DE102007058564A1 - Smooth wear-protection coating for metal or ceramic components or tools, deposits layers of alternating structure to limit growth of defects and prevent unacceptable surface roughness - Google Patents

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Abstract

The coating is no less than 0.001 mm thick. It is formed by individual layers on the component surface. The layers comprise two or more chemical compounds or chemical elements. Alternatively the layers are formed from a single chemical element or compound, which has a different microstructure in each layer. At least one layer has increased hardness, for wear protection. The chemical compound(s) or element(s) in the layers differ in having different crystal structures, or alternatively, one is amorphous. The layers are formed by a nitride, chromium, boron, titanium, silicon, aluminum and/or amorphous diamond-like carbon. The nitrides are selected from titanium nitride, chromium nitride and boron nitride. In one layer, a foreign chemical element or chemical compound is incorporated. Si 3N 4or AlN is incorporated in one of the layers. Layers having increased hardness reach a minimum Vickers hardness of 1000 VH.

Description

Die Erfindung betrifft Verschleißschutzbeschichtungen für Bauteile oder Werkzeuge, insbesondere für solche, die aus einem Metall oder einer Keramik gebildet sind.The The invention relates to wear protection coatings for components or Tools, especially for those formed from a metal or a ceramic.

Solche Beschichtungen werden üblicherweise in an sich bekannter Dünnschichttechnologie, wie PVD- oder CVD-Verfahren mit typischen Schichtdicken im Bereich 0,0005 bis 0,01 mm ausgebildet. Bei der Schichtausbildung kommt es aber zur Ausbildung unerwünschter Schichtstrukturen, in Folge von Wachstumsfehlern. Solche Fehler entstehen spontan und werden häufig durch bei der Schichtausbildung auf die Oberfläche auftreffende „größere" Partikel begünstigt.Such Coatings become common in a conventional thin-film technology, like PVD or CVD methods formed with typical layer thicknesses in the range 0.0005 to 0.01 mm. In the course training but it comes to the formation of unwanted Layered structures as a result of growth defects. Such mistakes arise spontaneously and become common favored by the formation of layers on the surface impacting "larger" particles.

Im Bereich der Wachstumsfehler wird das Aufwachsen der Schicht begünstigt, so dass dort punktuell eine Schichtdickenerhöhung auftritt. Dies verstärkt sich sukzessive mit der Erhöhung der Gesamtschichtdicke. Diese Fehler sind ausgehend von unten, also Richtung von der Bauteiloberfläche zur Schichtoberfläche annähernd kegelförmig und an ihrer Oberfläche mit einem konvex gewölbten Bereich, der über die Oberfläche der bereits gebildeten Schicht hinausragt, ausgebildet.in the Range of growth defects favoring the growth of the layer, so that at certain points there is a layer thickness increase. This is amplified successively with the increase the total layer thickness. These errors are starting from below, so Direction of the component surface to the layer surface nearly conical and on their surface with a convex arch Area that over the surface the projected layer protrudes formed.

Dadurch erhöht sich die Rauheit der gebildeten Schicht, was besonders mit ansteigender Schichtdicke bei der Schichtausbildung auftritt. Dies ist aber für viele Anwendungen nicht akzeptabel. Insbesondere bei Applikationen, bei denen Verschleißschutzschichten mit höherer Schichtdicke gewünscht werden.Thereby elevated The roughness of the layer formed, which is especially with increasing layer thickness occurs during layer formation. But this is for many Applications unacceptable. Especially for applications, at which wear protection layers with higher Layer thickness are desired.

Dem kann durch einen Werkstoffabtrag an der Oberfläche entgegengewirkt werden. Dies kann zumindest teilweise oder unterstützt, auf mechanischen Weg, z. B. Schleifen und Polieren erreicht werden. Damit sind aber erhöhte Aufwendungen verbunden, da es sich um Schichten handelt, die eine erhöhte Härte aufweisen. Außerdem besteht die Gefahr, dass dadurch solche Fehler/Defekte aufweisenden Bereiche zumindest teilweise zerstört oder gar mit abgetragen werden, so dass die Oberfläche dann stärker beeinträchtigt ist, als vor einer solchen Oberflächennachbearbeitung.the can be counteracted by a material removal on the surface. This can be at least partially or assisted, mechanically, z. B. grinding and polishing can be achieved. But that means increased expenses connected because they are layers that have an increased hardness. Furthermore There is a risk that thereby have such defects / defects having areas at least partially destroyed or even be removed with, so that the surface is then more affected, than before such surface finishing.

Solche Wachstumsfehler, insbesondere dann wenn sie bei der Herstellung durch auftreffende Partikel bedingt auftreten, können teilweise durch Maßnahmen bei der Beschichtung behindert werden, in dem eine Filterung vorgesehen ist, mit der Partikel aus einem gebildeten Plasma so abgelenkt werden, dass sie die zu beschichtende Oberfläche nicht erreichen. Dies stellt aber einen erhöhten Kostenfaktor dar und es wird insbesondere die Beschichtungsrate verringert, was sich negativ auf die Produktivität auswirkt.Such Growth defects, especially if they are in the production Occurs conditionally due to impinging particles can be partially by measures be hindered in the coating, in which a filtering provided is to be deflected with the particles from a formed plasma so that they are the surface to be coated do not reach. But this represents an increased cost factor and it In particular, the coating rate is reduced, which is negative on productivity effect.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung eine Verschleißschutzbeschichtung für metallische Bauteile vorzuschlagen, die bei größerer Schichtdicke, in Folge reduzierter Defekte eine verbesserte Oberflächengüte und Homogenität aufweist.It is therefore an object of the invention is a wear protection coating for metallic To propose components, which at larger layer thickness, in consequence reduced defects has improved surface quality and homogeneity.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einer Verschleißschutzbeschichtung gelöst, die die Merkmale des Anspruchs 1 aufweist. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung können mit in untergeordneten Ansprüchen bezeichneten Merkmalen erreicht werden.According to the invention this Task with a wear protection coating solved, having the features of claim 1. Advantageous embodiments and further developments of the invention can with in subordinate claims designated characteristics can be achieved.

Bei der Erfindung ist es daher wesentlich, dass eine Verschleißschutzbeschichtung, die eine Mindestschichtdicke von 0,001 mm aufweist, mit mindestens zwei bevorzugt drei einzelnen Schichten auf der jeweiligen Oberfläche eines Bauteils, als Schichtsystem gebildet ist. Die Schichten sind dabei in einer Alternative mit mindestens zwei unterschiedlichen chemischen Verbindungen oder chemischen Elementen gebildet. In einer anderen Alternative können die unterschiedlichen Schichten auch aus einem chemischen Element oder einer chemischen Verbindung gebildet sein, die dann aber in den Schichten eine voneinander abweichende Mikrostruktur aufweisen.at It is therefore essential to the invention that a wear protection coating, which has a minimum layer thickness of 0.001 mm, with at least two preferably three individual layers on the respective surface of a Component, is formed as a layer system. The layers are there in an alternative with at least two different chemical Compounds or chemical elements formed. In another Alternative can the different layers also from a chemical element or be formed of a chemical compound, but then in the Layers have a different microstructure.

Es sind mindestens zwei Schichten und dabei mindestens eine Schicht aus einem chemischen Element oder einer chemischen Verbindung gebildet, die für den gewünschten Verschleißschutz eine erhöhte Härte aufweist, vorhanden.It are at least two layers and at least one layer formed from a chemical element or a chemical compound that for the desired wear protection an increased Has hardness, available.

Die Härte sollte größer als 1000 HV betragen.The Hardness should greater than 1000 HV.

Die Herstellung der erfindungsgemäßen Verschleißschutzbeschichtung kann, wie aus dem Stand der Technik bekannt, durch CVD-, bevorzugt durch PVD-Verfahren erfolgen.The Production of the wear protection coating according to the invention may, as known in the art, by CVD preferred by PVD method respectively.

Mindestens eine an eine vorab ausgebildete Schicht, also eine an diese und ggf. die nachfolgende Schicht angrenzende Schicht, sollte aus einem chemischen Element oder einer chemischen Verbindung gebildet sein, die bei der Schichtausbildung eine von der jeweils angrenzenden Schicht abweichendes Kristallgitter aufweist oder amorph ausgebildet ist. So können beispielsweise Schichten mit kubisch flächenzentrierter, kubisch raumzentrierter oder hexagonaler Gitterstruktur bei der Erfindung eingesetzt werden.At least one to a pre-trained layer, so one of these and if necessary the subsequent layer adjoining layer, should consist of one be formed chemical element or a chemical compound, in the course training one of each adjacent Layer has different crystal lattice or formed amorphous is. So can For example, layers with cubic face-centered, body-centered cubic or hexagonal lattice structure can be used in the invention.

Unter einer abweichenden Mikrostruktur kann eine unterschiedliche Kristallgitterstruktur oder ein Kristallgitter, bei dem aber lediglich die Gitterkonstante verändert ist, verstanden werden. Dies kann aber auch mit chemischen Elementen oder chemischen Verbindungen erreicht werden, die kristalline und amorphe Strukturen bei einer Abscheidung bilden können, was beispielsweise bei Silicium der Fall ist.Under a different microstructure, a different crystal lattice structure or a crystal lattice, but in which only the lattice constant is changed, are understood. This can but also be achieved with chemical elements or chemical compounds that can form crystalline and amorphous structures in a deposition, which is the case for example with silicon.

Dadurch kann erreicht werden, dass ein bei der Ausbildung einer Schicht aufgetretener Wachstumsfehler in der Grenzfläche zur nachfolgend auf dieser Schicht ausgebildeten Schicht in seinem weiteren Wachstum gestoppt wird. In der darauf nachfolgend ausgebildeten Schicht ist an dieser Position kein Defekt vorhanden und es ist möglich die Oberfläche der Beschichtung zu glätten und die Oberflächenebenheit sowie dadurch auch die Oberflächengüte zu verbessern.Thereby can be achieved that in the formation of a layer occurred growth defects in the interface to the following on this Layer formed layer stopped in its further growth becomes. In the subsequently formed layer is on this Position no defect and it is possible the surface of the Smooth coating and the surface flatness and thereby improve the surface quality.

In einer Schicht gebildete Defekte sind im Vergleich zum Stand der Technik kleiner und können innerhalb der Verschleißschutzbeschichtung eingebettet und darin eingeschlossen sein.In A defect formed in a layer are compared to the state of Technique smaller and can be inside the wear protection coating embedded and enclosed in it.

Eine erfindungsgemäße Verschleißschutzbeschichtung kann aber auch mit deutlich mehr als lediglich drei einzelnen Schichten und auch mit mehr als zwei unterschiedlichen Schichtwerkstoffen (chemische Elemente oder Verbindungen) gebildet werden. So können zehn oder sogar mehr einzelne Schichten bei einer Verschleißschutzbeschichtung ausgebildet werden.A Wear protection coating according to the invention But also with significantly more than just three individual layers and also with more than two different coating materials (chemical elements or compounds) are formed. So ten or even more individual layers formed in a wear protection coating become.

So kann es ausreichen, um ein Wachsen eines Defektes zu stoppen bzw. ausreichend zu behindern, eine Schicht auf einer vorab ausgebildeten Schicht auszubilden, bei der lediglich einige Atomlagen übereinander ausgebildet sind. Dies können ca. 10 bis 20 Atomlagen sein, so dass dann sehr dünne Schichten im Bereich ca. 1 bis 2 nm in einer Verschleißschutzbeschichtung vorhanden sein können.So can it be sufficient to stop a growth of a defect or sufficiently hindering a layer on a pre-formed layer form, in which only a few atom layers are formed on top of each other. This can be about 10 to 20 atomic layers, so that then very thin layers in the range of about 1 to 2 nm in a wear protection coating available could be.

Prinzipiell sind alle chemischen Elemente und Verbindungen geeignet, die zumindest eine der vorab erwähnten Eigenschaften aufweisen.in principle All chemical elements and compounds are suitable, at least one of the aforementioned Have properties.

Die Schichten können beispielsweise mit einem Nitrid, Chrom, Bor, Titan, Silicium, Aluminium oder amorphem diamantähnlichen Kohlenstoff gebildet sein.The Layers can For example, with a nitride, chromium, boron, titanium, silicon, aluminum or amorphous diamond-like Carbon be formed.

In Schichten können aber auch eigentlich fremde chemische Elemente oder chemische Verbindungen eingelagert sein. So können in einer Schicht die mit einem Nitrid gebildet ist, ein weiteres Nitrid, wie z. B. Si3N4 oder AlN bei der Abscheidung der Schicht mit eingelagert werden.In layers but also foreign chemical elements or chemical compounds can be stored. Thus, in a layer formed with a nitride, another nitride, such as. B. Si 3 N 4 or AlN are incorporated in the deposition of the layer with.

Besonders bevorzugt sind dabei Nitride von Titan, Chrom und ggf. auch Bor. So ist Titannitrid mit einem kubisch flächenzentrierten, CrN mit einem kubisch raumzentrierten und Cr2N mit einem hexagonalen Kristallgitter gebildet. Das Kristallwachstum beginnt daher ausgehend von der Grenzfläche bei der Ausbildung einer nachfolgend auf einer vorab bereits ausgebildeten Schicht neu, so dass eine Fortpflanzung eines Wachstumsfehlers in der nachfolgend ausgebildeten Schicht vermieden werden kann. Dies kann aber auch durch die Ausbildung einer amorphen Schicht erreicht werden.Nitrides of titanium, chromium and optionally also boron are particularly preferred. For example, titanium nitride is formed with a cubic face centered, CrN with a body centered cubic, and Cr 2 N with a hexagonal crystal lattice. The crystal growth therefore starts anew, starting from the interface during the formation of a subsequently already formed on a previously formed layer, so that a propagation of a growth error in the subsequently formed layer can be avoided. But this can also be achieved by the formation of an amorphous layer.

So kann ein Schichtsystem einer erfindungsgemäßen Verschleißschutzbeschichtung mit einer ersten unmittelbar auf einer Bauteiloberfläche ausgebildeten CrN-Schicht, auf der dann in Folge eine Cr-, auf dieser wieder eine CrN-, darauf eine TiN-Schicht ausgebildet sind, gebildet sein. Es können aber zusätzlich weitere TiN-Zwischenschichten ausgebildet sein, so dass ca. zehn Schichten die Verschleißschutzbeschichtung bilden können.So may be a layer system of a wear protection coating according to the invention with a first formed directly on a component surface CrN layer, on then in turn a Cr, on this again a CrN, on it a TiN layer are formed, be formed. But it can additionally be formed further TiN intermediate layers, so that about ten Lay the wear protection coating can form.

Die einzelnen Schichten müssen nicht zwingend jeweils gleiche Schichtdicken aufweisen.The individual layers need not necessarily each have the same layer thicknesses.

Mit Schichten, die aus CrN gebildet sind, kann auch eine Einebnung der Schichtoberfläche erreicht werden, wenn bei der unter einer CrN-Schicht ausgebildeten Schicht ein Wachstumsfehler aufgetreten ist, der dort punktuell eine Schichtdickenerhöhung bewirkt hat.With Layers, which are formed from CrN, can also be a leveling of the layer surface be achieved when formed under a CrN layer Layer a growth defect has occurred, which is punctual there a layer thickness increase has effected.

Die erfindungsgemäße Verschleißschutzbeschichtung kann für die unterschiedlichsten Anwendungen einge setzt werden, wobei die jeweilige Auswahl der Schichtwerkstoffe, deren Anordnung im gebildeten Schichtstapel und ggf. auch die Dicke der einzelnen Schichten sowie die Gesamtdicke der Verschleißschutzbeschichtung angepasst werden können. Dies kann die jeweiligen, zu erreichenden, mechanischen und thermischen Parameter berücksichtigen. Es kann aber auch der Korrosionsschutz berücksichtigt werden, wenn ein Einsatz in korrosiv wirkender Umgebung vorgesehen ist und dann beispielsweise die an der Oberfläche der Verschleißschutzbeschichtung ausgebildete Schicht, den Korrosionsaspekt berücksichtigt und dem entsprechend gewählt werden kann.The Wear protection coating according to the invention can for the most diverse applications are set, the respective selection of the coating materials, their arrangement in the formed Layer stack and possibly also the thickness of the individual layers and the total thickness of the wear protection coating can be adjusted. This can be the respective, to reach, mechanical and thermal Take into account parameters. But it can also be considered the corrosion protection, if a Use is provided in corrosive environment and then, for example the on the surface the wear protection coating trained layer, the corrosion aspect taken into account and selected accordingly can.

Nachfolgen soll die Erfindung beispielhaft näher erläutert werden.Follow the invention will be explained in more detail by way of example.

Dabei wurde auf einer Bauteiloberfläche aus Stahl ein Wechselschichtsystem mit einem PVD-Verfahren, bei dem mit elektrischer Bogenantladung im Vakuum gearbeitet wurde. Es unmittelbar auf der Bauteiloberfläche eine Schicht mit einer Schichtdicke von 300 nm aus CrN und darauf eine weitere Schicht mit einer Schichtdicke von 100 nm aus TiN ausgebildet. Diese Schichten wurden dann weiter alternierend ausgebildet bis eine Gesamtdicke der Verschleißschutzbeschichtung von 8,3 μm erreicht worden ist. Die Oberfläche der Verschleißschutzbeschichtung war weitestgehend eben und die Rauheit lag bei Ra = 0,2 μm.On a component surface made of steel, an alternating layer system with a PVD process was used in which electrical arc discharge was carried out in vacuo. It forms directly on the component surface, a layer with a layer thickness of 300 nm of CrN and then another layer with a layer thickness of 100 nm of TiN. These layers were then further alternated until a total anti-wear coating thickness of 8.3 μm was achieved. The surface of Verschleißschutzbe Layering was largely flat and the roughness was Ra = 0.2 μm.

Bei der Ausbildung der Verschleißschutzbeschichtung aufgetretene Defekte wurden in ihrem Wachstum begrenzt und konnten dabei nahezu vollständig in die Verschleißschutzbeschichtung eingebettet und dabei auch in ihrer Größe, im Vergleich zu den bekannten Verschleißschutzschichten mit erhöhter Schichtdicke, verringert werden. Die so hergestellte Verschleißschutzbeschichtung wies eine Härte von 2300 HV auf.at the formation of wear protection coating occurred defects were limited in their growth and could almost complete in the wear protection coating embedded and also in their size, compared to the known ones Wear-resistant coatings with elevated Layer thickness can be reduced. The wear protection coating thus produced had a hardness of 2300 HV.

Claims (7)

Verschleißschutzbeschichtung für Bauteile oder Werkstücke, die eine Mindestschichtdicke von 0,001 mm aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung mit mindestens zwei übereinander auf der Oberfläche eines Bauteils ausgebildeten Einzelschichten gebildet ist und die Schichten aus mindestens zwei chemischen Verbindungen oder chemischen Elementen gebildet sind oder die Schichten mit einem chemischen Element oder einer chemischen Verbindung gebildet sind, die in den Schichten eine voneinander abweichende Mikrostruktur aufweisen; wobei mindestens eine Schicht eine erhöhte Härte für den Verschleißschutz aufweist.Wear protection coating for components or workpieces, which has a minimum layer thickness of 0.001 mm, characterized in that the coating is formed with at least two superimposed on the surface of a component formed individual layers and the layers of at least two chemical compounds or chemical elements or the layers a chemical element or a chemical compound are formed, which have a different microstructure in the layers; wherein at least one layer has an increased hardness for wear protection. Verschleißschutzbeschichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine chemische Verbindung oder ein chemisches Element, die/das mindestens eine Schicht bilden eine von einer/eines eine angrenzende Schicht bildenden chemischen Verbindung oder chemischen Elements ein davon abweichendes Kristallgitter aufweist oder amorph ausgebildet ist.Wear-resistant coating according to claim 1, characterized in that at least one chemical Compound or a chemical element containing at least one Layer form one of a / an adjacent layer forming chemical Compound or chemical element of a different crystal lattice has or is formed amorphous. Verschleißschutzbeschichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Schichten mit einem Nitrid, Chrom, Bor, Titan, Silicium, Aluminium und/oder amorphem diamantähnlichem Kohlenstoff gebildet sind.Wear-resistant coating according to claim 1 or 2, characterized in that the layers with a nitride, chromium, boron, titanium, silicon, aluminum and / or amorphous diamond-like Carbon are formed. Verschleißschutzbeschichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Nitride ausgewählt sind aus Titannitrid, Chromnitrid und Bornitrid.Wear-resistant coating according to one of the preceding claims, characterized that the nitrides are selected are made of titanium nitride, chromium nitride and boron nitride. Verschleißschutzbeschichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in einer Schicht ein fremdes chemisches Element oder eine solche chemische Verbindung eingelagert ist.Wear-resistant coating according to one of the preceding claims, characterized that in a layer a foreign chemical element or such embedded chemical compound. Verschleißschutzbeschichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass in einer Schicht Si3N4 oder AlN eingelagert ist.Wear protection coating according to claim 5, characterized in that in a layer Si 3 N 4 or AlN is embedded. Verschleißschutzbeschichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schicht(en), die eine erhöhte Härte aufweisen, eine Mindesthärte von 1000 HV erreichen.Wear-resistant coating according to one of the preceding claims, characterized that the layer (s) having an increased hardness have a minimum hardness of Reach 1000 HV.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102452193A (en) * 2010-10-20 2012-05-16 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 Coated element with rigid coating and preparation method thereof

Citations (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2263210B2 (en) * 1972-02-04 1977-03-17 Metallwerk Plansee AG & Co. KG, Reutte, Tirol (Österreich) WEAR PART MADE OF CARBIDE, ESPECIALLY FOR TOOLS
DE3639469A1 (en) * 1985-12-23 1987-07-02 Hochvakuum Dresden Veb HARD MATERIAL LAYER WITH HIGH WEAR RESISTANCE AND DECORATIVE BLACK OWN COLOR
DE3512986C2 (en) * 1985-04-11 1988-02-04 Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe, De
DE4211829C2 (en) * 1991-04-08 1994-03-31 Yoshida Kogyo Kk Process for producing an article with a multi-layer hard coating and article produced thereafter
WO1996023911A1 (en) * 1995-02-01 1996-08-08 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Wearing protection layer
WO1996025291A1 (en) * 1995-02-14 1996-08-22 Northwestern University Compounds of carbon and nitrogen on a substrate
EP0588351B1 (en) * 1992-09-16 1997-07-23 Ykk Corporation Hard wear-resistant film and method for production thereof
EP0732423B1 (en) * 1994-10-04 2001-06-20 Sumitomo Electric Industries, Ltd Coated hard alloy
DE19962056A1 (en) * 1999-12-22 2001-07-12 Walter Ag Cutting tool with multi-layer, wear-resistant coating
DE10002861A1 (en) * 2000-01-24 2001-08-09 Walter Ag Cutting tool with carbonitride coating
DE10061436A1 (en) * 2000-12-09 2002-06-27 Plasmotec Gmbh & Co Kg Deforming tool used for hot deforming metallic workpieces consists of a base body made from a metallic base alloy with a wear resistant anti-adhesion coating formed as a gradient layer made from titanium and titanium-aluminum nitrides
EP0925386B1 (en) * 1996-09-03 2003-03-05 Unaxis Balzers Aktiengesellschaft Workpiece with wear-protective coating
EP1290239B1 (en) * 2000-06-06 2004-05-06 The Timken Company Bearing with amorphous boron carbide coating
DE10242475B3 (en) * 2002-09-11 2004-06-17 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Wear protection layer
DE10258282A1 (en) * 2002-12-13 2004-07-08 Walter Ag CVD coating process for ZrBx CyNz layers (x + y + z = 1) and coated cutting tool
EP1209255B1 (en) * 2000-11-22 2004-09-22 Sandvik Aktiebolag Oxide coated cutting tool
EP1094132B1 (en) * 1998-07-31 2005-04-06 Toshiba Tungaloy Co., Ltd. Multi-layer coated material for cutting tool
DE102004010285A1 (en) * 2004-03-03 2005-09-29 Walter Ag Coating for a cutting tool and manufacturing process
DE102004041235A1 (en) * 2004-08-26 2006-03-02 Ina-Schaeffler Kg Wear resistant coating and method of making same
DE102004044919A1 (en) * 2004-09-14 2006-03-30 Martin Balzer Coating system for a substrate comprises a layer of refractory metal-magnesium nitrides
DE102004043550A1 (en) * 2004-09-09 2006-03-30 Ina-Schaeffler Kg Wear resistant coating and method of making same
DE102004063816B3 (en) * 2004-12-30 2006-05-18 Walter Ag Cutting plate for a cutting tool comprises a wear-reducing coating consisting of a multiple layer base layer, an aluminum oxide multiple layer and a two-layer covering layer
EP1099003B1 (en) * 1999-05-06 2006-09-06 Sandvik Intellectual Property AB Pvd coated cutting tool and method of its production
DE102006029415A1 (en) * 2006-06-27 2008-01-03 Schaeffler Kg Wear-resistant coating and manufacturing method thereof

Patent Citations (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2263210B2 (en) * 1972-02-04 1977-03-17 Metallwerk Plansee AG & Co. KG, Reutte, Tirol (Österreich) WEAR PART MADE OF CARBIDE, ESPECIALLY FOR TOOLS
DE3512986C2 (en) * 1985-04-11 1988-02-04 Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe, De
DE3639469A1 (en) * 1985-12-23 1987-07-02 Hochvakuum Dresden Veb HARD MATERIAL LAYER WITH HIGH WEAR RESISTANCE AND DECORATIVE BLACK OWN COLOR
DE4211829C2 (en) * 1991-04-08 1994-03-31 Yoshida Kogyo Kk Process for producing an article with a multi-layer hard coating and article produced thereafter
EP0588351B1 (en) * 1992-09-16 1997-07-23 Ykk Corporation Hard wear-resistant film and method for production thereof
EP0732423B1 (en) * 1994-10-04 2001-06-20 Sumitomo Electric Industries, Ltd Coated hard alloy
WO1996023911A1 (en) * 1995-02-01 1996-08-08 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Wearing protection layer
WO1996025291A1 (en) * 1995-02-14 1996-08-22 Northwestern University Compounds of carbon and nitrogen on a substrate
EP0925386B1 (en) * 1996-09-03 2003-03-05 Unaxis Balzers Aktiengesellschaft Workpiece with wear-protective coating
EP1094132B1 (en) * 1998-07-31 2005-04-06 Toshiba Tungaloy Co., Ltd. Multi-layer coated material for cutting tool
EP1099003B1 (en) * 1999-05-06 2006-09-06 Sandvik Intellectual Property AB Pvd coated cutting tool and method of its production
DE19962056A1 (en) * 1999-12-22 2001-07-12 Walter Ag Cutting tool with multi-layer, wear-resistant coating
DE10002861A1 (en) * 2000-01-24 2001-08-09 Walter Ag Cutting tool with carbonitride coating
EP1290239B1 (en) * 2000-06-06 2004-05-06 The Timken Company Bearing with amorphous boron carbide coating
EP1209255B1 (en) * 2000-11-22 2004-09-22 Sandvik Aktiebolag Oxide coated cutting tool
DE10061436A1 (en) * 2000-12-09 2002-06-27 Plasmotec Gmbh & Co Kg Deforming tool used for hot deforming metallic workpieces consists of a base body made from a metallic base alloy with a wear resistant anti-adhesion coating formed as a gradient layer made from titanium and titanium-aluminum nitrides
DE10242475B3 (en) * 2002-09-11 2004-06-17 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Wear protection layer
DE10258282A1 (en) * 2002-12-13 2004-07-08 Walter Ag CVD coating process for ZrBx CyNz layers (x + y + z = 1) and coated cutting tool
DE102004010285A1 (en) * 2004-03-03 2005-09-29 Walter Ag Coating for a cutting tool and manufacturing process
DE102004041235A1 (en) * 2004-08-26 2006-03-02 Ina-Schaeffler Kg Wear resistant coating and method of making same
DE102004043550A1 (en) * 2004-09-09 2006-03-30 Ina-Schaeffler Kg Wear resistant coating and method of making same
DE102004044919A1 (en) * 2004-09-14 2006-03-30 Martin Balzer Coating system for a substrate comprises a layer of refractory metal-magnesium nitrides
DE102004063816B3 (en) * 2004-12-30 2006-05-18 Walter Ag Cutting plate for a cutting tool comprises a wear-reducing coating consisting of a multiple layer base layer, an aluminum oxide multiple layer and a two-layer covering layer
DE102006029415A1 (en) * 2006-06-27 2008-01-03 Schaeffler Kg Wear-resistant coating and manufacturing method thereof

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102452193A (en) * 2010-10-20 2012-05-16 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 Coated element with rigid coating and preparation method thereof

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