DE102010056344A1

DE102010056344A1 - Device for holding and transporting tubular substrates for coating in evacuated chambers for thin layer preparation, comprises coupling elements comprising a pipe connection for connecting two pipes

Info

Publication number: DE102010056344A1
Application number: DE201010056344
Authority: DE
Inventors: Dr. Schreil Manfred; Dr. Potfajova Jaroslava; Dr. Obst Henrik; Dr. Köckert Christoph; Jochen Krause
Original assignee: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Current assignee: Von Ardenne GmbH
Priority date: 2010-12-29
Filing date: 2010-12-29
Publication date: 2012-07-05

Abstract

The device comprises coupling elements (3, 4) comprising a pipe connection (3.2, 4.2) for connecting two pipes (1, 2), where the coupling elements are designed in such a manner that a releasable fixed connection is producible at ends of the pipe using the pipe connection so that a more releasable connected sequence is put on the pipes by the coupling elements. The pipe connection is formed by actuated pipe-inner-side working instep clamps, and comprises actuated pipe-inner-side working screw thread trains and an actuated pipe-inner-side working conic molding. The device comprises coupling elements (3, 4) comprising a pipe connection (3.2, 4.2) for connecting two pipes (1, 2), where the coupling elements are designed in such a manner that a releasable fixed connection is producible at ends of the pipe using the pipe connection so that a more releasable connected sequence is put on the pipes by the coupling elements. The pipe connection is formed by actuated pipe-inner-side working instep clamps, and comprises actuated pipe-inner-side working screw thread trains and an actuated pipe-inner-side working conic molding. A pipe-inner-side low pressure is producible over the coupling elements during their reciprocal arrangement for each pipe, where line and sealing agents are provided at pipe connections. A gas-permeable compound commencing and ending at pipe connections and running axially to the coupling elements is provided for the pipe-inner-side pressure equalization between the coupling elements connected pipes. The coupling elements are executed as a positive compound, and comprise locking elements, a supporting device, a roll device and outer sealing agents. Independent claims are included for: (1) a method for holding and transporting tubular substrates for coating in evacuated chambers for thin layer preparation; and (2) a transferring device.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Halten und Transportieren rohrförmiger Substrate bei der Dünnfilmbeschichtung in evakuierten Kammern sowie eine Einschleusvorrichtung in derartige Kammern. Zudem betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Verwendung der Vorrichtung. Sie sind beispielsweise beim Schichtauftrag mittels Sputtern auf Rohre aus Metall anwendbar.The invention relates to a device for holding and transporting tubular substrates in the thin film coating in evacuated chambers and a Einschleusvorrichtung in such chambers. In addition, the invention relates to a method of using the device. For example, they can be applied to metal pipes when applying a layer by sputtering.

Beschichtungsverfahren unter Vakuum haben einen Stand erreicht, in dem Materialien in Schichtform im Mikro- und Nanometerbereich (Schichtdicke) auf Trägermaterialien abgeschieden werden können. Die dafür bekannte Gasphasendampfabscheidung nutzt man in größeren Anlagen, beispielsweise zur Behandlung bzw. Beschichtung von Glas. Da derartige Beschichtungs-Verfahren an Prozessbedingungen unter Vakuum gebunden sind, bleiben wegen einer erforderlichen Kammer bzw. Prozesskammer Abmessungen behandelbarer Gegenstände räumlich begrenzt.Vacuum deposition techniques have reached a state where materials in layer form in the micron and nanometer range (layer thickness) can be deposited on support materials. The known gas phase vapor deposition is used in larger systems, for example for the treatment or coating of glass. Since such coating methods are bonded to process conditions under vacuum, because of a required chamber or process chamber dimensions of treatable objects remain spatially limited.

Nach wie vor sind an den Transport der zu beschichteten Gegenstände in evakuierten Prozesskammern besondere Anforderungen gestellt. Dazu gehören beispielsweise, dass die Substrate über längere Distanzen zwangsgeführt sein müssen, dass Abweichungen vom geraden Transportweg Staus verursachen, dass Substrate im laufenden Prozess Veränderungen ihrer Haftung und Stabilität erfahren, dass der Substrattransport das Vakuum nicht beeinträchtigen darf, etc. Auch lassen sich für Verfahren unter Vakuum anwendbare Mittel nicht zwangsläufig aus entfernten Anwendungsbereichen des Standes der Technik übernehmen, was sich beispielsweise durch Materialeigenschaften, Verschmutzungseintrag und dem unter Vakuum veränderten Reibungsverhalten begründet.As before, special demands are placed on the transport of the articles to be coated in evacuated process chambers. These include, for example, that the substrates must be positively constrained over long distances, that deviations from the straight transport path cause congestion, that substrates undergo changes in their adhesion and stability during the ongoing process, that the substrate transport must not impair the vacuum, etc. Also can be for processes Applicable under vacuum means do not necessarily take over from remote application areas of the prior art, which is based, for example, by material properties, pollution input and the modified under vacuum friction behavior.

Beschichtungsverfahren wie genannt sind insofern verbreitet, da sich neben der Schichtdicke die Zusammensetzung der Schicht durch den Prozess beeinflussen lässt. Auch Folgen von Schichten genießen technisches Interesse.Coating methods, as mentioned, are widespread in that, in addition to the layer thickness, the composition of the layer can be influenced by the process. Even episodes of layers enjoy technical interest.

Nach dem Stand der Technik sind vielfältig Mittel zur Beschichtung flächiger Substrate bekannt (SI-Wafer, Glas). Rohrförmige Substrate bzw. Rohre ebenso unter Vakuum zu behandeln, etabliert sich.According to the prior art, a variety of means for coating flat substrates are known (SI wafer, glass). It is becoming established to treat tubular substrates or pipes under vacuum as well.

In DE 10 2008 012 931 A1 ist sowohl ein Verfahren als auch eine Vorrichtung zur Kühlung von Substraten vorgeschlagen. Nach der Zeichnung sind rohrförmige Substrate angeregt. Eine Halterung, die den Kontakt mit der Substratoberfläche meidet, ist demnach nicht gezeigt.In DE 10 2008 012 931 A1 Both a method and a device for cooling substrates is proposed. After drawing tubular substrates are excited. A holder which avoids contact with the substrate surface is therefore not shown.

Aus DE 10 2007 048 758 B4 ist bekannt, Rohre bzw. rohrförmiger Substrate in einem Carrier zu halten und sie so den Beschichtungsprozess durchlaufen zu lassen. Zur umseitigen Beschichtung der Rohre sind Mittel zur Drehung der Rohre vorgeschlagen, wobei zur Rohrdrehung deren Oberfläche kontaktiert wird, was nur bei kontaktresistenten Schichten das Endprodukt nicht nachteilig beeinträchtigt. Der Carrier selbst durchläuft den Beschichtungsprozess zusammen mit Substraten und ist zum Eingang der Beschichtungsanlage rückzuführen, dorthin, wo eine wiederholte Bestückung mit Substarten erfolgt. Letzteres und die unbeabsichtigte Beschichtung des Carriers sind Gründe, davon entbundene Lösungen zu suchen. Um den Carrier-basierten Substrattransport effektiv zu gestalten, muss ein Einzelner für eine Mehrzahl rohrförmiger Substrate ausgelegt sein. Hierdurch und durch die Dimensionierung des Carriers passend zur Prozesskammer bzw. zu Transportmitteln zeichnen sich Grenzen bezüglich der beschichtbaren Einzellängen der Rohre ab.Out DE 10 2007 048 758 B4 It is known to hold tubes or tubular substrates in a carrier and to let them go through the coating process. For the coating on the sides of the tubes, means for rotating the tubes are proposed, wherein the surface of the tube is contacted for tube rotation, which does not adversely affect the final product only in contact-resistant layers. The carrier itself goes through the coating process together with substrates and has to be returned to the entrance of the coating plant to where there is a repeated loading of substrates. The latter and the unintentional coating of the carrier are reasons to look for these solutions. To make the carrier-based substrate transport effective, an individual must be designed for a plurality of tubular substrates. As a result, and by the dimensioning of the carrier suitable for the process chamber or means of transport, there are limits with regard to the coatable individual lengths of the tubes.

Angeregt durch die vorhergehende technische Lehre ist in WO 2010/072686 A1 vorgeschlagen, mit mechanischen Mitteln die Drehbewegung über die Seite des Carriers an die Substrate weiterzugeben, wozu Antriebsmittel (Welle) von außen in die Vakuumbeschichtungskammer geführt sind. Drehdurchführungen, die an sich wegen Dichtheitsmängel an bekannten beispielsweise Wellen-Dichtungen problematisch sind, und die zusätzlich notwendigen mechanischen Komponenten, sind Gründe neben der geschilderten Carrier-Problematik, diesen Lösungsvorschlag nicht weiter zu verfolgen.Inspired by the previous technical teaching is in WO 2010/072686 A1 proposed to pass by mechanical means, the rotational movement on the side of the carrier to the substrates, for which drive means (shaft) are guided from the outside into the vacuum coating chamber. Rotary unions, which are problematic because of lack of tightness of known shaft seals, for example, and the additional necessary mechanical components, reasons are in addition to the described carrier problem, this proposal for solution to pursue any further.

Der Stand der Technik gibt allgemein vor, dass Rohrbeschichtungen unter Vakuum auf fest positionierten Prozessmitteln aufbauen, zu denen das Substrat auszurichten bzw. zu drehen ist.The prior art generally states that pipe coatings build up under vacuum on fixedly positioned process means to which the substrate is to be oriented.

Die Erfindung hat zur Aufgabe, bekannte Probleme sowie festgelegte Verfahrensweisen aus dem Stand der Technik gleichsam zu überwinden und unter anderem eine Vorrichtung für eine umseitige Beschichtung rohrförmiger Substrate bzw. von Rohren zu schaffen, bei der das Rohr nicht zwingend eine Eigenrotation erfahren muss und ein Kontakt mit der Oberfläche des Rohres im Beschichtungsprozess und angrenzend vollständig ausgeschlossen ist, wobei eine hohe Produktivität angestrebt wird.The invention has for its object to overcome known problems and fixed procedures of the prior art as it were and among other things to provide a device for a circumferential coating of tubular substrates or tubes, in which the tube does not necessarily have to undergo a self-rotation and a contact with the surface of the tube in the coating process and adjacent completely excluded, with a high productivity is sought.

Die Aufgabe lösen einheitlich die Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1, das Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 13 und die Einschleusvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 16. Vorteilhafte Ausgestaltungsformen der Erfindung sind Gegenstand von Unteransprüchen.The problem is solved uniformly by the apparatus having the features of claim 1, the method having the features of claim 13 and the infeed apparatus having the features of claim 16. Advantageous embodiments of the invention are the subject of subclaims.

Die Erfindung geht von einer Vorrichtung zum Halten und Transportieren beim Beschichten rohrförmiger Substrate (Rohre) in evakuierten Kammern zur Dünnschichtherstellung aus, die sich dadurch kennzeichnet, dass zum Verbinden zweier Rohre Koppelelemente jeweils umfassend eine Rohrverbindung und eine Koppelverbindung derart ausgeführt sind, dass mittels der Rohrverbindung mit dem Rohr eine lösbar feste Verbindung über die Innenseiten an den Enden des Rohres herstellbar ist und mittels der Koppelverbindung eine lösbare Verbindung der Koppelelemente miteinander herstellbar ist. Im Ergebnis so, dass mittels der Koppelelemente eine lösbar verbundene Folge von Rohren – Rohrstrang – in und an den Kammern befindend sowie in Transportrichtung angelegt gebildet ist.The invention relates to a device for holding and transporting during coating tubular substrates (tubes) in evacuated chambers for thin film production, which is characterized in that for connecting two tubes coupling elements each comprising a pipe connection and a coupling connection are designed such that by means of the pipe connection with the pipe a releasably firm connection on the inner sides of the Ends of the tube can be produced and by means of the coupling connection a releasable connection of the coupling elements is produced with each other. As a result, by means of the coupling elements, a releasably connected sequence of tubes - tubing string - is formed in and on the chambers and formed in the transport direction.

In einer Ausführungsform der Erfindung ist eine Rohrverbindung durch kraftschlüssig rohrinnenseitig wirkende Spannklemmen ausgebildet. Hierzu bietet sich eine Mechanik mit Hebeln an, die das Spannen erlaubt, oder auch pneumatische gestützte Mittel.In one embodiment of the invention, a pipe connection is formed by force-fitting tube inside clamping clamps. For this purpose, a mechanism with levers, which allows the clamping, or pneumatically supported means.

Vorteilhafterweise ist die Rohrverbindung mit kraftschlüssig rohrinnenseitig wirkenden Gewindezügen ausgeführt. Damit ist durch Hineindrehen der Rohrverbindung in das Rohr eine Verbindung zwischen Beiden hergestellt.Advantageously, the pipe connection is designed with non-positively threaded inside pipe threads. Thus, by screwing the pipe joint into the pipe, a connection is made between the two.

Bei einer weiteren Ausgestaltung weist die Rohrverbindung eine kraftschlüssig rohrinnenseitig wirkende vorwiegend konische Formgebung auf. Je nach Form und Beschaffenheit der Rohrverbindung kann das von Nutzen sein.In a further embodiment, the pipe connection has a force-fit tube inside acting predominantly conical shape. Depending on the shape and condition of the pipe joint, this can be useful.

In einer vorteilhaften Ausführungsform, ist über die Koppelelemente, bei deren beidseitiger Anordnung je Rohr, ein rohrinnenseitiger Unterdruck erzeugbar. Dazu sind Leitungs- und Dichtmittel an den Rohrverbindungen vorgesehen. Es erscheint hilfreich, den Rohrinnendruck, sofern das Rohr beidseitig dicht geschlossen ist, vorzubelegen, da es für den Prozess unter Vakuum geführt ist. Je nach Druckverhältnissen kann insbesondere diese Vorbelegung auch unterstützend dabei wirken, die Koppelelemente mit dem Rohr zu verbinden. Wäre ein an den Enden verschlossenes Rohr mit atmosphärischem Innendruck in das Vakuum eingebracht, müssten die Rohrverbindungen im Vakuum diesen Druck kompensieren. Im einfachsten Fall ist der Druckausgleich zwischen Innerem und Äußerem des Rohres sichergestellt. Soll insbesondere dieser Druckausgleich nicht stattfinden, sind die Dichtmittel zwischen Rohrinnenwand und Koppelelement vorzusehen. Wichtig ist das, wenn im Inneren des Rohres atmosphärische Druckverhältnisse bestehen bleiben sollen, während um das Rohr herum ein Vakuum gebildet ist.In an advantageous embodiment, via the coupling elements, in the two-sided arrangement per tube, a pipe inside negative pressure can be generated. For this purpose, line and sealant are provided on the pipe connections. It seems to be helpful to pre-charge the internal pipe pressure, as long as the pipe is tightly sealed on both sides, because it is under vacuum for the process. Depending on the pressure conditions, in particular, this pre-assignment can also assist in connecting the coupling elements with the pipe. If a tube closed at the ends with atmospheric internal pressure were introduced into the vacuum, the tube connections would have to compensate for this pressure in a vacuum. In the simplest case, the pressure balance between the inside and outside of the tube is ensured. If, in particular, this pressure compensation does not take place, the sealing means are to be provided between the inner wall of the pipe and the coupling element. This is important if atmospheric pressure conditions are to remain inside the tube while a vacuum is formed around the tube.

Auch ist von Vorteil, dass zum rohrinnenseitiger Druckausgleich zwischen zwei über die Koppelelemente verbundenen Rohre eine gasdurchlässige Verbindung beginnend und endend jeweils an den Rohrverbindungen sowie axial durch die Koppelelemente verlaufend vorgesehen ist. Die gasdurchlässige Verbindung auch gasdicht zum Äußeren der Koppelelemente auszuführen, lässt zusammen mit dem Vorhergehenden zu, dass ein gebildeter Rohrstrang zwischen Innerem und Äußerem gasdicht ist.It is also advantageous that a gas-permeable connection is provided beginning and ending respectively at the pipe connections and axially extending through the coupling elements for pipe inside pressure equalization between two connected via the coupling elements pipes. The gas-permeable compound also gas-tight to perform the exterior of the coupling elements, allows, together with the foregoing, that a formed tubing string between the inside and the outside is gas-tight.

Bei einer weiteren Ausgestaltung ist die Koppelverbindung als formschlüssige Verbindung ausgeführt ist. Eine starre Verbindung ist nicht zwingend erforderlich, da dadurch der Rohrstrang kaum in sich beweglich wäre. Die Kräfte in Transportrichtung sollten in der Hauptsache hiermit übertragen werden können.In a further embodiment, the coupling connection is designed as a positive connection. A rigid connection is not mandatory, as this would hardly move the pipe string in itself. The forces in the transport direction should be able to be transferred in the main hereby.

Weiter kann vorgesehen sein, dass die Koppelverbindung Verriegelungselemente vorsieht, die ein Auseinanderziehen verhindern, wozu selbsteinrastende oder splintartige Mittel angelegt sind. Für die Kopplung der Koppelelemente untereinander müssen einfach zu bedienende Mittel zum Einsatz kommen (möglichst geringer mechanischer Aufwand). Optimal erscheinen Mittel, die schon durch das Zusammendrücken einen Halt zueinander schaffen oder solche, die ineinander Einrasten und nach einem Entsichern leicht voneinander lösbar sind.It can further be provided that the coupling connection provides locking elements which prevent a pulling apart, for which self-latching or splint-type means are applied. For the coupling of the coupling elements with each other easy-to-use means must be used (as little mechanical effort). Optimal appear means that create a hold to each other by squeezing or those that snap into each other and after a Entsichern are easily detached from each other.

Es bietet sich an, dass die Koppelverbindungen durch Zusammenfügen und gegengerichtetes Verdrehen verbindbar sind, wozu ein Bajonettverschluss oder ein Gewinde vorgesehen ist.It is advisable that the coupling connections can be connected by joining and counter-twisting, for which purpose a bayonet closure or a thread is provided.

Bei einer weiteren Ausgestaltung weist die Koppelverbindung äußere Dichtmittel auf. Das begünstigt die Verwendung in Durchführung respektive die Abdichtung in solchen.In a further embodiment, the coupling connection has external sealing means. This favors the use in implementation or the sealing in such.

Beispielsweise sind Elastische Dichtungen ebenso zweckmäßig wie so genannte Kolbenringe.For example, elastic seals are just as useful as so-called piston rings.

Vorteilhaft ist es, wenn das Koppelelement mit einer Rollvorrichtung ausgestattet ist.It is advantageous if the coupling element is equipped with a rolling device.

Gleichermaßen von Vorteil ist, das Koppelelement mit einer Aufhängevorrichtung auszustatten.Equally advantageous is to equip the coupling element with a suspension device.

Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren mit Verwendung der Vorrichtung gemäß eines Patentanspruchs 1 bis 12 beim Beschichten rohrförmiger Substrate (Rohre) in evakuierten Kammern zur Dünnschichtherstellung. Dazu sind in Transportrichtung Kammern zum Einschleusen am Anfang (Eingangsschleuse), zum Ausschleusen am Ende (Ausgangsschleuse) und dazwischen Kammern zur Unterstützung und Durchführung der Beschichtung aneinandergereiht. Die Kammern weisen durchgehende Transportmittel für die Substrate auf, wobei die in Transportrichtung bewegten Substrate eingeschleust, beschichtet und ausgeschleust werden. Kennzeichnend ist,

– (Schritt 1) dass vor dem Beschichten Rohre jeweils an deren Enden mit Koppelelementen derart versehen werden, dass mittels der Rohrverbindungen mit den Rohren innenseitig feste Verbindungen hergestellt werden,
– (Schritt 2) dass nachfolgend und weiter vor dem Beschichten die Rohre mit Koppelelementen in axialer Folge angeordnet und mittels der Koppelverbindungen lösbar verbunden werden, wodurch aus mehreren Rohren ein Rohrstrang gebildet wird,
– (Schritt 3) dem das Beschichten folgt sowie,
– (Schritt 4) dass der Rohrstang durch Trennung der Koppelverbindungen aufgelöst wird und
– (Schritt 5) dass durch Lösen der Rohrverbindungen die Rohre von den Koppelelementen getrennt werden.

Furthermore, the invention relates to a method using the device according to any one of claims 1 to 12 when coating tubular substrates (tubes) in evacuated chambers for thin film production. For this purpose chambers for feeding in at the beginning (entrance lock), for discharge at the end (exit lock) and in between chambers for supporting and carrying out the coating are strung together in the transport direction. The chambers have continuous transport means for the substrates, wherein the moving in the transport direction substrates be introduced, coated and discharged. It is characteristic

- (Step 1) that prior to coating tubes are each provided at their ends with coupling elements such that by means of the pipe connections with the pipes inside solid connections are made,
- (Step 2) that subsequently and further before the coating, the tubes are arranged with coupling elements in axial sequence and are detachably connected by means of the coupling connections, whereby a plurality of tubes a tubing string is formed,
- (Step 3) followed by coating and,
- (Step 4) that the pipe string is dissolved by separation of the coupling compounds, and
- (Step 5) that the pipes are separated from the coupling elements by loosening the pipe joints.

Mit anderen Worten ist ein jeweils zweistufig vor und nach der Beschichtung gebildeter beziehungsweise aufgelöster Rohrstrang die Lösung, mit der Rohre unter einer kontinuierlichen Bewegung den Beschichtungsprozess unterzogen werden können. Eine deutliche Produktivitätssteigerung ist dadurch angeregt.In other words, a pipe string formed or dissolved in two stages before and after the coating is the solution with which pipes can be subjected to the coating process under a continuous movement. A significant increase in productivity is thereby stimulated.

Es ist von Vorteil, dass dem ersten Verfahrensschritt folgt,

– dass mehrere Rohre mit Koppelelementen in einen Träger eingelegt werden,
– dass dieser Träger eingeschleust wird und
– dass dem der zweite Verfahrensschritt, in dem die Rohre mit Koppelelementen dem Träger entnommen werden, folgt sowie dass dem vierten Verfahrensschritt folgt,
– dass die Rohre mit Koppelelementen in den Träger eingelegt werden
– dieser Träger ausgeschleust wird und
– dass dem der fünfte Verfahrensschritt, in dem die Rohre mit Koppelelementen dem Träger entnommen werden, folgt.

It is advantageous that the first procedural step follows

- that several tubes are inserted with coupling elements in a carrier,
- That this carrier is introduced and
That the second method step, in which the tubes with coupling elements are removed from the carrier, follows and that the fourth method step follows,
- That the tubes are inserted with coupling elements in the carrier
- This carrier is discharged and
- That the fifth step in which the tubes are removed with coupling elements the carrier follows.

Der aufgezeigte Ablauf eignet sich dort, wo vergleichsweise kurze Rohrlängen von unter 2 m zu beschichten sind und lässt den Einsatz von Einschleuskammern, die für Träger wie Carrier oder magazinartige Rahmen ausgelegt sind, zu.The procedure outlined is suitable where comparatively short tube lengths of less than 2 m are to be coated and allows the use of sluice chambers which are designed for carriers such as carriers or magazine-like frames.

Besonders vorteilhaft gestaltet ist,
dass der erste Verfahrensschritt vor dem Einschleusen erfolgt,
dass der zweite Verfahrensschritt zusammen mit dem Einschleusen erfolgt,
dass der vierte Verfahrensschritt zusammen mit dem Ausschleusen erfolgt und
dass der fünfte Verfahrensschritt nach dem Ausschleusen erfolgt.
Diese Abfolge macht deutlich, wie eine kontinuierliche Bewegung der Rohre zur Beschichtung durch eine Folge von Kammern bzw. eine Beschichtungsanlage verläuft. Die Grenzen für beschichtbare Rohrlängen sind aufgehoben.Is designed particularly advantageous
that the first process step takes place before the introduction,
that the second process step takes place together with the introduction,
that the fourth process step takes place together with the discharging and
that the fifth process step takes place after the discharge.
This sequence makes it clear how a continuous movement of the tubes for coating through a series of chambers or a coating system runs. The limits for coatable pipe lengths are abolished.

Die Erfindung betrifft auch eine Einschleusvorrichtung (Schleuse) beim Beschichten rohrförmiger Substrate (Rohre) in evakuierten Kammern zur Dünnschichtherstellung mit Verwendung einer Vorrichtung gemäß eines Patentanspruchs 1 bis 12 (Koppelglied) und mit Verwendung des Verfahrens gemäß Patentanspruch 15 (schleusennah gebildeter Rohrstrang) zum kontinuierlichen Einschleusen des Substrats. Sie kennzeichnet, dass
die Schleuse innenseitig eine langgestreckte gerade Durchführung aufweist,
die ausgerichtet ist in Transportrichtung.
Zudem mit einer Schleusenlänge, die mindestens der Länge des Rohres, wozu ein mit der Rohrlänge zu multiplizierender Längenfaktor vorgegeben ist, entspricht. Zudem mit einem inneren Querschnitt, der der axial Projektion des Koppelgliedes zuzüglich eines umlaufenden Dichtspalts übereinstimmt, Zudem mit einem somit sich ergebenden zu evakuierenden Volumen äquivalent zur Differenz aus innerem Querschnitt und Rohrquerschnitt und mit mindestens einem Auslass zum Evakuieren, der als gasführende Leitung die Durchführung innenseitig mit mindestens einer Pumpe verbindend angelegt ist. Die Transportrichtung auf ist die gerade aneinandergereiht aufgestellten und der Schleuse nachgestellten Kammern beziehend durch diese Kammern zentrisch verlaufend ausgerichtet. Der Dichtspalt zur Aufnahme von Dichtmitteln ist zwischen Koppelglied und der Innenfläche der Durchführung vorgesehen. In der Wirkung so, dass zum Einschleusen die durch die Koppelglieder verbundenen Rohre kontinuierlich in Transportrichtung bewegt und dabei in die Durchführung der Schleuse eingeführt sind. So führen sie die Durchführung passierend Luft mit atmosphärischem Druck umgebend mit. Die Luft ist bei zwei in der Durchführung befindlichen Koppelelementen dicht zwischen den Koppelelementen mit Dichtmitteln, der Innenfläche der Durchführung und dem Rohr eingeschlossen und über den Auslass bei weiter fortlaufender Rohrbewegung evakuierbar.The invention also relates to a Einschleusvorrichtung (lock) when coating tubular substrates (tubes) in evacuated chambers for thin film production using a device according to any one of claims 1 to 12 (coupling member) and with the use of the method according to claim 15 (closed loop formed tubing) for continuous introduction of the substrate. It indicates that
the lock has on the inside an elongated straight passage,
which is aligned in the transport direction.
In addition, with a lock length that corresponds to at least the length of the pipe, for which a length factor to be multiplied by the pipe length is specified. In addition, with an internal cross-section, which corresponds to the axial projection of the coupling member plus a circumferential sealing gap, Also with a resulting evacuated volume equivalent to the difference of internal cross-section and pipe cross-section and with at least one outlet for evacuation, as the gas-carrying line inside the implementation is connected with at least one pump connecting. The direction of transport on is just lined up and positioned behind the lock chambers related by these chambers aligned centrally. The sealing gap for receiving sealing means is provided between the coupling member and the inner surface of the implementation. The effect is such that, for insertion, the tubes connected by the coupling links are continuously moved in the transporting direction and thereby inserted into the passage of the lock. So they carry out passing air surrounding with atmospheric pressure. The air is sealed at two in the implementation coupling elements between the coupling elements with sealing means, the inner surface of the bushing and the tube and evacuated through the outlet in further continuous pipe movement.

Bei einer weiteren Ausgestaltung ist diese zur Verwendung als den Kammern nachgestellte Ausgangsschleuse so angeordnet. Einschleusen und Ausschleusen sind so mit ähnlichen konstruktiven Mitteln realisiert und auf das Rohr abgestimmt.In a further embodiment, this is arranged for use as the chambers downstream output lock. Infiltration and discharge are realized with similar constructive means and tuned to the pipe.

Es ist von Vorteil, dass der innere Querschnitt einer Kreisfläche entspricht und mindestens ein Koppelelement des Koppelgliedes an seiner radial größten Ausdehnung im Querschnitt einer Kreisfläche entspricht. Damit verteilt sich der Druck an den Dichtmitteln gleichmäßig.It is advantageous that the inner cross section corresponds to a circular area and at least one coupling element of the coupling element at its radially largest extent corresponds in cross section to a circular area. This distributes the pressure on the sealant evenly.

Vorteilhafterweise ist der Dichtspalt nach den am Koppelglied befestigten Dichtmittel bemessen. Weiter vorteilhaft so, dass als Dichtmittel ein elastischer Dichtring am Koppelglied befestigt ist. Advantageously, the sealing gap is dimensioned according to the sealant attached to the coupling member. Next advantageous so that is attached as a sealing means an elastic sealing ring on the coupling member.

Bei einer weiteren Ausgestaltung entspricht der Dichtspalt einem Bruchteil eines Millimeters und die Innenfläche der Durchführung ist mindestens anteilig mit einer durch Hartmetall oder Plastik reibungsgeminderten Oberfläche versehen. Neben dem Dichtmittel am Koppelglied muss auch die Innenfläche der Durchführung gute Gleit- und Dichteigenschaften aufweisen.In a further embodiment, the sealing gap corresponds to a fraction of a millimeter, and the inner surface of the bushing is at least partially provided with a friction-reduced by hard metal or plastic surface. In addition to the sealant on the coupling member and the inner surface of the implementation must have good sliding and sealing properties.

Vorteilhafterweise ist der Längenfaktor zwischen 1,5 und 3 gewählt. Mit einem Längenfaktor größer gleich eins sind Sektionen aufgrund bestenfalls mehrerer dichtender Koppelglieder in der Durchführung gebildet, die auch ein gestuftes Evakuieren, wie nachfolgend gezeigt, begünstigen.Advantageously, the length factor between 1.5 and 3 is selected. With a length factor greater than or equal to one, sections are formed due to at best multiple sealing coupling links in the bushing, which also favor a stepped evacuation, as shown below.

Bei einer weiteren Ausgestaltung sind in der Durchführung in Transportrichtung eine sukzessive Anhebung des Vakuums unterstützend derart die Mittel Auslass und Pumpe sowie eine beide verbindende Leitung und ein Ventil zum Trennen angeordnet, verbunden und gesteuert.In a further embodiment, in the feedthrough in the transport direction, a successive increase in the vacuum is arranged to support, connect and control the means outlet and pump as well as a line connecting both and a valve for separating.

Vorteilhafterweise ist nebenstehend mindestens eine weitere Einschleusvorrichtung für den Parallelbetrieb angeordnet. Neben einem höheren Durchsatz der Beschichtung führt das zur effizienteren Ausnutzung flächig ergiebiger Beschichtungsquellen.Advantageously, at least one further Einschleusvorrichtung for parallel operation is arranged adjacent. In addition to a higher throughput of the coating, this leads to more efficient utilization of surface-rich coating sources.

Nach einem weiteren Gedanken der Erfindung ist in die Innenwand der Durchführung mindestens eine Nut eingearbeitet, wozu das Koppelglied einen passenden Zapfen aufweist. Das sichert das Rohr gegen Verdrehungen.According to a further aspect of the invention, at least one groove is incorporated in the inner wall of the bushing, for which purpose the coupling member has a matching pin. This secures the tube against twisting.

Neben einer im einfachsten Fall geraden Nut in Transportrichtung, zieht eine spiralförmig geführte Nut eine Eigenrotation des Rohres nach sich. Damit ist das Ziel einer umseitig homogenen Beschichtung des Rohres entweder bei einer radial inhomogenen Beschichtungsquelle entgegen gewirkt oder mit einer über deren Anordnung radial anteilig wirksamen Beschichtungsquelle erreicht. Folglich sind statische Beschichtungsquellen wie für flächige Substarte anwendbar für die umseitige Rohrbeschichtung.In addition to a straight in the simplest case groove in the transport direction, a spiral guided groove pulls a self-rotation of the tube after. Thus, the goal of an overlapping homogeneously homogeneous coating of the tube is counteracted either in a radially inhomogeneous coating source or achieved with a radially proportionately effective coating source on their arrangement. Consequently, static coating sources as for sheet substrates are applicable to the over-coated pipe coating.

Nach einer weiteren Ausführungsform ist durch Nut und Zapfen ein Gewinde ausgeformt.According to a further embodiment, a thread is formed by groove and pin.

Nach einer weiteren Ausführungsform ist die Schleuse zwischen Kammern eingefügt und leistet dort die Führung des Substrats sowie den gasdichten Verschluss zwischen den Kammern.According to a further embodiment, the lock is inserted between chambers and makes there the leadership of the substrate and the gas-tight seal between the chambers.

Nach einer weiteren Ausführungsform ist der Einschleusvorrichtung nebenstehend mindestens eine weitere Einschleusvorrichtung für den Parallelbetrieb angeordnet.According to a further embodiment, at least one further infeed device for parallel operation is arranged adjacent to the infeed device.

Nach einer weiteren Ausführungsform ist mindestens ein Ventil zum Verschluss der Schleuse vorgesehen. Mehrere davon bieten sich an, um die Schleuse dann abzudichten, wenn der Rohrstrang mit seinem Anfang oder Ende die Schleuse passiert.According to a further embodiment, at least one valve is provided for closing the lock. Several of these offer themselves to seal the lock when the pipe string passes the lock with its beginning or end.

Nach einer weiteren Ausführungsform ist der Schleuse ein Magazin, in das entkoppelte Rohre eingelegt und aus diesem nachfolgend entnommen werden, nachgestellt. Dadurch wäre ein Substratvorrat im Transportverlauf angelegt. Eine trommelförmige Vorrichtung eignet sich für eine derartige Vorratshaltung.According to a further embodiment of the lock is a magazine, inserted into the decoupled pipes and are removed from this below, readjusted. This would create a substrate supply in the transport process. A drum-shaped device is suitable for such stockpiling.

Nachfolgend soll die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels näher beschrieben werden. Dazu sind in den Zeichnungen wie folgt dargestellt:The invention will be described in more detail with reference to an embodiment. These are shown in the drawings as follows:

1 Vorrichtung zum Halten und Transportieren (Koppelglied) in der Schnittdarstellung 1 Device for holding and transporting (coupling member) in the sectional view

2 Einschleussvorrichtung an Kammer in der Schnittdarstellung 2 Einschleussvorrichtung to chamber in the sectional view

Die 1 zeigt eine Schnittdarstellung mit den Rohren 1 und 2 bzw. deren Enden. In die Rohrenden sind die Koppelelemente 3 und 4 eingesteckt. Innerhalb des Rohres befindet sich jeweils die Rohrverbindung 3.2 und 4.2 des Koppelelements. Mit Pfeilen ist die beabsichtigte Kraftwirkung 5 verdeutlicht. Zur gegenseitigen Kopplung beider Koppelelemente 3 und 4 sind die Koppelverbindungen 3.1 und 4.1 vorgesehen, die zeigen, dass sie sich für ein formschlüssiges Zusammenführen eignen.The 1 shows a sectional view with the tubes 1 and 2 or their ends. In the pipe ends are the coupling elements 3 and 4 plugged in. Inside the pipe is the pipe connection 3.2 and 4.2 of the coupling element. Arrows are the intended force effect 5 clarified. For mutual coupling of both coupling elements 3 and 4 are the coupling links 3.1 and 4.1 provided that show that they are suitable for a positive merge.

Die Koppelelemente wird man bevorzugt aus Metall fertigen. In der 1 ist die Wandung an den Rohren 1 und 2 erkennbar. Rohrwandungsstärken von 2 bis 3 mm sind relevant und Rohre aus Edelstahl mit 2 bis 5 cm Durchmesser.The coupling elements are preferably made of metal. In the 1 is the wall on the pipes 1 and 2 recognizable. Tube wall thicknesses of 2 to 3 mm are relevant and tubes made of stainless steel with 2 to 5 cm diameter.

In der 2 ist eine Einschleussvorrichtung als Schleuse 8 an einer Kammer 12 gezeigt. In Transportrichtung 13 sind durch die Schleuse 8, genauer durch deren Durchführung 9 in die Kammer 12 hinein die über Koppelglieder 6 verbundenen Rohre 1 und 2 bewegt. Jedes Rohr 1 und 2 ist an seinen jeweiligen Enden mit einem Koppelelement 3 und 4 versehen, wobei die Koppelelemente 3 und 4 der Rohre 1 und 2 zusammengefügt das Koppelglied 6 bilden. Aus Rohren 1 und 2 und Koppelgliedern 6 dazwischen ist ein Rohrstrang gebildet. Die Rohre 1 und 2 berühren die Durchführung 9 nicht. Anders liegen die in die Durchführung 9 eingepassten Koppelglieder 6 an deren Innenwand an und bleiben dabei in Transportrichtung 13 beweglich. Der Dichtspalt in der Durchführung 9 zum Koppelglied 6 lässt diese Beweglichkeit zu. Gezeigt sind Dichtmittel 7 in Form eines Dichtringes, die den Gasdurchlass in Transportrichtung verhindern. Letzteres primär dafür, da in der Schleuse 8 beziehungsweise innerhalb der Durchführung 9 der atmosphärische Druck soweit reduziert werden soll, dass das Vakuum in der Kammer 12 stabil erhalten bleibt. Die Pumpe 10 ist hier mit dem Auslass 11 verbunden, um die vorstehende Aufgabe zu erfüllen. Was hier sehr einfach mit einer Kombination von Auslass 11 und Pumpe 10 gezeigt ist, kann mit einer Schleuse, die zeitgleich mehrere Rohrlängen aufnehmen kann, auch durch mehrere derartige in Transportrichtung 13 verteilte Auslässe 11 und durch weitere Pumpen 10 insofern den Evakuierungsprozess begünstigen, dass der Druck in Transportrichtung 13 stufenweise reduziert wird. Leitungssysteme mit Ventilen kämen einem solchen Vorhaben entgegen sowie Behälter mit einer Art Vakuumvorrat. Auffallend ist, dass konstruktiv schon auf ein Minimum reduzierte zu evakuierende Volumen, dass sich aus der Differenz der Querschnitte von Durchführung 9 und Rohr 1 ergibt. Das einzelne Rohr 1 oder 2 könnte über seine Länge zwischen den Koppelgliedern 6 leichten Verwerfungen oder Verbiegungen unterliegen. Ursachen dafür wären dadurch begründet, dass es dem Substrat an Stabilität fehlt sowie, dass es geringe Durchmesser oder größere Längen aufweist. Entgegenwirkend dieser gravitationsbedingten Verformung schafft eine Eigenrotation des Substrats beziehungsweise des Rohres Abhilfe, was durch Ausführungsformen angeregt ist. Als maßgebend für die Effektivität der Schleuse 8 verbleibt das Zusammenwirken von Koppelglied 6 mit den Dichtmitteln 7 in der Durchführung 9. Es gilt, dass Optimum aus Dichtheit und Gleitfähigkeit im Kontaktbereich der Vorstehenden zu gewährleisten, was eine fachmännische Konkretisierung für den speziellen Fall zulässt. Die angeregte Eigenrotation des Substrats bietet auch Vorteile in dieser Hinsicht.In the 2 is a Einschleussvorrichtung as a lock 8th at a chamber 12 shown. In transport direction 13 are through the lock 8th , more precisely through their implementation 9 in the chamber 12 into it via coupling links 6 connected pipes 1 and 2 emotional. Every tube 1 and 2 is at its respective ends with a coupling element 3 and 4 provided, wherein the coupling elements 3 and 4 the pipes 1 and 2 joined the coupling member 6 form. Made of pipes 1 and 2 and coupling links 6 in between a pipe string is formed. The pipes 1 and 2 touch the execution 9 Not. Otherwise they are in the implementation 9 fitted coupling links 6 at their Inner wall and remain in the transport direction 13 movable. The sealing gap in the bushing 9 to the coupling member 6 allows for this mobility. Shown are sealants 7 in the form of a sealing ring, which prevent the gas passage in the transport direction. The latter primarily for it, because in the lock 8th or within the implementation 9 the atmospheric pressure should be reduced so far that the vacuum in the chamber 12 is maintained stable. The pump 10 is here with the outlet 11 connected to accomplish the above task. What is very easy with a combination of outlet 11 and pump 10 is shown, with a lock that can accommodate several tube lengths at the same time, even by several such in the transport direction 13 distributed outlets 11 and through more pumps 10 insofar as the evacuation process favor that the pressure in the transport direction 13 gradually reduced. Valve systems with valves would be suitable for such a project as well as containers with a kind of vacuum supply. It is striking that structurally already reduced to a minimum volume to evacuate, resulting from the difference in the cross sections of implementation 9 and pipe 1 results. The single pipe 1 or 2 could be over its length between the coupling links 6 subject to slight distortions or deflections. The reasons for this would be that the substrate lacks stability and that it has small diameters or longer lengths. Counteracting this gravitational deformation creates a self-rotation of the substrate or the pipe remedy, which is excited by embodiments. As authoritative for the effectiveness of the lock 8th the interaction of coupling link remains 6 with the sealants 7 in the implementation 9 , It is important to ensure the optimum of tightness and lubricity in the contact area of the above, which allows a professional specification for the specific case. The excited self-rotation of the substrate also offers advantages in this regard.

Grundsätzlich sollten am Koppelglied 6 solche konstruktiven Mittel vermieden sein, die nach mehrfach durchlaufenen Beschichtungen ihre Funktion versagen. Als Dichtmittel 7 ließe sich schlichterweise eine elastische Ringdichtung verwenden, deren Einsatzbereich bezüglich der Temperaturen in den Kammern nicht zwingend universell ist. Für höhere Temperaturbereiche eignen sich beispielsweise als Dichtmittel 7 in Verbrennungsmotoren eingesetzte Kolbenringe. Die Durchführung 9 lässt innenseitig eine Reihe von zweckmäßigen Ausführungen zu, wie beispielsweise eine hartmetallische glatte Fläche. Das Koppelglied 6 beim Einschleusen mechanisch in der Durchführung 9 vor- bzw. aufzubereiten, zu reinigen sowie über Heiz-, Kühl- und Schmiermittel zu instrumentieren, ist im Einzelfall anzustreben. Sofern maßgeblich in der Durchführung 9 autark für Dichtheit und Gleitfähigkeit im Kontaktbereich gesorgt wird, reduzieren sich störende Einflüsse, die durch die ungewollte Beschichtung des Koppelgliedes 6 in Folge seiner Verwendung hervorgerufen sind.Basically should on the coupling link 6 Such constructive means are avoided, which fail their function after repeated coatings. As a sealant 7 It would simply be possible to use an elastic ring seal whose field of application is not necessarily universal with respect to the temperatures in the chambers. For higher temperature ranges are suitable, for example, as a sealant 7 Piston rings used in internal combustion engines. The implementation 9 allows on the inside a number of appropriate embodiments, such as a hard metallic smooth surface. The coupling link 6 during insertion mechanically in the bushing 9 preparation or preparation, cleaning and instrumenting via heating, cooling and lubricants must be striven for in individual cases. If relevant in the implementation 9 self-sufficient for tightness and lubricity in the contact area is taken care of, reduce disturbing influences caused by the unwanted coating of the coupling element 6 caused by its use.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11: Rohrpipe
22: Rohrpipe
33: Koppelelementcoupling element
3.13.1: Koppelverbindungcoupling connection
3.23.2: Rohrverbindungpipe connection
44: Koppelelementcoupling element
4.14.1: Koppelverbindungcoupling connection
4.24.2: Rohrverbindungpipe connection
55: Kraftwirkungforce action
66: Koppelgliedcoupling member
77: Dichtmittelsealant
88th: Schleuselock
99: Durchführungexecution
1010: Pumpepump
1111: Auslassoutlet
1212: Kammerchamber
1313: Transportrichtungtransport direction

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

DE 102008012931 A1 [0006]
DE 102007048758 B4 [0007]
WO 2010/072686 A1 [0008]

Claims

Apparatus for holding and transporting during coating of tubular substrates (tubes) in evacuated chambers for thin-film production, characterized in that for connecting two tubes ( 1 . 2 ) Coupling elements ( 3 . 4 ) each comprising a pipe connection ( 3.2 . 4.2 ) and a coupling connection ( 3.1 . 4.1 ) are designed such that by means of the pipe connection ( 3.2 . 4.2 ) with the pipe ( 1 . 2 ) a releasably firm connection over the inner sides at the ends of the tube ( 1 . 2 ) can be produced and by means of the coupling connection ( 3.1 . 4.1 ) a detachable connection of the coupling elements ( 3 . 4 ) is producible with each other, so that by means of the coupling elements ( 3 . 4 ) a releasably connected sequence of tubes ( 1 . 2 ) - Pipe string - located in and on the chambers and formed applied in the transport direction.

Device according to claim 1, characterized in that a pipe connection ( 3.2 . 4.2 ) is formed by force-fitting tube inside acting tension clamps.

Device according to claim 1, characterized in that the pipe connection ( 3.2 . 4.2 ) has force-locking tube inside thread threads.

Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the pipe connection ( 3.2 . 4.2 ) has a frictionally pipe inside acting predominantly conical shape.

Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that via the coupling elements ( 3 . 4 ), in their two-sided arrangement per tube ( 1 . 2 ), a pipe inside negative pressure can be generated, including conduction and sealing means on the pipe connections ( 3.2 . 4.2 ) are provided.

Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that the pipe inside pressure equalization between two via the coupling elements ( 3 . 4 ) connected pipes starting a gas-permeable compound and ending respectively at the pipe joints ( 3.2 . 4.2 ) and axially by the coupling elements ( 3 . 4 ) is provided extending.

Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the coupling connection ( 3.1 . 4.1 ) is designed as a positive connection.

Apparatus according to claim 7, characterized in that the coupling connection ( 3.1 . 4.1 ) Provides locking elements which prevent it from being pulled apart, for which self-locking or splint-type means are applied.

Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the coupling connections ( 3.1 . 4.1 ) are connectable by joining and counter-twisting, including a bayonet closure or a thread is provided.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the coupling connection ( 3.1 . 4.1 ) has outer sealant.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the coupling element ( 3 . 4 ) is equipped with a rolling device.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the coupling element ( 3 . 4 ) is equipped with a suspension device.

Method using the device according to any one of claims 1 to 12 for coating tubular substrates (tubes) in evacuated thin-film chambers, including in the transport direction chambers for initial injection (entrance lock), exit exit (exit lock) and intervening chambers for support and passage the coating are lined up and have continuous transport means for the substrates, wherein the moving in the transport direction substrates are introduced, coated and discharged, characterized in that - before coating tubes ( 1 . 2 ) at each end with coupling elements ( 3 . 4 ) are provided such that by means of the pipe connections ( 3.2 . 4.2 ) with the pipes ( 1 . 2 ) inside connections are made, - that subsequently and further before coating the tubes ( 1 . 2 ) with coupling elements ( 3 . 4 ) arranged in axial sequence and by means of the coupling connections ( 3.1 . 4.1 ) are detachably connected, whereby from several tubes ( 1 . 2 ) a pipe string is formed, - the coating follows, and, - that the pipe string by separation of the coupling connections ( 3.1 . 4.1 ) is dissolved and - that by loosening the pipe connections ( 3.2 . 4.2 ) the pipes ( 1 . 2 ) from the coupling elements ( 3 . 4 ) are separated.

A method according to claim 13, characterized in that the first method step follows - that a plurality of tubes are inserted with coupling elements in a carrier, - that this carrier is introduced and - That the second step in which the tubes are removed with coupling elements the carrier follows, and that follows the fourth step, - that the tubes are inserted with coupling elements in the carrier - this carrier is discharged and - that the fifth step, in which the tubes are removed with coupling elements the carrier follows.

Method according to claim 14, characterized in that that the first process step takes place before the introduction, that the second process step takes place together with the introduction, that the fourth process step takes place together with the discharging and that the fifth process step takes place after the discharge.

Einschleusvorrichtung (sluice) when coating tubular substrates (tubes) in evacuated chambers for thin film production using the apparatus according to one of claims 1 to 12 (coupling member) and using the method according to claim 15 (close to the pipeline formed tubing) for continuous introduction of the substrate, characterized in that the lock ( 8th ) inside an elongated straight passage ( 9 ), which is aligned in the transport direction ( 13 ), with a lock length of at least the length of the pipe ( 1 ), to which a length factor to be multiplied by the tube length is given, corresponds, with an internal cross-section, to the axial projection of the coupling element ( 6 ) plus a circumferential sealing gap, with a resulting volume to be evacuated equivalent to the difference between internal cross section and pipe cross section and with at least one outlet ( 11 ) for evacuation, the gas-carrying line carrying out ( 9 ) inside with at least one pump ( 10 ) is connected, wherein the transport direction ( 13 ) on the just lined up and the lock ( 8th ) trailing chambers ( 12 ) is oriented concentrically extending through these chambers and wherein the sealing gap for receiving sealants ( 7 ) between coupling link ( 6 ) and inner surface of the bushing ( 9 ) is provided, so that for insertion by the coupling members ( 6 ) connected pipes ( 1 . 2 ) continuously in the transport direction ( 13 ) and in the process ( 9 ) of the lock ( 8th ), the implementation ( 9 passing air carrying atmospheric pressure surrounding, continuing at two in the passage ( 9 ) located coupling elements ( 3 . 4 ) tightly between the coupling elements ( 3 . 4 ) with sealants ( 7 ), the inner surface of the bushing ( 9 ) and the pipe ( 2 ) and can be evacuated via the outlet with further continuous tube movement.

Injection device according to claim 16, characterized in that it is intended for use as one of the chambers ( 12 ) downstream output lock is arranged so.

Einschleusvorrichtung according to claim 16 or 17, characterized in that the inner cross section corresponds to a circular area and at least one coupling element ( 3 . 4 ) of the coupling member ( 6 ) corresponds at its radially largest extent in the cross section of a circular area.

Sluice device according to claim 16, 17 or 18, characterized in that the sealing gap according to the on the coupling member ( 6 ) attached sealant ( 7 ) is dimensioned.

Einschleusvorrichtung according to claim 19, characterized in that as a sealing means ( 7 ) an elastic sealing ring on the coupling member ( 6 ) is attached.

Sluice device according to one of claims 16 to 20, characterized in that the sealing gap corresponds to a fraction of a millimeter and that the inner surface of the passage ( 9 ) is provided at least proportionally with a friction-impaired by hard metal or plastic surface.

Sluice device according to one of claims 16 to 21, characterized in that the length factor between 1.5 and 3 is selected.

Sluice device according to one of claims 16 to 22, characterized in that in the bushing ( 9 ) in the transport direction ( 13 ) a successive increase in the vacuum so supporting the means outlet ( 11 ) and pump ( 12 ) and a connecting line and a valve for separating are arranged, connected and controlled.

Sluice device according to one of claims 16 to 23, characterized in that in the inner wall of the bushing ( 9 ) at least one groove is incorporated, for which purpose the coupling member ( 6 ) has a matching pin.

Sluice device according to claim 24, characterized in that a straight groove in the transport direction ( 13 ) is incorporated.

Sluice device according to claim 24, characterized in that a helical groove in the transport direction ( 13 ) is incorporated.

Einschleusvorrichtung according to claim 26, characterized in that groove and pins are designed thread-like.

Injection device according to one of claims 16 to 27, characterized in that it is intended for use as a lock between the chambers ( 12 ) is arranged so.

The infeed device according to one of claims 16 to 28, characterized in that at least one further infeed device for parallel operation is arranged alongside.