DE102008058538A1 - Giant magnetoresistance sensor for detection of magnetic material, has sensor element and temperature sensor element arranged in sensor housing with multilayered structure, where elements are enclosed by embedding layer - Google Patents

Giant magnetoresistance sensor for detection of magnetic material, has sensor element and temperature sensor element arranged in sensor housing with multilayered structure, where elements are enclosed by embedding layer Download PDF

Info

Publication number
DE102008058538A1
DE102008058538A1 DE200810058538 DE102008058538A DE102008058538A1 DE 102008058538 A1 DE102008058538 A1 DE 102008058538A1 DE 200810058538 DE200810058538 DE 200810058538 DE 102008058538 A DE102008058538 A DE 102008058538A DE 102008058538 A1 DE102008058538 A1 DE 102008058538A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sensor
gmr
sensor element
gmr sensor
temperature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE200810058538
Other languages
German (de)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Bernstein AG
Original Assignee
Bernstein AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Bernstein AG filed Critical Bernstein AG
Priority to DE200810058538 priority Critical patent/DE102008058538A1/en
Publication of DE102008058538A1 publication Critical patent/DE102008058538A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G01R33/09Magnetoresistive devices
    • G01R33/093Magnetoresistive devices using multilayer structures, e.g. giant magnetoresistance sensors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y25/00Nanomagnetism, e.g. magnetoimpedance, anisotropic magnetoresistance, giant magnetoresistance or tunneling magnetoresistance
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D11/00Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
    • G01D11/24Housings ; Casings for instruments
    • G01D11/245Housings for sensors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D3/00Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
    • G01D3/028Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure
    • G01D3/036Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure on measuring arrangements themselves
    • G01D3/0365Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure on measuring arrangements themselves the undesired influence being measured using a separate sensor, which produces an influence related signal
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/147Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the movement of a third element, the position of Hall device and the source of magnetic field being fixed in respect to each other

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)

Abstract

The sensor (1) has a sensor element (10) for detecting a magnetic material, and a temperature sensor element (11) for detecting temperature. The elements are arranged in a sensor housing (2) with a multilayered structure, which has a conclusion layer (4) and an embedding layer (5). The elements are enclosed by the embedding layer. The conclusion layer has a spring rigidity, which is smaller than a spring rigidity of housings of the elements. A bias magnet is provided for detection of ferrite material. Independent claims are also included for the following: (1) a method for setting-up of a giant magnetoresistance (GMR) sensor (2) a facility device for setting-up of a GMR sensor.

Description

Die Erfindung betrifft einen GMR-Sensor zur Erfassung magnetischen Materials, ein Verfahren zum Einrichten eines solchen GMR-Sensors und eine Einrichtungsvorrichtung.The The invention relates to a GMR sensor for detecting magnetic material, a method for setting up such a GMR sensor and a Equipment device.

Sensoren zur Erfassung eines magnetischen Materials werden in unterschiedlichen Techniken gefertigt. Bei einem einfachen Aufbau kommen Reed-Schalter zur Anwendung, andere Sensoren sind auf Basis von Hall-Elementen aufgebaut. GMR-Sensoren nutzen einen so genannten GMR-Effekt (Giant Magnetoresistance) eines GMR-Elementes. Der Vorteil bei der Verwendung von GMR-Elementen liegt in deren hoher Empfindlichkeit gegenüber den vorher angegebenen Techniken von Reed-Schaltern und Hall-Elementen. Beispielsweise beschreibt die DE 19739550 C1 eine so genannte Biasmagnetisierung in einem Mehrschichtensystem eines magnetoresistiven Sensorelementes mit mindestens einer härteren Biasschicht und einer dazwischen angeordneten, unmagnetischen Zwischenschicht.Sensors for detecting a magnetic material are manufactured in different techniques. With a simple design, reed switches are used, while other sensors are based on Hall elements. GMR sensors use a so-called GMR effect (giant magnetoresistance) of a GMR element. The advantage of using GMR elements is their high sensitivity to the previously mentioned techniques of reed switches and Hall elements. For example, this describes DE 19739550 C1 a so-called bias magnetization in a multilayer system of a magnetoresistive sensor element having at least one harder bias layer and a non-magnetic intermediate layer arranged therebetween.

Ein weiteres wichtiges Merkmal ist die Erkennung von ferritischen Materialien durch Verwendung eines Magneten zur Erzeugung einer magnetischen Vorspannung und Nutzung von Sensorelementen zur Auswertung. Beispiele zur Illustration bilden die Schriften US 20050280411 A1 , US 5818685 A und US 5883763 A , welche die Verwendung von Vorspannmagneten und die Erkennung von ferriti schem Material bei der Verwendung von GMR-Elementen beschreiben. Derartige Sensoren finden häufig Anwendung bei einer Abtastung von Zahnflanken oder strukturierten Stahlscheiben zur Erkennung von Drehzahlen.Another important feature is the detection of ferritic materials by using a magnet to generate a magnetic bias and use of sensor elements for evaluation. Examples for illustration are the writings US 20050280411 A1 . US 5818685 A and US 5883763 A describing the use of bias magnets and the detection of ferritic material when using GMR elements. Such sensors are often used when scanning tooth flanks or structured steel disks to detect rotational speeds.

Als nachteilig wird dabei gesehen, dass die in zahlreichen Ausführungen bestehenden Sensoren in der Regel für den Betrieb bis zu einer Temperatur von +80°C geeignet sind.When disadvantageous it is seen that in numerous designs existing sensors usually for operation up to a temperature of + 80 ° C are suitable.

Weiterhin werden an eine Abtaststelle hohe Anforderungen hinsichtlich Dichtigkeit des Sensors, Beständigkeit gegen äußere Medien und hohe Temperaturanforderungen gestellt. Außerdem sind Einflüsse der Temperatur auf die Abtastelemente und die Realisierung eines hohen Schaltabstandes zu berücksichtigen. Zudem soll eine hohe Genauigkeit gewährleistet sein.Farther At a sampling high demands for tightness of the sensor, resistance to external Media and high temperature requirements. Furthermore are influences of temperature on the sensing elements and to consider the realization of a high switching distance. In addition, a high accuracy should be guaranteed.

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen verbesserte GMR-Sensor und ein Einrichtungsverfahren bzw. -vorrichtung für diesen GMR-Sensor bereitzustellen, wobei die obigen Nachteile des Standes der Technik deutlich verringert sind.It Therefore, the object of the present invention, an improved GMR sensor and a device method or apparatus for to provide this GMR sensor, the above disadvantages of State of the art are significantly reduced.

Die Aufgabe wird durch einen GMR-Sensor mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Die Aufgabe wird ferner durch ein Verfahren zum Einrichten eines derartigen Sensors nach Anspruch 16 und eine Einrichtungsvorrichtung nach Anspruch 21 gelöst.The The object is achieved by a GMR sensor having the features of the claim 1 solved. The object is further achieved by a method for Setting up such a sensor according to claim 16 and an apparatus solved according to claim 21.

Demgemäß weist ein GMR-Sensor zur Erfassung magnetischen Materials, Folgendes auf: zumindest ein Sensorelement zur Erfassung magnetischen Materials und zumindest ein Temperatursensorelement zur Erfassung einer Temperatur, wobei das zumindest eine Sensorelement und das zumindest eine Temperatursensorelement in einem Sensorgehäuse mit einem mehrschichtigen Aufbau, der zumindest eine Abschlussschicht und eine Einbettungsschicht aufweist, angeordnet und von der Einbettungsschicht umgeben sind.Accordingly, FIG a GMR sensor for detecting magnetic material, the following: at least one sensor element for detecting magnetic material and at least one temperature sensor element for detecting a temperature, wherein the at least one sensor element and the at least one temperature sensor element in a sensor housing with a multilayer structure, the at least one finishing layer and an embedding layer has, arranged and surrounded by the embedding layer.

Hiermit ist es vorteilhaft möglich, den Sensor in einem Bereich zur Erfassung von magnetischem Material in einer Umgebung mit hoher Temperatur einzusetzen, wobei der Einsatzbereich sich von –25°C bis +120°C erstreckt.Herewith It is advantageously possible to place the sensor in one area for detecting magnetic material in a high-environment environment Temperature to use, with the application range of -25 ° C. extends to + 120 ° C.

Durch den Einsatz des Temperatursensorelementes können Nachteile durch Temperaturdrift des Sensorelementes vermieden werden.By the use of the temperature sensor element can disadvantages be avoided by temperature drift of the sensor element.

Mit einem Vorspannmagnet ist eine zusätzliche Erfassung von ferritischem Material vorteilhaft möglich. Dabei kann das Ausgangssignal des Sensorelementes mit Schwellwerten für das Ein- und Ausschalten des Sensors verglichen werden, wobei so die Betätigung des Sensors definiert ist.With a biasing magnet is an additional detection of Ferritic material advantageously possible. It can do that Output signal of the sensor element with threshold values for the switching on and off of the sensor are compared, whereby the Operation of the sensor is defined.

Insbesondere bei flüssigen oder gasförmigen Medien ist eine gute Wärmeübertragung auf das Sensorelement zur Erfassung von ferritischem Material gegeben.Especially in liquid or gaseous media is a good heat transfer to the sensor element for Detection of ferritic material given.

Zur Erfassung ferritischer Materialien mit hoher Auflösung kann das Sensorelement in dem durch Temperatur stärker beanspruchten Bereich des Sensors positioniert werden. Bei Temperaturwechseln kommt es aufgrund der unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten zu mechanischen Spannungen, welche die Lebensdauer des Sensors beeinträchtigen können. Durch den erfindungsgemäßen GMR-Sensor ist das Sensorelement vor Schock und Vibration im praktischen Einsatz geschützt, was auch das Temperatursensorelement betrifft, welches zum Beispiel ein Thermoelement sein kann. Andere Ausführungen sind selbstverständlich möglich. Mit dieser Temperaturerfassung ist eine Temperaturkompensation eines Signals des Sensorelementes zur Abtastung bzw. Erfassung von ferritischem Material in der Nähe der Messstelle möglich, wo auch die Temperaturerfassung stattfindet.to Detection of high-resolution ferritic materials the sensor element may be stronger in temperature stressed area of the sensor are positioned. When temperature changes comes it due to the different thermal expansion coefficients to mechanical stresses that affect the life of the sensor can. By the GMR sensor according to the invention is the sensor element against shock and vibration in practical use protected, as far as the temperature sensor element is concerned, which may be a thermocouple, for example. Other versions are of course possible. With this temperature detection is a temperature compensation of a signal of the sensor element for sensing ferritic material in the vicinity the measuring point possible, where also the temperature measurement takes place.

Im Bereich der Messstelle ist das Sensorelement so gekapselt, dass mechanische Spannungen aufgrund thermischer Ausdehnung in homogener Weise auf ein Gehäuse des Sensorelementes wirken. Mechanische Scherspannungen an der Oberfläche des Sensorelementes werden so vermieden. Dies wird zum Beispiel durch den Einbettungsbereich vorgenommen, welcher das Sensorelement umgibt und zum Beispiel eine gelartige Substanz ist. Diese Einbettungsschicht ist nach außen hin von einer weiteren Schicht, einer Abschlussschicht abgeschlossen, welche eine hohe mechanische Widerstandsfähigkeit und eine hohe chemische Beständigkeit gegenüber Medien aufweist, welche an der Messstelle vorkommen können. Andererseits weist sie eine geringere Steifigkeit als die Einbettungsschicht auf. Bei thermischer Ausdehnung der Einbettungsschicht, nämlich der gelartigen Schicht, gibt die Abschlussschicht derart nach, dass der Druck in der Einbettungsschicht unterhalb einer spezifizierten Grenze bleibt, die durch das Sensorelement zur Erfassung magnetischer und/oder ferritischer Materialien vorgegeben ist. Diese Abschlussschicht kann zum Beispiel aus Metall mit federnden Eigenschaften, aus Kunststoff oder aus Vergussmaterial in definierter Dicke und Form bzw. aus einem mehrschichtigen Materialverbund hergestellt sein. Die Abschlussschicht kann auch ein Druckausgleichelement, zum Beispiel eine Membrane, aufweisen.In the area of the measuring point, the sensor element is encapsulated so that mechanical stresses due to thermal expansion act in a homogeneous manner on a housing of the sensor element. Mechanical shear stresses on the surface of the sensor element are thus avoided. This is done, for example, by the embedding area which surrounds the sensor element and is for example a gel-like substance. This embedding layer is closed to the outside by another layer, a final layer, which has a high mechanical resistance and a high chemical resistance to media that may occur at the measuring point. On the other hand, it has a lower rigidity than the embedding layer. Upon thermal expansion of the potting layer, namely the gelatinous layer, the overcoat layer yields such that the pressure in the potting layer remains below a specified limit dictated by the sensor element for detecting magnetic and / or ferritic materials. This finishing layer can be made, for example, of metal with resilient properties, of plastic or of potting material in a defined thickness and shape or of a multilayer composite material. The cover layer may also include a pressure compensation element, for example a membrane.

In einer weiteren Ausführung ist vorgesehen, dass die Abschlussschicht eine Zugentlastung für eine Zuleitung des GMR-Sensors bildet und/oder aufweist. Sie kann auch ein Bestandteil des Sensorgehäuses sein.In A further embodiment provides that the finishing layer forms a strain relief for a supply of the GMR sensor and / or has. It can also be a part of the sensor housing be.

Eine weitere vorteilhafte Eigenschaft der gelartigen Einbettungsschicht besteht darin, die Auswirkung von Schock und Vibration auf den Sensor zu dämpfen.A further advantageous property of the gelatinous embedding layer This is the effect of shock and vibration on the sensor to dampen.

Der GMR-Sensor kann eine Steuereinheit zur Auswertung der Signale des zumindest einen Sensorelementes und des zumindest einen Temperatursensorelementes aufweisen. Dabei kann die Steuereinheit in der Abschlussschicht integriert bzw. aufgenommen sein. Das Signal des Temperatursensorelementes kann von dieser Steuereinheit separat neben dem Signal des Sensorelementes bereitgestellt werden. Die Auswertung wird bevorzugt in der Steuereinheit, die zum Beispiel mit einem Kontroller ausgerüstet ist, vorgenommen. Es ist aber auch möglich, dass die Auswertung der vom Sensorelement erfassten magnetischen Änderungen im Sensorelement selbst erfolgt.Of the GMR sensor can be a control unit for evaluating the signals of the at least one sensor element and the at least one temperature sensor element exhibit. In this case, the control unit in the finishing layer be integrated or included. The signal of the temperature sensor element can from this control unit separately next to the signal of the sensor element to be provided. The evaluation is preferred in the control unit, which is equipped with a controller, for example, performed. But it is also possible that the evaluation the magnetic changes detected by the sensor element takes place in the sensor element itself.

Ein Ausgang des GMR-Sensors kann konfigurierbar sein, zum Beispiel in Bezug auf Strom oder Spannung bzw. NPN- oder PNP-Funktion oder wiederum als Öffner- oder Schließerfunktion.One The output of the GMR sensor can be configurable, for example in Reference to current or voltage or NPN or PNP function or turn as normally closed or normally open function.

Die Schaltausgänge und/oder analoge Ausgänge des GMR-Sensors können bei einem Einrichtvorgang des GMR-Sensors mit Signalen beaufschlagt sein, welche den Einrichtvorgang kennzeichnen, wobei diese Signale zur Kennzeichnung eines Einrichtbereiches mit ungültigen oder unsicheren Werten vorher festlegbare Signalformen aufweisen.The Switching outputs and / or analogue outputs of the GMR sensor can during a setup process of the GMR sensor with signals be acted upon, which characterize the setup process, wherein these signals to identify a setup area with invalid or unsafe values have pre-definable waveforms.

In einer alternativen Ausführung ist vorgesehen, dass das zumindest eine Sensorelement und das zumindest eine Temperatursensorelement auf einer Sensorleiterplatte angeordnet sind. Diese ist in bevorzugter Ausführung mit einer Steuereinheit auf einer Steuerleiterplatte über eine flexible Verbindungsleiterplatte verbunden. Somit kann die Orientierung des Sensorelementes zu einer Abtastfläche des Sensors sichergestellt werden.In an alternative embodiment is provided that the at least one sensor element and the at least one temperature sensor element are arranged on a sensor circuit board. This is in preferred Version with a control unit on a control board via a flexible connection board connected. Thus, the Orientation of the sensor element to a scanning of the Sensors are ensured.

Die Steuereinheit kann zumindest eine Speichereinrichtung zur Speicherung eines Auswerteprogramms aufweist, wobei das Auswerteprogramm von einer Montage der Steuereinheit in das Sensorgehäuse oder nach einer Demontage in die Speichereinrichtung nachladbar ist.The Control unit may at least one storage device for storage an evaluation program, wherein the evaluation program of a Mounting the control unit in the sensor housing or after a disassembly in the storage device is reloadable.

Ein hoher Temperaturbereich für die Gesamtkonfiguration wird bei GMR-Sensoren mit Temperatursensoren und Sensorelementen zur Erfassung magnetischer oder ferritischer Materialien durch einen mindestens zweischichtigen bzw. mehrschichtigen Aufbau innerhalb des Sensors erzielt. Hier werden Komponenten zur Absicherung der Dichtigkeit und mechanischen Stabilität in den äußeren Schichten mit Materialien kombiniert, die zur thermischen Stabilisierung und thermischen Ankopplung an die sensorisch relevante Abtastfläche dienen. Dies kann beispielsweise im Vergussverfahren durch mindestens zweischichtigen Verguss in ein Gehäuse aus Metall oder ein anderes strapazierfähiges Material erfolgen. Das Anspritzen einer Zuleitung (Kabel) an die thermisch kompensierte Einheit ist vorteilhaft.One high temperature range for the overall configuration for GMR sensors with temperature sensors and sensor elements for Detection of magnetic or ferritic materials by a at least two-layered or multi-layered structure within achieved the sensor. Here are components to ensure the tightness and mechanical stability in the outer Layers combined with materials used for thermal stabilization and thermal coupling to the sensory relevant scanning serve. This can, for example, in the casting by at least two-layer encapsulation in a metal or metal housing another hard-wearing material. Injection a supply line (cable) to the thermally compensated unit advantageous.

Die Realisierung einer hohen Genauigkeit über der Temperatur kann durch Hinterlegung des Temperaturganges des Sensorelementes in Verbindung mit dem Temperatursensorelement erfolgen, der in den Sensor integriert ist. Dazu kann die Steuereinheit mit einem Kontroller als Auswerteeinheit dienen, wobei der Temperaturgang zum Beispiel als Tabelle in einem Speicher abgelegt ist.The Realization of a high accuracy over the temperature can by depositing the temperature response of the sensor element take place in conjunction with the temperature sensor element, which in the Sensor is integrated. For this purpose, the control unit with a controller serve as an evaluation unit, wherein the temperature response, for example is stored as a table in a memory.

Die magnetische Kompensation des Sensorgehäuses ist innerhalb des Sensorelementes oder einer Auswerteeinheit möglich. Dabei kann auch der magnetische Einfluss von Edelstählen oder anderen schwach ferritischen Gehäusematerialien kompensiert werden. Dieser Kompensationsvorgang kann durch einen Einrichtvorgang erfolgen, der in der Produktion oder beim Einbau in eine Umgebung, in welcher ferritisches Material vorhanden ist, ausgeführt wird. Die Kompensation kann regelmäßig durch die Auswerteeinheit durchgeführt werden, um einer Anlagerung ferritischen Materials in der Umgebung des Sensors entgegenzuwirken. Dazu kann die Steuereinheit beispielsweise entsprechend ausgebildet sein.The magnetic compensation of the sensor housing is possible within the sensor element or an evaluation unit. In this case, the magnetic influence of stainless steels or other weakly ferritic housing materials can be compensated. This compensation operation can be done by a setup process that is carried out in production or installation in an environment in which ferritic material is present. The compensation can be done regularly by the Evaluation unit are performed to counteract an accumulation of ferritic material in the vicinity of the sensor. For this purpose, the control unit may be designed accordingly, for example.

Die Auswerteschaltung, zum Beispiel die Steuereinheit, kann ein Meldungssignal ausgeben, falls die Kompensationsfunktion sich dem Ende eines Aussteuerungsbereiches des Sensorelementes bis auf einen einstellbaren Schwellwert nähert. Die mechanischen Einstellpunkte des Sensors können einstellbar ausgeführt sein, wobei die Einstellung mit Hilfe der Auswerteeinheit erfolgt. Zur Aktivierung des Einstellvorgangs kann ein speziell auf den Sensor abgestimmter Magnet verwendet werden. Eine weitere Einstellmöglichkeit ist durch die Verwendung einer Signalisierung über die Ausgänge bzw. die Zuleitung gegeben. Dabei kann das Festlegen und Abspeichern einer Schaltschwelle mittels einer definierten Codierung vorgenommen werden, welche über eine Betätigung an den Anschlusskabeln (Zuleitung) erfolgt. Als Betätigungsmöglichkeiten kann ein Anlegen definierter Spannungen außerhalb des typischen Betriebsspannungsbereiches oberhalb oder deutlich unterhalb der Betriebsspannung durchgeführt werden. Eine weitere Möglichkeit der Signalisierung entsteht durch das definierte Einprägen von Strömen. Die Signalisierung wird bevorzugt in codierter Form vorgenommen, so dass eine Absicherung gegen ungewollte Parametrierung erzielt wird.The Evaluation circuit, for example, the control unit, a message signal if the compensation function is at the end of a modulation range of the sensor element approaches to an adjustable threshold. The mechanical setpoints of the sensor can be adjusted be executed, with the setting using the evaluation he follows. To activate the setting process, a special magnet matched to the sensor can be used. Another Adjustment is through the use of signaling over given the outputs or the supply line. It can do that Defining and saving a switching threshold by means of a defined Coding be made, which via an actuation on the connection cables (supply line). As operating possibilities can apply defined voltages outside the typical operating voltage range carried out above or well below the operating voltage become. Another way of signaling arises through the defined impressing of currents. The Signaling is preferably done in coded form, so that a protection against unintentional parameterization is achieved.

Eine Einrichtvorrichtung zur Durchführung des Verfahrens zum Einrichten kann mit einer Justiereinrichtung, welche codierbare Elektro- und/oder Permanentmagnete aufweist, erfolgen. Dabei kann die Justiereinrichtung eine Markierung zur Anzeige einer Richtung eines einzustellenden Schaltpunktes aufweisen.A Setup device for carrying out the method for Setup can be done with an adjustment device, which codable Electro and / or permanent magnets, done. It can the Adjustment means a marker for indicating a direction of a have to be set switching point.

Die Erfindung wird nun anhand von Ausführungsbeispielen mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Hierbei zeigt:The Invention will now be described with reference to embodiments With reference to the accompanying drawings explained in more detail. Hereby shows:

1 eine schematische Seitenansicht mit Funktionsblöcken eines ersten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen GMR-Sensors; 1 a schematic side view with function blocks of a first embodiment of a GMR sensor according to the invention;

2 eine schematische Schnittansicht längs Linie A-A gemäß 1; 2 a schematic sectional view along line AA according to 1 ;

3 eine schematische Schnittansicht einer Variation des ersten Ausführungsbeispiels längs Linie A-A nach 1; 3 a schematic sectional view of a variation of the first embodiment along line AA after 1 ;

4 eine schematische Schnittansicht einer weiteren Variation des ersten Ausführungsbeispiels längs Linie A-A nach 1; 4 a schematic sectional view of a further variation of the first embodiment along line AA after 1 ;

5 eine schematische Schnittansicht eines noch weiteren Variation des ersten Ausführungsbeispiels längs Linie A-A nach 1; 5 a schematic sectional view of a still further variation of the first embodiment along line AA after 1 ;

6 eine schematische Seitenansicht des ersten Ausführungsbeispiels bei einem Einrichtvorgang; und 6 a schematic side view of the first embodiment in a setup process; and

7 eine schematische Seitenansicht mit Funktionsblöcken eines zweiten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen GMR-Sensors. 7 a schematic side view with function blocks of a second embodiment of the GMR sensor according to the invention.

Gleiche Bauelemente bzw. Funktionseinheiten mit gleicher Funktion sind mit gleichen Bezugszeichen in den Figuren gekennzeichnet.Same Components or functional units with the same function are with the same reference numerals in the figures.

In 1 ist eine schematische Seitenansicht mit Funktionsblöcken eines ersten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen GMR-Sensors 1. Der GMR-Sensor 1 weist ein Sensorgehäuse 2 mit einer Zuleitungsseite und einer ihr gegenüberliegenden Stirnseite auf, wobei eine Oberseite einer Unterseite gegenübersteht und die Unterseite als Abtastseite 3 des Sensors 1 ausgebildet ist. Das Sensorgehäuse 2 ist hier rechteckig im Längsschnitt und zum Beispiel quaderförmig. Andere Ausführungen, zum Beispiel würfelförmig, sind möglich.In 1 is a schematic side view with function blocks of a first embodiment of a GMR sensor according to the invention 1 , The GMR sensor 1 has a sensor housing 2 with a supply side and an opposite end face, wherein an upper side facing a lower side and the underside as a Abtastseite 3 of the sensor 1 is trained. The sensor housing 2 here is rectangular in longitudinal section and, for example, cuboid. Other designs, for example cube-shaped, are possible.

Innerhalb des Sensorgehäuses 2 befindet sich ein mehrschichtiger Aufbau, welcher in diesem Beispiel zweischichtig ist. Unter der Oberseite ist eine Abschlussschicht 4 angeordnet, welcher sich nach unten zur Abtastseite 3 eine Einbettungsschicht 5 anschließt, in welcher dicht an der Abtastseite 3 ein Sensorelement 10 und ein Temperatursensorelement 11 eingebettet sind. Diese Sensorelemente 10 und 11 sind von der Einbettungsschicht 5, welche hier gelartig ist, umhüllt. Diese Sensorelemente 10 und 11 können auch als Primärelemente bezeichnet werden.Inside the sensor housing 2 There is a multi-layered structure, which is two-layered in this example. Under the top is a finishing layer 4 arranged, which is down to the scan side 3 an embedding layer 5 connects, in which close to the Abtastseite 3 a sensor element 10 and a temperature sensor element 11 are embedded. These sensor elements 10 and 11 are from the embedding layer 5 , which is gelatinous here, enveloped. These sensor elements 10 and 11 can also be called primary elements.

In der Abschlussschicht 4 ist eine Steuereinheit 7 angeordnet, welche über eine Zuleitungsverbindung 12 mit einer Zuleitung 6 verbunden ist, die an dem Sensorgehäuse 2 angebracht ist. Die Zuleitung 6 kann in der Abschlussschicht 4 eingespritzt sein oder in einer Zugentlastung (nicht gezeigt) am Sensorgehäuse 2 oder in der Abschlussschicht 4 befestigt sein.In the final shift 4 is a control unit 7 arranged, which via a supply line connection 12 with a supply line 6 connected to the sensor housing 2 is appropriate. The supply line 6 May be in the finishing layer 4 be injected or in a strain relief (not shown) on the sensor housing 2 or in the finishing layer 4 be attached.

Die Steuereinheit 7 ist mit dem Sensorelement 10 über einen Sensorelementanschluss 13 und mit dem Temperatursensorelement über einen Temperatursensorelementanschluss verbunden. Die Steuereinheit 7 versorgt die Sensorelemente 10 und 11 mit elektrischer Energie aus der Zuleitung 6, die von außen eingespeist wird. Weiterhin empfängt die Steuereinheit 7 Signale des Sensorelementes 10, welches ein GMR-Sensorelement ist, in Abhängigkeit von abgetasteten magnetischen und/oder ferritischen Materialien, wertet diese Signale zum Beispiel anhand von gespeicherten Tabellenwerten aus und gibt entsprechende Ausgangssignale, zum Beispiel „EIN”, „AUS” über die Zuleitung 6 an eine übergeordnete Steuerung als Signale 20 aus. Signale des Temperatursensorelementes 11 wertet die Steuereinheit 7 zur Temperaturkompensation des Sensorelementes 10 mit aus und passt, beispielsweise mittels gespeicherter Tabellenwerte oder geeigneter Kompensationsalgorithmen, die Signale des Sensorelementes 10 entsprechend an.The control unit 7 is with the sensor element 10 via a sensor element connection 13 and connected to the temperature sensor element via a temperature sensor element terminal. The control unit 7 supplies the sensor elements 10 and 11 with electrical energy from the supply line 6 which is fed from outside. Furthermore, the control unit receives 7 Signals of the sensor element 10 which is a GMR sensor element in response to sampled magnetic and / or ferritic materials evaluates these signals, for example based on stored table values and outputs corresponding output signals, for example "ON", "OFF" via the supply line 6 to a higher-level control as signals 20 out. Signals of the temperature sensor element 11 evaluates the control unit 7 for temperature compensation of the sensor element 10 with and fits, for example by means of stored table values or suitable compensation algorithms, the signals of the sensor element 10 accordingly.

2 illustriert eine schematische Schnittansicht längs Linie A-A gemäß 1. Hier umschließt das Sensorgehäuse 2, zum Beispiel aus Metall, Abschlussschicht 4 und die Einbettungsschicht 5 seitlich. Die Abtastseite 3 kann eine zusätzliche Schutzschicht aufweisen oder aus dem Sensorgehäuse 2 gebildet sein. In dieser Ausführung ist der GMR-Sensor 1 zur Abtastung bzw. Erfassung magnetischer Materialien vorgesehen. 2 illustrates a schematic sectional view taken along line AA according to 1 , Here encloses the sensor housing 2 , for example metal, finishing layer 4 and the embedding layer 5 laterally. The scan side 3 may have an additional protective layer or from the sensor housing 2 be formed. In this embodiment, the GMR sensor 1 intended for scanning or detection of magnetic materials.

Bei ferritischen Materialien ist eine Abtastung möglich, wenn die Variation gemäß 3 mit einem Vorspannmagneten 8, der sich hier in der Abschlussschicht 4 befindet, eingesetzt wird. Das Sensorgehäuse 2 ist nicht mit gezeigt. Der Vorspannmagnet 8 ist vorzugsweise ein Permanentmagne, welcher eine magnetisches Feld erzeugt, das das Sensorelement 10 durchdringt und von ferritischem (auch magnetischem) Material so verändert wird, dass diese Veränderung von dem Sensorelement 10 abtastbar ist. Hier wird dessen Ausgangssignal mit Schwellwerten für das Ein- und Ausschalten des Sensors 1 verglichen und so die Betätigung des Sensors 1 definiert.For ferritic materials, sampling is possible if the variation is 3 with a bias magnet 8th who is here in the final shift 4 is used. The sensor housing 2 is not shown with. The bias magnet 8th is preferably a permanent magnet that generates a magnetic field that is the sensor element 10 penetrates and is changed by ferritic (also magnetic) material so that this change from the sensor element 10 is palpable. Here its output signal with thresholds for switching the sensor on and off 1 compared and so the operation of the sensor 1 Are defined.

Die Einbettungsschicht 5 ist gelartig und kann sich bei Erwärmung durch die Umgebungstemperatur ausdehnen. Dabei ist es vorteilhaft, dass die Abschlussschicht 4 eine Federsteifigkeit aufweist, die geringer als die des Sensorgehäuses 2 und der Gehäuse ist, in welchen die Sensorelemente 10 und 11 angeordnet sind. Es ist bevorzugt, dass die Federsteifigkeit um einen Faktor von mindesten 0,1 geringer ist als die Federsteifigkeit eines der Gehäuse der Sensorelemente 10 und 11. 4 zeigt eine Variation, bei welcher ein Druckausgleichelement 9, zum Beispiel eine Membran, in die Abschlussschicht 4 eingesetzt ist, hier an der Grenze zwischen Abschlussschicht 4 und Einbettungsschicht 5.The embedding layer 5 is gel-like and can expand when heated by the ambient temperature. It is advantageous that the top layer 4 has a spring stiffness that is less than that of the sensor housing 2 and the housing is in which the sensor elements 10 and 11 are arranged. It is preferred that the spring stiffness is smaller by a factor of at least 0.1 than the spring stiffness of one of the housing of the sensor elements 10 and 11 , 4 shows a variation in which a pressure compensation element 9 , for example a membrane, in the finishing layer 4 is used, here on the border between finishing layer 4 and embedding layer 5 ,

In einer weiteren Variation, die 5 in Schnittdarstellung längs Linie A-A nach 1 zeigt, sind die Sensorelemente 10 und 11 auf einer Sensorleiterplatte 15 aufgebracht, welche hier parallel zur Abtastseite 3 im Sensorgehäuse 2 angeordnet ist. Senkrecht dazu ist eine Steuerleiterplatte 17 mit der Steuereinheit 7 (zum Beispiel ein Kontroller mit Speicherbausteinen) positioniert. Eine elastische Verbindung zwischen der Sensorleiterplatte 15 und der Steuerleiterplatte 17 wird durch eine Verbindungsleiterplatte 16 gebildet, welche zum Beispiel eine flexible Leiterplatte ist.In another variation, the 5 in section along the line AA 1 shows are the sensor elements 10 and 11 on a sensor PCB 15 applied, which here parallel to the scan side 3 in the sensor housing 2 is arranged. Perpendicular to this is a control circuit board 17 with the control unit 7 (for example, a controller with memory blocks) positioned. An elastic connection between the sensor PCB 15 and the control board 17 is through a connection board 16 formed, which is for example a flexible circuit board.

6 zeigt eine schematische Seitenansicht des ersten Ausführungsbeispiels bei einem Einrichtvorgang. Unterhalb des GMR-Sensors 1 ist an der Abtastseite 3 eine Einrichtvorrichtung mit einer Justiereinrichtung 18 mit zwei Permanentmagneten 19, 19' angeordnet. Diese Magnete können auch steuerbare Elektromagnete sein. 6 shows a schematic side view of the first embodiment in a setup. Below the GMR sensor 1 is on the scan side 3 a setup device with an adjusting device 18 with two permanent magnets 19 . 19 ' arranged. These magnets can also be controllable electromagnets.

Weiterhin kann die Polung bzw. Codierung der Permanentmagnete 19, 19' eingestellt werden, zum Beispiel durch Verdrehen. Die Magnete 19, 19' aktivieren einen Einrichtvorgang des Sensors 1. Über ihre Codierung kann entschieden werden, welcher Schaltpunkt, zum Beispiel in die Steuereinheit 7, eingelernt wird. Die Justiereinrichtung 18 kann eine Markierung aufweisen, welche die Richtung des einzurichtenden Schaltpunktes anzeigt. Damit ist der neu einzurichtende Schaltpunkt anwählbar. Der Sensor 1 kann so ausgebildet sein, dass bei einem Einrichtvorgang einer oder mehrere oder alle Schaltpunkte einrichtbar sind. Durch Betätigung mit der Justiereinrichtung 18 kann die Auswerteeinheit bzw. Steuereinheit 7 das Einlernen der Schaltpunkte in einer festgelegten Abfolge oder entsprechend der Codierung der in der Justiereinrichtung 18 vorhandenen Magnete 19, 19' durchführen.Furthermore, the polarity or coding of the permanent magnets 19 . 19 ' be adjusted, for example by twisting. The magnets 19 . 19 ' activate a setup process of the sensor 1 , Their coding can be used to decide which switching point, for example in the control unit 7 , is taught. The adjustment device 18 may have a mark indicating the direction of the switching point to be established. Thus, the newly set switching point can be selected. The sensor 1 can be designed so that during a set-up one or more or all switching points can be set up. By operation with the adjusting device 18 can the evaluation unit or control unit 7 the teaching of the switching points in a fixed sequence or according to the coding in the adjusting device 18 existing magnets 19 . 19 ' carry out.

7 illustriert schließlich eine schematische Seitenansicht mit Funktionsblöcken eines zweiten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen GMR-Sensors 1. In dieser Ausführung ist die Abtastfläche 3 nicht unterhalb des Sensorgehäuses 2, sondern an der Vorderseite. Weitere Variationen sind selbstverständlich denkbar. 7 finally illustrates a schematic side view with function blocks of a second embodiment of the GMR sensor according to the invention 1 , In this embodiment, the scanning surface 3 not below the sensor housing 2 but at the front. Other variations are of course conceivable.

Die Erfindung ist nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Sie ist im Rahmen der beigefügten Ansprüche modifizierbar.The The invention is not limited to the embodiments described above limited. It is included in the attached Claims modifiable.

Es ist zum Beispiel denkbar, dass die Abschlussschicht 4 mit dem Sensorgehäuse 2 kombiniert oder ein Bestandteil davon ist.It is conceivable, for example, that the finishing layer 4 with the sensor housing 2 combined or part of it.

Die Leiterplatten 15, 16 und 17 können auch aus einer vollständigen flexiblen Leiterplatte bestehen.The circuit boards 15 . 16 and 17 can also consist of a complete flexible printed circuit board.

Ein Programm für die Auswerteeinheit bzw. Steuereinheit 7 kann vor deren Montage in den Sensor 1 oder nach Entnahme eingespeist werden. Es kann auch möglich sein, diese Programmierung von außen über die Zuleitung mittels bestimmter Signale/Signalformen oder drahtlos, z. B. über Funk, Induktionsspule oder Infrarot vorzunehmen.A program for the evaluation unit or control unit 7 can be in the sensor before mounting 1 or fed in after removal. It may also be possible, this programming from the outside via the supply line by means of certain signals / waveforms or wireless, z. B. via radio, induction coil or infrared make.

11
GMR-SensorGMR sensor
22
Sensorgehäusesensor housing
33
Abtastseitescanning side
44
Abschlussschichttopcoat
55
Einbettungsschichtburied layer
66
Zuleitungsupply
77
Steuereinheitcontrol unit
88th
Magnetmagnet
99
DruckausgleichelementPressure compensation element
1010
Sensorelementsensor element
1111
TemperatursensorelementTemperature sensor element
1212
Zuleitungsverbindungsupply connection
1313
SensorelementanschlussSensor element Connection
1414
TemperatursensorelementanschlussTemperature sensor element Connection
1515
SensorleiterplatteSensor circuit board
1616
VerbindungsleiterplatteConnecting board
1717
SteuerleiterplatteControl board
1818
Justiereinrichtungadjusting
19, 19'19 19 '
Permanentmagnetpermanent magnet
2020
Signalsignal
N, SN, S
Nord-/SüdpolNorth / South Pole

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list The documents listed by the applicant have been automated generated and is solely for better information recorded by the reader. The list is not part of the German Patent or utility model application. The DPMA takes over no liability for any errors or omissions.

Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • - DE 19739550 C1 [0002] DE 19739550 C1 [0002]
  • - US 20050280411 A1 [0003] US 20050280411 A1 [0003]
  • - US 5818685 A [0003] US 5818685 A [0003]
  • - US 5883763 A [0003] - US 5883763 A [0003]

Claims (22)

GMR-Sensor (1) zur Erfassung magnetischen Materials, mit zumindest einem Sensorelement (10) zur Erfassung magnetischen Materials und mit zumindest einem Temperatursensorelement (11) zur Erfassung einer Temperatur, wobei das zumindest eine Sensorelement (10) und das zumindest eine Temperatursensorelement (11) in einem Sensorgehäuse (2) mit einem mehrschichtigen Aufbau, der zumindest eine Abschlussschicht (4) und eine Einbettungsschicht (5) aufweist, angeordnet und von der Einbettungsschicht (5) umgeben sind.GMR sensor ( 1 ) for detecting magnetic material, with at least one sensor element ( 10 ) for detecting magnetic material and with at least one temperature sensor element ( 11 ) for detecting a temperature, wherein the at least one sensor element ( 10 ) and the at least one temperature sensor element ( 11 ) in a sensor housing ( 2 ) having a multilayered structure comprising at least one finishing layer ( 4 ) and an embedding layer ( 5 ) and arranged by the embedding layer ( 5 ) are surrounded. GMR-Sensor (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der GMR-Sensor (1) einen Vorspannmagnet (8) zur zusätzlichen Erfassung von ferritischem Material aufweist.GMR sensor ( 1 ) according to claim 1, characterized in that the GMR sensor ( 1 ) a bias magnet ( 8th ) for additional detection of ferritic material. GMR-Sensor (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine Abschlussschicht (4) eine Federsteifigkeit aufweist, welche geringer als eine Federsteifigkeit von Gehäusen des zumindest einen Sensorelementes (10) und des zumindest einen Temperatursensorelementes (11) ist.GMR sensor ( 1 ) according to claim 1 or 2, characterized in that the at least one finishing layer ( 4 ) has a spring stiffness which is less than a spring stiffness of housings of the at least one sensor element ( 10 ) and the at least one temperature sensor element ( 11 ). GMR-Sensor (1) nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine Abschlussschicht (4) eine Federsteifigkeit aufweist, welche um einen Faktor von zumindest 0,1 geringer als die Federsteifigkeit von Gehäusen des zumindest einen Sensorelementes (10) und des zumindest einen Temperatursensorelementes (11) ist.GMR sensor ( 1 ) according to claim 3, characterized in that the at least one finishing layer ( 4 ) has a spring stiffness, which by a factor of at least 0.1 lower than the spring stiffness of housings of the at least one sensor element ( 10 ) and the at least one temperature sensor element ( 11 ). GMR-Sensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschlussschicht (4) eine hohe mechanische Widerstandsfähigkeit und eine hohe chemische Beständigkeit aufweist.GMR sensor ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the finishing layer ( 4 ) has high mechanical resistance and high chemical resistance. GMR-Sensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschlussschicht (4) ein Druckausgleichelement (9) aufweist.GMR sensor ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the finishing layer ( 4 ) a pressure compensation element ( 9 ) having. GMR-Sensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschlussschicht (4) eine Zugentlastung für eine Zuleitung (6) des GMR-Sensors (1) bildet und/oder aufweist.GMR sensor ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the finishing layer ( 4 ) a strain relief for a supply line ( 6 ) of the GMR sensor ( 1 ) forms and / or has. GMR-Sensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschlussschicht (4) ein Bestandteil des Sensorgehäuses (2) ist.GMR sensor ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the finishing layer ( 4 ) a component of the sensor housing ( 2 ). GMR-Sensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das zumindest eine Sensorelement (10) und das zumindest eine Temperatursensorelement (11) auf einer Sensorleiterplatte (15) angeordnet sind.GMR sensor ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one sensor element ( 10 ) and the at least one temperature sensor element ( 11 ) on a sensor circuit board ( 15 ) are arranged. GMR-Sensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der GMR-Sensor (1) eine Steuereinheit (7) zur Auswertung der Signale des zumindest einen Sensorelementes (10) und des zumindest einen Temperatursensorelementes (11) aufweist.GMR sensor ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the GMR sensor ( 1 ) a control unit ( 7 ) for evaluating the signals of the at least one sensor element ( 10 ) and the at least one temperature sensor element ( 11 ) having. GMR-Sensor (1) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinheit (7) auf einer Steuerleiterplatte (17) angeordnet ist, das zumindest eine Sensorelement (10) und das zumindest eine Temperatursensorelement (11) auf einer Sensorleiterplatte (15) angeordnet sind, wobei die Steuerleiterplatte (17) und die Sensorleiterplatte (15) mittels einer flexiblen Verbindungsleiterplatte verbunden sind.GMR sensor ( 1 ) according to claim 10, characterized in that the control unit ( 7 ) on a control board ( 17 ) is arranged, the at least one sensor element ( 10 ) and the at least one temperature sensor element ( 11 ) on a sensor circuit board ( 15 ), wherein the control circuit board ( 17 ) and the sensor circuit board ( 15 ) are connected by means of a flexible connecting circuit board. GMR-Sensor (1) nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinheit (7) zumindest eine Speichereinrichtung zur Speicherung eines Auswerteprogramms aufweist, wobei das Auswerteprogramm von einer Montage der Steuereinheit (7) in das Sensorgehäuse (2) oder nach einer Demontage in die Speichereinrichtung nachladbar ist.GMR sensor ( 1 ) according to claim 10 or 11, characterized in that the control unit ( 7 ) has at least one memory device for storing an evaluation program, wherein the evaluation program of an assembly of the control unit ( 7 ) into the sensor housing ( 2 ) or after disassembly into the storage device is reloadable. GMR-Sensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Schaltausgänge und/oder analoge Ausgänge des GMR-Sensors (1) bei einem Einrichtvorgang des GMR-Sensors (1) mit Signalen be aufschlagt sind, welche den Einrichtvorgang kennzeichnen, wobei diese Signale zur Kennzeichnung eines Einrichtbereiches mit ungültigen oder unsicheren Werten vorher festlegbare Signalformen aufweisen.GMR sensor ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that switching outputs and / or analog outputs of the GMR sensor ( 1 ) during a setup process of the GMR sensor ( 1 ) Be aufschlagt with signals be that are indicative of the setup process, these signals for identifying a Einrichtbereiches with invalid or unsafe values have previously definable signal forms. GMR-Sensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der GMR-Sensor (1) für einen Temperaturbereich von –25°C bis +120°C einsetzbar ist.GMR sensor ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the GMR sensor ( 1 ) can be used for a temperature range of -25 ° C to + 120 ° C. GMR-Sensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Einbettungsschicht (5) gelartig ausgebildet ist.GMR sensor ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the embedding layer ( 5 ) is formed gel-like. Verfahren zum Einrichten eines GMR-Sensors (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei ein Kompensieren von Schaltpunkten des GMR-Sensors (1) mittels magnetischer Felder durch zumindest einen externen Magneten durchgeführt wird.Method for setting up a GMR sensor ( 1 ) according to one of the preceding claims, wherein compensating switching points of the GMR sensor ( 1 ) is performed by means of magnetic fields by at least one external magnet. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass bei einem Einrichtvorgang einer oder mehrere Schaltpunkte des GMR-Sensors (1) entsprechend einer Codierung der magnetischen Felder eingerichtet werden.A method according to claim 16, characterized in that during a set-up one or more switching points of the GMR sensor ( 1 ) are set according to a coding of the magnetic fields. Verfahren zum Einrichten eines GMR-Sensors (1), wobei ein Kompensieren von Schaltpunkten des GMR-Sensors (1) mittels elektrischer Signale durch zumindest eine externe elektrische oder elektronische Steuerung durchgeführt wird.Method for setting up a GMR-Sen sors ( 1 ), compensating switching points of the GMR sensor ( 1 ) is performed by means of electrical signals by at least one external electrical or electronic control. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass bei einem Einrichtvorgang einer oder mehrere Schaltpunkte des GMR-Sensors (1) in einer vorher festlegbaren Abfolge eingerichtet werden.A method according to claim 18, characterized in that during a set-up one or more switching points of the GMR sensor ( 1 ) are set up in a pre-definable sequence. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass der GMR-Sensor (1) ein GMR-Sensor (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 15 ist.Method according to one of claims 16 to 19, characterized in that the GMR sensor ( 1 ) a GMR sensor ( 1 ) according to any one of claims 1 to 15. Einrichtungsvorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 14 bis 16, mit einer Justiereinrichtung (18), welche codierbare Elektro- und/oder Permanentmagnete (19, 19') aufweist.Device for the implementation of the method according to one of claims 14 to 16, with an adjusting device ( 18 ), which encodable electric and / or permanent magnets ( 19 . 19 ' ) having. Einrichtungsvorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass die Justiereinrichtung (18) eine Markierung zur Anzeige einer Richtung eines einzustellenden Schaltpunktes aufweist.A device according to claim 21, characterized in that the adjusting device ( 18 ) has a mark for indicating a direction of a switching point to be set.
DE200810058538 2008-11-21 2008-11-21 Giant magnetoresistance sensor for detection of magnetic material, has sensor element and temperature sensor element arranged in sensor housing with multilayered structure, where elements are enclosed by embedding layer Withdrawn DE102008058538A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200810058538 DE102008058538A1 (en) 2008-11-21 2008-11-21 Giant magnetoresistance sensor for detection of magnetic material, has sensor element and temperature sensor element arranged in sensor housing with multilayered structure, where elements are enclosed by embedding layer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200810058538 DE102008058538A1 (en) 2008-11-21 2008-11-21 Giant magnetoresistance sensor for detection of magnetic material, has sensor element and temperature sensor element arranged in sensor housing with multilayered structure, where elements are enclosed by embedding layer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102008058538A1 true DE102008058538A1 (en) 2010-05-27

Family

ID=42114550

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE200810058538 Withdrawn DE102008058538A1 (en) 2008-11-21 2008-11-21 Giant magnetoresistance sensor for detection of magnetic material, has sensor element and temperature sensor element arranged in sensor housing with multilayered structure, where elements are enclosed by embedding layer

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102008058538A1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102012208589A1 (en) * 2012-05-23 2013-11-28 Zf Friedrichshafen Ag Magnet carrier housing component for e.g. automated shift gear, of motor car, has magnet that is received in carrier housing, where magnet is resiliently pushed towards set of housing walls in support housing
CN103842838A (en) * 2011-05-16 2014-06-04 三菱电机株式会社 Magnetic sensor device
WO2016139049A1 (en) * 2015-03-02 2016-09-09 Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg Field device for automation engineering

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5818685A (en) 1997-05-05 1998-10-06 Read-Rite Corporation CIP GMR sensor coupled to biasing magnet with spacer therebetween
DE19739550C1 (en) 1997-09-09 1998-11-12 Siemens Ag Bias magnetisation method for multi-layer GMR sensor element
US5883763A (en) 1997-08-19 1999-03-16 Read-Rite Corporation Read/write head having a GMR sensor biased by permanent magnets located between the GMR and the pole shields
US20050280411A1 (en) 2004-06-16 2005-12-22 Bicking Robert E GMR sensor with flux concentrators

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5818685A (en) 1997-05-05 1998-10-06 Read-Rite Corporation CIP GMR sensor coupled to biasing magnet with spacer therebetween
US5883763A (en) 1997-08-19 1999-03-16 Read-Rite Corporation Read/write head having a GMR sensor biased by permanent magnets located between the GMR and the pole shields
DE19739550C1 (en) 1997-09-09 1998-11-12 Siemens Ag Bias magnetisation method for multi-layer GMR sensor element
US20050280411A1 (en) 2004-06-16 2005-12-22 Bicking Robert E GMR sensor with flux concentrators

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103842838A (en) * 2011-05-16 2014-06-04 三菱电机株式会社 Magnetic sensor device
US9244135B2 (en) 2011-05-16 2016-01-26 Mitsubishi Electric Corporation Magnetic sensor device
CN103842838B (en) * 2011-05-16 2016-03-16 三菱电机株式会社 Magnet sensor arrangement
DE102012208589A1 (en) * 2012-05-23 2013-11-28 Zf Friedrichshafen Ag Magnet carrier housing component for e.g. automated shift gear, of motor car, has magnet that is received in carrier housing, where magnet is resiliently pushed towards set of housing walls in support housing
WO2016139049A1 (en) * 2015-03-02 2016-09-09 Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg Field device for automation engineering
US10264691B2 (en) 2015-03-02 2019-04-16 Endress+Hauser SE+Co. KG Field device for automation technology

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19680088B4 (en) Calibration and manufacturing process for a magnetic sensor
DE19680089B4 (en) Magnetic sensor with improved calibration
EP2867684B1 (en) Arrangement for measuring current
DE102006022336B4 (en) Magnetic field sensor and Sensoranordenung with the same
DE102006021774B4 (en) Current sensor for galvanically isolated current measurement
DE102009028956A1 (en) magnetic field sensor
DE69619930T2 (en) magnetic field sensors
DE112009000497B4 (en) Origin position signal detector
DE60025146T2 (en) METHOD OF MANUFACTURING A MAGNETIC FENDER ARRANGEMENT
DE3325353A1 (en) POSITION SENSOR
DE102009023106A1 (en) Method and system for magnetic detection
DE102013207159A1 (en) MAGNETIC SENSOR
DE102010025170A1 (en) Device for generating a sensor signal and method for determining the position of a sensor
DE10017374B4 (en) Magnetic coupling device and its use
EP2979102A1 (en) Hall sensor insensitive to external magnetic fields
DE102007003830A1 (en) Device for measuring an electrical current flowing through an electrical conductor
EP1324063A2 (en) Magnetoresistive sensor
DE102008058538A1 (en) Giant magnetoresistance sensor for detection of magnetic material, has sensor element and temperature sensor element arranged in sensor housing with multilayered structure, where elements are enclosed by embedding layer
DE102006007741A1 (en) Current measurement method for measuring current in cable of electric circuit, involves measuring voltage drop for current measurement between voltage drop points of strip conductor
WO2010069285A2 (en) Sensor arrangement and method for determining the position and/or change in position of a measurement object
DE102004047770B4 (en) Sensor for generating an output signal due to a measuring magnetic field and method for matching and for operating such
DE19612422A1 (en) Potentiometer with linearly movable slider and magnetic sensor
DE102012208404A1 (en) Differential magnetic field sensor arrangement
DE102005052906A1 (en) sensor arrangement
DE102004009868B3 (en) Measurement device for linear, contactless object position detection has strip-shaped measurement section with magneto-resistive properties contacted on both opposite long sides by resistance paths of normal resistive material

Legal Events

Date Code Title Description
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20120601