DE102008052477A1 - Electrical field strength measuring sensor for use as microelectromechanical system sensor, has electrode arrangement including electrode strips located in spaces between electrode strips of another electrode arrangement - Google Patents
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft einen als mikromechanisches System ausgebildeten Sensor zur Messung der elektrischen Feldstärke, der folgende Bestandteile aufweist. Es ist ein Substrat vorgesehen, auf dessen Oberfläche eine erste Elektrodenanordnung mit voneinander beabstandeten, parallel zueinander auf der Oberfläche verlaufenden und gemeinsam elektrisch kontaktierten (ersten) Elektrodenstreifen und eine zweite Elektrodenanordnung mit voneinander beabstandeten, parallel zueinander auf er Oberfläche verlaufenden und gemeinsam elektrisch kontaktierten weiteren (zweiten) Elektrodenstreifen vorgesehen sind. Außerdem ist eine Blende vorgesehen, die parallel zur besagten Oberfläche des Substrates sowohl ausgerichtet als auch beweglich gelagert ist, wobei die Blende für die erste Elektrodenanordnung und für die zweite Elektrodenanordnung Schlitze aufweist, die in einer ersten Stellung der Blende die ersten Elektrodenstreifen (der ersten Elektrodenanordnung) und in einer zweiten Stellung der Blende die zweiten Elektrodenstreifen (der zweiten Elektrodenanordnung) freilegen. Zuletzt ist ein Aktuator vorgesehen, der als mechanische Kopplung zwischen Substrat und Blende vorgesehen ist und auf diese Weise die Blende bewegen kann. Durch Bewegung der Blende werden die Elektrodenstreifen der ersten und zweiten Elektrodenanordnung abhängig von der Stellung der Blende freigelegt, wenn diese mit den Schlitzen in fluchtende Übereinsstimmung gebracht werden.The The invention relates to a micromechanical system Sensor for measuring the electric field strength, the following Ingredients has. It is a substrate provided on the Surface a first electrode assembly with each other spaced apart, running parallel to each other on the surface and electrically contacted (first) electrode strips and a second electrode assembly with spaced-apart, running parallel to each other on the surface and together electrically contacted further (second) electrode strips are provided. In addition, a diaphragm is provided, the both parallel to said surface of the substrate aligned as well as movably mounted, wherein the aperture for the first electrode assembly and the second electrode assembly Slits, which in a first position of the aperture, the first Electrode strips (the first electrode assembly) and in a second position of the diaphragm, the second electrode strips (the second electrode assembly). Last is an actuator provided as a mechanical coupling between the substrate and aperture is provided and can move in this way, the aperture. By Movement of the aperture become the electrode strips of the first and second Electrode arrangement depending on the position of the aperture exposed when in line with the slots in alignment to be brought.
Gemäß der
Weiterhin
ist gemäß der
Das hierdurch verwirklichte berührungslose Prinzip der Potentialmessung an einer Oberfläche (die sozusagen die zweite Kondensatorplatte bildet) oder die Ermittlung der Feldstärke im Allgemeinen (bei Vorhandensein eines elektrischen Feldes ohne Vorhandensein einer körperlichen Kondensatorplatte) verwirklicht das Messprinzip der sogenannten Feldmühle. Hierbei wird die effektive Fläche der Detektionselektrode periodisch verändert. Dadurch wird die Ladung Q auf der Detektoroberfläche zeitlich verändert und es entsteht ein Verschiebungsstrom i = dQ/dt = U × dC/dt. Dies bedeutet, dass bei bekannter Kondensatorkapazität C der Sensoreinrichtung über den Verschiebestrom i das Potential U bestimmt werden kann. Insofern lässt sich der Sensor auch als Voltmeter verwenden.The This realized contact-free principle of potential measurement on a surface (the second capacitor plate, so to speak forms or the determination of the field strength in general (at Presence of an electric field without presence of one physical capacitor plate) realizes the measuring principle the so-called field mill. This becomes the effective area the detection electrode changed periodically. This will be the Charge Q temporally changed on the detector surface and a displacement current i = dQ / dt = U × dC / dt arises. This means that with known capacitor capacity C of the sensor device via the displacement current i the Potential U can be determined. In that sense, the Also use the sensor as a voltmeter.
Gemäß
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, einen Sensor in Form eines mikro-elektromechanischen Systems anzugeben, mit dem die elektrische Feldstärke gemessen werden kann, und welcher bei vergleichsweise hoher Empfindlichkeit gleichzeitig vergleichsweise geringe Bauteilabmessungen ermöglicht.The The object of the invention is to provide a sensor in the form of a Micro-electromechanical system to specify the electric field strength can be measured, and which at comparatively high sensitivity simultaneously allows comparatively small component dimensions.
Diese Aufgabe wird mit dem eingangs genannten Sensor erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Elektrodenstreifen der ersten Elektrodenanordnung und die Elektrodenstreifen der zweiten Elektrodenanordnung in abwechselnder Reihenfolge hintereinander auf der Oberfläche angeordnet sind, wobei sich die Elektrodenstreifen der einen Elektrodenanordnung jeweils in den Zwischenräumen zwischen den Elektrodenstreifen der anderen Elektrodenanordnung befinden. Vergleicht man diese konstruktive Ausgestaltung also mit der schachbrettartigen Anordnung der Elektrodenstreifen gemäß dem Stand der Technik, so könnte man sagen, dass die Schachfelder zweier auf dem Schachfeld benachbarter Reihen einfach ineinander geschoben werden, so dass in dieser Reihe nur noch Schachfelder einer Farbe vorliegen. Vorteilhaft lässt sich hierdurch eine vergrößerte Packungsdichte der maßgeblichen Elektrodenstreifen erreichen, die zu einer Verringerung der notwendigen Grundfläche für die Elektrodenanordnungen auf 50% führt. Eine Abdeckung dieser erfindungsgemäßen Elektrodenanordnung mit einer Blende lässt sich vorteilhaft dadurch erreichen, dass für beide Sätze von Elektrodenstreifen nur ein Satz von Schlitzen in der Blende verwendet wird, welcher abwechselnd zum Freilegen des einen Satzes und zum Freilegen des anderen Satzes dient. Dadurch lässt sich auch die Fläche der verwendeten Blende und insbesondere auch deren Bauteilgewicht auf ungefähr die Hälfte reduzieren. Hierdurch werden vorteilhaft insgesamt geringere Abmessungen des als mikro-elektromechanisches System ausgebildeten Sensors (im Folgenden als MEMS-Sensor bezeichnet, wobei MEMS für mikro-elektromechanisches System steht).This object is achieved with the sensor mentioned above according to the invention that the electrode strips of the first electrode assembly and the electrode strips of the second Elek arranged in alternating order in succession on the surface, wherein the electrode strips of the one electrode arrangement are respectively in the spaces between the electrode strips of the other electrode arrangement. If one compares this structural design with the checkered arrangement of the electrode strips according to the prior art, one could say that the chess fields of two adjacent rows on the chess field are simply pushed one inside the other, so that only chess fields of one color are present in this series. This advantageously makes it possible to achieve an increased packing density of the relevant electrode strips, which leads to a reduction of the necessary base area for the electrode arrangements to 50%. A cover of this electrode arrangement according to the invention with a diaphragm can advantageously be achieved by using only one set of slots in the diaphragm for both sets of electrode strips, which alternately serves to expose one set and to expose the other set. As a result, the area of the diaphragm used and in particular also its component weight can be reduced to approximately half. As a result, advantageously smaller overall dimensions of the sensor designed as a micro-electro-mechanical system (hereinafter referred to as MEMS sensor, where MEMS stands for micro-electro-mechanical system).
Die Verringerung der notwendigen Oberfläche der Blende hat jedoch noch einen weiteren Vorteil, dass nämlich die Masse dieses Bauteils verringert wird. Da die Blende zum wechselnden Verdecken und Freilegen der betreffenden Elektrodenstrei fen eine alternierende transversale Bewegung parallel zur Oberfläche der Elektrodenstreifen durchführen muss, ist diese als schwingungsfähiges System zu betrachten. Je geringer deren Masse ausfällt, desto geringer sind auch die für das Ausführen dieser Schwingungen notwendigen Aktivierungsenergien. Außerdem lassen sich wegen der geringeren Masse der Blende auch höhere Anregungsfrequenzen verwirklichen, wodurch die zeitliche Empfindlichkeit des Sensors verbessert werden kann.The Reduction of the necessary surface of the aperture has but still another advantage, namely that the mass of this component is reduced. Because the aperture to the changing cover and exposing the respective electrode strips to an alternating one transverse movement parallel to the surface of the electrode strips must perform, this is as oscillatory To look at the system. The lower their mass fails, the lower are those for running These vibrations necessary activation energies. Furthermore can be due to the lower mass of the aperture also higher Realize excitation frequencies, thereby reducing the temporal sensitivity of the sensor can be improved.
Die
Art, wie eine messtechnische Schaltung zur Auswertung des Verschiebestroms
an den beiden Sätzen von Elektrodenstreifen gemessen werden
kann, ist allgemein bekannt und z. B. in dem oben genannten Aufsatz
von B. Bahreyni in
Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Blende frei schwebend über der besagten Oberfläche in einer elastischen Aufhängung gelagert ist und zusammen mit dieser ein schwingungsfähiges System bildet. Die Schwingungen, die dieses Schwingungssystem bevorzugt ausführen kann (erste Mode), sollen derart sein, dass sich während der Schwingungen die Blende in konstantem Abstand zur Oberfläche des Substrates, auf dem die Elektrodenflächen vorgesehen sind, translatorisch hin- und herbewegen kann. Die frei schwebende Lagerung in der elastischen Aufhängung führt vorteilhaft beim Ausführen der Schwingungen der Blende zu einer geringen Reibung und daher zu geringen Verlusten. Daher ist vorteilhaft eine Anregung der Blende zu Schwingungen mit einem geringen Energieaufwand möglich, der in der Resonanzfrequenz des durch die elastische Aufhängung und die Blende gebildeten schwingungsfähigen Systems ein Minimum hat.According to one advantageous embodiment of the invention it is provided that the Aperture levitating above the said surface is mounted in an elastic suspension and together with this forms a vibratory system. The vibrations, which can preferably perform this vibration system (first Mode), should be such that during the vibrations the aperture at a constant distance to the surface of the substrate, on which the electrode surfaces are provided, translational can move back and forth. The free-floating storage in the elastic Suspension performs advantageous when running the vibrations of the diaphragm to a low friction and therefore too low losses. Therefore, it is advantageous to stimulate the aperture possible to vibrations with a low energy consumption, in the resonant frequency of the elastic suspension and the iris formed oscillatory system a minimum Has.
Weiterhin wird eine besonders vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung erhalten, wenn die elastische Aufhängung Biegebalken aufweist, die parallel zur besagten Oberfläche ausgerichtet sind. Die Aufhängung in Biegebalken erfolgt bevorzugt derart, dass die Biegebalken an einer Seite starr an dem ortsfesten Substrat befestigt sind und mit dem anderen Ende an der Blende angreifen. Bevorzugt weisen die Biegebalken ihre (konstruktiv bedingte) geringste Steifigkeit hinsichtlich einer Biegeverformung parallel zur besagten Oberfläche auf. Dies bedeutet, dass die durch die Verformung des Biegebalkens erzeugte Biegelinie ebenso wie der unverformte Biegebalken parallel zur Oberfläche es besagten Substrates erfolgt. Hierdurch kann vorteilhaft verhindert werden, dass es bei der Ausführung der Schwingungen zu einem Kontakt mit dem Substrat kommt, so dass ein gleichmäßig paralleler Abstand der Blende während der Ausführungen der bevorzugten Schwingungen gewährleistet ist. Die Biegesteifigkeit lässt sich konstruktiv über ein geeignetes Flächenträgheitsmoment des Querschnitts der Biegebalken, gesehen parallel zur besagten Oberfläche, beeinflussen.Farther is a particularly advantageous embodiment of the invention obtained when the elastic suspension has bending beams, which are aligned parallel to said surface. The suspension in bending beams is preferably such that the bending beam rigidly on one side of the stationary substrate are attached and attack with the other end on the panel. The bending beams preferably have their (constructively caused) lowest rigidity in terms of bending deformation parallel to said surface on. This means that by the deformation of the bending beam generated bending line as well as the undeformed bending beam in parallel to the surface of said substrate. hereby can be advantageously prevented that it in the execution the vibrations come into contact with the substrate, so that a uniform parallel distance of the aperture ensured during the execution of the preferred vibrations is. The bending stiffness can be constructively over a suitable area moment of inertia of the cross section the bending beam, seen parallel to said surface, influence.
Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn mehrere Biegebalken vorgesehen sind, die schwingungstechnisch gesehen in Reihe oder parallel geschaltet sind. Eine Parallelschaltung von Biegebalken wird dadurch erreicht, dass die Blende in mehreren Punkten (bevorzugt an den vier Eckpunkten bei rechteckiger Ausführung der Blende) aufgehängt sind, so dass sich eine verhältnismäßig stabile Bauform ergibt. Diese Parallelschaltung von Biegefedern kann vorzugsweise mit einer Reihenschaltung von Biegefedern kombiniert werden, wobei die Verschaltung der Biegebalken über einen gemeinsamen Verbindungsbalken erreicht werden kann, an den alle betreffenden Biegebalken auf derselben Seite angreifen. Hierdurch wird vorteilhaft eine weitere Reduzierung des erforderlichen Bauraums ermöglicht – beispielsweise durch eine Halbierung der notwendigen Biege federlänge.Farther it is advantageous if a plurality of bending beams are provided, the vibrationally connected in series or in parallel. A Parallel connection of bending beam is achieved by the Aperture in several points (preferably at the four vertices at rectangular version of the panel) suspended are, so that's a relative stable design results. This parallel connection of bending springs can preferably be combined with a series of bending springs be, with the interconnection of the bending beam over a common connection bar can be achieved, to all attack the relevant bending beam on the same side. hereby Advantageously, a further reduction of the required installation space possible - for example by halving the necessary bending spring length.
Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn der Aktuator durch ineinandergreifende Elektrodenkämme ausgebildet ist, von denen der eine ortsfest mit dem Substrat und der andere mit der Blende mechanisch gekoppelt ist. Hierdurch wird ein sogenannter Kammantrieb erzeugt, bei dem elektrostatische Kräfte zur Erzeugung der Bewegung ausgenutzt werden. Je nach Ladung der beiden Elektrodenkämme werden nämlich die Stabelektroden des einen Elektrodenkammes aus den Zwischenräumen der Stabelektroden des anderen Elektrodenkammes verdrängt oder in sie hineingezogen, so dass durch eine periodische Potentialschaltung die Schwingungsbewegung der Blende erzeugt wird. Besonders vorteilhaft ist es, wenn der mit der Blende mechanisch gekoppelte Elektrodenkamm aus Stabelektroden besteht, die in Bewegungsrichtung der Blende vom Seitenrand derselben abstehen. Dies hat den Vorteil eines verringerten Bauraumbedarfes für die entsprechend erzeugte Kammelektrode der Blende.Farther It is advantageous if the actuator by interlocking Electrode combs is formed, one of which is stationary mechanically coupled to the substrate and the other to the diaphragm is. As a result, a so-called comb drive is generated, in which exploited electrostatic forces to generate the movement become. Depending on the charge of the two electrode combs namely the stick electrodes of the one electrode comb from the interstices the rod electrodes of the other electrode comb displaced or drawn into it, so that by a periodic potential circuit the vibration movement of the diaphragm is generated. Especially advantageous it is when the electrode comb mechanically coupled to the diaphragm consists of stick electrodes, in the direction of movement of the diaphragm stand out from the side edge of the same. This has the advantage of a reduced Required space for the correspondingly generated comb electrode the aperture.
Weiterhin vorteilhaft ist es, wenn die Blende mit einem Auslenkungssensor gekoppelt ist. Dieser gibt Aufschluss über den momentanen Auslenkungszustand der Blende, so dass abhängig vom Einsatzfall die Schwingungen der Blende über eine geeignete Ansteuerung des Aktors gesteuert oder geregelt werden können. Vorteilhaft ist der Auslenkungssensor aus zwei ineinander greifenden Elektrodenkämmen aufgebaut, wobei das oben beschriebene Aktorprinzip umgekehrt wird.Farther It is advantageous if the diaphragm with a deflection sensor is coupled. This gives information about the current one Deflection state of the aperture, so depending on the application the vibrations of the diaphragm over a suitable control of the actuator can be controlled or regulated. Advantageous is the displacement sensor of two intermeshing electrode combs constructed, wherein the actuator principle described above is reversed.
Selbstverständlich kommen für den Aktor sowie den Sensor auch andere Wirkprinzipien in Frage. Beispielsweise kann der Aktor sowie der Sensor durch Piezokristalle ausgebildet werden, die in geeigneter Weise mit dem Substrat einerseits und der Blende andererseits mechanisch gekoppelt werden.Of course come for the actuator and the sensor also other principles of action in question. For example, the actuator and the sensor by piezo crystals be formed, in a suitable manner with the substrate on the one hand and the diaphragm are otherwise mechanically coupled.
Weitere Einzelheiten der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnung beschrieben. Dabei zeigt die einzige Figur eine schematische Aufsicht auf ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Sensors.Further Details of the invention are described below with reference to the drawing described. The single figure shows a schematic view to an embodiment of the invention Sensor.
Ein
Sensor zur Messung der elektrischen Feldstärke ist als
MEMS ausgebildet und weist ein Substrat
Die
im Folgenden beschriebenen weiteren Bauelemente können
beispielsweise in Ätztechnologie ebenfalls in dem Substrat
Konkret
wird das schwingungsfähige System in folgender Weise gebildet.
Die Enden von vier parallel geschalteten Biegefedern
Wenn
die Blende
Die
Blende
Auf
der anderen Querseite
Zum
Zwecke der elektrischen Ansteuerung des Sensors sind verschiedene
Kontaktflächen
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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Zitierte PatentliteraturCited patent literature
- - WO 2005/121819 A1 [0002] WO 2005/121819 A1 [0002]
- - US 617780081 [0003] US 617780081 [0003]
Zitierte Nicht-PatentliteraturCited non-patent literature
- - B. Bahreyni et al., ”Analysis and Design of a Micromachined Electric-Field Sensor”, Journal of Microelectronicmechanical Systems, Vol. 17, No. 1, Februar 2008, Seiten 31 bis 36 [0005] B. Bahreyni et al., Analysis and Design of a Micromachined Electric-Field Sensor, Journal of Microelectronicmechanical Systems, Vol. 1, February 2008, pages 31 to 36 [0005]
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---|---|
DE (1) | DE102008052477A1 (en) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010035381A1 (en) | 2010-08-23 | 2012-02-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Measuring method and measuring arrangement for detecting the temporal change of an electrical capacitance |
WO2012031924A1 (en) | 2010-09-06 | 2012-03-15 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for monitoring the ageing of an organic substance and measurement arrangement having a capacitor |
US20140167732A1 (en) * | 2012-12-12 | 2014-06-19 | Lutz Mueller | Micromechanical Electric Field Meter as a Thunderstorm Warning Device |
AT520811A1 (en) * | 2017-12-20 | 2019-07-15 | Donau Univ Krems | DEVICE FOR MEASURING AN ELECTRIC FIELD |
CN110407154A (en) * | 2018-04-28 | 2019-11-05 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | MEMS microactrator, original position are uniaxially stretched device and preparation method thereof |
CN117517803A (en) * | 2023-11-13 | 2024-02-06 | 北京信息科技大学 | Vertical modulation resonant electric field sensor and preparation method thereof |
EP4365605A1 (en) | 2022-11-04 | 2024-05-08 | Siemens Aktiengesellschaft | Determining an electrical energy flow |
WO2024094694A1 (en) | 2022-11-04 | 2024-05-10 | Siemens Aktiengesellschaft | Determination of an electric energy flow |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5025346A (en) * | 1989-02-17 | 1991-06-18 | Regents Of The University Of California | Laterally driven resonant microstructures |
US6177800B1 (en) | 1998-11-10 | 2001-01-23 | Xerox Corporation | Method and apparatus for using shuttered windows in a micro-electro-mechanical system |
US6965239B2 (en) * | 2003-03-28 | 2005-11-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Electric potential sensor, and image forming apparatus |
WO2005121819A1 (en) | 2004-06-08 | 2005-12-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Electric potential measuring instrument and image forming apparatus |
-
2008
- 2008-10-20 DE DE102008052477A patent/DE102008052477A1/en not_active Ceased
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5025346A (en) * | 1989-02-17 | 1991-06-18 | Regents Of The University Of California | Laterally driven resonant microstructures |
US6177800B1 (en) | 1998-11-10 | 2001-01-23 | Xerox Corporation | Method and apparatus for using shuttered windows in a micro-electro-mechanical system |
US6965239B2 (en) * | 2003-03-28 | 2005-11-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Electric potential sensor, and image forming apparatus |
WO2005121819A1 (en) | 2004-06-08 | 2005-12-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Electric potential measuring instrument and image forming apparatus |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
B. Bahreyni et al., "Analysis and Design of a Micromachined Electric-Field Sensor", Journal of Microelectronicmechanical Systems, Vol. 17, No. 1, Februar 2008, Seiten 31 bis 36 |
Behraad Bahreyni et al.: "Analysis and Design of a Micromachined Electric-Field Sensor. Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 17, No. 1, Feb. 2008, pp. 31-36 * |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012025417A1 (en) | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Measurement method and measurement arrangement for detecting the time change of an electrical capacitance |
DE102010035381A1 (en) | 2010-08-23 | 2012-02-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Measuring method and measuring arrangement for detecting the temporal change of an electrical capacitance |
WO2012031924A1 (en) | 2010-09-06 | 2012-03-15 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for monitoring the ageing of an organic substance and measurement arrangement having a capacitor |
DE102012222973B4 (en) | 2012-12-12 | 2024-02-22 | Robert Bosch Gmbh | Micromechanical electric field meter as a thunderstorm warning |
US20140167732A1 (en) * | 2012-12-12 | 2014-06-19 | Lutz Mueller | Micromechanical Electric Field Meter as a Thunderstorm Warning Device |
US9632123B2 (en) * | 2012-12-12 | 2017-04-25 | Robert Bosch Gmbh | Micromechanical electric field meter as a thunderstorm warning device |
AT520811A1 (en) * | 2017-12-20 | 2019-07-15 | Donau Univ Krems | DEVICE FOR MEASURING AN ELECTRIC FIELD |
AT520811B1 (en) * | 2017-12-20 | 2021-06-15 | Donau Univ Krems | DEVICE FOR MEASURING AN ELECTRICAL FIELD |
US11231450B2 (en) | 2017-12-20 | 2022-01-25 | Donau-Universitaet Krems | Device for measuring an electric field |
CN110407154A (en) * | 2018-04-28 | 2019-11-05 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | MEMS microactrator, original position are uniaxially stretched device and preparation method thereof |
CN110407154B (en) * | 2018-04-28 | 2022-06-24 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | MEMS micro actuator, in-situ uniaxial tension device and manufacturing method thereof |
EP4365605A1 (en) | 2022-11-04 | 2024-05-08 | Siemens Aktiengesellschaft | Determining an electrical energy flow |
WO2024094694A1 (en) | 2022-11-04 | 2024-05-10 | Siemens Aktiengesellschaft | Determination of an electric energy flow |
CN117517803A (en) * | 2023-11-13 | 2024-02-06 | 北京信息科技大学 | Vertical modulation resonant electric field sensor and preparation method thereof |
CN117517803B (en) * | 2023-11-13 | 2024-05-07 | 北京信息科技大学 | Vertical modulation resonant electric field sensor and preparation method thereof |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8131 | Rejection |