DE102008008737A1

DE102008008737A1 - Filter unit manufacturing method for filtration of e.g. gas, involves connecting micro screen wafer to micro screen-wafer-substrate unit, where substrate comprises openings within area of perforations of micro screen wafer

Info

Publication number: DE102008008737A1
Application number: DE102008008737A
Authority: DE
Inventors: Franz Fastner; Franz Liebermann
Original assignee: IP AG
Current assignee: IP AG
Priority date: 2008-02-12
Filing date: 2008-02-12
Publication date: 2009-08-13

Abstract

The method involves providing a micro-screen wafer with perforations (2) for passing through materials, and a substrate that is made of a glass plate or a glass ceramic plate, which undergoes anodic bonding and connected with the micro screen wafer by an anodic binding unit. The micro screen wafer is connected to a micro screen-wafer-substrate unit, where the substrate comprises openings within the area of the perforations of the wafer. The wafer and the substrate are connected with a discharge piece that is made of glass, high-grade steel, glass ceramic, ceramics or plastics. An independent claim is also included for a filter device including a filter unit.

Description

Die Erfindung betrifft ein Filtermittel, welches als Filter einen Mikrosieb-Wafer enthält, und ein Verfahren zu dessen Herstellung, sowie Verwendungen des Verfahrens und des Filtermittels. Weiter betrifft sie eine Filtervorrichtung und diverse Ausgestaltungen.The The invention relates to a filter medium which uses as a filter a microsieve wafer contains, and a method for its production, as well Uses of the process and the filter agent. Next it concerns a filter device and various configurations.

Mikrosieb-Wafer und deren Einsatz bei Filtrationsvorgängen sind an sich im Stand der Technik bekannt. Verwiesen wird diesbezüglich auf EP 1 354 621 A1 und EP 0 879 635 B1 sowie den darin zitierten Stand der Technik.Microsieve wafers and their use in filtration operations are well known in the art. Reference is made in this regard EP 1 354 621 A1 and EP 0 879 635 B1 as well as the cited prior art.

Ein Vorteil des Einsatzes von Mikrosieb-Wafern zur Filtration liegt darin, dass, anders als bei sonstigen bekannten Filtermitteln wie Keramikfilterscheiben, Papierfilter oder Metallfilter, definierte Poren mit einer nur geringen Größenverteilung und einheitlicher Form und Gestalt hergestellt werden können und dass das Filter sehr dünn ist, so dass die Poren eine geringe Höhe und eine definierte räumliche Gestalt, z. B. die Form eines Zylinders, aufweisen, sodass eine wesentlich höhere Durchsatzleistung im Vergleich zu herkömmlichen Filtermitteln erzielt werden kann. Die Verbesserungen liegen im Bereich einer 10- bis 100fach erhöhten Durchsatzleistung.One Advantage of the use of microsieve wafers for filtration is in that, unlike other known filter media such as Ceramic filter discs, paper filters or metal filters, defined Pores with a small size distribution and uniform shape and shape can be produced and that the filter is very thin, so that the pores one low height and a defined spatial shape, z. B. have the shape of a cylinder, so that a significant higher throughput compared to conventional Filtering means can be achieved. The improvements are in the Range of 10 to 100 times increased throughput.

Allerdings zeigten die bekannten Vorrichtungen in der Praxis diverse Probleme, insbesondere im Zusammenhang mit der Stabilität der Mikrosieb-Wafer sowie deren sinnvoller Einsatz in Filtervorrichtungen. Die vorliegende Erfindung zielt darauf ab, die bekannten Nachteile zu überwinden.Indeed the known devices showed various problems in practice, especially in connection with the stability of the microsieve wafers and their meaningful use in filter devices. The present The invention aims to overcome the known disadvantages.

Gemäß der Erfindung wird der Mikrosieb-Wafer zur Stabilisierung mit einem Träger zu einer Mikrosieb-Wafer-Träger-Einheit verbunden. Der Träger besteht aus einem Material, das anodischem Bonden unterzogen werden kann. Bevorzugte Beispiele hierfür sind Gläser und keramische Werkstoffe. Die Verbindung zwischen dem Mikrosieb-Wafer und dem Träger erfolgt durch anodisches Bonden. Hierdurch wird eine höchst haltbare Verbindung erzeugt, deren Vorteil u. a. darin liegt, dass, anders als beim Kleben, keine Klebstoffe oder dergleichen eingesetzt werden müssen, welche entweder mit dem Mikrosieb-Wafer oder mit dem Träger oder beim Einsatz des Filtermittels mit der zu filternden Materie in Wechselwirkung treten könnten. Der Mikrosieb-Wafer weist in der Regel nicht über die ganze Fläche hinweg gleichmäßig verteilt Poren auf, sondern die Poren sind in der Regel in einzelnen Bereichen lokalisiert. Daneben liegende Bereiche bleiben ohne Perforation. Hierdurch wird generell die Stabilität des Mikrosieb-Wafers verbessert. Der Durchtritt der filtrierten Materie erfolgt dementsprechend nur in den Bereichen, wo der Mikrosieb-Wafer perforiert ist. Der Träger ist nicht als vollflächiges Material gestaltet, sondern weist zumindest teilweise in den Bereichen, wo der Mikrosieb-Wafer perforiert ist, Öffnungen auf. Bevorzugt entspricht die Anordnung und Gestalt der Öffnungen, auch als Durchbrüche bezeichnet, im Träger den perforierten Bereichen des Mikrosieb-Wafers. In diesem Fall kann der Träger seine Aufgabe optimal erfüllen – eine Abstützung, Versteifung und Stabilisierung des Mikrosieb-Wafers, um möglichst lange Lebensdauern zu erzielen.According to the Invention, the microsieve wafer for stabilization with a Carrier to a microsieve wafer carrier unit connected. The carrier is made of a material that is anodic bonding can be subjected. Preferred examples are Glasses and ceramic materials. The connection between the microsieve wafer and the carrier are anodized Bonding. This will be a highly durable connection generated, the advantage u. a. It is that, unlike the Gluing, no adhesives or the like must be used, which either with the microsieve wafer or with the carrier or when using the filter medium with the matter to be filtered could interact. The microsieve wafer points usually not over the whole area evenly distributed on pores, but the pores are usually localized in individual areas. Next to it Areas remain without perforation. This generally improves stability of the microsieve wafer. Passage of filtered Accordingly, matter occurs only in the areas where the microsieve wafer perforated. The carrier is not as full-surface Material designed, but exhibits at least partially in the areas where the microsieve wafer is perforated, openings on. Prefers corresponds to the arrangement and shape of the openings, too referred to as breakthroughs, perforated in the carrier Areas of the microsieve wafer. In this case, the carrier can be his Perform the task optimally - a support, Stiffening and stabilization of the microsieve wafer to last as long as possible To achieve lifetimes.

Bevorzugt ist die Einheit aus Mikrosieb-Wafer und Träger mit einem Ablaufstück, auch als Verteilelement bezeichnet, verbunden. Hierbei handelt es sich um ein Element, in welchem sich Permeat sammelt und das die Ableitung des Permeats sicherstellt. Die Verbindung zwischen dem Filtermittel und dem Ablaufstück erfolgt wiederum bevorzugt durch anodisches Bonden oder durch ein Schleudergussverfahren, mit dem ein Randverbund hergestellt werden kann. Entscheidend ist, dass durch die Verbindung eine haltbare Verbindung erzielt wird, welche durch den Einsatz nicht beschädigt wird und seine Funktion der Permeatabführung dauerhaft erfüllen kann. Das Ablaufstück weist bevorzugt diverse Kanäle und Kammern auf, in welchen das Permeat gesammelt und weitergeleitet wird. Aus den Zeichnungen sind Ausgestaltungen ersichtlich. Bei einem Einsatz bei der Emulgierung oder Begasung sorgt das Ablaufstück bzw. Verteilstück dafür, dass der zu emulgierenden oder begasenden Materie Materie oder Gas zugeführt wird.Prefers is the unit of microsieve wafers and carrier with a Drain piece, also referred to as distributor, connected. This is an element in which permeate collects and that ensures the derivation of the permeate. The connection between the filter means and the drainage piece takes place again preferably by anodic bonding or by a centrifugal casting process, with which an edge bond can be made. It is crucial that a durable connection is achieved by the connection, which is not damaged by the use and its function the permeate discharge can fulfill permanently. The drain piece preferably has various channels and chambers in which the permeate is collected and passed on becomes. Embodiments are apparent from the drawings. at a use in the emulsification or fumigation ensures the drain piece or distributor for that to be emulsified or gaseous matter is supplied to matter or gas.

Allgemein findet das erfindungsgemäße Filtermittel Verwendung sowohl bei der Filtration als auch bei der Begasung und Emulgierung, sozusagen sowohl zum Auftrennen, Abtrennen und Abführen von Materie als auch zum Vermischen und Einbringen derselben. Unter Materie werden Gase, Flüssigkeiten, Feststoffe, Plasma, Fluide etc. verstanden.Generally finds the filter medium according to the invention use both in filtration and in fumigation and emulsification, so to speak, both for the separation, separation and removal of Matter as well as for mixing and introducing the same. Under Matter becomes gases, liquids, solids, plasma, Fluids etc. understood.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert und beschrieben. Die Zeichnungen sind lediglich schematisch und dienen dazu, die Prinzipien der Erfindung zu erläutern. Bauteile mit gleichen Funktionen tragen gleiche Bezugszeichen, obgleich sie verschiedenen Ausführungsbeispielen angehören mögen. Es zeigen:following The invention will be explained in more detail with reference to the drawings and described. The drawings are merely schematic and serve to explain the principles of the invention. Components with the same functions bear the same reference numerals, although they belong to different embodiments to like. Show it:

1 eine Aufsicht auf einen Mikrosieb-Wafer bzw. einen Träger mit Mittelbohrung; 1 a plan view of a microsieve wafer or a carrier with a central bore;

2 eine Aufsicht auf einen Träger bzw. einen Mikrosieb-Wafer in einer weiteren Ausgestaltung, ohne Mittelbohrung; 2 a plan view of a carrier or a microsieve wafer in a further embodiment, without center hole;

3 ein erfindungsgemäßes Filtermittel in Aufsicht; 3 an inventive filter means in supervision;

4 einen Schnitt durch ein erfindungsgemäßes Filtermittel; 4 a section through a filter medium according to the invention;

5 einen Schnitt durch eine weitere Ausgestaltung eines erfindungsgemäßen Filtermittels; 5 a section through a further embodiment of a filter medium according to the invention;

6 eine Aufsicht auf einen Rotor zur Aufnahme des erfindungsgemäßen Filtermittels; 6 a plan view of a rotor for receiving the filter medium according to the invention;

7 einen Schnitt durch eine erfindungsgemäße Filtrationsvorrichtung; 7 a section through a filtration device according to the invention;

8 einen Schnitt durch eine weitere Ausführungsform einer Filtervorrichtung und 8th a section through a further embodiment of a filter device and

9 einen Schnitt durch noch eine weitere Ausführungsform einer Filtervorrichtung. 9 a section through yet another embodiment of a filter device.

In den 1 und 2 sind Ausführungsbeispiele von Mikrosieb-Wafern bzw. Trägern dargestellt. 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel mit einer Mittelbohrung 15, wohingegen in 2 ein solches ohne Mittelbohrung dargestellt ist. Dargestellt sind jeweils ein Mikrosieb-Wafer bzw. der Träger. Wie oben erwähnt, entsprechen sich die Gestaltungen jeweils bevorzugt. Schraffierte Bereiche stellen perforierte Bereiche des Mikrosieb-Wafers dar. Sie sind mit dem Bezugszeichen 2 versehen. Dazwischen liegende Bereiche sind porenfrei; sie tragen das Bezugszeichen 3. Bei Betrachtung der Darstellungen als Träger sind die schraffierten Bereiche Öffnungen und die unschraffierten Bereiche sind Trägermaterial. Nach dem anodischen Bonden von Mikrosieb-Wafer und Träger entsteht eine Filtermitteleinheit, bei welcher unter den perforierten Bereichen des Mikrosieb-Wafers entsprechende Öffnungen im Träger angeordnet sind.In the 1 and 2 Exemplary embodiments of microsieve wafers or carriers are shown. 1 shows an embodiment with a center hole 15 , whereas in 2 such is shown without center hole. Shown are each a microsieve wafer or the carrier. As mentioned above, the configurations are each preferably the same. Hatched areas represent perforated areas of the microsieve wafer. They are identified by the reference numeral 2 Mistake. Intervening areas are non-porous; they bear the reference number 3 , When viewing the representations as a carrier, the hatched areas are apertures and the unshaded areas are substrate. After the anodic bonding of microsieve wafers and carriers, a filter medium unit is produced in which corresponding openings are arranged in the carrier under the perforated regions of the microsieve wafer.

3 zeigt eine Ausgestaltung, genauer eine Aufsicht auf ein Filtermittel, das keine mittige Öffnung aufweist. Die Mittelbohrung 15 in 1 dient in der Regel zur Aufnahme der Filtratableitung. Bei den Mikrosieb-Wafern der 2 und 3 erfolgt die Filtratableitung im Umfangsbereich, sodass dementsprechend eine Mittelbohrung entfällt. Zu sehen ist der Mikrosieb-Wafer 1 mit perforierten Bereichen 2 und vollflächigen Bereichen 3. Der Mikrosieb-Wafer ist mit einem Träger durch anodisches Bonden verbunden worden. Der Träger befindet sich unter dem Mikrosieb-Wafer und ist deshalb in der Darstellung der 3 nicht zu sehen. Die Filtermitteleinheit aus Mikrosieb-Wafer und Träger ist mit einem Ablaufstück 4 verbunden. Hierbei handelt es sich bevorzugt ebenfalls um ein Element, das aus einem Material hergestellt ist, welches anodischem Bonden unterzogen werden kann. Insbesondere besteht es aus Gläsern oder keramischen Materialien. Das Ablaufstück 4 wird bevorzugt mit der Einheit aus Mikrosieb-Wafer und Träger durch anodisches Bonden fest verbunden. Es dient der Beabstandung der einzelnen Filtermittel in einem Filtermittelstapel und der Ableitung des Permeats. In der Ausführungsform der 3 erfolgt die Ableitung im Umfangsbereich bzw. im Außenbereich des Filtermittels. Dementsprechend sind Kanäle und Durchlässe vorgesehen. Diese können eine beliebige Anzahl haben, zumindest einer, bevorzugt sind es jedoch mehrere, die über den Umfang gleichmäßig verteilt sind. In der Darstellung der 3 sind drei entsprechende Permeatableitungen 5 vorgesehen. 3 shows an embodiment, more particularly a plan view of a filter medium having no central opening. The center hole 15 in 1 usually serves to receive the Filtratableitung. In the microsieve wafers of 2 and 3 the Filtratableitung occurs in the peripheral region, so accordingly eliminates a center hole. You can see the microsieve wafer 1 with perforated areas 2 and full-surface areas 3 , The microsieve wafer has been bonded to a carrier by anodic bonding. The carrier is located under the microsieve wafer and is therefore in the illustration of 3 not to be seen. The filter medium unit of microsieve wafer and carrier is equipped with a drain piece 4 connected. This is also preferably an element made of a material which can be subjected to anodic bonding. In particular, it consists of glasses or ceramic materials. The drainage piece 4 is preferably firmly connected to the microsieve wafer unit and support by anodic bonding. It serves for the spacing of the individual filter media in a filter media stack and the discharge of the permeate. In the embodiment of the 3 the discharge takes place in the peripheral region or in the outer region of the filter medium. Accordingly, channels and passages are provided. These may have any number, at least one, but are preferably several, which are evenly distributed over the circumference. In the presentation of the 3 are three corresponding Permeatableitungen 5 intended.

Die 4 und 5 zeigen Schnitte durch erfindungsgemäße Filtermittelanordnungen. Jeweils zwei Filtermitteleinheiten aus Mikrosieb-Wafer 1 und Träger 6 sind über ein Ablaufstück 4 miteinander verbunden. Es handelt sich jeweils um Ausgestaltungen mit Mittelbohrung, d. h. die Permeatableitung erfolgt über die Mittelbohrung 15. Zu filtrierende Materie gelangt an die Mikrosieb-Wafer heran, tritt durch die Poren hindurch und wird im Ablaufstück 4 als Permeat weitergeführt zur Permeatableitung 5. Die besprochenen Flüsse sind entsprechend durch Pfeile in 4 schematisch dargestellt.The 4 and 5 show sections through filter media arrangements according to the invention. Two filter medium units each from microsieve wafers 1 and carriers 6 are about a drainage piece 4 connected with each other. These are in each case designs with central bore, ie the permeate discharge takes place via the central bore 15 , Matter to be filtered reaches the microsieve wafers, passes through the pores and enters the drain 4 as permeate continued for permeate discharge 5 , The rivers discussed are correspondingly indicated by arrows in 4 shown schematically.

Bei der Filtermittelanordnung der 4 erfolgt die Verbindung des Mikrosieb-Wafers mit dem Träger und mit dem Ablaufstück durch anodisches Bonden. In 5 ist eine andere Verbindungsart dargestellt. Hier sind Mikrosieb-Wafer und Träger wiederum durch anodisches Bonden verbunden worden. Anschließend werden zwei solcher Einheiten mit dem Ablaufstück 4 durch ein Schleudergussverfahren verbunden. Das Schleudergussverfahren ist beschrieben in der europäischen Patentanmeldung EP 1 657 042 .In the filter means arrangement of 4 the connection of the microsieve wafer with the carrier and with the drainage piece by anodic bonding. In 5 another connection type is shown. Here, microsieve wafers and carriers have in turn been connected by anodic bonding. Subsequently, two such units with the drainage piece 4 connected by a centrifugal casting process. The centrifugal casting process is described in the European patent application EP 1 657 042 ,

Das erfindungsgemäße Filtermittel kommt vorzugsweise in einer rotierenden Filtervorrichtung zum Einsatz. Hiermit sind Filtervorrichtungen gemeint, bei welchen zumindest ein Filtermittel in Rotation versetzt wird. Durch die Rotation wird ein Cross-flow über der Filtermitteloberfläche erzeugt, was den Abtrag von Filterkuchen bewirkt und insgesamt eine gute Filtrationsleistung ermöglicht. In den 6 bis 8 sind Ausgestaltungsbeispiele für solche Filtervorrichtungen (7 und 8) bzw. Details davon (6) dargestellt. Die Filtervorrichtung der 7 enthält mehrere Filtermittel, dargestellt sind sechs Filtermittel, wohingegen in die Filtervorrichtung der 8 nur ein Filtermittel eingesetzt wird. Wie durch den Pfeil 30 jeweils dargestellt, wird das Filtermittelpaket bzw. das einzelne Filtermittel in Rotation versetzt. Hierfür ist eine Antriebswelle 7 vorgesehen. Das Zu- und Abführen von zu filtrierender Materie ist durch entsprechende Pfeile in 8 und ist in 7 durch das Bezugszeichen 8 dargestellt.The filter medium according to the invention is preferably used in a rotating filter device. This means filter devices in which at least one filter medium is set in rotation. The rotation creates a cross-flow over the surface of the filter media, which causes the removal of filter cake and overall good filtration performance. In the 6 to 8th are exemplary embodiments of such filter devices ( 7 and 8th ) or details thereof ( 6 ). The filter device of 7 contains several filter means, six filter means are shown, whereas in the filter device of the 8th only one filter medium is used. As by the arrow 30 each shown, the filter media package or the individual filter means is set in rotation. This is a drive shaft 7 intended. The supply and removal of matter to be filtered is indicated by corresponding arrows in 8th and is in 7 by the reference numeral 8th shown.

7 zeigt eine Ausgestaltung mit mehreren Filtermitteln. Die Filtermittel bestehen aus einem Mikrosieb-Wafer, der durch anodisches Bonden mit einem Träger verbunden worden ist. Bezeichnet ist das Filtermittel mit dem Bezugszeichen 20. Jeweils zwei Filtermittel 20 werden über das Ablaufstück 4 miteinander verbunden und bilden jeweils eine Einheit. Wie durch die Pfeile dargestellt, durchtritt zu filternde Materie das Filtermittel 20 und wird im Umfangsbereich über das Ablaufstück 4 und die entsprechende Permeatableitung 5 abgeleitet. Aus einer Zusammenschau der 3 und 7 wird ersichtlich, dass mehrere solcher Einheiten aus Ablaufstück 4 und Filtermitteln 20 übereinander gestapelt werden. Vorgesehen sind hierfür entsprechende Adapterstücke 13 und Zwischenhülsen 14. Sämtliche Permeatableitungen 5 laufen im so genannten Rotor 40 zusammen. Dort wird das Permeat vereinigt und gemeinsam abgeführt. In der Darstellung der 7 und 8 erfolgt dies jeweils über die Antriebswelle 7. Die Antriebswelle 7 dient somit zugleich als Permeatsammelableitung. 7 shows an embodiment with a plurality of filter means. The filter means consist of a microsieve wafer which has been connected to a carrier by anodic bonding. The filter means is denoted by the reference numeral 20 , Two filter media each 20 be over the drainage piece 4 with a connected to each other and each form a unit. As shown by the arrows, matter to be filtered passes through the filter media 20 and is in the peripheral area over the drainage piece 4 and the corresponding permeate discharge 5 derived. From a synopsis of 3 and 7 it will be seen that several such units are out of drainage 4 and filter media 20 be stacked on top of each other. Provided for this purpose are appropriate adapters 13 and intermediate sleeves 14 , All permeate discharges 5 run in the so-called rotor 40 together. There, the permeate is combined and discharged together. In the presentation of the 7 and 8th this is done via the drive shaft 7 , The drive shaft 7 thus serves at the same time as Permeatsammelableitung.

Bei der in 7 dargestellten Filtervorrichtung wurde ein besonders einfacher Grundaufbau gewählt. Deckplatte 11 und Grundplatte 12 sind miteinander über Zuganker 10 verbunden. Den Behälter bildet eine Wandung, die als Behälterschuss 9 bezeichnet wird. Dieser ist in Nuten in der Deckplatte 11 und der Grundplatte 12 eingelassen. Die Zuganker 10 befinden sich im Inneren des Behälters und dienen gleichzeitig als Stromstörer. Dies bedeutet, dass die durch die Rotation des Filtermittelpaketes bewirkte Strömung an den Zugankern gestört und unterbrochen wird, um eine so genannten stehende Materiesäule zu unterbrechen. Die Strömung wird turbulent gehalten, was die Filtrationsleistung verbessert.At the in 7 The filter device shown a particularly simple basic structure was selected. cover plate 11 and base plate 12 are together via tie rods 10 connected. The container forms a wall that serves as a container shot 9 referred to as. This is in grooves in the cover plate 11 and the base plate 12 admitted. The tie rods 10 are located inside the container and also serve as baffles. This means that the flow caused by the rotation of the filter medium package at the tie rods is disturbed and interrupted in order to interrupt a so-called stationary column of matter. The flow is kept turbulent, which improves the filtration performance.

Die Filtervorrichtung der 8 zeigt einen ähnlichen Behälteraufbau. Hier ist jedoch nur ein einziges Filtermittel 20 vorhanden. Als Rotor, entsprechend dem Rotor 40, ist eine Membranaufnahme 50 vorgesehen. Auf dieser wird das Filtermittel befestigt und abgedichtet. Durch die Poren des Mikrosieb-Wafers hindurch tretendes Permeat wird in dem Innenbereich der Membranaufnahme 50, als Vorratsraum 18 bezeichnet, gesammelt und über die Antriebswelle 7 abgeleitet.The filter device of 8th shows a similar container construction. Here, however, is only a single filter means 20 available. As a rotor, corresponding to the rotor 40 , is a membrane holder 50 intended. On this, the filter medium is attached and sealed. Permeate passing through the pores of the microsieve wafer becomes in the interior of the membrane receiver 50 , as a pantry 18 referred to, collected and via the drive shaft 7 derived.

9 zeigt schließlich eine weitere Einsatzmöglichkeit des Filtermittels der Erfindung. Es wird hier ein einzelnes Filtermittel 20 in einer Luftfiltrationsvorrichtung eingesetzt. Die Luft wird tangential angesaugt über den Ansaugstutzen 101. Es tritt in den Behälter 102 ein. Der Behälter wird wiederum aus Deckplatte 103 und Bodenplatte 104 gebildet. Die Luft wird durch den Mikrosieb-Wafer hindurchgesaugt und verlässt beim Auslass 105 die Filtervorrichtung. Um ein Zusetzen des Filtermittels zu verhindern, ist ein Reinigungselement, auch als Pad bezeichnet, vorgesehen. Es ist mit dem Bezugszeichen 106 bezeichnet. Das Reinigungselement wird durch das Ansaugen der Luft über der Oberfläche des Filtermittels 20 bewegt. Bevorzugt ist eine Zentrierhilfe 107 vorgesehen, welche an der Deckplatte 103 befestigt ist und bewirkt, dass das Reinigungselement 106 gleichmäßig über die Filtermitteloberfläche bewegt wird und bevorzugt im Außenbereich gehalten wird. Das Filtermittel 20 ist auf einem Trägergehäuse 108 montiert. Das Trägergehäuse 108 ist zentral im Filterbehälter 102 vorgesehen. Es verbleibt eine so genannte Schmutzkammer 109 zwischen Behälterwand und Trägergehäuse. Das Reinigungselement 106 schleudert in Zusammenwirkung mit dem tangentialen Ansaugen Retentat, d. h. von dem Mikrosieb zurückgehaltene Schmutzpartikel, nach außen in die Schmutzkammer 109. Dort wird das Material gesammelt und kann dann entleert werden. Eine solche erfindungsgemäße Anordnung eignet sich besonders zum Einsatz in Staubsaugern ohne Filterbeutel, aus welchen der herausgefilterte Staub und Dreck durch einfaches Entleeren beseitigt wird. 9 finally shows a further possible use of the filter medium of the invention. It becomes here a single filter means 20 used in an air filtration device. The air is sucked tangentially over the intake manifold 101 , It enters the container 102 one. The container is again made of cover plate 103 and bottom plate 104 educated. The air is sucked through the microsieve wafer and exits at the outlet 105 the filter device. In order to prevent clogging of the filter medium, a cleaning element, also referred to as a pad, is provided. It is with the reference number 106 designated. The cleaning element is made by sucking the air over the surface of the filter medium 20 emotional. Preferred is a centering aid 107 provided, which on the cover plate 103 is attached and causes the cleaning element 106 is moved uniformly over the filter surface and is preferably kept outdoors. The filter medium 20 is on a carrier case 108 assembled. The carrier housing 108 is central in the filter tank 102 intended. There remains a so-called dirt chamber 109 between container wall and carrier housing. The cleaning element 106 In cooperation with the tangential suction, retentate, ie dirt particles retained by the microsieve, hurls outwards into the dirt chamber 109 , There, the material is collected and can then be emptied. Such an inventive arrangement is particularly suitable for use in vacuum cleaners without filter bag, from which the filtered-out dust and dirt is eliminated by simply emptying.

11: Mikrosieb-WaferMicrofilter wafer
22: Perforierter Bereichperforated Area
33: Vollflächiger Bereichfull page Area
44: Ablaufstücksequence piece
55: Permeatableitungpermeate discharge
66: Trägercarrier
77: Antriebswelledrive shaft
88th: ZulaufIntake
99: Behälterschussbin shot
1010: Zugankertie rods
1111: Deckplattecover plate
1212: Grundplattebaseplate
1313: Adapterstückadapter piece
1414: Zwischenhülseintermediate sleeve
1515: Mittelbohrungcenter bore
1616: AblaufdurchführungExpiration implementation
1717: Blindstopfenblind plug
1818: Vorratsraumpantry
1919: Randverbundedge seal
2020: Filtermittelfilter means
3030: Pfeilearrows
4040: Rotorrotor
5050: Membranaufnahmemembrane uptake
101101: Ansaugstutzenintake
102102: Behältercontainer
103103: Deckplattecover plate
104104: Bodenplattebaseplate
105105: Auslassoutlet
106106: Reinigungselementcleaning element
107107: Zentrierhilfecentering
108108: Trägergehäusesupport housing
109109: Schmutzkammerdirt chamber

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

EP 1354621 A1 [0002]
- EP 0879635 B1 [0002]
EP 1657042 [0021]

Claims

Method for producing a filter medium ( 20 ), characterized in that a microsieve wafer ( 1 ) having perforations for the passage of matter, with a carrier ( 6 ) of a material which can be subjected to anodic bonding and connected by means of this method to a microsieve wafer, is connected by anodic bonding to a microsieve wafer carrier unit, the support being arranged in the region of the perforations ( 2 ) of the microsieve wafer has apertures at least in partial areas, and wherein the support is preferably a glass plate or glass ceramic plate.

A method according to claim 1, characterized in that the unit of microsieve wafer and carrier with a drainage piece ( 4 ), this drainage piece ( 4 ) at least in subregions where the wearer ( 6 ) Has apertures, channels, so that the microsieve wafer ( 1 ) Matter can be supplied or removed from it.

Method according to claim 2, characterized in that the waste piece ( 4 ) consists of glass, stainless steel, glass ceramic, ceramics or plastics.

Method according to claim 2 or 3, characterized in that the connection between the drainage piece and the microsieve wafer carrier unit by means of Gluing, anodic bonding or by a centrifugal casting process he follows.

Filtering agent ( 20 ) comprising a unit of microsieve wafers ( 1 ) and supports ( 6 ) consisting of a microsieve wafer having at least partially perforations for passage of matter and a support of a material that can be subjected to anodic bonding, wherein the microsieve wafer and the support have been bonded together by anodic bonding, wherein the carrier in the region of the perforations of the microsieve wafer at least in partial areas has openings, and wherein the carrier is preferably a glass plate or glass ceramic plate.

Filtering agent according to claim 5, characterized in that that it additionally has a drainage piece, the at least in some areas where the carrier breakthroughs has, channels, allowing the microsieve wafer matter can be fed or discharged from it.

Filtering means according to claim 5 or 6, characterized in that at least the microsieve wafer ( 1 ) and the carrier ( 6 ) a central bore ( 15 ), through which in particular a permeate discharge can take place.

Filtering agent according to one of claims 6 or 7, characterized in that the drainage piece in his Peripheral area at least one opening, in particular a plurality of openings, which in particular evenly around the circumference are distributed to have Permeatabfuhr.

Use of the method of anodic bonding for producing a filter medium ( 20 ) using as filter a microsieve wafer ( 1 ), and wherein the anodic bonding is used to attach the microsieve wafer to a support ( 6 ), the carrier being in the region of perforations ( 3 ) of the microsieve wafer has apertures at least in partial areas, and wherein the support is preferably a glass plate or glass ceramic plate.

Use according to claim 9, characterized in that the anodic bonding is further used to provide the microsieve wafer carrier with a drain ( 4 ), which has channels at least in partial regions where the carrier has openings, so that matter can be supplied to or removed from the microsieve wafer.

Use of the filter agent ( 20 ) according to one of claims 5 to 8 for the filtration of matter, in particular gases, liquids, solids, gels or plasmas, for gassing, for aeration and / or for emulsification.

Filter device comprising at least one filter means ( 20 ) according to any one of claims 5 to 8.

Filter device according to claim 12, characterized in that at least one filter means ( 20 ) are rotationally arranged according to one of claims 5 to 8, in particular via a rotor ( 40 ) which sets the at least one filter medium in rotation.

Filter device according to claim 13, characterized in that the rotor ( 40 ) of the permeate discharge, wherein the derivative via a rotatable shaft ( 7 ), which drives the rotor, takes place.

Filter device according to claim 14, characterized in that via the rotor ( 40 ) a backwashing and / or the introduction of matter, in particular gases, takes place in the filter device.

Filter device according to one of claims 12 to 15, which only filter means ( 20 ) mounted on a rotor ( 40 ), wherein in the rotor and / or between the rotor and filter means a storage space ( 18 ) is designed for permeate, in which permeate passes after passing through the microsieve wafer and from where the discharge of the permeate takes place.

Filter device according to one of claims 12-15 in the at least two, in particular more than two filter means ( 20 ) are arranged to form a filter medium, wherein the individual filter means each have a Permeatableitung to derive permeate after passing through the microsieve wafer.

Filter device according to claim 17, characterized in that the permeate discharges of the filter means are connected to each other and into a rotor ( 40 ), which sets the filter medium package in rotation and over which the Filtratabfuhr takes place.

Filter device according to one of claims 12 to 18, characterized in that a container of the filter device is formed in that each a bottom ( 11 ) and cover plate ( 12 ) Have grooves into which a cylindrical wall ( 9 ), and that the bottom and top plates are clamped against each other over the cylindrical wall, so that a filter container is formed, in which the at least one filter means ( 20 ) is recorded.

Filter device according to claim 12, characterized in that the filter device is one with which gases, in particular air, are filtered, wherein the gas to be filtered sucked and sucked into a filter container and is sucked through this, while the filtration of the gas takes place, and that at least one cleaning element ( 106 ) is provided which is freely movable in the filter container and by the suction in the filter container over a surface of the filter means ( 20 ) is moved, whereby on the surface of the filter medium accumulated material, in particular retentate, is removed, so that clogging of the filter medium is as possible prevented.

Filter device according to claim 20, characterized in that the at least one filter means ( 20 ) on a carrier housing ( 108 ) is fixed in place.

Filter device according to claim 20 or 21, characterized characterized in that the suction of the gas is tangential, so that the gas enters the filter container in one Rotary movement is offset, so that by the movement of the cleaning element abraded matter contained in the incoming gas is carried in the peripheral region of the filter container.

Filter device according to one of claims 20 to 22, characterized in that a centering aid ( 107 ) is provided, which is mounted in particular on a lid of the filter container, wherein the cleaning element is displaced by the sucked gas and by means of the centering in a rotational movement over the filter medium surface.