DE102010054114A1 - Vorrichtung und Verfahren zum Trocknen von Substraten - Google Patents

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Reinhard Lenz
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Abstract

Die Anmeldung beschriebt eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Trocknen einer Paste auf einer Oberfläche eines Substrats, insbesondere auf einer Oberfläche einer Solarzelle. Die Vorrichtung weist einen langgestreckten Trocknungsraum mit einem Eingangsbereich und einem Ausgangsbereich auf, der in eine Vielzahl von benachbarten Trocknungsbereichen unterteilt ist. Jedem Trocknungsbereich ist eine Luftzuführeinheit und eine Luftabführeinheiten zugeordnet, wobei die Luftzuführeinheiten und die Luftabführeinheiten jeweils wenigstens eine sich zum Trocknungsraum hin öffnende Strömungsöffnung aufweisen. Die wenigstens eine Strömungsöffnung der Luftzuführeinheit ist so ausgebildet ist, dass ein Hauptteil einer hieraus austretenden Luftströmung in Richtung der wenigstens einen Strömungsöffnung der Luftabführeinheit gerichtet ist. Ferner ist eine Transporteinheit vorgesehen zum Transport der Substrate entlang einer Transportrichtung sequentiell durch die Trocknungsbereiche des Trocknungsraum hindurch, wobei die Transporteinheit eine Transportebene definiert, die zwischen Strömungsöffnungen der Luftzuführeinheiten und Strömungsöffnungen der Luftabführeinheiten liegt. Während einer Trocknung werden die Substrate in einer Transportrichtung entlang eines Transportpfades sequentiell durch die Vielzahl von benachbarten Trocknungsbereichen eines Trocknungsraums transportiert. In jedem Trocknungsbereich wird wenigstens eine gerichtete Luftströmung von der entsprechenden Luftzuführeinheit zur entsprechenden Luftabführeinheit erzeugt, wobei die Luftströmung so ausgerichtet ist, dass die Substrate bei dem Transport durch die wenigstens eine Luftströmung hindurch bewegt werden, und dass die wenigstens eine Luftströmung dabei einen Großteil der Oberfläche der Substrate, auf der sich die Paste befindet, überstreicht.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Trocknen von Pasten auf Substraten, und insbesondere auf Solarzellen.
  • Es ist beispielsweise bei der Herstellung von Solarzellen bekannt, zur Bildung von elektrischen Leiterbahnen Pasten wie z. B. elektronische Siebdruckpaste im Muster der zu bildenden Leiterbahnen auf die Solarzellen aufzubringen. Diese Pasten enthalten üblicherweise ein Lösungsmittel, um der Paste eine gewünschte Viskosität zu verleihen, die eine definierte Aufbringung auf die Solarzelle ermöglicht.
  • Die Pasten werden zur Umwandlung in die elektrischen Leiterbahnen üblicherweise einer thermischen Behandlung bei Temperaturen von bis zu 900°C oder gar höher ausgesetzt. Während dieser thermischen Behandlung werden die Solarzellen und die darauf befindliche Paste gemäß einem vorgegebenen Temperaturprofil erwärmt und abgekühlt. Diese Behandlung setzt in der Regel für ein gutes Prozessergebnis voraus, dass die Paste zu Beginn der thermischen Behandlung im Hochtemperaturbereich kein Lösungsmittel enthält. Lösungsmittel kann den Prozessablauf gefährden und insbesondere das Prozessergebnis beeinträchtigen. Daher ist es bekannt, die Paste auf den Solarzellen vor der eigentlichen Metallisierung zunächst innerhalb einer Trocknungseinheit zu trocknen.
  • Eine bekannte Trocknungseinheit für Pasten auf Solarzellen besitzt einen langgestreckten Trocknungsraum, der an seinen entgegengesetzten Enden offen ist, sowie eine Transporteinheit zum Transport von Solarzellen durch den Trocknungsraum. Die Trocknungseinheit weist üblicherweise eine Vielzahl von Heizelementen auf, die eine ansteigende Temperatur von beispielsweise 100–300°C von einem Eingangsende des Trocknungsraums zu einem Ausgangsende desselben vorsehen. Ferner ist üblicherweise ein Luftführungssystem mit einer Luftzuführung und zwei Luftabführungen vorgesehen. Die Luftzuführung ist in Längsrichtung des Trocknungsraums üblicherweise mittig vorgesehen, und die Luftabführungen sind üblicherweise im Eingangsbereich bzw. Ausgangsbereich des Trocknungsraums vorgesehen. Durch diese Anordnung werden ungefähr 50 Prozent eines eingeleiteten Luftstroms entgegen einer Transportrichtung der Solarzellen in Richtung des kühleren Eingangsbereichs des Trocknungsraums geführt. Die restliche Luftströmung wird hingegen in Transportrichtung der Solarzellen in Richtung des wärmeren Ausgangsbereichs des Trocknungsraums geleitet.
  • Die Luftströme nehmen jeweils aus der Paste ausdampfendes Lösungsmittel auf. Dieses Lösungsmittel wird bei dem entgegen der Transportrichtung geleiteten Luftstroms in kühlere Zonen des Trocknungsraums geführt, was dort zu Lösungsmittelkondensation und entsprechenden Verunreinigungen führen kann. Der in Transportrichtung (in Richtung des Ausgangsbereichs) strömende Luftstrom baut eine hohe Konzentration von Lösungsmittel auf, was gegebenenfalls zu Sättigungsproblemen im Ausgangsbereich des Trocknungsraums führen kann. Daher wurden in der Vergangenheit hohe Luftströmungen eingestellt, um solche Sättigungsprobleme zu vermeiden. Hohe Luftströmungen führen jedoch zu hohen Betriebskosten, da die Luft jeweils vorerwärmt werden muss.
  • Ausgehend von dem bekannten Stand der Technik liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Trocknen von Substraten vorzusehen, die bzw. das eines oder mehrere der oben genannten Probleme überwindet.
  • Erfindungsgemäß ist eine Vorrichtung zum Trocknen von Pasten auf Substraten, insbesondere auf Solarzellen nach Anspruch 1 sowie ein Verfahren zum Trocknen von Pasten auf Substraten, insbesondere auf Solarzellen nach Anspruch 13 vorgesehen. Weitere Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den jeweiligen Unteransprüchen.
  • Insbesondere weist die Vorrichtung einen langgestreckten Trocknungsraum, der in eine Vielzahl von benachbarten Trocknungsbereichen unterteilt ist, sowie eine Vielzahl von Luftzuführeinheiten und Luftabführeinheiten auf. Jedem Trocknungsbereich ist eine Luftzuführeinheit und eine Luftabführeinheit zugeordnet, wobei die Luftzuführeinheiten und die Luftabführeinheiten jeweils wenigstens eine sich zum Trocknungsraum hin öffnende Strömungsöffnung aufweisen, und wobei die wenigstens eine Strömungsöffnung der Luftzuführeinheit so ausgebildet ist, dass ein Hauptteil einer hieraus austretenden Luftströmung in Richtung der wenigstens einen Strömungsöffnung der Luftabführeinheit gerichtet wird. Ferner weist die Vorrichtung eine Transporteinheit zum Transport der Substrate entlang einer Transportrichtung sequentiell durch die Trocknungsbereiche des Trocknungsraum hindurch, wobei die Transporteinheit ein Transportebene definiert, die zwischen Strömungsöffnungen der Luftzuführeinheiten und Strömungsöffnungen der Luftabführeinheiten liegt.
  • Eine solche Vorrichtung mit mehreren benachbarten Trocknungsbereichen (mit jeweils eigens zugeordneten Luftzuführ- und Luftabführeinheiten) ermöglicht unterschiedliche Einstellungen der Luftströmungen in den jeweiligen Trocknungsbereichen. Insbesondere können unterschiedliche Luftströmungsgeschwindigkeiten innerhalb der jeweiligen Bereiche vorgesehen werden, um je nach lokal auftretendem Lösungsmitteldampf eine entsprechende Luftströmung bereitstellen zu können. Die Luftströmungswege in den jeweiligen Bereichen sind kurz, wodurch sich auch kurze Lösungsmittelwege ergeben. Hierdurch lässt sich eine Verschleppung von Lösungsmitteln insbesondere in unterschiedliche Temperaturbereiche wesentlich verringern oder vollständig vermeiden. Insgesamt kann die Trocknung effektiver ausgestaltet werden, da gezielt nach Ausdampfung von Lösungsmittel geeignete Luftströmungen mit kurzen Wegen bereit gestellt werden können, wodurch sich der Energieaufwand für die Trocknung verringern kann.
  • Vorzugsweise weisen die Luftzuführeinheiten jeweils eine Vielzahl von in Transportrichtung der Transporteinheit beabstandete Strömungsöffnungen zum Erzeugen einer Vielzahl von gerichteten Luftströmungen auf. Solche gerichteten Einzelströmungen sorgen für eine verbesserte Lösungsmittelaufnahme. Dabei sind die Strömungsöffnungen der Luftzuführeinheiten vorzugsweise so ausgebildet, dass ein Hauptteil einer hieraus austretenden Luftströmung im Wesentlichen senkrecht zur Transportrichtung der Transporteinheit ausgerichtete wird. Der Begriff im Wesentlichen senkrecht soll hier eine Abweichung von +/–10 Grad, insbesondere von von +/–5 Grad zur Senkrechten einschließen. Hierdurch kann eine Verschleppung von Lösungsmitteldampf in Transportrichtung der Substrate wesentlich verringert werden. Insbesondere in den Randbereichen der jeweiligen Trocknungsbereiche können die Strömungen in dem oben angegebenen Bereich zur Mitte des jeweiligen Bereichs gerichtet sein, um eine gute Trennung der Trocknungsbereiche untereinander vorzusehen.
  • Vorzugsweise sind die Strömungsöffnungen der Luftzuführeinheiten so ausgebildet, dass ein Hauptteil einer hieraus austretenden Luftströmung unter einem Winkel von 30° bis 90°, besonders vorzugsweise unter einem Winkel von 30 bis 60 Grad auf die Transportebene gerichtet ist. Dies ermöglicht ein gerichtetes Überstreichen der Luftströmungen über die Substrate. Dabei sind die aus den Strömungsöffnungen austretenden Luftströme jeweils vorzugsweise so ausgerichtet, dass sie auf einen Randbereich der Substrate auftreffen und dann über das Substrat hinwegstreichen.
  • Bei einer Ausführungsform der Erfindung ist wenigstens eine Konditioniereinheit zum Konditionieren von Luft vorgesehen, bevor die Luft in die entsprechenden Trocknungsbereiche eingeleitet wird. Eine solche Konditioniereinheit kann gemeinsam für alle Trocknungsbereiche vorgesehen sein, es können aber auch alternativ oder zusätzlich Konditioniereinheiten für jeden einzelnen Trocknungsbereich vorgesehen sein. Solche Konditioniereinheiten können beispielsweise eine Trocknung, Vorheizung und/oder Filterung von Luft vorsehen.
  • Vorzugsweise weist wenigstens eine Luftzuführungseinheit wenigstens eine Heizeinheit zum Aufheizen von Luft auf, bevor die Luft in den entsprechenden Trocknungsbereich eingeleitet wird. Hierdurch kann die Lufttemperatur in dem Trocknungsbereich individuell eingestellt werden. Um die Luftströmungsgeschwindigkeiten in wenigstens einem Trocknungsbereich individuell einstellen zu können, kann die entsprechende Luftzuführeinheit ein Gebläse aufweisen, um insbesondere eine Pressluftströmung in dem Trocknungsbereich vorsehen zu können. Eine Heizeinheit und/oder ein Gebläse kann für jede der Luftzuführeinheiten vorgesehen sein, um eine hohe Flexibilität für die Einstellung der Luftströmungen in den jeweiligen Trocknungsbereichen vorsehen zu können. Es ist aber auch möglich, eine Heizeinheit und/oder ein Gebläse nur für einen Teil der Luftzuführeinheiten vorzusehen. Dabei kann zwischen dem Gebläse und der/den Strömungsöffnungen) der Luftzuführeinheiten) ein mäanderförmiger Strömungspfad vorgesehen sein, um einerseits eine gleichförmige Aufheizung und/oder eine Homogenisierung der Luftströmung vorzusehen.
  • Bei einer Ausführungsform der Erfindung weisen die Luftzuführeinheiten jeweils wenigstens zwei sich in Transportrichtung erstreckende Reihen von Strömungsöffnungen auf, um beispielsweise zwei Reihen von Substraten jeweils mit einer eigenen Luftströmung beaufschlagen zu können. Die Reihen können insbesondere quer zur Transportrichtung in den Randbereichen der Trocknungsbereiche vorgesehen sein und die Strömungsöffnungen können zu einer Längsmitte der Trocknungsbereiche gerichtet sein, wodurch eine Zusammenführung der Luftströmungen in der Luftabführeinheit erleichtert wird. Bei einer anderen Ausführungsform weisen die Luftzuführeinheiten nur eine sich in Transportrichtung erstreckende Reihe von Strömungsöffnungen auf, um beispielsweise eine Reihe von Substraten mit einer eigenen Luftströmung beaufschlagen zu können.
  • Vorzugsweise weisen die Luftabführeinheiten jedes Trocknerbereichs eine Reihe von in Transportrichtung beabstandeten Strömungsöffnungen auf, die mit einem gemeinsamen Absaugkanal des jeweiligen Trocknerbereichs in Verbindung stehen. Alternativ oder zusätzlich kann auch eine sich in Transportrichtung ersteckende schlitzförmige Strömungsöffnung vorgesehen sein. Hierdurch können die Luftströmungen von der entsprechenden Luftzuführeinheit gezielt über die Länge des Trocknungsbereichs abgesaugt werden.
  • Für eine Kostenreduzierung der Vorrichtung stehen die Luftabführeinheiten von wenigstens zwei Trocknungsbereichen mit einer gemeinsamen Absaugeinheit in Verbindung. Vorzugsweise ist zwischen wenigstens einer der Luftabführeinheiten und der gemeinsamen Absaugung eine vorzugsweise einstellbare Drossel vorgesehen, um eine unterschiedliche Absaugung in den jeweiligen Luftabführeinheiten vorsehen zu können. Hierdurch kann eine entsprechende Anpassung an die jeweilige Luftzuführung durch die entsprechende Luftzuführeinheit vorgesehen werden. Das Vorsehen einer Drossel ermöglicht eine besonders kostengünstige Anpassung der Luftabsaugung bei Verwendung einer gemeinsamen Absaugeinheit für mehrere Trocknungsbereiche.
  • Vorzugsweise sind Mittel vorgesehen zum Einstellen einer kontrollierten Luftzuführung über die Luftzuführeinheit eines Trocknungsbereichs und einer kontrollierten Luftabführung über die Luftabführeinheit des Trocknungsbereichs derart, dass die über die Luftzuführeinheit zugeführte Luftmenge im wesentlichen gleich der über die Luftabführeinheit des jeweiligen Trocknungsbereichs abgeführte Luftmenge ist. Hierbei umfasst im Wesentlichen eine maximale Abweichung von fünf Prozent, vorzugsweise von kleiner zwei Prozent, so dass ein Lufttransfer zwischen benachbarten Trocknungsbereichen im Wesentlichen verhindert wird.
  • Das Verfahren weist das Transportieren von Substraten, die eine Paste auf einer Oberfläche tragen, in einer Transportrichtung entlang eines Transportpfades sequentiell durch eine Vielzahl von benachbarten Trocknungsbereichen eines Trocknungsraums auf, wobei den Trocknungsbereichen jeweils eine Luftzuführeinheit und eine Luftabführeinheit zugeordnet ist. Ferner wird bei dem Verfahren in jedem Trocknungsbereich wenigstens eine gerichtete Luftströmung von der entsprechenden Luftzuführeinheit zur entsprechenden Luftabführeinheit erzeugt, wobei die Luftströmung so ausgerichtet ist, dass die Substrate bei dem Transport durch die wenigstens eine Luftströmung hindurch bewegt werden und dass die wenigstens eine Luftströmung dabei einen Großteil der Oberfläche, auf der sich die Paste befindet, überstreicht. Bei diesem Verfahren lassen sich die schon oben genannten Vorteile hinsichtlich einer effizienten und lokal anpassbaren Trocknung erreichen.
  • Bei einer Ausführungsform der Erfindung wird in jedem Trocknungsbereich eine Vielzahl von in Transportrichtung der Transporteinheit beabstandeten Luftströmungen erzeugt, durch die die Substrate sequentiell hindurchgeführt werden. Solche Einzelströmungen erlauben eine gute Lösungsmittelaufnahme. Alternativ oder zusätzlich kann auch wenigstens eine in Transportrichtung breite Luftströmung, die beispielsweise durch einen Schlitz erzeugt wird, vorgesehen sein.
  • Vorzugsweise werden die Luftströmungen im Wesentlichen senkrecht zur Transportrichtung der Substrate durch den Trocknungsraum geleitet werden, um eine Verschleppung von lokal auftretenden Kontaminationen wie beispielsweise Lösungsmittel in Transportrichtung zu vermeiden. Die Luftströmungen können unter einem Winkel von 30° bis 90°, besonders vorzugsweise unter einem Winkel von 30 bis 60 Grad auf die Oberfläche der Substrate, auf der sich die Paste befindet, gerichtet werden, um eine gute Überstreichung sicherzustellen.
  • Vorzugsweise wird die die Luftströmungen bildende Luft vor dem Einleiten in die entsprechenden Trocknungsbereiche konditioniert, um die Trocknung zu fördern. Insbesondere kann die Konditionierung ein Trocknen, Vorheizen und/oder Filtern der Luft umfassen. Diese Schritte können für alle Trocknungsbereiche gemeinsam oder auch individuell vorgesehen sein, um beispielsweise unterschiedliche Trocknungsergebnisse in den Bereichen vorzusehen.
  • Bei einer bevorzugten Ausführungsform wird die Temperatur und/oder die Strömungsgeschwindigkeit der Luftströmungen in wenigstens einem Trocknungsbereich individuell gesteuert. Eine solche individuelle Einstellung ermöglicht eine lokale Optimierung einer Trocknung und/oder Lösungsmittelabführung unabhängig von den anderen Trocknungsbereichen. Insbesondere kann zum Beispiel in einem Bereich einer hohen Lösungsmittelausdampfung auch eine hohe Strömungsgeschwindigkeit eingestellt werden, während in Bereichen einer geringen Lösungsmittelausdampfung eine geringe Strömungsgeschwindigkeit eingestellt wird. Hierdurch kann die erforderliche Gesamtluftmenge reduziert werden. Dies kann auch zu einer einfacheren Handhabung der abgeführten Luft führen. Hierzu wird die Strömungsgeschwindigkeit der Luftströmungen in den Trocknungsbereichen vorzugsweise jeweils über ein eigenes Gebläse gesteuert.
  • Die Luft kann vor dem Einleiten in den Trocknungsraum entlang eines mäanderförmigen Strömungspfades an wenigstens einer Heizeinheit vorbei geführt werden.
  • Die Luftströmungen werden vorzugsweise in jedem Trocknungsbereich individuell abgesaugt, um beispielsweise eine Verschleppung von Lösungsmittel in Transportrichtung der Substrate zu vermeiden. Hierzu kann die Absaugung bei einer Ausführungsform der Erfindung in den jeweiligen Trocknungsbereichen individuell gesteuert werden. Insbesondere kann das Einführen von Luft und das Absaugen von Luft in den jeweiligen Trocknungsbereichen so gesteuert werden, dass die eingeführte und abgeführte Luftmenge im Wesentlichen gleich sind (maximal 10%, vorzugsweise maximal 2% Unterschied).
  • Die zu trocknenden Pasten können sich je nach Anwendungsgebiet oder Kunden bei dem die Vorrichtung/das Verfahren eingesetzt wird, stark unterscheiden, insbesondere auch hinsichtlich der Lösungsmittelkonzentrationen. Hierdurch zeigen sie unterschiedliches Trocknungsverhalten. Die oben beschriebene Vorrichtung/das Verfahren bieten die Möglichkeit auf einfache und kostengünstige Weise eine Optimierung/Anpassung hinsichtlich der jeweiligen Trocknungsverhalten vorzusehen. Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich für den Fachmann aus der nachfolgenden Beschreibung.
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Zeichnungen näher erläutert; in den Zeichnungen zeigt:
  • 1 eine schematische Längsschnittansicht durch eine Trocknungsvorrichtung;
  • 2 eine schematische Längsschnittansicht durch die Trocknungsvorrichtung gemäß 1, entlang der Linie II-II in 1;
  • 3 eine schematische Längsschnittansicht durch die Trocknungsvorrichtung gemäß 1 entlang der Linie III-III in 1;
  • 4 eine schematische Querschnittansicht durch die Trocknungsvorrichtung gemäß 1 entlang der Linie IV-IV in 1;
  • 5 eine schematische Querschnittansicht ähnlich zu 4 durch eine alternative Trocknungsvorrichtung
  • 6 eine schematische Querschnittansicht ähnlich zu 4 durch eine weitere alternative Trocknungsvorrichtung.
  • In der nachfolgenden Beschreibung verwendete Begriffe wie oben, unten, rechts, links beziehen sich auf die Darstellung in den Figuren und sind nicht einschränkend zu sehen, obwohl sie eine bevorzugte Ausrichtung darstellen können.
  • Die Figuren zeigen unterschiedliche schematische Schnittansichten einer erfindungsgemäßen Trocknungsvorrichtung 1, die insbesondere für die Trocknung von Pasten, die auf einer Oberfläche von Substraten 3, insbesondere Solarzellen, vorgesehen sind, geeignet ist.
  • Die Vorrichtung 1 besteht im Wesentlichen aus einer Gehäuseeinheit 5, einer Vielzahl von Luftzuführeinheiten 7, einer Vielzahl von Luftabführeinheiten 9 und einer Transporteinheit 11 für die Substrate 3.
  • Die Gehäuseeinheit 5 besteht im Wesentlichen aus einem langgestreckten Gehäuse 13, das einen rechteckigen Querschnitt besitzt, wie in 4 dargestellt ist. Das Gehäuse 13 besteht bei der dargestellten Ausführungsform gemäß 4 aus einem Oberteil 15 sowie einem Unterteil 16, die über einen Schwenkmechanismus 18 relativ zueinander verschwenkt werden können. Insbesondere kann das Oberteil 15 gegenüber dem Unterteil 16 hoch geschwenkt werden, um einen Zugriff in das Innere des Gehäuses 13 zu ermöglichen. Natürlich ist es auch möglich, andere Öffnungs- und Schließmechanismen für das Gehäuse 13 vorzusehen.
  • In den Endwänden (Längsrichtung) des Gehäuses 13 ist jeweils eine Öffnung 20 vorgesehen. Die jeweiligen Öffnungen 20 sind so bemessen, dass sich ein Transportband 22 der Transportvorrichtung mit darauf befindlichen Substraten 3 dort hindurch erstrecken kann. Hierdurch soll ein Transport der Substrate 3 durch den Innenraum des Gehäuses 13 ermöglicht werden, wie nachfolgend noch näher erläutert wird.
  • Im Inneren des Gehäuses 13 wird ein Trocknungsraum 24 gebildet. Die Gehäuseeinheit weist ferner eine Vielzahl von sich quer zur Längsrichtung des Gehäuses 13 erstreckenden Trennelementen 26 auf, welche den Trocknungsraum 24 in eine Vielzahl von Trocknungsbereiche 24a, 24b, 24c und 24d unterteilt. Dabei sind die Trennelemente 26 so angeordnet, dass die Trocknungsbereiche 24a bis 24d jeweils im Wesentlichen die gleiche Größe besitzen. Darüber hinaus sind die Trennelemente 26 auch so angeordnet, dass zwischen den jeweiligen Trocknungsbereichen 24a bis 24d jeweils Verbindungsöffnungen 28 beispielsweise in der Größe der Öffnungen 20 verbleiben. Diese Verbindungsöffnungen 28 sind auch mit den Öffnungen 20 in den Endwänden ausgerichtet, um einen geradlinigen Transport von Substraten 3 durch den Trocknungsraum 24 mit seinen unterschiedlichen Trocknungsbereichen 24a bis 24d zu ermöglichen.
  • Jedem der Trocknungsbereiche 24a bis 24d ist eine entsprechende Luftzuführeinheit 7 sowie eine entsprechende Luftabführeinheit 9 zugeordnet, wie nachfolgend noch näher erläutert wird. Ferner ist in einem Deckenbereich jedes Trocknungsbereichs 24a bis 24d jeweils wenigstens eine Heizeinheit 29 vorgesehen, über die auf dem Transportband 22 beförderte Substrate 3, vorzugsweise mittels Strahlungswärme erwärmt werden, um das Ausdampfen von Lösungsmittel zu fördern. Die Heizeinheiten 29 können jeweils individuell steuerbar sein, um in den jeweiligen Trocknungsbereichen 24a bis 24d unterschiedliche Temperaturen einstellen zu können.
  • Bei der obigen Beschreibung wurde angenommen, dass das Gehäuse 13 in Längsrichtung einteilig ist, und einen zusammenhängenden Innenraum besitzt, der durch Trennelemente 26 unterteilt ist. Alternativ wäre es jedoch auch möglich, eine Vielzahl von unmittelbar benachbarten Gehäusemodulen entsprechend den Trocknungsbereichen 24a bis 24d vorzusehen. Die Gehäusemodule könnten direkt benachbart zueinander angeordnet sein, sodass sie einen quasi durchgängigen Trocknungsraum bilden, der entsprechend der Module benachbarte Trocknungsbereiche aufweist. Der Vorteil einer solchen Modulbauweise läge darin, dass die Trocknungsvorrichtung auf einfache Art und Weise, entsprechend den Anforderungen, eine größere oder kleinere Anzahl von Trocknungsbereichen vorsehen kann.
  • Die Luftzuführeinheiten 7 weisen jeweils einen Luftbeweger beispielsweise in Form eines Gebläses 32, eine Luftführungsstruktur 34, sowie eine optionale Heizeinheit 36 auf. Die jeweiligen Gebläse 32 sind des variablen Typs, der innerhalb der Betriebsparameter des Gebläses eine Veränderung der geförderten Luftmenge und der Strömungsgeschwindigkeiten von bewegter Luft einzustellen vermag. Insbesondere sind die Gebläse 32 jeweils in der Lage, eine Pressluftströmung durch die Führungsstruktur 34 hindurch vorzusehen. Anstelle von Gebläsen 32 können natürlich auch andere Luftbeweger, wie beispielsweise Pumpen eingesetzt werden. Obwohl bei der obigen Darstellung für jede Luftzuführeinrichtung 7 ein eigenes Gebläse 32 vorgesehen ist, wäre es auch möglich, für alle Luftzuführeinheiten 7 einen gemeinsamen Luftbeweger vorzusehen. Dieser könnte für alle Luftführungseinheiten 7 eine gleichmäßige Luftströmung vorsehen, oder es wäre möglich, über entsprechende Stellelemente, wie beispielsweise einstellbare Drosseln, die Luftströmung in den einzelnen Luftzuführeinrichtungen 7 zu steuern. Für eine größtmögliche Flexibilität und Unabhängigkeit der jeweiligen Luftzuführeinrichtungen ist jedoch die Verwendung jeweils einzelner Gebläse 32 derzeitig bevorzugt. Die Gebläse 32 sind jeweils auf der Oberseite des Gehäuses 13 angebracht und stehen über eine entsprechende Öffnung 38 im Gehäuse 13 mit dem Innenraum des Gehäuses 13 in Verbindung.
  • Den jeweiligen Gebläsen 32 kann eine gemeinsame Konditioniereinheit für angesaugte Luft vorgeschaltet sein, die beispielsweise eine Trocknung, Vorheizung und/oder Filterung der Luft vornimmt, bevor sie den jeweiligen Gebläsen 32 zugeführt wird. Eine entsprechende Konditionierung kann aber auch für jede einzelne Luftzuführeinheit 7 vorgenommen werden. Vorzugsweise wird durch die Luftzuführeinheiten 7 Umgebungsluft, die gegebenenfalls vorkonditioniert wird, in den Trocknungsraum 24 eingeleitet. Dabei sei bemerkt, dass natürlich auch spezielle Gase statt Luft, wie beispielsweise Inertgase eingesetzt werden können, was jedoch die Betriebskosten erhöhen würde. Der Begriff Luft soll aber im Sinne dieser Erfindung auch alle anderen geeigneten Gase, die für Trocknungszwecke eingesetzt werden können, umfassen. Insbesondere ist es auch möglich, einen im Wesentlichen geschlossenen Luftkreislauf vorzusehen, der eine Reinigung der Luft vorsieht, um Lösungsmittel aus der zirkulierenden Luft zu entfernen.
  • Die Luftführungsstruktur 34 liegt im Inneren des Gehäuses 13 und wird im Wesentlichen durch zwei horizontale Plattenelemente 40, 41 gebildet. Das Plattenelement 40 erstreckt sich parallel zu einer Oberseite des Gehäuses 13 zur Bildung eines Raums zur Aufnahme eines Isoliermaterials 42. Obwohl bei der Darstellung speziell eine Isolierung im Bereich der Oberseite des Gehäuses 13 vorgesehen ist, sei bemerkt, dass eine Isolierung auch an anderen Stellen vorgesehen sein kann. Das horizontale Plattenelement 41 erstreckt sich wiederum parallel zum Plattenelement 40, um dazwischen einen Strömungsspalt 43 zu bilden.
  • In einem Endbereich des Plattenelements 40 ist in Querrichtung mittig eine Strömungsöffnung 46 vorgesehen, welche das Gebläse 32 mit dem Strömungsspalt 43 verbindet (siehe 1). Die Öffnung 46 im Plattenelement 40. ist bezüglich der Öffnung 38 im Gehäuse 13 ausgerichtet und es gibt in diesem Bereich auch kein Isoliermaterial 42, sodass durch das Gebläse 32 geförderte Luft sich direkt in den Strömungsspalt 43 bewegen kann.
  • Der Strömungsspalt 43 zwischen den Plattenelementen 40, 41 ist in Querrichtung durch eine Vielzahl von vertikalen Plattenelementen 47 unterteilt. Insbesondere sind die Plattenelemente 47 derart angeordnet, dass sie einen mäanderförmigen Strömungspfad vorsehen, wie am besten in der Ansicht gemäß 2 zu erkennen ist. In dieser Ansicht sind mit gestrichelten Linien auch die Position der Strömungsöffnung 46 des Plattenelements 40 sowie der Heizeinheit 29 angedeutet. Insbesondere sind die Plattenelemente 47 derart angeordnet, dass sie einen mäanderförmigen Strömungspfad von der in Querrichtung mittig angeordneten Strömungsöffnung 46 des Plattenelements 40 zu den in Querrichtung außen liegenden Randbereichen des Gehäuses 13 vorsieht.
  • In diesen äußeren Randbereichen weist das Plattenelement 41 jeweils eine Reihe von Strömungsöffnungen 49 auf, welche den Strömungsspalt 43 mit dem Trocknungsraum 24 innerhalb des jeweiligen Trocknungsbereichs 24a bis 24d verbindet. Die Strömungsöffnungen 49 sind jeweils derart ausgebildet, dass sie einen schrägen nach unten gerichteten. Luftstrom in den Trocknungsraum 24 hinein vorsehen. In einer einfachen Ausführungsform kann diese Luftführung beispielsweise durch teilweise ausgestanzte und umgebogene Bereiche des Plattenelements 41 gebildet werden, wie in 4 angedeutet ist. Es ist jedoch auch möglich, im Bereich der Strömungsöffnungen 49 jeweils Düsenelemente vorzusehen, die eine entsprechende, gerichtete Strömung in den Trockenraum 24 hinein vorsehen.
  • Die optionale Heizeinheit 36 in der Luftzuführeinheit kann irgendeine geeignete Heizeinheit sein, die in der Lage ist, einen daran vorbeiströmenden Luftstrom zu erwärmen. Beispielsweise weist die Heizeinheit 36 ein Widerstandsheizelement auf. Die Heizeinheit 36 ist innerhalb der Luftführungsstruktur 34 derart angeordnet, dass sie eine gute Erwärmung der daran geführten Luft vorsieht. Bei der dargestellten Ausführungsform ist die Heizeinheit 36 innerhalb des Strömungsspaltes 43 angeordnet. Somit wird eine Lufterwärmung im Strömungsspalt 43 vorgesehen, wie der Fachmann erkennen kann. Natürlich sind für das Heizelement auch noch andere Anbringungsorte und/oder andere Ausgestaltungen denkbar. Obwohl in jeder der Luftzuführungseinheiten 7 eine Heizeinheit 36 dargestellt ist, ist es auch möglich, dass keine oder nur einige der Luftzuführungseinheiten 7 eine Heizeinheit 36 aufweisen. Die Heizeinheiten 36 sind jeweils mit einer Steuereinheit verbunden, die eine individuelle Ansteuerung der Heizeinheiten 36 der Luftzuführeinheiten 7 ermöglicht.
  • Die Luftabführeinheiten 9 sind den Luftzuführeinheiten 7 gegenüberliegend im Gehäuse 13 angeordnet. Die Luftabführeinheiten weisen jeweils eine Luftführungsstruktur 50 auf. Diese steht in Strömungsverbindung mit einer allen Luftabführeinheiten 9 gemeinsamen Abführleitung 52 und einem gemeinsamen Abführgebläse 54. Wie am besten in 1 und 4 zu erkennen ist, besitzt die Luftführungsstruktur 50 der Luftabführeinheit 9 ein horizontales Plattenelement 56, dass in Querrichtung mittig eine Reihe von Strömungsöffnungen 58 aufweist. Statt einer Vielzahl von in Reihe angeordneten Strömungsöffnungen 58 kann auch beispielsweise eine einzelne Schlitzöffnung in diesem Bereich vorgesehen sein. Das Plattenelement 56 erstreckt sich parallel zu einer Bodenwand des Gehäuses 13, sodass dazwischen ein Strömungsspalt 60 gebildet wird, der seitlich durch sich vertikal erstreckende Begrenzungselemente 62 begrenzt ist.
  • Im Boden des Gehäuses 13 ist ferner jeweils in Längsrichtung der Luftabführeinheiten mittig eine Strömungsöffnung 64 vorgesehen, die mit einem Auslassrohr 66 in Verbindung steht. Dieses Auslassrohr 66 wird noch als Teil der jeweiligen Luftabführeinheiten 9 angesehen. Es ist dieses Luftablassrohr 66, das mit dem gemeinschaftlichen Luftabführrohr 52 in Strömungsverbindung steht. Natürlich ist es auch möglich, die Strömungsöffnungen 64 in Längsrichtung der Luftabführeinheiten nicht mittig anzuordnen und gegebenenfalls innerhalb des Strömungskanals 60 Strukturelemente vorzusehen, um eine gleichmäßige Absaugung im Bereich der Strömungsöffnung 58 vorzusehen. Im Bereich der Luftabführrohre 66 ist jeweils ein einstellbares Drosselelement 68 vorgesehen, wie in 4 schematisch angedeutet ist. Hierüber lässt sich innerhalb der jeweiligen Luftabführeinheiten 9 bei einer gleichmäßigen Absaugung über das gemeinsame Absauggebläse 54 die Absaugleistung für die Trocknungsbereiche 24a bis 24d individuell einstellen. Wiederum sei bemerkt, dass ein solches Drosselelement 68 nicht für jede der Luftabführeinheiten 9 erforderlich ist.
  • Die Transporteinheit 11 besteht aus dem schon zuvor erwähnten Transportband 22, das sich durch den Trocknungsraum 24 hindurch erstreckt, und über nicht näher dargestellte Umlaufrollen umlaufend bewegt werden kann. Das Transportband 22 ist aus einem geeigneten temperatur- und lösungsmittelresistenten Material, und ist luftdurchlässig. Eine Luftdurchlässigkeit muss in Querrichtung des Transportbandes 22 bei der dargestellten Ausführungsform besonders im Mittelbereich des Transportbandes 22 gegeben sein. Hierzu können innerhalb des Transportbandes 22 Luftströmungslöcher vorgesehen sein, oder das Luftführungsband 22 kann beispielsweise auch insgesamt als ein grobes Geflecht ausgebildet sein.
  • Wie in der Draufsicht gemäß 3 und der Querschnittsansicht gemäß 4 zu erkennen ist, ist die Trocknungsvorrichtung 1 speziell für einen zweireihigen Transport von Substraten 3 durch den Trocknungsraum 24 hindurch ausgelegt. Natürlich ist auch eine andere Auslegung mit nur einer Reihe und/oder mehreren Reihen denkbar. Dabei sollte vorzugsweise für jede Substratreihe wenigstens eine entsprechende Reihe von Strömungsöffnungen 49 seitens der Luftzuführeinheiten 7 vorgesehen sein.
  • 5 zeigt eine schematische Querschnittansicht durch eine alternative Trocknungsvorrichtung 1, die für einen einreihigen Transport von Substraten 3 durch einen Trocknungsraum 24 konzipiert ist. Der Grundaufbau gleicht im Wesentlichen dem zuvor beschriebenen und daher werden auch die selben Bezugszeichen wie zuvor verwendet. Der Hauptunterschied liegt in der Anordnung und Ausrichtung der Strömungsöffnungen 49, 58 der Luftzuführeinheiten 7 bzw. der Luftabführeinheiten 9. Bei dieser Ausführungsform besitzt jede Luftzuführeinheit 7 jeweils nur eine Reihe von Strömungsöffnungen 49 benachbart zu einer Seitenwand des Trocknungsraums 24. Entsprechend kann auch der mäanderförmige Strömungspfad im Strömungsspalt 43 ausgebildet sein. Die Strömungsöffnungen sind wieder so ausgebildet, dass sie eine schräg auf die Oberfläche des Substrats 3 gerichtete Luftströmung vorsehen. Die Strömungsöffnungen 58 der Luftabführeinheiten 9 sind benachbart zu der Seitenwand des Trocknungsraums 24 angeordnet, die von den Strömungsöffnungen 49 entfernt liegt. Die Strömungsöffnungen 49, 58 sind somit so angeordnet, dass sich ein Luftstrom ohne den Einfluss eines Substrats 3 im Wesentlichen diagonal durch den Trocknungsraum 24 erstrecken würde. Wenn ein Substrat im Bereich eines Luftstroms liegt, so würde dieser Luftstrom die Oberfläche des Substrats 3 von einem Ende her zum anderen Ende in Querrichtung überstreichen, wie durch die Pfeile in 5 angedeutet ist.
  • 6 zeigt eine schematische Querschnittansicht durch eine weitere alternative Trocknungsvorrichtung 1, die für einen einreihigen Transport von Substraten 3 durch einen Trocknungsraum 24 konzipiert ist. Der Grundaufbau gleicht im Wesentlichen dem Aufbau der Trocknungsvorrichtung der unter Bezugnahme auf 1 beschriebenen wurde und daher werden auch die selben Bezugszeichen wie zuvor verwendet. Der Hauptunterschied liegt in der Anordnung und Ausrichtung der Strömungsöffnungen 49 der Luftzuführeinheiten 7. Bei dieser Ausführungsform besitzt jede Luftzuführeinheit 7 jeweils nur eine Reihe von Strömungsöffnungen 49, die im Wesentlichen in Querrichtung des Trocknungsraums 24 mittig angeordnet ist. Die Strömungsöffnungen sind dabei so ausgebildet, dass sie sich auch durch das im Trocknungsraum befindliche Heizelement erstrecken. Die Strömungsöffnungen 49 sind so ausgebildet, dass sie eine im Wesentlichen senkrecht auf die Oberfläche eines Substrats 3 gerichtete Luftströmung vorsehen. Die Strömungsöffnungen 58 der Luftabführeinheiten 9 sind auch in Querrichtung des Trocknungsraums 24 mittig angeordnet. Die Strömungsöffnungen 49, 58 sind somit so angeordnet, dass sich ein Luftstrom ohne den Einfluss eines Substrats 3 im Wesentlichen senkrecht durch den Trocknungsraum 24 erstrecken würde. Wenn ein Substrat im Bereich eines Luftstroms liegt, so würde dieser Luftstrom im Wesentlichen senkrecht und in Querrichtung des Substrats 3 mittig auftreffen. Der Luftstrom würde in zwei Teilsströme aufgeteilt, die jeweils quer zur Transportrichtung laufen. An den Seiten des Substrats 3 würden die Teilströme nach unten und unterhalb des Substrats 3 in Richtung der Strömungsöffnungen 58 umgelenkt, wie durch die Pfeile in 6 angedeutet ist.
  • Nachfolgend wird der Betrieb der Vorrichtung unter Bezugnahme auf die Figuren näher erläutert. Substrate 3 werden jeweils mit einem Abstand dazwischen zweireihig auf dem Transportband 22 platziert, das umlaufend durch den Trocknungsraum 24 der Trocknungsvorrichtung 1 hindurch bewegt wird. Die Substrate 3 tragen jeweils auf ihrer Oberseite eine zu trocknende Paste.
  • Bei der Darstellung gemäß 1 wird zu Beschreibungszwecken davon ausgegangen, dass das Transportband von links nach rechts durch den Trocknungsraum 24 hindurch bewegt wird. Die Substrate durchlaufen daher bei ihrem Transport sequentiell die Trocknungsbereiche 24a, 24b, 24c und 24d.
  • Über die jeweiligen Luftzuführeinheiten 7 wird in den jeweiligen Trocknungsbereichen 24a bis 24d jeweils eine Vielzahl von Luftströmungen in den Trocknungsraum eingeleitet. Die entsprechenden Luftströmungen werden jeweils von einem Randbereich des Trocknungsraums schräg nach unten zur jeweiligen Luftabführeinheit 9 geleitet. Dies ist am besten in 4 zu erkennen. Wenn sich ein Substrat 3 im Bereich des jeweiligen Luftstroms befindet, trifft der Luftstrom auf einen äußeren Randbereich des Substrats 3, wird hierdurch umgelenkt und strömt über das Substrat 3 hinweg zur Längsmitte des Trocknungsraums 24. Wenn sich kein Substrat 3 im Bereich der jeweiligen Luftströmung befindet, würde diese auf das Transportband 22 treffen, und größtenteils dort hindurch gehen und auf das Plattenelement 56 treffen. An diesem würde die Luftströmung umgelenkt und wieder zum Längsmittelbereich des Trockenraums 24 geführt.
  • Wie zu erkennen ist, besitzt die Luftströmung, wenn sie aus der Lufteinführeinheit austritt, eine grobe Richtung in Richtung der Strömungsöffnungen 58 der Luftabführeinheiten 9. Die Strömungsgeschwindigkeit und Erwärmung der jeweiligen Luftströmungen wird durch die Luftzuführeinheiten 7 jeweils individuell für jeden Trocknungsbereich 24a bis 24d eingestellt. Die Einstellung kann beispielsweise anhand einer gewünschten Trocknung innerhalb des jeweiligen Trocknungsbereichs und/oder des erwartenden Volumens von ausdampfenden Lösungsmittel eingestellt werden. Bei der Darstellung gemäß 4 sind die jeweiligen Luftströmungen unter einem Winkel von ungefähr 45° Grad auf die Oberfläche der Substrate 3 gerichtet. Bevorzugt sollte die Luftströmung in einem Winkel zwischen 30 und 90 Grad, vorzugsweise zwischen 30 und 60 Grad auf die Oberfläche gerichtet werden, um eine gute Richtungsgebung in Richtung der Strömungsmittelöffnung 58 der Luftabführeinheiten 9 vorzusehen. Darüber hinaus sind die Luftströmungen jeweils im Wesentlichen senkrecht zur Förderrichtung der Substrate 3 durch den Trocknungsraum 24 hindurch ausgerichtet.
  • Das Absauggebläse 54 wird aktiv betrieben, um Luft aus den jeweiligen Luftabführeinheiten 9 abzusaugen. Über die Drosseln 68 kann dabei die abgesaugte Luftmenge in den jeweiligen Luftabführeinheiten 9 im Wesentlichen an die in den entsprechenden Luftzuführeinheiten 7 eingeleitete Luftmenge angepasst werden. Durch diese aktive Absaugung werden die Luftströmungen, nachdem sie über das Substrat 3 hinweggestrichen sind jeweils auf kurzem Wege direkt in Richtung der Strömungsmittelöffnungen 58 der Luftabführeinheiten 9 gesaugt.
  • Durch die spezielle Anordnung der Strömungsmittelöffnungen 49 und 58 in Kombination mit der gerichteten Einleitung der Luftströmungen sowie einer gezielten Ableitung derselben ist es möglich, eine Luftverschleppung zwischen den unterschiedlichen Trocknungsbereichen 24a bis 24d im Wesentlichen zu vermeiden. Eine solche Luftverschleppung in unterschiedliche Trocknungsbereiche, in denen gegebenenfalls unterschiedliche Temperaturen herrschen, wird darüber hinaus auch noch durch die Trennelemente 26 erschwert.
  • Die über das Absauggebläse 54 abgeführte Abluft kann in geeigneter Weise abgeführt und/order nachbehandelt werden.
  • Die Erfindung wurde zuvor anhand bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung beschrieben, ohne auf die konkret dargestellten Ausführungsformen beschränkt zu sein. Insbesondere ist es beispielsweise im Bereich der Luftzuführeinheiten 7 möglich, das Plattenelement 40 wegzulassen, und somit die jeweiligen Gebläse 32 direkt mit einem oberhalb des Plattenelements 41 befindlichen Strömungsspalts zu verbinden. Natürlich können auch mehr oder weniger Trocknungsbereiche vorgesehen werden.

Claims (24)

  1. Vorrichtung zum Trocknen einer Paste auf einer Oberfläche eines Substrats, insbesondere auf einer Oberfläche einer Solarzelle, die folgendes aufweist: einen langgestreckten Trocknungsraum mit einem Eingangsbereich und einem Ausgangsbereich, der in eine Vielzahl von benachbarten Trocknungsbereichen unterteilt ist, eine Vielzahl von Luftzuführeinheiten und Luftabführeinheiten, wobei jedem Trocknungsbereich eine Luftzuführeinheit und eine Luftabführeinheit zugeordnet ist, wobei die Luftzuführeinheiten und die Luftabführeinheiten jeweils wenigstens eine sich zum Trocknungsraum hin öffnende Strömungsöffnung aufweisen, und wobei die wenigstens eine Strömungsöffnung der Luftzuführeinheit so ausgebildet ist, dass ein Hauptteil einer hieraus austretenden Luftströmung in Richtung der wenigstens einen Strömungsöffnung der Luftabführeinheit gerichtet ist; eine Transporteinheit zum Transport der Substrate entlang einer Transportrichtung sequentiell durch die Trocknungsbereiche des Trocknungsraum hindurch, wobei die Transporteinheit eine Transportebene definiert, die zwischen Strömungsöffnungen der Luftzuführeinheiten und Strömungsöffnungen der Luftabführeinheiten liegt.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Luftzuführeinheiten jeweils eine Vielzahl von in Transportrichtung der Transporteinheit beabstandete Strömungsöffnungen zum Erzeugen einer Vielzahl von gerichteten Luftströmungen aufweist.
  3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Strömungsöffnungen der Luftzuführeinheiten so ausgebildet sind, dass ein Hauptteil einer hieraus austretenden Luftströmung im Wesentlichen senkrecht zur Transportrichtung der Transporteinheit ausgerichtet ist.
  4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Strömungsöffnungen der Luftzuführeinheiten so ausgebildet sind, dass ein Hauptteil einer hieraus austretenden Luftströmung unter einem Winkel von 30° bis 60° auf die Transportebene, gerichtet ist.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Vorrichtung wenigstens eine Konditioniereinheit zum Konditionieren von Luft aufweist, bevor die Luft in die entsprechenden Trocknungsbereiche eingeleitet wird.
  6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei wenigstens eine Luftzuführeinheit wenigstens eine individuelle Heizeinheit und/oder ein individuelles Gebläse aufweist.
  7. Vorrichtung nach Anspruch 7, wobei zwischen dem Gebläse und der/den Strömungsöffnung(en) der Luftzuführeinheit ein mäanderförmiger Strömungspfad vorgesehen ist.
  8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Luftzuführeinheiten jeweils wenigstens eine sich in Transportrichtung erstreckende Reihe von Strömungsöffnungen aufweisen.
  9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Luftabführeinheiten jeweils eine Reihe von in Transportrichtung beabstandeten Strömungsöffnungen und/oder wenigstens eine sich in Transportrichtung erstreckende schlitzförmige Strömungsöffnung aufweist, die mit einem gemeinsamen Absaugkanal des jeweiligen Trocknerbereichs in Verbindung stehen.
  10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Luftabführeinheiten von wenigstens zwei Trocknerbereichen mit einer gemeinsamen Absaugeinheit in Verbindung stehen.
  11. Vorrichtung nach Anspruch 10, wobei zwischen wenigstens einer der Luftabführeinheiten und der gemeinsamen Absaugeinheit eine Drossel vorgesehen ist, um unterschiedliche Absaugungen in den Luftabführeinheiten vorsehen zu können.
  12. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, die Mittel aufweist zum Einstellen einer kontrollierten Luftzuführung über die Luftzuführeinheit eines Trocknungsbereichs und einer kontrollierten Luftabführung über die Luftabführeinheit des Trocknungsbereichs derart, dass die zugeführte und abgeführte Luftmenge im jeweiligen Trocknungsbereich im Wesentlichen gleich sind.
  13. Verfahren zum Trocknen einer Paste, die sich auf einer Oberfläche von Substraten, insbesondere auf einer Oberfläche von Solarzellen, befindet, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: – Transportieren der Substrate in einer Transportrichtung entlang eines Transportpfades sequentiell durch eine Vielzahl von benachbarten Trocknungsbereichen eines Trocknungsraums, wobei den Trocknungsbereichen jeweils eine Luftzuführeinheit und eine Luftabführeinheit zugeordnet ist, Erzeugen wenigstens einer gerichteten Luftströmung in jedem Trocknungsbereich von der entsprechenden Luftzuführeinheit zur entsprechenden Luftabführeinheit, wobei die Luftströmung so ausgerichtet ist, dass die Substrate bei dem Transport durch die wenigstens eine Luftströmung hindurch bewegt werden und dass die wenigstens eine Luftströmung dabei einen Großteil der Oberfläche, auf der sich die Paste befindet, überstreicht.
  14. Verfahren nach Anspruch 13, wobei in jedem Trocknungsbereich eine Vielzahl von in Transportrichtung der Transporteinheit beabstandete Luftströmungen erzeugt wird, durch die die Substrate sequentiell hindurchgeführt werden.
  15. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 oder 14, wobei die Luftströmungen im Wesentlichen senkrecht zur Transportrichtung der Substrate durch den Trocknungsraum geleitet werden.
  16. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Luftströmungen unter einem Winkel von 30° bis 60° auf die Oberfläche der Substrate, auf der sich die Paste befindet, gerichtet sind.
  17. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 15, wobei die die Luftströmungen bildende Luft vor dem Einleiten in die entsprechenden Trocknungsbereiche konditioniert wird.
  18. Verfahren nach Anspruch 17, wobei die Konditionierung wenigstens einen der folgenden Schritte aufweist: Trocknen, Vorheizen, Filtern.
  19. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 18, wobei die Temperatur und/oder die Strömungsgeschwindigkeit der Luftströmungen in wenigstens einem Trocknungsbereich individuell gesteuert werden.
  20. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 19, wobei die Strömungsgeschwindigkeit der Luftströmungen in den Trocknungsbereichen jeweils über ein eigenes Gebläse gesteuert wird.
  21. Verfahren nach Anspruch 20, wobei die Luft vor dem Einleiten in den Trocknungsraum entlang eines mäanderförmigen Strömungspfades an wenigstens einer Heizeinheit vorbei geführt wird.
  22. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 21, wobei die Luftströmungen in jedem Trocknungsbereich individuell abgesaugt werden.
  23. Verfahren nach Anspruch 22, wobei die Absaugung in den jeweiligen Trocknungsbereichen individuell gesteuert wird.
  24. Verfahren nach Anspruch 22 oder 23, wobei das Einführen von Luft und das Absaugen von Luft in den jeweiligen Trocknungsbereichen so gesteuert werden, dass die eingeführte und abgeführte Luftmenge im jeweiligen Trocknungsbereich im Wesentlichen gleich sind.
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