DE102008042153A1 - Sensoranordnung zur Bestimmung eines Parameters eines fluiden Mediums - Google Patents

Sensoranordnung zur Bestimmung eines Parameters eines fluiden Mediums Download PDF

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DE102008042153A1
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Erhard Renninger
Achim Briese
Ulrich Wagner
Uwe Konzelmann
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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Sensoranordnung (110) zur Bestimmung mindestens eines Parameters eines strömenden fluiden Mediums. Die Sensoranordnung (110) umfasst mindestens ein sich in einer Längserstreckungsrichtung erstreckendes Steckerteil (112), wobei das Steckerteil (112) mindestens eine Einlassöffnung (140) und mindestens eine Auslassöffnung (160, 162) sowie mindestens einen sich zwischen der Einlassöffnung (140) und der Auslassöffnung (160, 162) erstreckenden, von dem fluiden Medium durchströmbaren Kanal (136) aufweist. In dem Kanal (136) ist mindestens ein Sensorelement (132), insbesondere ein Sensorchip (132), zur Bestimmung des Parameters angeordnet. Stromabwärts des Sensorelements (132) sind in mindestens einer den Kanal (136) begrenzenden Wand (206, 208) mindestens zwei Stufen (202, 204) angeordnet. Die Stufen (202, 204) sind zueinander um einen Winkel versetzt und quer zu einer Strömung durch den Kanal (136) angeordnet.

Description

  • Stand der Technik
  • Die Erfindung geht aus von bekannten Sensoranordnungen zur Bestimmung wenigstens eines Parameters eines in einer Leitung strömenden fluiden Mediums. Derartige Vorrichtungen werden beispielsweise eingesetzt, um Ansaugluftmassen einer Brennkraftmaschine zu messen, beispielsweise in einem Strömungsrohr eines Ansaugtrakts der Brennkraftmaschine. Insbesondere werden derartige Vorrichtungen in Form von Heißfilmluftmassenmessern eingesetzt. Es sind jedoch auch andere Arten von Vorrichtungen zur Bestimmung anderer oder weiterer Parameter denkbar, beispielsweise Temperaturfühler, Geschwindigkeitsmesser, Dichtemesser oder ähnliche Messvorrichtungen, sowie andere Messprinzipien als das genannte Heißfilmluftmassenmesserprinzip und/oder andere Arten fluider Medien.
  • Heißfilmluftmassenmesser sind beispielsweise in DE 102 53 970 A1 beschrieben. Dort wird eine Vorrichtung offenbart, welche ein Teil umfasst, welches mit einer vorbestimmten Ausrichtung in Bezug auf eine Hauptströmungsrichtung in eine vom strömenden Medium durchströmte Leitung einbringbar ist. Dabei durchströmt ein Teilstrom des Mediums wenigstens einen in dem Teil vorgesehenen Messkanal, in welchem ein Messelement angeordnet ist. Zwischen Einlass und Messelement weist der Messkanal einen gekrümmten Abschnitt zur Umlenkung des durch den Einlass in den Messkanal eingetretenen Teilstroms des Mediums auf, wobei der gekrümmte Abschnitt im weiteren Verlauf in einen Abschnitt übergeht, in welchem das Messelement angeordnet ist.
  • Bei bekannten und auch kommerziell erhältlichen Heißfilmluftmassenmessern wird häufig ein Sensorchip in einen an ein Bodenblech angespritzten Kunststoff-Sensorträger eingeklebt. Der Kunststoff-Sensorträger ragt in den Messkanal hinein, so dass der Sensorchip der Strömung ausgesetzt ist. Der Sensorträger bildet, gemeinsam mit dem Bodenblech aus Metall, eine Einheit. Zusätzlich zum Sensor wird noch eine Ansteuer- und Auswerteelektronik auf einer Leiterplatte auf das Bodenblech aufgeklebt. Der Sensorchip und die Ansteuer- und Auswerteelektronik werden in der Regel durch Bondverbindungen miteinander verbunden. Auf diese Weise entsteht ein Elektronikmodul, welches in ein Sensorgehäuse eingeklebt wird. Anschließend wird der so entstandene Steckfühler durch Deckel verschlossen.
  • Vorrichtungen, wie beispielsweise die in der DE 102 53 970 A1 gezeigte Vorrichtung, müssen in der Praxis einer Vielzahl von Anforderungen und Randbedingungen genügen. Diese Randbedingungen sind aus der Literatur weitgehend bekannt und beispielsweise in DE 102 53 970 A1 beschrieben. Neben dem Ziel, einen Druckabfall an den Vorrichtungen insgesamt durch geeignete strömungstechnische Ausgestaltung zu verringern, besteht eine der hauptsächlichen Herausforderungen darin, die Signalqualität derartiger Vorrichtungen weiter zu verbessern.
  • Einen entscheidenden Einfluss auf die Signalqualität hat eine Druckdifferenz zwischen dem Einlass und dem Auslass des Messkanals. Der Durchsatz durch den Bypasskanal, insbesondere den Messkanal, wird unter anderem durch diese Druckdifferenz bestimmt. Aufgrund des veränderten Sensorquerschnitts ändert sich jedoch dieser Durchsatz, wenn der Steckfühler schräg in die Strömung des fluiden Mediums eingebracht wird. Dies kann zu einer Änderung der Sensorkennlinie führen. Einen weiteren entscheidenden Einfluss auf die Signalqualität hat die Eigenschaft der Strömung in dem Messkanal. So ist zur Erzielung eines gleichmäßigen, störungsfreien Signals mit gutem dynamischem Verhalten in vielen Fällen eine stabile, ablösefreie Strömung durch den Messkanal erforderlich.
  • In DE 102 46 069 A1 wird eine Vorrichtung zur Bestimmung eines Parameters eines in einer Leitung strömenden Mediums beschrieben. Die Vorrichtung umfasst ein Teil, dass mit einer vorbestimmten Ausrichtung in Bezug auf die Hauptströmungsrichtung in die Leitung einbringbar ist, so dass ein Teilstrom des in der Leitung in der Hauptströmungsrichtung strömenden Mediums wenigstens einen in dem Teil vorgesehenen Messkanal in einer ersten Richtung von einem Einlass des Messkanals bis zu einem Auslass des Messkanals durchströmt. Der Messkanal weist zwischen seinem Einlass und seinem Auslass wenigstens einen Kanalabschnitt auf, in welchem Mittel angeordnet sind, die in diesem Kanalabschnitt Strömungswirbel verursachen, wodurch sich Flüssigkeitströpfchen und Festpartikel vorteilhaft auf der Innenwandung des Kanals ablagern, bevor sie das Messelement erreichen können. Die in DE 102 46 069 A1 gezeigte Vorrichtung hat somit im Wesentlichen eine Verminderung der Ablagerungen von Verunreinigungen auf dem Sensorchip zum Ziel. Dies trägt erheblich zur Verbesserung der Signalqualität und zur Verminderung von Signaldriften bei. Dennoch hat es sich gezeigt, dass weiteres Potential für die Verbesserung derartiger Vorrichtungen zur Bestimmung wenigstens eines Parameters eines strömenden fluiden Mediums besteht, insbesondere durch Verbesserung der Strömungseigenschaften des fluiden Mediums durch den Messkanal.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Es wird dementsprechend eine Sensoranordnung zur Bestimmung mindestens eines Parameters eines strömenden fluiden Mediums vorgeschlagen, welche bekannte Sensoranordnungen dieser Art, beispielsweise die oben beschriebenen Vorrichtungen, weiter verbessert. Die Sensoranordnung kann insbesondere eingesetzt werden, um einen Luftmassenstrom in einem Ansaugtrakt einer Brennkraftmaschine zu messen. Zu diesem Zweck können beispielsweise die oben beschriebenen Heißfilmluftmassenmesser-Prinzipien eingesetzt werden. Alternativ oder zusätzlich können jedoch auch andere Arten von Parameter des fluiden Mediums bestimmt werden, beispielsweise Temperatur, Druck, Dichte oder ähnliche Parameter oder Kombinationen dieser oder anderer Parameter. Alternativ oder zusätzlich kann weiterhin auch eine andere Art von fluidem Medium eingesetzt werden.
  • Die Sensoranordnung umfasst mindestens ein sich in einer Längserstreckungsrichtung erstreckendes Steckerteil auf. Dieses Steckerteil kann beispielsweise in einer festen Orientierung zur Hauptströmungsrichtung des strömenden fluiden Mediums in dieses strömende fluide Medium eingebracht werden. Zu diesem Zweck können beispielsweise entsprechende Halterungen in einem Strömungsrohr oder Strömungsrohrsegment vorgesehen sein, wobei das Strömungsrohr oder Strömungsrohrsegment einschließlich der Halterungen ebenfalls Bestandteil der Sensoranordnung sein kann. Das Steckerteil kann fest oder austauschbar in diesem Strömungsrohr bzw. Strömungsrohrsegment montiert sein. Das Steckerteil ist dabei vorzugsweise als längliches Teil ausgestaltet, wobei die Längserstreckungsrichtung vorzugsweise im Wesentlichen senkrecht zur Hauptströmungsrichtung des strömenden fluiden Mediums ausgerichtet sein kann. Insofern kann weitgehend auf die aus dem Stand der Technik bekannten Heißfilmlustmassenmesser und deren Steckerteile verwiesen werden.
  • Das Steckerteil weist mindestens eine Einlassöffnung und mindestens eine Auslassöffnung sowie mindestens einen sich zwischen der Einlassöffnung und der Auslassöffnung erstreckenden, von dem fluiden Medium durchströmbaren Kanal auf. Insbesondere kann dieser Kanal als so genannter Bypasskanal ausgestaltet sein, wobei durch diesen Kanal bzw. Bypasskanal eine für die Strömung des fluiden Mediums repräsentative Teilströmung oder Bypassströmung fließen kann. Insofern kann wiederum weitgehend auf bekannte Steckerteile dieser Art verwiesen werden. Der mindestens eine Kanal kann dabei, wie ebenfalls aus dem Stand der Technik bekannt, als verzweigte Kanalstruktur ausgestaltet sein, beispielsweise mit einem Hauptkanal, welcher zwischen der Einlassöffnung und einem Hauptstromauslass verläuft, und einem von dem Hauptkanal abzweigenden Messkanal, welcher in einem Messkanalauslass endet. In dem Messkanal kann ein Sensorelement, insbesondere ein Sensorchip, der Sensoranordnung angeordnet sein, welches zur Messung des mindestens einen Parameters vorgesehen ist. Zu diesem Zweck kann das Sensorelement beispielsweise einen oder mehrere Einzelsensoren umfassen, beispielsweise angeordnet auf einer Sensoroberfläche des Sensorchips, welche in dem mindestens einen Messkanal der Teilströmung des fluiden Mediums ausgesetzt sind. Auch eine Anordnung mit mehreren Sensorelementen bzw. Sensorchips und/oder mehreren Sensoroberflächen ist möglich.
  • Stromabwärts des Sensorelements sind in mindestens einer den Kanal begrenzenden Wand mindestens zwei Stufen angeordnet. Unter Stufen sind dabei Unstetigkeiten, Knicke, abrupte Richtungsänderungen oder Singularitäten in einem ansonsten vorzugsweise glatten Wandverlauf zu verstehen, welche eine lokale Änderung der Richtung des Wandverlaufs um einen Winkel von mehr als 60° bewirken. Vorzugsweise handelt es sich bei diesen Stufen um rechtwinklige oder zumindest näherungsweise rechtwinklige Stufen, also Stufen mit einem Winkel, welcher um nicht mehr als 20° von einem rechten Winkel abweicht. An der Stufenkante kann auch eine leichte Abrundung erfolgen, wobei jedoch vorzugsweise eine scharfe Stufenkante vorgesehen ist.
  • Es sind mindestens zwei Stufen vorgesehen, welche zueinander um einen Winkel versetzt sind. So kann beispielsweise eine erste Stufe in einer Seitenwand des Kanals angeordnet sein und eine zweite Stufe in einer Vorder- oder Rückwand des Kanals, oder umgekehrt. Auch eine andere Art von Winkelversatz bei einem anderen Kanalquerschnitt als einem Kanalquerschnitt mit einer Vorder- und Rückwand und Seitenwänden ist möglich, beispielsweise bei abgerundeten Kanalquerschnitten oder anders verlaufenden Kanalquerschnitten. Dementsprechend können die Stufen beispielsweise zueinander um einen rechten Winkel versetzt sein. Auch andere Winkel als rechte Winkel sind jedoch grundsätzlich möglich, vorzugsweise Winkel von mindestens 20°, insbesondere von mindestens 60°.
  • Die Stufen sind dabei quer zu einer Strömung, also der lokalen Strömung des fluiden Mediums, durch den Kanal angeordnet. Unter „quer zur Strömung” ist dabei eine nicht-parallele, vorzugsweise senkrechte Ausrichtung zur lokalen Strömung im Kanal zu verstehen. Auch Abweichungen von dieser senkrechten Ausrichtung sind jedoch grundsätzlich möglich und unter „quer” zu subsumieren, vorzugsweise Abweichungen von einer senkrechten Ausrichtung um nicht mehr als 30°.
  • Es hat sich gezeigt, dass diese versetzten Stufen im Messkanal einen erheblichen Einfluss auf die Signalqualität der Sensoranordnung haben können. So können sich insbesondere stromabwärts des Sensorchips lokal Ablösegebiete in der Strömung des fluiden Mediums bilden, welche instabil sind und Schwankungen unterworfen sind. Diese Schwankungen in der Größe der Ablösegebiete können zu Signalschwankungen führen. Zudem wird durch diese Ablösegebiete das Pulsationsverhalten der Sensoranordnung verschlechtert. Diese Ablösegebiete sind in der Regel unvermeidlich, insbesondere dann, wenn der Messkanal im Bereich des Sensorelements einen verengten Querschnitt im Vergleich zu näher am Messkanalauslass gelegenen Messkanalabschnitten aufweist. Eine derartige Verengung ist jedoch zur Verbesserung der Signalqualität durch eine lokale Strömungsbeschleunigung in vielen Sensoranordnungen vorgesehen. Die Ablösegebiete entstehen dann in der Regel unvermeidlich bei der Strömungsexpansion vom Sensorelement in Richtung zum Messkanalauslass.
  • Durch die versetzten Stufen ist es zwar in der Regel nicht möglich, die Ablösegebiete zu vermeiden. Diese Ablösegebiete werden jedoch durch die versetzten Stufen ortsfest, klein und stabil gehalten. Auf diese Weise lässt sich die Signalqualität der Sensoranordnung deutlich verbessern. Insbesondere können die Stufen im Bestandteil einer stufenförmigen Erweiterung des Kanals sein. Durch eine derartige stufenförmige Erweiterung in einer Strömungsrichtung des fluiden Mediums werden die Ablösegebiete räumlich fixiert und ändern ihre Größe und Lage in der Regel auch bei wechselnden Randbedingungen, beispielsweise hinsichtlich der Strömungsgeschwindigkeit und/oder hinsichtlich Turbulenzen, nicht.
  • Die vorgeschlagene Sensoranordnung lässt sich auf verschiedene Weisen weiter verbessern. Wie oben dargestellt, ist es besonders bevorzugt, wenn die zwei Stufen zueinander um einen im Wesentlichen rechten Winkel versetzt sind. Weiterhin ist es bevorzugt, wenn die mindestens zwei Stufen auch entlang der Strömungsrichtung durch den Kanal zueinander versetzt sind. So kann beispielsweise mindestens eine zweite Stufe um eine Versatzstrecke stromabwärts einer ersten Stufe angeordnet sein. Eine derartige Versetzung der Stufen zueinander, in Kombination mit dem genannten Winkelversatz, kann weiter dazu beitragen, die Ablösegebiete zu verkleinern und zu stabilisieren und/oder Interaktionen zwischen den Ablösegebieten zu vermeiden.
  • Weiterhin wurden oben bereits verschiedene Möglichkeiten der Anordnung der Stufen diskutiert. So kann beispielsweise mindestens eine erste Stufe in einer zur Hauptströmungsrichtung des fluiden Mediums zumindest im Wesentlichen parallelen Vorder- und/oder Rückwand des Kanals angeordnet sein und mindestens eine zweite Stufe in einer zu der Vorder- und/oder Rückwand zumindest im Wesentlichen senkrechten Seitenwand des Kanals. Unter „im Wesentlichen parallel” bzw. „im Wesentlichen senkrecht” kann dabei jeweils auch eine leichte Abweichung von 0° bzw. 90° verstanden werden, beispielsweise eine Abweichung um nicht mehr als 20°.
  • Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung betreffen die äußere Ausgestaltung des Steckerteils, welche ebenfalls zur Beruhigung und Vergleichmäßigung der Strömung in den mindestens einen Kanal beitragen kann und welche somit synergetisch mit den oben beschriebenen Maßnahmen zur Verbesserung der Signalqualität zusammenwirken kann.
  • So ist es besonders bevorzugt, wenn das Steckerteil eine einstückig mit einem den Kanal aufnehmenden Gehäuse des Steckerteils ausgebildete abgerundete Anströmkante aufweist. Diese Anströmkante weist bei in die Strömung eingebrachtem Steckerteil, also beispielsweise bei in einer Halterung des Steckerteils eingebrachtem Steckerteil, der Hauptströmungsrichtung des fluiden Mediums entgegen. Diese Halterung kann beispielsweise ebenfalls Bestandteil der Sensoranordnung sein. Die Anströmkante kann dabei ein beliebiges abgerundetes Profil aufweisen. Beispielsweise kann die Anströmkante ein elliptisches Profil, ein kreisförmiges Profil oder eine andere Art von abgerundetem Profil aufweisen. Weiterhin können in der Anströmkante, welche einstückig mit dem übrigen Steckerteil ausgebildet ist, Strömungsführungselemente vorgesehen sein, wie beispielsweise Strömungsrillen oder ähnliches.
  • Weiterhin kann die Signalqualität, insbesondere die Empfindlichkeit gegenüber unterschiedlichen Anstellwinkeln des Steckerteils gegenüber der Hauptströmungsrichtung, weiter verbessert werden durch eine geeignete Anordnung des mindestens einen Kanalauslasses. Insbesondere eine geeignete Anordnung des Messkanalauslasses kann dabei zu einer Verbesserung der Signalqualität führen. So kann der Kanal, wie oben dargestellt, mindestens einen Messkanal aufweisen, in welchem der mindestens eine Sensorchip angeordnet ist. Dieser Messkanal weist mindestens einen Messkanalauslass auf, wobei der Messkanalauslass an einer zur Längserstreckungsrichtung des Steckerteils im Wesentlichen senkrecht orientierten Stirnseite des Steckerteils angeordnet ist. Beispielsweise kann diese Stirnseite im Wesentlichen parallel zur Hauptströmungsrichtung und/oder vorzugsweise im Wesentlichen senkrecht zu einer durch die Längserstreckungsrichtung und die Hauptströmungsrichtung des fluiden Mediums gebildeten Ebene orientiert sein. Unter „im Wesentlichen senkrecht” können dabei auch wiederum leichte Abweichungen von einem 90°-Winkel verstanden werden, beispielsweise Abweichungen um nicht mehr als 20°. Ein Vorteil dieser Anordnung, insbesondere in Kombination mit der einstückig am Steckerteil angeformten Anströmkante, liegt darin, dass der Messkanalauslass auf der Stirnseite vergleichsweise geringen Änderungen der Druckverhältnisse unterworfen ist, wenn der Anstellwinkel des Steckerteils relativ zur Hauptströmungsrichtung verändert wird. Auf diese Weise ist die Signalqualität weitgehend unabhängig von den tatsächlichen Einbaubedingungen des Steckerteils in der Sensoranordnung.
  • In diesem Zusammenhang ist es weiterhin besonders bevorzugt, wenn das Steckerteil am Übergang zwischen der Stirnseite mit dem Messkanalauslass und der Anströmkante eine Abschrägung oder Abrundung aufweist. So kann beispielsweise die Stirnseite als im Wesentlichen ebene Stirnseite ausgebildet sein, und lediglich am Übergang zur Anströmkante kann die genannte Abschrägung oder Abrundung vorgesehen sein. Diese Abschrägung oder Abrundung, welche beispielsweise in Form einer „Nase” ausgestaltet sein kann, kann zu einer Beschleunigung der Strömung im Bereich des Übergangs von der Anströmkante zur Stirnseite führen, was zu einer Verringerung des Drucks am Messkanalauslass und somit zu einem erhöhten Luftdurchsatz durch den Messkanal führt. Hierdurch lässt sich der Signalhub erhöhen, und das Signalrauschen lässt sich vermindern, so dass insgesamt das Signal-Rauschverhältnis verbessert werden kann. Insgesamt lassen sich also durch die genannten Maßnahmen, einzeln oder in Kombination, eine Unabhängigkeit des Sensorsignals von der Druckdifferenz zwischen Einlassöffnung und Auslassöffnung sowie eine Verbesserung der Signalqualität erzielen.
  • Weitere Verbesserungen lassen sich dadurch erreichen, dass die Strecke, welche das fluide Medium von der Einlassöffnung bis hin zum Sensorchip zurücklegen muss, möglichst lang ausgestaltet wird. So können beispielsweise eine Anströmstrecke zwischen der Einlassöffnung und dem Sensorchip und eine Abströmstrecke zwischen Sensorchip und Messkanalauslass vorgesehen sein. Dabei ist die Anströmstrecke vorzugsweise möglichst groß ausgestaltet, damit Strömungsunregelmäßigkeiten in dieser Anströmstrecke durch ein möglichst großes Beruhigungsvolumen ausgeglichen werden können. Dementsprechend ist es besonders bevorzugt, den Sensorchip im Messkanal möglichst weit stromabwärts anzuordnen. Dies bedeutet insbesondere, dass die Anströmstrecke vorzugsweise mindestens genauso groß ist wie die Anströmstrecke.
  • Bei herkömmlichen Sensoranordnungen ist dies jedoch in der Regel nicht der Fall. Dies ist insbesondere dadurch bedingt, dass der Sensorchip, wie oben dargestellt, in der Regel auf einem Kunststoff-Sensorträger angeordnet ist, welcher symmetrisch an einem Bodenblech angespritzt ist. Erfindungsgemäß wird daher vorgeschlagen, dass die Sensoranordnung mindestens ein Elektronikmodul mit einer Ansteuer- und Auswerteschaltung umfasst. Diese Ansteuer- und Auswerteschaltung kann beispielsweise eine Leiterplatte umfassen, auf welcher entsprechende elektronische Bauelemente und/oder entsprechende Leiterbahnen, Kontaktpads, Anschlusskontakte oder ähnliches vorgesehen sein können. Die Ansteuer- und Auswerteschaltung kann ausgestaltet sein, um die Funktionalität der Sensoranordnung ganz oder teilweise zu gewährleisten, also beispielsweise um das Sensorelement anzusteuern und zumindest teilweise dessen Signale auszuwerten. Das Elektronikmodul weist vorzugsweise einen Sensorträger auf, auf welchem und/oder in welchem der Sensorchip aufgenommen ist. Insbesondere kann es sich bei diesem Sensorträger um einen Sensorträgerfortsatz einer Leiterplatte handeln, wie unten noch näher erläutert wird. Der Sensorträger ist dabei vorzugs weise asymmetrisch auf einer stromabwärtigen Seite des Elektronikmoduls angeordnet. Im Gegensatz zu den symmetrischen, aus dem Stand der Technik bekannten Anordnungen kann so die Anströmstrecke des fluiden Mediums vergrößert werden, so dass das fluide Medium in einem beruhigteren Zustand am Sensorchip anlangt als bei herkömmlichen Sensoranordnungen.
  • Der Sensorträger kann dabei grundsätzlich wie im Stand der Technik beschrieben ausgestaltet sein. Besonders bevorzugt ist diese asymmetrische Anordnung jedoch in Kombination mit einem weiteren, auch unabhängig realisierbaren Aspekt der Erfindung, welche die Ausgestaltung des Elektronikmoduls betrifft. Dieses Elektronikmodul mit der Ansteuer- und Auswerteschaltung kann, im Gegensatz zu bekannten Elektronikmodulen, dadurch vereinfacht werden, dass dieses zumindest weitgehend, vorzugsweise vollständig, auf das Bodenblech verzichtet. Dabei werden vorzugsweise der Sensorträger und die Leiterplatte der Ansteuer- und Auswerteschaltung zusammengefasst. Zu diesem Zweck kann eine Leiterplatte vorgesehen sein, welche die Ansteuer- und Auswerteschaltung trägt. Diese Leiterplatte kann aus üblichen Leiterplattenmaterialien hergestellt sein, beispielsweise aus Kunststoffen (beispielsweise aus glasfaserverstärkten oder kohlfaserverstärkten Epoxiden), Keramiken, Verbundmaterialien oder ähnlichem. Die Leiterplatte kann insbesondere als gedruckte Leiterplatte (Printed Circuit Board, PCB) ausgestaltet sein. Erfindungsgemäß kann diese Leiterplatte einen in den Kanal hineinragenden, mit der Leiterplatte also einstückig ausgebildeten, Sensorträgerfortsatz aufweisen. Auf diesem Sensorträgerfortsatz, welcher als Sensorträger wirkt, kann der Sensorchip der Sensoranordnung angeordnet sein. Dabei kann die Anordnung beispielsweise auf einer Oberfläche des Sensorträgerfortsatzes erfolgen und/oder beispielsweise auch zumindest teilweise integriert in den Sensorträgerfortsatz, also beispielsweise eingelassen in eine Vertiefung in dem Sensorträgerfortsatz.
  • Diese Weiterbildung der Erfindung hat erhebliche Verbesserungen hinsichtlich der technischen Herstellbarkeit der Sensoranordnung zur Folge. So kann die Herstellung des Elektronikmoduls stark vereinfacht werden, da dieses Elektronikmodul nunmehr einstückig ausgebildet werden kann. Lediglich einen Einsatz des Sensorchips muss noch erfolgen, sowie dessen elektrische Kontaktierung. Hierdurch lassen sich die Kosten derartiger Elektronikmodule und der Sensoranordnung insgesamt erheblich verringern. Leiterplatten lassen sich, insbesondere in der beschriebenen asymmetrischen Anordnung, gut im Nutzen fertigen. Auch die oben dargestellte asymmetrische Anordnung des Sensorträgerfortsatzes lässt sich auf diese Weise leicht realisieren.
  • Der Sensorträger bzw. der Sensorträgerfortsatz muss allgemein nicht senkrecht zur lokalen Strömung des strömenden fluiden Mediums in dem Messkanal angeordnet sein. So kann dieser Sensorträger bzw. dieser Sensorträgerfortsatz auch unter einem von 90° abweichenden Winkel in den Messkanal hineinragen. Besonders bevorzugt ist es dann jedoch, wenn der Sensorchip schräg zu einer Längserstreckungsachse des Sensorträgerfortsatzes angeordnet ist. Beispielsweise kann der Sensorchip eine Hauptachse aufweisen, beispielsweise eine Hauptachse, parallel zu welcher die wesentlichen Sensorelemente des Sensorchips angeordnet sind. Beispielsweise können Heizwiderstände, Temperaturfühler oder ähnliches parallel zu dieser Hauptachse angeordnet sein. Diese Hauptachse ist dann vorzugsweise im Wesentlichen senkrecht zur lokalen Strömungsrichtung des fluiden Mediums angeordnet, wobei jedoch auch in diesem Fall wiederum leichte Abweichungen von dem senkrechten Winkel möglich sind, beispielsweise Abweichungen um nicht mehr als 10°. Auf diese Weise kann gewährleistet werden, dass die Messung an einer genau definierten Stelle entlang des Messkanals des Steckerteils erfolgt.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.
  • Es zeigen
  • 1 ein Ausführungsbeispiel einer dem Stand der Technik entsprechenden Sensoranordnung;
  • 2 ein Ausführungsbeispiel einer verbesserten Sensoranordnung mit einer Leiterplatte als Elektronikmodul;
  • 3 ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung; und
  • 4 eine Darstellung der Druckverhältnisse um die Sensoranordnung gemäß 3.
  • In 1 ist ein Ausführungsbeispiel einer dem Stand der Technik entsprechenden Sensoranordnung 110 dargestellt, welche beispielsweise unter der Bezeichnung HFM7-IP von der Robert Bosch GmbH, Deutschland, kommerziell erhältlich ist. Die Sensoranordnung 110 umfasst ein Steckerteil 112 mit einem Messfinger 114, welcher über einen Flansch 116 in einen Ansaugtrakt einer Brennkraftmaschine, beispielsweise ein Strömungsrohr dieses Ansaugtrakts, eingebracht werden kann. Das Strömungsrohr selbst oder ein Segment dieses Strömungsrohrs kann Bestandteil der Sensoranordnung 110 sein. Die Sensoranordnung 110 umfasst ein Gehäuse 118, in welchem ein Elektronikraum 120 ausgebildet ist. In diesem Elektronikraum 120 ist ein Elektronikmodul 122 eingebracht, welches ein Bodenblech 124 mit einer darauf aufgebrachten Leiterplatte 126 einer Ansteuer- und Auswerteschaltung 128 umfasst. Weiterhin umfasst das Elektronikmodul 122 einen an dem Bodenblech 124 angespritzten Sensorträger 130. Dieser Sensorträger 130 nimmt in einer Aussparung einen Sensorchip 132 auf, beispielsweise einen Sensorchip auf Silizium-Basis.
  • Weiterhin ist in dem Gehäuse 118 eine Kanalstruktur 134 ausgebildet, welche in diesem Beispiel mehrere Kanäle 136 umfasst. Unter anderem wird hierdurch ein Messkanal 138 gebildet, in welchem durch eine Einlassöffnung 140 in dem Messfinger 114 ein strömendes fluides Medium in einer repräsentativen Menge einströmen kann. Der Sensorträger 130 mit dem Sensorchip 132 ragt in diesen Messkanal 138 durch einen Durchbruch 142 hinein. Der Sensorchip 132 und die Ansteuer- und Auswerteschaltung 128 werden durch in 1 nicht dargestellte elektrische Verbindungen in Form von Bondverbindungen miteinander verbunden. Das Gehäuse 118 umfasst neben einem Gehäusekörper 144 einen Elektronikraumdeckel 146 und einen Bypasskanaldeckel 148, welcher die Kanalstruktur 134 abdeckt. Dabei ist an dem Bypasskanaldeckel 148 eine Abdichtung 150 in Form eines Dichtschwerts 152 aufgenommen, welches in 1 nur teilweise erkennbar ist und welches einen in 1 nach unten ragenden Steg bildet. Dieser Steg liegt auf dem Sensorträger 130 auf.
  • In 2 ist eine noch nicht aus dem Stand der Technik bekannte Abwandlung der in 1 gezeigten Sensoranordnung 110 in Draufsicht gezeigt. Die Abwandlungen gegenüber der 1 können auch im Rahmen der vorliegenden Erfindung eingesetzt werden. Ansonsten entsprechen der Aufbau und die Funktionsweise der Sensoranordnung 110 gemäß 2 in weiten Teilen der Anordnung gemäß 1, so dass weitgehend auf die obige Beschreibung dieser 1 verwiesen werden kann. Dabei ist in der Darstellung gemäß 2 die Kanalstruktur 134, welche durch den Gehäusekörper 144, in Zusammenwirkung mit dem in 2 nicht gezeigten Bypasskanaldeckel 148, gebildet wird, beispielhaft im Detail zu erkennen. Es lasst sich sehen, dass, ausgehend von dem mit der Hauptströmungsrichtung 156 strömenden fluiden Medium entgegenweisenden Einlassöffnung 140, ein Hauptkanal 158 zu einem seitlich im Gehäusekörper 144 aufgenommenen Hauptkanalauslass 160 verläuft. Von diesem Hauptkanal 158 zweigt der Messkanal 138 ab, welcher schließlich in einem Messkanalauslass 162 mündet. In den Messkanal 138 ragt, durch einen Durchbruch 142 in einer Kanalwand 164 (Messkanalwand), ein Sensorträger 130. Im Unterschied zur Anordnung gemäß 1 sind in dem in 2 dargestellten Beispiel vorzugsweise das Bodenblech 124 und der Sensorträger 130 gemäß 1 vereinheitlicht und durch eine gemeinsame Leiterplatte 126 ersetzt, welche auch die Ansteuer- und Auswerteschaltung 128 trägt. Der Sensorchip 132 ist unmittelbar auf diese Leiterplatte 126 bzw. einen den Sensorträger 130 bildenden, in den Messkanal 138 hineinragenden Sensorträgerfortsatz 165 der Leiterplatte 126 eingesetzt oder auf diesen aufgesetzt.
  • Die elektrische Anbindung des Sensorchips 132 an die Leiterplatte 126 bzw. die Ansteuer- und Auswerteschaltung 128 kann wiederum über elektrische Verbindungen 154 erfolgen, beispielsweise über Bonddrähte. Diese elektrischen Verbindungen 154 sind in dem dargestellten Ausführungsbeispiel durch einen Glob Top 166 in Form beispielsweise eines Klebstoff-Tropfens und/oder Kunststoff-Tropfens geschützt. Dieser Glob Top 166 liegt vorzugsweise auf der Bypassseite der Leiterplatte 126, so dass die Abdichtung 150 zwischen dem Messkanal 138 und dem Elektronikraum 120 dahinter, auf der Leiterplatte 126 erfolgt. Diese Abdichtung 150, welche beispielsweise wiederum durch ein Dichtschwert 152 im Bypasskanaldeckel 148 realisiert sein kann, ist in 2 lediglich angedeutet.
  • Der Durchsatz durch die Kanäle 136 des Steckerteils 112 wird entscheidend durch die Druckdifferenz zwischen der Einlassöffnung 140 und den Auslässen 160 bzw. 162 bestimmt. Aufgrund des Querschnitts beispielsweise der in den 1 und 2 dargestellten Steckerteile 112 ändert sich diese Druckdifferenz jedoch bei einer Schräganströmung des Steckerteils 112 durch das fluide Medium. Diese Änderungen sollen anhand der Darstellung in 4 erläutert werden.
  • In 4 ist symbolisch ein Profil 168 des Steckerteils 112, beispielsweise in einer Schnittebene senkrecht zur Längserstreckung des Steckerteils 112, dargestellt. Dieses Profil 168 ist beispielsweise als Tragflächenprofil ausgestaltet und weist eine Saugseite 170 und eine Druckseite 172 auf. Bedingt durch das Tragflächenprofil und die damit verbundene Strömungsverengung über der Saugseite 170 herrscht auf dieser Saugseite 170 ein geringerer Druck im strömenden fluiden Medium als auf der Druckseite 172. Dabei wird das Profil 168 von dem strömenden fluiden Medium unter einem Anströmwinkel α angeströmt, welcher in 4 symbolisch angedeutet ist. Dieser Anströmwinkel α ist der Winkel zwischen der Hautströmungsrichtung 156 und einer lediglich symbolisch angedeuteten Mittelachse 174 des tragflächenförmigen Profils 168. Über dem Profil 168 in 4 sind symbolisch die Druckverhältnisse auf der Saugseite 170 und auf der Druckseite 172 aufgetragen. Dargestellt ist dabei jeweils der so genannte Druckbeiwert cp, also das dimensionslose Verhältnis zwischen dem Druck und dem Staudruck, als Position entlang einer Profilmittellinie des Profils 168. Die Druckbeiwerte wurden dabei jeweils mittels Simulationsrechnungen ermittelt. Dabei ist zu beachten, dass die Achse des Druckbeiwerts cp in der Darstellung gemäß 4 invertiert ist, so dass nach oben hin negative Werte aufgetragen sind.
  • Die Kurven 176 bis 184 bezeichnen dabei jeweils die Druckbeiwerte auf der Druckseite 172 bei verschiedenen Anstellwinkelen α, nämlich die Kurve 176 bei 4°, die Kurve 178 bei 2°, die Kurve 180 bei 0°, die Kurve 182 bei –2° und die Kurve 184 bei –4°. Der Anstellwinkel ist dabei bei einer Anströmung schräg von unten in 4 negativ gerechnet, bei einer Anströmung schräg von oben hingegen positiv. Entsprechend bezeichnen die Kurven 186 bis 194 die Druckbeiwerte auf der Saugseite 170 bei verschiedenen Anstellwinkeln α, nämlich die Kurve 186 bei –4°, die Kurve 188 bei –2°, die Kurve 190 bei 0°, die Kurve 192 bei 2° und die Kurve 194 bei 4°. Unabhängig von Details der in 4 dargestellten Druckbeiwert-Kurven ist erkennbar, dass sich die Druckverhältnisse auf beiden Seiten des Profils 168 mit einer Veränderung des Anstellwinkels α erheblich verändern können. Dies bedeutet jedoch, dass auch ein Durchsatz durch die Kanalstruktur 134 und somit durch den Messkanal 138 stark vom Anstellwinkel α abhängig ist. Dies jedoch bedeutet, dass sich auch das Messsignal mit dem Anstellwinkel α ändern kann.
  • Dementsprechend ist in 3 ein erfindungsgemäßes Beispiel der Sensoranordnung 110 dargestellt, welches in der dargestellten Ausführungsform vergleichsweise unempfindlich ist gegenüber den Veränderungen des Anstellwinkels und welches allgemein verbesserte Eigenschaften hinsichtlich der Signalqualität aufweist. Die Sensoranordnung 110 ist zunächst weitgehend aufgebaut wie die Sensoranordnung gemäß 2, so dass in weiten Teilen auf die Beschreibung dieser Sensoranordnung gemäß 2 verwiesen werden kann. So weist die Sensoranordnung 110 wiederum ein Steckerteil 112 auf, wobei in dem dargestellten Ausführungsbeispiel eine abgerundete, der Hauptströmungsrichtung 156 entgegenweisende und einstückig mit einem Gehäuse 118 des Steckerteils 112 ausgebildete Anströmkante 196 vorgesehen ist. Diese Anströmkante kann Strömungsrillen 198 oder andere strömungsführende Elemente umfassen, welche in 3 lediglich angedeutet sind.
  • Ein Unterschied zu der in 2 gezeigten Ausführungsform bei der erfindungsgemäßen Ausführungsform gemäß 3 besteht in der Ausgestaltung der Kanalstruktur 134. Zunächst weist diese Kanalstruktur 134 wiederum einen von einer Einlassöffnung 140 ausgehenden Hauptkanal 158 auf, welcher wieder in einem seitlich auf dem Steckerteil 112 angeordneten Hauptkanalauslass 160 mündet. Von diesem Hauptkanal 158 zweigt, wie auch in dem Ausführungsbeispiel gemäß 2, ein Messkanal 138 ab, in welchem wiederum ein Sensorträger 130 mit einem darauf aufgebrachten Sensorchip 132 hineinragt. Wie auch bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 2 ist dabei ein Elektronikmodul 122 als einstückige Leiterplatte 126 ausgebildet, welche auch eine Ansteuer- und Auswerteschaltung 128 trägt. Der Sensorträger 130 ist in Form eines in den Messkanal 138 hineinragenden Sensorträgerfortsatzes 165 ausgebildet. Bezüglich der Vorteile dieser einstückigen Ausbildung des Elektronikmoduls 122 kann auf die Beschreibung der 2 verwiesen werden. Im Unter schied zu der dort dargestellten Ausführungsform ist die Leiterplatte 126 im Elektronikraum 120 mit einer abgeschrägten Kante 200 versehen, was jedoch nicht zwingend erforderlich ist und was entsprechend den jeweils vorgegebenen Bauraumdimensionen jeweils optimal wählbar ist. Im Gegensatz zu der in 2 dargestellten Ausgestaltung ist der Sensorträgerfortsatz 165 bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 3 vorzugsweise nicht in einem horizontal, parallel zur Hauptströmungsrichtung 156 verlaufenden Abschnitt des Messkanals 138 angeordnet, sondern in 3 nach links, weg von der Einlassöffnung 140 verschoben, in einen bereits wieder teilweise senkrecht, parallel zur Längserstreckung verlaufenden Abschnitt des Messkanals 138. Dadurch kann die Anströmstrecke zwischen der Einlassöffnung 140 und dem Sensorchip 132 zusätzlich verlängert werden. Der Sensorträgerfortsatz 165 steht dann nicht mehr senkrecht zur lokalen Strömungsrichtung des fluiden Mediums im Messkanal 138, sondern unter einem von 90° verschiedenen Winkel. Der Sensorchip 132 selbst kann jedoch schräg auf diesen Sensorträgerfortsatz 165 angeordnet sein, wie in 3 dargestellt, so dass die Haupterstreckung dieses Sensorchips 132 wiederum senkrecht zur lokalen Strömungsrichtung des fluiden Mediums im Messkanal 138 verläuft.
  • Stromabwärts des Sensorträgerfortsatzes 165 sind in dem in 3 gezeigten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel der Sensoranordnung 110 zwei Stufen 202, 204 vorgesehen. Dabei ist eine erste Stufe 202 unmittelbar stromabwärts des Sensorträgerfortsatzes 165 in einer Seitenwand 206 vorgesehen, verläuft also im Wesentlichen senkrecht zur Längserstreckung des Steckerteils 112 und zur Hauptströmungsrichtung 156. Eine zweite Stufe 204 ist um eine Versatzstrecke, welche in 3 mit L bezeichnet ist, stromabwärts der ersten Stufe 202 angeordnet. Diese zweite Stufe 204 ist dabei in einer Rückwand 208 des Messkanals 138 ausgebildet. Da die Seitenwand 206 und die Rückwand 208 beispielsweise bei einem rechteckigen Messkanalquerschnitt senkrecht zueinander stehen, sind somit auch die beiden Stufen 202, 204 um einen Winkel von zumindest näherungsweise 90° gegeneinander winkelversetzt.
  • Wie oben dargestellt, bewirken die Stufen 202, 204 eine Verkleinerung und Stabilisierung eines Ablösegebietes stromabwärts des Sensorchips 132. Derartige Ablösegebiete entstehen insbesondere wenn, wie auch bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 3 möglich, der Messkanal 138 im Bereich dieses Sensorchips 132 verengt wird. Eine derartige Verengung kann beispielsweise durch eine Bypasskanaldeckel 148 erfolgen und/oder durch eine entsprechende Ausgestaltung der Rückwand 208 des Messkanals 138 im Bereich des Sensorchips 132. Diese Verengung bewirkt eine Beschleunigung der Strömung im Bereich des Sensorchips 132 und damit eine Erhöhung des Signalhubs. Da sich stromabwärts des Sensorchips 132 in diesem Fall der Querschnitt des Messkanals 138 wieder aufweitet, kann es bei einer derartigen Strömungsexpansion zu Ablösegebieten kommen, welche jedoch durch die erfindungsgemäßen Stufen 202, 204 ortsfest gehalten werden können und weiterhin klein und stabil ausgestaltet werden können. Hierdurch wird die Signalqualität der Sensoranordnung 110 erheblich verbessert. Es sei darauf hingewiesen, dass die Stufen 202, 204, welche zueinander winkelversetzt sind, in dem Ausführungsbeispiel gemäß 3 lediglich beispielhaft zu verstehen sind. So sind die Stufen 202, 204 beispielsweise wie bei der ersten Stufe 202 angedeutet, durch eine zunächst kontinuierliche Verengung des Kanalquerschnitts, gefolgt von einer plötzlichen Erweiterung, ausgebildet. Der Stufenwinkel beträgt zumindest näherungsweise 90°. Auch andere Ausgestaltungen sind jedoch grundsätzlich möglich. Weiterhin sind auch zusätzliche Stufen in den Wänden 202, 208 des Messkanals 138 möglich. So kann beispielsweise, alternativ oder zusätzlich, eine Stufe in einer Vorderwand des Messkanals 138 angeordnet sein, also beispielsweise in einer durch den Bypasskanaldeckel 148 (siehe 1) gebildeten Wand des Messkanals 138. Weiterhin können auch mehrere, entlang der Strömungsrichtung im Messkanal 138 zueinander versetzte Stufen vorgesehen sein. Weiterhin kann, alternativ oder zusätzlich zur ersten Stufe 202, auch eine weitere erste Stufe 202 an einer gegenüberliegenden Seitenwand 206 des Messkanals 138 angeordnet sein. Weiterhin sind auch von einem rechteckigen Kanalquerschnitt abweichende Kanalquerschnitte des Messkanals 138 möglich, wobei auch in diesem Fall winkelversetzt zueinander angeordnete Stufen 202, 204 vorgesehen sein können.
  • Eine weitere erfindungsgemäße mögliche Verbesserung der Sensoranordnung 110 adressiert die anhand der 4 oben beschriebene Problematik der Änderung der Strömungsverhältnisse bei Änderung des Anströmwinkels α. So ist in diesem Ausführungsbeispiel gemäß 3, im Gegensatz beispielsweise zu der Ausführungsform gemäß 2, welche ebenfalls erfindungsgemäß mit Stufen 202, 204 ausgestattet werden könnte, der Messkanalauslass 162 nicht in einer Seitenwand des Steckerteils 112 vorgesehen, wie beispielsweise der Hauptkanalauslass 160, sondern in einer zur Längserstreckungsrichtung und zur Hauptströmungsrichtung 156 im Wesentlichen senkrecht angeordneten Stirnseite 210 des Steckerteils 112. Die Druckverhältnisse auf dieser Stirnseite 210 ändern sich auch bei einer Veränderung des Anstellwinkels α gemäß 4 nur unwesentlich oder gar nicht. Auf diese Weise kann somit eine weitgehende Unabhängigkeit der Druckdifferenz zwischen der Einlassöffnung 140 und dem Messkanalauslass 162 von den äußeren Einbaubedingungen des Steckerteils 112 erzielt werden.
  • Weiterhin können die Signaleigenschaften noch zusätzlich durch eine Beschleunigung der Strömung entlang der Stirnseite 210 verbessert werden. Eine derartige Beschleunigung kann, ausgehend von der Anströmkante 196 im Bereich der Einlassöffnung 140, also beispielsweise von dem in 3 mit A bezeichneten Punkt, hin zur Stirnseite 210, beispielsweise dem in 3 mit B bezeichneten Punkt, durch einen abgerundeten Übergang 212 zwischen der Anströmkante 196 und der Stirnseite 210 erzielt werden. Auf diese Weise wird zwischen den Punkten A und B durch den abgerundeten Übergang 212, welcher auch als hochgezogene „Nase” bezeichnet werden kann, die Strömung zusätzlich beschleunigt werden. Dies führt zu einem geringeren Druck am Messkanalauslass 162 und somit zu einem erhöhten Luftdurchsatz durch den Messkanal 138. Hierdurch lassen sich der Signalhub erhöhen und das Signalrauschen verringern.
  • Allgemein lasst sich durch das Design der Kanäle 136, insbesondere des Messkanals 138, gemäß dem in 3 gezeigten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel die Kanallänge, insbesondere des Messkanals 138, erhöhen. Dies kann zu einer Verringerung des Pulsationsfehlers führen, abhängig von der verwendeten Elektronik, da insgesamt eine größere träge Luftmasse in dem Messkanal 138 bewegt werden muss. Insgesamt lasst sich mittels der in der 3 vorgeschlagenen Verbesserungen also eine Sensoranordnung 110 mit einem ausgezeichneten Pulsationsverhalten erzielen. Dies bedeutet, dass ein Mittelwert des Sensorsignals durch das Vorhandensein von Oszillationen in der zuströmenden Luft nicht oder kaum verändert wird. Dieses Verhalten kann vor allem durch die Länge des Messkanals 138 beeinflusst werden, da die eingeschlossene Luftmasse über eine gewisse Masse verfügt und aufgrund der Wandreibung auch einer Dämpfung ausgesetzt ist. Die erfindungsgemäße Ausgestaltung der Sensoranordnung 110 ermöglicht eine größere Länge der Kanalstruktur 134 allgemein, was insbesondere bei Sensoranordnungen 110 mit Tiefpassfiltern im Elektronikmodul 122, beispielsweise in der Ansteuer- und Auswerteschaltung 128, für ein besseres dynamisches Verhalten sorgt. Durch die erfindungsgemäß mögliche Verlegung des Messkanalauslasses 162 auf die Stirnseite 210 des Steckerteils 112 kann das Sensorsignal weniger anstellwinkelabhängig ausgestaltet werden. Dadurch wird die Anströmempfindlichkeit, das heißt die Veränderung des Luftmassensignals bei Änderung des Anstellwinkels der Zuströmung relativ zum Steckerteil 112, verringert.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • - DE 10253970 A1 [0002, 0004, 0004]
    • - DE 10246069 A1 [0006, 0006]

Claims (10)

  1. Sensoranordnung (110) zur Bestimmung mindestens eines Parameters eines strömenden fluiden Mediums, umfassend mindestens ein sich in einer Längserstreckungsrichtung erstreckendes Steckerteil (112), wobei das Steckerteil (112) mindestens eine Einlassöffnung (140) und mindestens eine Auslassöffnung (160, 162) sowie mindestens einen sich zwischen der Einlassöffnung (140) und der Auslassöffnung (160, 162) erstreckenden, von dem fluiden Medium durchströmbaren Kanal (136) aufweist, wobei in dem Kanal (136) mindestens ein Sensorelement (132), insbesondere ein Sensorchip (132), zur Bestimmung des Parameters angeordnet ist, wobei stromabwärts des Sensorelements (132) in mindestens einer den Kanal (136) begrenzenden Wand (206, 208) mindestens zwei Stufen (202, 204) angeordnet sind, wobei die Stufen (202, 204) zueinander um einen Winkel versetzt sind, wobei die Stufen (202, 204) quer zu einer Strömung durch den Kanal (136) angeordnet sind.
  2. Sensoranordnung (110) nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei mindestens zwei Stufen (202, 204) zueinander um einen im Wesentlichen rechten Winkel versetzt sind.
  3. Sensoranordnung (110) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei mindestens eine zweite Stufe (202, 204) um eine Versatzstrecke stromabwärts einer ersten Stufe (202, 204) angeordnet ist.
  4. Sensoranordnung (110) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei mindestens eine erste Stufe (202, 204) in einer zu einer Hauptströmungsrichtung (156) des fluiden Mediums zumindest im Wesentlichen parallelen Vorder- und/oder Rückwand (208) des Kanals (136) angeordnet ist und mindestens eine zweite Stufe (202, 204) in einer zu der Vorder- oder Rückwand (208) zumindest im Wesentlichen senkrechten Seitenwand (206) des Kanals (136) angeordnet ist.
  5. Sensoranordnung (110) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Steckerteil (112) eine einstückig mit einem den Kanal (136) aufnehmenden Gehäuse (118) des Steckerteils (112) ausgebildete abgerundete Anströmkante (196) aufweist, wobei die Anströmkante (196) einer Hauptströmungsrichtung (156) des fluiden Mediums entgegenweist.
  6. Sensoranordnung (110) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Kanal (136) zumindest einen Messkanal (138) aufweist, wobei der Messkanal (138) einen Messkanalauslass (162) aufweist, wobei der Messkanalauslass (162) an einer zur Längserstreckungsrichtung des Steckerteils (112) im Wesentlichen senkrecht orientierten Stirnseite (210) des Steckerteils (112) angeordnet ist.
  7. Sensoranordnung (110) nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei das Steckerteil (112) eine einer Hauptströmungsrichtung (156) des fluiden Mediums entgegenweisende Anströmkante (196) aufweist, wobei das Steckerteil (112) am Übergang (212) zwischen der Stirnseite (210) und der Anströmkante (196) eine Abschrägung oder Abrundung aufweist.
  8. Sensoranordnung (110) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, weiterhin umfassend eine Ansteuer- und Auswerteschaltung (128), wobei die Ansteuer- und Auswerteschaltung (128) auf einer Leiterplatte (126) aufgenommen ist, wobei die Leiterplatte (126) einen in den Kanal (136) hineinragenden Sensorträgerfortsatz (165) aufweist, wobei das Sensorelement (132) auf dem Sensorträgerfortsatz (165) angeordnet ist.
  9. Sensoranordnung (110) nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei das Sensorelement (132) schräg zu einer Längserstreckungsachse des Sensorträgerfortsatzes (165) angeordnet ist.
  10. Sensoranordnung (110) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, weiterhin umfassend ein Elektronikmodul (122) mit einer Ansteuer- und Auswerteschaltung (128), wobei das Elektronikmodul (122) einen Sensorträger (130) aufweist, insbesondere einen Sensorträgerfortsatz (165) einer Leiterplatte (126), wobei der Sensorträger (130) asymmetrisch an einer stromabwärtigen Seite des Elektronikmoduls (122) angeordnet ist.
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