DE102009000689A1 - Airflow rate sensor for internal combustion engine, has isolation layer with temperature recording zone extending in longitudinal direction and electric heater is attached on isolation layer and has pair of heater sections - Google Patents

Airflow rate sensor for internal combustion engine, has isolation layer with temperature recording zone extending in longitudinal direction and electric heater is attached on isolation layer and has pair of heater sections Download PDF

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Junzo Kariya Yamaguchi
Inao Kariya Toyoda
Yasushi Kariya Kohno
Keisuke Kariya Suzui
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Abstract

The airflow rate sensor (1) has an isolation layer (2) with a temperature recording zone extending in longitudinal direction. An electric heater (4) is attached on the isolation layer and has a pair of heater sections extending in longitudinal direction. The heater sections are connected in a direction perpendicular to the direction of the air flow. The electric heater has a component for conducting heat of the electric heater to the sections around the temperature recording zone so that the temperature recording zone is enlarged without increasing a resistance of the electric heater.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Luftflussratensensor für eine interne Verbrennungsmaschine.The The present invention relates to an air flow rate sensor for an internal combustion engine.

Wie in 15A und 15B gezeigt, enthält ein bekannter Luftflussratensensor, der in JP-A-10-253414 offenbart ist, eine sich in Längsrichtung erstreckende, auf einer Ebene gebildete Isolationsschicht 2, die parallel zu der Richtung eines Luftflusses senkrecht zu der Längsrichtung der Isolationsschicht 2 angebracht ist, einen elektrischen Heizer 4, der auf der Isolationsschicht 2 angebracht ist, und ein Paar von Temperaturerfassungselementen 5, 6, die jeweils auf der Isolationsschicht 2 an gegenüberliegenden Seiten des elektrischen Heizers 4 in dem Luftfluss angebracht sind.As in 15A and 15B A known airflow rate sensor included in FIG JP-A-10-253414 discloses a longitudinally extending, formed on a plane insulating layer 2 parallel to the direction of air flow perpendicular to the longitudinal direction of the insulating layer 2 attached is an electric heater 4 standing on the isolation layer 2 attached, and a pair of temperature sensing elements 5 . 6 , each on the insulation layer 2 on opposite sides of the electric heater 4 are mounted in the airflow.

In dem bekannten Luftflussratensensor wird der elektrische Heizer 4 betrieben, um eine Temperaturerfassungszone α einer Luftflusspassage zu heizen, wodurch eine Temperaturverteilung gebildet wird, um eine Temperaturdifferenz zwischen den Temperaturerfassungselementen 5, 6 bereit zu stellen, die in eine Luftflussrate konvertiert wird.In the known air flow rate sensor, the electric heater 4 operated to heat a temperature detection zone α of an air flow passage, whereby a temperature distribution is formed to a temperature difference between the temperature detection elements 5 . 6 to provide, which is converted into an air flow rate.

Die Temperaturverteilung wird gebildet wie in 15B gezeigt. Eine Temperaturdifferenz δ eines gemeinsamen Längsabschnitts des stromaufseitigen Temperaturerfassungselements 5 und des stromabseitigen Temperaturerfassungselements 6 zwischen lateralen Abschnitten X1 und X2 wird in der Temperaturerfassungszone gebildet. Deswegen erfassen das stromaufseitige und das stromabseitige Temperaturerfassungselement 5, 6 einen Mittelwert Δ von Temperaturdifferenzen δ in der Temperaturerfassungszone α, um die Luftflussrate zu berechnen.The temperature distribution is formed as in 15B shown. A temperature difference δ of a common longitudinal portion of the upstream temperature sensing element 5 and the downstream temperature sensing element 6 between lateral sections X1 and X2 is formed in the temperature detection zone. Therefore, the upstream and downstream temperature detecting elements detect 5 . 6 an average Δ of temperature differences δ in the temperature detection zone α to calculate the air flow rate.

Der elektrische Heizer 4 des in 15A gezeigten Luftflussratensensors hat ein Paar von elektrischen Anschlüssen 13, 14, die an einem longitudinalen Ende der Isolationsschicht 2 angebracht sind. Andererseits hat der elektrische Heizer 4 des in 16 gezeigten Luftflussratensensors einen elektrischen Anschluss 13, der an einem longitudinalen Ende der Isolationsschicht 2 angebracht ist, und den anderen elektrischen Anschluss 14, der an dem anderen longitudinalen Ende der Isolationsschicht 2 angebracht ist.The electric heater 4 of in 15A shown air flow rate sensor has a pair of electrical connections 13 . 14 located at a longitudinal end of the insulation layer 2 are attached. On the other hand, the electric heater 4 of in 16 shown Luftflussratensensors an electrical connection 13 located at a longitudinal end of the insulation layer 2 is attached, and the other electrical connection 14 at the other longitudinal end of the insulation layer 2 is appropriate.

Man bemerke, dass die Genauigkeit des Luftflussratensensors höher wird, wenn die Länge einer Temperaturerfassungszone α der Luft größer wird, wenn die Länge einer Temperaturerfassungszone α des Luftflussratensensors zwischen den zwei Abschnitten X1 und X2 wächst. Wenn jedoch die Länge der Temperaturerfassungszone α wächst, wächst die Länge des elektrischen Heizers 4, sodass der Widerstand des elektrischen Heizers 4 wächst. Als ein Ergebnis ist es nötig, eine Spannung einer elektrischen Leistungsquelle zu erhöhen, die an den elektrischen Heizer 4 angelegt wird. Das heißt, es ist nötig, die elektrische Spannungsversorgung zu vergrößern.Note that the accuracy of the air flow rate sensor becomes higher as the length of a temperature detection zone α of the air becomes larger as the length of a temperature detection zone α of the air flow rate sensor increases between the two sections X1 and X2. However, as the length of the temperature detection zone α increases, the length of the electric heater increases 4 , so the resistance of the electric heater 4 grows. As a result, it is necessary to increase a voltage of an electric power source connected to the electric heater 4 is created. That is, it is necessary to increase the electric power supply.

Es wurde auch bemerkt, dass die Temperaturdifferenz δ zwischen entgegen gesetzten Enden des Heizers 4 in dem Luftflussratensensor nach dem stand der Technik wie in 17A gezeigt, in einer konvexen Kurve mit verschiedenen Abschnitten entlang einer Linie Y variiert, die senkrecht zu der Luftflussrichtung ist, wie in 17B gezeigt.It was also noted that the temperature difference δ between opposite ends of the heater 4 in the air flow rate sensor according to the prior art as in 17A shown varies in a convex curve with various sections along a line Y which is perpendicular to the air flow direction, as in FIG 17B shown.

Um die Genauigkeit des Luftflussratensensors zu erhöhen, soll die Kurve der Temperaturdifferenz δ abgeflacht werden, um einen genaueren Mittelwert Δ bereit zustellen.Around to increase the accuracy of the air flow rate sensor the curve of the temperature difference δ be flattened, to provide a more accurate mean Δ.

Übrigens zeigt 17B, dass die Wärmestrahlung des elektrischen Heizers 4 an die elektrischen Anschlüsse 13, 14 größer ist als die Wärmestrahlung an die Isolationsschicht 2.By the way, shows 17B in that the heat radiation of the electric heater 4 to the electrical connections 13 . 14 is greater than the heat radiation to the insulation layer 2 ,

Deswegen ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Luftflussratensensor bereit zustellen, der ohne eine Vergrößerung der elektrischen Spannungsquelle genau die Luftflussrate erfassen kann.therefore It is an object of the present invention to provide an air flow rate sensor to provide that without an enlargement of the electrical voltage source can accurately capture the air flow rate.

Gemäß einer in Anspruch 1 beanspruchten Eigenschaft enthält ein Luftflussratensensor einen elektrischen Heizer (4), der auf einer sich in Längsrichtung erstreckenden Isolationsschicht (2) angebracht ist und ein Paar von sich in Längsrichtung erstreckenden Heizerabschnitten (28, 29) aufweist, die in einer Richtung senkrecht zu der Richtung eines Luftflusses angebracht sind, einen Verbindungsabschnitt (30), der die Heizerabschnitte verbindet, und Anschlussenden (13, 14), ein stromaufseitiges Temperaturerfassungselement (5), das in dem Luftstrom stromaufwärts von dem elektrischen Heizer (4) angebracht ist, und ein stromabseitiges Temperaturerfassungselement (6), das in dem Luftstrom stromabseitig von dem elektrischen Heizer (4) angebracht ist, in dem der elektrische Heizer (4) ein Bauteil (31) zum Leiten von Wärme von dem elektrischen Heizer (4) zu Abschnitten um die Temperaturerfassungszone aufweist, um so die Temperaturerfassungszone (α) auszuweiten, ohne einen Widerstand des elektrischen Heizers (4) zu erhöhen.According to a feature claimed in claim 1, an air flow rate sensor includes an electric heater ( 4 ) mounted on a longitudinally extending insulating layer ( 2 ) and a pair of longitudinally extending heater sections ( 28 . 29 ) mounted in a direction perpendicular to the direction of air flow has a connecting portion (Fig. 30 ) connecting the heater sections and terminal ends ( 13 . 14 ), an upstream temperature sensing element ( 5 ), which is in the air flow upstream of the electric heater ( 4 ), and a downstream temperature sensing element ( 6 ), which in the air flow downstream of the electric heater ( 4 ), in which the electric heater ( 4 ) a component ( 31 ) for conducting heat from the electric heater ( 4 ) to portions around the temperature detection zone so as to expand the temperature detection zone (α) without resistance of the electric heater ( 4 ) increase.

Gemäß einer in den Ansprüchen 2 oder 3 beanspruchten Eigenschaft können das Paar von Heizerabschnitten (28, 29) und der Verbindungsabschnitt (30) so angebracht sein, dass sie den elektrischen Heizer (4) als ein U-förmiges Bauteil bilden, oder den elektrischen Heizer (4) als ein Z-förmiges Bauteil bilden.According to a property claimed in claims 2 or 3, the pair of heater sections (FIG. 28 . 29 ) and the connecting section ( 30 ) are mounted so that they are the electrical heater ( 4 ) form as a U-shaped component, or the electric heater ( 4 ) as a Z-shaped component.

Gemäß einer weiteren, in Anspruch 4 beanspruchten Eigenschaft enthält ein Luftflussratensensor einen elektrischen Heizer (4), der auf einer Isolationsschicht (2) angebracht ist und ein Paar von sich in Längsrichtung erstreckenden Heizerabschnitten (28, 29) aufweist, die in einer Richtung senkrecht zu der Richtung eines Luftflusses angebracht sind, einen Verbindungsabschnitt (30), der die Heizerabschnitte verbindet, und Anschlussenden (13, 14), ein stromaufseitiges Temperaturerfassungselement (5), das in dem Luftfluss stromaufseitig von dem elektrischen Heizer (4) angebracht ist, und ein stromabseitiges Temperaturerfassungselement (6), das in dem Luftstrom stromabseitig von dem elektrischen Heizer (4) angebracht ist, in dem in jedem der Heizerabschnitte (28, 29) ein Widerstand in Richtung seines Anschlussendes wächst.According to another characteristic claimed in claim 4, an air flow rate sensor includes an electric heater ( 4 ) placed on an insulating layer ( 2 ) and a pair of longitudinally extending heater sections ( 28 . 29 ) mounted in a direction perpendicular to the direction of air flow has a connecting portion (Fig. 30 ) connecting the heater sections and terminal ends ( 13 . 14 ), an upstream temperature sensing element ( 5 ), which in the air flow upstream of the electric heater ( 4 ), and a downstream temperature sensing element ( 6 ), which in the air flow downstream of the electric heater ( 4 ) in which in each of the heater sections ( 28 . 29 ) a resistance grows towards its terminal end.

Gemäß einer in Anspruch 5 beanspruchten Eigenschaft kann jeder der Heizerabschnitte eine Breite haben, die in Richtung seines Anschlussendes abnimmt.According to one Claimed in claim 5, each of the heater sections have a width decreasing towards its connection end.

Gemäß einer in Anspruch 6 beanspruchten Eigenschaft können das Paar von Heizerabschnitten (28, 29) und der Verbindungsabschnitt (30) so angebracht sein, dass Sie den elektrischen Heizer (4) als ein U-förmiges Bauteil bilden oder den elektrischen Heizer (4) als ein Z-förmiges Bauteil bilden.According to a feature claimed in claim 6, the pair of heater sections ( 28 . 29 ) and the connecting section ( 30 ) so that you have the electric heater ( 4 ) form as a U-shaped component or the electric heater ( 4 ) as a Z-shaped component.

Andere Aufgaben, Eigenschaften, und Charakteristiken der vorliegenden Erfindung sowie die Funktionen der jeweiligen Teile der vorliegenden Erfindung werden aus einem Studium der folgenden detaillierten Beschreibung, der anhängenden Ansprüche und der Zeichnungen klar. In den Zeichnungen:Other Tasks, characteristics, and characteristics of the present invention as well as the functions of the respective parts of the present invention are from a study of the following detailed description, the appended claims and the drawings clear. In the drawings:

1 ist eine laterale Querschnittszeichnung eines Luftflussratensensors gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung, der in einem Luftfluss angebracht ist; 1 Fig. 15 is a lateral cross-sectional drawing of an air flow rate sensor according to the first embodiment of the invention mounted in an airflow;

2A ist eine Aufsicht auf den Luftflussratensensor gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel, und 2B ist ein Graph, der eine Temperaturverteilung des Luftflussratensensors entlang einer Luftflussrichtung zeigt. 2A FIG. 12 is a plan view of the air flow rate sensor according to the first embodiment, and FIG 2 B FIG. 12 is a graph showing a temperature distribution of the air flow rate sensor along an air flow direction. FIG.

3 ist eine Aufsicht auf einen Luftflussratensensor gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung. three Fig. 10 is a plan view of an air flow rate sensor according to the second embodiment of the invention.

4 ist eine Aufsicht auf einen Luftflussratensensor gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel der Erfindung; 4 Fig. 10 is a plan view of an air flow rate sensor according to the third embodiment of the invention;

5 ist eine Aufsicht auf einen Luftflussratensensor gemäß dem vierten Ausführungsbeispiel der Erfindung; 5 Fig. 10 is a plan view of an air flow rate sensor according to the fourth embodiment of the invention;

6 ist eine Aufsicht auf einen Luftflussratensensor gemäß dem fünften Ausführungsbeispiel der Erfindung; 6 Fig. 10 is a plan view of an air flow rate sensor according to the fifth embodiment of the invention;

7 ist eine Aufsicht auf einen Luftflussratensensor gemäß dem sechsten Ausführungsbeispiel der Erfindung; 7 Fig. 10 is a plan view of an air flow rate sensor according to the sixth embodiment of the invention;

8 ist eine Aufsicht auf eine Variation des Luftflussratensensors gemäß dem sechsten Ausführungsbeispiel der Erfindung; 8th Fig. 10 is a plan view of a variation of the air flow rate sensor according to the sixth embodiment of the invention;

9 ist eine Aufsicht auf eine andere Variation des Luftflussratensensors gemäß dem sechsten Ausführungsbeispiel der Erfindung; 9 Fig. 10 is a plan view of another variation of the air flow rate sensor according to the sixth embodiment of the invention;

10A ist eine Aufsicht auf einen Luftflussratensensor gemäß dem siebten Ausführungsbeispiel der Erfindung, und 10B ist ein Graph, der eine Temperaturverteilung eines Luftflussratensensors entlang der Richtung senkrecht zu der Luftflussrichtung zeigt; 10A FIG. 10 is a plan view of an air flow rate sensor according to the seventh embodiment of the invention, and FIG 10B Fig. 10 is a graph showing a temperature distribution of an air flow rate sensor along the direction perpendicular to the air flow direction;

11 ist eine Aufsicht auf eine Variation des Luftflussratensensors gemäß dem siebten Ausführungsbeispiels; 11 Fig. 12 is a plan view of a variation of the air flow rate sensor according to the seventh embodiment;

12 ist eine Aufsicht auf eine andere Variation des Luftflussratensensors gemäß dem siebten Ausführungsbeispiel; 12 Fig. 10 is a plan view of another variation of the air flow rate sensor according to the seventh embodiment;

13 ist eine Aufsicht auf eine andere Variation des Luftflussratensensors gemäß dem siebten Ausführungsbeispiel; 13 Fig. 10 is a plan view of another variation of the air flow rate sensor according to the seventh embodiment;

14 ist eine Aufsicht auf eine weitere Variation des Luftflussratensensors gemäß dem siebten Ausführungsbeispiel; 14 FIG. 10 is a plan view of another variation of the air flow rate sensor according to the seventh embodiment; FIG.

15A ist eine Aufsicht auf einen Flussratensensor nach dem Stand der Technik, und 15B ist ein Graph, der eine Temperaturverteilung des Luftflusssensors gemäß dem Stand der Technik zeigt; 15A is a plan view of a flow rate sensor according to the prior art, and 15B Fig. 10 is a graph showing a temperature distribution of the air flow sensor according to the prior art;

16 ist eine Aufsicht auf einen anderen Luftflussratensensor gemäß dem Stand der Technik; und 16 Fig. 11 is a plan view of another prior art air flow rate sensor; and

17A ist eine Aufsicht auf einen anderen Flussratensensor gemäß dem Stand der Technik, und 17B ist ein Graph, der eine Temperaturverteilung des Luftflusssensors gemäß dem Stand der Technik zeigt. 17A FIG. 12 is a plan view of another prior art flow rate sensor; and FIG 17B FIG. 12 is a graph showing a temperature distribution of the prior art air flow sensor. FIG.

Verschiedene Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden mit Bezug auf die anhängenden Zeichnungen beschrieben. Übrigens bezeichnen gleiche Bezugszeichen eines Ausführungsbeispiels den gleichen oder im Wesentlichen den gleichen Abschnitt, Teil, Komponente usw. wie in dem Ausführungsbeispiel, das zuvor beschrieben wurde.Various embodiments of the present invention will be described with reference to the attached drawings. Incidentally, like reference numerals of an embodiment denote the same or substantially the same portion, part, component, etc. as in FIG Embodiment, which has been described above.

Ein Luftflussratensensor 1 gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel wird mit Bezug auf 1 und 2 und 3 beschrieben.An air flow rate sensor 1 according to the first embodiment with reference to 1 and 2 and three described.

Der Luftflussratensensor 1 ist in einem Lufteinlasskörper eines Motors montiert und bildet einen Luftflussmesser. Der Luftflussratensensor 1 misst eine Luftflussrate von Luft, die in den Körper aufgenommen wird.The air flow rate sensor 1 is mounted in an air intake body of an engine and forms an air flow meter. The air flow rate sensor 1 measures an air flow rate of air that is absorbed into the body.

Der Luftflussratensensor 1 enthält eine sich in Längsrichtung erstreckende Isolationsschicht 2, die auf einer Ebene gebildet ist, die im Allgemeinen parallel zu der Richtung des Luftflusses ist, einen elektrischen Heizer 4 und einen stromaufseitigen Temperatursensor 5, der auf der Schicht 2 stromaufseitig von dem elektrischen Heizer 4 angebracht ist, und einen stromabseitigen Temperatursensor 6, der auf der Schicht 2 stromabseitig von dem elektrischen Heizer 4 angebracht ist.The air flow rate sensor 1 includes a longitudinally extending insulating layer 2 formed on a plane that is generally parallel to the direction of air flow, an electric heater 4 and an upstream temperature sensor 5 who is on the shift 2 upstream of the electric heater 4 is attached, and a downstream temperature sensor 6 who is on the shift 2 downstream of the electric heater 4 is appropriate.

Der Luftflussratensensor 1 stellt eine Temperaturverteilung des Luftflusses auf der Isolationsschicht 2 durch den elektrischen Heizer 4 bereit, und erfasst eine Erfassungsdifferenz Δ durch den stromaufseitigen Sensor 5 und den stromabseitigen Sensor, auf deren Grundlage er eine Luftflussrate erfasst.The air flow rate sensor 1 represents a temperature distribution of the air flow on the insulation layer 2 through the electric heater 4 ready, and detects a detection difference Δ by the upstream sensor 5 and the downstream sensor, based on which it detects an air flow rate.

Wie in 1 gezeigt, ist die Isolationsschicht 2 auf einem Siliziumsubstrat 9 gebildet. Der elektrische Heizer 4 und die stromaufseitigen und stromabseitigen Sensoren 5, 6 sind auf der Isolationsschicht gebildet, um so dem Luftfluss zu begegnen, und sind durch eine Schutzbeschichtung 11 bedeckt.As in 1 shown is the insulation layer 2 on a silicon substrate 9 educated. The electric heater 4 and the upstream and downstream sensors 5 . 6 are formed on the insulating layer so as to meet the air flow, and are protected by a protective coating 11 covered.

Wie in 2A gezeigt, ist der elektrische Heizer 4 aus einem Widerstandsbauteil oder einem Heizelement gebildet, das Plus- und Minusanschlüsse 13, 14 aufweist, die an einem längsseitigen Ende der Isolationsschicht 2 angebracht sind.As in 2A shown is the electric heater 4 formed of a resistance component or a heating element, the plus and minus terminals 13 . 14 having, at a longitudinal end of the insulating layer 2 are attached.

Der elektrische Heizer 4 ist ein U-förmiges Bauteil, das ein Paar von geraden Abschnitten 28, 29 aufweist, die sich parallel zueinander erstrecken, und einen Verbindungsabschnitt, der mit jedem Ende die geraden Abschnitte 28, 29 verbindet, um den elektrischen Heizer in einer U-Form und einem Erstreckungsabschnitt 31 zu bilden, der sich von dem Verbindungsabschnitt in die Richtung entgegen gesetzt zu den geraden Abschnitten 28, 29 erstreckt.The electric heater 4 is a U-shaped component that has a pair of straight sections 28 . 29 which extend in parallel with each other, and a connecting portion having the straight portions at each end 28 . 29 connects to the electric heater in a U-shape and an extension portion 31 forming from the connecting portion in the direction opposite to the straight portions 28 . 29 extends.

Die stromaufseitigen und stromabseitigen Temperatursensoren 5, 6 werden von Widerstandsbauteilen gebildet, die sich entlang der längsseitigen Richtung der Isolationsschicht 2 erstrecken. Der stromaufseitige Temperatursensor 5 beinhaltet eine heizerseitigen Widerstand 16 und einen der Heizerseite gegenüberliegenden Widerstand 17. Der heizerseitige Widerstand 16 hat ein Paar von Enden 18, 19, die an einem längsseitigen Ende der Isolationsschicht 2 angebracht sind, und der der Heizerseite gegenüberliegende Widerstand 17 hat ein Paar von Enden 20, 21 an dem anderen längsseitigen Ende der Isolationsschicht 2. Jeder der Widerstände 16, 17 hat zwei U-förmige Abschnitte zwischen dem Paar von Enden um eine W-Form zu bilden. Jedoch können die Widerstände 16, 17 mehr U-förmige Abschnitte als zwei aufweisen.The upstream and downstream temperature sensors 5 . 6 are formed by resistive components extending along the longitudinal direction of the insulating layer 2 extend. The upstream temperature sensor 5 includes a heater-side resistor 16 and a resistor facing the heater side 17 , The heater-side resistance 16 has a pair of ends 18 . 19 at a longitudinal end of the insulation layer 2 are mounted, and the heater side opposite resistance 17 has a pair of ends 20 . 21 at the other longitudinal end of the insulation layer 2 , Each of the resistors 16 . 17 has two U-shaped sections between the pair of ends to form a W-shape. However, the resistors can 16 . 17 have more U-shaped sections than two.

Der stromabseitige Temperatursensor 6 beinhaltet einen heizerseitigen Widerstand 24 und einen der Heizerseite gegenüberliegenden Widerstand 25. Der heizerseitige Widerstand 24 hat die selbe Struktur wie der heizerseitige Widerstand 16 des stromaufseitigen Temperatursensors 5, und der der Heizerseite gegenüberliegende Widerstand 25 hat die selbe Struktur wie der der Heizerseite gegenüberliegende Widerstand 17 des stromaufseitigen Temperatursensors 5.The downstream temperature sensor 6 includes a heater-side resistor 24 and a resistor facing the heater side 25 , The heater-side resistance 24 has the same structure as the heater side resistor 16 the upstream temperature sensor 5 , and the resistor opposite the heater side 25 has the same structure as the heater side opposite resistor 17 the upstream temperature sensor 5 ,

Wenn der elektrische Heizer 4 Wärme erzeugt, wird eine Temperaturverteilung entlang der Linie X wie in 2B gezeigt gebildet, und eine Temperaturdifferenz δ wird an einem Abschnitt der Temperaturerfassungszone α zwischen X1 und X2 in der Temperaturerfassungszone α erzeugt. Ein erfasster Wert Δ ist ein Mittelwert von Temperaturdifferenzen δ, die an verschiedenen Abschnitten in der Temperaturerfassungszone α zwischen X1 und X2 erzeugt werden, und eine Luftflussrate wird von dem erfassten Wert Δ erhalten.If the electric heater 4 Heat generated, a temperature distribution along the line X as in 2 B is formed, and a temperature difference δ is generated at a portion of the temperature detection zone α between X1 and X2 in the temperature detection zone α. A detected value Δ is an average value of temperature differences δ generated at different portions in the temperature detection zone α between X1 and X2, and an air flow rate is obtained from the detected value Δ.

Der Erstreckungsabschnitt 31, der den Widerstand des elektrischen Heizers 4 nicht erhöht, leitet die erzeugte Wärme zu der Luft, die außerhalb der Temperaturerfassungszone α1 des Luftflussratensensors gemäß dem Stand der Technik ohne den Erstreckungsabschnitt 31 fließt, wodurch eine vergrößerte Temperaturerfassungszone α gebildet wird.The extension section 31 that has the resistance of the electric heater 4 does not increase, conducts the generated heat to the air outside the temperature detection zone α1 of the prior art air flow rate sensor without the extending portion 31 flows, whereby an enlarged temperature detection zone α is formed.

Ein Luftflussratensensor gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung wird mit Bezug auf 3 beschrieben.An air flow rate sensor according to the second embodiment of the invention will be described with reference to FIG three described.

Der elektrische Heizer 4 ist im Wesentlichen der selbe wie in dem ersten Ausführungsbeispiel, außer dass der Erstreckungsabschnitt 31 durch einen U-förmigen Erstreckungsabschnitt 31A ersetzt ist, der den Widerstand des elektrischen Heizers verringern kann und die Temperaturerfassungszone α1 nach dem Stand der Technik vergrößert.The electric heater 4 is substantially the same as in the first embodiment, except that the extension portion 31 through a U-shaped extension section 31A is replaced, which can reduce the resistance of the electric heater and increases the temperature detection zone α1 in the prior art.

Ein Luftflussratensensor gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel der Erfindung wird mit Bezug auf 4 beschrieben.An air flow rate sensor according to the third embodiment of the invention will be described with reference to FIG 4 described.

Der elektrische Heizer 4 ist wie ein liegender Buchstabe S geformt und hat einen elektrischen Anschluss 13, der an einem längsseitigen Ende der Isolationsschicht 2 angebracht ist, und den anderen elektrischen Anschluss 14, der an dem anderen längsseitigen Ende der Isolationsschicht 2 angebracht ist. Der elektrische Heizer 4 hat auch einen geraden Abschnitt 37, dessen eines Ende mit dem elektrischen Anschluss 13 verbunden ist, und einen geraden Abschnitt 40, dessen eines Ende mit dem elektrischen Anschluss 14 verbunden ist. Die geraden Abschnitte erstrecken sich jeweils parallel zu der Längsrichtung des Isolators 2. Der elektrische Heizer 4 hat ferner einen Z-förmigen Verbindungsabschnitt 38, der die anderen Enden der geraden Abschnitte 37, 40 verbindet, und Erstreckungsabschnitte 43, 44, die sich jeweils von den Verbindungsabschnitten 37, 40 in die den geraden Abschnitten 37, 40 entgegen gesetzte Richtung erstrecken.The electric heater 4 is shaped like a lying letter S and has an electric on Enough 13 located at a longitudinal end of the insulation layer 2 is attached, and the other electrical connection 14 at the other longitudinal end of the insulation layer 2 is appropriate. The electric heater 4 also has a straight section 37 whose one end is connected to the electrical connection 13 connected, and a straight section 40 whose one end is connected to the electrical connection 14 connected is. The straight portions each extend parallel to the longitudinal direction of the insulator 2 , The electric heater 4 also has a Z-shaped connecting portion 38 that the other ends of the straight sections 37 . 40 connects, and extent sections 43 . 44 , each extending from the connecting sections 37 . 40 in the straight sections 37 . 40 extend opposite direction.

Die Erstreckungsabschnitte 43, 44, die nicht den Widerstand des elektrischen Heizers 4 erhöhen, leiten die erzeugte Wärme zu dem Luftfluss, der außerhalb der Temperaturerfassungszone α1 eines Luftflussratensensors gemäß dem Stand der Technik ohne die Erstreckungsabschnitte 43, 44 fließt, wodurch eine vergrößerte Temperaturerfassungszone α gebildet wird.The extension sections 43 . 44 that does not resist the electrical heater 4 increase the generated heat to the air flow, the outside of the temperature detection zone α1 of a Luftflussratensensors according to the prior art without the extension sections 43 . 44 flows, whereby an enlarged temperature detection zone α is formed.

Ein Luftflussratensensor gemäß dem vierten Ausführungsbeispiel der Erfindung wird mit Bezug auf 5 beschrieben.An air flow rate sensor according to the fourth embodiment of the invention will be described with reference to FIG 5 described.

Der elektrische Heizer 4 ist im Wesentlichen der selbe wie in dem dritten Ausführungsbeispiel, außer dass die Erstreckungsabschnitte 43, 44 durch U-förmige Erstreckungsabschnitte 43a, 44a ersetzt sind, die den Widerstand des elektrischen Heizers verringern können und die Temperaturerfassungszone α1 gemäß dem Stand der Technik vergrößern.The electric heater 4 is substantially the same as in the third embodiment, except that the extension portions 43 . 44 by U-shaped extension sections 43a . 44a are replaced, which can reduce the resistance of the electric heater and increase the temperature detection zone α1 according to the prior art.

Ein Luftflussratensensor gemäß dem fünften Ausführungsbeispiel der Erfindung wird mit Bezug auf 6 beschrieben.An air flow rate sensor according to the fifth embodiment of the invention will be described with reference to FIG 6 described.

Der elektrische Heizer 4 ist im Wesentlichen der selbe wie nach dem dritten Ausführungsbeispiel außer, dass die Erstreckungsabschnitte 43, 44 durch zweipolige Erstreckungsabschnitte 43B, 44B ersetzt sind, die die Temperaturerfassungszone α1 gemäß dem Stand der Technik vergrößern.The electric heater 4 is substantially the same as in the third embodiment except that the extension portions 43 . 44 by bipolar extension sections 43B . 44B are replaced, which increase the temperature detection zone α1 according to the prior art.

Ein Luftflussratensensor gemäß dem sechsten Ausführungsbeispiel der Erfindung wird mit Bezug auf 7, 8 und 9 beschrieben.An air flow rate sensor according to the sixth embodiment of the invention will be described with reference to FIG 7 . 8th and 9 described.

Der elektrische Heizer 4 ist im Wesentlichen der gleiche wie in dem vierten Ausführungsbeispiel, außer dass der Erstreckungsabschnitt 31 und der Verbindungsabschnitt 30 durch einen leiterförmigen Abschnitt 31b, 31c, 31d ersetzt ist, der den Widerstand des elektrischen Heizers verringern kann, und die Temperaturerfassungszone α vergrößert. Die Anzahl an Leiterstufen der leiterförmigen Erstreckungsabschnitte 31b, 31c und 31d, die hier jeweils gezeigt sind, d. h. 3, 4 und 2, kann gemäß den Umständen der Benutzung geändert werden. Auch die Form der Erstreckungsabschnitte 31b, 31c und 31d kann gemäß den Umständen der Benutzung geändert werden.The electric heater 4 is substantially the same as in the fourth embodiment, except that the extension portion 31 and the connecting section 30 through a ladder-shaped section 31b . 31c . 31d is replaced, which can reduce the resistance of the electric heater, and increases the temperature detection zone α. The number of ladder stages of the ladder-shaped extension sections 31b . 31c and 31d which are shown here respectively, ie three . 4 and 2 , can be changed according to the circumstances of use. Also the shape of the extension sections 31b . 31c and 31d can be changed according to the circumstances of use.

Ein Luftflussratensensor gemäß dem siebten Ausführungsbeispiel und einige Variationen davon werden mit Bezug auf die 10A, 10B, 11, 12, 13 und 14 beschrieben.An air flow rate sensor according to the seventh embodiment and some variations thereof will be described with reference to FIGS 10A . 10B . 11 . 12 . 13 and 14 described.

Der Luftflussratensensor gemäß dem siebten Ausführungsbeispiel und seinen Variationen ist im Wesentlichen der gleiche wie nach dem ersten Ausführungsbeispiel, außer dass die Form des elektrischen Heizers 4 verschieden von dem ersten Ausführungsbeispiel ist.The air flow rate sensor according to the seventh embodiment and its variations is substantially the same as in the first embodiment, except that the shape of the electric heater 4 different from the first embodiment.

Wie in 10A, 11, 12 und 13 gezeigt, nimmt die Breite der geraden Abschnitte 28, 29 in Richtung der Plus- und Minusanschlüsse 13, 14 ab, sodass der Widerstand der geraden Abschnitte in Richtung der Plus- und Minusanschlüsse 13, 14 wächst. D. h., eine Wärmeableitung durch die Anschlüsse 13, 14 verringert sich, und eine Wärmeerzeugung wächst in Richtung der Plus- und Minusanschlüsse 13, 14. Als ein Ergebnis, kann die Kurve der Temperaturdifferenz δ abgeflacht werden, wie in 10B gezeigt. Dadurch können die Erstreckungsabschnitte 31 des ersten Ausführungsbeispiels weggelassen werden.As in 10A . 11 . 12 and 13 shown, takes the width of the straight sections 28 . 29 in the direction of the plus and minus connections 13 . 14 so that the resistance of the straight sections towards the plus and minus terminals 13 . 14 grows. That is, heat dissipation through the terminals 13 . 14 decreases and heat generation increases towards the plus and minus terminals 13 . 14 , As a result, the temperature difference δ curve can be flattened, as in FIG 10B shown. This allows the extension sections 31 of the first embodiment are omitted.

Um eine Wärmeableitung von den Enden 28A, 29A gegenüber den Plus- und Minusanschlüssen 13, 14 des Heizers 4 zu reduzieren, sollte die Breite der Enden 28A, 29A reduziert werden, um die Wärmeerzeugung zu erhöhen, wie in 11 gezeigt.To heat dissipation from the ends 28A . 29A opposite the plus and minus connections 13 . 14 the heater 4 should reduce the width of the ends 28A . 29A be reduced to increase heat production, as in 11 shown.

Die Breite der geraden Abschnitte 28, 29 kann stufenweise oder in einer konvexen Kurve reduziert werden, wie in 12, 13 oder 14 gezeigt.The width of the straight sections 28 . 29 can be reduced stepwise or in a convex curve, as in 12 . 13 or 14 shown.

Die obige Breitenreduzierung kann auf den Heizer 4, der in 4, 5 und 6 gezeigt ist, und andere ähnliche Variationen angewendet werden.The above width reduction may be on the heater 4 who in 4 . 5 and 6 is shown, and other similar variations are applied.

In der vorhergehenden Beschreibung der vorliegenden Erfindung, wird die Erfindung mit Bezug auf spezifische Ausführungsbeispiele von ihr beschrieben. Es ist jedoch offensichtlich, dass verschiedene Modifikationen und Änderungen an den spezifischen Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung gemacht werden können, ohne von dem Bereich der Erfindung abzuweichen, wie er in den angehängten Ansprüchen dargelegt ist.In the foregoing description of the present invention the invention with reference to specific embodiments described by her. However, it is obvious that different Modifications and changes to the specific embodiments can be made of the present invention, without to depart from the scope of the invention as set forth in the appended claims Claims is set forth.

Ein Luftflussratensensor beinhaltet einen elektrischen Heizer (4), der auf einer Isolationsschicht (2) angebracht ist und ein Paar von sich in Längsrichtung erstreckenden Heizerabschnitten (28, 29), die in einer Richtung senkrecht zu der Richtung eines Luftflusses angebracht sind, einen Verbindungsabschnitt (30), der die Heizerabschnitte in Serie verbindet, und Anschlussenden (13, 14) aufweist, ein stromaufseitiges Temperaturerfassungselement (5), das in dem Luftfluss stromaufseitig von dem elektrischen Heizer (4) angebracht ist, ein stromabseitiges Temperaturerfassungselement (6), das in dem Luftstrom stromabseitig von dem elektrischen Heizer (4) angebracht ist, und eine Einrichtung zum Berechnen einer Luftflussrate des Luftflusses auf der Grundlage einer Differenz zwischen Temperaturen, die durch das stromaufseitige Temperaturerfassungselement (5) und das stromabseitige Temperaturerfassungselement (6) erfasst werden. Der elektrische Heizer (4) hat ein Bauteil (31) zum Leiten von Wärme des elektrischen Heizers (4) zu Abschnitten um die Temperaturerfassungszone, um die Temperaturerfassungszone (α) ohne ein Erhöhen eines Widerstandes des elektrischen Heizers (4) zu vergrößern.An air flow rate sensor includes an electrical heater ( 4 ) placed on an insulating layer ( 2 ) and a pair of longitudinally extending heater sections ( 28 . 29 ) mounted in a direction perpendicular to the direction of air flow, a connecting portion (FIG. 30 ), which connects the heater sections in series, and terminal ends ( 13 . 14 ), an upstream temperature sensing element ( 5 ), which in the air flow upstream of the electric heater ( 4 ), a downstream temperature sensing element ( 6 ), which in the air flow downstream of the electric heater ( 4 ), and means for calculating an air flow rate of air flow based on a difference between temperatures detected by the upstream temperature sensing element (10). 5 ) and the downstream temperature sensing element ( 6 ). The electric heater ( 4 ) has a component ( 31 ) for conducting heat of the electric heater ( 4 ) to portions around the temperature detection zone to the temperature detection zone (α) without increasing a resistance of the electric heater ( 4 ) to enlarge.

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • - JP 10-253414 A [0002] - JP 10-253414 A [0002]

Claims (7)

Ein Luftflussratensensor mit: einer sich in Längsrichtung erstreckenden Isolationsschicht (2) mit einer Temperaturerfassungszone (α), die in einem Luftfluss angebracht ist; einem elektrischen Heizer (4), der auf der Isolationsschicht (2) angebracht ist, mit einem Paar von sich in Längsrichtung erstreckenden Heizerabschnitten (28, 29), die in einer Richtung senkrecht zu der Richtung des Luftflusses angebracht sind, einem Verbindungsabschnitt (30), der die Heizerabschnitte verbindet, und Anschlussenden (13, 14), die integral mit den Heizerabschnitten (28, 29) verbunden sind; einem stromaufseitigen Temperaturerfassungselement (5), das in dem Luftstrom stromaufseitig von dem elektrischen Heizer (4) angebracht ist; einem stromabseitigen Temperaturerfassungselement (6), das in dem Luftstrom stromabseitig von dem elektrischen Heizer (4) angebracht ist; einer Einrichtung zum Berechnen einer Luftflussrate des Luftflusses auf der Grundlage einer Differenz zwischen Temperaturen, die durch das stromaufseitige Temperaturerfassungselement (5) und das stromabseitige Temperaturerfassungselement (6) erfasst werden, dadurch gekennzeichnet dass: der elektrische Heizer (4) ein Bauteil (31) zum Leiten von Wärme des elektrischen Heizers (4) zu Abschnitten um die Temperaturerfassungszone aufweist, sodass die Temperaturerfassungszone (α) erweitert wird, ohne einen Widerstand des elektrischen Heizers (4) zu erhöhen.An airflow rate sensor comprising: a longitudinally extending insulating layer ( 2 ) having a temperature sensing zone (α) mounted in an airflow; an electric heater ( 4 ), on the insulation layer ( 2 ) with a pair of longitudinally extending heater sections ( 28 . 29 ) mounted in a direction perpendicular to the direction of air flow, a connecting portion (FIG. 30 ) connecting the heater sections and terminal ends ( 13 . 14 ) integral with the heater sections ( 28 . 29 ) are connected; an upstream temperature sensing element ( 5 ), which is in the air flow upstream of the electric heater ( 4 ) is attached; a downstream temperature sensing element ( 6 ), which in the air flow downstream of the electric heater ( 4 ) is attached; means for calculating an air flow rate of the air flow based on a difference between temperatures detected by the upstream temperature detecting element (10); 5 ) and the downstream temperature sensing element ( 6 ), characterized in that: the electric heater ( 4 ) a component ( 31 ) for conducting heat of the electric heater ( 4 ) to portions around the temperature detection zone such that the temperature detection zone (α) is widened without resistance of the electric heater ( 4 ) increase. Luftflussratensensor gemäß Anspruch 1, wobei das Paar von Heizerabschnitten (28, 29) und der Verbindungsabschnitt (30) so angebracht sind, dass sie den elektrischen Heizer (4) als ein U-förmiges Bauteil bilden.Air flow rate sensor according to claim 1, wherein the pair of heater sections ( 28 . 29 ) and the connecting section ( 30 ) are mounted so that they the electric heater ( 4 ) as a U-shaped component. Luftflussratensensor gemäß Anspruch 1, wobei das Paar von Heizerabschnitten (28, 29) und der Verbindungsabschnitt (30) so angebracht sind, dass sie den elektrischen Heizer (4) als ein Z-förmiges Bauteil bilden.Air flow rate sensor according to claim 1, wherein the pair of heater sections ( 28 . 29 ) and the connecting section ( 30 ) are mounted so that they the electric heater ( 4 ) as a Z-shaped component. Luftflussratensensor mit: einer sich in Längsrichtung erstreckenden Isolationsschicht (2) mit einer Temperaturerfassungszone (α), die in einem Luftfluss angebracht ist; einem elektrischen Heizer (4), der auf der Isolationsschicht (2) angebracht ist, mit einem Paar von sich in Längsrichtung erstreckenden Heizerabschnitten (28, 29), die in einer Richtung senkrecht zu der Richtung des Luftflusses angebracht sind, einem Verbindungsabschnitt (30), der die Heizerabschnitte verbindet, und Anschlussenden (13, 14), die integral mit den Heizerabschnitten (28, 29) verbunden sind; einem stromaufseitigen Temperaturerfassungselement (5), das in dem Luftstrom stromaufseitig von dem elektrischen Heizer (4) angebracht ist; einem stromabseitigen Temperaturerfassungselement (6), das in dem Luftstrom stromabwärts von dem elektrischen Heizer (4) angebracht ist; einer Einrichtung zum Berechnen einer Luftflussrate des Luftflusses auf der Grundlage einer Differenz zwischen Temperaturen, die durch das stromaufseitige Temperaturerfassungselement (5) und das stromabseitige Temperaturerfassungselement (6) erfasst werden, dadurch gekennzeichnet dass: jeder der Heizerabschnitte (28, 29) einen Widerstand in Richtung seiner Anschlussenden erhöht.Air flow rate sensor comprising: a longitudinally extending insulating layer ( 2 ) having a temperature sensing zone (α) mounted in an airflow; an electric heater ( 4 ), on the insulation layer ( 2 ) with a pair of longitudinally extending heater sections ( 28 . 29 ) mounted in a direction perpendicular to the direction of air flow, a connecting portion (FIG. 30 ) connecting the heater sections and terminal ends ( 13 . 14 ) integral with the heater sections ( 28 . 29 ) are connected; an upstream temperature sensing element ( 5 ), which is in the air flow upstream of the electric heater ( 4 ) is attached; a downstream temperature sensing element ( 6 ) located in the airflow downstream of the electrical heater ( 4 ) is attached; means for calculating an air flow rate of the air flow based on a difference between temperatures detected by the upstream temperature detecting element (10); 5 ) and the downstream temperature sensing element ( 6 ), characterized in that: each of the heater sections ( 28 . 29 ) increases a resistance in the direction of its terminal ends. Luftflussratensensor gemäß Anspruch 4, wobei jeder der Heizerabschnitte eine Breite hat, die in Richtung seiner Anschlussenden abnimmt.Air flow rate sensor according to claim 4, wherein each of the heater sections has a width in the direction decreases its connecting ends. Luftflussratensensor gemäß Anspruch 4 oder 5, wobei das Paar von Heizerabschnitten (28, 29) und der Verbindungsabschnitt (30) so angebracht sind, dass sie den elektrischen Heizer (4) als ein U-förmiges Bauteil bilden.Air flow rate sensor according to claim 4 or 5, wherein the pair of heater sections ( 28 . 29 ) and the connecting section ( 30 ) are mounted so that they the electric heater ( 4 ) as a U-shaped component. Luftflussratensensor gemäß Anspruch 4 oder 5, wobei das Paar von Heizerabschnitten (28, 29) und der Verbindungsabschnitt (30) so angebracht sind, dass sie den elektrischen Heizer (4) als ein Z-förmiges Bauteil bilden.Air flow rate sensor according to claim 4 or 5, wherein the pair of heater sections ( 28 . 29 ) and the connecting section ( 30 ) are mounted so that they the electric heater ( 4 ) as a Z-shaped component.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10253414A (en) 1997-03-05 1998-09-25 Unisia Jecs Corp Flow rate detecting device

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