DE102010047397A1 - Optical device e.g. organic LED, has insulator that is arranged on bottom electrode layer at side of functional layer stack such that top electrode layer is formed on insulator and functional layer stack - Google Patents
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Abstract
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein optisches Bauelement, insbesondere eine organische Leuchtdiode (”organic light emitting diode”, im Weiteren OLED), mit einem Schichtsystem, welches mindestens
- – zwei elektrisch leitende Elektrodenschichten, von denen die eine Elektrodenschicht eine Bodenelektrode und die andere Elektrodenschicht eine Deckelektrode bildet, und
- – einen zwischen den Elektrodenschichten angeordneten Stapel aus Funktionsschichten
- Two electrically conductive electrode layers, of which one electrode layer forms a bottom electrode and the other electrode layer forms a cover electrode, and
- - A arranged between the electrode layers stack of functional layers
OLEDs mit einem derartigen strukturellen Aufbau sind bekanntermaßen mit Vorteil insbesondere für Bildschirme und Displays, aber auch für eine großflächige Raumbeleuchtung einsetzbar. Ihre Wirkungsweise basiert darauf, dass bestimmte Polymere Licht emittieren, sobald sie sich in einer Sandwich-Struktur aus verschiedenen leitfähigen Schichten befinden, an die eine Spannung anlegt wird.As is known, OLEDs with such a structural design can advantageously be used in particular for screens and displays, but also for large-area room lighting. Their mode of action is based on the fact that certain polymers emit light as soon as they are in a sandwich structure made of different conductive layers to which a voltage is applied.
Ein optisches Bauelement der vorstehend beschriebenen Art ist als eine Ausführungsform der in der
Die vorliegende Erfindung betrifft des Weiteren ein Verfahren zur Herstellung von optischen Bauelementen, insbesondere von organischen Leuchtdioden, welches eine, in einem kontinuierlichen Rolle-zu-Rolle-Prozess erfolgende Aufbringung eines Schichtsystems auf ein bandförmiges Substrat umfasst, das mindestens eine metallische Schicht enthält, wobei das Schichtsystem mindestens zwei elektrisch leitende Elektrodenschichten, von denen die eine Elektrodenschicht eine Bodenelektrode und die andere Elektrodenschicht eine Deckelektrode bildet, und einen zwischen den Elektrodenschichten angeordneten Stapel aus Funktionsschichten umfasst.The present invention furthermore relates to a method for producing optical components, in particular organic light-emitting diodes, which comprises applying, in a continuous roll-to-roll process, a layer system to a strip-shaped substrate which contains at least one metallic layer the layer system comprises at least two electrically conductive electrode layers, of which one electrode layer forms a bottom electrode and the other electrode layer forms a cover electrode, and a stack of functional layers arranged between the electrode layers.
Schließlich betrifft die vorliegende Erfindung ein Halbzeug eines derartigen Herstellungsverfahrens.Finally, the present invention relates to a semi-finished product of such a manufacturing method.
Ein großer Vorteil von OLEDs besteht insbesondere darin, dass diese – wenn das Substrat nicht aus Glas, sondern aus einem Kunststoff, wie PET (Polyethylentherephthalat), Zellulosetriazetat, PEN (Polyethylennaphthenat), und/oder aus einem Metall, wie einer band- oder blattförmigen Aluminium-, Kupfer- oder Edelstahlfolie, besteht – als flexible opto-elektronische Bauteile ausgeführt werden können. Damit sind nicht nur zahlreiche anwendungstechnische Vorteile verbunden, sondern es besteht auch die Möglichkeit, die Bauteile in einem kontinuierlichen und daher kostengünstigen Rolle-zu-Rolle-Verfahren (”coil-to-coil-process”) zu fertigen.A major advantage of OLEDs is, in particular, that if the substrate is not made of glass, but of a plastic such as PET (polyethylene terephthalate), cellulose triacetate, PEN (polyethylene naphthenate), and / or of a metal such as a ribbon or sheet Aluminum, copper or stainless steel foil, consists - as flexible opto-electronic components can be executed. Not only are numerous application advantages associated with this, but it is also possible to produce the components in a continuous and therefore cost-effective roll-to-roll process ("coil-to-coil process").
Die genannten Anwendungsgebiete der organischen Bauelemente setzen insbesondere für eine Kontaktierung der Schichten eine Schichtenstrukturierung voraus, die über unterschiedliche Strukturierungsverfahren, wie beispielsweise Sputtern über Masken, Lithographie, Drucken usw. realisiert werden kann. Dabei sind bei einer selektiven Strukturierung, wie sie insbesondere bekanntermaßen zum partiellen Abtrag einer Anoden-Schicht eingesetzt werden kann, Strukturierungsprozesse bekannt, für die unter Berücksichtigung von Erfahrungen aus der Fotovoltaik verschiedene Fertigungskonzepte entwickelt und schon in der industriellen Praxis umgesetzt wurden.The mentioned fields of application of the organic components require, in particular for a contacting of the layers, a layer structuring which can be realized via different structuring methods, such as, for example, sputtering over masks, lithography, printing and the like. Here, in a selective structuring, as can be used in particular for the partial removal of an anode layer, structuring processes are known for which, taking into account experience from photovoltaics different manufacturing concepts have been developed and implemented in industrial practice.
So kann in einem kontinuierlichen Rolle-zu-Rolle-Verfahren für eine Strukturierung von Schichten, die mittels einer Vakuumbeschichtung aufgebracht werden, vorgesehen sein, während des Beschichtungsprozesses in Bandlaufrichtung eine Abdeckung des Bandes mittels geeigneter Blenden bzw. Masken vorzunehmen.Thus, in a continuous roll-to-roll process for patterning of layers which are applied by means of a vacuum coating, provision may be made for masking the tape during the coating process in the strip running direction by means of suitable masks.
Als ein einfaches und effektives Verfahren hat sich auch eine Strukturierung der Schichten mittels Laser erwiesen. Hierbei gibt es Verfahren, welche auf der Grundlage einer Maskenprojektion, also einer partiellen Abdeckung der Oberfläche mit Masken aus laserbeständigem Material, sehr gute Ergebnisse erzielen. Bei der Schichtablation durch den Laserstrahl wird dabei insbesondere in einem sogenannten ”Ein-Schuss-Modus” gearbeitet, bei dem z. B. eine Indium-Zinn-Oxid-Schicht mit nur einem Laserpuls abgetragen werden kann und der sowohl in einem periodisch arbeitenden Batch-, als auch in einem kontinuierlichen Rolle-zu-Rolle-Verfahren anwendbar ist.As a simple and effective method has also been a structuring of the layers by laser. There are methods that achieve very good results on the basis of a mask projection, ie a partial coverage of the surface with masks made of laser-resistant material. In the Schichtablation by the laser beam is worked in particular in a so-called "one-shot mode" in which z. B. an indium tin oxide layer can be removed with only one laser pulse and which is applicable both in a periodically operating batch, as well as in a continuous roll-to-roll process.
Das größte technische Problem bei OLEDs stellt die geringe Lebensdauer mancher der zur Herstellung der Bauelemente einzusetzenden organischen Materialien dar. Dies ist unter anderem darauf zurückzuführen, dass sich einige der als Lichtemitter eingesetzten elektrolumineszenten Materialien leicht unter dem Einfluss von Wasser oder Sauerstoff verändern, was zu signifikanten Schädigungen bis zur vollständigen Zerstörung der Bauteile führen kann. Auch in den Kathoden der bekannten optischen Bauelemente eingesetzte reaktive Metalle können unter Sauerstoff- und Wassereinfluss korrosiv angegriffen werden. Daher erfordern derartige Bauteile eine Verkapselung mit geringen Permeationsraten für Feuchtigkeit und Sauerstoff.The biggest technical problem with OLEDs is the low lifetime of some of the organic materials used to fabricate the devices. This is due, among other things, to some of the electroluminescent materials used as light emitters changing slightly under the influence of water or oxygen, resulting in significant Damage can lead to the complete destruction of the components. Even in the cathodes of the known optical components used reactive metals can be corrosively attacked under the influence of oxygen and water. Therefore, such devices require encapsulation with low moisture and oxygen permeation rates.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein optisches Bauelement der eingangs beschriebenen Art, insbesondere eine organische Leuchtdiode OLED, und ein Herstellungsverfahren der eingangs beschriebenen Art sowie ein Halbzeug zum Einsatz in einem derartigen Verfahren zu schaffen, wobei bei einer einfachen Herstellungsweise des Bauelements eine erhöhte Lebensdauer des Bauelements gewährleistet sein soll.The present invention has for its object to provide an optical device of the type described above, in particular an organic light emitting diode OLED, and a manufacturing method of the type described above and a semi-finished for use in such a method, wherein in a simple method of manufacturing the device an increased Life of the device should be guaranteed.
Erfindungsgemäß wird dies für das optische Bauelement dadurch erreicht, dass auf die die Bodenelektrode bildende Elektrodenschicht mindestens eine aus einem elektrisch nichtleitenden Material bestehende Isolatorbahn aufgebracht ist, welche den Stapel aus Funktionsschichten und die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht zumindest teilweise seitlich begrenzt.According to the invention, this is achieved for the optical component by applying to the electrode layer forming the bottom electrode at least one insulator path consisting of an electrically nonconducting material which laterally delimits at least part of the stack of functional layers and the electrode layer forming the cover electrode.
Erfindungsgemäß wird dies für das Verfahren dadurch erreicht, dass zunächst die die Bodenelektrode bildende Elektrodenschicht zumindest auf einer Teilfläche auf dem Substrat aufgebracht wird, danach auf diese Elektrodenschicht in Querrichtung des Bandes des Substrates Isolatorbahnen aus einem elektrisch nichtleitenden Material strukturiert werden, anschließend auf die Elektrodenschicht und die Isolatorbahnen der Stapel aus Funktionsschichten und die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht aufgebracht werden und schließlich die die Topektrode bildende Elektrodenschicht und der Stapel aus Funktionsschichten in einem Bereich über den Isolatorbahnen bis auf die Oberfläche der Isolatorbahnen hin abgetragen werden. Die Abtragung kann dabei bevorzugt mittels Laserstrahlung erfolgen.According to the invention, this is achieved for the method in that first the electrode layer forming the bottom electrode is applied to the substrate at least on a partial surface, then insulator webs of an electrically non-conductive material are patterned onto this electrode layer in the transverse direction of the tape of the substrate, then onto the electrode layer and the insulator paths of the stacks of functional layers and the electrode layer forming the cover electrode are applied, and finally the electrode layer forming the top electrode and the stack of functional layers are removed in a region over the insulator paths down to the surface of the insulator paths. The removal can be carried out preferably by means of laser radiation.
Erfindungsgemäße Bauelemente sind mit Vorteil durch das erfindungsgemäße Verfahren herstellbar, das eine kontinuierlichen Rolle-zu-Rolle-Prozess erfolgende Aufbringung auf das bandförmige ausgebildete Substrat und eine technologisch einfach zu realisierende Strukturierung des Schichtsystems umfasst. Dabei ist jedes erfindungsgemäße Bauelement in optimaler Weise, dadurch, dass die Isolatorbahnen den Stapel aus Funktionsschichten und die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht seitlich begrenzen und diese daher weder bei der Herstellung, noch im Fertigprodukt randseitig offen liegen, vor korrosiven Einflüssen geschützt. Außerdem verhindern die Isolatorbahnen mit Vorteil beim Einsatz eines erfindungsgemäßen Bauelements das Entstehen von Kurzschlussströmen zwischen den Elektroden. Dies gewährleistet eine erhöhte Lebensdauer.Components according to the invention can advantageously be produced by the method according to the invention, which comprises a continuous roll-to-roll process applied to the strip-shaped substrate and a structuring of the layer system that is technologically easy to implement. In this case, each component according to the invention is optimally protected from corrosive influences by virtue of the fact that the insulator paths laterally delimit the stack of functional layers and the electrode layer forming the cover electrode, and these are therefore not exposed at the edge during manufacture or in the finished product. In addition, the isolator tracks advantageously prevent the occurrence of short-circuit currents between the electrodes when a component according to the invention is used. This ensures an increased life.
Entsprechend einer Herstellung durch das erfindungsgemäße Verfahren kann das erfindungsgemäße Bauelement bevorzugt seitliche, insbesondere durch einen Trennprozess zur Heraustrennung des Bauteils aus der Rolle gebildete, Kantenflächen aufweisen, die jeweils entlang des Substrates, der die Bodenelektrode bildenden Elektrodenschicht und der auf dieser Elektrodenschicht aufgebrachten Isolatorbahn verlaufenAccording to production by the method according to the invention, the component according to the invention may preferably have lateral edge surfaces formed in particular by a separation process for separating the component from the roll, which run along the substrate, the electrode layer forming the bottom electrode and the insulator path applied to this electrode layer
Ein vorzugsweise zur Herstellung eines erfindungsgemäßen optischen Bauelements in einem erfindungsgemäßen Verfahren einsetzbares erfindungsgemäßes Halbzeug zeichnet sich dadurch aus, dass es ein bandförmiges Substrat umfasst, das mindestens eine metallische Schicht enthält, wobei auf dem Substrat ein eine Bodenelektrode bildende Elektrodenschicht aufgebracht ist, auf der in Querrichtung des Bandes des Substrates Isolatorbahnen aus einem elektrisch nichtleitenden Material strukturiert sind.A semi-finished product according to the invention that can preferably be used for producing an optical component according to the invention in a method according to the invention is characterized in that it comprises a strip-shaped substrate which contains at least one metallic layer, wherein an electrode layer forming a bottom electrode is applied to the substrate, on which in the transverse direction of the band of the substrate insulator tracks are structured from an electrically non-conductive material.
Dabei kann in einer weiter fortgeschrittenen Fertigungsstufe des Halbzeugs – insbesondere entsprechend dem Prozessablauf des erfindungsgemäßen Verfahrens – sowohl auf der die Bodenelektrode bildenden Elektrodenschicht zwischen den Isolatorbahnen, als auch auf den Isolatorbahnen der Stapel aus Funktionsschichten und die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht aufgebracht sein.In this case, in a further advanced manufacturing stage of the semifinished product - in particular according to the process flow of the method according to the invention - the stack of functional layers and the electrode layer forming the cover electrode can be applied both on the electrode layer forming the bottom electrode between the insulator paths and on the insulator paths.
In einer noch weiter fortgeschrittenen Fertigungsstufe des Halbzeugs können der Stapel aus Funktionsschichten und die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht zwischen den Isolatorbahnen auf der die Bodenelektrode bildenden Elektrodenschicht – und insbesondere ausschließlich dort – aufgebracht sein.In an even more advanced manufacturing stage of the semifinished product, the stack of functional layers and the electrode layer forming the cover electrode can be applied between the insulator paths on the electrode layer forming the bottom electrode-and in particular exclusively there.
Weitere vorteilhafte Ausführungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen und in der nachfolgenden detaillierten Beschreibung enthalten.Further advantageous embodiments of the invention are contained in the subclaims and in the following detailed description.
Anhand von durch die beiliegenden Zeichnungen veranschaulichten Ausführungsbeispielen und deren Varianten wird die Erfindung näher erläutert. Dabei zeigen:On the basis of illustrated by the accompanying drawings embodiments and their variants, the invention will be explained in more detail. Showing:
In den Figuren der Zeichnung sind dieselben und einander entsprechende Teile mit denselben Bezugszeichen versehen, so dass sie auch jeweils nur einmal beschrieben werden.In the figures of the drawing, the same and corresponding parts are provided with the same reference numerals, so that they are also described only once.
Wie zunächst aus
Bei der exemplarisch dargestellten erfindungsgemäßen Ausführung handelt es sich im Besonderen um eine sogenannte invertierte OLED-Struktur, bei der nur eine sogenannte ”top emission” TE des Lichtes auf der dem Substrat
Zur Herstellung des Schichtsystems
Auf die Kathode wird dann eine Elektronenleitungsschicht
Auf die ETL
Auf die EML
Zum Abschluss wird als die Elektrodenschicht
Beim Anlegen einer Spannung gelangen die von der Anode ausgehenden Löcher und die von der Kathode ausgehenden Elektronen aufeinander zu und treffen sich in der EML
Zwischen der anodischen Elektrodenschicht
Zwischen der kathodischen Elektrodenschicht und der ETL
Schließlich kann sich auf der anodischen Top-Elektrodenschicht
Das Substrat
Wie ebenfalls durch
Hierbei ist es im Sinne der Gewährleistung einer hohen Lebensdauer des erfindungsgemäßen Bauelements
Erfindungsgemäße Bauelemente
Die Prozessstufen des erfindungsgemäßen Verfahrens werden – einschließlich nur optional vorhandener Verfahrensschritte – anhand des in
Variante A option A
In einem ersten, optionalen Verfahrensschritt, der durch den Kasten
In einem zweiten, nicht fakultativen Verfahrensschritt, der durch den Kasten
Es wird dabei – wie dies insbesondere
In einem dritten erfindungswesentlich vorzusehenden Verfahrensschritt, den der Kasten
In diesem Schritt entsteht eine – gemäß der prozessualen Abfolge erste – Ausführung HZ1 eines erfindungsgemäßen Halbzeugs HZ, wie diese in
In einem vierten, ebenfalls als erfindungswesentlich vorzusehenden Verfahrensschritt (Kasten
Im fünften Verfahrensschritt, für den der Kasten
In diesem Schritt entsteht eine – gemäß der prozessualen Abfolge zweite – Ausführung HZ2 eines erfindungsgemäßen Halbzeugs HZ, wie diese in
Der sechste Verfahrensschritt – veranschaulicht durch den Kasten
In diesem Schritt entsteht so eine – gemäß der prozessualen Abfolge dritte – Ausführung HZ3A eines erfindungsgemäßen Halbzeugs HZ, wie diese in
An den vierten Verfahrensschritt kann sich auch unter Auslassung des fünften Verfahrensschrittes – wie im unteren Teil von
Im siebten Verfahrensschritt, für den in
Der siebte Verfahrensschritt kann in einer Dünnfilmverkapselung (Kasten
Zum direkten Aufbringen einer Barriereschicht im Rahmen der Dünnschichtverkapselung eignet sich beispielsweise eine an sich bekannte sogenannte Atomlagenabscheidung (”atomic layer deposition” – ALD). Bei einer solchen ALD sind in einem CVD-Prozess (”chemical vapor deposition” – CVD), einzelne Teilreaktionen, wie ein erster Chemisorptionsschritt und ein zweiter, z. B. in einer hydrolytischen Zersetzung oder Oxidation bestehender, Reaktionsschritt der Gesamtreaktion voneinander separiert. Mittels dieses Verfahrens ist eine kontrollierte Erzeugung von ultradünnen Schichten, d. h. mit im Nanometerbereich liegenden Schichtdicken, jedoch als fehlstellenfreies Kontinuum, möglich.For the direct application of a barrier layer in the context of thin-layer encapsulation, for example, a known so-called atomic layer deposition (ALD) is suitable. In such an ALD are in a CVD process ("chemical vapor deposition" - CVD), individual partial reactions, such as a first Chemisorptionsschritt and a second, z. B. in a hydrolytic decomposition or oxidation existing reaction step of the overall reaction separated from each other. By means of this process is a controlled production of ultrathin layers, i. H. with layer thicknesses in the nanometer range, but as a defect-free continuum, possible.
Des Weiteren kann der siebte Verfahrensschritt in einer Auflaminierung (Kasten
Schließlich kann für die Fertigungslinie, bei der der fünfte Verfahrensschritt übersprungen wird, im siebten Verfahrensschritt (Kasten
Das Halbzeug HZ kann bevorzugt als Coil mit einer Breite von 30 mm bis 1600 mm und mit einer Dicke D von etwa 0,1 bis 1,5 mm ausgebildet sein. Eine zu wählende Dicke bzw. Höhe H der Isolatorbahnen
Vorteilhafterweise können die Verfahrensschritte
Der achte Verfahrensschritt (Kasten
Ein abschließender neunter Verfahrensschritt (Kasten
Variante BVariant B
Gemäß der zweiten bevorzugten Ausführungsvariante B zur Herstellung einer Ausführung eines erfindungsgemäßen Bauelements
Im Unterschied zur ersten Variante A wird im zweiten Verfahrensschritt der zweiten Variante B das Substrat
Des Weiteren wird im Unterschied zur ersten Variante A im dritten Verfahrensschritt zusätzlich zu den in Querrichtung QR verlaufenden Isolatorbahnen
Im vierten Verfahrensschritt erfolgt die Aufbringung des Schichtstapels
Was den sechsten Verfahrensschritt der zweiten Variante betrifft, so ist hierzu festzustellen, dass beim Aufteilen des Endlosbandes in die strukturierten Abschnitte A1, A2, A3 ... die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf das dargestellte Ausführungsbeispiel beschränkt, sondern umfasst auch alle im Sinne der Erfindung gleichwirkenden Mittel und Maßnahmen. So sind durch ein erfindungsgemäßes Bauelement
Quer zur Bandlaufrichtung können auch mehrere OLEDs abgeschieden werden, da bei breiten Bändern, wie mit einer Breite von 1250 mm, natürlich mehrere OLEDs mit einer Breite von z. B. 150 mm auf das Band passen. In einem solchen Fall können sich also – insbesondere gleichartig ausgebildete – OLED-Strukturen quer zur Bandlaufrichtung BLR wiederholen. Dabei kann z. B. durch die beschriebene Maskentechnik erreicht werden, dass auf bestimmten Flächen des Substrates
Durch die Isolatorbahnen
Die Erfindung schließt, wie bereits aus den vorstehenden Ausführungen hervorgeht, das Vorhandensein zusätzlicher Schichten oder eine andere chemische Zusammensetzung als die exemplarisch beschriebene im Schichtsystem
Schließlich kann der Fachmann weitere zusätzliche zweckmäßige technische Maßnahmen vorsehen, ohne dass der Rahmen der Erfindung verlassen wird. Eine solche Maßnahme kann beispielsweise darin bestehen, eine optionale Struktur zur Homogenisierung der Ladungsverteilung in der Deckelektrode vorzusehen, die darin besteht, dass auf einer transparenten Deckelektrode eine metallische sowie semi- oder nicht transparente Leiterstruktur, z. B. in einem Rechteck- oder Wabenmuster, aufgebracht wird.Finally, the skilled person can provide further additional expedient technical measures, without departing from the scope of the invention. Such a measure may be, for example, to provide an optional structure for homogenizing the charge distribution in the cover electrode, which consists in that on a transparent cover electrode, a metallic and semi-transparent or non-transparent conductor structure, for. B. in a rectangular or honeycomb pattern is applied.
Ferner ist die Erfindung nicht auf die in den unabhängigen Ansprüchen definierten Merkmalskombinationen beschränkt, sondern kann auch durch jede beliebige andere Kombination von bestimmten Merkmalen aller insgesamt offenbarten Einzelmerkmale definiert sein. Dies bedeutet, dass grundsätzlich praktisch jedes Einzelmerkmal der genannten Ansprüche weggelassen bzw. durch mindestens ein an anderer Stelle der Anmeldung offenbartes Einzelmerkmal ersetzt werden kann. Insofern sind die Ansprüche lediglich als ein erster Formulierungsversuch für eine Erfindung zu verstehen.Furthermore, the invention is not limited to the feature combinations defined in the independent claims, but may also be defined by any other combination of particular features of all individually disclosed features. This means that in principle virtually every individual feature of the cited claims can be omitted or replaced by at least one individual feature disclosed elsewhere in the application. In this respect, the claims are to be understood merely as a first formulation attempt for an invention.
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
- 11
- Bauelementmodule
- 22
-
Schichtsystem von
1 aus3 ,4 ,5 Layer system of1 out 3 .4 .5 - 33
-
untere Elektrodenschicht von
2 lower electrode layer of2 - 44
-
obere Elektrodenschicht von
2 upper electrode layer of2 - 55
-
Stapel aus
6 ,7 ,8 von2 Stack out6 .7 .8th from2 - 66
- Lochleitungsschicht (HTL)Hole line layer (HTL)
- 77
- Emitterschicht (EML)Emitter layer (EML)
- 88th
- Elektronenleitungsschicht (EL)Electron conducting layer (EL)
- 99
-
Substrat von
1 Substrate of1 - 1010
-
metallische Schicht von
9 metallic layer of9 - 1111
-
Einebnungsschicht von
9 Leveling layer of9 - 1212
-
Trennkantenfläche von
1 Separating edge surface of1 - 1313
-
Isolatorbahn auf
3 Isolator track on3 - 1414
-
Oberfläche von
9 (11 )Surface of9 (11 ) - 14a14a
-
Oberfläche von
10 Surface of10 - 1515
-
mit 3 bedeckter Flächenanteil von
14 with 3 covered area of14 - 1616
-
nicht mit 3 bedeckter Flächenanteil von
14 not covered with 3 area fraction of14 - 1717
-
nicht mit 5 bedeckter Flächenanteil von
13 not covered with 5 area fraction of13 - 1818
-
nicht mit 4 bedeckter Flächenanteil von
5 not covered with 4 area fraction of5 - 1919
-
Oberfläche von
13 Surface of13 - 2020
-
Fußbereich von
13 (5 ,9 )Foot area of13 (5 .9 ) - 2121
-
Kopfbereich von
13 (5 ,9 )Head area of13 (5 .9 ) - 2222
-
Folie auf
2 Slide on2 - 2323
- Bandstrukturband structure
- 2424
-
nicht mit 5 bedeckter Flächenanteil von
23 not covered with 5 area fraction of23 - II
-
erster Verfahrensschritt (
2 )first step (2 ) - IIII
-
zweiter Verfahrensschritt (
2 )second step (2 ) - IIIIII
-
dritter Verfahrensschritt (
2 )third process step (2 ) - IVIV
-
vierter Verfahrensschritt (
2 )fourth step (2 ) - VV
-
fünfter Verfahrensschritt (
2 )fifth procedural step (2 ) - VIVI
-
sechster Verfahrensschritt (
2 )sixth process step (2 ) - VIIAVIIA
-
siebter Verfahrensschritt, erste Variante (
2 )seventh process step, first variant (2 ) - VIIBVIIB
-
siebter Verfahrensschritt, zweite Variante (
2 )seventh process step, second variant (2 ) - VIICVIIC
-
siebter Verfahrensschritt, dritte Variante (
2 )seventh process step, third variant (2 ) - VIIIVIII
-
achter Verfahrensschritt (
2 )eighth process step (2 ) - IXIX
-
neunter Verfahrensschritt (
2 )ninth process step (2 ) - A1, A2, A3A1, A2, A3
- Bandabschnitte von HZBand sections of HZ
- B1, B2, B3B1, B2, B3
- Trennstellen von HZSeparation points of HZ
- BLRBLR
- BandlaufrichtungTape direction
- DD
- Dicke von HZThickness of HZ
- e– e -
- Stromflusscurrent flow
- HH
- Höhe vonHeight of
- HZHZ
- HalbzeugWorkpiece
- HZ1HZ1
- erste Ausführung von HZfirst execution of HZ
-
HZ2
HZ 2 - zweite Ausführung von HZsecond execution of HZ
- HZ3AHZ3A
- erste Variante der dritten Ausführung von HZfirst variant of the third version of HZ
- HZ3BHZ3B
- zweite Variante der dritten Ausführung von HZsecond variant of the third version of HZ
- HZ4AHZ4A
- erste Variante der vierten Ausführung von HZfirst variant of the fourth version of HZ
- HZ4BHZ4B
- zweite Variante der dritten Ausführung von HZsecond variant of the third version of HZ
- HZ4CHZ4C
- dritte Variante der vierten Ausführung von HZthird variant of the fourth version of HZ
- K1K1
-
erste Kontaktierung von
1 (an3 )first contact of1 (at3 ) - K2K2
-
zweite Kontaktierung von
1 (an4 )second contact of1 (at4 ) - MM
-
Mittenebene von
1 Middle level of1 - QRQR
- Querrichtung (orthogonal zu BLR)Transverse direction (orthogonal to BLR)
- TETE
-
Richtung der Lichtemission aus
1 Direction of thelight emission 1
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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Zitierte PatentliteraturCited patent literature
- WO 2009/021741 A2 [0003, 0003] WO 2009/021741 A2 [0003, 0003]
Zitierte Nicht-PatentliteraturCited non-patent literature
- DIN EN ISO 4287 [0048] DIN EN ISO 4287 [0048]
- DIN EN ISO 4288 [0048] DIN EN ISO 4288 [0048]
Claims (23)
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-
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Legal Events
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R016 | Response to examination communication | ||
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