DE102007041079A1 - Piezoelektrisches Vielschichtbauelement - Google Patents

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Abstract

Es wird ein piezoelektrisches Vielschichtbauelement angegeben, aufweisend: - einen Stapel (1) von übereinander angeordneten piezokeramischen Schichten (2) und Elektrodenschichten (3), wobei - der Stapel mehrere zerdrückte Schichten (4c) aufweist, die Bruchstücke (8) enthalten, und wobei - die zerdrückten Schichten (4c) den Stapel in mehrere Teilstapel (1b) unterteilen, in denen die Ausbreitung eines Risses durch eine zerdrückte Schicht (4b) aufgehalten wird.

Description

  • Es wird ein piezoelektrisches Vielschichtbauelement mit einer risshemmenden Schicht beschrieben.
  • Aus DE 103 07 825 A1 ist ein piezoelektrisches Vielschichtbauelement mit mehreren Sollbruchschichten bekannt.
  • Eine zu lösende Aufgabe besteht darin, ein piezoelektrisches Vielschichtbauelement anzugeben, welches über einen längeren Zeitraum unter mechanischer Belastung funktionstüchtig bleibt.
  • Es wird ein erstes piezoelektrisches Vielschichtbauelement mit einem Stapel von übereinander angeordneten piezokeramischen Schichten und Elektrodenschichten angegeben. Der Stapel weist mehrere unter stirnseitiger Einspannung in mehrere Bruchstücke zerdrückbare Schichten auf, mittels derer der Stapel in mehrere Teilstapel unterteilt wird.
  • Mit dem Begriff „stirnseitiger Einspannung" wird die mechanische Krafteinwirkung auf die bezogen auf die Längsachse des Stapels (Stapelrichtung) vorhandenen Stirnseiten bzw. Stirnflächen des Stapels verstanden.
  • Mit dem Begriff „zerdrückbar" wird jede Komprimierbarkeit einer Festkörperstruktur in kleinere Einzelstücke verstanden.
  • Die zerdrückbaren Schichten enthalten jeweils eine zerdrückbare Struktur, wobei es günstig ist, wenn diese keramisches Material enthält bzw. aus ihr besteht.
  • Die zerdrückbare Struktur einer entsprechend zerdrückbaren Schicht ist leichter zerdrückbar, als jene Struktur bzw. Strukturen, die in anderen piezoelektrischen Schichten des Vielschichtbauelements enthalten sind. Dabei wird bevorzugt, dass die zerdrückbare Struktur bzw. die zerdrückbare Schicht ab einer stirnseitigen Krafteinwirkung auf den Stapel von 13 MPa in Bruchstücke zerdrückbar ist.
  • Gemäß einer Ausführungsform ist die zerdrückbare Struktur wellenförmig. Vorzugsweise handelt es sich dabei um eine wellenförmige Folie, die ein keramisches Material enthalten könnte. Anstelle einer wellenförmigen Struktur könnte jedoch eine andere als Folie ausgeführte Struktur verwendet werden, welche ein oder mehrere Einbuchtungen aufweist bzw. zumindest in einem Bereich eine abwechselnde Struktur aufweist. Dabei könnte es sich um einen Abschnitt der Folie mit zumindest einer abgerundeten oder eckigen Kurve handeln.
  • Die wellenförmige Struktur kann ein beliebiges keramisches Material enthalten, beispielsweise also ein piezokeramisches Material. Sie kann jedoch andere Materialien enthalten bzw. aus anderen Materialien bestehen, insbesondere aus solchen, welche ihre Raumtemperatursstruktur während des Sinterns des Vielschichtbauelements zumindest weitgehend beibehalten.
  • Die Wellen die wellenförmigen Struktur bzw. Folie können in jede beliebige Richtung parallel zu den piezokeramischen Schichten verlaufen.
  • Zwischen der wellenförmigen Struktur, nachfolgend auch als Wellenstruktur bezeichnet, und einer in Stapelrichtung benachbarten piezokeramischen Schicht sind vorzugsweise Hohlräume vorhanden, die der stirnseitigen Einspannung keinen Widerstand leisten und somit das Zerbröseln der Wellenstruktur bei stirnseitiger Einspannung des Stapels begünstigen.
  • Mit den zerdrückbaren Schichten wird der Stapel in mehrere Teilstapel unterteilt, wobei die Schicht eines jeden Teilstapels, die an einen benachbarten Teilstapel angrenzt, eine zerdrückbar Schicht ist. Jeder Teilstapel wird also ober- und/oder unterseitig mit einer zerdrückbaren Schicht der beschriebenen Art ausgeführt. Mehrere übereinander angeordnete Teilstapel bilden einen Stapel des ersten piezoelektrischen Vielschichtbauelements.
  • Gemäß einer Ausführungsform sind mehrere, beispielsweise also zwei, zerdrückbare Schichten übereinander gestapelt. Wenn es sich bei den in den zerdrückbaren Schichten enthaltenen zerdrückbaren Strukturen um eine wellenförmige Folie handelt, so wird bevorzugt, dass die Wendepunkte der Wellen der Folien um 90 Grad zueinander versetzt sind. Beispielsweise könnte also der Tiefpunkt einer Welle einer oberen wellenförmigen Folie direkt auf der Spitze einer Welle einer unteren wellenförmigen Folie liegen. Ein solcher Aufbau könnte mit mehreren derartigen Folien wiederholt werden.
  • Das erste piezoelektrische Vielschichtbauelement kann als Zwischenprodukt betrachtet werden, welches vorteilhafterweise an einen Kunden geliefert werden kann, der das Vielschichtbauelement in einem Modul, beispielsweise in einem Einspritzmodul für Kraftstoff, stirnseitig einspannt. Dies könnte zwischen zwei mechanischen Lagern bzw. zwischen einem Lager und seinem Gegenlager erfolgen.
  • Die stirnseitige Einspannung kann mittels eines Vorspannelements erfolgen, wie beispielsweise mittels einer Rohrfeder. Diese klemmt das Vielschichtbauelement vorzugsweise stirnseitig ein. Das Vorspannelement ist gemäß einer Ausführungsform elektrisch leitend und kontaktiert die Elektrodenschichten. Somit kann es zumindest für einen Satz von gleich gepolten Elektrodenschichten als elektrischer Anschluss dienen.
  • Gemäß einer Ausführungsform des als Zwischenprodukt dienenden ersten Vielschichtbauelements sind die Vertiefungen der wellenförmigen Struktur mit einem Füllmaterial gefüllt, das während einer Temperaturbehandlung entfernbar ist. Dabei kann es sich um ein organisches Material handeln, das während eines Entbinderungsprozesses des Vielschichtbauelements verflüchtigt. Die Vertiefungen der wellenförmigen Struktur bilden nach der Entfernung des Füllmaterials Hohlräume.
  • Für die wellenförmige Struktur kommen kurvige sowie eckige Wellen in Betracht. Die Vertiefungen der Wellen können beispielsweise parabolische Formen aufweisen.
  • Die wellenförmige Struktur ist vorzugsweise derart beschaffen, dass sie bis zur stirnseitigen Einspannung des Vielschichtbauelements nicht einknickt bzw. eine ein Einknicken vermeidende Festigkeit bzw. Elastizität aufweist. Dabei soll sie verschiedene Temperaturbehandlungen, beispielsweise ein Sintern des Vielschichtbauelements, schadlos überstehen.
  • Bei der stirnseitigen Einspannung dieses Zwischenprodukts brechen die zerdrückbaren Strukturen, beispielsweise also die wellenförmigen Strukturen, der entsprechenden Schichten in mehrere Bruchstücke auseinander. Somit wird ein weiteres Vielschichtbauelement geschaffen, das als Endprodukt bezeichnet werden kann und seine Funktion als Piezoaktor aufnimmt.
  • Die zerdrückbaren Schichten werden durch eine stirnseitige Einspannung des Stapels in Schichten verwandelt, die die Ausbreitung von durch mechanische Spannungen oder Schwingungen verursachten Rissen jenseits der jeweiligen Teilstapel verhindern bzw. aufhalten. Das geschieht dadurch, dass die zerdrückten Schichten mit Bruchstücken weiterhin Hohlräume enthalten, die die Ausbreitung von Rissen aus den Teilstapeln hinaus in benachbarte Teilstapeln nicht erlauben. Die zerdrückten Schichten weisen also keine zusammenhängende Struktur auf, durch die sich ein Riss ausbreiten kann. Solche Schichten können daher auch als Fangschichten bezeichnet werden.
  • Bei den mechanischen Spannungen bzw. Schwingungen handelt es sich insbesondere um solche, die auf das weitere, als Endprodukt verwendbare Vielschichtbauelement einwirken, insbesondere während seines Betriebs.
  • Beispielsweise können die mechanischen Spannungen durch die Polarisierung des weiteren Vielschichtbauelements und/oder durch seine Auslenkungen während seines Betriebs entstehen. Andere Ursachen der genannten mechanischen Spannungen können auf Temperaturschwankungen sowie von außen einwirkenden Kräften zurückgeführt werden.
  • Einerseits wird das weitere Vielschichtbauelement während seines Betriebs mechanischen Belastungen bzw. Schwingungen ausgesetzt, wobei der mechanische Druck auf das Vielschichtbauelement durch die Ausbreitung eines Risses innerhalb eines Teilstapels kompensiert wird. Somit ist es sehr unwahrscheinlich, dass weitere Risse in anderen Bereichen, also in anderen Teilstapeln des weiteren Vielschichtbauelements, entstehen.
  • Andererseits wird das weitere Vielschichtbauelement bereits bei der Entstehung der zerdrückten Schichten mechanisch vorentlastet, dass vorteilhafterweise die Wahrscheinlichkeit steigt, dass sich überhaupt keine Risse mehr im Betrieb des weiteren Vielschichtbauelements bilden.
  • Auch wenn mehrere Teilstapel von Rissbildung betroffen wären, genügt es zur Einhaltung der Funktionstüchtigkeit des weiteren Vielschichtbauelements, wenn die überwiegende Mehrzahl von piezokeramischen Schichten bzw. Elektrodenschichten von Rissbildung unbetroffen bleiben. Vorteilhafterweise wird so eine unkontrollierte Rissbildung durch das gesamte Vielschichtbauelement vermieden.
  • Es wird ein Verfahren zur Herstellung des ersten piezoelektrischen Vielschichtbauelements angegeben. Dabei werden piezokeramische Grünfolien mit Elektrodenmaterial bedruckt, sodass Elektrodenschichten auf den Grünfolien entstehen. Danach werden die Grünfolien zurechtgeschnitten und zu einem Stapel aus piezokeramischen Schichten und Elektrodenschichten übereinander gestapelt.
  • Zumindest eine Folie wird nicht mit einer Elektrodenschicht versehen. Diese wird in eine Wellenform verformt. Das Verformen kann mittels Werkzeuge erfolgen, welche Vertiefungen in die Folie drücken. Die Folie könnte zusätzlich oder alternativ auf eine Ablagefläche, Ablageform oder in eine Gussform gelegt werden, welche wellenförmige Vertiefungen aufweist. Die sich in der mit Vertiefungen versehene Form befindliche Folie kann anschließend mittels einer Druck- und/oder Temperaturbehandlung in eine gewellte Form bzw. in eine Stützstruktur mit einer gewellten Form verformt werden.
  • Die Folie kann einen Binder enthalten oder temperaturbehandelt werden, sodass sie ihre Wellenform zunächst beibehält. Hierzu ist es günstig, wenn die gewellte Folie beispielsweise anhand einer Temperaturbehandlung ausreichend aushärtet.
  • Die Vertiefungen der gewellten Folie werden anschließend mit einem Füllmaterial, beispielsweise mit einem organischen oder wässrigen Binder, gefüllt.
  • Gemäß einer Ausführungsform können eine oder mehrere Folien ober- und unterseitig mit dem Füllmaterial versehen werden. Nachdem sie trocknen konnten, können sie abwechselnd mit unverformten keramischen Grünfolien zu einem Teilstapel oder zu einem ganzen Stapel des Vielschichtbauelements verstapelt werden.
  • Das erste Vielschichtbauelement, welches gemäß einer Ausführungsform eine Schicht mit einer mit einem Füllmaterial versehenen gewellten Struktur aufweist, kann temperaturbehandelt werden. Mittels der Temperaturbehandlung wird das Füllmaterial aus den Vertiefungen der gewellten Struktur entfernt, sodass an dessen Stelle ein oder mehrere Hohlräume entstehen. Die Grenzen der Hohlräume werden dabei durch die verbleibende gewellte Struktur sowie durch piezokeramische Schichten, die der wellenförmigen Struktur benachbart sind, gebildet.
  • Gemäß einer Ausführungsform der Herstellung des ersten Vielschichtbauelements kann das in den Vertiefungen der Wellenform der Struktur enthaltene Füllmaterial gleichzeitig mit gegebenenfalls in den umliegenden keramischen Schichten enthaltendem Bindemittel entfernt werden. Alternativ kann das Füllmaterial und das in keramischen Schichten enthaltende Bindemittel in separaten Schritten, beispielsweise bei unterschiedlichen Temperaturen bzw. Temperaturverläufen, entfernt werden.
  • Nach dem Entfernen des Füllmaterials kann das erste piezoelektrische Vielschichtbauelement gesintert werden.
  • Zur Herstellung des zweiten piezoelektrischen Vielschichtbauelements knickt die wellenförmige Struktur einer Deck- oder Bodenschicht eines Teilstapels des ersten Vielschichtbauelements während seiner stirnseitigen Einspannung an mehreren Stellen ein und bildet dabei Bruchstücke, die eine Fangschicht für Risse des zweiten Vielschichtbauelements ausbilden, das als Piezoaktor in Betrieb genommen werden kann. Die Fangschicht kann nach dem Einknicken der gewellten Struktur verbleibende Hohlräume aufweisen, in denen die Bruchstücke angeordnet sind.
  • Die Bruchstücke können nach einer Ausführungsform des weiteren Vielschichtbauelements schalenförmig sein. Das könnte beispielsweise dadurch erreicht werden, dass eine Stelle einer wellenförmigen Struktur einer zerdrückbaren Schicht zwischen zwei Wendepunkten ihres zumindest einen gewellten Bereiches bricht. Dabei ist die wellenförmige Folie bzw. die zerdrückbare Struktur vorzugsweise derart beschaffen, dass sie zwischen den genannten Wendepunkten beim stirnseitigen Verpressen des Vielschichtbauelements die größte mechanische Spannung und/oder die schwächste Materialbeschaffenheit aufweist.
  • Die beschriebenen Gegenstände werden anhand der folgenden Ausführungsbeispiele und Figuren näher erläutert. Dabei zeigt bzw. zeigen:
  • 1 eine gewellte keramische Folie,
  • 2 eine gewellte keramische Folie, deren Vertiefungen mit einem Füllstoff gefüllt sind,
  • 3 einen Teil eines Stapels umfassend eine temporäre Schicht mit einem Füllmaterial zwischen zwei piezokeramischen Schichten,
  • 4 einen Teil eines Stapels umfassend eine zerdrückbare Schicht mit Hohlräumen zwischen zwei piezokeramischen Schichten,
  • 5 ein erstes piezoelektrisches Vielschichtbauelement mit zerdrückbaren Schichten,
  • 6 einen Teil eines Stapels umfassend zerdrückte Schichten mit Bruchstücken,
  • 7 ein weiteres piezoelektrisches Vielschichtbauelement zerdrückten Schichten.
  • 1 zeigt eine wellenförmige keramische Folie 5. Die Folie kann ein beliebiges keramisches oder anderes Material, beispielsweise Kunststoff, sowie ein Bindemittel zur besseren Handhabbarkeit enthalten.
  • 2 zeigt die wellenförmige keramische Folie 5 der vorhergehenden Figur, in deren Vertiefungen ein Füllmaterial 6 enthalten ist. Bei diesem Füllmaterial kann es sich um einen organischen Binder handeln, der bei einer Temperaturbehandlung verflüchtigen bzw. entfernt werden kann. Somit wird eine temporäre Schicht 4a geschaffen, die aufgrund des Füllmaterials beim Verstapeln mit anderen piezokeramischen Schichten 2 leicht zu handhaben ist.
  • 3 zeigt die temporäre Schicht 4a gemäß 2 welche zwischen zwei piezokeramischen Schichten 2 eines Teils eines piezoelektrischen Vielschichtbauelements bzw. eines Stapels 1 angeordnet ist.
  • 4 zeigt eine zerdrückbare Schicht 4b, die zwischen zwei piezokeramischen Folien angeordnet ist. Die zerdrückbare Schicht 4b unterscheidet sich von der temporären Schicht 4a dadurch, dass bei ihr das Füllmaterial 6 mittels einer Temperaturbehandlung entfernt wurde. Dieses könnte beispielsweise während des Sinterns oder während eines Entbinderungsprozesses des Stapels, dessen eine Schicht sie bildet, erfolgen.
  • Dort wo die Vertiefungen der wellenförmigen keramischen Folie 5 mit einem Füllmaterial 6 gefüllt waren, sind nun Hohlräume 7 hinterlassen. Später erleichtern die Hohlräume das Einknicken der wellenförmigen Folie 5 wenn das Vielschichtbauelement stirnseitig eingespannt bzw. eingeklemmt wird.
  • 5 zeigt ein erstes piezoelektrisches Vielschichtbauelement als Zwischenprodukt. Dabei weist es einen Stapel 1 von abwechselnd übereinander angeordneten piezokeramischen Schichten 2 und Elektrodenschichten 3 auf. Die Deck- oder Bodenschicht eines jeden Teilstapels 1a, der eine Mehrzahl von gestapelten piezoelektrischen Schichten 2 und Elektrodenschichten 3 aufweist, ist durch eine zerdrückbare Schicht 4b gebildet, welche derjenigen der 4 entspricht. Dieses Zwischenprodukt kann einem Kunden ausgeliefert werden, der es in ein Modul bzw. mittels eines Vorspannelements einspannt und dabei die gewellte Folien 5 der zerdrückbaren Schichten 4b einknicken.
  • 6 zeigt eine zerdrückte Schicht 4c welche zwischen zwei piezokeramischen Schichten 2 eines Teils eines weiteren piezoelektrischen Vielschichtbauelements angeordnet ist. Die zerdrückte Schicht 4c enthält Brückstücke 8 der ursprünglich durchgehend gewellten Folie 5 der zerdrückbaren Schicht 4b bzw. der temporären Schicht 4a. Die zerdrückte Schicht 4c umfasst also eine gebrochene Struktur. Die Bruchstücke 8 sind ein Erzeugnis der stirnseitigen Einspannung des ersten Vielschichtbauelements zwischen zwei Lagern bzw. Gegenlagern, welche beispielsweise Bestandteile eines Piezoaktormoduls sein könnten. Es kann beispielsweise ein Druck von über 13 MPa, vorzugsweise über 15 MPa, angewendet werden, um die zerdrückbaren Schichten 4b zu zerdrücken und die Bruchstücke 8 bzw. die gebrochene Struktur der zerdrückten Schicht 4c zu erzeugen.
  • 7 zeigt ein piezoelektrisches Vielschichtbauelement als Endprodukt, welches seine Funktion als Piezoaktor aufnehmen kann bzw. mit dieser Funktion in Betrieb genommen wird. Das Endprodukt ist ein Beispiel eines bereits genannten weiteren Vielschichtbauelements.
  • Das piezoelektrische Vielschichtbauelement weist einen Stapel 1 von abwechselnd übereinander angeordneten piezokeramischen Schichten 2 und Elektrodenschichten 3 auf. Die Deck- oder Bodenschicht eines jeden Teilstapels 1b, der eine Mehrzahl von gestapelten piezoelektrischen Schichten 2 und Elektrodenschichten 3 aufweist, ist durch eine zerdrückte Schicht 4c gebildet, welche derjenigen der 6 entspricht. Dieses Vielschichtbauelement kann als Piezoaktor dienen, welches Zugspannungen über die zerdrückten Schichten 4c bzw. Fangschichten 4c aufnimmt die Ausbreitung von Rissen in andere Bereiche, insbesondere in weitere Teilstapel 1b des Vielschichtbauelements, verhindert. Somit treten während des Betriebs des Piezoaktors keine Risse auf, die beispielsweise zu Kurzschlüssen zwischen unterschiedlich gepolten Elektrodenschichten 3 führen könnten.
  • Das piezoelektrische Vielschichtbauelement kann als Zwischenprodukt bzw. als erstes Vielschichtbauelement und auch als Endprodukt bzw. als zweites Vielschichtbauelement mit Außenkontakten (nicht gezeigt) versehen werden, welche jeweils als Schichten auf eine Seitenfläche des Stapels 1 aufgebracht werden können und die Elektrodenschichten 3 elektrisch kontaktieren. Andere Kontaktierungsmittel sind denkbar, wie beispielsweise seitlich angebrachte oder zentral durch den Stapel durchgeführte Kontaktstifte. Diese werden mit jeweils gleich gepolten Elektrodenschichten 3 kontaktiert bzw. überspringen einen elektrischen Kontakt bei jeder zweiten Elektrodenschicht 3.
  • 1
    Schichtstapel eines Vielschichtbauelements
    1a
    Teilstapel mit zerdrückbarer Schicht
    1b
    Teilstapel mit zerdrückter Schicht
    2
    piezokeramische Schicht
    3
    Elektrodenschicht
    4a
    temporäre Schicht
    4b
    zerdrückbare Schicht
    4c
    zerdrückte Schicht
    5
    zerdrückbare Strukturen
    6
    Füllmaterial
    7
    Hohlräume
    8
    Bruchstücke einer zerdrückten Struktur
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • - DE 10307825 A1 [0002]

Claims (26)

  1. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement, aufweisend: – einen Stapel (1) von übereinander angeordneten piezokeramischen Schichten (2) und Elektrodenschichten (3), wobei – der Stapel mehrere unter stirnseitiger Einspannung des Stapels in mehrere Bruchstücke (8) zerdrückbare Schichten (4b) aufweist, die den Stapel in mehrere Teilstapel unterteilen.
  2. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach Anspruch 1, bei dem die Schichten (4b) jeweils eine wellenförmige Struktur (5) aufweisen, die in die mehreren Bruchstücke (8) zerteilbar ist.
  3. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach Anspruch 2, bei dem die wellenförmige Struktur (5) keramisches Material enthält.
  4. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach Anspruch 3, bei dem die wellenförmige Struktur (5) eine wellenförmige keramische Folie ist.
  5. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach einem der Ansprüche 2 bis 4, bei dem die zerdrückbaren Schichten (4b) jeweils einen Hohlraum (7) enthalten, in dem die jeweilige wellenförmige Struktur (5) enthalten ist.
  6. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die zerdrückbaren Schichten (4b) jeweils zwischen zwei piezokeramischen Schichten (2) des Stapels angeordnet sind.
  7. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach Anspruch 6, bei dem die zerdrückbaren Schichten (4b) in regelmäßigen Abständen über die Höhe des Stapels zwischen piezokeramischen Schichten (2) verteilt sind.
  8. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die piezokeramischen Schichten (2) eine PZT-Keramik enthalten.
  9. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die zerdrückbaren Schichten (4b) keramisches Material enthalten.
  10. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Elektrodenschichten (3) zumindest eines der folgenden Materialien enthalten: Kupfer, Palladium, Silber.
  11. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement, aufweisend: – einen Stapel (1) von übereinander angeordneten piezokeramischen Schichten (2) und Elektrodenschichten (3), wobei – der Stapel mehrere zerdrückte Schichten (4c) aufweist, die Bruchstücke (8) enthalten, und wobei – die zerdrückten Schichten (4c) den Stapel in mehrere Teilstapel (1b) unterteilen, in denen die Ausbreitung eines Risses durch eine zerdrückte Schicht (4b) aufgehalten wird.
  12. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach Anspruch 11, bei dem der Riss durch auf den Stapel (1) einwirkende mechanische Spannungen verursacht ist.
  13. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach einem der Ansprüche 11 oder 12, bei dem die Ausbreitung des Risses auf einen Teilstapel (1b) beschränkt ist.
  14. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach einem der Ansprüche 11 bis 13, bei dem die Bruchstücke (8) schalenförmig sind.
  15. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach einem der Ansprüche 11 bis 14, bei dem die Bruchstücke (8) enthaltende Schicht (4b) zumindest einen Hohlraum (7) enthält, in dem die Bruchstücke (8) enthalten sind.
  16. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, aufweisend mehrere Außenkontakte, welche mit Elektrodenschichten (3) kontaktiert sind, wobei jeweils ein Außenkontakt an einer Außenfläche des Stapels (1) angeordnet ist.
  17. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach einem der Ansprüche 11 bis 16, aufweisend ein Vorspannelement, das den Stapel (1) stirnseitig einspannt.
  18. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach Anspruch 17, bei dem das Vorspannelement eine Rohrfeder umfasst.
  19. Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Vielschichtbauelements, wobei – piezokeramische Folien (2) mit einem elektrisch leitenden Material bedruckt werden und auf mehrere übereinander angeordnete, derartige piezokeramischen Folien eine wellenförmige Folie (5) aufgebracht wird um einen Teilstapel (1a) zu erzeugen, – mehrere der Teilstapel (1a) übereinander gestapelt werden.
  20. Verfahren nach Anspruch 19, bei dem die wellenförmige Folie bei der Erzeugung der Teilstapel (1a) ober- und unterseitig mit einem Füllmaterial (6) versehen ist, und dieses Füllmaterial (6) nach dem Stapeln der Teilstapel mittels einer Temperaturbehandlung entfernt wird und Hohlräume (7) hinterlässt.
  21. Verfahren nach Anspruch 20, bei dem ein Füllmaterial (6) verwendet wird, das einen organischen Binder enthält.
  22. Verfahren nach einem der Ansprüche 20 oder 21, bei dem ein Füllmaterial (6) verwendet wird, das einen wässrigen Binder enthält.
  23. Verfahren nach einem der Ansprüche 19 bis 22, bei dem das mehrere Teilstapel (1a) aufweisende Vielschichtbauelement stirnseitig eingespannt wird und die wellenförmigen Folien (5) in mehrere Bruchstücke (8) zerdrückt werden.
  24. Verfahren nach Anspruch 23, bei dem das Vielschichtbauelement mittels eines Vorspannelements eingespannt wird.
  25. Verfahren nach Anspruch 24, bei dem als Vorspannelement eine Rohrfeder verwendet wird.
  26. Verfahren nach einem der Ansprüche 23 bis 25, bei dem eine Druckbelastung von größer als 13 MPa stirnseitig auf das Vielschichtbauelement einwirkt.
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