DE102006050421B4

DE102006050421B4 - Optical filter arrangement

Info

Publication number: DE102006050421B4
Application number: DE200610050421
Authority: DE
Inventors: Heiko Reinsch
Original assignee: Bundesrepublik Deutschland; Bundesministerium fuer Wirtschaft und Technologie
Current assignee: Bundesrepublik Deutschland; Bundesministerium fuer Wirtschaft und Technologie
Priority date: 2006-10-20
Filing date: 2006-10-20
Publication date: 2010-11-25
Anticipated expiration: 2026-10-21
Also published as: DE102006050421A1

Abstract

Optische Filteranordnung zum Selektieren einer Mehrzahl unterschiedlicher Wellenlängen eines elektromagnetischen Spektrums mit einer Mehrzahl schmalbandiger Linienfilter (2), die derart angeordnet sind, dass sie sich in ein kleines Volumenelement hineinerstrecken, das um einen gemeinsamen Punkt (4) gelegt ist, so dass eine gemeinsame Beleuchtung von Teilbereichen der Mehrzahl der Linienfilter mit einem einzigen Lichtstrahl ermöglicht wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Linienfilter eine spektrale Breite von höchstens 2 nm haben.An optical filter arrangement for selecting a plurality of different wavelengths of an electromagnetic spectrum having a plurality of narrow-band line filters (2) arranged so as to extend into a small volume element placed around a common point (4) so that a common illumination of subareas of the plurality of line filters with a single light beam, characterized in that the line filters have a spectral width of at most 2 nm.

Description

Die Erfindung betrifft eine optische Filteranordnung zum Selektieren einer Mehrzahl unterschiedlicher Wellenlängen elektromagnetischer Strahlung.The The invention relates to an optical filter arrangement for selecting a plurality of different wavelengths of electromagnetic radiation.

Optische Filter werden zur Selektion einzelner Wellenlängen aus einem Spektrum verwendet. Unter einer einzelnen Wellenlänge ist diejenige Wellenlänge zu verstehen, die innerhalb einer Spektrallinie mit einer spektralen Breite die maximale Intensität aufweist. Die wellenlängenselektive Eigenschaft erhält das optische Filter durch geeignete transparente Materialen, die ein hohes, schmalbandiges Transmissionsvermögen bei der zu selektierenden Wellenlänge und ein großes Absorptionsvermögen bei anderen Wellenlängen aufweist. Es sind optische Filter bzw. Filteranordnungen bekannt, mit denen unterschiedliche selektiert Wellenlängen selektiert werden können, beispielsweise aus der US 5,073,008 A oder der US 3,442,572 A .Optical filters are used to select individual wavelengths from a spectrum. A single wavelength is to be understood as the wavelength which has the maximum intensity within a spectral line with a spectral width. The wavelength-selective property is provided to the optical filter by suitable transparent materials having a high, narrow-band transmittance at the wavelength to be selected and a high absorbance at other wavelengths. There are optical filters or filter arrangements are known with which different selected wavelengths can be selected, for example from the US 5,073,008 A or the US 3,442,572 A ,

Aus der EP 0 091 535 A1 ist ein Spektrofotometer bekannt, das eine Kalibriervorrichtung umfasst. Das Spektrofotometer umfasst einen Monochromator. Monochromatoren dienen ebenfalls der Selektion einzelner Wellenlängen aus einem Spektrum. Bekannte Monochromatoren für elektromagnetische Strahlung im sichtbaren Wellenlängenbereich und den angrenzenden ultravioletten und infraroten Wellen längenbereichen verwenden dispergierende Elemente, wie zum Beispiel Prismen, oder optische Gitter, um die Wellenlängen voneinander zu trennen. Die Einstellung der zu selektierenden Wellenlänge erfolgt über ein Drehen der dispergierende Elemente oder Gitter um eine geeignete Achse gedreht. Aus der Winkelstellung in Bezug auf den Ausgang des Monochromators kann auf die selektierte Wellenlänge geschlossen werden. Die eingestellte Wellenlänge wird an einer Anzeige abgelesen.From the EP 0 091 535 A1 a spectrophotometer is known which comprises a calibration device. The spectrophotometer comprises a monochromator. Monochromators also serve to select single wavelengths from a spectrum. Known monochromators for electromagnetic radiation in the visible wavelength range and the adjacent ultraviolet and infrared wavelength ranges use dispersing elements, such as prisms, or optical gratings to separate the wavelengths from each other. The adjustment of the wavelength to be selected is carried out by rotating the dispersing elements or grating about a suitable axis. From the angular position with respect to the output of the monochromator can be closed to the selected wavelength. The set wavelength is read on a display.

Es gibt Anwendungen für Monochromatoren, bei denen die genaue Kenntnis der selektierten Wellenlänge erforderlich ist. Dies ist beispielsweise bei Transmissionsmessungen optischer Geräte, wie etwa Ferngläsern, der Fall. Da die tatsächlich selektierte Wellenlänge von der am Monochromator angezeigten Wellenlänge abweichen kann, ist der Monochromator vor einer Messung zu kalibrieren.It are applications for Monochromators where the exact knowledge of the selected wavelength is required. This is for example in transmission measurements optical devices, like binoculars, the case. Because the actual selected wavelength may differ from the wavelength displayed on the monochromator is the Calibrate monochromator before a measurement.

Eine Möglichkeit der Kalibrierung eines Monochromators besteht darin, eine Spektrallampe mit genau definierter Wellenlängenemission auf den Eingang des Monochromators abzubilden. Daraufhin wird die Einstellung der Wellenlänge am Monochromators so lange verändert, bis sich an seinem Ausgang ein Intensitätsmaximum messen lässt. Aus der Differenz zwischen der am Monochromator eingestellten Wellenlänge und der von der Spektrallampe emittierten Wellenlänge, die sehr genau bekannt ist, lässt sich ein Korrekturwert für die am Monochromator abgelesene Wellenlänge bestimmen.A possibility The calibration of a monochromator is to use a spectral lamp with precisely defined wavelength emission to represent the entrance of the monochromator. Then the Setting the wavelength changed at monochromator so long until an intensity maximum can be measured at its output. Out the difference between the wavelength set on the monochromator and the wavelength emitted by the spectral lamp, the very well known is, lets a correction value for determine the wavelength read at the monochromator.

In praktischen Anwendungen, bei denen über einen größeren Spektralbereich Messungen durchgeführt werden müssen, sind Korrekturwerte für mehrere Wellenlängen zu ermitteln. Jeder Korrekturwert erfordert dabei eine separate Spektrallampe, die die entsprechende Wellenlänge emittiert.In practical applications where over a wider spectral range Measurements performed Need to become, are correction values for several wavelengths to investigate. Each correction value requires a separate one Spectral lamp emitting the appropriate wavelength.

Der Einsatz von Spektrallampen ist mit hohen Kosten verbunden. Spektrallampen sind kostspielig in der Anschaffung und haben eine kurze Betriebsdauer von etwa 500 h. Zudem benötigen Spektrallampen spezielle Netzteile.Of the Use of spectral lamps is associated with high costs. Spectral are expensive to buy and have a short life from about 500 h. In addition need Spectral lamps special power supplies.

Das Kalibrieren des Monochromators mittels mehrerer Spektrallampen ist zudem aufwendig. Zunächst muss der Faden der Spektrallampe sehr genau auf den Eingang des Monochromators abgebildet werden. Hierzu ist ein nicht unerheblicher Jus tage- und Abbildungsaufwand erforderlich. Sodann ist für jede Spektrallampe ein vollständiges Spektrum aufzunehmen.The Calibrating the monochromator by means of several spectral lamps is also elaborate. First the thread of the spectral lamp must be very precisely at the input of the Monochromators be imaged. This is a not inconsiderable Jus days and imaging effort required. Then for every spectral lamp a complete one Spectrum.

Der Einsatz von Spektrallampen erfordert zudem den Umbau der gesamten Messanordnung, da sowohl die Lichtquelle als auch der Prüfling aus der Messanordnung ausgebaut werden müssen. Dies führt zu einer Dejustage des gesamten Strahlengangs. Nach der Kalibrierung ist eine erneute Justage der Messanordnung erforderlich, die zeitaufwendig ist.Of the Use of spectral lamps also requires the conversion of the entire Measuring arrangement, since both the light source and the DUT from the Measuring arrangement must be removed. This leads to a misalignment of the entire beam path. After calibration a re-adjustment of the measuring arrangement is required, which is time consuming is.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine einfache und kostengünstige optische Filteranordnung bereitzustellen, mit der sich gleichzeitig mehrere Wellenlängen selektieren lassen.task Therefore, it is the object of the present invention to provide a simple and inexpensive optical To provide a filter arrangement, with the same time several wavelength let select.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine optische Filteranordnung gemäß Anspruch 1 und deren Verwendung in eine Messanordnung zur Durchführung eines Kalibrierverfahrens.The The object is achieved by an optical filter assembly according to claim 1 and its use in a measuring arrangement for implementation a calibration procedure.

Unter einem Volumenelement wird sowohl ein zweidimensionales als auch ein dreidimensionales Volumenelement verstanden. „Klein” bedeutet, dass die Ausdehnung des Volumenelements wesentlich geringer ist als die Ausdehnung der optischen Filteranordnung. Bei dem Volumenelement handelt es sich nicht um einen körperlichen Gegenstand. Mit dem Volumenelement soll vielmehr zum Ausdruck gebracht werden, dass sich sämtliche Linienfilter um einen gemeinsamen Punkt herum hinreichend nahe kommen, um eine gemeinsame Beleuchtung mit einem einzigen Lichtstrahl zu ermöglichen.Under a volume element becomes both a two-dimensional and a understood a three-dimensional volume element. "Small" means that the expansion of the volume element is much lower than that Extension of the optical filter arrangement. At the volume element it is not a physical one Object. With the volume element should rather expressed be that all Line filter around a common point around sufficiently close, to provide a common lighting with a single beam of light enable.

Durch das Hineinerstrecken der Linienfilter in das um den gemeinsamen Punkt gebildete Volumenelement ist es möglich, einen Lichtstrahl auf einem Bereich um die sen gemeinsamen Punkt abzubilden, sodass sich sämtliche Wellenlängen gleichzeitig selektieren lassen.By extending the line filter into the volume formed around the common point element, it is possible to image a light beam on an area around the common point, so that all wavelengths can be selected simultaneously.

Mit der erfindungsgemäßen optischen Filteranordnung lässt sich die Kalibrierung wellenlängenselektiver optischer Geräte, beispielsweise Monochromatoren, mit einer einzigen Lichtquelle durchführen, die ein breitbandiges Spektrum emittiert. Eine geeignete Lichtquelle für den optischen Spektralbereich ist eine Weißlichtquelle. Teure Spektrallampen und die erneute Justage der Messanordnung nach der Kalibrierung entfallen. Aufgrund dieser kostengünstigen passiven Kalibriermöglichkeit ist die erfindungsgemäße optische Filteranordnung besonders für eine Verwendung in der Industrie geeignet, beispielsweise im Rahmen der Warenrückführung oder Qualitätskontrolle optischer Geräte.With the optical inventive Filter arrangement leaves the calibration is wavelength-selective optical devices, For example, perform monochromators with a single light source, the emitted a broadband spectrum. A suitable light source for the Optical spectral range is a white light source. Expensive spectral lamps and the re-adjustment of the measuring assembly after calibration omitted. Because of this cost-effective passive calibration option is the optical according to the invention Filter arrangement especially for a use in the industry suitable, for example in the context the return of goods or quality control optical devices.

Eine besonders einfache Ausführungsform erhält die optische Filteranordnung, wenn die optische Filteranordnung als Kreisfläche und die Linienfilter als Kreissegmente ausgebildet sind. Die Kreissegmente sind vorzugsweise zueinander kongruent ausgebildet.A Particularly simple embodiment receives the optical Filter arrangement, when the optical filter arrangement as a circular area and the line filter are formed as circle segments. The circle segments are preferably formed congruent to each other.

Die erfindungsgemäße optische Filteranordnung lässt sich einfach und kostengünstig herstellen, wenn Interferenzfilter als Linienfilter verwendet werden.The according to the invention optical Filter arrangement leaves easy and inexpensive when interference filters are used as line filters.

Für Messungen im optischen Spektralbereich sind die unterschiedlichen Wellenlängen der Linienfilter vorzugsweise in einem Wellenlängenbereich von 400 nm bis 800 nm vorgesehen. Vorzugsweise liegen die Linien im Wesentlichen gleichmäßig verteilt in dem zu untersuchenden Wellenlängenbereich. Der zu untersuchende Wellenlängenbereich kann auch im ultravioletten und infraroten Spektralbereich liegen oder diese zumindest teilweise umfassen.For measurements in the optical spectral range, the different wavelengths are the Line filter preferably in a wavelength range of 400 nm to 800 nm provided. Preferably, the lines are substantially equally distributed in the wavelength range to be examined. The wavelength range to be examined can also in the ultraviolet and infrared spectral range or at least partially.

In einer bevorzugten Ausführungsform sind sechs oder sieben Linienfilter vorgesehen, mit denen sich sechs bzw. sieben Korrekturwerte ermitteln lassen. Für den optischen Spektralbereich hat sich diese Anzahl an Korrekturwerten bewährt.In a preferred embodiment Six or seven line filters are provided, which are six or seven correction values. For the optical spectral range this number of correction values has proven itself.

Für viele praktische Anwendungen ausreichend genaue Korrekturwerte lassen sich ermitteln, wenn die spektralen Breiten der unterschiedlichen Wellenlängen der Linienfilter, höchstens 2 nm betragen. Selbstverständlich können auch Linienfilter mit anderen spektralen Breiten verwendet werden, beispielsweise mit spektralen Breiten von höchstens 3 nm, 4 nm oder 5 nm.For many practical applications allow sufficiently accurate correction values determine when the spectral widths of the different wavelengths of the Line filter, at most 2 nm. Of course can Line filters with other spectral widths are also used for example, with spectral widths of at most 3 nm, 4 nm or 5 nm.

Durch das wenigstens teilweise gleichzeitige Beleuchten sämtlicher Linienfilter werden gleichzeitig mehrere Wellenlängen für die Kalibrierung bereitgestellt. Damit lässt sich das wellenlängenselektive optische Gerät (beispielsweise ein Monochromator) ohne Neujustage der für die Kalibrierung verwendeten Messanordnung kalibrieren.By the at least partially simultaneous illumination of all Line filters are simultaneously provided with multiple wavelengths for calibration. Leave it itself the wavelength selective optical device (For example, a monochromator) without readjusting the for the calibration calibrate the measurement setup used.

Als Lichtquelle für den optischen und ultravioletten Spektralbereich lassen sich Halogenlichtquellen vorteilhaft einsetzen. Sie verfügen über ein kontinuierliches Spektrum im optischen Spektralbereich.When Light source for The optical and ultraviolet spectral range can be halogen light sources advantageous use. You have one continuous spectrum in the optical spectral range.

In einer Ausführungsform ist das wellenlängenselektive Gerät ein Monochromator oder ein Spektrometer.In an embodiment is the wavelength selective Device Monochromator or a spectrometer.

Zweckmäßig wird das Licht im Wesentlichen zentrisch auf den gemeinsamen Punkt der optischen Filteranordnung abgebildet, um eine gleichmäßige Beleuchtung der einzelnen Linienfilter zu erzielen. Der von dem Licht gebildete Lichtstrahl kann variable Durchmesser haben, um ih an die optische Filteranordnung anzupassen.It is useful the light is essentially centered on the common point of the light optical filter arrangement imaged to provide uniform illumination to achieve the individual line filter. The one formed by the light Light beam can have variable diameters in order to ih to the optical Adapt filter arrangement.

Das erfindungsgemäße Kalibrierverfahren kann sowohl in transmissiver als auch in reflexiver Anordnung durchgeführt werden. Bei der transmissiven Anordnung wird das durch die optische Filteranordnung hindurchgehende Licht untersucht. Bei der reflexiven Anordnung wird das von der optischen Filteranordnung reflektierte Licht untersucht. Durch diese unterschiedlichen Anordnungen lässt sich das Kalibrierverfahren beispielsweise an unterschiedliche räumliche Gegebenheiten anpassen.The Calibration method according to the invention can be carried out both in a transmissive and in a reflexive arrangement. In the transmissive arrangement, this is accomplished by the optical filter arrangement examining light passing through. In the reflexive arrangement is examined the reflected light from the optical filter assembly. By these different arrangements, the calibration can be for example, to adapt to different spatial conditions.

Die Erfindung wird anhand der in den folgenden Figuren dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigen:The Invention is illustrated by the in the following figures embodiments explained in more detail. It demonstrate:

1 – eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen optischen Filteranordnung und 1 - An embodiment of the optical filter arrangement according to the invention and

2 – den schematischen Aufbau einer Messanordnung zur Kalibrierung eines wellenlängenselektiven optischen Geräts. 2 - The schematic structure of a measuring arrangement for calibrating a wavelength-selective optical device.

1 zeigt eine erfindungsgemäße optische Filteranordnung 1. Die optische Filteranordnung 1 ist kreisförmig ausgebildet und weist 6 Linienfilter 2 auf. Die Linienfilter 2 sind als kongruente Kreissegmente ausgebildet und überdecken die gesamte Kreisfläche der optischen Filteranordnung 1. Die Linienfilter 2 erstrecken sich von einem Kreisumfang 3 bis zum Kreismittelpunkt 4 der optischen Filteranordnung 1. Am Kreismittelpunkt 4 spannt jedes Linienfilter 2 durch begrenzende radiale Kanten 5 einen Mittelpunktswinkel α von 60° auf. Der Kreismittelpunkt 4 bildet einen gemeinsamen Punkt, an dem alle 6 Linienfilter 2 anliegen. 1 shows an inventive optical filter assembly 1 , The optical filter arrangement 1 is circular and has 6 line filters 2 on. The line filter 2 are formed as congruent circle segments and cover the entire circular area of the optical filter assembly 1 , The line filter 2 extend from a circumference 3 to the center of the circle 4 the optical filter arrangement 1 , At the district center 4 spans every line filter 2 by limiting radial edges 5 a midpoint angle α of 60 °. The center of the circle 4 forms a common point where all 6 line filters 2 issue.

Der Kreisumfang 3 ist als Rahmen ausgebildet, an dem die Linienfilter 2 befestigt sind. Die Linienfilter 2 können in diesem Rahmen beispielsweise eingeklemmt und/oder eingeklebt sein. Damit die Linienfilter 2 in dem Rahmen verklemmt werden können, weist dieser vorzugsweise einen im Wesentlichen U-förmigen Querschnitt auf. Es ist jedoch auch möglich, dass der Rahmen als Ring ausgestaltet ist, an dem die Linienfilter 2 geklebt sind.The circumference 3 is designed as a frame det, on which the line filter 2 are attached. The line filter 2 can be clamped and / or glued in this context, for example. So the line filter 2 may be jammed in the frame, this preferably has a substantially U-shaped cross section. However, it is also possible that the frame is designed as a ring on which the line filter 2 are glued.

Die Linienfilter 2 sind an den radialen Linien 5 in geeigneter Weise miteinander verbunden, beispielsweise verklebt.The line filter 2 are at the radial lines 5 suitably connected to each other, for example glued.

Das optische Filter 1 ist zum Kalibieren eines Monochromators 7 im optischen Spektralbereich von etwa 380 nm bis etwa 780 nm ausgebildet. Hierzu sind die Linienfilter 2 aus geeigneten Materialien hergestellt, die jeweils eine schmalbandige Spektrallinie aufweisen. Um eine aussagekräftige Korrekturliste für die Wellenlängenbestimmung des Monochromators zu erhalten, liegen die Linien im Wesentlichen gleichmä ßig verteilt im Messbereich, beispielsweise je eine Linie im Bereich von 380 nm bis 446 nm, 447 nm bis 513 nm, 514 nm bis 580 nm, 581 nm bis 647 nm, 648 nm bis 714 nm und 715 nm bis 780 nm.The optical filter 1 is for calibrating a monochromator 7 formed in the optical spectral range from about 380 nm to about 780 nm. These are the line filters 2 made of suitable materials, each having a narrow band spectral line. In order to obtain a meaningful correction list for the wavelength determination of the monochromator, the lines lie substantially uniformly distributed in the measuring range, for example one line in the range from 380 nm to 446 nm, 447 nm to 513 nm, 514 nm to 580 nm, 581 nm to 647 nm, 648 nm to 714 nm and 715 nm to 780 nm.

In 2 ist eine Messanordnung 6 zum Kalibrieren eines Monochromators 7 dargestellt.In 2 is a measuring arrangement 6 to calibrate a monochromator 7 shown.

Die Messanordnung 6 weist eine optische Achse 8 auf. Entlang der optischen Achse 8 ist eine Weißlichtquelle 9, hier eine stromstabilisierte Halogenlampe, angeordnet. Die Weißlichtquelle 9 emittiert Licht 10 mit einem im Wesentlichen kontinuierlichen Spektrum im optischen Spektralbereich. Das Licht 10 wird auf den Eingang 11 des Monochromators 7 abgebildet.The measuring arrangement 6 has an optical axis 8th on. Along the optical axis 8th is a white light source 9 , here a current-stabilized halogen lamp, arranged. The white light source 9 emits light 10 with a substantially continuous spectrum in the optical spectral range. The light 10 will be on the entrance 11 of the monochromator 7 displayed.

Der Monochromator 7 selektiert einzelne Wellenlängen mit Hilfe eines optischen Gitters (nicht dargestellt). Das optische Gitter wird mittels einer Einstellvorrichtung (nicht dargestellt) des Monochromators 7 verstellt und emittiert an seinem Ausgang 12 Licht 13 einer bestimmten Wellenlänge mit einem engen Spektralbereich um diese Wellenlänge. Auf einer Anzeige des Monochromators 7 kann die zu emittierende Wellenlänge abgelesen werden. Die angezeigte Wellenlänge kann von der in dem Licht 13 tatsächlich emittierten Wellenlänge abweichen.The monochromator 7 selects individual wavelengths using an optical grating (not shown). The optical grating is adjusted by means of an adjustment device (not shown) of the monochromator 7 adjusted and emitted at its exit 12 light 13 a certain wavelength with a narrow spectral range around this wavelength. On a display of monochromator 7 the wavelength to be emitted can be read off. The displayed wavelength can be different from that in the light 13 actually emitted wavelength.

Ein geeigneter Kollimator 14, im vorliegenden Ausführungsbeispiel eine plankonvexe Sammellinse, erzeugt aus dem Licht 13 einen parallelen Strahl 15.A suitable collimator 14 , In the present embodiment, a plano-convex lens, generated from the light 13 a parallel beam 15 ,

Mit Hilfe einer Blende 16 wird ein paralleler Lichtstrahl 17 ausgeblendet, das um die optische Achse 8 eine axialsymmetrische Intensitätsverteilung aufweist, beispielsweise eine Gauß'sche Intensitätsverteilung.With the help of a screen 16 becomes a parallel beam of light 17 hidden, that around the optical axis 8th has an axially symmetric intensity distribution, for example, a Gaussian intensity distribution.

Der parallele Lichtstrahl 17 durchläuft eine erfindungsgemäße optische Filteranordnung 18, die entsprechend der optischen Filteranordnung 1 aus 1 ausgebildet ist. Der gemeinsame Punkt der optischen Filteranordnung 18 liegt auf der optischen Achse 8. Der parallele Lichtstrahl 17 bestrahlt jedes Linienfilter der optischen Filteranordnung 18 mit der gleichen Intensität. In dem transmittierten Lichtstrahl 19 kön nen nur noch die von den Linienfiltern selektierten Wellenlängen mit ausreichender Intensität enthalten sein.The parallel light beam 17 passes through an optical filter arrangement according to the invention 18 , which correspond to the optical filter arrangement 1 out 1 is trained. The common point of the optical filter arrangement 18 lies on the optical axis 8th , The parallel light beam 17 Irrades each line filter of the optical filter assembly 18 with the same intensity. In the transmitted light beam 19 Only the wavelengths selected by the line filters can be contained with sufficient intensity.

Die Intensität des Lichtstrahls 19 wird mit einer geeigneten Lichtmesseinrichtung 20 gemessen, die vorliegend eine Ulbricht-Kugel ausweist.The intensity of the light beam 19 is using a suitable light meter 20 measured in this case identifies an Ulbricht sphere.

Zum Kalibrieren wird die Einstellvorrichtung des Monochromators 7 über den gesamten Messbereich verstellt. Wenn das Licht 13 des Ausgangs 12 des Monochromators 7 eine Wellenlänge aufweist, die mit einer durch die Linienfilter definierten Wellenlänge übereinstimmt, zeigt die Lichtmesseinrichtung 20 eine deutlich höherer Intensität an, als wenn die von dem Monochromator 7 durchgelassene Wellenlänge mit keiner der durch die Linienfilter definierten Wellenlängen übereinstimmt. Wird eine maximale Intensität angezeigt, wird die entsprechende Wellenlänge des Linienfilters mit der an dem Monochromator 7 eingestellten Wellenlängen verglichen. Aus der Differenz ergibt sich ein Korrekturwert für die an dem Monochromator 7 eingestellte Wellenlänge. Dieser Vorgang lässt sich für die unterschiedlichen Linien der Linienfilter durchführen.For calibration, the monochromator setting device 7 adjusted over the entire measuring range. When the light 13 of the exit 12 of the monochromator 7 has a wavelength which coincides with a wavelength defined by the line filter, the light measuring device 20 a significantly higher intensity than when that of the monochromator 7 transmitted wavelength does not coincide with any of the wavelengths defined by the line filters. When a maximum intensity is displayed, the corresponding wavelength of the line filter will match that on the monochromator 7 set wavelengths compared. The difference results in a correction value for the one at the monochromator 7 set wavelength. This process can be carried out for the different lines of the line filters.

Claims

Optical filter arrangement for selecting a plurality of different wavelengths of an electromagnetic spectrum with a plurality of narrow band line filters ( 2 ), which are arranged so that they extend into a small volume element, which is around a common point ( 4 ), so that a common illumination of partial areas of the plurality of line filters with a single light beam is made possible, characterized in that the line filters have a spectral width of at most 2 nm.

Optical filter arrangement according to claim 1, characterized in that the optical filter arrangement ( 1 . 18 ) as a circular area and the line filter ( 2 ) are formed as circle segments.

Optical filter arrangement according to claim 2, characterized in that the line filters ( 2 ) are formed as congruent circle segments.

Optical filter arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that the line filters ( 2 ) Are interference filters.

Optical filter arrangement according to one of the preceding Claims, characterized in that the different wavelengths in a wavelength range from 400 nm to 800 nm are provided.

Optical filter arrangement according to claim 5, characterized characterized in that the wavelengths in the wavelength range distributed substantially evenly are.

Optical filter arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that six or seven line filters ( 2 ) are provided.

Use of an optical filter arrangement ( 1 . 18 ) according to one of claims 1 to 7 in a measuring arrangement for carrying out a calibration method for a wavelength-selective optical device ( 7 ).

Use according to claim 8, characterized in that the wavelength-selective device ( 7 ) is a monochromator or a spectrometer.