DE102010031432A1 - Pressure sensor implant e.g. foldable intraocular lens, for measuring intraocular pressure to treat Glaucoma, has strip conductors electrically connecting electrical contacts of sensor with substrate over portion of outer surfaces of sensor - Google Patents

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Abstract

The implant has a pressure sensor (2) comprising outer surfaces (2a-2f), where one of the outer surfaces is provided with a pressure sensor membrane (3). Other outer surface is connected with a substrate (1). Strip conductors (5a, 5b) electrically connect electrical contacts (4a, 4b) of the sensor with the substrate over a portion of the outer surfaces of the sensor. Two plated through-holes are led by the sensor, where the sensor is designed as a silicon-based pressure sensor i.e. micro or nano-structured component. An encapsulation is made from flexible material i.e. biocompatible plastic.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Drucksensorimplantat, insbesondere einen Augeninnendrucksensor.The present invention relates to a pressure sensor implant, in particular an intraocular pressure sensor.

Stand der TechnikState of the art

Glaukom ist eine der häufigsten Erkrankungen des Sehnervs. Charakteristisch hierfür ist ein kontinuierlicher Verlust von Nervenfasern, welcher zu Gesichtsfeldausfällen und im Extremfall zu einer Erblindung des Auges führen kann. Als wichtigster Risikofaktor wird hierfür derzeit ein zu hoher Augeninnendruck angesehen.Glaucoma is one of the most common diseases of the optic nerve. Characteristic of this is a continuous loss of nerve fibers, which can lead to visual field defects and in extreme cases to blindness of the eye. The most important risk factor for this is currently considered to be too high intraocular pressure.

Für eine optimale Therapie ist es notwendig den Krankheitsverlauf und den Risikofaktoren genau zu verfolgen. Für die Bestimmung des Augeninnendrucks gibt es entsprechende Messgeräte in Arztpraxen. Da der Augeninnendruck jedoch stark schwanken kann, ist eine häufige Messung für eine genaue Diagnose notwendig.For optimal therapy, it is necessary to closely follow the course of the disease and the risk factors. For the determination of intraocular pressure, there are corresponding measuring devices in medical practices. However, since intraocular pressure can vary widely, frequent measurement is required for accurate diagnosis.

Die Druckschriften DE 199 45 879 C2 und WO 2001/021063 A1 beschreiben einen implantierbaren Drucksensor, welche eine häufige Messung des Augeninnendrucks erlaubt.The pamphlets DE 199 45 879 C2 and WO 2001/021063 A1 describe an implantable pressure sensor that allows frequent measurement of intraocular pressure.

Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention

Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Drucksensorimplantat, insbesondere Augeninnendrucksensor, welcher ein Substrat und einen Drucksensor mit einer Drucksensormembran und elektrischen Kontakten umfasst. Dabei umfasst eine erste Außenfläche des Sensors die Membran, wobei eine zweite (von der ersten unterschiedliche) Außenfläche des Sensors mit dem Substrat verbunden ist. Zudem umfasst das Implantat zum elektrischen Verbinden eines elektrischen Kontakts des Sensors mit dem Substrat mindestens eine, über mindestens einen Abschnitt einer Außenfläche des Sensors geführte Leiterbahn und/oder mindestens eine, durch den Sensor geführte Durchkontaktierung umfasst. Insbesondere kann dass Implantat dabei mindestens zwei, über mindestens einen Abschnitt einer Außenfläche des Sensors geführte Leiterbahnen und/oder mindestens zwei, durch den Sensor geführte Durchkontaktierungen umfassen.The subject matter of the present invention is a pressure sensor implant, in particular an intraocular pressure sensor, which comprises a substrate and a pressure sensor with a pressure sensor membrane and electrical contacts. In this case, a first outer surface of the sensor comprises the membrane, wherein a second (of the first different) outer surface of the sensor is connected to the substrate. In addition, the implant for electrically connecting an electrical contact of the sensor to the substrate comprises at least one conductor track guided over at least a portion of an outer surface of the sensor and / or at least one through-hole guided through the sensor. In particular, the implant may comprise at least two conductor tracks guided over at least a portion of an outer surface of the sensor and / or at least two plated-through holes guided through the sensor.

Dadurch, dass die Membran auf einer anderen Außenfläche des Sensors ausgebildet ist als diejenige Außenfläche über die der Sensor mit dem Substrat verbunden ist, kann vorteilhafterweise das Risiko einer Beschädigung der Membran beim Verbinden, beispielsweise Verkleben, des Sensors mit dem Substrat verringert werden. Dadurch kann wiederum das Herstellungsverfahren für das Implantat vereinfacht werden. Durch die Verwendung von Leiterbahnen und/oder Durchkontakten zum elektrischen Verbinden des Sensors mit dem Substrat, kann das Risiko einer Beschädigung ebenfalls verringert werden, da es sich hierbei um feste elektrische Verbindungen beziehungsweise eine gegenüber Verformungen starre und robuste Einheit handelt, welche – im Gegensatz zu Drahtverbindungen (Drahtbonds) – nicht durch einen, gegebenenfalls die Membranfunktion beeinträchtigen Kleber fixiert werden müssen.Because the membrane is formed on a different outer surface of the sensor than the outer surface via which the sensor is connected to the substrate, the risk of damage to the membrane during bonding, for example bonding, of the sensor to the substrate can advantageously be reduced. This in turn can simplify the manufacturing process for the implant. By using interconnects and / or vias for electrically connecting the sensor to the substrate, the risk of damage can also be reduced, since these are fixed electrical connections or a rigid and robust unit with respect to deformations which, unlike Wire bonds (wire bonds) - must not be fixed by a, possibly affecting the membrane function adhesive.

Im Rahmen einer Ausführungsform ist die erste Außenfläche des Sensors gegenüberliegend zur zweiten Außenfläche des Sensors ausgebildet. Auf diese Weise kann das Risiko einer Beschädigung der Membran beim Verbinden des Sensors mit dem Substrat vorteilhafterweise weiter gesenkt werden.In one embodiment, the first outer surface of the sensor is formed opposite to the second outer surface of the sensor. In this way, the risk of damaging the membrane when connecting the sensor to the substrate can advantageously be further reduced.

Im Rahmen einer weiteren Ausführungsform umfassen die Leiterbahn/en und/oder Durchkontaktierung/en Gold. Insbesondere können die Leiterbahn/en und/oder Durchkontaktierung/en aus Gold ausgebildet sein. Gold verfügt – verglichen mit Silber und Kupfer – über eine höhere Biokompatibilität, da Gold in Kontakt mit Körperflüssigkeiten nicht korrodiert und keine Immunreaktionen auslöst.In a further embodiment, the conductor track (s) and / or via (s) comprise gold. In particular, the conductor track (s) and / or plated through-hole (s) can be made of gold. Gold has greater biocompatibility compared to silver and copper because gold does not corrode in contact with body fluids and does not trigger immune responses.

Insofern das Implantat keine Verkapselung aufweist, wird daher vorzugsweise Gold als Material für die Leiterbahn/en und/oder Durchkontaktierung/en eingesetzt. Insofern das Implantat eine Verkapselung aufweist, können gegebenenfalls auch günstigere Materialien, wie Silber und Kupfer für die Leiterbahn/en und/oder Durchkontaktierung/en verwendet werden.Insofar as the implant has no encapsulation, it is therefore preferable to use gold as the material for the printed conductor (s) and / or via (s). Insofar as the implant has an encapsulation, it is also possible, if appropriate, to use more favorable materials, such as silver and copper, for the printed conductor (s) and / or via (s).

Im Rahmen einer weiteren Ausführungsform ist die zweite Außenfläche des Sensors mittels eines Klebstoffs, insbesondere biokompatiblen Klebstoffs, mit dem Substrat verbunden. Dies hat den Vorteil, dass ein Implantat mit einer geringen Baugröße auf einfache Weise hergestellt werden kann.In the context of a further embodiment, the second outer surface of the sensor is connected to the substrate by means of an adhesive, in particular a biocompatible adhesive. This has the advantage that an implant with a small size can be produced in a simple manner.

Im Rahmen einer weiteren Ausführungsform umfasst das Implantat weiterhin mindestens einen Kontaktkörper, welcher eine Leiterbahn und/oder einen Durchkontakt des Sensors elektrisch mit dem Substrat verbindet. Der Kontaktkörper kann beispielsweise ein Kontaktierhügel, auch Bump genannt, oder eine auf dem Substrat aufgebrachte Leiterbahn sein. Insofern das Implantat keine Verkapselung aufweist, umfasst auch in diesem Fall der Kontaktkörper vorzugsweise Gold oder ist sogar aus Gold ausgebildet. Beispielsweise kann es sich bei dem Kontaktkörper um einen so genannten Goldstud handeln.Within the scope of a further embodiment, the implant further comprises at least one contact body which electrically connects a conductor track and / or a through contact of the sensor to the substrate. The contact body, for example, a Kontaktierhügel, also called Bump, or be applied to the substrate trace. Insofar as the implant has no encapsulation, in this case also the contact body preferably comprises gold or is even made of gold. For example, the contact body may be a so-called Goldstud.

Vorzugsweise weist der Sensor eine Bauhöhe von weniger als 300 μm auf. Dies ermöglicht vorteilhafterweise die Implantation des Drucksensorimplantats in das Auge.Preferably, the sensor has a height of less than 300 microns. This advantageously allows the implantation of the pressure sensor implant into the eye.

Im Rahmen einer weiteren Ausführungsform ist der Sensor ein Silicium-basierter Drucksensor. Silicium-basierte Sensoren haben sich insbesondere für Augeninnendrucksensoren als vorteilhaft erwiesen. In another embodiment, the sensor is a silicon-based pressure sensor. Silicon-based sensors have proven to be particularly advantageous for intraocular pressure sensors.

Im Rahmen einer weiteren Ausführungsform ist der Sensor ein mikro- oder nanostrukturiertes Bauelement, beispielsweise ein MEMS oder NEMS. Unter einem „mikro- oder nanostrukturierten Bauelement” kann im Sinne der vorliegenden Erfindung insbesondere ein Bauelement mit internen Strukturabmessungen im Bereich von ≥ 1 nm bis ≤ 200 μm verstanden werden. Unter „internen Strukturabmessungen” können hierbei insbesondere Abmessungen von Strukturen innerhalb des Bauelements, wie Streben, Stege oder Leiterbahnen, verstanden werden. Die elektrischen Kontakte des Drucksensors können Bereiche beziehungsweise Flächen sein, welche zur elektrischen Kontaktierung des Sensors vorgesehen sind. Solch ein Bereich kann auch als Anschlusspad oder (Anschluss)kontakt bezeichnet werden. Der Sensor kann unter anderem integrierte Schaltungen, passive Bauelemente, keramische Kondensatoren oder Widerstände oder Aktoren umfassen. Derartige Sensoren haben sich insbesondere für Augeninnendrucksensoren als vorteilhaft erwiesen.Within the scope of a further embodiment, the sensor is a microstructured or nanostructured component, for example a MEMS or NEMS. For the purposes of the present invention, a "microstructured or nanostructured component" can be understood in particular to mean a component with internal structural dimensions in the range of ≥ 1 nm to ≦ 200 μm. In this case, "internal structural dimensions" can be understood in particular as meaning dimensions of structures within the component, such as struts, webs or strip conductors. The electrical contacts of the pressure sensor may be areas or surfaces which are provided for electrical contacting of the sensor. Such an area may also be referred to as a terminal pad or (terminal) contact. The sensor may include, but is not limited to, integrated circuits, passive devices, ceramic capacitors, or resistors or actuators. Such sensors have proven to be particularly advantageous for intraocular pressure sensors.

Im Rahmen einer weiteren Ausführungsform sind die Leiterbahn/en mittels einer Sprühtechnik (Englisch: „Spray Coating”) oder Drucktechnik, beispielsweise Titenstrahldrucken, ausgebildet. Insbesondere können die Leiterbahn/en aus einer Gold-gefüllten Flüssigkeit oder Paste oder einem Goldpartikel enthaltenden Pulver ausgebildet werden.In the context of a further embodiment, the conductor track / s are formed by means of a spraying technique (English: "spray coating") or printing technology, for example tail jet printing. In particular, the conductor track (s) can be formed from a gold-filled liquid or paste or a powder containing gold particles.

Im Rahmen einer weiteren Ausführungsform weist das Implantat eine Verkapselung aus einem flexiblen Material, beispielsweise einem biokompatiblen Kunststoff, auf. Insbesondere kann hierdurch der Sensor, die elektrischen Verbindungen und gegebenenfalls zumindest Abschnitte des Substrats verkapselt sein. Wie bereits erläutert werden durch eine Verkapselung die Ausgestaltungsmöglichkeiten des Implantats vergrößert. Zudem wird – im Gegensatz zu Implantaten mit fragilen, vor mechanischen Belastungen zu schützenden Drahtverbindungen (Drahtbonds) – bei erfindungsgemäßen Implantaten aufgrund der festen Kontaktierung über Leiterbahnen und Durchkontaktierungen vorteilhafterweise der Einsatz von einer flexiblen Verkapselung ermöglicht. Dies wirkt sich wiederum vorteilhaft auf die Eigenschaften des Implantats beim Implantieren und beim späteren Einsatz im Körperinneren aus.Within the scope of a further embodiment, the implant has an encapsulation made of a flexible material, for example a biocompatible plastic. In particular, this may encapsulate the sensor, the electrical connections and optionally at least portions of the substrate. As already explained, the design possibilities of the implant are increased by an encapsulation. In addition, in contrast to implants with fragile wire bonds (wire bonds) to be protected against mechanical stresses, the use of flexible encapsulation is advantageously made possible with implants according to the invention because of the firm contact via printed conductors and plated-through holes. This in turn has an advantageous effect on the properties of the implant during implantation and during later use in the interior of the body.

Im Rahmen einer weiteren Ausführungsform ist das Implantat eine Intraokularlinse, insbesondere faltbare Intraokularlinse. Für dieses Einsatzgebiet hat sich das erfindungsgemäße Drucksensorimplantat, insbesondere aus den vorstehenden Gründen, als besonders vorteilhaft erwiesen.In another embodiment, the implant is an intraocular lens, in particular a foldable intraocular lens. For this application, the pressure sensor implant according to the invention, in particular for the above reasons, has proved to be particularly advantageous.

Im Rahmen einer weiteren Ausführungsform umfasst die erste Außenfläche des Sensors oder eine andere, als die erste oder zweite Außenfläche des Sensors mindestens einen der elektrischen Kontakte, insbesondere zwei elektrische Kontakte, des Sensors.Within the scope of a further embodiment, the first outer surface of the sensor or a sensor other than the first or second outer surface of the sensor comprises at least one of the electrical contacts, in particular two electrical contacts.

Im Rahmen einer weiteren Ausführungsform sind die Leiterbahn/en über zumindest einen Abschnitt der ersten Außenfläche und zumindest einen daran angrenzenden Abschnitt einer anderen Außenfläche, als der ersten oder zweiten Außenfläche, des Sensors geführt. Beispielsweise können die Leiterbahn/en über zumindest einen Abschnitt der ersten Außenfläche und zumindest einen daran angrenzenden Abschnitt einer dritten Außenfläche, welche an die erste und zweite Außenfläche angrenzt, und gegebenenfalls zumindest einen daran angrenzenden Abschnitt der zweiten Außenfläche geführt sein. Dies ermöglicht vorteilhafterweise eine Kontaktierung der ersten, die Membran umfassenden Außenfläche, wobei vermieden werden kann, dass diese benachbart zu der zweiten, mit dem Substrat verbundenen Außenfläche ausgebildet sein muss. So kann – wie bereits erläutert – vorteilhafterweise eine Beeinträchtigung der Membran beim Verbinden des Sensors mit dem Substrat vermieden werden.In the context of a further embodiment, the conductor track / s are guided over at least a portion of the first outer surface and at least one portion of an outer surface adjacent thereto, as the first or second outer surface, of the sensor. For example, the interconnect (s) may be routed over at least a portion of the first outer surface and at least one adjacent portion of a third outer surface adjacent the first and second outer surfaces and optionally at least one adjacent portion of the second outer surface. This advantageously makes it possible to contact the first outer surface comprising the membrane, wherein it can be avoided that it must be formed adjacent to the second outer surface connected to the substrate. Thus, as already explained, an impairment of the membrane when connecting the sensor to the substrate can advantageously be avoided.

Im Rahmen einer weiteren Ausführungsform erstreckt sich die Durchkontaktierung/en von der ersten Außenfläche zur zweiten Außenfläche durch den Sensor. Auch hierdurch kann – wie bereits erläutert – vorteilhafterweise eine elektrische Kontaktierung des Sensors unter Vermeidung einer Beeinträchtigung der Membran beim Verbinden des Sensors mit dem Substrat gewährleistet werden.In another embodiment, the via (s) extend from the first outer surface to the second outer surface through the sensor. This also makes it possible-as already explained-to advantageously ensure electrical contacting of the sensor while avoiding impairment of the membrane when connecting the sensor to the substrate.

Zeichnungen und BeispieleDrawings and examples

Weitere Vorteile und vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Gegenstände werden durch die Zeichnungen veranschaulicht und in der nachfolgenden Beschreibung erläutert. Dabei ist zu beachten, dass die Zeichnungen nur beschreibenden Charakter haben und nicht dazu gedacht sind, die Erfindung in irgendeiner Form einzuschränken. Es zeigenFurther advantages and advantageous embodiments of the subject invention are illustrated by the drawings and explained in the following description. It should be noted that the drawings have only descriptive character and are not intended to limit the invention in any way. Show it

1 einen schematischen Querschnitt durch eine erste Ausführungsform eines Drucksensorimplantats; 1 a schematic cross section through a first embodiment of a pressure sensor implant;

2 einen schematischen Querschnitt durch eine zweite Ausführungsform eines Drucksensorimplantats; und 2 a schematic cross section through a second embodiment of a pressure sensor implant; and

3 einen schematischen Querschnitt durch eine dritte Ausführungsform eines Drucksensorimplantats. 3 a schematic cross section through a third embodiment of a pressure sensor implant.

1 zeigt eine erste Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Drucksensorimplantats, insbesondere Augeninnendrucksensor. 1 illustriert, dass das Implantat ein Substrat 1 und einen Drucksensor 2 umfasst, wobei der Sensor eine Drucksensormembran 3 und zwei elektrische Kontakten 4a, 4b aufweist. 1 veranschaulicht, dass der Sensor 2 sechs Außenfläche 2a, 2b, 2c, 2d, 2e, 2f aufweist, wobei die erste Außenfläche 2a des Sensors 2 die Membran 3 und zwei elektrischen Kontakte 4a, 4b des Sensors 2 umfasst. 1 zeigt, dass gegenüberliegend zur ersten Außenfläche 2a die zweite Außenfläche 2b ausgebildet ist, über welche der Sensor 2 mit dem Substrat 1 verbunden ist. 1 illustriert, dass dabei die zweite Außenfläche 2b des Sensors 2 mittels eines Klebstoffs 7 mit dem Substrat 2 verbunden ist. 1 shows a first embodiment of a pressure sensor implant according to the invention, in particular intraocular pressure sensor. 1 illustrates that the implant is a substrate 1 and a pressure sensor 2 comprising, wherein the sensor is a pressure sensor membrane 3 and two electrical contacts 4a . 4b having. 1 illustrates that the sensor 2 six outer surface 2a . 2 B . 2c . 2d . 2e . 2f having, wherein the first outer surface 2a of the sensor 2 the membrane 3 and two electrical contacts 4a . 4b of the sensor 2 includes. 1 shows that opposite to the first outer surface 2a the second outer surface 2 B is formed, over which the sensor 2 with the substrate 1 connected is. 1 illustrates that while doing the second outer surface 2 B of the sensor 2 by means of an adhesive 7 with the substrate 2 connected is.

Im Rahmen der in 1 gezeigten, ersten Ausführungsform umfasst das Implantat zwei, über Abschnitte mehrerer Außenflächen 2a, 2c, 2d, 2b des Sensors 2 geführte Leiterbahnen 5a, 5b zum elektrischen Verbinden jeweils eines elektrischen Kontakts 4a, 4b des Sensors 2 mit dem Substrat 1. 1 zeigt, dass die beiden Leiterbahnen 5a, 5b jeweils über einen Abschnitt der ersten Außenfläche 2a und einen daran angrenzenden Abschnitt einer dritten Außenfläche 2c, 2d, welche an die erste 2a und zweite 2b Außenfläche angrenzt, und einen daran angrenzenden Abschnitt der zweiten Außenfläche 2b geführt sind. 1 veranschaulicht ferner, dass die Leiterbahnen 5a, 5b jeweils durch drei mittels einer Drucktechnik aufgebrachte Leiterbahnabschnitte ausgebildet werden.As part of the in 1 In the first embodiment shown, the implant comprises two, over sections of several outer surfaces 2a . 2c . 2d . 2 B of the sensor 2 guided tracks 5a . 5b for electrically connecting each of an electrical contact 4a . 4b of the sensor 2 with the substrate 1 , 1 shows that the two tracks 5a . 5b each over a portion of the first outer surface 2a and an adjacent portion of a third outer surface 2c . 2d , which to the first 2a and second 2 B Outer surface adjacent, and an adjacent portion of the second outer surface 2 B are guided. 1 further illustrates that the traces 5a . 5b each formed by three applied by a printing technique trace sections.

Darüber hinaus umfasst das Implantat im Rahmen der in 1 gezeigten, ersten Ausführungsform zwei Kontaktkörper 8a, 8b, insbesondere Goldstuds, über welche die Leiterbahnen 5a, 5b des Sensors 2, insbesondere die Leiterbahnabschnitte auf der zweiten Außenfläche 2b des Sensors 2, jeweils elektrisch mit dem Substrat 1 verbinden.In addition, the implant includes under the 1 shown, the first embodiment of two contact body 8a . 8b , in particular Goldstuds, about which the tracks 5a . 5b of the sensor 2 , in particular the conductor track sections on the second outer surface 2 B of the sensor 2 , each electrically connected to the substrate 1 connect.

Die in 2 gezeigte, zweite Ausführungsform des erfindungsgemäßen Drucksensorimplantats unterscheidet sich im Wesentlichen dadurch von der in 1 gezeigten, ersten Ausführungsform, dass die zwei Kontaktkörper 8a, 8b auf dem Substrat ausgebildete Leiterbahnen sind und sich die beiden Leiterbahnen 5a, 5b nur jeweils über einen Abschnitt der ersten Außenfläche 2a und einen daran angrenzenden Abschnitt einer dritten Außenfläche 2c, 2d, welche an die erste 2a und zweite 2b Außenfläche angrenzt geführt sind. 2 veranschaulicht dabei, dass dabei die elektrische Verbindung zwischen den Leiterbahnen des Substrats 8a, 8b und den Leiterbahnen des Sensors 5a, 5b durch einen verbindenden Leiterbahnzwischenabschnitt 9a, 9b, welcher beispielsweise ebenfalls mittels einer Drucktechnik ausgebildet werden kann, gewährleistet wird.In the 2 shown second embodiment of the pressure sensor implant according to the invention differs essentially from the in 1 shown, the first embodiment, that the two contact bodies 8a . 8b formed on the substrate tracks are and the two interconnects 5a . 5b only each over a portion of the first outer surface 2a and an adjacent portion of a third outer surface 2c . 2d , which to the first 2a and second 2 B Outside surface is guided adjacent. 2 illustrates that while the electrical connection between the tracks of the substrate 8a . 8b and the tracks of the sensor 5a . 5b by a connecting interconnect section 9a . 9b , which can also be formed for example by means of a printing technique is guaranteed.

Die in 3 gezeigte, dritte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Drucksensorimplantats unterscheidet sich im Wesentlichen dadurch von den in 1 und 2 gezeigten Ausführungsformen, dass das Implantat anstelle von Leiterbahnen zwei Durchkontaktierungen 6a, 6b zum elektrischen Verbinden jeweils eines elektrischen Kontakts 4a, 4b des Sensors 2 mit dem Substrat 1 aufweist, welche sich von der ersten Außenfläche 2a zur zweiten Außenfläche 2b durch den Sensor 2 erstrecken. 3 veranschaulicht, dass eine elektrische Verbindung der Durchkontaktierungen 6a, 6b zum Substrat 1 auf einfache Weise durch Kontaktkörper 8a, 8b, insbesondere Goldstuds, gewährleistet werden kann, welche die von der zweiten Außenfläche 2b zugänglichen Durchkontaktierungen 6a, 6b kontaktieren.In the 3 shown third embodiment of the pressure sensor implant according to the invention differs essentially from the in 1 and 2 shown embodiments that the implant instead of interconnects two vias 6a . 6b for electrically connecting each of an electrical contact 4a . 4b of the sensor 2 with the substrate 1 which extends from the first outer surface 2a to the second outer surface 2 B through the sensor 2 extend. 3 illustrates that an electrical connection of the vias 6a . 6b to the substrate 1 in a simple way by contact body 8a . 8b , in particular Goldstuds, can be guaranteed, which are those of the second outer surface 2 B accessible vias 6a . 6b to contact.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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  • DE 19945879 C2 [0004] DE 19945879 C2 [0004]
  • WO 2001/021063 A1 [0004] WO 2001/021063 A1 [0004]

Claims (12)

Drucksensorimplantat, insbesondere Augeninnendrucksensor, umfassend – ein Substrat (1) und – einen Drucksensor (2) mit einer Drucksensormembran (3) und elektrischen Kontakten (4a, 4b), wobei eine erste Außenfläche (2a) des Sensors (2) die Membran (3) umfasst, wobei eine zweite Außenfläche (2b) des Sensors (2) mit dem Substrat (1) verbunden ist, wobei das Implantat zum elektrischen Verbinden eines elektrischen Kontakts (4a, 4b) des Sensors (2) mit dem Substrat (1) mindestens eine, über mindestens einen Abschnitt einer Außenfläche (2a, 2c, 2d, 2b) des Sensors (2) geführte Leiterbahn (5a, 5b) und/oder mindestens eine, durch den Sensor (2) geführte Durchkontaktierung (6a, 6b) umfasst.Pressure sensor implant, in particular intraocular pressure sensor, comprising - a substrate ( 1 ) and - a pressure sensor ( 2 ) with a pressure sensor membrane ( 3 ) and electrical contacts ( 4a . 4b ), wherein a first outer surface ( 2a ) of the sensor ( 2 ) the membrane ( 3 ), wherein a second outer surface ( 2 B ) of the sensor ( 2 ) with the substrate ( 1 ), wherein the implant for electrically connecting an electrical contact ( 4a . 4b ) of the sensor ( 2 ) with the substrate ( 1 ) at least one, over at least a portion of an outer surface ( 2a . 2c . 2d . 2 B ) of the sensor ( 2 ) guided track ( 5a . 5b ) and / or at least one, through the sensor ( 2 ) guided via ( 6a . 6b ). Drucksensorimplantat nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Außenfläche (2a) des Sensors (2) gegenüberliegend zur zweiten Außenfläche des Sensors (2) ist.Pressure sensor implant according to claim 1, characterized in that the first outer surface ( 2a ) of the sensor ( 2 ) opposite the second outer surface of the sensor ( 2 ). Drucksensorimplantat nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahn/en (5a, 5b) und/oder Durchkontaktierung/en (6a, 6b) Gold umfassen.Pressure sensor implant according to claim 1 or 2, characterized in that the conductor track (s) ( 5a . 5b ) and / or via (s) ( 6a . 6b ) Gold include. Drucksensorimplantat nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Außenfläche (2b) des Sensor (2) mittels eines Klebstoffs (7) mit dem Substrat (2) verbunden ist.Pressure sensor implant according to one of claims 1 to 3, characterized in that the second outer surface ( 2 B ) of the sensor ( 2 ) by means of an adhesive ( 7 ) with the substrate ( 2 ) connected is. Drucksensorimplantat nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Implantat weiterhin mindestens einen Kontaktkörper (8a, 8b) umfasst, welcher eine Leiterbahn (5a, 5b) und/oder einen Durchkontakt (6a, 6b) des Sensors (2) elektrisch mit dem Substrat (1) verbindet.Pressure sensor implant according to one of claims 1 to 4, characterized in that the implant further comprises at least one contact body ( 8a . 8b ) comprising a conductor track ( 5a . 5b ) and / or a via ( 6a . 6b ) of the sensor ( 2 ) electrically to the substrate ( 1 ) connects. Drucksensorimplantat nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor (2) ein Silicium-basierter Drucksensor, insbesondere ein mikro- oder nanostrukturiertes Bauelement, ist.Pressure sensor implant according to one of claims 1 to 5, characterized in that the sensor ( 2 ) is a silicon-based pressure sensor, in particular a micro- or nanostructured device. Drucksensorimplantat nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahn/en (5a, 5b) mittels einer Sprühtechnik oder Drucktechnik, insbesondere aus einer Gold-gefüllten Flüssigkeit oder Paste oder einem Goldpartikel enthaltenden Pulver, ausgebildet sind.Pressure sensor implant according to one of claims 1 to 6, characterized in that the conductor track (s) ( 5a . 5b ) are formed by means of a spraying or printing technique, in particular of a gold-filled liquid or paste or a powder containing gold particles. Drucksensorimplantat nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Implantat eine Verkapselung aus einem flexiblen Material, beispielsweise einem biokompatiblen Kunststoff, aufweist.Pressure sensor implant according to one of claims 1 to 7, characterized in that the implant comprises an encapsulation of a flexible material, for example a biocompatible plastic. Drucksensorimplantat nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Implantat eine Intraokularlinse, insbesondere faltbare Intraokularlinse, ist.Pressure sensor implant according to one of claims 1 to 8, characterized in that the implant is an intraocular lens, in particular foldable intraocular lens. Drucksensorimplantat nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Außenfläche (2a) des Sensors (2) oder eine andere, als die erste oder zweite Außenfläche (2c, 2d, 2e, 2f) des Sensors (2) mindestens einen der elektrischen Kontakte (4a, 4b) des Sensors (2) umfasst.Pressure sensor implant according to one of claims 1 to 9, characterized in that the first outer surface ( 2a ) of the sensor ( 2 ) or other than the first or second outer surface ( 2c . 2d . 2e . 2f ) of the sensor ( 2 ) at least one of the electrical contacts ( 4a . 4b ) of the sensor ( 2 ). Drucksensorimplantat nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahn/en (5a, 5b) über zumindest einen Abschnitt der ersten Außenfläche (2a) und zumindest einen daran angrenzenden Abschnitt einer anderen Außenfläche (2c, 2d, 2e, 2f), als der ersten (2a) oder zweiten (2b) Außenfläche, des Sensors (2) geführt sind.Pressure sensor implant according to one of claims 1 to 10, characterized in that the conductor track (s) ( 5a . 5b ) over at least a portion of the first outer surface ( 2a ) and at least one adjacent portion of another outer surface ( 2c . 2d . 2e . 2f ), as the first ( 2a ) or second ( 2 B ) Outer surface of the sensor ( 2 ) are guided. Drucksensorimplantat nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Durchkontaktierung/en (6a, 6b) von der ersten Außenfläche (2a) zur zweiten Außenfläche (2b) durch den Sensor (2) erstrecken.Pressure sensor implant according to one of claims 1 to 11, characterized in that the via (s) ( 6a . 6b ) from the first outer surface ( 2a ) to the second outer surface ( 2 B ) through the sensor ( 2 ).
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