DE102006057829A1

DE102006057829A1 - Differential manometric sensor for recording differential pressure and for industrial measuring technique, has base body and recess is divided into two pressure measuring chamber, which are connected with overload chambers

Info

Publication number: DE102006057829A1
Application number: DE200610057829
Authority: DE
Inventors: Wolfgang Dannhauer; Ralf Nürnberger
Original assignee: Endress and Hauser SE and Co KG
Current assignee: Endress and Hauser SE and Co KG
Priority date: 2006-12-06
Filing date: 2006-12-06
Publication date: 2008-06-12

Abstract

The differential manometric sensor (1) has a base body (2). A separating membrane (3,9) is arranged on the base body. A pressure (p1) acts on the outer side in measuring mode. The pressure receiving chamber (5) locks in the base body. The differential pressure sensor (25) is arranged in a recess (23) in the base body. The pressure sensitive measuring membrane (27) lies in a level, which runs perpendicular to the level in which separating membrane (3,9) lies. The recess is divided into two pressure measuring chamber (29,31), which are connected with two overload chambers (15,19).

Description

Die Erfindung betrifft einen Differenzdruckmessaufnehmer.The The invention relates to a differential pressure transducer.

Differenzdruckmessaufnehmer dienen zur Erfassungen von Differenzdrücken und werden in der industriellen Messtechnik eingesetzt. Dort werden sie beispielsweise zur Füllstandsmessung oder zur Durchflussmessung verwendet. Bei der Füllstandsmessung wird beispielsweise die Differenz zwischen einem unten in einem Behälter wirkenden ersten Druck und einem oberhalb des Füllguts herrschenden zweiten Druck gemessen. Die Differenz ist proportional zu einem füllstands-abhängigen hydrostatischen Druck im Behälter und damit zum Füllstand. Bei der Durchflussmessung wird beispielsweise ein Strömungswiderstand in eine Leitung eingesetzt und mittels eines Differenzdruckmessaufnehmers eine Differenz eines vor dem Widerstand herrschenden ersten Druck und eines hinter dem Widerstand herrschenden zweiten Druck ermittelt. Dieser Differenzdruck ist ein Maß für den Durchfluss durch die Leitung.Differenzdruckmessaufnehmer serve for the detection of differential pressures and are used in industrial Measuring technology used. There they become, for example, level measurement or used for flow measurement. For level measurement, for example the difference between a first pressure acting down in a container and one above the contents prevailing second pressure measured. The difference is proportional to a level-dependent hydrostatic Pressure in the container and thus to the level. In flow measurement, for example, a flow resistance inserted into a conduit and by means of a differential pressure transducer a difference of a first pressure prevailing before the resistance and a prevailing behind the resistance second pressure determined. This differential pressure is a measure of the flow through the Management.

In der Druckmesstechnik werden gerne so genannte Halbleiter-Sensoren, z.B. Silizium-Chips mit eindotierten Widerstandselementen, als druckempfindliche Elemente eingesetzt. Entsprechende Differenzdrucksensoren weisen typischer Weise eine Messmembran auf, deren eine Seite im Messbetrieb einem ersten Druck und deren zweite Seite einem zweiten Druck ausgesetzt wird. Die einwirkenden Drücke bewirken eine resultierende Auslenkung der Messmembran, die dem zu messenden Differenzdruck entspricht. Drucksensor-Chips sind in der Regel sehr empfindlich und werden deshalb nicht direkt einem Medium ausgesetzt, dessen Druck aufgenommen werden soll. Stattdessen werden mit einer Flüssigkeit gefüllte Druckmittler vorgeschaltet.In pressure measurement technology is often called semiconductor sensors, e.g. Silicon chips with doped resistive elements, as pressure-sensitive Elements used. Corresponding differential pressure sensors have Typically, a measuring diaphragm, one side of the measuring operation a first pressure and its second side exposed to a second pressure becomes. The acting pressures cause a resulting deflection of the measuring membrane, the corresponds to differential pressure to be measured. Pressure sensor chips are in the Usually very sensitive and therefore not directly a medium suspended, whose pressure is to be recorded. Instead, become with a liquid filled Isolator upstream.

Differenzdruckmessaufnehmer weisen hierzu regelmäßig einen massiven typischer Weise mehrteiligen Messaufnehmerblock auf, auf dem außenseitlich eine erste und eine dieser parallel dazu gegenüberliegend angeordnete zweite Trennmembranen angeordnet sind. Dabei schließt die erste Trennmembran eine erste Druckempfangskammer ab, die über eine Druckübertragungsleitung mit einer ersten Druckmesskammer verbunden ist. Entsprechend schließt die zweite Trennmembran eine zweite Druckempfangskammer ab, die über eine Druckübertragungsleitung mit einer zweiten Druckmesskammer verbunden ist. Die erste und die zweite Druckmesskammer sind durch die Messmembran des Differenzdrucksensors voneinander getrennt.Differenzdruckmessaufnehmer have one regularly massive typical way multipart sensor block on, on the outside one first and one of these parallel thereto arranged second opposite Separating membranes are arranged. The first separation membrane closes a first Pressure receiving chamber off, over a pressure transmission line is connected to a first pressure measuring chamber. Accordingly, the second closes Separation membrane from a second pressure receiving chamber, which has a Pressure transmission line is connected to a second pressure measuring chamber. The first and the second Pressure measuring chamber are through the measuring diaphragm of the differential pressure sensor separated from each other.

Die beiden Druckempfangskammern, die beiden Druckmesskammern sowie die Druckübertragungsleitungen sind mit einer Druck übertragenden Flüssigkeit gefüllt, die dazu dient, den von außen auf die jeweilige Trennmembran einwirkenden Druck auf die jeweils zugeordnete Seite der Messmembran zu übertragen.The two pressure receiving chambers, the two pressure measuring chambers and the Pressure transmission lines are transferring with a pressure liquid filled, which serves the outside acting on the respective separation membrane pressure on each assigned side of the diaphragm to transmit.

Es gibt eine Vielzahl von Anwendungen, in denen zumindest kurzzeitig Drücke auf den Differenzdruckmessaufnehmer einwirken können, die einen Messbereich, für den der Differenzdruckmessaufnehmer ausgelegt ist, überschreiten. Dies kann insb. im Fall einer einseitigen Überlast zu einer Beschädigung oder sogar zu einer Zerstörung der Messmembran führen.It There are a variety of applications in which, at least for a short time pressures can act on the differential pressure transducer, a measuring range, for the the differential pressure transducer is designed to exceed. This can esp. in the case of a one-sided overload to damage or even to destruction lead the measuring membrane.

Um dies zu vermeiden werden Differenzdruckmessaufnehmer regelmäßig mit einem Überlastschutz ausgestattet. Ein Beispiel hierfür ist eine im Messaufnehmerblock eingespannte scheiben- oder ringscheibenförmige Überlastmembran, an deren erste Seite eine von der Überlastmembran abgeschlossene erste Überlastkammer angrenzt, und an deren zweite Seite eine von der Überlastmembran abgeschlossene zweite Überlastkammer angrenzt. Die erste Überlastkammer ist über entsprechende Druckübertragungsleitungen mit der ersten Druckempfangskammer und mit der ersten Druckmesskammer verbunden, und die zweite Überlastkammer ist über entsprechende Druckübertragungsleitungen mit der zweiten Druckempfangskammer und mit der zweiten Druckmesskammer verbunden.Around To avoid this, differential pressure transducers are used regularly equipped with overload protection. An example of this is a disk-shaped or annular disk-shaped overload diaphragm clamped in the sensor block, at the first side of which closed by the overload diaphragm first overload chamber adjacent, and on the second side one of the overload diaphragm completed second overload chamber borders. The first overload chamber is over corresponding pressure transmission lines with the first pressure receiving chamber and with the first pressure measuring chamber connected, and the second overload chamber is over corresponding pressure transmission lines with the second pressure receiving chamber and with the second pressure measuring chamber connected.

Eine einseitig auf eine der Trennmembranen einwirkende Überlast wird durch eine entsprechende Auslenkung der Überlastmembran aufgefangen.A one-sided on one of the separation membranes acting overload is absorbed by a corresponding deflection of the overload membrane.

Diese sehr wirksame Form des Überlastschutzes führt jedoch dazu, dass Druckmessaufnehmer in der Regel aus mehreren Einzelteilen bestehen, deren Herstellung aufgrund der Vielzahl der erforderlichen Druckübertragungsleitungen sehr aufwendig ist.These very effective form of overload protection leads however This pressure transducer usually consists of several parts exist whose production due to the large number of required Pressure transmission lines very expensive.

In der EP 1 172 640 A1 ist ein Beispiel eines solchen Differenzdruckmessaufnehmers beschrieben mit

– einem Grundkörper, – auf dem ein erster Träger angeordnet ist, auf dessen Außenseite eine erste Trennmembran angeordnet ist, – auf deren Außenseite im Messbetrieb ein erster Druck einwirkt, und – die eine im ersten Träger integrierte erste Druckempfangskammer abschließt, – auf dem auf dessen dem ersten Träger gegenüberliegenden Seite ein zweiter Träger angeordnet ist, auf dessen Außenseite parallel zur ersten Trennmembran eine zweite Trennmembran angeordnet ist, – auf deren Außenseite im Messbetrieb ein zweiter Druck einwirkt, und – die eine im zweiten Träger integrierte zweite Druckempfangskammer abschließt,
– einer zwischen dem Grundkörper und dem ersten Träger eingespannten ringscheibenförmigen Überlastmembran, – an deren erste Seite eine im Grundkörper integrierte von der Überlastmembran abgeschlossene erste Überlastkammer angrenzt, – die über eine erste Druckübertragungsleitung mit der ersten Druckempfangskammer verbunden ist, – an deren zweite Seite eine im ersten Träger integrierte von der Überlastmembran abgeschlossene zweite Überlastkammer angrenzt, – die über eine zweite Druckübertragungsleitung mit der zweiten Druckempfangskammer verbunden ist, und
– einem in einer Ausnehmung im Grundkörper angeordneten Differenzdrucksensor, – der eine druckempfindliche Messmembran aufweist, – die die Ausnehmung in eine mit der ersten Überlastkammer verbundene erste Druckmesskammer und eine mit der zweiten Überlastkammer verbundene zweite Druckmesskammer unterteilt.

In the EP 1 172 640 A1 an example of such a differential pressure transducer is described with

A base body, on which a first support is arranged, on whose outside a first separation membrane is arranged, - On whose outer side in measurement operation, a first pressure acts, and - which terminates in the first carrier integrated first pressure receiving chamber, - on the opposite side of the first carrier, a second carrier is arranged on the outside parallel to the first separation membrane arranged a second separation membrane is, - acts on the outside in the measuring operation, a second pressure, and - terminates a second support integrated in the second pressure receiving chamber,
An annular disk-shaped overload diaphragm clamped between the base body and the first carrier, at the first side of which a first overload chamber, which is integrated in the main body and adjoined by the overload diaphragm, is connected to the first pressure receiving chamber via a first pressure transmission line; first carrier integrated integrated by the overload diaphragm second overload chamber adjacent - which is connected via a second pressure transmission line to the second pressure receiving chamber, and
- A arranged in a recess in the body differential pressure sensor, - having a pressure sensitive diaphragm, - dividing the recess in a first pressure chamber connected to the first pressure measuring chamber and a second pressure chamber connected to the second pressure measuring chamber.

Die Ausnehmung für den Differenzdrucksensor mündet auf einer dem zweiten Träger zugewandten Außenseite des Grundkörpers in einer in den zweiten Träger integrierten Kammer die Teil der ersten Druckmesskammer ist. Die Messmembran ist in der Ausnehmung parallel zur ersten und zur zweiten Trennmembran angeordnet. Es sind elektrische Anschlussleitungen für den Differenzdrucksensor vorgesehen, die durch entsprechende im Grundkörper angeordneten Durchführungen auf einer vom zweiten Träger abgewandten Seite der Ausnehmung aus dem Grundkörper heraus geführt sind.The Recess for the differential pressure sensor opens on a second carrier facing outside of the basic body in one in the second carrier integrated chamber which is part of the first pressure measuring chamber. The Measuring diaphragm is in the recess parallel to the first and second Separating membrane arranged. They are electrical connection cables for the Differential pressure sensor provided, which is arranged by appropriate in the body bushings on one of the second carrier opposite side of the recess are guided out of the main body out.

Da hier eine ringscheibenförmige Überlastmembran eingesetzt wird, ist es möglich die Druckübertragungsleitung, die von der im ersten Träger integrierten ersten Überlastkammer zur ersten Druckmesskammer führt durch die Mitte der ringscheibenförmigen Trennmembran zu führen. Dies bietet den Vorteil, dass die Leitungsführungen im Grundkörper sich hierdurch wesentlich vereinfacht. Insb. sind keine komplizierten Umlenkungen der Druckübertragungsleitungen erforderlich.There here an annular disc-shaped overload diaphragm is used, it is possible the pressure transmission line, those of the first carrier integrated first overload chamber leads to the first pressure measuring chamber to pass through the center of the annular disc-shaped separation membrane. This offers the advantage that the cable guides in the body itself This significantly simplifies. Esp. are not complicated Deflections of the pressure transmission lines required.

Ein Nachteil des dort beschriebenen Differenzdruckmessaufnehmers besteht darin, dass die erste Druckmesskammer hydraulisch parallel zur ersten Überlastkammer geschaltet ist. Im Hinblick auf den Überlastschutz wäre es jedoch günstiger, wenn die erste Druckmesskammer der erste Überlastkammer hydraulisch nachgeschaltet wäre. Dies wäre jedoch bei dem beschriebenen Differenzdruckmessaufnehmer nur mit einer erheblich aufwendigeren Leitungsführung möglich.One Disadvantage of the differential pressure transducer described therein exists in that the first pressure measuring chamber is hydraulically parallel to the first overload chamber is switched. In terms of overload protection, it would be cheaper when the first pressure measuring chamber of the first overload chamber hydraulically downstream would. This would be, however in the described differential pressure transducer only with a considerable more complicated wiring possible.

Um die Leitungsführung zu vereinfachen werden daher alternativ auch Varianten eingesetzt, bei denen der Differenzdrucksensor auf einer in der Regel scheibenförmigen Überlastmembran platziert wird. Diese Variante weist jedoch den Nachteil auf, das eine aufwendige elektrische Adaptierung notwendig ist, um einen elektrischen Anschluss des Differenzdrucksensors zu gewährleisten.Around the cable routing Therefore, variants are also used as an alternative as an alternative. in which the differential pressure sensor on a generally disc-shaped overload diaphragm is placed. However, this variant has the disadvantage that a complex electrical adaptation is necessary to an electric Ensure connection of the differential pressure sensor.

Es ist eine Aufgabe der Erfindung einen kompakten, einfach aufgebauten Differenzdruckmessaufnehmer mit einem wirksamen Überlastschutz anzugeben.It An object of the invention is a compact, simply constructed Specify differential pressure transducer with an effective overload protection.

Hierzu besteht die Erfindung in einem Differenzdruckmessaufnehmer mit

– einem Grundkörper,
– einer auf dem Grundkörper angeordneten ersten Trennmembran, – auf deren Außenseite im Messbetrieb ein erster Druck einwirkt, und – die eine im Grundkörper integrierte erste Druckempfangskammer abschließt,
– einem auf einer der ersten Trennmembran gegenüberliegenden Außenseite des Grundkörpers aufgebrachten Träger,
– einer auf dem Träger parallel zu der ersten Trennmembran angeordneten zweiten Trennmembran, – auf deren Außenseite im Messbetrieb ein zweiter Druck einwirkt, und – die eine im Träger integrierte zweite Druckempfangskammer abschließt,
– einer zwischen dem Grundkörper und dem Träger eingespannten ringscheibenförmigen Überlastmembran, – an deren erste Seite eine im Grundkörper integrierte von der Überlastmembran abgeschlossene erste Überlastkammer angrenzt, – die über eine erste Druckübertragungsleitung mit der ersten Druckempfangskammer verbunden ist, – an deren zweite Seite eine im Träger integrierte von der Überlastmembran abgeschlossene zweite Überlastkammer angrenzt, – die über eine zweite Druckübertragungsleitung mit der zweiten Druckempfangskammer verbunden ist, und
– einem in einer Ausnehmung im Grundkörper angeordneten Differenzdrucksensor, – der eine druckempfindliche Messmembran aufweist, – die in einer Ebene liegt, die senkrecht zu den Ebenen verläuft, in denen die Trennmembranen liegen, und – die die Ausnehmung in eine mit der ersten Überlastkammer verbundene erste Druckmesskammer und eine mit der zweiten Überlastkammer verbundene zweite Druckmesskammer unterteilt.

For this purpose, the invention in a differential pressure transducer with

A basic body,
A first separation membrane arranged on the base body, on the outside of which a first pressure acts during measuring operation, and a closure of a first pressure-receiving chamber integrated in the base body,
A carrier applied on an outer side of the base body opposite the first separating membrane,
A second separation membrane arranged parallel to the first separation membrane on the support, on the outside of which a second pressure acts in measurement operation, and a second pressure receiving chamber integrated in the support terminates,
A diaphragm-shaped overload diaphragm clamped between the base body and the carrier, on the first side of which a first body integrated in the main body and closed by the overload diaphragm is provided Adjacent overload chamber, - which is connected via a first pressure transmission line to the first pressure receiving chamber, - on the second side of which a carrier integrated in the integrated from the overload diaphragm second overload chamber adjacent, - which is connected via a second pressure transmission line to the second pressure receiving chamber, and
A differential pressure sensor arranged in a recess in the main body, having a pressure-sensitive measuring diaphragm, lying in a plane perpendicular to the planes in which the separating diaphragms are located, and the first end connected to the first overload chamber Pressure measuring chamber and a second pressure chamber connected to the second overload chamber divided.

Gemäß einer Weiterbildung mündet die Ausnehmung für den Differenzdrucksensor in einer senkrecht zur Ebene der Trennmembranen verlaufenden Außenwand des Grundkörpers, durch die der Differenzdrucksensor in die Ausnehmung einsetzbar ist, und die Ausnehmung nach außen von einem in deren Mündung eingesetzten Verschluss abgeschlossen.According to one Continuing education the recess for the differential pressure sensor in a direction perpendicular to the plane of the separation membranes extending outer wall of the basic body, can be used by the differential pressure sensor in the recess is, and the recess to the outside from one in their mouth completed closure completed.

Gemäß einer weiteren Weiterbildung ist im Grundkörper mindestens eine gerade Bohrung vorgesehen, die von der Ausnehmung aus dem Grundkörper heraus führt, und in der mindestens eine Anschlussleitung des Differenzdrucksensors verläuft.According to one further development is in the body at least one straight Bore provided by the recess of the main body out leads, and in the at least one connecting line of the differential pressure sensor runs.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung ist die erste Druckübertragungsleitung, die die erste Druckempfangskammer mit der ersten Überlastkammer verbindet, eine durch den Grundkörper hindurch führende gerade Bohrung.According to one preferred embodiment, the first pressure transmission line, the first pressure receiving chamber connects to the first overload chamber, a through the main body Leading straight through Drilling.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung ist die zweite Druckübertragungsleitung, die die zweite Druckempfangskammer mit der zweiten Überlastkammer verbindet, eine durch den Träger hindurch führende gerade Bohrung.According to one preferred embodiment is the second pressure transmission line, the second pressure receiving chamber connects to the second overload chamber, a through the carrier Leading straight through Drilling.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung ist die erste Druckmesskammer mit der ersten Überlastkammer durch eine dritte Druckübertragungsleitung verbunden, wobei die dritte Druckübertragungsleitung eine gerade ausschließlich im Grundkörper verlaufende Bohrung ist.According to one Another preferred embodiment is the first pressure measuring chamber with the first overload chamber through a third pressure transmission line connected, wherein the third pressure transmission line a straight exclusively in the main body extending bore is.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung ist die zweite Druckmesskammer mit der zweiten Überlastkammer durch eine vierte Druckübertragungsleitung verbunden, die sich zusammensetzt aus

– einer im Grundkörper verlaufenden Bohrung, die von der Ausnehmung senkrecht zur Ebene der Messmembran ins Innere des Grundkörpers führt,
– einer daran anschließenden geraden Bohrung, die parallel zur Ebene der Messmembran in Richtung des Trägers verläuft, und in einer von der ringscheibenförmigen Überlastmembran eingeschlossene Mitte des Grundkörpers mündet, und
– einer im Träger verlaufenden Nut, die von der zweiten Überlastkammer in eine von der ringscheibenförmigen Überlastmembran eingeschlossene Mitte des Trägers führt.

According to a further embodiment, the second pressure measuring chamber is connected to the second overload chamber by a fourth pressure transmission line, which is composed of

A bore extending in the main body and leading from the recess perpendicular to the plane of the measuring diaphragm into the interior of the main body,
- An adjoining straight bore, which runs parallel to the plane of the measuring diaphragm in the direction of the carrier, and opens into an enclosed by the annular disk-shaped overload diaphragm center of the body, and
- A groove extending in the carrier, which leads from the second overload chamber in an enclosed by the annular disk-shaped overload diaphragm center of the carrier.

Ein Vorteil der Erfindung besteht darin, dass der erfindungsgemäße Druckmessaufnehmer einen Messaufnehmerblock aufweist, der nur zwei Bauteile, nämlich den Grundkörper und den Träger, umfasst.One Advantage of the invention is that the pressure transducer according to the invention a Messaufnehmerblock having only two components, namely the body and the wearer, includes.

Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass es aufgrund der Anordnung der Messmembran senkrecht zur Ebene der Trennmembranen, mittels einer sehr einfachen Leitungsführung der Druckübertragungsleitungen eine hydraulische Reihenschaltung der jeweiligen Überlastkammern und der Druckmesskammern besteht. Es sind ausschließlich gerade Bohrungen im Grundkörper für die Druckübertragungsleitungen erforderlich.One Another advantage is that it due to the arrangement of the Measuring membrane perpendicular to the plane of the separation membranes, by means of a very simple cable routing the pressure transmission lines a hydraulic series connection of the respective overload chambers and the pressure measuring chambers consists. They are exclusive straight holes in the base body for the Pressure transmission lines required.

Die Erfindung und weitere Vorteile werden nun anhand der Figur der Zeichnung, in der ein Ausführungsbeispiel dargestellt ist, näher erläutert.The Invention and further advantages will now be with reference to the figure of the drawing, in the one embodiment is shown, closer explained.

1 zeigt einen Schnitt durch einen erfindungsgemäßen Druckmessaufnehmer. 1 shows a section through a pressure transducer according to the invention.

1 zeigt einen Schnitt durch einen erfindungsgemäßen Differenzdruckmessaufnehmer. Dieser weist einen Grundkörper 1 auf, auf dem eine erste Trennmembran 3 angeordnet ist. Der Grundkörper 1 ist ein im wesentlichen zylindrischer massiver Block aus einem Metall, z.B. aus einem Stahl oder Edelstahl. Die Trennmembran 3 schließt eine außenseitlich in den Grundkörper 1 integrierte erste Druckempfangskammer 5 ab. Durch die Integration der ersten Druckempfangskammer 5 in den Grundkörper 1 ist die Anzahl der für den Aufbau des Differenzdruckmessaufnehmers erforderlichen Bauteile reduziert. Es ist insb. kein separater Träger für die erste Trennmembran und die erste Druckempfangskammer erforderlich. Hierdurch werden die mit einem separaten Träger verbundenen Kosten und der Aufwand für dessen Herstellung und Montage eingespart. Im Messbetrieb wirkt auf eine vom Grundkörper 1 abgewandte Außenseite der Trennmembran 3 ein erster Druck p1 ein, der in 1 durch einen Pfeil dargestellt ist. 1 shows a section through a differential pressure transducer according to the invention. This has a body 1 on, on which a first separation membrane 3 is arranged. The main body 1 is a substantially cylindrical solid block of a metal, such as a steel or stainless steel. The separation membrane 3 closes one outside in the main body 1 integrated first pressure receiving chamber 5 from. By integrating the first pressure receiving chamber 5 into the main body 1 the number of components required for the construction of the differential pressure transducer is reduced. It is esp. No separate support for the first separation membrane and the first pressure receiving chamber required. As a result, the costs associated with a separate carrier and the cost of its manufacture and assembly are saved. In measuring mode, one of the main body acts 1 opposite outer side of the separation membrane 3 a first pressure p1 which is in 1 is shown by an arrow.

Auf dem Grundkörper 1 ist auf dessen der ersten Trennmembran 3 gegenüberliegenden Außenseite ein, hier im wesentlichen scheibenförmiger Träger 7 aufgebracht. Auf einer vom Grundkörper 1 abgewandten Außenseite dieses Trägers 7 ist außen eine zweite Trennmembran 9 angeordnet, die parallel zu der ersten Trennmembran 3 verläuft. Die zweite Trennmembran 9 schließt eine außenseitlich in den Träger 7 integrierte zweite Druckempfangskammer 11 ab. Im Messbetrieb wirkt auf eine vom Träger 7 abgewandte Außenseite der zweiten Trennmembran 9 ein zweiter Druck p2 ein, der in 1 durch einen Pfeil dargestellt ist.On the main body 1 is on the first separation membrane 3 opposite outside, here essentially disc-shaped carrier 7 applied. On one of the main body 1 remote outside of this carrier 7 Outside is a second separation membrane 9 arranged parallel to the first separation membrane 3 runs. The second separation membrane 9 closes one outside in the carrier 7 integrated second pressure receiving chamber 11 from. In measuring mode acts on one of the carrier 7 opposite outer side of the second separation membrane 9 a second pressure p2, which in 1 is shown by an arrow.

Der erste und der zweite Druck p1, p2 werden dem Differenzdruckmessaufnehmer, wie bei herkömmlichen Differenzdruckmessaufnehmern auch, über in 1 nicht dargestellte Anschlüsse zugeführt. Hierzu eignen sich z.B. zwei mit entsprechenden Prozessanschlüssen ausgestattete Flansche, die auf dem Differenzdruckmessaufnehmer derart montiert werden, das die jeweiligen Drücke p1, p2 über den Prozessanschluss auf die jeweilige Trennmembran 3, 9 einwirken. Die Flansche werden beispielsweise mittels Bolzenschrauben montiert. Die Integration der ersten Druckempfangskammer 5 in den Grundkörper 1 weist hierbei den Vorteil auf, dass durch diese Konstruktion der Einfluss der Einspannung des Messaufnehmerblocks zwischen den beiden Anschlüssen auf die Messgenauigkeit reduziert wird, da aufgrund der Reduktion der Anzahl der Bauteile weniger Verspannungen zwischen einzelnen Bauteilen auftreten können.The first and the second pressure p1, p2 are the differential pressure transducer, as in conventional differential pressure transducers also over in 1 not shown supplied connections. For this purpose, for example, two flanges equipped with corresponding process connections are suitable, which are mounted on the differential pressure transducer in such a way that the respective pressures p1, p2 are applied to the respective separation membrane via the process connection 3 . 9 act. The flanges are mounted for example by means of stud bolts. The integration of the first pressure receiving chamber 5 into the main body 1 has the advantage that this construction reduces the influence of the clamping of the sensor block between the two terminals on the measurement accuracy, since due to the reduction of the number of components less tension between individual components can occur.

Der erfindungsgemäße Differenzdruckmessaufnehmer weist einen Überlastschutz auf, der eine zwischen dem Grundkörper 1 und dem Träger 7 angeordnete ringscheibenförmige Überlastmembran 13 umfasst. An eine erste dem Grundkörper 1 zugewandte Seite der Überlastmembran 13 grenzt eine in den Grundkörper 1 integrierte von der Überlastmembran 13 abgeschlossene erste Überlastkammer 15 an, die über eine erste Druckübertragungsleitung 17 mit der ersten Druckempfangskammer 5 verbunden ist. Die erste Druckübertragungsleitung 17 ist eine von der ersten Druckempfangskammer 5 zur ersten Überlastkammer 15 durch den Grundkörper 1 hindurch führende gerade Bohrung. Dies bietet den Vorteil, dass sie sehr einfach herstellbar ist, und aufgrund der geraden Leitungsführung eine optimale Übertragung des Drucks erzielt werden kann. Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass nur sehr wenig Flüssigkeit zur Übertragung des Drucks erforderlich ist.The differential pressure transducer according to the invention has an overload protection, the one between the body 1 and the carrier 7 arranged annular disk-shaped overload diaphragm 13 includes. At a first the main body 1 facing side of the overload diaphragm 13 borders one in the main body 1 integrated from the overload diaphragm 13 completed first overload chamber 15 on, via a first pressure transmission line 17 with the first pressure receiving chamber 5 connected is. The first pressure transmission line 17 is one of the first pressure receiving chamber 5 to the first overload chamber 15 through the main body 1 passing straight bore. This offers the advantage that it is very easy to produce, and due to the straight line routing an optimal transfer of pressure can be achieved. Another advantage is that very little fluid is required to transfer the pressure.

An eine zweite dem Träger 7 zugewandte Seite der Überlastmembran 13 grenzt eine in den Träger 7 integrierte von der Überlastmembran 13 abgeschlossene zweite Überlastkammer 19 an, die über eine zweite Druckübertragungsleitung 21 mit der zweiten Druckempfangskammer 11 verbunden ist. Auch hier ist die zweite Druckübertragungsleitung 21 eine gerade Bohrung, die durch den Träger 7 hindurchfährt, und die zweite Druckempfangskammer 11 mit der zweiten Überlastkammer 19 verbindet. Die oben genannten Vorteile einer geraden Leitungsführung gelten hier genauso.At a second the carrier 7 facing side of the overload diaphragm 13 borders one in the carrier 7 integrated from the overload diaphragm 13 completed second overload chamber 19 on, via a second pressure transmission line 21 with the second pressure receiving chamber 11 connected is. Again, the second pressure transmission line 21 a straight hole through the carrier 7 passes through, and the second pressure receiving chamber 11 with the second overload chamber 19 combines. The above-mentioned advantages of a straight cable routing apply here as well.

Im Grundkörper 1 ist eine Ausnehmung 23 vorgesehen, in der ein Differenzdrucksensor 25 angeordnet ist, der eine druckempfindliche Messmembran 27 aufweist. Erfindungsgemäß ist der Differenzdrucksensor 25 derart in der Ausnehmung 23 angeordnet, dass die Messmembran 27 in einer Ebene liegt, die senkrecht zu den Ebenen verläuft, in denen die Trennmembran 3 und 9 liegen. Die Ausnehmung 23 wird durch die Messmembran 27 in eine mit der ersten Überlastkammer 15 verbundene erste Druckmesskammer 29 und eine mit der zweiten Überlastkammer 19 verbundene zweite Druckmesskammer 31 unterteilt.In the main body 1 is a recess 23 provided in which a differential pressure sensor 25 is arranged, which is a pressure-sensitive measuring diaphragm 27 having. According to the invention, the differential pressure sensor 25 such in the recess 23 arranged that the measuring diaphragm 27 lies in a plane that runs perpendicular to the planes in which the separation membrane 3 and 9 lie. The recess 23 is through the measuring membrane 27 in one with the first overload chamber 15 connected first pressure measuring chamber 29 and one with the second overload chamber 19 connected second pressure measuring chamber 31 divided.

Der Differenzdrucksensor 25 ist vorzugsweise einer der eingangs beschriebenen Halbleiter-Sensoren, z.B. ein Differenzdrucksensor 25 mit einem Silizium-Chip mit eindotierten Widerstandselementen, die als druckempfindliche Elemente dienen. Der in 1 dargestellte Differenzdrucksensor 25 weist einen scheibenförmigen Sockel 33 auf, auf dem ein zylindrischer Messmembranträger 35 montiert ist. Die Messmembran 27 ist mit einem äußeren ringscheibenförmigen Rand fest mit einer formgleichen vom Sockel 33 abgewandten Stirnfläche des Messmembranträgers 35 verbunden.The differential pressure sensor 25 is preferably one of the semiconductor sensors described above, for example a differential pressure sensor 25 with a silicon chip with doped resistive elements serving as pressure-sensitive elements. The in 1 illustrated differential pressure sensor 25 has a disc-shaped base 33 on, on which a cylindrical measuring membrane carrier 35 is mounted. The measuring membrane 27 is fixed with an outer annular disc-shaped edge with a matching shape of the base 33 remote end face of the diaphragm support 35 connected.

Die Ausnehmung 23 für den Differenzdrucksensor 25 mündet in einer senkrecht zur Ebene der Trennmembranen 3 und 9 verlaufenden Außenwand des Grundkörpers 1. Der Differenzdrucksensor 25 ist von außen in diese Ausnehmung 23 einsetzbar. Dabei wird der der Sockel 33 fest mit einem Boden 37 der Ausnehmung 23 verbunden, der ebenfalls senkrecht zur Ebene der Trennmembranen 3, 9 verläuft. Je nach Material und Beschaffenheit des Sockels 33 kann dieser z.B. mittels einer Kondensatorimpulsschweißung mit dem Boden 37 verbunden sein. Der Außendurchmesser des Differenzdrucksensors 25 ist geringer als ein Innendurchmesser der Ausnehmung 23, so dass der Differenzdrucksensor 31 außen von einem hohlzylindrischen Spalt umgeben ist, der Teil der ersten Druckmesskammer 29 ist.The recess 23 for the differential pressure sensor 25 opens in a direction perpendicular to the plane of the separation membranes 3 and 9 extending outer wall of the body 1 , The differential pressure sensor 25 is from outside into this recess 23 used. It will be the pedestal 33 stuck with a floor 37 the recess 23 connected, which is also perpendicular to the plane of the separation membranes 3 . 9 runs. Depending on the material and condition of the base 33 this can be done eg by means of a capacitor pulse welding with the Bo the 37 be connected. The outside diameter of the differential pressure sensor 25 is smaller than an inner diameter of the recess 23 so that the differential pressure sensor 31 surrounded by a hollow cylindrical gap, the part of the first pressure measuring chamber 29 is.

Nach dem Einbau des Differenzdrucksensors 25 wird die Ausnehmung 23 nach außen durch einen in deren Mündung eingesetzten Verschluss 39 abgeschlossen. Als Verschluss 39 eignet sich z.B. eine metallische Platte oder ein metallischer Zylinder, der beispielsweise in die Mündung der Ausnehmung 23 eingeschweißt wird. Der Verschluss 39 ist von der Messmembran 27 derart beabstandet, dass zwischen Verschluss 39 und der Messmembran 27 ein Hohlraum verbleibt, der ebenfalls Teil der ersten Druckmesskammer 29 ist, und zusammen mit dem den Differenzdrucksensor 25 umgebenden hohlzylindrischen Spalt die erste Druckmesskammer 29 bildet. Diese Art des Einbaus bietet den Vorteil, dass der Differenzdrucksensor 25 innerhalb der Ausnehmung 23 hermetisch von der Außenwelt abgeschlossen ist. Der Einfluss von Kondensat und/oder Feuchtigkeit auf den Differenzdrucksensor 25, insb. auf dessen Fügestellen, sowie dessen Befestigung, ist ausgeschlossen.After installation of the differential pressure sensor 25 becomes the recess 23 to the outside through a closure inserted in its mouth 39 completed. As a closure 39 For example, is a metallic plate or a metallic cylinder, for example, in the mouth of the recess 23 is welded. The closure 39 is from the measuring membrane 27 spaced so that between closure 39 and the measuring membrane 27 a cavity remains, which is also part of the first pressure measuring chamber 29 is, and together with the the differential pressure sensor 25 surrounding hollow cylindrical gap the first pressure measuring chamber 29 forms. This type of installation has the advantage that the differential pressure sensor 25 inside the recess 23 hermetically sealed from the outside world. The influence of condensate and / or moisture on the differential pressure sensor 25 , esp. On its joints, and its attachment is excluded.

Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass der Grundkörper 1 mit dem darin eingebauten Differenzdrucksensor 25 eine separat prüfbare mechanische Einheit bildet, deren elektrische und/oder mechanische Eigenschaften vorab werkseitig getestet werden können.Another advantage is that the main body 1 with the built-in differential pressure sensor 25 forms a separately testable mechanical unit, whose electrical and / or mechanical properties can be tested in advance factory.

Die erste Druckmesskammer 29 ist durch eine dritte Druckübertragungsleitung 41 mit der ersten Überlastkammer 15 verbunden. Diese besteht in einer in einer Seitenwand der Ausnehmung 23 mündenden geraden ausschließlich im Grundkörper 1 verlaufenden Bohrung, über die die erste Druckmesskammer 29 der ersten Überlastkammer 15 hydraulisch nachgeschaltet ist.The first pressure measuring chamber 29 is through a third pressure transmission line 41 with the first overload chamber 15 connected. This consists in a in a side wall of the recess 23 opening straight only in the main body 1 extending bore, over which the first pressure measuring chamber 29 the first overload chamber 15 is hydraulically connected downstream.

Ein durch den Sockel 33, den zylindrischer Messmembranträger 35 und die Messmembran 27 abgeschlossener Innenraum der Differenzdrucksensors 31 bildet die zweite Druckmesskammer 31, die durch die Messmembran 27 von der ersten Druckmesskammer 29 abgetrennt ist. Die zweite Druckmesskammer 31 ist über eine Bohrung 43 im Sockel 33 des Differenzdrucksensors 25 mit einer vierten Druckübertragungsleitung 45 verbunden, über die die zweite Druckmesskammer 31 der zweiten Überlastkammer 19 hydraulisch nachgeschaltet ist.A through the pedestal 33 , the cylindrical measuring membrane carrier 35 and the measuring membrane 27 enclosed interior of the differential pressure sensor 31 forms the second pressure measuring chamber 31 passing through the measuring diaphragm 27 from the first pressure measuring chamber 29 is separated. The second pressure measuring chamber 31 is over a hole 43 in the pedestal 33 of the differential pressure sensor 25 with a fourth pressure transmission line 45 connected via the second pressure measuring chamber 31 the second overload chamber 19 is hydraulically connected downstream.

Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist die vierte Druckübertragungsleitung 45 eine aus drei Teilstücken bestehende Leitung. Sie setzt sich zusammen aus einer im Grundkörper 1 verlaufenden geraden Bohrung 47, die von der Ausnehmung 23 senkrecht zur Ebene der Messmembran 27 ins Innere des Grundkörpers 1 führt, einer daran anschließenden geraden Bohrung 49, die parallel zur Ebene der Messmembran 27 in Richtung des Trägers 7 verläuft, und in einer von der ringscheibenförmigen. Überlastmembran 13 eingeschlossene Mitte des Grundkörpers 1 mündet, und einer im Träger 7 verlaufenden Nut 51, die von der zweiten Überlastkammer 19 in eine von der ringscheibenförmigen Überlastmembran 13 eingeschlossene Mitte des Trägers 7 führt und dort an die Bohrung 49 anschließt.In the illustrated embodiment, the fourth pressure transmission line 45 a line consisting of three sections. It is composed of one in the main body 1 running straight bore 47 that from the recess 23 perpendicular to the plane of the measuring membrane 27 inside the body 1 leads, an adjoining straight bore 49 parallel to the plane of the measuring membrane 27 in the direction of the carrier 7 runs, and in one of the annular disc-shaped. Overload diaphragm 13 enclosed center of the main body 1 flows, and one in the carrier 7 extending groove 51 that from the second overload chamber 19 in one of the annular disk overload membrane 13 trapped center of the vehicle 7 leads and there to the hole 49 followed.

Der elektrische Anschluss des Differenzdrucksensors 25 erfolgt über mindestens eine Anschlussleitung 53, 54. Hierfür ist im Grundkörper 1 mindestens eine gerade Bohrung 55, 56 vorgesehen, die von der Ausnehmung 23 seitlich aus dem Grundkörper 1 heraus führt, und in der die jeweilige Anschlussleitung 53, 54 des Differenzdrucksensors 25 verläuft. Die Verwendung derartiger Bohrungen 55, 56 für die elektrischen Anschlussleitungen 53, 54 bietet den Vorteil, dass sie sehr einfach und kostengünstig herstellbar sind. Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass deren räumliche Anordnung im Grundkörper 1 weitgehend frei wählbar ist. Insb. ist es hierdurch, wie in 1 dargestellt, möglich, kreuzende Leitungswege im Grundkörper 1 vorzusehen, bei denen sich die Bohrungen 55, 56 und die Druckübertragungsleitungen kreuzen, in dem die zugehörigen Einzelbohrungen räumlich senkrecht zur Zeichenebene hintereinander angeordnet werden. Bei dem in 1 dargestellten Ausführungsbeispiel kreuzt Bohrung 55 die erste Druckübertragungsleitung 17 und die Bohrung 56 kreuzt die erste und die vierte Druckübertragungsleitung 17, 45. Hierdurch wird eine sehr viel kompaktere geringe Abmessungen aufweisende Bauform erzielt.The electrical connection of the differential pressure sensor 25 via at least one connecting cable 53 . 54 , This is in the main body 1 at least one straight hole 55 . 56 provided by the recess 23 laterally out of the main body 1 leads out, and in which the respective connecting line 53 . 54 of the differential pressure sensor 25 runs. The use of such holes 55 . 56 for the electrical connection cables 53 . 54 offers the advantage that they are very easy and inexpensive to produce. Another advantage is that their spatial arrangement in the body 1 is largely freely selectable. Esp. is it by this, as in 1 shown, possible, crossing paths in the body 1 to provide, where the holes 55 . 56 and the pressure transmission lines intersect, in which the associated individual bores are arranged spatially perpendicular to the drawing plane one behind the other. At the in 1 illustrated embodiment crosses hole 55 the first pressure transmission line 17 and the hole 56 Crosses the first and fourth pressure transmission line 17 . 45 , As a result, a much more compact design having small dimensions is achieved.

Die vier Druckübertragungsleitungen 17, 19, 41, 45, die erste und die zweite Druckempfangskammer 5, 11, die erste und die zweite Überlastkammer 15, 19 und die erste und die zweite Druckmesskammer 29, 31 sind mit einer Druck übertragenden Flüssigkeit gefüllt. Die Flüssigkeit ist vorzugsweise eine inkompressible Flüssigkeit mit einem geringen thermischen Ausdehnungskoeffizienten, z.B. ein Silikonöl. Die Befüllung des Differenzdruckmessaufnehmers mit dieser Flüssigkeit erfolgt über zwei außenseitlich auf einer dem Verschluss 39 gegenüberliegend angeordnete Befüllöffnungen 57, 59. Die Befüllöffnung 57 ist über eine gerade senkrecht zur ersten Druckübertragungsleitung 17 im Grundkörper 1 verlaufende Bohrung 61 mit der ersten Druckübertragungsleitung 17 verbunden. Die Befüllöffnung 59 ist über eine gerade senkrecht zur Bohrung 49 im Grundkörper 1 verlaufende Bohrung 63 mit der vierten Druckübertragungsleitung 45 verbunden, die in der Bohrung 49 mündet. Die Befüllöffnungen 57, 59 werden im Anschluss an die Befüllung durch einen Verschluss, beispielsweise eine in die jeweilige Befüllöffnung 57, 59 mittels Presspassung eingesetzte metallische Kugel verschlossen.The four pressure transmission lines 17 . 19 . 41 . 45 , the first and the second pressure receiving chamber 5 . 11 , the first and the second overload chamber 15 . 19 and the first and second pressure measuring chambers 29 . 31 are filled with a pressure-transmitting liquid. The liquid is preferably an incompressible liquid with a low thermal expansion coefficient, for example a silicone oil. The filling of the differential pressure transducer with this liquid is carried out on two outside on one of the closure 39 opposite arranged filling openings 57 . 59 , The filling opening 57 is over a straight line perpendicular to the first pressure transmission line 17 in the main body 1 extending bore 61 with the first Pressure transmission line 17 connected. The filling opening 59 is over a straight line to the hole 49 in the main body 1 extending bore 63 with the fourth pressure transmission line 45 connected in the hole 49 empties. The filling openings 57 . 59 are following the filling by a closure, for example, one in the respective filling opening 57 . 59 closed by a press fit metallic ball.

Aufgrund der kompakten Bauform des erfindungsgemäßen Differenzdruckmessaufnehmers können kurze Druckübertragungsleitungen eingesetzt werden. Damit reduziert sich das mit einer Druck übertragenden Flüssigkeit zu befüllende Innenvolumen des Differenzdruckmessaufnehmers. Je geringer die erforderliche Flüssigkeitsmenge ist, umso geringer ist auch die Temperaturabhängigkeit des erzielbaren Messergebnisses. 1 Grundkörper 3 erste Trennmembran 5 erste Druckempfangskammer 7 Träger 9 zweite Trennmembran 11 zweite Druckempfangskammer 13 Überlastmembran 15 erste Überlastkammer 17 erste Druckübertragungsleitung 19 zweite Überlastkammer 21 zweite Druckübertragungsleitung 23 Ausnehmung 25 Differenzdrucksensor 27 Messmembran 29 erste Druckmesskammer 31 zweite Druckmesskammer 33 Sockel 35 zylindrischer Messmembranträger 37 Boden der Ausnehmung 39 Verschluss 41 dritte Druckübertragungsleitung 43 Bohrung im Sockel 45 vierte Druckübertragungsleitung 47 Bohrung 49 Bohrung 51 Nut 53 Anschlussleitung 54 Anschlussleitung 55 Bohrung 56 Bohrung 57 Befüllöffnung 59 Befüllöffnung 61 Bohrung 63 Bohrung Due to the compact design of the differential pressure measuring transducer according to the invention, short pressure transmission lines can be used. This reduces the inner volume of the differential pressure transducer to be filled with a pressure-transmitting liquid. The smaller the required amount of liquid, the lower the temperature dependence of the achievable measurement result. 1 body 3 first separation membrane 5 first pressure receiving chamber 7 carrier 9 second separation membrane 11 second pressure receiving chamber 13 Overload diaphragm 15 first overload chamber 17 first pressure transmission line 19 second overload chamber 21 second pressure transmission line 23 recess 25 Differential Pressure Sensor 27 measuring membrane 29 first pressure measuring chamber 31 second pressure measuring chamber 33 base 35 cylindrical measuring membrane carrier 37 Bottom of the recess 39 shutter 41 third pressure transmission line 43 Hole in the base 45 fourth pressure transmission line 47 drilling 49 drilling 51 groove 53 connecting cable 54 connecting cable 55 drilling 56 drilling 57 filling 59 filling 61 drilling 63 drilling

Claims

Differential pressure transducer with - a basic body ( 1 ), - one on the main body ( 1 ) arranged first separation membrane ( 3 ), - on the outside of which in measurement operation a first pressure (p1) acts, and - the one in the main body ( 1 ) integrated first pressure receiving chamber ( 5 ), - one on one of the first separation membrane ( 3 ) opposite outside of the body ( 3 ) applied carrier ( 7 ), - one on the support ( 7 ) parallel to the first separation membrane ( 3 ) arranged second separation membrane ( 9 ), - on the outside of which a second pressure (p2) acts in measuring mode, and - the one in the carrier ( 7 ) integrated second pressure receiving chamber ( 11 ), - one between the main body ( 1 ) and the carrier ( 7 ) clamped annular disc-shaped overload membrane ( 13 ), - at its first side one in the main body ( 1 ) integrated by the overload membrane ( 13 ) completed first overload chamber ( 15 ), which - via a first pressure transmission line ( 17 ) with the first pressure receiving chamber ( 5 ), - on the second side of which in the carrier ( 7 ) integrated by the overload membrane ( 13 ) completed second overload chamber ( 19 ), which - via a second pressure transmission line ( 21 ) with the second pressure receiving chamber ( 11 ), and - in a recess ( 23 ) in the main body ( 1 ) arranged differential pressure sensor ( 25 ), - a pressure-sensitive measuring membrane ( 27 ) which lies in a plane perpendicular to the planes in which the separation membranes ( 3 . 9 ), and - the recess ( 23 ) into one with the first overload chamber ( 15 ) connected first pressure measuring chamber ( 29 ) and one with the second overload chamber ( 19 ) connected second pressure measuring chamber ( 31 ).

Differential pressure transducer according to claim 1, wherein - the recess ( 23 ) for the differential pressure sensor ( 25 ) in a direction perpendicular to the plane of the separation membranes ( 3 . 9 ) extending outer wall of the body ( 1 ), through which the differential pressure sensor ( 25 ) in the recess ( 23 ), and - the recess ( 23 ) outwardly from a closure inserted in its mouth ( 39 ) is completed.

Differential pressure transducer according to claim 1, wherein in the base body ( 1 ) at least one straight bore ( 55 . 56 ) is provided, - that of the recess ( 23 ) from the main body ( 1 ), and - in the at least one connecting line ( 53 . 54 ) of the differential pressure sensor ( 25 ) runs.

Differential pressure transducer according to claim 1, wherein the first pressure transmission line ( 17 ), which is the first pressure receiving chamber ( 5 ) with the first overload chamber ( 15 ) connects one through the main body ( 1 ) is passing straight bore.

Differential pressure transducer according to claim 1, wherein the second pressure transmission line ( 21 ), the second pressure receiving chamber ( 11 ) with the second overload chamber ( 19 ), one by the wearer ( 7 ) is passing straight bore.

Differential pressure transducer according to claim 1, wherein the first pressure measuring chamber ( 29 ) with the first overload chamber ( 15 ) by a third pressure transmission line ( 41 ), the third pressure transmission line ( 41 ) one just in the main body ( 1 ) extending bore is connected.

Differential pressure transducer according to claim 1, wherein the second pressure measuring chamber ( 31 ) with the second overload chamber ( 19 ) by fourth pressure transmission line ( 45 ), which is composed of - one in the main body ( 1 ) running straight bore ( 47 ), which from the recess ( 23 ) perpendicular to the plane of the measuring membrane ( 27 ) into the interior of the basic body ( 1 ), - an adjoining straight bore ( 49 ) parallel to the plane of the measuring membrane ( 27 ) in the direction of the carrier ( 7 ), and in one of the annular disk-shaped overload membrane ( 13 ) enclosed center of the body ( 1 ), and - one in the carrier ( 7 ) groove ( 51 ) coming from the second overload chamber ( 19 ) in one of the ringschei benförmigen overload membrane ( 13 ) included center of the carrier ( 7 ) leads.