DE102010012441B4

DE102010012441B4 - Millinewton-Mikrokraftmesser und Verfahren zum Herstellen eines Millinewton-Mikrokraftmessers

Info

Publication number: DE102010012441B4
Application number: DE102010012441.9A
Authority: DE
Inventors: Dr. Bütefisch Sebastian
Original assignee: Bundesrepublik Deutschland; Bundesministerium fuer Wirtschaft und Energie
Current assignee: Bundesrepublik Deutschland; Bundesministerium fuer Wirtschaft und Energie
Priority date: 2010-03-23
Filing date: 2010-03-23
Publication date: 2015-06-25
Anticipated expiration: 2030-03-24
Also published as: DE102010012441A1

Abstract

Millinewton-Mikrokraftmesser (24) zum Messen von Kräften (F) unterhalb von 500 Millinewton, mit einem Mikrosensor (58), der (a) ein erstes längliches Sensorelement (26), das – einen ersten Erstelement-Auflagerbereich (30) an einem ersten Erstelement-Ende (32), – einen zweiten Erstelement-Auflagerbereich (34) an einem dem ersten Erstelement-Ende (32) gegenüberliegenden zweiten Erstelement-Ende (36) und – einen Erstelement-Federbereich (40, 42) zwischen den Erstelement-Auflagerbereichen (30, 34) aufweist, und (b) ein zweites längliches Sensorelement (28), das – einen ersten Zweitelement-Auflagerbereich (44) an einem ersten Zweitelement-Ende (46), – einen zweiten Zweitelement-Auflagerbereich (48) an einem dem ersten Zweitelement-Ende (46) gegenüberliegenden zweiten Zweitelement-Ende (50) und – einen Zweitelement-Federbereich (54, 56) zwischen den Zweitelement-Auflagerbereichen (44, 48) aufweist, umfasst, (c) wobei der erste Erstelement-Auflagerbereich (30) mit dem ersten Zweitelement-Auflagerbereich (44) an einem ersten Sensorende (60) und der zweite Erstelement-Auflagerbereich (44) mit dem zweiten Zweitelement-Auflagerbereich (48) an einem zweiten Sensorende (64) verbunden sind, und (d) einer Haltevorrichtung (62), an der der Mikrosensor (58) mit dem ersten Sensorende (60) befestigt ist, (e) wobei das zweite Sensorende (64) ein relativ zur Haltevorrichtung (62) bewegliches freies Ende ist, (f) wobei das erste Sensorelement (26) eine Erstelement-Versteifungsmarkierung (38) zwischen dem ersten Erstelement-Auflagerbereich (30) und dem zweiten Erstelement-Auflagerbereich (34) aufweist, (g) wobei das zweite Sensorelement (28) eine Zweitelement-Versteifungsmarkierung (52) zwischen dem ersten Zweitelement-Auflagerbereich (44) und dem zweiten Zweitelement-Auflagerbereich (48) aufweist und (h) wobei die Erstelement-Versteifungsmarkierung (38) und die Zweitelement-Versteifungsmarkierung (52) voneinander beabstandet sind dadurch gekennzeichnet, dass ...

Description

Die Erfindung betrifft ein Millinewton-Kraftmesser zum Messen von Kräften unterhalb von 500 Millinewton und ein Verfahren zum Herstellen eines solchen Kraftmessers.
Bekannt sind konventionelle Kraftsensoren, die feinmechanisch hergestellt sind und technologiebedingt eine minimale Messbereichsuntergrenze von ca. 500 Millinewton haben. Bekannt sind zudem, beispielsweise aus der DE 198 10 756 A1 und dem Aufsatz von Nesterov und Brand „Modelling and investigation of the silicon twin design 3D micro probe”, Journal of Micromechanics and Microengineering 15 (2005) 514–520, mikrotechnisch hergestellte Kraftsensoren, die vom unteren Millinewton- bis hinunter in den Mikronewtonbereich arbeiten. Für den Messbereich zwischen 10 Millinewton und 500 Millinewton werden bislang feinmechanisch hergestellte Kraftsensoren verwendet. Diese Millinewton-Kraftmesser sind jedoch aufwendig in der Fertigung und weisen eine relativ geringe Messgenauigkeit auf.
Ein derartiger Millinewton-Kraftmesser ist aus der DE 197 13 881 A1 in Form eines Sensors zur Zugspannungsmessung an Fäden bekannt. Die Verformungselemente derartiger Sensoren werden aus Metall, in der Regel aus Aluminium, aufgebaut. Das begrenzt jedoch bei kleinen Kräften unterhalb von 500 mN die Messgenauigkeit signifikant, da hinreichend dünne Metallelemente eine Dicke in der Größenordnung der Korndurchmesser haben.
Aus der DE 10 2007 033 441 A1 ist ein Kraftmesssensor in Form eines Cantilevers für ein Rasterkraftmikroskop bekannt, der zwei parallel zueinander verlaufende Silizium-Blattfedern umfasst. Ein derartiger Kraftmesssensor weist nur für sehr kleine Kräfte im Mikronewtonbereich geeignet.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Messgenauigkeit bei der Messung von Kräften von 500 Millinewton und darunter zu verbessern.
Die Erfindung löst das Problem durch Millinewton-Mikrokraftmesser mit den Merkmalen von Anspruch 1.
Gemäß einem zweiten Aspekt löst die Erfindung das Problem durch ein Verfahren zum Herstellen eines Millinewton-Mikrokraftsensors gemäß Anspruch 7.
Vorteilhaft an der Erfindung ist, dass der vorher nicht abgedeckte Messbereich zwischen 500 Millinewton und 10 Millinewton abgedeckt werden kann. Hierunter ist insbesondere zu verstehen, dass in dem genannten Messbereich eine Messgenauigkeit von besser als 10^–4 erreichbar ist.
Vorteilhaft ist zudem, dass die Empfindlichkeit des Mikrosensors über eine Membrandicke des Sensorelementes eingestellt werden kann. Die Membrandicke bezeichnet die Dicke des Sensorelements in den Federbereichen.
Besonders vorteilhaft ist, dass im Gegensatz zu bekannten mikro-elektromechanischen Kraftsensoren, die auch als Cantilever bezeichnet werden, die Empfindlichkeit am freien Ende auf Kräfte nahezu unabhängig vom Krafteinleitungspunkt ist. Daraus resultiert eine erhöhte Messgenauigkeit.
Die Größe der Flächen am freien Ende ist zudem im Vergleich zu bekannten Kraftsensoren, die als mikro-elektromechanisches System aufgebaut sind, so groß, dass der erfindungsgemäße Millinewton-Mikrokraftsensor problemlos zur Kalibrierung von Antastkräften von Tastschnittgeräten genutzt werden kann.
Ein weiterer Vorteil ist die hohe Präzision bei der Fertigung, da die Sensorelemente durch gut beherrschte Ätzprozesse in Silizium hergestellt werden können.
Im Rahmen der vorliegenden Beschreibung wird unter den Sensorelementen insbesondere eine Vorrichtung in Form eines Streifensensors verstanden. Aufgrund seiner gelenkigen Gestalt kann das Sensorelement auch als Cantilever bezeichnet werden.
Die Federbereiche sind vorzugsweise durch membranartige Abschnitte konstanter Dicke gebildet.
Unter einem Millinewton-Mikrokraftmesser zum Messen von Kräften innerhalb von 500 Millinewton wird eine Vorrichtung verstanden, die für eine Kraft unterhalb von 500 Millinewton und oberhalb von 10 Millinewton eine relative Messgenauigkeit von besser als 10^–4 erreicht. Grundsätzlich ist jeder Kraftmesser geeignet, auch kleine Kräfte zu messen, das aber wird den Anforderungen an einen Kraftmesser nicht gerecht. So ist ein Millinewton-Mikrokraftmesser nur dann als Messgerät geeignet, wenn er zumindest die genannte Messgenauigkeit erreicht.
Es ist günstig, wenn das längliche Sensorelement eine Breite von höchstens 2 mm aufweist. Auf diese Weise ergibt sich ein besonders kleiner Millinewton-Mikrokraftsensor. Vorteilhaft ist zudem, wenn die Auflagerbereiche eine Fläche von weniger als 5 mm² aufweisen.
Erfindungsgemäß weist das erste Sensorelement eine Erstelement-Versteifungsmarkierung zwischen dem ersten Erstelement-Auflagerbereich und dem zweiten Erstelement-Auflagerbereich auf, wobei das zweite Sensorelement eine Zweitelement-Versteifungsmarkierung zwischen dem ersten Zweitelement-Auflagerbereich und dem zweiten Zweitelement-Auflagerbereich aufweist und im lastfreien Fall die Erstelement-Versteifungsmarkierung und die Zweitelement-Versteifungsmarkierung voneinander beabstandet sind. Die Versteifungsmarkierungen können auch als „Center boss” bezeichnet werden und führen dazu, dass bei einer Deformation durch Bewegen des zweiten Sensorendes am freien Ende sich die Deformation in den Bereichen konzentriert, in denen die Federbereiche in die Auflagerbereiche bzw. die Versteifungsmarkierungen übergehen. Derartige Versteifungsmarkierungen sind zwar für Mikro-Elektro-Mechanische Systeme (MEMS) bekannt, diese sind aber nur für kleinere Kräfte geeignet und in Millinewton-Messbereichen nicht einsetzbar.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind das erste Sensorelement und das zweite Sensorelement prismatisch. Sie lassen sich dann, wie weiter unten beschrieben ist, besonders leicht herstellen. Prismatische Sensorelemente können so aufgebaut sein, dass die gesamte Struktur der Sensorelemente prismatisch ist. Es existieren in diesem Fall keine Bereiche, in denen die Sensorelemente von der prismatischen Struktur abweichen.
Erfindungsgemäß sind das erste Sensorelement und das zweite Sensorelement aus Silizium gefertigt und miteinander durch Bonden verbunden. Auf diese Weise lässt sich der Millinewton-Mikrokraftmesser besonders leicht fertigen.
Vorzugsweise hat das erste Sensorelement eine ebene erste Breitseite und das zweite Sensorelement eine ebene zweite Breitseite, wobei die Breitseiten einander abgewandt orientiert sind. In diesem Fall sind die Federbereiche durch Ausnehmungen gebildet, die einander zugewandt angeordnet sind.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist das erste Sensorelement zwischen dem ersten Erstelement-Auflagerbereich und der Versteifungsmarkierung und zwischen der Versteifungsmarkierung und dem zweiten Erstelement-Auflagerbereich jeweils eine Ausnehmung auf, wobei das zweite Sensorelement zwischen dem ersten Zweitelement-Auflagerbereich und der Versteifungsmarkierung und zwischen der Versteifungsmarkierung und dem zweiten Zweitelement-Auflagerbereich jeweils eine Ausnehmung aufweist. Die Ausnehmung des ersten Sensorelements sind den Ausnehmungen des zweiten Sensorelements zugewandt orientiert. Es kann dabei bevorzugt vorgesehen sein, dass das zweite Sensorelement bezüglich einer Kontaktebene, in der die beiden Sensorelemente miteinander befestigt sind, spiegelbildlich zum ersten Sensorelement aufgebaut ist. In diesem Fall ergibt sich ein besonders leicht zu fertigender Sensor, der zudem eine besonders hohe Messgenauigkeit gestattet.
Erfindungsgemäß ist zudem ein Tastschnittgerät mit einem erfindungsgemäßen Millinewton-Kraftmesser und einem an einem freien Ende des Sensorelements befestigten Tastkopf. Ein derartiges Tastschnittgerät umfasst zudem in der Regel eine Auswerteeinheit, die ausgebildet ist zum automatischen Auslesen eines elektrischen Widerstands eines piezoresistiven Elements auf dem Sensorelement und zum Errechnen und Ausgeben einer Kraft aus einer Widerstandsänderung des piezoresistiven Elements. Tastschnittgeräte dienen zum Erfassen der makroskopischen Oberflächentopografie. Rasterkraftmikroskope stellen selbstverständlich keine Tastschnittgeräte dar.
Vorteilhaft an dem erfindungsgemäßen Verfahren ist, dass es die Massenfertigung von Millinewton-Mikrokraftmessern gestattet. Es ist dabei nicht notwendig, dass zwei gesondert hergestellte Siliziumwafer aneinander befestigt werden. Es ist auch möglich, dass der zweite der beiden Siliziumwafer durch Zerschneiden des ersten Siliziumwafers hergestellt worden ist.
Im Folgenden wird die Erfindung anhand der beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigt
1a eine Draufsicht auf einen bekannten Kraftsensor in MEMS(Micro Electro Mechanical System)-Bauweise,
1b einen Querschnitt durch den Kraftsensor gemäß 1a und
2 einen erfindungsgemäßen Millinewton-Mikrokraftmesser.
1a zeigt einen Kraftmesser gemäß dem Stand der Technik, bei dem auf einer Membran eine Versteifungsmarkierung angebracht ist. 1b zeigt, dass die Kraft an einem zentrischen Krafteinleitungselement 10 einzuleiten ist. Wird beispielsweise die Kraft F auf das Krafteinleitungselement 10 aufgebracht, so dehnen sich ein erster Bereich 12 und ein zweiter Bereich 14, da eine obere Hälfte 16 und eine untere Hälfte 18 sowohl in einem umlaufenden Rahmenbereich 20 als auch mittig in einem Boss 22 miteinander verbunden sind.
2 zeigt einen erfindungsgemäßen Millinewton-Mikrokraftmesser 24, der ein erstes längliches Sensorelement 26 und ein zweites Sensorelement 28 umfasst.
Das erste Sensorelement 26 besitzt einen ersten Erstelement-Auflagerbereich 30 an einem ersten Erstelement-Ende 32, einen zweiten Erstelement-Auflagerbereich 34 an einem zweiten Erstelement-Ende 36 sowie eine Erstelement-Versteifungsmarkierung 38. Zwischen dem ersten Erstelement-Auflagerbereich 30 und der Erstelement-Versteifungsmarkierung 38 ist ein erster Erstelement-Federbereich 40 angeordnet. Zwischen der Erstelement-Versteifungsmarkierung 38 und dem zweiten Erstelement-Auflagerbereich 34 ist ein zweiter Erstelement-Federbereich 40 vorhanden.
Das zweite Sensorelement 28 ist bezüglich einer Kontaktebene E symmetrisch zum ersten Sensorelement 26 aufgebaut. Das zweite Sensorelement 28 umfasst demgemäß einen ersten Zweitelement-Auflagerbereich 44 an einem ersten Zweitelement-Ende 46, einen zweiten Zweitelement-Auflagerbereich 48 an einem zweiten Zweitelement-Ende 50 sowie eine Zweitelement-Versteifungsmarkierung 52 nebst einem ersten Zweitelement-Federbereich 54 und einem zweiten Zweitelement-Federbereich 56.
Beide Sensorelemente 26, 28 sind streng prismatisch aufgebaut und haben damit entlang ihrer Breite B stets den gleichen Querschnitt. Die Breite B liegt zwischen 1000 Mikrometer und 5 mm. Die Höhe H liegt zwischen 300 Mikrometer und einem 1 mm. Die Länge L liegt zwischen 3 mm und 10 mm.
Die beiden Sensorelement 26, 28 sind mit ihren jeweiligen Auflagerbereichen 30 und 44 einerseits sowie 34 und 48 andererseits miteinander fest verbunden. Die Versteifungsmarkierungen 38, 52 haben jedoch einen Abstand a voneinander, der beispielsweise größer als 2 Mikrometer ist. So miteinander verbunden bilden die Sensorelement 26 und 28 einen Mikrosensor 58.
Der Mikrosensor 58 ist mit einem ersten Sensorende 60, das dem Erstelement-Ende 32 und dem Zweitelement-Ende 46 entspricht, in einer Haltevorrichtung 62 befestigt. Das gegenüberliegende, freie Ende 64 dient zur Kraftanleitung der Kraft F. Das erste Sensorelement 26 besitzt eine erste Breitseite 66, die einer zweiten Breitseite 68 des zweiten Sensorelementes 28 abgewandt ist. Auf diese Weise sind Ausnehmungen 70.1, 70.2 des ersten Sensorelementes 26 sowie 72.1 und 72.2 des zweiten Sensorelements 28 einander zugewandt.
Benachbart zum ersten Sensorende 60 ist ein piezoresistives Element 73 auf zumindest dem ersten Sensorelement 26 angeordnet und über nicht eingezeichnete elektrische Leitungen mit einer ebenfalls nicht eingezeichneten Auswerteeinheit verbunden.
Am freien Ende 64 ist zudem eine schematisch eingezeichnete Aufnahme 74 befestigt, an der ein nicht eingezeichneter Tastkopf befestigt werden kann. Der Millinewton-Mikrokraftmesser 24 kann dann Teil eines Tastschnittgeräts sein, mit dem beispielsweise die Oberflächenrauheit wie die Rautiefe eines Bauteils bestimmt werden kann.
Der Millinewton-Kraftmesser 24 wird hergestellt, indem zunächst das piezoresistive Element 73 auf den Siliziumwafer aufgebracht wird. Vorzugsweise wird eine Mehrzahl von derartigen piezoresistiven Elementen 73 aufgebracht, die danach zu unterschiedlichen Mikrosensoren gehören.
Danach werden die Ausnehmungen 70.1, 70.2 herausgeätzt und nachfolgend der übrig gebliebene Centerboss bzw. die Erstelement-Versteifungsmarkierung 38 in ihrer Höhe durch nasschemisches Ätzen verringert. Nachfolgend wird der Wafer halbiert und die beiden Hälften so miteinander verbunden, dass die jeweiligen Auflagerbereiche gegenüberliegen. In einem weiteren Schritt werden die Mikrosensoren vereinzelt und mit den übrigen Komponenten zu einem Millinewton-Mikrokraftmesser verbaut.
Alternativ zum Reduzieren der Höhe der Erstelement-Versteifungsmarkierung 38 durch Ätzen können auch zumindest die Auflagerbereiche mit einer Schicht versehen werden, die für den Abstand der beiden Versteifungsmarkierungen sorgt. Es ist möglich, diese Schicht zunächst überall aufzubringen und dann im Bereich der Versteifungsmarkierung wieder zu entfernen.
Bezugszeichenliste

10: Krafteinleitungselement
12: erster Bereich
14: zweiter Bereich
16: Hälfte
18: Hälfte
20: Rahmenbereich
22: Boss
24: Millinewton-Mikrokraftmesser
26: erstes Sensorelement
28: zweites Sensorelement
30: erster Erstelement-Auflagerbereich
32: erstes Erstelement-Ende
34: zweiter Erstelement-Auflagerbereich
36: zweites Erstelement-Ende
38: Erstelement-Versteifungsmarkierung
40: erster Erstelement-Federbereich
42: zweiter Erstelement-Federbereich
44: erster Zweitelement-Auflagerbereich
46: erstes Zweitelement-Ende
48: zweiter Zweitelement-Auflagerbereich
50: zweites Zweitelement-Ende
52: Zweitelement-Versteifungsmarkierung
54: erster Zweitelement-Federbereich
56: zweiter Zweitelement-Federbereich
58: Mikrosensor
60: erstes Sensorende
62: Haltevorrichtung
64: zweites Sensorende, freies Ende
66: erste Breitseite
68: zweite Breitseite
70: Ausnehmung
72: Ausnehmung
73: piezoresistives Element
74: Aufnahme
E: Kontaktebene
F: Kraft
B: Breite
a: Abstand

Claims

Millinewton-Mikrokraftmesser (24) zum Messen von Kräften (F) unterhalb von 500 Millinewton, mit einem Mikrosensor (58), der (a) ein erstes längliches Sensorelement (26), das – einen ersten Erstelement-Auflagerbereich (30) an einem ersten Erstelement-Ende (32), – einen zweiten Erstelement-Auflagerbereich (34) an einem dem ersten Erstelement-Ende (32) gegenüberliegenden zweiten Erstelement-Ende (36) und – einen Erstelement-Federbereich (40, 42) zwischen den Erstelement-Auflagerbereichen (30, 34) aufweist, und (b) ein zweites längliches Sensorelement (28), das – einen ersten Zweitelement-Auflagerbereich (44) an einem ersten Zweitelement-Ende (46), – einen zweiten Zweitelement-Auflagerbereich (48) an einem dem ersten Zweitelement-Ende (46) gegenüberliegenden zweiten Zweitelement-Ende (50) und – einen Zweitelement-Federbereich (54, 56) zwischen den Zweitelement-Auflagerbereichen (44, 48) aufweist, umfasst, (c) wobei der erste Erstelement-Auflagerbereich (30) mit dem ersten Zweitelement-Auflagerbereich (44) an einem ersten Sensorende (60) und der zweite Erstelement-Auflagerbereich (44) mit dem zweiten Zweitelement-Auflagerbereich (48) an einem zweiten Sensorende (64) verbunden sind, und (d) einer Haltevorrichtung (62), an der der Mikrosensor (58) mit dem ersten Sensorende (60) befestigt ist, (e) wobei das zweite Sensorende (64) ein relativ zur Haltevorrichtung (62) bewegliches freies Ende ist, (f) wobei das erste Sensorelement (26) eine Erstelement-Versteifungsmarkierung (38) zwischen dem ersten Erstelement-Auflagerbereich (30) und dem zweiten Erstelement-Auflagerbereich (34) aufweist, (g) wobei das zweite Sensorelement (28) eine Zweitelement-Versteifungsmarkierung (52) zwischen dem ersten Zweitelement-Auflagerbereich (44) und dem zweiten Zweitelement-Auflagerbereich (48) aufweist und (h) wobei die Erstelement-Versteifungsmarkierung (38) und die Zweitelement-Versteifungsmarkierung (52) voneinander beabstandet sind dadurch gekennzeichnet, dass (i) das erste Sensorelement (26) und das zweite Sensorelement (28) aus Silizium gefertigt und miteinander durch Bonden verbunden sind und (j) auf dem ersten Sensorelement (26) ein piezoresistives Element (73) angeordnet ist.
Millinewton-Mikrokraftmesser (24) nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Sensorelement (26) und das zweite Sensorelement (28) prismatisch sind.
Millinewton-Mikrokraftmesser (24) nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – das erste Sensorelement (26) eine ebene erste Breitseite (66) und – das zweite Sensorelement (28) eine ebene zweite Breitseite (68) hat – wobei die Breitseiten (66, 68) einander abgewandt orientiert sind.
Millinewton-Mikrokraftmesser (24) nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – das erste Sensorelement (26) zwischen dem ersten Erstelement-Auflagerbereich (30) und der Erstelement-Versteifungsmarkierung (38) und zwischen der Erstelement-Versteifungsmarkierung (38) und dem zweiten Erstelement-Auflagerbereich (34) jeweils eine Ausnehmung (70.1, 70.2) aufweist, und – das zweite Sensorelement (28) zwischen dem ersten Zweitelement-Auflagerbereich (44) und der Zweitelement-Versteifungsmarkierung (52) und zwischen der Zweitelement-Versteifungsmarkierung (52) und dem zweiten Zweitelement-Auflagerbereich (48) jeweils eine Ausnehmung (72.1, 72.2) aufweist, – wobei die Ausnehmungen (70) des ersten Sensorelements (26) den Ausnehmungen (72) des zweiten Sensorelements (28) zugewandt orientiert sind und/oder das zweite Sensorelement (28) bezüglich einer Kontaktebene (E), in der die beiden Sensorelemente (26, 28) aneinander befestigt sind, spiegelbildlich zum ersten Sensorelement (26) ist.
Millinewton-Mikrokraftmesser (24) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Mikrosensor (58) bei einer zu messenden Kraft (F) oberhalb von 10 Millinewton eine relative Messgenauigkeit von besser als 10^–3, insbesondere von besser als 10^–4, aufweist.
Tastschnittgerät mit – einem Millinewton-Mikrokraftmesser (24) nach einem der vorstehenden Ansprüche und – einem an einem freien Ende (64) des Sensorelements befestigten Tastkopf.
Verfahren zum Herstellen eines Millinewton-Mikrokraftmesser (24), mit den Schritten: (i) Aufbringen eines piezoresistiven Elements (73) auf einen Siliziumwafer, (ii) nasschemisches Herausätzen von zwei Ausnehmungen (70.1, 70.2), so dass – ein erster Erstelement-Auflagerbereich (30) an einem ersten Erstelement-Ende (32), – ein zweiter Erstelement-Auflagerbereich (34) an einem dem ersten Erstelement-Ende (32) gegenüberliegenden zweiten Erstelement-Ende (36), – eine Versteifungsmarkierung (38), – ein erster Erstelement-Federbereich (40) zwischen dem ersten Erstelement-Auflagerbereich (30) und der Versteifungsmarkierung und – ein zweiter Erstelement-Federbereich (42) zwischen der Versteifungsmarkierung und dem zweiten Erstelement-Auflagerbereich (34) entsteht, (iii) Verbinden zweier gemäß der Schritte (i) und (ii) hergestellter Siliziumwafer in den jeweiligen Auflagerbereichen zu einem Doppelwafer und (iv) Vereinzeln von Mikrosensoren aus dem Doppelwafer.
Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass eine Vielzahl von Millinewton-Mikrokraftmesser (24) aus einem Doppelwafer vereinzelt wird.