DE102012103984A1 - Method for determining features of a measurement object - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung bezieht sich auf ein Computertomografie-Verfahren zur dimensionellen Bestimmung von Merkmalen an einem Messobjekt, bei dem das auf einer mechanischen Drehachse befestigte Messobjekt in mehreren Relativpositionen bezüglich der Sensorik, zumindest bestehend aus Strahlungsquelle und 2-dimensionalen Detektor, jeweils in mehreren Drehstellungen um eine Drehachse von der Strahlung der Strahlungsquelle durchstrahlt wird und jeweils zugehörige 2D-Durchstrahlungsbilder aufgenommen werden, wobei die Durchstrahlungsbilder aus den verschiedenen Relativpositionen jeweils zu einem resultierenden Durchstrahlungsbild zusammengesetzt werden, die bezüglich des jeweiligen Startdrehwinkels der verschiedenen Relativpositionen bei der gleichen Drehstellung aufgenommen worden, und aus den resultierenden Durchstrahlungsbildern mittels Rekonstruktion 3-dimensionale Volumeninformationen im Voxelformat (sogenanntes Voxelvolumen) berechnet werden, wobei in diesem Voxelvolumen Daten zur lokalen Strahlabsorption enthalten sind, wobei vorzugsweise aus den Voxeldaten, im Bereich der Materialübergänge, Oberflächenpunkte generiert werden. Zur Vermeidung von Messfehlern bei den computertomografischen Messungen von Messobjekten in mehreren Relativpositionen zwischen Messobjekt und Röntgensensorik wird vorgeschlagen, dass die unterschiedlichen Relativpositionen so gewählt werden, dass der Abstand zwischen dem Fokuspunkt der Strahlungsquelle (Brennfleck) und der Drehachse gleich bleibt.The invention relates to a computed tomography method for the dimensional determination of features on a measurement object, wherein the measured object mounted on a mechanical axis of rotation in several relative positions with respect to the sensor system, at least consisting of radiation source and 2-dimensional detector, each in a plurality of rotational positions about a Rotational axis is irradiated by the radiation of the radiation source and each associated 2D radiographic images are taken, the radiographic images from the different relative positions are each assembled into a resulting radiographic image, which were taken with respect to the respective starting rotational angle of the various relative positions at the same rotational position, and from the resulting radiographic images by reconstruction 3-dimensional volume information in voxel format (so-called voxel volume) are calculated, in which voxel volume data to the local St Rahlabsorption are included, wherein preferably from the voxel data, in the region of the material transitions, surface points are generated. To avoid measurement errors in the computed tomographic measurements of measurement objects in several relative positions between the measurement object and the X-ray sensor, it is proposed that the different relative positions are selected so that the distance between the focal point of the radiation source (focal spot) and the rotation axis remains the same.
Description
Die vorliegende Erfindung beschreibt ein Verfahren zur dimensionellen Bestimmung von Merkmalen an Messobjekten mit Computertomografieverfahren, bei denen das Messobjekt in mehreren Relativpositionen gemessen wird.The present invention describes a method for the dimensional determination of features on measurement objects with computed tomography methods, in which the measurement object is measured in a plurality of relative positions.
Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf ein Computertomografie-Verfahren zur dimensionellen Bestimmung von Merkmalen an einem Messobjekt, bei dem das auf einer Drehachse befestigte Messobjekt in mehreren Relativpositionen bezüglich der Sensorik, zumindest bestehend aus Strahlungsquelle und 2-dimensionalen Detektor, jeweils in mehreren Drehstellungen von der Strahlung der Strahlungsquelle durchstrahlt wird und jeweils zugehörige 2D-Durchstrahlungsbilder aufgenommen werden, wobei die Durchstrahlungsbilder aus den verschiedenen Relativpositionen jeweils zu einem resultierenden Durchstrahlungsbild zusammengesetzt werden, die bezüglich des jeweiligen Startdrehwinkels der verschiedenen Relativpositionen bei der gleichen Drehstellung aufgenommen worden, und aus den resultierenden Durchstrahlungsbildern mittels Rekonstruktion 3-dimensionale Volumeninformationen im Voxelformat (so genanntes Voxelvolumen) berechnet werden, wobei in diesem Voxelvolumen Daten zur lokalen Strahlabsorption enthalten sind, wobei vorzugsweise aus den Voxeldaten, im Bereich der Materialübergänge, Oberflächenpunkte generiert werden,In particular, the invention relates to a computed tomography method for the dimensional determination of features on a measurement object, wherein the mounted on a rotation axis measurement object in several relative positions with respect to the sensor system, at least consisting of radiation source and 2-dimensional detector, each in several rotational positions of the Radiation of the radiation source is irradiated and respectively associated 2D radiographic images are taken, the radiographic images from the different relative positions are each assembled into a resulting radiographic image, which was taken with respect to the respective starting rotational angle of the various relative positions at the same rotational position, and from the resulting radiographic images by means of Reconstruction 3-dimensional volume information in voxel format (so-called voxel volume) can be calculated, where in this voxel volume data for local beam absorption en are maintained, wherein surface points are preferably generated from the voxel data, in the area of the material transitions,
Um Messobjekte komplett mit Computertomografie zu messen, die größer als der Messbereich des Computertomografen in der jeweils gewählten Vergrößerungseinstellung sind, existieren Verfahren, bei denen das Messobjekt in mehreren Teilmessungen jeweils nur teilweise erfasst wird. Es wird dabei unterschieden zwischen Verfahren, bei denen das Messobjekt in Richtung der Drehachse oder rechtwinkelig zur Drehachse, größere Abmessungen als der Messbereich des Computertomografen aufweist. Zudem kann entweder das Messobjekt bezüglich der Strahlungsquelle und des Detektors bewegt werden oder nur der Detektor wird bewegt, um einen virtuell vergrößerten Detektor zu erhalten. Die Verfahren werden dabei auch kombiniert.In order to measure measuring objects completely with computer tomography, which are larger than the measuring range of the computer tomograph in the respectively selected magnification setting, there are methods in which the measuring object is only partially detected in several partial measurements. A distinction is made between methods in which the measurement object in the direction of the axis of rotation or at right angles to the axis of rotation has larger dimensions than the measuring range of the computer tomograph. In addition, either the measurement object with respect to the radiation source and the detector can be moved or only the detector is moved to obtain a virtually enlarged detector. The procedures are also combined.
Erstreckt sich das Messobjekt lediglich in Richtung der Drehachse des Computertomografen über den Messbereich des Computertomografen hinaus, so werden mehrere Teilmessungen durchgeführt, zwischen denen das Messobjekt entlang der Drehachse verschoben wird. Hierbei verlässt das Messobjekt den Messbereich rechtwinkelig zur Drehachse in keiner der Drehstellungen. Hierdurch ist es möglich, die Teilmessungen getrennt voneinander auszuwerten, indem die jeweils zugeordneten Durchstrahlungsbilder rekonstruiert werden und Teil-Voxelvolumen berechnet werden. Die Voxelvolumen können im Anschluss zusammengesetzt werden und es kann eine gemeinsame Bestimmung von Oberflächenpunkten anhand von z. B. Schwellwertverfahren durchgeführt werden. Alternativ können auch Oberflächenpunkte an den Teilvolumen bestimmt werden. Das Verfahren ist auch durch Verschieben des Detektors entlang einer Parallelen zur Drehachsrichtung bekannt.If the measurement object only extends beyond the measuring range of the computer tomograph in the direction of the axis of rotation of the computer tomograph, several partial measurements are carried out between which the measurement object is displaced along the axis of rotation. In this case, the measuring object leaves the measuring range perpendicular to the axis of rotation in any of the rotational positions. This makes it possible to evaluate the partial measurements separately from one another by reconstructing the respectively assigned radiographic images and calculating partial voxel volumes. The voxel volumes can then be assembled together and it can be a common determination of surface points based on z. B. Threshold method can be performed. Alternatively, surface points on the sub-volume can also be determined. The method is also known by moving the detector along a parallel to the axis of rotation axis.
Die in den Teilmessungen ermittelten Durchstrahlungsbilder können alternativ auch je Drehstellung zu resultierenden Durchstrahlungsbildern zusammengefasst werden. Die Rekonstruktion erfolgt dann an den zusammengesetzten Satz von Durchstrahlungsbildern. Hierbei ist jedoch zu beachten, dass sich die Vergrößerung der Abbildung verändert. Eine notwendige Korrektur der Durchstrahlungsbilder vor dem Zusammenfassen war bislang nicht bekannt, wodurch Messabweichungen entstehen.The radiographic images determined in the partial measurements can alternatively also be combined to resulting radiographic images per rotary position. The reconstruction then takes place on the composite set of transmission images. However, it should be noted that the magnification of the image changes. A necessary correction of the radiographic images before combining was not yet known, which results in measurement deviations.
Verlässt das Messobjekt rechtwinkelig zur Drehachse in zumindest einer Drehstellung den Messbereich des Computertomografen, ist das Messobjekt also quer zur Drehachse breiter als der Messbereich des Computertomografen, so werden mehrere Teilmessungen durchgeführt, bei denen das Messobjekt rechtwinkelig zur Drehachse und gleichzeitig in einer Ebene parallel zur Detektorebene verschoben wird. Bei dieser Vorgehensweise können nur die den jeweiligen Drehstellungen entsprechenden, zusammengefassten bzw. zusammengesetzten Durchstrahlungsbilder rekonstruiert werden. Es treten dabei wiederum Vergrößerungsänderungen und perspektivische Verzerrungen auf. Das Verfahren ist auch durch Verschieben des Detektors senkrecht zur Drehachsrichtung in der Detektorebene bekannt.If the measurement object leaves the measuring area of the computer tomograph at right angles to the rotation axis in at least one rotational position, the measurement object is wider than the measurement area of the computer tomograph transversely to the rotation axis, then several partial measurements are carried out in which the measurement object is perpendicular to the rotation axis and simultaneously in a plane parallel to the detector plane is moved. In this procedure, only the corresponding rotational positions corresponding, combined or composite radiographic images can be reconstructed. Again, magnification changes and perspective distortions occur. The method is also known by moving the detector perpendicular to the rotational axis direction in the detector plane.
Bei den bekannten Verfahren wird das Messobjekt demnach in seiner Höhe und/oder seiner Breite abgerastert. Hierbei erfolgt eine Verschiebung des Messobjektes bezüglich der Sensorik immer in einer Ebene parallel zur Detektorebene. Hierdurch ändert sich das den Abbildungsmaßstab beschreibende Verhältnis aus dem Abstand Detektor – Fokuspunkt der Röntgenquelle zu Messobjekt – Fokuspunkt der Röntgenquelle. Die hierdurch auftretenden Messfehler werden bislang nicht korrigiert und führen damit zu der Bestimmung falscher Maße am Messobjekt. Zudem ergeben sich durch die veränderten Auftreffrichtungen der Strahlung auf den Detektor in den unterschiedlichen Relativpositionen perspektivische Verzerrungen. Die jeweils dem gleichen Winkel entsprechenden Durchstrahlungsbilder aus den verschiedenen Relativpositionen werden durch beide Effekte nicht richtig zusammengesetzt.In the known method, the measurement object is therefore scanned in its height and / or its width. Here, a displacement of the measurement object with respect to the sensor always takes place in a plane parallel to the detector plane. As a result, the ratio describing the imaging scale changes from the distance detector-focus point of the X-ray source to the measurement object-focal point of the X-ray source. The measurement errors that occur as a result are not yet corrected and thus lead to the determination of incorrect dimensions on the measurement object. In addition, due to the changed directions of impact of the radiation on the detector, perspective distortions result in the different relative positions. The transmission images corresponding to the same angle from the different relative positions are not correctly combined by the two effects.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Vermeidung von Messfehlern bei den computertomografischen Messungen von Messobjekten in mehreren Relativpositionen zwischen Messobjekt und Röntgensensorik.Object of the present invention is the avoidance of measurement errors in the computed tomographic measurements of DUTs in several relative positions between the measurement object and the X-ray sensor system.
Zur Lösung der Aufgabe sieht die Erfindung insbesondere vor, dass die unterschiedlichen Relativpositionen so gewählt werden, dass der Abstand zwischen dem Fokuspunkt der Strahlungsquelle (Brennfleck) und der Drehachse gleich bleibt.To solve the problem, the invention provides in particular that the different relative positions are chosen so that the distance between the focal point of the radiation source (focal spot) and the axis of rotation remains the same.
Insbesondere sieht die Erfindung vor, dass sich die unterschiedlichen Relativpositionen auf einer Kreisbahn um den Fokuspunkt der Strahlungsquelle und in einer Ebene befinden, deren Normalenvektor parallel zur Richtung der Drehachse steht.In particular, the invention provides that the different relative positions are on a circular path around the focal point of the radiation source and in a plane whose normal vector is parallel to the direction of the axis of rotation.
Ein weiterer Vorschlag der Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass jeweils benachbarte Relativpositionen so gewählt werden, dass ein Teil des Messobjektes in einigen der Drehstellungen in jeweils beiden Relativpositionen erfasst wird, also ein Überlappungsbereich existiert.Another proposal of the invention is characterized in that each adjacent relative positions are selected so that a part of the measurement object is detected in some of the rotational positions in each case two relative positions, so an overlap area exists.
Insbesondere ist vorgesehen, dass bei Veränderung der Relativposition auf einer Kreisbahn der feststehende Teil der Drehachse nicht verdreht wird und der drehbare Teil der Drehachse zusammen mit dem Messobjekt zur Festlegung des Startdrehwinkels um den Winkel der veränderten Kreisbahnposition gedreht wird.In particular, it is provided that when changing the relative position on a circular path, the fixed part of the rotation axis is not rotated and the rotatable part of the rotation axis is rotated together with the measurement object for determining the start rotation angle by the angle of the changed orbit position.
Bei der Bewegung der Drehachse an die neue Position wird zunächst die gesamte Ache (unterer Teil, der fest mit dem KMG bzw. den translatorischen Achsen des KMGs befestigt ist, und oberer Teil, also drehbarer Drehteller mit Messobjekt) samt Messobjekt NUR translatorisch verschoben. Anschließend führt die Drehachse (also der Drehteller) eine Drehbewegung aus, um das Messobjekt in die Startwinkelstellung zu drehen. Gleichwirkend könnte auch die gesamte Drehachse um den Brennfleck rotiert werden.When the axis of rotation is moved to the new position, the entire axis (lower part, which is firmly fastened to the CMM or the translational axes of the CMM, and the upper part, that is to say rotatable turntable with measurement object) together with the measurement object is ONLY translationally displaced. Subsequently, the axis of rotation (that is, the turntable) executes a rotational movement in order to turn the measurement object into the starting angle position. Equally effective, the entire axis of rotation could be rotated around the focal spot.
Die Erfindung zeichnet sich des Weiteren dadurch aus, dass die jeweiligen Drehstellungen in den verschiedenen Relativpositionen in ihrem Startwinkel so festgelegt werden, dass der Einfallswinkel des das Messobjekt erfassenden Bereiches der Messstrahlung im Bezug auf das Messobjektkoordinatensystem gleich bleibt, das Messobjekt im Überlappungsbereich also in der gleichen Richtung durchstrahlt wird, insbesondere der Startdrehwinkel also um den Winkel verändert wird, um den die Drehachse um den Brennfleck bewegt wurde.The invention is further characterized in that the respective rotational positions in the different relative positions are set in their starting angle so that the angle of incidence of the measuring object detecting area of the measuring radiation remains the same in relation to the Meßobjektkoordinatensystem, the measurement object in the overlapping region in the same Direction is irradiated, in particular the start rotation angle is thus changed by the angle by which the axis of rotation was moved around the focal spot.
Ziel ist es, dass das Messobjekt in der neuen Lage im Übergangsbereich in der Startdrehstellung so angeordnet ist, dass es in gleicher Richtung durchstrahlt wird, wie bei der Messung in der ersten Lage. Ansonsten könnten die Durchstrahlungsbilder nicht zusammengesetzt werden. Der Übergangsbereich erzeugt also idealer Weise in beiden Relativstellungen das gleiche Durchstrahlungsbild (bzw. Teil des Durchstrahlungsbildes). Das Vereinen der Durchstrahlungsbilder könnte sodann auch mittels Stitching erfolgen. Dies ist aber dann nicht nötig, wenn die Postionen und Drehstellungen bekannt sind.The aim is that the measurement object is arranged in the new position in the transition region in the starting rotational position so that it is irradiated in the same direction, as in the measurement in the first position. Otherwise the radiographic images could not be put together. The transition region thus ideally produces the same radiographic image (or part of the radiographic image) in both relative positions. The combining of the radiographs could then also be done by stitching. But this is not necessary if the positions and rotational positions are known.
Ein erfindungsgemäßer Gedanke sieht des Weiteren vor, dass in allen Relativpositionen die jeweils weiteren Drehstellungen bezüglich des jeweiligen Startwinkels gleich eingestellt werden, vorzugsweise die Drehwinkelschrittweite konstant ist.An inventive concept further provides that in each relative position, the respective further rotational positions are set equal with respect to the respective starting angle, preferably the rotational angle increment is constant.
Die Erfindung sieht auch vor, dass die durch Veränderung des Startwinkels und/oder durch die Relativbewegung des Messobjektes auf einer Kreisbahn entstehenden perspektivischen Verzerrungen der Abbildung auf dem Strahlendetektor korrigiert werden, vorzugsweise durch Resampling-Verfahren am jeweiligen Durchstrahlungsbild und/oder durch Berücksichtigung bei der Rekonstruktion.The invention also provides that the perspective distortions of the image on the radiation detector resulting from a change in the starting angle and / or by the relative movement of the measurement object on a circular path are corrected, preferably by resampling methods on the respective radiographic image and / or by consideration during the reconstruction ,
Insbesondere wird aufgrund der Erfindung vorgeschlagen, dass die verschiedenen Relativpositionen auf einer Kreisbahn um den Fokuspunkt der Strahlungsquelle angeordnet sind, welche sich in einer Ebene befindet, die durch die Drehachse und die direkte Verbindung zwischen Detektormittelpunkt und Strahlungsquelle aufgespannt wird.In particular, it is proposed on the basis of the invention that the various relative positions are arranged on a circular path around the focal point of the radiation source, which is located in a plane which is spanned by the axis of rotation and the direct connection between detector center and radiation source.
Ein weiterer hervorzuhebender Gedanke der Erfindung sieht vor, dass bei Veränderung der Relativposition auf einer Kreisbahn die gesamte Drehachse entsprechend der Kreisbahnposition verkippt wird und der drehbare Teil der Drehachse zusammen mit dem Messobjekt zur Festlegung des Startdrehwinkels in der Drehstellung verbleibt.Another idea to be emphasized of the invention provides that when changing the relative position on a circular path the entire axis of rotation is tilted according to the circular path position and the rotatable part of the axis of rotation remains together with the measurement object for determining the starting rotational angle in the rotational position.
Insbesondere ist die Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass die Drehachse in den verschiedenen Relativpositionen so in der Ebene aus Drehachse und Verbindung zwischen Detektormitte und Strahlungsquelle verkippt wird, dass der Einfallswinkel des das Messobjekt erfassenden Bereiches der Messstrahlung im Bezug auf das Messobjektkoordinatensystem gleich bleibt, das Messobjekt im Überlappungsbereich also in der gleichen Richtung durchstrahlt wird.In particular, the invention is characterized in that the axis of rotation is tilted in the different relative positions in the plane of rotation axis and connection between the detector center and radiation source, that the angle of incidence of the measuring object detecting the area of the measuring radiation remains the same with respect to the Meßobjektkoordinatensystem, the measurement object in Overlap area is thus irradiated in the same direction.
Bevorzugterweise ist nach Erfindung vorgesehen, dass die durch Veränderung des Startwinkels und/oder durch die Relativbewegung des Messobjektes auf einer Kreisbahn entstehenden perspektivischen Verzerrungen der Abbildung auf dem Strahlendetektor korrigiert werden, vorzugsweise durch die Neigung der Drehachse und/oder durch Resampling am jeweiligen Durchstrahlungsbild und/oder durch Berücksichtigung bei der Rekonstruktion.Preferably, it is provided according to the invention that the perspective distortions of the image on the radiation detector resulting from a change in the starting angle and / or by the relative movement of the measurement object on a circular path are corrected, preferably by the inclination of the axis of rotation and / or by resampling on the respective radiographic image and / or by consideration in the reconstruction.
Aufgrund der erfindungsgemäßen Lehre wird für alle Teilmessungen mit dem gleichen Abbildungsmaßstab gearbeitet. Vorzugsweise werden perspektivische Verzerrungen korrigiert. Due to the teaching according to the invention, work is carried out for all partial measurements with the same magnification. Preferably, perspective distortions are corrected.
Erfindungsgemäß wird die Relativposition zwischen Messobjekt und Röntgensensorik für alle Teilmessungen so eingestellt, dass der gleiche Abbildungsmaßstab vorliegt. Dies wird erreicht, indem die Relativpositionen so gewählt werden, dass der Abstand zwischen dem Fokuspunkt der Strahlungsquelle und dem Messobjekt stets gleich ist. Hierzu ist insbesondere vorgesehen, dass die Relativpositionen auf Kreisbahnen um den Fokuspunkt eingestellt werden.According to the invention, the relative position between the measurement object and the X-ray sensor system is set for all partial measurements such that the same imaging scale is present. This is achieved by selecting the relative positions so that the distance between the focal point of the radiation source and the measurement object is always the same. For this purpose, provision is made in particular for the relative positions to be set on circular paths around the focal point.
Besonders zu beachten ist, dass das Messobjekt nach der Relativverschiebung vor der Strahlungsquelle einen geänderten Drehwinkel einnimmt. Dieser muss durch Drehen des Messobjektes mit der Drehachse so korrigiert werden, dass der Start-Drehwinkel für die mehreren Drehstellungen in der Form angepasst wird, dass die Strahlungsrichtung bezüglich des Messobjektkoordinatensystem gleich bleibt. Außerdem entstehen perspektivische Verzerrungen auf dem Strahlendetektor, weil sich zumindest Teile des Messobjektes nach der Relativverschiebung in einer veränderten Relativlage zum Detektor befinden und somit die sodann das Messobjekt durchstrahlenden Teilstrahlen in einem anderen Winkel auf den Detektor auftreffen. Diese Verzerrungen werden erfindungsgemäß durch Re-Sampling-Verfahren der Durchstrahlungsbilder korrigiert, da die Größe der Verzerrungen aufgrund des bekannten Start-Winkels bekannt ist, und/oder durch die Berücksichtigung der Verzerrung während des Rekonstruktionsalgorithmus.It should be noted in particular that the measured object assumes a changed angle of rotation after the relative displacement in front of the radiation source. This must be corrected by rotating the measurement object with the rotation axis in such a way that the start rotation angle for the several rotation positions is adapted in such a way that the radiation direction with respect to the measurement object coordinate system remains the same. In addition, perspective distortions arise on the radiation detector, because at least parts of the measurement object are located after the relative displacement in an altered relative position to the detector and thus impinge the then passing through the measurement object partial beams at a different angle to the detector. According to the invention, these distortions are corrected by re-sampling the radiographic images, since the size of the distortions is known on the basis of the known starting angle, and / or by taking account of the distortion during the reconstruction algorithm.
Werden die verschiedenen Relativpositionen nahezu entlang einer Parallelen zur Drehachsrichtung eingenommen, wird erfindungsgemäß die Drehachse mit dem Messobjekt selbst so verkippt, dass wiederum der Einfallswinkel der Messstrahlung, die das Messobjekt erfasst, in Bezug auf das Messobjektkoordinatensystem gleich bleibt. Auch in diesem Fall werden die perspektivischen Verzerrungen durch Re-Sampling am Durchstrahlungsbild oder durch Berücksichtigung bei der Rekonstruktion korrigiert.If the various relative positions are assumed to be almost along a line parallel to the axis of rotation, according to the invention the axis of rotation is tilted with the measurement object itself so that the angle of incidence of the measurement radiation which detects the measurement object remains the same with respect to the measurement object coordinate system. In this case too, the perspective distortions are corrected by re-sampling on the radiographic image or by taking account of the reconstruction.
Weitere Einzelheiten, Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich nicht nur aus den Ansprüchen, den diesen zu entnehmenden Merkmalen – für sich und/oder in Kombination –, sondern auch aus der nachfolgenden Beschreibung von der Zeichnung zu entnehmenden bevorzugten Ausführungsbeispielen.For more details, advantages and features of the invention will become apparent not only from the claims, the features to be taken these features - alone and / or in combination - but also from the following description of the drawing to be taken preferred embodiments.
Es zeigen:Show it:
In
Erfindungsgemäß erfolgen weitere Messungen zur Bestimmung weiterer Bereiche des Messobjektes
Hierdurch wird gewährleistet, dass das Messobjekt
Um das gesamte Messobjekt
Ein analoges Vorgehen erfolgt bei der Verschiebung der Drehachse mit dem Messobjekt entlang einer Kreisbahn, welche sich in einer Ebene befindet, die aus der Drehachse und der direkten Verbindung zwischen Detektormittelpunkt und Strahlungsquelle (Brennfleck) gebildet wird. Im Gegensatz zu den Darstellungen in
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CN111279149A (en) * | 2017-10-27 | 2020-06-12 | 蒂阿马公司 | Method and device for measuring the dimensions of empty glass containers travelling in a flow line by means of X-rays |
CN111279149B (en) * | 2017-10-27 | 2022-08-30 | 蒂阿马公司 | Method and device for measuring the dimensions of empty glass containers travelling in a flow line by means of X-rays |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2847579A1 (en) | 2015-03-18 |
WO2013167461A1 (en) | 2013-11-14 |
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