DE102013217059B3 - Electric engine and method of operation - Google Patents
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Abstract
Elektrisches Triebwerk (1), umfassend: – eine Trennkammer (4), der ein Plasma (P) aus einer Plasmaquelle zuführbar ist, – eine in einer Beschleunigungsrichtung (B) des Plasmas (P) entlang einer Symmetrieachse (3) der Trennkammer (4) nachgelagerte Rekombinations-kammer (5), die durch eine Anzahl von mit Spannung beaufschlagbaren Ionenbeschleunigungsgittern (6) von der Trennkammer (4) getrennt ist, – mindestens zwei Elektronenbeschleunigungskanäle (7), die von der Symmetrieachse (3) von der Trennkammer (4) abzweigen und mittels jeweiliger mit Spannung beaufschlagbarer Ansauggitter (8) von der Trennkammer (4) getrennt sind, – jeweils eine in den Elektronenbeschleunigungskanälen (7) angeordnete mit Spannung beaufschlagbare Umlenkeinheit (9), die zur Umlenkung von aus der Trennkammer (4) separierten Elektronen als Elektronenstrahl (E) in die Rekombinationskammer (5) ausgebildet ist, wobei zwischen den Elektronenbeschleunigungskanälen (7) und der Rekombinationskammer (5) jeweils eine Anzahl von mit Spannung beaufschlagbaren Beschleunigungsgittern (10) angeordnet ist.Electric engine (1), comprising: - a separation chamber (4) to which a plasma (P) can be fed from a plasma source, - one in an acceleration direction (B) of the plasma (P) along an axis of symmetry (3) of the separation chamber (4 ) downstream recombination chamber (5) which is separated from the separation chamber (4) by a number of ion acceleration grids (6) that can be charged with voltage, - at least two electron acceleration channels (7) which are separated from the axis of symmetry (3) from the separation chamber (4 ) and are separated from the separating chamber (4) by means of suction grids (8) that can be charged with voltage, - each a deflecting unit (9) which is arranged in the electron acceleration channels (7) and can be charged with voltage and which separates from the separating chamber (4) for deflecting Electrons is formed as an electron beam (E) in the recombination chamber (5), with a number between the electron acceleration channels (7) and the recombination chamber (5) is arranged by accelerating grids (10) which can be charged with voltage.
Description
Die Erfindung betrifft ein elektrisches Triebwerk, insbesondere zum Einsatz im Vakuum oder unter Niederdruckbedingungen und ein Verfahren zu dessen Betrieb. The invention relates to an electric engine, in particular for use in a vacuum or under low pressure conditions and a method for its operation.
In der Raumfahrt sind elektrische Triebwerke bekannt. Gegenüber konventionellen chemischen Raketentriebwerken weisen sie einen bedeutend geringeren Schub auf, benötigen jedoch nur eine geringe Stützmasse, aus der Plasma gewonnen wird, während Raketentriebwerke eine große Menge Stützmasse in Form von Brennstoff und Oxidans benötigen. In space, electric engines are known. Compared to conventional chemical rocket engines, they have a significantly lower thrust, but require only a small support mass, is obtained from the plasma, while rocket engines need a large amount of support material in the form of fuel and oxidant.
Aus der
Die
Die
Die
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, ein verbessertes elektrisches Triebwerk und ein verbessertes Verfahren zum Betrieb eines elektrischen Triebwerks anzugeben. The invention has for its object to provide an improved electric motor and an improved method for operating an electric motor.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein elektrisches Triebwerk mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 7. The object is achieved by an electric engine with the features of
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche. Advantageous embodiments of the invention are the subject of the dependent claims.
Ein erfindungsgemäßes elektrisches Triebwerk umfasst:
- – eine Trennkammer, der ein Plasma aus einer Plasmaquelle zuführbar ist,
- – eine in einer Beschleunigungsrichtung des Plasmas entlang einer Symmetrieachse der Trennkammer nachgelagerte Rekombinationskammer, die durch eine Anzahl von mit Spannung beaufschlagbaren Ionenbeschleunigungsgittern von der Trennkammer getrennt ist,
- – mindestens zwei Elektronenbeschleunigungskanäle, die von der Symmetrieachse von der Trennkammer abzweigen und mittels jeweiliger mit Spannung beaufschlagbarer Ansauggitter von der Trennkammer getrennt sind,
- – jeweils eine in den Elektronenbeschleunigungskanälen angeordnete mit Spannung beaufschlagbare Umlenkeinheit, die zur Umlenkung von aus der Trennkammer separierten Elektronen als Elektronenstrahl in die Rekombinationskammer ausgebildet ist, wobei zwischen den Elektronenbeschleunigungskanälen und der Rekombinationskammer jeweils eine Anzahl von mit Spannung beaufschlagbaren Beschleunigungsgittern angeordnet ist.
- A separation chamber to which a plasma can be supplied from a plasma source,
- A recombination chamber located downstream in an acceleration direction of the plasma along an axis of symmetry of the separation chamber, which is separated from the separation chamber by a number of voltage-charged ion acceleration gratings,
- At least two electron acceleration passages branching from the symmetry axis of the separation chamber and separated from the separation chamber by means of respective energizable intake gratings,
- - In each case one arranged in the electron acceleration channels with voltage deflecting unit, which is designed for deflecting separated from the separation chamber electrons as electron beam in the recombination, wherein between the electron acceleration channels and the recombination chamber in each case a number of voltage acted upon acceleration gratings is arranged.
Das Plasma wird dem elektrischen Triebwerk zugeführt, ohne dass zuvor gezielt Elektronen abgeführt werden. The plasma is supplied to the electric engine, without previously deliberately removed electrons.
Im Gegensatz zu aus dem Stand der Technik bekannten elektrostatischen Triebwerken mit separatem Neutralisator zur Erzeugung von Elektronen werden beim erfindungsgemäßen elektrischen Triebwerk aus dem Plasma abgeschiedene Elektronen gezielt dem Ionenstrom zur Rekombination zugeführt und tragen damit zum Schub und zur Steuerung des elektrischen Triebwerks bei. In contrast to known from the prior art electrostatic engines with separate neutralizer for generating electrons electron deposited in the inventive electric motor from the plasma are selectively supplied to the ion current for recombination and thus contribute to the thrust and control of the electric engine.
In einer Ausführungsform ist in der Nähe der Beschleunigungsgitter in der Rekombinationskammer jeweils eine mit Spannung beaufschlagbare Ablenkeinheit angeordnet. In one embodiment, a voltage-deflectable deflection unit is arranged in each case in the vicinity of the acceleration gratings in the recombination chamber.
Werden die Ablenkeinheiten nicht aktiviert, tritt der Elektronenstrahl beispielsweise mit einem durch die Geometrie des elektrischen Triebwerks und die Umlenkeinheiten bestimmten Winkel von größer 10° auf den Ionenstrahl auf. Die Elektronen und Ionen rekombinieren dabei in einem bestimmten Abstand, beispielsweise einige Meter hinter dem elektrischen Triebwerk oder überhaupt nicht. If the deflection units are not activated, the electron beam occurs, for example, with an angle of greater than 10 ° determined by the geometry of the electric drive and the deflection units to the ion beam. The electrons and ions recombine at a certain distance, for example a few meters behind the electric engine or not at all.
Werden die Ablenkeinheiten aktiviert, beispielsweise durch Anlegen einer negativen Spannung, kann der Winkel der Elektronenstrahlen so erhöht werden (beispielsweise kleiner 45°), dass die Elektronen und Ionen bereits in der Rekombinationskammer beginnen, zu rekombinieren. Vorteilhafterweise wird der Winkel so gesteuert und/oder geregelt, dass die Rekombination am Ausgang der Rekombinationskammer stattfindet, um Schäden an der Rekombinationskammer durch Sputtering, das heißt Elementarteilchenbeschuss, zu vermeiden. If the deflection units are activated, for example by applying a negative voltage, the angle of the electron beams can be increased (for example less than 45 °) so that the electrons and ions already begin to recombine in the recombination chamber. Advantageously, the angle is controlled and / or regulated so that the recombination takes place at the exit of the recombination chamber in order to avoid damage to the recombination chamber by sputtering, that is to say elementary particle bombardment.
In einer Ausführungsform ist ein Flansch zur Kopplung einer Plasmaquelle an die Trennkammer vorgesehen. In one embodiment, a flange is provided for coupling a plasma source to the separation chamber.
In einer Ausführungsform sind drei oder vier Elektronenbeschleunigungskanäle vorgesehen. Durch die Anordnung von mindestens zwei, beispielsweise drei oder vier Elektronenbeschleunigungskanälen um die Symmetrieachse und durch eine separate Ansteuerung der Elektronenbeschleunigungskanäle und optional der Ablenkeinheiten können die Elektronen in Menge und Flugrichtung unterschiedlich auf den Ionenstrahl wirken. Durch Anlegen unterschiedlicher Spannungen an die Ansauggitter der einzelnen Elektronenbeschleunigungskanäle kann jeweils eine unterschiedliche Anzahl von Elektronen aus dem Plasma extrahiert werden. Weiter kann in jedem der Elektronenbeschleunigungskanäle die Geschwindigkeit der austretenden Elektronenstrahlen über die am Beschleunigungsgitter anliegenden Spannungen gesteuert werden. Die Steuerung eines Winkels jedes Elektronenstrahls, in der dieser auf den Ionenstrahl auftrifft, kann jeweils über die Ablenkeinheiten erfolgen. Mit diesen Parametern kann der Ionenstrahl aus seiner Ausrichtung parallel zur Symmetrieachse abgelenkt und somit die Schubrichtung des elektrischen Triebwerks ohne mechanische Bewegung von Bauteilen beeinflusst werden. In one embodiment, three or four electron acceleration channels are provided. By arranging at least two, for example three or four electron acceleration channels around the axis of symmetry and by a separate control of the electron acceleration channels and optionally the deflection units, the electrons can act differently on the ion beam in quantity and direction of flight. By applying different voltages to the intake grille of the individual electron acceleration channels, a different number of electrons can be extracted from the plasma in each case. Further, in each of the electron acceleration channels, the velocity of the exiting electron beams may be controlled via the voltages applied to the acceleration grid. The control of an angle of each electron beam, in which this impinges on the ion beam, can take place in each case via the deflection units. With these parameters, the ion beam can be deflected from its orientation parallel to the axis of symmetry and thus the thrust direction of the electric engine can be influenced without mechanical movement of components.
Vorzugsweise weist die Trennkammer in Richtung der Symmetrieachse und orthogonal zu den Ansauggittern eine Ausdehnung auf, die kürzer als eine Rekombinationsstrecke des Plasmas ist. Als Rekombinationsstrecke wird eine Strecke bezeichnet, nach der die Ionen des Plasmas ohne weitere Energiezufuhr mit den Elektronen rekombinieren würden. The separation chamber preferably has, in the direction of the axis of symmetry and orthogonal to the intake grids, an extension which is shorter than a recombination distance of the plasma. A recombination path is a path after which the ions of the plasma would recombine with the electrons without any further energy input.
In einer Ausführungsform umfassen die Ionenbeschleunigungsgitter ein der Trennkammer zugewandtes erstes Ionenbeschleunigungsgitter und in Beschleunigungsrichtung darauf folgend ein zweites Ionenbeschleunigungsgitter und ein drittes Ionenbeschleunigungsgitter, wobei das erste Ionenbeschleunigungsgitter zum Ansaugen von Ionen aus der Trennkammer mit einer negativen Spannung belegbar ist, wobei das zweite Ionenbeschleunigungsgitter und das dritte Ionenbeschleunigungsgitter mittels entsprechender Spannungsbelegung zum Beschleunigen und/oder Verzögern des sich ergebenden Ionenstrahls ausgebildet sind. In one embodiment, the ion acceleration gratings comprise a first ion acceleration lattice facing the separation chamber and a second ion acceleration lattice following in the acceleration direction, the first ion acceleration lattice having a negative voltage for aspirating ions from the separation chamber, the second ion acceleration lattice and the third ion acceleration lattice Ion acceleration grid by means of appropriate voltage assignment to Acceleration and / or decelerating the resulting ion beam are formed.
In einer Ausführungsform sind die Ansauggitter zum Ansaugen von Elektronen aus der Trennkammer mit einer positiven Spannung belegbar, wobei die Beschleunigungsgitter jeweils ein dem Elektronenbeschleunigungskanal zugewandtes erstes Beschleunigungsgitter und ein der Rekombinationskammer zugewandtes zweites Beschleunigungsgitter umfassen, wobei das erste Beschleunigungsgitter und das zweite Beschleunigungsgitter mittels entsprechender Spannungsbelegung zum Beschleunigen und/oder Verzögern des sich ergebenden Elektronenstrahls ausgebildet sind. In one embodiment, the intake grille for sucking electrons from the separation chamber can be assigned a positive voltage, wherein the acceleration grids each comprise a first acceleration grating facing the electron acceleration channel and a second acceleration grating facing the recombination chamber, wherein the first acceleration grating and the second acceleration grating correspond to the voltage Accelerating and / or delaying the resulting electron beam are formed.
In einer Ausführungsform ist eine Steuereinheit vorgesehen, mittels derer die Spannungsbelegung der Ionenbeschleunigungsgitter, der Ansauggitter, der Umlenkeinheiten, der Beschleunigungsgitter und optional der Ablenkeinheiten steuerbar und/oder regelbar ist. In one embodiment, a control unit is provided, by means of which the voltage assignment of the ion acceleration gratings, the intake grille, the deflection units, the acceleration gratings and optionally the deflection units can be controlled and / or regulated.
In einer Ausführungsform kann eine Anti-Rekombinations-Einrichtung vorgesehen sein, um die Rekombination von Ionen und Elektronen beim Trennvorgang in der Trennkammer zu unterdrücken. Die Anti-Rekombinations-Einrichtung weist eine Mehrzahl von ersten Düsen auf, die innerhalb der Trennkammer jeweils einem der Elektronenbeschleunigungskanäle in der Beschleunigungsrichtung des Plasmas vorgelagert mit dem jeweiligen Elektronenbeschleunigungskanal bezüglich der Symmetrieachse angular in einer Flucht angeordnet sind. Die ersten Düsen sind jeweils so ausgerichtet, dass aus ihnen ein Gas in Richtung des Flansches, beispielsweise unter einem Winkel von etwa 45° zur Symmetrieachse, ausströmbar ist. Die Anti-Rekombinations-Einrichtung weist weiter eine Mehrzahl von zweiten Düsen auf, die innerhalb der Trennkammer den ersten Düsen in der Beschleunigungsrichtung des Plasmas vorgelagert und angular außerhalb einer Flucht mit den Elektronenbeschleunigungskanälen angeordnet sind. Die zweiten Düsen sind jeweils so ausgerichtet, dass aus ihnen ein Gas in Richtung der Rekombinationskammer, beispielsweise unter einem Winkel von etwa 45° zur Symmetrieachse, ausströmbar ist. In one embodiment, an anti-recombination means may be provided to suppress the recombination of ions and electrons in the separation process in the separation chamber. The anti-recombination device has a plurality of first nozzles, which are arranged within the separation chamber in each case one of the electron acceleration channels in the acceleration direction of the plasma upstream with the respective electron acceleration channel with respect to the axis of symmetry angularly aligned. The first nozzles are each aligned so that out of them a gas in the direction of the flange, for example at an angle of approximately 45 ° to the axis of symmetry, can be flowed out. The anti-recombination device further comprises a plurality of second nozzles, which are disposed within the separation chamber upstream of the first nozzles in the acceleration direction of the plasma and angularly out of alignment with the electron acceleration channels. The second nozzles are each aligned such that a gas can flow out of them in the direction of the recombination chamber, for example at an angle of approximately 45 ° to the axis of symmetry.
Durch die Düsen der Anti-Rekombinations-Einrichtung wird ein Gas in die Trennkammer eingeströmt, das von dem als Stützmasse für das Plasma verwendeten Gas verschieden sein kann. Aufgrund des Druckunterschieds zwischen dem außerhalb des elektrischen Triebwerks befindlichen Vakuum und dem Inneren der Trennkammer wird das Gas durch die Ionenbeschleunigungsgitter in Richtung der Rekombinationskammer, also in Beschleunigungsrichtung des Plasmas, gesaugt. Die Geschwindigkeit des aus den ersten Düsen ausgeströmten Gases wird dabei durch deren Ausrichtung teilweise entgegen der Beschleunigungsrichtung verringert und die Geschwindigkeit des aus den zweiten Düsen ausgeströmten Gases durch deren Ausrichtung teilweise in Beschleunigungsrichtung erhöht. Auf diese Weise entstehen in der Trennkammer erste Gaskanäle aus langsamerem Gas, das die Elektronen auf dem Weg vom Plasma in den jeweiligen Elektronenbeschleunigungskanal passieren müssen. Die ersten Gaskanäle sind voneinander durch zweite Gaskanäle getrennt, die durch das Gas aus den zweiten Düsen gebildet werden. Die zweiten Gaskanäle dienen als die ersten Gaskanäle begrenzende Wand. Auf diese Weise werden die Elektronen aus dem Plasma zum Ansauggitter gelenkt. In dem Gas der ersten Gaskanäle erfahren die Elektronen dabei, verglichen mit Vakuum, einen Widerstand und werden somit verzögert, so dass die Rekombination unterdrückt wird. Through the nozzles of the anti-recombination device, a gas is flowed into the separation chamber, which may be different from the gas used as a support mass for the plasma. Due to the pressure difference between the outside of the electric engine vacuum and the interior of the separation chamber, the gas is sucked through the ion acceleration in the direction of the recombination, ie in the direction of acceleration of the plasma. The velocity of the gas which has flowed out of the first nozzles is thereby reduced by their orientation partially counter to the direction of acceleration, and the velocity of the gas emitted from the second nozzles is partially increased in the direction of acceleration by their orientation. In this way, in the separation chamber first gas channels of slower gas, which must pass the electrons on the way from the plasma into the respective electron acceleration channel. The first gas channels are separated from each other by second gas channels formed by the gas from the second nozzles. The second gas channels serve as the first gas channels bounding wall. In this way, the electrons are directed from the plasma to the intake grate. In the gas of the first gas channels, the electrons experience a resistance compared to vacuum and are thus delayed, so that the recombination is suppressed.
In anderen Ausführungsformen können anders ausgebildete Anti-Rekombinations-Einrichtungen vorgesehen sein, beispielsweise eine einfache Einspritzung eines Gases in die Trennkammer als Trägerstoff zur Verzögerung der Elektronen mit einer oder mehreren Düsen gleicher Ausrichtung, durch die keine Gaskanäle unterschiedlicher Geschwindigkeit gebildet werden. In other embodiments, differently designed anti-recombination devices may be provided, for example, a simple injection of a gas into the separation chamber as a carrier for delaying the electrons with one or more nozzles of the same orientation, through which no gas channels of different speed are formed.
Ein erfindungsgemäßes Verfahren zum Betrieb des elektrischen Triebwerks umfasst:
- – Zuführen eines Plasmas aus einer Plasmaquelle in die Trennkammer ohne vorheriges Abführen von Elektronen,
- – Extrahieren von Ionen aus dem Plasma in die Rekombinationskammer und Beschleunigung als Ionenstrahl durch Anlegen von Spannung an die Ionenbeschleunigungsgitter,
- – Extrahieren von Elektronen aus dem Plasma in mindestens einen der Elektronenbeschleunigungskanäle durch Anlegen von Spannung an das jeweilige Ansauggitter und Beschleunigung als Elektronenstrahl in die Rekombinationskammer durch Anlegen von Spannung an die Beschleunigungsgitter, derart, dass der Elektronenstrahl zur Rekombination in oder nach der Rekombinationskammer auf den Ionenstrahl trifft.
- Supplying a plasma from a plasma source into the separation chamber without prior removal of electrons,
- Extracting ions from the plasma into the recombination chamber and accelerating as an ion beam by applying voltage to the ion acceleration gratings,
- - Extracting electrons from the plasma in at least one of the electron acceleration channels by applying voltage to the respective intake grille and acceleration as electron beam in the recombination by applying voltage to the accelerating gratings, such that the electron beam for recombination in or after the recombination on the ion beam meets.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im Folgenden anhand von Zeichnungen näher erläutert. Embodiments of the invention are explained in more detail below with reference to drawings.
Darin zeigen: Show:
Einander entsprechende Teile sind in allen Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen. Corresponding parts are provided in all figures with the same reference numerals.
Das elektrische Triebwerk
Eine Anzahl von mindestens zwei Elektronenbeschleunigungskanälen
Bei einem Verfahren zum Betrieb des elektrischen Triebwerks
Zeitlich parallel werden Elektronen aus dem Plasma P im den entnommenen Ionen entsprechenden Anteil mittels geeigneter Spannungsbelegung der Ansauggitter
Werden die Ablenkeinheiten
Werden die Ablenkeinheiten
Die Menge der aus der Trennkammer entnommenen Ionen und Elektronen wird vorzugsweise so gesteuert, dass in oder hinter der Rekombinationskammer
Die Spannungsbelegung der Ionenbeschleunigungsgitter
Optional ist eine in
Durch die ersten und zweiten Düsen
Das verwendete Plasma P kann ein beliebiges teilweise oder vollständig ionisiertes Plasma P sein. The plasma P used can be any partially or completely ionized plasma P.
In einer beispielhaften Ausführungsform wird das Plasma P mittels Anregung der Stützmasse durch Mikrowellen erzeugt. Als Stützmasse wird beispielsweise Argon verwendet. Die Stützmasse wird in der Plasmaquelle zumindest teilweise ionisiert, beispielsweise zu etwa 48%. In an exemplary embodiment, the plasma P is generated by excitation of the support mass by microwaves. For example, argon is used as the support mass. The support mass is at least partially ionized in the plasma source, for example to about 48%.
Das elektrische Triebwerk
Am ersten Ionenbeschleunigungsgitter
At the first ion acceleration grid
Das erste Ionenbeschleunigungsgitter
Die Ionen werden aus der Trennkammer
Die Spannung U1 zur Schubkontrolle sollte kleiner als die Spannung U0 sein. Anderenfalls wird stärker abgebremst als beschleunigt. Die Ionen würden in diesem Fall umkehren und die Ionenbeschleunigungsgitter
Die Bremsverzögerung a1 und die Bremsverzögerungskraft FBr zwischen dem zweiten Ionenbeschleunigungsgitter
Die Beschleunigung a0 und die beschleunigende Kraft FBe zwischen dem ersten Ionenbeschleunigungsgitter
Die beschleunigende Kraft FBe ist größer als die Bremsverzögerungskraft FBr. Die für das jeweilige Teilchen geltende resultierende Kraft FR ergibt sich nach:
Die Beschleunigung a0e und die beschleunigende Kraft FBee berechnen sich nach:
Die Geschwindigkeit des Elektrons nach der Schubkontrolle durch die Spannungsbelegung am ersten Beschleunigungsgitter
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
- 1 1
- elektrisches Triebwerk electric engine
- 2 2
- Flansch flange
- 3 3
- Symmetrieachse axis of symmetry
- 4 4
- Trennkammer separation chamber
- 5 5
- Rekombinationskammer recombination chamber
- 6 6
- Ionenbeschleunigungsgitter Ion accelerating grid
- 6.1 6.1
- erstes Ionenbeschleunigungsgitter first ion acceleration grid
- 6.2 6.2
- zweites Ionenbeschleunigungsgitter second ionic acceleration grid
- 6.3 6.3
- drittes Ionenbeschleunigungsgitter third ionic acceleration grid
- 7 7
- Elektronenbeschleunigungskanal Electron acceleration channel
- 8 8th
- Ansauggitter intake grille
- 9 9
- Umlenkeinheit Return unit
- 10 10
- Beschleunigungsgitter accelerating grid
- 10.1 10.1
- erstes Beschleunigungsgitter first acceleration grid
- 10.2 10.2
- zweites Beschleunigungsgitter second acceleration grid
- 11 11
- Ablenkeinheit Deflector
- 12 12
- erste Düse first nozzle
- 13 13
- zweite Düse second nozzle
- a0 a 0
- Beschleunigung acceleration
- a0e a 0e
- Beschleunigung acceleration
- a1 a 1
- Bremsverzögerung deceleration
- a1e a 1e
- Bremsverzögerung deceleration
- d0 d 0
- Abstand distance
- d0e d 0e
- Abstand distance
- d1 d 1
- Abstand distance
- d1e d 1e
- Abstand distance
- e e
- Elementarladung elementary charge
- E e
- Elektronenstrahl electron beam
- FBe F Be
- beschleunigende Kraft accelerating force
- FBee F Bee
- beschleunigende Kraft accelerating force
- FBr F Br
- Bremsverzögerungskraft Deceleration force
- FR F R
- resultierende Kraft resulting power
- G G
- Gas gas
- I I
- Ionenstrahl ion beam
- me m e
- Elektronenmasse electron mass
- mi m i
- Ionenmasse ion mass
- P P
- Plasma plasma
- qi q i
- Ladung des Ions Charge of the ion
- B B
- Beschleunigungsrichtung acceleration direction
- U0 U 0
- Spannung tension
- U0e U 0e
- Spannung tension
- U1 U 1
- Spannung tension
- U1e U 1e
- Spannung tension
- v0 v 0
- Geschwindigkeit speed
- v0e ve
- Geschwindigkeit speed
- v1 v 1
- Endgeschwindigkeit Top speed
- v1e v 1e
- Geschwindigkeit speed
Claims (7)
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Legal Events
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R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |