in Schlitze in der Platine 54 eingreift, erkennen lässt. 9 shows a different, similarly constructed embodiment of a possible power module 26 , in particular the patch cover 59 with the cylindrical receptacle for a high-voltage plug 34 in slots in the board 54 intervenes, lets recognize.

10 zeigt schematisch ein Mikroskop 35, das als konfokales Rastermikroskop ausgebildet ist. Das Mikroskop weist ein Detektorsystem 36 auf, das ein Detektorankoppelmodul 37 mit mehreren Aufnahmen 38 für jeweils eine Detektorvorrichtung 1 aufweist. 10 schematically shows a microscope 35 , which is designed as a confocal scanning microscope. The microscope has a detector system 36 on, which is a detector docking module 37 with several shots 38 for a respective detector device 1 having.

Das von einer Lichtquelle 39 kommende Beleuchtungslicht 40 gelangt nach Passieren eines Beleuchtungspinholes 41 zu einem Hauptstrahlteiler 42 und wird von diesem zu einer Strahlablenkeinrichtung 43, die einen kardanisch aufgehängten Schwingspiegel 44 beinhaltet, umgelenkt. Anschießend gelangt das Beleuchtungslicht durch eine Scanlinse 45 und eine Tubuslinse 46 zu einem Objektiv 47 und wird von diesem auf eine zu untersuchende Probe 48, die auf einem Mikroskoptisch 49 angeordnet ist, fokussiert. Das von der Probe 48 ausgehende Detektionslicht 50 gelangt auf demselben Lichtweg durch das Objektiv 47, die Tubuslinse 46 und die Scanlinse 45 zurück zur Strahlablenkeinrichtung 43 und gelangt nach Passieren des Hauptstrahlteilers 42 zu einem Detektionspinhole 51. Das durch das Detektionspinhole 51 tretende Licht wird von einer Aufspaltungseinrichtung 52, die das Detektionslicht räumlich spektral aufspaltet, zu den verschiedenen Detektorvorrichtungen 1 verteilt, so dass mit den einzelnen Detektorvorrichtungen 1 unterschiedliche spektrale Anteile des Detektionslichts 50 detektiert werden können.That from a light source 39 upcoming illumination light 40 arrives after passing a lighting pinhole 41 to a main beam splitter 42 and from this to a beam deflector 43 holding a gimballed oscillating mirror 44 includes, diverted. Anschießend the illumination light passes through a scan lens 45 and a tube lens 46 to a lens 47 and from this to a sample to be examined 48 on a microscope stage 49 is arranged, focused. That from the sample 48 outgoing detection light 50 passes through the lens in the same light path 47 , the tube lens 46 and the scan lens 45 back to the beam deflector 43 and passes after passing the main beam splitter 42 to a detection pinhole 51 , That through the detection pinhole 51 passing light is from a splitting device 52 , which spatially spectrally splits the detection light, to the various detector devices 1 distributed so that with the individual detector devices 1 different spectral components of the detection light 50 can be detected.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

DE 202011109809 U1 [0003]
DE 102009036066 A1 [0004]

Claims

Detector device, which is designed to receive light and to generate electrical signals, with a detector ( 3 ) and with a housing ( 4 ) for the detector ( 3 ), characterized in that the detector ( 3 ) at least partially in the housing ( 4 ) and relative to the housing ( 4 ) is movably arranged.

Detector device according to claim 1, characterized in that the detector ( 3 ) has a plurality of detector components and / or that the detector ( 3 ) is designed as a separately manageable detector module.

Detector device according to claim 2, characterized in that one of the detector components comprises a heat removal component ( 13 ) or an active cooling component or a photocathode ( 10 ) or an optical component or a lens ( 7 . 9 ) or a mirror ( 8th ) or an acceleration level.

Detector device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the detector ( 3 ) guided along a, in particular linear, displacement direction ( 5 ) is movably arranged and / or that the housing ( 4 ) a guide for the detector ( 3 ), one, in particular linear, shift direction ( 5 ) Are defined.

Detector device according to one of claims 1 to 4, characterized in that a. the detector ( 3 ) against the force of a spring device ( 15 ) in the housing ( 4 ) is movably arranged and / or that b. a spring device ( 15 ), which is designed and intended to be a heat removal component ( 13 ) of the detector ( 3 ) against a detector device external heat receiving part ( 14 ) and / or that c. a spring device ( 15 ) is present, which is a heat removal component ( 13 ) of the detector against a detector device external heat receiving part ( 14 ) presses.

Detector device according to claim 5, characterized in that the spring device ( 15 ) optionally in a pressure position, in which the spring device ( 15 ) a force on the detector ( 3 ) or in a release position in which the spring device ( 15 ) no force on the detector ( 3 ), is transferable.

Detector device according to claim 5 or 6, characterized in that a. the spring device ( 15 ) at least one resilient pressure lever ( 16 ) and / or that b. the spring device ( 15 ) a clamping screw ( 22 ), which thread into the housing ( 4 ), and / or that c. the spring device ( 15 ) a clamping screw ( 22 ), with a free end of a resilient pressure lever ( 16 ) for bringing a pressure position against the housing ( 4 ) and on the housing ( 4 ) is determinable.

Detector device according to claim 7, characterized in that a. the elastic pressure lever ( 16 ) two articulated lever elements ( 17 . 18 ) and / or that b. the elastic pressure lever ( 16 ) two lever elements ( 17 . 18 ), one of which is a contact cam ( 24 ), which at least in the pressure position on the detector ( 3 ), and / or that c. the elastic pressure lever ( 16 ) at the free end of a receptacle for a screw head ( 21 ) of the clamping screw ( 22 ), and / or that d. the elastic pressure lever ( 16 ) two articulated lever elements ( 17 . 18 ), wherein the joint is stretched in the pressure position on a joint stop fitting, and / or that e. the elastic pressure lever ( 16 ) two articulated lever elements ( 17 . 18 ), wherein the joint is bent in the release position and / or is automatically bent in the transfer of the Andruckstellung in the release position.

Detector device according to one of claims 1 to 8, characterized in that a. the housing ( 4 ) at least one heat removal opening ( 32 ), by the heat from a heat removal component ( 13 ) of the detector to a detector device external heat receiving part ( 14 ) is deductible, and / or that b. the housing ( 4 ) at least one heat removal opening ( 32 ), by which a heat dissipation component ( 13 ) of the detector ( 3 ) or through the detector device external heat receiving part ( 14 ) protrudes or in which a heat removal component ( 13 ) of the detector with a detector device external heat receiving part ( 14 ) is in contact.

Detector device according to one of claims 5 to 9, characterized in that the detector ( 3 ) at least one Peltier element ( 12 ) and the heat removal component ( 13 ) with the hot side of the Peltier element ( 12 ) is in heat-conducting contact.

Detector device according to one of claims 1 to 10, characterized in that the housing ( 4 ) at least one light inlet opening through which an optical axis for the incident, to be detected light ( 2 ) runs.

Detector device according to claim 11, characterized in that the optical axis is one of the displacement direction ( 5 ) has different orientation and / or that the optical axis and the direction of displacement ( 5 ) are arranged perpendicular to each other.

Detector device according to one of claims 1 to 12, characterized in that the housing ( 4 ) a circumferential inside the housing projection ( 29 ) and a housing cover ( 30 ) with one in the housing ( 4 ) protruding edge ( 31 ), wherein an electronic board ( 27 ) between the projection ( 29 ) and the edge ( 31 ), in particular exclusively, is clamped.

Detector system with at least one detector device ( 1 ) according to one of claims 1 to 13 and with a detector coupling module ( 37 ), which is a recording ( 38 ) for the detector device ( 1 ) having.

Detector system according to claim 14, characterized in that the detector coupling module ( 37 ) the heat receiving part ( 14 ) having.

Detector system according to Claim 14 or 15, characterized by a plurality of recordings ( 38 ), each for a detector device ( 1 ) according to one of claims 1 to 15.

Microscope, in particular scanning microscope or confocal scanning microscope, with a detector device ( 1 ) according to one of claims 1 to 13 and / or with a detector system ( 36 ) according to one of claims 14 to 16.