DE102013021488A1

DE102013021488A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Dispersion eines Objektes

Info

Publication number: DE102013021488A1
Application number: DE102013021488.2A
Authority: DE
Inventors: Gerhard G. Paulus; Peter Hansinger
Original assignee: Friedrich Schiller Universtaet Jena FSU
Current assignee: Friedrich Schiller Universtaet Jena FSU
Priority date: 2013-12-13
Filing date: 2013-12-13
Publication date: 2015-06-18

Abstract

Aufgabe war es, die Dispersion auf weniger umständliche Weise, insbesondere ohne erforderliche mathematische Datenanalyse und -nachbearbeitung über Fouriertransformation und numerische Differentiation, sowie mit hoher Zeitauflösung auch für schnelle Messvorgänge direkt sehr exakt bestimmen zu können. Erfindungsgemäß wird jeweils der Wert der durch das Objekt (1) beeinflussten absoluten Phase der Laserpulse (2a) direkt gemessen (Phasenmeter 6) und mit dem (durch Phasenmeter 7 gemessenen) absoluten Wert der nicht durch das Objekt (10) beeinflussten Phasenlage der Laserpulse (2b) verglichen. Aus diesem Vergleich wird bei bekannter Dicke des Objekts (1) sowie bekannter Mittenfrequenz des Laserpulses (2, 2a, 2b) unmittelbar die Dispersion bestimmt.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung der Dispersion eines Objektes, mittels Phasenvergleichs von Laserpulsen.
Die Erfindung betrifft dabei Messungen aller Art bei denen bisher Weißlichtinterferometrische Methoden und Vorrichtungen zum Einsatz kommen, also Messungen, bei denen sehr kleine (< 1 μm) Änderungen in der optischen Weglänge für eine breitbandige Laserquelle gemessen werden müssen.
Die Wellenlängenabhängigkeit dieser Weglängenunterschiede äußert sich in einer gekrümmten spektralen Phase und heißt Dispersion. Insbesondere ermöglicht die Erfindung auch die Messung von Änderungen der Dispersion, wenn diese sehr schnell erfolgen. Dabei kann prinzipiell eine Zeitauflösung von 1 fs oder besser erreicht werden.
Interferometrische Verfahren zur genauen Messung kleiner Änderungen sind weit verbreitet und seit über 100 Jahren in Wissenschaft und Technik im Einsatz (z. B. A. A. Michelson and E. W. Morley: On the Relative Motion of the Earth and of the Luminiferous Ether, Sidereal Messenger, 1887, Vol. 6, 306–310; Hisao Kikuta, Koichi Iwata, and Ryo Nagata: Distance measurement by the wavelength shift of laser diode light, Applied Optics, 1986, Vol. 25, Issue 17, 2976–2980; Ki-Nam Joo, Yunseok Kim, and Seung-Woo Kim: Distance measurements by combined method based an a femtosecond pulse laser, Optics Express, 2008, Vol. 16, Issue 24, 19799–19806).
Sämtlichen Interferometern ist bislang gemein, dass ein Lichtstrahl durch einen (oder mehrere) Strahlteiler in zwei (oder mehrere) Teilstrahlen zerlegt wird. Diese Teilstrahlen durchqueren typischerweise räumlich (ggf. auch zeitlich) verschiedene Bereiche, wobei der eine die zu untersuchende Probe enthält und der andere bekannte optische Eigenschaften hat (”Referenz”). Oft werden diese Bereiche Interferometer-Arme genannt. Interferometern ist weiterhin gemein, dass die Interferometer-Arme schließlich wieder zusammen geführt werden. Das sich nach der Vereinigung der Teilstrahlen ergebende Interferenzmuster wird ausgewertet und liefert Informationen über die Unterschiede in der optischen Weglänge der von den Teilstrahlen durchquerten Gebiete. Häufig wird Licht mit einer großen Kohärenzlänge (annähernd monochromatisches Licht) verwendet.
Eine spezielle interferometrische Vorrichtung ist das Weißlicht-Interferometer, bei dem spektral breitbandige (”weiße”) Lichtquellen, also Lichtquellen kleiner Kohärenzlänge verwendet werden. Dies ermöglicht beispielsweise die Verwendung kurzer Lichtpulse zur Erzielung einer hohen Zeitauflösung (Vasily V. Temnov, Klaus Sokolowski-Tinten, Ping Zhou, and Dietrich von der Linde: Ultrafast imaging interferometry at femtosecond-laser-excited surfaces JOSA B, 2006, Vol. 23, Issue 9, 1954–1964).
Allerdings müssen beim Weißlicht-Interferometer beide Interferometer-Arme auf der Skala der Kohärenzlänge gleich lang sein, da andernfalls keine Interferenz möglich ist. Wenn die spektrale Bandbreite die Größenordnung der Mittenfrequenz erreicht, ist ein Abgleich der optischen Länge der Interferometer-Arme auf etwa eine Wellenlänge des verwendeten Lichtes erforderlich.
Eine große Bandbreite wird auch bei der optischen Kohärenztomographie (einer speziellen Variante des Weißlicht-Interferometers) verlangt, um eine hohe longitudinale Ortsauflösung zu erreichen (S. A. Diddams and J.-C. Diels: Dispersion measurements with white-light interferometry, J. Opt. Soc. Am. B, 1996, Vol. 13, No. 6, 1120–1128; J. M. Schmitt: Optical Coherence Tomography (OCT): A Review, IEEE Journal Of Selected Topics In Quantum Electronics, 1999, Vol. 5, No. 4, 1205–1215).
Darüber hinaus beträgt die Messgenauigkeit eines Interferometers Bruchteile der verwendeten Lichtwellenlänge. Mit besonderen Vorrichtungen zur Vermessung kleiner Verschiebungen der Interferenzstruktur werden Auflösungen von 1/20 der Wellenlänge erreicht, mit höherem Aufwand auch deutlich höhere Auflösung (A. P. Kovacs, K. Osvay, R. Szipöcs and Zs. Bor: Group-delay measurement an laser mirrors by spectrally resolved white-light interferometry, Opt. Lett., 1995, Vol. 20, No. 7, 788–790).
Die Auswertung der dabei gemessenen Interferogramme erfolgt über eine Fourier-Transformation und einen Fit eines Polynoms an die Messwerte. Anschließend wird dieses Polynom differenziert, um so die Dispersionkoeffizienten des vermessenen Materials zu erhalten. Die dispersiven Eigenschaften des zu vermessenden Materials sind deshalb nur relativ umständlich und nur indirekt zugänglich. Zusätzlich muss ein großer Genauigkeitsverlust hingenommen werden.
Die Notwendigkeit, die Interferometer-Arme wieder zusammen zu führen ist für einige Anwendungen problematisch. Insbesondere trifft dies auf die vorgenannten Weißlicht-Interferometer zu, bei denen die Interferometer-Arme optisch exakt gleichlang sein müssen. Dies erfordert mechanisch hochstabile Messaufbauten und oftmals einen zusätzlichen schmalbandigen Referenzlaser, dessen Interferenzmuster über Aktuatoren an einzelnen Interferometerspiegeln zeitlich stabil gehalten werden muss, was einen hohen Messaufwand erfordert.
Alternativ können zum Abgleich der optischen Weglängen auch Kompensationsplatten mit genau bekannter Dispersion eingesetzt werden. Sollen nun Objekte mit schnellen zeitlichen Änderungen ihrer dispersiven Eigenschaften vermessen werden, so stellt der dadurch ständig notwendige (nicht beliebig schnelle) Weglängenabgleich eine Limitierung der zeitlichen Auflösung dar (I. Mingareev, D. Wortmann, A. Brand and A. Horn: Time-resolved White-light Interferometry for Ultrafast Metrology AIP Conf. Proc. 1278, 2010, 891–901).
Im Extremfall laufen die Änderungen der Dispersion schneller ab als die Reaktionszeit der Vorrichtung zum Weglängenabgleich, so dass Interferenzen nicht oder nur instabil zu beobachten sind. Solche Weißlicht-Interferometer sind also auf die Messung statischer oder ausreichend langsam ablaufender Vorgänge beschränkt. Eine große räumliche Trennung des Probe- und Referenzarmes verstärkt dieses Problem zusätzlich, da in der Regel mehr optische Komponenten notwendig werden und die Gesamtstabilität des Interferometers dadurch insgesamt abnimmt.
Die interferometrische Messung der Phase zur Dispersionsbestimmung gegen eine feste Referenz ist nötig, weil die zeitlichen Änderungen des elektrischen Feldes zu schnell für eine direkte Detektion (z. B. über Halbleiter-Photodioden) ablaufen. Demzufolge ist lediglich eine integrierende Messung der Lichtintensität möglich, deren Zeitauflösung durch die Anstiegszeit des Detektors (bzw. die Dauer der verwendeten Lichtpulse, falls diese kürzer sind) begrenzt ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Dispersion auf weniger umständliche Weise, insbesondere ohne erforderliche mathematische Datenanalyse und -nachbearbeitung über Fouriertransformation und numerische Differentiation, sowie mit hoher Zeitauflösung auch für schnelle Messvorgänge direkt sehr exakt bestimmen zu können.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren zur Bestimmung der Dispersion eines Objektes, bei welchem das Objekt im Strahlengang einer Laserpulsstrahlung angeordnet sowie die Dispersion aus der gemessenen Phasenlage eines oder mehrerer Laserpulse mit und ohne Beeinflussung durch das Objekt bestimmt werden, dadurch gelöst, dass jeweils der Wert der durch das Objekt beeinflussten absoluten Phase der Laserpulse (beispielsweise gemäß DE 10 2010 019 814 A1 ) direkt gemessen und mit dem absoluten Wert der nicht durch das Objekt beeinflussten Phasenlage der Laserpulse verglichen wird und dass aus diesem Vergleich bei bekannter Dicke des Objekts sowie bekannter Mittenfrequenz des Laserpulses unmittelbar die Dispersion bestimmt wird. Die Dispersion des Objekts wird mit der erfindungsgemäßen Differenzauswertung der besagten absoluten Phasenwerte vorzugsweise nach der Beziehung

Erste Ableitung des Brechungsindex nach der (Kreis)Frequenz (Dispersion 1. Ordnung) bei der Mittenfrequenz des Laserpulses
ω: (Kreis-)Frequenz
ω₀: Mitten(kreis-)frequenz des Laserpulses
Φ_a: Gemessene absolute Phasenlage, unbeeinflusst durch das Objekt
Φ_b: Gemessene absolute Phasenlage, beeinflusst durch das Objekt
c: Vakuumlichtgeschwindigkeit
d: Dicke des Objekts (Länge des geometrischen Strahlwegs durch das Objekt)
berechnet.
Bei einer Vorrichtung zur Bestimmung der Dispersion eines Objektes, bei welchem das Objekt im Strahlengang einer Laserpulsstrahlung angeordnet sowie die Dispersion aus der gemessenen Phasenlage eines oder mehrerer Laserpulse mit und ohne Beeinflussung durch das Objekt bestimmt werden, wird die besagte Aufgabe dadurch gelöst, dass ein erstes Phasenmeter zur Messung der absoluten Phase der nicht durch das Objekt beeinflussten Laserpulsstrahlung sowie ein im Strahlengang der Laserpulsstrahlung hinter dem Objekt angeordnetes zweites Phasenmeter zur Messung der absoluten Phase der durch das Objekt beeinflussten Laserpulsstrahlung vorgesehen sind und dass die Phasenmeter zwecks Bestimmung der Dispersion direkt mit einer Differenz-Auswertestufe des Objektes zum Vergleich der mit diesen gemessenen absoluten Phasenlagen der Laserpulsstrahlungen in Verbindung stehen.
In den Unteransprüchen sind Ausgestaltungsmerkmale zur Erfindung angeführt.
Mit dem vorgeschlagenen Vergleich des Wertes der durch das Objekt beeinflussten und direkt gemessenen absoluten Phase der Laserpulse mit dem absoluten Wert der nicht durch das Objekt beeinflussten Phasenlage der Laserpulse gelingt es, aus den besagten absoluten Phasenwerten unmittelbar die Dispersion zu bestimmen, ohne dass zusätzlich eine Fouriertransformation der gemessenen Interferogramme mit nachfolgender numerischer Differentiation erfolgen müssen. Es wurde gefunden, dass sich die Dispersion aus der gemessenen Differenz der absoluten Phasenwerte mit und ohne Objekt unmittelbar ermitteln lässt, beispielsweise durch oben genannte Gleichung, wodurch die Dispersionsbestimmung signifikant vereinfacht wird und auch für schnelle Messvorgänge durchführbar ist. Dazu müssen lediglich die Mitten(kreis-)frequenz der verwendeten Laserpulse und der geometrische Strahlweg durch das Objekt (= Dicke des Objekts) bekannt sein. Durch die separat ausführbare, direkte Messung der absoluten Phase mit und ohne Objekt entfällt außerdem die sonst typische Notwendigkeit eines Interferometers, die Interferometerarme wieder zusammenzuführen. Da die vorgeschlagene Methode nur sensitiv auf die Ableitung des Brechungsindex, nicht aber auf den Brechungsindex selbst ist, entfällt ebenso die Notwendigkeit, die optischen Weglängen in den Interferometerarmen exakt abzugleichen. Beide Eigenschaften vereinfachen wesentlich die Anforderungen an die Apparatur zur Dispersionsmessung.
Die vorgeschlagene Dispersionsbestimmung über die Auswertung der absoluten Phase könnte aus Sicht der Fachwelt zunächst einen few-cycle-Laser voraussetzen, dessen absolute Phase vorher auf einen festen Wert stabilisiert wird. Da das erfindungsgemäße Verfahren jedoch nur Differenzen auswertet, also relative Werte dieser absoluten Phase eingehen, entfällt diese Einschränkung. Die vorgestellte Methode kann daher sowohl mit stabilisierter als auch unstabilisierter absoluter Phase der verwendeten Laserpulse in Anwendung gebracht werden.
Die Messung kann als Einzelmessung ausgeführt werden, jedoch bietet sich zur Verbesserung der Genauigkeit eine statistische Mittelung mehrerer Messwerte an. Die dabei erreichbare Verkleinerung der Messunsicherheit ist im Wesentlichen durch die Anzahl der gemittelten Einzelmessungen (und damit der Messzeit) begrenzt. Als Folge steigt die Genauigkeit der Dispersionsmessung mit der Anzahl der ausgewerteten Laserpulse, was bei der konventionellen Art der Weißlichtinterferometrie so nicht möglich ist.
Die Erfindung soll nachstehend anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert werden.
Es zeigen:
1: Prinzipaufbau zur Messung der Dispersion einer unbekannten transparenten Probe
2: Prinzipaufbau zur Messung der Dispersion einer unbekannten reflektiven Probe
1 zeigt einen Aufbau zur Messung der Dispersion einer unbekannten Probe 1. Zu diesem Zweck wird ein Laserpuls 2 (Einzelzyklenpuls bzw. few-cycle Puls) mittels eines breitbandigen Strahlteilers 3 in zwei Teile aufgespalten. Ein Teil des Laserpulses 2 wird als Laserpuls 2a durch die in ihrer Dispersion auszuwertende Probe 1 geführt (Interferometer-Messarm). Der andere Teil des Laserpulses 2 wird als Laserpuls 2b zur Referenzmessung durch ein Kompensationsmaterial 4 und anschließend ggf. über einen Umlenkspiegel 5 geführt (Inerferomerter-Referenzarm, so dass beide Interferometer-Arme (Laserpulse 2a und 2b) bis auf die unbekannte Probe bekannte und annähernd gleiche optische Eigenschaften aufweisen. Für beide Teile (2a und 2b) des Laserpulses 2 („Paar”) wird mittels zweier Phasenmeter 6, 7 und einer zugehörigen Auswertestufe 8 (Einheit zur Datenerfassung und Auswertung) die jeweilige absolute Phase im Interferometer-Arm direkt gemessen. Die Messung kann dabei für jedes Paar der Laserpulse 2a, 2b einzeln erfolgen, oder aber statistisch gemittelt über mehrere Laserpulspaare 2a, 2b, um die Genauigkeit der Ergebnisse zu verbessern. Glaskeile 9 in den beiden Interferometerarmen sind optional und dienen der zeitlichen Kompression der Laserpulse, welche vor Beginn der eigentlichen Dispersionsmessung eingestellt und dann so belassen wird.
Die unbekannte Probe 1 in 1 ist als durchstrahltes, transparentes Material dargestellt.
Ebenso ist die Vermessung einer nichttransparenten, reflektierenden Probe 10 möglich (vgl. 2). In diesem Fall wird die Probe 10 in reflektiver Geometrie in den vorbeschriebenen Aufbau eingesetzt.
Der Laserpuls 2a wird dabei über einen Spiegel 11 auf die Probe 10 gelenkt, von dieser reflektiert und über einen weiteren Spiegel 12 zum Interferometer 6 geleitet.
Die gemessene Phasenverschiebung ist dann doppelt so hoch wie bei der Transmission, da die in ihrer Dispersion auszuwertende Probe 10 (im Gegensatz zur Probe 1 in 1) zweimal vom Laserpuls 2a durchquert wird.
In beiden Interferometer-Armen der 1 und 2 (Laserpuls 2a im Interferometer-Messarm sowie Laserpuls 2b im Interferometer-Referenzarm) werden durch die Interferometer 6 bzw. 7 jeweils die absolute Phase (mit bzw. ohne Probe 1, 10) direkt gemessen. Die Messwerte werden (symbolisiert durch gestrichelt dargestellte Pfeile) jeweils in der Aufnahmestufe 8 erfasst und gemäß nachstehender Formel
mit
Erste Ableitung des Brechungsindex nach der (Kreis)Frequenz (Dispersion 1. Ordnung) bei der Mittenfrequenz des Laserpulses
ω: (Kreis-)Frequenz
ω₀: Mitten(kreis-)frequenz des Laserpulses
Φ_a: Gemessene absolute Phasenlage, unbeeinflusst durch das Objekt
Φ_b: Gemessene absolute Phasenlage, beeinflusst durch das Objekt
c: Vakuumlichtgeschwindigkeit
d: Dicke des Objekts (Länge des geometrischen Strahlwegs durch das Objekt)
durch Differenzvergleich der Messwerte ausgewertet.
Mit diesem Differenzvergleich wird jeweils direkt und ohne weitere Zwischenschritte die Dispersion der Proben 1 bzw. 10 bestimmt.
Bezugszeichenliste

1, 10: Probe
2, 2a, 2b: Laserpuls
3: Strahlteiler
4: Kompensationsmaterial
5: Umlenkspiegel
6: Phasenmeter (Interferometer-Messarm)
7: Phasenmeter (Interferometer-Referenzarm)
8: Auswertestufe
9: Glaskeil
11, 12: Spiegel

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

DE 102010019814 A1 [0016]

Zitierte Nicht-Patentliteratur

A. A. Michelson and E. W. Morley: On the Relative Motion of the Earth and of the Luminiferous Ether, Sidereal Messenger, 1887, Vol. 6, 306–310 [0004]
Hisao Kikuta, Koichi Iwata, and Ryo Nagata: Distance measurement by the wavelength shift of laser diode light, Applied Optics, 1986, Vol. 25, Issue 17, 2976–2980 [0004]
Ki-Nam Joo, Yunseok Kim, and Seung-Woo Kim: Distance measurements by combined method based an a femtosecond pulse laser, Optics Express, 2008, Vol. 16, Issue 24, 19799–19806 [0004]
Vasily V. Temnov, Klaus Sokolowski-Tinten, Ping Zhou, and Dietrich von der Linde: Ultrafast imaging interferometry at femtosecond-laser-excited surfaces JOSA B, 2006, Vol. 23, Issue 9, 1954–1964 [0006]
S. A. Diddams and J.-C. Diels: Dispersion measurements with white-light interferometry, J. Opt. Soc. Am. B, 1996, Vol. 13, No. 6, 1120–1128 [0008]
J. M. Schmitt: Optical Coherence Tomography (OCT): A Review, IEEE Journal Of Selected Topics In Quantum Electronics, 1999, Vol. 5, No. 4, 1205–1215 [0008]
A. P. Kovacs, K. Osvay, R. Szipöcs and Zs. Bor: Group-delay measurement an laser mirrors by spectrally resolved white-light interferometry, Opt. Lett., 1995, Vol. 20, No. 7, 788–790 [0009]
I. Mingareev, D. Wortmann, A. Brand and A. Horn: Time-resolved White-light Interferometry for Ultrafast Metrology AIP Conf. Proc. 1278, 2010, 891–901 [0012]

Claims

Verfahren zur Bestimmung der Dispersion eines Objektes, bei welchem das Objekt im Strahlengang einer Laserpulsstrahlung angeordnet sowie die Dispersion aus der gemessenen Phasenlage eines oder mehrerer Laserpulse mit und ohne Beeinflussung durch das Objekt bestimmt werden, dadurch gekennzeichnet, dass jeweils der Wert der durch das Objekt beeinflussten absoluten Phase der Laserpulse direkt gemessen und mit dem absoluten Wert der nicht durch das Objekt beeinflussten Phasenlage der Laserpulse verglichen wird und dass aus diesem Vergleich bei bekannter Dicke des Objekts sowie bekannter Mittenfrequenz des Laserpulses unmittelbar die Dispersion bestimmt wird.
Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Dispersion des Objekts nach der Beziehung
mit
Erste Ableitung des Brechungsindex nach der (Kreis)Frequenz (Dispersion 1. Ordnung) bei der Mittenfrequenz des Laserpulses ω: (Kreis-)Frequenz ω₀: Mitten(kreis-)frequenz des Laserpulses Φ_a: Gemessene absolute Phasenlage, unbeeinflusst durch das Objekt Φ_b: Gemessene absolute Phasenlage, beeinflusst durch das Objekt c: Vakuumlichtgeschwindigkeit d: Dicke des Objekts (Länge des geometrischen Strahlwegs durch das Objekt) berechnet wird.
Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die durch das Objekt beeinflusste absolute Phase der Laserpulse über einen Bereich der Impulsaustrittsfläche des Objektes integriert gemessen wird.
Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die durch das Objekt beeinflusste Phasenlage der Laserpulse räumlich aufgelöst gemessen wird.
Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Dispersion des Objekts, insbesondere zur Erfassung dessen zeitlich veränderlicher dispersiver Eigenschaften, jeweils aus den einzelnen Phasenvergleichen mehrerer Laserimpulse bestimmt wird.
Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zum Zweck einer statistisch verbesserten Phasenauswertung bei der Bestimmung der Dispersion eines Objektes mit zeitlich nicht veränderlichen dispersiven Eigenschaften jeweils Phasenvergleiche mehrerer Laserpulse herangezogen werden.
Vorrichtung zur Bestimmung der Dispersion eines Objektes, bei welchem das Objekt im Strahlengang einer Laserpulsstrahlung angeordnet sowie die Dispersion aus der gemessenen Phasenlage eines oder mehrerer Laserpulse mit und ohne Beeinflussung durch das Objekt bestimmt werden, dadurch gekennzeichnet, dass ein im Strahlengang der Laserpulse (2a) im Interferometer-Messarm hinter dem Objekt (1, 10) angeordnetes erstes Phasenmeter (6) zur direkten Messung der absoluten Phase der durch das Objekt (1, 10) beeinflussten Laserpulse (2a) sowie ein im Strahlengang der Laserpulse (2b) im Interferometer-Referenzarm angeordnetes zweites Phasenmeter (7) zur direkten Messung der absoluten Phase der nicht durch das Objekt (1, 10) beeinflussten Laserpulsstrahlung (2b) vorgesehen sind und dass die Phasenmeter (6, 7) zwecks Bestimmung der Dispersion direkt mit einer Differenz-Auswertestufe (8) des Objektes (1, 10) zum Vergleich der mit diesen gemessenen absoluten Phasenlagen der Laserpulsstrahlungen (2a, 2b) in Verbindung stehen.
Vorrichtung gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass zur Trennung der Laserpulsstrahlung (2) ein Strahlteiler (3) vorgesehen ist.
Vorrichtung gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass in den Strahlengängen der Laserpulse (2a, 2b) dispersive Kompensationsmaterialien (4) und/oder Glaskeile (9) zur fixen Einstellung der Pulsdauer eingesetzt sind.
Vorrichtung gemäß Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Laserpulse (2a) für die Dispersionsbestimmung von nichttransparenten Objekten (10) mittels Spiegeln (11, 12) zum bzw. vom Objekt (10 geleitet werden.