DE102009032998B4 - Component with contact elements and method for producing the same - Google Patents

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    • H01L2924/19043—Component type being a resistor

Abstract

Elektrisches Bauelement, umfassend: – eine Struktur (100, 1000, 2000, 3000), die einen Hohlraum (102) aufweist, der sich von einer Öffnung an einer Hauptfläche (106) der Struktur in die Struktur (100, 1000, 2000, 3000) hinein erstreckt und eine der Hauptfläche (106) gegenüberliegende Bodenfläche umfasst, wobei der Hohlraum (102) einen ersten Teilhohlraum (1021) und einen zweiten Teilhohlraum (1022) umfasst, die fluidisch miteinander verbunden sind und sich jeweils von der Öffnung bis zu der Bodenfläche des Hohlraums (102) erstrecken, wobei ein erster Teil der Öffnung die Öffnung des ersten Teilhohlraums bildet und ein zweiter Teil der Öffnung die Öffnung des zweiten Teilhohlraums bildet; – ein Kontaktelement (110, 111), das aus einem elektrisch leitenden Material (110) hergestellt ist, wobei das Kontaktelement (110, 111) den ersten Teilhohlraum (1021) vollständig füllt, die Bodenfläche des ersten Teilhohlraums (1021) bedeckt, sich durch die Öffnung des ersten Teilhohlraums (1021) erstreckt und über die Hauptfläche (106) der Struktur (100, 1000, 2000, 3000) vorsteht, wobei der zweite Teilhohlraum (1022) nicht von dem elektrisch leitenden Material (110) gefüllt ist und das elektrisch leitende Material (110) sich nicht durch die Öffnung des zweiten Teilhohlraums (1022) erstreckt, und – ein Überhanggebiet (105, 205, 305), das die Öffnung des zweiten Teilhohlraums (1022) begrenzt und den zweiten Teilhohlraum mindestens teilweise überdeckt.An electrical component comprising: a structure (100, 1000, 2000, 3000) having a cavity (102) extending from an opening on a major surface (106) of the structure into the structure (100, 1000, 2000, 3000 ) and a bottom surface opposite the main surface (106), the cavity (102) including a first part cavity (1021) and a second part cavity (1022) fluidly connected to each other and extending from the opening to the bottom surface, respectively the cavity (102) extending, wherein a first part of the opening forms the opening of the first part-cavity and a second part of the opening forms the opening of the second part-cavity; - A contact element (110, 111) made of an electrically conductive material (110), wherein the contact element (110, 111) completely fills the first part cavity (1021), the bottom surface of the first part cavity (1021) is covered by extending the opening of the first sub-cavity (1021) and projecting beyond the main surface (106) of the structure (100, 1000, 2000, 3000), wherein the second sub-cavity (1022) is not filled by the electrically-conductive material (110) and electrically conductive material (110) does not extend through the opening of the second sub-cavity (1022), and - an overhang area (105, 205, 305) that bounds the opening of the second sub-cavity (1022) and at least partially covers the second sub-cavity.

Description

Die Erfindung betrifft elektrische Bauelemente mit Kontaktelementen sowie ein Verfahren zum Anbringen eines Kontaktelements an einer Struktur.The invention relates to electrical components with contact elements and to a method for attaching a contact element to a structure.

DE 102 43 961 A1 zeigt eine Struktur mit Löchern, die mit einer erstarrten galvanischen Lösung gefüllt sind. Über der Oberfläche der Struktur stehen Lötaugen hervor. Die Löcher können vor dem Befüllen mit der galvanischen Lösung an einer Innenfläche metallisiert sein. DE 102 43 961 A1 shows a structure with holes filled with a solidified galvanic solution. Above the surface of the structure are pads. The holes can be metallized on an inner surface before filling with the galvanic solution.

EP 0 889 512 A2 zeigt die Beeinflussung von Höhe und Form einer auf einer lötbaren Struktur angeordneten Lotkugel durch die Form der lötbaren Struktur. EP 0 889 512 A2 shows the influence of height and shape of a solder ball arranged on a solderable structure by the shape of the solderable structure.

EP 0 917 190 A2 zeigt das Ausrichten eines aufzulötenden Bauelements mit Hilfe der Oberflächenspannung eines flüssigen Lots. EP 0 917 190 A2 shows the alignment of a component to be soldered with the aid of the surface tension of a liquid solder.

Die nachveröffentlichte DE 10 2008 044 381 A1 zeigt ein Verfahren zur Herstellung von Lötkontakten, wobei zunächst ein Hohlraum in einer Struktur mit Lot gefüllt wird und bei einem anschließenden Erhitzen das Lot sich in einen Teil des Hohlraums zurückzieht und über die Struktur hervorsteht.The post-published DE 10 2008 044 381 A1 shows a method for the production of solder contacts, wherein first a cavity in a structure is filled with solder and in a subsequent heating, the solder retracts into a part of the cavity and protrudes over the structure.

US 2008/0029850 A1 zeigt ein Bauelement mit einem elektrischen Kontakt. Ein Loch ist mit einem elektrisch leitenden Material gefüllt. Ein unterer Bereich des Lochs ist frei von dem elektrisch leitenden Material. US 2008/0029850 A1 shows a device with an electrical contact. A hole is filled with an electrically conductive material. A lower portion of the hole is free of the electrically conductive material.

Eine der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe kann darin gesehen werden, die bisher bekannten Techniken zum Ausbilden von elektrischen und mechanischen Verbindungen zu bereichern.An object of the invention can be seen to enrich the previously known techniques for forming electrical and mechanical connections.

Die beiliegenden Zeichnungen sollen ein eingehenderes Verständnis von Ausführungsformen vermitteln. Die Zeichnungen veranschaulichen Ausführungsformen und dienen zusammen mit der Beschreibung der Erläuterung von Prinzipien von Ausführungsformen. Andere Ausführungsformen und viele der damit einhergehenden Vorteile von Ausführungsformen lassen sich ohne Weiteres verstehen, wenn sie durch Bezugnahme auf die folgende Beschreibung besser verstanden werden. Die Elemente der Zeichnungen sind relativ zueinander nicht notwendigerweise maßstabsgetreu. Gleiche Bezugszahlen bezeichnen einander entsprechende oder ähnliche Teile.The accompanying drawings are intended to provide a more thorough understanding of embodiments. The drawings illustrate embodiments and together with the description serve to explain principles of embodiments. Other embodiments and many of the attendant advantages of embodiments will be readily understood as they become better understood by reference to the following description. The elements of the drawings are not necessarily to scale relative to one another. Like reference numerals designate corresponding or similar parts.

1 zeigt eine Draufsicht auf eine Struktur gemäß einer Ausführungsform. 1 shows a plan view of a structure according to an embodiment.

2 zeigt eine Schnittansicht einer Ausführungsform der Struktur von 1 entlang der Linie A-A'. 2 shows a sectional view of an embodiment of the structure of 1 along the line A-A '.

3 zeigt eine Schnittansicht einer Ausführungsform der Struktur von 1 entlang der Linie B-B'. 3 shows a sectional view of an embodiment of the structure of 1 along the line B-B '.

4 zeigt ein Flussdiagramm, das ein Verfahren zum Herstellen einer Ausführungsform darstellt. 4 FIG. 12 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an embodiment. FIG.

5 zeigt eine Schnittansicht einer Ausführungsform der Struktur von 1 entlang der Linie A-A' in einem ersten Stadium während der Herstellung. 5 shows a sectional view of an embodiment of the structure of 1 along the line AA 'in a first stage during manufacture.

6 zeigt eine Schnittansicht einer Ausführungsform der Struktur von 1 entlang der Linie A-A' in einem zweiten Stadium während der Herstellung. 6 shows a sectional view of an embodiment of the structure of 1 along the line AA 'in a second stage during manufacture.

7 zeigt eine Draufsicht auf eine Struktur gemäß einer Ausführungsform. 7 shows a plan view of a structure according to an embodiment.

8 zeigt eine Draufsicht auf eine Struktur gemäß einer Ausführungsform. 8th shows a plan view of a structure according to an embodiment.

9 zeigt eine Schnittansicht einer Ausführungsform der Struktur von 8 entlang der Linie E-E'. 9 shows a sectional view of an embodiment of the structure of 8th along the line E-E '.

10 zeigt eine Schnittansicht einer Ausführungsform einer gegenüber einer Montageplattform positionierten Struktur. 10 shows a sectional view of an embodiment of a positioned relative to a mounting platform structure.

11 zeigt eine Schnittansicht einer Ausführungsform einer fest an einer Montageplattform montierten Struktur. 11 shows a sectional view of an embodiment of a fixedly mounted on a mounting platform structure.

12 zeigt eine Draufsicht auf eine Ausführungsform einer Struktur gemäß einer vierten Ausführungsform. 12 shows a plan view of an embodiment of a structure according to a fourth embodiment.

13 zeigt eine Schnittansicht einer Ausführungsform der Struktur von 12 entlang der Linie C-C'. 13 shows a sectional view of an embodiment of the structure of 12 along the line C-C '.

14 zeigt eine Schnittansicht einer Ausführungsform der Struktur von 12 entlang der Linie D-D'. 14 shows a sectional view of an embodiment of the structure of 12 along the line D-D '.

15 zeigt eine schematische Darstellung einer Ausführungsform eines Halbleiterchips mit vorstehenden Kontaktteilen. 15 shows a schematic representation of an embodiment of a semiconductor chip with protruding contact parts.

16 zeigt eine schematische Darstellung einer Ausführungsform eines Trägers mit vorstehenden Kontaktteilen. 16 shows a schematic representation of an embodiment of a carrier with protruding contact parts.

17 zeigt eine schematische Darstellung einer Ausführungsform einer Polymerstruktur auf einem Halbleiterchip, wobei die Polymerstruktur vorstehende Kontaktteile enthält. 17 shows a schematic representation of an embodiment of a polymer structure on a semiconductor chip, wherein the polymer structure contains protruding contact parts.

18A–D zeigen eine Ausführungsform eines Prozesses zum Füllen von Öffnungen in einer Struktur unter Verwendung eines Saugverfahrens für geschmolzenes Metall. 18A Figures 1-5 show an embodiment of a process for filling openings in a structure using a molten metal suction process.

In der folgenden Beschreibung wird auf die beiliegenden Zeichnungen Bezug genommen, in denen als Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeführt werden kann. In dieser Hinsicht werden Richtungsbegriffe wie etwa „Oberseite”, „Unterseite”, „Vorderseite”, „Rückseite”, „vorderer”, „hinterer” usw. unter Bezugnahme auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Weil Komponenten von Ausführungsformen in einer Reihe verschiedener Orientierungen positioniert sein können, werden die Richtungsbegriffe zu Zwecken der Darstellung verwendet und sind in keinerlei Weise beschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Konzept der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Die folgende Beschreibung ist deshalb nicht in einem beschränkenden Sinne zu verstehen.In the following description, reference is made to the accompanying drawings which show, by way of illustration, specific embodiments in which the invention may be practiced. In this regard, directional terms such as "top," "bottom," "front," "back," "front," "rear," etc. are used with reference to the orientation of the figure (s) described. Because components of embodiments may be positioned in a number of different orientations, the directional terms are used for purposes of illustration and are in no way limiting. It should be understood that other embodiments may be utilized and structural or logical changes may be made without departing from the concept of the present invention. The following description is therefore not to be understood in a limiting sense.

Es versteht sich, dass die Merkmale der verschiedenen hierin beschriebenen Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch etwas anderes angegeben ist.It should be understood that the features of the various embodiments described herein may be combined with each other unless specifically stated otherwise.

Die hierin beschriebenen Strukturen können auf einem Halbleiterchip angeordnet werden. Sie können als Kontaktstrukturen dienen, um dafür zu sorgen, dass elektrische Kontaktelemente an externe Anwendungen wie etwa PCBs (Printed Circuit Boards – gedruckte Leiterplatten) oder andere Arten von Chipträgern gekoppelt werden. Weiterhin können sie als Gehäuse oder Packages zum Aufnehmen von aktiven oder passiven Komponenten oder mechanischen Elementen dienen. Als ein Beispiel können solche Gehäuse zum Aufnehmen von BAW-Filtern (Bulk Acoustic Wave – akustische Volumenwelle) auf Halbleiterchips oder sogenannten MEMS (Micro-Electro Mechanical Systems – mikroelektromechanische Systeme) verwendet werden, wobei mikromechanische bewegliche Strukturen wie etwa beispielsweise Brücken, Membranen oder Lamellenstrukturen innerhalb des Gehäuses vorgesehen werden können. Solche mikromechanischen beweglichen Strukturen sind beispielsweise in verschiedenen Arten von Sensoren wie etwa zum Beispiel Mikrofonen, Beschleunigungssensoren usw. implementiert. Die hierin beschriebenen Strukturen können aus Fotolackmaterialien hergestellt sein, oder Formmaterialien wie etwa zum Beispiel Kunststoffe auf Silikon- oder Epoxidharzbasis, wie sie für die Halbleiterbauelementkapselung verwendet werden, könnten verwendet werden.The structures described herein may be arranged on a semiconductor chip. They may serve as contact structures to provide for coupling electrical contact elements to external applications such as Printed Circuit Boards (PCBs) or other types of chip carriers. Furthermore, they may serve as housings or packages for receiving active or passive components or mechanical elements. As an example, such housings can be used to accommodate Bulk Acoustic Wave (BAW) filters on semiconductor chips or so-called MEMS (Micro-Electro Mechanical Systems), where micromechanical moveable structures such as, for example, bridges, membranes or lamellar structures can be provided within the housing. Such micromechanical movable structures are implemented, for example, in various types of sensors such as, for example, microphones, acceleration sensors, etc. The structures described herein may be made of photoresist materials, or molding materials such as, for example, silicone or epoxy based plastics as used for semiconductor device packaging could be used.

Weiterhin könnten die Strukturen als Halbleiterbauelemente dienen. In diesem Fall können sie aus Halbleitermaterialien bestehen, zum Beispiel können sie Siliziumsubstrate, Germaniumsubstrate, GaAs-Substrate, SiC-Substrate, ganz oder teilweise oxidiertes makroporöses Silizium usw. enthalten. Sie können integrierte aktive Komponenten, zum Beispiel Transistoren, Dioden, bewegliche mechanische Strukturelemente, optische Detektoren oder Emitterelemente, Sensorelemente usw. enthalten.Furthermore, the structures could serve as semiconductor devices. In this case, they may be made of semiconductor materials, for example, they may contain silicon substrates, germanium substrates, GaAs substrates, SiC substrates, wholly or partly oxidized macroporous silicon, etc. They may include integrated active components, for example, transistors, diodes, movable mechanical structure elements, optical detectors or emitter elements, sensor elements, etc.

Noch weiter können die hierin beschriebenen Strukturen als Träger zum Festhalten von aktiven oder passiven Halbleiterbauelementen, zum Beispiel Chips, Widerständen, Induktionsspulen usw. dienen. In diesem Fall können die Strukturen als PCBs, dielektrische Träger, Mehrschichtträger wie zum Beispiel aufgebaute Schichten aus SBU-Laminatsubstraten (Sequential Build-Up), Zwischenträger, die oftmals als „Interposer” bezeichnet werden, Keramiksubstrate oder beliebige andere Arten von Montageplattformen ausgelegt werden, die dazu verwendet werden, aktive oder passive Halbleiterbauelemente zu montieren. Als Träger dienende Strukturen können aus dielektrischen Materialien oder aus den gleichen Halbleitermaterialien wie oben erwähnt hergestellt sein und können optional wie oben erwähnt auch integrierte aktive Komponenten enthalten. Wenn Halbleiterstrukturen als Träger verwendet werden, können sie ein oder mehrere weitere Halbleitersubstrate (d. h. „Chips”) aufnehmen, die selbst als Träger dienen können und/oder die integrierte aktive Komponenten enthalten können. Auf diese Weise kann eine Halbleiterstruktur als ein Träger zum Herstellen von kompakten, hoch integrierten SiP-Modulen (System in Package) verwendet werden.Still further, the structures described herein may serve as carriers for holding active or passive semiconductor devices, for example, chips, resistors, inductors, and so forth. In this case, the structures may be designed as PCBs, dielectric supports, multilayer substrates such as built-up layers of sequential build-up (SBU) laminate substrates, subcarriers often referred to as "interposers," ceramic substrates, or any other type of mounting platform. which are used to mount active or passive semiconductor devices. Supported structures may be made of dielectric materials or of the same semiconductor materials as mentioned above and, optionally as mentioned above, may also contain integrated active components. When semiconductor structures are used as carriers, they can accommodate one or more other semiconductor substrates (i.e., "chips") that may themselves serve as carriers and / or may contain integrated active components. In this way, a semiconductor structure can be used as a carrier for producing compact, highly integrated SiP (system in package) modules.

Bei einer oder mehreren Ausführungsformen können die hier beschriebenen Strukturen eine oder mehrere passive oder aktive Komponenten einbetten oder können lediglich die Funktion eines Trägers zum Stützen einer oder mehrerer passiver oder aktiver Komponenten (z. B. integrierten Schaltungen) aufweisen oder können sowohl eine oder mehrere passive oder aktive Komponenten einbetten und eine oder mehrere andere Strukturen stützen, die eine oder mehrere passive oder aktive Komponenten einbetten.In one or more embodiments, the structures described herein may embed one or more passive or active components, or may merely function as a support for supporting one or more passive or active components (eg, integrated circuits), or may have one or more passive ones or embed active components and support one or more other structures that embed one or more passive or active components.

Die hier beschriebenen Struktruren enthalten mindestens einen Hohlraum, der sich von einer Hauptfläche des Substrate in das Substrat hinein erstreckt. Dieser Hohlraum wird als ein Loch für eine elektrisch leitende Durchführung oder ein elektrisch leitendes Via verwendet. Elektrisch leitende Durchführungen können von einer Hauptfläche zu der anderen Hauptfläche der Struktur reichen, d. h. die Struktur durchdringen. Bei einer Ausführungsform können die Hohlräume Sacklöcher sein, die von einer Hauptoberfläche der Struktur aus verlaufen, um mit einer internen Verdrahtung der Struktur wie etwa zum Beispiel einer Metallschicht in einer Mehrschicht-PCB oder -SBU oder einer Metallschicht innerhalb einer integrierten Schaltung zu verbinden.The structures described herein include at least one cavity extending from a major surface of the substrate into the substrate. This cavity is used as a hole for an electrically conductive leadthrough or an electrically conductive via. Electrically conductive feedthroughs can from one main surface to the other major surface of the structure, ie penetrate the structure. In one embodiment, the cavities may be blind holes extending from a major surface of the structure to connect to internal wiring of the structure, such as, for example, a metal layer in a multilayer PCB or SBU, or a metal layer within an integrated circuit.

Die Hohlräume können durch verschiedene Verfahren hergestellt werden. In vielen Fällen, wenn zum Beispiel die Struktur aus einem Halbleiter- oder Lackmaterial hergestellt ist, ist Fotolithographie ein geeigneter Prozess zum Herstellen solcher Hohlräume.The cavities can be made by various methods. In many cases, for example, when the structure is made of a semiconductor or paint material, photolithography is a suitable process for producing such cavities.

Die Hohlräume in der Struktur können besonders kleine Querschnittsflächen und Abstände aufweisen. Wenn die Struktur zum Beispiel aus einem Halbleitermaterial hergestellt ist, ist es möglich, eine Hohlraumdichte auf der Oberfläche der Struktur zu erzeugen, die den seitlichen strukturellen Abmessungen eines integrierten Halbleiters entspricht, die zum Beispiel nur einige wenige 100 nm betragen kann. Wenn die Struktur aus einem Lack hergestellt ist, kann die Hohlraumdichte auf der Oberfläche der Struktur immer noch nur einige wenige Mikrometer betragen. Verdrahtungen auf beiden Seiten der Struktur können somit elektrisch zusammengeschaltet bzw. miteinander verbunden werden. Auf diese Weise wird es möglich, kurze elektrische Verbindungen zwischen Elektronikkomponenten herzustellen, die auf gegenüberliegenden Hauptoberflächen der Struktur oder innerhalb einer Struktur und auf einer oder beiden Hauptoberflächen der Struktur angeordnet sind. Folglich kann die Oberfläche einer vorbestimmten Struktur wirtschaftlich genutzt werden, und Packagegrößen können auf ein Minimum reduziert werden. Beispielsweise ist es möglich, direkte Zwischenverbindungen zwischen auf einer Hauptoberfläche der Struktur angeordneten Kontaktteilen und Chipkontakten einer integrierten Schaltung, an der die Struktur montiert ist, herzustellen. Da die Positionen der elektrisch leitenden Durchführungen auf die Positionen der Chipkontakte ausgerichtet sind, können die Durchführungen kurze Verbindungen zu den Kontaktteilen bereitstellen, damit beispielsweise schnelle Signale (z. B. HF-Signale) nach außen zu einer externen Schaltungsanordnung ohne Störungen und mit einem Minimum an Verzögerung weitergeleitet werden.The cavities in the structure can have particularly small cross-sectional areas and distances. For example, if the structure is made of a semiconductor material, it is possible to create a void density on the surface of the structure that corresponds to the lateral structural dimensions of an integrated semiconductor, which may be only a few hundred nanometers, for example. If the structure is made of a lacquer, the void density on the surface of the structure may still be only a few microns. Wirings on both sides of the structure can thus be electrically interconnected or interconnected. In this way it becomes possible to make short electrical connections between electronic components arranged on opposite major surfaces of the structure or within a structure and on one or both major surfaces of the structure. As a result, the surface of a predetermined structure can be utilized economically, and package sizes can be reduced to a minimum. For example, it is possible to make direct interconnections between contact parts arranged on a main surface of the structure and chip contacts of an integrated circuit to which the structure is mounted. Because the positions of the electrically conductive feedthroughs are aligned with the positions of the chip contacts, the feedthroughs can provide short connections to the contact parts, for example, to provide fast signals (eg, RF signals) to external circuitry without interference and with a minimum be forwarded to delay.

Das in den mindestens einen Hohlraum gebrachte, elektrisch leitende Material kann durch einen Schmelzbad-Flüssigmetallfüllprozess eingeleitet werden. Solche Schmelzbad-Flüssigmetallfüllprozesse sind preiswert und eignen sich für aus vielen verschiedenen Materialien hergestellte Strukturen. Andere mögliche Techniken zum Einleiten des elektrisch leitenden Materials in die Hohlräume sind CVD (Chemical Vapor Deposition – chemische Abscheidung aus der Dampfphase), PVD (Physical Vapor Deposition – physikalische Abscheidung aus der Dampfphase), galvanisches oder stromloses Plattieren oder Druckprozesse.The electrically conductive material placed in the at least one cavity may be initiated by a molten bath liquid metal filling process. Such molten bath liquid metal filling processes are inexpensive and suitable for structures made of many different materials. Other possible techniques for introducing the electrically conductive material into the cavities are CVD (Chemical Vapor Deposition), PVD (Physical Vapor Deposition), electroplating or electroless plating or printing processes.

Die 1 bis 3 veranschaulichen eine Ausführungsform einer Struktur 100, die auf einem Substrat 101 angeordnet ist und einen Hohlraum 102 aufnimmt. In der Regel sind mehrere solche Hohlräume 102 in der Struktur 100 enthalten. Der Hohlraum 102 besteht aus einem ersten Teilhohlraum 1021 und einem zweiten Teilhohlraum 1022. Der erste Teilhohlraum 1021 kann so ausgelegt sein, dass er in der Draufsicht von 1 eine kreisförmige Gestalt besitzt. Der zweite Teilhohlraum 1022 ist fluidisch mit dem ersten Teilhohlraum 1021 verbunden und kann so ausgelegt sein, dass er in der Draufsicht von 1 eine schlitzartige Grabengestalt aufweist.The 1 to 3 illustrate an embodiment of a structure 100 on a substrate 101 is arranged and a cavity 102 receives. As a rule, there are several such cavities 102 in the structure 100 contain. The cavity 102 consists of a first part cavity 1021 and a second part cavity 1022 , The first part cavity 1021 can be designed so that in the plan view of 1 has a circular shape. The second part cavity 1022 is fluidic with the first part cavity 1021 connected and may be designed so that it in the plan view of 1 has a slot-like trench shape.

2 zeigt eine Querschnittsansicht entlang der Linie A-A' in 1. Die gestrichelte Linie 1023 wird zum Darstellen des Übergangs von dem ersten Teilhohlraum 1021 zum zweiten Teilhohlraum 1022 verwendet. Sowohl der erste Teilhohlraum 1021 als auch der zweite Teilhohlraum 1022 können die Struktur 100 durchdringen. Der erste Teilhohlraum 1021 und der zweite Teilhohlraum 1022 können sich voneinander dadurch unterscheiden, dass eine Oberflächenzone 103 des ersten Teilhohlraums 1021 aus einem benetzbaren Material wie etwa zum Beispiel einem Metallmaterial oder dergleichen hergestellt ist, wohingegen eine Oberflächenzone 104 des zweiten Teilhohlraums 1022 aus einem weniger oder nicht benetzbaren Material hergestellt ist. Die Oberflächenzonen 103, 104 können sich am Boden des ersten bzw. zweiten Teilhohlraums 1021 bzw. 1022 befinden. Wie in 2 und 3 dargestellt, kann das Substrat 101 den Boden des ersten und zweiten Teilhohlraums 1021, 1022 definieren. In diesem Fall kann das benetzbare Material der Oberflächenzone 103 in dem ersten Teilhohlraum 1021 durch eine auf dem Substrat 101 angeordnete Metallisierungsschicht implementiert sein. Das Material der Oberflächenzone 104 im zweiten Teilhohlraum 1022 kann durch das bloße Material des Substrats 101 implementiert sein oder kann durch eine auf dem Substrat 101 bereitgestellte Beschichtung (wie etwa zum Beispiel eine Polymerbeschichtung, eine SiO2-Beschichtung oder eine Si3N4-Beschichtung) hergestellt sein. Weiterhin ist anzumerken, dass sich der Boden des ersten Teilhohlraums 1021 und der Boden des zweiten Teilhohlraums 1022 nicht auf der gleichen Höhe zu befinden brauchen. 2 shows a cross-sectional view along the line AA 'in 1 , The dashed line 1023 is used to illustrate the transition from the first part cavity 1021 to the second part cavity 1022 used. Both the first part cavity 1021 as well as the second part cavity 1022 can the structure 100 penetrate. The first part cavity 1021 and the second part cavity 1022 can differ from each other in that a surface zone 103 of the first partial cavity 1021 is made of a wettable material such as, for example, a metal material or the like, whereas a surface zone 104 of the second partial cavity 1022 is made of a less or not wettable material. The surface zones 103 . 104 may be at the bottom of the first or second part cavity 1021 respectively. 1022 are located. As in 2 and 3 shown, the substrate can be 101 the bottom of the first and second part cavities 1021 . 1022 define. In this case, the wettable material of the surface zone 103 in the first part cavity 1021 through one on the substrate 101 arranged metallization be implemented. The material of the surface zone 104 in the second part cavity 1022 can by the mere material of the substrate 101 be implemented or can by one on the substrate 101 provided coating (such as, for example, a polymer coating, an SiO 2 coating or a Si 3 N 4 coating). It should also be noted that the bottom of the first part cavity 1021 and the bottom of the second sub-cavity 1022 do not need to be at the same height.

Beispielhaft kann das Substrat 101 eine integrierte Schaltung sein (d. h. ein Chip). Die benetzbare Oberflächenzone 103 kann durch eine Metallisierungsschicht implementiert werden, beispielsweise ein Chip-Pad (z. B. einen Chipkontakt). Wie in Verbindung mit 17 ausführlicher erläutert wird, kann die Struktur 100, wie in 1 bis 3 dargestellt, Teil eines Polymergehäuses zum Aufnehmen beispielsweise eines BAW-Filters oder eines MEMS (Micro-Electro Mechanical System) sein.By way of example, the substrate 101 be an integrated circuit (ie a chip). The wettable surface zone 103 can be implemented by a metallization layer, for example a chip pad (eg a chip contact). As in connection with 17 explained in more detail, the structure 100 , as in 1 to 3 shown part of a polymer housing for receiving, for example, a BAW filter or a MEMS (Micro-Electro Mechanical System) be.

3 zeigt eine Querschnittsansicht der in 1 und 2 dargestellten Anordnung entlang einer Schnittlinie B-B'. Die Schnittlinie B-B' verläuft von einer Hauptwand zu der gegenüberliegenden Hauptwand des schlitzartigen zweiten Teilhohlraums 1022. Somit stellt die Abmessung S eine seitliche Mindestabmessung des zweiten Teilhohlraums 1022 dar. 3 shows a cross-sectional view of in 1 and 2 illustrated arrangement along a section line B-B '. The section line BB 'extends from a main wall to the opposite main wall of the slit-like second sub-cavity 1022 , Thus, the dimension S provides a minimum lateral dimension of the second sub-cavity 1022 represents.

Der zweite Teilhohlraum 1022 kann mit einem Einschnürungs- oder Überhanggebiet 105 ausgestattet sein, das an der Öffnung des zweiten Teilhohlraums 1022 in der Nähe der oberen Oberfläche 106 der Struktur 100 angeordnet ist. Allgemein ist die Überhangregion 105 so ausgelegt, dass sie eine Querschnittsöffnungsfläche 1051 des zweiten Teilhohlraums 1022 definiert, die kleiner ist als eine Querschnittsfläche 1024, die durch die Wände des zweiten Teilhohlraums 1022 an einem Gebiet unter dem Überhanggebiet 105 definiert ist.The second part cavity 1022 can with a constriction or overhang area 105 be equipped at the opening of the second part cavity 1022 near the top surface 106 the structure 100 is arranged. General is the overhang region 105 designed so that it has a cross-sectional opening area 1051 of the second partial cavity 1022 defined, which is smaller than a cross-sectional area 1024 passing through the walls of the second sub-cavity 1022 at an area under the overhang area 105 is defined.

Bei einer Ausführungsform kann das Überhanggebiet 105 zum Beispiel als ein schlitzartiges Loch ausgelegt sein, wie in 1 bis 3 dargestellt. In diesem Fall kann die Schlitzbreite W entlang der Schnittlinie B-B' kleiner sein als die Grabenbreite S entlang der Schnittlinie B-B'.In one embodiment, the overhang area 105 for example, be designed as a slot-like hole, as in 1 to 3 shown. In this case, the slit width W along the section line BB 'may be smaller than the trench width S along the section line B-B'.

Eine seitliche Mindestabmessung des ersten Teilhohlraums 1021 ist in 1 durch H bezeichnet. In der Regel ist H wesentlich größer als die seitliche Mindestabmessung S des zweiten. Teilhohlraums 1022 (unter dem Überhanggebiet 105 gemessen). Somit „öffnet” sich der zweite Teilhohlraum 1022 in den ersten Teilhohlraum 1021.A minimum lateral dimension of the first part cavity 1021 is in 1 denoted by H. In general, H is much larger than the lateral minimum dimension S of the second. partial cavity 1022 (under the overhang area 105 measured). Thus, the second part cavity "opens" 1022 in the first part cavity 1021 ,

Es wird angemerkt, dass mehrere solche zweite Teilhohlräume 1022 in Verbindung mit dem ersten Teilhohlraum 1021 vorgesehen sein können. Beispielhaft kann bei einer in 7 dargestellten Ausführungsform ein zweiter Teilhohlraum 1032 gegen über dem ersten Teilhohlraum 1022 vorgesehen sein.It is noted that several such second sub-cavities 1022 in connection with the first part cavity 1021 can be provided. By way of example, an in 7 illustrated embodiment, a second partial cavity 1032 towards above the first part cavity 1022 be provided.

Die Herstellung der ersten und zweiten Teilhohlräume 1021, 1022 in der Struktur 100 kann auf viele verschiedene Weisen ausgeführt werden, die von dem Material der Struktur 100 abhängen können. Wenn beispielsweise die Struktur 100 aus einem Fotolackmaterial hergestellt ist, können die ersten und zweiten Teilhohlräume 1021, 1022 sowie das Überhanggebiet 105 durch Fotolithographie ausgebildet werden. In einem ersten Prozess wird die Struktur 100 als eine kontinuierliche Schicht auf dem Substrat 101 erzeugt. Dann wird eine erste Maske verwendet, um die obere Hauptoberfläche 106 einer ersten Strahlung mit einer Wellenlänge von zum Beispiel 365 nm zu belichten. Die erste Maske blockiert die Belichtung der Struktur 100 dort, wo die ersten und zweiten Teilhohlräume 1021, 1022 ausgebildet werden sollen. Die erste Maske wird auf die Oberflächenzone (Metallisierung) 103 ausgerichtet, um zu garantieren, dass der erste Teilhohlraum 1021 in einer vertikalen Projektion über einem Bereich ausgebildet wird, der die Oberflächenzone 103 enthält, wohingegen der zweite Teilhohlraum 1022 in einer vertikalen Projektion neben der Oberflächenzone 103 ausgebildet wird. Die Intensität und Wellenlänge der ersten Strahlung werden derart gewählt, dass belichtete Teile der Struktur 100 von der ersten Strahlung vollständig durchdrungen werden.The production of the first and second partial cavities 1021 . 1022 in the structure 100 can be executed in many different ways, by the material of the structure 100 can depend. For example, if the structure 100 is made of a photoresist material, the first and second partial cavities 1021 . 1022 as well as the overhang area 105 be formed by photolithography. In a first process, the structure becomes 100 as a continuous layer on the substrate 101 generated. Then a first mask is used around the upper major surface 106 to expose a first radiation having a wavelength of for example 365 nm. The first mask blocks the exposure of the structure 100 where the first and second partial cavities 1021 . 1022 to be trained. The first mask is applied to the surface zone (metallization) 103 aligned to guarantee that the first part cavity 1021 is formed in a vertical projection over an area covering the surface zone 103 contains, whereas the second part cavity 1022 in a vertical projection next to the surface zone 103 is trained. The intensity and wavelength of the first radiation are chosen such that exposed parts of the structure 100 be completely penetrated by the first radiation.

Eine zweite Maske wird verwendet, um das Gebiet, wo das Überhanggebiet 105 ausgebildet werden soll, durch eine zweite Strahlung mit einer Wellenlänge von zum Beispiel 313 nm zu belichten. Bei einem in 1 bis 3 dargestellten Beispiel kann für die zweite Belichtung ein doppelstreifiges Belichtungsmuster verwendet werden. Die Wellenlänge und/oder die Intensität der zweiten Strahlung werden derart gewählt, dass nur eine kleine Eindringtiefe (z. B. etwa 0 bis 10 μm oder mehr) verwendet wird. Die Eindringtiefe der zweiten Belichtung definiert die Dicke des Überhanggebiets 105 in einer vertikalen Richtung (3). Dann werden belichtete Teile der Struktur 100 geätzt. Dadurch wird der Hohlraum 102 hergestellt.A second mask is used to cover the area where the overhang area 105 is to be formed to expose by a second radiation having a wavelength of, for example, 313 nm. At an in 1 to 3 As shown in the example, a double-exposure exposure pattern can be used for the second exposure. The wavelength and / or the intensity of the second radiation are chosen such that only a small penetration depth (eg, about 0 to 10 μm or more) is used. The penetration depth of the second exposure defines the thickness of the overhang area 105 in a vertical direction ( 3 ). Then become exposed parts of the structure 100 etched. This will be the cavity 102 produced.

Wenn die Struktur 100 aus einem Halbleitermaterial wie etwa Silizium hergestellt ist, stellt ein Mehrschichtätzen eine mögliche Produktionsvariante dar. Die obere Hauptoberfläche 106 der Halbleiterstruktur 100 kann aus einer Deckschicht mit anderen Ätzeigenschaften als die Halbleiterstruktur 100 darunter hergestellt sein. Die Deckschicht kann eine harte Passivierungsschicht wie etwa zum Beispiel eine Siliziumoxid-, Siliziumnitrid- oder Siliziumkarbidschicht sein. Zuerst werden die Öffnungsfläche des ersten Teilhohlraums 1021 und die Öffnungsfläche 1051 des zweiten Teilhohlraums 1022 unter Verwendung des Halbleitermaterials (z. B. Silizium) als ein Ätzstopp in der Deckschicht geätzt. Dann werden die ersten und zweiten Teilhohlräume 1021, 1022 unter Verwendung eines entsprechenden isotropen oder teilweise isotropen Ätzmittels in das Halbleitermaterial geätzt. Somit kann das Überhanggebiet 105 des zweiten Teilhohlraums 1022 während des Deckschichtätzens ausgebildet werden, und die Querschnittsflächen innerhalb eines Hohlraums 102 können durch Steuerung der Ätzparameter während der Halbleitermaterialätzoperation eingestellt werden.If the structure 100 is made of a semiconductor material such as silicon, a multi-layer etching represents a possible production variant. The upper main surface 106 the semiconductor structure 100 may consist of a cover layer with different etching properties than the semiconductor structure 100 be made underneath. The cover layer may be a hard passivation layer such as, for example, a silicon oxide, silicon nitride or silicon carbide layer. First, the opening area of the first part cavity 1021 and the opening area 1051 of the second partial cavity 1022 etched using the semiconductor material (eg, silicon) as an etch stop in the cap layer. Then the first and second partial cavities become 1021 . 1022 etched into the semiconductor material using a corresponding isotropic or partially isotropic etchant. Thus, the overhang area 105 of the second partial cavity 1022 during topcoat etching, and the cross-sectional areas within a cavity 102 can be adjusted by controlling the etching parameters during the semiconductor material etching operation.

Bei einer Ausführungsform kann die Struktur 100 eine Dicke innerhalb des Bereichs von 25 bis 2000 μm und optional innerhalb des Bereichs von 50 bis 250 μm aufweisen. Der erste Teilhohlraum 1021 kann einen Durchmesser oder eine seitliche Mindestabmessung H innerhalb eines Bereichs von z. B. 2 bis 200 μm und optional innerhalb eines Bereichs von 20 bis 100 μm aufweisen, z. B. etwa 50 μm. Die seitliche Mindestabmessung S des zweiten Teilhohlraums 1022 ist kleiner als die seitliche Mindestabmessung H des ersten Teilhohlraums 1021 und kann weniger als 30 μm betragen, bei einer Ausführungsform 20 μm oder sogar 10 μm. Die Breite W des Überhanggebiets 105 kann nur einige wenige μm betragen, etwa 1, 2 oder 5 oder mehr μm kleiner als die Breite S. Beispielsweise kann die Breite W 5% kleiner sein als die Breite S. Es ist jedoch auch möglich, dass die Breite W erheblich kleiner ist als die Breite S, beispielsweise um einen Faktor von mindestens 2, 3 oder mehr.In one embodiment, the structure 100 a thickness within the range of 25 to 2000 microns and optionally within the range of 50 to 250 microns. The first part cavity 1021 may have a minimum diameter or lateral dimension H within a range of, for example, 10 °. B. 2 to 200 microns and optionally within a range of 20 to 100 microns, z. B. about 50 microns. The lateral minimum dimension S of the second partial cavity 1022 is smaller than the minimum lateral dimension H of the first partial cavity 1021 and may be less than 30 microns, in one embodiment 20 microns or even 10 microns. The width W of the overhang area 105 For example, the width W may be 5% smaller than the width S. However, it is also possible that the width W is considerably smaller than the width S, for example by a factor of at least 2, 3 or more.

Weiterhin ist anzumerken, dass das Überhanggebiet 105 durch einen Verschluss (nicht dargestellt) ersetzt sein kann, der den zweiten Teilhohlraum 1022 vollständig bedeckt und nach oben abschließt. In diesem Fall besteht keine Verbindung des zweiten Teilhohlraums 1022 zu der oberen Hauptoberfläche 106 der Struktur 100.It should also be noted that the overhang area 105 can be replaced by a closure (not shown), the second part of the cavity 1022 completely covered and upwards. In this case, there is no connection of the second partial cavity 1022 to the upper main surface 106 the structure 100 ,

Die ersten und zweiten Teilhohlräume 1021, 1022 können so ausgebildet sein, dass sie Durchgangslöcher bilden, oder sie können so ausgelegt sein, dass sie Sacklöcher bilden. Im zweiten Fall wird das Substrat 100 nicht benötigt. In diesem Fall, ähnlich den vorausgegangenen Ausführungsformen, kann der Boden oder ein Seitenwandabschnitt des ersten Teilhohlraums 1021 mit einer Oberflächenzone 103 bedeckt sein, die aus einem benetzbaren Material hergestellt ist (z. B. einem Metallmaterial). Im Gegensatz dazu ist kein benetzbares oder weniger benetzbares Material an dem Boden oder Seitenwandabschnitt des zweiten Teilhohlraums 1022 vorgesehen. Eine Ausführungsform eines Herstellungsprozesses zum Bereitstellen der Struktur 100 einschließlich eines Hohlraums 102 mit einem ersten und einem zweiten Teilhohlraum 1021 bzw. 1022 wird in 4 bei S1 dargestellt.The first and second partial cavities 1021 . 1022 may be formed to form through-holes, or they may be configured to form blind holes. In the second case, the substrate becomes 100 not required. In this case, similar to the previous embodiments, the bottom or a side wall portion of the first partial cavity 1021 with a surface zone 103 which is made of a wettable material (eg a metal material). In contrast, there is no wettable or less wettable material at the bottom or sidewall portion of the second sub-cavity 1022 intended. An embodiment of a manufacturing process for providing the structure 100 including a cavity 102 with a first and a second partial cavity 1021 respectively. 1022 is in 4 shown at S1.

Nach der Ausbildung des Hohlraums 102 werden die ersten und zweiten Teilhohlräume 1021, 1022 mit einem elektrisch leitenden Material 110 gefüllt. Dies ist in 4 bei S2 bezeichnet und in 5 dargestellt. Das Füllen kann für mehrere Hohlräume 102 parallel bewirkt werden. Bei einer Ausführungsform kann zum Füllen der ersten und zweiten Teilhohlräume 1021, 1022 die Struktur 100 oder Anordnung 100, 101, in 1 bis 3 dargestellt, in die Schmelze des elektrisch leitenden Materials 110 getaucht werden. Auf diese Weise kann die Schmelze gleichzeitig in die ersten und zweiten Teilhohlräume 1021, 1022 eindringen und verfestigt sich bei Entfernen der Struktur 100 oder Anordnung 100, 101 aus der Schmelze. Ein beispielhafter Prozess, der diese Technik veranschaulicht, wird weiter unten in Verbindung mit den 18A bis 18D eingehender erläutert. Andere Ansätze zum Füllen der ersten und zweiten Teilhohlräume 1021, 1022 sind ebenfalls möglich.After the formation of the cavity 102 become the first and second partial cavities 1021 . 1022 with an electrically conductive material 110 filled. This is in 4 at S2 and in 5 shown. The filling can be for multiple cavities 102 be effected in parallel. In one embodiment, for filling the first and second sub-cavities 1021 . 1022 the structure 100 or arrangement 100 . 101 , in 1 to 3 shown in the melt of the electrically conductive material 110 be dipped. In this way, the melt can simultaneously into the first and second partial cavities 1021 . 1022 penetrates and solidifies when removing the structure 100 or arrangement 100 . 101 from the melt. An exemplary process illustrating this technique will be discussed below in connection with FIGS 18A to 18D explained in more detail. Other approaches to filling the first and second part cavities 1021 . 1022 are also possible.

Zum Beispiel nach dem vollständigen Füllen der ersten und zweiten Teilhohlräume 1021, 1022 mit dem elektrisch leitenden Material 110 wird das leitende Material 110 erhitzt. Das Erhitzen bewirkt, dass das leitende Material 110 schmilzt, siehe S3 von 4. Bei einer Ausführungsform bleibt das geschmolzene leitende Material 110 in dem ersten Teilhohlraum 1021, weil das benetzbare Material in der Oberflächenzone 103 nicht gestattet, dass die Flüssigkeit den ersten Teilhohlraum 1021 verlässt. Der zweite Teilhohlraum 1022 ist jedoch nicht mit einer benetzbaren Oberflächenzone ausgestattet. Deshalb kann das geschmolzene leitende Material 110 in dem zweiten Teilhohlraum 1022 den zweiten Teilhohlraum 1022 verlassen.For example, after the complete filling of the first and second partial cavities 1021 . 1022 with the electrically conductive material 110 becomes the conductive material 110 heated. The heating causes the conductive material 110 melts, see S3 of 4 , In one embodiment, the molten conductive material remains 110 in the first part cavity 1021 because the wettable material in the surface zone 103 does not allow the liquid to be the first part cavity 1021 leaves. The second part cavity 1022 however, it is not equipped with a wettable surface zone. Therefore, the molten conductive material 110 in the second part cavity 1022 the second part cavity 1022 leave.

Die Fluiddynamik des verflüssigten leitenden Materials 110 hängt größtenteils von den Abmessungen der ersten und zweiten Teilhohlräume 1021, 1022 ab. Wegen der Oberflächenspannung tendiert das flüssige leitende Material 110 im Allgemeinen dazu, sich in einer Gestalt zu rekonfigurieren, die innerhalb der von der Geometrie des Hohlraums 102 und der Adhäsionskraft des benetzbaren Materials in der Oberflächenzone 103 vorgegebenen Bedingungen so rund wie möglich ist. Da die Mindestbreite S des zweiten Teilhohlraums 1022 kleiner ist als die Mindestbreite H des ersten Teilhohlraums 1021, verlässt das flüssige leitende Material 110 den zweiten Teilhohlraum 1022 und steht aus einer Öffnung des ersten Teilhohlraums 1021 über die Hauptoberfläche 106 der Struktur 100 vor. Man beachte, dass in dem zweiten Teilhohlraum 1022 keine benetzbare Oberflächenzone vorgesehen ist, um diesen Prozess zu blockieren.The fluid dynamics of the liquefied conductive material 110 depends largely on the dimensions of the first and second partial cavities 1021 . 1022 from. Because of the surface tension, the liquid conductive material tends 110 generally to reconfigure in a shape that is within the geometry of the cavity 102 and the adhesive force of the wettable material in the surface zone 103 given conditions as round as possible. Because the minimum width S of the second part cavity 1022 is smaller than the minimum width H of the first partial cavity 1021 Leaves the liquid conductive material 110 the second part cavity 1022 and stands out of an opening of the first part cavity 1021 over the main surface 106 the structure 100 in front. Note that in the second part cavity 1022 no wettable surface zone is provided to block this process.

Allgemein nimmt die Oberflächenspannung des geschmolzenen leitenden Materials 110 mit schrumpfenden Abmessungen des Hohlraums 102 zu. Wenn S kleiner ist als H, besitzt das geschmolzene Material 110 somit einen höheren Kapillardruck in dem zweiten Teilhohlraum 1022 als im ersten Teilhohlraum 1021. Wenn der Kapillardruck in dem zweiten Teilhohlraum 1022 den Umgebungsdruck (z. B. 1 bar) übersteigt, gibt es eine Tendenz, dass das verflüssigte leitende Material 110 den zweiten Teilhohlraum 1022 in einer vertikalen Richtung verlässt, anstatt seitlich in den ersten Teilhohlraum 1021 auszutreten. Es hat sich herausgestellt, dass in Fällen, wenn S kleiner ist als etwa 30 μm, dieser unerwünschte Effekt auftreten kann. Das Einschnürungs- oder Überhanggebiet 105 ist bereitgestellt, um zu verhindern, dass das verflüssigte leitende Material 110 den zweiten Teilhohlraum 1022 in einer vertikalen Richtung durch die Öffnung des zweiten Teilhohlraums 1022 an der Hauptoberfläche 106 verlässt. Das Verhältnis der Breite W zu der Grabenbreite S kann gemäß den tatsächlichen Anforderungen gewählt werden, die durch mehrere Parameter beeinflusst werden, unter ihnen die Abmessungen S, H, die Oberflächenspannung des verwendeten leitenden Materials 110, der Umgebungsdruck und etwaige ungewollte Oxidation des verflüssigten leitenden Materials 110, was seine Rekonfiguration hinsichtlich der Gestalt behindern kann.Generally, the surface tension of the molten conductive material decreases 110 with shrinking dimensions of the cavity 102 to. If S is less than H, the molten material has 110 thus a higher capillary pressure in the second part cavity 1022 as in the first part cavity 1021 , When the capillary pressure in the second part cavity 1022 exceeds the ambient pressure (eg, 1 bar), there is a tendency that the liquefied conductive material 110 the second part cavity 1022 leaves in a vertical direction, rather than laterally into the first sub-cavity 1021 withdraw. It has been found that in cases when S is less than about 30 μm, this undesirable effect can occur. The constriction or overhang area 105 is provided to prevent the liquefied conductive material 110 the second part cavity 1022 in a vertical direction through the opening of the second sub-cavity 1022 on the main surface 106 leaves. The ratio of the width W to the trench width S can be selected according to the actual requirements which are influenced by several parameters, among them the dimensions S, H, the surface tension of the conductive material used 110 , the ambient pressure and any unwanted oxidation of the liquefied conductive material 110 which can hinder its reconfiguration in terms of shape.

Wegen des Überhanggebiets 105 (oder optional eines entsprechenden Verschlusses des zweiten Teilhohlraums 1022) verlasst geschmolzenes leitendes Material 110 den Hohlraum 102 nur an der Öffnung des ersten Teilhohlraums 1021, um zum Reduzieren seiner internen Energie eine abgerundete Konfiguration anzunehmen. Folglich bildet der vorstehende Teil des geschmolzenen leitenden Materials 110 einen kugelförmigen Kontaktteil 111, der sich über dem ersten Teilhohlraum 1021 befindet. Dem zweiten Teilhohlraum 1022 wird das elektrisch leitende Material 110 fehlen, wie beispielsweise in der Ausführungsform von 6 dargestellt. Somit kann der zweite Teilhohlraum 1022 als ein Reservoir für das Halten von leitendem Material 110 wirken, das danach zum Ausbilden des Kontaktteils 111 ausgestoßen werden kann. Nach der Verfestigung wird ein Kontaktelement mit einem über die Hauptoberfläche 106 vorstehenden Kontaktteil 111 ausgebildet. Das Kontaktelement füllt den ersten Teilhohlraum 1021 vollständig. Bei dieser und anderen Ausführungsformen kann das Kontaktelement ein Volumen aufweisen, das kleiner ist als das doppelte Volumen des Hohlraums 102 und größer ist als z. B. das halbe Volumen des Hohlraums 102.Because of the overhang area 105 (or optionally, a corresponding closure of the second sub-cavity 1022 ) leaves molten conducting material 110 the cavity 102 only at the opening of the first part cavity 1021 in order to adopt a rounded configuration to reduce its internal energy. Consequently, the protruding part of the molten conductive material forms 110 a spherical contact part 111 that is above the first part cavity 1021 located. The second part cavity 1022 becomes the electrically conductive material 110 are missing, such as in the embodiment of 6 shown. Thus, the second part cavity 1022 as a reservoir for holding conductive material 110 then act to form the contact part 111 can be ejected. After solidification, a contact element with a over the main surface 106 protruding contact part 111 educated. The contact element fills the first part cavity 1021 Completely. In this and other embodiments, the contact element may have a volume that is less than twice the volume of the cavity 102 and is greater than z. B. half the volume of the cavity 102 ,

Die 8 und 9 zeigen Ansichten einer Ausführungsform, ähnlich den 1 bzw. 2. Der Hohlraum 102 besteht aus einem ersten Teilhohlraum 1021 und einem zweiten Teilhohlraum 1022. Der erste Teilhohlraum 1021 ist vollständig mit einem aus dem verfestigten leitenden Material 110 hergestellten Kontaktelement gefüllt. Das Kontaktelement besteht aus dem kugelförmigen Kontaktteil 111 und einem Abschnitt des verfestigten leitenden Materials 110, das den ersten Teilhohlraum 1021 füllt und begrenzt. Dem zweiten Teilhohlraum 1022 fehlt das elektrisch leitende Material 110. Bei einer Ausführungsform kann das Überhanggebiet 205 am zweiten Teilhohlraum 1022 einen Verschluss bilden, das heisst einen Deckel des zweiten Teilhohlraums 1022 ohne irgendein Loch an der Hauptoberfläche 106 der Struktur 100. Bei einer anderen Ausführungsform kann das Überhanggebiet oder die Einschnürung 205 ein Loch oder eine Öffnung an der Hauptoberfläche 106 bilden, das oder die mit dem zweiten Teilhohlraum 1022 verbunden ist und nicht mit leitendem Material 110, d. h. dem Kontaktelement, gefüllt ist. In diesem Fall kann die Breite W dieses Lochs kleiner sein als die seitliche Mindestabmessung des ersten Teilhohlraums 1021 (z. B. der Durchmesser des Kontaktelements) und/oder kann im zuvor erwähnten Bereich liegen. In 8 ist die gestrichelte Linie 1025 eine Umrisslinie, die die Bodenfläche des Hohlraums 102 anzeigt. Der Boden des ersten Teilhohlraums 1021 und der Boden des zweiten Teilhohlraums 1022 brauchen sich nicht auf der gleichen Höhe zu befinden.The 8th and 9 show views of an embodiment, similar to the 1 respectively. 2 , The cavity 102 consists of a first part cavity 1021 and a second part cavity 1022 , The first part cavity 1021 is complete with one of the solidified conductive material 110 filled contact element filled. The contact element consists of the spherical contact part 111 and a portion of the solidified conductive material 110 that the first part cavity 1021 fills and limits. The second part cavity 1022 lacks the electrically conductive material 110 , In one embodiment, the overhang area 205 at the second part cavity 1022 form a closure, that is a lid of the second part cavity 1022 without any hole on the main surface 106 the structure 100 , In another embodiment, the overhang area or constriction may be 205 a hole or opening on the main surface 106 form the one or the other with the second part cavity 1022 is connected and not with conductive material 110 , ie the contact element, is filled. In this case, the width W of this hole may be smaller than the minimum lateral dimension of the first sub-cavity 1021 (eg the diameter of the contact element) and / or may be in the aforementioned range. In 8th is the dashed line 1025 an outline that defines the bottom surface of the cavity 102 displays. The bottom of the first part cavity 1021 and the bottom of the second sub-cavity 1022 need not be at the same height.

Weiterhin können die ersten und zweiten Teilhohlräume 1021, 1022 mit benetzbaren bzw. weniger benetzbaren Oberflächenzonen ausgestattet sein, um die Rekonfiguration des geschmolzenen leitenden Materials 110 in das vorstehende Kontaktelement wie oben beschrieben zu unterstützen. Es wird in dieser Hinsicht auf die Beschreibung in Verbindung mit den oben beschriebenen Ausführungsformen Bezug genommen. Beispielhaft können sich diese Oberflächenzonen am Boden des Hohlraums 102 befinden (der wie in 2 und 3 beispielhaft gezeigt durch ein Substrat 101 implementiert sein kann).Furthermore, the first and second partial cavities 1021 . 1022 be provided with wettable or less wettable surface zones to the reconfiguration of the molten conductive material 110 to assist in the above contact element as described above. In this regard, reference will be made to the description in connection with the embodiments described above. By way of example, these surface zones can be at the bottom of the cavity 102 (as in 2 and 3 exemplified by a substrate 101 can be implemented).

Das oben beschriebene Verfahren kann mit einer Reihe von Varianten ausgeführt werden. Vor dem Erhitzen kann ein Mittel zugesetzt werden, das Oxidation verhindert oder von der Oberfläche des geschmolzenen leitenden Materials 110 entfernt.The method described above can be carried out in a number of variants. Prior to heating, an agent may be added to prevent oxidation or from the surface of the molten conductive material 110 away.

Ein geeignetes Flussmittel oder ein anderes Reduktionsmittel wie z. B. Ameisensäure oder ein Wasserstoffplasma können verwendet werden. Das Erhitzen kann in einer Inertgas-Atmosphäre oder in einem Formiergas (z. B. N2H2) durchgeführt werden, um den Aufbau einer Oxidationsschicht an der Oberfläche des geschmolzenen leitenden Materials 110 zu vermeiden. Eine derartige Oxidationsschicht könnte den Austrag des geschmolzenen leitenden Materials 110 aus dem ersten Teilhohlraum 1021 blockieren.A suitable flux or other reducing agent such. For example, formic acid or a hydrogen plasma may be used. The heating may be carried out in an inert gas atmosphere or in a forming gas (e.g., N 2 H 2 ) to form an oxidation layer on the surface of the molten conductive material 110 to avoid. Such an oxidation layer could be the discharge of the molten conductive material 110 from the first part cavity 1021 To block.

Die Temperatur, die zum Schmelzen und Austragen des leitenden Materials 110 aus dem ersten Teilhohlraum 1021 erforderlich ist, kann über einen sehr großen Bereich variieren. Wenn die Struktur 100 aus einem Material mit geringer Temperaturstabilität hergestellt ist, wie beispielsweise einem Polymer, muss ein leitendes Material 110 mit einem niedrigen Schmelzpunkt gewählt werden. Als Beispiel kann ein SnAgCu-Lot verwendet werden, das einen Schmelzpunkt bei oder etwas über 200°C aufweisen kann (z. B. etwa 220°C) und deshalb eine Polymerstruktur 100 während des Erhitzens und Schmelzens nicht beschädigt.The temperature used to melt and discharge the conductive material 110 from the first part cavity 1021 required may vary over a very wide range. If the structure 100 is made of a material with low temperature stability, such as a polymer, must be a conductive material 110 be chosen with a low melting point. As an example, a SnAgCu solder may be used which may have a melting point at or slightly above 200 ° C (eg, about 220 ° C) and therefore a polymer structure 100 not damaged during heating and melting.

Der Erhitzungsprozess kann im Allgemeinen in zwei verschiedenen Stadien innerhalb des Herstellungs- und Montageprozesses durchgeführt werden. Eine Möglichkeit besteht darin, den Erhitzungsprozess so durchzuführen, um den sogenannten „Ball-Attach” zu bewirken. In diesem Fall kann der Erhitzungsprozess in der Anlage des Herstellers durchgeführt werden, um eine Struktur 100 oder Anordnung 100, 101 herzustellen, die Kontaktelemente mit Kontaktteilen 111 (z. B. Löthöckern oder Lötkugeln) aufweist, die an den Vias oder Durchführungen angebracht sind, die durch das leitende Material 110 innerhalb der ersten Teilhohlräume 1021 hergestellt werden. Eine derartige Struktur 100 oder Anordnung 100, 101 wird dann an den Kunden versandt. Der Kunde montiert die Struktur 100 oder Anordnung 100, 101 an einer geeigneten Montageplattform wie etwa z. B. einer PCB durch einen herkömmlichen Aufschmelzprozess (Reflow-Prozess), d. h. durch Wiederaufschmelzen der vorstehenden Kontaktteile 111 in der Nähe der Montageplattform. In diesem Fall sind zwei Aufschmelzprozesse erforderlich (Ball-Attach und Aufschmelzmontage).The heating process can generally be performed at two different stages within the manufacturing and assembly process. One possibility is to carry out the heating process in such a way that the so-called "ball" Attach "effect. In this case, the heating process can be carried out in the plant of the manufacturer to create a structure 100 or arrangement 100 . 101 manufacture, the contact elements with contact parts 111 (eg, solder bumps or solder balls) attached to the vias or feedthroughs passing through the conductive material 110 within the first partial cavities 1021 getting produced. Such a structure 100 or arrangement 100 . 101 will be sent to the customer. The customer assembles the structure 100 or arrangement 100 . 101 on a suitable mounting platform such. B. a PCB by a conventional reflow process (reflow process), ie by re-melting of the above contact parts 111 near the assembly platform. In this case, two reflow processes are required (ball attach and reflow assembly).

Als Alternative kann der Hersteller darauf verzichten, den Ball-Attach-Erhitzungsprozess durchzuführen. In diesem Fall wird die Struktur 100 oder Anordnung 100, 101 an den Kunden mit Hohlräumen 102 versandt, die mit dem leitenden Material 110 gefüllt sind, aber ohne ausgebrachte Kontaktteile 111. Somit sind die zweiten Teilhohlräume 1022 immer noch geladen, wenn die Struktur 100 oder Anordnung 100, 101 von dem Kunden erhalten wird. Das Ausbringen des geschmolzenen leitenden Materials 110 aus dem ersten Teilhohlraum 1021 und das Montieren der Struktur 100 oder Anordnung 100, 101 an der Montageplattform (z. B. PCB) kann dann beim Kunden innerhalb eines Erhitzungs- oder Aufschmelzzyklus durchgeführt werden. Der Erhitzungs- oder Aufschmelzzyklus wird mit einer bei der Montageplattform angeordneten Struktur 100 oder Anordnung 100, 101 durchgeführt.Alternatively, the manufacturer may refrain from performing the ball-attach heating process. In this case, the structure becomes 100 or arrangement 100 . 101 to the customer with cavities 102 shipped with the conductive material 110 are filled, but without expelled contact parts 111 , Thus, the second part cavities 1022 still loaded when the structure 100 or arrangement 100 . 101 received from the customer. The application of the molten conductive material 110 from the first part cavity 1021 and assembling the structure 100 or arrangement 100 . 101 on the assembly platform (eg PCB) can then be performed at the customer's premises within a heating or reflow cycle. The heating or reflow cycle is accomplished with a structure located at the mounting platform 100 or arrangement 100 . 101 carried out.

Die 10 und 11 zeigen eine Ausführungsform eines derartigen Verfahrens als Beispiel. Die Anordnung 100, 101 ist mit gefüllten Hohlräumen 102 versehen und ist gegenüber von und in der Nähe einer Montageplattform 200, zum Beispiel einer PCB, einer Mutterplatine, einer MIP-Platine (Module-in-Package), einem MMP (Multi-Module Package), einem Trägersubstrat, einem Chipträger und/oder irgendeiner anderen Entität positioniert, die die Anordnung 100, 101 mit einer externen Schaltungsanordnung verbinden kann. Die Montageplattform 200 ist mit elektrischen Kontaktgliedern 201 wie z. B. gedruckten Drähten oder Leiterbahnen ausgestattet. Der Erhitzungs- oder Aufschmelzzyklus bewirkt, dass die Kontaktteile 111 aus den ersten Teilhohlräumen 1021 ausgestoßen werden und die Kontaktglieder 201 in Eingriff nehmen. Folglich ist die Anordnung 100, 101 nach der Verfestigung des elektrisch leitenden Materials 110 fest an der Montageplattform 200 montiert und elektrisch mit ihr verbunden (11).The 10 and 11 show an embodiment of such a method as an example. The order 100 . 101 is filled with cavities 102 and is opposite and near a mounting platform 200 , a PCB, a motherboard, a MIP board (Module-in-Package), an MMP (Multi-Module Package), a carrier substrate, a chip carrier, and / or any other entity that positions the device 100 . 101 can connect to an external circuit. The mounting platform 200 is with electrical contact members 201 such as B. printed wires or conductors equipped. The heating or reflow cycle causes the contact parts 111 from the first partial cavities 1021 be ejected and the contact members 201 engage. Consequently, the arrangement is 100 . 101 after the solidification of the electrically conductive material 110 firmly on the mounting platform 200 mounted and electrically connected to it ( 11 ).

Gemäß eines Beispiels kann die Struktur 100 oder Anordnung 100, 101 mit mit dem leitenden Material 110 immer noch ungefüllten Hohlräumen 102 an den Kunden versandt werden. In diesem Fall werden sowohl der Füllprozess als der Montageprozess von dem Kunden bewerkstelligt.According to one example, the structure 100 or arrangement 100 . 101 with with the conductive material 110 still unfilled cavities 102 sent to the customer. In this case, both the filling process and the assembly process are accomplished by the customer.

Die 12 bis 14 zeigen Schnittansichten ähnlich jeweils den 1 bis 3. Die in den 12 bis 14 dargestellte Ausführungsform ist von der in den 1 bis 5 dargestellten Ausführungsform verschieden in Bezug auf das Design des Einschnürungs- oder Überhanggebiets 305. Bei einer Ausführungsform enthält das Überhanggebiet 305 eine Bedeckung, die mit einer Reihe von Löchern 3051 ausgestattet ist. Analog zum Überhanggebiet 105 bewirkt diese Art von Überhanggebiet 305, dass der zweite Teilhohlraum 1022 eine kleinere Querschnittsöffnungsfläche an dem Überhanggebiet 305 als in einem Gebiet unter dem Überhanggebiet 305 aufweist. Hier ist die Breite W durch den Durchmesser der Löcher 3051 dargestellt. Mit Ausnahme der unterschiedlichen Ausbildung des Überhanggebiets 305 gilt die Beschreibung in Verbindung mit der in 1 bis 5 gezeigten Ausführungsform gleichermaßen für die in 12 bis 14 dargestellte Ausführungsform.The 12 to 14 show sectional views similar to the respective 1 to 3 , The in the 12 to 14 illustrated embodiment is of the in the 1 to 5 illustrated embodiment with respect to the design of the constriction or overhang area 305 , In one embodiment, the overhang area includes 305 a covering that has a number of holes 3051 Is provided. Analogous to the overhang area 105 causes this type of overhang area 305 in that the second part cavity 1022 a smaller cross-sectional opening area at the overhang area 305 as in an area under the overhang area 305 having. Here is the width W through the diameter of the holes 3051 shown. Except for the different training of the overhang area 305 the description in conjunction with in 1 to 5 embodiment shown equally for in 12 to 14 illustrated embodiment.

In Variationen der in 1 bis 3 und 12 bis 14 dargestellten Ausführungsformen kann das Einschnürungs- oder Überhanggebiet 105, 305 an dem zweiten Teilhohlraum 1022 weiterhin durch einen Verschluss ersetzt werden, d. h. einen Deckel ohne jegliches Loch. Der zweite Teilhohlraum 1022 kann dann in vertikaler Richtung vollständig geschlossen sein. Ebenfalls in diesem Fall wird auf die Beschreibung in Verbindung mit den oben beschriebenen Ausführungsformen verwiesen.In variations of in 1 to 3 and 12 to 14 illustrated embodiments, the constriction or overhang area 105 . 305 at the second part cavity 1022 continue to be replaced by a closure, ie a lid without any hole. The second part cavity 1022 can then be completely closed in the vertical direction. Also in this case, reference is made to the description in connection with the embodiments described above.

Die 15–17 zeigen beispielhaft verschiedene Ausführungsformen, die die Prinzipien der obenerwähnten Ausführungsformen verwenden. Unter Bezugnahme auf 15 enthält ein Halbleiterchip 1000 eine interne Verdrahtung 1001, die an eine aktive Komponente 1002 innerhalb des Halbleiterchips 1000 angeschlossen ist. Ein aus einem leitenden Material 110 hergestelltes erstes leitendes Element 1003 schaltet die interne Verdrahtung 1001 mit einem Kontaktteil (z. B. Lötkugel) 111 zusammen. Ein aus einem leitenden Material 110 hergestelltes zweites leitendes Element 1004 ist als eine Durchführung ausgelegt und verbindet einen ersten Kontaktteil (z. B. Lötkugel) 111A an einer Hauptoberfläche des Halbleiterchips 1000 mit einem zweiten Kontaktteil 1113 an der gegenüberliegenden Hauptoberfläche des Halbleiterchips 1000.The 15 - 17 show by way of example various embodiments using the principles of the above-mentioned embodiments. With reference to 15 contains a semiconductor chip 1000 an internal wiring 1001 that is connected to an active component 1002 within the semiconductor chip 1000 connected. A made of a conductive material 110 manufactured first conductive element 1003 switches the internal wiring 1001 with a contact part (eg solder ball) 111 together. A made of a conductive material 110 manufactured second conductive element 1004 is designed as a bushing and connects a first contact part (eg solder ball) 111A on a main surface of the semiconductor chip 1000 with a second contact part 1113 on the opposite major surface of the semiconductor chip 1000 ,

16 zeigt einen Mehrschichtenträger 2000 wie etwa z. B. eine PCB, eine SBU oder ein Keramiksubstrat. Der Mehrschichtenträger 2000 kann mit einem aus leitendem Material 110 hergestellten ersten leitenden Element 2003 versehen sein, das einen Kontaktteil (z. B. Lötkugel) 111 mit einer ersten internen leitenden Schicht 2001 des Mehrschichtenträgers 2000 verbindet. Der Mehrschichtenträger 2000 kann mit einem aus leitendem Material 110 hergestellten zweiten leitenden Element 2004 ausgestattet sein, das einen Kontaktteil (z. B. Lötkugel) 111 mit einer zweiten internen leitenden Schicht 2002 des Mehrschichtenträgers 2000 verbindet. Der Mehrschichtenträger 2000 kann mit einem dritten leitenden Element 2005 ausgestattet sein, das aus einem leitenden Material 110 hergestellt ist und eine Durchführung bildet, um einen ersten Kontaktteil (z. B. Lötkugel) 111A an einer Hauptoberfläche des Mehrschichtenträgers 2000 mit einem zweiten Kontaktteil (z. B. Lötkugel) 1113 an der gegenüberliegenden Hauptoberfläche des Mehrschichtenträgers 2000 zu verbinden. Das dritte leitende Element 2005 kann optional weiter an eine dritte interne leitende Schicht 2006 angeschlossen sein. 16 shows a multi-layer carrier 2000 such as A PCB, an SBU or a ceramic substrate. The multi-layer carrier 2000 can with one of conductive material 110 produced first conductive element 2003 be provided that a contact part (eg solder ball) 111 with a first internal conductive layer 2001 of the multi-layer carrier 2000 combines. The multi-layer carrier 2000 Can be made with a conductive material 110 produced second conductive element 2004 equipped with a contact part (eg solder ball) 111 with a second internal conductive layer 2002 of the multi-layer carrier 2000 combines. The multi-layer carrier 2000 can with a third conductive element 2005 equipped with a conductive material 110 is manufactured and forms a bushing to a first contact part (eg solder ball) 111A on a main surface of the multi-layer carrier 2000 with a second contact part (eg solder ball) 1113 on the opposite major surface of the multi-layer carrier 2000 connect to. The third conductive element 2005 can optionally continue to a third internal conductive layer 2006 be connected.

17 zeigt ein an einem Halbleiterchip 1000 angebrachtes Polymergehäuse 3000. Das Polymergehäuse 3000 kann aus einem Fotolackmaterial wie etwa z. B. SU8 hergestellt sein. Eine Vertiefung 3001 in der unteren Oberfläche des Polymergehäuses 3000 bildet einen Hohlraum zum Aufnehmen einer geschützten Struktur 3002 wie etwa z. B. einem Sensor oder einer emittierenden Struktur, der oder die auf dem Halbleiterchip 1000 montiert ist. Die Vertiefung 3001 kann durch Multifrequenzlaserlithographie und Ätzen hergestellt werden. Die Struktur 3002 ist über Chip-Pads 3003 mit einer nicht gezeigten internen Verdrahtung des Halbleiterchips 1000 verbunden. Leitende Elemente 3004, 3005, die aus leitendem Material 110 hergestellt sind, verlaufen durch eine Seitenwandsektion 3006 des Polymergehäuses 3000, um die Chip-Pads 3003 an der oberen Oberfläche des Halbleiterchips 1000 mit Kontaktteilen (z. B. Lötkugeln) 111 an der oberen Oberfläche des Polymergehäuses 3000 zu verbinden. Die Kontaktteile 111 gestatten eine Flip-Chip-Montage der Baugruppe auf einer Montageplattform 200 (siehe 10, 11), oder gestatten, dass diese als ein Träger für ein gestapeltes Bauelement dient. Die Chip-Pads 3003 können das benetzbare Material an der Oberflächenzone 103 des Bodens der ersten Teilöffnungen 1021 bereitstellen, wie in den obenerwähnten Ausführungsformen beschrieben. Die in 17 gezeigte Chip-und-Gehäuse-Struktur kann vollständig auf Waferebene hergestellt werden. Bei allen in 15 bis 17 dargestellten Strukturen 1000, 2000, 3000 werden die durch die leitenden Elements 1003, 1004, 2003, 2004, 2005, 3004, 3005 ausgebildeten Kontaktelemente und die Kontaktteile 111, 111A, 111B gemäß den beispielhaft in Verbindung mit den 1 bis 14 erläuterten Prinzipien hergestellt. Die zweiten Teilhohlräume 1022 sind in den 15 bis 17 nicht dargestellt. Es ist anzumerken, dass im Fall von relativ langen Kontaktelementen (z. B. Kontaktelemente 1004, 2004, 2005, die Durchführungen bilden oder in eine interne leitende Schicht eindringen) die zweiten Teilhohlräume 1022 möglicherweise die ersten Teilhohlräume 1021 nicht entlang ihrer ganzen Länge begleiten, sondern in einer geringeren Tiefe enden können, z. B. bei einer internen leitenden Schicht wie etwa z. B. für das in 16 dargestellte Beispiel an den obersten internen leitenden Schichten 2001 bzw. 2006. 17 shows a on a semiconductor chip 1000 attached polymer housing 3000 , The polymer housing 3000 may consist of a photoresist material such as z. B. SU8 be made. A deepening 3001 in the lower surface of the polymer housing 3000 forms a cavity for receiving a protected structure 3002 such as As a sensor or an emitting structure, or the on the semiconductor chip 1000 is mounted. The depression 3001 can be made by multi-frequency laser lithography and etching. The structure 3002 is about chip pads 3003 with an internal wiring, not shown, of the semiconductor chip 1000 connected. Leading elements 3004 . 3005 made of conductive material 110 are made pass through a side wall section 3006 of the polymer housing 3000 to the chip pads 3003 on the upper surface of the semiconductor chip 1000 with contact parts (eg solder balls) 111 on the upper surface of the polymer housing 3000 connect to. The contact parts 111 allow a flip-chip mounting of the assembly on a mounting platform 200 (please refer 10 . 11 ), or allow it to serve as a support for a stacked device. The chip pads 3003 can the wettable material at the surface zone 103 the bottom of the first part openings 1021 as described in the above-mentioned embodiments. In the 17 The chip-and-package structure shown can be manufactured entirely at the wafer level. At all in 15 to 17 represented structures 1000 . 2000 . 3000 Be the ones through the conductive elements 1003 . 1004 . 2003 . 2004 . 2005 . 3004 . 3005 trained contact elements and the contact parts 111 . 111A . 111B according to the example in conjunction with the 1 to 14 made explained principles. The second partial cavities 1022 are in the 15 to 17 not shown. It should be noted that in the case of relatively long contact elements (eg contact elements 1004 . 2004 . 2005 which form feedthroughs or penetrate an internal conductive layer) the second sub-cavities 1022 possibly the first partial cavities 1021 do not accompany along their entire length, but may end up at a lesser depth, e.g. B. in an internal conductive layer such as. B. for the in 16 illustrated example at the top internal conductive layers 2001 respectively. 2006 ,

Über die ganze Beschreibung hinweg kann das Füllen der Hohlräume 102 durch das leitende Material 110 durch Verwenden eines Schmelzmetallsaugverfahrens (MMSM – Molten Metal Suction Method) bewerkstelligt werden. Eine Ausführungsform dieses Füllverfahrens wird nun unter Bezugnahme auf die 18A bis 18D ausführlicher erläutert.Throughout the description, filling the cavities 102 through the conductive material 110 by using a Molten Metal Suction Method (MMSM). An embodiment of this filling method will now be described with reference to FIGS 18A to 18D explained in more detail.

18A zeigt in schematischer Weise ein Bad 70 aus geschmolzenem Metall 110. Das geschmolzene Metall ist das elektrisch leitende Material 110, z. B. Lot. Das Bad aus geschmolzenem Metall 110 ist in einer Druckkammer 72 angeordnet, die an einem Einlass/Auslass 73 unter Druck gesetzt oder dekomprimiert werden kann. 18A schematically shows a bath 70 made of molten metal 110 , The molten metal is the electrically conductive material 110 , z. B. Lot. The bath of molten metal 110 is in a pressure chamber 72 arranged at an inlet / outlet 73 can be pressurized or decompressed.

Zuerst ist die Druckkammer 72 dekomprimiert, d. h., ein Vakuum ist angelegt. Dann wird, wie in 18B dargestellt, die Struktur 100, die Anordnung 100, 101 oder Baugruppe 1000, 2000, 3000, in 18A–D durch Bezugszeichen X bezeichnet, optional auf Waferebene, in das geschmolzene Metallbad 70 eingetaucht. Dann wird nach etwa z. B. einer Minute Eintauchen das Vakuum gebrochen und ein Druckgas kann in die Kammer 72 bis zum Beispiel zu Atmosphärendruck oder Überdruck eingeleitet werden. Zu dieser Zeit werden, wie in 18C gezeigt, die Hohlräume 102 durch den Differentialdruck zwischen der Vakuumumgebung in den Hohlräumen 102 und der unter Druck stehenden Umgebung der Kammer 72 mit dem geschmolzenen Metall 110 gefüllt. Nachdem der Druck z. B. für einige Minuten aufrecht erhalten worden ist, wird das Substrat X aus dem geschmolzenen Metallbad 70 herausgenommen und so abgekühlt, dass sich das Metall innerhalb der Hohlräume 102 verfestigt. Dann wird der Druck aufgehoben und die Struktur X wird aus der Druckkammer 72 entfernt.First is the pressure chamber 72 decompressed, ie, a vacuum is created. Then, as in 18B represented the structure 100 , the order 100 . 101 or assembly 1000 . 2000 . 3000 , in 18A -D denoted by reference X, optionally at the wafer level, in the molten metal bath 70 immersed. Then, after about z. As a minute immersion the vacuum is broken and a pressurized gas can enter the chamber 72 be introduced, for example, to atmospheric pressure or overpressure. At that time, as in 18C shown the cavities 102 by the differential pressure between the vacuum environment in the cavities 102 and the pressurized environment of the chamber 72 with the molten metal 110 filled. After the pressure z. B. has been maintained for a few minutes, the substrate X from the molten metal bath 70 taken out and cooled so that the metal inside the cavities 102 solidified. Then the pressure is released and the structure X is removed from the pressure chamber 72 away.

Somit ermöglicht das Anlegen eines reduzierten Drucks es demleitenden Material 110 in schmale Hohlräume 102 einzudringen und selbige vollständig zu füllen. Der Druck in der luftdichten Druckkammer 72 bei dem Dekomprimierungsprozess (18A) kann im Bereich von z. B. 0,001 bis 100 mbar und optional weniger als 1 mbar liegen. Nach der Einleitung des verflüssigten leitenden Materials 110 in die Hohlräume 102 können Sacklöcher geöffnet werden, um falls, gewünscht, kontinuierliche Löcher (d. h. Durchgangslöcher) auszubilden.Thus, the application of a reduced pressure enables the conductive material 110 in narrow cavities 102 to penetrate and fill it completely. The pressure in the airtight pressure chamber 72 in the decompression process ( 18A ) can be in the range of z. B. 0.001 to 100 mbar and optionally less than 1 mbar. After the introduction of the liquefied conductive material 110 in the cavities 102 blind holes may be opened to form, if desired, continuous holes (ie, through-holes).

Der zum Füllen der Hohlräume 102 erforderliche Druck (18C) hängt hauptsächlich von der seitlichen Mindestabmessung der Hohlräume 102 ab, d. h. S oder H, und der Oberflächenspannung des leitenden Materials. Diese Parameter steuern den Kapillardruck des leitenden Materials 110 innerhalb der Hohlräume 102. Der Kapillardruck muss durch den während des Füllens der Hohlräume 102 angelegten Fülldruck überwunden werden. Der Fülldruck kann im Bereich von z. B. 1 bis 20 bar und optional innerhalb des Bereichs von 5 bis 10 bar liegen.The for filling the cavities 102 required pressure ( 18C ) depends mainly on the lateral minimum dimension of the cavities 102 ie, S or H, and the surface tension of the conductive material. These parameters control the capillary pressure of the conductive material 110 inside the cavities 102 , The capillary pressure must pass through while filling the cavities 102 applied filling pressure to be overcome. The filling pressure can be in the range of z. B. 1 to 20 bar and optionally within the range of 5 to 10 bar.

Aufgrund des während des Füllens der Hohlräume 102 verwendeten Drucks braucht die Oberfläche in den Hohlräumen 102 nicht mit einer Adhäsionsschicht zum Füllen versehen zu werden, selbst in dem Fall eines schlecht benetzbaren elektrisch leitenden Materials 110. Die Hohlräume 102 können bis zum Rand an der Oberfläche der Struktur X vollständig und blasenfrei mit dem geschmolzenen leitenden Material 110 gefüllt werden. Das heisst, alle ersten und zweiten Teilhohlräume 1021, 1022 werden mit dem geschmolzenen leitenden Material 110 gefüllt. Dies gestattet das Anwenden des leitenden Materials 110 für das Kontaktelement, d. h. das leitende Element, das sich innerhalb des ersten Teilhohlraums 1021 der Struktur X erstreckt, und das leitende Material 110, das den über die Struktur X vorstehenden Kontaktteil 111 bildet, in dem gleichen Herstellungsschritt.Due to during filling of the cavities 102 used pressure needs the surface in the cavities 102 not to be provided with an adhesive layer for filling, even in the case of a poorly wettable electrically conductive material 110 , The cavities 102 can be up to the edge on the surface of the structure X completely and bubble-free with the molten conductive material 110 be filled. That means, all first and second partial cavities 1021 . 1022 be with the molten conductive material 110 filled. This allows the application of the conductive material 110 for the contact element, ie the conductive element, which is located within the first part cavity 1021 the structure X extends, and the conductive material 110 comprising the contact part projecting beyond the structure X. 111 forms, in the same manufacturing step.

Wenngleich vorstehend ein bestimmtes Merkmal oder ein bestimmter Aspekt einer Ausführungsform der Erfindung bezüglich nur einer von mehreren Implementierungen offenbart worden sein mag, kann ein derartiges Merkmal oder ein derartiger Aspekt mit einem oder mehreren anderen Merkmalen oder Aspekten der anderen Implementierungen kombiniert werden, wie es für eine bestimmte Anwendung erwünscht und vorteilhaft sein kann. Ferner wird darauf hingewiesen, dass Elemente mit bestimmten Abmessungen relativ zueinander zum Zweck der Vereinfachung und zum leichten Verständnis dargestellt worden sind und dass tatsächliche Abmessungen von den hierin dargestellten wesentlich differieren können.While a particular feature or aspect of an embodiment of the invention may have been disclosed above in terms of only one of several implementations, such feature or aspect may be combined with one or more other features or aspects of the other implementations as may be appreciated certain application may be desirable and advantageous. It is further to be understood that elements of particular dimensions have been illustrated relative to one another for purposes of simplicity and ease of understanding, and that actual dimensions may differ materially from those set forth herein.

Claims (15)

Elektrisches Bauelement, umfassend: – eine Struktur (100, 1000, 2000, 3000), die einen Hohlraum (102) aufweist, der sich von einer Öffnung an einer Hauptfläche (106) der Struktur in die Struktur (100, 1000, 2000, 3000) hinein erstreckt und eine der Hauptfläche (106) gegenüberliegende Bodenfläche umfasst, wobei der Hohlraum (102) einen ersten Teilhohlraum (1021) und einen zweiten Teilhohlraum (1022) umfasst, die fluidisch miteinander verbunden sind und sich jeweils von der Öffnung bis zu der Bodenfläche des Hohlraums (102) erstrecken, wobei ein erster Teil der Öffnung die Öffnung des ersten Teilhohlraums bildet und ein zweiter Teil der Öffnung die Öffnung des zweiten Teilhohlraums bildet; – ein Kontaktelement (110, 111), das aus einem elektrisch leitenden Material (110) hergestellt ist, wobei das Kontaktelement (110, 111) den ersten Teilhohlraum (1021) vollständig füllt, die Bodenfläche des ersten Teilhohlraums (1021) bedeckt, sich durch die Öffnung des ersten Teilhohlraums (1021) erstreckt und über die Hauptfläche (106) der Struktur (100, 1000, 2000, 3000) vorsteht, wobei der zweite Teilhohlraum (1022) nicht von dem elektrisch leitenden Material (110) gefüllt ist und das elektrisch leitende Material (110) sich nicht durch die Öffnung des zweiten Teilhohlraums (1022) erstreckt, und – ein Überhanggebiet (105, 205, 305), das die Öffnung des zweiten Teilhohlraums (1022) begrenzt und den zweiten Teilhohlraum mindestens teilweise überdeckt.Electric component comprising: - a structure ( 100 . 1000 . 2000 . 3000 ), which has a cavity ( 102 ) extending from an opening on a major surface ( 106 ) of the structure into the structure ( 100 . 1000 . 2000 . 3000 ) and one of the main surfaces ( 106 ) opposite bottom surface, wherein the cavity ( 102 ) a first partial cavity ( 1021 ) and a second partial cavity ( 1022 ) which are fluidly connected to each other and each extending from the opening to the bottom surface of the cavity ( 102 ), wherein a first part of the opening forms the opening of the first part-cavity and a second part of the opening forms the opening of the second part-cavity; A contact element ( 110 . 111 ) made of an electrically conductive material ( 110 ), wherein the contact element ( 110 . 111 ) the first partial cavity ( 1021 ) completely fills the bottom surface of the first partial cavity ( 1021 ), through the opening of the first partial cavity ( 1021 ) and over the main surface ( 106 ) of the structure ( 100 . 1000 . 2000 . 3000 ), wherein the second partial cavity ( 1022 ) not of the electrically conductive material ( 110 ) and the electrically conductive material ( 110 ) not through the opening of the second partial cavity ( 1022 ), and - an overhang area ( 105 . 205 . 305 ), the opening of the second partial cavity ( 1022 ) and at least partially covers the second partial cavity. Elektrisches Bauelement nach Anspruch 1, wobei der zweite Teilhohlraum (1022) eine Fläche innerhalb einer Ebene parallel zu der Hauptfläche der Struktur (100, 1000, 2000, 3000) begrenzt, die größer ist als die Fläche der Öffnung des zweiten Teilhohlraums (1022).An electrical component according to claim 1, wherein the second sub-cavity ( 1022 ) an area within a plane parallel to the main surface of the structure ( 100 . 1000 . 2000 . 3000 ), which is larger than the area of the opening of the second partial cavity ( 1022 ). Elektrisches Bauelement nach Anspruch 2, wobei die Öffnung des zweiten Teilhohlraums eine seitliche Mindestabmessung (W) aufweist, die mindestens 5% kleiner ist als eine seitliche Mindestabmessung (S) der durch den zweiten Teilhohlraum (1022) begrenzten Fläche innerhalb der Ebene parallel zu der Hauptfläche der Struktur (100, 1000, 2000, 3000).An electrical device according to claim 2, wherein the opening of the second sub-cavity has a lateral minimum dimension (W) which is at least 5% smaller than a lateral minimum dimension (S) passing through the second sub-cavity ( 1022 ) limited area within the plane parallel to the main surface of the structure ( 100 . 1000 . 2000 . 3000 ). Elektrisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Struktur (100, 1000, 2000, 3000) eine Polymerschicht, ein Halbleitersubstrat oder ein Halbleiterchipträger ist.Electrical component according to one of claims 1 to 3, wherein the structure ( 100 . 1000 . 2000 . 3000 ) is a polymer layer, a semiconductor substrate or a semiconductor chip carrier. Elektrisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, weiterhin umfassend: einen Halbleiterchip (1000) mit einem Chipkontaktpad (3003), wobei das Kontaktelement (110, 111) elektrisch an das Chipkontaktpad (3003) gekoppelt ist.Electrical component according to one of the preceding claims, further comprising: a semiconductor chip ( 1000 ) with a chip contact pad ( 3003 ), wherein the contact element ( 110 . 111 ) electrically to the chip contact pad ( 3003 ) is coupled. Elektrisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Volumen des Kontaktelements (110, 111) kleiner ist als das doppelte Volumen des Hohlraums (102) und größer ist als das halbe Volumen des Hohlraums (102).Electrical component according to one of the preceding claims, wherein the volume of the contact element ( 110 . 111 ) is less than twice the volume of the cavity ( 102 ) and is greater than half the volume of the cavity ( 102 ). Elektrisches Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei an einer ersten Oberflächenzone einer Innenfläche des ersten Teilhohlraums (1021) ein erstes Material (103) bereitgestellt ist, wobei das erste Material (103) durch das elektrisch leitende Material (110) benetzbar ist; und wobei an einer zweiten Oberflächenzone einer Innenfläche des zweiten Teilhohlraums (1022) ein zweites Material bereitgestellt ist, wobei das zweite Material durch das elektrisch leitende Material (110) weniger benetzbar ist als das erste Material.Electrical component according to one of the preceding claims, wherein at a first surface zone of an inner surface of the first partial cavity ( 1021 ) a first material ( 103 ) is provided, wherein the first material ( 103 ) by the electrically conductive material ( 110 ) is wettable; and wherein at a second surface zone of an inner surface of the second sub-cavity ( 1022 ) a second material is provided, wherein the second material by the electrically conductive material ( 110 ) is less wettable than the first material. Elektrisches Bauelement nach Anspruch 7, wobei sich die erste Oberflächenzone am Boden des ersten Teilhohlraums (1021) befindet.An electrical component according to claim 7, wherein the first surface zone at the bottom of the first partial cavity ( 1021 ) is located. Elektrisches Bauelement nach einem der Ansprüche 7 und 8, wobei sich die zweite Oberflächenzone am Boden des zweiten Teilhohlraums (1022) befindet.Electrical component according to one of claims 7 and 8, wherein the second surface zone at the bottom of the second partial cavity ( 1022 ) is located. Elektrisches Bauelement, umfassend: – eine Struktur (100, 1000, 2000, 3000), die mehrere Hohlräume (102) aufweist, die sich jeweils von einer Öffnung an einer Hauptfläche (106) der Struktur in die Struktur (100, 1000, 2000, 3000) hinein erstrecken und wobei jeder der Hohlräume eine der Hauptfläche (106) gegenüberliegende Bodenfläche umfasst, und wobei jeder der Hohlräume (102) einen ersten Teilhohlraum (1021) und einen zweiten Teilhohlraum (1022) umfasst, die fluidisch miteinander verbunden sind und sich jeweils von der Öffnung bis zu der Bodenfläche des Hohlraums (102) erstrecken, wobei ein erster Teil der jeweiligen Öffnung die Öffnung des jeweiligen ersten Teilhohlraums bildet und ein zweiter Teil der jeweiligen Öffnung die Öffnung des jeweiligen zweiten Teilhohlraums bildet; – mehrere Kontaktelemente (110, 111), die aus einem elektrisch leitenden Material (110) hergestellt sind, wobei die Kontaktelemente (110, 111) jeweils den ersten Teilhohlraum (1021) der mehreren Hohlräumen vollständig füllen, die Bodenfläche des ersten Teilhohlraums (1021) jeweils bedecken, sich durch die Öffnung des jeweils ersten Teilhohlraums (1021) erstrecken und über die Hauptfläche (106) der Struktur (100, 1000, 2000, 3000) vorstehen, wobei jeweils der zweite Teilhohlraum (1022) nicht von dem elektrisch leitenden Material (110) gefüllt ist und das elektrisch leitende Material (110) sich nicht durch die jeweilige Öffnung des zweiten Teilhohlraums (1022) erstreckt; und – mehrere Überhanggebiete (105, 205, 305), die jeweils die Öffnung des zweiten Teilhohlraums (1022) begrenzen und den jeweiligen zweiten Teilhohlraum mindestens teilweise überdekken.Electric component comprising: - a structure ( 100 . 1000 . 2000 . 3000 ), which has several cavities ( 102 ) each extending from an opening on a major surface ( 106 ) of the structure into the structure ( 100 . 1000 . 2000 . 3000 extend) and wherein each of the cavities one of the main surface ( 106 ) comprises opposite bottom surface, and wherein each of the cavities ( 102 ) a first partial cavity ( 1021 ) and a second partial cavity ( 1022 ) which are fluidly connected to each other and each extending from the opening to the bottom surface of the cavity ( 102 ), wherein a first part of the respective opening forms the opening of the respective first part-cavity and a second part of the respective opening forms the opening of the respective second part-cavity; - several contact elements ( 110 . 111 ) made of an electrically conductive material ( 110 ), wherein the contact elements ( 110 . 111 ) each have the first partial cavity ( 1021 ) of the plurality of cavities completely fill, the bottom surface of the first partial cavity ( 1021 ), through the opening of the respective first partial cavity ( 1021 ) and over the main surface ( 106 ) of the structure ( 100 . 1000 . 2000 . 3000 ), wherein in each case the second partial cavity ( 1022 ) not of the electrically conductive material ( 110 ) and the electrically conductive material ( 110 ) not through the respective opening of the second partial cavity ( 1022 ) extends; and - several overhang areas ( 105 . 205 . 305 ), each of which the opening of the second partial cavity ( 1022 ) and at least partially overlap the respective second partial cavity. Verfahren zum Anbringen eines Kontaktelements (110, 111) an einer Struktur (100, 1000, 2000, 3000), wobei das Verfahren umfasst: – Bereitstellen der eine Hauptfläche (106) aufweisenden Struktur (100, 1000, 2000, 3000), die einen Hohlraum (102) aufweist, der sich von einer Öffnung an der Hauptfläche (106) der Struktur in die Struktur (100, 1000, 2000, 3000) hinein erstreckt und eine der Hauptfläche (106) gegenüberliegende Bodenfläche umfasst, und wobei der Hohlraum (102) einen ersten Teilhohlraum (1021) und einen zweiten Teilhohlraum (1022) umfasst, die fluidisch miteinander verbunden sind und sich jeweils von der Öffnung bis zu der Bodenfläche des Hohlraums (102) erstrecken; wobei ein erster Teil der Öffnung die Öffnung des ersten Teilhohlraums (1021) bildet und ein zweiter Teil der Öffnung die Öffnung des zweiten Teilhohlraums (1022) bildet; – Bereitstellen eines Überhanggebiets (105, 205, 305), das die Öffnung des zweiten Teilhohlraums (1022) begrenzt und den zweiten Teilhohlraum mindestens teilweise überdeckt; – Füllen des Hohlraums (102) mit einem elektrisch leitenden Material (110); und – Verflüssigen des elektrisch leitenden Materials (110), wobei das elektrisch leitende Material (110) den ersten Teilhohlraum (1021) vollständig füllt, die Bodenfläche des ersten Teilhohlraums (1021) bedeckt, sich durch die Öffnung des ersten Teilhohlraums (1021) erstreckt und das flüssige elektrisch leitende Material aus der Struktur (100, 1000, 2000, 3000) hervorsteht, und wobei sich das elektrisch leitende Material (110) beim Verflüssigen aus dem zweiten Teilhohlraum zurückzieht und sich nicht durch die Öffnung des zweiten Teilhohlraums (1022) erstreckt.Method for attaching a contact element ( 110 . 111 ) on a structure ( 100 . 1000 . 2000 . 3000 ), the method comprising: providing the one main surface ( 106 ) structure ( 100 . 1000 . 2000 . 3000 ), which has a cavity ( 102 ) extending from an opening on the main surface ( 106 ) of the structure into the structure ( 100 . 1000 . 2000 . 3000 ) and one of the main surfaces ( 106 ) comprises opposite bottom surface, and wherein the cavity ( 102 ) a first partial cavity ( 1021 ) and a second partial cavity ( 1022 ) which are fluidly connected to each other and each extending from the opening to the bottom surface of the cavity ( 102 ) extend; wherein a first part of the opening, the opening of the first partial cavity ( 1021 ) and a second part of the opening forms the opening of the second partial cavity ( 1022 ) forms; - providing an overhang area ( 105 . 205 . 305 ), the opening of the second partial cavity ( 1022 ) and at least partially covers the second partial cavity; - filling the cavity ( 102 ) with an electrically conductive material ( 110 ); and - liquefying the electrically conductive material ( 110 ), wherein the electrically conductive material ( 110 ) the first partial cavity ( 1021 ) completely fills the bottom surface of the first partial cavity ( 1021 ), through the opening of the first partial cavity ( 1021 ) and the liquid electrically conductive material from the structure ( 100 . 1000 . 2000 . 3000 protruding, and wherein the electrically conductive material ( 110 ) withdraws from the second partial cavity during liquefaction and does not retract through the opening of the second partial cavity ( 1022 ). Verfahren nach Anspruch 11, wobei das Bereitstellen der Struktur (100, 1000, 2000, 3000) umfasst: Bereitstellen einer Fotolackschicht (100, 3000); Belichten der Fotolackschicht (100, 3000) mit einer ersten Strahlung unter Verwendung einer ersten Maske; Belichten der Fotolackschicht (100, 3000) mit einer zweiten Strahlung unter Verwendung einer zweiten Maske und Entfernen eines Teils der Fotolackschicht (100, 3000), die durch die erste und zweite Strahlung nicht beeinflusst worden ist, zum Ausbilden der Teilhohlräume (102) und Überhanggebiete (105, 205, 305).The method of claim 11, wherein providing the structure ( 100 . 1000 . 2000 . 3000 ) comprises: providing a photoresist layer ( 100 . 3000 ); Exposing the photoresist layer ( 100 . 3000 ) with a first radiation using a first mask; Exposing the photoresist layer ( 100 . 3000 ) with a second radiation using a second mask and removing a part of the photoresist layer ( 100 . 3000 ), which has not been influenced by the first and second radiation, to form the partial cavities ( 102 ) and overhang areas ( 105 . 205 . 305 ). Verfahren nach einem der Ansprüche 11 und 12, wobei beim Verflüssigen das flüssige elektrisch leitende Material (110) ein an einer ersten Oberflächenzone einer Innenfläche des ersten Teilhohlraums (1021) bereitgestelltes erstes Material (103) benetzt und ein an einer zweiten Oberflächenzone einer Innenfläche des zweiten Teilhohlraums (1022) bereitgestelltes zweites Material weniger oder nicht benetzt wird.Method according to one of Claims 11 and 12, in which, during the liquefaction, the liquid electrically conductive material ( 110 ) at a first surface zone of an inner surface of the first sub-cavity ( 1021 ) provided first material ( 103 ) and a at a second surface zone of an inner surface of the second partial cavity ( 1022 ) provided second material is less or not wetted. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 13, weiterhin umfassend: Anordnen einer Montageplattform (200), auf der die Struktur (100, 1000, 2000, 3000) montiert werden soll, gegenüber der Hauptfläche (106) der Struktur (100, 1000, 2000, 3000), so dass das von der Struktur (100, 1000, 2000, 3000) vorstehende elektrisch leitende Material (110) in Kontakt mit der Montageplattform (200) gerät.The method of any one of claims 11 to 13, further comprising: arranging a mounting platform ( 200 ) on which the structure ( 100 . 1000 . 2000 . 3000 ), opposite the main surface ( 106 ) of the structure ( 100 . 1000 . 2000 . 3000 ), so that of the structure ( 100 . 1000 . 2000 . 3000 ) above electrically conductive material ( 110 ) in contact with the assembly platform ( 200 ) device. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 14, wobei das Bereitstellen der Struktur (100, 1000, 2000, 3000) umfasst, eine Struktur mit einer Mehrzahl von Hohlräumen (102) bereitzustellen, wobei sich die Hohlräume (102) jeweils von einer Öffnung an einer Hauptfläche (106) der Struktur in die Struktur (100, 1000, 2000, 3000) hinein erstrecken und jeweils eine der Hauptfläche (106) gegenüberliegende Bodenfläche umfassen, und wobei die Hohlräume (102) jeweils einen ersten Teilhohlraum (1021) und einen zweiten Teilhohlraum (1022) umfassen, die jeweils fluidisch miteinander verbunden sind und sich jeweils von der Öffnung bis zu der Bodenfläche des Hohlraums (102) erstrecken; wobei ein erster Teil der Öffnung die Öffnung des ersten Teilhohlraums (1021) bildet und ein zweiter Teil der Öffnung die Öffnung des zweiten Teilhohlraums (1022) bildet; und wobei das Bereitstellen eines Überhanggebiets (105, 205, 305) das Bereitstellen einer Mehrzahl von Überhanggebieten, die jeweils die Öffnung des zweiten Teilhohlraums (1022) begrenzen und den jeweiligen zweiten Teilhohlraum mindestens teilweise überdecken; und wobei das Füllen und das Verflüssigen für die Mehrzahl der Hohlräume parallel erfolgt.The method of any of claims 11 to 14, wherein providing the structure ( 100 . 1000 . 2000 . 3000 ) comprises a structure having a plurality of cavities ( 102 ), the cavities ( 102 ) each from an opening on a main surface ( 106 ) of the structure into the structure ( 100 . 1000 . 2000 . 3000 ) and each one of the main surface ( 106 ) comprise opposite bottom surface, and wherein the cavities ( 102 ) each have a first partial cavity ( 1021 ) and a second partial cavity ( 1022 ) each fluidly connected to each other and each extending from the opening to the bottom surface of the cavity ( 102 ) extend; wherein a first part of the opening, the opening of the first partial cavity ( 1021 ) and a second part of the opening forms the opening of the second partial cavity ( 1022 ) forms; and wherein providing an overhang area ( 105 . 205 . 305 ) providing a plurality of overhang areas, each defining the opening of the second sub-cavity ( 1022 ) and at least partially cover the respective second partial cavity; and wherein the filling and liquefaction are parallel for the plurality of cavities.
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