DE102009054040A1 - Integrated optical phase modulator for a fiber optic interferometer and method for producing an integrated optical phase modulator for a fiber optic interferometer - Google Patents

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Abstract

Ein integrierter optischer Phasenmodulator (110) für ein faseroptisches Interferometer weist ein Substrat (112) und einen optischen Wellenleiter (114) auf, der in das Substrat (112) integriert ist, wobei mindestens eine Außenfläche (116, 118, 120, 122, 124, 125) des Substrats (112) so verändert ist, dass Licht, das sich im Substrat (112) ausbreitet, in vermindertem Maß an der mindestens einen Außenfläche (116, 118, 120, 122, 124, 125) des Substrats (112) reflektiert wird im Vergleich zu an einer nicht veränderten Außenfläche des Substrats. Bei einem Verfahren zur Herstellung eines integrierten optischen Phasenmodulators (110) für ein faseroptisches Interferometer, der ein Substrat (112) aufweist, in das ein optischer Wellenleiter (114) integriert ist, wird mindestens eine Außenfläche (116, 118, 120, 122, 124, 125) des Substrats (112) so verändert, dass Licht, das sich im Substrat (112) ausbreitet, in vermindertem Maß an der mindestens einen Außenfläche (116, 118, 120, 122, 124, 125) des Substrats (112) reflektiert wird im Vergleich zu an einer nicht veränderten Außenfläche des Substrats.An integrated optical phase modulator (110) for a fiber optic interferometer has a substrate (112) and an optical waveguide (114) which is integrated in the substrate (112), at least one outer surface (116, 118, 120, 122, 124 , 125) of the substrate (112) is changed such that light, which propagates in the substrate (112), to a reduced extent on the at least one outer surface (116, 118, 120, 122, 124, 125) of the substrate (112) is reflected in comparison to an unchanged outer surface of the substrate. In a method for producing an integrated optical phase modulator (110) for a fiber optic interferometer, which has a substrate (112) into which an optical waveguide (114) is integrated, at least one outer surface (116, 118, 120, 122, 124 , 125) of the substrate (112) is changed so that light that propagates in the substrate (112) reflects to a reduced extent on the at least one outer surface (116, 118, 120, 122, 124, 125) of the substrate (112) compared to an unchanged outer surface of the substrate.

Description

Die Erfindung betrifft einen integrierten optischen Phasenmodulator für ein faseroptisches Interferometer mit einem Substrat und mit einem optischen Wellenleiter, der in das Substrat integriert ist. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung eines integrierten optischen Phasenmodulators für ein faseroptisches Interferometer, der ein Substrat aufweist, in das ein optischer Wellenleiter integriert ist.The invention relates to an integrated optical phase modulator for a fiber optic interferometer with a substrate and with an optical waveguide which is integrated into the substrate. The invention further relates to a method for producing an integrated optical phase modulator for a fiber-optic interferometer comprising a substrate in which an optical waveguide is integrated.

Die Wirkungsweise von integrierten optischen Phasenmodulatoren basiert häufig auf dem elektrooptischen Effekt des elektrooptisch aktiven Materials, aus dem sie gebildet sein können. So kann durch Anlegen eines elektrischen Feldes der Brechungsindex des elektrooptisch aktiven Materials moduliert werden. Liegt im Bereich des elektrischen Feldes ein Wellenleiter, der zum Beispiel durch strukturierten Protonenaustausch oder Titaneindiffusion hergestellt werden kann, so wird auch dessen effektiver Brechungsindex moduliert. Dies führt dazu, dass die Phase des im Wellenleiter geführten Lichts am Ausgang des integrierten optischen Phasenmodulators moduliert wird.The operation of integrated optical phase modulators is often based on the electro-optic effect of the electro-optically active material from which they may be formed. Thus, by applying an electric field, the refractive index of the electro-optically active material can be modulated. If a waveguide is located in the area of the electric field, which can be produced, for example, by structured proton exchange or titanium diffusion, its effective refractive index is also modulated. This results in the phase of the light guided in the waveguide being modulated at the output of the integrated optical phase modulator.

Solche integrierten optischen Phasenmodulatoren können in faseroptischen Interferometern eingesetzt werden. Faseroptische Interferometer werden beispielsweise dazu verwendet, Drehgeschwindigkeiten zu messen. Dazu wird ein Lichtstrahl in zwei Teilstrahlen aufgeteilt, die jeweils in eines der Enden einer faseroptischen Spule eingekoppelt werden, die faseroptische Spule in entgegengesetzter Richtung durchlaufen und nach einem bzw. mehreren Umläufen wieder zusammengeführt werden. Das Interferenzmuster der beiden überlagerten Teilstrahlen verändert sich, wenn das faseroptische Interferometer um eine Achse senkrecht zur Strahlebene gedreht wird, da der optische Weg für beide Teilstrahlen dann nicht mehr gleich lang ist. Der integrierte optische Phasenmodulator ist im faseroptischen Interferometer typischerweise zwischen der optischen Signalquelle und der faseroptischen Spule angeordnet. Der integrierte optische Phasenmodulator weist bevorzugterweise einen optischen Wellenleiter mit mehreren Abschnitten auf, die eine Y-Verzweigung bilden. Die Basis der Y-Verzweigung ist mit der optischen Signalquelle verbunden, und die Arme der Y-Verzweigung sind mit den Enden der faseroptischen Spule gekoppelt. In den integrierten optischen Phasenmodulator eingekoppelte Lichtstrahlen teilen sich an der Y-Verzweigung, um als gegenläufige Teilstrahlen in die Enden der faseroptischen Spule eingekoppelt zu werden. Nach Durchlaufen der Spule treten die Teilstrahlen jeweils in die Abschnitte des optischen Wellenleiters ein, die die Arme der Y-Verzweigung bilden. Die Teilstrahlen kombinieren dann in der Y-Verzweigung und werden aus der Basis der Y-Verzweigung in eine optische Faser ausgegeben. Die kombinierten Teilstrahlen werden zu einem Fotodetektor geleitet, der ein elektrisches Signal erzeugt, anhand dessen die Drehgeschwindigkeit des faseroptischen Interferometers bestimmt werden kann.Such integrated optical phase modulators can be used in fiber optic interferometers. For example, fiber optic interferometers are used to measure rotational speeds. For this purpose, a light beam is split into two sub-beams, which are each coupled into one of the ends of a fiber-optic coil, pass through the fiber-optic coil in the opposite direction and are brought together again after one or more rounds. The interference pattern of the two superimposed partial beams changes when the fiber optic interferometer is rotated about an axis perpendicular to the beam plane, since the optical path for both partial beams is then no longer the same length. The integrated optical phase modulator is typically located between the optical signal source and the fiber optic coil in the fiber optic interferometer. The integrated optical phase modulator preferably comprises an optical waveguide having a plurality of sections forming a Y-branch. The base of the Y-branch is connected to the optical signal source and the arms of the Y-branch are coupled to the ends of the fiber-optic coil. Light beams coupled into the integrated optical phase modulator divide at the Y-branch to be coupled as opposite partial beams into the ends of the fiber optic coil. After passing through the coil, the sub-beams each enter the sections of the optical waveguide that form the arms of the Y-branch. The sub-beams then combine in the Y-branch and are output from the base of the Y-branch into an optical fiber. The combined sub-beams are directed to a photodetector which generates an electrical signal to determine the rotational speed of the fiber-optic interferometer.

Als parasitärer Effekt wird oft eine Amplitudenmodulation beobachtet, das heißt die Lichtintensität am Ausgang des Phasenmodulators ändert sich in Abhängigkeit von der angelegten Spannung. Eine der Ursachen für die zu beobachtende Amplitudenmodulation kann der Unterschied zwischen der Mode der Faser, mit der Licht in den integrierten optischen Phasenmodulator eingekoppelt wird, und der Mode des Wellenleiters des Phasenmodulators sein. Durch die unterschiedlichen Moden der Faser und des Wellenleiters wird ein geringer Teil des in den optischen Phasenmodulator eingekoppelten Lichts nicht im Wellenleiter geführt, sondern breitet sich unkontrolliert im Substrat des optischen Phasenmodulators aus. In dem Maß, wie Licht an der Einkoppelstelle zum Wellenleiter ins Substrat gelangt, kann an der Auskoppelstelle vom Wellenleiter zur Faser wieder Substratlicht in die Faser eingekoppelt werden. Dieses Licht kann, sofern sich dessen optische Wegstrecke im integrierten optischen Phasenmodulator nicht um mehrere Kohärenzlängen von der optischen Wegstrecke des Nutzlichts im Wellenleiter unterscheidet, mit dem Nutzlicht bei einer Einkopplung in die Faser konstruktiv oder destruktiv interferieren, das heißt es kommt zu einer Intensitätsänderung in Abhängigkeit von der Phase der beiden Lichtanteile. Da die Phase des Lichtanteils, der im Wellenleiter geführt wird, aber durch das elektrische Feld am Phasenmodulator bestimmt wird, während die Phase des Substratlichts (bei statisch thermischen Verhältnissen) als fest betrachtet werden kann, führen Änderungen des elektrischen Feldes direkt zu einer mit der Phasenmodulation korrelierten Amplitudenmodulation. Die Größe der Amplitudenmodulation hängt wiederum vom Intensitätsverhältnis des wieder eingekoppelten Substratlichts zum Nutzsignal ab.As a parasitic effect, an amplitude modulation is often observed, that is, the light intensity at the output of the phase modulator changes depending on the applied voltage. One of the causes of the amplitude modulation to be observed may be the difference between the mode of the fiber with which light is coupled into the integrated optical phase modulator and the mode of the waveguide of the phase modulator. Due to the different modes of the fiber and the waveguide, a small part of the light coupled into the optical phase modulator is not guided in the waveguide, but propagates uncontrollably in the substrate of the optical phase modulator. To the extent that light reaches the substrate at the point of coupling to the waveguide, substrate light can again be coupled into the fiber at the outcoupling point from the waveguide to the fiber. This light can, insofar as its optical path in the integrated optical phase modulator does not differ by several coherence lengths from the optical path of the useful light in the waveguide, constructively or destructively interfere with the useful light with a coupling into the fiber, that is, there is a change in intensity in dependence from the phase of the two lights. Since the phase of the light fraction guided in the waveguide is determined by the electric field at the phase modulator, while the phase of the substrate light (in static thermal conditions) can be considered fixed, changes in the electric field lead directly to one with the phase modulation correlated amplitude modulation. The magnitude of the amplitude modulation in turn depends on the intensity ratio of the re-coupled substrate light to the useful signal.

Durch die vorliegende Erfindung wird ein integrierter optischer Phasenmodulator für ein faseroptisches Interferometer und ein Verfahren zur Herstellung eines solchen integrierten optischen Phasenmodulators bereitgestellt, bei dem auf einfache Weise eine durch Interferenz mit Substratlicht bedingte Amplitudenmodulation am Ausgang des Phasenmodulators reduziert ist.The present invention provides an integrated optical phase modulator for a fiber optic interferometer and a method for producing such an integrated optical phase modulator, in which an amplitude modulation caused by interference with substrate light is reduced at the output of the phase modulator in a simple manner.

Bei dem erfindungsgemäßen integrierten optischen Phasenmodulator ist mindestens eine Außenfläche des Substrats so verändert, dass Licht, das sich im Substrat ausbreitet, in vermindertem Maß an der mindestens einen Außenfläche des Substrats reflektiert wird im Vergleich zu an einer nicht veränderten Außenfläche des Substrats.In the integrated optical phase modulator according to the invention, at least one outer surface of the substrate is changed such that light propagating in the substrate is reflected to a lesser extent at the at least one outer surface of the substrate compared to an unaltered outer surface of the substrate.

Da die Größe der Amplitudenmodulation vom Intensitätsverhältnis des wieder eingekoppelten Substratlichts zum Nutzsignal abhängt, kann die Amplitudenmodulation durch Reduktion der Amplitude des wieder eingekoppelten Substratlichts reduziert werden. Ein möglicher Ausbreitungsweg für Substratlicht von der Einkoppelstelle von der Faser zum Wellenleiter im integrierten optischen Phasenmodulator zur Auskoppelstelle vom Wellenleiter zur Faser verläuft über die Reflektion von Substratlicht an den Außenflächen des integrierten optischen Bauteils. Eine Möglichkeit, den Anteil des wieder eingekoppelten Substratlichts zu vermindern, besteht also darin, die Reflektion an den Außenflächen zu reduzieren. Damit kann vermieden werden, dass zum Beispiel bei gegenüberliegenden Ein- und Auskoppelstellen Substratlicht von der Einkoppelstelle zur Mitte der Boden- oder Seitenfläche des integrierten optischen Phasenmodulators gelangt, dort reflektiert wird und wieder an der Auskoppelstelle in die Faser eingekoppelt wird und mit dem Signal aus dem Wellenleiter interferiert. Since the magnitude of the amplitude modulation depends on the intensity ratio of the re-coupled substrate light to the useful signal, the amplitude modulation can be reduced by reducing the amplitude of the re-coupled substrate light. One possible propagation path for substrate light from the coupling point from the fiber to the waveguide in the integrated optical phase modulator to the coupling-out point from the waveguide to the fiber is via the reflection of substrate light at the outer surfaces of the integrated optical component. One way to reduce the proportion of re-coupled substrate light, therefore, is to reduce the reflection on the outer surfaces. Thus, it can be avoided that, for example, at opposite input and output coupling substrate light from the coupling point to the center of the bottom or side surface of the integrated optical phase modulator, is reflected there and coupled again at the decoupling point in the fiber and the signal from the Waveguide interferes.

Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung zweier bevorzugter Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnungen. In diesen zeigen:Further details, features and advantages of the invention will become apparent from the following description of two preferred embodiments of the invention with reference to the drawings. In these show:

1 in schematischer Weise eine perspektivische Ansicht eines erfindungsgemäßen integrierten optischen Phasenmodulators für ein faseroptisches Interferometer, 1 a schematic perspective view of an integrated optical phase modulator according to the invention for a fiber optic interferometer,

2 in schematischer Weise eine Seitenansicht des erfindungsgemäßen integrierten optischen Phasenmodulators von 1 mit einer veränderten Bodenfläche gemäß einer ersten bevorzugten Ausführungsform, und 2 a schematic side view of the integrated optical phase modulator according to the invention of 1 with a modified bottom surface according to a first preferred embodiment, and

3 in schematischer Weise eine Seitenansicht des erfindungsgemäßen integrierten optischen Phasenmodulators von 1 mit einer veränderten Bodenfläche gemäß einer zweiten bevorzugten Ausführungsform. 3 a schematic side view of the integrated optical phase modulator according to the invention of 1 with a modified bottom surface according to a second preferred embodiment.

4 in schematischer Weise ein Beispiel für den Ausbreitungsweg von Substratlicht im integrierten optischen Phasenmodulator von 2. 4 schematically an example of the propagation path of substrate light in the integrated optical phase modulator of 2 ,

In der 1 ist ein erfindungsgemäßer integrierter optischer Phasenmodulator 10 gezeigt, der aus einem Substrat 12 gebildet ist, in das ein optischer Wellenleiter 14 integriert ist. Das Substrat besteht beispielsweise aus einem elektrooptisch aktivem Material wie Lithiumniobat (LiNbO3). Das Substrat weist vier Seitenflächen 16, 18, 20, 22, eine Bodenfläche 24 und eine obere Fläche 25 auf, die Außenflächen des Substrats 12 bilden. Der optische Wellenleiter 14 erstreckt sich von der Seitenfläche 22 des Substrats 12 bis zur gegenüberliegenden Seitenfläche 18 des Substrats 12. Gemäß der bevorzugten Ausführungsform besteht der optische Wellenleiter aus mehreren Abschnitten 26, 28, 30, die zusammen eine Y-Verzweigung bilden. Der Abschnitt 26 des Wellenleiters 14, der die Basis der Y-Verzweigung bildet, befindet sich auf der Eingangsseite des Phasenmodulators 10, und die Abschnitte 28, 30 des Wellenleiters 14, die die Arme der Y-Verzweigung bilden, befinden sich auf der Ausgangsseite des Phasenmodulators 10. Der optische Wellenleiter 14 ist in bekannter Weise wie beispielsweise durch strukturierten Protonenaustausch oder Titaneindiffusion hergestellt worden. Der optische Wellenleiter 14 ist so ausgebildet, dass eine optische Eingangsanschlußfaser 32 mit dem Abschnitt 26 des Wellenleiters 14 am Eingang des Phasenmodulators, der die Basis der Y-Verzweigung bildet, und jeweils eine optische Ausgangsanschlußfaser 34, 36 mit einem der Abschnitte 28 bzw. 30 am Ausgang des Phasenmodulators 10, die die Basen der Y-Verzweigung bilden, gekoppelt werden kann. Die Ausgangsanschlußfasern 34, 36 stellen jeweils ein Ende einer faseroptischen Spule 37 dar. Für das bevorzugte Ausführungsbeispiel, wonach das Substrat aus einem elektrooptisch aktivem Material gebildet ist, sind auf dem Substrat 12 ferner parallel zum Wellenleiter ein Paar Elektroden 38 gebildet, durch die ein elektrisches Feld gebildet werden kann, mittels dem der effektive Brechungsindex des Wellenleiters 14 moduliert werden kann. In dem hier gezeigten Ausführungsbeispiel sind die Elektroden 38 parallel zu einem der Arme der Y-Verzweigung angeordnet, so dass der Brechungsindex im Bereich des Abschnitts 28 des Wellenleiters 14 verändert werden kann und die Phase am Ausgang dieses Abschnitts 28 des Wellenleiters 14 unterschiedlich ist von der Phase am Ausgang des Abschnitts 30 des Wellenleiters 14. Es können jedoch auch zwei Paar Elektroden 38 vorgesehen sein, die jeweils parallel zu einem der beiden Arme der Y-Verzweigung angeordnet sind, so dass der Brechungsindex im Bereich der Abschnitte 28, 30 des Wellenleiters 14 verändert werden kann.In the 1 is an integrated optical phase modulator according to the invention 10 shown from a substrate 12 is formed, in which an optical waveguide 14 is integrated. The substrate consists for example of an electro-optically active material such as lithium niobate (LiNbO3). The substrate has four side surfaces 16 . 18 . 20 . 22 , a floor area 24 and an upper surface 25 on, the outer surfaces of the substrate 12 form. The optical waveguide 14 extends from the side surface 22 of the substrate 12 to the opposite side surface 18 of the substrate 12 , According to the preferred embodiment, the optical waveguide consists of several sections 26 . 28 . 30 that together form a Y junction. The section 26 of the waveguide 14 , which forms the base of the Y-branch, is located on the input side of the phase modulator 10 , and the sections 28 . 30 of the waveguide 14 , which form the arms of the Y-branch, are located on the output side of the phase modulator 10 , The optical waveguide 14 has been prepared in a known manner, such as by structured proton exchange or titanium diffusion. The optical waveguide 14 is formed so that an input optical fiber 32 with the section 26 of the waveguide 14 at the input of the phase modulator, which forms the base of the Y-branch, and in each case an optical output terminal fiber 34 . 36 with one of the sections 28 respectively. 30 at the output of the phase modulator 10 , which form the bases of the Y branch, can be coupled. The output connection fibers 34 . 36 each represent one end of a fiber optic coil 37 For the preferred embodiment, where the substrate is formed from an electro-optically active material, are on the substrate 12 further, parallel to the waveguide, a pair of electrodes 38 formed, by which an electric field can be formed, by means of which the effective refractive index of the waveguide 14 can be modulated. In the embodiment shown here are the electrodes 38 arranged parallel to one of the arms of the Y-branch, so that the refractive index in the region of the section 28 of the waveguide 14 can be changed and the phase at the output of this section 28 of the waveguide 14 is different from the phase at the exit of the section 30 of the waveguide 14 , However, there may also be two pairs of electrodes 38 be provided, which are each arranged parallel to one of the two arms of the Y-branch, so that the refractive index in the region of the sections 28 . 30 of the waveguide 14 can be changed.

Das Substrat 12 kann anstatt aus dem elektrooptisch aktiven Material beispielsweise auch aus einem thermooptisch aktivem Material gebildet sein. Zur Phasenmodulation kann der Phasenmodulator mit einem Substrat aus einem thermooptisch aktivem Material anstatt der Elektroden beispielsweise Heizelemente aufweisen.The substrate 12 may be formed instead of the electro-optically active material, for example, from a thermo-optically active material. For phase modulation, the phase modulator with a substrate made of a thermo-optically active material instead of the electrodes, for example, have heating elements.

In der 2 ist der integrierte optischer Phasenmodulator von 1 mit einer Detailansicht der Bodenfläche des Substrats gemäß einer ersten bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung gezeigt. In der 2 sind der 1 entsprechende technische Merkmale durch gleiche Bezugszeichen, jeweils um 100 erhöht, angegeben. Der integrierte optische Phasenmodulator 110 weist ein Substrat 112 auf, das beispielsweise aus einem elektrooptisch aktivem Material gebildet ist und in das ein optischer Wellenleiter integriert ist. Der optische Wellenleiter kann eine Y-Verzweigung bilden. Das Substrat des integrierten optischen Phasenmodulators 110 weist eine Bodenfläche 124 auf, die so verändert ist, dass sie eine erhöhte Rauhigkeit aufweist im Vergleich zu einer nicht veränderten Bodenfläche des Substrats. Die Rauhigkeit der Bodenfläche 124 kann beispielsweise mittels Puderstrahlverfahren, Sandstrahlverfahren, Ätzverfahren oder Anschleifen der Oberfläche erhöht worden sein. In dem hier gezeigten Ausführungsbeispiel ist die gesamte Bodenfläche 124 aufgeraut, es kann jedoch auch gemäß der Erfindung die Bodenfläche 124 nur in einem bestimmten, ausgewählten Bereich bzw. in bestimmten, ausgewählten Bereichen aufgeraut sein. Ferner können alternativ oder zusätzlich zu der Bodenfläche 124 des Substrats eine oder mehrere Seitenflächen 116, 118, 122 bzw. die in 2 nicht zu sehende, der Seitenfläche 116 gegenüberliegende Seitenfläche des Substrats 112 ganz oder bereichsweise aufgeraut sein. Es kann auch zusätzlich oder alternativ die obere Fläche 125 des Substrats 112 aufgeraut sein.In the 2 is the integrated optical phase modulator of 1 with a detailed view of the bottom surface of the substrate according to a first preferred embodiment of the present invention. In the 2 are the 1 corresponding technical features by the same reference numerals, each increased by 100 indicated. The integrated optical phase modulator 110 has a substrate 112 on, for example, from a electro-optically active material is formed and in which an optical waveguide is integrated. The optical waveguide may form a Y-branch. The substrate of the integrated optical phase modulator 110 has a bottom surface 124 which is changed so that it has an increased roughness compared to an unaltered bottom surface of the substrate. The roughness of the floor surface 124 For example, it may have been increased by means of powder blasting, sand blasting, etching or surface grinding. In the embodiment shown here, the entire floor area 124 roughened, but it can also according to the invention, the bottom surface 124 only roughened in a specific, selected area or in certain, selected areas. Further, alternatively or in addition to the floor surface 124 of the substrate one or more side surfaces 116 . 118 . 122 or the in 2 unseen, the side surface 116 opposite side surface of the substrate 112 roughened in whole or in places. It may also or alternatively the top surface 125 of the substrate 112 be roughened.

In der 3 ist der integrierte optischer Phasenmodulator von 1 mit einer Detailansicht der Bodenfläche des Substrats gemäß einer zweiten bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung gezeigt. In der 3 sind der 1 entsprechende technische Merkmale durch gleiche Bezugszeichen, jeweils um 200 erhöht, angegeben. Bei dem in der 3 gezeigten integrierten Phasenmodulator 210 ist auf der Bodenfläche 224 des Substrats 212 mindestens eine Schicht 240 aus lichtabsorbierendem Material aufgebracht, d. h. aus einem Material, das einen hohen Absorptionskoeffizienten für das sich im Substrat ausbreitende Licht aufweist im Vergleich zum Absorptionskoeffizienten des Materials, aus dem das Substrat 212 gebildet ist. Ein Beispiel für ein lichtabsorbierendes Material ist Tusche oder andere Materialen, die eine oder mehrere geschwärzte Schichten bilden. Durch das Aufbringen des lichtabsorbierenden Materials wird bewirkt, dass Licht, das sich im Substrat 212 ausbreitet und auf die Bodenfläche 224 des Substrats 212 trifft, in erhöhtem Maße absorbiert wird im Vergleich zu Licht, das auf eine Bodenfläche des Substrats trifft, auf der keine Schicht aus lichtabsorbierendem Material aufgebracht ist. In dem hier gezeigten Ausführungsbeispiel ist die Schicht 240 aus lichtabsorbierendem Material auf der gesamten Bodenfläche 224 des Substrats 212 aufgebracht, es kann jedoch auch gemäß der Erfindung die mindestens eine Schicht aus lichtabsorbierendem Material nur in einem bestimmten, ausgewählten Bereich bzw. in bestimmten, ausgewählten Bereichen der Bodenfläche 224 aufgebracht sein. Ferner können auch zusätzlich oder alternativ zu der Bodenfläche 224 des Substrats 212 eine oder mehrere Seitenflächen 216, 218, 222 bzw. die der Seitenfläche 216 gegenüberliegende (in 3 nicht zu sehende) Seitenfläche des Substrats mindestens eine Schicht aus lichtabsorbierendem Material aufweisen. Es kann auch alternativ oder zusätzlich die obere Fläche 225 des Substrats 212 mindestens eine Schicht aus lichtabsorbierendem Material aufweisen.In the 3 is the integrated optical phase modulator of 1 with a detailed view of the bottom surface of the substrate according to a second preferred embodiment of the present invention. In the 3 are the 1 corresponding technical features by the same reference numerals, each increased by 200 indicated. In the in the 3 shown integrated phase modulator 210 is on the floor area 224 of the substrate 212 at least one shift 240 made of light-absorbing material, that is, of a material having a high absorption coefficient for the propagating light in the substrate compared to the absorption coefficient of the material from which the substrate 212 is formed. An example of a light-absorbing material is ink or other materials that form one or more blackened layers. The application of the light-absorbing material causes light to be absorbed in the substrate 212 spreads and on the floor surface 224 of the substrate 212 is absorbed to an increased extent in comparison with light which strikes a bottom surface of the substrate on which no layer of light-absorbing material is applied. In the embodiment shown here, the layer is 240 made of light-absorbing material on the entire floor surface 224 of the substrate 212 However, according to the invention, it is also possible for the at least one layer of light-absorbing material to be applied only in a specific, selected region or in specific, selected regions of the bottom surface 224 be upset. Furthermore, in addition or as an alternative to the floor surface 224 of the substrate 212 one or more side surfaces 216 . 218 . 222 or the side surface 216 opposite (in 3 not visible) side surface of the substrate have at least one layer of light-absorbing material. It may also alternatively or additionally the upper surface 225 of the substrate 212 have at least one layer of light-absorbing material.

In der 4 sind der 1 entsprechende technische Merkmale durch gleiche Bezugszeichen, jeweils um 100 erhöht, angegeben. In der 4 ist ein Beispiel für den Ausbreitungsweg von Licht im Substrat 112 gezeigt. Wenn Licht von der Eingangsanschlussfaser in den optischen Wellenleiter eingekoppelt wird, breitet sich der größte Teil des eingekoppelten Lichts in dem optischen Wellenleiter aus und wird über eine der Ausgangsanschlussfasern ausgekoppelt. Ein kleiner Anteil des Lichts von der Eingangsanschlussfaser breitet sich jedoch unkontrolliert im Substrat 112 aus, und nicht geführt im Wellenleiter.In the 4 are the 1 corresponding technical features by the same reference numerals, each increased by 100 indicated. In the 4 is an example of the propagation path of light in the substrate 112 shown. When light from the input port fiber is coupled into the optical waveguide, most of the coupled light propagates in the optical waveguide and is coupled out via one of the output port fibers. However, a small portion of the light from the input terminal fiber will spread uncontrollably in the substrate 112 out, and not guided in the waveguide.

Eine der Ursachen für das sich im Substrat ausbreitende Licht ist der Unterschied zwischen der Mode der Eingangsanschlußfaser, mit der Licht in den integriert optischen Phasenmodulator eingekoppelt wird, und der Mode des Wellenleiters des Phasenmodulators. Beim Auftreffen auf die Bodenfläche oder eine der Außenflächen des Substrats kann dieses Substratlicht an der Bodenfläche bzw. an einer der Außenflächen reflektiert werden, bis es an die Ausgangsseite des Phasenmodulators gelangt und zusammen mit dem sich im Wellenleiter geführten Nutzlicht in eine der Ausgangsanschlußfasern eingekoppelt wird. So gibt es beispielsweise einen Einfallswinkel für Licht, das von der unteren Fläche des Substrats reflektiert wird, und für den sich der reflektierte Strahl zur Kante des Substrats ausbreitet, wo sich das Licht zu den Ausgangsanschlussfasern ausbreitet, die mit den Enden des optischen Wellenleiters gekoppelt sind. Ferner gibt es Einfallswinkel für Licht, das mehrfach an einer der Außenflächen des Substrats reflektiert wird, und für die der mehrfach reflektierte Strahl am Ausgang des Phasenmodultors mit dem Nutzlicht in eine der Ausgangsanschlußfasern eingekoppelt wird.One of the causes of the light propagating in the substrate is the difference between the mode of the input port fiber with which light is coupled into the integrated optical phase modulator and the mode of the waveguide of the phase modulator. When hitting the bottom surface or one of the outer surfaces of the substrate, this substrate light can be reflected on the bottom surface or on one of the outer surfaces until it reaches the output side of the phase modulator and is coupled into one of the output connection fibers together with the useful light guided in the waveguide. For example, there is an angle of incidence for light that is reflected from the bottom surface of the substrate and for which the reflected beam propagates to the edge of the substrate where the light propagates to the output terminal fibers that are coupled to the ends of the optical waveguide , Furthermore, there are angles of incidence for light which is reflected several times on one of the outer surfaces of the substrate, and for which the multiply reflected beam at the output of the phase modulator is coupled with the useful light into one of the output connection fibers.

Solch ein Einfallswinkel O für einen mehrfach reflektierten Strahl ist in der 4 für die in der 2 gezeigte Ausführungsform mit der aufgerauten Bodenfläche 124 des Substrats 112 gezeigt. Ohne die aufgeraute Oberfläche der Bodenfläche 124 würde das Substratlicht zweimal an der Bodenfläche so reflektiert werden, dass es zur oberen Kante der Ausgangseite des Phasenmodulators gelangt und dort beim Einkoppeln in die Ausgangsanschlussfaser mit dem Nutzlicht aus dem Wellenleiter interferiert. Dieser Verlauf des Substratlichts ist durch eine gestrichelte Linie in 4 angedeutet. Durch die erfindungsgemäße Erhöhung der Rauhigkeit der Bodenfläche 124 des Substrats 112 wird Substratlicht, das auf die Bodenfläche 124 gelangt, diffus gestreut anstatt reflektiert zu werden, so dass nur noch Licht aus einem kleinen Winkelsegment zur Auskoppelstelle des Wellenleiters gelangt. Damit wird die Amplitude des wieder in eine der Ausgangsanschlußfasern eingekoppelten Substratlichts verringert, das sich mit dem eingekoppelten Nutzlicht überlagert. Dies hat wiederum ein Verringern der Amplitudenmodulation zur Folge, d. h. der Veränderung der Lichtintensität am Ausgang des Phasenmodulators in Abhängigkeit von der an den Phasenmodulator angelegten Spannung. Die diffuse Streuung des Substratlichts an der Bodenfläche 124 ist durch eine durchgehende Linie in 4 angedeutet. Der Übersichtlichkeit halber ist dies jedoch nur für das erstmalige Auftreffen des Substratlichts auf die Bodenfläche 124 gezeigt, wobei jedoch klar sein sollte, dass das diffus gestreute Substratlicht beim erneuten Auftreffen auf die Bodenfläche 124 auch erneut diffus gestreut wird.Such an angle of incidence O for a multiply reflected beam is in the 4 for those in the 2 shown embodiment with the roughened bottom surface 124 of the substrate 112 shown. Without the roughened surface of the floor surface 124 For example, the substrate light would be reflected twice at the bottom surface so that it will pass to the top edge of the output side of the phase modulator and interfere there with the useful light from the waveguide when coupled into the output port fiber. This course of the substrate light is indicated by a dashed line in FIG 4 indicated. By the inventive increase in the roughness of the bottom surface 124 of the substrate 112 will be substrate light that is on the bottom surface 124 is diffused scattered rather than reflected, so that only light from a small angle segment reaches the coupling point of the waveguide. Thus, the amplitude of the coupled back into one of the output terminal fibers substrate light is reduced, which overlaps with the injected useful light. This in turn results in a reduction in the amplitude modulation, ie the change in the light intensity at the output of the phase modulator as a function of the voltage applied to the phase modulator. The diffuse scattering of the substrate light at the bottom surface 124 is through a solid line in 4 indicated. For the sake of clarity, however, this is only for the first time the substrate light impinges on the floor surface 124 However, it should be understood that the diffusely scattered substrate light upon reoccurrence on the bottom surface 124 also diffused again.

Gemäß der zweiten bevorzugten Ausführungsform wird durch das Auftragen von lichtabsorbierendem Material auf eine oder mehrere Außenflächen des Substrats Licht, das auf diese Außenfläche bzw. Außenflächen trifft, in erhöhtem Maß absorbiert. Dies hat zur Folge, dass die Intensität des an der Außenfläche mit der Schicht aus lichtabsorbierendem Material reflektierten Substratlichts stark reduziert ist im Vergleich zur Reflektion an einer Außenfläche, auf der keine Schicht aus lichtabsorbierendem Material aufgebracht ist, so dass auch auf diese Weise die Amplitude des Substratlichts an der Auskoppelstelle des integrierten optischen Phasenmodulators reduziert wird. Dadurch kann ebenfalls der oben beschriebene Effekt der Amplitudenmodulation verringert werden, wonach sich die Lichtintensität am Ausgang des Phasenmodulators in Abhängigkeit von der an den Phasenmodulator angelegten Spannung verändert.According to the second preferred embodiment, by applying light-absorbing material to one or more outer surfaces of the substrate, light incident on these outer surfaces is absorbed to an increased degree. As a result, the intensity of the substrate light reflected on the outer surface with the layer of light-absorbing material is greatly reduced as compared with reflection on an outer surface on which no layer of light-absorbing material is applied, so that in this way too Substrate light is reduced at the coupling point of the integrated optical phase modulator. As a result, the above-described effect of the amplitude modulation can also be reduced, after which the light intensity at the output of the phase modulator changes as a function of the voltage applied to the phase modulator.

Bei dem erfindungsgemäßen Phasenmodulator wird die mindestens eine Außenfläche so verändert, dass Licht, das sich im Substrat ausbreitet, in vermindertem Maß an der Außenfläche reflektiert wird, ohne dass der Phasenmodulator mechanisch geschwächt wird, wie dies beispielsweise durch im Substrat ausgebildete Gräben oder Einschnitte der Fall wäre.In the phase modulator according to the invention, the at least one outer surface is changed such that light propagating in the substrate is reflected to a lesser extent on the outer surface without mechanically weakening the phase modulator, as for example by trenches or cuts formed in the substrate would.

Claims (18)

Integrierter optischer Phasenmodulator (10, 110, 210) für ein faseroptisches Interferometer, mit einem Substrat (12, 112, 212) und einem optischen Wellenleiter (14, 114, 214), der in das Substrat (12, 112, 212) integriert ist, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Außenfläche (16, 18, 20, 22, 24, 25, 116, 118, 120, 122, 124, 125, 216, 218, 220, 222, 224, 225) des Substrats (12, 112, 212) so verändert ist, dass Licht, das sich im Substrat (12, 112, 212) ausbreitet, in vermindertem Maß an der mindestens einen Außenfläche (16, 18, 20, 22, 24, 25, 116, 118, 120, 122, 124, 125, 216, 218, 220, 222, 224, 225) des Substrats (12, 112, 212) reflektiert wird im Vergleich zu an einer nicht veränderten Außenfläche des Substrats.Integrated optical phase modulator ( 10 . 110 . 210 ) for a fiber optic interferometer, with a substrate ( 12 112 . 212 ) and an optical waveguide ( 14 . 114 . 214 ), which is in the substrate ( 12 . 112 . 212 ), characterized in that at least one outer surface ( 16 . 18 . 20 . 22 . 24 . 25 . 116 . 118 . 120 . 122 . 124 . 125 . 216 . 218 . 220 . 222 . 224 . 225 ) of the substrate ( 12 . 112 . 212 ) is changed so that light that is in the substrate ( 12 . 112 . 212 ), to a lesser extent at the at least one outer surface ( 16 . 18 . 20 . 22 . 24 . 25 . 116 . 118 . 120 . 122 . 124 . 125 . 216 . 218 . 220 . 222 . 224 . 225 ) of the substrate ( 12 . 112 . 212 ) is reflected as compared to an unaltered outer surface of the substrate. Integrierter optischer Phasenmodulator (10, 110, 210) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Außenfläche (16, 18, 20, 22, 24, 25, 116, 118, 120, 122, 124, 125, 216, 218, 220, 222, 224, 225) des Substrats (12, 112, 212) so verändert ist, dass Licht, das sich im Substrat (12, 112, 212) ausbreitet, in vermindertem Maß an der gesamten mindestens einen Außenfläche (16, 18, 20, 22, 24, 25, 116, 118, 120, 122, 124, 125, 216, 218, 220, 222, 224, 225) des Substrats (12, 112, 212) reflektiert wird im Vergleich zu an einer nicht veränderten Außenfläche des Substrats.Integrated optical phase modulator ( 10 . 110 . 210 ) according to claim 1, characterized in that the at least one outer surface ( 16 . 18 . 20 . 22 . 24 . 25 . 116 . 118 . 120 . 122 . 124 . 125 . 216 . 218 . 220 . 222 . 224 . 225 ) of the substrate ( 12 . 112 . 212 ) is changed so that light that is in the substrate ( 12 . 112 . 212 ), to a lesser extent on the entire at least one outer surface ( 16 . 18 . 20 . 22 . 24 . 25 . 116 . 118 . 120 . 122 . 124 . 125 . 216 . 218 . 220 . 222 . 224 . 225 ) of the substrate ( 12 . 112 . 212 ) is reflected as compared to an unaltered outer surface of the substrate. Integrierter optischer Phasenmodulator (110) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die veränderte Außenfläche (116, 118, 120, 122, 124, 125) des Substrats (112) eine erhöhte Rauhigkeit aufweist im Vergleich zu einer nicht veränderten Außenfläche des Substrats.Integrated optical phase modulator ( 110 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the changed outer surface ( 116 . 118 . 120 . 122 . 124 . 125 ) of the substrate ( 112 ) has increased roughness compared to an unaltered outer surface of the substrate. Integrierter optischer Phasenmodulator nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Rauhigkeit der mindestens einen Außenfläche (116, 118, 120, 122, 124, 125) des Substrats (112) mittels Puderstrahlverfahren, Sandstrahlverfahren, Ätzverfahren oder Anschleifen der Oberfläche der mindestens einen Außenfläche (116, 118, 120, 122, 124, 125) erhöht ist.Integrated optical phase modulator according to claim 3, characterized in that the roughness of the at least one outer surface ( 116 . 118 . 120 . 122 . 124 . 125 ) of the substrate ( 112 ) by means of powder blasting, sand blasting, etching or sanding the surface of the at least one outer surface ( 116 . 118 . 120 . 122 . 124 . 125 ) is increased. Integrierter optischer Phasenmodulator (210) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Außenfläche (216, 218, 220, 222, 224, 225) des Substrats (212) so verändert ist, dass Licht, das sich im Substrat (212) ausbreitet, in erhöhtem Maß beim Auftreffen auf die mindestens eine Außenfläche (216, 218, 220, 222, 224, 225) absorbiert wird.Integrated optical phase modulator ( 210 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one outer surface ( 216 . 218 . 220 . 222 . 224 . 225 ) of the substrate ( 212 ) is changed so that light that is in the substrate ( 212 ), to an increased extent when hitting the at least one outer surface ( 216 . 218 . 220 . 222 . 224 . 225 ) is absorbed. Integrierter optischer Phasenmodulator (210) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass auf der mindestens einen Außenfläche (216, 218, 220, 222, 224, 225) des Substrats (212) eine Schicht (240) aus lichtabsorbierendem Material aufgebracht ist.Integrated optical phase modulator ( 210 ) according to claim 5, characterized in that on the at least one outer surface ( 216 . 218 . 220 . 222 . 224 . 225 ) of the substrate ( 212 ) a layer ( 240 ) is applied from light-absorbing material. Integrierter optischer Phasenmodulator (10, 110, 210) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Bodenfläche (24, 124, 224) des Substrats (12, 112, 212) verändert ist.Integrated optical phase modulator ( 10 . 110 . 210 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the bottom surface ( 24 . 124 . 224 ) of the substrate ( 12 . 112 . 212 ) is changed. Integrierter optischer Phasenmodulator (10, 110, 210) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Seitenflächen (16, 18, 20, 22, 116, 118, 120, 122, 216, 218, 220, 222) des Substrats (12, 112, 212) verändert ist.Integrated optical phase modulator ( 10 . 110 . 210 ) according to one of the preceding claims, characterized in that at least one of the side surfaces ( 16 . 18 . 20 . 22 . 116 . 118 . 120 . 122 . 216 . 218 . 220 . 222 ) of the substrate ( 12 . 112 . 212 ) is changed. Integrierter optischer Phasenmodulator (10, 110, 210) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (12, 112, 212) aus einem elektrooptisch aktivem Material gebildet ist.Integrated optical phase modulator ( 10 . 110 . 210 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the substrate ( 12 . 112 . 212 ) is formed of an electro-optically active material. Verfahren zur Herstellung eines integrierten optischen Phasenmodulators (10, 110, 210) für ein faseroptisches Interferometer, der ein Substrat (12, 112, 212) aufweist, in das ein optischer Wellenleiter (14, 114, 214) integriert ist, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Außenfläche (16, 18, 20, 22, 24, 25, 116, 118, 120, 122, 124, 125, 216, 218, 220, 222, 224, 225) des Substrats (12, 112, 212) so verändert wird, dass Licht, das sich im Substrat (12, 112, 212) ausbreitet, in vermindertem Maß an der mindestens einen Außenfläche (16, 18, 20, 22, 24, 25, 116, 118, 120, 122, 124, 125, 216, 218, 220, 222, 224, 225) des Substrats (12, 112, 212) reflektiert wird im Vergleich zu an einer nicht veränderten Außenfläche des Substrats.Method for producing an integrated optical phase modulator ( 10 . 110 . 210 ) for a fiber optic interferometer comprising a substrate ( 12 . 112 . 212 ) into which an optical waveguide ( 14 . 114 . 214 ), characterized in that at least one outer surface ( 16 . 18 . 20 . 22 . 24 . 25 . 116 . 118 . 120 . 122 . 124 . 125 . 216 . 218 . 220 . 222 . 224 . 225 ) of the substrate ( 12 . 112 . 212 ) is changed so that light that is in the substrate ( 12 . 112 . 212 ), to a lesser extent at the at least one outer surface ( 16 . 18 . 20 . 22 . 24 . 25 . 116 . 118 . 120 . 122 . 124 . 125 . 216 . 218 . 220 . 222 . 224 . 225 ) of the substrate ( 12 . 112 . 212 ) is reflected as compared to an unaltered outer surface of the substrate. Verfahren zur Herstellung eines integrierten optischen Phasenmodulators (10, 110, 210) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Außenfläche (16, 18, 20, 22, 24, 25, 116, 118, 120, 122, 124, 125, 216, 218, 220, 222, 224, 225) des Substrats (12, 112, 212) so verändert wird, dass Licht, das sich im Substrat (12, 112, 212) ausbreitet, in vermindertem Maß an der gesamten mindestens einen Außenfläche (16, 18, 20, 22, 24, 25, 116, 118, 120, 122, 124, 125, 216, 218, 220, 222, 224, 225) des Substrats (12, 112, 212) reflektiert wird im Vergleich zu an einer nicht veränderten Außenfläche des Substrats.Method for producing an integrated optical phase modulator ( 10 . 110 . 210 ) according to claim 10, characterized in that at least one outer surface ( 16 . 18 . 20 . 22 . 24 . 25 . 116 . 118 . 120 . 122 . 124 . 125 . 216 . 218 . 220 . 222 . 224 . 225 ) of the substrate ( 12 . 112 . 212 ) is changed so that light that is in the substrate ( 12 . 112 . 212 ), to a lesser extent on the entire at least one outer surface ( 16 . 18 . 20 . 22 . 24 . 25 . 116 . 118 . 120 . 122 . 124 . 125 . 216 . 218 . 220 . 222 . 224 . 225 ) of the substrate ( 12 . 112 . 212 ) is reflected as compared to an unaltered outer surface of the substrate. Verfahren zur Herstellung eines integrierten optischen Phasenmodulators (110) nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Rauhigkeit der mindestens einen Außenfläche (116, 118, 120, 122, 124, 125) des Substrats (112) erhöht wird.Method for producing an integrated optical phase modulator ( 110 ) according to one of claims 10 or 11, characterized in that the roughness of the at least one outer surface ( 116 . 118 . 120 . 122 . 124 . 125 ) of the substrate ( 112 ) is increased. Verfahren zur Herstellung eines integrierten optischen Phasenmodulators (110) nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Rauhigkeit der mindestens einen Außenfläche (116, 118, 120, 122, 124, 125) des Substrats (112) mittels Sandstrahlverfahren, Puderstrahlverfahren, Ätzverfahren oder Anschleifen der Oberfläche der Außenfläche (116, 118, 120, 122, 124, 125) erhöht wird.Method for producing an integrated optical phase modulator ( 110 ) according to claim 12, characterized in that the roughness of the at least one outer surface ( 116 . 118 . 120 . 122 . 124 . 125 ) of the substrate ( 112 ) by means of sand blasting, powder blasting, etching or sanding the surface of the outer surface ( 116 . 118 . 120 . 122 . 124 . 125 ) is increased. Verfahren zur Herstellung eines integrierten optischen Phasenmodulators (210) nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Außenfläche (216, 218, 220, 222, 224, 225) des Substrats (212) so verändert wird, dass Licht, das sich im Substrat (212) ausbreitet, in erhöhtem Maß beim Auftreffen auf die mindestens eine Außenfläche (216, 218, 220, 222, 224, 225) absorbiert wird.Method for producing an integrated optical phase modulator ( 210 ) according to one of claims 10 to 13, characterized in that the at least one outer surface ( 216 . 218 . 220 . 222 . 224 . 225 ) of the substrate ( 212 ) is changed so that light that is in the substrate ( 212 ), to an increased extent when hitting the at least one outer surface ( 216 . 218 . 220 . 222 . 224 . 225 ) is absorbed. Verfahren zur Herstellung eines integrierten optischen Phasenmodulators (210) nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass auf der mindestens einen Außenfläche (216, 218, 220, 222, 224, 225) des Substrats (212) eine Schicht (240) aus lichtabsorbierendem Material aufgebracht, wird.Method for producing an integrated optical phase modulator ( 210 ) according to claim 14, characterized in that on the at least one outer surface ( 216 . 218 . 220 . 222 . 224 . 225 ) of the substrate ( 212 ) a layer ( 240 ) is applied from light-absorbing material is. Verfahren zur Herstellung eines integrierten optischen Phasenmodulators (10, 110, 210) nach einem der Ansprüche 10 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Bodenfläche (24, 124, 224) des Substrats (12, 112, 212) verändert wird.Method for producing an integrated optical phase modulator ( 10 . 110 . 210 ) according to one of claims 10 to 15, characterized in that the bottom surface ( 24 . 124 . 224 ) of the substrate ( 12 . 112 . 212 ) is changed. Verfahren zur Herstellung eines integrierten optischen Phasenmodulators (10, 110, 210) nach einem der Ansprüche 10 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Seitenflächen (16, 18, 20, 22, 116, 118, 120, 122, 216, 218, 220, 222) des Substrats (12, 112, 212) verändert wird.Method for producing an integrated optical phase modulator ( 10 . 110 . 210 ) according to one of claims 10 to 16, characterized in that at least one of the side surfaces ( 16 . 18 . 20 . 22 . 116 . 118 . 120 . 122 . 216 . 218 . 220 . 222 ) of the substrate ( 12 . 112 . 212 ) is changed. Verfahren zur Herstellung eines integrierten optischen Phasenmodulators (10, 110, 210) nach einem der Ansprüche 10 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (12, 112, 212) aus einen elektrooptisch aktivem Material gebildet wird.Method for producing an integrated optical phase modulator ( 10 . 110 . 210 ) according to one of claims 10 to 17, characterized in that the substrate ( 12 . 112 . 212 ) is formed from an electro-optically active material.
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