DE102008029227B4 - Surface structured temperature sensor and method of manufacture - Google Patents

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Abstract

Verfahren zur Herstellung eines zur Messung gasförmiger und flüssiger Medien geeigneten Temperaturfühlers mit einem in einem Mantel (4) angeordneten Temperatursensor, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem Mantel (4) eine Mikrostruktur (5) einer Tiefe von 20 bis 80 μm mit einer Laserbearbeitung oder mit einem mikrolithografischen Verfahren aufgebracht wird, wobei die Mikrostruktur (5) aus linienförmigen Vertiefungen besteht und die Strukturtiefe der Mikrostruktur (5) kleiner als die Hälfte der Dicke einer sich am Messfühler ausbildenden Strömungsgrenzschicht ist.A method for producing a temperature sensor suitable for measuring gaseous and liquid media with a temperature sensor arranged in a jacket (4), characterized in that a microstructure (5) with a depth of 20 to 80 μm with a laser processing or with a microlithographic process is applied, wherein the microstructure (5) consists of linear depressions and the depth of the microstructure (5) is less than half the thickness of a flow boundary layer forming on the sensor.

Description

Die Erfindung betrifft einen Temperaturfühler zur Messung hoher Temperaturen gasförmiger und/oder flüssiger Medien mit einem temperaturabhängigen Messelement und einem metallischen Fassungsteil, wobei das Fassungsteil mit Prozessanschlussbauteilen verbunden ist und das unteres Ende des Fassungsteiles als Schutzrohr ausgebildet ist und in das zu messende Medium ragt und im Inneren des Fassungsteiles Innenleitungsdrähte verlaufen, die das Messelement mit einem elektrischen Anschluss verbinden und ein Verfahren zu seiner Herstellung.The invention relates to a temperature sensor for measuring high temperatures of gaseous and / or liquid media with a temperature-dependent measuring element and a metallic socket part, wherein the socket part is connected to process connection components and the lower end of the socket part is designed as a protective tube and projects into the medium to be measured and in Inside the socket part inner conductor wires run, which connect the measuring element with an electrical connection and a method for its preparation.

Die Erfindung ist für den Einsatz in technischen Prozessen mit hohen Temperaturen, vorzugsweise in Abgastemperatursträngen von Hochleistungsmotoren oder in Verdichter- oder Diffusoraggregaten von Gasturbinen, geeignet.The invention is suitable for use in industrial processes with high temperatures, preferably in exhaust gas temperature strands of high-performance engines or in compressor or diffuser units of gas turbines.

Als Temperatursensoren können Messwiderstände oder Thermoelemente verwendet werden. Vorwiegend sind sie als Thermoelemente ausgebildet. Derartige Temperaturfühler zeichnen sich durch eine günstige Thermometerdynamik, d. h. durch niedrige T50- und T90-Zeitprozentkennwerte aus.As temperature sensors measuring resistors or thermocouples can be used. Mostly they are designed as thermocouples. Such temperature sensors are characterized by favorable thermometer dynamics, ie by low T 50 and T 90-time percentage characteristics.

Die US 2 611 791 A beschreibt einen Temperaturfühler, insbesondere zur Messung von hohen Temperaturen von Gasen in Strahltriebwerken. In einem Keramikkörper sind dabei zwei elektrische Leitungen in Bohrungen längs des Keramikkörpers angeordnet. Die Leitungen sind mittels innerhalb der Bohrungen angeordneter Einsätze kontaktlos zum Keramikkörper gelagert und an einem Ende des Keramikkörpers außerhalb desselben miteinander verbunden. Die Einsätze können elastisch und/oder aus Harz ausgebildet sein.The US Pat. No. 2,611,791 A describes a temperature sensor, in particular for measuring high temperatures of gases in jet engines. In a ceramic body while two electrical lines are arranged in bores along the ceramic body. The lines are arranged by means arranged within the holes inserts contactless to the ceramic body and connected to one another at one end of the ceramic body. The inserts may be elastic and / or made of resin.

In US 6 059 453 A wird ein Temperaturfühler zur Temperaturmessung in einem Fluid beschrieben, der ein temperaturabhängig ansprechendes elektrisches Element aufweist, das durch eine Saphirummantelung teilweise verkapselt ist. Die Saphirummantelung und das elektrische Element sind desweiteren umgeben von einer Keramikumhüllung, welche dem Fluid ausgesetzt wird. Die Keramikumhüllung ist für bestimmte Gase durchlässig, für welche die Saphirummantelung undurchlässig ist. Zwei zu dem elektrischen Element führende Leitungen sind dabei gegeneinander elektrisch und thermisch durch einen Isolator isoliert, der vorzugsweise aus einem Keramikmaterial besteht. Die Leiter können desweiteren mit isolierendem Silikon ummantelt sein.In US 6 059 453 A For example, there is described a temperature sensor for measuring temperature in a fluid having a temperature responsive electrical element partially encapsulated by a sapphire sheath. The sapphire sheath and the electrical element are further surrounded by a ceramic sheath which is exposed to the fluid. The ceramic envelope is permeable to certain gases for which the sapphire sheath is impermeable. Two leads leading to the electrical element are electrically and thermally isolated from each other by an insulator, which preferably consists of a ceramic material. The conductors can also be covered with insulating silicone.

Nach DE 102 38 628 B4 ist ein Hochtemperatursensor bekannt, bei dem mindestens einer der Innenleitungsdrähte mit einer hochtemperaturbeständigen Isolation versehen ist und sich im Schutzrohr ein Keramikformkörper mit einer Keramikpulverfüllung befindet, dem Anteile von Sauerstoff abgebenden Oxiden beigemischt sind.To DE 102 38 628 B4 a high temperature sensor is known in which at least one of the inner conductor wires is provided with a high temperature resistant insulation and in the protective tube is a ceramic molded body with a ceramic powder filling, the proportions of oxygen-releasing oxides are mixed.

Ferner ist aus DE 603 10 302 T2 ein Schutzrohr für ein Thermoelement zum Schutz eines Thermoelementdrahtes bekannt, welches einen hohlen zylindrischen Körper mit einem geschlossenem Ende aufweist. Das Schutzrohr ist aus pyrolytischen Bornitrid zusammengesetzt und weist auf der äußeren Oberfläche eine Beschichtungsschicht auf, die aus einem Material besteht, welches aus pyrolytischen Kohlenstoff, Kohlenstoff enthaltendes pyrolytisches Bornitrid, Siliziumnitrid, Siliziumkarbid und Aluminiumnitrid ausgewählt wird.Furthermore, it is off DE 603 10 302 T2 a protective tube for a thermocouple for protecting a thermocouple wire is known, which has a hollow cylindrical body with a closed end. The protective tube is composed of pyrolytic boron nitride and has on the outer surface a coating layer made of a material selected from pyrolytic carbon, carbon-containing pyrolytic boron nitride, silicon nitride, silicon carbide and aluminum nitride.

Nachteilig sind bei den beschriebenen Anordnungen neben der aufwendigen und damit kostenintensiven Herstellung auch, dass jeweils nur einzelnen der auftretenden Belastungen begegnet wird, so dass die Ursachen für Messfehler und Funktionsstörungen messtechnischer, elektrischer oder mechanischer Art nicht generell beseitigt werden. Insbesondere wird die obere Einsatztemperaturgrenze nicht erreicht, auch wenn die messdynamischen und statisch-thermischen Anforderungen erfüllt sind.A disadvantage of the arrangements described in addition to the complex and therefore costly production also that only each of the occurring loads is met, so that the causes of measurement errors and malfunctions metrological, electrical or mechanical nature are not generally eliminated. In particular, the upper service temperature limit is not reached, even if the dynamic and static thermal requirements are met.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, bei denen optimale messdynamische und statisch-thermische Eigenschaften auch bei hohen Einsatztemperaturen erreichbar sind. Ferner soll der Temperaturfühler lange Standzeiten ermöglichen.The invention has for its object to provide a method and an apparatus of the type mentioned, in which optimal measuring dynamic and static-thermal properties can be achieved even at high operating temperatures. Furthermore, the temperature sensor should allow long service life.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe mit einem Verfahren, welches die in Anspruch 1 angegebenen Merkmale und mit einer Vorrichtung, welche die in Anspruch 6 angegebenen Merkmale enthält, gelöst.According to the invention the object is achieved with a method which has the features specified in claim 1 and with a device which contains the features specified in claim 6.

Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen angegeben. Der erfindungsgemäße Temperaturfühler verfügt über einen metallischen Mantel, welcher im Bereich des Temperatursensors mit einer Mikrostruktur versehen ist.Advantageous embodiments are specified in the subclaims. The temperature sensor according to the invention has a metallic shell, which is provided in the region of the temperature sensor with a microstructure.

Vorzugsweise befindet sich die Mikrostruktur im Bereich des verformten Mantelteils.Preferably, the microstructure is in the region of the deformed shell part.

Die Mikrostruktur kann als Längsraster parallel zur Schutzrohrachse oder als Kreuzraster ausgebildet sein.The microstructure can be designed as a longitudinal grid parallel to the protective tube axis or as a cross grid.

Ferner kann die Mikrostruktur als einfaches oder gegenläufiges Schraubenraster ausgebildet sein.Furthermore, the microstructure may be formed as a simple or opposite screw grid.

Die Mikrostruktur hat vorzugsweise ein Tiefen-/Breitenverhältnis von 1:1, bei einer Tiefe und einer Breite von 20...80 μm bei Schutzrohrdurchmessern von 2...4,5 mm. Damit gelingt es, die Wärmeübertragung und damit auch das Ansprechverhalten gegenüber bekannten Anordnungen zu verbessern.The microstructure preferably has a depth / width ratio of 1: 1 at a depth and a width of 20 ... 80 μm Protection tube diameters of 2 ... 4.5 mm. This makes it possible to improve the heat transfer and thus the response to known arrangements.

Wie in Wagner: Wärmeübertragung, Vogel Buchverlag, 5. Auflage, S. 64 ff, beschrieben, verändern sich beim Vorbeiströmen eines Fluids an einem Köper die Strömungsverhältnisse in der Nähe des Körpers und es entsteht eine so genannte Strömungsgrenzschicht. Es ist vorteilhaft, die Strukturtiefe und/oder die Strukturbreite der Mikrostruktur kleiner auszubilden als die sich am Messfühler ausbildende Strömungsgrenzschicht des zu messenden strömenden Mediums.As described in Wagner: Heat Transfer, Vogel Buchverlag, 5th edition, p. 64 et seq., The flow conditions in the vicinity of the body change as fluid flows past a body, creating a so-called flow boundary layer. It is advantageous to make the structure depth and / or the structure width of the microstructure smaller than the flow boundary layer of the flowing medium to be formed on the sensor.

Zweckmäßig ist es, dass sich an die Mikrostruktur im vorderen Teil des Schutzrohres eine kugelförmig abgestumpfte Spitze anschließt.It is expedient that adjoins the microstructure in the front part of the protective tube a spherical blunt tip.

Eine vorteilhafte Ausführung sieht vor, dass die Mikrostruktur mit einer dünnen Zusatzschicht versehen ist. Die Zusatzschicht besteht vorzugsweise aus Bariumnitrid oder aus einer Karbidschicht. Sie verhindert die Korrosion und Verschmutzung des Schutzrohres und gewährleistet damit, dass das verbesserte Ansprechverhalten über die Lebensdauer des Temperaturfühlers erhalten bleibt.An advantageous embodiment provides that the microstructure is provided with a thin additional layer. The additional layer is preferably made of barium nitride or of a carbide layer. It prevents corrosion and fouling of the thermowell, thereby ensuring that the improved response is maintained over the life of the thermistor.

Vorteilhaft weist die Zusatzschicht der Mikrostruktur eine Schichtstärke von 10...20 nm auf.Advantageously, the additional layer of the microstructure has a layer thickness of 10... 20 nm.

Ferner ist es möglich, dass die Schicht der Mikrostruktur eine Relevanz zur Wellenlänge der Wärmestrahlung besitzt, d. h. die Farbe beeinflusst im Bereich der Wärmestrahlung die Absorption- und Reflexionseigenschaften der Schutzrohrspitze.Furthermore, it is possible that the layer of the microstructure has a relevance to the wavelength of the heat radiation, i. H. In the area of thermal radiation, the color influences the absorption and reflection properties of the protective tube tip.

Insbesondere ist die Mikrostruktur so ausgeführt, dass die aufgebrachte farbrelevante Schicht bei hohen Temperaturen einen hohen Reflexionsgrad besitzt.In particular, the microstructure is designed so that the applied color-relevant layer has a high reflectance at high temperatures.

Die Mikrostruktur befindet sich bei einer vorteilhaften Ausführung auf einem konisch verformten Schutzrohrteil mit sechskantförmigen oder runden Querschnitt. Die Verformung kann mehrfach erfolgt sein.The microstructure is in an advantageous embodiment on a conically shaped protective tube part with hexagonal or round cross-section. The deformation can be done several times.

Die Mikrostruktur kann lasertechnisch oder mikrolithografisch hergestellt werden.The microstructure can be produced by laser technology or microlithography.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens sieht vor, dass die Mikrostruktur durch eine Energiepulsung behandelt wird. Damit kann eine Reinigung von Oxidbestandteilen sowie eine rissfreie Oberfläche erzeugt werden.An advantageous embodiment of the method according to the invention provides that the microstructure is treated by an energy pulse. Thus, a cleaning of oxide constituents and a crack-free surface can be generated.

Mit der erfindungsgemäßen Anordnung werden eine günstige t90-Zeit bei relativ dicken Schutzrohrwandungen sowie eine hohe Langzeitstabilität bei hohen Temperaturen und Strömungsbelastungen erreicht.With the arrangement according to the invention, a favorable t 90 time is achieved with relatively thick protective tube walls as well as a high long-term stability at high temperatures and flow loads.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert.The invention will be explained in more detail below with reference to exemplary embodiments.

In den zugehörigen Zeichnungen zeigen:In the accompanying drawings show:

1 Ansicht und Untersicht auf eine Ausführung mit einfacher Verjüngung, 1 View and soffit of a version with simple rejuvenation,

2 Ansicht und Draufsicht auf eine Ausführung mit zweifacher Verjüngung, 2 View and top view of a version with double rejuvenation,

3 eine Ausführung mit Beschichtung und 3 a version with coating and

4 eine Ausführung mit Zusatzschutzrohr. 4 a version with additional protective tube.

In 1 ist eine Ausführung mit einer Verjüngung dargestellt. Die Seitenansicht 1a zeigt ein Mantelthermoelement 6, das im unteren Bereich eine Messspitze 3 aufweist. Die Messspitze 3 enthält die medienseitige Lötstelle eines Thermoelementes und besteht aus einer vorderen Verjüngung 2 und dem Abschlusskegel 1. Am entgegen gesetzten Ende ragen die freien Drahtenden 7 aus dem Mantelthermoelement 6 heraus. An der vorderen Verjüngung 2 wurde der Durchmesser des Schutzrohres auf 2...4,5 mm verringert und mit einer streifenförmigen Mikrostruktur 5 versehen. Die Mikrostruktur 5 besteht aus linienförmigen Vertiefungen mit einem Seiten-Tiefen-Verhältnis von 1:1, wobei die Tiefe und Breite jeweils 20...80 μm betragen. Wie der in 1b gezeigter Untersicht zu entnehmen ist, weist die vordere Verjüngung 2 einen sechseckförmigen Querschnitt 10 auf. Die Strukturtiefe und/oder die Strukturbreite der Mikrostruktur 5 sind vorteilhaft kleiner ausgebildet als die Dicke der sich am Messfühler ausbildenden Strömungsgrenzschicht, insbesondere kleiner als die Hälfte der Dicke der Strömungsgrenzschicht.In 1 an embodiment with a taper is shown. The side view 1a shows a jacket thermocouple 6 , which at the bottom of a measuring tip 3 having. The measuring tip 3 contains the media-side solder joint of a thermocouple and consists of an anterior taper 2 and the final cone 1 , At the opposite end the free wire ends protrude 7 from the jacket thermocouple 6 out. At the front rejuvenation 2 the diameter of the protective tube was reduced to 2 ... 4.5 mm and with a strip-shaped microstructure 5 Mistake. The microstructure 5 consists of linear depressions with a side-to-depth ratio of 1: 1, the depth and width being 20 ... 80 μm, respectively. In again 1b shown underside, shows the front taper 2 a hexagonal cross-section 10 on. The structure depth and / or the structure width of the microstructure 5 are advantageously formed smaller than the thickness of the flow boundary layer forming on the measuring sensor, in particular smaller than half the thickness of the flow boundary layer.

2 zeigt eine Ausführung, bei der das Schutzrohr 4 mit einer zweifachen Verjüngung versehen ist. Dadurch ist es möglich, eine starke Verjüngung kostengünstig und mit geringerer Materialbeanspruchung herzustellen. Die Mikrostruktur 5 ist an der vorderen Verjüngung 2 angebracht, wie aus 2a ersichtlich ist. Die Lage der freien Drahtenden 7 der Zweifach-innenleiter des Thermoelementes ist in 2b dargestellt. 2 shows an embodiment in which the protective tube 4 is provided with a double rejuvenation. This makes it possible to produce a strong taper cost and with less material stress. The microstructure 5 is at the front rejuvenation 2 attached, like out 2a is apparent. The location of the free wire ends 7 the double inner conductor of the thermocouple is in 2 B shown.

3 zeigt einen Temperaturfühler, bei dem der sich im Medium befindende Teil des Mantels 4 mit einer dünnen Beschichtung 12 versehen ist. Die Beschichtung 12 besteht aus einer schmutzabweisenden, hochtemperaturstabilen Zusatzschicht und weist eine Dicke von 10...20 nm auf. Als Beschichtungsmaterial kann Nitrid, Karbid, Boroxid oder ein Gemisch dieser Stoffe verwendet werden. Mit einer derartigen Beschichtung kann eine deutliche Erhöhung der Lebensdauer bei Messungen in aggressiven Medien und bei hohen Temperaturen erreicht werden. Im dargestellten Beispiel erstreckt sich die Beschichtung 12 auf den gesamten in das Messmedium ragenden Teil des Temperaturfühlers. Die Befestigung mit dem Prozess erfolgt mit Hilfe des Bundes 11 mit Überwurf. 3 shows a temperature sensor, in which the located in the medium part of the jacket 4 with a thin coating 12 is provided. The coating 12 consists of a dirt-repellent, high-temperature-stable additional layer and has a thickness of 10 ... 20 nm. As the coating material, nitride, carbide, boron oxide or a mixture of these substances can be used. With such a coating, a significant increase in the life of measurements in aggressive media and at high temperatures can be achieved. In the example shown, the coating extends 12 on the entire projecting into the medium of the temperature sensor. The attachment to the process takes place with the help of the federal government 11 with a wrap.

In 4 ist ein vollständiger Temperaturfühler dargestellt. Bei dieser Ausführungsform ist die Mikrostruktur 5 auf einem Zusatzschutzrohr 9, welches die Form einer Hülse aufweist, angebracht. Das Zusatzschutzrohr 9 ist auf den vorderen Teil des Mantels 4 aufgeschoben. Diese Bauart ermöglicht ein kostengünstiges Anbringen der Mikrostruktur. Auf den Mantel 4 befindet sich die verstellbare Verschraubung 8, mit der der Prozessanschluss erfolgt.In 4 a complete temperature sensor is shown. In this embodiment, the microstructure is 5 on an additional protective tube 9 , which has the shape of a sleeve mounted. The additional protective tube 9 is on the front part of the coat 4 postponed. This design allows a cost-effective mounting of the microstructure. On the coat 4 is the adjustable screw 8th , with which the process connection takes place.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
Abschlusskegeldegree cone
22
vordere Verjüngunganterior rejuvenation
33
MessspitzeProbe
44
Mantelcoat
55
Mikrostrukturmicrostructure
66
MantelthermoelementSheathed thermocouple
77
freie Drahtendenfree wire ends
88th
verstellbare Verschraubungadjustable screw connection
99
ZusatzschutzrohrAdditional protective tube
1010
sechskantförmige Verformunghexagonal deformation
1111
Bund mit ÜberwurfWaistband with wrap
1212
Beschichtungcoating

Claims (11)

Verfahren zur Herstellung eines zur Messung gasförmiger und flüssiger Medien geeigneten Temperaturfühlers mit einem in einem Mantel (4) angeordneten Temperatursensor, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem Mantel (4) eine Mikrostruktur (5) einer Tiefe von 20 bis 80 μm mit einer Laserbearbeitung oder mit einem mikrolithografischen Verfahren aufgebracht wird, wobei die Mikrostruktur (5) aus linienförmigen Vertiefungen besteht und die Strukturtiefe der Mikrostruktur (5) kleiner als die Hälfte der Dicke einer sich am Messfühler ausbildenden Strömungsgrenzschicht ist.Method for producing a temperature sensor suitable for the measurement of gaseous and liquid media with one in a jacket ( 4 ) arranged temperature sensor, characterized in that on the jacket ( 4 ) a microstructure ( 5 ) is applied to a depth of 20 to 80 microns with a laser machining or with a microlithographic process, wherein the microstructure ( 5 ) consists of linear depressions and the structural depth of the microstructure ( 5 ) is less than half the thickness of a flow boundary layer forming at the probe. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrostruktur (5) durch eine Energiepulsung behandelt wird.Method according to claim 1, characterized in that the microstructure ( 5 ) is treated by an energy pulse. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass auf den Mantel (4) mindestens im Bereich der Mikrostruktur (5) eine Schmutz abweisende und hochtemperaturstabile Beschichtung (12) aufgebracht wird, welche eine Dicke von 10 bis 20 nm aufweist.Method according to claim 1 or 2, characterized in that on the jacket ( 4 ) at least in the area of the microstructure ( 5 ) a dirt-repellent and high-temperature-stable coating ( 12 ) having a thickness of 10 to 20 nm. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung (12) aus Nitrid, Karbid, Boroxid oder aus einem Gemisch dieser Stoffe besteht.Method according to claim 3, characterized in that the coating ( 12 ) consists of nitride, carbide, boron oxide or a mixture of these substances. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung (12) aus Bariumnitrid besteht.Method according to claim 3, characterized in that the coating ( 12 ) consists of barium nitride. Temperaturfühler zur Messung hoher Temperaturen gasförmiger und flüssiger Medien mit einem temperaturabhängigen Messelement und einem metallischen Fassungsteil, wobei das Fassungsteil mit Prozessanschlussbauteilen verbunden ist und das unteres Ende des Fassungsteiles als Mantel (4) ausgebildet ist und in das zu messende Medium ragt und im Inneren des Fassungsteiles Innenleitungsdrähte (7) verlaufen, die das Messelement mit einem elektrischen Anschluss verbinden, dadurch gekennzeichnet, dass der Mantel (4) in dem Bereich, in dem das temperaturabhängige Messelement angeordnet ist, mit einer 20 bis 80 μm tiefen Mikrostruktur versehen ist, wobei die Mikrostruktur aus linienförmigen Vertiefungen besteht und die Strukturtiefe der Mikrostruktur (5) kleiner als die Hälfte der Dicke einer sich am Messfühler ausbildenden Strömungsgrenzschicht ist.Temperature sensor for measuring high temperatures of gaseous and liquid media with a temperature-dependent measuring element and a metallic socket part, wherein the socket part is connected to process connection components and the lower end of the socket part as a shell ( 4 ) is formed and projects into the medium to be measured and inside the socket part inner conductor wires ( 7 ), which connect the measuring element to an electrical connection, characterized in that the jacket ( 4 ) is provided in the region in which the temperature-dependent measuring element is arranged with a 20 to 80 microns deep microstructure, wherein the microstructure consists of line-shaped depressions and the structural depth of the microstructure ( 5 ) is less than half the thickness of a flow boundary layer forming at the probe. Temperaturfühler nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Bereich des Mantels (4), in dem die Mikrostruktur (5) angeordnet ist, verjüngt ist.Temperature sensor according to claim 6, characterized in that the area of the jacket ( 4 ), in which the microstructure ( 5 ) is arranged, is tapered. Temperaturfühler nach einem der Ansprüche 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrostruktur (5) ein Tiefen-/Breitenverhältnis von 1:1 aufweist.Temperature sensor according to one of claims 6 or 7, characterized in that the microstructure ( 5 ) has a depth / width ratio of 1: 1. Temperaturfühler nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass sich am dem Medium zugewandten Teil des Mantels (4), an dem die Mikrostruktur (5) angebracht ist, ein Abschlusskegel (1) anschließt.Temperature sensor according to one of claims 6 to 8, characterized in that on the medium-facing part of the jacket ( 4 ) on which the microstructure ( 5 ), a closing cone ( 1 ). Temperaturfühler nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrostruktur (5) mit einer dünnen Beschichtung (12) aus einem Schmutz abweisenden und hochtemperaturstabilen Material einer Schichtstärke im Bereich von 10 bis 20 nm versehen ist.Temperature sensor according to one of claims 6 to 9, characterized in that the microstructure ( 5 ) with a thin coating ( 12 ) is provided from a dirt-repellent and high-temperature-stable material of a thickness in the range of 10 to 20 nm. Temperaturfühler nach einem der Ansprüche 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrostruktur (5) eine thermische Farbe aufweist, welche bei hohen Temperaturen einen hohen Reflexionsgrad besitzt.Temperature sensor according to one of claims 6 to 10, characterized in that the microstructure ( 5 ) has a thermal color which has a high reflectance at high temperatures.
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