DE102010033543A1 - Coating of components made of steel comprises depositing amorphous carbon layer on hydrocarbon containing tungsten layer that is applied directly on the component surface - Google Patents

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Abstract

Coating of components made of steel comprises depositing an amorphous carbon layer (3) on hydrocarbon containing tungsten layer (2). The hydrocarbon-containing tungsten layer is directly applied on the component surface (1).

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Beschichtung von Stahl-Bauteilen mit einer amorphen Kohlenstoffschicht.The invention relates to a method for coating steel components with an amorphous carbon layer.

Eine solche Kohlenstoffschicht wird auch als „Diamond like Carbon”- oder DLC-Schicht bezeichnet. Um eine DLC-Schicht auf ein Stahlbauteil aufzubringen, ist es bekannt, das Bauteil durch Sputtern mit einer Haftschicht aus einem Metall, beispielsweise Chrom, zu versehen, auf die dann eine Stützschicht aus WC oder TiN gefolgt von einer kohlenwasserstoffhaltigem Metallschicht, beispielsweise W-C:H gesputtert wird, auf der die DLC-Schicht beispielsweise durch plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung (plasma enhanced/assisted chemical vapour position, PECVD) aufwachst. Bei Bauteilen mit komplexer Geometrie, wie Verzahnungen, führt dieser Schichtaufbau jedoch zu einer unzureichenden Haftung der DLC-Schicht auf dem Bauteil, insbesondere wenn die Verzahnungen getriebetypischen Belastungen ausgesetzt werden.Such a carbon layer is also referred to as a "diamond like carbon" or DLC layer. In order to apply a DLC layer on a steel component, it is known to provide the component by sputtering with an adhesive layer of a metal, such as chromium, then a support layer of WC or TiN followed by a hydrocarbon-containing metal layer, for example WC: H sputtered on which the DLC layer, for example, by plasma enhanced / assisted chemical vapor deposition (PECVD) grows. For components with complex geometry, such as gears, however, this layer structure leads to insufficient adhesion of the DLC layer on the component, especially if the gears are exposed to typical gear loads.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren bereitzustellen, mit dem Bauteile, insbesondere Bauteile mit Verzahnungen, mit einer DLC-Schicht versehen werden, die höchsten Belastungen standhält.The object of the invention is therefore to provide a method by which components, in particular components with teeth, are provided with a DLC layer which withstands the highest loads.

Dies wird erfindungsgemäß durch das im Anspruch 1 gekennzeichnete Verfahren erreicht. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.This is inventively achieved by the method characterized in claim 1. Advantageous embodiments of the invention are specified in the subclaims.

Nach der Erfindung wird die kohlenwasserstoffhaltige Wolfram-Schicht, auf der die DLC-Schicht abgeschieden wird, direkt auf die Bauteiloberfläche aufgetragen, beispielsweise durch Sputtern von Wolframcarbid mit gleichzeitiger Einleitung das kohlenwasserstoffhaltigen Prozessgases. Dabei liegt an den Bauteilen eine Spannung an.According to the invention, the hydrocarbon-containing tungsten layer on which the DLC layer is deposited is applied directly to the component surface, for example by sputtering of tungsten carbide with simultaneous introduction of the hydrocarbon-containing process gas. There is a voltage at the components.

Dadurch wird eine hervorragende Haftung der DLC-Schicht an dem Bauteil (= Werkstück), insbesondere bei Bauteilen mit komplexer Geometrie, wie Verzahnungen erreicht.This achieves excellent adhesion of the DLC layer to the component (= workpiece), in particular in the case of components with complex geometry, such as toothings.

Dies ist auf die außerordentlich hohe Haftung der kohlenwasserstoffhaltigen Wolfram-Schicht auf der Oberfläche des Stahlbauteils zurückzuführen. Die hohe Haftung der kohlenwasserstoffhaltigen Wolfram-Schicht kommt dadurch zu Stande, dass das Wolfram mit der FCC- oder kubisch flächenzentrierten Phase des Stahls, also insbesondere Zementit- und Austenit-Phase, Mischphasen aus (Fe,W)6C bildet.This is due to the extremely high adhesion of the hydrocarbon-containing tungsten layer on the surface of the steel component. The high adhesion of the hydrocarbon-containing tungsten layer is due to the fact that the tungsten with the FCC or cubic face-centered phase of the steel, ie in particular cementite and austenite phase, mixed phases of (Fe, W) 6 C forms.

Dadurch wird eine hohe Haftung der kohlenwasserstoffhaltigen Wolfram-Schicht und damit der darauf aufgewachsenen DLC-Schicht an der Bauteiloberfläche erreicht, und zwar auch an den Stellen des Bauteils, an denen die Ionen, mit denen das Bauteil beim Sputtern beschossen wird, nicht senkrecht und damit nicht mit der maximalen kinetischen Energie auf das Bauteil auftreffen, sondern in einem schrägen Winkel.As a result, a high adhesion of the hydrocarbon-containing tungsten layer and thus the grown thereon DLC layer is achieved at the component surface, even at the points of the component where the ions, which is bombarded during sputtering the component, not perpendicular and thus do not hit the component with the maximum kinetic energy, but at an oblique angle.

So treffen beispielsweise beim Beschichten einer Verzahnung durch Sputtern oder mit einem anderen physikalischen Dampfabscheidungsverfahren (physical vapour position PVD), die Wolfram-Ionen oder sonstigen Wolframteilchen auf die Oberfläche der Zahnköpfe und des Zahngrundes annähernd senkrecht auf, auf die Zahnflanken hingegen schräg und damit mit einer geringeren Aufprallenergie, wodurch die Haftfähigkeit der Wolframteilchen z. B. an den Zahnflanken eingeschränkt wird.Thus, for example, when coating a toothing by sputtering or with another physical vapor deposition (PVD) process, the tungsten ions or other tungsten particles strike the surface of the tooth heads and the tooth root approximately perpendicularly, but obliquely and thus with a tooth flank lower impact energy, whereby the adhesion of the tungsten particles z. B. is limited to the tooth flanks.

Durch die (Fe,W)6C-Mischphasenbildung zwischen dem Wolfram der kohlenwasserstoffhaltigen Wolfram-Schicht und der FCC-Phase des Stahls wird jedoch eine derart hohe Haftfestigkeit der kohlenwasserstoffhaltigen Wolfram-Schicht an dem Bauteil erreicht, dass selbst die an den Zahnflanken herabgesetzte Aufprallenergie der Wolframteilchen beim PVD-Prozess zu einer ausreichend hohen Haftfestigkeit führt, damit die erfindungsgemäß DLC-beschichteten Verzahnungen höchsten Belastungen stand halten.However, the (Fe, W) 6 C mixed phase formation between the tungsten of the hydrocarbon-containing tungsten layer and the FCC phase of the steel achieves such a high adhesive strength of the hydrocarbon-containing tungsten layer on the component that even the impact energy reduced at the tooth flanks the tungsten particles in the PVD process leads to a sufficiently high adhesive strength, so that the invention DLC-coated gears withstand highest loads.

Unter einer DLC-Schicht versteht man eine amorphe Kohlenstoffschicht, die aus diamandartigen Teilen (sp3) und graphitischen Teilen (sp2) aufgebaut ist. Je nach sp3- und Wasserstoffanteil spricht man von einer ta-C Schicht (> 40% sp3) oder einer a-C:H-Schicht (< 50% sp3; > 30% H). Unter einer überwiegend tetraedrisch amorphen Kohlenstoffschicht (ta-C) ist dabei ein amorpher Kohlenstoff zu verstehen, bei dem der sp3-Hybridisierungsanteil, also der Anteil der tetraedrisch gebundenen Kohlenstoffatome mindestens 50%, insbesondere mindestens 70% beträgt. ((Vgl. W. Jacob; W. Müller, Appl. Phys. Lett. Vol. 63, 1771, 1993 )By a DLC layer is meant an amorphous carbon film composed of diamond-like parts (sp3) and graphitic parts (sp2). Depending on the proportion of sp3 and hydrogen, this is referred to as a ta-C layer (> 40% sp3) or an aC: H layer (<50% sp3,> 30% H). Under a predominantly tetrahedral amorphous carbon layer (ta-C) is an amorphous carbon to understand in which the sp 3 hybridization, ie the proportion of tetrahedrally bonded carbon atoms at least 50%, in particular at least 70%. ((See. W. Jacob; W. Müller, Appl. Phys. Lett. Vol. 63, 1771, 1993 )

Das erfindungsgemäße Verfahren ist somit insbesondere zur DLC-Beschichtung von Bauteilen geeignet, die eine Verzahnung aufweisen. Das verzahnte Bauteil kann ein Kegelrad, insbesondere ein Hypoid- oder schräg verzahntes Kegelrad, ein Stirnrad, ein Kronrad, ein Schneckenrad oder ein anderes Zahnrad sein.The inventive method is thus particularly suitable for DLC coating of components having a toothing. The toothed component may be a bevel gear, in particular a hypoid or helical bevel gear, a spur gear, a crown wheel, a worm wheel or another gear.

Das Bauteil besteht vorzugsweise aus einem niedrig legierten Stahl, also einem Stahl, bei dem kein Legierungselement einen mittleren Gehalt von 5 Gew.-%, insbesondere 3 Gew.-% überschreitet. Der niedrig legierte Stahl kann 0,1 bis 0,3 Gew.-% Kohlenstoff, 1 bis 2 Gew.-% Chrom und einen Mangananteil von weniger als 1 Gew.-% enthalten, beispielsweise 16MnCr5-Stahl sein. Insbesondere können die als Zahnradstahl verwendeten niedrig legierten Stähle eingesetzt werden.The component is preferably made of a low alloy steel, ie a steel, in which no alloying element exceeds an average content of 5 wt .-%, in particular 3 wt .-%. The low-alloyed steel may contain 0.1 to 0.3% by weight of carbon, 1 to 2% by weight of chromium and a manganese content of less than 1% by weight, for example, 16MnCr5 steel. In particular, the low alloy steels used as gear steel can be used.

Das zu beschichtende Bauteil braucht dabei nicht als Ganzes aus einem solchen niedrig legierten Stahl zu bestehen, vielmehr reicht es aus, wenn es an seiner zu beschichtenden Oberfläche aus einem niedrig legiertem Stahl gebildet wird.The component to be coated does not need to be made as a whole from such a low alloy steel, but it is sufficient if it is formed on its surface to be coated of a low alloy steel.

Vor der Beschichtung wird die Oberfläche des Bauteils normalerweise gereinigt, insbesondere von Eisenoxid, beispielsweise mit einem sauren Reinigungsmittel.Before coating, the surface of the component is usually cleaned, in particular of iron oxide, for example with an acidic cleaning agent.

Zudem sollte die mittlere Rauheit (Rz) der zu beschichtenden Bauteiloberfläche kleiner als 10 μm, insbesondere kleiner als 5 μm sein. Eine gewisse mittlere Rauheit von mindestens 0,5 μm, insbesondere 1 μm ist jedoch von Vorteil. Besonders bevorzugt wird eine mittlere Rauheit der Bauteiloberfläche von 1 bis 4 μm. Die mittlere Rauheit (Rz) wird mit einem Profilometer z. B. der Firma Hommel getestet. Die gewünschte Rauheit kann z. B. durch Läppen der Bauteiloberfläche eingestellt werden.In addition, the mean roughness (Rz) of the component surface to be coated should be less than 10 μm, in particular less than 5 μm. However, a certain average roughness of at least 0.5 μm, in particular 1 μm, is advantageous. An average roughness of the component surface of 1 to 4 μm is particularly preferred. The mean roughness (Rz) is measured with a profilometer z. B. the company Hommel tested. The desired roughness can z. B. be adjusted by lapping the component surface.

Bei einer zu großen Rauheit kann die DLC-Schicht an der Rauheitsspitzen bei hoher Belastung abbrechen. Auch können dann Hinterschnitte an der Bauteiloberfläche entstehen, die nicht oder nur unzureichend beschichtet werden. Eine gewisse Rauigkeit ist jedoch deswegen erwünscht, weil dadurch die Kontaktfläche zwischen der Oberfläche des Bauteils und der kohlenwasserstoffhaltigen Wolfram-Schicht entsprechend vergrößert wird.If the roughness is too large, the DLC layer may break off at the roughness peaks under high load. It is also possible for undercuts to form on the component surface which are not or only insufficiently coated. However, some roughness is desirable because it increases the contact area between the surface of the device and the hydrocarbonaceous tungsten layer.

Die kohlenwasserstoffhaltigen Wolfram-Schicht kann durch physikalische Dampfabscheidung von WC unter Einleitung von kohlenwasserstoffhaltigen Prozessgas bei am Bauteil angelegter Spannung Bauteiloberfläche aufgetragen werden.The hydrocarbon-containing tungsten layer can be applied by physical vapor deposition of WC with the introduction of hydrocarbon-containing process gas at component voltage applied to the component surface.

Als PVD-Verfahren wird vorzugsweise das Sputtern mit einem Wolfram-Target durchgeführt, beispielsweise ein DC-Dioden- oder -Trioden-, Hochfrequenz- oder Magnetron-Sputtern.As a PVD method, sputtering is preferably carried out with a tungsten target, for example a DC diode or triode, high frequency or magnetron sputtering.

Der Kohlenwasserstoffanteil, der beim Sputtern des Wolframs in die Wolframbeschichtung eingeführt wird, kann beispielsweise durch gleichzeitige Zufuhr eines Kohlenwasserstoffgases beim Sputtern des Wolframs erhalten werden, also durch Zufuhr eines Kohlenwasserstoffgases in die Sputterkammer. Das Kohlenwasserstoffgas kann beispielsweise ein Gemisch aus Acytelen und Methan sein.The hydrocarbon fraction introduced into the tungsten coating during sputtering of the tungsten may be obtained, for example, by co-feeding a hydrocarbon gas during sputtering of the tungsten, that is, by supplying a hydrocarbon gas into the sputtering chamber. The hydrocarbon gas may be, for example, a mixture of acetylene and methane.

Die Abscheidung der DLC-Schicht durch Aufwachsen auf der kohlenwasserstoffhaltigen Wolfram-Schicht kann durch irgendein Dampfabscheidungsverfahren erfolgen, also beispielsweise durch PVD, wie Sputtern, beispielsweise mit einem Kohlenstoff-Target. Vorzugsweise wird das Aufwachsen der DLC-Schicht auf der kohlenwasserstoffhaltigen Wolfram-Schicht jedoch durch chemische Dampfabscheidung oder CVD, insbesondere PECVD durchgeführt.Deposition of the DLC layer by growth on the hydrocarbon-containing tungsten layer can be accomplished by any vapor deposition method, such as PVD, such as sputtering, for example, with a carbon target. Preferably, however, the growth of the DLC layer on the hydrocarbon-containing tungsten layer is performed by chemical vapor deposition or CVD, especially PECVD.

Dabei kann die Direkt-Plasma-Methode angewendet werden, bei der zwischen dem zu beschichtenden Bauteil und einer Gegenelektrode ein elektrisches Wechselfeld (RF, Mikrowelle, Puls) angelegt wird, durch das das Plasma erzeugt wird.In this case, the direct plasma method can be used, in which between the component to be coated and a counter electrode, an alternating electric field (RF, microwave, pulse) is applied, through which the plasma is generated.

Als Reaktionsgas für das CVD- oder PECVD-Verfahren kann das gleiche Kohlenwasserstoffgas verwendet werden, wie zur Abscheidung der kohlenwasserstoffhaltigen Wolfram-Schicht, also beispielsweise ein Gemisch aus Acetylen und Methan.As reaction gas for the CVD or PECVD process, the same hydrocarbon gas can be used as for the deposition of the hydrocarbon-containing tungsten layer, that is, for example, a mixture of acetylene and methane.

Vorzugsweise wird das Sputtern zum Auftragen der kohlenwasserstoffhaltigen Wolfram-Schicht und das Aufwachsen der DLC-Schicht auf der kohlenwasserstoffhaltigen Wolfram-Schicht in der gleichen Kammer durchgeführt.Preferably, sputtering is performed to deposit the hydrocarbon-containing tungsten layer and grow the DLC layer on the hydrocarbon-containing tungsten layer in the same chamber.

Dabei kann die Kammerwand und das damit elektrisch verbundene Sputter-Target die eine Elektrode und das Bauteil die Gegenelektrode bilden. Beim Sputtern mit Zufuhr eines Kohlenwasserstoffgases zur Bildung der kohlenwasserstoffhaltigen Wolfram-Schicht kann ein elektrisches Gleichfeld an die beiden Elektroden angelegt werden, und nach Abschalten des Sputter-Targets bei der anschließenden PECVD zum epitaktischen Aufwachsen der DLC-Schicht ein hochfrequentes Wechselfeld mit beispielsweise 1 bis 100 MHz, insbesondere 13,56 MHz, wobei die Elektrode dann durch die Kammerwand gebildet werden kann.In this case, the chamber wall and the sputtering target electrically connected thereto can form the one electrode and the component the counterelectrode. When sputtering with supply of a hydrocarbon gas to form the hydrocarbon-containing tungsten layer, a DC electric field can be applied to the two electrodes, and after switching off the sputtering target in the subsequent PECVD for epitaxial growth of the DLC layer, a high-frequency alternating field with, for example, 1 to 100 MHz, in particular 13.56 MHz, wherein the electrode can then be formed through the chamber wall.

Es können auf der kohlenstoffwasserhaltigen Wolfram-Schicht sowohl ta-C (PVD-Verfahren, hoher teraedrischer Anteil, Sputter aus Graphittarget) als auch a-C:H (PECVD, mittlerer teraedrischer Anteil, Plasma aus kohlenstoffhaltigem Prozessgas) abgeschieden werden. Ebenso wäre noch ta-C:H und a-C möglich, allerdings sind diese Schichten aktuell nicht in der Industrie verwendet. Auch eine kohlenwasserstoffhaltige Wolfram(carbid)schicht wäre als Funktionsschicht denkbar, d. h. diese Schicht wäre als einzige auf dem Bauteil aufgebracht.Both ta-C (PVD method, high terahedral component, graphite target sputter) and a-C: H (PECVD, medium terahedral component, plasma of carbon-containing process gas) can be deposited on the carbon-containing tungsten layer. Likewise, ta-C: H and a-C would be possible, but these layers are currently not used in the industry. A hydrocarbon-containing tungsten (carbide) layer would be conceivable as a functional layer, d. H. this layer would be the only one applied to the component.

Um mehrere Bauteile gleichzeitig zu beschichten, kann die Kammer einen Rotor oder dergleichen Bauteilförderer, beispielsweise einen Drehteller enthalten, auf dem mehrere zu beschichtenden Bauteile angeordnet sind, die an dem einen oder mehreren im Abstand angeordneten Sputter-Target in der Kammer vorbei bewegt werden.In order to coat a plurality of components simultaneously, the chamber may include a rotor or similar component conveyor, for example a turntable on which a plurality of components to be coated are arranged, which are moved past the one or more spaced sputtering target in the chamber.

Die Schichtdicke der kohlenwasserstoffhaltigen Wolfram-Schicht beträgt vorzugsweise mindestens 0,5 μm, insbesondere mindestens 1 μm, ihre maximale Schichtdicke ist vorzugsweise 3 μm, insbesondere 1,5 μm. Die Schichtdicke der aufgewachsenen DLC-Schicht beträgt vorzugsweise mindestens 0,5 μm, insbesondere mindestens 1 μm und höchstens 6 μm, insbesondere höchstens 3 μm.The layer thickness of the hydrocarbon-containing tungsten layer is preferably at least 0.5 μm, in particular at least 1 μm, its maximum layer thickness is preferably 3 μm, in particular 1.5 μm. The layer thickness of the grown DLC layer is preferably at least 0.5 μm, in particular at least 1 μm and at most 6 μm, in particular at most 3 μm.

Bei einem Bauteil mit einer Verzahnung, die erfindungsgemäß beschichtet worden ist, ist ein Fressen verhindert. Es wird ein deutlich herabgesetzter Reibwert erreicht. Bei Getrieben mit erfindungsgemäß beschichteten Verzahnungen wird damit der Wirkungsgrad spürbar erhöht. So ist bei einem Hinterachsgetriebe, dessen verzahnte Bauteile erfindungsgemäß mit DLC beschichtet worden sind, je nach Betriebsbereich ein um 0,5 bis 2 höherer Wirkungsgrad festgestellt worden. Da kein Fressen der Verzahnung auftritt, kann zudem ein dünnflüssigeres Schmiermittel verwendet werden, wodurch der Wirkungsgrad weiter erhöht wird. Die Graufleckigkeit der Verzahnung wird gleichfalls deutlich reduziert.In a component with a toothing, which has been coated according to the invention, seizure is prevented. It is achieved a significantly reduced coefficient of friction. In transmissions with inventively coated gears so that the efficiency is significantly increased. Thus, in a rear axle whose toothed components have been coated according to the invention with DLC, depending on the operating range, a 0.5 to 2 higher efficiency has been found. Since no gnawing of the teeth occurs, also a thinner lubricant can be used, whereby the efficiency is further increased. The gray-speckledness of the gearing is also significantly reduced.

Nachstehend ist der Erfindung anhand der beigefügten Zeichnung beispielhaft näher erläutert, deren einzige Figur schematisch einen Schnitt durch eine mit einer DLC-Schicht beschichteten Bauteiloberfläche zeigt.The invention is explained in more detail below by way of example with reference to the accompanying drawing, the single figure of which shows schematically a section through a component surface coated with a DLC layer.

Danach ist direkt auf der Oberfläche des Bauteils 1 aus niedriglegiertem Stahl eine kohlenwasserstoffhaltigen Wolfram-Schicht beispielsweise durch Sputtern aufgetragen, auf die eine DLC-Schicht beispielsweise durch PECVD aufgewachsen ist.After that is right on the surface of the component 1 made of low-alloy steel, a hydrocarbon-containing tungsten layer, for example, by sputtering applied to a DLC layer, for example, grown by PECVD.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte Nicht-PatentliteraturCited non-patent literature

  • W. Jacob; W. Müller, Appl. Phys. Lett. Vol. 63, 1771, 1993 [0011] W. Jacob; W. Müller, Appl. Phys. Lett. Vol. 63, 1771, 1993 [0011]

Claims (9)

Verfahren zur Beschichtung von Bauteilen aus Stahl, bei dem auf einer kohlenwasserstoffhaltigen Wolfram-Schicht (2) eine amorphe Kohlenstoffschicht (3) abgeschieden wird, dadurch gekennzeichnet, dass die kohlenwasserstoffhaltige Wolfram-Schicht (2) direkt auf die Bauteiloberfläche (1) aufgetragen wird.Process for the coating of components of steel, in which on a hydrocarbon-containing tungsten layer ( 2 ) an amorphous carbon layer ( 3 ), characterized in that the hydrocarbon-containing tungsten layer ( 2 ) directly onto the component surface ( 1 ) is applied. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Bauteil eine Verzahnung aufweist.A method according to claim 1, characterized in that the component has a toothing. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Stahl, aus dem das Bauteil (1) besteht, ein niedrig legierter Stahl ist.Method according to claim 1 or 2, characterized in that the steel from which the component ( 1 ) is a low alloy steel. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die kohlenwasserstoffhaltigen Wolfram-Schicht (2) durch Sputtern mit einem Wolfram-Target bei gleichzeitiger Zufuhr eines Kohlenwasserstoffgases aufgetragen wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the hydrocarbon-containing tungsten layer ( 2 ) is applied by sputtering with a tungsten target with simultaneous supply of a hydrocarbon gas. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die amorphe Kohlenstoffschicht (3) durch Plasma unterstützte chemische Gasphasenabscheidung auf der kohlenwasserstoffhaltigen Wolfram-Schicht (2) abgeschieden wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the amorphous carbon layer ( 3 ) plasma-assisted chemical vapor deposition on the hydrocarbon-containing tungsten layer ( 2 ) is deposited. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass beim Sputtern der kohlenwasserstoffhaltigen Wolfram-Schicht (2) und als Reaktionsgas bei der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung der amorphen Kohlenstoffschicht (3) das gleiche Kohlenwasserstoffgas verwendet wird.A method according to claim 4 or 5, characterized in that during sputtering of the hydrocarbon-containing tungsten layer ( 2 ) and as reaction gas in the plasma-enhanced chemical vapor deposition of the amorphous carbon layer ( 3 ) the same hydrocarbon gas is used. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das beim Sputtern und der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung verwendete Kohlenwasserstoffgas Acetylen und/oder Methan ist.A method according to claim 6, characterized in that the hydrocarbon gas used in sputtering and plasma enhanced chemical vapor deposition is acetylene and / or methane. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Sputtern zum Auftragen der kohlenwasserstoffhaltigen Wolfram-Schicht (2) und die Gasphasenabscheidung der amorphen Kohlenstoffschicht (3) in der gleichen Kammer durchgeführt wird.Method according to one of claims 4 to 7, characterized in that the sputtering for applying the hydrocarbon-containing tungsten layer ( 2 ) and the vapor deposition of the amorphous carbon layer ( 3 ) is carried out in the same chamber. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die kohlenwasserstoffhaltige Wolfram-Schicht (2) mit einer Schichtdicke von 0,5 bis 3 μm auf dem Bauteil (1) aufgetragen und die amorphe Kohlenstoffschicht (3) mit einer Schichtdicke von 0,5 bis 6 μm auf der kohlenwasserstoffhaltigen Wolfram-Schicht (2) abgeschieden wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the hydrocarbon-containing tungsten layer ( 2 ) with a layer thickness of 0.5 to 3 μm on the component ( 1 ) and the amorphous carbon layer ( 3 ) with a layer thickness of 0.5 to 6 microns on the hydrocarbon-containing tungsten layer ( 2 ) is deposited.
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