DE102009014069A1 - Piezo actuator in multilayer construction - Google Patents

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Abstract

Es wird ein Piezoaktor (1) in Vielschichtbauweise mit einem Grundkörper (2) aufweisend einen Stapel (20) aus piezoelektrischen Schichten (21) und dazwischen angeordneten Elektrodenschichten (22) angegeben. Wenigstens eine Stirnseite (31a, 31b) des Grundkörpers (2) ist derart strukturiert, dass sie zur Aufnahme in eine Haltevorrichtung (4) geeignet ist, die ein seitliches Wegrutschen des Grundkörpers (2) behindert.A piezoactuator (1) in multilayer construction with a base body (2) comprising a stack (20) of piezoelectric layers (21) and electrode layers (22) arranged therebetween is provided. At least one end face (31a, 31b) of the main body (2) is structured in such a way that it is suitable for being received in a holding device (4) which obstructs lateral slippage of the main body (2).

Description

Es wird ein Piezoaktor in Vielschichtbauweise mit einem Stapel aus piezoelektrischen Schichten und dazwischen angeordneten Elektrodenschichten angegeben. Derartige Piezoaktoren können beispielsweise zum Betätigen eines Einspritzventils in einem Kraftfahrzeug eingesetzt werden.It is a piezoelectric actuator in multilayer construction with a stack indicated piezoelectric layers and disposed therebetween electrode layers. Such piezo actuators can be used, for example, for actuating an injection valve can be used in a motor vehicle.

In der Druckschrift DE 19928185 B4 ist ein Piezoaktor beschrieben, der zwischen einer Grundplatte und einem Federteller gehalten wird und unter mechanischer Vorspannung steht.In the publication DE 19928185 B4 a piezoelectric actuator is described, which is held between a base plate and a spring plate and is under mechanical bias.

Es ist eine zu lösende Aufgabe, einen Piezoaktor anzugeben, der möglichst zuverlässig von einer Haltevorrichtung gehalten werden kann.It is a problem to be solved, to specify a piezoelectric actuator, the most reliable of a holding device can be held.

Es wird ein Piezoaktor in Vielschichtbauweise angegeben, der einen Grundkörper mit einem Stapel aus piezoelektrischen Schichten und dazwischen angeordneten Elektrodenschichten aufweist. Wenigstens eine Stirnseite des Grundkörpers ist derart strukturiert, dass sie zur Aufnahme in eine Haltevorrichtung geeignet ist, die ein seitliches Wegrutschen des Grundkörpers behindert.It a piezoelectric actuator in multilayer construction is given, the one Basic body with a stack of piezoelectric layers and disposed therebetween electrode layers. At least an end face of the main body is structured in such a way that it is suitable for inclusion in a holding device, the hinders a lateral slippage of the body.

Beispielsweise wird ein derartiger Piezoaktor zwischen einem Kopfteil und einem Fußteil einer Haltevorrichtung eingespannt. Die Stirnseiten des Grundkörpers liegen dabei an Aufnahmebereichen der Haltevorrichtung an. Im Betrieb des Piezoaktors dehnt sich der Piezoaktor beim Anlegen einer Spannung aus und zieht sich wieder zusammen. Dabei kann der Anpressdruck des Piezoaktors an die Haltevorrichtung zeitlich variieren. Darüber hinaus können laterale Resonanzamplituden auftreten, die deutliche laterale Kräfte zur Folge haben. Dies kann dazu führen, dass der Piezoaktor dazu neigt, gegenüber seiner Haltevorrichtung lateral zu verrutschen oder zu verkippen, was einen Performanceverlust bis hin zu einem Bauelementversagen zur Folge haben könnte.For example is such a piezoelectric actuator between a headboard and a Clamped foot part of a holding device. The front ends of the body lie on receiving areas of the Holding device on. During operation of the piezoelectric actuator, the piezoelectric actuator expands when a voltage is applied and contracts again. In this case, the contact pressure of the piezoelectric actuator to the holding device vary in time. In addition, lateral Resonance amplitudes occur, the significant lateral forces have as a consequence. This can cause the piezo actuator tends to be lateral to its fixture slip or tilt, causing a loss of performance could lead to a component failure.

Vorzugsweise ist der Grundkörper des Piezoaktors ein monolithischer Sinterkörper.Preferably the basic body of the piezoelectric actuator is a monolithic one Sintered body.

Beispielsweise weist der Grundkörper einen Kopfbereich und einen Fußbereich auf, die jeweils an ein Ende des Stapels angrenzen. Vorzugsweise enthalten der Kopfbereich und der Fußbereich ein keramisches Material, das gemeinsam mit dem Stapel aus Elektrodenschichten und piezoelektrischen Schichten gesintert ist. Nach dem Sintern kann an einer Stirnseite des Grundkörpers eine Strukturierung, beispielsweise durch Materialabtrag, erzeugt werden.For example The basic body has a head area and a foot area on, each adjacent to one end of the stack. Preferably Both the head area and the foot area contain a ceramic Material that works together with the stack of electrode layers and sintered piezoelectric layers. After sintering can on a front side of the body structuring, for example by material removal, are generated.

Die Strukturierung ist derart ausgeführt, dass der Grundkörper möglichst stabil in einer Haltevorrichtung geführt werden kann.The Structuring is carried out in such a way that the basic body as stable as possible in a holding device can be.

Insbesondere sollte die Strukturierung eine seitliche Führung des Grundkörpers in einer Haltevorrichtung ermöglichen.Especially The structuring should be a lateral guidance of the main body allow in a holding device.

Vorzugsweise weist die Stirnseite wenigstens einen Teilbereich auf, der gegenüber einem weiteren Teilbereich in Stapelrichtung des Stapels versetzt ist.Preferably has the end face on at least a portion of the opposite a further portion offset in the stacking direction of the stack is.

In diesem Fall steht zumindest zwischen den Teilbereichen ein Bereich zur Verfügung, auf den eine Kraft senkrecht zur Stapelrichtung ausgeübt werden kann und damit eine seitliche Führung des Grundkörpers ermöglicht. Dabei können ein Aufnahmebereich einer Haltevorrichtung und die Stirnseite des Grundkörpers derart ineinandergreifen, dass der Grundkörper wenigstens zwischen dem ersten und dem zweiten Teilbereich formschlüssig am Aufnahmebereich anliegt.In In this case there is an area at least between the subregions available, on which a force perpendicular to the stacking direction can be exercised and thus a lateral guidance of the body allows. It can a receiving area of a holding device and the front side of the Basic body mesh in such a way that the body at least between the first and the second partial area in a form-fitting manner abuts the receiving area.

Beispielsweise weist die Stirnseite wenigstens eine Wölbung auf.For example the front side has at least one curvature.

Die Wölbung kann nach innen gewölbt, d. h. konvex, oder nach außen gewölbt, d. h. konkav, ausgeführt sein. Vorzugsweise weist ein Aufnahmebereich einer Haltevorrichtung eine komplementäre geformte Wölbung auf. Beispielsweise weist die Stirnseite die Form einer Halbkugel oder eines Kugelsegments auf.The Vault can be arched inward, d. H. convex, or arched outward, d. H. concave, executed be. Preferably, a receiving area of a holding device a complementary shaped camber. For example The front side has the shape of a hemisphere or a spherical segment on.

In einer Ausführungsform weist die Stirnseite wenigstens eine Stufe auf.In According to one embodiment, the end face has at least one Step up.

Vorzugsweise weist die Stirnseite des Grundkörpers abgerundete Kanten und Ecken auf.Preferably has the front side of the body rounded edges and corners on.

Auf diese Weise können lokale Überhöhungen mechanischer Spannungsfelder vermieden werden, die zur Beschädigung des Piezoaktors führen können.On This way you can do local elevations mechanical stress fields are avoided, leading to damage can lead the piezoelectric actuator.

Weiterhin wird ein Piezoaktor mit einer Haltevorrichtung angegeben, die wenigstens einen Aufnahmebereich aufweist. Im Aufnahmebereich ist die Stirnseite des Grundkörpers aufgenommen. Vorzugsweise ist der Aufnahmebereich ebenfalls strukturiert. Der Aufnahmebereich und die Stirnseite greifen derart ineinander, dass ein seitliches Wegrutschen des Grundkörpers behindert wird.Farther a piezoelectric actuator with a holding device is specified, the at least has a receiving area. In the recording area is the front page of the main body. Preferably, the receiving area also structured. The receiving area and the front side grab in such a way into each other, that a lateral slipping of the main body is hampered.

Vorzugsweise liegt die Stirnseite formschlüssig am Aufnahmebereich an.Preferably the face is positively on the receiving area.

Vorzugsweise sind die Stirnseite des Grundkörpers und der Aufnahmebereich komplementär ausgebildet.Preferably are the front of the body and the receiving area formed complementary.

In einer Ausführungsform umfasst die Haltevorrichtung ein Verspannelement zur Erzeugung einer mechanischen Vorspannung des Piezoaktors.In one embodiment, the holding device comprises a clamping element for generating egg ner mechanical bias of the piezoelectric actuator.

Beispielsweise weist das Verspannelement ein Kopfteil und ein Fußteil mit jeweils einem Aufnahmebereich auf, zwischen denen der Grundkörper eingespannt ist.For example the tensioning element has a head part and a foot part each with a receiving area, between which the main body is clamped.

Die Vorspannung kann mittels einer Rohrfeder erzeugt werden, die den Piezoaktor umgibt und mit dem Kopfteil und dem Fußteil des Aufnahmebereichs verbunden ist.The Preload can be generated by means of a Bourdon tube, the Piezo actuator surrounds and with the head part and the foot part of the recording area is connected.

Weiterhin wird ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Piezoaktors angegeben. Dabei wird ein monolithischer Grundkörper enthaltend einen Stapel aus piezoelektrischen Schichten und Elektrodenschichten bereitgestellt. Anschließend wird an wenigstens einer Stirnseite Material abgetragen.Farther is a method for producing such a piezoelectric actuator specified. This is a monolithic body containing a stack of piezoelectric layers and electrode layers provided. Subsequently, at least one end face Material removed.

Beispielsweise wird das Material mittels CNC-Schleifens abgetragen.For example The material is removed by means of CNC grinding.

Im Folgenden werden der angegebene Piezoaktor und seine vorteilhaften Ausgestaltungen anhand von schematischen und nicht maßstabsgetreuen Figuren erläutert. Es zeigen:in the The following are the specified piezoelectric actuator and its advantageous Embodiments based on schematic and not to scale Figures explained. Show it:

1A einen Piezoaktor mit konvex gewölbten Stirnseiten, 1A a piezoelectric actuator with convexly curved end faces,

1B einen Piezoaktor gemäß 1A in einer Halte vorrichtung, 1B a piezoelectric actuator according to 1A in a holding device,

2A einen Piezoaktor mit konkav gewölbten Stirnseiten, 2A a piezoelectric actuator with concavely curved end faces,

2B einen Piezoaktor gemäß 2A in einer Haltevorrichtung, 2 B a piezoelectric actuator according to 2A in a holding device,

3A einen Piezoaktor mit stufig geformten Stirnseiten, 3A a piezoelectric actuator with stepped end faces,

3B einen Piezoaktor gemäß 3A in einer Haltevorrichtung. 3B a piezoelectric actuator according to 3A in a holding device.

1 zeigt einen Piezoaktor 1, bei dem piezoelektrische Schichten 21 und dazwischen angeordnete Elektrodenschichten 22 entlang einer Stapelrichtung S zu einem Stapel 20 angeordnet sind. Für die piezoelektrischen Schichten 21 werden beispielsweise dünne Folien, die ein piezokeramisches Material wie Blei-Zirkonat-Titanat (PZT) enthalten, verwendet. Zur Bildung der Elektrodenschichten 22 kann in einem Siebdruckverfahren eine Metallpaste, zum Beispiel eine Silber-Palladium-Paste oder eine kupferhaltige Paste auf die Folien aufgebracht werden. An die Enden des Stapels 20 schließt sich ein Kopfbereich 3a und ein Fußbereich 3b an, die jeweils aus übereinander gestapelten keramischen Schichten gebildet sind. Alle Schichten des Grundkörpers 2, der den Stapel 20 aus piezoelektrischen Schichten 21 und Elektrodenschichten 22, sowie den Kopfbereich 3a und den Fußbereich 3b umfasst, sind gemeinsam gesintert. 1 shows a piezoelectric actuator 1 in which piezoelectric layers 21 and interposed electrode layers 22 along a stacking direction S to a stack 20 are arranged. For the piezoelectric layers 21 For example, thin films containing a piezoceramic material such as lead zirconate titanate (PZT) are used. For the formation of the electrode layers 22 For example, a metal paste, for example, a silver-palladium paste or a copper-containing paste may be applied to the films in a screen printing process. At the ends of the stack 20 closes a head area 3a and a foot area 3b each formed of stacked ceramic layers. All layers of the body 2 who the pile 20 made of piezoelectric layers 21 and electrode layers 22 , as well as the head area 3a and the foot area 3b covers are sintered together.

Zur elektrischen Kontaktierung der Elektrodenschichten 22 kann auf die Außenseite des Stapels 20 eine Grundmetallisierung aufgebracht sein (hier nicht gezeigt). Die Grundmetallisierung wird vorzugsweise in Form einer Silber-Palladium-Paste oder einer kupferhaltigen Paste aufgetragen und beim Sintern des Grundkörpers 2 mit eingebrannt.For electrical contacting of the electrode layers 22 can be on the outside of the stack 20 a base metallization applied (not shown here). The base metallization is preferably applied in the form of a silver-palladium paste or a copper-containing paste and during sintering of the base body 2 with branded.

Der Stapel 20 bildet den aktiven Bereich des Grundkörpers 2, der sich beim Anlegen einer Spannung zwischen benachbarte Elektrodenschichten 22 entlang der Stapelrichtung S ausdehnt. Der Kopfbereich 3a und der Fußbereich 3b dehnt sich im Betrieb des Piezoaktors nicht aus und bildet somit den inaktiven Bereich des Grundkörpers 2.The stack 20 forms the active area of the body 2 which occurs when a voltage is applied between adjacent electrode layers 22 along the stacking direction S expands. The head area 3a and the foot area 3b does not expand during operation of the piezoelectric actuator and thus forms the inactive region of the basic body 2 ,

Die Stirnseiten 31a, 31b des Grundkörpers 2 weisen jeweils eine konvex geformte Wölbung 32 auf. Vorzugsweise wird zur Herstellung der Wölbung 32 ein quaderförmiger Grundkörper bereitgestellt, bei dem die Randbereiche der Stirnseiten 31a, 31b abgerundet werden.The front ends 31a . 31b of the basic body 2 each have a convex curvature 32 on. Preferably, for the preparation of the curvature 32 a cuboid base body provided in which the edge regions of the end faces 31a . 31b rounded off.

Durch die Wölbung 32 ist ein Teilbereich 311 einer Stirnseite 31a, 31b gegenüber einem weiteren Teilbereich 312 entlang der Stapelrichtung S versetzt. Auf diese Weise entsteht wenigstens zwischen den Teilbereichen 311, 312 eine Angriffsfläche für einen Aufnahmebereich 41a, 41b einer Haltevorrichtung 4, die eine seitliche Führung des Piezoaktors 1 bewirken kann.Through the vault 32 is a subarea 311 a front side 31a . 31b opposite another subarea 312 offset along the stacking direction S. In this way arises at least between the subregions 311 . 312 an attack surface for a receiving area 41a . 41b a holding device 4 , which has a lateral guide of the piezoelectric actuator 1 can cause.

1B zeigt den Piezoaktor 1 gemäß 1A, der in eine Haltevorrichtung 4 aufgenommen ist, die als Verspannelement 40 eine Vorspannung des Piezoaktors 1 erzeugt. Die Haltevorrichtung 4 weist ein Kopfteil 40a und ein Fußteil 40b auf, zwischen denen der Grundkörper 2 des Piezoaktors 1 eingespannt ist. 1B shows the piezo actuator 1 according to 1A into a holding device 4 is included, as a tensioning element 40 a bias of the piezoelectric actuator 1 generated. The holding device 4 has a headboard 40a and a foot part 40b on, between which the main body 2 of the piezo actuator 1 is clamped.

Am Kopfteil 40a und am Fußteil 40b befinden sich Aufnahmebereiche 41a und 41b, an denen die Stirnseiten 31a, 31b des Piezoaktors 1 formschlüssig anliegen.At the headboard 40a and at the foot part 40b there are recording areas 41a and 41b at which the end faces 31a . 31b of the piezo actuator 1 lie positively.

Die Aufnahmebereiche 41a, 41b sind konkav gewölbt und komplementär zu den Stirnseiten 31a, 31b des Piezoaktors geformt. Die Aufnahmebereiche 41a, 41b und die Stirnseiten 31a, 31b des Piezoaktors 1 greifen derart ineinander, dass ein seitliches Wegrutschen des Grundkörpers 2 behindert wird.The reception areas 41a . 41b are concave and complementary to the faces 31a . 31b formed of the piezoelectric actuator. The reception areas 41a . 41b and the front ends 31a . 31b of the piezo actuator 1 engage in such a way that a lateral slipping of the body 2 is hampered.

Der Piezoaktor 1 wird dabei allein durch den formschlüssigen Kontakt der Stirnseiten 31a, 31b und der Aufnahmebereiche 41a, 41b in der Haltevorrichtung gehalten.The piezo actuator 1 is doing alone by the positive contact of the end faces 31a . 31b and the reception areas 41a . 41b in the holding before direction.

2A zeigt eine weitere Ausführungsform für einen Piezoaktor 1 mit strukturierten Stirnseiten 31a, 31b. Die Stirnseiten 31a, 31b weisen jeweils eine konvex geformte Wölbung 32, also eine Mulde, auf. Dabei sind die Teilbereiche 311 im zentralen Bereich der Stirnseiten 31a, 31b gegenüber weiteren Teilbereichen 312 am Rand der Stirnseiten 31a, 31b in Stapelrichtung versetzt. 2A shows a further embodiment of a piezoelectric actuator 1 with structured front sides 31a . 31b , The front ends 31a . 31b each have a convex curvature 32 So, a hollow on. Here are the subareas 311 in the central area of the front sides 31a . 31b opposite other subareas 312 on the edge of the front sides 31a . 31b offset in the stacking direction.

2B zeigt den Piezoaktor 1 gemäß 2A, der in eine Haltevorrichtung 4 mit komplementär geformten Aufnahmebereichen 41a, 41b eingespannt ist. Die Aufnahmebereiche 41a, 41b sind nach außen gewölbt und greifen in die innere Wölbung 32 der Stirnseiten 31a, 31b ein. Die Stirnseiten 31a, 31b liegen formschlüssig an den Aufnahmebereichen 4a, 4b an. 2 B shows the piezo actuator 1 according to 2A into a holding device 4 with complementary shaped receiving areas 41a . 41b is clamped. The reception areas 41a . 41b are arched outwards and reach into the inner arch 32 the front ends 31a . 31b one. The front ends 31a . 31b lie positively against the receiving areas 4a . 4b at.

3A zeigt einen Piezoaktor 1, bei dem die Stirnseiten 31a, 31b Stufen 33 aufweisen, so dass sich jeweils ein quaderförmiger Fortsatz 34 ergibt. Dabei ist ein Teilbereich 311 der Stirnseite gegenüber einem weiteren Teilbereich 312 entlang der Stapelrichtung S versetzt. 3A shows a piezoelectric actuator 1 in which the front sides 31a . 31b stages 33 have, so that in each case a cuboid extension 34 results. It is a subarea 311 the front side opposite another subarea 312 offset along the stacking direction S.

3B zeigt den Piezoaktor gemäß 3A, der in eine Haltevorrichtung 4 mit komplementär geformten Aufnahmebereichen 41a, 41b eingespannt ist. Die Aufnahmebereiche 41a, 42b weisen quaderförmige Vertiefungen 42 auf, in denen die Fortsätze 34 des Piezoaktors 1 aufgenommen sind. Die Stirnseiten 31a, 31b des Grundkörpers 2 liegen formschlüssig an den Aufnahmebereichen 4a, 4b an. 3B shows the piezoelectric actuator according to 3A into a holding device 4 with complementary shaped receiving areas 41a . 41b is clamped. The reception areas 41a . 42b have cuboid depressions 42 on, in which the extensions 34 of the piezo actuator 1 are included. The front ends 31a . 31b of the basic body 2 lie positively against the receiving areas 4a . 4b at.

Die Erfindung ist nicht durch die Beschreibung an Hand der Ausführungsbeispiele auf diese beschränkt, sondern umfasst jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von Merkmalen. Dies beinhaltet insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den Patentansprüchen, auch wenn dieses Merkmal oder diese Kombination selbst nicht explizit in den Patentansprüchen oder Ausführungsbeispielen angegeben ist.The Invention is not by the description with reference to the embodiments limited to this, but includes every new feature as well every combination of features. This includes in particular each Combination of features in the claims, also if this feature or combination itself is not explicitly stated in the claims or embodiments is specified.

11
Piezoaktorpiezo actuator
22
Grundkörperbody
2020
Stapelstack
2121
piezoelektrische Schichtpiezoelectric layer
2222
Elektrodenschichtelectrode layer
3a3a
Kopfbereichhead area
3b3b
Fußbereichfooter
31a, 31b31a, 31b
Stirnseitefront
3232
Wölbungbulge
3333
Stufestep
3434
Fortsatzextension
311311
Teilbereichsubregion
312312
weiterer TeilbereichAnother subregion
44
Haltevorrichtungholder
4040
Verspannelementbracing
40a40a
Kopfteilheadboard
40b40b
Fußteilfootboard
41a, 41b41a, 41b
Aufnahmebereichreception area
4242
Vertiefungdeepening

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • - DE 19928185 B4 [0002] - DE 19928185 B4 [0002]

Claims (14)

Piezoaktor in Vielschichtbauweise – mit einem Grundkörper (2) aufweisend einen Stapel (20) aus piezoelektrischen Schichten (21) und dazwischen angeordneten Elektrodenschichten (22), – bei dem wenigstens eine Stirnseite (31a, 31b) des Grundkörpers (2) derart strukturiert ist, dass sie zur Aufnahme in eine Haltevorrichtung (4) geeignet ist, die ein seitliches Wegrutschen des Grundkörpers (2) behindert.Piezo actuator in multilayer construction - with a basic body ( 2 ) comprising a stack ( 20 ) of piezoelectric layers ( 21 ) and interposed electrode layers ( 22 ), - in which at least one end face ( 31a . 31b ) of the basic body ( 2 ) is structured in such a way that it can be accommodated in a holding device ( 4 ) is suitable, the lateral slipping of the body ( 2 ) with special needs. Piezoaktor nach Anspruch 1, – bei dem der Grundkörper (2) ein monolithischer Sinterkörper ist.Piezoelectric actuator according to claim 1, - in which the basic body ( 2 ) is a monolithic sintered body. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 oder 2, – bei dem die Stirnseite (31a, 31b) wenigstens einen Teilbereich (311) aufweist, der gegenüber einem weiteren Teilbereich (312) in Stapelrichtung (S) des Stapels (20) versetzt ist.Piezoelectric actuator according to one of claims 1 or 2, - in which the end face ( 31a . 31b ) at least one subarea ( 311 ), which faces a further subregion ( 312 ) in the stacking direction (S) of the stack ( 20 ) is offset. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, – bei dem die Stirnseite (31a, 31b) wenigstens eine Wölbung (32) aufweist.Piezoelectric actuator according to one of Claims 1 to 3, - in which the end face ( 31a . 31b ) at least one vault ( 32 ) having. Piezoaktor nach Anspruch 4, – bei dem die Wölbung (32) konkav ist.Piezoelectric actuator according to claim 4, - in which the curvature ( 32 ) is concave. Piezoaktor nach Anspruch 4, – bei dem die Wölbung (32) konvex ist.Piezoelectric actuator according to claim 4, - in which the curvature ( 32 ) is convex. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, – bei dem die Stirnseite (31a, 31b) wenigstens eine Stufe (32) aufweist.Piezoelectric actuator according to one of Claims 1 to 6, - in which the end face ( 31a . 31b ) at least one stage ( 32 ) having. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 7, – bei dem die Stirnseite (31a, 31b) abgerundete Kanten und Ecken aufweist.Piezoelectric actuator according to one of Claims 1 to 7, - in which the end face ( 31a . 31b ) has rounded edges and corners. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 8, – mit einer Haltevorrichtung (4) aufweisend wenigstens einen Aufnahmebereich (4a, 4b), in dem die Stirnseite (31a, 31b) des Grundkörpers (2) aufgenommen ist, – bei dem die Stirnseite (31a, 31b) und der Aufnahmebereich (41a, 41b) derart ineinandergreifen, dass ein seitliches Wegrutschen des Grundkörpers (2) behindert wird.Piezoelectric actuator according to one of claims 1 to 8, - with a holding device ( 4 ) comprising at least one receiving area ( 4a . 4b ), in which the front side ( 31a . 31b ) of the basic body ( 2 ), - in which the front side ( 31a . 31b ) and the recording area ( 41a . 41b ) engage in such a way that a lateral slippage of the body ( 2 ) is impeded. Piezoaktor nach Anspruch 9, – bei dem die Stirnseite (31a, 31b) formschlüssig am Aufnahmebereich (41a, 41b) anliegt.Piezoelectric actuator according to Claim 9, - in which the end face ( 31a . 31b ) in a form-fitting manner on the receiving area ( 41a . 41b ) is present. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 9 oder 10, – bei dem die Haltevorrichtung (4) ein Verspannelement (40) zur Erzeugung einer mechanischen Vorspannung des Piezoaktors (1) umfasst.Piezoelectric actuator according to one of Claims 9 or 10, - in which the holding device ( 4 ) a tensioning element ( 40 ) for generating a mechanical bias of the piezoelectric actuator ( 1 ). Piezoaktor nach Anspruch 11, – bei dem das Verspannelement (40) ein Kopfteil (40a) und ein Fußteil (40b) mit jeweils einem Aufnahmebereich (41a, 41b) aufweist, zwischen denen der Grundkörper (2) eingespannt ist.Piezoelectric actuator according to claim 11, - in which the clamping element ( 40 ) a headboard ( 40a ) and a foot part ( 40b ) each having a receiving area ( 41a . 41b ), between which the main body ( 2 ) is clamped. Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktors nach einem der Ansprüche 1 bis 12, umfassend die Schritte: A) Bereitstellen eines monolithischen Grundkörpers (2) enthaltend einen Stapel (20) aus piezoelektrischen Schichten (21) und Elektrodenschichten (22), B) Abtragen von Material an wenigstens einer Stirnseite (31a, 31b) des Grundkörpers (2).Process for producing a piezoactuator according to one of Claims 1 to 12, comprising the steps: A) Provision of a monolithic basic body ( 2 ) containing a stack ( 20 ) of piezoelectric layers ( 21 ) and electrode layers ( 22 ), B) removal of material on at least one end face ( 31a . 31b ) of the basic body ( 2 ). Verfahren nach Anspruch 13, wobei das Material mittels CNC-Schleifens abgetragen wird.The method of claim 13, wherein the material by means of CNC grinding is removed.
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