DE102007056553A1 - Method for producing piezo actuator module, involves applying isolation protective layer made of plastic as passivating casing, which is created in electrically conductive manner by coating process - Google Patents
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Abstract
Description
Stand der TechnikState of the art
Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für ein Piezoaktormodul sowie ein von flüssigen Medien umströmtes Piezoaktormodul mit einer Umhüllung an Anbindebauteile, vorzugsweise zur Verwendung in einem Piezoinjektor, nach den gattungsgemäßen Merkmalen des Verfahrensanspruchs 1 und des Anspruchs 7.The The invention relates to a manufacturing method for a piezoelectric actuator module and a piezoelectric actuator surrounded by liquid media with a wrapper to Anbindebauteile, preferably for Use in a piezo injector, according to the generic Features of method claim 1 and claim 7.
Ein solcher Piezoinjektor besteht im wesentlichen aus einem Haltekörper und dem in dem Haltekörper angeordneten Piezoaktormodul, das den zwischen einem Kopf- und Fußteil als Anbindebauteile angeordneten Piezoaktor aus mehreren übereinandergestapelten Piezoelementen zur Bildung des Piezoaktormoduls aufweist.One Such piezo injector consists essentially of a holding body and the piezoelectric actuator module arranged in the holding body, arranged the between a head and foot as Anbindebauteile Piezo actuator made of several stacked piezo elements to form the piezoelectric actuator.
Es ist an sich bekannt, dass zum Aufbau des zuvor erwähnten Piezoaktors bzw. Piezoaktormoduls Piezoelemente so eingesetzt werden können, dass unter Ausnutzung des sogenannten Piezoeffekts eine Steuerung des Nadelhubes eines Ventils oder dergleichen vorgenommen werden kann. Piezolagen der Piezoelemente sind aus einem Material mit einer geeigneten Kristallstruktur so aufgebaut, dass bei Anlage einer äußeren elektrischen Spannung eine mechanische Reaktion des Piezoelements erfolgt, die in Abhängigkeit von der Kristallstruktur und der Anlagebereiche der elektrischen Spannung einen Druck oder Zug in eine vorgebbare Richtung darstellt. Derartige Piezoaktoren eignen sich beispielsweise für Anwendungen, bei denen Hubbewegungen unter hohen Betätigungskräften und hohen Taktfrequenzen ablaufen.It is known per se that to build the aforementioned Piezoaktors or piezoelectric actuator piezoelectric elements are used so can, that taking advantage of the so-called piezo effect one Control of the needle stroke of a valve or the like made can be. Piezo layers of the piezo elements are made of one material with a suitable crystal structure so constructed that when plant an external electrical voltage a mechanical Reaction of the piezoelectric element takes place, depending on from the crystal structure and the plant areas of the electric Stress represents a pressure or train in a predeterminable direction. such Piezo actuators are suitable, for example, for applications in which strokes under high operating forces and high clock frequencies expire.
Beispielsweise
ist ein solcher Piezoaktor als Bestandteil eines Piezoinjektors
in sogenannten Common Rail Einspritzsystemen (CR-Injektor) aus der
Bei diesen bekannten CR-Injektoren ist eine indirekt vom Piezoaktormodul gesteuerte Düsennadel als Kraftstoffventil vorhanden, wobei der Piezoaktor eine Realisierung der Öffnungs- und Schließfunktion ermöglicht. Zur Erzielung einer optimalen Auslenkung bei minimalem Platzbedarf müssen die Innenelektroden des Piezoaktors den gesamten Querschnitt des Piezoaktors, bis auf die inaktive Kontaktierungszone, umfassen. Dies bedeutet, dass die Innenelektroden alternierender Polarität an den Seitenflachen der Keramikschichten freiliegen.at This known CR injectors is one indirectly from the piezoelectric actuator controlled nozzle needle as a fuel valve present, wherein the piezoelectric actuator a realization of the opening and closing function allows. To achieve an optimal deflection at The internal electrodes of the piezoelectric actuator need minimal space the entire cross section of the piezoelectric actuator, except for the inactive contacting zone, include. This means that the internal electrodes are more alternating Polarity on the sides of the ceramic layers exposed.
Aus diesem Grund ist eine elektrische Passivierung dieser Seitenflachen des Piezoaktors sowie die der Kontaktanbau- oder Anbindeteile zur elektrischen Passivierung des gesamten Piezoaktormoduls notwendig, um ein Unterwandern des Piezoaktors mit den umströmenden Medien und den damit eventuell verbundenen elektrischen Überschlägen oder Kurzschlüssen zwischen benachbarten Innenelektroden zu vermeiden. Diese kann zum Beispiel durch Feuchtigkeit oder die Betriebsstoffe selbst, beispielsweise Diesel, Raps-Metylester, Wasser oder dergleichen, im Betrieb des Piezoaktors hervorgerufen werden.Out This reason is an electrical passivation of these sides of the piezoelectric actuator and the contact attachment or Anbindeteile for electrical passivation of the entire piezoelectric actuator module necessary, to an infiltration of the piezoelectric actuator with the flowing around Media and the possibly associated electrical flashovers or short circuits between adjacent internal electrodes to avoid. This can be caused for example by moisture or the Operating materials themselves, for example diesel, rapeseed methyl ester, water or the like, caused in the operation of the piezoelectric actuator.
Um
eine elektrische und mechanische Isolierung des Piezoaktors zu erreichen,
wird oft auch eine flexible Ummantelung des Piezoaktors vorgeschlagen.
Aus der
Die beiden Enden dieses Gehäusemantels können im Bereich ihrer Anlage an den Stahlanbindeteilen des Kopfteils und des Fußteils des Piezoaktormoduls jedoch vom Kraftstoff unterwandert werden und die bekannten Anordnungen bieten somit keinen zuverlässigen Dichtschutz, sodass die einwandfreie Funktion des Piezoaktors über seine Lebensdauer gefährdet ist.The Both ends of this housing shell can be in the range their attachment to the steel connection parts of the head part and the foot part However, the piezoelectric actuator module are infiltrated by the fuel and the known arrangements thus offer no reliable Density protection, so that the proper function of the piezoelectric actuator over its life is endangered.
Aus
der
Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktormoduls und einer das Piezoaktormodul umgebenden Umhüllung zur elektrischen Passivierung, bei dem gemäß der Erfindung in vorteilhafter Weise als passivierende Umhüllung zunächst eine Isolationsschutzschicht aus Kunststoff gemäß des Kennzeichens des Hauptanspruchs aufgebracht wird, um die piezokeramischen Schichten des Piezoaktormoduls zu schützen bzw. zu isolieren. Als Brücke zwischen dem in der Regel metallischen Aktorkopf oder dem Aktorfuß als Anbindebauteile zur Kunsstoffisolierung des Piezoaktormoduls werden dazu je nach Anwendungsfall Ein- oder Mehrschichtsysteme galvanisch aufgebracht. Vorteilhafte Ausführungsformen sind in den Unteransprüchen angegeben.The invention relates to a method for producing a piezoelectric actuator and a surrounding the piezoelectric actuator sheath for electrical passivation, in which according to the invention in an advantageous manner as a passivating cladding first an insulation protective layer of plastic according to the characterizing part of the main claim is applied to the piezoceramic layers of the piezoelectric actuator to protect or isolate. As a bridge between the usually metallic actuator head or the actuator base as Anbindebauteile for Kunsstoffisolierung the piezoelectric actuator one or more layers are applied galvanically depending on the application. Advantageous embodiments are specified in the subclaims.
Ein Ätzprozess als Vorbereitung zur Bechichtung kann beispielsweise mit Chromschwefelsäure durchgeführt werden und die metallischen Elemente können vorzugsweise aus Palladium bestehen und der nachfolgende galvanischen Beschichtungsprozess kann bevorzugt mit duktilen abscheidbaren Materialien, vorzugsweise Kupfer oder Silber, durchgeführt werden.An etching process as preparation for the coating can, for example, with chromic acid can be performed and the metallic elements preferably made of palladium and the subsequent galvanic Coating process may preferably be done with ductile depositable materials, preferably copper or silver.
Somit kann gemäß der Erfindung auch die Verbindung der elektrischen Passivierung des Piezoaktors zu den Anbindebauteilen, wie Aktorkopf und Aktorfuß eines Piezoaktormoduls, auf galvanischer Basis mittels Einschicht- bzw. Mehrschichtsystemen auf einfache Weise im ersten bzw. im zweiten Beschichtungsprozess erfolgen. Es ist somit ein feuchtigkeitsdichter bzw. betriebsstoffdichter und druckdichter Verbund zwischen der elektrischen Passivierung aus Kunststoff und der Anbindeteile an den Stirnflächen des Piezoaktors zu erzeugt, wodurch das Unterwandern von Feuchtigkeit oder Betriebsstoffen zum keramischen Piezoaktor des Piezoaktormoduls vermieden ist.Consequently can according to the invention, the compound of electrical passivation of the piezoelectric actuator to the tethering components, as actuator head and actuator foot of a piezoelectric actuator, on galvanic base by means of single-layer or multilayer systems easy way in the first or in the second coating process done. It is thus a moisture-proof or fuel-tight and pressure-tight bond between the electrical passivation made of plastic and the connecting parts on the front surfaces the piezoelectric actuator generates, whereby the infiltration of moisture or supplies to the ceramic piezoelectric actuator of the piezoelectric actuator module is avoided.
Mit dieser galvanischen Anbindung mittels Einschicht- bzw. Mehrschichtsystemen ist eine für einen Großserienprozess kostengünstige und prozesssichere Beschichtungsvariante gefunden worden. Zusätzlich ergeben sich daraus Wettbewerbsvorteile und damit erhöhte Marktanteile. Die Schichtstärken beginnen im einstelligen ⫿m-Bereich und beeinflussen so die Einbauverhältnisse nicht. Die verwendeten Materialen können dabei je nach Anforderung der Medienbeständigkeit angepasst werden.With this galvanic connection by means of single-layer or multilayer systems is a cost effective for a mass production process and process-safe coating variant has been found. additionally resulting in competitive advantages and thus increased Market share. The layer thicknesses start in the single-digit ⫿m range and so do not affect the installation conditions. The used Depending on the requirements of the media resistance, materials can be used be adjusted.
Bei einer bevorzugten Anwendung ist das so hergestellte Piezoaktormodul Bestandteil eines Piezoinjektors mit direkter Nadelansteuerung für ein Einspritzsystem für Kraftstoff bei einem Verbrennungsmotor, wobei der Kraftstoff unter Hochdruck die Umhüllung umströmt.at A preferred application is the piezoelectric actuator module thus produced Part of a piezo injector with direct needle control for an injection system for fuel in an internal combustion engine, wherein the fuel flows around the enclosure under high pressure.
Kurze Beschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings
Ein Ausführungsbeispiel eines mit dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Piezoaktormoduls wird anhand der Zeichnung erläutert. Es zeigt:One Embodiment of the inventive Method produced piezoelectric actuator is based on the drawing explained. It shows:
Ausführungsform der ErfindungEmbodiment of invention
In
Im
Inneren des Piezoaktormoduls
Gemäß der
Erfindung wird die Isolationsschutzschicht
Es
ist somit ein feuchtigkeitsdichter bzw. betriebsstoffdichter und
druckdichter Verbund zwischen der elektrischen Passivierung mit
der Isolationsschutzschicht
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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Zitierte PatentliteraturCited patent literature
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DE10121270A1 (en) | 2001-04-30 | 2003-02-06 | Epcos Ag | Passivation material for an electrical component as well as piezoelectric component in multilayer construction |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE10026005A1 (en) | 2000-05-25 | 2001-12-06 | Bosch Gmbh Robert | Piezo actuator |
DE10121270A1 (en) | 2001-04-30 | 2003-02-06 | Epcos Ag | Passivation material for an electrical component as well as piezoelectric component in multilayer construction |
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