DE102009003270A1 - Piezoactuator i.e. longitudinal resonator, for use in piezomotor, has energy storage element adjusting mechanical resonant frequency and storing energy at electrical input of stack arrangement - Google Patents
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Abstract
Description
Technisches GebietTechnical area
Die Erfindung betrifft einen Piezoaktor sowie ein Verfahren zur Anpassung der Resonanzfrequenz eines Piezoaktors.The The invention relates to a piezoelectric actuator and a method for adaptation the resonance frequency of a piezoelectric actuator.
Stand der TechnikState of the art
Die vorliegende Erfindung betrifft das Gebiet der Piezoaktoren, die in der Regel eine Stapelanordnung mit einem oder mehreren piezoelektrischen Piezoelementen und dazwischen angeordneten Elektroden sowie beispielsweise Halterungs-, Verbindungs-, Lager-, Gehäuse- und Abtriebselementen umfassen. Zur Bildung von Piezomotoren können zwei oder mehrere Piezoaktoren koordiniert im Verbund betrieben werden.The The present invention relates to the field of piezoactuators usually a stack arrangement with one or more piezoelectric Piezo elements and interposed electrodes and, for example Bracket, connection, bearing, housing and output elements include. For the formation of piezo motors can two or several piezo actuators coordinated in the network operated.
Solche
Piezoaktoren werden in Piezomotoren vorzugsweise bei ihrer „mechanischen” Resonanzfrequenz
betrieben, wobei sich eine große Auslenkung der Piezoaktoren
erzielen lässt, der Materialeinsatz gering bleiben kann
und die Elektronik einfach ausgeführt werden kann. Die
Elektronik für den Resonanzbetrieb verwendet meist eine
Abstimmschaltung, welche vorzugsweise eine gemeinsame Anregungsfrequenz
zur Ansteuerung der Piezoelemente der Piezoaktoren liefert. So werden
sich überlagernde Schwingungen vermieden. Eine derartige
piezoelektrische Antriebsvorrichtung ist beispielsweise aus der
Problematisch bei derartigen Systemen, die ihren größten Wirkungsgrad bei Resonanzfrequenz erzielen, ist, dass die eingesetzten mehreren Piezoaktoren herstellungsbedingt geringe bauliche Abweichungen aufweisen. Dies führt zu unterschiedlichen Resonanzfrequenzen der Piezoaktoren. Um die Resonanzfrequen zen anzupassen bzw. die Resonanzfrequenzen der Piezoaktoren aufeinander abzustimmen, muss Material am Piezoaktor auf- oder abgetragen werden, um die Resonanzfrequenz in gewünschter Weise zu verschieben, so dass die Piezoaktoren mit einer gemeinsamen Resonanzfrequenz im piezoelektrischen Antrieb betrieben werden können. Diese Materialbearbeitung ist jedoch kostspielig und aufwändig. Alternativ kann eine Feinabstimmung auch durch Einstellung der Systemsteifigkeit mittels geeigneter Vorspannung der aktiven Materialien in der Konstruktion erfolgen. Dies ist jedoch ebenfalls aufwändig und kann später nicht mehr ohne Weiteres variiert werden.Problematic in such systems, their greatest efficiency at resonant frequency, is that the used several Piezo actuators have low structural deviations due to their production. This leads to different resonance frequencies of the Piezo actuators. To adjust the Resonanzfrequen zen or the resonance frequencies To match the piezo actuators, material must be on the piezo actuator up or down to the resonance frequency in the desired Way to move so that the piezo actuators with a common Resonant frequency can be operated in the piezoelectric drive. However, this material processing is costly and time-consuming. Alternatively, fine-tuning can also be achieved by adjusting the system stiffness by means of suitable prestressing of the active materials in the construction respectively. However, this is also complicated and can can not be varied later without further ado.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, einen Piezoaktor zur Verfügung zu stellen, dessen mechanische Resonanzfrequenz einfach und ohne kostspielige Materialbearbeitung durch elektrische Beeinflussung der mechanischen Steifigkeit anpassbar ist.It is therefore an object of the invention, a piezoelectric actuator available to provide its mechanical resonance frequency simple and without costly material processing by electrical influence the mechanical rigidity is adaptable.
Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention
Diese Aufgabe wird durch den Piezoaktor nach Anspruch 1 sowie durch das Verfahren nach dem nebengeordneten Anspruch gelöst.These Task is achieved by the piezoelectric actuator according to claim 1 and by the Method solved according to the independent claim.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.Further advantageous embodiments of the invention are in the dependent Claims specified.
Gemäß einem ersten Aspekt wird ein Piezoaktor vorgeschlagen, der eine Stapelanordnung mit einem oder mehreren Piezoelementen aufweist, die elektrisch zu einer mechanischen Schwingung anregbar ist, wobei der Piezoaktor ein Energiespeicherelement zur Anpassung einer Resonanzfrequenz umfasst, das zur Energiespeicherung an einem elektrischen Eingang der Stapelanordnung angeordnet ist.According to one In the first aspect, a piezoelectric actuator is proposed, which is a stacking arrangement having one or more piezoelectric elements which are electrically is excitable to a mechanical vibration, wherein the piezoelectric actuator an energy storage element for adjusting a resonance frequency includes, for energy storage at an electrical input the stack arrangement is arranged.
Gemäß noch einer Ausführungsform der Erfindung ist das Energiespeicherelement als ein induktives Element oder als ein kapazitives Element ausgeführt.According to An embodiment of the invention is the energy storage element designed as an inductive element or as a capacitive element.
Gemäß einem Aspekt der Erfindung ist das Energiespeicherelement seriell oder parallel an dem elektrischen Eingang des Piezoelements angeordnet.According to one Aspect of the invention is the energy storage element serial or arranged parallel to the electrical input of the piezoelectric element.
Weiterhin kann das Energiespeicherelement durch eine serielle Zusatzkapazität am elektrischen Eingang des Piezoelements gebildet sein.Farther can the energy storage element by a serial additional capacity be formed at the electrical input of the piezoelectric element.
Bei
einer weiteren Ausführungsform beeinflusst die serielle
Zusatzkapazität CE die wirksame
mechanische Steifigkeit des Piezoelements wie folgt: , wobei F eine vom Piezoaktor
erzeugte Gesamtkraft, cp eine Piezosteifigkeit
des Piezoelements, epa ein indirekter Piezokoeffizient,
eps ein direkter Piezokoeffizient, C X / P eine
Piezokapazität, CE das Energiespeicherelement
in Form der seriellen Zusatzkapazität ist, Δx
eine Differenzauslenkung sowie US eine Ansteuerspannung einer
externen Spannungsquelle am elektrischen Eingang des Piezoelements
mit daran angeordnetem Energiespeicherelement ist; wobei die beeinflusste
wirksame mechanische Piezosteifigkeit cpw,
welche die Resonanzfrequenz mittels des Werts der seriellen Zusatzkapazität
CE beeinflusst, wiedergegeben ist durch
den Ausdruck und ein aus der Beeinflussung
resultierend reduzierter wirksamer indirekter Piezokoeffizient wiedergegeben ist
durch den Ausdruck. Das Energiespeicherelement
in Form der seriellen Zusatzkapazität CE kann
zur Beeinflussung der wirksamen mechanischen Piezosteifigkeit cpw des Piezoelements des Piezoaktors zur
Anpassung der Resonanzfrequenz so ausgewählt sein, dass
sich die angepasste Resonanzfrequenzeinstellt, wobei ω0 der angepassten Resonanzfrequenz des Piezoaktors,
cpw der durch das Energiespeicherelement
(
Gemäß einem weiteren Aspekt ist ein Verfahren zur Anpassung einer Resonanzfrequenz eines Piezoaktors vorgeschlagen, der eine Stapelanordnung mit mehreren Piezoelementen aufweist, wobei die Stapelanordnung zu einer mechanischen Schwingung elektrisch anregbar ist, wobei ein Energiespeicherelements an einem elektrischen Eingang der Stapelanordnung angeordnet wird.According to one Another aspect is a method for adjusting a resonant frequency proposed a piezoelectric actuator having a stack arrangement with several Comprises piezoelectric elements, wherein the stack arrangement to a mechanical Oscillation is electrically excitable, wherein an energy storage element is arranged at an electrical input of the stack assembly.
Gemäß einer Ausführungsform beeinflusst das Energiespeicherelement in Form der seriellen Zusatzkapazität CE die wirksame mechanische Steifigkeit des Piezoelements wie folgt:, wobei F eine vom Piezoaktor erzeugte Gesamtkraft, cp eine Piezosteifigkeit des Piezoelements, epa ein indirekter Piezokoeffizient, eps ein direkter Piezokoeffizient, C X / P eine Piezokapazität, CE das Energiespeicherelement in Form der seriellen Zusatzkapazität ist, Δx eine Differenzauslenkung sowie US eine Ansteuerspannung einer externen Spannungsquelle am elektrischen Eingang des Piezoelements mit daran angeordnetem Energiespeicherelement ist; wobei die beeinflusste wirksame mechanische Piezosteifigkeit cpw, welche die Resonanzfrequenz mittels des Werts der seriellen Zusatzkapazität CE beeinflusst, wiedergegeben ist durch den Ausdruckund ein aus der Beeinflussung resultierend reduzierter wirksamer indirekter Piezokoeffizient wiedergegeben ist durch den Ausdruck.According to one embodiment, the energy storage element in the form of the additional serial capacity C E influences the effective mechanical rigidity of the piezoelectric element as follows: where F is a total force generated by the piezoelectric actuator, c p is a piezoelectric stiffness of the piezoelectric element, e pa is an indirect piezoelectric coefficient, e ps is a direct piezoelectric coefficient, CX / P is a piezoelectric capacitance, C E is the energy storage element in the form of the additional serial capacity, Δx is a differential deflection and U S is a drive voltage of an external voltage source at the electrical input of the piezoelectric element with energy storage element arranged thereon; wherein the affected effective mechanical piezo-stiffness c pw , which affects the resonant frequency by means of the value of the additional serial capacitance C E , is represented by the expression and a reduced effective indirect piezoelectric coefficient resulting from the influence is expressed by the expression ,
Insbesondere kann das Energiespeicherelement in Form einer seriellen Zusatzkapazität ausgebildet werden, wobei die Kapazität der seriellen Zusatzkapazität ausgewählt wird, um die wirksame mechanischen Piezosteifigkeit der Stapelanordnung des Piezoaktors elektrisch so einzustellen, dass die Resonanzfrequenz an eine vorgegebene Resonanzfrequenz angepasst wird. Insbesondere kann die angepasste Resonanzfrequenz alsermittelt werden, wobei ω0 die angepasste Resonanzfrequenz des Piezoaktors, cpw die durch das Energiespeicherelement in Form der Zusatzkapazität CE elektrisch beeinflusste wirksame mechanische Piezosteifigkeit des Piezoelements, mA eine erste Masse des Piezoaktors und mK eine zweite Masse des Piezoaktors ist.In particular, the energy storage element can be designed in the form of a serial additional capacitance, wherein the capacitance of the additional serial capacitance is selected in order to set the effective mechanical piezoelectric stiffness of the stack arrangement of the piezoelectric actuator so that the resonance frequency is adapted to a predetermined resonant frequency. In particular, the adjusted resonant frequency as where ω 0 is the adjusted resonant frequency of the piezoelectric actuator, c pw is the effective mechanical piezo-stiffness of the piezoelectric element electrically influenced by the energy storage element in the form of the additional capacitance C E , m A is a first mass of the piezoactuator and m K is a second mass of the piezoactuator.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen der Erfindung, anhand der Figuren der Zeichnung, die erfindungswesentliche Einzelheiten zeigen, und aus den Ansprüchen. Die einzelnen Merkmale können je einzeln für sich oder zu mehreren in beliebiger Kombination bei einer Variante der Erfindung verwirklicht sein.Further Features and advantages of the invention will become apparent from the following Description of embodiments of the invention, based the figures of the drawing, the essential to the invention details show, and from the claims. The individual characteristics can each individually for themselves or to several in any combination realized in a variant of the invention be.
Kurzbeschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings
Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung werden nachfolgend anhand der beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:preferred Embodiments of the invention are described below the accompanying drawings explained. Show it:
In der nachfolgenden Beschreibung und den Zeichnungen entsprechen gleiche Bezugszeichen Elementen gleicher oder vergleichbarer Funktion.In the following description and the drawings are the same Reference signs Elements of the same or comparable function.
Beschreibung von AusführungsformenDescription of embodiments
Der
Piezoaktor
Das
Ausdehnen bzw. das Zusammenziehen der einzelnen Piezoelemente
Es
kann vorgesehen sein, den Piezoaktor
Der
Piezoaktor
Unterhalb
des Lagerelements
Der
Piezoaktor
Gemäß der
vorliegenden Erfindung wird eine elektrische Anpassung (im Sinne
einer Feinabstimmung) einer Resonanzfrequenz eines Piezoaktors
Erfindungsrelevante
Größen und Gesetzmäßigkeiten
werden nunmehr anhand des vereinfachten elektromechanischen Ersatzschaltbildes
(ESB) nach
Dargestellt
sind zwei Quellensymbole
Im
folgenden wird die Beeinflussung der mechanischen Steifigkeit der
Stapelanordnung
Wird
nun der Kapazität C X / P des Piezoelements
Als
Energiespeicherelement
Für
den Fall der Beschaltung der Stapelanordnung
F
bezeichnet hierin eine vom Piezoaktor
Der
Koeffizient cP bezeichnet einen (passiven)
Systemparameter, der die Eigensteifigkeit des Piezoelements
Mit ePA ist ein indirekter Piezokoeffizient im Sinne eines Proportionalitätsfaktors bezeichnet, welcher die Umsetzung der elektrischen in mechanische Größen gemäß obiger Kraft-Strom-Analogie zum Ausdruck bringt. Die Multiplikation des indirekten Piezokoeffizienten mit einer Spannung liefert eine aktive Kraft, welche neben der passiven Materialkraft wirkt. Der indirekte Piezokoeffizient wird in [N/V] angegeben.E PA denotes an indirect piezo coefficient in the sense of a proportionality factor, which expresses the conversion of the electrical into mechanical quantities according to the above-mentioned force-current analogy. The multiplication of the indirect piezo coefficient with a voltage provides an active force which acts in addition to the passive material force. The indirect piezo coefficient is given in [N / V].
Mit ePS ist ein direkter Piezokoeffizient bezeichnet, welcher die Umsetzung der mechanischen in elektrische Größen gemäß obiger Analogie zum Ausdruck bringt. Dessen Multiplikation mit einer Differenzgeschwindigkeit vK – vA der Massen (mK und mA; mechanisch) liefert einen Strom. Der direkte Piezokoeffizient wird in [As/m] angegeben.With e PS a direct piezo coefficient is referred to, which expresses the implementation of the mechanical in electrical quantities according to the above analogy. Its multiplication by a differential velocity v K - v A of the masses (m K and m A , mechanical) supplies a current. The direct piezo coefficient is given in [As / m].
C X / P stellt
eine statische Piezokapazität dar, die der Stapelanordnung
CE bezeichnet das erfindungsgemäß vorgesehene
Energiespeicherelement
Δx
bezeichnet eine Differenzauslenkung der Massen mA und
mK am Piezoaktor
US identifiziert eine Ansteuerspannung einer
Spannungsquelle
Die
wirksame mechanische Piezosteifigkeit cpw,
die durch das Energiespeicherelement
Durch
Beschaltung des Eingangs des Piezoelements
Die
wirksame mechanische Piezosteifigkeit cpw der
Stapelanordnung
Hierin
ist ω0 die für die Anpassung
maßgebliche Resonanzfrequenz des abzustimmenden Piezoaktors
mA bezeichnet vorliegend wie oben erläutert
die Masse von Fußelement
Bei
dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Anpassung
der Resonanzfrequenz auf eine Resonanzfrequenz ω0, ist ein Schritt vorgesehen, bei welchem
ein Energiespeicherelement
Der
Schritt des Anordnens umfasst dabei sowohl eine Anordnung des Energiespeicherelements
Bei
dem erfindungsgemäßen Verfahren kann das Energiespeicherelement
Zur
Anpassung auf die Resonanzfrequenz ω0 kann,
ausgehend von Gleichung B), ein notwendiger Wert für die
wirksame mechanische Steifigkeit cpw des
Pie zoelements
Nach Ermittlung des Sollwerts der Größe cpw, wird der Sollwert dem Term aus Gleichung A) gleichgesetzt. Aufgelöst nach CE ergibt sich der notwendige Kapazitätswert CE für die Resonanzfrequenzanpassung. Die zum Auflösen der Gleichung erforderlichen Parameter sind beispielsweise messtechnisch zu ermitteln bzw. bekannt.After determining the setpoint of the variable c pw , the setpoint is the term from Equation A). Solving for C E, the necessary capacitance value C E results for the resonance frequency adjustment. The parameters required to solve the equation are, for example metrologically to determine or known.
Im Rahmen der Erfindung ist die Zusatzkapazität CE vorzugsweise das einzige Beeinflussungselement zum Erreichen der Resonanzfrequenzanpassung.In the context of the invention, the additional capacitance C E is preferably the only influencing element for achieving the resonance frequency adaptation.
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