DE102013114740A1 - Method for pressure measurement with a tube diaphragm seal and tube sealer for vacuum applications - Google Patents
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Abstract
Ein Verfahren zum Messen eines Drucks eines Mediums in einer Rohrleitung unterhalb von 100 mbar, bei Temperaturen oberhalb von 370 K mit einem Rohrdruckmittler mit einer Rohrmembran, wobei die Rohrmembran von einer Ringkammer umgeben ist, die mit einem Druckmesswandler kommuniziert, wobei die Ringkammer mit einer Menge an Übertragungsflüssigkeit gefüllt ist, welche eine Auslenkung der Rohrmembran in der Weise bewirkt, dass diese bei allen Betriebstemperaturen oberhalb von 300 K einen Querschnitt aufweist, dessen winkelabhängiger Radius R(φ) beschrieben werden kann als R(φ) = R0 + ΣNi=2 ai(T)·cos(i·φ),wobei der Dampfdruck der Übertragungsflüssigkeit im Arbeitsbereich des Druckmittlers den Druck in der Rohrleitung übersteigt, und wobei der Druck in der Ringkammer für alle Temperaturen im Arbeitsbereich des Druckmittlers größer ist als der Dampfdruck der Übertragungsflüssigkeit.A method of measuring a pressure of a medium in a pipeline below 100 mbar, at temperatures above 370 K, with a tube seal having a tube membrane, the tube membrane being surrounded by an annular chamber communicating with a pressure transducer, the annular chamber containing an amount is filled with transfer fluid, which causes a deflection of the tube membrane in such a way that it has a cross section at all operating temperatures above 300 K, whose angle-dependent radius R (φ) can be described as R (φ) = R0 + ΣNi = 2 ai (T) · cos (i · φ), wherein the vapor pressure of the transfer fluid in the working range of the pressure transmitter exceeds the pressure in the pipe, and wherein the pressure in the annular chamber for all temperatures in the working range of the pressure transmitter is greater than the vapor pressure of the transmission fluid.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Druckmessung mit einem Rohrdruckmittler, insbesondere zur Druckmessung bei so genannten Vakuumprozessen, beispielsweise bei Drücken von weniger als 100 mbar, bei erhöhter Temperatur. Weiterhin betrifft die Erfindung einen Rohrdruckmittler für Druckmessungen in Vakuumprozessen. Rohrdruckmittler dienen im Allgemeinen dazu, einen Prozessdruck, der in einer Rohrleitung herrscht mittels einer Übertragungsflüssigkeit zu einem Druckmessaufnehmer zu übertragen. Auf diese Weise wird der Druckmessaufnehmer beispielsweise vor abrasiven oder korrosiven Medien oder einer hohen Medientemperatur geschützt. Rohrdruckmittler sind beispielsweise in
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde ein Verfahren anzugeben, welches die Druckmessung in Vakuumsprozessen bei hohen Temperaturen ermöglicht, und einen Rohrdruckmittler dafür bereitzustellen.The present invention has for its object to provide a method which allows the pressure measurement in vacuum processes at high temperatures, and to provide a Rohrdruckmittler for it.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch das Verfahren gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 1 und den Rohrdruckmittler gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 8.The object is achieved by the method according to the independent claim 1 and the pipe diaphragm seal according to the independent claim. 8
Das erfindungsgemäße Verfahren zum Messen eines Drucks eines Mediums in einer Rohrleitung unterhalb von 100 mbar, insbesondere unterhalb 50 mbar, bei Temperaturen oberhalb von 370 K, insbesondere oberhalb von 400 K, wobei ein Abschnitt der Rohrleitung einen Rohrdruckmittler umfasst, wobei der Rohrdruckmittler eine Rohrmembran aufweist, die in einem Gleichgewichtszustand eine zylindrische Form aufweist, wobei die Rohrmembran von einer Ringkammer umgeben ist, wobei die Ringkammer über einen hydraulischen Pfad mit einem Druckmesswandler kommuniziert, um ein Sensorelement des Druckmesswandlers mit einem in der Ringkammer herrschenden Druck zu beaufschlagen, wobei die Ringkammer und der hydraulische Pfad mit einer Übertragungsflüssigkeit gefüllt sind, welche die Rohrmembran mit einem Druck beaufschlagt, der eine Auslenkung der Rohrmembran bewirkt, dass diese bei der halben Rohrlänge bei allen Betriebstemperaturen oberhalb von 300 K einen Querschnitt aufweist, dessen winkelabhängiger Radius R(φ) beschrieben werden kann als
In einer Weiterbildung der Erfindung weist der Druck p in der Ringkammer bei konstantem Druck in der Rohrleitung eine Temperaturabhängigkeit auf, für die gilt |(p(T) – p(300 K))/p(T)| < 0,15 insbesondere < 0,1, für 300 K < T < 470 K.In a development of the invention, the pressure p in the annular chamber has a temperature dependence at constant pressure in the pipeline, for which | (p (T) -p (300 K)) / p (T) | <0.15, in particular <0.1, for 300 K <T <470 K.
In einer Weiterbildung der Erfindung gilt für mindestens ein ai(T): ai(T)/R0 < 0,2 insbesondere ai(T)/R0 < 0,1, für T = 300 K.In one development of the invention, for at least one a i (T): a i (T) / R 0 <0.2, in particular a i (T) / R 0 <0.1, for T = 300 K.
In einer Weiterbildung der Erfindung gilt für mindestens ein ai(T): ai(T)/R0 > 0,05 insbesondere ai(T)/R0 > 0,1, für T = 300 K.In one development of the invention, for at least one a i (T): a i (T) / R 0 > 0.05, in particular a i (T) / R 0 > 0.1, for T = 300 K.
In einer Weiterbildung der Erfindung gilt: wobei N = 2, 3 oder 4, insbesondere N = 2.In a development of the invention, where N = 2, 3 or 4, in particular N = 2.
In einer Weiterbildung der Erfindung beträgt der Druck in der Ringkammer für T > 300 K unabhängig vom Druck in der Rohrleitung nicht weniger als 50 mbar, insbesondere nicht weniger als 80 mbar und bevorzugt nicht weniger als 100 mbar.In one embodiment of the invention, the pressure in the annular chamber for T> 300 K, regardless of the pressure in the pipeline not less than 50 mbar, in particular not less than 80 mbar and preferably not less than 100 mbar.
In einer Weiterbildung der Erfindung ist der Druck in der Ringkammer für T > 300 K aufgrund der Auslenkung der Rohrmembran um eine Druckdifferenz Δp größer als der Druck in der Rohrleitung wobei für 300 K < T < 470 K die Druckdifferenz nicht mehr als 200 mbar, insbesondere nicht mehr als 150 mbar und bevorzugt nicht weniger als 120 mbar beträgt.In a further development of the invention, the pressure in the annular chamber for T> 300 K due to the deflection of the tube membrane by a pressure difference Δp greater than the pressure in the pipeline for 300 K <T <470 K, the pressure difference not more than 200 mbar, in particular not more than 150 mbar and preferably not less than 120 mbar.
Der erfindunggemäße Rohrdruckmittler, umfasst: eine Rohrmembran, die in einem Gleichgewichtszustand eine zylindrische Form aufweist; und ein Trägerrohr, wobei die Röhrmembran in dem Trägerrohr angeordnet und mit dem Trägerrohr an beiden Enden druckdicht verbunden ist wobei die Rohrmembran zwischen der Rohrmembran und dem Trägerrohr gebildeten Ringkammer umgeben ist, wobei die Ringkammer einen Anschluss für einen hydraulischen Pfad zum Kommunizieren mit einem Druckmesswandler aufweist, wobei die Ringkammer und der hydraulische Pfad mit einer Menge Übertragungsflüssigkeit gefüllt sind, welche eine Auslenkung der Rohrmembran bewirkt, wobei die Rohrmembran bei der halben Rohrlänge I/2 bei allen Betriebstemperaturen oberhalb von 300 K einen Querschnitt aufweist, dessen winkelabhängiger Radius R(φ) beschrieben werden kann als
In einer Weiterbildung der Erfindung weist der Druck p in der Ringkammer bei konstantem Druck in der Rohrleitung eine Temperaturabhängigkeit auf für die gilt |(p(T) – p(300 K))/p(T)| < 0,15 insbesondere < 0,1, für 300 K < T < 470 K.In a development of the invention, the pressure p in the annular chamber at constant pressure in the pipeline has a temperature dependence for which | (p (T) -p (300 K)) / p (T) | <0.15, in particular <0.1, for 300 K <T <470 K.
In einer Weiterbildung der Erfindung gilt für mindestens ein ai(T): ai(T)/R0 < 0,2 insbesondere ai(T)/R0 < 0,1, für T = 300 K.In one development of the invention, for at least one a i (T): a i (T) / R 0 <0.2, in particular a i (T) / R 0 <0.1, for T = 300 K.
In einer Weiterbildung der Erfindung gilt für mindestens ein ai(T): ai(T)/R0 > 0,05 insbesondere ai(T)/R0 > 0,1 für T = 300 K.In one development of the invention, for at least one a i (T): a i (T) / R 0 > 0.05, in particular a i (T) / R 0 > 0.1 for T = 300 K.
In einer Weiterbildung der Erfindung gilt N = 2, 3 oder 4, insbesondere N = 2.In a development of the invention, N = 2, 3 or 4, in particular N = 2.
In einer Weiterbildung der Erfindung beträgt der Druck in der Ringkammer für T > 300 K unabhängig vom Druck in der Rohrleitung nicht weniger als 50 mbar, insbesondere nicht weniger als 80 mbar und bevorzugt nicht weniger als 100 mbar.In one embodiment of the invention, the pressure in the annular chamber for T> 300 K, regardless of the pressure in the pipeline not less than 50 mbar, in particular not less than 80 mbar and preferably not less than 100 mbar.
In einer Weiterbildung der Erfindung beträgt der Druck in der Ringkammer für T > 300 K aufgrund der Auslenkung der Rohrmembran um eine Druckdifferenz Δp größer ist als der Druck in der Rohrleitung, wobei für 300 K < T < 470 K die Druckdifferenz nicht mehr als 200 mbar, insbesondere nicht mehr als 150 mbar und bevorzugt nicht mehr als 120 mbar beträgt.In one development of the invention, the pressure in the annular chamber for T> 300 K is greater than the pressure in the pipeline due to the deflection of the tube membrane by a pressure difference Ap, where for 300 K <T <470 K, the pressure difference is not more than 200 mbar , in particular not more than 150 mbar and preferably not more than 120 mbar.
Dem erfindungsgemäßen Verfahren und dem erfindungsgemäßen Rohrdruckmittlern liegt die Überlegung zu Grunde, dass für eine Druckmessung mit einem Druckmittler es nicht darauf ankommt, dass die durch eine Auslenkung der Rohrmembran verursachte Druckdifferenz einen absolut niedrigen Wert aufweist, sondern nur darauf, dass diese Druckdifferenz sich über den Arbeitsbereich des Druckmittlers nur gering und insbesondere monoton verändert. Die Auslenkung einer zylindrischen Rohrmembran durch eine Druckbeaufschlagung von der Außenseite der Rohrmembran her in einem solchen Maße, dass die Rohrmembran die anspruchsgemäße Verformung aufweist bewirkt gerade eine solche Druckdifferenz, die dann über den Arbeitsbereich eines Rohrdruckmittlers nur um einige wenige Prozent variiert. Gleichzeitig ist die Druckdifferenz so, dass der durch diese Druckdifferenz verursachte minimale absolute Druck in der Ringkammer um die Rohrmembran stets oberhalb des Dampfdrucks der gängigen Übertragungsflüssigkeiten liegt, insbesondere auch bei erhöhten Temperaturen innerhalb des Arbeitsbereiches. Damit ist ein ausgasen der Übertragungsflüssigkeit, welches zur Zerstörung des Rohrdruckmittlers, bzw. zur Verfälschung der Druckmessung führen würde zuverlässig verhindert.The method according to the invention and the pipe diaphragm seal according to the invention are based on the consideration that it is not important for a pressure measurement with a pressure transmitter that the pressure difference caused by a deflection of the pipe membrane has an absolutely low value, but only that this pressure difference is higher than the pressure difference Working range of the diaphragm seal only low and especially monotonously changed. The deflection of a cylindrical tube membrane by pressurization from the outside of the tube membrane forth to such an extent that the tube membrane has the claimed deformation just causes such a pressure difference, which then varies over the working range of a pipe diaphragm seal only by a few percent. At the same time, the pressure difference is such that the minimum absolute pressure in the annular chamber around the pipe membrane caused by this pressure difference is always above the vapor pressure of the common transfer liquids, especially at elevated temperatures within the working range. This is an outgassing of the transmission fluid, which would lead to the destruction of the tube pressure mediator, or for the falsification of the pressure measurement reliably prevented.
Die Erfindung wird nun anhand der in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigt:The invention will now be explained in more detail with reference to the embodiments illustrated in the drawings. It shows:
Die in
Der in
Der Vollständigkeit halber sei noch erwähnt, dass der Rohrdruckmittler
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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Zitierte PatentliteraturCited patent literature
- EP 0629846 B1 [0001] EP 0629846 B1 [0001]
- EP 0242813 A2 [0001] EP 0242813 A2 [0001]
- DE 20313930 U1 [0001] DE 20313930 U1 [0001]
- DE 7433978 U1 [0001] DE 7433978 U1 [0001]
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2014
- 2014-11-14 WO PCT/EP2014/074652 patent/WO2015090768A1/en active Application Filing
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