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Die
Erfindung bezieht sich auf ein Laserscanning-Mikroskopie-Verfahren
zur Analyse des Bleichverhaltens einer fluoreszierenden Probe, bei dem
auf die Probe in einem Probenbereich durch Einstrahlung von Beleuchtungsstrahlung
bestimmter Intensität
eingewirkt wird und durch Abtasten eines des Probenbereiches beinhaltenden
Probengebietes die Reaktion der Probe auf diese Einwirkung erfaßt wird.
Die Erfindung bezieht sich weiter auf ein Laserscanning-Mikroskop sowie ein
Computerprogrammprodukt für
ein computergesteuertes Laserscanning-Mikroskop zur Ausführung des genannten Verfahrens.
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Laserscanning-Mikroskope
sind im Stand der Technik bekannt. Hierzu wird beispielsweise auf die
DE 19702753 A1 oder
die
DE 10257237 A1 verwiesen,
die beide ein als Laserscanning-Mikroskop ausgebildetes
Lichtrastermikroskop beschreiben. In diesem Zusammenhang sei angemerkt,
daß hier
unter dem Begriff „Licht" der gesamte, den
optischen Gesetzen gehorchende Bereich der elektromagnetischen Strahlung
verstanden wird.
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Lichtrastermikroskope
bzw. Laserscanning-Mikroskope gewinnen ein Objektbild üblicherweise
durch Abrastern des Objektes mit einer Spot- oder Multispotanordnung.
Die in den Spot- oder Multispotbereichen aufgenommene Strahlung
wird mit möglichst
hoher Tiefenauflösung
so detektiert, daß keine
Struktur des Spots oder des Multispots aufgelöst wird, beispielsweise durch
eine sogenannte konfokale Detektion. Ein Verschieben des Spot- oder Multispotbereiches über das
Objekt liefert dann das Bild. Am Detektor liegt somit immer nur
Strahlungsinformation zum jeweiligen Spot- bzw. Multispotbereich vor,
und ein elektronisches Zusammenfügen
dieser Bildinformation zu den einzelnen Punkten des Bildes (entsprechend
den Spot/Multispotbereichen) unter Berücksichtigung der Verschiebung
der Spot- oder Multispotbereiche führt zum gewünschten Bild. Konfokale Detektion
ist dabei eine übliche
Möglichkeit, eine
sehr hohe Tiefenauflösung
zu erreichen. Die Signalauswertung ist dann im wesentlichen auf
die Fokalebene eingeschränkt,
da außerhalb
der Fokalebene liegende Bereiche keine wesentliche Signalinformation
bei der konfokalen Detektion liefern; sie werden vor oder hinter
die konfokale Blende abgebildet.
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Zur
Aufnahme des Bildes ist es bei einem Laserscanning-Mikroskop also
bedeutsam, den auf einen Punkt (Spot) oder Punktgruppe (Multispot)
fokussierten Lichtstrahl über
das Objekt abzulenken. Es ist bekannt, dazu eine Scaneinrichtung
zu verwenden, die den Strahl zweiachsig ablenkt. Gebräuchlich
sind Scaneinrichtungen, die zwei Scanelemente haben, welche den
Strahl jeweils einachsig einstellbar ablenken. Beispiele für Scanelemente,
die bei Lichtrastermikroskopen verwendet werden, sind Galvanometerspiegel
oder akustisch optische Modulatoren. Die Ablenkung mit den beiden
Scanelementen erfolgt günstigerweise
um orthogonal zueinander liegende Achsen. Bezogen auf das aufgenommene Bild
spricht man deshalb davon, daß ein
Scanelement die Ablenkung in Zeilenrichtung, das andere Element
in der senkrecht dazu liegenden Bild-Richtung (denkbar wäre auch
die Bezeichnung „Spaltenrichtung") bewirkt.
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Laserscanning-Mikroskope
eignen sich besonders zur Analyse der Fluoreszenzeigenschaften von
Proben, insbesondere biologischer Proben. Hierbei ist die Erfassung
dynamischer Prozesse von besonderem Interesse.
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Ein
bekanntes Verfahren zur Analyse dynamischer Vorgänge in einer Probe, beispielsweise
einem biologischen Material, ist das sogenannte FLIR-Verfahren (bitte
Bezeichnung überprüfen). Dabei
wird eine Probe in einem üblicherweise
möglichst punktförmigen Probenbereich
derart mit Anregungsstrahlung beleuchtet, daß die Fluoreszenzeigenschaften
im beleuchteten Bereich abnehmen. Man spricht von Bleichen der Probe
bzw. des Fluorophors, die bzw. der aufgrund der hohen Anregungsstrahlungsintensität seine
Fluoreszenzeigenschaften zumindest teilweise verliert oder ändert. Unter
Bleichen wird im Sinne der Erfindung also verstanden, daß eine Probe
ihre Fluoreszenzeigenschaften derart ändert, daß bestimmte Fluoreszenzstrahlung
nur noch vermindert eingestrahlt wird. „Bleichen" kann also dadurch auftreten, daß die Probe
insgesamt am gebleichten Probenbereich weniger fluoresziert oder die
Fluoreszenzeigenschaften gegenüber
dem Ausgangszustand spektral verändert
sind, so daß in
bestimmten Spektralbereichen die Fluoreszenzintensität durch
das Bleichen vermindert ist.
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Beim
genannten FLIR-Verfahren möchte man
verfolgen, wie sich das Bleichen an einem Bereich oder Punkt der
Probe auf die restliche Probe auswirkt, beispielsweise durch Diffusion
der in ihren Fluoreszenzeigenschaften geänderten Probenbestandteile,
z.B. Fluorophore. Man setzt dazu beispielsweise Fluorophore ein,
die an bestimmten biologischen Strukturen ankoppeln, so daß man aus
der Diffusion der Fluorophore einen Rückschluß auf die Bewegung der biologischen
Strukturen, an denen die Fluorophore angekoppelt sind, erhält.
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Das
FLIR-Verfahren ist exemplarisch für eine solche Analyse dynamischer
Prozesse, bei der auf die Probe in einem kleinen Bereich besonders
eingewirkt wird, und die Reaktion der Probe auf diese Einwirkung
in einem größeren, den
kleinen Bereich umgebenden Gebiet erfaßt werden soll. Die Geschwindigkeit,
mit der dieses Gebiet abgebildet werden kann, erweist sich als maßgeblich
für die
erreichbare Zeitauflösung
der Analyse der dynamischen Prozesse. Man ist deshalb im Stand der
Technik bemüht,
die Geschwindigkeit der Bildaufnahme möglichst zu steigern, um auch
hochdynamische Prozesse erfassen zu können. Entsprechend steigen
die Anforderungen an die Ablenkgeschwindigkeit, mit der in einem
Laserscanning-Mikroskop das Scannen erfolgen kann, sowie an die
Nachweisempfindlichkeit der Detektoren, die die Meßzeit für den einzelnen
Bildpunktes bestimmt.
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Der
Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, ein Laserscanning-Mikroskopie-Verfahren
bzw. ein Laserscanning-Mikroskop bzw. ein Computerprogrammprodukt
für ein
computergeschütztes
Laserscanning-Mikroskop der eingangs genannten Art derart auszugestalten,
daß hochdynamische
Prozesse mit möglichst
geringem Aufwand verfolgt werden können.
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Diese
Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch
gelöst,
daß zur
Erfassung der Reaktion der Probe auf die Einwirkung (z.B. Bleichen)
die Probe entlang einer Kurve abgetastet wird, die innerhalb eines
den Probenbereich umgebenden Ringes oder Torus liegt.
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Abkehrend
vom Stand der Technik wird also nicht mehr danach getrachtet, durch
Steigerung der Arbeitsgeschwindigkeit des Laserscanning-Mikroskopes
ein bestimmtes Gebiet vollständig
in noch kürzerer
Zeit zu erfassen, sondern die Erfassung erfolgt lediglich in einem
den Probenbereich, in dem eingewirkt wurde, umgebenden Ring oder
Torus. Die für die
Datenaufnahme eines derart gestalteten Gebietes erforderliche Zeit
ist nun durch die verminderte Fläche/das
verminderte Volumen drastisch reduziert, ohne daß die apparativen Anforderungen
steigen. Dennoch ist ein dynamischer Vorgang in allen Richtungen
vom Zentrum, in dem der Vorgang durch das Einwirken ausgelöst wurde,
her darstellbar.
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Eine
besonders gute Erfassung des dynamischen Prozesses erhält man,
wenn die Kurve innerhalb des Ringes oder Torus geschlossen ist.
Die Datenaufnahme bzw. das Abtasten erfolgt somit auf einer geschlossenen,
den Probenbereich, in dem die Reaktion ausgelöst wurde, umgebenden oder umschreibenden
(nicht notwendigerweise direkt umgrenzenden) Gebiet. Die Wahl des
Abstandes zwischen der inneren Gebietsgrenze und dem Probenbereich
ist applikativ abhängig
von der jeweiligen Anwendung für
den Fachmann einfach zu wählen.
Sie ist vorteilhafter Weise so einzustellen, daß ein Umlauf um den Probenbereich
eine Zeitspanne in Anspruch nimmt, die kurz gegen die Geschwindigkeit der
zu erwartenden dynamischen Prozesse ist.
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Der
Ring oder Torus muß nicht
zwingend rotationssymmetrisch sein. Prinzipiell genügt für die Erfindung
jede geschlossene zwei- oder dreidimensionale Figur, die im mathematischen
Sinne ein wegzusammenhängender
aber nicht einfach zusammenhängender
Raum, und in deren Loch sich der Probenbereich, in dem die Reaktion
ausgelöst
wurde, befindet.
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Unter
dem Gesichtspunkt der maximalen Scangeschwindigkeit ist es natürlich zu
bevorzugen, wenn bei der Ansteuerung der für das Scannen bekanntermaßen verwendeten
Ablenkeinrichtung möglichst
geringe Frequenzen auftreten. Verwendet man als geschlossene Kurve
eine Kreisbahn, ist bezüglich der
Frequenzen das Optimum erreicht, da dann idealerweise die Ablenkeinrichtung
in zwei orthogonalen Raumrichtungen jeweils nur eine Frequenz realisieren
muß. Gleiches
gilt natürlich
im Falle einer Ellipse, bei der ebenfalls in zwei orthogonalen Richtungen nur
eine Frequenz zur Erzeugung in der Ablenkeinrichtung anfällt; abweichend
zur Kreisbahn sind die Frequenzen dann verschieden. Durch einen
solchen Ansatz ergibt sich eine weitere Beschleunigung beim Abtasten,
da hohe Frequenzen mit sich bringende Umkehrpunkte, wie sie beim üblichen
zeilen- und bildweisen Rastern eines Probengebietes erforderlich
sind, nicht mehr berücksichtigt
werden müssen. Die
Ablenkeinrichtung kann also beim erfindungsgemäßen Vorgehen schneller arbeiten,
wenn Kreis-, Ellipsen- oder diesen nahekommende Bahnen (z.B. oval)
verwendet werden.
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Der
erfindungsgemäße Ansatz
ermöglicht eine
sehr große
Freiheit bei der Wahl der Kurven. Neben geschlossenen Kurven sind
natürlich
auch „fast" geschlossene Kurven
denkbar, beispielsweise Spiralen o.ä. Hier muß lediglich darauf geachtet
werden, daß der
räumliche
Abstand in zwei aufeinanderfolgenden Umläufen abtastete Bahnen gering
gegen die Geschwindigkeit der zu untersuchenden Prozesse ist. Tastet
man beispielsweise innerhalb des Ringes oder Torus mit einer Spirale
ab, sollte der Abstand benachbarter Spiralwindungen geringer sein, als
das Produkt aus erwarteter Diffusionsgeschwindigkeit und Umlaufzeit
der Abtastung.
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Eine
weitere Analysenvertiefung erhält
man, wenn man innerhalb des Ringes oder Torus auf Kreis- oder Ellipsenbahnen
mit unterschiedlichen Parametern abtastet, also mehrere konzentrische
Kurven verwendet.
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Das
erfindungsgemäße Laserscanning-Mikroskop
unterscheidet sich von herkömmlichen
Geräten
im wesentlichen hinsichtlich der Realisierung des Steuergerätes, das
nun die eingangs erwähnten Abtastparameter
beim Betrieb des Mikroskops vorgibt. Analoges gilt hinsichtlich
des erfindungsgemäßen Computerprogrammproduktes,
das in Form einer Diskette, eines Festspeichers, einer über Netze übertragbaren
Steuerdatei o.ä.
vorliegen kann und bei einem computergesteuerten Laserscanning-Mikroskop,
wie es heutzutage üblich
ist, den entsprechenden Betrieb realisiert bzw. den Anwender bei
der Einstellung der entsprechenden Betriebsparameter unterstützt.
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Die
Abtastung entlang der Kurve im Ring oder Torus erfolgt vorteilhafterweise
konfokal. Die Beleuchtung kann ebenfalls konfokal in den Probenbereich
eingestrahlt werden. Eine konfokale Arbeitsweise ist vorteilhaft,
aber nicht zwingend. So kann die Abtastung entlang der Kurve auch
ohne konfokale Filterung erfolgen, wenn z.B. nur geringe Ortsauflösungsanforderungen
bestehen. Analoges gilt für
die Beleuchtung des Probenbereiches.
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Die
Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnung beispielshalber
noch näher erläutert. In
den Zeichnungen zeigt:
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1 eine
schematische Darstellung eines Laserscanning-Mikroskops,
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2 eine
schematische Darstellung der Bahnkurve beim Abtasten eines Laserscanning-Mikroskops und
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3 eine
Abtastung mit dem Laserscanning-Mikroskop der 1 gemäß einem
Verfahren nach dem Stand der Technik.
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1 zeigt
schematisch ein als Laserscanning-Mikroskop (LSM) 1 ausgebildetes
Lichtraster-Mikroskop.
Mit dem LSM 1 wird ein Objekt 2 (nachfolgend auch
als Probe bezeichnet) auf noch zu erläuternde Art vermessen. Das
LSM 1 ist im wesentlichen in ein Mikroskopmodul 3,
ein Detektionsmodul 4 sowie ein Beleuchtungs- oder Anregungsmodul 5 unterteilt.
Das Anregungsmodul stellt Anregungsstrahlung bereit und speist diese
in das Mikroskopmodul 3 ein, so daß sie als spotförmige Beleuchtung auf
das Objekt 2 gerichtet wird. Die spotförmige Beleuchtung wird vom
Mikroskopmodul 3 rasternd über das Objekt 2 geführt. Der
am Objekt dabei mit Beleuchtungsstrahlung aus dem Beleuchtungsmodul 5 beleuchtete
Spotbereich wird über
das Mikroskopmodul 3 vom Detektionsmodul 4 konfokal
detektiert. Gestaltet man die Beleuchtung als Anregungsstrahlung
aus, kann dabei ein Bild der Fluoreszenzeigenschaften des Objektes 2 gewonnen
werden.
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Das
Beleuchtungs- oder Anregungsmodul 5 weist zur Beleuchtung
Lichtquellen 6 und 7 auf, die beispielsweise als
Laser ausgebildet sein können. Die
Strahlung aus den Lichtquellen 6 und 7 wird über einen
Umlenkspiegel 8 bzw. einen Strahlteiler 9 sowie
eine Beleuchtungsoptik 10 zu einem als Hauptfarbteiler
bezeichneten Strahlteiler 11 geleitet, wo sie in das Mikroskopmodul 3 eingekoppelt
ist. Die konkrete Ausgestaltung der Einkopplung der Strahlung, im
vorliegenden Ausführungsbeispiel
durch Umlenkspiegel 8, Strahlteiler 9 und Beleuchtungsoptik 10 realisiert, ist
für die
nachfolgende Erfindung ohne weitere Bedeutung. Es sind auch andere
Bauweisen möglich,
beispielsweise mittels Faseroptiken und geeigneten Faseroptikkopplern.
Auch kann abweichend von den in 1 gezeigten
zwei Lichtquellen natürlich
nur eine einzige Lichtquelle oder eine größere Anzahl an Lichtquellen
zum Einsatz kommen. Wesentlich für
die Erfindung ist hier nur, daß am
Hauptfarbteiler 11 ein Beleuchtungsstrahl 17 eingekoppelt wird.
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Der
Hauptfarbteiler
11 kann beispielsweise wie in der bereits
genannten
DE 19702753
A1 aufgebaut sein. Anstelle des dort beschriebenen dichroitischen
Hauptfarbteilers kann auch ein farbneutraler Teiler verwendet werden,
wie er z.B. in der
DE 10257237
A1 geschildert ist.
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Die
vom Beleuchtungs- oder Anregungsmodul 5 am Hauptfarbteiler 11 ankommende
Strahlung in Form des Beleuchtungsstrahles 17 wird dann
mittels einer Scaneinrichtung 12 sowie einer Scanoptik 13 durch
eine Tubuslinse 15 und ein Objektiv 16 auf oder
in das Objekt 2 fokussiert. Die Fokussierung erfolgt dabei
im Ausführungsbeispiel
in einen beugungsbegrenzten Fokus, dessen Lage im Objekt 2 längs der
optischen Achse durch einen verstellbaren Probentisch 18 eingestellt
werden kann. Die Scaneinrichtung 12 lenkt den vom Hauptfarbteiler 11 kommenden
Beleuchtungsstrahl 17 zweiachsig ab, so daß dieser
als unterschiedlich ausgelenkter Strahl 19 durch die Tubuslinse 14 und
das Objektiv 16 auf bzw. in das Objekt 2 fällt, mithin
im Objekt 2 an unterschiedliche Stellen quer zur optischen
Achse fokussiert ist.
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Zur
Beobachtung des Objektes 2 für einen Mikroskopbenutzer ist
zwischen der Scanoptik 13 sowie der Tubuslinse 15 noch
optional ein als Strahlteiler ausgebildeter Umlenkspiegel 14 vorgesehen,
der eine visuelle Inspektion ermöglicht.
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Mittels
der Scaneinrichtung 12, die wie der Probentisch 18 auch
von einem Steuergerät 26 über nicht
näher bezeichnete
bzw. nicht dargestellte Leitungen angesteuert wird, wird der Fokus
des abgelenkten Beleuchtungsstrahls 19 durch das Objektiv 16 an
unterschiedliche Stellen im Objekt plaziert. Insgesamt erfolgt eine
dreidimensionale Positionierung. Die Ablenkung durch die Scaneinrichtung 12 bewirkt dabei
die Aufnahme eines zweidimensionalen Bildes, dessen Tiefenlage im
Objekt 2 als dritte Dimension durch die Einstellung des
Probentisches 18, d.h. die Lage der Fokalebene im Objekt 2 bestimmt
ist. Alternativ ist auch eine Fokusverstellung durch Einstellung
des Objektives 16 möglich.
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Die
im Objekt 2 durch die Beleuchtung erzeugte Strahlung, z.B.
Fluoreszenzstrahlung, wird durch Abbildung des Fokusses im Objekt 2 mittels des
Objektivs 16 und der Tubuslinse 15 sowie der Scanoptik 13 in
das Detektionsmodul 4 für
jeden Punkt des aufzunehmenden Bildes detektiert. Der Hauptfarbteiler 11 leitet
dazu den nach Durchlauf durch die Scaneinrichtung 12 in
Abbildungsrichtung wieder ruhenden Strahl 21 zum Detektionsmodul 4, das
konfokale Detektorelemente aufweist. Über einen Auskoppler 22 und
eine Pinholeoptik 23 erfolgt an einem Pinhole 24 eine
konfokale Filterung der Strahlung aus dem Fokus im Objekt 2.
Die Ebene der konfokalen Blende 24 ist konjugiert zur Fokusebene im
Objekt 2. Ein Detektor 25 nimmt die konfokal gefilterte
Strahlung auf. Auch er ist mit dem Steuergerät 26 verbunden. Das
Steuergerät 26 erzeugt
so zu jeder Lage des Fokus im Objekt 2 einen entsprechenden
Bildpunkt, der durch die Intensitätsinformation vom Detektor 25 sowie
seine Lage im Bild durch die Stellung der Scaneinrichtung 12 charakterisiert
ist. Das Detektionsmodul 4 kann dabei je nach Ausführungsform
mehrere spektrale Kanäle
aufweisen. Es sind dann die entsprechenden Elemente 22 bis 25 mehrfach
vorhanden. In 1 ist dies schematisch durch
einen zweiten Detektionskanal symbolisiert, dessen Bezugszeichen
mit einem Apostroph versehen sind. Eine strichpunktierte Linie deutet
an, daß noch
weitere Detektionskanäle
möglich
sind. Die Auskoppler 22 bzw. 22' fungieren somit als sogenannte
Nebenfarbteiler. Ihre spektrale Charakteristik bestimmt, welcher
Spektralbereich die vom zugeordneten Detektor nachgewiesene Strahlung
hat. Der Aufbau des Detektionsmoduls 4 ist für die hier
beschriebene Erfindung nicht weiter von Interesse, insbesondere
ist es nicht ausschlaggebend, ob bzw. wie eine konfokale Filterung
erfolgt. Wesentlich für
die Erfindung ist hier lediglich, daß nach der Scaneinrichtung 12 ein
ruhender Strahl 21 vorliegt, der in der Literatur auch
als de-scannter Strahl bezeichnet wird.
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Die
Scaneinrichtung 12 sorgt dafür, daß der Strahl zweiachsig zum
ausgelenkten Strahl 19 abgelenkt wird, wodurch der Fokus
der Beleuchtungsstrahlung im Objekt 2 ein senkrecht zur
Einfallsrichtung der Beleuchtungsstrahlung bzw. zur Abbildungsrichtung
liegendes Feld überstreicht.
Dies wird als Scannen bezeichnet. In umgekehrter (Abbildungs-)Richtung
sorgt die Scaneinrichtung dafür, daß zweidimensional
verteilte Bildpunkte auf einen nichtortsauflösenden Detektor zeitsequentiell
abgebildet werden. Dies wird als de-scannen bezeichnet.
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Mit
dem LSM 1 sollen dynamische Vorgänge z.B. als Reaktion auf das
Bleichen des Objektes 2 untersucht werden. Ein Beispiel
für solche
Vorgänge sind
die bereits erwähnten
Diffusionsprozesse. Dazu wird in einem Beispiel das Objekt 2,
beispielsweise eine biologische Probe, in einem bestimmten Probenbereich
mit Anregungsstrahlung 17 derart beleuchtet, daß die Fluoreszenzeigenschaften
geändert
werden, was, wie eingangs eben bereits erwähnt, hier als Bleichen bezeichnet
wird. 2 zeigt einen entsprechenden schematischen Blick
auf die Oberfläche
des Objektes 2 bzw. die biologische Probe. Nach dem Einwirken
auf den Probenbereich 27 wird die Probe mit dem LSM 1 auf
einer Kurve 28 abgetastet, die im Ausführungsbeispiel als geschlossener
Kreis den Probenbereich 27 umgibt. Während einer kontinuierlichen
Datenaufnahme wird der Kreis auf der Kurve 28 mehrmals
durchlaufen. Die zeitliche Aufnahme der entsprechenden Intensitätsinformation
erlaubt es dann die dynamische Reaktion der Probe auf das Einwirken
im Probenbereich 27 hin in allen Richtungen von dem Probenbereich 27 aus
darzustellen.
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Die
Datenaufnahme kann damit sehr viel schneller erfolgen, als dies
im Stand der Technik möglich
war, der exemplarisch in 3 verdeutlicht ist. Dort erfolgt
nach dem Bleichen im Probenbereich 27 ein Abrastern eines
Probenfeldes 29. Das Abrastern ist durch die Kreuz-Schraffierung des
Feldes 9 symbolisiert. Es ist leicht einsehbar, daß das Abrastern
des Feldes 29 sehr viel länger dauert, als das Umlaufen
um die Kurve 28. Auch ist leicht zu erkennen, daß an den
Umkehrpunkten zwischen den einzelnen Zeilen, mit denen das Feld 29 abgetastet
wird, sehr viel höhere
Verstellgeschwindigkeiten (und damit Frequenzen) erforderlich sind,
als während
des normalen Vorschubes entlang der Zeilen. Die maximale Bewegungsgeschwindigkeit
der Scaneinrichtung 12 ist somit beim Vorgehen gemäß dem Stand der
Technik analog 3 nicht für den eigentlichen Vorschub
entlang der Zeilen verwendbar. Bei der geschlossenen Kurve 28 der 2 ist
dies anders. Hier kann, da eine Synthetisierung der Kreisbahn aus zwei
orthogonalen Bewegungen durch die Scanspiegel der Scaneinrichtung 12 lediglich
eine einzige Frequenz erfordert, mit sehr viel höherer Geschwindigkeit die Kurve 28 abgefahren
werden.
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Die
beschriebene Ausführungsform
kann dahingehend abgewandelt werden, daß die Kurve 28 nicht
als geschlossener Kreisring, sondern als Spirale oder Lissajou-Figur
aufgebaut wird. Auch kann zusätzlich
zum Strahlengang des in 1 gezeigten LSM 1 noch
ein eigenständiger
Strahlengang zur Einstrahlung der Beleuchtungsstrahlung unabhängig vom
Abbilden des Gebietes verwendet werden. Dazu ist regelmäßig eine
zweite Scaneinrichtung 12 vorgesehen. Dann kann das Leuchten
zum Bleichen unabhängig
von der Datenerfassung ausgeführt
werden, so daß die
Datenaufnahme simultan zum Bleichen möglich ist.