DE102008053621A1 - Light-induced pulsed electroplating to reinforce front metal contacts of solar cells, varies potential, irradiation and current density periodically - Google Patents

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Abstract

In an electroplating apparatus for the solar cells, one or more of the following are varied: potential difference between electrodes and contacts, irradiation of the solar cells and current density. The relevant potential differences are: delta U RHbetween the first metal contact (R) and the auxiliary electrode (H); delta U RVbetween the first metal contact (R) and the second contact (V) and delta U VHbetween the second metal contact (V) and the auxiliary electrode (H). The applied variation accords with a pre-defined voltage/time characteristic and/or corresponding current density variation. The first metal contact (R) is part of the rear solar cell contact and/or a contact on its p-doped side. In addition or alternatively the second metal contact (V) is part of a front contact, an electrical contact on the side facing the light irradiation and/or a contact on the n-doped side. The voltage, current-density or light irradiation is periodic in time. It follows a pulse sequence. Several pulse sequences, including intervals with no variation, are applied. A triangular-, square- or sine waveform is used. Second-, third- or higher degree polynomial waveforms are used. The waveform is exponential. Potential difference variations are produced by appropriately-connected function generator(s) which vary the relevant potential differences between contacts and electrodes. Irradiation of the solar cells is varied over time by a source connected to a frequency generator varying the voltage supplied. As an alternative the cell may be exposed to continuous light, which is interrupted by a mechanical chopper operating periodically. delta U RHis varied in accordance with the predetermined characteristic. In one variant method, delta U RV, delta U VH, and/or the corresponding current density are not varied. Further details of applied voltage time variations between electrodes are described, in accordance with the foregoing principles. An independent claim IS INCLUDED FOR corresponding apparatus.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein lichtinduziertes galvanisches Puls-Abscheidungsverfahren zur galvanischen Verstärkung von Metallkontakten, insbesondere von Vorderseiten- bzw. Frontseitenkontakten, an Solarzellen sowie auf eine Anordnung, die zur Durchführung eines entsprechenden Verfahrens ausgebildet ist.The The present invention relates to a photo-induced galvanic Pulse-deposition method for galvanic amplification of Metal contacts, in particular front side or front side contacts, on solar cells and on an arrangement necessary to carry out a appropriate method is formed.

Der Wirkungsgrad einer Solarzelle hängt unter anderem von der elektrischen Leitfähigkeit der Metallkontakte (also des frontseitigen Kontaktes bzw. Vorderseitenkontaktes und des Rückseitenkontaktes) auf der Solarzelle ab. Eine Erhöhung der elektrischen Leitfähig keit dieser Kontakte führt daher zu einer Erhöhung des Wirkungsgrades der Solarzelle, was erwünscht ist.Of the Efficiency of a solar cell depends among other things, the electrical conductivity of the metal contacts (So the front contact or front side contact and the back contact) on the solar cell off. An increase the electrical conductivity speed leads these contacts therefore an increase the efficiency of the solar cell, which is desirable.

Aus dem Stand der Technik sind verschiedene Verfahren bekannt, um Metallkontakte auf die Solarzellen aufzubringen (z. B. Siebdruck, Aerosoldruck, Schablonendruck, Tintenstrahldruck, Tampondruck oder Laser-Mikro-Sintering). Aus dem Stand der Technik ist darüber hinaus bekannt, die auf die Solarzelle aufgebrachten Metallkontakte mittels der lichtinduzierten Galvanik zu verstärken. Hierbei werden insbesondere die zuvor durch die oben genannten Verfahren aufgebrachten Metallkontakte auf der dem Licht zugewandten Seite der Solarzelle (bzw. die Kontakte der n-dotierten Seite; nachfolgend alternativ auch als zweiter Metallkontakt, Vorderseitenkontakt oder Frontseitenkontakt bezeichnet, obwohl es sich hierbei auch um mehrere einzelne Kontakte handeln kann) galvanisch verstärkt, ohne dass diese Kontakte elektrisch mit einer äußeren Spannungsquelle verbunden sind. Die zur Galvanisierung benötigte elektrische Energie wird durch die beleuchtete Solarzelle selbst geliefert. Der (bzw. die) Frontseitenkontakt(e) stellen die Kathode einer galvanischen Zelle dar, während der Rückseitenkontakt der Solarzelle (also der elektrische Kontakt auf der dem Licht abgewandten Seite) die Anode der galvanischen Zelle darstellt.Out In the prior art, various methods are known for metal contacts applied to the solar cells (eg screen printing, aerosol printing, Stencil printing, ink jet printing, pad printing or laser micro-sintering). It is also known from the prior art, the on the solar cell applied metal contacts by means of the light-induced Amplify electroplating. Here, in particular, the previously by the above-mentioned methods applied metal contacts on the light-facing side the solar cell (or the contacts of the n-doped side; alternatively as a second metal contact, front contact or Front contact means, although this is also several single contacts can act galvanically amplified without these contacts electrically with an external voltage source are connected. The electrical energy needed for electroplating is supplied by the illuminated solar cell itself. The (or the) Front side contact (s) represent the cathode of a galvanic cell while the backside contact the solar cell (ie the electrical contact on the side facing away from the light Side) represents the anode of the galvanic cell.

Da der Rückseitenkontakt in der Regel aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung besteht (auch hier wird nachfolgend von einem Rückseitenkontakt in Einzahl gesprochen, obwohl es sich auch um mehrere einzelne elektrische Kontakte, die auf der Rückseite angeordnet sind, handeln kann), ist der anodische Prozess dieser galvanischen Zelle die elektrochemische Auflösung von Aluminium, also die Auflösung des Rück seitenkontaktes. Dies muss jedoch verhindert werden, wozu eine zusätzliche Hilfselektrode notwendig ist: Zwischen der Rückseite der Solarzelle bzw. dem Rückseitenkontakt und dieser aus dem abzuscheidenden Metall bestehenden Hilfselektrode wird hierzu eine Potentialdifferenz derart angelegt, dass die Rückseite gegenüber dieser Hilfselektrode negativ polarisiert ist (d. h. der Rückseitenkontakt muss auf einem geringeren bzw. negativeren Potential liegen als die Hilfselektrode bzw. die Anode). Anstelle der anodischen Auflösung des Rückseitenkontaktes findet infolgedessen die anodische Auflösung der Hilfselektrode (die nachfolgend alternativ auch als Anode bezeichnet wird) statt. Da der Rückseitenkontakt der Solarzelle in der Regel ganzflächig metallisiert ist, ist die Verbindung des Rückseitenkontaktes mit einer Spannungsquelle technisch wenig anspruchsvoll. Die Hilfselektrode kann somit als Opferanode aufgefasst werden.There the backside contact usually made of aluminum or an aluminum alloy (also here is subsequently of a backside contact in singular spoken, although it is also several single electrical Contacts on the back are arranged, can act) is the anodic process of this Galvanic cell the electrochemical dissolution of aluminum, so the resolution of the Rear side contact. However, this must be prevented, including an additional auxiliary electrode is necessary: Between the back of the Solar cell or the back contact and this consisting of the metal to be deposited auxiliary electrode For this purpose, a potential difference is applied so that the back across from this auxiliary electrode is negatively polarized (i.e., the backside contact must be at a lower or more negative potential than the auxiliary electrode or the anode). Instead of the anodic dissolution of the backside contact As a result, it finds the anodic dissolution of the auxiliary electrode (the hereinafter alternatively referred to as anode) instead. Since the Back contact the solar cell is metallized over the entire surface is usually the connection of the backside contact with a voltage source technically less demanding. The auxiliary electrode can thus be understood as a sacrificial anode.

In dieser lichtinduzierten galvanischen Anordnung stellt sich zwischen der lichtzugewandten Seite der Solarzelle (Vorderseiten- bzw. Frontseitenkontakt) und der Hilfselektrode eine Potentialdifferenz ein, deren Betrag von der zwischen der Rückseite und der Hilfselektrode angelegten Potentialdifferenz einerseits und der zwischen der Rück- und der Vorderseite der Solarzelle auftretenden Potentialdifferenz andererseits abhängt. Letztere wird durch die auf die Solarzelle einfallende Lichtintensität bestimmt.In This light-induced galvanic arrangement intervenes the light-facing side of the solar cell (front or front side contact) and the auxiliary electrode a potential difference, whose amount from between the back and the auxiliary electrode applied potential difference on the one hand and that between the return and the front side of the solar cell occurring potential difference on the other hand depends. The latter is determined by the incident on the solar cell light intensity.

Die durch die lichtinduzierte Galvanik verstärkten Metallkontakte auf Solarzellen weisen jedoch einige Mängel auf: So ist die elektrische Leitfähigkeit der Metallkontakte geringer als die spezifische Leitfähigkeit des entsprechenden Metalls, die Haftung der galvanisch verstärkten Metallschicht auf dem zuvor erzeugten Metallkontakt bzw. die Haftung des Kontaktes auf der Solarzelle ist nicht optimal und das Aspektverhältnis (Verhältnis von Höhe zu Breite) des Metallkontaktes wird durch den galvanischen Prozess verkleinert (es ist jedoch ein möglichst großes Aspektverhältnis erwünscht, um die Abschattung der Solarzelle möglichst gering zu halten). Schließlich treten innere Spannungen im Metallkontakt auf, die jedoch unerwünscht sind, da sie einen nachteiligen Effekt auf die elektrische Leitfähigkeit und/oder die Haftung der Metallkontakte haben und sich ungünstig auf mechanische Eigenschaften der Solarzelle auswirken (insbesondere Letzteres gewinnt angesichts sinkender Waferdicken, Stichwort: Dünnschicht-Solarzellen, an Bedeutung).The through the light-induced electroplating reinforced metal contacts on solar cells however, have some shortcomings on: This is the electrical conductivity of the metal contacts less than the specific conductivity of the corresponding Metal, the adhesion of the galvanically reinforced metal layer on the previously generated metal contact or the adhesion of the contact the solar cell is not optimal and the aspect ratio (ratio of Height too Width) of the metal contact is through the galvanic process reduced (but it is a possible great aspect ratio he wishes, to keep the shading of the solar cell as low as possible). After all occur internal stresses in the metal contact, which are undesirable, because they have a detrimental effect on the electrical conductivity and / or the adhesion of the metal contacts and have unfavorable mechanical properties of the solar cell impact (in particular The latter is gaining importance in view of sinking wafer thicknesses, keyword: thin-film solar cells).

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es somit, ein lichtinduziertes galvanisches Abscheidungsverfahren zur galvanischen Verstärkung von Metallkontakten einer Solarzelle zur Verfügung zu stellen, das die oben genannten nachteiligen Eigenschaften der verstärkten Metallkontakte vermeidet, das somit insbesondere auf einfache und zuverlässige Art und Weise zu einer optimierten elektrischen Leitfähigkeit und zu einer optimierten Haftung der Metallkontakte führt, das zu einer Reduktion der inneren Spannungen in den Metallkontakten führt und das es erlaubt, die verstärkten Metallkontakte mit einem verbesserten Aspektverhältnis herzustellen. Aufgabe ist es darüber hinaus, eine entsprechende Anordnung zur Verfügung zu stellen.It is therefore an object of the present invention to provide a light-induced galvanic deposition method for the galvanic reinforcement of metal contacts of a solar cell, which avoids the abovementioned disadvantageous properties of the reinforced metal contacts, thus providing an optimized electrical conductivity in a simple and reliable manner and leads to an optimized adhesion of the metal contacts, which leads to a reduction of the internal stresses in the metal contacts and which makes it possible to produce the reinforced metal contacts with an improved aspect ratio. In addition, the task is to provide an appropriate arrangement.

Diese Aufgabe wird durch das Verfahren gemäß Patentanspruch 1 sowie durch die Anordnung gemäß Patentanspruch 16 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungsformen des Verfahrens und der Anordnung lassen sich jeweils den abhängigen Ansprüchen entnehmen. Erfindungsgemäße Verwendungen sind im Anspruch 17 beschrieben.These The object is achieved by the method according to claim 1 and by the arrangement according to claim 16 solved. Advantageous embodiments of the method and the arrangement can each be the dependent claims remove. Uses according to the invention are Described in claim 17.

Nachfolgend wird die vorliegende Erfindung nun zunächst allgemein, dann in Form von Ausführungsbeispielen beschrieben. Die Kombinationen von Merkmalen, wie sie sich den einzelnen Ausführungsbeispielen entnehmen lassen, müssen dabei im Rahmen der vorliegenden Erfindung nicht in genau diesen Konfigurationen verwirklicht werden, sondern können (auf Basis des Fachwissens des Fachmanns) im Rahmen des durch die Patentansprüche gegebenen Schutzbereiches auch in anderen Kombinationen verwirklicht sein.following The present invention is now first general, then in the form of exemplary embodiments described. The combinations of characteristics as they relate to the individual embodiments be removed not within the scope of the present invention in exactly this Configurations can be realized but can (based on the expertise the expert) within the scope of the claims Protected area also be realized in other combinations.

Grundlegender Ansatzpunkt der vorliegenden Erfindung ist, dass die aus dem Stand der Technik bekannten lichtinduzierten Galvanikverfahren bisher lediglich als Gleichstromverfahren angewandt wurden, d. h. die Potentialdifferenz zwischen der Rückseite der Solarzelle und der Hilfselektrode ist über die Zeit konstant, ebenso die Potentialdifferenz zwischen der Rückseite und der Vorderseite der Solarzelle (diese ist aufgrund konstant eingestrahlter Lichtintensitäten zeitlich konstant). Unter ”konstant” wird hier verstanden, dass die entsprechenden Potentialdifferenzen und/oder eingestrahlten Lichtintensitäten über die Zeit bis auf die natürlich unvermeidlichen statistischen Schwankungen konstant sind.basic Starting point of the present invention is that of the state the art known light-induced electroplating process so far used only as a DC method, d. H. the potential difference between the back the solar cell and the auxiliary electrode is constant over time, as well the potential difference between the back and the front the solar cell (this is due to constant irradiated light intensities temporal constant). Under "constant" will be here understood that the corresponding potential differences and / or irradiated light intensities on the Time for the course inevitable statistical fluctuations are constant.

Aus den vorbeschriebenen Gründen ist bei den bekannten Verfahren auch die Potentialdifferenz zwischen der Vorderseite und der Hilfselektrode konstant.Out the reasons described above is in the known method, the potential difference between the front and the auxiliary electrode constant.

Im Gegensatz dazu ist das lichtinduzierte galvanische Abscheidungsverfahren erfindungsgemäß so weiterge bildet, dass die Potentialdifferenz ΔURH = UR – UH zwischen einem ersten Metallkontakt R (in der Regel handelt es sich hierbei um den Rückseitenkontakt der Solarzelle) der Solarzelle und der Hilfselektrode H gemäß einer vordefinierten Spannungs-Zeit-Charakteristik zeitabhängig variiert wird (diese Spannungs-Zeit-Charakteristik bzw. zeitliche Variation kann auch als entsprechende Strom-Zeit-Charakteristik aufgefasst werden, im Rahmen der vorliegenden Erfindung kann somit alternativ oder kumulativ auch eine entsprechende Variation von Stromdichtewerten über die Zeit realisiert werden).In contrast, the light-induced electrodeposition process according to the invention is so weiterge forms that the potential difference .DELTA.U RH = U R - U H between a first metal contact R (this is usually the rear side contact of the solar cell) of the solar cell and the auxiliary electrode H according to a predefined voltage-time characteristic is varied time-dependent (this voltage-time characteristic or temporal variation can also be considered as corresponding current-time characteristic, in the context of the present invention, therefore, a corresponding variation of current density values can alternatively or cumulatively the time will be realized).

Diese Potentialdifferenz ΔURH muss nun im zeitlichen Mittel < 0 sein, da sonst die galvanische Auflösung des ersten Metallkontaktes (also insbesondere des Rückseitenkontaktes) stattfinden würde und nicht die galvanische Auflösung der Hilfselektrode. Dies muss jedoch nur im zeitlichen Mittel gelten, so dass durchaus (s. auch nachfolgende Ausführungsbeispiele) auch kurze Zeiträume möglich sind, in denen diese Bedingung nicht erfüllt ist.This potential difference .DELTA.U RH must now be <0 in the time average, since otherwise the galvanic dissolution of the first metal contact (ie, in particular of the rear-side contact) would take place and not the galvanic dissolution of the auxiliary electrode. However, this only has to apply on a temporal average, so that quite short periods of time are also possible (see also following exemplary embodiments) in which this condition is not met.

Alternativ oder auch in Kombination mit der vorbeschriebenen zeitlichen Variation der Potentialdifferenz ΔURH ist es ebenso möglich, die Potentialdifferenz ΔURV = UR – UV (entsprechend der Definition der Solarzellenspannung) zwischen dem ersten Metallkontakt R der Solarzelle und dem zweiten Metallkontakt V der Solarzelle (in der Regel handelt es sich hierbei um den Vorderseitenkontakt bzw. frontseitigen Kontakt der Solarzelle, weswegen er auch mit der Kurzbezeichnung V versehen ist) und/oder die Potentialdifferenz ΔUVH = UV – UH = ΔURH – ΔURV zwischen dem zweiten Metallkontakt V und der Hilfselektrode H gemäß einer vordefinierten Spannungs-Zeit- Charakteristik zeitabhängig zu variieren. UV ist hierbei das elektrische Potential, das am zweiten Kontakt V anliegt bzw. erzeugt wird, UH das an der Hilfselektrode anliegende bzw. erzeugte Potential und UR das am ersten Kontakt R anliegende bzw. erzeugte Potential.Alternatively, or in combination with the above-described temporal variation of the potential difference .DELTA.U RH , it is also possible, the potential difference .DELTA.U RV = U R - U V (corresponding to the definition of the solar cell voltage) between the first metal contact R of the solar cell and the second metal contact V of the solar cell (As a rule, this is the front side contact or front contact of the solar cell, which is why he is also provided with the short name V) and / or the potential difference ΔU VH = U V - U H = .DELTA.U RH - .DELTA.U RV between the second Metal contact V and the auxiliary electrode H according to a predefined voltage-time characteristic to vary over time. In this case, U V is the electrical potential which is applied or generated at the second contact V, U H is the potential applied or generated at the auxiliary electrode, and U R is the potential applied or generated at the first contact R.

Schließlich kann alternativ dazu oder auch in Kombination mit den vorgenannten Variationen auch die Lichteinstrahlung auf die Solarzelle (insbesondere die Lichteinstrahlung in Richtung auf den zweiten Metallkontakt V) gemäß einer vordefinierten Lichtbestrahlungs-Zeit-Charakteristik (bzw. Lichtintensitäts-Zeit-Charakteristik) zeitabhängig variiert werden.Finally, can alternatively or in combination with the aforementioned variations also the light irradiation on the solar cell (in particular the Light irradiation in the direction of the second metal contact V) according to a predefined light irradiation time characteristic (or light intensity-time characteristic) time-dependent be varied.

Erfindungsgemäß werden also durch verschiedene Möglichkeiten Potentialdifferenzen während des Abscheidungsprozesses auf definierte Art und Weise während definierter Zeitintervalle zeitlich verändert, um die Eigenschaften der lichtinduziert galvanisch verstärkten Metallkontakte zu optimieren (in der Regel wird der Vorderseitenkontakt als Kathode verwendet, somit verstärkt).According to the invention So through different possibilities Potential differences during of the deposition process in a defined manner while defined Time intervals changed over time, to the properties of light-induced galvanically reinforced metal contacts to optimize (usually the front side contact as a cathode used, thus reinforced).

Insbesondere kann dabei die Spannungs-Zeit-Charakteristik und/oder die Lichtbestrahlungs-Zeit-Charakteristik periodisch oder in Form von Pulsfolgen zeitlich variiert werden.Especially can the voltage-time characteristic and / or the light irradiation time characteristic periodically or in the form be varied by pulse sequences in time.

Hierbei sind unterschiedliche Spannungs-Zeit-Charakteristiken, Lichtbestrahlungs-Zeit-Charakteristiken und/oder Pulsfolgen denkbar (besonders vorteilhafte werden nachfolgend im Detail beschrieben): So können anodische Pulse an die Anfangsphase einer Pulsroutine gelegt werden, es können auch Pulse verschiedener Größe überlagert werden.in this connection are different voltage-time characteristics, light irradiation time characteristics and / or pulse sequences conceivable (particularly advantageous will be described below in Detail described): So can Anodic pulses are applied to the initial phase of a pulse routine, it can also superimposed pulses of different sizes become.

Ein anodischer Puls ist das Anlegen einer Potentials an ein Werkstück, das eine anodische Reaktion (Oxidation) am Werkstück zur Folge hat, in der vorliegenden Anordnung also ein positives (hohes) Potential. Ein kathodisches Potential ist dasjenige, das eine kathodische Reaktion (Reduktion) am Werkstück zur Folge hat, in vorliegender Anordnung ein negatives (niedriges) Potential.One Anodic pulse is the application of a potential to a workpiece, the anodic reaction (oxidation) on the workpiece results in the present Arrangement thus a positive (high) potential. A cathodic Potential is the one that has a cathodic reaction (reduction) on the workpiece entails, in the present order, a negative (low) Potential.

Ebenso ist es möglich, Pulsfolgen auch selbst zu pulsen, d. h. zwischen einzelnen Pulsfolgen mit jeweils einer in Form von einzelnen Pulsen zeitabhängig variierten Spannungs-Zeit-Charakteristik und/oder Lichtbestrahlungs-Zeit-Charakteristik treten Zeitintervalle auf, in denen keine zeitliche Variation der Spannungs-Zeit-Charakteristik und/oder der Lichtbestrahlungs-Zeit-Charakteristik stattfindet. Die erzeugten Potentialdifferenzen können auch schrittweise geändert werden. Die Form einzelner Pulse kann hierbei nichtlinear sein, neben Dreiecks- oder Rechteckspulsen können auch sinusförmige Pulse, exponentiell geformte Pulse und/oder zwei-, drei- oder höhergradig polynomiale Spannungspulse angelegt werden.As well Is it possible, Pulse trains also to pulse themselves, d. H. between individual pulse sequences each varied in a time-dependent manner in the form of individual pulses Voltage-time characteristic and / or light irradiation time characteristic Time intervals occur in which no temporal variation of the Voltage-time characteristic and / or the light irradiation time characteristic takes place. The generated potential differences can also gradually changed become. The shape of individual pulses can be nonlinear in this case, In addition to triangular or square-wave pulses, sinusoidal pulses can also be exponential shaped pulses and / or two, three or more polynomial voltage pulses be created.

Die sich zwischen der Vorderseite und der Hilfselektrode einstellende Spannung verläuft der angelegten Spannung zwischen dem ersten Metallkontakt R (in der Regel: Rückseitenkontakt) und der Hilfselektrode gleichsinnig, d. h. ein kathodisches Potential an der Rückseite führt zu einem kathodischen Potential an der Vorderseite.The occurring between the front and the auxiliary electrode Tension runs the applied voltage between the first metal contact R (in the rule: back contact) and the auxiliary electrode in the same direction, d. H. a cathodic potential at the back leads to a cathodic potential at the front.

So kann z. B. eine Erniedrigung des Potentials zwischen Rückseite und Hilfselektrode ΔURH z. B. von –0,1 V auf –0,2 V eine Erniedrigung des Potentials zwischen Vorderseite und Hilfselektrode ΔUVH von –0,6 V auf –0,7 V zur Folge haben und eine Erniedrigung von ΔURH von –0,8 V auf –0,9 V nur eine Erniedrigung von ΔUVH von –0,9 V auf –0,91 V.So z. B. a reduction of the potential between the back and auxiliary electrode .DELTA.U RH z. B. from -0.1 V to -0.2 V, a decrease in the potential between the front and auxiliary electrode .DELTA.U VH from -0.6 V to -0.7 V result and a reduction of ΔU RH of -0.8 V to -0.9 V only a decrease of ΔU VH from -0.9 V to -0.91 V.

Vorteilhafterweise kann erfindungsgemäß die Potentialdifferenz ΔURH über eine mit einem Funktionsgenerator verbundene, zwischen den ersten Metallkontakt und die Hilfselektrode geschaltete Spannungsquelle erzeugt werden: Mittels des Funktionsgenerators wird dann die von der Spannungsquelle erzeugte, zwischen dem ersten Metallkontakt und der Hilfselektrode angelegte Potentialdifferenz ΔURH zeitabhängig variiert.Advantageously, the potential difference .DELTA.U RH over a connected to a function generator between the first metal contact and the auxiliary electrode switched voltage source can be produced according to the invention: By means of the function generator voltage applied between the first metal contact and the auxiliary electrode potential difference .DELTA.U RH is then generated by the voltage source will vary dependent on time ,

Alternativ dazu ist es jedoch auch möglich, diese Potentialdifferenz zeitlich zu variieren, indem zeitlich aufeinanderfolgend jeweils unterschiedliche Spannungsquellen (die unterschiedliche Spannungen erzeugen) zwischen den ersten Metallkontakt und die Hilfselektrode geschaltet werden. Dies ist insbesondere vorteilhaft im Verlauf von Inline-Prozessen bei der Fertigung der Solarzellen.alternative but it is also possible to do this To vary the potential difference in time by temporally successive each different voltage sources (the different Generate voltages) between the first metal contact and the auxiliary electrode be switched. This is particularly advantageous in the course of inline processes in the production of solar cells.

Erfindungsgemäß kann die Lichtbestrahlungs-Zeit-Charakteristik des auf die Solarzelle eingestrahlten Lichts variiert werden, indem eine die Solarzelle (insbesondere den Vorderseitenkontakt) bestrahlende Lichtquelle mit einem Frequenzgenerator verbunden wird. Mit Letzterem kann dann die an der Lichtquelle anliegende Spannung zeitabhängig variiert werden, so dass die von der Lichtquelle ausgestrahlte Licht intensität eine entsprechende zeitliche Variation aufweist.According to the invention, the Light irradiation time characteristic of the light irradiated to the solar cell can be varied by: a the solar cell (in particular the front side contact) irradiating Light source is connected to a frequency generator. With the latter then the voltage applied to the light source voltage can be varied over time be so that the light emitted from the light source intensity a corresponding has temporal variation.

Alternativ dazu ist es jedoch auch möglich, mit einer mit konstanter Spannung betriebenen Lichtquelle (die somit kontinuierlich eine konstante Intensität abgibt) auf die Solarzelle einzustrahlen und zwischen der Solarzelle und der sie bestrahlenden Lichtquelle eine mechanische Vorrichtung, insbesondere einen mechanischen Chopper, anzuordnen: Mit dieser mechanischen Vorrichtung kann dann zeitabschnittsweise, insbesondere periodisch, die Solarzelle von dem auf sie eingestrahlten Licht abgeschirmt werden.alternative but it is also possible with a constant voltage operated light source (thus continuously emits a constant intensity) on the solar cell to radiate and between the solar cell and the irradiating them Light source is a mechanical device, in particular a mechanical Chopper, to order: With this mechanical device can then Periodically, in particular periodically, the solar cell of shielded from the light irradiated to them.

Nachfolgend wird die vorliegende Erfindung nun anhand mehrerer Ausführungsbeispiele beschrieben. Hierzu zeigen:following The present invention will now be described with reference to several embodiments described. Show:

1 die grundlegende Anordnung, wie sie zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens verwendet wird; 1 the basic arrangement, as used for carrying out the method according to the invention;

2a–2d insgesamt vier Beispiele für zeitliche Variationen der Potentialdifferenz ΔURH zwischen Solarzellenrückseite und Hilfselektrode; 2a - 2d a total of four examples of temporal variations of the potential difference ΔU RH between the back of the solar cell and the auxiliary electrode;

3 ein Beispiel für eine Variation der Intensität des Lichteinfalls auf die Solarzelle; 3 an example of a variation of the intensity of the light incident on the solar cell;

4a, 4b ein Beispiel für die Variation der Potentialdifferenz zwischen Solarzellenrückseite und Hilfselektrode in Kombination mit einer Variation der Intensität des Lichteinfalls auf die Solarzelle. 4a . 4b an example of the variation of the potential difference between solar cell back and auxiliary electrode in combination with a variation of the intensity of the light incident on the solar cell.

1 zeigt eine erfindungsgemäße Anordnung, die zum Durchführen eines lichtinduzierten galvanischen Abscheidungsverfahrens gemäß der Erfindung ausgebildet ist. In einem Behälter 1 befindet sich ein elektrolytisches Bad 6, in dem eine Hilfselektrode H (die als Anode der galvanischen Abscheidung dient) angeordnet ist. Ebenfalls im galvanischen Bad 6 ist eine Solarzelle S mit einem Vorderseitenkontakt V und einem auf der gegenüberliegenden Seite der Solarzelle ausgebildeten Rückseitenkontakt R angeordnet (Rückseitenkontakt R = erster Metallkontakt, Vorderseitenkontakt V = zweiter Metallkontakt). 1 shows an arrangement according to the invention, which is designed for performing a photo-induced galvanic deposition method according to the invention. In a container 1 there is an electrolytic bath 6 in which an auxiliary electrode H (which serves as the anode of the electrodeposition) is arranged. Also in the galvanic bath 6 a solar cell S is arranged with a front side contact V and a rear contact R formed on the opposite side of the solar cell (back contact R = first metal contact, front contact V = second metal contact).

Die Hilfselektrode H ist über eine isolierte elektrische Zuleitung 12 und eine isolierte elektrische Zuleitung 11 mit dem Rückseitenkontakt R elektrisch verbunden. Zwischen die beiden Leitungen 11 und 12 ist eine Spannungsquelle 2 geschaltet, mit der die zwischen der Hilfselektrode H und dem Rückseitenkontakt R anliegende Potentialdifferenz ΔURH zeitabhängig variiert werden kann.The auxiliary electrode H is via an insulated electrical supply line 12 and an insulated electrical lead 11 with the back contact R electrical connected. Between the two lines 11 and 12 is a voltage source 2 connected, with which the applied between the auxiliary electrode H and the back contact R potential difference ΔU RH can be varied time-dependent.

Diese zeitabhängige Variation wird dadurch bewerkstelligt, dass mittels eines Funktionsgenerators 3 (der mittels der Leitung 13 mit der Spannungsquelle 2 verbunden ist) die von der Spannungsquelle 2 erzeugte Spannung zeitabhängig variiert wird.This time-dependent variation is accomplished by means of a function generator 3 (by means of the line 13 with the voltage source 2 connected) from the voltage source 2 generated voltage is varied time-dependent.

Schließlich ist oberhalb der Anordnung aus Hilfselektrode H, Bad 6 und Solarzelle S eine Lichtquelle 4 angeordnet, mit der die Seite des Vorderseitenkontakts V der Solarzelle S mit elektromagnetischer Strahlung bestrahlt werden kann 5, die die Stromerzeugung in der Solarzelle bewirkt.Finally, above the arrangement of auxiliary electrode H, bath 6 and solar cell S is a light source 4 arranged, with which the side of the front side contact V of the solar cell S can be irradiated with electromagnetic radiation 5 , which causes the power generation in the solar cell.

Wie 2a–2d zeigen, ist zur Variation der Potentialdifferenz ΔURH zwischen der Solarzellenrückseite (Rückseitenkontakt R) und der Hilfselektrode H die Spannungsquelle 2 mittels des Funktionsgenerators 3 so gesteuert, dass die in diesen Figuren gezeigten Spannungs-Zeit-Charakteristiken verwirklicht werden. Über den Funktionsgenerator kann somit die Spannungsquelle 2 so gesteuert werden, dass nahezu beliebige Spannungsfolgen zwischen der Solarzellenrückseite R und der Hilfselektrode H (und somit auch zwischen der Vorderseite V und der Hilfselektrode H) erzeugt werden können.As 2a - 2d 2, for varying the potential difference ΔU RH between the solar cell rear side (back contact R) and the auxiliary electrode H, the voltage source is shown 2 by means of the function generator 3 so controlled that the voltage-time characteristics shown in these figures are realized. The voltage generator can thus be used via the function generator 2 be controlled so that almost any voltage sequences between the solar cell rear side R and the auxiliary electrode H (and thus also between the front side V and the auxiliary electrode H) can be generated.

2a zeigt eine erste erfindungsgemäße Spannungs-Zeit-Charakteristik der Potentialdifferenz ΔURH. Im Zeitintervall zwischen den Zeitpunkten t0 und t1 (Zeitintervall [t0, t1]) liegt keine Potentialdifferenz zwischen der Rückseite R und der Hilfselektrode H an, es gilt also ΔURH = UOC ≠ 0 (UOC ist die opencircuit-Potentialdifferenz); open circuit potential bedeutet, dass keine Potentialdifferenz angelegt wird (es stellt sich dem elektrochemischen System folgend eine Potentialdifferenz ein). 2a shows a first inventive voltage-time characteristic of the potential difference ΔU RH . In the time interval between the times t 0 and t 1 (time interval [t 0 , t 1 ]), there is no potential difference between the rear side R and the auxiliary electrode H, ie ΔU RH = U OC ≠ 0 (U OC is the open circuit). potential difference); Open circuit potential means that no potential difference is applied (a potential difference follows the electrochemical system).

Im auf das Zeitintervall [to, ts] folgenden Zeitintervall [t1, t2] wird nun am Rückseitenkontakt R ein hoher kathodischer Spannungspuls U1 angelegt (d. h. die Rückseite R wird auf ein negativeres Potential gesetzt als die Hilfselektrode bzw. Anode H). Eine hohe kathodische Spannung zwischen Rückseite R und Hilfselektrode H führt bei konstantem Lichteinfall zu einer hohen kathodischen Spannung zwischen der Vor derseite V und der Hilfselektrode H. Während dieses Spannungspulses ist die Keimbildungsrate hoch.In the time interval [t 1 , t 2 ] following the time interval [t o , t s ], a high cathodic voltage pulse U 1 is now applied to the rear-side contact R (ie the rear side R is set to a more negative potential than the auxiliary electrode or anode H) ). A high cathodic voltage between the back R and auxiliary electrode H leads at constant light incidence to a high cathodic voltage between the front side V and the auxiliary electrode H. During this voltage pulse, the nucleation rate is high.

Zum Zeitpunkt t2 wird ein moderater, konstanter kathodischer Spannungswert U1 an die Rückseite R angelegt und beibehalten (d. h. die Rückseite R ist immer noch auf einem negativeren Potential als die Hilfselektrode H, die Potentialdifferenz ist jetzt jedoch geringer); während dieser Phase wachsen die Metallkeime, die durch den Spannungspuls erzeugt wurden. Die abgeschiedene Metallschicht wird durch diese Vorgehensweise feinkristallin, das Gefüge dichter und die elektrische Leitfähigkeit des Vorderseitenkontaktes V dadurch höher.At time t 2 , a moderate, constant cathodic voltage value U 1 is applied to the backside R and maintained (ie the backside R is still at a more negative potential than the auxiliary electrode H, but the potential difference is now lower); During this phase, the metal nuclei generated by the voltage pulse grow. As a result of this procedure, the deposited metal layer becomes finely crystalline, the microstructure denser, and the electrical conductivity of the front side contact V thereby higher.

Die Intervalllänge [t1, t2] liegt bevorzugt zwischen 0.01 ms und 10 s, besonders bevorzugt zwischen 1 ms und 1 s. U1 liegt bevorzugt zwischen –2.0 V und –0.5 V, besonders bevorzugt zwischen –1.5 V und –0.8 V. U1, liegt bevorzugt zwischen –1 V und –0.1 V, besonders bevorzugt zwischen –0.6 V und –0.2 V.The interval length [t 1 , t 2 ] is preferably between 0.01 ms and 10 s, more preferably between 1 ms and 1 s. U 1 is preferably between -2.0 V and -0.5 V, particularly preferably between -1.5 V and -0.8 V. U 1 , is preferably between -1 V and -0.1 V, particularly preferably between -0.6 V and -0.2 V.

2b zeigt ein weiteres Beispiel für eine zeitabhängige Variation der Potentialdifferenz ΔURH, hier in Form einer Pulsfolge: Im Zeitintervall [t0, t1] ist keine Potentialdifferenz vorhanden. Während des Zeitintervalls [t1, t2] wird dann ein kathodischer Spannungspuls U2 zwischen der Rückseite R der Solarzelle und der Hilfselektrode H angelegt und somit die Metallabscheidung an der Vorderseite V eingeleitet. Im nachfolgenden Zeitintervall [t2, t3] wird nun jedoch ein anodischer Puls U2' angelegt (d. h. dass, für ein kurzes Zeitintervall, der Rückseitenkontakt auf einem positiveren Potential liegt als die Hilfselektrode H), der bei geeignetem Lichteinfall 5 einen einebnenden Effekt hat. Im Intervall [t3, t4] (spannungsfreie Zeit bzw. keine Potentialdifferenz vorhanden) können störende Elektrolytbestandteile von den Metallkontakten desorbieren, und die Diffusionsschicht kann sich regenerieren. Wie 2b zeigt, kann die vorbeschriebene Pulsform des Intervalls [t0, t3] beliebig oft wiederholt werden (Ausgestalten der beschriebenen zeitlichen Variation von ΔURH als Pulszug). Die Haftung, die Morphologie sowie die elektrische Leitfähigkeit der abgeschiedenen Metallschicht des Vorderseitenkontakts V werden durch diese Pulsfolge verbessert. 2 B shows another example of a time-dependent variation of the potential difference ΔU RH , here in the form of a pulse train: In the time interval [t 0 , t 1 ] no potential difference is present. During the time interval [t 1 , t 2 ], a cathodic voltage pulse U 2 is then applied between the back side R of the solar cell and the auxiliary electrode H, and thus the metal deposition on the front side V is initiated. In the subsequent time interval [t 2 , t 3 ], however, an anodic pulse U 2 ' is now applied (ie, for a short time interval, the back contact is at a more positive potential than the auxiliary electrode H), which is at a suitable incidence of light 5 has a leveling effect. In the interval [t 3 , t 4 ] (voltage-free time or no potential difference present) can disturbing electrolyte components desorb from the metal contacts, and the diffusion layer can regenerate. As 2 B shows, the above-described pulse shape of the interval [t 0 , t 3 ] can be repeated as often (shaping the described time variation of ΔU RH as a pulse train). The adhesion, the morphology and the electrical conductivity of the deposited metal layer of the front-side contact V are improved by this pulse sequence.

Dabei kann das Zeitintervall [t1, t2] eine Dauer von zwischen 0.01 ms und 1 s aufweisen, bevorzugt zwischen 0.1 ms und 100 ms. t3 – t2 liegt bevorzugt zwischen 0.001 ms und 1 s, besonders bevorzugt zwischen 0.1 ms und 0.5 s. t4 – t3 liegt bevorzugt zwischen 0.001 ms und 1 s besonders bevorzugt zwischen 1 ms und 0.5 s. U2 liegt bevorzugt zwischen –0.1 V und –1.0 V, besonders bevorzugt zwischen –0.2 V und –0.6 V. U2, liegt bevorzugt zwischen +0.1 V und +5 V, besonders bevorzugt zwischen +0.2 V und +1.5 V.The time interval [t 1 , t 2 ] may have a duration of between 0.01 ms and 1 s, preferably between 0.1 ms and 100 ms. t 3 -t 2 is preferably between 0.001 ms and 1 s, more preferably between 0.1 ms and 0.5 s. t 4 -t 3 is preferably between 0.001 ms and 1 s, more preferably between 1 ms and 0.5 s. U 2 is preferably between -0.1 V and -1.0 V, more preferably between -0.2 V and -0.6 V. U2, is preferably between +0.1 V and +5 V, particularly preferably between +0.2 V and +1.5 V.

2c zeigt ein weiteres Beispiel für eine zeitliche Variation der Potentialdifferenz ΔURH, bei dem eine kathodische Spannungsrampe (linearer Verlauf) von der Potentialdifferenz 0 V auf den (negativen) Wert U3 erzeugt wird. Auch durch diese Spannungs-Zeit-Charakteristik wird eine Verbesserung der abgeschiedenen Metallschicht erreicht. Hierbei kann t2 – t1 zwischen 0.1 s und 10000 s liegen, bevorzugt zwischen 10 s und 100 s, U3 kann zwischen –1.0 V und –0.1 V liegen, bevorzugt zwischen –0.6 V und –0.2 V. 2c shows another example of a temporal variation of the potential difference ΔU RH , in which a cathodic voltage ramp (linear course) of the potential difference 0 V to the (negative) value U 3 is generated. Also by this voltage-time characteristic, an improvement of the deposited metal layer is achieved. in this connection t 2 - t 1 can be between 0.1 s and 10000 s, preferably between 10 s and 100 s, U 3 can be between -1.0 V and -0.1 V, preferably between -0.6 V and -0.2 V.

Ein letztes Beispiel für eine erfindungsgemäße, vorteilhafte Variation der Potentialdifferenz ΔURH ist in 2d gezeigt: Hier wird die Spannung zwischen Rückseitenkontakt R und Hilfselektrode H schrittweise geändert (in Form einer betragsmäßigen Erhöhung dieser Potentialdifferenz). Dies kann technisch entweder wie vorbeschrieben durch einen Funktionsgenerator realisiert werden oder dadurch, dass (wie z. B. in einer Inline-Anlage für die Produktion von Solarzellen) mehrere separat ansteuerbare Kontaktierungsvorrichtungen die sich in Bewegung befindlichen Solarzellen zeitlich aufeinanderfolgend mit separaten Spannungsquellen, welche unterschiedliche Spannungen erzeugen, verbinden.A final example of an advantageous variation of the potential difference ΔU RH according to the invention is shown in FIG 2d Here, the voltage between rear contact R and auxiliary electrode H is changed stepwise (in the form of a magnitude increase of this potential difference). This can be technically realized either as described above by a function generator or by the fact that (as in an inline plant for the production of solar cells) several separately controllable contacting devices, the solar cells in motion in succession with separate voltage sources, which different Create voltages, connect.

Nach der Zeit t1 (bis zu der keine Potentialdifferenz anliegt) wird die Spannung zwischen der Rückseite R und der Hilfselektrode H auf einen (negativen) Wert U4 geändert (Rückseite R auf negativem Potential relativ zur Hilfselektrode H). Dieses negative Potential der Rückseite R relativ zur Hilfselektrode H wird nun betragsmäßig schrittweise erhöht: Zunächst wird für die Dauer t2 – t1 die Spannung U4 aufrechterhalten. Dann wird im Zeitintervall [t2, t3] eine betragsmäßig größere Potentialdifferenz U4. zwischen Rückseite R und Hilfselektrode H eingestellt. Zum Zeitpunkt t3 wird die Potentialdifferenz (betragsmäßig) auf U4'' erhöht.After the time t 1 (to which no potential difference is applied), the voltage between the rear side R and the auxiliary electrode H is changed to a (negative) value U 4 (rear side R at a negative potential relative to the auxiliary electrode H). This negative potential of the rear side R relative to the auxiliary electrode H is now increased in terms of magnitude stepwise: First, the voltage U 4 is maintained for the duration t 2 - t 1 . Then, in the time interval [t 2 , t 3 ], a magnitude larger potential difference U 4 . between back R and auxiliary electrode H set. At time t 3 , the potential difference (in terms of amount) is increased to U 4 " .

Die Zeitdauern t1 – t0, t2 – t1 und t3 – t2 können zwischen 0.1 s und 10000 s liegen, bevorzugt zwischen 10 s und 1000 s. U4 – UOC, U4' – U4 und U4'' – U4' können zwischen –0.01 V und –1 V liegen, bevorzugt zwischen –0.1 V und –0.5 V.The time periods t 1 -t 0 , t 2 -t 1 and t 3 -t 2 can be between 0.1 s and 10000 s, preferably between 10 s and 1000 s. U 4 -U OC , U 4 ' -U 4 and U 4 " -U 4' may be between -0.01V and -1V, preferably between -0.1V and -0.5V.

3a und 3b zeigen ein weiteres Beispiel eines erfindungsgemäßen lichtinduzierten galvanischen Abscheidungsverfahrens, bei dem die Lichteinstrahlung auf die Solarzellenvorderseite periodisch variiert wird: Mithilfe eines Choppers wird ein kontinuierlicher Lichteinfall 5 (Chopper in 1 nicht gezeigt) auf die Solarzelle in einen sich periodisch ändernden Lichteinfall umgewandelt. Daraus resultieren periodische Änderungen der Potentialdifferenz ΔURV zwischen der Rückseite und der Vorderseite der Solarzelle und somit auch periodische Änderungen der Potentialdifferenz ΔUVH zwischen der Vorderseite und der Hilfselektrode. 3a and 3b show a further example of a light-induced galvanic deposition method according to the invention, in which the light irradiation is periodically varied on the solar cell front side: With the aid of a chopper, a continuous light incidence 5 (Chopper in 1 not shown) are converted to the solar cell in a periodically changing light. This results in periodic changes of the potential difference .DELTA.U RV between the back and the front of the solar cell and thus also periodic changes in the potential difference .DELTA.U VH between the front and the auxiliary electrode.

Alternativ dazu kann auch die Spannungsversorgung der Lichtquelle mit einem Funktionsgenerator verbunden werden, um solche (bzw. beliebig andere) sich ändernde Lichtsignale zu erzeugen. Die Potentialdifferenz zwischen der Rück- und der Vorderseite der Solarzelle kann somit in einem bestimmten Bereich variiert werden. Die Potentialdifferenz zwischen der Vorderseite und der Hilfselektrode kann folglich ebenfalls in bestimmten Grenzen variiert werden.alternative This can also be the power supply of the light source with a Function generator connected to such (or any other) changing To generate light signals. The potential difference between the return and The front of the solar cell can thus be in a certain range be varied. The potential difference between the front and the auxiliary electrode can therefore also within certain limits be varied.

3a zeigt ein Beispiel für ein durch einen Chopper erzeugtes, sich periodisch änderndes Lichtsignal. Zum Zeitpunkt t1 wird ein Lichtsignal der Intensität I0 durch den Chopper in ein Signal der Intensität I1 geändert (I1 > I0). Die Intensität I0 liegt während des Zeitintervalls [t0, t1] an, die Intensität I1 im Intervall [t1, t2]. Diese Lichtbestrahlungs-Zeit-Charakteristik im Zeitintervall [t0, t2] kann nun beliebig oft in Form einer Bestrahlungspulsfolge wiederholt werden. Eine geringe Lichtintensität hat eine geringe positive Solarzellenspannung URV (Potential zwischen der Rückseite R und der Vorderseite V der Solarzelle S) zur Folge, bei der Intensität von 0 W/m2 fällt die Spannung auf 0 V ab. Eine geringe Solarzellenspannung hat eine geringe kathodische Spannung zwischen der Vorderseite und der Hilfselektrode zur Folge. 3a shows an example of a chopper generated, periodically changing light signal. At time t 1 , a light signal of intensity I 0 is changed by the chopper into a signal of intensity I 1 (I 1 > I 0 ). The intensity I 0 is applied during the time interval [t 0 , t 1 ], the intensity I 1 in the interval [t 1 , t 2 ]. This light irradiation time characteristic in the time interval [t 0 , t 2 ] can now be repeated as often as desired in the form of an irradiation pulse sequence. A low light intensity results in a low positive solar cell voltage U RV (potential between the back side R and the front side V of the solar cell S), at the intensity of 0 W / m 2 the voltage drops to 0 V. Low solar cell voltage results in low cathodic voltage between the front and the auxiliary electrode.

Wie in 3b gezeigt ist, wechselt (eine konstante Potentialdifferenz zwischen Rückseite R und Hilfselektrode H vorausgesetzt) die Spannung zwischen der Vorderseite V und der Hilfselektrode H periodisch in den Grenzen von angelegter Spannung Solarzellenrückseite-Hilfselektrode (U0 bei der Intensität I0) und diesem Potential erniedrigt um den Betrag der Solarzellenspannung, die sich bei gegebener Lichtintensität einstellt (U1 bei der Intensität I1).As in 3b 2 (assuming a constant potential difference between the back side R and the auxiliary electrode H), the voltage between the front side V and the auxiliary electrode H periodically changes within the limits of applied voltage of the backside solar cell auxiliary electrode (U 0 at the intensity I 0 ) and this potential the amount of solar cell voltage, which sets at a given light intensity (U 1 at the intensity I 1 ).

Vorteilhafterweise können die Zeitdauern t2 – t1 und t1 – t0 bzw. t3 – t2 ([t2, t3]: erste Hälfte des zweiten Bestrahlungspulses) jeweils zwischen 0.01 ms und 1 s, besonders bevorzugt zwischen 0.1 ms und 100 ms liegen. I0 kann zwischen 0 W/m2 und 100 W/m2 liegen, bevorzugt zwischen 0 W/m2 und 1 W/m2. I1 kann zwischen 100 W/m2 und 2000 W/m2 liegen, bevorzugt zwischen 500 W/m2 und 1500 W/m2.Advantageously, the periods t 2 -t 1 and t 1 -t 0 or t 3 -t 2 ([t 2 , t 3 ]: first half of the second irradiation pulse) each between 0.01 ms and 1 s, more preferably between 0.1 ms and 100 ms are. I 0 can be between 0 W / m 2 and 100 W / m 2 , preferably between 0 W / m 2 and 1 W / m 2 . I 1 can be between 100 W / m 2 and 2000 W / m 2 , preferably between 500 W / m 2 and 1500 W / m 2 .

Wenn die Spannungsversorgung der Lichtquelle 4 mit einem Frequenzgenerator (nicht gezeigt) verbunden ist, können beliebige Lichtintensitätspulsfolgen generiert werden, die der Form nach den in den 2a–2d aufgeführten Spannungspulsen entsprechen, mit der Einschränkung, dass nur positive Spannungen (aufgrund positiver Lichtintensitäten) möglich sind. Die daraus resultierenden Potentialdifferenzen zwischen der Vorderseite V und der Hilfselektrode H sind, eine konstante kathodische Spannung zwischen der Rückseite R und der Hilfselektrode H vorausgesetzt, kathodisch und vom Betrag her dieser Rückseitenspannung gleich (bei einer Intensität von 0) oder größer als diese (bei einer Intensität > 0).When the power supply of the light source 4 is connected to a frequency generator (not shown), any light intensity pulse sequences can be generated, which in the form of the 2a - 2d with the restriction that only positive voltages (due to positive light intensities) are possible. The resulting potential differences between the front side V and the auxiliary electrode H, given a constant cathodic voltage between the back side R and the auxiliary electrode H, are cathodic and in magnitude equal to this back side voltage (at an intensity of 0) or higher (at a Intensity> 0).

Die mit dem in 3 beschriebenen Vorgehen erzielten Abscheidungen am Vorderseitenkontakt V sind feinkristalliner, haften besser und haben eine höhere elektrische Leitfähigkeit als die nach dem Stand der Technik erzielten Kontakte.The with the in 3 described procedure obtained at the front side contact V are finely crystalline, adhere better and have a higher electrical conductivity than the contacts obtained in the prior art.

4a und 4b zeigen schließlich ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung, bei dem sowohl eine Variation der Potentialdifferenz ΔURH zwischen Rückseite R und Hilfselektrode H als auch eine Variation der Intensität des Lichteinfalls auf die Solarzelle vorgenommen wird. Generell gilt, dass alle bei den beschriebenen Beispielen aufgeführten Varianten, Potentialdifferenzen und/oder Intensitätscharakteristika zu ändern, auch miteinander kombiniert werden können, also zeitgleich, zeitlich versetzt zueinander oder zeitlich aufeinanderfolgend angewandt werden können. 4a and 4b Finally, show a further embodiment of the invention, in which both a variation of the potential difference .DELTA.U RH between the back side R and auxiliary electrode H and a variation of the intensity of the incident light is made on the solar cell. In general, all the variants listed in the described examples, to change potential differences and / or intensity characteristics, can also be combined with one another, that is to say they can be applied at the same time, offset in time from one another or in succession.

4a zeigt eine dieser möglichen Kombinationen: Als Beispiel wird die in 2a gezeigte Spannungspulsroutine mit einer periodischen Änderung des Lichtsignals kombiniert, wobei die Änderung des Lichtsignals ähnlich wie beim in 3a gezeigten Fall realisiert wurde. Bei t1 wird gleichzeitig die Lichtintensität von I0 auf I1 angehoben und die Spannung zwischen Rückseite R und Hilfselektrode H von UOC auf U1 geändert. Nach einer Zeitspanne t2 – t1, also zum Zeitpunkt t2, wird das Lichtsignal auf die Intensität I0 verringert, während die Spannung den Wert U2 annimmt (U1 < U2 < 0). Die Spannung wird im weiteren Verlauf beibehalten, die Intensität des Lichtsignals wird nach einer Zeitspanne t3 – t2, die der Dauer t2 – t1 entsprechen kann, für die Dauer t4 – t3 wieder auf den Wert I1 angehoben und zum Zeitpunkt t4 auf I0 abgesenkt usw. Die Lichtintensität wird also im weiteren Verlauf periodisch (Pulsform entsprechend des Verlaufs in [t1, t3]) mit der Periodendauer t3 – t1 geändert. 4a shows one of these possible combinations: As an example, the in 2a shown voltage pulse routine combined with a periodic change of the light signal, wherein the change of the light signal similar to that in 3a case has been realized. At t 1 , the light intensity is simultaneously raised from I 0 to I 1 and the voltage between the rear side R and the auxiliary electrode H is changed from U OC to U 1 . After a time interval t 2 -t 1 , ie at the time t 2 , the light signal is reduced to the intensity I 0 , while the voltage assumes the value U 2 (U 1 <U 2 <0). The voltage is maintained in the further course, the intensity of the light signal after a time t 3 - t 2 , which may correspond to the duration t 2 - t 1 , for the duration t 4 - t 3 again raised to the value I 1 and the Time t 4 lowered to I 0 , etc. So the light intensity is changed periodically (pulse shape corresponding to the course in [t 1 , t 3 ]) with the period duration t 3 - t 1 in the further course.

In 4b ist die aus dieser Kombination resultierende Spannung zwischen der Vorderseite V und der Hilfselektrode H als Funktion der Zeit t dargestellt. Bei t1 stellt sich ein von U0 abweichendes, hohes kathodisches Potential U1 ein, das nach t2 (betragsmäßig) auf den Wert U2 absinkt. Infolge des periodisch sich ändernden Lichteinfalls ändert sich der Potentialwert dann periodisch zwischen U2 und U3 (U1 < U3 < U2 < U0 mit U0 als der durch I0 verursachten Potentialdifferenz).In 4b is the voltage resulting from this combination between the front side V and the auxiliary electrode H as a function of time t. At t 1 , a deviating from U 0 , high cathodic potential U 1 , which decreases after t 2 (amount) to the value of U 2 . As a result of the periodically changing light incidence, the potential value then periodically changes between U 2 and U 3 (U 1 <U 3 <U 2 <U 0 with U 0 as the potential difference caused by I 0 ).

t2 – t1 kann zwischen 0.01 ms und 1 s liegen, bevorzugt zwischen 0.1 ms und 1000 ms. U1 kann zwischen –2.0 V und –0.5 V liegen, bevorzugt zwischen –1.5 V und –0.8 V. U2 kann zwischen –1 V und –0.1 V liegen, bevorzugt zwischen –0.6 V und –0.2 V. t3 – t2 kann zwischen 0.01 ms und 1 s, bevorzugt 0.1 ms und 100 ms liegen. I0 kann zwischen 0 W/m2 und 100 W/m2 liegen, bevorzugt 0 W/m2 und 1 W/m2. I1 kann zwischen 100 W/m2 und 2000 W/m2 liegen, bevorzugt zwischen 500 W/m2 und 1500 W/m2. t1 – t0 kann zwischen 0 min und 10 min liegen, bevorzugt zwischen 1 min und 5 min.t 2 -t 1 can be between 0.01 ms and 1 s, preferably between 0.1 ms and 1000 ms. U 1 can be between -2.0 V and -0.5 V, preferably between -1.5 V and -0.8 V. U 2 can be between -1 V and -0.1 V, preferably between -0.6 V and -0.2 V. t 3 -t 2 can be between 0.01 ms and 1 s, preferably 0.1 ms and 100 ms. I 0 can be between 0 W / m 2 and 100 W / m 2 , preferably 0 W / m 2 and 1 W / m 2 . I 1 can be between 100 W / m 2 and 2000 W / m 2 , preferably between 500 W / m 2 and 1500 W / m 2 . t 1 -t 0 can be between 0 min and 10 min, preferably between 1 min and 5 min.

Die in den oben erläuterten Ausführungsbeispielen der Erfindung beschriebenen Vorgehensweisen, die Potentialdifferenz während des Abscheidungsprozesses zeitlich zu verändern, ist unabhängig von dem verwendeten Elektrolyten des elektrolytischen Bades 6. Die beschriebenen Verfahren können in allen gängigen, dem Stand der Galvanotechnik für das jeweilige Metall entsprechenden Elektrolyten durchgeführt werden.The procedures described in the above-explained embodiments of the invention for temporally changing the potential difference during the deposition process are independent of the electrolytic bath electrolyte used 6 , The described methods can be carried out in all conventional electrolytes which correspond to the state of electroplating technology for the respective metal.

Claims (17)

Lichtinduziertes galvanisches Abscheidungsverfahren zur galvanischen Verstärkung eines Metallkontaktes einer Solarzelle (S), wobei die Solarzelle (S) und eine als Anode dienende Hilfselektrode (H) zumindest abschnittsweise in einem elektrolytischen Bad (6) angeordnet werden, zwischen dem ersten Metallkontakt (R) der Solarzelle und der Hilfselektrode eine Potentialdifferenz ΔURH so erzeugt wird, dass der erste Metallkontakt relativ zur Hilfselektrode zumindest zeitweise auf einem negativen Potential liegt, und die Solarzelle so mit Licht bestrahlt wird (5), dass mittels des photovoltaischen Effekts ein Strom in der Solarzelle induziert wird und der zweite Metallkontakt (V) der Solarzelle als Kathode dient, dadurch gekennzeichnet, dass die Potentialdifferenz ΔURH zwischen dem ersten Metallkontakt (R) und der Hilfselektrode (H), eine Potentialdifferenz ΔURV zwischen dem ersten Metallkontakt (R) und dem zweiten Metallkontakt (V), eine Potentialdifferenz ΔUVH zwischen dem zweiten Metallkontakt (V) und der Hilfselektrode (H) und/oder die Lichteinstrahlung auf die So larzelle gemäß einer vordefinierten Spannungs-Zeit-Charakteristik und/oder Lichtbestrahlungs-Zeit-Charakteristik zeitabhängig variiert wird/werden und/oder dass dieser Variation entsprechende Stromdichteänderungen erzeugt werden.Light-induced galvanic deposition method for the galvanic reinforcement of a metal contact of a solar cell (S), wherein the solar cell (S) and an auxiliary electrode (H) serving as an anode at least partially in an electrolytic bath ( 6 ), a potential difference ΔU RH is generated between the first metal contact (R) of the solar cell and the auxiliary electrode such that the first metal contact lies at least temporarily at a negative potential relative to the auxiliary electrode, and the solar cell is thus irradiated with light ( 5 ), that by means of the photovoltaic effect, a current is induced in the solar cell and the second metal contact (V) of the solar cell serves as a cathode, characterized in that the potential difference .DELTA.U RH between the first metal contact (R) and the auxiliary electrode (H), a Potential difference ΔU RV between the first metal contact (R) and the second metal contact (V), a potential difference ΔU VH between the second metal contact (V) and the auxiliary electrode (H) and / or the light irradiation on the So larzelle according to a predefined voltage time Characteristic and / or light irradiation time characteristic is / are varied in a time-dependent manner and / or that corresponding variations in current density are produced for this variation. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch dadurch gekennzeichnet, dass der erste Metallkontakt (R) zumindest ein Teilabschnitt des Rückseitenkontakts der Solarzelle und/oder eines auf einer p-dotierten Seite der Solarzelle angeordneten elektrischen Kontakts der Solarzelle ist und/oder dass der zweite Metallkontakt (V) zumindest ein Teilabschnitt mindestens eines Frontseitenkontakts der Solarzelle, mindestens eines auf der lichtstrahlungs-zugewandten Seite der Solarzelle angeordneten elektrischen Kontakts und/oder mindestens eines auf einer n-dotierten Seite der Solarzelle angeordneten elektrischen Kontakts der Solarzelle ist.Method according to the preceding claim thereby marked that the first metal contact (R) at least a section of the backside contact the solar cell and / or one on a p-doped side of the solar cell arranged electrical contact of the solar cell is and or that the second metal contact (V) at least one subsection at least a front side contact of the solar cell, at least one on the light-radiation-facing side of the solar cell arranged electrical Contact and / or at least one on an n-endowed side of the Solar cell is arranged solar cell electrical contact. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass die Spannungs-Zeit-Charakteristik und/oder die Lichtbestrahlungs-Zeit-Charakteristik periodisch und/oder in Form mindestens einer Pulsfolge zeitlich variiert wird/werden und/oder dass dieser Variation entsprechende Stromdichteänderungen erzeugt werden.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the voltage-time characteristic and / or the Lichtbestrah time-characteristic is periodically and / or in the form of at least one pulse sequence is / are varied in time and / or that this variation corresponding current density changes are generated. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch gekennzeichnet durch mehrere Pulsfolgen, zwischen denen mindestens eine Zeitperiode ohne Veränderung der Spannungs-Zeit-Charakteristik und/oder der Lichtbestrahlungs-Zeit-Charakteristik und/oder einer entsprechenden Stromdichteänderung liegt und/oder durch dreieck-, rechteck- oder sinusförmige, zwei-, drei- oder höhergradig polynomiale und/oder exponentielle Pulse.Method according to the preceding claim marked by several pulse sequences, between which at least one time period without change the voltage-time characteristic and / or the light irradiation time characteristic and / or a corresponding current density change lies and or by triangular, rectangular or sinusoidal, two-, three- or higher polynomial and / or exponential pulses. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass die Potentialdifferenz ΔURH zwischen dem ersten Metallkontakt (R) und der Hilfselektrode (H) über eine mit einem Funktionsgenerator (3) verbundene oder integriert mit einem Funktionsgenerator ausgebildete, zwischen den ersten Metallkontakt und die Hilfselektrode geschaltete Spannungsquelle (2) erzeugt wird, wobei mittels des Funktionsgenerators die von der Spannungsquelle erzeugte Potentialdifferenz ΔURU zeitabhängig variiert wird und/oder dass die Potentialdifferenz ΔURH zwischen dem ersten Metallkontakt (R) und der Hilfselektrode (H) variiert wird, indem zeitlich nacheinander mehrere unterschiedliche Spannungsquellen (2) zwischen den ersten Metallkontakt und die Hilfselektrode geschaltet werden.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the potential difference ΔU RH between the first metal contact (R) and the auxiliary electrode (H) via a with a function generator ( 3 ) connected or integrated with a function generator, between the first metal contact and the auxiliary electrode switched voltage source ( 2 ), wherein by means of the function generator, the potential difference .DELTA.U RU generated by the voltage source is varied over time and / or that the potential difference .DELTA.U RH between the first metal contact (R) and the auxiliary electrode (H) is varied by successively several different voltage sources ( 2 ) are connected between the first metal contact and the auxiliary electrode. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtbestrahlungs-Zeit-Charakteristik des auf die Solarzelle eingestrahlten Lichts zeitabhängig variiert wird, indem eine die Solarzelle bestrahlende Lichtquelle (4) mit einem Frequenzgenerator verbunden wird, mit dem die an der Lichtquelle anliegende Spannung zeitabhängig variiert wird, und/oder dass kontinuierlich Licht auf die Solarzelle eingestrahlt wird und dass zwischen der Solarzelle und der sie bestrahlenden Lichtquelle (4) ein mechanischer Chopper angeordnet wird, mit dem die Solarzelle zeitabschnittsweise, insbesondere periodisch, vom eingestrahlten Licht abgeschirmt wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the light irradiation time characteristic of the light irradiated on the solar cell is varied in a time-dependent manner by a light source irradiating the solar cell ( 4 ) is connected to a frequency generator with which the voltage applied to the light source voltage is varied over time, and / or that continuously light is irradiated to the solar cell and that between the solar cell and the light source irradiating it ( 4 ) a mechanical chopper is arranged, with which the solar cell is periodically, in particular periodically, shielded from the incident light. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass ausschließlich die Potentialdifferenz ΔURH zwischen dem ersten Metallkontakt (R) und der Hilfselektrode (H) gemäß einer vordefinierten Spannungs-Zeit-Charakteristik zeitabhängig variiert wird, nicht jedoch die Potentialdifferenz ΔURV zwischen dem ersten Metallkontakt (R) und dem zweiten Metallkontakt (V), die Potentialdifferenz ΔUVH zwischen dem zweiten Metallkontakt (V) und der Hilfselektrode (H) und die Lichteinstrahlung auf die Solarzelle, und/oder dass dieser Variation entsprechende Stromdichteänderungen erzeugt werden.Method according to one of the preceding claims, characterized in that only the potential difference .DELTA.U RH between the first metal contact (R) and the auxiliary electrode (H) is time-dependent varies according to a predefined voltage-time characteristic, but not the potential difference .DELTA.U RV between the first metal contact (R) and the second metal contact (V), the potential difference .DELTA.U VH between the second metal contact (V) and the auxiliary electrode (H) and the light irradiation on the solar cell, and / or that corresponding variations in current density are generated. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch dadurch gekennzeichnet, dass während eines Zeitintervalls [t1, t2] ein um einen ersten Betrag |U1 – UOC| negativeres Potential an dem ersten Metallkontakt (R) erzeugt wird, als an der Hilfselektrode (H) und dass danach ein um einen zweiten Betrag |U1' – UOC|, der kleiner als der erste Betrag ist, negativeres Potential an dem ersten Metallkontakt (R) erzeugt wird, als an der Hilfselektrode (H).Method according to the preceding claim, characterized in that during a time interval [t 1 , t 2 ] a by a first amount | U 1 - U OC | more negative potential is generated at the first metal contact (R) than at the auxiliary electrode (H), and thereafter a negative potential at the first metal contact by a second amount | U 1 ' - U OC | that is smaller than the first amount (R) is generated as at the auxiliary electrode (H). Verfahren nach Anspruche 7 dadurch gekennzeichnet, dass während eines Zeitintervalls [t0, t1] keine Potentialdifferenz zwischen dem ersten Metallkontakt (R) und der Hilfselektrode (H) erzeugt wird, dass danach während eines Zeitintervalls [t1, t2] ein um einen ersten Betrag |U2 – UOC| negativeres Potential an dem ersten Metallkontakt (R) erzeugt wird, als an der Hilfselektrode (H) und dass danach während eines Zeitintervalls [t2, t3], das kürzer ist als das Zeitintervall [t1, t2], ein um einen zweiten Betrag |U2' – UOC|, der kleiner als der erste Betrag ist, positiveres Potential an dem ersten Metallkontakt (R) erzeugt wird, als an der Hilfselektrode (H), wobei bevorzugt die während der drei vorgenannten Zeitintervalle erzeugte Spannungs-Zeit- Charakteristik und/oder dieser Charakteristik entsprechende Stromdichteänderungen mehrfach hintereinander erzeugt wird/werden.A method according to claim 7, characterized in that during a time interval [t 0 , t 1 ] no potential difference between the first metal contact (R) and the auxiliary electrode (H) is generated, that thereafter during a time interval [t 1 , t 2 ] on a first amount | U 2 - U OC | negative potential is generated at the first metal contact (R) than at the auxiliary electrode (H) and thereafter during a time interval [t 2 , t 3 ] which is shorter than the time interval [t 1 , t 2 ], one by one second amount | U 2 ' - U OC |, which is smaller than the first amount, more positive potential is generated at the first metal contact (R) than at the auxiliary electrode (H), preferably the voltage generated during the three aforementioned time intervals. Time characteristic and / or this characteristic corresponding current density changes are repeatedly generated / be. Verfahren nach Anspruch 7 dadurch gekennzeichnet, dass während eines Zeitintervalls [t1, t2] ein linear mit der Zeit wachsendes negativeres Potential an dem ersten Metallkontakt (R) erzeugt wird, als an der Hilfselektrode (H) und dass danach ein um einen konstanten Betrag |U3 – UOC|, der der am Ende des Zeitintervalls [t1, t2] erreichten Potentialdifferenz entspricht, negativeres Potential an dem ersten Metallkontakt (R) erzeugt wird, als an der Hilfselektrode (H).A method according to claim 7, characterized in that during a time interval [t 1 , t 2 ] a linearly increasing with time negative potential at the first metal contact (R) is generated, than that at the auxiliary electrode (H) and that then a by a constant Amount | U 3 - U OC | that corresponds to the potential difference reached at the end of the time interval [t 1 , t 2 ], more negative potential is generated at the first metal contact (R) than at the auxiliary electrode (H). Verfahren nach Anspruch 7 dadurch gekennzeichnet, dass während eines Zeitintervalls [t0, t1] keine Potentialdifferenz zwischen dem ersten Metallkontakt (R) und der Hilfselektrode (H) erzeugt wird, dass danach während eines Zeitintervalls [t1, t2] ein um einen ersten Betrag |U4 – UOC| negativeres Potential an dem ersten Metallkontakt (R) erzeugt wird, als an der Hilfselektrode (H), dass danach während eines Zeitintervalls [t2, t3] ein um einen zweiten Betrag |U4' – UOC|, der größer als der erste Betrag ist, negativeres Potential an dem ersten Metallkontakt (R) erzeugt wird, als an der Hilfselektrode (H), und dass danach ein um einen dritten Betrag |U4'' – UOC|, der größer als der zweite Betrag ist, negativeres Potential an dem ersten Metallkontakt (R) erzeugt wird, als an der Hilfselektrode (H).A method according to claim 7, characterized in that during a time interval [t 0 , t 1 ] no potential difference between the first metal contact (R) and the auxiliary electrode (H) is generated, that thereafter during a time interval [t 1 , t 2 ] on a first amount | U 4 - U OC | negative potential is generated at the first metal contact (R) than at the auxiliary electrode (H), and thereafter during a time interval [t 2 , t 3 ], by a second amount | U 4 ' - U OC | first amount is negative Veres potential is generated at the first metal contact (R), as at the auxiliary electrode (H), and that thereafter, by a third amount | U 4 " - - U OC |, which is greater than the second amount, negative potential at the first metal contact (R) is generated, as at the auxiliary electrode (H). Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass die Potentialdifferenz ΔURV zwischen dem ersten Metallkontakt (R) und dem zweiten Metallkontakt (V) und/oder die Lichteinstrahlung auf die Solarzelle gemäß der vordefinierten Spannungs-Zeit-Charakteristik und/oder Lichtbestrahlungs-Zeit-Charakteristik zeitabhängig variiert wird/werden, nicht jedoch die Potentialdifferenz ΔURH zwischen dem ersten Metallkontakt (R) und der Hilfselektrode (H) und die Potentialdifferenz ΔUVH zwischen dem zweiten Metallkontakt (V) und der Hilfselektrode (H), und/oder dass dieser Variation entsprechende Stromdichteänderungen erzeugt werden.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the potential difference .DELTA.U RV between the first metal contact (R) and the second metal contact (V) and / or the light irradiation to the solar cell according to the predefined voltage-time characteristic and / or light irradiation time Characteristic is varied over time, but not the potential difference .DELTA.U RH between the first metal contact (R) and the auxiliary electrode (H) and the potential difference .DELTA.U VH between the second metal contact (V) and the auxiliary electrode (H), and / or this variation corresponding current density changes are generated. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch dadurch gekennzeichnet, dass die Lichteinstrahlung auf die Solarzelle zeitabhängig variiert wird, indem während eines Zeitintervalls [t0, t1] eine erste Lichtintensität I0 auf die Solarzelle eingestrahlt wird und indem danach während eines Zeitintervalls [t1, t2] eine zweite Lichtintensität I1 ungleich I0 auf die Solarzelle eingestrahlt wird, wobei der vorbeschriebene Intensitätswechsel zwischen I0 und I1 bevorzugt mehrfach und/oder periodisch durchgeführt wird.Method according to the preceding claim, characterized in that the light irradiation to the solar cell is time-dependent varied by a first light intensity I 0 is irradiated to the solar cell during a time interval [t 0 , t 1 ] and thereafter during a time interval [t 1 , t 2 ] a second light intensity I 1 unlike I 0 is irradiated to the solar cell, wherein the above-described intensity change between I 0 and I 1 is preferably carried out several times and / or periodically. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass die Potentialdifferenz ΔURH zwischen dem ersten Metallkontakt (R) und der Hilfselektrode (H) und entweder die Potentialdifferenz ΔURV zwischen dem ersten Metallkontakt (R) und dem zweiten Metallkontakt (V) oder die Lichteinstrahlung auf die Solarzelle oder beide gemäß der vordefinierten Spannungs-Zeit-Charakteristik und/oder Lichtbestrahlungs-Zeit-Charakteristik zeitabhängig variiert werden, nicht jedoch die Potentialdifferenz ΔUVH zwischen dem zweiten Metallkontakt (V) und der Hilfselektrode (H), und/oder dass dieser Variation entsprechende Stromdichteänderungen erzeugt werden.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the potential difference ΔU RH between the first metal contact (R) and the auxiliary electrode (H) and either the potential difference ΔU RV between the first metal contact (R) and the second metal contact (V) or the light irradiation but not the potential difference .DELTA.U VH between the second metal contact (V) and the auxiliary electrode (H), and / or that it is varied to the solar cell or both according to the predefined voltage-time characteristic and / or light irradiation time characteristic Variation corresponding current density changes are generated. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch dadurch gekennzeichnet, dass die Variationen gemäß der Ansprüche 8 und 13 gleichzeitig durchgeführt werden.Method according to the preceding claim characterized in that the variations according to claims 8 and 13 are carried out simultaneously. Anordnung umfassend ein elektrolytisches Bad (6), in das eine Solarzelle (S) und eine als Anode dienende Hilfselektrode (H) zumindest abschnittsweise eingetaucht sind, eine zwischen einen ersten Metallkontakt (R) und die Hilfselektrode geschaltete Spannungsquelle (2), und eine Lichtquelle (4) die so angeordnet ist, dass mit ihr die Solarzelle zumindest abschnittsweise bestrahlbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Anordnung zur Durchführung eines Verfahrens nach einem der vorhergehenden Ansprüche ausgebildet ist.Arrangement comprising an electrolytic bath ( 6 ), in which a solar cell (S) and an auxiliary electrode (H) serving as anode are immersed at least in sections, a voltage source connected between a first metal contact (R) and the auxiliary electrode (US Pat. 2 ), and a light source ( 4 ) which is arranged so that the solar cell is at least partially irradiated with it, characterized in that the arrangement for carrying out a method according to one of the preceding claims is formed. Verwendung eines Verfahrens und/oder einer Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche zur lichtinduzierten Verstärkung eines elektrischen Kontakts, insbesondere eines frontseitigen Kontakts, einer Solarzelle, insbesondere einer Dünnschicht-Solarzelle.Use of a method and / or an arrangement according to one of the preceding claims for light-induced amplification of a electrical contact, in particular a front-side contact, a solar cell, in particular a thin-film solar cell.
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