DE102011075260A1 - MEMS microphone - Google Patents

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Ricardo Ehrenpfordt
Ulrike Scholz
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Robert Bosch GmbH
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Abstract

Es werden Maßnahmen vorgeschlagen, die eine kostengünstige und platzsparende Realisierung eines Bauteils ermöglichen, das mindestens ein MEMS-Bauelement (1) und mindestens ein weiteres Halbleiterbauelement (2) in einem gemeinsamen Gehäuse (10) mit mindestens einer Zugangsöffnung (13) umfasst, wobei in der Vorderseite des MEMS-Bauelements (1) mindestens eine Membranstruktur (3) ausgebildet ist, die eine Kavität (4) in der Rückseite des MEMS-Bauelements (1) überspannt, und wobei das Gehäuse (10) einen Träger (11) umfasst, auf dem das MEMS-Bauelement (1) montiert ist.
Erfindungsgemäß ist das MEMS-Bauelement (1) mit seiner Vorderseite auf dem Träger (11) montiert, so dass ein Abstand zwischen der Membranstruktur (3) und der Trägeroberfläche besteht. Das mindestens eine weitere Halbleiterbauelement (2) ist mit der Rückseite des MEMS-Bauelements (1) verbunden, so dass das MEMS-Bauelement (1) und das Halbleiterbauelement (2) einen Chipstapel bilden.Measures are proposed which enable a cost-effective and space-saving realization of a component which comprises at least one MEMS component (1) and at least one further semiconductor component (2) in a common housing (10) with at least one access opening (13) at least one membrane structure (3) is formed on the front side of the MEMS component (1), which spans a cavity (4) in the rear side of the MEMS component (1), and wherein the housing (10) comprises a carrier (11), on which the MEMS device (1) is mounted.
According to the invention, the MEMS component (1) is mounted with its front side on the support (11), so that there is a distance between the membrane structure (3) and the support surface. The at least one further semiconductor component (2) is connected to the rear side of the MEMS component (1), so that the MEMS component (1) and the semiconductor component (2) form a chip stack.

Figure 00000001
Figure 00000001

Description

Stand der TechnikState of the art

Die Erfindung betrifft ein Bauteil mit mindestens einem MEMS-Bauelement und mindestens einem weiteren Halbleiterbauelement, die in einem gemeinsamen Gehäuse mit mindestens einer Zugangsöffnung angeordnet sind. In der Vorderseite des MEMS-Bauelements ist mindestens eine Membranstruktur ausgebildet, die eine Kavität in der Rückseite des MEMS-Bauelements überspannt. Das Gehäuse umfasst einen Träger, auf dem das MEMS-Bauelement montiert ist. The invention relates to a component having at least one MEMS component and at least one further semiconductor component, which are arranged in a common housing with at least one access opening. In the front of the MEMS device, at least one membrane structure is formed, which spans a cavity in the back of the MEMS device. The housing includes a carrier on which the MEMS device is mounted.

In der Praxis werden derartige träger- oder substratbasierten Gehäuse beispielsweise für die Verpackung von MEMS-Mikrofonbauelementen verwendet. Der Mikrofon-Chip wird in diesem Fall mittels Chip-on-Board(COB)-Technologie auf einem Träger montiert, elektrisch kontaktiert und mit einem Deckel gehaust. Meist wird der Mikrofon-Chip mit seiner Rückseite auf dem Träger montiert, so dass die Kavität unterhalb der Membranstruktur durch den Träger abgeschlossen ist. Wenn sich die Schallöffnung im Gehäusedeckel befindet, dann fungiert die Kavität unterhalb der Membranstruktur als Rückseitenvolumen, während der Gehäusehohlraum das Frontvolumen bildet.In practice, such carrier or substrate based packages are used, for example, for the packaging of MEMS microphone components. In this case, the microphone chip is mounted on a carrier by means of chip-on-board (COB) technology, electrically contacted and covered with a lid. Usually, the microphone chip is mounted with its rear side on the carrier, so that the cavity is completed below the membrane structure by the carrier. If the sound hole is in the housing cover, then the cavity below the membrane structure acts as the backside volume, while the housing cavity forms the front volume.

Diese Art der Verpackung wird nicht nur für integrierte CMOS-MEMS verwendet sondern auch für die Verpackung von mehreren Chips, wenn beispielsweise die mikromechanische Mikrofonstruktur auf einem MEMS und die Signalauswertung ganz oder teilweise auf einem separaten ASIC implementiert sind. In diesem Fall werden die Chips nebeneinander auf dem Träger angeordnet, so dass der Flächenbedarf des Bauteils insgesamt im Verhältnis zur Fläche des MEMS-Chips relativ groß ist. This type of packaging is not only used for integrated CMOS MEMS but also for the packaging of multiple chips, for example if the micromechanical microphone structure on a MEMS and the signal evaluation are implemented in whole or in part on a separate ASIC. In this case, the chips are arranged side by side on the carrier, so that the area requirement of the component as a whole is relatively large in relation to the surface of the MEMS chip.

Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention

Mit der vorliegenden Erfindung werden Maßnahmen vorgeschlagen, die eine kostengünstige und platzsparende Realisierung eines Bauteils der eingangs genannten Art ermöglichen. With the present invention, measures are proposed that allow a cost-effective and space-saving implementation of a component of the type mentioned.

Erfindungsgemäß wird dies dadurch erreicht, dass das MEMS-Bauelement mit seiner Vorderseite auf dem Träger montiert wird, so dass ein Abstand zwischen der Membranstruktur und der Trägeroberfläche besteht, und dass das mindestens eine weitere Halbleiterbauelement mit der Rückseite des MEMS-Bauelements verbunden wird, so dass das MEMS-Bauelement und das Halbleiterbauelement einen Chipstapel bilden.According to the invention, this is achieved by mounting the MEMS component with its front side on the carrier, so that there is a spacing between the membrane structure and the carrier surface, and that the at least one further semiconductor component is connected to the rear side of the MEMS component the MEMS component and the semiconductor component form a chip stack.

Abweichend von der aus dem Stand der Technik bekannten side-by-side-Chipanordnung beruht das erfindungsgemäße Verpackungskonzept auf einer gestapelten Anordnung von Halbleiterbauelement und MEMS-Bauelement, wodurch sich die lateralen Abmessungen des Bauteils deutlich reduzieren lassen. Des Weiteren sieht das erfindungsgemäße Verpackungskonzept eine Flip-Chip-Montage des MEMS-Bauelements auf dem Träger vor. Mit dieser Verbindungstechnik lässt sich das MEMS-Bauelement sehr einfach mit einem Abstand (Standoff) zur Trägeroberfläche mechanisch fixieren, so dass die Membranfunktion des MEMS-Bauelements gewährleistet ist. Außerdem ermöglicht die Flip-Chip-Montage eine äußerst platzsparende elektrische Kontaktierung des MEMS-Bauelements. Aufgrund der Face-Down-Orientierung des MEMS-Bauelements bildet der Träger einen mechanischen Schutz für die Bauelementvorderseite mit der mikromechanischen Membranstruktur. Die Rückseite des MEMS-Bauelements mit der Kavität wird zumindest teilweise von dem weiteren Halbleiterbauelement abgedeckt und so gegen negative Umwelteinflüsse geschützt. Insgesamt bietet das erfindungsgemäße Verpackungskonzept eine sehr hohe Flexibilität, was die Art, Form und das Material des Gehäuses betrifft sowie die Anordnung der Zugangsöffnung, die Ausgestaltung des Medienzugangs und die Ausgestaltung von Vorder- und Rückvolumen. Deviating from the side-by-side chip arrangement known from the prior art, the packaging concept according to the invention is based on a stacked arrangement of semiconductor component and MEMS component, whereby the lateral dimensions of the component can be significantly reduced. Furthermore, the packaging concept according to the invention provides for a flip-chip mounting of the MEMS component on the carrier. With this connection technique, the MEMS device can be mechanically fixed very easily with a distance (Standoff) to the carrier surface, so that the membrane function of the MEMS device is ensured. In addition, the flip-chip mounting allows a very space-saving electrical contacting of the MEMS device. Due to the face-down orientation of the MEMS component, the carrier forms a mechanical protection for the component front side with the micromechanical membrane structure. The rear side of the MEMS component with the cavity is at least partially covered by the further semiconductor component and thus protected against negative environmental influences. Overall, the packaging concept according to the invention offers a very high degree of flexibility as regards the type, shape and material of the housing, as well as the arrangement of the access opening, the design of the media access and the design of the front and rear volumes.

Bei dem weiteren Halbleiterbauelement kann es sich – je nach Funktion des erfindungsgemäßen Bauteils und Art des MEMS-Bauelements – um einen Chip mit oder ohne elektrische Funktionalität handeln. Da mikromechanische Strukturierungsprozesse nicht ohne Weiteres mit dem CMOS-Prozess kompatibel sind, erweist es sich häufig als vorteilhaft die mechanische und die elektrische Funktionalität auf Chipebene zu trennen. Deshalb handelt es sich in einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Bauteils bei dem weiteren Halbleiterbauelement um einen ASIC. Dieser kann einfach Rückseite gegen Rückseite mit dem MEMS-Bauelement verbunden werden. In diesem Fall erfolgt die elektrische Kontaktierung des ASIC bevorzugt mit Hilfe von Drahtbonds. Der ASIC kann aber auch mit seiner aktiven Vorderseite, auf der die metallisierten Pads zur elektrischen Kontaktierung angeordnet sind, auf der Rückseite des MEMS-Bauelements montiert werden. Der elektrische Kontakt zum Träger wird in diesem Fall über Durchkontakte im MEMS-Bauelement in Kombination mit Flip-Chip-Technik hergestellt. Depending on the function of the component according to the invention and the type of MEMS component, the further semiconductor component may be a chip with or without electrical functionality. Since micromechanical structuring processes are not readily compatible with the CMOS process, it often turns out to be advantageous to separate the mechanical and the electrical functionality at the chip level. Therefore, in a preferred embodiment of the component according to the invention, the further semiconductor component is an ASIC. This can simply be connected back to back with the MEMS device. In this case, the electrical contacting of the ASIC preferably takes place with the aid of wire bonds. However, the ASIC can also be mounted with its active front side, on which the metallized pads for electrical contacting are arranged, on the back side of the MEMS component. The electrical contact to the carrier is made in this case via vias in the MEMS device in combination with flip-chip technology.

Durch die Verbindung mit dem MEMS-Bauelement befindet sich das weitere Halbleiterbauelement in einer stabilen Einbaulage, die relativ weit vom Träger entfernt ist. Zudem sind das Halbleiterbauelement und der Träger aufgrund der Flip-Chip-Montage des MEMS-Bauelements relativ gut mechanisch entkoppelt. Dadurch wird eine thermomechanisch bedingte Verbiegung des Halbleiterbauelements weitgehend unterbunden. Dies ist insbesondere bei ASICs von Vorteil, da hier mechanisch bedingte Verspannungen im Bauteil zu einem unerwünschten Signaldrift führen können. Due to the connection with the MEMS component, the further semiconductor component is in a stable installation position, which is relatively far away from the carrier. In addition, the semiconductor device and the carrier are relatively well mechanically decoupled due to the flip-chip mounting of the MEMS device. As a result, a thermomechanically induced bending of the semiconductor component is largely prevented. This is especially in ASICs advantageous since mechanically induced tensions in the component can lead to unwanted signal drift.

Auch ohne dass das weitere Halbleiterbauelement mit einer eigenständigen mikromechanischen Funktion ausgestattet ist, kann ihm im Verbund mit dem MEMS-Bauelement eine mechanische Funktion zukommen. So kann beispielsweise die Rückseitenkavität des MEMS-Bauelements mit Hilfe des Halbleiterbauelements druckdicht verschlossen werden, um ein Referenzvolumen für Absolutdruckmessungen oder auch ein Rückseitenvolumen für eine Mikrofonfunktion zu realisieren.Even without the further semiconductor component being equipped with an independent micromechanical function, it can have a mechanical function in combination with the MEMS component. Thus, for example, the back side cavity of the MEMS component can be sealed pressure-tight with the aid of the semiconductor component in order to realize a reference volume for absolute pressure measurements or also a rear side volume for a microphone function.

Mit Hilfe des weiteren Halbleiterbauelements kann aber auch ein definierter Zugang bzw. Druckanschluss zur Rückseite der Membranstruktur geschaffen werden, beispielsweise wenn das Halbleiterbauelement eine kleinere Chipfläche aufweist als das MEMS-Bauelement und/oder versetzt zu diesem angeordnet ist, so dass das Halbleiterbauelement die Rückseitenkavität des MEMS-Bauelements nur teilweise überspannt. Alternativ dazu kann das Halbleiterbauelement aber auch mit mindestens einer Durchgangsöffnung versehen werden, die so angeordnet ist, dass sie in die Rückseitenkavität des MEMS-Bauelements mündet. Hierfür stehen Verfahren, wie z.B. das Trenchen, zur Verfügung, mit denen die Abmessungen und auch die Position von Durchgangsöffnungen sehr genau vorgegeben werden können. Damit lassen sich auch sehr kleine Durchgangsöffnungen mit einem Durchmesser im µm-Bereich realisieren.With the aid of the further semiconductor component, however, it is also possible to create a defined access or pressure connection to the rear side of the membrane structure, for example if the semiconductor component has a smaller chip area than the MEMS component and / or is offset therefrom, so that the semiconductor component forms the backside cavity of the semiconductor device Only partially spans MEMS device. Alternatively, however, the semiconductor device may also be provided with at least one through opening, which is arranged so that it opens into the rear side cavity of the MEMS component. For this purpose, methods such as e.g. the Trenchen, available with which the dimensions and also the position of through holes can be specified very precisely. This makes it possible to realize very small through holes with a diameter in the μm range.

Die Zugangsöffnung des Bauteilgehäuses kann entweder im Träger ausgebildet sein oder auch in einem anderen Gehäuseteil. The access opening of the component housing may be formed either in the carrier or in another housing part.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung umfasst das Gehäuse neben dem Träger ein Deckelteil, das über dem Chipstapel angeordnet ist und umlaufend druckdicht mit dem Träger verbunden ist. Ein derartiges Deckelteil kann sehr einfach in Material, Form und Größe an die anwendungsspezifischen Erfordernisse des Bauteils angepasst werden. Als Beispiel sei hier ein Bauteil mit einem MEMS-Mikrofonbauelement genannt. Die Mikrofonperformance lässt sich maßgeblich durch die Ausgestaltung des Deckelteils beeinflussen, da der Gehäusedeckel die Größenverhältnisse von Front und Rückseitenvolumen mitbestimmt. Bei dieser Anwendung erweist es sich als vorteilhaft, wenn die Schallöffnung im Deckelteil druckdicht an eine Durchgangsöffnung im Halbleiterbauelement angekoppelt ist, so dass die Rückseite der Membranstruktur mit dem Schalldruck beaufschlagt wird und lediglich die Rückseitenkavität des MEMS-Bauelements als Frontvolumen fungiert, während der vergleichsweise große Gehäusehohlraum zwischen dem Träger und dem Deckelteil an die Vorderseite der Membranstruktur angeschlossen ist und als Rückseitenvolumen zur Verfügung steht.In a preferred embodiment of the invention, the housing comprises, in addition to the carrier, a cover part which is arranged above the chip stack and is circumferentially pressure-tightly connected to the carrier. Such a cover part can be easily adapted in material, shape and size to the application-specific requirements of the component. As an example, a component with a MEMS microphone component may be mentioned here. The microphone performance can be significantly influenced by the design of the cover part, since the housing cover co-determines the proportions of front and rear side volume. In this application, it proves to be advantageous if the sound opening in the cover part is pressure-tightly coupled to a passage opening in the semiconductor component, so that the rear side of the membrane structure is acted upon by the sound pressure and only the backside cavity of the MEMS device acts as a front volume, while the comparatively large Casing cavity between the carrier and the lid part is connected to the front of the membrane structure and is available as a backside volume.

Das Gehäuse kann aber auch in Form eines Moldgehäuses realisiert sein. In diesem Fall sind das MEMS-Bauelement und das Halbleiterbauelement zumindest teilweise in eine Moldmasse eingebunden, so dass sich ein Hohlraum zwischen der Membranstruktur des MEMS-Bauelements und der Trägeroberfläche befindet. Diese Variante eignet sich insbesondere für Anwendungen, bei denen die Größe des Gehäusehohlraums keine wesentliche Rolle für die Performance des MEMS-Bauelements spielt. Um die Membranstruktur trägerseitig freizuhalten, kann der Moldmassenfluss einfach durch einen Sealring oder Underfiller im Bereich der Flip-Chip-Kontaktierung begrenzt werden.The housing can also be realized in the form of a mold housing. In this case, the MEMS component and the semiconductor component are at least partially integrated in a molding compound, so that there is a cavity between the membrane structure of the MEMS component and the carrier surface. This variant is particularly suitable for applications in which the size of the housing cavity does not play a significant role in the performance of the MEMS device. In order to keep the membrane structure free on the carrier side, the flow of molding material can be limited simply by a sealing ring or underfiller in the area of the flip-chip contacting.

In einer vorteilhaften Ausführungsform dieser Verpackungsvariante befindet sich die Zugangsöffnung im Träger unter der Membranstruktur des MEMS-Bauelements und die Rückseitenkavität ist durch das Halbleiterbauelement abgeschlossen. In diesem Fall ist kein spezielles Moldwerkzeug erforderlich, um das MEMS-Bauelement und das Halbleiterbauelement zusammen mit etwaigen Drahtbonds zu Kontaktierung in die Moldmasse einzubetten. In an advantageous embodiment of this packaging variant, the access opening in the carrier is located below the membrane structure of the MEMS component and the rear side cavity is closed off by the semiconductor component. In this case, no special molding tool is required to embed the MEMS device and the semiconductor device together with any wire bonds for contacting in the molding compound.

Die Zugangsöffnung kann aber auch in der Moldmasse ausgebildet sein, um über eine Durchgangsöffnung im Halbleiterbauelement in die Rückseitenkavität des MEMS-Bauelements zu münden. Dazu muss die Zugangsöffnung während des Moldprozesses freigehalten werden. Das entsprechende Werkzeug kann direkt auf das Halbleiterbauelement aufgesetzt werden, wenn dieses keine fragilen Strukturen umfasst. Auch das Auftreten eines Moldflashs ist in diesem Fall unkritisch, solange eine Zugangsöffnung in der Moldmasse und die Durchgangsöffnung im Halbleiterbauelement frei bleiben. Die Empfindlichkeit der Membranstruktur des MEMS-Bauelements wird dadurch jedenfalls nicht beeinträchtigt. Bei dieser Ausführungsvariante dient der Standoff zwischen Membranstruktur und Träger als Rückvolumen.However, the access opening can also be formed in the molding compound in order to open into the rear side cavity of the MEMS component via a passage opening in the semiconductor component. For this purpose, the access opening must be kept free during the molding process. The corresponding tool can be placed directly on the semiconductor device, if it does not comprise fragile structures. Also, the occurrence of a mold flash is not critical in this case, as long as an access opening in the molding compound and the passage opening remain free in the semiconductor device. The sensitivity of the membrane structure of the MEMS device is in any case not affected. In this embodiment, the Standoff between membrane structure and carrier serves as a back volume.

Das erfindungsgemäße Verpackungskonzept eignet sich sehr gut für die First-Level-Verpackung von MEMS-Mikrofonbauelementen ist aber nicht auf diese Anwendung beschränkt. The packaging concept according to the invention is very well suited for the first-level packaging of MEMS microphone components but is not limited to this application.

Kurze Beschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings

Wie bereits voranstehend erörtert, gibt es verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu wird einerseits auf die dem unabhängigen Patentanspruch 1 nachgeordneten Patentansprüche verwiesen und andererseits auf die nachfolgende Beschreibung mehrerer Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Figuren.As already discussed above, there are various possibilities for embodying and developing the teaching of the present invention in an advantageous manner. For this purpose, reference is made on the one hand to the independent claim 1 subordinate claims and on the other hand to the following description of several embodiments of the invention with reference to the figures.

1a zeigt eine schematische Schnittdarstellung eines erfindungsgemäßen Bauteils 101 mit Zugangsöffnung im Gehäusedeckel, 1a shows a schematic sectional view of a component according to the invention 101 with access opening in the housing cover,

1b zeigt eine schematische Schnittdarstellung eines erfindungsgemäßen Bauteils 102 mit Zugangsöffnung im Träger, und 1b shows a schematic sectional view of a component according to the invention 102 with access opening in the carrier, and

1c zeigt eine schematische Aufsicht auf die Montageseite des MEMS-Bauelements der Bauteile 101 und 102; 1c shows a schematic plan view of the mounting side of the MEMS device of the components 101 and 102 ;

2a, 2b veranschaulichen zwei Varianten für eine druckdichte Montage des MEMS-Bauelements auf dem Träger anhand von Schnittdarstellungen zweier Bauteile 201 und 202; 2a . 2 B illustrate two variants for a pressure-tight mounting of the MEMS device on the support based on sectional views of two components 201 and 202 ;

3a, 3b zeigen jeweils eine schematische Schnittdarstellung eines Bauteils 301 bzw. 302, bei dem die Rückseitenkavität des MEMS-Bauelements an den Gehäusehohlraum angeschlossen ist; 3a . 3b each show a schematic sectional view of a component 301 respectively. 302 wherein the backside cavity of the MEMS device is connected to the housing cavity;

4 zeigt eine schematische Schnittdarstellung eines erfindungsgemäßen Mikrofon-Bauteils 40; und 4 shows a schematic sectional view of a microphone component according to the invention 40 ; and

5a bis 5d zeigen Schnittdarstellungen von vier Bauteilen 401 mit einem Moldgehäuse. 5a to 5d show sectional views of four components 401 with a mold housing.

In allen Figuren werden für gleiche Komponenten des Bauteilaufbaus einheitliche Bezugszeichen verwendet. In all figures, the same reference numerals are used for the same components of the component structure.

Ausführungsformen der ErfindungEmbodiments of the invention

Alle nachfolgend beschriebenen Ausführungsbeispiele beziehen sich auf ein Bauteil mit einem MEMS-Mikrofonbauelement 1 und einem ASIC 2 als weiterem Halbleiterbauelement. In der Vorderseite des Mikrofonbauelements 1 ist eine Membranstruktur 3 mit Mitteln zur Signalerfassung ausgebildet, die über vier Anschlusspads 5 auf der Vorderseite des Mikrofonbauelements 1 kontaktiert werden. Die Membranstruktur 3 überspannt eine Kavität 4 in der Bauelementrückseite.All exemplary embodiments described below relate to a component having a MEMS microphone component 1 and an ASIC 2 as a further semiconductor device. In the front of the microphone component 1 is a membrane structure 3 formed with signal acquisition means, which has four connection pads 5 on the front of the microphone component 1 be contacted. The membrane structure 3 spans a cavity 4 in the component back.

Das Mikrofonbauelement 1 ist in Flip-Chip-Technik, also mit seiner Vorderseite, auf einem Träger 11 montiert, so dass ein Abstand zwischen der Membranstruktur 3 und der Trägeroberfläche besteht (Standoff). Bei dem Träger 11 kann es sich beispielsweise um ein Leiterplattensubstrat in Form eines Multi-Panel-Substrats handeln. Als Montagetechnik eignet sich insbesondere die Löt-Flip-Chip-Technik. Es kann aber auch die Klebe-Flip-Chip-Technik angewendet werden.The microphone component 1 is in flip-chip technology, so with its front, on a support 11 mounted, leaving a space between the membrane structure 3 and the carrier surface exists (standoff). At the carrier 11 it may be, for example, a printed circuit board substrate in the form of a multi-panel substrate. As a mounting technique, in particular, the solder flip-chip technology is suitable. However, the adhesive flip-chip technique can also be used.

Der ASIC 2 ist auf der Rückseite des Mikrofonbauelements 1 angeordnet, so dass die beiden Bauelemente 1 und 2 einen Chipstapel bilden. In allen hier dargestellten Ausführungsbeispielen sind die Bauelemente 1 und 2 über eine strukturierte Klebeschicht 7 miteinander verbunden.The ASIC 2 is on the back of the microphone component 1 arranged so that the two components 1 and 2 form a chip stack. In all embodiments shown here are the components 1 and 2 over a structured adhesive layer 7 connected with each other.

Bei den in den 1a und 1b dargestellten Bauteilen 101 bzw. 102 wird sowohl die mechanische als auch die elektrische Verbindung zwischen dem Mikrofonbauelement 1 und dem Träger 11 über vier Lötballs 6 an den Anschlusspads 5 hergestellt. Die Anordnung der Anschlusspads 5 bzw. Lötballs 6 an den vier Ecken des Membranbereichs 3 wird durch 1c veranschaulicht. Demnach ist das Mikrofonbauelement 1 hier nicht umlaufend sondern lediglich punktuell mit dem Träger 11 verbunden. In the in the 1a and 1b represented components 101 respectively. 102 becomes both the mechanical and the electrical connection between the microphone component 1 and the carrier 11 over four solder balls 6 at the connection pads 5 produced. The arrangement of the connection pads 5 or solder balls 6 at the four corners of the membrane area 3 is going through 1c illustrated. Accordingly, the microphone component 1 not circulating here but only punctually with the carrier 11 connected.

Bei den Bauteilen 101 und 102 sind das Mikrofonbauelement 1 und der ASIC 2 Rückseite gegen Rückseite miteinander verbunden. Da der ASIC 2 im Wesentlichen dieselben lateralen Abmessungen hat wie das Mikrofonbauelement 1 und bündig mit diesem angeordnet ist, überspannt der ASIC 2 die Rückseitenkavität 4 und schließt diese akustisch dicht ab. Die elektrische Kontaktierung des ASIC 2 erfolgt über Bonddrähte 8, die von entsprechenden Bondpads 9 auf der aktiven Vorderseite des ASIC 2 auf den Träger 11 geführt sind. For the components 101 and 102 are the microphone component 1 and the ASIC 2 Back to back connected together. Because the ASIC 2 has substantially the same lateral dimensions as the microphone component 1 and flush with it, the ASIC spans 2 the backside cavity 4 and closes these acoustically tight. The electrical contacting of the ASIC 2 via bonding wires 8th that are from corresponding bondpads 9 on the active front of the ASIC 2 on the carrier 11 are guided.

Beide Bauteile 101 und 102 umfassen ein Deckelteil 12, das über dem Chipstapel 1, 2 angeordnet ist und umlaufend druckdicht mit dem Träger 11 verbunden ist, so dass Träger 11 und Deckelteil 12 ein Gehäuse 10 für das Mikrofonbauelement 1 und den ASIC 2 bilden. Im Fall des Bauteils 101, 1a, ist die Schallöffnung 13 im Deckelteil 12 ausgebildet und im Fall des Bauteils 102, 1b, im Träger 11. Da die Vorderseite des Mikrofonbauelements 1 in beiden Fällen nur punktuell mit dem Träger 11 verbunden ist, besteht sowohl beim Bauteil 101 als auch beim Bauteil 102 eine Druckverbindung zwischen der Vorderseite der Membranstruktur 3 und dem Gehäusehohlraum. Dementsprechend wird auch in beiden Fällen die Vorderseite der Membranstruktur 3 mit dem Schalldruck beaufschlagt. Dabei fungiert der gesamte Gehäusehohlraum als Frontvolumen, während die akustisch dicht abgeschlossene Rückseitenkavität 4 des Mikrofonbauelements 1 als Rückseitenvolumen wirkt. Both components 101 and 102 include a cover part 12 that over the chip stack 1 . 2 is arranged and circumferentially pressure-tight with the carrier 11 connected, so that carrier 11 and lid part 12 a housing 10 for the microphone component 1 and the ASIC 2 form. In the case of the component 101 . 1a , is the sound opening 13 in the lid part 12 trained and in the case of the component 102 . 1b , in the vehicle 11 , Because the front of the microphone component 1 in both cases only selectively with the wearer 11 is connected, exists both in the component 101 as well as the component 102 a pressure connection between the front of the membrane structure 3 and the housing cavity. Accordingly, in both cases, the front of the membrane structure 3 subjected to the sound pressure. The entire housing cavity acts as a front volume, while the acoustically sealed back cavity 4 of the microphone component 1 acts as a backside volume.

Die in den 2a und 2b dargestellten Bauteile 201 und 202 unterscheiden sich von dem in 1b dargestellten Bauteil 102 lediglich in der Montage des Mikrofonbauelements 1 auf dem Träger 11. Um Wiederholungen zu vermeiden, beschränkt sich die nachfolgende Beschreibung auf diesen Aspekt.The in the 2a and 2 B illustrated components 201 and 202 differ from that in 1b represented component 102 only in the assembly of the microphone component 1 on the carrier 11 , To avoid repetition, the following description is limited to this aspect.

Wie im Fall der 1 ist das Mikrofonbauelement 1 der Bauteile 201 und 202 in Flip-Chip-Technik auf dem Träger 11 montiert, so dass die Membranstruktur 3 über der Schallöffnung 13 im Träger 11 angeordnet ist und ein Abstand zwischen der Membranstruktur 3 und der Trägeroberfläche besteht. Auch hier wird die mechanische und elektrische Verbindung zwischen dem Mikrofonbauelement 1 und dem Träger 11 über die vier Anschlusspads 5 auf der Vorderseite des Mikrofonbauelements 1 und die vier entsprechend angeordneten Lötballs 6 hergestellt. Allerdings wurde hier der Raum zwischen dem Mikrofonbauelement 1 und der Trägeroberfläche noch zusätzlich umlaufend abgedichtet, um das Frontvolumen einzugrenzen und die Mikrofonperformance so zu verbessern. As in the case of 1 is the microphone component 1 of the components 201 and 202 in flip-chip technology on the carrier 11 mounted so that the membrane structure 3 above the sound opening 13 in the carrier 11 is arranged and a distance between the membrane structure 3 and the carrier surface. Again, the mechanical and electrical connection between the microphone component 1 and the carrier 11 over the four connection pads 5 on the front of the microphone component 1 and the four correspondingly arranged solder balls 6 produced. However, here was the space between the microphone component 1 and the carrier surface additionally sealed circumferentially to limit the front volume and improve the microphone performance so.

Im Fall der 2a wurde die Abdichtung mit Hilfe eines elektrisch nicht leitenden Klebers (Underfiller) 14 realisiert, der umlaufend um den Membranbereich 3 zwischen die Vorderseite des Mikrofonbauelements 1 und die Trägeroberfläche eingebracht wurde, so dass die Lötkontakte 5, 6 der Flip-Chip-Kontaktierung in den Underfiller 14 eingebettet sind. In the case of 2a the seal was made using an electrically non-conductive adhesive (underfiller) 14 realized, the circumferential around the membrane area 3 between the front of the microphone component 1 and the carrier surface has been inserted so that the solder contacts 5 . 6 the flip-chip contact in the underfiller 14 are embedded.

Im Fall der 2b dient ein umlaufender Lotring 15 als Abdichtung, dessen Ausdehnung auf den Bereich eines entsprechenden Padrings auf der Oberfläche des Mikrofonbauelements 1 begrenzt ist. Dieser Sealring 15 umgibt im hier dargestellten Ausführungsbeispiel den Membranbereich 3 und die Lötkontakte 5, 6 der Flip-Chip-Kontaktierung, kann aber auch, je nach Auslegung des Padrings, zwischen dem Membranbereich 3 und den Lötkontakten 5, 6 angeordnet sein. In the case of 2 B serves a circumferential Lotring 15 as a seal, its extension to the area of a corresponding pad ring on the surface of the microphone component 1 is limited. This seal ring 15 surrounds the membrane area in the embodiment shown here 3 and the solder contacts 5 . 6 the flip-chip contact, but can also, depending on the design of the pad ring, between the membrane area 3 and the solder contacts 5 . 6 be arranged.

Wie bereits erwähnt, dient bei den in den 2a und 2b dargestellten Bauteilen 201 und 202 der abgedichtete Raum zwischen der Vorderseite des Mikrofonbauelements 1 und der Trägeroberfläche als Frontvolumen, während die akustisch dicht abgeschlossene Rückseitenkavität 4 des Mikrofonbauelements 1 als Rückseitenvolumen wirkt. Im Unterschied dazu sind in den 3a und 3b zwei Bauteile 301 und 302 dargestellt, bei denen der ASIC 2 so strukturiert bzw. montiert ist, dass die Rückseitenkavität 4 an den Gehäusehohlraum angeschlossen ist und zusammen mit dem Gehäusehohlraum als Rückseitenvolumen fungiert. Die nachfolgende Figurenbeschreibung beschränkt sich auf diesen Aspekt, da der Aufbau der Bauteile 301 und 302 ansonsten dem des in 2a dargestellten Bauteils 201 entspricht.As already mentioned, serves in the in the 2a and 2 B represented components 201 and 202 the sealed space between the front of the microphone component 1 and the support surface as a front volume, while the acoustically sealed back cavity 4 of the microphone component 1 acts as a backside volume. In contrast, in the 3a and 3b two components 301 and 302 shown where the ASIC 2 is structured or mounted so that the backside cavity 4 is connected to the housing cavity and acts together with the housing cavity as the backside volume. The following description of the figures is limited to this aspect, since the structure of the components 301 and 302 otherwise that of the in 2a represented component 201 equivalent.

Im Fall des Bauteils 301 ist die Chipfläche des ASIC 2 deutlich größer als die des Mikrofonbauelements 1. Der ASIC 2 ist so angeordnet, dass er die gesamte Rückseite mit der Rückseitenkavität 4 des Mikrofonbauelements 1 überspannt. Jedoch ist im Mittelbereich des ASIC 2 eine Durchgangsöffnung 16 ausgebildet, über die die Rückseitenkavität 4 mit dem Gehäusehohlraum zwischen Deckelteil 12 und Träger 11 verbunden ist.In the case of the component 301 is the chip area of the ASIC 2 significantly larger than that of the microphone component 1 , The ASIC 2 is arranged so that it covers the entire back with the backside cavity 4 of the microphone component 1 spans. However, the middle range of the ASIC is 2 a passage opening 16 formed over which the backside cavity 4 with the housing cavity between the cover part 12 and carriers 11 connected is.

Im Fall des Bauteils 302 ist die Chipfläche des ASIC 2 deutlich kleiner als die des Mikrofonbauelements 1. Der ASIC 2 ist hier so auf der Rückseite des Mikrofonbauelements 1 angeordnet, dass er lediglich einen Teil der Rückseitenkavität überdeckt, diese aber nicht abschließt, so dass die Rückseitenkavität 4 an den Gehäusehohlraum zwischen Deckelteil 12 und Träger 11 angeschlossen ist. In the case of the component 302 is the chip area of the ASIC 2 significantly smaller than that of the microphone component 1 , The ASIC 2 is here on the back of the microphone component 1 arranged to cover only part of the backside cavity, but not to close it, leaving the backside cavity 4 to the housing cavity between the cover part 12 and carriers 11 connected.

Die in 4 dargestellte Bauform 40 eines Mikrofon-Bauteils 40 ist sowohl im Hinblick auf die Mikrofonperformance als auch im Hinblick auf die 2nd-Level-Montage des Bauteils besonders vorteilhaft.In the 4 illustrated design 40 a microphone component 40 is particularly advantageous both in terms of microphone performance and in terms of 2nd-level mounting of the component.

Das Mikrofonbauelement 1 ist hier lediglich punktuell über vier Lötballs 6 auf dem Träger 11 fixiert, über die auch die elektrische Kontaktierung des Mikrofonbauelements 1 erfolgt. The microphone component 1 here is only punctually about four solder balls 6 on the carrier 11 fixed, via which also the electrical contacting of the microphone component 1 he follows.

Der ASIC 2 ist Rückseite gegen Rückseite mit dem Mikrofonbauelement 1 verbunden, so dass er die Rückseitenkavität 4 des Mikrofonbauelements 1 überspannt. Im ASIC 2 eine Durchgangsöffnung 16 ausgebildet, die in die Rückseitenkavität 4 des Mikrofonbauelements 1 mündet. Die elektrische Kontaktierung des ASIC 2 erfolgt über Bonddrähte 8, die von entsprechenden Bondpads 9 auf der aktiven Vorderseite des ASIC 2 auf den Träger 11 geführt sind. The ASIC 2 is back to back with the microphone component 1 connected so that he the backside cavity 4 of the microphone component 1 spans. In the ASIC 2 a passage opening 16 formed in the backside cavity 4 of the microphone component 1 empties. The electrical contacting of the ASIC 2 via bonding wires 8th that are from corresponding bondpads 9 on the active front of the ASIC 2 on the carrier 11 are guided.

Über dem aus Mikrofonbauelement 1 und ASIC 2 bestehenden Chipstapel und den Drahtbonds 8, 9 ist ein Deckelteil 12 angeordnet, in dem ein Anschlussstutzen 17 mit einer Schallöffnung 13 (direct port) ausgebildet ist. Während der äußere Rand des Deckelteils umlaufend druckdicht mit dem Träger 11 verbunden ist, ist der Randbereich der Schallöffnung 13 akustisch dicht an den Randbereich der Durchgangsöffnung im ASIC 2 angeschlossen. Diese hier nicht näher dargestellte Verbindung kann mit Hilfe eines Klebers, Dichtrings, Silikonrings oder einem gummiartigen Material realisiert werden.Above the microphone component 1 and ASIC 2 existing chip stacks and the wire bonds 8th . 9 is a lid part 12 arranged in which a connecting piece 17 with a sound opening 13 (direct port) is formed. While the outer edge of the cover part circumferentially pressure-tight with the carrier 11 is connected, is the edge region of the sound opening 13 acoustically close to the edge area of the passage opening in the ASIC 2 connected. This connection, not shown here, can be realized by means of an adhesive, sealing ring, silicone ring or a rubber-like material.

Die Schallbeaufschlagung der Membranstruktur 3 erfolgt hier also über den Anschlussstutzen 17 mit der Schallöffnung 13 und die Durchgangsöffnung 16 im ASIC 2, die einen akustischen Zugangskanal zur Rückseitenkavität 4 bilden. Diese wirkt als Frontvolumen wirkt, während der gesamte Gehäusehohlraum zwischen Träger 11 und Deckelteil 12 als Rückseitenvolumen fungiert, da die Vorderseite des Mikrofonbauelements 1 nur punktuell mit dem Träger 11 verbunden ist und folglich eine Druckverbindung zwischen der Vorderseite der Membranstruktur 3 und dem Gehäusehohlraum besteht. The sound of the membrane structure 3 takes place here via the connecting piece 17 with the sound opening 13 and the through hole 16 in the ASIC 2 providing an acoustic access channel to the backside cavity 4 form. This acts as a front volume acts while the entire housing cavity between support 11 and lid part 12 acts as a backside volume, since the front of the microphone component 1 only occasionally with the carrier 11 is connected and thus a pressure connection between the front of the membrane structure 3 and the housing cavity.

Die in Verbindung mit den 1 bis 4 erläuterten Bauteilvarianten umfassen jeweils ein Gehäuse 10 für das Mikrofonbauelement 1 und den ASIC 2, das aus dem Träger 11 und einem druckdicht mit diesem verbundenen Deckelteil 12 besteht. Alternativ dazu kann das erfindungsgemäße Bauteil auch mit einem Moldgehäuse 20 versehen werden, was in den 5a bis 5d dargestellt ist. Um die Funktionalität der Membranstruktur 3 zu gewährleisten, muss der Raum zwischen der Membranstruktur 3 und der Trägeroberfläche beim Moldprozess freigehalten werden. Die dazu erforderliche Abdichtung der Verbindung zwischen Mikrofonbauelement 1 und Träger 11 kann einfach mit Hilfe eines Underfillers 14 oder auch eines Sealrings 15 realisiert werden, wie in Verbindung mit den 2a und 2b beschrieben. The in conjunction with the 1 to 4 explained component variants each comprise a housing 10 for the microphone component 1 and the ASIC 2 that from the carrier 11 and a pressure-tight connected thereto cover part 12 consists. Alternatively, the component according to the invention may also be provided with a mold housing 20 be provided, which is in the 5a to 5d is shown. To the functionality of the membrane structure 3 To ensure the space must be between the membrane structure 3 and the carrier surface are kept free during the molding process. The required sealing of the connection between microphone component 1 and carriers 11 can easily with the help of an underfillers 14 or a seal ring 15 be realized, as in connection with the 2a and 2 B described.

Der Aufbau des in 5a dargestellten Bauteils 501 entspricht – bis auf das Deckelteil – der in 2a dargestellten Situation. Zur Realisierung eines Gehäuses 20 wurde der Chipstapel 1, 2 hier zusammen mit den Drahtbonds 8, 9 mit einer Moldmasse 21 umspritzt. Da die Verbindung zwischen Mikrofonbauelement 1 und Träger 11 zuvor mit Hilfe von Underfiller 14 abgedichtet worden ist, konnte die Moldmasse nicht in den Raum 24 zwischen der Membranstruktur 3 und der Trägeroberfläche vordringen. Dieser Raum 24, in den die Schallöffnung 13 im Träger 11 mündet, bildet nun das Frontvolumen des Mikrofonbauelements 1, während die durch den ASIC 2 abgeschlossene Rückseitenkavität 4 als Rückseitenvolumen wirkt. The construction of in 5a represented component 501 corresponds - except for the cover part - in 2a illustrated situation. For the realization of a housing 20 became the chip stack 1 . 2 here together with the wire bonds 8th . 9 with a molding compound 21 molded. Because the connection between microphone component 1 and carriers 11 previously with the help of Underfiller 14 was sealed, the Moldmasse could not enter the room 24 between the membrane structure 3 and penetrate the carrier surface. This room 24 into the sound opening 13 in the carrier 11 opens, now forms the front volume of the microphone component 1 while through the ASIC 2 closed back cavity 4 acts as a backside volume.

Der Aufbau des in 5b dargestellten Bauteils 502 entspricht – bis auf das Deckelteil – der in 2b dargestellten Situation. Der Raum 24 zwischen der Membranstruktur 3 und dem Träger 11 wurde hier mit Hilfe eines Sealrings 15 abgedichtet, um ihn und die Schallöffnung 13 im Träger 11 von Moldmasse 21 freizuhalten. Wie im Fall der 5a fungiert dieser Raum 24 als Frontvolumen, während die durch den ASIC 2 abgeschlossene Rückseitenkavität 4 das Rückseitenvolumen des Mikrofonbauelements 1 bildet.The construction of in 5b represented component 502 corresponds - except for the cover part - in 2 B illustrated situation. The space 24 between the membrane structure 3 and the carrier 11 was here with the help of a seal ring 15 sealed to him and the sound opening 13 in the carrier 11 of molding material 21 kept clear. As in the case of 5a This room acts 24 as front volume while passing through the ASIC 2 closed back cavity 4 the backside volume of the microphone component 1 forms.

In 5c ist eine Aufbauvariante dargestellt, bei der sich die Schallöffnung 13 nicht im Träger 11 sondern in der Moldmasse 21 befindet, in die der Chipstapel 1, 2 und die Drahtbonds 8, 9 eingebettet sind. Die Schallöffnung 13 mündet hier in eine Durchgangsöffnung 16 im ASIC 2, so dass die Rückseite der Membranstruktur 3 mit dem Schalldruck beaufschlagt wird. Dementsprechend bildet die Rückseitenkavität 4 das Frontvolumen, während der mit Hilfe eines Sealrings 15 abgedichtete Raum 24 zwischen der Membranstruktur 3 und dem geschlossenen Träger 11 als Rückseitenvolumen dient.In 5c is shown a construction variant, in which the sound opening 13 not in the vehicle 11 but in the molding compound 21 located in the the chip stack 1 . 2 and the wire bonds 8th . 9 are embedded. The sound opening 13 opens here into a through hole 16 in the ASIC 2 , leaving the backside of the membrane structure 3 is acted upon by the sound pressure. Accordingly, the backside cavity forms 4 the front volume while using a seal ring 15 sealed room 24 between the membrane structure 3 and the closed carrier 11 serves as backside volume.

Zum Erzeugen der Schallöffnung 13 in der Moldmasse 21 und um die Durchgangsöffnung 16 im ASIC 2 frei von Moldmasse 21 zu halten, wurde hier ein stempelartiges Moldwerkzeug dichtend auf die Oberseite des ASIC 2 über die Durchgangsöffnung 16 aufgesetzt. Zum Toleranzausgleich zwischen dem Werkzeug und der ASIC-Oberfläche können eine spezielle Folie oder auch eine flexible Werkzeugbeschichtung eingesetzt werden. Auf diese Weise entsteht eine Schallöffnung 13 im Moldgehäuse 20, die in die Durchgangsöffnung 16 des ASIC 2 mündet. Als Moldmasse 21 wird eine geeignete Kunststoffmasse verwendet, wie z.B. eine mit Siliziumoxid-Partikeln gefüllte Epoxidmasse. For generating the sound opening 13 in the molding compound 21 and around the through hole 16 in the ASIC 2 free of molding compound 21 Here, a stamp-like mold tool was sealingly placed on top of the ASIC 2 over the passage opening 16 placed. For tolerance compensation between the tool and the ASIC surface, a special foil or even a flexible tool coating can be used. This creates a sound opening 13 in the housing housing 20 in the passage opening 16 of the ASIC 2 empties. As molding compound 21 a suitable plastic composition is used, such as an epoxy filled with silica particles.

Bei der in 5d dargestellten Aufbauvariante wurde der ASIC 2 mit seiner aktiven Vorderseite auf der Rückseite des Mikrofonbauelements 1 montiert und über Durchkontakte 18 im Mikrofonbauelement 1 kombiniert mit Flip-Chip-Technik elektrisch kontaktiert. Da die Rückseite des ASIC 2 unempfindlich ist gegen äußere Einflüsse, schließt das Moldgehäuse 20 hier bündig mit der Rückseite des ASIC 2 ab. In diesem Fall wird beim Moldprozess die gesamte Bauelementrückseite des ASIC 2 weitestgehend von Moldmasse 21 freigehalten. Dabei wird auch die Schallöffnung 13 offengehalten, die hier in Form einer Durchgangsöffnung 16 im ASIC 2 realisiert ist. Die Schallbeaufschlagung der Membranstruktur 3 erfolgt demnach über die Rückseitenkavität 4. Das Rückseitenvolumen 24 zwischen der Membranstruktur 3 und dem Träger 11 ist auch hier mit Hilfe eines Sealrings 15 abgedichtet. At the in 5d The design variant shown was the ASIC 2 with its active front on the back of the microphone component 1 mounted and via vias 18 in the microphone component 1 combined with flip-chip technology electrically contacted. Because the back of the ASIC 2 Insensitive to external influences, the mold housing closes 20 here flush with the back of the ASIC 2 from. In this case, during the molding process, the entire component back side of the ASIC becomes 2 largely of molding material 21 kept free. This is also the sound opening 13 kept open here in the form of a through hole 16 in the ASIC 2 is realized. The sound of the membrane structure 3 takes place via the backside cavity 4 , The backside volume 24 between the membrane structure 3 and the carrier 11 is also here with the help of a seal ring 15 sealed.

Claims (14)

Bauteil mit mindestens einem MEMS-Bauelement (1) und mindestens einem weiteren Halbleiterbauelement (2), die in einem gemeinsamen Gehäuse (10) mit mindestens einer Zugangsöffnung (13) angeordnet sind, – wobei in der Vorderseite des MEMS-Bauelements (1) mindestens eine Membranstruktur (3) ausgebildet ist, die eine Kavität (4) in der Rückseite des MEMS-Bauelements (1) überspannt, und – wobei das Gehäuse (10) einen Träger (11) umfasst, auf dem das MEMS-Bauelement (1) montiert ist; dadurch gekennzeichnet, dass das MEMS-Bauelement (1) mit seiner Vorderseite auf dem Träger (11) montiert ist, so dass ein Abstand zwischen der Membranstruktur (3) und der Trägeroberfläche besteht, und dass das mindestens eine weitere Halbleiterbauelement (2) mit der Rückseite des MEMS-Bauelements (1) verbunden ist, so dass das MEMS-Bauelement (1) und das Halbleiterbauelement (2) einen Chipstapel bilden.Component with at least one MEMS component ( 1 ) and at least one further semiconductor component ( 2 ) housed in a common housing ( 10 ) with at least one access opening ( 13 ) are arranged, - wherein in the front of the MEMS device ( 1 ) at least one membrane structure ( 3 ) is formed, which is a cavity ( 4 ) in the back of the MEMS device ( 1 ), and - wherein the housing ( 10 ) a carrier ( 11 ) on which the MEMS device ( 1 ) is mounted; characterized in that the MEMS device ( 1 ) with its front side on the carrier ( 11 ), so that a distance between the membrane structure ( 3 ) and the carrier surface, and that the at least one further semiconductor component ( 2 ) with the back of the MEMS device ( 1 ), so that the MEMS device ( 1 ) and the semiconductor device ( 2 ) form a chip stack. Bauteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem mindestens einen weiteren Halbleiterbauelement um einen ASIC (2) handelt, dessen Rückseite mit der Rückseite des MEMS-Bauelements (1) verbunden ist und dessen elektrische Verbindung zum Träger (11) über Anschlusspads (9) auf der aktiven Vorderseite und Drahtbonds (8) realisiert ist.Component according to Claim 1, characterized in that the at least one further semiconductor component is an ASIC ( 2 ) whose rear side is connected to the backside of the MEMS device ( 1 ) and its electrical connection to the carrier ( 11 ) via connection pads ( 9 ) on the active front and wire bonds ( 8th ) is realized. Bauteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem mindestens einen weiteren Halbleiterbauelement um einen ASIC (2) handelt, dessen aktive Vorderseite mit Anschlusspads zur elektrischen Kontaktierung mit der Rückseite des MEMS-Bauelements (1) verbunden ist und dessen elektrische Verbindung zum Träger (11) über Durchkontakte (18) im MEMS-Bauelement (1) realisiert ist. Component according to Claim 1, characterized in that the at least one further semiconductor component is an ASIC ( 2 ) whose active front side is provided with connection pads for making electrical contact with the backside of the MEMS device ( 1 ) and its electrical connection to the carrier ( 11 ) via contacts ( 18 ) in the MEMS device ( 1 ) is realized. Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Halbleiterbauelement (2) die Rückseitenkavität (4) des MEMS-Bauelements (4) druckdicht abschließt.Component according to one of Claims 1 to 3, characterized in that the semiconductor component ( 2 ) the backside cavity ( 4 ) of the MEMS device ( 4 ) pressure-tight. Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Halbleiterbauelement (2) mindestens eine Durchgangsöffnung (16) zur Rückseitenkavität (4) des MEMS-Bauelements (1) aufweist.Component according to one of Claims 1 to 3, characterized in that the semiconductor component ( 2 ) at least one passage opening ( 16 ) to the backside cavity ( 4 ) of the MEMS device ( 1 ) having. Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Zugangsöffnung (13) des Gehäuses (10) im Träger (11) ausgebildet ist.Component according to one of claims 1 to 5, characterized in that at least one access opening ( 13 ) of the housing ( 10 ) in the carrier ( 11 ) is trained. Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (10) ein Deckelteil (12) umfasst, das über dem Chipstapel angeordnet ist und umlaufend druckdicht mit dem Träger (11) verbunden ist. Component according to one of claims 1 to 6, characterized in that the housing ( 10 ) a cover part ( 12 ), which is arranged above the chip stack and peripherally pressure-tight with the carrier ( 11 ) connected is. Bauteil nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Zugangsöffnung (13) im Deckelteil (12) ausgebildet ist.Component according to claim 7, characterized in that the at least one access opening ( 13 ) in the lid part ( 12 ) is trained. Bauteil (40) nach den Ansprüchen 5 und 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Zugangsöffnung (13) im Deckelteil (12) druckdicht an die Durchgangsöffnung (16) im Halbleiterbauelement (2) angeschlossen ist.Component ( 40 ) according to claims 5 and 8, characterized in that the access opening ( 13 ) in the lid part ( 12 ) pressure-tight to the passage opening ( 16 ) in the semiconductor device ( 2 ) connected. Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das MEMS-Bauelement (1) und das Halbleiterbauelement (2) zumindest teilweise in eine Moldmasse (21) eingebunden sind, so dass sich ein Hohlraum (24) zwischen der Membranstruktur (3) des MEMS-Bauelements (1) und der Trägeroberfläche befindet.Component according to one of Claims 1 to 6, characterized in that the MEMS component ( 1 ) and the semiconductor device ( 2 ) at least partially into a molding compound ( 21 ), so that a cavity ( 24 ) between the membrane structure ( 3 ) of the MEMS device ( 1 ) and the carrier surface is located. Bauteil nach den Ansprüchen 5 und 10, dadurch gekennzeichnet, dass in der Moldmasse (21) eine Zugangsöffnung (13) ausgebildet ist, die über die Durchgangsöffnung (16) des weiteren Halbleiterbauelements (2) in die Rückseitenkavität (4) des MEMS-Bauelements (1) mündet. Component according to claims 5 and 10, characterized in that in the molding compound ( 21 ) an access opening ( 13 ) is formed, which via the passage opening ( 16 ) of the further semiconductor component ( 2 ) in the backside cavity ( 4 ) of the MEMS device ( 1 ) opens. Bauteil (40) nach einem der Ansprüche 1 bis 9, mindestens umfassend – ein MEMS-Mikrofonbauelement (1) mit mindestens einer in der Vorderseite ausgebildeten Membranstruktur (3), die eine Rückseitenkavität (4) überspannt, – ein weiteres Halbleiterbauelement (2), das über der Rückseitenkavität (4) des MEMS-Mikrofonbauelements (1) angeordnet ist und zumindest im Randbereich der Rückseitenkavität druckdicht mit der Rückseite des MEMS-Mikrofonbauelements (1) verbunden ist, – einen Träger (11), auf dem das MEMS-Mikrofonbauelement (1) mit seiner Vorderseite montiert ist, so dass ein Abstand zwischen der Membranstruktur (3) und der Trägeroberfläche besteht, und – ein Deckelteil (12), das umlaufend druckdicht mit dem Träger (11) verbunden ist und zusammen mit dem Träger (11) ein Gehäuse (10) mit mindestens einer Schallöffnung (13) für das MEMS-Mikrofonbauelement (1) und das weitere Halbleiterbauelement (2) bildet; dadurch gekennzeichnet, dass das Halbleiterbauelement (2) eine Durchgangsöffnung (16) zur Rückseitenkavität (4) des MEMS-Mikrofonbauelements (1) aufweist, dass die Schallöffnung (13) im Deckelteil (12) ausgebildet ist und druckdicht an die Durchgangsöffnung (16) im Halbleiterbauelement (2) angeschlossen ist, so dass die Rückseitenkavität (4) als Frontvolumen des MEMS-Mikrofonbauelements (1) fungiert, und dass das MEMS-Mikrofonbauelement (1) so auf dem Träger (11) montiert ist, dass der Gehäusehohlraum zwischen dem Träger (11) und dem Deckelteil (12) als Rückseitenvolumen des MEMS-Mikrofonbauelements (1) fungiert. Component ( 40 ) according to one of claims 1 to 9, comprising at least - a MEMS microphone component ( 1 ) with at least one membrane structure formed in the front side ( 3 ), which has a backside cavity ( 4 ), - another semiconductor component ( 2 ) above the backside cavity ( 4 ) of the MEMS microphone component ( 1 ) is arranged and at least in the edge region of the back side cavity pressure-tight with the back of the MEMS microphone component ( 1 ), - a support ( 11 ) on which the MEMS microphone component ( 1 ) is mounted with its front side, so that a distance between the membrane structure ( 3 ) and the carrier surface, and - a cover part ( 12 ), the peripherally pressure-tight with the carrier ( 11 ) and together with the carrier ( 11 ) a housing ( 10 ) with at least one sound opening ( 13 ) for the MEMS microphone component ( 1 ) and the further semiconductor component ( 2 ) forms; characterized in that the semiconductor device ( 2 ) a passage opening ( 16 ) to the backside cavity ( 4 ) of the MEMS microphone component ( 1 ), that the sound opening ( 13 ) in the lid part ( 12 ) is formed and pressure-tight to the passage opening ( 16 ) in the semiconductor device ( 2 ), so that the backside cavity ( 4 ) as the front volume of the MEMS microphone component ( 1 ) and that the MEMS microphone component ( 1 ) so on the carrier ( 11 ) is mounted, that the housing cavity between the carrier ( 11 ) and the lid part ( 12 ) as the backside volume of the MEMS microphone device ( 1 ) acts. Bauteil (101; 102) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, mindestens umfassend – ein MEMS-Mikrofonbauelement (1) mit mindestens einer in der Vorderseite ausgebildeten Membranstruktur (3), die eine Rückseitenkavität (4) überspannt, – ein weiteres Halbleiterbauelement (2), das über der Rückseitenkavität (4) des MEMS-Mikrofonbauelements (1) angeordnet ist und zumindest im Randbereich der Rückseitenkavität druckdicht mit der Rückseite des MEMS-Mikrofonbauelements (1) verbunden ist, – einen Träger (11), auf dem das MEMS-Mikrofonbauelement (1) mit seiner Vorderseite montiert ist, so dass ein Abstand zwischen der Membranstruktur (3) und der Trägeroberfläche besteht, und – ein Deckelteil (12), das umlaufend druckdicht mit dem Träger (11) verbunden ist und zusammen mit dem Träger (11) ein Gehäuse (10) mit mindestens einer Schallöffnung (13) für das MEMS- Mikrofonbauelement (1) und das weitere Halbleiterbauelement (2) bildet; dadurch gekennzeichnet, dass das Halbleiterbauelement (2) die Rückseitenkavität (4) des MEMS-Mikrofonbauelements (1) druckdicht abschließt, so dass die Rückseitenkavität (4) als Rückseitenvolumen des MEMS-Mikrofonbauelements (1) fungiert, dass die Schallöffnung (13) im Deckelteil (12) oder im Träger (11) ausgebildet ist und dass das MEMS-Mikrofonbauelement (1) so auf dem Träger (11) montiert ist, dass der Gehäusehohlraum zwischen dem Träger (11) und dem Deckelteil (12) als Frontvolumen des MEMS-Mikrofonbauelements (1) fungiert. Component ( 101 ; 102 ) according to one of claims 1 to 8, comprising at least - a MEMS microphone component ( 1 ) with at least one membrane structure formed in the front side ( 3 ), which has a backside cavity ( 4 ), - another semiconductor component ( 2 ) above the backside cavity ( 4 ) of the MEMS microphone component ( 1 ) is arranged and at least in the edge region of the back side cavity pressure-tight with the back of the MEMS microphone component ( 1 ), - a support ( 11 ) on which the MEMS microphone component ( 1 ) is mounted with its front side, so that a distance between the membrane structure ( 3 ) and the carrier surface, and - a cover part ( 12 ), the peripherally pressure-tight with the carrier ( 11 ) and together with the carrier ( 11 ) a housing ( 10 ) with at least one sound opening ( 13 ) for the MEMS microphone component ( 1 ) and the further semiconductor component ( 2 ) forms; characterized in that the semiconductor device ( 2 ) the backside cavity ( 4 ) of the MEMS Microphone component ( 1 ) pressure-tight so that the backside cavity ( 4 ) as the backside volume of the MEMS microphone device ( 1 ) that the sound opening ( 13 ) in the lid part ( 12 ) or in the carrier ( 11 ) and that the MEMS microphone component ( 1 ) so on the carrier ( 11 ) is mounted, that the housing cavity between the carrier ( 11 ) and the lid part ( 12 ) as the front volume of the MEMS microphone component ( 1 ) acts. Bauteil (301; 302) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, mindestens umfassend – ein MEMS-Mikrofonbauelement (1) mit mindestens einer in der Vorderseite ausgebildeten Membranstruktur (3), die eine Rückseitenkavität (4) überspannt, – ein weiteres Halbleiterbauelement (2), das über der Rückseitenkavität (4) des MEMS-Mikrofonbauelements (1) angeordnet ist und zumindest im Randbereich der Rückseitenkavität druckdicht mit der Rückseite des MEMS-Mikrofonbauelements (1) verbunden ist, – einen Träger (11), auf dem das MEMS-Mikrofonbauelement (1) mit seiner Vorderseite montiert ist, so dass ein Abstand zwischen der Membranstruktur (3) und der Trägeroberfläche besteht, und – ein Deckelteil (12), das umlaufend druckdicht mit dem Träger (11) verbunden ist und zusammen mit dem Träger (11) ein Gehäuse (10) mit mindestens einer Schallöffnung (13) für das MEMS-Mikrofonbauelement (1) und das weitere Halbleiterbauelement (2) bildet; dadurch gekennzeichnet, dass das Halbleiterbauelement (2) eine Durchgangsöffnung (16) zur Rückseitenkavität (4) des MEMS-Mikrofonbauelements (1) aufweist oder so auf der Rückseite des MEMS-Mikrofonbauelements (1) montiert ist, dass die Rückseitenkavität (4) an den Gehäusehohlraum zwischen dem Träger (11) und dem Deckelteil (12) angeschlossen ist und zusammen mit dem Gehäusehohlraum als Rückseitenvolumen des MEMS-Mikrofonbauelements (1) fungiert, dass die Schallöffnung (13) im Träger (11) ausgebildet ist und dass das MEMS-Mikrofonbauelement (1) druckdicht auf dem Träger (11) montiert ist, so dass der Hohlraum zwischen dem MEMS-Mikrofonbauelement (1) und dem Träger (11) als Frontvolumen des MEMS-Mikrofonbauelements (1) fungiert. Component ( 301 ; 302 ) according to one of claims 1 to 8, comprising at least - a MEMS microphone component ( 1 ) with at least one membrane structure formed in the front side ( 3 ), which has a backside cavity ( 4 ), - another semiconductor component ( 2 ) above the backside cavity ( 4 ) of the MEMS microphone component ( 1 ) is arranged and at least in the edge region of the back side cavity pressure-tight with the back of the MEMS microphone component ( 1 ), - a support ( 11 ) on which the MEMS microphone component ( 1 ) is mounted with its front side, so that a distance between the membrane structure ( 3 ) and the carrier surface, and - a cover part ( 12 ), the peripherally pressure-tight with the carrier ( 11 ) and together with the carrier ( 11 ) a housing ( 10 ) with at least one sound opening ( 13 ) for the MEMS microphone component ( 1 ) and the further semiconductor component ( 2 ) forms; characterized in that the semiconductor device ( 2 ) a passage opening ( 16 ) to the backside cavity ( 4 ) of the MEMS microphone component ( 1 ) or so on the back of the MEMS microphone component ( 1 ), that the backside cavity ( 4 ) to the housing cavity between the carrier ( 11 ) and the lid part ( 12 ) and, together with the housing cavity as the backside volume of the MEMS microphone component ( 1 ) that the sound opening ( 13 ) in the carrier ( 11 ) and that the MEMS microphone component ( 1 ) pressure-tight on the support ( 11 ), so that the cavity between the MEMS microphone component ( 1 ) and the carrier ( 11 ) as the front volume of the MEMS microphone component ( 1 ) acts.
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