DE102007056553A1 - Method for producing piezo actuator module, involves applying isolation protective layer made of plastic as passivating casing, which is created in electrically conductive manner by coating process - Google Patents

Method for producing piezo actuator module, involves applying isolation protective layer made of plastic as passivating casing, which is created in electrically conductive manner by coating process Download PDF

Info

Publication number
DE102007056553A1
DE102007056553A1 DE102007056553A DE102007056553A DE102007056553A1 DE 102007056553 A1 DE102007056553 A1 DE 102007056553A1 DE 102007056553 A DE102007056553 A DE 102007056553A DE 102007056553 A DE102007056553 A DE 102007056553A DE 102007056553 A1 DE102007056553 A1 DE 102007056553A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
coating process
protective layer
plastic
piezoelectric actuator
passivating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE102007056553A
Other languages
German (de)
Inventor
Roland Herwig
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE102007056553A priority Critical patent/DE102007056553A1/en
Publication of DE102007056553A1 publication Critical patent/DE102007056553A1/en
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/88Mounts; Supports; Enclosures; Casings
    • H10N30/883Additional insulation means preventing electrical, physical or chemical damage, e.g. protective coatings
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/02Forming enclosures or casings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02MSUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
    • F02M2200/00Details of fuel-injection apparatus, not otherwise provided for
    • F02M2200/21Fuel-injection apparatus with piezoelectric or magnetostrictive elements

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Fuel-Injection Apparatus (AREA)

Abstract

The method involves applying isolation protective layer (6) made of plastic as passivating casing, which is created in electrically conductive manner by a coating process. A metallic protective layer (7) is applied galvanically on isolation protective layer made of plastic by another coating method. The portions for colonization are created with metallic elements during former coating process by etching process that is carried with chromic-sulfuric acid and metallic elements consist of palladium. The former coating process is carried with ductile materials, particularly copper or silver. An independent claim is included for a piezo actuator module.

Description

Stand der TechnikState of the art

Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für ein Piezoaktormodul sowie ein von flüssigen Medien umströmtes Piezoaktormodul mit einer Umhüllung an Anbindebauteile, vorzugsweise zur Verwendung in einem Piezoinjektor, nach den gattungsgemäßen Merkmalen des Verfahrensanspruchs 1 und des Anspruchs 7.The The invention relates to a manufacturing method for a piezoelectric actuator module and a piezoelectric actuator surrounded by liquid media with a wrapper to Anbindebauteile, preferably for Use in a piezo injector, according to the generic Features of method claim 1 and claim 7.

Ein solcher Piezoinjektor besteht im wesentlichen aus einem Haltekörper und dem in dem Haltekörper angeordneten Piezoaktormodul, das den zwischen einem Kopf- und Fußteil als Anbindebauteile angeordneten Piezoaktor aus mehreren übereinandergestapelten Piezoelementen zur Bildung des Piezoaktormoduls aufweist.One Such piezo injector consists essentially of a holding body and the piezoelectric actuator module arranged in the holding body, arranged the between a head and foot as Anbindebauteile Piezo actuator made of several stacked piezo elements to form the piezoelectric actuator.

Es ist an sich bekannt, dass zum Aufbau des zuvor erwähnten Piezoaktors bzw. Piezoaktormoduls Piezoelemente so eingesetzt werden können, dass unter Ausnutzung des sogenannten Piezoeffekts eine Steuerung des Nadelhubes eines Ventils oder dergleichen vorgenommen werden kann. Piezolagen der Piezoelemente sind aus einem Material mit einer geeigneten Kristallstruktur so aufgebaut, dass bei Anlage einer äußeren elektrischen Spannung eine mechanische Reaktion des Piezoelements erfolgt, die in Abhängigkeit von der Kristallstruktur und der Anlagebereiche der elektrischen Spannung einen Druck oder Zug in eine vorgebbare Richtung darstellt. Derartige Piezoaktoren eignen sich beispielsweise für Anwendungen, bei denen Hubbewegungen unter hohen Betätigungskräften und hohen Taktfrequenzen ablaufen.It is known per se that to build the aforementioned Piezoaktors or piezoelectric actuator piezoelectric elements are used so can, that taking advantage of the so-called piezo effect one Control of the needle stroke of a valve or the like made can be. Piezo layers of the piezo elements are made of one material with a suitable crystal structure so constructed that when plant an external electrical voltage a mechanical Reaction of the piezoelectric element takes place, depending on from the crystal structure and the plant areas of the electric Stress represents a pressure or train in a predeterminable direction. such Piezo actuators are suitable, for example, for applications in which strokes under high operating forces and high clock frequencies expire.

Beispielsweise ist ein solcher Piezoaktor als Bestandteil eines Piezoinjektors in sogenannten Common Rail Einspritzsystemen (CR-Injektor) aus der DE 10026005 A1 bekannt. Bei diesem Piezoaktor sind ebenfalls Piezoelemente als Stapel angeordnet, der über einen Aktorfuß und einen Aktorkopf unter Vorspannung zwischen zwei Anschlägen gehalten ist. Jede Piezolage ist auch hier zwischen zwei Innenelektroden eingefasst, über die von außen eine elektrische Spannung angelegt werden kann. Aufgrund dieser elektrischen Spannung führen die Piezoelemente dann jeweils kleine Hubbewegungen in Richtung des Potenzialgefälles aus, die sich zum Gesamthub des Piezoaktors addieren. Dieser Gesamthub ist über die Höhe der angelegten Spannung veränderbar und kann auf ein mechanisches Stellglied übertragen werden.For example, such a piezoelectric actuator as part of a piezoelectric injector in so-called common rail injection systems (CR injector) from the DE 10026005 A1 known. In this piezoelectric actuator piezo elements are also arranged as a stack, which is held via an actuator base and an actuator head under bias between two stops. Each piezo layer is also enclosed between two internal electrodes, via which an electrical voltage can be applied from the outside. Because of this electrical voltage, the piezoelectric elements then each carry out small strokes in the direction of the potential gradient, which add up to the total stroke of the piezoelectric actuator. This total stroke is variable by the amount of voltage applied and can be transferred to a mechanical actuator.

Bei diesen bekannten CR-Injektoren ist eine indirekt vom Piezoaktormodul gesteuerte Düsennadel als Kraftstoffventil vorhanden, wobei der Piezoaktor eine Realisierung der Öffnungs- und Schließfunktion ermöglicht. Zur Erzielung einer optimalen Auslenkung bei minimalem Platzbedarf müssen die Innenelektroden des Piezoaktors den gesamten Querschnitt des Piezoaktors, bis auf die inaktive Kontaktierungszone, umfassen. Dies bedeutet, dass die Innenelektroden alternierender Polarität an den Seitenflachen der Keramikschichten freiliegen.at This known CR injectors is one indirectly from the piezoelectric actuator controlled nozzle needle as a fuel valve present, wherein the piezoelectric actuator a realization of the opening and closing function allows. To achieve an optimal deflection at The internal electrodes of the piezoelectric actuator need minimal space the entire cross section of the piezoelectric actuator, except for the inactive contacting zone, include. This means that the internal electrodes are more alternating Polarity on the sides of the ceramic layers exposed.

Aus diesem Grund ist eine elektrische Passivierung dieser Seitenflachen des Piezoaktors sowie die der Kontaktanbau- oder Anbindeteile zur elektrischen Passivierung des gesamten Piezoaktormoduls notwendig, um ein Unterwandern des Piezoaktors mit den umströmenden Medien und den damit eventuell verbundenen elektrischen Überschlägen oder Kurzschlüssen zwischen benachbarten Innenelektroden zu vermeiden. Diese kann zum Beispiel durch Feuchtigkeit oder die Betriebsstoffe selbst, beispielsweise Diesel, Raps-Metylester, Wasser oder dergleichen, im Betrieb des Piezoaktors hervorgerufen werden.Out This reason is an electrical passivation of these sides of the piezoelectric actuator and the contact attachment or Anbindeteile for electrical passivation of the entire piezoelectric actuator module necessary, to an infiltration of the piezoelectric actuator with the flowing around Media and the possibly associated electrical flashovers or short circuits between adjacent internal electrodes to avoid. This can be caused for example by moisture or the Operating materials themselves, for example diesel, rapeseed methyl ester, water or the like, caused in the operation of the piezoelectric actuator.

Um eine elektrische und mechanische Isolierung des Piezoaktors zu erreichen, wird oft auch eine flexible Ummantelung des Piezoaktors vorgeschlagen. Aus der DE 10230032 A1 ist zur Vermeidung der zuvor beschriebenen Nachteile eine Anordnung mit einem Piezoaktormodul in umströmenden Medien bekannt, bei der die Piezoelemente in einer formveränderlichen Isolationsmasse vergossen sind, die wiederum in einem seitlich und am oberen und unteren Ende gegenüber dem Medium verschlossenen Gehäusemantel eingebracht ist.In order to achieve an electrical and mechanical insulation of the piezoelectric actuator, a flexible sheathing of the piezoelectric actuator is often proposed. From the DE 10230032 A1 To avoid the disadvantages described above, an arrangement with a piezoelectric actuator module in flowing media is known in which the piezoelectric elements are encapsulated in a shape-changing insulating compound, which in turn is introduced into a laterally and at the upper and lower end opposite the medium sealed housing shell.

Die beiden Enden dieses Gehäusemantels können im Bereich ihrer Anlage an den Stahlanbindeteilen des Kopfteils und des Fußteils des Piezoaktormoduls jedoch vom Kraftstoff unterwandert werden und die bekannten Anordnungen bieten somit keinen zuverlässigen Dichtschutz, sodass die einwandfreie Funktion des Piezoaktors über seine Lebensdauer gefährdet ist.The Both ends of this housing shell can be in the range their attachment to the steel connection parts of the head part and the foot part However, the piezoelectric actuator module are infiltrated by the fuel and the known arrangements thus offer no reliable Density protection, so that the proper function of the piezoelectric actuator over its life is endangered.

Aus der DE 101 21 270 A1 oder der DE 198 18 036 B4 ist ein Passivierungsmaterial für piezoelektrische Bauteile bekannt, das aus Polyurethan oder einem Silikonkautschuk bzw. einem fluorierten Silikon-Elastomer oder Festsilikon besteht.From the DE 101 21 270 A1 or the DE 198 18 036 B4 For example, a passivation material for piezoelectric components is known that consists of polyurethane or a silicone rubber or a fluorinated silicone elastomer or solid silicone.

Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktormoduls und einer das Piezoaktormodul umgebenden Umhüllung zur elektrischen Passivierung, bei dem gemäß der Erfindung in vorteilhafter Weise als passivierende Umhüllung zunächst eine Isolationsschutzschicht aus Kunststoff gemäß des Kennzeichens des Hauptanspruchs aufgebracht wird, um die piezokeramischen Schichten des Piezoaktormoduls zu schützen bzw. zu isolieren. Als Brücke zwischen dem in der Regel metallischen Aktorkopf oder dem Aktorfuß als Anbindebauteile zur Kunsstoffisolierung des Piezoaktormoduls werden dazu je nach Anwendungsfall Ein- oder Mehrschichtsysteme galvanisch aufgebracht. Vorteilhafte Ausführungsformen sind in den Unteransprüchen angegeben.The invention relates to a method for producing a piezoelectric actuator and a surrounding the piezoelectric actuator sheath for electrical passivation, in which according to the invention in an advantageous manner as a passivating cladding first an insulation protective layer of plastic according to the characterizing part of the main claim is applied to the piezoceramic layers of the piezoelectric actuator to protect or isolate. As a bridge between the usually metallic actuator head or the actuator base as Anbindebauteile for Kunsstoffisolierung the piezoelectric actuator one or more layers are applied galvanically depending on the application. Advantageous embodiments are specified in the subclaims.

Ein Ätzprozess als Vorbereitung zur Bechichtung kann beispielsweise mit Chromschwefelsäure durchgeführt werden und die metallischen Elemente können vorzugsweise aus Palladium bestehen und der nachfolgende galvanischen Beschichtungsprozess kann bevorzugt mit duktilen abscheidbaren Materialien, vorzugsweise Kupfer oder Silber, durchgeführt werden.An etching process as preparation for the coating can, for example, with chromic acid can be performed and the metallic elements preferably made of palladium and the subsequent galvanic Coating process may preferably be done with ductile depositable materials, preferably copper or silver.

Somit kann gemäß der Erfindung auch die Verbindung der elektrischen Passivierung des Piezoaktors zu den Anbindebauteilen, wie Aktorkopf und Aktorfuß eines Piezoaktormoduls, auf galvanischer Basis mittels Einschicht- bzw. Mehrschichtsystemen auf einfache Weise im ersten bzw. im zweiten Beschichtungsprozess erfolgen. Es ist somit ein feuchtigkeitsdichter bzw. betriebsstoffdichter und druckdichter Verbund zwischen der elektrischen Passivierung aus Kunststoff und der Anbindeteile an den Stirnflächen des Piezoaktors zu erzeugt, wodurch das Unterwandern von Feuchtigkeit oder Betriebsstoffen zum keramischen Piezoaktor des Piezoaktormoduls vermieden ist.Consequently can according to the invention, the compound of electrical passivation of the piezoelectric actuator to the tethering components, as actuator head and actuator foot of a piezoelectric actuator, on galvanic base by means of single-layer or multilayer systems easy way in the first or in the second coating process done. It is thus a moisture-proof or fuel-tight and pressure-tight bond between the electrical passivation made of plastic and the connecting parts on the front surfaces the piezoelectric actuator generates, whereby the infiltration of moisture or supplies to the ceramic piezoelectric actuator of the piezoelectric actuator module is avoided.

Mit dieser galvanischen Anbindung mittels Einschicht- bzw. Mehrschichtsystemen ist eine für einen Großserienprozess kostengünstige und prozesssichere Beschichtungsvariante gefunden worden. Zusätzlich ergeben sich daraus Wettbewerbsvorteile und damit erhöhte Marktanteile. Die Schichtstärken beginnen im einstelligen ⫿m-Bereich und beeinflussen so die Einbauverhältnisse nicht. Die verwendeten Materialen können dabei je nach Anforderung der Medienbeständigkeit angepasst werden.With this galvanic connection by means of single-layer or multilayer systems is a cost effective for a mass production process and process-safe coating variant has been found. additionally resulting in competitive advantages and thus increased Market share. The layer thicknesses start in the single-digit ⫿m range and so do not affect the installation conditions. The used Depending on the requirements of the media resistance, materials can be used be adjusted.

Bei einer bevorzugten Anwendung ist das so hergestellte Piezoaktormodul Bestandteil eines Piezoinjektors mit direkter Nadelansteuerung für ein Einspritzsystem für Kraftstoff bei einem Verbrennungsmotor, wobei der Kraftstoff unter Hochdruck die Umhüllung umströmt.at A preferred application is the piezoelectric actuator module thus produced Part of a piezo injector with direct needle control for an injection system for fuel in an internal combustion engine, wherein the fuel flows around the enclosure under high pressure.

Kurze Beschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings

Ein Ausführungsbeispiel eines mit dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Piezoaktormoduls wird anhand der Zeichnung erläutert. Es zeigt:One Embodiment of the inventive Method produced piezoelectric actuator is based on the drawing explained. It shows:

1 einen Schnitt durch ein Piezoaktormodul mit einem galvanisch umhüllten Piezoaktor mit Anbindebauteilen. 1 a section through a piezoelectric actuator with a galvanically coated piezoelectric actuator with tethering components.

Ausführungsform der ErfindungEmbodiment of invention

In 1 ist ein prinzipieller Aufbau eines Piezoaktormoduls 1, beispielsweise für einen Piezoinjektor gezeigt, der beispielsweise zur Nadelhubsteuerung in einem Einspritzsystem für Kraftstoff bei einem Verbrennungsmotor eingesetzt werden kann.In 1 is a basic structure of a piezoelectric actuator module 1 , For example, shown for a piezo injector, which can be used for example for Nadelhubsteuerung in an injection system for fuel in an internal combustion engine.

Im Inneren des Piezoaktormoduls 1 ist ein Piezoaktor 2 mit den in der Beschreibungseinleitung beschriebenen Piezoelementen 3 vorhanden, der stirnflächig mit einem Aktorfkopf 4 und einem Aktorfuß 5 als metallische Anbindebauteile verbunden ist. Im wesentlichen über die elektrische aktive Außenfläche des Piezoaktors 2 und die Grenzbereiche zum Aktorkopf 4 und zum Aktorfuß 5 ist eine umhüllende Isolationsschutzschicht 6, vorzugsweise aus Kunststoff, zur elektrischen Passivierung der Bauteile 2 bis 5 in einem ersten Beschichtungsprozess gelegt.Inside the piezo actuator module 1 is a piezoelectric actuator 2 with the piezo elements described in the introduction to the description 3 present, the end face with an actuator head 4 and an actuator foot 5 is connected as a metallic tethering components. Essentially on the electrically active outer surface of the piezoelectric actuator 2 and the border areas to the actuator head 4 and to the actuator base 5 is an enveloping insulation protection layer 6 , preferably made of plastic, for electrical passivation of the components 2 to 5 placed in a first coating process.

Gemäß der Erfindung wird die Isolationsschutzschicht 6 im ersten und/oder zweiten Beschichtungsprozess medienstabil gemacht und mit den angrenzenden Anbindeteile 4 und 5 galvanisch verbunden.According to the invention, the insulation protective layer 6 made media stable in the first and / or second coating process and with the adjacent attachment parts 4 and 5 galvanically connected.

Es ist somit ein feuchtigkeitsdichter bzw. betriebsstoffdichter und druckdichter Verbund zwischen der elektrischen Passivierung mit der Isolationsschutzschicht 6 aus Kunststoff am Piezoaktor 2 und den Anbindebauteilen 4 und 5 an den Stirnflächenbereichen des Piezoaktors 2 vorhanden. Damit wird das Unterwandern von Feuchtigkeit oder der das Piezoaktormodul 1 umströmenden Betriebsstoffen zum keramischen Piezoaktor 2 hin vermieden.It is thus a moisture-tight or fuel-tight and pressure-tight bond between the electrical passivation with the insulation protective layer 6 made of plastic on the piezoelectric actuator 2 and the tethering components 4 and 5 at the end face areas of the piezoelectric actuator 2 available. This is the infiltration of moisture or the piezoelectric actuator 1 flowing fluids to the ceramic piezoelectric actuator 2 avoided.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list The documents listed by the applicant have been automated generated and is solely for better information recorded by the reader. The list is not part of the German Patent or utility model application. The DPMA takes over no liability for any errors or omissions.

Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • - DE 10026005 A1 [0004] - DE 10026005 A1 [0004]
  • - DE 10230032 A1 [0007] - DE 10230032 A1 [0007]
  • - DE 10121270 A1 [0009] - DE 10121270 A1 [0009]
  • - DE 19818036 B4 [0009] - DE 19818036 B4 [0009]

Claims (8)

Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktormoduls (1) mit Anbindeteilen, bestehend aus Aktorkopf (4) und Aktorfuß (5), und einer das Piezoaktormodul (1) umgebenden Umhüllung zur elektrischen Passivierung, dadurch gekennzeichnet, dass als passivierende Umhüllung eine Isolationsschutzschicht (6) aus Kunststoff aufgebracht wird, die mittels eines ersten Beschichtungsprozesses elektrisch leitfähig gemacht wird und dass mittels eines zweiten Beschichtungsprozesses eine metallische Schutzschicht (7) auf die Isolationsschutzschicht (6) aus Kunststoff galvanisch aufgebracht wird.Method for producing a piezoelectric actuator module ( 1 ) with attachment parts, consisting of actuator head ( 4 ) and actuator base ( 5 ), and one the piezoelectric actuator module ( 1 ) surrounding enclosure for electrical passivation, characterized in that as passivating cladding an insulation protective layer ( 6 ) is applied from plastic, which is made electrically conductive by means of a first coating process and that by means of a second coating process, a metallic protective layer ( 7 ) on the insulation protective layer ( 6 ) is applied galvanically from plastic. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass im zweiten galvanischen Beschichtungsprozess die passivierende Umhüllung mit der Isolationsschutzschicht (6) aus Kunststoff sowie der Aktorkopf (4) und der Aktorfuß (5) zusammenhängend galvanisch beschichtetet werden.A method according to claim 1, characterized in that in the second galvanic coating process, the passivating coating with the insulation protective layer ( 6 ) made of plastic and the actuator head ( 4 ) and the actuator base ( 5 ) are galvanically coated contiguously. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass im ersten Beschichtungsprozess metallische Elemente in den Kunststoff eingearbeitet werden, die als Grundlage für die den nachfolgenden zweiten galvanischen Beschichtungsprozess dienen.Method according to claim 1 or 2, characterized that in the first coating process metallic elements in the Plastic are incorporated as the basis for which serve the subsequent second galvanic coating process. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass im ersten Beschichtungsprozess durch einen Ätzprozess Bereiche für eine Besiedelung mit den metallische Elemente geschaffen werden.Method according to claim 3, characterized that in the first coating process by an etching process Areas for colonization with the metallic elements be created. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Ätzprozess mit Chromschwefelsäure durchgeführt wird und die metallischen Elemente aus Palladium bestehen.Method according to claim 4, characterized in that that carried out the etching process with chromic acid and the metallic elements are made of palladium. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Beschichtungsprozess mit duktilen abscheidbaren Materialien, vorzugsweise Kupfer oder Silber, durchgeführt wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the second coating process with ductile depositable materials, preferably copper or silver, is carried out. Piezoaktormodul, das nach einem Verfahren der vorhergehenden Ansprüche hergestellt ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Schichtverbund mit der Isolationsschutzschicht (6) und der metallischen Schutzschicht (7) eine Schichtstärke aufweist, die im einstelligen ⫿m-Bereich beginnt und eine galvanische Beschichtung darstellt, die mittels Einschicht- oder Mehrschichtsystemen aufbringbar ist.Piezoactuator module, which is produced according to a method of the preceding claims, characterized in that the layer composite with the insulation protective layer ( 6 ) and the metallic protective layer ( 7 ) has a layer thickness which begins in the single-digit ⫿m range and represents a galvanic coating that can be applied by means of single-layer or multilayer systems. Piezoaktormodul nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Piezoaktormodul (1) Bestandteil eines Piezoinjektors mit direkter Nadelansteuerung für ein Einspritzsystem für Kraftstoff bei einem Verbrennungsmotor ist, wobei der Kraftstoff unter Hochdruck die Umhüllung umströmt.Piezoelectric actuator according to claim 7, characterized in that the piezoelectric actuator module ( 1 ) Is part of a piezo injector with direct needle control for an injection system for fuel in an internal combustion engine, wherein the fuel flows around the enclosure under high pressure.
DE102007056553A 2007-11-23 2007-11-23 Method for producing piezo actuator module, involves applying isolation protective layer made of plastic as passivating casing, which is created in electrically conductive manner by coating process Ceased DE102007056553A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102007056553A DE102007056553A1 (en) 2007-11-23 2007-11-23 Method for producing piezo actuator module, involves applying isolation protective layer made of plastic as passivating casing, which is created in electrically conductive manner by coating process

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102007056553A DE102007056553A1 (en) 2007-11-23 2007-11-23 Method for producing piezo actuator module, involves applying isolation protective layer made of plastic as passivating casing, which is created in electrically conductive manner by coating process

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102007056553A1 true DE102007056553A1 (en) 2009-05-28

Family

ID=40576996

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102007056553A Ceased DE102007056553A1 (en) 2007-11-23 2007-11-23 Method for producing piezo actuator module, involves applying isolation protective layer made of plastic as passivating casing, which is created in electrically conductive manner by coating process

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102007056553A1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10026005A1 (en) 2000-05-25 2001-12-06 Bosch Gmbh Robert Piezo actuator
DE10121270A1 (en) 2001-04-30 2003-02-06 Epcos Ag Passivation material for an electrical component as well as piezoelectric component in multilayer construction
DE10230032A1 (en) 2002-07-04 2004-01-22 Daimlerchrysler Ag Piezoelectric actuator for flowing media and use of a corresponding piezoelectric actuator
DE19818036B4 (en) 1998-04-22 2005-05-19 Siemens Ag Method for producing an electrotechnical component with a plastic-passivated surface, such component and application of this component

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19818036B4 (en) 1998-04-22 2005-05-19 Siemens Ag Method for producing an electrotechnical component with a plastic-passivated surface, such component and application of this component
DE10026005A1 (en) 2000-05-25 2001-12-06 Bosch Gmbh Robert Piezo actuator
DE10121270A1 (en) 2001-04-30 2003-02-06 Epcos Ag Passivation material for an electrical component as well as piezoelectric component in multilayer construction
DE10230032A1 (en) 2002-07-04 2004-01-22 Daimlerchrysler Ag Piezoelectric actuator for flowing media and use of a corresponding piezoelectric actuator

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2240681B1 (en) Piezoactuator module and piezoinjector and a method for the production of a piezoactuator module
DE102006026152A1 (en) Arrangement with a coated piezoelectric actuator
WO2006089818A1 (en) Actuator module comprising a piezoelectric actuator
WO2007131965A1 (en) Piezoactuator
EP2030261A2 (en) Piezoelectric actuator
EP2011168B1 (en) Piezo actuator comprising externally contacted inner electrodes of a piezo element
EP2058873B1 (en) Piezo actuator and piezo actuator module with a protective coating system
DE102006014606B4 (en) Process for the preparation of an encapsulated high-pressure actuator
EP2031669B1 (en) Piezo actuator module having a piezo actuator sleeve and method for its manufacture
DE102007056553A1 (en) Method for producing piezo actuator module, involves applying isolation protective layer made of plastic as passivating casing, which is created in electrically conductive manner by coating process
WO2009095128A1 (en) Piezoactuator module with more than two connector pins for piezoinjectors with integrated piezosensor
DE102006043709A1 (en) Piezo actuator arrangement for controlling of needle stroke in injection system, has isolation mass partially arranged between covering and piezo unit that is clamped between actuator foot and actuator head
EP2013923B1 (en) Piezoactuator with a casing
EP1909338B1 (en) Piezo actuator assembly with an insulating layer
EP2079117A2 (en) Piezo actuator module with multiple piezo actuators and method for its manufacture
DE102007046314A1 (en) Piezoactuator module with a plurality of interconnected piezoelectric actuators and a method for its production
EP1973176A2 (en) Method and device for manufacturing a piezo-electric actuator module with an encased piezo actuator and a piezo actuator module
DE102006054701A1 (en) Piezo actuator with stacked piezo elements
EP1919004B1 (en) Piezo actuator module or piezo actuator with a cladded protection layer system
DE102007042402A1 (en) Piezoactuator module with a protective layer system and a method for its production
EP2149921B1 (en) Piezo actuator with passive areas on the top and/or base
DE102008042110A1 (en) Piezoactuator for use in piezoinjector for controlling fuel injection in combustion engine, has multilayer design made of piezo elements, which consists of sinterable piezo layers, where piezo layers are enclosed between inner electrodes
WO2010108710A1 (en) Piezoelectric actuator with a multilayered design and a method for producing same
DE102006046832A1 (en) Piezoactuator producing method, involves drawing inner electrodes in isolation process step as sacrificial anode, where step is implemented until electrodes dissolve from side surfaces of actuator and extending inwards with preset offset
DE102007060167A1 (en) Piezoelectric actuator with a multilayer structure of piezoelectric elements and a method for its production

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed

Effective date: 20140327

R002 Refusal decision in examination/registration proceedings
R003 Refusal decision now final