DE102010047397A1 - Optical device e.g. organic LED, has insulator that is arranged on bottom electrode layer at side of functional layer stack such that top electrode layer is formed on insulator and functional layer stack - Google Patents

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Dr. Ziegler Stefan
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Abstract

The optical device (1) has a layer laminate (2) having bottom and top electrode layers (3,4) on a metallic layer (10) formed on a substrate (9). A stack (5) having functional layers (6-8) is arranged between the electrode layers. An insulator (13) consisting of an electrically non-conductive material is arranged on the bottom electrode layer at the side of the functional layer stack such that the top electrode layer is formed on the insulator and functional layer stack. Independent claims are included for the following: (1) method for manufacturing of optical device; and (2) semi-finished product used during manufacturing of optical device.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein optisches Bauelement, insbesondere eine organische Leuchtdiode (”organic light emitting diode”, im Weiteren OLED), mit einem Schichtsystem, welches mindestens

  • – zwei elektrisch leitende Elektrodenschichten, von denen die eine Elektrodenschicht eine Bodenelektrode und die andere Elektrodenschicht eine Deckelektrode bildet, und
  • – einen zwischen den Elektrodenschichten angeordneten Stapel aus Funktionsschichten
umfasst, und mit einem Substrat, das mindestens eine metallische Schicht enthält.The present invention relates to an optical component, in particular an organic light emitting diode ("organic light emitting diode", hereinafter OLED), with a layer system, which at least
  • Two electrically conductive electrode layers, of which one electrode layer forms a bottom electrode and the other electrode layer forms a cover electrode, and
  • - A arranged between the electrode layers stack of functional layers
and a substrate containing at least one metallic layer.

OLEDs mit einem derartigen strukturellen Aufbau sind bekanntermaßen mit Vorteil insbesondere für Bildschirme und Displays, aber auch für eine großflächige Raumbeleuchtung einsetzbar. Ihre Wirkungsweise basiert darauf, dass bestimmte Polymere Licht emittieren, sobald sie sich in einer Sandwich-Struktur aus verschiedenen leitfähigen Schichten befinden, an die eine Spannung anlegt wird.As is known, OLEDs with such a structural design can advantageously be used in particular for screens and displays, but also for large-area room lighting. Their mode of action is based on the fact that certain polymers emit light as soon as they are in a sandwich structure made of different conductive layers to which a voltage is applied.

Ein optisches Bauelement der vorstehend beschriebenen Art ist als eine Ausführungsform der in der WO 2009/021741 A2 beschriebenen organischen elektronischen Bauelemente bekannt. Die WO 2009/021741 A2 beschäftigt sich in erster Linie mit der Realisierung einer Kühlung von OLEDs und gleichartig aufgebauten organischen Solarzellen. Dabei ist unter Bezugnahme auf 2 des Dokuments ein organisches elektronisches Bauelement mit einem Träger beschrieben, der aus einem flexiblen Foliensubstrat besteht, welches eine Kühlfunktion erfüllen und metallisiert sein kann. Spezielle Hinweise zur Herstellungsart des Bauelements mit dem flexiblen Träger sind dem Dokument nicht zu entnehmen.An optical device of the type described above is as an embodiment of the in the WO 2009/021741 A2 described organic electronic components known. The WO 2009/021741 A2 is primarily concerned with the realization of a cooling of OLEDs and similarly structured organic solar cells. It is with reference to 2 of the document describes an organic electronic component with a carrier consisting of a flexible film substrate which can perform a cooling function and be metallized. Special notes on the production of the device with the flexible support are not apparent from the document.

Die vorliegende Erfindung betrifft des Weiteren ein Verfahren zur Herstellung von optischen Bauelementen, insbesondere von organischen Leuchtdioden, welches eine, in einem kontinuierlichen Rolle-zu-Rolle-Prozess erfolgende Aufbringung eines Schichtsystems auf ein bandförmiges Substrat umfasst, das mindestens eine metallische Schicht enthält, wobei das Schichtsystem mindestens zwei elektrisch leitende Elektrodenschichten, von denen die eine Elektrodenschicht eine Bodenelektrode und die andere Elektrodenschicht eine Deckelektrode bildet, und einen zwischen den Elektrodenschichten angeordneten Stapel aus Funktionsschichten umfasst.The present invention furthermore relates to a method for producing optical components, in particular organic light-emitting diodes, which comprises applying, in a continuous roll-to-roll process, a layer system to a strip-shaped substrate which contains at least one metallic layer the layer system comprises at least two electrically conductive electrode layers, of which one electrode layer forms a bottom electrode and the other electrode layer forms a cover electrode, and a stack of functional layers arranged between the electrode layers.

Schließlich betrifft die vorliegende Erfindung ein Halbzeug eines derartigen Herstellungsverfahrens.Finally, the present invention relates to a semi-finished product of such a manufacturing method.

Ein großer Vorteil von OLEDs besteht insbesondere darin, dass diese – wenn das Substrat nicht aus Glas, sondern aus einem Kunststoff, wie PET (Polyethylentherephthalat), Zellulosetriazetat, PEN (Polyethylennaphthenat), und/oder aus einem Metall, wie einer band- oder blattförmigen Aluminium-, Kupfer- oder Edelstahlfolie, besteht – als flexible opto-elektronische Bauteile ausgeführt werden können. Damit sind nicht nur zahlreiche anwendungstechnische Vorteile verbunden, sondern es besteht auch die Möglichkeit, die Bauteile in einem kontinuierlichen und daher kostengünstigen Rolle-zu-Rolle-Verfahren (”coil-to-coil-process”) zu fertigen.A major advantage of OLEDs is, in particular, that if the substrate is not made of glass, but of a plastic such as PET (polyethylene terephthalate), cellulose triacetate, PEN (polyethylene naphthenate), and / or of a metal such as a ribbon or sheet Aluminum, copper or stainless steel foil, consists - as flexible opto-electronic components can be executed. Not only are numerous application advantages associated with this, but it is also possible to produce the components in a continuous and therefore cost-effective roll-to-roll process ("coil-to-coil process").

Die genannten Anwendungsgebiete der organischen Bauelemente setzen insbesondere für eine Kontaktierung der Schichten eine Schichtenstrukturierung voraus, die über unterschiedliche Strukturierungsverfahren, wie beispielsweise Sputtern über Masken, Lithographie, Drucken usw. realisiert werden kann. Dabei sind bei einer selektiven Strukturierung, wie sie insbesondere bekanntermaßen zum partiellen Abtrag einer Anoden-Schicht eingesetzt werden kann, Strukturierungsprozesse bekannt, für die unter Berücksichtigung von Erfahrungen aus der Fotovoltaik verschiedene Fertigungskonzepte entwickelt und schon in der industriellen Praxis umgesetzt wurden.The mentioned fields of application of the organic components require, in particular for a contacting of the layers, a layer structuring which can be realized via different structuring methods, such as, for example, sputtering over masks, lithography, printing and the like. Here, in a selective structuring, as can be used in particular for the partial removal of an anode layer, structuring processes are known for which, taking into account experience from photovoltaics different manufacturing concepts have been developed and implemented in industrial practice.

So kann in einem kontinuierlichen Rolle-zu-Rolle-Verfahren für eine Strukturierung von Schichten, die mittels einer Vakuumbeschichtung aufgebracht werden, vorgesehen sein, während des Beschichtungsprozesses in Bandlaufrichtung eine Abdeckung des Bandes mittels geeigneter Blenden bzw. Masken vorzunehmen.Thus, in a continuous roll-to-roll process for patterning of layers which are applied by means of a vacuum coating, provision may be made for masking the tape during the coating process in the strip running direction by means of suitable masks.

Als ein einfaches und effektives Verfahren hat sich auch eine Strukturierung der Schichten mittels Laser erwiesen. Hierbei gibt es Verfahren, welche auf der Grundlage einer Maskenprojektion, also einer partiellen Abdeckung der Oberfläche mit Masken aus laserbeständigem Material, sehr gute Ergebnisse erzielen. Bei der Schichtablation durch den Laserstrahl wird dabei insbesondere in einem sogenannten ”Ein-Schuss-Modus” gearbeitet, bei dem z. B. eine Indium-Zinn-Oxid-Schicht mit nur einem Laserpuls abgetragen werden kann und der sowohl in einem periodisch arbeitenden Batch-, als auch in einem kontinuierlichen Rolle-zu-Rolle-Verfahren anwendbar ist.As a simple and effective method has also been a structuring of the layers by laser. There are methods that achieve very good results on the basis of a mask projection, ie a partial coverage of the surface with masks made of laser-resistant material. In the Schichtablation by the laser beam is worked in particular in a so-called "one-shot mode" in which z. B. an indium tin oxide layer can be removed with only one laser pulse and which is applicable both in a periodically operating batch, as well as in a continuous roll-to-roll process.

Das größte technische Problem bei OLEDs stellt die geringe Lebensdauer mancher der zur Herstellung der Bauelemente einzusetzenden organischen Materialien dar. Dies ist unter anderem darauf zurückzuführen, dass sich einige der als Lichtemitter eingesetzten elektrolumineszenten Materialien leicht unter dem Einfluss von Wasser oder Sauerstoff verändern, was zu signifikanten Schädigungen bis zur vollständigen Zerstörung der Bauteile führen kann. Auch in den Kathoden der bekannten optischen Bauelemente eingesetzte reaktive Metalle können unter Sauerstoff- und Wassereinfluss korrosiv angegriffen werden. Daher erfordern derartige Bauteile eine Verkapselung mit geringen Permeationsraten für Feuchtigkeit und Sauerstoff.The biggest technical problem with OLEDs is the low lifetime of some of the organic materials used to fabricate the devices. This is due, among other things, to some of the electroluminescent materials used as light emitters changing slightly under the influence of water or oxygen, resulting in significant Damage can lead to the complete destruction of the components. Even in the cathodes of the known optical components used reactive metals can be corrosively attacked under the influence of oxygen and water. Therefore, such devices require encapsulation with low moisture and oxygen permeation rates.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein optisches Bauelement der eingangs beschriebenen Art, insbesondere eine organische Leuchtdiode OLED, und ein Herstellungsverfahren der eingangs beschriebenen Art sowie ein Halbzeug zum Einsatz in einem derartigen Verfahren zu schaffen, wobei bei einer einfachen Herstellungsweise des Bauelements eine erhöhte Lebensdauer des Bauelements gewährleistet sein soll.The present invention has for its object to provide an optical device of the type described above, in particular an organic light emitting diode OLED, and a manufacturing method of the type described above and a semi-finished for use in such a method, wherein in a simple method of manufacturing the device an increased Life of the device should be guaranteed.

Erfindungsgemäß wird dies für das optische Bauelement dadurch erreicht, dass auf die die Bodenelektrode bildende Elektrodenschicht mindestens eine aus einem elektrisch nichtleitenden Material bestehende Isolatorbahn aufgebracht ist, welche den Stapel aus Funktionsschichten und die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht zumindest teilweise seitlich begrenzt.According to the invention, this is achieved for the optical component by applying to the electrode layer forming the bottom electrode at least one insulator path consisting of an electrically nonconducting material which laterally delimits at least part of the stack of functional layers and the electrode layer forming the cover electrode.

Erfindungsgemäß wird dies für das Verfahren dadurch erreicht, dass zunächst die die Bodenelektrode bildende Elektrodenschicht zumindest auf einer Teilfläche auf dem Substrat aufgebracht wird, danach auf diese Elektrodenschicht in Querrichtung des Bandes des Substrates Isolatorbahnen aus einem elektrisch nichtleitenden Material strukturiert werden, anschließend auf die Elektrodenschicht und die Isolatorbahnen der Stapel aus Funktionsschichten und die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht aufgebracht werden und schließlich die die Topektrode bildende Elektrodenschicht und der Stapel aus Funktionsschichten in einem Bereich über den Isolatorbahnen bis auf die Oberfläche der Isolatorbahnen hin abgetragen werden. Die Abtragung kann dabei bevorzugt mittels Laserstrahlung erfolgen.According to the invention, this is achieved for the method in that first the electrode layer forming the bottom electrode is applied to the substrate at least on a partial surface, then insulator webs of an electrically non-conductive material are patterned onto this electrode layer in the transverse direction of the tape of the substrate, then onto the electrode layer and the insulator paths of the stacks of functional layers and the electrode layer forming the cover electrode are applied, and finally the electrode layer forming the top electrode and the stack of functional layers are removed in a region over the insulator paths down to the surface of the insulator paths. The removal can be carried out preferably by means of laser radiation.

Erfindungsgemäße Bauelemente sind mit Vorteil durch das erfindungsgemäße Verfahren herstellbar, das eine kontinuierlichen Rolle-zu-Rolle-Prozess erfolgende Aufbringung auf das bandförmige ausgebildete Substrat und eine technologisch einfach zu realisierende Strukturierung des Schichtsystems umfasst. Dabei ist jedes erfindungsgemäße Bauelement in optimaler Weise, dadurch, dass die Isolatorbahnen den Stapel aus Funktionsschichten und die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht seitlich begrenzen und diese daher weder bei der Herstellung, noch im Fertigprodukt randseitig offen liegen, vor korrosiven Einflüssen geschützt. Außerdem verhindern die Isolatorbahnen mit Vorteil beim Einsatz eines erfindungsgemäßen Bauelements das Entstehen von Kurzschlussströmen zwischen den Elektroden. Dies gewährleistet eine erhöhte Lebensdauer.Components according to the invention can advantageously be produced by the method according to the invention, which comprises a continuous roll-to-roll process applied to the strip-shaped substrate and a structuring of the layer system that is technologically easy to implement. In this case, each component according to the invention is optimally protected from corrosive influences by virtue of the fact that the insulator paths laterally delimit the stack of functional layers and the electrode layer forming the cover electrode, and these are therefore not exposed at the edge during manufacture or in the finished product. In addition, the isolator tracks advantageously prevent the occurrence of short-circuit currents between the electrodes when a component according to the invention is used. This ensures an increased life.

Entsprechend einer Herstellung durch das erfindungsgemäße Verfahren kann das erfindungsgemäße Bauelement bevorzugt seitliche, insbesondere durch einen Trennprozess zur Heraustrennung des Bauteils aus der Rolle gebildete, Kantenflächen aufweisen, die jeweils entlang des Substrates, der die Bodenelektrode bildenden Elektrodenschicht und der auf dieser Elektrodenschicht aufgebrachten Isolatorbahn verlaufenAccording to production by the method according to the invention, the component according to the invention may preferably have lateral edge surfaces formed in particular by a separation process for separating the component from the roll, which run along the substrate, the electrode layer forming the bottom electrode and the insulator path applied to this electrode layer

Ein vorzugsweise zur Herstellung eines erfindungsgemäßen optischen Bauelements in einem erfindungsgemäßen Verfahren einsetzbares erfindungsgemäßes Halbzeug zeichnet sich dadurch aus, dass es ein bandförmiges Substrat umfasst, das mindestens eine metallische Schicht enthält, wobei auf dem Substrat ein eine Bodenelektrode bildende Elektrodenschicht aufgebracht ist, auf der in Querrichtung des Bandes des Substrates Isolatorbahnen aus einem elektrisch nichtleitenden Material strukturiert sind.A semi-finished product according to the invention that can preferably be used for producing an optical component according to the invention in a method according to the invention is characterized in that it comprises a strip-shaped substrate which contains at least one metallic layer, wherein an electrode layer forming a bottom electrode is applied to the substrate, on which in the transverse direction of the band of the substrate insulator tracks are structured from an electrically non-conductive material.

Dabei kann in einer weiter fortgeschrittenen Fertigungsstufe des Halbzeugs – insbesondere entsprechend dem Prozessablauf des erfindungsgemäßen Verfahrens – sowohl auf der die Bodenelektrode bildenden Elektrodenschicht zwischen den Isolatorbahnen, als auch auf den Isolatorbahnen der Stapel aus Funktionsschichten und die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht aufgebracht sein.In this case, in a further advanced manufacturing stage of the semifinished product - in particular according to the process flow of the method according to the invention - the stack of functional layers and the electrode layer forming the cover electrode can be applied both on the electrode layer forming the bottom electrode between the insulator paths and on the insulator paths.

In einer noch weiter fortgeschrittenen Fertigungsstufe des Halbzeugs können der Stapel aus Funktionsschichten und die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht zwischen den Isolatorbahnen auf der die Bodenelektrode bildenden Elektrodenschicht – und insbesondere ausschließlich dort – aufgebracht sein.In an even more advanced manufacturing stage of the semifinished product, the stack of functional layers and the electrode layer forming the cover electrode can be applied between the insulator paths on the electrode layer forming the bottom electrode-and in particular exclusively there.

Weitere vorteilhafte Ausführungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen und in der nachfolgenden detaillierten Beschreibung enthalten.Further advantageous embodiments of the invention are contained in the subclaims and in the following detailed description.

Anhand von durch die beiliegenden Zeichnungen veranschaulichten Ausführungsbeispielen und deren Varianten wird die Erfindung näher erläutert. Dabei zeigen:On the basis of illustrated by the accompanying drawings embodiments and their variants, the invention will be explained in more detail. Showing:

1 eine perspektivische Teilansicht auf eine Stirnseite eines als OLED ausgeführten erfindungsgemäßen Bauelementes, 1 3 a perspective partial view of a front side of a component according to the invention designed as an OLED,

2 ein Blockschaltbild der erfindungswesentlichen sowie von optionalen Prozessstufen eines erfindungsgemäßen Verfahrens, 2 a block diagram of the invention essential as well as optional process steps of a method according to the invention,

3 eine Aufsicht auf eine Ausführung eines erfindungsgemäßen Halbzeugs, 3 a plan view of an embodiment of a semifinished product according to the invention,

4 eine Schnittdarstellung der in 3 gezeigten Ausführung eines erfindungsgemäßen Halbzeugs entlang der Linie IV-IV in 3, 4 a sectional view of in 3 shown embodiment of a semifinished product according to the invention along the line IV-IV in 3 .

5 eine perspektivische Teilansicht einer weiteren Ausführung eines erfindungsgemäßen Halbzeugs, 5 3 a perspective partial view of a further embodiment of a semifinished product according to the invention,

6 eine im Maßstab veränderte Querschnittdarstellung des in 1 gezeigten erfindungsgemäßen Bauelements gemäß einem Schnitt durch dessen Mittenebene M in einer Ansicht entsprechend den Pfeilen VI-VI in 1, 6 a scale cross-sectional view of the in 1 shown component according to a section through the center plane M in a view corresponding to the arrows VI-VI in 1 .

7 und 8 schematisierte perspektivische Ansichten von weiteren Ausführungen eines erfindungsgemäßen Halbzeugs, 7 and 8th schematic perspective views of further embodiments of a semifinished product according to the invention,

9 eine Seitenansicht einer Variaton der Ausführung eines erfindungsgemäßen Halbzeugs nach der Art von 8, 9 a side view of a variant of the execution of a semifinished product according to the invention in the manner of 8th .

10 und 11 eine Seitenansicht der Ausführung eines erfindungsgemäßen Halbzeugs, mit Darstellung von zwei Varianten der Fertigungsschritte, durch die ein Halbzeug nach der Art von 7 in ein Halbzeug nach der Art von 8 und schließlich in ein erfindungsgemäßes Bauteil überführt werden kann, 10 and 11 a side view of the execution of a semifinished product according to the invention, with representation of two variants of the manufacturing steps, by a semi-finished by the type of 7 into a semi-finished product of the type of 8th and finally can be converted into a component according to the invention,

12 einen Querschnitt durch eine weitere Ausführung eines erfindungsgemäßen Bauelements in einer Darstellung analog zu 6. 12 a cross-section through another embodiment of a device according to the invention in a representation analogous to 6 ,

In den Figuren der Zeichnung sind dieselben und einander entsprechende Teile mit denselben Bezugszeichen versehen, so dass sie auch jeweils nur einmal beschrieben werden.In the figures of the drawing, the same and corresponding parts are provided with the same reference numerals, so that they are also described only once.

Wie zunächst aus 1 hervorgeht, umfasst ein erfindungsgemäßes optisches Bauelement 1, bei dem es sich – wie dargestellt – insbesondere um eine organische Leuchtdiode 1 – OLED – handeln kann, ein Schichtsystem 2, welches mindestens zwei elektrisch leitende Elektrodenschichten 3, 4 enthält, von denen eine Elektrodenschicht 3 eine Bodenelektrode und die andere Elektrodenschicht 4 eine Deckelektrode bildet, und einen zwischen den Elektrodenschichten 3, 4 angeordneten Stapel 5 aus Funktionsschichten 6, 7, 8. Das Schichtsystem 2 befindet sich auf einem unterhalb der Bodenelektrode angeordneten Substrat 9, das mindestens eine metallische Schicht 10 enthält. Das Substrat 9 kann bevorzugt verformungsfähig und dazu insbesondere elastisch biegbar sein.As first off 1 shows, includes an inventive optical component 1 in which - as shown - in particular an organic light emitting diode 1 - OLED - can act, a shift system 2 which comprises at least two electrically conductive electrode layers 3 . 4 contains, of which an electrode layer 3 a bottom electrode and the other electrode layer 4 forms a cover electrode, and one between the electrode layers 3 . 4 arranged stacks 5 from functional layers 6 . 7 . 8th , The shift system 2 is located on a substrate arranged below the bottom electrode 9 containing at least one metallic layer 10 contains. The substrate 9 may preferably be deformable and in particular elastically bendable.

Bei der exemplarisch dargestellten erfindungsgemäßen Ausführung handelt es sich im Besonderen um eine sogenannte invertierte OLED-Struktur, bei der nur eine sogenannte ”top emission” TE des Lichtes auf der dem Substrat 9 abgewandten Seite erfolgt. Solche Strukturen werden z. B. für Aktiv-Matrix-Displays benötigt, die nicht transparente Substrate 9 aufweisen, die also beispielsweise – wie gezeigt – eine metallische Schicht 10 im Substrat 9 aufweisen. Zur Herstellung von invertierten OLEDs erfolgt dabei die Schichtaufbringung auf dem Substrat 9 – wie in 1 im Ergebnis gezeigt – invers im Vergleich mit den üblichen, nicht invertierten OLEDs, insbesondere in einer, nachstehend noch genauer erläuterten Reihenfolge Kathode, ETL, EML, HTL, Anode, wobei in dem Schichtsystem 2 zusätzliche Zwischenschichten vorgesehen sein können.The exemplified embodiment according to the invention is in particular a so-called inverted OLED structure in which only a so-called "top emission" TE of the light on the substrate 9 turned away side. Such structures are z. B. for active matrix displays needed, the non-transparent substrates 9 Thus, for example, which - as shown - a metallic layer 10 in the substrate 9 exhibit. To produce inverted OLEDs, the layer deposition takes place on the substrate 9 - as in 1 in the result shown - inverse in comparison with the usual, non-inverted OLEDs, in particular in a sequence, explained in more detail below, cathode, ETL, EML, HTL, anode, wherein in the layer system 2 additional intermediate layers can be provided.

Zur Herstellung des Schichtsystems 2 wird auf das Substrat 9, erfindungsgemäß bevorzugt im Hochvakuum, als die Elektrodenschicht 3, welche die Bodenelektrode bildet, eine kathodische Schicht aufgedampft, die aus dem nahezu transparenten, halbleitenden Indium-Zinn-Oxid (”indium tin oxide” – ITO), aus mit Aluminum dotiertem Zinkoxid (”aluminium-doped zinc oxide” – AZO), aus Silber, Aluminium und/oder aus einem anderen Metall bzw. einer Legierung mit geringer Elektronenaustrittsarbeit, wie z. B. Kalzium, Barium, Ruthenium oder einer Magnesium-Silber-Legierung, bestehen kann. Die Kathode, die im Rahmen der Erfindung nicht transparent sein muss, dient zur Injektion von Elektronen als negativen Ladungsträgern.For the production of the layer system 2 gets on the substrate 9 , According to the invention preferably in a high vacuum, as the electrode layer 3 forming the bottom electrode, a cathodic layer deposited from the nearly transparent, indium tin oxide (ITO) oxide of aluminum-doped zinc oxide (AZO), made of silver, aluminum and / or another metal or an alloy with low electron work function, such as. As calcium, barium, ruthenium or a magnesium-silver alloy, may exist. The cathode, which need not be transparent in the context of the invention, serves to inject electrons as negative charge carriers.

Auf die Kathode wird dann eine Elektronenleitungsschicht 8 (”electron transport layer” – ETL) aufgebracht, die aus einem n-Halbleiter besteht. N-Halbleiter entstehen dadurch, dass durch den Einbau eines Donatoratoms in eine Kristallstruktur, z. B. durch den Einbau von fünfwertigem Phosphor in vierwertiges Silicium, darin freie bewegliche Elektronen zwischen ortsfesten positiv geladenen Atomrümpfen auftreten.The cathode then becomes an electron conduction layer 8th ("Electron transport layer" - ETL) applied, which consists of an n-type semiconductor. N-type semiconductors are formed by the incorporation of a donor atom into a crystal structure, e.g. For example, by the incorporation of pentavalent phosphorus in tetravalent silicon, free mobile electrons occur between stationary positively charged atomic fuselages.

Auf die ETL 8 wird eine Schicht 7 aufgebracht, die entweder mindestens einen Farbstoff enthält oder auch vollständig aus mindestens einem Farbstoff, wie z. B. Aluminium-tris(8-hydroxychinolin), der auch als Alq3 bezeichnet wird, bestehen kann. Diese Schicht 7 bezeichnet man als Lichtemissions- oder Emitterschicht 7 (”emitter layer” – EML). Sie stellt die eigentliche organische Schicht dar, nach der die OLED ihren Namen hat.On the ETL 8th becomes a layer 7 applied, which either contains at least one dye or completely from at least one dye, such as. As aluminum tris (8-hydroxyquinoline), which is also referred to as Alq3 may exist. This layer 7 is referred to as a light emission or emitter layer 7 ("Emitter layer" - EML). It is the actual organic layer that gives the OLED its name.

Auf die EML 7 wird eine Lochleitungsschicht 6 (”hole transport layer” HTL) aufgebracht, die aus einem p-Halbleiter besteht. P-Halbleiter entstehen dadurch, dass durch den Einbau eines Akzeptoratoms in eine Kristallstruktur, z. B. durch den Einbau von dreiwertigem Bor in vierwertiges Silicium, darin freie bewegliche, positiv geladene Löcher zwischen ortsfesten negativ geladenen Atomrümpfen auftreten.On the EML 7 becomes a hole-line layer 6 ("Hole transport layer" HTL) applied, which consists of a p-type semiconductor. P-type semiconductors are formed by the incorporation of an acceptor atom into a crystal structure, e.g. B. by the incorporation of trivalent boron in tetravalent silicon, free therein Movable, positively charged holes occur between stationary negatively charged atomic hulls.

Zum Abschluss wird als die Elektrodenschicht 4, welche die Deckelektrode bildet, eine transparente bzw. zur Gewährleistung der Lichtemission TE zumindest teiltransparente anodische Schicht aufgedampft, die ebenfalls aus ITO, AZO und/oder aus einem der genannten Metalle bzw. Legierungen bestehen kann. Die Anode stellt positive Ladungen bereit, die sich als die Löcher durch die HTL 6 bewegen.In conclusion, as the electrode layer 4 , which forms the cover electrode, a transparent or to ensure the light emission TE at least partially transparent anodic vapor-deposited, which may also consist of ITO, AZO and / or one of the metals or alloys mentioned. The anode provides positive charges, posing as the holes through the HTL 6 move.

Beim Anlegen einer Spannung gelangen die von der Anode ausgehenden Löcher und die von der Kathode ausgehenden Elektronen aufeinander zu und treffen sich in der EML 7, weshalb diese Schicht 7 auch Rekombinationsschicht genannt wird. Elektronen und Löcher bilden darin einen angeregten Zustand aus, der zu einer Lichtemission führt. Die Farbe des ausgesandten Lichts hängt dabei vom Energieabstand zwischen dem angeregtem und einem Grundzustand des Farbstoffs ab und kann durch Variation der Farbstoffmoleküle gezielt verändert werden. Das Licht gelangt durch die transparenten Schichten nach außen und wird im Schichtaufbau nach oben und/oder nach unten – dort durch das in der Schichtfolge zuunterst liegende Substrat 9 – emittiert. Je nach der Richtung der Lichtauskopplung spricht man von der sogenannten ”top emission” TE oder von einer ”bottom emission”. Letztere kann bei einem nicht transparenten Substrat 9 nicht stattfinden.When a voltage is applied, the holes emanating from the anode and the electrons emanating from the cathode come towards each other and meet in the EML 7 why this layer 7 also recombination layer is called. Electrons and holes form an excited state in this, which leads to a light emission. The color of the emitted light depends on the energy gap between the excited and a ground state of the dye and can be selectively changed by varying the dye molecules. The light passes through the transparent layers to the outside and is in the layer structure up and / or down - there by the lowest in the layer sequence lying substrate 9 - emitted. Depending on the direction of the light extraction one speaks of the so-called "top emission" TE or of a "bottom emission". The latter can be with a non-transparent substrate 9 not take place.

Zwischen der anodischen Elektrodenschicht 4 und der HTL 6 kann in dem Stapel 5 aus den Funktionsschichten 6, 7, 8 optional zusätzlich eine sogenannte Elektronen-Blockerschicht, wie eine Schicht aus Poly-3,4-ethylendioxythiophen (PEDOT) in Kombination mit Polystyrolsulfonat (PSS) vorgesehen sein, die zur Absenkung der Injektionsbarriere für die Löcher dient und die auch die Eindiffusion von Indium in die HTL 6 verhindert.Between the anodic electrode layer 4 and the HTL 6 can in the stack 5 from the functional layers 6 . 7 . 8th optionally in addition a so-called electron blocker layer, such as a layer of poly-3,4-ethylenedioxythiophene (PEDOT) in combination with polystyrene sulfonate (PSS) can be provided, which serves to lower the injection barrier for the holes and also the indiffusion of indium in the HTL 6 prevented.

Zwischen der kathodischen Elektrodenschicht und der ETL 8 kann in dem Stapel 5 aus den Funktionsschichten 6, 7, 8 optional zusätzlich eine sogenannte Löcher-Blockerschicht zur Minderung der Injektionsbarriere für Elektronen als eine sehr dünne Schicht aus Lithiumfluorid, Zäsiumfluorid oder Silber aufgedampft werden.Between the cathodic electrode layer and the ETL 8th can in the stack 5 from the functional layers 6 . 7 . 8th Optionally, a so-called hole blocking layer to reduce the injection barrier for electrons are deposited as a very thin layer of lithium fluoride, cesium fluoride or silver.

Schließlich kann sich auf der anodischen Top-Elektrodenschicht 4 zusätzlich eine (nicht dargestellte) Lichtauskopplungsschicht befinden.Finally, on top of the anodic electrode layer 4 additionally a light-outcoupling layer (not shown).

Das Substrat 9 kann einschichtig oder bevorzugt mehrschichtig aufgebaut sein. So kann, wie aus 1 hervorgeht, zur Einebnung eines rauen Substrats 9 auf der Oberfläche 14a metallischen Schicht 10 eine gleichzeitig isolierend wirkende Einebnungsschicht 11 vorhanden sein, die typischerweise aus einem Lack, wie z. B. einer, ein Sol-Gel-System oder ein Acrylat enthaltenden Lackformulierung, bestehen kann. Die Schicht kann beispielsweise in einem – vorteilhafterweise auch im Vakuum auszuführenden – Druckverfahren appliziert werden.The substrate 9 may be single-layered or preferably multi-layered. So how can 1 results in leveling a rough substrate 9 on the surface 14a metallic layer 10 a simultaneously isolating leveling layer 11 be present, which typically consists of a paint, such. As one, a sol-gel system or an acrylate-containing paint formulation can exist. The layer can be applied, for example, in a printing method, which is advantageously also carried out in a vacuum.

Wie ebenfalls durch 1 veranschaulicht wird, ist erfindungsgemäß vorgesehen, dass das Bauelement 1 seitliche Trennkantenflächen 12 aufweist, die jeweils durch das Substrat 9, die die Bodenelektrode bildende Elektrodenschicht 3 und eine auf dieser Elektrodenschicht 3 aufgebrachte, aus einem elektrisch nichtleitenden Material bestehende Isolatorbahn 13 verlaufen. Die Isolatorbahn 13 begrenzt dabei ihrerseits seitlich den Stapel 5 aus Funktionsschichten 6, 7, 8 und die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht 4.As well as through 1 is illustrated, the invention provides that the device 1 lateral separating edge surfaces 12 each through the substrate 9 , the electrode electrode forming the bottom electrode 3 and one on this electrode layer 3 applied, consisting of an electrically non-conductive material insulator path 13 run. The isolator track 13 For its part, it limits the stack laterally 5 from functional layers 6 . 7 . 8th and the electrode layer forming the top electrode 4 ,

Hierbei ist es im Sinne der Gewährleistung einer hohen Lebensdauer des erfindungsgemäßen Bauelements 1, insbesondere der durch Feuchtigkeit und Sauerstoff in ihrer Korrosionsbeständigkeit gefährdeten Bestandteile des Schichtsystems 2 von Vorteil, wenn die auf der bodenseitigen Elektrodenschicht 3 fußende, aus dem elektrisch nichtleitenden Material bestehende Isolatorbahn 13 spaltfrei an dem Stapel 5 aus Funktionsschichten 6, 7, 8 und an der die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht 4 anliegt.Here it is in the sense of ensuring a long life of the device according to the invention 1 , in particular the components of the layer system endangered by moisture and oxygen in their corrosion resistance 2 advantageous if the on the bottom electrode layer 3 footing, consisting of the electrically non-conductive material insulator path 13 without gaps on the stack 5 from functional layers 6 . 7 . 8th and on the electrode layer forming the cover electrode 4 is applied.

Erfindungsgemäße Bauelemente 1 sind mit Vorteil durch das erfindungsgemäße Verfahren herstellbar, das generell darin besteht, dass es eine, in einem kontinuierlichen Rolle-zu-Rolle-Prozess erfolgende Aufbringung des beschriebenen Schichtsystems 2 auf das bandförmige ausgebildete Substrat 9 umfasst, wobei zunächst die die Bodenelektrode bildende Elektrodenschicht 3 zumindest auf einer Teilfläche des Substrates 9 aufgebracht wird, danach auf diese Elektrodenschicht 3 in Querrichtung des Bandes des Substrates 9 die Isolatorbahnen 13 strukturiert werden, anschließend auf die Elektrodenschicht 3 und die Isolatorbahnen 13 der Stapel 5 aus Funktionsschichten 6, 7, 8 und die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht 4 aufgebracht werden und schließlich, insbesondere mittels Laserstrahlung, die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht 4 und der Stapel 5 aus den Funktionsschichten 6, 7, 8 in einem Bereich über den Isolatorbahnen 13 bis auf deren Oberfläche hin abgetragen werden.Inventive components 1 can advantageously be produced by the method according to the invention, which generally consists in applying the described layer system in a continuous roll-to-roll process 2 on the band-shaped substrate 9 comprising, wherein first the electrode layer forming the bottom electrode 3 at least on a partial surface of the substrate 9 is applied, then to this electrode layer 3 in the transverse direction of the band of the substrate 9 the insulator tracks 13 be structured, then on the electrode layer 3 and the insulator tracks 13 the stack 5 from functional layers 6 . 7 . 8th and the electrode layer forming the top electrode 4 be applied and finally, in particular by means of laser radiation, the electrode layer forming the top electrode 4 and the stack 5 from the functional layers 6 . 7 . 8th in an area above the isolator tracks 13 be removed down to the surface.

Die Prozessstufen des erfindungsgemäßen Verfahrens werden – einschließlich nur optional vorhandener Verfahrensschritte – anhand des in 2 dargestellten Blockschaltbildes in zwei bevorzugten Ausführungsvarianten A und B nachfolgend genauer beschrieben.The process stages of the method according to the invention are - including only optionally available process steps - based on the in 2 illustrated block diagram in two preferred embodiments A and B described in more detail below.

Variante A option A

In einem ersten, optionalen Verfahrensschritt, der durch den Kasten I in 2 repräsentiert wird, erfolgt für das Substrat 9, welches ein Metallband 10 umfasst, das typischerweise aus Aluminium, Stahl, Edelstahl, Kupfer o. ä. bestehen kann, eine Einebnung durch Aufbringung der isolierenden Schicht 11 auf die Metallschicht 10. Danach kann eine Kontrolle bzw. ein Nachweis der erfolgten Einebnung der Oberfläche 14 des Substrats 9 mittels einer Rauheitsmessung in Anlehnung an DIN EN ISO 4287 und DIN EN ISO 4288 vorgenommen werden. Der arithmetische Mittenrauwert Ra – bestimmt als das arithmetische Mittel der Beträge aller Profilwerte – sollte dann vorzugsweise kleiner als 10 nm sein, wobei die Einzelwerte der Messungen im Bereich zwischen 5 nm und 15 nm liegen sollten. Die mittlere Rautiefe Rz – bestimmt über fünf Einzelmessstrecken Ir als das arithmetische Mittel der jeweiligen Differenz der Höhe der größten Profilspitzen und der Tiefe des größten Profiltals – sollte vorzugsweise kleiner als 50 nm sein, wobei die Einzelwerte im Bereich zwischen 20 nm und 150 nm liegen sollten.In a first, optional process step, by the box I in 2 is represented takes place for the substrate 9 which is a metal band 10 comprises, which may typically consist of aluminum, steel, stainless steel, copper o. Ä., A leveling by application of the insulating layer 11 on the metal layer 10 , Thereafter, a check or proof of the completed leveling of the surface 14 of the substrate 9 by means of a roughness measurement based on DIN EN ISO 4287 and DIN EN ISO 4288 be made. The arithmetic mean roughness Ra - determined as the arithmetic mean of the magnitudes of all profile values - should then preferably be less than 10 nm, the individual values of the measurements should be in the range between 5 nm and 15 nm. The mean surface roughness Rz - determined over five individual measurement distances Ir as the arithmetic mean of the respective difference between the height of the largest profile peaks and the depth of the largest profile valley - should preferably be less than 50 nm, the individual values should be in the range between 20 nm and 150 nm ,

In einem zweiten, nicht fakultativen Verfahrensschritt, der durch den Kasten II in 2 repräsentiert wird, erfolgt die Aufbringung der die Bodenelektrode bildende Elektrodenschicht 3, die auf dem Substrat 9 abgeschieden wird. Insbesondere besteht diese Aufbringung in einer Metallisierung der Einebnungsschicht 11, die typischerweise z. B. mit Silber oder Aluminium erfolgt. In diesem Zusammenhang sei erwähnt, dass dabei zusätzlich auch eine (nicht dargestellte) Haftvermittlerschicht auf der Einebnungsschicht 11 unter der Elektrodenschicht 3 vorgesehen werden kann.In a second, not optional, step by the box II in 2 is represented, the application of the electrode electrode forming the bottom electrode takes place 3 that on the substrate 9 is deposited. In particular, this application consists in a metallization of the leveling layer 11 that typically z. B. with silver or aluminum. In this context, it should be mentioned that in addition there is also an adhesion promoter layer (not shown) on the leveling layer 11 under the electrode layer 3 can be provided.

Es wird dabei – wie dies insbesondere 4 zeigt – in dieser Variante nur ein Teil 15 der Einebnungsschicht 11 metallisiert. Für einen anderen Teil 16, wird die Metallisierung verhindert. Dies geschieht z. B. über Blenden, die insbesondere in einem Randbereich des Bandes längs zur Bandlaufrichtung eine Beschichtung verhindern. Der Pfeil BLR in 3 zeigt dabei die Bandlaufrichtung, und der Doppelpfeil QR zeigt die Querrichtung des Bandes an. Alternativ wäre allerdings auch eine vollflächige Metallisierung mit der Elektrodenschicht 3 möglich, wobei dann danach wieder in dem nicht mit der Elektrodenschicht 3 zu bedeckenden Teil 16 der Oberfläche 14 der Einebnungsschicht 11 eine nachträgliche Entfernung der Metallisierung, insbesondere mittels selektiver Laserablation, vorgenommen werden könnte.It will be there - as this particular 4 shows - in this variant, only a part 15 the leveling layer 11 metallized. For another part 16 , the metallization is prevented. This happens z. B. on panels that prevent in particular in an edge region of the tape along the strip running direction a coating. The arrow BLR in 3 shows the tape running direction, and the double arrow QR indicates the transverse direction of the tape. Alternatively, however, a full-surface metallization with the electrode layer would be 3 possible, then then again in the not with the electrode layer 3 part to be covered 16 the surface 14 the leveling layer 11 a subsequent removal of the metallization, in particular by means of selective laser ablation, could be made.

In einem dritten erfindungswesentlich vorzusehenden Verfahrensschritt, den der Kasten III in 2 symbolisiert, werden auf der die Bodenelektode bildenden Elektrodenschicht 3 in Querrichtung QR des Bandes die Isolatorbahnen 13 aus einem elektrisch nichtleitenden Material strukturiert, die z. B., wie bereits erwähnt, aus einem Lack bestehen können. Die Isolatorbahnen 13 werden nicht flächig aufgebracht und dienen insbesondere zur Erzielung einer erhabenen Struktur auf der Elektrodenschicht quer zur Bandlaufrichtung BLR. Die Isolatorbahnen 13 werden auch in einem späteren Schritt nicht vollständig entfernt, sondern verbleiben auf der Elektrodenschicht 3.In a third invention essential to be provided method step, the box III in 2 symbolizes become on the soil electrode forming electrode layer 3 in the transverse direction QR of the band the insulator tracks 13 structured from an electrically non-conductive material, the z. B., as already mentioned, may consist of a paint. The isolator tracks 13 are not applied flat and serve in particular to achieve a raised structure on the electrode layer transverse to the strip running direction BLR. The isolator tracks 13 are not completely removed in a later step, but remain on the electrode layer 3 ,

In diesem Schritt entsteht eine – gemäß der prozessualen Abfolge erste – Ausführung HZ1 eines erfindungsgemäßen Halbzeugs HZ, wie diese in 5 dargestellt ist.In this step, a first embodiment HZ1 of a semifinished product HZ according to the invention is produced, in accordance with the process sequence, as described in 5 is shown.

In einem vierten, ebenfalls als erfindungswesentlich vorzusehenden Verfahrensschritt (Kasten IV in 2) wird der Stapel 5 der Funktionsschichten 6, 7, 8 der OLED aufgebracht, wobei dabei die Elektrodenschicht 3 der Bodenelektrode nicht vollflächig bedeckt wird. Ein in 6 (und auch 1 sowie 7 und 8) gezeigter Flächenanteil 17 bleibt frei, der später einer ersten Kontaktierung K1 der OLED, nämlich der Kontaktierung der Elektrodenschicht 3 der Bodenelektrode, dient. Dies kann wiederum z. B. über Blenden erreicht werden, die eine Beschichtung in einem Randbereich des Bandes längs zur Bandlaufrichtung BLR verhindern.In a fourth, also to be provided as essential to the invention process step (box IV in 2 ) becomes the stack 5 the functional layers 6 . 7 . 8th the OLED applied, while the electrode layer 3 the bottom electrode is not completely covered. An in 6 (and also 1 such as 7 and 8th ) shown area proportion 17 remains free, the later of a first contact K1 of the OLED, namely the contacting of the electrode layer 3 the bottom electrode, serves. This can in turn z. B. can be achieved via panels that prevent coating in an edge region of the tape along the strip running direction BLR.

Im fünften Verfahrensschritt, für den der Kasten V in 2 steht, wird die Elektrodenschicht 4 der Deckelektrode auf den Stapel 5 der Funktionsschichten 6, 7, 8 der OLED aufgebracht, wobei die Elektrodenschicht 3 der Bodenelektrode gar nicht und der Stapel 5 nicht vollflächig bedeckt wird. Auch hier kann ein in 6 (und auch 1 sowie 7 und 8) gezeigter Fächenanteil 18 durch die Verwendung von Blenden, die eine Beschichtung in einem Randbereich des Bandes längs zur Bandlaufrichtung BLR verhindern, freigehalten werden.In the fifth process step, for which the box V in 2 stands, the electrode layer becomes 4 the cover electrode on the stack 5 the functional layers 6 . 7 . 8th the OLED is applied, the electrode layer 3 the bottom electrode not at all and the stack 5 is not completely covered. Again, an in 6 (and also 1 such as 7 and 8th ) shown Fächenanteil 18 be kept free by the use of screens, which prevent a coating in an edge region of the tape along the strip running direction BLR.

In diesem Schritt entsteht eine – gemäß der prozessualen Abfolge zweite – Ausführung HZ2 eines erfindungsgemäßen Halbzeugs HZ, wie diese in 7 dargestellt ist.In this step arises - according to the process sequence second - execution HZ2 a semifinished product HZ according to the invention, as these in 7 is shown.

Der sechste Verfahrensschritt – veranschaulicht durch den Kasten VI in 2 – sieht ein Aufteilen des Endlosbandes in strukturierte Abschnitte A1, A2, A3 ... vor (siehe 3), indem z. B. über eine Laserablation der Deckelektrodenschicht 4 und des Stapels 5 der Funktionsschichten 6, 7, 8 in den Bereichen der Isolatorbahnen 13 eine selektive Schichtentfernung erfolgt, bis die Oberfläche 19 der auf der Grundelektrode befindlichen isolierenden Schicht, also der Isolatorbahnen 13, erreicht ist.The sixth process step - illustrated by the box VI in 2 - Provides a division of the endless belt into structured sections A 1 , A 2 , A 3 ... before (see 3 ), by z. B. via a laser ablation of the cover electrode layer 4 and the pile 5 the functional layers 6 . 7 . 8th in the areas of the isolator tracks 13 a selective layer removal takes place until the surface 19 the insulating layer located on the base electrode, ie the insulator paths 13 , is reached.

In diesem Schritt entsteht so eine – gemäß der prozessualen Abfolge dritte – Ausführung HZ3A eines erfindungsgemäßen Halbzeugs HZ, wie diese in 3, sowie 8 bis 11 dargestellt ist.In this step, a HZ3A - according to the process sequence third - is created a semifinished product HZ according to the invention, like these in 3 , such as 8th to 11 is shown.

An den vierten Verfahrensschritt kann sich auch unter Auslassung des fünften Verfahrensschrittes – wie im unteren Teil von 2 gezeigt – sofort der sechste Verfahrensschritt anschließen. Wenn der fünfte Verfahrensschritt übersprungen wird, kann sich auch unter Auslassung der Aufbringung der Elektrodenschicht 4 der Deckelektrode auf den Stapel 5 der Funktionsschichten 6, 7, 8 – wie im unteren Teil von 2 gezeigt – sofort der sechste Verfahrensschritt anschließen. Dann entsteht in diesem Schritt ebenfalls eine – gemäß der prozessualen Abfolge dritte – jedoch etwas veränderte Ausführung HZ3B eines erfindungsgemäßen Halbzeugs HZ, die nicht figürlich dargestellt ist.The fourth method step may also be omitted by omitting the fifth method step - as in the lower part of FIG 2 shown - immediately connect the sixth step. If the fifth step is skipped, omission of application of the electrode layer may also occur 4 the cover electrode on the stack 5 the functional layers 6 . 7 . 8th - as in the lower part of 2 shown - immediately connect the sixth step. Then arises in this step also - according to the process sequence third - but slightly modified execution HZ3B a semifinished product HZ according to the invention, which is not shown figuratively.

9 (und auch eine der Isolatorbahnen 13 in 5) zeigt eine mögliche Querschnittsausführung der Isolatorbahnen 13, die besonders geeignet ist, einen Stromtransport e, der in Form von Kriechströmen zu einem Kurzschluss zwischen der Elektrodenschicht 4, die die Deckelektrode bildet und der Elektrodenschicht 3, die die Bodenelektrode bildet, führen könnte, effektiv zu unterbinden. Im Gegensatz zu den anderen dargestellten, im Querschnitt rechteckigen Ausführungen der Isolatorbahnen 13, ist bei dieser Ausführung ein jeweiliger Fußbereich 20 der Bahn breiter als ein Kopfbereich 21. Der Kopfbereich 21 ist dabei abgerundet. Dadurch entsteht, indem die Isolatorbahn 13 den Stapel 5 aus Funktionsschichten 6, 7, 8 und die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht 4 seitlich begrenzt, eine vergleichsweise größere Isolationsfläche IF als bei einer Rechteckausführung des Querschnitts. 9 (and also one of the insulator tracks 13 in 5 ) shows a possible cross-sectional design of the insulator tracks 13 , which is particularly suitable, a current transport e - , in the form of leakage currents to a short circuit between the electrode layer 4 , which forms the top electrode and the electrode layer 3 , which forms the bottom electrode, could lead to effectively prevent it. In contrast to the other illustrated, in cross-section rectangular embodiments of the insulator webs 13 , in this embodiment is a respective foot area 20 the track wider than a head area 21 , The head area 21 is rounded. This is created by the isolator track 13 the stack 5 from functional layers 6 . 7 . 8th and the electrode layer forming the top electrode 4 laterally limited, a comparatively larger insulation area IF than in a rectangular version of the cross section.

Im siebten Verfahrensschritt, für den in 2 die Kästen VIIA und VIIB und VIIC stehen, entsteht in verschiedenen Varianten HZ4A, HZ4B oder HZ4C eine – gemäß der prozessualen Abfolge vierte – Ausführung eines erfindungsgemäßen Halbzeugs HZ.In the seventh procedural step, for in 2 the boxes VIIA and VIIB and VIIC stand, arises in different variants HZ4A, HZ4B or HZ4C - according to the process sequence fourth - execution of a semifinished product HZ invention.

Der siebte Verfahrensschritt kann in einer Dünnfilmverkapselung (Kasten VIIA) bestehen, durch die das Aufbringen einer schützenden Barriereschicht erfolgt, um die empfindlichen organischen Schichten vor Feuchte und Sauerstoff zu schützen bzw. um auch Kriechströme zwischen den Elektroden zu verhindern. Es entsteht dann eine erste Variante HZ4A der vierten Ausführung eines erfindungsgemäßen Halbzeugs HZ.The seventh process step can be carried out in a thin-film encapsulation (Box VIIA ), through which the application of a protective barrier layer is carried out in order to protect the sensitive organic layers from moisture and oxygen or to prevent leakage currents between the electrodes. This results in a first variant HZ4A of the fourth embodiment of a semifinished product HZ according to the invention.

Zum direkten Aufbringen einer Barriereschicht im Rahmen der Dünnschichtverkapselung eignet sich beispielsweise eine an sich bekannte sogenannte Atomlagenabscheidung (”atomic layer deposition” – ALD). Bei einer solchen ALD sind in einem CVD-Prozess (”chemical vapor deposition” – CVD), einzelne Teilreaktionen, wie ein erster Chemisorptionsschritt und ein zweiter, z. B. in einer hydrolytischen Zersetzung oder Oxidation bestehender, Reaktionsschritt der Gesamtreaktion voneinander separiert. Mittels dieses Verfahrens ist eine kontrollierte Erzeugung von ultradünnen Schichten, d. h. mit im Nanometerbereich liegenden Schichtdicken, jedoch als fehlstellenfreies Kontinuum, möglich.For the direct application of a barrier layer in the context of thin-layer encapsulation, for example, a known so-called atomic layer deposition (ALD) is suitable. In such an ALD are in a CVD process ("chemical vapor deposition" - CVD), individual partial reactions, such as a first Chemisorptionsschritt and a second, z. B. in a hydrolytic decomposition or oxidation existing reaction step of the overall reaction separated from each other. By means of this process is a controlled production of ultrathin layers, i. H. with layer thicknesses in the nanometer range, but as a defect-free continuum, possible.

Des Weiteren kann der siebte Verfahrensschritt in einer Auflaminierung (Kasten VIIB) einer nur in 1 angedeuteten, insbesondere aus Kunststoff bestehenden Folie 22 bestehen, die ihrerseits mit speziellen Barriereschichten versehen sein kann, die eine vergleichsweise geringere Permeabilität für die korrosiven Stoffe aufweist als die zu schützenden Schichten selbst. Dann entsteht eine zweite Variante HZ4B der vierten Ausführung eines erfindungsgemäßen Halbzeugs HZ.Furthermore, the seventh process step in a lamination (box VIIB ) one only in 1 indicated, in particular made of plastic film 22 exist, which in turn can be provided with special barrier layers, which has a relatively lower permeability to the corrosive substances than the layers to be protected itself. Then, a second variant HZ4B of the fourth embodiment of a semifinished product HZ according to the invention.

Schließlich kann für die Fertigungslinie, bei der der fünfte Verfahrensschritt übersprungen wird, im siebten Verfahrensschritt (Kasten VIIC) eine Kunststofffolie 22 auflaminiert werden, die bereits in einem Verbund mit der Elektrodenschicht 4 steht, welche die Deckelektrode bildet. In diesem Schritt entsteht dann eine – gemäß der prozessualen Abfolge – vierte Ausführung eines erfindungsgemäßen Halbzeugs HZ, jedoch in einer dritten Variante HZ4C.Finally, for the production line in which the fifth method step is skipped, in the seventh method step (box VIIC ) a plastic film 22 be laminated already in a composite with the electrode layer 4 stands, which forms the cover electrode. In this step, a fourth embodiment of a semifinished product HZ according to the invention then arises-in accordance with the process sequence-but in a third variant HZ4C.

Das Halbzeug HZ kann bevorzugt als Coil mit einer Breite von 30 mm bis 1600 mm und mit einer Dicke D von etwa 0,1 bis 1,5 mm ausgebildet sein. Eine zu wählende Dicke bzw. Höhe H der Isolatorbahnen 13 wird dabei durch die funktionell bzw. technologisch bedingten Schichtdicken bzw. -höhen des Stapels 5 aus den Funktionsschichten 6, 7, 8 und der die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht 4 bestimmt.The semifinished product HZ may preferably be formed as a coil having a width of 30 mm to 1600 mm and a thickness D of about 0.1 to 1.5 mm. A thickness or height H of the insulator paths to be selected 13 This is due to the functionally or technologically related layer thicknesses or heights of the stack 5 from the functional layers 6 . 7 . 8th and the electrode layer forming the top electrode 4 certainly.

Vorteilhafterweise können die Verfahrensschritte II bis VII, wie durch die Einfassung E der entsprechenden Kästen in 2 angedeutet ist, in einer einzigen Vakuumprozessfolge eines Rolle-zu-Rolle Verfahrens realisiert werden.Advantageously, the method steps II to VII as by the enclosure E of the corresponding boxes in 2 is implied to be realized in a single vacuum process sequence of a roll-to-roll process.

Der achte Verfahrensschritt (Kasten VIII in 2) besteht in einem Querteilen des Endlosbandes, wobei diese Trennung, z. B. mittels Schlagscheren oder auch durch Laserschnitte, direkt an den Stellen B1 der strukturierten Isolatorbahnen 13 erfolgen kann, wie dies 10 durch das Scherensymbol veranschaulicht. Auch ist es möglich – und dies zeigt 11 –, das Substrat 9 samt den darauf aufgebrachten Schichten 3, 4, 5, 13 an Stellen B2, B3 zu trennen, an denen die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht 4 und der Stapel 5 aus Funktionsschichten 6, 7, 8 in einem Bereich über den Isolatorbahnen 13 nicht abgetragen ist, die aber jeweils zwischen zwei derartig strukturierten Bereichen liegen. Die Schnittebenen, durch die an dem erfindungsgemäßen Bauelement 1 die seitlichen Trennkantenflächen 12 ausgebildet werden, müssen dabei jedoch immer durch die Isolatorbahnen 13 verlaufen.The eighth process step (Box VIII in 2 ) consists in a cross-section of the endless belt, said separation, z. B. by means of impact shears or by laser cuts, directly to the points B1 of the structured insulator webs 13 can be done, like this 10 illustrated by the scissors symbol. It is also possible - and this shows 11 -, the substrate 9 including the layers applied to it 3 . 4 . 5 . 13 to separate at points B2, B3, where the electrode electrode forming the top electrode 4 and the stack 5 from functional layers 6 . 7 . 8th in an area above the isolator tracks 13 is not removed, but each lie between two such structured areas. The sectional planes through which on the device according to the invention 1 the lateral separating edge surfaces 12 be formed, but always have to go through the insulator 13 run.

Ein abschließender neunter Verfahrensschritt (Kasten IX in 2) sieht eine elektrische Kontaktierung der Boden- und der Deckelektrode vor, wie dies 6 zeigt. Dabei dient einerseits, wie bereits ausgeführt, der frei bleibende Flächenanteil 17 am Rand der unteren Elektrodenschicht 3 der Kontaktierung K1 der Anode, während andererseits eine zweite Kontaktierung K2 – ebenfalls randseitig, jedoch diametral gegenüber liegend – auf der oberen Elektrodenschicht 4, die die Deckelektrode und Kathode bildet, vorgesehen ist.A final ninth step (box IX in 2 ) provides an electrical contact of the bottom and the cover electrode, as this 6 shows. On the one hand serves, as already stated, the remaining free area 17 at the edge of the lower electrode layer 3 the contacting K1 of the anode, while on the other hand, a second contact K2 - also edge, but diametrically opposite - on the upper electrode layer 4 , which forms the top electrode and cathode, is provided.

Variante BVariant B

Gemäß der zweiten bevorzugten Ausführungsvariante B zur Herstellung einer Ausführung eines erfindungsgemäßen Bauelements 1, wie sie in 12 dargestellt ist, werden die Verfahrensschritte I bis VIII nahezu identisch wie bei der ersten Variante A durchgeführt, wobei aber in den Schritten II bis V einige geringfügige Abweichungen vorgesehen sind, die nachfolgend erläutert werden.According to the second preferred embodiment B for producing an embodiment of a device according to the invention 1 as they are in 12 is shown, the process steps I to VIII performed almost identical to the first variant A, but in the steps II to V some minor deviations are provided, which are explained below.

Im Unterschied zur ersten Variante A wird im zweiten Verfahrensschritt der zweiten Variante B das Substrat 9 in jedem Fall vollflächig (Gesamtoberfläche 14 in 12) metallisiert.In contrast to the first variant A, in the second method step of the second variant B, the substrate 9 in any case, full surface (total surface area 14 in 12 ) metallized.

Des Weiteren wird im Unterschied zur ersten Variante A im dritten Verfahrensschritt zusätzlich zu den in Querrichtung QR verlaufenden Isolatorbahnen 13 im Randbereich des Bandes mindestens eine in Bandlaufrichtung BLR verlaufende, schichtartige, nichtleitende Bandstruktur 23 aufgebracht, die ebenso wie die in Querrichtung QR verlaufenden Isolatorbahnen 13 hergestellt und in ihrem Querschnitt ausgeformt werden kann und wie diese eine Isolation und eine Strukturschicht auf der unteren Elektodenschicht 3 ausbildet. Die Bandstruktur 23 wird – ebenso wie die der quer verlaufenden Isolatorbahnen 13 – nicht flächig aufgebracht und wird auch in einem späteren Verfahrensschritt nicht mehr entfernt, sondern verbleibt auf der Metallisierung. Sie ermöglicht eine spätere Kontaktierung der Elektroden, bei der die Kontaktstellen K1, K2 in kleinem räumlichem Abstand zueinander auf einer Seite des erfindungsgemäßen Bauelements 1 liegen, wie dies 12 zeigt.Furthermore, in contrast to the first variant A in the third method step, in addition to the insulator paths running in the transverse direction QR 13 in the edge region of the band, at least one layer-like, nonconductive band structure extending in the direction of strip travel BLR 23 applied, as well as the running in the transverse direction QR insulator paths 13 can be made and formed in its cross-section and how this an insulation and a structural layer on the lower Elektodenschicht 3 formed. The band structure 23 is - as well as the transverse insulator paths 13 - Not applied flat and is no longer removed in a later process step, but remains on the metallization. It allows a subsequent contacting of the electrodes, in which the contact points K1, K2 in a small spatial distance from each other on one side of the device according to the invention 1 lie like this 12 shows.

Im vierten Verfahrensschritt erfolgt die Aufbringung des Schichtstapels 5, wobei nicht nur die Bodenelektrode, sondern auch die zusätzliche Bandstruktur 23 nicht vollflächig bedeckt wird. Auf der Bandstruktur 23 bleibt ein in 12 mit dem Bezugszeichen 24 bezeichneter Flächenanteil frei, über dem später die zweite Kontaktierung K2 der OLED, nämlich die der Elektrodenschicht 4 der Deckelektrode erfolgt. Das Freihalten des Flächenanteils 24 kann z. B. über Blenden, die eine Beschichtung in Richtung der Bandlaufrichtung BLR verhindern, realisiert werden.In the fourth method step, the application of the layer stack takes place 5 , where not only the bottom electrode, but also the additional band structure 23 is not completely covered. On the band structure 23 stay in 12 with the reference number 24 designated surface portion free, on the later the second contact K2 of the OLED, namely the electrode layer 4 the cover electrode takes place. Keeping the area proportion free 24 can z. B. on panels that prevent coating in the direction of strip travel direction BLR realized.

Was den sechsten Verfahrensschritt der zweiten Variante betrifft, so ist hierzu festzustellen, dass beim Aufteilen des Endlosbandes in die strukturierten Abschnitte A1, A2, A3 ... die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht 4 und der Stapel 5 aus Funktionsschichten 6, 7, 8 nur in den Bereichen über der längs der Bandlaufrichtung BLR verlaufenden Bandstruktur 23 abgetragen werden, an denen die Bandstruktur 23 in ihrem rechtwinklig zu den Isolatorbahnen 13 stehenden Verlauf letztere kreuzt.As far as the sixth method step of the second variant is concerned, it should be noted that when dividing the endless strip into the structured sections A 1 , A 2 , A 3 ... The electrode layer forming the cover electrode 4 and the stack 5 from functional layers 6 . 7 . 8th only in the areas above the belt structure running along the strip running direction BLR 23 be removed, where the band structure 23 at right angles to the insulator tracks 13 standing course the latter crosses.

Die vorliegende Erfindung ist nicht auf das dargestellte Ausführungsbeispiel beschränkt, sondern umfasst auch alle im Sinne der Erfindung gleichwirkenden Mittel und Maßnahmen. So sind durch ein erfindungsgemäßes Bauelement 1 auch nicht invertierte OLEDs mit einer Schichtreihenfolge (von unten nach oben) Anode, HTL, EML, ETL, Kathode umfasst, wobei auch hier in dem Schichtsystem 2 zusätzliche Zwischenschichten vorgesehen sein können. Folglich kann die Erfindung prinzipiell nicht nur bei der beschriebenen Polung der Elektrodenschichten 3, 4 und auch nicht nur bei einer OLED, sondern bei grundlegend gleichartigem Aufbau des erfindungsgemäßen Bauelements 1 auch im Bereich der Photovoltaik Anwendung finden. Des Weiteren könnte im erfindungsgemäßen Verfahren anstelle von Laserstrahlung eine andere geeignete energiereiche Strahlung zur Strukturierung eingesetzt werden.The present invention is not limited to the illustrated embodiment, but also includes all the same means and measures in the context of the invention. Thus, by a device according to the invention 1 Also includes non-inverted OLEDs with a layer order (from bottom to top) anode, HTL, EML, ETL, cathode, where also in the layer system 2 additional intermediate layers can be provided. Consequently, the invention can in principle not only in the described polarity of the electrode layers 3 . 4 and not only in an OLED, but in fundamentally similar structure of the device according to the invention 1 also in the field of photovoltaic application. Furthermore, instead of laser radiation, another suitable high-energy radiation could be used for structuring in the method according to the invention.

Quer zur Bandlaufrichtung können auch mehrere OLEDs abgeschieden werden, da bei breiten Bändern, wie mit einer Breite von 1250 mm, natürlich mehrere OLEDs mit einer Breite von z. B. 150 mm auf das Band passen. In einem solchen Fall können sich also – insbesondere gleichartig ausgebildete – OLED-Strukturen quer zur Bandlaufrichtung BLR wiederholen. Dabei kann z. B. durch die beschriebene Maskentechnik erreicht werden, dass auf bestimmten Flächen des Substrates 9 weder Elektroden noch Leuchtflächen abgeschieden werden. Oder es erfolgt in bestimmten Band-Längsbereichen auf dem Substrat 9 das Aufbringen einer isolierenden Bandstruktur nach der Art, wie diese vorstehend mit dem Bezugszeichen 23 bezeichnet wurde, wobei dann später in diesen Bereichen – z. B. mit Laser oder Schere – die OLEDs durch Heraustrennen aus dem Band quer zur Bandlaufrichtung BLR bzw. Abtrennen voneinander als separate Bauelemente 1 hergestellt werden, ähnlich wie auch die bereits beschriebene Separierung der OLEDs entlang der Bandlaufrichtung BLR erfolgt.Several OLEDs can also be deposited transversely to the strip running direction, since with wide strips, such as with a width of 1250 mm, of course several OLEDs with a width of z. B. 150 mm to fit the tape. In such a case, therefore - in particular identically formed - OLED structures can repeat transversely to the strip running direction BLR. It can be z. B. can be achieved by the mask technique described that on certain surfaces of the substrate 9 neither electrodes nor light surfaces are deposited. Or it occurs in certain band longitudinal areas on the substrate 9 the application of an insulating band structure of the type as described above by the reference numeral 23 was designated, then later in these areas -. B. with laser or scissors - the OLEDs by separating from the tape transversely to the strip running direction BLR or separating from each other as separate components 1 are produced, similar to the already described separation of the OLEDs along the strip running direction BLR.

Durch die Isolatorbahnen 13 und die Bandstrukturen 23 können auch komplexere – abgesehen von deren jeweiliger Höhe – zweidimensionale Strukturen auf der Substratoberfläche gebildet sein, wobei diese nicht zwingend orthogonal zueinander und/oder zu den Bandkanten verlaufen müssen. Sollen beispielsweise erfindungsgemäße Bauteile 1 mit einem anderen als mit einem rechteckigen Grundriss gefertigt werden, z. B. mit einem rauten- oder trapezförmigen Grundriss oder mit einem gerundeten Grundriss, wie mit einem kreisförmigen oder elliptischen Grundriss, so kann der Fachmann den Verlauf der Isolatorbahnen 13 und der Bandstrukturen 23 entsprechend anpassen.Through the insulator tracks 13 and the band structures 23 even more complex - apart from their respective height - two-dimensional structures may be formed on the substrate surface, these need not necessarily be orthogonal to each other and / or to the band edges. For example, components according to the invention 1 be made with a different shape than a rectangular plan, z. Example, with a diamond or trapezoidal floor plan or with a rounded floor plan, such as with a circular or elliptical floor plan, so the expert can the course of the insulator paths 13 and the band structures 23 adjust accordingly.

Die Erfindung schließt, wie bereits aus den vorstehenden Ausführungen hervorgeht, das Vorhandensein zusätzlicher Schichten oder eine andere chemische Zusammensetzung als die exemplarisch beschriebene im Schichtsystem 2, in den Elektrodenschichten 3, 4 und im Substrat 9 nicht aus.The invention, as already evident from the above statements, includes the presence of additional layers or a different chemical composition than the one described by way of example in the layer system 2 , in the electrode layers 3 . 4 and in the substrate 9 not from.

Schließlich kann der Fachmann weitere zusätzliche zweckmäßige technische Maßnahmen vorsehen, ohne dass der Rahmen der Erfindung verlassen wird. Eine solche Maßnahme kann beispielsweise darin bestehen, eine optionale Struktur zur Homogenisierung der Ladungsverteilung in der Deckelektrode vorzusehen, die darin besteht, dass auf einer transparenten Deckelektrode eine metallische sowie semi- oder nicht transparente Leiterstruktur, z. B. in einem Rechteck- oder Wabenmuster, aufgebracht wird.Finally, the skilled person can provide further additional expedient technical measures, without departing from the scope of the invention. Such a measure may be, for example, to provide an optional structure for homogenizing the charge distribution in the cover electrode, which consists in that on a transparent cover electrode, a metallic and semi-transparent or non-transparent conductor structure, for. B. in a rectangular or honeycomb pattern is applied.

Ferner ist die Erfindung nicht auf die in den unabhängigen Ansprüchen definierten Merkmalskombinationen beschränkt, sondern kann auch durch jede beliebige andere Kombination von bestimmten Merkmalen aller insgesamt offenbarten Einzelmerkmale definiert sein. Dies bedeutet, dass grundsätzlich praktisch jedes Einzelmerkmal der genannten Ansprüche weggelassen bzw. durch mindestens ein an anderer Stelle der Anmeldung offenbartes Einzelmerkmal ersetzt werden kann. Insofern sind die Ansprüche lediglich als ein erster Formulierungsversuch für eine Erfindung zu verstehen.Furthermore, the invention is not limited to the feature combinations defined in the independent claims, but may also be defined by any other combination of particular features of all individually disclosed features. This means that in principle virtually every individual feature of the cited claims can be omitted or replaced by at least one individual feature disclosed elsewhere in the application. In this respect, the claims are to be understood merely as a first formulation attempt for an invention.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
Bauelementmodule
22
Schichtsystem von 1 aus 3, 4, 5 Layer system of 1 out 3 . 4 . 5
33
untere Elektrodenschicht von 2 lower electrode layer of 2
44
obere Elektrodenschicht von 2 upper electrode layer of 2
55
Stapel aus 6, 7, 8 von 2 Stack out 6 . 7 . 8th from 2
66
Lochleitungsschicht (HTL)Hole line layer (HTL)
77
Emitterschicht (EML)Emitter layer (EML)
88th
Elektronenleitungsschicht (EL)Electron conducting layer (EL)
99
Substrat von 1 Substrate of 1
1010
metallische Schicht von 9 metallic layer of 9
1111
Einebnungsschicht von 9 Leveling layer of 9
1212
Trennkantenfläche von 1 Separating edge surface of 1
1313
Isolatorbahn auf 3 Isolator track on 3
1414
Oberfläche von 9 (11)Surface of 9 ( 11 )
14a14a
Oberfläche von 10 Surface of 10
1515
mit 3 bedeckter Flächenanteil von 14 with 3 covered area of 14
1616
nicht mit 3 bedeckter Flächenanteil von 14 not covered with 3 area fraction of 14
1717
nicht mit 5 bedeckter Flächenanteil von 13 not covered with 5 area fraction of 13
1818
nicht mit 4 bedeckter Flächenanteil von 5 not covered with 4 area fraction of 5
1919
Oberfläche von 13 Surface of 13
2020
Fußbereich von 13 (5, 9)Foot area of 13 ( 5 . 9 )
2121
Kopfbereich von 13 (5, 9)Head area of 13 ( 5 . 9 )
2222
Folie auf 2 Slide on 2
2323
Bandstrukturband structure
2424
nicht mit 5 bedeckter Flächenanteil von 23 not covered with 5 area fraction of 23
II
erster Verfahrensschritt (2)first step ( 2 )
IIII
zweiter Verfahrensschritt (2)second step ( 2 )
IIIIII
dritter Verfahrensschritt (2)third process step ( 2 )
IVIV
vierter Verfahrensschritt (2)fourth step ( 2 )
VV
fünfter Verfahrensschritt (2)fifth procedural step ( 2 )
VIVI
sechster Verfahrensschritt (2)sixth process step ( 2 )
VIIAVIIA
siebter Verfahrensschritt, erste Variante (2)seventh process step, first variant ( 2 )
VIIBVIIB
siebter Verfahrensschritt, zweite Variante (2)seventh process step, second variant ( 2 )
VIICVIIC
siebter Verfahrensschritt, dritte Variante (2)seventh process step, third variant ( 2 )
VIIIVIII
achter Verfahrensschritt (2)eighth process step ( 2 )
IXIX
neunter Verfahrensschritt (2)ninth process step ( 2 )
A1, A2, A3A1, A2, A3
Bandabschnitte von HZBand sections of HZ
B1, B2, B3B1, B2, B3
Trennstellen von HZSeparation points of HZ
BLRBLR
BandlaufrichtungTape direction
DD
Dicke von HZThickness of HZ
e e -
Stromflusscurrent flow
HH
Höhe vonHeight of
HZHZ
HalbzeugWorkpiece
HZ1HZ1
erste Ausführung von HZfirst execution of HZ
HZ2HZ 2
zweite Ausführung von HZsecond execution of HZ
HZ3AHZ3A
erste Variante der dritten Ausführung von HZfirst variant of the third version of HZ
HZ3BHZ3B
zweite Variante der dritten Ausführung von HZsecond variant of the third version of HZ
HZ4AHZ4A
erste Variante der vierten Ausführung von HZfirst variant of the fourth version of HZ
HZ4BHZ4B
zweite Variante der dritten Ausführung von HZsecond variant of the third version of HZ
HZ4CHZ4C
dritte Variante der vierten Ausführung von HZthird variant of the fourth version of HZ
K1K1
erste Kontaktierung von 1 (an 3)first contact of 1 (at 3 )
K2K2
zweite Kontaktierung von 1 (an 4)second contact of 1 (at 4 )
MM
Mittenebene von 1 Middle level of 1
QRQR
Querrichtung (orthogonal zu BLR)Transverse direction (orthogonal to BLR)
TETE
Richtung der Lichtemission aus 1 Direction of the light emission 1

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • WO 2009/021741 A2 [0003, 0003] WO 2009/021741 A2 [0003, 0003]

Zitierte Nicht-PatentliteraturCited non-patent literature

  • DIN EN ISO 4287 [0048] DIN EN ISO 4287 [0048]
  • DIN EN ISO 4288 [0048] DIN EN ISO 4288 [0048]

Claims (23)

Optisches Bauelement (1), insbesondere organische Leuchtdiode, mit einem Schichtsystem (2), welches mindestens – zwei elektrisch leitende Elektrodenschichten (3, 4), von denen eine Elektrodenschicht (3) eine Bodenelektrode und die andere Elektrodenschicht (4) eine Deckelektrode bildet, und – einen zwischen den Elektrodenschichten (3, 4) angeordneten Stapel (5) aus Funktionsschichten (6, 7, 8) umfasst, und mit einem unterhalb der Bodenelektrode angeordneten Substrat (9), das mindestens eine metallische Schicht (10) enthält, dadurch gekennzeichnet, dass auf die die Bodenelektrode bildende Elektrodenschicht (3) mindestens eine aus einem elektrisch nichtleitenden Material bestehende Isolatorbahn (13) aufgebracht ist, welche den Stapel (5) aus Funktionsschichten (6, 7, 8) und die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht (4) zumindest teilweise seitlich begrenzt.Optical component ( 1 ), in particular organic light emitting diode, with a layer system ( 2 ), which comprises at least two electrically conductive electrode layers ( 3 . 4 ), of which one electrode layer ( 3 ) a bottom electrode and the other electrode layer ( 4 ) forms a cover electrode, and - one between the electrode layers ( 3 . 4 ) arranged stacks ( 5 ) from functional layers ( 6 . 7 . 8th ) and with a substrate (below the bottom electrode) ( 9 ), the at least one metallic layer ( 10 ), characterized in that the electrode layer forming the bottom electrode ( 3 ) at least one of an electrically non-conductive material insulator track ( 13 ) is applied, which the stack ( 5 ) from functional layers ( 6 . 7 . 8th ) and the electrode layer forming the cover electrode ( 4 ) At least partially bounded laterally. Bauelement (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Bauelement (1) seitliche, insbesondere durch einen Trennprozess gebildete, Kantenflächen (12) aufweist, die jeweils entlang des Substrates (9), der die Bodenelektrode bildenden Elektrodenschicht (3) und der auf dieser Elektrodenschicht (3) aufgebrachten Isolatorbahn (13) verlaufen.Component ( 1 ) according to claim 1, characterized in that the component ( 1 ) lateral, in particular formed by a separation process, edge surfaces ( 12 ), each along the substrate ( 9 ), the electrode layer forming the bottom electrode ( 3 ) and on this electrode layer ( 3 ) applied isolator track ( 13 ). Bauelement (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektrodenschicht (3), welche die Bodenelektrode bildet, und/oder die Elektrodenschicht (4), welche die Deckelektrode bildet, aus Indium-Zinn-Oxid (ITO), aus mit Aluminum dotiertem Zinkoxid (AZO), aus Silber, Aluminium und/oder aus einem anderen Metall bzw. einer Legierung mit geringer Elektronenaustrittsarbeit, wie Kalzium, Barium, Ruthenium oder einer Magnesium-Siber-Legierung, besteht/bestehen.Component ( 1 ) according to claim 1 or 2, characterized in that the electrode layer ( 3 ), which forms the bottom electrode, and / or the electrode layer ( 4 ), which forms the top electrode, of indium tin oxide (ITO), of aluminum doped zinc oxide (AZO), of silver, aluminum and / or of another metal or an alloy with low electron work function, such as calcium, barium, Ruthenium or a magnesium-Siber alloy, consists / consist. Bauelement (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der zwischen den Elektrodenschichten (3, 4) angeordnete Stapel (5) aus Funktionsschichten (6, 7, 8) mindestens eine Elektronenleitungsschicht – ETL – (8), die aus einem n-Halbleiter besteht, eine organische Lichtemissionsschicht – EML – (7), die mindestens einen Farbstoff, wie Aluminium-tris(8-hydroxychinolin), enthält, und eine Lochleitungsschicht – HTL – (6), die aus einem p-Halbleiter besteht, umfasst.Component ( 1 ) according to one of claims 1 to 3, characterized in that between the electrode layers ( 3 . 4 ) arranged stacks ( 5 ) from functional layers ( 6 . 7 . 8th ) at least one electron conduction layer - ETL - ( 8th ), which consists of an n-type semiconductor, an organic light emission layer - EML - ( 7 ) containing at least one dye, such as aluminum tris (8-hydroxyquinoline), and a hole-conducting layer - HTL - ( 6 ) composed of a p-type semiconductor. Bauelement (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die aus dem elektrisch nichtleitenden Material bestehende Isolatorbahn (13) spaltfrei an dem Stapel (5) aus Funktionsschichten (6, 7, 8) und an der die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht (4) anliegt.Component ( 1 ) according to one of claims 1 to 4, characterized in that the existing of the electrically non-conductive material insulator path ( 13 ) without gaps on the stack ( 5 ) from functional layers ( 6 . 7 . 8th ) and at the electrode layer forming the cover electrode ( 4 ) is present. Bauelement (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (9) mehrschichtig aufgebaut ist, wobei sich über der metallischen Schicht (10) eine isolierend wirkende Einebnungsschicht (11) befindet, die beispielsweise aus einem Lack, wie aus einer, ein Sol-Gel System oder ein Acrylat enthaltenden Lackformulierung, besteht.Component ( 1 ) according to one of claims 1 to 5, characterized in that the substrate ( 9 ) is multilayered, wherein over the metallic layer ( 10 ) an insulating leveling layer ( 11 ), which consists for example of a paint, such as one, a sol-gel system or an acrylate-containing paint formulation. Bauelement (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (9) auf seiner Oberfläche (14) bei einer Rauheitsmessung nach DIN EN ISO 4287 und DIN EN ISO 4288 einen arithmetische Mittenrauwert (Ra) von weniger als 10 aufweist, wobei die Einzelwerte der Messungen im Bereich zwischen 5 nm und 15 nm liegen, sowie eine mittlere Rautiefe (Rz) von weniger als 50 nm aufweist, wobei die Einzelwerte im Bereich zwischen 20 nm und 150 nm liegen.Component ( 1 ) according to one of claims 1 to 6, characterized in that the substrate ( 9 ) on its surface ( 14 ) has a roughness measurement according to DIN EN ISO 4287 and DIN EN ISO 4288 an arithmetic mean roughness (Ra) of less than 10, wherein the individual values of the measurements are in the range between 5 nm and 15 nm, and a mean surface roughness (Rz) of less than 50 nm, the individual values being in the range between 20 nm and 150 nm. Bauelement (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (9) verformungsfähig und dazu insbesondere elastisch biegbar ist.Component ( 1 ) according to one of claims 1 to 7, characterized in that the substrate ( 9 ) is deformable and in particular elastically bendable. Bauelement (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Elektrodenschicht (3), die die Bodenelektrode bildet, rechtwinklig zu den Isolatorbahnen (13) verlaufende Bandstrukturen (23) aus einem elektrisch nichtleitenden Material aufgebracht sind, die teilweise durch den Stapel (5) aus Funktionsschichten (6, 7, 8) und der die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht (4) bedeckt sind.Component ( 1 ) according to one of claims 1 to 8, characterized in that on the electrode layer ( 3 ), which forms the bottom electrode, at right angles to the insulator paths ( 13 ) extending band structures ( 23 ) are applied from an electrically non-conductive material partially through the stack ( 5 ) from functional layers ( 6 . 7 . 8th ) and the electrode layer forming the cover electrode ( 4 ) are covered. Bauelement (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Isolatorbahnen (13) und/oder die Bandstrukturen (23) im Querschnitt rechteckig ausgeführt sind.Component ( 1 ) according to one of claims 1 to 9, characterized in that the insulator tracks ( 13 ) and / or the band structures ( 23 ) are rectangular in cross-section. Bauelement (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Isolatorbahnen (13) jeweils einen Fußbereich (20) aufweisen, der im Querschnitt gesehen breiter als ein insbesondere abgerundeter Kopfbereich (21) der Isolatorbahnen (13) ist.Component ( 1 ) according to one of claims 1 to 9, characterized in that the insulator tracks ( 13 ) each have a footer ( 20 ), which seen in cross-section wider than a particular rounded head area ( 21 ) of the insulator tracks ( 13 ). Bauelement (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest das Schichtsystem (2) durch mindestens eine Barriereschicht bedeckt ist, die eine vergleichsweise geringere Permeabilität für Feuchte und Sauerstoff aufweist und als Dünnfilmverkapselung oder in einer auflaminierten Kunststofffolie (22) vorliegt.Component ( 1 ) according to one of claims 1 to 11, characterized in that at least the layer system ( 2 ) is covered by at least one barrier layer which has a comparatively lower permeability to moisture and oxygen and as thin-film encapsulation or in a laminated plastic film ( 22 ) is present. Verfahren zur Herstellung von optischen Bauelementen (1), vorzugsweise von organischen Leuchtdioden, insbesondere von Bauelementen (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 12, welches eine, in einem kontinuierlichen Rolle-zu-Rolle-Prozess erfolgende Aufbringung eines Schichtsystems (2) auf ein bandförmiges Substrat (9) umfasst, das mindestens eine metallische Schicht (10) enthält, wobei das Schichtsystem (2) mindestens zwei elektrisch leitende Elektrodenschichten (3, 4), von denen die eine Elektrodenschicht (3) eine Bodenelektrode und die andere Elektrodenschicht (4) eine Deckelektrode bildet, und einen zwischen den Elektrodenschichten (3, 4) angeordneten Stapel (5) aus Funktionsschichten (6, 7, 8) umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass zunächst die die Bodenelektrode bildende Elektrodenschicht (3) zumindest auf einer Teilfläche (15) des Substrates (9) aufgebracht wird, danach auf diese Elektrodenschicht (3) in Querrichtung (QR) des Bandes des Substrates (9) Isolatorbahnen (13) aus einem elektrisch nichtleitenden Material strukturiert werden, anschließend auf die Elektrodenschicht (3) und die Isolatorbahnen (13) der Stapel (5) aus Funktionsschichten (6, 7, 8) und vorzugsweise auch die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht (4) aufgebracht werden und schließlich der Stapel (5) aus Funktionsschichten (6, 7, 8) und vorzugsweise die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht (4) in einem Bereich über den Isolatorbahnen (13) bis auf deren Oberfläche (19) hin abgetragen werden.Method for producing optical components ( 1 ), preferably of organic light-emitting diodes, in particular of components ( 1 ) according to any one of claims 1 to 12, which comprises applying, in a continuous roll-to-roll process, a layer system ( 2 ) on a band-shaped substrate ( 9 ), the at least one metallic layer ( 10 ), the layer system ( 2 ) at least two electrically conductive electrode layers ( 3 . 4 ), of which the one electrode layer ( 3 ) a bottom electrode and the other electrode layer ( 4 ) forms a cover electrode, and one between the electrode layers ( 3 . 4 ) arranged stacks ( 5 ) from functional layers ( 6 . 7 . 8th ), characterized in that first the electrode layer forming the bottom electrode ( 3 ) at least on a partial surface ( 15 ) of the substrate ( 9 ) is applied, then to this electrode layer ( 3 ) in the transverse direction (QR) of the strip of the substrate ( 9 ) Isolator tracks ( 13 ) are structured from an electrically non-conductive material, then onto the electrode layer ( 3 ) and the insulator tracks ( 13 ) the stack ( 5 ) from functional layers ( 6 . 7 . 8th ) and preferably also the electrode layer forming the cover electrode ( 4 ) and finally the stack ( 5 ) from functional layers ( 6 . 7 . 8th ) and preferably the electrode layer forming the cover electrode ( 4 ) in an area above the insulator paths ( 13 ) except for the surface ( 19 ) are removed. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass auf eine metallische Schicht (10 des Substrates (9), bevor auf das Substrat (9) die Elektrodenschicht (3), welche die Bodenelektrode bildet, aufgebracht wird, eine Einebnungsschicht (11) aufgebracht wird.A method according to claim 13, characterized in that on a metallic layer ( 10 of the substrate ( 9 ) before onto the substrate ( 9 ) the electrode layer ( 3 ), which forms the bottom electrode, is applied to a leveling layer ( 11 ) is applied. Verfahren nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektrodenschicht (3), welche die Bodenelektrode bildet, auf der gesamten Oberfläche (14) oder auf einer Teilfläche (15) des Substrates (9) aufgebracht wird.Method according to claim 13 or 14, characterized in that the electrode layer ( 3 ), which forms the bottom electrode, on the entire surface ( 14 ) or on a partial surface ( 15 ) of the substrate ( 9 ) is applied. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Elektrodenschicht (3), die die Bodenelektrode bildet, rechtwinklig zu den Isolatorbahnen (13) in Bandlängsrichtung (BLR) verlaufende Bandstrukturen (23) aus einem elektrisch nichtleitenden Material aufgebracht sind, die nachfolgend teilweise durch den Stapel (5) aus Funktionsschichten (6, 7, 8) und die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht (4) bedeckt werden.Method according to one of claims 13 to 15, characterized in that on the electrode layer ( 3 ), which forms the bottom electrode, at right angles to the insulator paths ( 13 ) band-extending band structures (BLR) ( 23 ) are applied from an electrically non-conductive material, which subsequently partially through the stack ( 5 ) from functional layers ( 6 . 7 . 8th ) and the electrode layer forming the cover electrode ( 4 ). Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass mittels Blenden längs des Bandes verlaufende Flächenbereiche (17, 18, 24) auf der die Bodenelektrode bildenden Elektrodenschicht (3), auf dem zwischen den Elektrodenschichten (3, 4) angeordneten Stapel (5) aus Funktionsschichten (6, 7, 8) und/oder auf den in Bandlängsrichtung (BLR) verlaufende Bandstrukturen (23) von einer Beschichtung freigehalten werden.Method according to one of claims 13 to 16, characterized in that by means of panels along the belt extending surface areas ( 17 . 18 . 24 ) on the electrode layer forming the bottom electrode ( 3 ), on which between the electrode layers ( 3 . 4 ) arranged stacks ( 5 ) from functional layers ( 6 . 7 . 8th ) and / or on the band-extending (BLR) band structures ( 23 ) are kept free of a coating. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest das Schichtsystem (2) mit mindestens einer Barriereschicht bedeckt wird, die eine vergleichsweise geringere Permeabilität für Feuchte und Sauerstoff aufweist und als Dünnfilmverkapselung aufgetragen wird oder in einer Kunststofffolie (22) enthalten ist, die auflaminiert wird.Method according to one of claims 13 to 17, characterized in that at least the layer system ( 2 ) is covered with at least one barrier layer which has a comparatively lower permeability to moisture and oxygen and is applied as a thin-film encapsulation or in a plastic film (US Pat. 22 ) which is laminated. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass das aus dem Substrat (9) und den darauf aufgebrachten Schichten (3, 4, 5, 13) bestehende Band, z. B. mittels Schlagscheren oder Laserstrahl, an Stellen (B1), an denen die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht (4) und der Stapel (5) aus Funktionsschichten (6, 7, 8) in einem Bereich über den Isolatorbahnen (13), insbesondere durch Laserstrahlung, abgetragen ist, oder an Stellen (B2, B3) in einem Bereich der Isolatorbahnen (13), der nicht derartig strukturiert ist, aber zwischen zwei strukturierten Bereichen liegt, quergeteilt wird.Method according to one of claims 13 to 18, characterized in that the from the substrate ( 9 ) and the layers applied thereto ( 3 . 4 . 5 . 13 ) existing band, z. B. by means of impact shears or laser beam, at points (B1) where the electrode electrode forming the top electrode ( 4 ) and the stack ( 5 ) from functional layers ( 6 . 7 . 8th ) in an area above the insulator paths ( 13 ), in particular by laser radiation, or at locations (B2, B3) in a region of the insulator paths ( 13 ), which is not structured in this way, but is divided between two structured areas. Halbzeug (HZ), insbesondere zur Herstellung von optischen Bauelementen (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 12, vorzugsweise in einem Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 19, welches ein bandförmiges Substrat (9) umfasst, das mindestens eine metallische Schicht (10) enthält, wobei auf dem Substrat (9) eine eine Bodenelektrode bildende Elektrodenschicht (3) aufgebracht ist, auf der in Querrichtung (QR) des Bandes Isolatorbahnen (13) aus einem elektrisch nichtleitenden Material strukturiert sind.Semifinished product (HZ), in particular for the production of optical components ( 1 ) according to one of claims 1 to 12, preferably in a method according to one of claims 13 to 19, which comprises a strip-shaped substrate ( 9 ), the at least one metallic layer ( 10 ), wherein on the substrate ( 9 ) an electrode layer forming a bottom electrode ( 3 ), on the transverse direction (QR) of the strip insulator paths ( 13 ) are structured from an electrically non-conductive material. Halbzeug (HZ) nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass, insbesondere ausschließlich, auf der die Bodenelektrode bildenden Elektrodenschicht (3) zwischen den Isolatorbahnen (13) ein Stapel (5) aus Funktionsschichten (6, 7, 8) und eine eine Deckelektrode bildende Elektrodenschicht (4) aufgebracht ist.Semifinished product (HZ) according to claim 20, characterized in that, in particular exclusively, on the electrode layer forming the bottom electrode ( 3 ) between the insulator tracks ( 13 ) a stack ( 5 ) from functional layers ( 6 . 7 . 8th ) and a top electrode forming electrode layer ( 4 ) is applied. Halbzeug (HZ) nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass auch auf den Isolatorbahnen (13) der Stapel (5) aus Funktionsschichten (6, 7, 8) und die die Deckelektrode bildende Elektrodenschicht (4) aufgebracht ist.Semifinished product (HZ) according to claim 21, characterized in that also on the insulator paths ( 13 ) the stack ( 5 ) from functional layers ( 6 . 7 . 8th ) and the electrode layer forming the cover electrode ( 4 ) is applied. Halbzeug (HZ) nach einem der Ansprüche 20 bis 22, gekennzeichnet durch die Merkmale des kennzeichnenden Teils eines oder mehrerer der Ansprüche 2 bis 12.Semi-finished product (HZ) according to one of Claims 20 to 22, characterized by the features of the characterizing part of one or more of Claims 2 to 12.
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