DE102013215627A1 - Light detection device and control method - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung schafft eine Lichtdetektionsvorrichtung, eine Lidar-Vorrichtung und Steuerverfahren zur Steuerung einer Lichtdetektionsvorrichtung und einer Lidar-Vorrichtung. Die Lichtdetektionsvorrichtung weist auf: eine Lichtfokussiereinrichtung (16) zum Einkoppeln von Lichtstrahlen (32) in die Lichtdetektionsvorrichtung; ein mikromechanisches Beugungsgitter (18), wobei die Lichtfokussiereinrichtung (16) und das mikromechanische Beugungsgitter (18) derart ausgebildet und bezüglich einander so angeordnet sind, dass mittels der Lichtfokussiereinrichtung (16) eingekoppelte Lichtstrahlen (34, 44) zumindest zum Teil auf das Beugungsgitter (18) fokussierbar sind, wobei das Beugungsgitter (18) weiterhin derart ausgebildet ist, dass auf das Beugungsgitter (18) auftreffende Lichtstrahlen (34, 44) in Abhängigkeit von einstellbaren Beugungseigenschaften des Beugungsgitters (18) zumindest zum Teil zu einem Lichtsensor (20) hin beugbar sind, welcher zum Messen von auf den Lichtsensor (20) auftreffenden Lichtstrahlen (36) ausgebildet ist; und eine Steuereinrichtung (22), welche zum Einstellen der Beugungseigenschaften des Beugungsgitters (18) ausgebildet ist.The invention provides a light detection device, a lidar device and control methods for controlling a light detection device and a lidar device. The light detection device comprises: a light focusing device (16) for coupling light beams (32) into the light detection device; a micromechanical diffraction grating (18), wherein the light focusing device (16) and the micromechanical diffraction grating (18) are designed and arranged with respect to one another such that light beams (34, 44) coupled in by means of the light focusing device (16) are at least partially directed towards the diffraction grating (FIG. 18) are focusable, wherein the diffraction grating (18) is further formed such that on the diffraction grating (18) incident light beams (34, 44) in response to adjustable diffraction properties of the diffraction grating (18) at least partially towards a light sensor (20) are diffractable, which is designed for measuring incident on the light sensor (20) light rays (36); and control means (22) adapted to adjust the diffraction characteristics of the diffraction grating (18).
Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Lichtdetektionsvorrichtung, insbesondere auf eine Lidar-Vorrichtung mit einer Lichtdetektionsvorrichtung und auf Steuerverfahren für eine Lichtdetektionsvorrichtung und für eine Lidar-Vorrichtung.The present invention relates to a light detecting device, and more particularly to a lidar device having a light detecting device and control methods for a light detecting device and a lidar device.
Stand der TechnikState of the art
In der
Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention
Die vorliegende Erfindung offenbart eine Lichtdetektionsvorrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1, eine Lidar-Vorrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 4 und ein Steuerverfahren mit den Merkmalen des Patentanspruchs 10.The present invention discloses a light detection device having the features of claim 1, a lidar device having the features of claim 4 and a control method having the features of
Demgemäß ist vorgesehen: eine Lichtdetektionsvorrichtung mit einer Lichtfokussiereinrichtung zum Einkoppeln von Lichtstrahlen in die Lichtdetektionsvorrichtung; einem mikromechanischen Beugungsgitter, wobei die Lichtfokussiereinrichtung und das mikromechanische Beugungsgitter derart ausgebildet und bezüglich einander so angeordnet sind, dass mittels der Lichtfokussiereinrichtung eingekoppelte Lichtstrahlen zumindest zum Teil auf das Beugungsgitter fokussierbar sind, wobei das Beugungsgitter weiterhin derart ausgebildet ist, dass auf das Beugungsgitter auftreffende Lichtstrahlen in Abhängigkeit von einstellbaren Beugungseigenschaften des Beugungsgitters zumindest zum Teil zu einem Lichtsensor hin beugbar sind, welcher zum Messen von auf den Lichtsensor auftreffenden Lichtstrahlen ausgebildet ist; und einer Steuereinrichtung, welche zum Einstellen der Beugungseigenschaften des Beugungsgitters ausgebildet ist.Accordingly, there is provided: a light detecting device having a light focusing device for injecting light beams into the light detecting device; a micromechanical diffraction grating, wherein the Lichtfokussiereinrichtung and the micromechanical diffraction grating are formed and arranged with respect to each other so that by means of the Lichtfokussiereinrichtung coupled light beams are at least partially focused on the diffraction grating, wherein the diffraction grating is further designed such that incident on the diffraction grating light beams in Depending on adjustable diffraction characteristics of the diffraction grating, at least in part diffractable towards a light sensor, which is designed to measure light rays incident on the light sensor; and a control device configured to adjust the diffraction characteristics of the diffraction grating.
Weiterhin ist vorgesehen eine Lidar-Vorrichtung mit der erfindungsgemäßen Lichtdetektionsvorrichtung; und einer Abtasteinrichtung, welche dazu ausgebildet ist, mittels Lichtstrahlen einen Abtastbereich abzutasten; wobei die Lichtfokussiereinrichtung derart ausgebildet ist, dass aus dem Abtastbereich heraus auf die Lidar-Vorrichtung auftreffende Lichtstrahlen, auf das Beugungsgitter fokussierbar sind.Furthermore, a lidar device with the light-detecting device according to the invention is provided; and a scanning device configured to scan a scanning area by means of light beams; wherein the Lichtfokussiereinrichtung is formed such that from the scanning area on the lidar device incident light beams, are focused on the diffraction grating.
Weiterhin ist vorgesehen ein Steuerverfahren mit den Verfahrensschritten: Einkoppeln von Lichtstrahlen in die Lichtdetektionsvorrichtung mittels einer Lichtfokussiereinrichtung; Fokussieren von eingekoppelten Lichtstrahlen auf ein mikromechanisches Beugungsgitter mittels der Lichtfokussiereinrichtung; Beugen von auf das Beugungsgitter auftreffenden Lichtstrahlen in Abhängigkeit von einstellbaren Beugungseigenschaften des Beugungsgitters; und Einstellen der Beugungseigenschaften des Beugungsgitters.Furthermore, a control method is provided with the method steps: coupling of light beams into the light-detecting device by means of a light-focusing device; Focusing coupled light beams onto a micromechanical diffraction grating by means of the light focusing device; Diffracting light rays incident on the diffraction grating in response to adjustable diffraction characteristics of the diffraction grating; and adjusting the diffraction characteristics of the diffraction grating.
Vorteile der ErfindungAdvantages of the invention
Die der vorliegenden Erfindung zu Grunde liegende Erkenntnis besteht darin, dass verstellbare mikromechanische Beugungsgitter mit steuerbaren Beugungseigenschaften vorteilhaft in Lichtdetektionsvorrichtungen eingesetzt werden können, um den Einfluss von Störlicht auf die Lichtdetektion von Nutzlicht zu verringern. Nutzlicht ist solches Licht, welches erwünschte Eigenschaften aufweist, aus einem gewünschten Raumwinkelbereich heraus auf die Lichtdetektionsvorrichtung trifft und/oder aus einer gewünschten Quelle stammt. Störlicht kann etwa solches Licht sein, welches aus unerwünschten Quellen, wie beispielsweise aus der Sonne, stammt, oder welches aus einem unerwünschten Raumwinkelbereich heraus auf die Lichtdetektionsvorrichtung trifft.The finding underlying the present invention is that adjustable micromechanical diffraction gratings with controllable diffraction properties can advantageously be used in light-detecting devices in order to reduce the influence of stray light on the light detection of useful light. Useful light is such light which has desirable properties, strikes the light detection device from a desired solid angle region, and / or originates from a desired source. Steady light may be, for example, such light which originates from undesired sources, such as from the sun, or which strikes the light-detecting device from an undesired solid angle range.
Das mikromechanische Beugungsgitter kann beispielsweise ein „Grating Light ValveTM“ (GLV) sein. Ein solches Beugungsgitter kann zwei verschiedene Zustände annehmen. In einem ersten, dem so genannten spekularen Zustand („specular state“) wird einfallendes Licht wie von einem Spiegel reflektiert. In einem zweiten Zustand, dem beugenden Zustand („diffraction state“), wird das Licht gebeugt, im Wesentlichen in Richtung der von Beugungsmaxima der ersten Ordnung. Zudem kann ein solches Beugungsgitter, beispielsweise ein GLV, eine schnelle Schaltzeit aufweisen, sodass es möglich sein kann, das GLV adaptiv so zu schalten, dass immer nur Licht aus einem aktuell abgetasteten Raumwinkel oder Raumwinkelbereich auf den Lichtsensor gelenkt wird.The micromechanical diffraction grating may be, for example, a "Grating Light Valve ™ " (GLV). Such a diffraction grating can assume two different states. In a first, the so-called specular state, incident light is reflected as if from a mirror. In a second state, the diffraction state, the light is diffracted, substantially in the direction of that of first order diffraction maxima. In addition, such a diffraction grating, for example, a GLV, have a fast switching time, so that it may be possible to adaptively switch the GLV so that only light from a currently scanned solid angle or solid angle range is directed onto the light sensor.
Die der vorliegenden Erfindung zu Grunde liegende Idee besteht nun darin, dieser Erkenntnis Rechnung zu tragen und ein mikromechanisches Beugungsgitter mit steuerbaren Beugungseigenschaften in einer Lichtdetektionsvorrichtung, insbesondere in einer Lidar-Vorrichtung mit einer entsprechenden Lichtdetektionsvorrichtung, einzusetzen.The idea on which the present invention is based now consists in taking this finding into account and using a micromechanical diffraction grating with controllable diffraction properties in a light-detecting device, in particular in a lidar device with a corresponding light-detecting device.
Das Beugungsgitter kann unter anderem die Aufgabe einer adaptiven, richtungsselektiven Blende übernehmen, welche nur Licht aus einer bestimmten Richtung durchlässt und auf den Lichtsensor lenkt. Stör- und Umgebungslicht aus den übrigen Raumrichtungen kann dagegen stark gedämpft werden. Gegenüber anderen Lösungen ergibt sich daher erhebliches Kosteneinsparpotential. Insbesondere bei der Verwendung im Rückpfad eines Lichtstrahls, welcher bei einer Lidar-Vorrichtung zum Abtasten eines Abtastbereichs dient, ergeben sich in Kombination mit der Lichtquelle der Lidar-Vorrichtung, welche Licht- oder Laserstrahlen mit bekannten Eigenschaften erzeugt, vorteilhafte Synergieeffekte.Among other things, the diffraction grating can take on the task of an adaptive, direction-selective diaphragm, which transmits only light from a certain direction and directs it to the light sensor. Interference and ambient light from the rest Spatial directions, on the other hand, can be strongly damped. Compared to other solutions, therefore, there is considerable cost savings potential. In particular, when used in the return path of a light beam, which is used in a lidar device for scanning a scanning, arise in combination with the light source of the lidar device, which generates light or laser beams with known properties, advantageous synergy effects.
Der lenkende Effekt des Beugungsgitters kann sich dadurch ergeben, dass bei Auftreffen des Lichts auf das Beugungsgitter ein Beugungsmuster des auftreffenden Lichts entsteht. Das Beugungsmuster weist Beugungsminima und Beugungsmaxima auf, wobei die Intensität der Beugungsmaxima üblicherweise mit steigender Ordnung der Beugungsmaxima abnimmt. Das Beugungsgitter kann so gesteuert werden, dass das Beugungsmuster derart angepasst wird, dass ein Beugungsmaximum von Nutzlicht auf den Lichtsensor auftrifft und/oder ein Beugungsminimum von Störlicht auf den Lichtabsorber auftrifft. Die Beugungsmaxima des Lichts können somit „zu dem Lichtsensor hin gebeugt“ werden.The guiding effect of the diffraction grating may be that a diffraction pattern of the incident light is produced when the light strikes the diffraction grating. The diffraction pattern has diffraction minima and diffraction maxima, wherein the intensity of the diffraction maxima usually decreases with increasing order of the diffraction maxima. The diffraction grating can be controlled such that the diffraction pattern is adapted such that a diffraction maximum of useful light impinges on the light sensor and / or a diffraction minimum of stray light impinges on the light absorber. The diffraction maxima of the light can thus be "diffracted towards the light sensor".
Vorteilhafte Ausführungsformen und Weiterbildungen ergeben sich aus den Unteransprüchen sowie aus der Beschreibung unter Bezugnahme auf die Figuren.Advantageous embodiments and further developments emerge from the dependent claims and from the description with reference to the figures.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Lichtdetektionsvorrichtung wobei weist das Beugungsgitter parallel angeordnete, reflektierende Streifen auf. Die Beugungseigenschaften des Beugungsgitters sind zumindest dadurch einstellbar, dass eine erste Mehrzahl der reflektierenden Streifen im Vergleich zu einer zweiten Mehrzahl der reflektierenden Streifen temporär in einer Richtung, welche senkrecht zu der Richtung liegt, in welcher die Streifen parallel zueinander angeordnet sind, temporär absenkbar ist. Beispielsweise kann jeder zweite, jeder dritte etc. Streifen jeweils abgesenkt werden. Solche Eigenschaften weist beispielsweise das „Grating Light ValveTM“ (GLV) auf. Über zum Beispiel eine Tiefe des Absenkens der ersten Mehrzahl der reflektierenden Streifen kann insbesondere eine Abhängigkeit der Beugungseigenschaften des Beugungsgitters von den auf das Beugungsgitter auftreffenden Lichtstrahlen eingestellt werden. Die erste Mehrzahl der reflektierenden Streifen kann im Vergleich zu der zweiten Mehrzahl der reflektierenden Streifen beispielsweise um einen Bruchteil einer Wellenlänge von vorteilhafter Weise zu beugenden Strahlen abgesenkt werden. According to a preferred development of the light detection device, the diffraction grating has reflective strips arranged in parallel. The diffraction properties of the diffraction grating are adjustable at least by temporarily temporarily lowering a first plurality of the reflective strips compared to a second plurality of the reflective strips in a direction perpendicular to the direction in which the strips are arranged parallel to one another. For example, every second, every third, etc. strip can be lowered in each case. Such properties, for example, the "Grating Light Valve TM " (GLV). In particular, a dependence of the diffraction characteristics of the diffraction grating on the light beams incident on the diffraction grating can be adjusted via, for example, a depth of lowering of the first plurality of reflective strips. The first plurality of reflective strips may advantageously be lowered by a fraction of a wavelength, as compared to the second plurality of reflective strips, for example, to be diffracted.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung der Lichtdetektionsvorrichtung weist das Beugungsgitter eine Matrix mit einer Vielzahl von separat ansteuerbaren Abschnitten auf, wobei die Beugungseigenschaften jedes der separat ansteuerbaren Abschnitte separat eingestellt werden können. Somit können Lichtstrahlen, welche auf verschiedene Abschnitte des Beugungsgitters auftreffen, gemäß verschiedenen Beugungsmustern gebeugt werden. Dadurch kann das Beugungsgitter beispielsweise besonders einfach als richtungsselektive Blende eingesetzt werden.According to a further preferred development of the light-detecting device, the diffraction grating has a matrix with a plurality of separately controllable sections, wherein the diffraction properties of each of the separately controllable sections can be adjusted separately. Thus, light beams incident on different portions of the diffraction grating can be diffracted according to different diffraction patterns. As a result, the diffraction grating can be used, for example, particularly simply as a direction-selective diaphragm.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung weist die Abtasteinrichtung der erfindungsgemäßen Lidar-Vorrichtung eine Lichtquelle auf, mittels welcher die Lichtstrahlen erzeugbar sind, und eine verstellbare Spiegeleinrichtung, welche derart ausgebildet und bezüglich der Lichtquelle so angeordnet ist, dass mittels der Spiegeleinrichtung die erzeugten Lichtstrahlen zum Abtasten des Abtastbereichs ablenkbar sind.According to a preferred refinement, the scanning device of the lidar device according to the invention has a light source, by means of which the light beams can be generated, and an adjustable mirror device, which is designed and arranged with respect to the light source such that the generated light beams are used to scan the scanning region by means of the mirror device are distractible.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist die Lichtquelle dazu ausgebildet, die Lichtstrahlen derart zu erzeugen, dass sie im Wesentlichen eine bestimmte Wellenlänge aufweisen. Die Steuereinrichtung kann weiterhin dazu ausgebildet sein, das Beugungsgitter derart zu steuern, dass mittels des Beugungsgitters ein erstes Beugungsmaximum von solchen der auf das Beugungsgitter auftreffenden Lichtstrahlen, welche die bestimmte Wellenlänge aufweisen, zumindest zum Teil zu dem Lichtsensor hin beugbar ist. Das Beugungsgitter kann auch derart gesteuert werden, dass mittels des Beugungsgitters ein zweites Beugungsmaximum von solchen der auf das Beugungsgitter auftreffenden Lichtstrahlen, welche eine andere als die bestimmte Wellenlänge aufweisen, zumindest zum Teil zu einem ersten Lichtabsorber hin beugbar ist. Bei dem ersten und/oder zweiten Beugungsmaximum kann es sich beispielsweise um ein Beugungsmaximum mit der jeweils höchsten Intensität eines bestimmten Beugungsspektrums handeln, etwa um ein Beugungsmaximum erster Ordnung. Dadurch kann gezielt Nutzlicht – mit der bestimmten Wellenlänge – zu einem größeren Anteil auf den Lichtsensor gelenkt werden als Störlicht, welches eine von der bestimmten Wellenlänge verschiedene Wellenlänge aufweist.According to a further preferred development, the light source is designed to generate the light beams in such a way that they essentially have a specific wavelength. The control device can furthermore be designed to control the diffraction grating in such a way that by means of the diffraction grating a first diffraction maximum of those of the light beams incident on the diffraction grating and having the specific wavelength can be diffracted at least in part towards the light sensor. The diffraction grating can also be controlled in such a way that, by means of the diffraction grating, a second diffraction maximum of those of the light beams incident on the diffraction grating and having a wavelength other than the specific wavelength can be diffracted at least in part towards a first light absorber. The first and / or second diffraction maximum may, for example, be a diffraction maximum with the respective highest intensity of a specific diffraction spectrum, for example a first order diffraction maximum. As a result, useful light - with the specific wavelength - can be directed to a greater extent onto the light sensor than stray light which has a wavelength which differs from the specific wavelength.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist die Steuereinrichtung dazu ausgebildet ist, die verstellbare Spiegeleinrichtung derart zu steuern, dass die verstellbare Spiegeleinrichtung die erzeugten Lichtstrahlen in einen ersten Raumwinkel des Abtastbereichs ablenkt. Die Steuereinrichtung kann weiterhin dazu ausgebildet sein, das Beugungsgitter derart zu steuern, dass mittels des Beugungsgitters ein drittes Beugungsmaximum von solchen der auf das Beugungsgitter auftreffenden Lichtstrahlen, welche aus dem ersten Raumwinkel des Abtastbereichs heraus auf das Beugungsgitter treffen, zumindest zum Teil zu dem Lichtsensor beugbar ist. Das Beugungsgitter kann auch derart gesteuert werden, dass ein viertes Beugungsmaximum von solchen der auf das Beugungsgitter auftreffenden Lichtstrahlen, welche aus einem zweiten Raumwinkel des Abtastbereichs, welcher von dem ersten Raumwinkel verschieden ist, auf das Beugungsgitter treffen, zumindest zum Teil zu einem zweiten Lichtabsorber hin beugbar ist. Dadurch kann gezielt Nutzlicht, welches aus einem aktuell abgetasteten Raumwinkel oder Raumwinkelbereich ausgeht, zu einem größeren Anteil auf den Lichtsensor gelenkt werden als Störlicht, welches aus einem anderen als dem aktuell abgetasteten Raumwinkel oder Raumwinkelbereich ausgeht.According to a further preferred development, the control device is designed to control the adjustable mirror device such that the adjustable mirror device deflects the generated light beams into a first solid angle of the scanning region. The control device can furthermore be designed to control the diffraction grating in such a way that, by means of the diffraction grating, a third diffraction maximum of those of the light rays impinging on the diffraction grating, which impinge on the diffraction grating from the first solid angle of the scanning region, diffracts at least in part towards the light sensor is. The diffraction grating can also be controlled so that a fourth diffraction maximum of those on the Diffraction grating incident light rays, which from a second solid angle of the scanning, which is different from the first solid angle, meet the diffraction grating, at least partially diffractable towards a second light absorber out. As a result, useful light, which emanates from a currently sampled solid angle or solid angle range, can be directed to a greater extent onto the light sensor than stray light, which emanates from a solid angle or solid angle range other than the currently sampled solid angle.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung weist die Lichtfokussiereinrichtung eine Linse und/oder ein Objektiv auf. Es können auch kompliziertere Optiken bzw. optische Einrichtungen vorgesehen sein.According to a further preferred development, the light focusing device has a lens and / or a lens. It can also be provided more complicated optics or optical devices.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung fungiert das mikromechanische Beugungsgitter als Bandpassfilter im Infrarotbereich. Dadurch können unerwünschte Artefakte und Störlichteffekte im Lichtsensor weiter verringert werden.According to a further preferred refinement, the micromechanical diffraction grating functions as a bandpass filter in the infrared range. As a result, unwanted artifacts and stray light effects in the light sensor can be further reduced.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung des Steuerverfahrens umfasst das Steuerverfahren weiterhin die Verfahrensschritte: Erzeugen von Lichtstrahlen, welche im Wesentlichen eine bestimmte Wellenlänge aufweisen, mittels einer Lichtquelle; Beugen eines ersten Beugungsmaximums von solchen der auf das Beugungsgitter auftreffenden Lichtstrahlen, welche die bestimmte Wellenlänge aufweisen, zumindest zum Teil zu dem Lichtsensor hin; und/oder Beugen eines zweiten Beugungsmaximums von solchen der auf das Beugungsgitter auftreffenden Lichtstrahlen, welche eine andere als die bestimmte Wellenlänge aufweisen, zumindest zum Teil zu einem ersten Lichtabsorber hin.According to a preferred embodiment of the control method, the control method further comprises the method steps: generating light beams, which essentially have a specific wavelength, by means of a light source; Diffracting a first diffraction peak from those of the light rays incident on the diffraction grating having the particular wavelength at least in part toward the light sensor; and / or diffracting a second diffraction peak from those of the light rays incident on the diffraction grating which have a wavelength other than the determined wavelength, at least in part towards a first light absorber.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung des Steuerverfahrens umfasst das Steuerverfahren weiterhin die Verfahrensschritte: Ablenken von mittels einer Lichtquelle erzeugten Lichtstrahlen in einen ersten Raumwinkel eines Abtastbereichs mittels einer verstellbaren Spiegeleinrichtung; Beugen eines dritten Beugungsmaximums von solchen Lichtstrahlen, welche aus dem ersten Raumwinkel des Abtastbereichs heraus auf das Beugungsgitter auftreffen, mittels des Beugungsgitters zumindest zum Teil zu dem Lichtsensor hin; und/oder Beugen eines vierten Beugungsmaximums von solchen Lichtstrahlen, welche aus einem zweiten Raumwinkel des Abtastbereichs, welcher von dem ersten Raumwinkel verschieden ist, auf das Beugungsgitter auftreffen, mittels des Beugungsgitters zumindest zum Teil zu einem zweiten Lichtabsorber hin.According to a preferred embodiment of the control method, the control method further comprises the method steps: deflecting light rays generated by a light source into a first solid angle of a scanning region by means of an adjustable mirror device; Diffracting a third diffraction peak of such light rays incident on the diffraction grating from the first solid angle of the scanning region, at least in part, toward the light sensor by means of the diffraction grating; and / or diffracting a fourth diffraction maximum of such light rays incident on the diffraction grating from a second solid angle of the scanning region different from the first solid angle by means of the diffraction grating at least in part toward a second light absorber.
Kurze Beschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings
Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend anhand der in den schematischen Figuren der Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigen:The present invention will be explained in more detail with reference to the embodiments illustrated in the schematic figures of the drawings. Show it:
In allen Figuren sind gleiche bzw. funktionsgleiche Elemente und Vorrichtungen – sofern nichts Anderes angegeben ist – mit denselben Bezugszeichen versehen.In all figures, the same or functionally identical elements and devices - unless otherwise stated - provided with the same reference numerals.
Ausführungsformen der ErfindungEmbodiments of the invention
Gemäß
Die von der Lichtquelle
Die Lichtdetektionsvorrichtung
Die Lichtdetektionsvorrichtung
In der Lichtdetektionsvorrichtung
Zum Einstellen der Beugungseigenschaften des Beugungsgitters
Gemäß
Bei der Verwendung der Lichtdetektionsvorrichtung
Der Lichtabsorber
Das Beugungsgitter
Obwohl die vorliegende Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele vorstehend beschrieben wurde, ist sie darauf nicht beschränkt, sondern auf vielfältige Art und Weise modifizierbar. Insbesondere lässt sich die Erfindung in mannigfaltiger Weise verändern oder modifizieren, ohne vom Kern der Erfindung abzuweichen.Although the present invention has been described above with reference to preferred embodiments, it is not limited thereto, but modifiable in a variety of ways. In particular, the invention can be varied or modified in many ways without deviating from the gist of the invention.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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Zitierte PatentliteraturCited patent literature
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