DE102013109833B4

DE102013109833B4 - Excimer lamps

Info

Publication number: DE102013109833B4
Application number: DE102013109833.9A
Authority: DE
Inventors: Ulrich Berger
Original assignee: Heraeus Noblelight GmbH
Current assignee: Heraeus Noblelight GmbH
Priority date: 2013-09-09
Filing date: 2013-09-09
Publication date: 2015-09-03
Anticipated expiration: 2033-09-10
Also published as: DE102013109833A1; WO2015032561A1

Abstract

Excimer-Strahler (1), aufweisend einen geschlossenen, ringspaltförmigen Entladungsraum (2), der sich zwischen einem Außenrohr (3) und einem koaxial darin angeordneten Innenrohr (4) erstreckt, wobei Außenrohr (3) und Innenrohr (4) an ihren stirnseitigen Enden über eine Abdichtung gasdicht verschlossen sind, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Abdichtungen ein Dichtpresselement (50) mit einem Grundkörper (51) und einem mit diesem zusammenwirkenden und relativ zum Grundkörper (51) bewegbaren Träger (52), sowie mindestens zwei Dichtringe (60a, 60b, 63a, 63b) umfasst, von denen einer am Außenrohr (3) und ein anderer am Innenrohr (4) anliegt, und dass der Träger (52) und der Grundkörper (51) in ihrer Zusammenwirkung eine in Richtung einer Außenrohr-Längsachse (5) auf die Dichtringe (60a, 60b, 63a, 63b) wirkende Anpresskraft erzeugen, die eine Querdehnung der Dichtringe (60a, 60b, 63a, 63b) senkrecht zur Richtung der Anpresskraft bewirkt.Excimer radiator (1), comprising a closed, annular gap-shaped discharge space (2) extending between an outer tube (3) and an inner tube (4) arranged coaxially therein, the outer tube (3) and inner tube (4) at their front ends are gas-tightly sealed by a seal, characterized in that at least one of the seals a sealing press element (50) having a base body (51) and a cooperating with this and relative to the base body (51) movable carrier (52), and at least two sealing rings (60a , 60b, 63a, 63b), one of which bears against the outer tube (3) and another against the inner tube (4), and that the carrier (52) and the main body (51) cooperate in the direction of an outer tube longitudinal axis (5) generate contact force acting on the sealing rings (60a, 60b, 63a, 63b), which causes a transverse expansion of the sealing rings (60a, 60b, 63a, 63b) perpendicular to the direction of the contact pressure.

Description

Die Erfindung betrifft einen Excimer-Strahler, aufweisend einen geschlossenen, ringspaltförmigen Entladungsraum, der sich zwischen einem Außenrohr und einem koaxial darin angeordneten Innenrohr erstreckt, wobei Außenrohr und Innenrohr an ihren stirnseitigen Enden über eine Abdichtung gasdicht verschlossen sind.The invention relates to an excimer radiator, comprising a closed, annular gap-shaped discharge space extending between an outer tube and a coaxially disposed therein inner tube, said outer tube and inner tube are sealed gas-tight at their front ends via a seal.

Excimer-Strahler sind Dielektrische Barriere-Entladungslampen; sie werden beispielsweise für die Bestrahlung von Flüssigkeiten, Feststoffen, Oberflächen oder Gasen mit ultravioletter Strahlung verwendet.Excimer emitters are Dielectric Barrier Discharge Lamps; they are used, for example, for the irradiation of liquids, solids, surfaces or gases with ultraviolet radiation.

Stand der TechnikState of the art

Bekannte Excimer-Strahler weisen ein Entladungsgefäß mit einem Entladungsraum auf, der von einem Außenrohr und einem koaxial darin angeordneten Innenrohr begrenzt wird. Der Entladungsraum erstreckt sich zwischen dem Außenrohr und dem Innenrohr und ist ringspaltförmig ausgebildet. Zur gasdichten Abdichtung des Entladungsraums ist an den stirnseitigen Enden von Außenrohr und Innenrohr jeweils eine gasdichte Abdichtung vorgesehen, beispielsweise in Form einer Einschmelzung einer Quarzglasscheibe oder einer Quetschung der Strahlerrohr-Enden.Known excimer radiators have a discharge vessel with a discharge space, which is delimited by an outer tube and an inner tube arranged coaxially therein. The discharge space extends between the outer tube and the inner tube and is formed ringpaltförmig. For gas-tight sealing of the discharge space a gas-tight seal is provided at the front ends of the outer tube and inner tube, for example in the form of a melting of a quartz glass plate or a pinch of the radiator tube ends.

Der Entladungsraum ist mit einem Füllgas gefüllt, das zur Emission von Excimer-Strahlung geeignet ist. Excimere („Excited Dimer”) sind kurzlebige Teilchen, die nur im angeregten Zustand existieren und die, wenn sie in ihren Grundzustand zurückkehren, Strahlung in einem engen Spektralbereich emittieren. Die Wellenlänge der Hauptemissionslinie eines Excimer-Strahlers hängt vom Füllgas ab. So emittieren beispielsweise XeCl-haltige Füllgase bei 308 nm, KrCl-haltige Füllgase bei 222 nm und XeBr-haltige Füllgase bei 282 nm.The discharge space is filled with a filling gas which is suitable for the emission of excimer radiation. Excimers ("Excited Dimer") are short-lived particles that exist only in the excited state and, when they return to their ground state, emit radiation in a narrow spectral range. The wavelength of the main emission line of an excimer radiator depends on the filling gas. For example, XeCl-containing filling gases emit at 308 nm, filling gases containing KrCl at 222 nm and XeBr-containing filling gases at 282 nm.

Ein Excimer-Strahler mit einem Außenrohr aus Quarzglas und einem koaxial darin angeordneten Innenrohr aus Quarzglas ist aus der DE 10 2009 036 297 B3 bekannt. Bei diesem Strahler sind Außenrohr und Innenrohr an ihren stirnseitigen Enden miteinander verschmolzen, so dass diese einen ringspaltförmigen, geschlossenen Entladungsraum festlegen. Zur Erzeugung der dielektrisch behinderten Entladung ist an der Außenwandung des Außenrohres eine Außenelektrode und an der Innenwandung des Innenrohrs eine Innenelektrode angeordnet. Darüber hinaus dient das Innenrohr des Excimer-Strahlers gleichzeitig als Strömungskanal zur Durchleitung eines Kühlgases.An excimer radiator with an outer tube made of quartz glass and a coaxially arranged therein inner tube of quartz glass is made of DE 10 2009 036 297 B3 known. In this emitter outer tube and inner tube are fused together at their front ends, so that they define an annular gap-shaped, closed discharge space. To produce the dielectrically impeded discharge, an outer electrode is arranged on the outer wall of the outer tube and an inner electrode is arranged on the inner wall of the inner tube. In addition, the inner tube of the excimer radiator simultaneously serves as a flow channel for the passage of a cooling gas.

Excimer-Strahler sind während des Betriebs häufig großen Temperaturschwankungen ausgesetzt. So werden beispielsweise beim Durchleiten von Kühlfluiden durch das Innenrohr im Entladungsgefäß regelmäßig Temperaturunterschiede von über 100°K zwischen dem ungekühlten Außenrohr und dem Innenrohr beobachtet. Diese Temperaturunterschiede können zu Spannungen, insbesondere im Bereich der Verschmelzung führen. Als Folge hiervon werden häufig Risse an den Verschmelzungskanten beobachtet, die die Dichtheit des Entladungsgefäßes beeinträchtigen und zu einem Ausfall des Excimer-Strahlers führen können. Die Herstellung der Verschmelzungen umfasst mehrere Verfahrensschritte und ist zeit- und kostenaufwendig.Excimer emitters are often exposed to large temperature fluctuations during operation. Thus, for example, when passing cooling fluids through the inner tube in the discharge vessel regularly observed temperature differences of about 100 ° K between the uncooled outer tube and the inner tube. These temperature differences can lead to stresses, especially in the area of fusion. As a result, cracks are often observed at the fusion edges, which can affect the tightness of the discharge vessel and can lead to failure of the excimer radiator. The production of the blends involves several process steps and is time-consuming and costly.

Um eine Verschmelzung mit einer hohen Widerstandfähigkeit gegen thermische Beanspruchung zu gewährleisten, sind bei dem bekannten Excimer-Strahler Außenrohr und Innenrohr aus demselben Glasmaterial gefertigt. Dadurch, dass die miteinander verschmolzenen Rohre den gleichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweisen, werden Spannungen im Verschmelzungsbereich verringert.In order to ensure a fusion with a high resistance to thermal stress, outer tube and inner tube are made of the same glass material in the known excimer radiator. The fact that the fused together tubes have the same coefficient of thermal expansion, stresses in the fusion region are reduced.

Dennoch führen Temperaturunterscheide des Entladungsgefäßes zum Auftreten Spannungen im Verschweißungsbereich, die zur Rissbildung, Undichtheit und einem Ausfall des Excimer-Strahlers führen können, und zwar insbesondere dann, wenn der Excimer-Strahler eine große Strahlerrohr-Länge von mehr als 1.500 mm aufweist.Nevertheless, temperature differentials of the discharge vessel lead to stresses in the welding region, which can lead to cracking, leakage and failure of the excimer radiator, especially when the excimer radiator has a large radiator tube length of more than 1,500 mm.

Aus der US 2008/0 265 775 A1 ist ein gattungsgemäßer Excimer-Strahler sowie eine Halterung für den Excimer-Strahler bekannt. Der Excimer-Strahler weist einen geschlossenen, ringspaltförmigen Entladungsraum auf, der sich zwischen einem Außenrohr und einem koaxial darin angeordneten Innenrohr erstreckt. An den stirnseitigen Enden des Entladungsraums ist der Excimer-Strahler jeweils in einer Endkappe gehaltert, die eine Ein-/Auslassbohrung für ein Kühlmedium aufweisen.From the US 2008/0 265 775 A1 is a generic excimer radiator and a holder for the excimer radiator known. The excimer radiator has a closed, annular gap-shaped discharge space which extends between an outer tube and an inner tube arranged coaxially therein. At the front ends of the discharge space of the excimer radiator is respectively mounted in an end cap having an inlet / outlet bore for a cooling medium.

Technische AufgabenstellungTechnical task

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Excimer-Strahler anzugeben, der eine hohe Widerstandsfähigkeit bei thermischer Beanspruchung aufweist und darüber hinaus einfach und kostengünstig zu fertigen ist.The invention is therefore based on the object to provide an excimer radiator, which has a high resistance to thermal stress and beyond is easy and inexpensive to manufacture.

Allgemeine Beschreibung der ErfindungGeneral description of the invention

Diese Aufgabe wird ausgehend von einem Excimer-Strahler mit den Merkmalen der eingangs genannten Gattung erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass mindestens eine der Abdichtungen ein Dichtpresselement mit einem Grundkörper und einem mit diesem zusammenwirkenden und relativ zum Grundkörper bewegbaren Träger, sowie mindestens zwei Dichtringe umfasst, von denen einer am Außenrohr und der andere am Innenrohr anliegt, und dass der Träger und der Grundkörper in ihrer Zusammenwirkung eine in Richtung einer Außenrohr-Längsachse auf die Dichtringe wirkende Anpresskraft erzeugen, die eine Querdehnung der Dichtringe senkrecht zur Richtung der Anpresskraft bewirkt.This object is achieved on the basis of an excimer radiator with the features of the type mentioned in the present invention, that at least one of the seals comprises a sealing pressing element with a base body and a cooperating with this and relative to the base body movable carrier, and at least two sealing rings, of which one on the outer tube and the other rests against the inner tube, and that the carrier and the base body in their interaction produce a force acting in the direction of an outer tube longitudinal axis of the sealing rings contact pressure, which causes a transverse expansion of the sealing rings perpendicular to the direction of the contact force.

Beim gattungsgemäßen Excimer-Strahler ist eine Abdichtung des Entladungsgefäßes in Form einer stirnseitigen Verschmelzung von Außenrohr und Innenrohr vorgesehen. Hierbei können Außenrohr und Innenrohr entweder unmittelbar miteinander verschmolzen sein oder sie sind jeweils über eine Verschmelzung mit einem Zwischenelement, beispielsweise über eine Quarzglasscheibe, miteinander verbunden.In the generic excimer radiator, a sealing of the discharge vessel in the form of an end-side fusion of outer tube and inner tube is provided. In this case, the outer tube and inner tube can be either directly fused together or they are each connected via a merger with an intermediate element, for example via a quartz glass, with each other.

Davon ausgehend wird gemäß der Erfindung vorgeschlagen, wenigstens einseitig auf eine Verschmelzung von Außenrohr und Innenrohr zu verzichten. Stattdessen erfolgt die Abdichtung erfindungsgemäß mit einem Dichtpresselement, das einen Grundkörper, einen Träger und zwei Dichtungen umfasst. Grundkörper und Träger sind relativ zueinander bewegbar. Die Dichtringe sind zwischen Grundkörper und Träger angeordnet. Erfindungsgemäß kann die Position von Grundkörper und Träger relativ zueinander so eingestellt werden, dass Träger und Grundkörper eine Anpresskraft erzeugen, die auf die zwischen ihnen angeordneten Dichtringe wirkt. Die Anpresskraft führt zu einer Querdehnung der Dichtringe und damit zu einer Abdichtung des Entladungsgefäßes. Durch den Einsatz des Dichtpresselements wird eine flexible Dichtung gewährleistet, die insbesondere bei thermischer Beanspruchung eine gute Flexibilität und hohe Dichtheit aufweist.On this basis, it is proposed according to the invention to dispense at least on one side to a merger of outer tube and inner tube. Instead, the seal is carried out according to the invention with a sealing press element comprising a base body, a carrier and two seals. The base body and the carrier are movable relative to each other. The sealing rings are arranged between the base body and the carrier. According to the invention, the position of the base body and the carrier relative to one another can be adjusted so that the carrier and the base body generate a contact pressure acting on the sealing rings arranged between them. The contact force leads to a transverse expansion of the sealing rings and thus to a sealing of the discharge vessel. The use of the sealing pressing element ensures a flexible seal, which has good flexibility and high tightness, in particular under thermal stress.

Da Excimer-Strahler gemäß der Erfindung einen ringspaltförmigen Entladungsraum aufweisen, der sich zwischen dem Innenrohr und dem Außenrohr erstreckt, ist eine Abdichtung des Ringspalts grundsätzlich sowohl am Außenrohr als auch am Innenrohr erforderlich. Erfindungsgemäß sind daher zwei Dichtringe vorgesehen, von denen einer dem Innenrohr und der andere dem Außenrohr zugeordnet ist.Since excimer radiators according to the invention have an annular gap-shaped discharge space which extends between the inner tube and the outer tube, a sealing of the annular gap is basically required both on the outer tube and on the inner tube. According to the invention therefore two sealing rings are provided, one of which is associated with the inner tube and the other the outer tube.

Vorzugsweise ist einer der Dichtringe der Innenrohr-Außenwandung und der andere der Außenrohr-Innenwandung zugeordnet. Bei derart angeordneten Dichtringen kann eine auf beide Dichtringe wirkende Anpresskraft durch ein in den Ringspalt hineinragendes Dichtpresselement mit nur einem einzigen Träger und einem einzigen Grundkörper erzeugt werden.Preferably, one of the sealing rings of the inner tube outer wall and the other of the outer tube inner wall is assigned. In sealing rings arranged in this way, a contact force acting on both sealing rings can be produced by a sealing pressing element projecting into the annular gap with only a single carrier and a single basic body.

Ebenso hat es sich als vorteilhaft erwiesen, wenn jeweils einer der Dichtringe der Innenwandung des Innenrohrs und der andere Dichtring der Außenwandung des Außenrohrs zugeordnet sind. Bei einer solchen Dichtringanordnung umgreifen Grundkörper und Träger das Entladungsgefäß.Likewise, it has proven to be advantageous if each one of the sealing rings of the inner wall of the inner tube and the other sealing ring are assigned to the outer wall of the outer tube. With such a sealing ring arrangement, the base body and the carrier encompass the discharge vessel.

Dadurch, dass Außenrohr und Innenrohr über ein Dichtpresselement abgedichtet sind, wird eine einfache und kostengünstige Herstellung des Excimer-Strahlers ermöglicht. Die Montage des Dichtpresselements ist grundsätzlich einfacher als das Verschweißen der Rohrenden von Innenrohr und Außenrohr. Beim Verschweißen der Rohrenden kann es darüber hinaus zu einer Verformung der Rohrenden kommen. Dies wird durch ein Dichtpresselement vermieden.Characterized in that the outer tube and inner tube are sealed by a sealing pressing element, a simple and inexpensive production of the excimer radiator is made possible. The installation of the sealing press element is basically simpler than the welding of the pipe ends of the inner tube and outer tube. When welding the pipe ends, it can also lead to deformation of the pipe ends. This is avoided by a sealing press element.

Darüber hinaus trägt ein in den Ringspalt hineinragendes Dichtpresselement zu einer Zentrierung des Innenrohrs und damit zu einem gleichmäßigen Entladungsspalt bei. Hierdurch wird ein Excimer-Strahler mit einem homogenen Strahlungsfeld ermöglicht.In addition, a sealing pressing element projecting into the annular gap contributes to a centering of the inner tube and thus to a uniform discharge gap. This allows an excimer radiator with a homogeneous radiation field.

Sofern das Dichtpresselement in den Ringspalt hineinragt, wird auch eine höhere mechanische Stabilität des Excimer-Strahlers erreicht. Dies gilt insbesondere hinsichtlich auf das Außen- und das Innenrohr aufgebrachter Schwingungen, beispielsweise während des Transports oder durch Vibrationen am Einsatzort des Strahlers.If the sealing pressing element protrudes into the annular gap, a higher mechanical stability of the excimer radiator is achieved. This applies in particular with respect to vibrations applied to the outer and inner tubes, for example during transport or due to vibrations at the place of use of the radiator.

Eine Abdichtung mit einem Dichtpresselement ist verglichen mit einer Verschweißung in der Lage größeren Temperaturschwankungen standzuhalten. Dies gilt insbesondere, wenn unterschiedliche Materialien für Außenrohr und Innenrohr zum Einsatz kommen. Im Gegensatz zu einer Verschweißung mit Übergangsgläsern ermöglicht ein Dichtpresselement auch eine Abdichtung guter thermischer Stabilität von aus unterschiedlichen Materialien gefertigten Innen- und Außenrohren. Häufig erfolgt eine Strahlungsemission eines Excimer-Strahlers nur durch das Außenrohr, so dass bei Einsatz einer Verschraubung das Innenrohr beispielsweise aus Glas gewählt werden kann. Hierdurch wird eine kostengünstige Fertigung des Excimer-Strahlers gewährleistet.A seal with a sealing press element is able to withstand greater temperature fluctuations compared to a weld. This is especially true when different materials for outer tube and inner tube are used. In contrast to a welding with transition glasses, a sealing press element also allows a seal of good thermal stability made of different materials inner and outer tubes. Often, a radiation emission of an excimer radiator only through the outer tube, so that when using a screw, the inner tube can be selected for example of glass. As a result, a cost-effective production of the excimer radiator is guaranteed.

In einer vorteilhaften Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Excimer-Strahlers ist vorgesehen, dass der Träger und der Grundkörper über eine Schraubverbindung miteinander verbunden sind, und dass die Anpresskraft mittels der Schraubverbindung erzeugt wird.In an advantageous embodiment of the excimer radiator according to the invention it is provided that the carrier and the base body are connected to one another via a screw connection, and that the contact force is generated by means of the screw connection.

Durch die Schraubverbindung können Träger und Grundkörper schnell, einfach und mechanisch stabil miteinander verbunden werden. Die Schraubverbindung ermöglicht darüber hinaus eine einfache Einstellung und Anpassung der Anpresskraft, beispielsweise im Hinblick auf den beabsichtigten Einsatzort des Excimer-Strahlers.Through the screw carrier and body can be quickly, easily and mechanically stable interconnected. The screw also allows easy adjustment and adjustment of the contact pressure, for example, with regard to the intended location of the excimer radiator.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Excimer-Strahlers ist vorgesehen, dass der Träger ein erstes Gewinde und der Grundkörper ein zweites Gewinde aufweist, und dass die Schraubverbindung durch Zusammenwirken des ersten Gewindes und des zweiten Gewindes gebildet wird. In a further advantageous embodiment of the excimer radiator according to the invention it is provided that the carrier has a first thread and the base body has a second thread, and that the screw connection is formed by cooperation of the first thread and the second thread.

Durch das Zusammenwirken des ersten und des zweiten Gewindes wird eine einfache Schraubverbindung erhalten, bei der Träger und Grundkörper unmittelbar zusammenwirken. Auf zusätzliche Bauelemente zur Realisierung der Verschraubung, beispielsweise ein zusätzliches Gewindebauteil, kann verzichtet werden. Gewindebauteil in diesem Sinne ist beispielsweise eine Gewindestange oder Schraube. Dies trägt zu einer einfachen und kostengünstigen Fertigung des Excimer-Strahlers bei.The interaction of the first and the second thread a simple screw is obtained in the carrier and body interact directly. Additional components for realizing the screw connection, for example an additional threaded component, can be dispensed with. Threaded component in this sense, for example, a threaded rod or screw. This contributes to a simple and cost-effective production of the excimer radiator.

Es hat sich als günstig erwiesen, wenn der Träger hülsenförmig ist und ein Außengewinde aufweist.It has proved to be favorable when the carrier is sleeve-shaped and has an external thread.

Ein hülsenförmiger Träger lässt sich einfach in den Ringspalt des Entladungsraums einführen; er füllt darüber hinaus den Ringspalt umlaufend aus. Hierdurch wird eine möglichst isotrope Abdichtung des Entladungsgefäßes ermöglicht. Der hülsenförmige Träger ist vollständig im Ringspalt angeordnet oder ragt aus diesem heraus.A sleeve-shaped carrier can be easily inserted into the annular gap of the discharge space; he also fills the annular gap circumferentially. As a result, a possible isotropic sealing of the discharge vessel is made possible. The sleeve-shaped carrier is arranged completely in the annular gap or projects out of this.

Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Excimer-Strahlers ist dem Dichtpresselement eine zwischen Außenrohr und Innenrohr angeordnete Distanzscheibe zugeordnet, die den Entladungsraum in einen Entladungsbereich und einen unbeleuchteten Endabschnitt unterteilt.In an advantageous embodiment of the excimer radiator according to the invention, a sealing washer arranged between outer tube and inner tube is assigned to the sealing press element, which subdivides the discharge space into a discharge region and an unlit end section.

Die Distanzscheiben weisen die Form eines Flachrings auf. Sie sind innerhalb des Entladungsraums derart angeordnet, dass durch die Ringöffnung das Innenrohr geführt ist. Die Distanzscheibe unterteilt den Entladungsraum in zwei Bereiche, nämlich einen beleuchteten Bereich, in dem die Excimer-Entladung stattfindet und in einen zweiten unbeleuchteten Bereich. Die Excimer-Entladung wird durch die gegenüberliegenden Elektroden hervorgerufen. Soll eine Entladung im unbeleuchteten Endabschnitt unterbleiben, so dürfen dem unbeleuchteten Endabschnitt keine Elektroden zugeordnet sein. Ein Übergreifen der Entladung vom Entladungsbereich auf den unbeleuchteten Endabschnitt kann bei entsprechender Elektrodenanordnung schließlich dadurch erreicht werden, dass die Abmessungen der Distanzscheibe so gewählt sind, dass nur ein geringer Spalt zwischen der Distanzscheibe und dem Außenrohr beziehungsweise Innenrohr verbleibt. Hierbei weist der beleuchtete Bereich während des Betriebs des Excimer-Strahlers eine höhere Temperatur auf als der unbeleuchtete Bereich. Dadurch, dass das Dichtpresselement im unbeleuchteten Endabschnitt angeordnet ist, wird durch die Distanzscheibe eine geringere thermische Beanspruchung des Dichtpresselements ermöglicht.The spacers have the shape of a flat ring. They are arranged within the discharge space such that the inner tube is guided through the ring opening. The spacer divides the discharge space into two areas, namely an illuminated area in which the excimer discharge takes place and into a second unlit area. The excimer discharge is caused by the opposing electrodes. If a discharge in the non-illuminated end section is to be omitted, then no electrodes may be assigned to the unlit end section. A spreading of the discharge from the discharge area to the non-illuminated end portion can finally be achieved with a corresponding electrode arrangement in that the dimensions of the spacer are selected so that only a small gap between the spacer and the outer tube or inner tube remains. In this case, the illuminated area during operation of the excimer radiator at a higher temperature than the unlit area. Due to the fact that the sealing press element is arranged in the unlit end section, a lower thermal load of the sealing press element is made possible by the spacer.

Es hat sich bewährt, wenn die Distanzscheibe aus Quarzglas gefertigt ist und am Innenrohr oder am Außenrohr fixiert ist.It has proven useful if the spacer is made of quartz glass and is fixed to the inner tube or to the outer tube.

Vorzugsweise ist die Distanzscheibe aus demselben Material gefertigt wie das Außenrohr und das Innenrohr. Bei Einsatz gleicher Werkstoffe brauchen unterschiedliche Ausdehnungskoeffizienten der Werkstoffe nicht berücksichtigt zu werden. Darüber hinaus ist eine Distanzscheibe aus Quarzglas einfach und kostengünstig zu fertigen. Sie kann sowohl mit dem Innenrohr als auch mit dem Außenrohr einfach verschmolzen werden. Vorzugsweise wird die Distanzscheibe zunächst mit dem Innenrohr verschmolzen bevor dieses in das Außenrohr eingeführt wird. Eine zusätzliche Verschmelzung der Distanzscheibe mit dem Außenrohr kann von außen über eine Erwärmung der Außenoberfläche des Außenrohrs erfolgen. Durch eine umlaufende Verschmelzung der Distanzscheiben mit dem Außen- und dem Innenrohr kann effektiv verhindert werden, dass die Excimer-Entladung auf die Endabschnitte übergreifen kann; sie trägt zu einer geringeren Betriebstemperatur der Endabschnitte beiPreferably, the spacer is made of the same material as the outer tube and the inner tube. When using the same materials, different coefficients of expansion of the materials need not be taken into account. In addition, a spacer made of quartz glass is easy and inexpensive to manufacture. It can be easily fused with both the inner tube and the outer tube. Preferably, the spacer is first fused to the inner tube before it is inserted into the outer tube. An additional fusion of the spacer with the outer tube can be done from the outside via a heating of the outer surface of the outer tube. By a circumferential fusion of the spacers with the outer and inner tube can be effectively prevented that the excimer discharge can spread to the end portions; it contributes to a lower operating temperature of the end sections

Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, wenn Distanzscheibe und Dichtpresselement einen Abstand im Bereich von 5 mm bis 40 mm aufweisen.It has proved to be advantageous if spacer and sealing pressing element have a distance in the range of 5 mm to 40 mm.

Der Abstand zwischen Distanzscheibe und Dichtpresselement beeinflusst die Größe des beleuchteten Entladungsbereichs und des unbeleuchteten Endabschnittes. Ein großer Abstand zwischen Distanzscheibe und Dichtpresselement führt grundsätzlich zu einer guten Reduktion der Temperatur im unbeleuchteten Endabschnitt; er geht daher mit einer geringen thermischen Beanspruchung des Dichtpresselements einher. Ein großer Abstand führt allerdings auch zu einem großen unbeleuchteten Bereich, wodurch die kompakte Bauform des Excimer-Strahlers beeinträchtigt wird. Bei einem Abstand von weniger als 5 mm wird zwar ein kleiner unbeleuchteter Endabschnitt erhalten, allerdings verliert sich der Effekt der Distanzscheibe hinsichtlich einer Temperaturreduktion im unbeleuchteten Endabschnitt. Ein Abstand von mehr als 40 mm beeinträchtigt die kompakte Bauform des Excimer-Strahlers.The distance between spacer and sealing press element affects the size of the illuminated discharge area and the unlit end portion. A large distance between spacer and sealing press element always leads to a good reduction of the temperature in the unlit end section; it is therefore associated with a low thermal stress of the sealing element. However, a large distance also leads to a large unlit area, whereby the compact design of the excimer radiator is impaired. At a distance of less than 5 mm, although a small unlit end portion is obtained, but loses the effect of the spacer with respect to a temperature reduction in the unlit end portion. A distance of more than 40 mm affects the compact design of the excimer radiator.

Vorzugsweise weist der Entladungsraum eine Ringspaltweite im Bereich von 2 mm bis 30 mm auf.Preferably, the discharge space has an annular gap width in the range of 2 mm to 30 mm.

Die Abdichtung eines Excimer-Strahlers muss während des Strahlerbetriebs gewissen mechanischen Beanspruchungen standhalten, beispielsweise veränderlichen Druckverhältnissen im Entladungsgefäß. Die Größe einer Abdichtung für Excimer-Strahler mit Dichtpresselement und insbesondere deren Erstreckung im Ringspaltquerschnitt hat Einfluss auf die mechanische Stabilität des Dichtpresselements. Bei einem Ringspalt mit einer Ringspaltweite von weniger als 2 mm ist eine mechanisch stabile Abdichtung mit einem Dichtpresselement nur aufwendig zu erreichen. Ein Ringspalt mit einer Ringspaltweite von mehr als 30 mm ist teuer zu fertigen und kann die Effizienz der Strahlungsemission beeinträchtigen. Es hat sich besonders bewährt, wenn der Entladungsraum eine Ringspaltweite im Bereich von 2 mm bis 20 mm, vorzugsweise im Bereich von 10 mm bis 20 mm, aufweist.The sealing of an excimer emitter must withstand certain mechanical stresses during emitter operation, for example, variable pressure conditions in the discharge vessel. The size of a seal for excimer radiator with sealing element and in particular their extent in the annular gap cross section has an influence on the mechanical stability of the sealing element. In the case of an annular gap with an annular gap width of less than 2 mm, a mechanically stable sealing with a sealing pressing element can only be achieved with great difficulty. An annular gap with an annular gap width of more than 30 mm is expensive to manufacture and can affect the efficiency of the radiation emission. It has proven particularly useful if the discharge space has an annular gap width in the range from 2 mm to 20 mm, preferably in the range from 10 mm to 20 mm.

Es hat sich als günstig erwiesen, wenn das Entladungsgefäß eine Entladungsgefäß-Länge aufweist, die im Bereich von 1.500 mm bis 4.000 mm liegt.It has proved to be advantageous if the discharge vessel has a discharge vessel length which is in the range of 1,500 mm to 4,000 mm.

Eine Abdichtung in Form eines Dichtpresselements mit einer guten Widerstandsfähigkeit gegen thermische Beanspruchung ist insbesondere für Excimer-Strahler mit einer großen Entladungsgefäß-Länge von mehr als 1.500 mm geeignet. Insbesondere bei diesen Excimer-Strahlern ist eine widerstandsfähige Abdichtung in Form einer Quetschung oder Verschmelzung nur aufwendig zu erreichen.A seal in the form of a sealing element with good resistance to thermal stress is particularly suitable for excimer radiators with a large discharge vessel length of more than 1,500 mm. In particular, in these excimer emitters a durable seal in the form of a pinch or merge is difficult to achieve.

Bei der Fertigung der Excimer-Strahler werden Außenrohr und Innenrohr ineinander geschoben. Excimer-Strahler mit einer Entladungsgefäß-Länge von mehr als 4.000 mm sind wegen ihrer Größe nur aufwendig zu fertigen.During production of the excimer radiator, the outer tube and inner tube are pushed into each other. Excimer lamps with a discharge vessel length of more than 4,000 mm are difficult to manufacture because of their size.

In einer anderen bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Excimer-Strahlers ist der Träger aus Polyetheretherketon (PEEK) oder Polytetrafluorethylen (PTFE) und der Grundkörper aus Polyetheretherketon (PEEK) gefertigt.In another preferred embodiment of the excimer radiator according to the invention, the carrier is made of polyetheretherketone (PEEK) or polytetrafluoroethylene (PTFE) and the basic body of polyetheretherketone (PEEK).

Polyetheretherketon (PEEK) und Polytetrafluorethylen sind hochtemperaturbeständige, thermoplastische Kunststoffe, die eine gute chemische Beständigkeit aufweisen.Polyetheretherketone (PEEK) and polytetrafluoroethylene are high-temperature resistant thermoplastics with good chemical resistance.

PEEK weist eine Schmelztemperatur von 335°C auf und ist gegen viele organische und anorganische Chemikalien beständig. PEEK kann als thermoplastischer Kunststoff einfach zu verschiedenen Formen verarbeitet werden. Ein PEEK-Werkstück kann beispielsweise mit einem Gewinde versehen werden. PEEK weist allerdings eine geringe Beständigkeit gegenüber UV-Strahlung auf. Da der Grundkörper im Gegensatz zu dem Träger grundsätzlich einer geringeren UV-Bestrahlung durch den Excimer-Strahler ausgesetzt ist, hat es sich als vorteilhaft erwiesen, wenn der Grundkörper aus PEEK gefertigt ist.PEEK has a melting temperature of 335 ° C and is resistant to many organic and inorganic chemicals. PEEK can be easily processed into various forms as a thermoplastic. For example, a PEEK workpiece can be threaded. However, PEEK has low resistance to UV radiation. Since the main body, in contrast to the carrier is basically exposed to a lower UV irradiation by the excimer radiator, it has proved to be advantageous if the base body is made of PEEK.

PTFE weist eine Schmelztemperatur von etwa 327°C auf und ist durch eine hohe Beständigkeit gegenüber Chemikalien gekennzeichnet. Darüber hinaus zeichnet sich PTFE durch eine geringe Oberflächenspannung aus, so dass ein Anhaften von Materialien an der PTFE-Oberfläche nahezu unterbleibt. Es hat sich daher bewährt, wenn der mit dem Entladungsraum in Verbindung stehende Träger aus PTFE gefertigt ist. Ein Formkörper aus PTFE ist darüber hinaus einfach in unterschiedlichen Formen zu fertigen. Aus PTFE können darüber hinaus Gewinde- und Schraubverbindungen hergestellt werden.PTFE has a melting temperature of about 327 ° C and is characterized by a high resistance to chemicals. In addition, PTFE is characterized by a low surface tension, so that adhesion of materials to the PTFE surface is virtually eliminated. It has therefore proved to be useful if the support associated with the discharge space is made of PTFE. A shaped body made of PTFE is also easy to manufacture in different shapes. PTFE can also be used to produce threaded and screw connections.

Neben PEEK und PTFE sind als Werkstoffe für den Träger und/oder den Grundkörper auch Verbundwerkstoffe, wie glasfaserverstärktes PTFE, oder keramische Werkstoffe geeignet.In addition to PEEK and PTFE, composite materials such as glass-fiber reinforced PTFE or ceramic materials are also suitable materials for the carrier and / or the base body.

In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Excimer Strahlers ist vorgesehen, dass der Grundkörper einen hülsenförmigen, ersten Abschnitt aufweist, der das Außenrohr in einem Überwurfbereich umgreift.In a further preferred embodiment of the excimer radiator according to the invention it is provided that the base body has a sleeve-shaped, first portion which engages around the outer tube in a throw-over region.

Ein das Außenrohr umgreifender hülsenförmiger Abschnitt des Grundkörpers trägt dazu bei, dass der Endabschnitt vor äußeren mechanischen Einwirkungen geschützt ist. Gleichzeitig wird durch den hülsenförmigen Abschnitt auch eine mechanische Stabilisierung der gesamten Abdichtung erreicht.A sleeve-shaped section of the main body that surrounds the outer tube helps to protect the end section from external mechanical influences. At the same time a mechanical stabilization of the entire seal is achieved by the tubular portion.

In diesem Zusammenhang hat es sich bewährt, wenn im Überwurfbereich zwischen dem ersten Abschnitt und dem Außenrohr ein Dichtelement angeordnet ist, dem eine den hülsenförmigen ersten Abschnitt umgreifende Metallschelle zugeordnet ist.In this context, it has proven useful if in the union area between the first portion and the outer tube, a sealing element is arranged, which is associated with a sleeve-shaped first portion encompassing metal clamp.

Ein zusätzliches Dichtelement verbessert die Dichtheit der Abdichtung. Durch die den hülsenförmigen Abschnitt umgreifende Metallschelle kann ein auf den ersten Abschnitt einwirkender Anpressdruck erzeugt werden, der zu einer Kompression des Dichtelements führt, so dass eine gasdichte Verbindung erhalten wird.An additional sealing element improves the tightness of the seal. By means of the metal clamp engaging around the sleeve-shaped section, a contact pressure acting on the first section can be generated, which leads to a compression of the sealing element, so that a gas-tight connection is obtained.

Es hat sich als günstig erwiesen, wenn der Grundkörper einen hülsenförmigen, zweiten Abschnitt umfasst, der das Innenrohr umgreift.It has proved to be advantageous if the base body comprises a sleeve-shaped, second portion which engages around the inner tube.

Der zweite hülsenförmige Abschnitt umgreift das Innenrohr und trägt somit zu einer mechanischen Stabilisierung der koaxialen Anordnung aus Außenrohr und Innenrohr bei. Hierdurch wird außerdem ein Entladungsgefäß mit einem gleichmäßigen Ringspalt mit nahezu gleicher Ringspaltweite gewährleistet. Unterschiedliche Ringspaltweiten beeinträchtigen eine gleichmäßige Excimer-Entladung und führen zu einer ungleichmäßigen Strahlungsemission.The second sleeve-shaped portion engages around the inner tube and thus contributes to a mechanical stabilization of the coaxial arrangement of outer tube and inner tube. This also ensures a discharge vessel with a uniform annular gap with almost the same annular gap width. Different annular gaps affect a uniform excimer discharge and lead to an uneven emission of radiation.

Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, wenn der zweite Abschnitt einen Absatz aufweist, der als Anschlag für das Innenrohr dient. It has proved to be advantageous if the second section has a shoulder which serves as a stop for the inner tube.

Der Absatz bestimmt die Lage des Innenrohrs relativ zum Außenrohr und trägt zu einer Fixierung des Innenrohrs bei.The paragraph determines the position of the inner tube relative to the outer tube and contributes to a fixation of the inner tube.

Es hat sich bewährt, wenn die Dichtringe paarweise angeordnet sind.It has proven useful if the sealing rings are arranged in pairs.

Die paarweise Anordnung der Dichtringe trägt zur Erhöhung der Dichtheit der Abdichtung bei. Die Dichtringe können unmittelbar hintereinander oder, beispielsweise durch ein Zwischenelement, voneinander beabstandet sein. Aufgrund der Ringspalt-Geometrie des Entladungsgefäßes hat es sich bewährt, wenn das Zwischenelement ringförmig oder hülsenförmig ausgebildet ist. Ein derartiges Zwischenelement trägt dazu bei, dass beide Dichtringe durch die Anpresskraft jeweils eine Querdehnung erfahren, so dass bei einer Undichtigkeit eines Dichtrings dessen Funktion von dem weiteren Dichtring übernommen werden kann. Hierdurch wird eine hohe Dichtheit der Abdichtung gewährleistet.The paired arrangement of the sealing rings helps to increase the tightness of the seal. The sealing rings can be directly behind each other or, for example, by an intermediate element, spaced apart. Due to the annular gap geometry of the discharge vessel, it has proven useful if the intermediate element is annular or sleeve-shaped. Such an intermediate element contributes to the fact that both sealing rings undergo a transverse expansion by the contact force, so that in the event of a leakage of a sealing ring, its function can be taken over by the further sealing ring. As a result, a high tightness of the seal is ensured.

Ausführungsbeispielembodiment

Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und zwei Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt in schematischer Darstellung im Einzelnen:The invention will be explained in more detail with reference to embodiments and two drawings. It shows in a schematic representation in detail:

1 eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Excimer-Strahlers, und 1 an embodiment of the excimer radiator according to the invention, and

2 ein stirnseitiges Ende des Excimer-Strahlers gemäß 1 mit einem Dichtpresselement in einem Längsschnitt. 2 a front end of the excimer radiator according to 1 with a sealing press element in a longitudinal section.

1 zeigt in schematischer Darstellung einen Excimer-Strahler, dem insgesamt die Bezugsziffer 1 zugeordnet ist. 1 shows a schematic representation of an excimer radiator, the total reference numeral 1 assigned.

Der Excimer-Strahler 1 weist ein Entladungsgefäß mit einem geschlossenen, ringspaltförmigen Entladungsraum 2 auf, der sich zwischen einem Außenrohr 3 mit einer Außenrohr-Längsachse 5 und einem Innenrohr 4 mit einer Innenrohr-Längsachse erstreckt. Dabei ist das Innenrohr 4 relativ zum Außenrohr 3 derart angeordnet, dass die Außenrohr-Längsachse 5 und die Innenrohr-Längsachse koaxial verlaufen.The excimer radiator 1 has a discharge vessel with a closed, annular gap-shaped discharge space 2 on that is between an outer tube 3 with an outer tube longitudinal axis 5 and an inner tube 4 extends with an inner tube longitudinal axis. Here is the inner tube 4 relative to the outer tube 3 arranged such that the outer tube longitudinal axis 5 and the inner tube longitudinal axis coaxial.

Außenrohr 3 und Innenrohr 4 sind aus Quarzglas gefertigt. Das Außenrohr 3 weist einen Außendurchmesser 9 von 40 mm bei einer Wandstärke von 2 mm auf. Die Länge 10 des Außenrohrs 3 beträgt 2.500 mm. Das Innenrohr 4 weist einen Außendurchmesser 8 von 30 mm, einen Innendurchmesser von 27 mm und eine Wandstärke von 1,5 mm auf. Auch das Innenrohr 4 ist 2.500 mm lang. Der ringspaltförmige Entladungsraum 2 weist eine Spaltbreite 13 von 6 mm auf. Der Entladungsraum 2 ist mit Xenon gefüllt.outer tube 3 and inner tube 4 are made of quartz glass. The outer tube 3 has an outer diameter 9 of 40 mm with a wall thickness of 2 mm. The length 10 of the outer tube 3 is 2,500 mm. The inner tube 4 has an outer diameter 8th of 30 mm, an inner diameter of 27 mm and a wall thickness of 1.5 mm. Also the inner tube 4 is 2,500 mm long. The annular gap-shaped discharge space 2 has a gap width 13 of 6 mm. The discharge space 2 is filled with xenon.

Die stirnseitigen Enden des Außenrohrs 3 und des Innenrohrs 4 sind jeweils über eine gasdichte Abdichtung 6a, 6b mit einem Dichtpresselement verschlossen. Die Abdichtungen 6a, 6b umgreifen das Außenrohr 3 jeweils in einem Überwurfbereich 12a, 12b; sie sind zur besseren Abdichtung im Überwurfbereich 12a, 12b jeweils mit einer Metallschelle 7a, 7b versehen.The front ends of the outer tube 3 and the inner tube 4 are each about a gas-tight seal 6a . 6b closed with a sealing element. The seals 6a . 6b grip the outer tube 3 each in a throw-over area 12a . 12b ; they are for better sealing in the throw-over area 12a . 12b each with a metal clamp 7a . 7b Mistake.

An der Außenwandung des Außenrohres 3 liegt eine Außenelektrode 14 in Form eines Edelstahl-Netzes fest an. Weiterhin ist auf der Innenwandung des Innenrohres 4 eine Innenelektrode 15 aus Edelstahl-Folie angeordnet.On the outer wall of the outer tube 3 lies an outer electrode 14 in the form of a stainless steel mesh. Furthermore, on the inner wall of the inner tube 4 an inner electrode 15 arranged from stainless steel foil.

Im Bereich der Enden des Entladungsgefäßes 2 ist jeweils eine Distanzscheibe 16a, 16b aus Quarzglas angeordnet. Die Distanzscheiben 16a, 16b sind 3 mm dick; sie weisen eine Innenbohrung mit einem Durchmesser von etwa 30 mm auf. Die Distanzscheiben 16a, 16b sind auf das Innenrohr 4 aufgesteckt, das heißt das Innenrohr 4 verläuft durch die Innenbohrung der Distanzscheiben 16a, 16b. Die Distanzscheiben 16a, 16b sind an dem Innenrohr 4 über Schweißpunkte 17 fixiert. In einer anderen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Excimer-Strahlers (nicht dargestellt) sind die Distanzscheiben 16a, 16b entlang ihres Umfangs vollständig mit dem Innenrohr 4 verschweißt.In the area of the ends of the discharge vessel 2 is each a spacer 16a . 16b made of quartz glass. The spacers 16a . 16b are 3 mm thick; they have an internal bore with a diameter of about 30 mm. The spacers 16a . 16b are on the inner tube 4 attached, that is the inner tube 4 passes through the inner bore of the spacers 16a . 16b , The spacers 16a . 16b are on the inner tube 4 over welds 17 fixed. In another embodiment of the excimer radiator according to the invention (not shown) are the spacers 16a . 16b along its circumference completely with the inner tube 4 welded.

Die Distanzscheiben 16a, 16b unterteilen den Entladungsraum 2 in einen beleuchteten Entladungsbereich 18 und zwei unbeleuchtete Endabschnitte 11a, 11b. Dadurch, dass die Endabschnitte 11a, 11b unbeleuchtet sind, weisen diese im Betrieb des Excimer-Strahlers 1 eine geringere Temperatur als der Entladungsbereich 18 auf. Die unbeleuchteten Endabschnitte 11a und 11b sind gleich groß; der Abstand zwischen Distanzscheiben 16a, 16b und dem ihnen zugeordneten Abdichtungen 6a, 6b beträgt jeweils 45 mm. Die Länge des Entladungsbereichs 18 beträgt etwa 2400 mm.The spacers 16a . 16b divide the discharge space 2 in a lighted discharge area 18 and two unlit end sections 11a . 11b , Because of the end sections 11a . 11b are unlit, they have in the operation of the excimer radiator 1 a lower temperature than the discharge area 18 on. The unlit end sections 11a and 11b are the same size; the distance between spacers 16a . 16b and their associated seals 6a . 6b is 45 mm each. The length of the discharge area 18 is about 2400 mm.

In 2 ist exemplarisch die Abdichtung 6b des Excimer-Strahlers 1 gemäß 1 im Längsschnitt dargestellt. Anhand 2 sind insbesondere die Lage, Form und Funktion des Dichtpresselements 50 von Abdichtung 6b zu erkennen. Abdichtung 6a ist genauso ausgebildet.In 2 is an example of the seal 6b of the excimer radiator 1 according to 1 shown in longitudinal section. Based 2 In particular, the location, shape and function of the sealing press element 50 of sealing 6b to recognize. seal 6a is designed the same way.

Das Dichtpresselement 50 umfasst einen Grundkörper 51, sowie einen Träger 52. Der Grundkörper 51 ist als deckelförmiger Verschluss ausgebildet, der mit dem Träger über die Schraubverbindung 53 zusammenwirkt. In der Mitte des Grundkörpers 51 ist eine Bohrung 54 vorgesehen, so dass eine Kühlung des Strahlers, insbesondere des Innenrohres 4 durch ein durch die Bohrung 54 strömendes Fluid ermöglicht wird.The sealing press element 50 includes a main body 51 , as well as a carrier 52 , The main body 51 is designed as a lid-shaped closure, which is connected to the carrier via the screw connection 53 interacts. In the middle of the main body 51 is a hole 54 provided, so that a cooling of the radiator, in particular of the inner tube 4 through one through the hole 54 flowing fluid is made possible.

Der Grundkörper 51 ist aus Polyetheretherketon (PEEK) gefertigt. Er umfasst einen äußeren Hülsenabschnitt 66 und einen inneren Hülsenabschnitt 67.The main body 51 is made of polyetheretherketone (PEEK). It comprises an outer sleeve section 66 and an inner sleeve portion 67 ,

Der äußere Hülsenabschnitt 66 umgreift das Außenrohr 3 im Überwurfbereich 12b. In den Grundkörper 51 sind im Überwurfbereich 12b zwei Aussparungen 68 vorgesehen, in die jeweils ein Dichtring 69a, 69b eingesetzt ist. Dadurch, dass dem Überwurfbereich des äußeren Hülsenabschnittes eine diesen umgreifende Metallschelle 7b zugeordnet ist, kann ein auf die Dichtringe 69a, 69b wirkender Anpressdruck erzeugt werden, der zusätzlich zur Dehnung der Dichtringe 69a, 69b und damit zur Abdichtung des Entladungsraumes 2 beiträgt. Die Dichtringe 69a, 69b sind aus Fluorkautschuk (FKM) gefertigt.The outer sleeve section 66 surrounds the outer tube 3 in the throw-over area 12b , In the main body 51 are in the throw-over area 12b two recesses 68 provided, in each case a sealing ring 69a . 69b is used. Characterized in that the union portion of the outer sleeve portion a metal clamp that encompasses this 7b can be assigned to the sealing rings 69a . 69b acting contact pressure are generated, in addition to the elongation of the sealing rings 69a . 69b and thus for sealing the discharge space 2 contributes. The sealing rings 69a . 69b are made of fluororubber (FKM).

Der innere Hülsenabschnitt 67 umgreift das Innenrohr 4 des Excimerstrahlers 1. Der Hülsenabschnitt 67 weist einen Absatz 69 auf, der als Anschlag für das Innenrohr 4 dient und die Position des Innenrohres 4 festgelegt.The inner sleeve section 67 surrounds the inner tube 4 of the excimer radiator 1 , The sleeve section 67 has a paragraph 69 on, as a stop for the inner tube 4 serves and the position of the inner tube 4 established.

Der Träger 52 ist aus Polyetheretherketon (PEEK) gefertigt. In einer alternativen Ausführungsform ist vorgesehen, dass der Träger 52 aus Polytetrafluorethylen (PTFE) gefertigt ist. Der Träger 52 ragt in den ringspaltförmigen Entladungsraum 2 hinein und weist eine hülsenförmige Grundform auf. Sowohl auf der Außenseite als auch auf der Innenseite des hülsenförmigen Trägers 52 ist jeweils eine Aussparung 57, 58 vorgesehen.The carrier 52 is made of polyetheretherketone (PEEK). In an alternative embodiment it is provided that the carrier 52 made of polytetrafluoroethylene (PTFE). The carrier 52 protrudes into the annular gap-shaped discharge space 2 in and has a sleeve-shaped basic shape. Both on the outside and on the inside of the sleeve-shaped carrier 52 each is a recess 57 . 58 intended.

In der Aussparung 57 auf der Außenseite des Trägers 52 sind zur Abdichtung des Trägers 52 gegenüber dem Außenrohr zwei Dichtringe 60a, 60b angeordnet. Die Dichtringe 60a, 60b sind durch ein Abstandsring aus 61 aus PTFE oder PEEK voneinander beabstandet. Zwischen Träger 52 und Dichtring 60a ist ein Ring 62 aus PTFE oder PEEK angeordnet.In the recess 57 on the outside of the carrier 52 are for sealing the carrier 52 opposite the outer tube two sealing rings 60a . 60b arranged. The sealing rings 60a . 60b are characterized by a spacer ring 61 spaced from PTFE or PEEK. Between carriers 52 and sealing ring 60a is a ring 62 made of PTFE or PEEK.

Zur Abdichtung des Trägers 52 gegenüber dem Innenrohr 4 sind auf der Innenseite des Trägers 52 zwei weitere Dichtringe 63a, 63b angeordnet. Auch die Dichtringe 63a, 63b sind durch einen Abstandsring 64 aus PTFE oder PEEK voneinander getrennt. Darüber hinaus ist zwischen Träger 52 und Dichtring 63a ein Ring 65 aus PTFE oder PEEK angeordnet. Dichtringe 60a, 60b, 63a, 63b sind aus Fluorkautschuk (FKM) gefertigt.For sealing the carrier 52 opposite the inner tube 4 are on the inside of the carrier 52 two more sealing rings 63a . 63b arranged. Also the sealing rings 63a . 63b are through a spacer ring 64 separated from PTFE or PEEK. In addition, is between carriers 52 and sealing ring 63a a ring 65 made of PTFE or PEEK. seals 60a . 60b . 63a . 63b are made of fluororubber (FKM).

Der Trägers 52 ist mit einem ein Außen-Gewinde 55 versehen, das mit dem Innengewinde 56 des Grundkörpers 51 unter Ausbildung einer Schraubverbindung zusammenwirkt. Durch die Schraubverbindung 53 wird eine in Richtung der Außenrohr-Längsachse 5 wirkende Anpresskraft erzeugt, die auf die Dichtringe 60a, 60b, 63a, 63b einwirkt. Die Anpresskraft bewirkt eine Querdehnung der Dichtringe 60a, 60b, 63a, 63b und führt somit zu einer Abdichtung des Entladungsraums 2.The carrier 52 is with an external thread 55 provided, with the internal thread 56 of the basic body 51 cooperates to form a screw. Through the screw connection 53 becomes one in the direction of the outer tube longitudinal axis 5 acting contact force generated on the sealing rings 60a . 60b . 63a . 63b acts. The contact force causes a transverse expansion of the sealing rings 60a . 60b . 63a . 63b and thus leads to a sealing of the discharge space 2 ,

Um eine Erwärmung des Dichtpresselements 50 während des Betriebs des Excimer-Strahlers 1 zu verringern, ist dem Dichtpresselement 50 eine Distanzscheibe 16b aus Quarzglas zugeordnet. Diese ist mit dem Innenrohr 4 über Schweißpunkte fixiert. Die Distanzscheibe 16b unterteilt das Entladungsgefäß 2 in beleuchteten Mittenbereich und einen unbeleuchteten Endbereich 71. Der unbeleuchtete Endbereich 71 weist während des Betriebs des Excimer-Strahlers 1 eine niedrigere Temperatur als der Mittenbereich 70 auf. Darüber hinaus trägt die Distanzscheibe 16b zu einer Verminderung der auf das Dichtpresselement 50 auftreffenden Strahlung bei, so dass eine höhere Standzeit des Dichtpresselements 50 ermöglicht wird.To a heating of the sealing element 50 during operation of the excimer radiator 1 reduce, is the sealing element 50 a spacer 16b made of quartz glass. This is with the inner tube 4 fixed over welding points. The spacer 16b divides the discharge vessel 2 in illuminated center area and an unlit end area 71 , The unlit end area 71 points during operation of the excimer radiator 1 a lower temperature than the middle range 70 on. In addition, the spacer wears 16b to a reduction of the pressure on the sealing element 50 incident radiation, so that a longer service life of the sealing element 50 is possible.

Claims

Excimer radiator ( 1 ), comprising a closed, annular gap-shaped discharge space ( 2 ) extending between an outer tube ( 3 ) and a coaxially disposed therein inner tube ( 4 ), wherein outer tube ( 3 ) and inner tube ( 4 ) are gas-tight at their front ends via a seal, characterized in that at least one of the seals a sealing press element ( 50 ) with a basic body ( 51 ) and one cooperating therewith and relative to the main body ( 51 ) movable support ( 52 ), and at least two sealing rings ( 60a . 60b . 63a . 63b ), one of which on the outer tube ( 3 ) and another on the inner tube ( 4 ) and that the carrier ( 52 ) and the basic body ( 51 ) in their interaction one in the direction of an outer tube longitudinal axis ( 5 ) on the sealing rings ( 60a . 60b . 63a . 63b ) produce acting contact force, which is a transverse expansion of the sealing rings ( 60a . 60b . 63a . 63b ) is effected perpendicular to the direction of the contact force.

Excimer radiator according to claim 1, characterized in that the carrier ( 52 ) and the basic body ( 51 ) via a screw connection ( 53 ) Are connected to each other, and that the contact pressure by means of the screw ( 53 ) is produced.

Excimer radiator according to claim 2, characterized in that the carrier ( 52 ) a first thread ( 55 ) and the basic body ( 51 ) a second thread ( 56 ), and that the screw connection ( 53 ) by interaction of the first thread ( 55 ) and the second thread ( 56 ) is formed.

Excimer radiator according to one of the preceding claims, characterized in that the carrier is sleeve-shaped and has an external thread.

Excimer radiator according to one of the preceding claims, characterized in that the sealing press element ( 50 ) one between outer tube ( 3 ) and inner tube ( 4 ) arranged spacer ( 16a . 16b ) associated with the discharge space ( 2 ) in a discharge area ( 18 . 70 ) and an unlit end portion ( 11a . 11b . 71 ).

Excimer radiator according to claim 5, characterized in that the spacer ( 16a . 16b ) is made of quartz glass and on the inner tube ( 4 ) or on the outer tube ( 3 ) is fixed.

Excimer radiator according to one of claims 5 or 6, characterized in that spacer ( 16a . 16b ) and sealing press element ( 50 ) have a distance in the range of 5 to 40 mm.

Excimer radiator according to one of the preceding claims, characterized in that the discharge space ( 2 ) an annular gap width ( 13 ) in the range of 2 mm to 30 mm.

Excimer radiator according to one of the preceding claims, characterized in that the discharge vessel ( 2 ) has a discharge vessel length which is in the range of 1,500 mm to 4,000 mm.

Excimer radiator according to one of the preceding claims, characterized in that the carrier ( 52 ) of polyetheretherketone (PEEK) or polytetrafluoroethylene (PTFE) and the base body ( 51 ) is made of polyetheretherketone (PEEK).

Excimer radiator according to one of the preceding claims, characterized in that the basic body ( 51 ) a sleeve-shaped, first section ( 66 ), which the outer tube ( 3 ) in a throw-over area ( 12a . 12b ) surrounds.

Excimer radiator according to claim 11, characterized in that in the throw-over area ( 12a . 12b ) between the first section ( 66 ) and the outer tube ( 3 ) a sealing element ( 69a . 69b ) is arranged, which has a sleeve-shaped first section ( 66 ) encompassing metal clamp ( 7a . 7b ) assigned.

Excimer radiator according to claim 11 or 12, characterized in that the basic body ( 51 ) a sleeve-shaped, second section ( 67 ) comprising the inner tube ( 4 ) surrounds.

Excimer radiator according to claim 13, characterized in that the second section ( 67 ) a paragraph ( 69 ), which serves as a stop for the inner tube ( 4 ) serves.