DE102008022719A1 - Plasma burner for plasma applications e.g. powder coatings and welding and cutting, comprises toroidal cathode, plasma nozzle with connection to mounting plate comprising cooler, gas intake ports, and electrode acting as toroidal anode - Google Patents

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Abstract

The plasma burner for plasma applications e.g. powder coatings and welding and cutting, comprises a toroidal cathode (1), a plasma nozzle with a connection to a mounting plate (10) comprising a cooler, gas intake ports, and an electrode acting as toroidal anode (6), which has a surface turned to the plasma (4) with uniform high temperature, where a plasma projection (8) takes place diffusely at the surface. The current density is smaller than 5 A/mm 2>in the plasma projection. The plasma at the anode is temporally stable at a surface area. The anode consists of two parts. The plasma burner for plasma applications e.g. powder coatings and welding and cutting, comprises a toroidal cathode (1), a plasma nozzle with a connection to a mounting plate (10) comprising a cooler, gas intake ports, and an electrode acting as toroidal anode (6), which has a surface turned to the plasma (4) with uniform high temperature, where a plasma projection (8) takes place diffusely at the surface. The current density is smaller than 5 A/mm 2>in the plasma projection. The plasma at the anode is temporally stable at a surface area. The anode consists of two parts. The transition of the concentrated plasma projection on the anode to the projection diffusing in a large surface takes place in the temperature window of 1000-2000[deg] C. The anode temperature in the plasma projection is 100[deg] C smaller than the melting temperature of the anode material. The connection of the anode surface to the cooler has a thermal resistance of 1[deg] C per Watt and is made of metal foam. The anode is structurally stabilized and is formed as cylinders made of sheet metal. A working gas and a powder are supplied parallel to the symmetry axis by the anode. The laser radiation overlaid to the plasma for the welding and cutting. The plasma projection of the anode takes place at a region of the inner surface to the cathode, where the region has an angular range relating to the symmetry axis of 360[deg] . The plasma projection in the channel takes place at regions of the inner surface to the cathode, where each region has an angular range relating to the symmetry axis of 15[deg] . The anode at side turned away from the plasma is coated with a thermally insulating material.

Description

Die Erfindung betrifft Plasmabrenner zur Materialbearbeitung wie Schweißen, Löten, Schneiden, Oberflächenreinigung oder Spritz-Beschichtung umfassend eine als Kathode wirkende erste Elektrode, eine als Anode wirkende zweite Elektrode, Haltekörper für beide Elektroden sowie Anschlüsse und Öffnungen zur Zuführung von Prozessgasen, Prozessmedien oder Kühlmedien.The Invention relates to plasma torches for material processing such as welding, soldering, cutting, surface cleaning or spray coating comprising a first acting as a cathode Electrode, acting as an anode second electrode, holding body for both Electrodes and connections and openings to the feeder of process gases, process media or cooling media.

Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Betreiben solcher Plasmabrenner.The The invention further relates to a method of operating such plasma torches.

Stand der TechnikState of the art

Plasmabrenner nach dem Stand der Technik besitzen eine Kathode zur Elektronenemission mit Haltekörper eine düsenförmige Anode, die aus einem Grundkörper aus einem gut wärmeleitfähigen Material, vorzugsweise Kupfer, besteht, in den die eigentliche Anode aus hochtemperaturfestem Material, vorzugsweise Wolfram oder eine Wolfram-Verbindung, eingesetzt ist. Der Grundkörper steht in gutem Wärmekontakt mit einer aktiven Kühlung, im allgemeinen Wasserkühlung oder ist mit Kühllamellen zur Luftkühlung versehen. Durch die intensive Kühlung ist der anodische Plasmaansatz des Plasmabogens in einer sehr kleinen Fläche auf die Anodenfläche konzentriert. Dieses führt zu einer hohen lokalen Temperatur im Plasmaspot und einer geringeren mittleren Temperatur der restlichen Anode. Im Plasmaspot wird durch die hohe Stromdichte und die hohe Temperatur die Anodenoberfläche stark belastet. Sie kann aufschmelzen und lokal verdampfen. Im Extremfall schmilzt die Anode an dieser Stelle bis zur Wasserkühlung durch. Im allgemeinen bildet sich eine Verformung der Oberfläche aus.plasma torch The prior art has a cathode for electron emission with holding body a nozzle-shaped anode, from a body made of a good thermally conductive material, preferably copper, in which the actual anode is made of high temperature resistant Material, preferably tungsten or a tungsten compound used is. The main body is in good thermal contact with active cooling, in general, water cooling or is with cooling fins for air cooling Mistake. Due to the intensive cooling is the anodic plasma approach of the plasma arc in a very small area on the anode surface concentrated. This leads to a high local temperature in the plasma spot and a lower one mean temperature of the remaining anode. In the plasma spot is going through the high current density and the high temperature make the anode surface strong loaded. It can melt and evaporate locally. In extreme cases melts the anode at this point until the water cooling through. In general Forms a deformation of the surface.

Da die gesamte Leistung für den anodischen Ansatz als Wärme in der Ansatzfläche umgesetzt wird, ist die Temperatur im konzentrierten Plasmaansatz, verglichen mit der mittleren Temperatur der Anode, wesentlich höher.There the total power for the anodic approach as heat in the approach area is implemented, the temperature is in the concentrated plasma approach, compared to the mean temperature of the anode, much higher.

Der anodische Fußpunkt herkömmlicher Brenner des konzentrierten Plasmaansatzes kann sich konstruktionsbedingt durch gasdynamische und eigenmagnetische Kräfte azimuthal oder axial an der Anodeninnenwand bewegen.Of the anodic base conventional burner of the concentrated plasma approach may be due to the design by gas-dynamic and eigenmagnetic forces azimuthally or axially move the anode inner wall.

Azimuthale Fußpunktänderungen führen aber zu einer sich ändernden Symmetrie des Plasmastrahls und zu einem negativen Arbeitergebnis.azimuthal Fußpunktänderungen but lead to a changing one Symmetry of the plasma jet and a negative result.

Longitudinale Verschiebungen des Bogenansatzes an der Anode ändern die Bogenlänge des Plasmas und mit ihr den Spannungsbedarf des Bogens bei konstant eingeprägtem Strom. Es kann ein sogenannter Restriking Effekt auftreten, bei dem mit zunehmender Bogenlänge die Spannung am Bogen so stark zunimmt, daß der Bogen zwischen der Kathode und dem kathodennahen Teil der Anode neu gezündet wird.longitudinal Displacements of the arch at the anode change the arc length of the plasma and with it the voltage requirement of the arc with constantly impressed current. There may be a so-called Restriking effect, in which with increasing arc length the tension on the arc increases so much that the arc between the cathode and the cathode-near part of the anode is re-ignited.

Beide Fluktuationen führen zu Schallemissionen und zu Schwankungen der elektrischen Leistung und damit zu negativen Schwankungen im Arbeitsprozess und der Prozessqualität.Both Fluctuations lead to noise emissions and fluctuations in electrical power and thus to negative fluctuations in the work process and process quality.

Eine andere Lösung nach dem Stand der Technik teilt die Anode, zum Beispiel, in drei Teilanoden auf, die symmetrisch angeordnet sind. Die Fluktuationen an den Teilanoden heben sich dadurch zum Teil auf. Die Anoden werden aber weiterhin punktuell stark belastet.A another solution The prior art divides the anode, for example, into three Partial anodes, which are arranged symmetrically. The fluctuations on the part anodes cancel in part. The anodes will be but still heavily polluted.

Aufgabetask

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die Anode für Plasmaanwendungen so zu verbessern, daß zum einen die Anodenerosion verringert wird, so daß eine größere Standzeit und Stabilität erreicht wird, zum anderen störende Fluktuationen der Bogenansatzposition entfallen.Of the The invention is therefore based on the object, the anode for plasma applications to improve so that the the anode erosion is reduced, so that a longer life and stability achieved becomes, on the other disturbing Fluctuations of the bow attachment position omitted.

Lösungsolution

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß man von der bisherigen intensiven Kühlung der dem Plasma zugewandten Anodenfläche durch Wärmeleitung absieht. Abhängig von den Bedingungen für Wärmezufuhr und Kühlung wird die Anode an der, dem Plasma zugewandten Fläche so ausgebildet, daß sich ein großer Flächenbereich auf gleichmäßiger hoher Temperatur befindet und sich ein diffuser Plasamansatz einstellt. Zusätzlich zur Kühlung über Wärmeleitung wird die Anode, im Unterschied zu bisherigen Anoden, wesentlich mehr durch Strahlung gekühlt.These Task is inventively characterized solved, that he from the previous intense cooling the plasma-facing anode surface is ignored by heat conduction. Depending on the conditions for heat and cooling the anode is formed on the plasma-facing surface so that a greater area on even higher Temperature is and sets a diffuse plasma. additionally for cooling via heat conduction the anode, in contrast to previous anodes, essential more cooled by radiation.

Beim Zünden des Plasmas stellt sich zunächst bei geringem Strom ein konzentrierter Plasmaansatz ein. Mit dem eingestellten Betriebsstrom wird, abhängig von den Kühl- und Geometriebedingungen, eine gewisse mittlere Temperatur der Anode erreicht. Läßt man durch reduzierte Kühlung eine höhere mittlere Temperatur zu, so stellt sich im Temperaturfenster von etwa 1000°C bis 2000°C bei geeigneter Geometrie und Kühlung der gewünschte diffuse Plasmaansatz ein. Die mittlere Temperatur der Anode liegt dann höher als bei bisherigen Ausführungen, die lokale Temperatur im Plasmaansatz jedoch niedriger.At the Ignite of the plasma arises first at low power a concentrated plasma approach. With the adjusted operating current, depending on the cooling and Geometry conditions, reached a certain average temperature of the anode. Let it through reduced cooling a higher one mean temperature increases, so in the temperature window of about 1000 ° C up to 2000 ° C with suitable geometry and cooling the desired one diffuse plasma approach. The mean temperature of the anode is then higher as in previous versions, the local temperature in the plasma approach, however, lower.

Die Temperatur für gewünschten diffusen Ansatz ist neben der Anodengeometrie, den Kühlbedingungen für die Anode und dem Gasstrom auch vom Anodenmaterial, den Dotierungen und den Diffusionsvorgängen im Material abhängig.The temperature for the desired diffuse approach is, in addition to the anode geometry, the cooling conditions for the anode and the gas stream, also the anode material, the dopants and the diffus depending on the material.

Über Strahlung, Wärmeleitung, Gasströmung und Austrittsarbeit des Anodenmaterials wird die Wärme der Anode abgeführt. Bei bekanntem Strom läßt sich über die Geometrie, abhängig von den Materialdaten, die gewünschte Temperatur und Temperaturverteilung abschätzen und näherungsweise einstellen.About radiation, Heat conduction, gas flow and work function of the anode material is the heat of Anode removed. With a known current can be over the Geometry, dependent from the material data, the desired Estimate temperature and temperature distribution and set approximately.

Die Anode ist erfindungsgemäß so ausgeführt, daß sie zwischen der Plasamansatzfläche auf der Anode und ihrer Befestigung einen hohen thermischen Widerstand aufweist und gleichzeitig eine große Ansatzfläche auf der Anode für das Plasma erlaubt.The Anode is inventively designed so that they are between the plasma set surface on the anode and its attachment a high thermal resistance and at the same time a large approach surface on the anode for the plasma allowed.

Die Anode weist dabei für den diffusen Plasmaansatz eine erkennbar größere Plasmaansatzfläche auf als im gut gekühlten Betrieb, der zu einem punktförmigen Ansatz des Plasmas führt. Besonders vorteilhaft ist es für die Ausbildung eines diffusen Plasmaansatzes, wenn ein großer Anodenoberflächenbereich eine gleichmäßig hohe Temperatur aufweist.The Anode points for the diffuse plasma approach on a recognizable larger plasma projection surface as in the well-cooled Operation that becomes a punctiform Approach of the plasma leads. It is particularly advantageous for the formation of a diffused plasma approach when a large anode surface area a consistently high Temperature has.

Günstig ist es, wenn auch ein Teil des Volumens unter dem Oberflächenbereich eine im wesentlichen gleichmäßige Temperatur aufweist. Durch die im wesentlichen gleichmäßige Temperatur werden ungünstige Beeinflussungen und Änderungen der Materialzusammensetzung, z. B. durch Diffusion, verhindert oder zumindest verzögert.Cheap is it, albeit a part of the volume below the surface area a substantially uniform temperature having. Due to the substantially uniform temperature are unfavorable influences and changes the material composition, for. B. by diffusion prevented or at least delayed.

Um die Ausbildung eines diffusen Plasmaansatzes bei möglichst allen Betriebszuständen sicherzustellen, ist der Oberflächenbereich vorzugsweise stufen- und kantenfrei – oder allgemeiner – ohne Unstetigkeiten auszubilden. Eine derartige glatte Ausführung unterdrückt die Tendenz der Gasentladung im Spot-Mode zu verharren.Around the formation of a diffuse plasma approach as possible all operating states ensure is the surface area preferably gradual and edge-free - or more generally - without discontinuities train. Such a smooth execution suppresses the Tendency of the gas discharge to stay in spot mode.

Die Oberfläche muß nicht unbedingt eine ebene Zylinderfläche sein, sondern kann konvex, konkav oder allgemein stetig gekrümmt sein.The surface does not have to necessarily a flat cylindrical surface but may be convex, concave or generally continuously curved.

Vorzugsweise hat der Oberflächenbereich, an dem die diffuse Gasentladung ansetzt, in Relation zu der Querschnittsfläche, die die Anode mit der Kühlung verbindet eine nennenswerte große Ausdehnung. Mindestens ist der Oberflächenbereich gleich der kleinsten Querschnittsfläche der Anode.Preferably has the surface area, on the diffuse gas discharge begins, in relation to the cross-sectional area, the the anode with the cooling connects a significant big Expansion. At least the surface area is equal to the smallest Cross sectional area the anode.

Vorteilhaft für Anwendungen des Plasmabrenners ist es, daß der diffuse Plasmaansatz an der Anode zeitlich stabil erfolgt.Advantageous for applications the plasma burner is that the diffuse plasma approach to the anode takes place stable over time.

Da durch die Anode Strom fließen muß, ist über den elektrischen Anschluß und die Befestigung zwangsweise eine Wärmeleitung gegeben. Die Anode wird so ausgebildet, daß die Wärmeleitung zur Kühlung der Anode über Befestigung und Anschluß stark verringert wird und der Querschnitt zum Stromtransport und zur mechanischen Stabilität ausreichend ist. Der Anteil der Kühlung für die Anode durch Strahlung ist dabei größer als bei Anoden von Plasmabrennern nach dem Stand der Technik. Im wesentlichen gestaltet man die Anode so daß, der Wärmewiderstand zwischen der Plasamansatzfläche und Kühlung etwa 10°C pro Watt beträgt.There flow through the anode current must, is about that electrical connection and the attachment forcibly given a heat conduction. The anode is designed so that the heat conduction for cooling the anode over Attachment and connection strong is reduced and the cross section to the current transport and mechanical stability is sufficient. The proportion of cooling for the anode by radiation is larger than in anodes of plasma torches according to the prior art. Essentially you design the anode so that, the thermal resistance between the plasma surface and cooling about 10 ° C per watt.

Um die Anode mechanisch zusätzlich zur elektrischen Verbindung zu stabilisieren, kann man die Anode mit thermischen Isolatoren zusätzlich befestigen. Dies kann beispielsweise durch eine hochwarmefeste Keramik erfolgen.Around the anode mechanically additional To stabilize the electrical connection, you can use the anode in addition with thermal insulators Fasten. This can be done, for example, by a high-temperature resistant ceramic respectively.

Ebenso kann der thermische Widerstand und die elektrische Verbindung zwischen Anodenoberfläche und Kühlung durch einen geeigneten Metallschaum hergestellt werden. Durch Porengröße und Verteilung der Poren im Schaum wird der gewünschte Wärmewiderstand eingestellt.As well can the thermal resistance and the electrical connection between anode surface and cooling be made by a suitable metal foam. By pore size and distribution the pores in the foam will be the desired one thermal resistance set.

Da die Anode zusätzlich durch das einströmende Gas gekühlt wird, wählt man Querschnitt und Position der mechanischen Anbindung der Anode an die Kühlung, so daß sich unter gewünschten Betriebsparametern eine möglichst konstante Temperatur längs der Anodenoberfläche einstellt. Dies läßt sich mit Hilfe von Finiten-Element-Rechnungen simulieren und bestimmen.There the anode in addition through the inflowing Gas cooled becomes, chooses cross section and position of the mechanical connection of the anode to the cooling, so that under desired Operating parameters one possible constant temperature along the anode surface established. This can be with Help of finite element calculations simulate and determine.

Es hat sich als besonders günstig erwiesen, wenn das Anodenmaterial aus einem hochschmelzenden Metall, z. B. Wolfram besteht, das zusätzlich mit einem Material dotiert ist, das zu einer Verringerung der Austrittsarbeit und damit zu einer Verringerung der Anodenerwärmung führt. Als Dotierungmaterialien können die unterschiedlichsten Materialien in Frage kommen. Diese Materialien können zum Beispiel Oxide der seltenen Erden sein.It has proved to be particularly favorable proven when the anode material is made of a refractory metal, z. B. tungsten, in addition to a material doped, which leads to a reduction of the work function and thus leads to a reduction of the anode heating. As doping materials can the most diverse materials come into question. These materials can for example, oxides of rare earths.

Als besonders geeignet hat es sich erwiesen, wenn das Elektrodenmaterial mit Lanthan zwischen 0.1 Gew% und 5 Gew% dotiert ist.When It has proven particularly suitable when the electrode material doped with lanthanum between 0.1% by weight and 5% by weight.

Besonders zweckmäßig ist es dabei, wenn die Arbeitstemperatur der Anode niedriger als ihre Schmelztemperatur ist. Verformungen, Abdampfen und Absputtern werden dadurch verringert oder ganz verhindert.Especially is appropriate when the working temperature of the anode is lower than its melting temperature is. Deformation, evaporation and sputtering are thereby reduced or completely prevented.

Ebenfalls von Vorteil ist neben einer Dotierung zum Herabsetzen der Austrittsarbeit eine zusätzliche Dotierung zu Stabilisierung des Kristallgefüges.Also is advantageous in addition to a doping to reduce the work function an additional Doping to stabilize the crystal structure.

Die Anode kann auch aus zwei Teilen zusammengesetzt sein, wobei der dem Plasma zugewandte Teil aus einem hochtemperaturfesten Material, z. B. Wolfram und der andere Teil zu Halten, Befestigen oder zum Einstellen des thermischen Widerstandes aus einem anderen elektrisch leitfähigen Material besteht.The anode may also be composed of two parts, wherein the plasma supplied turned part of a high temperature resistant material, eg. B. tungsten and the other part to hold, fasten or adjust the thermal resistance of another electrically conductive material.

Ebenso ist es von Vorteil, wenn der diffuse Plasmaansatz an der Anode gleichzeitig mit einem diffusen Ansatz an der Kathode kombiniert wird.As well it is advantageous if the diffused plasma approach at the anode simultaneously combined with a diffused approach at the cathode.

Im Unterschied zu Lösungen mit mehreren Anoden erfordert eine ringförmige oder torusförmige Anode mit gleichmäßigem diffusen Plasmaansatz nur ein Netzteil und stellt die gewünschte Rotationssymmetrie für das Plasma automatisch und vollständig ein.in the Difference to solutions with multiple anodes requires an annular or toroidal anode with uniform diffuse Plasma approach only one power supply and provides the desired rotational symmetry for the plasma automatically and completely.

Ausführungexecution

In allen Ausführungen wird der Wärmefluß senkrecht zur Anodenoberfläche in Richtung Kühlung gegenüber Lösungen nach dem Stand der Technik reduziert. Gleichzeitig soll die Ausführung eine gute Wärmeleitung parallel zur Anodenoberfläche aufweisen.In all versions the heat flow becomes vertical to the anode surface in the direction of cooling across from solutions reduced according to the prior art. At the same time the execution is a good one heat conduction parallel to the anode surface.

Die Verbindung der Anode mit dem elektrischen Anschluß und der Kühlung wird so ausgebildet, daß sie den gewünschten thermischen Widerstand aufweist. Dies kann zum Beispiel für eine zylindrische Anode ein Ring mit geeignetem Querschnitt sein.The Connection of the anode to the electrical connection and the cooling is designed to be the wished having thermal resistance. This can be for a cylindrical example Anode be a ring with a suitable cross section.

Die Anodenoberfläche besteht vorzugsweise aus einem hochtemperaturfesten, leitenden Material, vorzugsweise Wolfram, das zusätzlich noch dotiert sein kann. Die Wärmeverteilung unter der Anodenoberfläche wird durch eine innige Verbindung mit einem gut wärmeleitenden Material, vorzugsweise Kupfer, erreicht.The anode surface is preferably made of a high temperature resistant conductive material, preferably Tungsten, in addition can still be endowed. The heat distribution under the anode surface is made by an intimate connection with a good heat-conducting Material, preferably copper, achieved.

Hinsichtlich der Form der Anode wurden im Zusammenhang mit den bisherigen Ausführungsbeispielen keine näheren Angaben gemacht. So sind prinzipiell beliebige, insbesondere axial symmetrische Formen denkbar. Vorteilhaft sind dabei zylindersymmetrische Torusformen. Eine besonders, aufgrund ihrer Einfachheit, günstige Anodenform sieht vor, daß die Anode als zylindrisches Rohr ausgebildet ist.Regarding The shape of the anode were in connection with the previous embodiments no closer Information provided. Thus, in principle, any, in particular axial symmetrical shapes conceivable. Advantageously, cylindrically symmetric Torusformen. A particularly, because of their simplicity, cheap anode shape provides that the Anode is designed as a cylindrical tube.

Um die Wärmeabfuhr durch das vorbeistreichende Gas zu kompensieren, wird die Anode vorzugsweise an der, der Kathode abgewandten Seite befestigt. Um eine ausreichende mechanische Stabilität zu gewährleisten, kann die Anode zusätzlich mit einer thermischen Isolierung befestigt sein. Das Material für die thermische Isolierung kann z. B. eine hochtemperaturfeste Keramik oder Quarz sein.Around the heat dissipation to compensate for the passing gas, the anode becomes preferably attached to the, the cathode side facing away. Around To ensure sufficient mechanical stability, the anode can additionally with a be attached to thermal insulation. The material for the thermal Isolation can z. As a high temperature resistant ceramic or quartz be.

Die Befestigung der Anode kann zur Einstellung einer gleichmäßigen Oberflächentemperatur der Anode auch strukturiert und verteilt erfolgen. So können mehrere elektrisch- und wärmeleitende Verbindungen alternierend mit Isolatoren verwendet werden. Eine andere Möglichkeit ist die Anbindung der Anode an Kühlung und elektrischem Anschluß über einen Metallschaum. Die Ausgestaltung des Metallschaums hinsichtlich Porosität, Porenverteilung und Geometrie erlaubt die Anpassung des thermischen Widerstandes und des Widerstandsverlaufes zwischen Anode und Kühlung.The Attachment of the anode can be used to set a uniform surface temperature The anode also structured and distributed done. So can several electrically and thermally conductive Connections can be used alternately with insulators. A different possibility is the connection of the anode to cooling and electrical connection via a Metal foam. The design of the metal foam in terms of porosity, pore distribution and geometry allows the adaptation of the thermal resistance and the resistance curve between anode and cooling.

Von Vorteil ist es, wenn die Anode für den Gasdurchsatz strömungstechnisch, in der Form optimiert wird, z. B. als Laval-Düse.From Advantage is when the anode for the gas flow rate, is optimized in the form, for. B. as a Laval nozzle.

Wird die Anode als zylinderähnlicher Körper ausgeführt, läßt sich das Prozessgas, das Pulver zum Beschichten, ein Laserstrahl oder Kombinationen davon rotationssymmetrisch durch die Anode einbringen. Der Bearbeitungsprozeß wird damit weitgehend unabhängig von der relativen Bewegungsrichtung zwischen dem Plasmabearbeitungskopf und dem Material. Die Ansatzfläche des anodischen Plasmas kann dann vollumfänglich oder in Winkelbereichen bezüglich der Symmetrieachse der Anode auf einer der Kathoden zugewandten Fläche erfolgen.Becomes the anode as a cylinder-like Body executed, can be the process gas, the powder for coating, a laser beam or Insert combinations of them rotationally symmetric through the anode. The editing process becomes thus largely independent from the relative direction of movement between the plasma processing head and the material. The approach surface of the anodic plasma can then be full or in angular ranges in terms of the axis of symmetry of the anode facing on one of the cathodes area respectively.

Für alle Ausführungsbeispiele ist es von Vorteil, wenn der diffuse Plasmaansatz an der Anode mit einem diffusen Plasmaansatz an der Kathode kombiniert wird.For all embodiments it is advantageous if the diffuse plasma approach at the anode with a diffused plasma approach is combined at the cathode.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn zusätzlich zur Anode auch die Kathode eine axial symmetrische Form aufweist.Especially It is advantageous if in addition to Anode also the cathode has an axially symmetrical shape.

Zeichnungendrawings

Weitere Merkmale und Vorteile der erfindungsgemäßen Lösung sind Gegenstand der nachfolgenden Beschreibungen sowie der zeichnerischen Darstellungen.Further Features and advantages of the solution according to the invention are the subject of the following Descriptions and the drawings.

In den Zeichnungen zeigen:In show the drawings:

1 einen Plasmabrenner mit rotationssymmetrischer Anode herkömmlicher Bauart. Die Anode wird gut gekühlt und der Plasmabogen setzt lokal konzentriert im sogenannten Spot an. 1 a plasma torch with rotationally symmetrical anode conventional design. The anode is cooled well and the plasma arc starts locally concentrated in the so-called spot.

2 ein Ausführungsbeispiel für einen Plasmabrenner mit düsenförmige Anode, die thermisch entsprechend der Erfindung ausgebildet ist. Der Plasmabogen setzt großflächig an der Innenmantelfläche der Anode an. 2 an embodiment of a plasma torch with nozzle-shaped anode, which is thermally formed according to the invention. The plasma arc is applied over a large area to the inner surface of the anode.

3 ein erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel für einen Plasmabrenner mit düsenförmige Anode. Die Anode besteht aus einer hochtemperaturfesten metallischen Oberfläche mit einem gut wärmeleitenden Kern. 3 an inventive embodiment Example of a plasma torch with nozzle-shaped anode. The anode consists of a high-temperature-resistant metallic surface with a good heat-conducting core.

4 ein Ausführungsbeispiel für einen Plasmabrenner mit Anode, ausgebildet als Torus, Kreisringfäche. 4 an embodiment of a plasma torch with anode, designed as a torus, Kreisringfäche.

5 ein Ausführungsbeispiel für eine Plasmadüse, eine sogenannte Plasmanadel 5 an embodiment of a plasma nozzle, a so-called plasma needle

6 ein Ausführungsbeispiel für einen Plasmabrenner mit Anode, die über Metallschaum an die Kühlung verbunden ist. 6 an embodiment of a plasma torch with anode, which is connected via metal foam to the cooling.

7 ein Ausführungsbeispiel für einen Plasmabrenner mit Anode, bei dem der Plasmaansatz an der Anode vollumfänglich erfolgt. 7 an embodiment of a plasma torch with anode, in which the plasma approach is carried out at the anode in full.

8 ein Ausführungsbeispiel für einen Plasmabrenner mit Anode, bei dem der Plasmaansatz an der Anode an einer Fläche erfolgt, die einen Winkelbereich umfaßt. 8th an embodiment of an anode plasma torch in which the plasma approach to the anode takes place on a surface which comprises an angular range.

Beschreibung der ZeichnungenDescription of the drawings

In 1 werden Elektronen aus der Kathode 1 emittiert und ionisieren das einströmende Gas. Die Kathode befindet sich im gekühlten Haltekörper 2. Die Anode 6 aus hochtemperaturfestern Material, eines herkömmlichen Plasmabrenners wird mit gutem Wärmekontakt von einem gut wärmeleitenden Grundkörper 5 gehalten der normalerweise direkt intensiv mit Wasser gekühlt wird. Durch die kalte Anode schnürt sich das Plasma 4 auf eine relativ kleine Fläche auf der Anode zum Anodenansatz 7 zusammen. Dies führt im Betrieb zu einer lokalen Überlastung, den damit verbundenen Korrosionserscheinungen und dem Springen des Bogenansatzes.In 1 become electrons from the cathode 1 emit and ionize the incoming gas. The cathode is located in the cooled holding body 2 , The anode 6 made of high-temperature-resistant material, a conventional plasma torch is with good thermal contact of a good heat-conducting body 5 Normally it is cooled directly with water. The cold anode laces the plasma 4 on a relatively small area on the anode to the anode extension 7 together. This leads to a local overload in operation, the associated corrosion phenomena and the jumping of the bow approach.

Wie in 2 dargestellt besteht eine vorteilhafte Ausführung einer Anode mit diffusem Plasmaansatz im einfachsten Fall aus einem zylindrischen Torus 6 der thermisch mit einem Ring 9 an einer Halterung 10 befestigt ist. Die Halterung wird gekühlt. Der Ring 9 weist über seinen Querschnitt und Breite einen geeigneten Wärmewiderstand für die Anode auf. Der Befestigungsring 9 muß nicht am ganzen Umfang einen durchgehenden Querschnitt haben sondern kann azimuthal unterbrochen sein, z. B. mit Löchern, um den Wärmewiderstand einzustellen. Der Plasmaansatz 8 erstreckt sich auf eine wesentlich größere Anodenfläche als in bisherigen Lösungen nach dem Stand der Technik. Die mittlere Temperatur dieser Anode 6 ist, verglichen zu der mittleren Temperatur der Anode 6 in 1, wesentlich höher aber die lokale Temperatur im Plasmaansatz ist niedriger.As in 2 there is shown an advantageous embodiment of an anode with diffuse plasma approach in the simplest case of a cylindrical torus 6 the thermally with a ring 9 on a bracket 10 is attached. The holder is cooled. The ring 9 has a suitable thermal resistance for the anode over its cross-section and width. The fastening ring 9 does not have to have a continuous cross section on the entire circumference but can be interrupted azimuthally, z. B. with holes to adjust the thermal resistance. The plasma approach 8th extends to a much larger anode area than in previous solutions according to the prior art. The mean temperature of this anode 6 is compared to the mean temperature of the anode 6 in 1 , much higher but the local temperature in the plasma approach is lower.

3 zeigt eine beispielhafte Ausführung einer Anode mit hochtemperturfester Oberfläche 12, die einen Kern 13 aus gut wärmeleitendem Material hat, so daß die Temperaturunterschiede auf einer möglichst großen Anodenoberfläche für den Plasmaansatz sehr gering sind. 3 shows an exemplary embodiment of an anode with hochtemperturfester surface 12 that have a core 13 made of good heat-conducting material, so that the temperature differences on the largest possible anode surface for the plasma approach are very low.

Eine andere beispielhafte Ausführung einer Anode für diffusen Ansatz ist ein Torus 14 z. B. mit ring- oder elliptischem Querschnitt nach 4, die über einen Ring 9 an die Wärmesenke angebunden ist. Mit Querschnitt und Ausdehnung des Rings 9 wird der gewünschte Wärmewiderstand eingestellt. Da der Plasmaansatz auf der ganzen Ringfläche erfolgt, ist die Ansatzfläche gegenüber normalen Anoden deutlich größer. Die elektrisch nichtleitende 15 Düse formt den Gasstrom.Another exemplary embodiment of an anode for diffuse approach is a torus 14 z. B. with ring or elliptical cross section 4 that have a ring 9 attached to the heat sink. With cross section and extension of the ring 9 the desired thermal resistance is set. Since the plasma approach takes place on the entire ring surface, the approach surface is much larger than normal anodes. The electrically non-conductive 15 Nozzle forms the gas stream.

Eine Torus-Anode 14 in 5 mit Befestigungsring 9 für den Wärmewiderstand ist für die Ausführung einer Plasmadüse, einer sogenannten Plasmanadel ebenfalls von Vorteil. Die Kathode 17 ist nadelförmig ausgebildet.A torus anode 14 in 5 with fastening ring 9 for the thermal resistance is for the execution of a plasma nozzle, a so-called plasma needle also beneficial. The cathode 17 is needle-shaped.

6 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines Plasmabrenners, bei dem der thermische Widerstand und die axiale Widerstandsverteilung für die Anode über einen Metallschaum 18 eingestellt wird. Der Metallschaum stellt die elektrische Verbindung zur Anode her. 6 shows an embodiment of a plasma torch, wherein the thermal resistance and the axial resistance distribution for the anode via a metal foam 18 is set. The metal foam establishes the electrical connection to the anode.

7 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines rotationssymmetrischen Plasmabrenners, bei dem der Plasmaansatz an der Anode an einem Bereich auf der, der Kathode zugewandten Innenfläche erfolgt und dieser Bereich den vollen Winkelbereich von 360° umfaßt. 7 shows an embodiment of a rotationally symmetric plasma torch, in which the plasma approach to the anode at a region on the, the cathode facing inner surface and this region includes the full angular range of 360 °.

8 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines Plasmabrenners, bei dem der Plasmaansatz an der Anode an der, der Kathode zugewandten Innenfläche in einem begrenzten Winkelbereich erfolgt. 8th shows an embodiment of a plasma torch, wherein the plasma approach to the anode at the, the cathode-facing inner surface takes place in a limited angular range.

Claims (26)

Plasmabrenner für Plasmaanwendungen umfassend eine Kathode, mit einer Verbindung zu einer Halterung mit Kühlung, einer Plasmadüse, einer oder mehrere Gaszuführungen und einer als Anode wirkende Elektrode, dadurch gekennzeichnet, daß die Anode im Plasmabetrieb eine dem Plasma zugewandte Fläche mit gleichmäßiger hoher Temperatur aufweist und daß an dieser Fläche der Plasmaansatz diffus erfolgt.Plasma torch for plasma applications comprising a cathode, with a connection to a holder with cooling, a plasma nozzle, one or more gas supplies and an anode acting as an anode, characterized in that the anode in plasma operation has a plasma-facing surface with uniformly high temperature and that At this surface the plasma approach takes place diffusely. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Stromdichte im Plasmaansatz kleiner als 5 A/mm2 ist.Plasma torch for plasma applications according to claim 1, characterized in that the current density in the plasma mixture is less than 5 A / mm 2 . Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Plasma an der Anode zeitlich stabil an einem Flächenbereich ansetzt.Plasma torch for plasma applications according to Claims 1 and 2, characterized in that the plasma attaches to the anode stable in time to a surface area. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Übergang vom konzentrierten Plasmaansatz auf der Anode zum großflächigen diffusen Ansatz im Temperaturfenster von 1000°C bis 2000°C erfolgt.Plasma torch for Plasma applications according to Claims 1 to 3, characterized that the transition from the concentrated plasma approach on the anode to the large-area diffuse Approach in the temperature window of 1000 ° C to 2000 ° C takes place. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Anodentemperatur im Plasmaansatz mindestens 100°C geringer als die Schmelztemperatur des Anodenmaterials ist.Plasma torch for Plasma applications according to Claims 1 to 4, characterized that the anode temperature in the plasma approach at least 100 ° C is less than the melting temperature of the anode material. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindung der Anodenoberfläche zu der Kühlung einen thermischen Widerstand von mindestens 1°C pro Watt aufweist.Plasma torch for Plasma applications according to Claims 1 to 5, characterized that the connection the anode surface to the cooling has a thermal resistance of at least 1 ° C per watt. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindung der Anodenoberfläche zu der Kühlung und elektrischem Anschluß über Metallschaum erfolgt.Plasma torch for Plasma applications according to Claims 1 to 6, characterized that the connection the anode surface to the cooling and electrical connection via metal foam he follows. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 1 bis 7 dadurch gekennzeichnet, daß die Anode aus hochschmelzendem Material vorzugsweise Wolfram besteht, das mit Oxiden dotiert ist, die eine niedrigere Austrittsarbeit aufweisen als reines Wolfram.Plasma torch for Plasma applications according to Claims 1 to 7, characterized that the anode made of refractory material is preferably tungsten, the doped with oxides having a lower work function as pure tungsten. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das hochschmelzende Material aus Wolfram besteht, das mit Lanthan-Oxid dotiert ist.Plasma torch for Plasma applications according to Claims 1 to 8, characterized that the refractory Material consists of tungsten, which is doped with lanthanum oxide. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 1 bis 9 dadurch gekennzeichnet, daß die Anode aus hochschmelzendem Material, vorzugsweise Wolfram besteht, das gefügestabilisiert dotiert ist.Plasma torch for Plasma applications according to Claims 1 to 9, characterized that the Anode of refractory material, preferably tungsten, doped to the fabric stabilized is. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Anode torusförmig ausgebildet ist.Plasma torch for Plasma applications according to claims 1 to 10, characterized in that the anode torus is trained. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen, insbesondere zum Schweißen und Schneiden, nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Plasmabrenner eine torusförmige Anode und eine torusfömige Kathode umfaßt.Plasma torch for Plasma applications, in particular for welding and cutting, according to claim 11, characterized in that the Plasma torch a toroidal Anode and a torusfömige Cathode covers. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 11 und 12 dadurch gekennzeichnet, daß die Anode als Zylinder ausgebildet aus Blech gebogen ist.Plasma torch for Plasma applications according to claim 11 and 12, characterized in that the anode as a cylinder formed of sheet metal is bent. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 11 bis 13 dadurch gekennzeichnet, daß durch die Anode das Arbeitsgas ungefähr parallel zur Symmetrieachse zugeführt wird.Plasma torch for Plasma applications according to claims 11 to 13, characterized in that the anode the working gas about is fed parallel to the axis of symmetry. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen, insbesondere Pulverbeschichtungen, nach Anspruch 11 bis 14 dadurch gekennzeichnet, daß das Pulver durch die Anode zugeführt wird.Plasma torch for Plasma applications, in particular powder coatings, according to claim 11 14 characterized in that the powder passes through the anode supplied becomes. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen, insbesondere zum Schweißen und Schneiden, nach Anspruch 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß durch die Anode hindurch Laserstrahlung dem Plasma überlagert wird.Plasma torch for Plasma applications, in particular for welding and cutting, according to claim 11 to 15, characterized in that through the anode Laser radiation superimposed on the plasma becomes. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 11 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Plasmaansatz der Anode an einem Bereich auf der, der Kathode zugewandten Innenfläche erfolgt und dieser Bereich mindestens den Winkelbereich bezüglich der Symmetrieachse von 30° umfaßt.Plasma torch for Plasma applications according to Claims 11 to 16, characterized in that the plasma mixture the anode is at an area on the inner surface facing the cathode and this range at least the angular range with respect to Symmetry axis of 30 ° includes. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 11 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Plasmaansatz der Anode an einem Bereich auf der, der Kathode zugewandten Innenfläche erfolgt und dieser Bereich mindestens den Winkelbereich bezüglich der Symmetrieachse von 60° umfaßt.Plasma torch for Plasma applications according to Claims 11 to 16, characterized in that the plasma mixture the anode is at an area on the inner surface facing the cathode and this range at least the angular range with respect to Symmetry axis of 60 ° includes. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 11 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Plasmaansatz der Anode an einem Bereich auf der, der Kathode zugewandten Innenfläche erfolgt und dieser Bereich mindestens den Winkelbereich bezüglich der Symmetrieachse von 120° umfaßt.Plasma torch for Plasma applications according to Claims 11 to 16, characterized in that the plasma mixture the anode is at an area on the inner surface facing the cathode and this range at least the angular range with respect to Symmetry axis of 120 ° includes. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 11 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Plasmaansatz der Anode an einem Bereich auf der, der Kathode zugewandten Innenfläche erfolgt und dieser Bereich mindestens den Winkelbereich bezüglich der Symmetrieachse von 240° umfaßt.Plasma torch for Plasma applications according to Claims 11 to 16, characterized in that the plasma mixture the anode is at an area on the inner surface facing the cathode and this range at least the angular range with respect to Symmetry axis of 240 ° includes. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 11 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Plasmaansatz der Anode an einem Bereich auf der, der Kathode zugewandten Innenfläche erfolgt und dieser Bereich den vollen Winkelbereich bezüglich der Symmetrieachse von 360° umfaßt.Plasma torch for Plasma applications according to Claims 11 to 16, characterized in that the plasma mixture the anode is at an area on the inner surface facing the cathode and this range the full angle range with respect to the symmetry axis of 360 ° included. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 11 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß der Plasmaansatz im Kanal an zwei Bereichen auf der, der Kathode zugewandten Innenfläche erfolgt, wobei jeder Bereich mindestens einen Winkelbereich bezüglich der Symmetrieachse von 15° umfaßt.Plasma torch for Plasma applications according to Claims 11 to 21, characterized in that the plasma mixture in the channel at two areas on the, the cathode facing inner surface, each region having at least one angular range with respect to Symmetry axis of 15 ° includes. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 11 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß der Plasmaansatz im Kanal an mehreren Bereichen auf der, der Kathode zugewandten Innenfläche erfolgt, wobei jeder Bereich mindestens einen Winkelbereich bezüglich der Symmetrieachse von 15° umfaßt.Plasma torch for Plasma applications according to Claims 11 to 22, characterized in that the plasma mixture in the channel at several areas on the, the cathode facing Inside surface takes place, each region having at least one angular range with respect to Symmetry axis of 15 ° includes. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 1 bis 23 dadurch gekennzeichnet, daß die Anode aus zwei Teilen zusammengesetzt ist, wobei der dem Plasma zugewandte Teil aus hochschmelzendem Material, vorzugsweise Wolfram, besteht, das mit Lanthan-Oxid dotiert ist.Plasma torch for Plasma applications according to Claims 1 to 23, characterized in that the anode is composed of two parts, wherein the plasma facing Part of refractory material, preferably tungsten, consists, which is doped with lanthanum oxide. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 1 bis 24 dadurch gekennzeichnet, zwei Teilen zusammengesetzt ist, wobei der dem Plasma abgewandte Teil aus einem gut wärmeleitenden Material, vorzugsweise Kupfer, besteht.Plasma torch for Plasma applications according to claims 1 to 24, characterized by two Parts is composed, wherein the plasma remote part from a good heat-conducting Material, preferably copper, consists. Plasmabrenner für Plasmaanwendungen nach Anspruch 1 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß die Anode an der dem Plasma abgewandten Seite mit einem hochtemperaturfesten, thermisch isolierenden Material umhüllt ist.Plasma torch for Plasma applications according to Claims 1 to 25, characterized in that the anode on the side facing away from the plasma with a high temperature resistant, thermally insulating material is wrapped.
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